JP2017139058A - Elastic sheet for sealing apparatus, and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、封止装置用弾性シート及びその製造方法に関する。特に、パネル形状の機能材料デバイスの製造過程に使用される封止装置に用いられる弾性シート及びその製造方法に関するものである。 The present invention relates to an elastic sheet for a sealing device and a method for producing the same. In particular, the present invention relates to an elastic sheet used in a sealing device used in a process for manufacturing a panel-shaped functional material device and a method for manufacturing the elastic sheet.
近年、パネル形状の機能材料デバイスが種々の分野で活用されている。機能材料デバイスとしては、例えば、モジュール型のディスプレイや、照明装置、光学素子などがある。より具体的には、機能材料デバイスとして、タッチパネルや液晶表示装置、OLED(有機発光ダイオード)素子、有機EL表示装置や有機EL照明器、光学フィルム、光学フィルタ、色素増感太陽電池、有機薄膜太陽電池などが例示される。これら機能材料デバイスは、パネル形状にされて、種々の機器に組み込まれる。近年では、パネルの形状も、旧来からの平面状のパネルに加え、湾曲形状やドーム形状といった3次元形状のパネル形状とされることもある。 In recent years, panel-shaped functional material devices have been utilized in various fields. Examples of the functional material device include a module type display, a lighting device, and an optical element. More specifically, as functional material devices, touch panels, liquid crystal display devices, OLED (organic light emitting diode) elements, organic EL display devices and organic EL illuminators, optical films, optical filters, dye-sensitized solar cells, organic thin film solar cells A battery etc. are illustrated. These functional material devices are made into a panel shape and incorporated into various apparatuses. In recent years, the shape of the panel may be a three-dimensional panel shape such as a curved shape or a dome shape in addition to the conventional flat panel.
機能材料デバイスは、機能材料の酸化や加水分解等の化学的劣化や、機能材料の脱落などの物理的劣化をすることの無いよう、通常、バリア層や保護層を備えている。このようなバリア層や保護層は、機能材料に密着して一体化されるよう、いわゆる封止装置を用いて、真空環境下で貼り合わされる。
例えば、特許文献1には、真空チャンバと弾性ダイアフラム31と弾性シート22を備える封止装置Aが開示され、当該封止装置により、弾性シート22に保持した封止基板(例えばバリア層)と、治具5上に置かれた成形基板(例えば、有機EL表示装置の本体部分)とを、真空環境下で一体化する技術が開示されており、当該技術によれば、機能材料薄膜層から空気を排した3次元形状の機能材料デバイスが製造できることが開示されている。参考のため、特許文献1中の図を図5として引用して示す。
The functional material device is usually provided with a barrier layer and a protective layer so as not to cause chemical degradation such as oxidation or hydrolysis of the functional material or physical degradation such as dropping of the functional material. Such a barrier layer and a protective layer are bonded together in a vacuum environment using a so-called sealing device so as to be in close contact with and integrated with the functional material.
For example,
この様な封止装置においては、治具5上に置かれる成形基板と、弾性シート22に保持した封止基板を正確に重ねあわせて一体化し、機能材料デバイスとする必要があり、弾性シート22には、しっかりと封止基板を保持する機能が求められる。一方で、封止基板と成形基板が一体化されて機能材料デバイスが製造された後には、弾性シート22は封止基板からたやすく引きはがされる必要がある。
In such a sealing device, the molded substrate placed on the
しかしながら、弾性シート22に求められる保持力とはがしやすさを両立させるのは容易ではなかった。例えば、特許文献1には、弾性シート22と静電チャック23を併用し、静電チャックにより封止基板を保持する技術が開示されているが、静電チャックが使えない封止基板もある。あるいは、特許文献1には、弾性シートの保持力を確保するために粘着剤を利用する技術が開示されているが、粘着剤では、保持力と引きはがしやすさの調整幅が小さく、両者のバランスがよい弾性シートがなかなか得られなかった。
However, it is not easy to achieve both the holding force required for the
本発明の目的は、保持力と引きはがしやすさのバランスに優れた封止装置用の弾性シートを提供することにある。
An object of the present invention is to provide an elastic sheet for a sealing device that has an excellent balance between holding force and ease of peeling.
発明者は、鋭意検討の結果、弾力性を有するメッシュと、表面が平滑で特定の厚み分布を有する弾性層とを組み合わせると、保持力と引きはがしやすさのバランスが良くなることを知見し、本発明を完成させた。 As a result of intensive studies, the inventor has found that when a mesh having elasticity and an elastic layer having a smooth surface and a specific thickness distribution are combined, the balance between holding force and ease of peeling is improved. The present invention has been completed.
本発明は、パネル形状の機能材料デバイスの製造過程に使用される封止装置に用いられる弾性シートであって、弾性シートは、弾力性を有するメッシュに対し、少なくとも片面に、所定の平面パターンで弾性層が設けられて構成されており、前記弾性層の表面は、表面粗度がRa0.01〜0.20μmの平滑な面とされて、吸着性を有しており、前記弾性層の厚みは、メッシュを構成する線の線径をdとして、メッシュを構成する線が交差する位置における厚みt1がdの0.03〜0.5倍とされ、メッシュの目開き部における厚みt2がdの0.7倍以上とされた封止装置用弾性シートである(第1発明)。 The present invention relates to an elastic sheet used in a sealing device used in the manufacturing process of a panel-shaped functional material device, and the elastic sheet has a predetermined planar pattern on at least one side with respect to an elastic mesh. An elastic layer is provided, and the surface of the elastic layer is a smooth surface with a surface roughness Ra of 0.01 to 0.20 μm and has an adsorptivity, and the thickness of the elastic layer Is the thickness t1 at the position where the lines constituting the mesh intersect is 0.03 to 0.5 times d, and the thickness t2 at the mesh opening is d. It is the elastic sheet for sealing devices made into 0.7 times or more (1st invention).
第1発明においては、メッシュの番手が80〜250メッシュであり、弾性層が硬度60〜70デュロAのシリコーンゴムにより形成されていることが好ましい(第3発明)。 In the first invention, it is preferable that the mesh count is 80 to 250 mesh, and the elastic layer is formed of silicone rubber having a hardness of 60 to 70 duro A (third invention).
また、本発明は、第1発明の封止装置用弾性シートを製造する方法であって、表面粗度がRa0.01〜0.20μmの転写面を準備し、当該転写面に、ペースト状の樹脂材料を印刷して、弾性層となるべき平面パターンを転写面上にペースト状樹脂材料によって形成する工程、印刷工程に引き続き、形成された平面パターンを覆うようにメッシュを配置して、メッシュを転写面に向かって押圧して、ペースト状樹脂材料の一部をメッシュの目開き部に入り込ませて、厚みt1及び厚みt2を所定の厚みとする工程、メッシュの押圧工程の後に、ペースト状樹脂材料を硬化させて弾性層とする工程、硬化工程の後に、転写面から弾性層をメッシュとともに引きはがす工程、を含む封止装置用弾性シートの製造方法である(第2発明)。 Further, the present invention is a method for producing an elastic sheet for a sealing device according to the first invention, wherein a transfer surface having a surface roughness Ra of 0.01 to 0.20 μm is prepared, and a paste-like surface is provided on the transfer surface. Subsequent to the process of printing the resin material and forming the flat pattern to be the elastic layer on the transfer surface with the paste resin material, the printing process, the mesh is arranged so as to cover the formed flat pattern, Pressing toward the transfer surface to allow a portion of the paste-like resin material to enter the mesh openings and setting the thickness t1 and thickness t2 to a predetermined thickness, after the mesh pressing step, the paste-like resin A method for producing an elastic sheet for a sealing device, comprising: a step of curing a material to form an elastic layer; and a step of peeling the elastic layer together with the mesh from the transfer surface after the curing step (second invention).
本発明の封止装置用弾性シート(第1発明、第3発明)によれば、弾性シートによる封止基板の保持において、保持力と引きはがしやすさがバランスよく高められる。特に第3発明の弾性シートは、パネル形状の機能材料デバイスの製造に用いられる封止装置用の弾性シートとしてさらに優れたものとなる。
また、本発明の封止装置用弾性シート製造方法(第2発明)によれば、そのような弾性シートが効率的に製造できる。
According to the elastic sheet for a sealing device (first invention, third invention) of the present invention, the holding force and the ease of peeling are enhanced in a balanced manner when the sealing substrate is held by the elastic sheet. In particular, the elastic sheet of the third invention is more excellent as an elastic sheet for a sealing device used for manufacturing a panel-shaped functional material device.
Moreover, according to the elastic sheet manufacturing method for sealing devices (2nd invention) of this invention, such an elastic sheet can be manufactured efficiently.
以下図面を参照しながら、有機EL発光パネルの製造用の封止装置に使用できる弾性シートを例として、発明の実施形態について説明する。発明は以下に示す個別の実施形態に限定されるものではなく、その形態を変更して実施することもできる。 Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings, taking as an example an elastic sheet that can be used in a sealing device for manufacturing an organic EL light emitting panel. The invention is not limited to the individual embodiments shown below, and can be carried out by changing the form.
図1に第1実施形態の封止装置用弾性シート1の斜視図を示し、図2に封止装置用弾性シート1の断面図を示す。また、図4は、シートの面直方向から見てメッシュの線がどのように配置されているかを示す透視図である。
弾性シート1は、弾力性を有するメッシュMに対し、少なくとも片面に、所定の平面パターンで弾性層Rを設けて構成されている。本実施形態においては、弾性層Rは、メッシュMの片面側に、設けられている。なお、弾性層RはメッシュMの両面に設けられていてもよい。また、弾性シート1には、メッシュMと弾性層の他、他の要素(例えばバックアップ層等)が設けられていてもよい。
The perspective view of the
The
弾性層Rは、所定の平面パターンに設けられており、本実施形態においては、複数の平行な筋状のパターンに設けられている。また、弾性層が設けられる平面パターンは、筋状、同心円状、櫛歯状、波型状であってもよいし、格子状、複数のドットが散在するパターン、べた塗りされた中に複数の穴が散在するパターン等であってもよい。これらの平面パターンは、保持する対象物の形状や、引きはがし方などに応じて定められる。 The elastic layer R is provided in a predetermined plane pattern. In the present embodiment, the elastic layer R is provided in a plurality of parallel streak patterns. Further, the plane pattern on which the elastic layer is provided may be a streak shape, a concentric circle shape, a comb shape, or a wave shape, a lattice shape, a pattern in which a plurality of dots are scattered, or a plurality of solid patterns. A pattern in which holes are scattered may be used. These planar patterns are determined according to the shape of the object to be held, the method of peeling, and the like.
メッシュMは封止装置において求められる弾力性を有している。メッシュを構成する線の材質としては、ポリエステル、ポリアミド、ウレタン、ステンレス等が例示できる。メッシュを構成する線として高張力芯鞘繊維(例えば株式会社クラレの「VECRY」等)を使用することもできる。メッシュMとしては、番手が50〜1000メッシュの物が好ましく使用でき、80〜250メッシュの物が封止装置用弾性シートの素材として特に好ましく使用できる。本実施形態においては、ポリエステル樹脂製のモノフィラメントを用いた120メッシュのメッシュを用いている。 The mesh M has the elasticity required in the sealing device. Examples of the material of the wire constituting the mesh include polyester, polyamide, urethane, and stainless steel. High-strength core-sheath fibers (for example, “VECRY” manufactured by Kuraray Co., Ltd.) can also be used as the lines constituting the mesh. As the mesh M, the thing of 50-1000 mesh can be used preferably, and the thing of 80-250 mesh can be used especially preferably as a raw material of the elastic sheet for sealing devices. In this embodiment, a 120-mesh mesh using a monofilament made of polyester resin is used.
弾性層Rは、弾力性を有する樹脂材料により形成された層である。弾性層Rを構成する材料としては、シリコーンゴムやイソプレンゴムなどのゴム材料や、ウレタン樹脂などの樹脂材料が利用できる。これら樹脂材料は、架橋するゴムや反応により硬化する樹脂などのような、硬化性樹脂であることが好ましい。弾性層Rの弾力性の程度は、デュロA硬度で40〜80程度とされることが好ましく、より好ましくは、デュロA硬度で60〜70程度とされる。本実施形態においては、弾性層Rは、デュロA硬度で65度の架橋されたシリコーンゴムにより形成されている The elastic layer R is a layer formed of a resin material having elasticity. As a material constituting the elastic layer R, a rubber material such as silicone rubber or isoprene rubber, or a resin material such as urethane resin can be used. These resin materials are preferably curable resins such as a rubber to be crosslinked and a resin that is cured by a reaction. The degree of elasticity of the elastic layer R is preferably about 40 to 80 in terms of Duro A hardness, and more preferably about 60 to 70 in terms of Duro A hardness. In the present embodiment, the elastic layer R is formed of a crosslinked silicone rubber having a duro A hardness of 65 degrees.
弾性層Rの表面Ptは、表面粗度がRa0.01〜0.20μmの平滑な面とされている。この平滑な面Ptは吸着性を有していて、平滑面Ptの吸着性を利用して、対象物(封止基板)を保持する。本実施形態においては、表面粗度Ra0.1μm以下の鏡面状の平滑面としている。 The surface Pt of the elastic layer R is a smooth surface with a surface roughness Ra of 0.01 to 0.20 μm. The smooth surface Pt has adsorptivity, and holds the object (sealing substrate) using the adsorptivity of the smooth surface Pt. In the present embodiment, a mirror-like smooth surface having a surface roughness Ra of 0.1 μm or less is used.
メッシュMに対し、弾性層Rは、弾性層の一部がメッシュMの目開き部分に入り込むような形態で一体化されている。そのため、弾性層Rの厚みは、メッシュの線がある部分とメッシュの目開き部とで異なった厚みとなっている。図2には、弾性層Rが目開き部に入り込んだ様子を破線で示している。弾性層Rの厚みは、メッシュを構成する線の線径をdとして、メッシュを構成する線が交差する位置における厚みt1がdの0.03〜0.5倍とされ、メッシュの目開き部における厚みt2がdの0.7倍以上とされる。
典型的には、メッシュの線径が30〜150μmとされ、厚みt1は3〜80μmとされ、厚みt2は40〜300μmとされる。
本実施形態においては、メッシュを構成する線の線径dが80μmとされ、メッシュを構成する線が交差する位置における厚みt1が、8μm(線径dの0.1倍)とされ、メッシュの目開き部における厚みt2が100μm(線径dの1.25倍)とされている。
The elastic layer R is integrated with the mesh M in such a form that a part of the elastic layer enters the opening portion of the mesh M. Therefore, the thickness of the elastic layer R is different between the mesh line portion and the mesh opening. In FIG. 2, a state where the elastic layer R has entered the opening portion is indicated by a broken line. The thickness of the elastic layer R is such that the diameter t of the line constituting the mesh is d, the thickness t1 at the position where the lines constituting the mesh intersect is 0.03 to 0.5 times d, and the mesh opening portion The thickness t2 is set to 0.7 times or more of d.
Typically, the wire diameter of the mesh is 30 to 150 μm, the thickness t1 is 3 to 80 μm, and the thickness t2 is 40 to 300 μm.
In the present embodiment, the wire diameter d of the lines constituting the mesh is 80 μm, and the thickness t1 at the position where the lines constituting the mesh intersect is 8 μm (0.1 times the wire diameter d). The thickness t2 at the opening is 100 μm (1.25 times the wire diameter d).
上記実施形態の弾性シート1は、パネル形状の機能材料デバイスの製造過程に使用される封止装置に使用することができる。例えば、特許文献1に開示された封止装置における弾性シート(図5に図示された封止装置においては弾性シート22)として、上記実施形態の弾性シート1が好ましく使用できる。封止装置においては、弾性シート1の弾性層Rの表面Ptに、封止基板が吸着されて保持され、封止基板と成形基板とが一体化された後に、封止基板から弾性シート1が引きはがされる。弾性シート1が使用される具体的形態や封止装置の動作等については、従来の弾性シートと同様であるので、詳細な説明は省略する。
The
また、特許文献1においては、弾性シートによって保持されるべき封止基板として、防湿バリア層となるべきものが例示されているが、本発明により保持されるべきものはこれに限定されない。弾性シートが保持する対象物は、成形基板となるべきものであってもよいし、他のフィルム状、シート状、パネル状の素材であってもよい。
Moreover, in
上記実施形態の封止装置用弾性シート1の製造方法について説明する。図3に封止装置用弾性シート1の製造工程を模式的に示す。
The manufacturing method of the
まず、表面粗度がRa0.01〜0.20μmの転写面TSを準備し、当該転写面TSに、ペースト状の樹脂材料PMを印刷して、弾性層Rとなるべき平面パターンを転写面TS上にペースト状樹脂材料PMによって形成する(図3(a))。印刷は、典型的にはスクリーン印刷により行われる。印刷は、ディスペンサやLIMS成形やグラビア印刷を利用した印刷であってもよい。
転写面TSは、例えば、金属板、樹脂板、樹脂シートなどに準備すればよい。図3には、金属板上に転写面TSを設けてスクリーン印刷した例を示している。転写面TS上にスクリーン印刷用のマスクMSを置いて、ペースト状の樹脂材料PMをスクリーン印刷する。マスクMSには、弾性層Rとなるべき平面パターンの開口が設けられていて、スキージSQなどを用いて、ペースト状樹脂材料PMを開口に押し込むようにスクリーン印刷すれば、弾性層Rとなるべき平面パターンを転写面TS上にペースト状樹脂材料PMによって形成することができる。なお、この段階では、樹脂材料PMは、未硬化のペースト状の状態を保っている。以上が印刷工程である。
First, a transfer surface TS having a surface roughness Ra of 0.01 to 0.20 μm is prepared, a paste-like resin material PM is printed on the transfer surface TS, and a planar pattern to be the elastic layer R is transferred to the transfer surface TS. A paste-like resin material PM is formed thereon (FIG. 3A). Printing is typically performed by screen printing. Printing may be printing using dispenser, LIMS molding, or gravure printing.
For example, the transfer surface TS may be prepared on a metal plate, a resin plate, a resin sheet, or the like. FIG. 3 shows an example in which a transfer surface TS is provided on a metal plate and screen-printed. A mask MS for screen printing is placed on the transfer surface TS, and a paste-like resin material PM is screen-printed. The mask MS is provided with an opening having a planar pattern to be the elastic layer R, and should be the elastic layer R if screen printing is performed using the squeegee SQ to push the paste-like resin material PM into the opening. A planar pattern can be formed on the transfer surface TS with the paste-like resin material PM. At this stage, the resin material PM is maintained in an uncured paste state. The above is the printing process.
印刷工程に引き続き、樹脂材料PMにより転写面TS上に形成された平面パターンを覆うようにメッシュMを配置して、メッシュMを転写面TSに向かって押圧して(図3(b))、ペースト状樹脂材料PMの一部をメッシュMの目開き部に入り込ませつつ、メッシュの厚み方向の位置を調整して、厚みt1及び厚みt2を所定の厚みとする(図3(c))。ここで、メッシュMの押圧は、種々の方法によることができる。例えば、メッシュに張力を与えながら、転写面に向かってメッシュを所定の力で押しつけるようにしてもよい。あるいは、メッシュの裏側に別の板を当てて、転写面TSと、別の板の間の隙間を所定の寸法となるように押して、メッシュを転写面に向かって押し付けてもよい。メッシュMを転写面TSに向かって押圧すると、ペースト状樹脂材料PMの一部がメッシュMの目開き部に入り込む。厚みt1の調整は、メッシュを押圧する力を調節したり、メッシュと転写面の間に残る寸法を調節したりすることにより行うことができる。また、厚みt2の調整は、スクリーン印刷するペースト状樹脂材料PMの量や粘度を調整することにより調整できる。以上がメッシュの押圧工程である。 Subsequent to the printing process, the mesh M is disposed so as to cover the planar pattern formed on the transfer surface TS by the resin material PM, and the mesh M is pressed toward the transfer surface TS (FIG. 3B). The thickness t1 and the thickness t2 are set to predetermined thicknesses by adjusting the position of the mesh in the thickness direction while allowing a portion of the paste-like resin material PM to enter the openings of the mesh M (FIG. 3C). Here, the mesh M can be pressed by various methods. For example, the mesh may be pressed with a predetermined force toward the transfer surface while applying tension to the mesh. Alternatively, another plate may be applied to the back side of the mesh, the gap between the transfer surface TS and another plate may be pressed to a predetermined size, and the mesh may be pressed toward the transfer surface. When the mesh M is pressed toward the transfer surface TS, a part of the paste-like resin material PM enters the openings of the mesh M. The thickness t1 can be adjusted by adjusting the force pressing the mesh or by adjusting the dimension remaining between the mesh and the transfer surface. The thickness t2 can be adjusted by adjusting the amount and viscosity of the paste-like resin material PM to be screen printed. The above is the mesh pressing step.
メッシュの押圧工程に引き続き、ペースト状樹脂材料PMを硬化させて弾性層Rとする。硬化はペースト状樹脂材料PMの特性に応じて、熱や紫外線、放射線などを与えればよい。硬化の手段は特に限定されない。この硬化工程を経ることで、所定の平面パターンを有する弾性層RとメッシュMが一体化されることになる。以上が硬化工程である。 Subsequent to the pressing step of the mesh, the paste-like resin material PM is cured to form the elastic layer R. The curing may be performed by applying heat, ultraviolet rays, radiation or the like according to the characteristics of the paste-like resin material PM. The means for curing is not particularly limited. Through this curing step, the elastic layer R and the mesh M having a predetermined plane pattern are integrated. The above is the curing process.
硬化工程の後に、転写面TSから弾性層RをメッシュMとともに引きはがすと、上記第1実施形態の封止装置用弾性シート1が得られる。弾性シート1においては、弾性層の表面Ptに転写層TSの表面が転写されて、転写層TSが有していたのとほぼ同じ表面粗度が得られる。この引きはがし工程が行いやすいように、スクリーン印刷工程に先立って、転写面TSに離型剤を塗布したり、転写面をペースト状樹脂材料とは接着しない材料とする(例えばシリコーン樹脂フィルムやフッ素樹脂フィルム等)ことが好ましい。
When the elastic layer R is peeled off together with the mesh M from the transfer surface TS after the curing step, the
以上の工程を経ることにより、上記第1実施形態の封止装置用弾性シート1が製造される。なお、弾性シート1の製造工程には、他の工程を含ませてもよい。例えば、必要に応じて、硬化工程に前後して、メッシュ表面にさらに他のペースト状樹脂材料をスクリーン印刷等により追加してもよい。このようにすると、メッシュの両面に弾力性を有する層を形成することができる。メッシュの両面に弾力性を有する層を設けると、封止基板の保持力と引きはがす力のバランスの調整幅がより広くなる。
By passing through the above process, the
上記実施形態の封止装置用弾性シート1の作用及び効果について説明する。封止装置用弾性シート1は特許文献1に開示されるような封止装置に用いられて、封止基板(樹脂フィルムや防湿バリア層、機能材料が印刷されたパネル状の樹脂薄板など)を保持し、封止基板が成形基板と一体化された後に、封止基板から引きはがされて使用される。
上記実施形態の封止装置用弾性シート1は、従来この用途に用いられてきたゴムシートや粘着剤付の弾性シートに比べ、保持力と引きはがしやすさのバランスに優れており、封止基板をしっかりと保持できる一方で、引きはがす際には、封止基板から引きはがしやすい。また、粘着剤を用いた弾性シートのように、粘着剤が封止基板の側に残ってしまうこともない。
The operation and effect of the
The
上記実施形態の封止装置用弾性シート1が保持力と引きはがしやすさのバランスに優れている理由は以下のものであると推定する。
封止装置用弾性シート1は図2の断面図と図4の透視図に示すように、メッシュMに弾性層Rを特定の構成で積層したものである。そして、図4に示すように、メッシュの線が交差する部分X、Xでは、弾性層の厚みt1がかなり薄くされていて、メッシュの目開き部分Y、Yでは、弾性層の厚みt1が比較的厚くされている。このことにより、線の交差部分X、Xでは、メッシュの線により弾性層Rが強く封止基板に押しつけられることになり、メッシュの目開き部分Y,Yでは、弾性層の押し付けが弱く、柔らかく封止基板に接触することになる。
It is presumed that the reason why the
As shown in the cross-sectional view of FIG. 2 and the perspective view of FIG. 4, the
その結果、線の交差部分X,Xで、弾性層Rの表面Ptと封止部材とが密着してしっかりと吸着する一方で、メッシュの目開き部分Y,Yでは、吸着力が比較的弱くなる。このような部分X,Xと部分Y,Yが弾性層Rの全面にわたって散在することになるため、部分X,Xの部分でしっかりとした保持力を確保しつつ、部分Y,Yによって、全体の保持力が調整され、あるいは、部分Y,Yが弾性層が封止基板から引きはがされる起点となって、引きはがしに要する力が小さくなって、保持力と引きはがし力のバランスが良くなる。 As a result, the surface Pt of the elastic layer R and the sealing member are in close contact and firmly adsorbed at the intersections X and X of the lines, while the adsorbing force is relatively weak at the mesh openings Y and Y. Become. Since such portions X, X and portions Y, Y are scattered over the entire surface of the elastic layer R, the entire portion Y, Y secures a firm holding force in the portions X, X. The holding force is adjusted, or the portions Y and Y become the starting point from which the elastic layer is peeled off from the sealing substrate, so that the force required for peeling is reduced, and the balance between the holding force and the peeling force is balanced. Get better.
この観点から、弾性層の平面パターンは、平面パターンにおいて弾性材料が存在する部分の大きさ(筋状パターンであればそれぞれの筋の幅寸法、ドット状パターンであれば、ドットの直径等)が、メッシュの線の間隔よりも大きい、好ましくはメッシュの線の間隔の3倍以上、より好ましくは5倍以上に大きくされるのが良い。このようにされていると、弾性層Rにおいて、ひとつながりの平面パターンの中に、図5のように部分X,Xと部分Y,Yがまじりあって散在し、保持力と引きはがし力のバランスが良くなるからである。 From this viewpoint, the plane pattern of the elastic layer has a size of a portion where the elastic material exists in the plane pattern (the width dimension of each streak if it is a streak pattern, the diameter of a dot if it is a dot pattern, etc.) The distance between the mesh lines is larger than the distance between the mesh lines, preferably 3 times or more, more preferably 5 times or more the mesh line distance. In this way, in the elastic layer R, the portions X and X and the portions Y and Y are scattered and scattered in a continuous plane pattern as shown in FIG. This is because the balance is improved.
また、同様の観点で、弾性層Rの厚みが、メッシュの線が交差する部分X、Xにおいて薄くされていること、すなわち、メッシュの線の線径dに対し、厚みt1が0.5倍以下とされていることが重要である。部分X,Xにおける厚みt1が薄くされていることで、弾性層Rに、部分X,Xという比較的硬い部分と、部分Y,Yという比較的柔らかう部分とがメリハリをつけて設けられることになる。弾性層Rが厚くなると(例えば、メッシュの線の間隔を超える程度に厚くなると)、このような部分的な硬さ変化が生じにくくなる。 Further, from the same viewpoint, the thickness of the elastic layer R is reduced at the portions X and X where the mesh lines intersect, that is, the thickness t1 is 0.5 times the mesh wire diameter d. It is important that: By making the thickness t1 in the portions X and X thin, the elastic layer R is provided with a relatively hard portion such as the portions X and X and a relatively soft portion such as the portions Y and Y with sharpness. become. When the elastic layer R is thick (for example, thick enough to exceed the mesh line interval), such a partial change in hardness is less likely to occur.
また、メッシュの番手が80〜250メッシュであり、弾性層が硬度60〜70デュロAのシリコーンゴムにより形成されるようにすると、例えば、防湿バリア層を封止基板として用いる場合の様な、表面が平滑な樹脂フィルムや樹脂パネルを保持する用途の封止装置用弾性シートとして、保持力と引きはがしやすさのバランスが特に優れたものとなる。 Further, when the mesh count is 80 to 250 mesh and the elastic layer is formed of silicone rubber having a hardness of 60 to 70 duro A, for example, a surface as in the case of using a moisture barrier layer as a sealing substrate. However, as an elastic sheet for a sealing device for holding a smooth resin film or resin panel, the balance between holding force and ease of peeling is particularly excellent.
また、上記製造方法によって封止装置用弾性シートを製造すると、表面が非常に平滑で、かつ、厚みt1が薄くされ、厚みt2が厚く成形された封止装置用弾性シートを、効率的、かつ高い精度で製造することができ、得られた封止装置用弾性シートの保持力と引きはがし力のバランスにも優れる。 Moreover, when the elastic sheet for a sealing device is manufactured by the above-described manufacturing method, the elastic sheet for a sealing device having a very smooth surface, a thin thickness t1, and a thick thickness t2 is efficiently obtained. It can be manufactured with high accuracy, and is excellent in the balance between the holding force and the peeling force of the obtained elastic sheet for a sealing device.
発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の改変をして実施することができる。以下に発明の他の実施形態について説明するが、以下の説明においては、上記実施形態と異なる部分を中心に説明し、同様である部分についてはその詳細な説明を省略する。また、以下に示す実施形態は、その一部を互いに組み合わせて、あるいは、その一部を置き換えて実施できる。 The invention is not limited to the embodiment described above, and can be implemented with various modifications. Although other embodiments of the invention will be described below, in the following description, portions different from the above-described embodiment will be mainly described, and detailed descriptions of the same portions will be omitted. Further, the embodiments described below can be implemented by combining some of them or replacing some of them.
上記実施形態の説明においては、メッシュMとして平織りされたメッシュを例として説明したが、メッシュMは平織りのメッシュに限定されず、綾織りのメッシュなど、他の織構造のメッシュであってもよい。また、メッシュは織物でなく、平板にパンチングされたような形態のメッシュであってもよい。いずれのメッシュであっても、メッシュを構成する線が交差する部分の薄い弾性層の部分と、メッシュの目開き部の厚い弾性層の部分が散在することにより、同様の効果が生ずる。 In the description of the above embodiment, a plain woven mesh has been described as an example of the mesh M. However, the mesh M is not limited to a plain weave mesh, and may be a mesh having another woven structure such as a twill mesh. . Further, the mesh may be a mesh that is punched on a flat plate instead of a woven fabric. In any mesh, the same effect is caused by the thin elastic layer portion where the lines constituting the mesh intersect and the thick elastic layer portion where the mesh openings are scattered.
また、弾性層Rを構成するペースト状樹脂材料を硬化する方法は、架橋・加硫や、反応による硬化が代表的であるが、他の方法で硬化させてもよく、特に限定されない。例えば、光硬化性(紫外線硬化性)樹脂材料を用いて、光により硬化させてもよいし、樹脂材料を溶剤等に溶解させてペースト状にしたものを、溶剤を揮発させて硬化させてもよい。樹脂材料が熱可塑性樹脂や熱可塑性エラストマからなるものである場合には、樹脂材料を高温にしてペースト状にした状態でスクリーン印刷とメッシュの押圧を行い、しかる後に、温度を下げて樹脂材料を硬化させてもよい。 Further, the method of curing the paste-like resin material constituting the elastic layer R is typically crosslinking / vulcanization or curing by reaction, but it may be cured by other methods and is not particularly limited. For example, a photocurable (ultraviolet curable) resin material may be used to cure by light, or a paste obtained by dissolving the resin material in a solvent or the like may be cured by volatilizing the solvent. Good. When the resin material is made of thermoplastic resin or thermoplastic elastomer, screen printing and mesh pressing are performed in a paste state with the resin material at a high temperature, and then the temperature is lowered to remove the resin material. It may be cured.
また、上記弾性シートは、さらに他の部材を備えるものであってもよい。他の部材としては、例えば、バックアップ材やシール材などが例示される。 The elastic sheet may further include other members. Examples of other members include a backup material and a seal material.
また、封止基板や成形基板の具体的構成や用途、封止装置の具体的構成は特に限定されない。封止装置の例として例示した特許文献1には、3次元形状の有機EL発光パネルの製造に用いられる封止装置が開示されているが、上記実施形態の封止装置用弾性シート1は、フラットパネルを製造する際の封止装置に用いることもできる。また、有機発光パネルの封止でなく、例えば、タッチパネルや液晶表示装置の封止に用いることもできる。
Further, the specific configuration and application of the sealing substrate and the molded substrate and the specific configuration of the sealing device are not particularly limited.
封止装置用弾性シートは、パネル状の機能材料デバイスを製造するための封止装置に使用することができ、産業上の利用価値が高い。 The elastic sheet for a sealing device can be used for a sealing device for manufacturing a panel-shaped functional material device, and has high industrial utility value.
1 封止装置用弾性シート
M メッシュ
R 弾性層
Pt 平滑面(弾性層表面)
t1、t2 厚み
X 線の交差部
Y 目開き部
TS 転写面
MS マスク
SQ スキージ
PM ペースト状樹脂材料
1 Elastic sheet M for sealing device Mesh R Elastic layer Pt Smooth surface (elastic layer surface)
t1, t2 Thickness X-ray crossing portion Y Opening portion TS Transfer surface MS Mask SQ Squeegee PM Paste-like resin material
Claims (3)
弾性シートは、弾力性を有するメッシュに対し、少なくとも片面に、所定の平面パターンで弾性層が設けられて構成されており、
前記弾性層の表面は、表面粗度がRa0.01〜0.20μmの平滑な面とされて、吸着性を有しており、
前記弾性層の厚みは、メッシュを構成する線の線径をdとして、メッシュを構成する線が交差する位置における厚みt1がdの0.03〜0.5倍とされ、メッシュの目開き部における厚みt2がdの0.7倍以上とされた
封止装置用弾性シート。 An elastic sheet used in a sealing device used in the manufacturing process of a panel-shaped functional material device,
The elastic sheet is configured by providing an elastic layer in a predetermined plane pattern on at least one side of the elastic mesh.
The surface of the elastic layer is a smooth surface with a surface roughness Ra of 0.01 to 0.20 μm, and has an adsorptivity.
The thickness of the elastic layer is such that the diameter t of the lines constituting the mesh is d, and the thickness t1 at the position where the lines constituting the mesh intersect is 0.03 to 0.5 times d. An elastic sheet for a sealing device in which the thickness t2 is 0.7 times or more of d.
表面粗度がRa0.01〜0.20μmの転写面を準備し、当該転写面に、ペースト状の樹脂材料を印刷して、弾性層となるべき平面パターンを転写面上にペースト状樹脂材料によって形成する工程、
印刷工程に引き続き、形成された平面パターンを覆うようにメッシュを配置して、メッシュを転写面に向かって押圧して、ペースト状樹脂材料の一部をメッシュの目開き部に入り込ませて、厚みt1及び厚みt2を所定の厚みとする工程、
メッシュの押圧工程の後に、ペースト状樹脂材料を硬化させて弾性層とする工程、
硬化工程の後に、転写面から弾性層をメッシュとともに引きはがす工程、
を含む封止装置用弾性シートの製造方法。 A method for producing the elastic sheet for a sealing device according to claim 1,
A transfer surface having a surface roughness Ra of 0.01 to 0.20 μm is prepared, a paste-like resin material is printed on the transfer surface, and a planar pattern to be an elastic layer is formed on the transfer surface with the paste-like resin material. Forming step,
Subsequent to the printing process, the mesh is arranged so as to cover the formed planar pattern, the mesh is pressed toward the transfer surface, and a part of the paste-like resin material enters the mesh opening, and the thickness a step of setting t1 and thickness t2 to a predetermined thickness;
After the step of pressing the mesh, a step of curing the paste-like resin material to form an elastic layer,
After the curing process, a process of peeling the elastic layer together with the mesh from the transfer surface,
The manufacturing method of the elastic sheet for sealing devices containing.
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