JP2017126074A - Photosensitive resin composition and cured film - Google Patents
Photosensitive resin composition and cured film Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017126074A JP2017126074A JP2017022725A JP2017022725A JP2017126074A JP 2017126074 A JP2017126074 A JP 2017126074A JP 2017022725 A JP2017022725 A JP 2017022725A JP 2017022725 A JP2017022725 A JP 2017022725A JP 2017126074 A JP2017126074 A JP 2017126074A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- photosensitive resin
- compound
- manufactured
- photopolymerization initiator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 96
- -1 vinyl ether compound Chemical class 0.000 claims abstract description 238
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 85
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 75
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 70
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 64
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 64
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 claims abstract description 18
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 52
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 41
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 30
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 26
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 23
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 claims description 23
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 22
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 claims description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 claims description 9
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 claims description 8
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 claims description 8
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 claims description 6
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 claims description 6
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 claims description 6
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 claims description 6
- 238000012663 cationic photopolymerization Methods 0.000 claims description 6
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N Borate Chemical compound [O-]B([O-])[O-] BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 5
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 68
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 36
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 32
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 31
- 229960000834 vinyl ether Drugs 0.000 description 30
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 24
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 23
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 23
- 239000000047 product Substances 0.000 description 22
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 21
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 19
- FNYWFRSQRHGKJT-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxymethyl]oxetane Chemical compound C1OCC1(CC)COCC1(CC)COC1 FNYWFRSQRHGKJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 18
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 238000011161 development Methods 0.000 description 17
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 17
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 17
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N Bisphenol A Natural products C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 15
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 15
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 14
- NFHFRUOZVGFOOS-UHFFFAOYSA-N palladium;triphenylphosphane Chemical compound [Pd].C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 NFHFRUOZVGFOOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 12
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 12
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 12
- LWNGJAHMBMVCJR-UHFFFAOYSA-N (2,3,4,5,6-pentafluorophenoxy)boronic acid Chemical compound OB(O)OC1=C(F)C(F)=C(F)C(F)=C1F LWNGJAHMBMVCJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 11
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 11
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 11
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- 125000003566 oxetanyl group Chemical group 0.000 description 11
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 9
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 9
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- LMIOYAVXLAOXJI-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[[4-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxymethyl]phenyl]methoxymethyl]oxetane Chemical compound C=1C=C(COCC2(CC)COC2)C=CC=1COCC1(CC)COC1 LMIOYAVXLAOXJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 8
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 8
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 8
- BIDWUUDRRVHZLQ-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-(2-ethylhexoxymethyl)oxetane Chemical compound CCCCC(CC)COCC1(CC)COC1 BIDWUUDRRVHZLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 5-(2,4-dioxooxolan-3-yl)-7-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C(C(OC2=O)=O)C2C(C)=CC1C1C(=O)COC1=O FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 7
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 7
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 7
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 7
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 7
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 7
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 6
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 6
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 6
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 6
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 6
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 6
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 6
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N Bisphenol F Natural products C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 5
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 5
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 5
- 229940106691 bisphenol a Drugs 0.000 description 5
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 5
- OZLBDYMWFAHSOQ-UHFFFAOYSA-N diphenyliodanium Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1 OZLBDYMWFAHSOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 5
- 125000003356 phenylsulfanyl group Chemical group [*]SC1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 5
- 229920000233 poly(alkylene oxides) Polymers 0.000 description 5
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 5
- NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N triethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OCC)(OCC)OCC NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 4
- RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1Cl RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KVNYFPKFSJIPBJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1CC KVNYFPKFSJIPBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AFZZYIJIWUTJFO-UHFFFAOYSA-N 1,3-diethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC(CC)=C1 AFZZYIJIWUTJFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DSNHSQKRULAAEI-UHFFFAOYSA-N 1,4-Diethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=C(CC)C=C1 DSNHSQKRULAAEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 4
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical group CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 4
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PFHLXMMCWCWAMA-UHFFFAOYSA-N [4-(4-diphenylsulfoniophenyl)sulfanylphenyl]-diphenylsulfanium Chemical compound C=1C=C([S+](C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=CC=1SC(C=C1)=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 PFHLXMMCWCWAMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 4
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 4
- OCKPCBLVNKHBMX-UHFFFAOYSA-N butylbenzene Chemical compound CCCCC1=CC=CC=C1 OCKPCBLVNKHBMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 4
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 4
- XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N methyl vinyl ether Chemical compound COC=C XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- NWAHZAIDMVNENC-UHFFFAOYSA-N octahydro-1h-4,7-methanoinden-5-yl methacrylate Chemical compound C12CCCC2C2CC(OC(=O)C(=C)C)C1C2 NWAHZAIDMVNENC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical compound C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 4
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 4
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- YTZKOQUCBOVLHL-UHFFFAOYSA-N tert-butylbenzene Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC=C1 YTZKOQUCBOVLHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UNMJLQGKEDTEKJ-UHFFFAOYSA-N (3-ethyloxetan-3-yl)methanol Chemical compound CCC1(CO)COC1 UNMJLQGKEDTEKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CYIGRWUIQAVBFG-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(2-ethenoxyethoxy)ethane Chemical compound C=COCCOCCOCCOC=C CYIGRWUIQAVBFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CZAVRNDQSIORTH-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-2,2-bis(ethenoxymethyl)butane Chemical compound C=COCC(CC)(COC=C)COC=C CZAVRNDQSIORTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SAMJGBVVQUEMGC-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-2-(2-ethenoxyethoxy)ethane Chemical compound C=COCCOCCOC=C SAMJGBVVQUEMGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 2,4-di(propan-2-yl)thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)C)=CC(C(C)C)=C3SC2=C1 BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 2-[2,2-bis(hydroxymethyl)butoxymethyl]-2-ethylpropane-1,3-diol Chemical compound CCC(CO)(CO)COCC(CC)(CO)CO WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GDHROTCPZLVPJT-UHFFFAOYSA-N 2-ethyloxetane Chemical compound CCC1CCO1 GDHROTCPZLVPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N Benzyl alcohol Chemical compound OCC1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 3
- LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N Dimethyl ether Chemical compound COC LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 3
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N [(e)-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethylideneamino] acetate Chemical compound C=1C=C2N(CC)C3=CC=C(C(\C)=N\OC(C)=O)C=C3C2=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1C SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N 0.000 description 3
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical class C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002877 alkyl aryl group Chemical group 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 description 3
- WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N bpda Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000019437 butane-1,3-diol Nutrition 0.000 description 3
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 3
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 3
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 3
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 3
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 3
- MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N iodonium Chemical compound [IH2+] MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N n-hexanoic acid Natural products CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 3
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 3
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 150000007519 polyprotic acids Polymers 0.000 description 3
- YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N propyl acetate Chemical compound CCCOC(C)=O YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 125000005409 triarylsulfonium group Chemical group 0.000 description 3
- HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OC HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VUWVDNLZJXLQPT-UHFFFAOYSA-N tripropoxy(propyl)silane Chemical compound CCCO[Si](CCC)(OCCC)OCCC VUWVDNLZJXLQPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N urethane group Chemical group NC(=O)OCC JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- CFXQEHVMCRXUSD-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-Trichloropropane Chemical compound ClCC(Cl)CCl CFXQEHVMCRXUSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDWRKTULOHXYGN-UHFFFAOYSA-N 1,3-bis(ethenoxy)-2,2-bis(ethenoxymethyl)propane Chemical compound C=COCC(COC=C)(COC=C)COC=C XDWRKTULOHXYGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GDXHBFHOEYVPED-UHFFFAOYSA-N 1-(2-butoxyethoxy)butane Chemical compound CCCCOCCOCCCC GDXHBFHOEYVPED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)O RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 1-propan-2-ylthioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2C(C)C YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WULAHPYSGCVQHM-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethenoxyethoxy)ethanol Chemical compound OCCOCCOC=C WULAHPYSGCVQHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRWADRITRNUCIY-UHFFFAOYSA-N 2-(2-propan-2-yloxyethoxy)ethanol Chemical compound CC(C)OCCOCCO HRWADRITRNUCIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYVAYAJYLWYJJN-UHFFFAOYSA-N 2-(2-propoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound CCCOC(C)COC(C)CO XYVAYAJYLWYJJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PTTPXKJBFFKCEK-UHFFFAOYSA-N 2-Methyl-4-heptanone Chemical compound CC(C)CC(=O)CC(C)C PTTPXKJBFFKCEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WAEVWDZKMBQDEJ-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methoxypropoxy)propoxy]propan-1-ol Chemical compound COC(C)COC(C)COC(C)CO WAEVWDZKMBQDEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VUIWJRYTWUGOOF-UHFFFAOYSA-N 2-ethenoxyethanol Chemical compound OCCOC=C VUIWJRYTWUGOOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UPGSWASWQBLSKZ-UHFFFAOYSA-N 2-hexoxyethanol Chemical compound CCCCCCOCCO UPGSWASWQBLSKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POSWICCRDBKBMH-UHFFFAOYSA-N 3,3,5-trimethylcyclohexan-1-one Chemical compound CC1CC(=O)CC(C)(C)C1 POSWICCRDBKBMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 3-(3-methoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound COCCCOCCCO QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UWFHYGTWXNRUDH-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[4-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxy]butoxymethyl]oxetane Chemical compound C1OCC1(CC)COCCCCOCC1(CC)COC1 UWFHYGTWXNRUDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DCOXQQBTTNZJBI-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[[4-[4-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxymethyl]phenyl]phenyl]methoxymethyl]oxetane Chemical group C=1C=C(C=2C=CC(COCC3(CC)COC3)=CC=2)C=CC=1COCC1(CC)COC1 DCOXQQBTTNZJBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 3-oxo-n-[2-(trifluoromethyl)phenyl]butanamide Chemical compound CC(=O)CC(=O)NC1=CC=CC=C1C(F)(F)F VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QRLSTWVLSWCGBT-UHFFFAOYSA-N 4-((4,6-bis(octylthio)-1,3,5-triazin-2-yl)amino)-2,6-di-tert-butylphenol Chemical compound CCCCCCCCSC1=NC(SCCCCCCCC)=NC(NC=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)=N1 QRLSTWVLSWCGBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NPDACUSDTOMAMK-UHFFFAOYSA-N 4-Chlorotoluene Chemical compound CC1=CC=C(Cl)C=C1 NPDACUSDTOMAMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HMBNQNDUEFFFNZ-UHFFFAOYSA-N 4-ethenoxybutan-1-ol Chemical compound OCCCCOC=C HMBNQNDUEFFFNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCFAJYNVAYBARA-UHFFFAOYSA-N 4-heptanone Chemical compound CCCC(=O)CCC HCFAJYNVAYBARA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MQWCXKGKQLNYQG-UHFFFAOYSA-N 4-methylcyclohexan-1-ol Chemical compound CC1CCC(O)CC1 MQWCXKGKQLNYQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Natural products CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YYLLIJHXUHJATK-UHFFFAOYSA-N Cyclohexyl acetate Chemical compound CC(=O)OC1CCCCC1 YYLLIJHXUHJATK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FFDGPVCHZBVARC-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylglycine Chemical compound CN(C)CC(O)=O FFDGPVCHZBVARC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 229910018286 SbF 6 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SEEVRZDUPHZSOX-UHFFFAOYSA-N [1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethylideneamino] acetate Chemical compound C=1C=C2N(CC)C3=CC=C(C(C)=NOC(C)=O)C=C3C2=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1C SEEVRZDUPHZSOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 2
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical group 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 2
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 2
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 2
- UYAAVKFHBMJOJZ-UHFFFAOYSA-N diimidazo[1,3-b:1',3'-e]pyrazine-5,10-dione Chemical compound O=C1C2=CN=CN2C(=O)C2=CN=CN12 UYAAVKFHBMJOJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PWWSSIYVTQUJQQ-UHFFFAOYSA-N distearyl thiodipropionate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)CCSCCC(=O)OCCCCCCCCCCCCCCCCCC PWWSSIYVTQUJQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monomethyl ether acetate Natural products COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- MLFHJEHSLIIPHL-UHFFFAOYSA-N isoamyl acetate Chemical compound CC(C)CCOC(C)=O MLFHJEHSLIIPHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- IVSZLXZYQVIEFR-UHFFFAOYSA-N m-xylene Chemical group CC1=CC=CC(C)=C1 IVSZLXZYQVIEFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- XVTQAXXMUNXFMU-UHFFFAOYSA-N methyl 2-(3-oxo-2-pyridin-2-yl-1h-pyrazol-5-yl)acetate Chemical compound N1C(CC(=O)OC)=CC(=O)N1C1=CC=CC=N1 XVTQAXXMUNXFMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000005065 mining Methods 0.000 description 2
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- 239000003348 petrochemical agent Substances 0.000 description 2
- 239000002530 phenolic antioxidant Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 229940116423 propylene glycol diacetate Drugs 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- ZJMWRROPUADPEA-UHFFFAOYSA-N sec-butylbenzene Chemical compound CCC(C)C1=CC=CC=C1 ZJMWRROPUADPEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- PNGLEYLFMHGIQO-UHFFFAOYSA-M sodium;3-(n-ethyl-3-methoxyanilino)-2-hydroxypropane-1-sulfonate;dihydrate Chemical compound O.O.[Na+].[O-]S(=O)(=O)CC(O)CN(CC)C1=CC=CC(OC)=C1 PNGLEYLFMHGIQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical class CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- URAYPUMNDPQOKB-UHFFFAOYSA-N triacetin Chemical compound CC(=O)OCC(OC(C)=O)COC(C)=O URAYPUMNDPQOKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FRGPKMWIYVTFIQ-UHFFFAOYSA-N triethoxy(3-isocyanatopropyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN=C=O FRGPKMWIYVTFIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N trimellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N trimellitic anhydride Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- 238000004383 yellowing Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- HJIAMFHSAAEUKR-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxyphenyl)-phenylmethanone Chemical compound OC1=CC=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 HJIAMFHSAAEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRSLDYIFOCTRHR-UHFFFAOYSA-N (3-benzoyl-4-ethylphenyl)-(4-ethylphenyl)methanone Chemical compound C1=CC(CC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(CC)C(C(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1 LRSLDYIFOCTRHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LTQBNYCMVZQRSD-UHFFFAOYSA-N (4-ethenylphenyl)-trimethoxysilane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=C(C=C)C=C1 LTQBNYCMVZQRSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QKAIFCSOWIMRJG-UHFFFAOYSA-N (4-methylphenyl)-(4-propan-2-ylphenyl)iodanium Chemical compound C1=CC(C(C)C)=CC=C1[I+]C1=CC=C(C)C=C1 QKAIFCSOWIMRJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N (z)-1-[(z)-octadec-9-enoxy]octadec-9-ene Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCOCCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N 0.000 description 1
- DPZSNGJNFHWQDC-ARJAWSKDSA-N (z)-2,3-diaminobut-2-enedinitrile Chemical compound N#CC(/N)=C(/N)C#N DPZSNGJNFHWQDC-ARJAWSKDSA-N 0.000 description 1
- GPHWXFINOWXMDN-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(ethenoxy)hexane Chemical compound CCCCCC(OC=C)OC=C GPHWXFINOWXMDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMOUUZVZFBCRAM-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride Chemical compound C1C=CCC2C(=O)OC(=O)C21 KMOUUZVZFBCRAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CGXVUIBINWTLNT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-tris(ethenoxy)propane Chemical compound C=COCC(OC=C)COC=C CGXVUIBINWTLNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SKYXLDSRLNRAPS-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-trifluoro-5-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC(F)=C(F)C=C1F SKYXLDSRLNRAPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IXJJELULBDAIMY-UHFFFAOYSA-N 1,2,5,6-tetrahydrotriazine Chemical compound C1CC=NNN1 IXJJELULBDAIMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DIIIISSCIXVANO-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dimethylhydrazine Chemical compound CNNC DIIIISSCIXVANO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXHDVRATSGZISC-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenoxy)ethane Chemical compound C=COCCOC=C ZXHDVRATSGZISC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXSVCBDMOGLGFA-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenoxy)propane Chemical compound C=COC(C)COC=C LXSVCBDMOGLGFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethoxyethane Chemical compound CCOCCOCC LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propan-2-yloxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC(C)C)C(=O)C1=CC=CC=C1 MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940058015 1,3-butylene glycol Drugs 0.000 description 1
- ZPQOPVIELGIULI-UHFFFAOYSA-N 1,3-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC(Cl)=C1 ZPQOPVIELGIULI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 1,3-propanediol Substances OCCCO YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWZJGRDWJVHRDV-UHFFFAOYSA-N 1,4-bis(ethenoxy)butane Chemical compound C=COCCCCOC=C MWZJGRDWJVHRDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VNQXSTWCDUXYEZ-UHFFFAOYSA-N 1,7,7-trimethylbicyclo[2.2.1]heptane-2,3-dione Chemical compound C1CC2(C)C(=O)C(=O)C1C2(C)C VNQXSTWCDUXYEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAVARTIQQDZFNT-UHFFFAOYSA-N 1-(1-methoxypropan-2-yloxy)propan-2-yl acetate Chemical compound COCC(C)OCC(C)OC(C)=O LAVARTIQQDZFNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYUWIMGIHNMKSD-UHFFFAOYSA-N 1-(2-chloroethoxy)-2-ethenoxyethane Chemical compound ClCCOCCOC=C DYUWIMGIHNMKSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYMDJPGTQFHDSA-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethenoxyethoxy)-2-ethoxyethane Chemical compound CCOCCOCCOC=C AYMDJPGTQFHDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UNMYKPSSIFZORM-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethenoxyethoxy)butane Chemical compound CCCCOCCOC=C UNMYKPSSIFZORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWOZZTWBWQMEPD-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethoxypropoxy)propan-2-ol Chemical compound CCOC(C)COCC(C)O QWOZZTWBWQMEPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLWGMEDURRDUPO-UHFFFAOYSA-N 1-(ethenoxymethyl)-4-methylcyclohexane Chemical compound CC1CCC(COC=C)CC1 KLWGMEDURRDUPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSHKLLPSERFSRJ-UHFFFAOYSA-N 1-(naphthalen-1-ylmethyl)pyridin-1-ium-2-carbonitrile Chemical compound N#CC1=CC=CC=[N+]1CC1=CC=CC2=CC=CC=C12 VSHKLLPSERFSRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBSKXJSZGYXFFB-UHFFFAOYSA-N 1-benzylpyridin-1-ium-2-carbonitrile Chemical compound N#CC1=CC=CC=[N+]1CC1=CC=CC=C1 OBSKXJSZGYXFFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-dichlorophosphoryloxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OP(Cl)(Cl)=O VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNJRKFKAFWSXSE-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-ethenoxyethane Chemical compound ClCCOC=C DNJRKFKAFWSXSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBSQPLPBRSHTTG-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC=C1Cl IBSQPLPBRSHTTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEWSCXZLUPKET-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-4-ethenoxybutane Chemical compound ClCCCCOC=C PNEWSCXZLUPKET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCBQKJQXUPVHFJ-UHFFFAOYSA-N 1-cyclopenta-2,4-dien-1-yl-2-propan-2-ylbenzene Chemical compound CC(C)C1=CC=CC=C1C1C=CC=C1 UCBQKJQXUPVHFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNOHWNUIQSHFEJ-UHFFFAOYSA-N 1-cyclopenta-2,4-dien-1-yl-2-propan-2-ylbenzene;iron Chemical compound [Fe].CC(C)C1=CC=CC=C1C1C=CC=C1 CNOHWNUIQSHFEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HWCLMKDWXUGDKL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-2-ethoxyethane Chemical compound CCOCCOC=C HWCLMKDWXUGDKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GXZPMXGRNUXGHN-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-2-methoxyethane Chemical compound COCCOC=C GXZPMXGRNUXGHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxybutane Chemical compound CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAYAKLSFVAPMEL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxydodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC=C LAYAKLSFVAPMEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MIMKRVLJPMYKID-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxynonane Chemical compound CCCCCCCCCOC=C MIMKRVLJPMYKID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HAVHPQLVZUALTL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxypropan-2-ol Chemical compound CC(O)COC=C HAVHPQLVZUALTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVGRCEFMXPHEBL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxypropane Chemical compound CCCOC=C OVGRCEFMXPHEBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSKPJQYAHCKJQC-UHFFFAOYSA-N 1-ethylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2CC HSKPJQYAHCKJQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOVZUKKPYKRVIK-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-yl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC(C)COC DOVZUKKPYKRVIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 1-methylsulfonylpiperidin-4-one Chemical compound CS(=O)(=O)N1CCC(=O)CC1 RTBFRGCFXZNCOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001637 1-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C(*)=C([H])C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 1
- IBLKWZIFZMJLFL-UHFFFAOYSA-N 1-phenoxypropan-2-ol Chemical compound CC(O)COC1=CC=CC=C1 IBLKWZIFZMJLFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULQISTXYYBZJSJ-UHFFFAOYSA-N 12-hydroxyoctadecanoic acid Chemical compound CCCCCCC(O)CCCCCCCCCCC(O)=O ULQISTXYYBZJSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940114072 12-hydroxystearic acid Drugs 0.000 description 1
- NOGFHTGYPKWWRX-UHFFFAOYSA-N 2,2,6,6-tetramethyloxan-4-one Chemical compound CC1(C)CC(=O)CC(C)(C)O1 NOGFHTGYPKWWRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMIZWXDKTUGEES-UHFFFAOYSA-N 2,2-di(cyclopenten-1-yloxy)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C=1CCCC=1OC(COC(=O)C(=C)C)OC1=CCCC1 JMIZWXDKTUGEES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIZHFBODNLEQBL-UHFFFAOYSA-N 2,2-diethoxy-1-phenylethanone Chemical compound CCOC(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 PIZHFBODNLEQBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBNGHXWJFSMASY-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-tris(dimethylamino)phenol Chemical compound CN(C)C1=CC=C(O)C(N(C)C)=C1N(C)C NBNGHXWJFSMASY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRIMLDXJAPZHJE-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydroxypropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(O)CO QRIMLDXJAPZHJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVSKIKFHRZPJSS-UHFFFAOYSA-N 2,4-D Chemical compound OC(=O)COC1=CC=C(Cl)C=C1Cl OVSKIKFHRZPJSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVUXDWXKPROUDO-UHFFFAOYSA-N 2,6-di-tert-butyl-4-ethylphenol Chemical compound CCC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 BVUXDWXKPROUDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLUKQUGVTITNSY-UHFFFAOYSA-N 2,6-di-tert-butyl-4-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 SLUKQUGVTITNSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKCPKDPYUFEZCP-UHFFFAOYSA-N 2,6-di-tert-butylphenol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(C(C)(C)C)=C1O DKCPKDPYUFEZCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJDRKHHGPHLVNI-UHFFFAOYSA-N 2,6-ditert-butyl-4-(diethoxyphosphorylmethyl)phenol Chemical compound CCOP(=O)(OCC)CC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 GJDRKHHGPHLVNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QIRUERQWPNHWRC-UHFFFAOYSA-N 2-(1,3-benzodioxol-5-ylmethyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(CC=2C=C3OCOC3=CC=2)=N1 QIRUERQWPNHWRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URQQDYIVGXOEDA-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethenoxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=COCCOCCOC(=O)C=C URQQDYIVGXOEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOC(C)=O FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJWZDTGRJUXOCE-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethylhexyl)oxetane Chemical compound CCCCC(CC)CC1CCO1 LJWZDTGRJUXOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRHHZFRCJDAUNA-UHFFFAOYSA-N 2-(4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 QRHHZFRCJDAUNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPNIGZBDAMWHSX-UHFFFAOYSA-N 2-(4-methylphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 MPNIGZBDAMWHSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJRUAPNVLBABCN-UHFFFAOYSA-N 2-(ethenoxymethyl)oxirane Chemical compound C=COCC1CO1 JJRUAPNVLBABCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIUSRIAANRCPGF-UHFFFAOYSA-N 2-(ethenoxymethyl)oxolane Chemical compound C=COCC1CCCO1 UIUSRIAANRCPGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTUVQQKHBMGYEH-UHFFFAOYSA-N 2-(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC=NC=N1 QTUVQQKHBMGYEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)C WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDLXTDLGTWNUFM-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-methylpropan-2-yl)oxy]ethanol Chemical compound CC(C)(C)OCCO BDLXTDLGTWNUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDSQBDGCMUXRBM-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-butoxypropoxy)propoxy]propan-1-ol Chemical compound CCCCOC(C)COC(C)COC(C)CO JDSQBDGCMUXRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BXYWKXBAMJYTKP-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-(3-sulfanylpropanoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethyl 3-sulfanylpropanoate Chemical compound SCCC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)CCS BXYWKXBAMJYTKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSRJVOOOWGXUDY-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[3-(3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl)propanoyloxy]ethoxy]ethoxy]ethyl 3-(3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl)propanoate Chemical compound CC(C)(C)C1=C(O)C(C)=CC(CCC(=O)OCCOCCOCCOC(=O)CCC=2C=C(C(O)=C(C)C=2)C(C)(C)C)=C1 QSRJVOOOWGXUDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFBJXXJYHWLXRM-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoyloxy]ethylsulfanyl]ethyl 3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoate Chemical compound CC(C)(C)C1=C(O)C(C(C)(C)C)=CC(CCC(=O)OCCSCCOC(=O)CCC=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)=C1 VFBJXXJYHWLXRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOSCOJBBKOVIOM-UHFFFAOYSA-N 2-aminoethanol;octadecanoic acid Chemical compound NCCO.CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O XOSCOJBBKOVIOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGTYTUFKXYPTML-UHFFFAOYSA-N 2-benzoylbenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 FGTYTUFKXYPTML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 2-chlorothioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC=C3SC2=C1 ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001731 2-cyanoethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C([H])([H])C#N 0.000 description 1
- IELQNQLDZIHBPK-UHFFFAOYSA-N 2-ethenoxy-1-ethoxy-1-methoxyethane Chemical compound CCOC(OC)COC=C IELQNQLDZIHBPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGYJSURPYAAOMM-UHFFFAOYSA-N 2-ethenoxy-2-methylpropane Chemical compound CC(C)(C)OC=C PGYJSURPYAAOMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUELSYYMNDBLHV-UHFFFAOYSA-N 2-ethenoxyethylbenzene Chemical compound C=COCCC1=CC=CC=C1 OUELSYYMNDBLHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPXVRLXJHPTCPW-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-(4-propan-2-ylphenyl)propan-1-one Chemical compound CC(C)C1=CC=C(C(=O)C(C)(C)O)C=C1 QPXVRLXJHPTCPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl methacrylate Chemical compound CC(O)COC(=O)C(C)=C VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(O)COC(=O)C=C GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPNXHTDWGGVXID-UHFFFAOYSA-N 2-isocyanatoethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCN=C=O DPNXHTDWGGVXID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OELQSSWXRGADDE-UHFFFAOYSA-N 2-methylprop-2-eneperoxoic acid Chemical compound CC(=C)C(=O)OO OELQSSWXRGADDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWGRWMMWNDWRQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropane-1,3-diol Chemical compound OCC(C)CO QWGRWMMWNDWRQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 2-methylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3SC2=C1 MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTEVZRQIBGJEHG-UHFFFAOYSA-N 2-naphthalen-1-yl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)=N1 ZTEVZRQIBGJEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HAZQZUFYRLFOLC-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 HAZQZUFYRLFOLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCGFUIQPSOCUHI-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-yloxyethanol Chemical compound CC(C)OCCO HCGFUIQPSOCUHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTALPKYXQZGAEG-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-ylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)C)=CC=C3SC2=C1 KTALPKYXQZGAEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYXBMCIMPXOBLB-UHFFFAOYSA-N 3,4,5-tris(dimethylamino)-2-methylphenol Chemical compound CN(C)C1=CC(O)=C(C)C(N(C)C)=C1N(C)C XYXBMCIMPXOBLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMTQQYYKAHVGBJ-UHFFFAOYSA-N 3-(3,4-DICHLOROPHENYL)-1,1-DIMETHYLUREA Chemical compound CN(C)C(=O)NC1=CC=C(Cl)C(Cl)=C1 XMTQQYYKAHVGBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSSAWHFZNWVJEC-UHFFFAOYSA-N 3-(ethenoxymethyl)heptane Chemical compound CCCCC(CC)COC=C DSSAWHFZNWVJEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKXMZIDBVDIVME-UHFFFAOYSA-N 3-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxy]-2,2-bis[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxymethyl]propan-1-ol Chemical compound C1OCC1(CC)COCC(CO)(COCC1(CC)COC1)COCC1(CC)COC1 WKXMZIDBVDIVME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKNOYISMZFDLQP-UHFFFAOYSA-N 3-[1-[2-(oxetan-3-yl)butoxy]butan-2-yl]oxetane Chemical compound C1OCC1C(CC)COCC(CC)C1COC1 MKNOYISMZFDLQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOYKFSOCSXVQAN-UHFFFAOYSA-N 3-[diethoxy(methyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C DOYKFSOCSXVQAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propane-1-thiol Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCS IKYAJDOSWUATPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZMNXXQIQIHFGC-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C LZMNXXQIQIHFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPAGVACEWQNVQO-UHFFFAOYSA-N 3-acetyloxybutyl acetate Chemical compound CC(=O)OC(C)CCOC(C)=O MPAGVACEWQNVQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXYZDRAJMHGSMW-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCCl OXYZDRAJMHGSMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUXZNIDKDPLYBY-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-(phenoxymethyl)oxetane Chemical compound C=1C=CC=CC=1OCC1(CC)COC1 JUXZNIDKDPLYBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARTCZOWQELAGLQ-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[2-[2-[2-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxymethyl]oxetane Chemical compound C1OCC1(CC)COCCOCCOCCOCC1(CC)COC1 ARTCZOWQELAGLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GBDPVIKGIRHANI-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[6-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxy]hexoxymethyl]oxetane Chemical compound C1OCC1(CC)COCCCCCCOCC1(CC)COC1 GBDPVIKGIRHANI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPINXYMPRYQBGF-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-3-[[3-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxy]-2,2-bis[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxymethyl]propoxy]methyl]oxetane Chemical compound C1OCC1(CC)COCC(COCC1(CC)COC1)(COCC1(CC)COC1)COCC1(CC)COC1 HPINXYMPRYQBGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CGRJJOYCFCCGPX-UHFFFAOYSA-N 3-ethyloxetane Chemical compound CCC1COC1 CGRJJOYCFCCGPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl Chemical group [CH2]CCO QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSGVZVOGOQILFM-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-1-butanol Chemical compound COC(C)CCO JSGVZVOGOQILFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-3-methylbutan-1-ol Chemical compound COC(C)(C)CCO MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMYGFTJCQFEDST-UHFFFAOYSA-N 3-methoxybutyl acetate Chemical compound COC(C)CCOC(C)=O QMYGFTJCQFEDST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropyl acetate Chemical compound COCCCOC(C)=O CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPFCZYUVICHKDS-UHFFFAOYSA-N 3-methylbutane-1,3-diol Chemical compound CC(C)(O)CCO XPFCZYUVICHKDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 3-propoxypropan-1-ol Chemical compound CCCOCCCO LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVNLBBGBASVLLI-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropylurea Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCNC(N)=O LVNLBBGBASVLLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C=C KBQVDAIIQCXKPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMMBJOWWRLZEMI-UHFFFAOYSA-N 4,5,6,7-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCCC2=C1C(=O)OC2=O HMMBJOWWRLZEMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJKNCPOJPNPARL-UHFFFAOYSA-N 4-(1-diethoxyphosphorylpentyl)phenol Chemical compound CCCCC(P(=O)(OCC)OCC)C1=CC=C(O)C=C1 IJKNCPOJPNPARL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDZSMFQGGFPQIM-UHFFFAOYSA-N 4-[3,5-bis(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)-2,4,6-trimethylphenyl]-2,6-ditert-butylphenol Chemical compound CC1=C(C=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)C(C)=C(C=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)C(C)=C1C1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 HDZSMFQGGFPQIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IRQWEODKXLDORP-UHFFFAOYSA-N 4-ethenylbenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C=C)C=C1 IRQWEODKXLDORP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-butyl Chemical group [CH2]CCCO SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXBYUPMEYVDXIQ-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound CC1CCCC2C(=O)OC(=O)C12 QXBYUPMEYVDXIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPEKVUUBSDFMDR-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound CC1C=CCC2C(=O)OC(=O)C12 XPEKVUUBSDFMDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRKPGWQEKNEVEU-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(3-triethoxysilylpropyl)pentan-2-imine Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN=C(C)CC(C)C PRKPGWQEKNEVEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OECTYKWYRCHAKR-UHFFFAOYSA-N 4-vinylcyclohexene dioxide Chemical compound C1OC1C1CC2OC2CC1 OECTYKWYRCHAKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHQZDNQHLGFBRN-UHFFFAOYSA-N 5-ethenyl-1h-imidazole Chemical compound C=CC1=CNC=N1 MHQZDNQHLGFBRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKBMTBAXDISZGN-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C(C)CCC2C(=O)OC(=O)C12 FKBMTBAXDISZGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEMSKMUAMXLNKL-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C(C)=CCC2C(=O)OC(=O)C12 OEMSKMUAMXLNKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZVVFVKJZNVSANF-UHFFFAOYSA-N 6-[3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoyloxy]hexyl 3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoate Chemical compound CC(C)(C)C1=C(O)C(C(C)(C)C)=CC(CCC(=O)OCCCCCCOC(=O)CCC=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)=C1 ZVVFVKJZNVSANF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSDOEPZLSFQIHB-UHFFFAOYSA-N 7-methylidene-4,7a-dihydro-3ah-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C=C1C=CCC2C(=O)OC(=O)C12 HSDOEPZLSFQIHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYVYAPXYZVYDHN-UHFFFAOYSA-N 9,10-phenanthroquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=O)C3=CC=CC=C3C2=C1 YYVYAPXYZVYDHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002014 Aerosil® 130 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002018 Aerosil® 300 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002019 Aerosil® 380 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002020 Aerosil® OX 50 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002021 Aerosil® TT 600 Inorganic materials 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N Betaine Natural products C[N+](C)(C)CC([O-])=O KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N Butylhydroxytoluene Chemical compound CC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXUVOAQVBKTWKE-UHFFFAOYSA-N C(C1CO1)OCC1(CCCCC1)COC=C Chemical compound C(C1CO1)OCC1(CCCCC1)COC=C XXUVOAQVBKTWKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YVTJLQRLXQBMCW-UHFFFAOYSA-N C(CCC)OC(C)COC(C)CO.C(C)(=O)OCC.CC(COC(C)CO)O Chemical compound C(CCC)OC(C)COC(C)CO.C(C)(=O)OCC.CC(COC(C)CO)O YVTJLQRLXQBMCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- REBGHTBPWYPYLC-UHFFFAOYSA-N C=CC1=CC=CC=C1.C(=C)OCCOCCOCCOC=C Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.C(=C)OCCOCCOCCOC=C REBGHTBPWYPYLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWPQBBYOEGMEDH-UHFFFAOYSA-N CN(C(C)=O)C.ClC1=CC(=CC=C1)Cl Chemical compound CN(C(C)=O)C.ClC1=CC(=CC=C1)Cl LWPQBBYOEGMEDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQEVVRBSPXLHGB-UHFFFAOYSA-N COC(CCO)(C)C.CC(CCO)(C)O Chemical compound COC(CCO)(C)C.CC(CCO)(C)O MQEVVRBSPXLHGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRUAPPUOHGNLGE-UHFFFAOYSA-N COC.C(C)C1(COC1)CO Chemical compound COC.C(C)C1(COC1)CO MRUAPPUOHGNLGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N Caprylic acid Natural products CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000298 Cellophane Polymers 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004709 Chlorinated polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004386 Erythritol Substances 0.000 description 1
- UNXHWFMMPAWVPI-UHFFFAOYSA-N Erythritol Natural products OCC(O)C(O)CO UNXHWFMMPAWVPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001157 Fourier transform infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N Hydroxylamine Chemical compound ON AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKOBUGCCXMIKDM-UHFFFAOYSA-N Irganox 1098 Chemical compound CC(C)(C)C1=C(O)C(C(C)(C)C)=CC(CCC(=O)NCCCCCCNC(=O)CCC=2C=C(C(O)=C(C=2)C(C)(C)C)C(C)(C)C)=C1 OKOBUGCCXMIKDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- NQSMEZJWJJVYOI-UHFFFAOYSA-N Methyl 2-benzoylbenzoate Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 NQSMEZJWJJVYOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-O N,N,N-trimethylglycinium Chemical compound C[N+](C)(C)CC(O)=O KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 208000019651 NDE1-related microhydranencephaly Diseases 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 230000002292 Radical scavenging effect Effects 0.000 description 1
- 229910002049 SYLYSIA SY470 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002262 Schiff base Substances 0.000 description 1
- 150000004753 Schiff bases Chemical class 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000750042 Vini Species 0.000 description 1
- 229920002433 Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer Polymers 0.000 description 1
- ORLQHILJRHBSAY-UHFFFAOYSA-N [1-(hydroxymethyl)cyclohexyl]methanol Chemical compound OCC1(CO)CCCCC1 ORLQHILJRHBSAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWHGIWAFWOWTCR-UHFFFAOYSA-N [1-isocyanato-1-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)(OC(=O)C(C)=C)N=C=O OWHGIWAFWOWTCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VCFFZAQQHCLMNH-UHFFFAOYSA-N [3-(6-prop-2-enoyloxyhexanoyloxy)-2-[[3-(6-prop-2-enoyloxyhexanoyloxy)-2,2-bis(6-prop-2-enoyloxyhexanoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(6-prop-2-enoyloxyhexanoyloxymethyl)propyl] 6-prop-2-enoyloxyhexanoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCC(=O)OCC(COC(=O)CCCCCOC(=O)C=C)(COC(=O)CCCCCOC(=O)C=C)COCC(COC(=O)CCCCCOC(=O)C=C)(COC(=O)CCCCCOC(=O)C=C)COC(=O)CCCCCOC(=O)C=C VCFFZAQQHCLMNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N [4-(4-methylphenyl)sulfanylphenyl]-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1SC1=CC=C(C(=O)C=2C=CC=CC=2)C=C1 DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UKLDJPRMSDWDSL-UHFFFAOYSA-L [dibutyl(dodecanoyloxy)stannyl] dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)O[Sn](CCCC)(CCCC)OC(=O)CCCCCCCCCCC UKLDJPRMSDWDSL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N [phenyl-(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphoryl]-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C(=O)C1=C(C)C=C(C)C=C1C GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- KLUDQUOLAFVLOL-UHFFFAOYSA-N acetyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC(C)=O KLUDQUOLAFVLOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N acrylic acid methyl ester Natural products COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001447 alkali salts Chemical class 0.000 description 1
- 125000005370 alkoxysilyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N ammonium lauryl sulfate Chemical compound [NH4+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940063953 ammonium lauryl sulfate Drugs 0.000 description 1
- PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N anhydrous amyl acetate Natural products CCCCCOC(C)=O PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N anhydrous glutaric acid Natural products OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical group 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- CIZVQWNPBGYCGK-UHFFFAOYSA-N benzenediazonium Chemical compound N#[N+]C1=CC=CC=C1 CIZVQWNPBGYCGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019445 benzyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229960003237 betaine Drugs 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- AENNXXRRACDJAY-UHFFFAOYSA-N bis(2-dodecylphenyl)iodanium Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1[I+]C1=CC=CC=C1CCCCCCCCCCCC AENNXXRRACDJAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QDVNNDYBCWZVTI-UHFFFAOYSA-N bis[4-(ethylamino)phenyl]methanone Chemical compound C1=CC(NCC)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(NCC)C=C1 QDVNNDYBCWZVTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229930006711 bornane-2,3-dione Natural products 0.000 description 1
- GGAUUQHSCNMCAU-UHFFFAOYSA-N butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)C(C(O)=O)CC(O)=O GGAUUQHSCNMCAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- YHASWHZGWUONAO-UHFFFAOYSA-N butanoyl butanoate Chemical compound CCCC(=O)OC(=O)CCC YHASWHZGWUONAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRBSDIBKIHSJH-UHFFFAOYSA-N butyl(tripropoxy)silane Chemical compound CCCC[Si](OCCC)(OCCC)OCCC GNRBSDIBKIHSJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 125000001951 carbamoylamino group Chemical group C(N)(=O)N* 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001733 carboxylic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000010980 cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 1
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000739 chaotic effect Effects 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- ZBJIZESEHRYBBS-UHFFFAOYSA-N cumene iron(2+) Chemical compound [Fe+2].CC(C)C1=CC=CC=C1 ZBJIZESEHRYBBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGNCLNQXLYJVJD-UHFFFAOYSA-N cyanuric chloride Chemical compound ClC1=NC(Cl)=NC(Cl)=N1 MGNCLNQXLYJVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEIOBOXBGYWJIT-UHFFFAOYSA-N cyclohexane;methanol Chemical compound OC.OC.C1CCCCC1 VEIOBOXBGYWJIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMVIPXWCEHBYAH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone;ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O.O=C1CCCCC1 JMVIPXWCEHBYAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O diazynium Chemical compound [NH+]#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- AQNSVANSEBPSMK-UHFFFAOYSA-N dicyclopentenyl methacrylate Chemical compound C12CC=CC2C2CC(OC(=O)C(=C)C)C1C2.C12C=CCC2C2CC(OC(=O)C(=C)C)C1C2 AQNSVANSEBPSMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJTGYJODGVUOGO-UHFFFAOYSA-N diethoxy-methyl-propylsilane Chemical compound CCC[Si](C)(OCC)OCC UJTGYJODGVUOGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVCOIAYSJZGECG-UHFFFAOYSA-N diethylhydroxylamine Chemical compound CCN(O)CC FVCOIAYSJZGECG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRYCXMBFJDGADV-UHFFFAOYSA-N dimethyl(propyl)silicon Chemical compound CCC[Si](C)C YRYCXMBFJDGADV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Natural products C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWZDULOODZHVCQ-UHFFFAOYSA-N diphenyl-(4-phenylsulfanylphenyl)sulfanium Chemical compound C=1C=C([S+](C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=CC=1SC1=CC=CC=C1 OWZDULOODZHVCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N diphenylphosphoryl-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- KGGOIDKBHYYNIC-UHFFFAOYSA-N ditert-butyl 4-[3,4-bis(tert-butylperoxycarbonyl)benzoyl]benzene-1,2-dicarboperoxoate Chemical compound C1=C(C(=O)OOC(C)(C)C)C(C(=O)OOC(C)(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(C(=O)OOC(C)(C)C)C(C(=O)OOC(C)(C)C)=C1 KGGOIDKBHYYNIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVBODZPPYSSMEL-UHFFFAOYSA-N dodecyl sulfate;2-hydroxyethylazanium Chemical compound NCCO.CCCCCCCCCCCCOS(O)(=O)=O QVBODZPPYSSMEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZKFHQMONDVVNF-UHFFFAOYSA-N dodecyl sulfate;tris(2-hydroxyethyl)azanium Chemical compound OCCN(CCO)CCO.CCCCCCCCCCCCOS(O)(=O)=O JZKFHQMONDVVNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- UNXHWFMMPAWVPI-ZXZARUISSA-N erythritol Chemical compound OC[C@H](O)[C@H](O)CO UNXHWFMMPAWVPI-ZXZARUISSA-N 0.000 description 1
- 229940009714 erythritol Drugs 0.000 description 1
- 235000019414 erythritol Nutrition 0.000 description 1
- AZDCYKCDXXPQIK-UHFFFAOYSA-N ethenoxymethylbenzene Chemical compound C=COCC1=CC=CC=C1 AZDCYKCDXXPQIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BIUZXWXXSCLGNK-UHFFFAOYSA-N ethenoxymethylcyclohexane Chemical compound C=COCC1CCCCC1 BIUZXWXXSCLGNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 229940052303 ethers for general anesthesia Drugs 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 239000001087 glyceryl triacetate Substances 0.000 description 1
- 235000013773 glyceryl triacetate Nutrition 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical group 0.000 description 1
- IXDBUVCZCLQKJF-UHFFFAOYSA-N hexadecyl 3-(3-hexadecoxy-3-oxopropyl)sulfanylpropanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)CCSCCC(=O)OCCCCCCCCCCCCCCCC IXDBUVCZCLQKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PKHMTIRCAFTBDS-UHFFFAOYSA-N hexanoyl hexanoate Chemical compound CCCCCC(=O)OC(=O)CCCCC PKHMTIRCAFTBDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- 125000001165 hydrophobic group Chemical group 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 235000013847 iso-butane Nutrition 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940117955 isoamyl acetate Drugs 0.000 description 1
- NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N isobutane Chemical compound CC(C)C NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940035429 isobutyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- LRDFRRGEGBBSRN-UHFFFAOYSA-N isobutyronitrile Chemical compound CC(C)C#N LRDFRRGEGBBSRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N linalool Chemical compound CC(C)=CCCC(C)(O)C=C CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- RBQRWNWVPQDTJJ-UHFFFAOYSA-N methacryloyloxyethyl isocyanate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCN=C=O RBQRWNWVPQDTJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLHXLHGIAMFFBU-UHFFFAOYSA-N methyl phenylglyoxalate Chemical compound COC(=O)C(=O)C1=CC=CC=C1 YLHXLHGIAMFFBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 150000002762 monocarboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- INJVFBCDVXYHGQ-UHFFFAOYSA-N n'-(3-triethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCNCCN INJVFBCDVXYHGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N n'-[3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCNCCN MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYZFTMMPKCOTAN-UHFFFAOYSA-N n-[2-(2-hydroxyethylamino)ethyl]-2-[[1-[2-(2-hydroxyethylamino)ethylamino]-2-methyl-1-oxopropan-2-yl]diazenyl]-2-methylpropanamide Chemical compound OCCNCCNC(=O)C(C)(C)N=NC(C)(C)C(=O)NCCNCCO QYZFTMMPKCOTAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RMTGISUVUCWJIT-UHFFFAOYSA-N n-[3-[3-aminopropoxy(dimethoxy)silyl]propyl]-1-phenylprop-2-en-1-amine;hydrochloride Chemical compound Cl.NCCCO[Si](OC)(OC)CCCNC(C=C)C1=CC=CC=C1 RMTGISUVUCWJIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-M naphthalene-1-sulfonate Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)[O-])=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940078552 o-xylene Drugs 0.000 description 1
- SSDSCDGVMJFTEQ-UHFFFAOYSA-N octadecyl 3-(3,5-ditert-butyl-4-hydroxyphenyl)propanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)CCC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 SSDSCDGVMJFTEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 229920002601 oligoester Polymers 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N phenyl-(4-phenylphenyl)methanone Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC=CC=2)C=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 LYXOWKPVTCPORE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- FFZANLXOAFSSGC-UHFFFAOYSA-N phosphide(1-) Chemical class [P-] FFZANLXOAFSSGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJMIONKXNSYLSR-UHFFFAOYSA-N phosphorous acid Chemical compound OP(O)O OJMIONKXNSYLSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960005235 piperonyl butoxide Drugs 0.000 description 1
- 125000004591 piperonyl group Chemical group C(C1=CC=2OCOC2C=C1)* 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000259 polyoxyethylene lauryl ether Polymers 0.000 description 1
- 239000001818 polyoxyethylene sorbitan monostearate Substances 0.000 description 1
- 235000010989 polyoxyethylene sorbitan monostearate Nutrition 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000166 polytrimethylene carbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- AZIQALWHRUQPHV-UHFFFAOYSA-N prop-2-eneperoxoic acid Chemical compound OOC(=O)C=C AZIQALWHRUQPHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYVAMUWZEOHJOQ-UHFFFAOYSA-N propionic anhydride Chemical compound CCC(=O)OC(=O)CC WYVAMUWZEOHJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940090181 propyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M salicylate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C([O-])=O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960001860 salicylate Drugs 0.000 description 1
- 229930195734 saturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N sec-butylidene Natural products CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005373 siloxane group Chemical group [SiH2](O*)* 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940080264 sodium dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- 235000019333 sodium laurylsulphate Nutrition 0.000 description 1
- RYYKJJJTJZKILX-UHFFFAOYSA-M sodium octadecanoate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O RYYKJJJTJZKILX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000010129 solution processing Methods 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 150000003440 styrenes Chemical class 0.000 description 1
- RINCXYDBBGOEEQ-UHFFFAOYSA-N succinic anhydride Chemical compound O=C1CCC(=O)O1 RINCXYDBBGOEEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 125000001174 sulfone group Chemical group 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O sulfonium Chemical compound [SH3+] RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000004291 sulphur dioxide Substances 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000006158 tetracarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 150000000000 tetracarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- LVEOKSIILWWVEO-UHFFFAOYSA-N tetradecyl 3-(3-oxo-3-tetradecoxypropyl)sulfanylpropanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCOC(=O)CCSCCC(=O)OCCCCCCCCCCCCCC LVEOKSIILWWVEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000101 thioether group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229960002622 triacetin Drugs 0.000 description 1
- VDLYBDPIUUXJRJ-UHFFFAOYSA-N tributyl(propyl)silane Chemical compound CCCC[Si](CCC)(CCCC)CCCC VDLYBDPIUUXJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C=C GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTHOKNTVYKTUPI-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(3-triethoxysilylpropyltetrasulfanyl)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCSSSSCCC[Si](OCC)(OCC)OCC VTHOKNTVYKTUPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOCC1CO1 JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAMLUOSQYHLFCT-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-[(3-ethyloxetan-3-yl)methoxy]propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOCC1(CC)COC1 GAMLUOSQYHLFCT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RXJKFRMDXUJTEX-UHFFFAOYSA-N triethylphosphine Chemical compound CCP(CC)CC RXJKFRMDXUJTEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNWMJFBAIXMNOF-UHFFFAOYSA-N trimethyl(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](C)(C)C WNWMJFBAIXMNOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N trimethylolethane Chemical compound OCC(C)(CO)CO QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLOQLWBIJZDHET-UHFFFAOYSA-N triphenylsulfonium Chemical compound C1=CC=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 WLOQLWBIJZDHET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012953 triphenylsulfonium Substances 0.000 description 1
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195735 unsaturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000005050 vinyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000004394 yellowing prevention Methods 0.000 description 1
- INRGAWUQFOBNKL-UHFFFAOYSA-N {4-[(Vinyloxy)methyl]cyclohexyl}methanol Chemical compound OCC1CCC(COC=C)CC1 INRGAWUQFOBNKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
本発明は、感光性樹脂組成物およびそれを用いて形成したタッチパネル用に適した硬化膜に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition and a cured film suitable for a touch panel formed using the same.
近年、電子機器の高機能化や多様化や小型軽量化が進むに伴い、液晶等の表示素子の前面に透明タッチパネルを装着し、この透明タッチパネルを通して表示素子に表示された文字や記号、絵柄などの視認、選択を行い、透明タッチパネルの操作によって機器の各機能の切り替えを行うものが急速に普及した。 In recent years, as electronic devices have become more sophisticated, diversified, and smaller and lighter, a transparent touch panel is mounted on the front surface of a display element such as a liquid crystal, and characters, symbols, patterns, etc. displayed on the display element through this transparent touch panel Those that perform visual recognition and selection and switch each function of the device by operating a transparent touch panel have rapidly spread.
タッチパネルは、例えば、銀行ATM、自動販売機、携帯情報端末(PDA、UMPC)、複写機、ファクシミリ、携帯ゲーム機、案内板、カーナビゲーション、スマートフォン、タブレット等に搭載されている。 The touch panel is mounted on, for example, a bank ATM, a vending machine, a personal digital assistant (PDA, UMPC), a copying machine, a facsimile, a portable game machine, a guide board, a car navigation, a smartphone, a tablet, and the like.
既存のタッチパネルの方式としては、抵抗膜方式、光学方式、静電容量方式、超音波方式、圧力方式、電磁波誘導方式、画像認識方式、振動検出方式などに分けられる。
液晶などの表示装置上に配置されるタッチパネルとしての具体例としては、抵抗膜方式や静電容量方式があり、抵抗膜方式は押圧された位置を電圧によって検知する方式であり、静電容量方式は押圧することによって起きる静電容量の変化を捉えて位置を検出するものである。
静電容量方式は、特許文献1〜3などが開示され、接触した位置の誤認識を防ぐ為にその積層構造の中に絶縁膜や保護膜を設けることが行なわれている。
Existing touch panel systems can be classified into a resistive film system, an optical system, an electrostatic capacity system, an ultrasonic system, a pressure system, an electromagnetic wave induction system, an image recognition system, a vibration detection system, and the like.
Specific examples of a touch panel arranged on a display device such as a liquid crystal include a resistance film method and a capacitance method. The resistance film method is a method of detecting a pressed position by voltage, and a capacitance method. Detects the position by capturing the change in capacitance caused by pressing.
As for the electrostatic capacity method, Patent Documents 1 to 3 and the like are disclosed, and an insulating film and a protective film are provided in the laminated structure in order to prevent erroneous recognition of a contact position.
現在主流となっている静電容量方式タッチパネルでは、カバーガラスに2枚のITOフィルムを貼り合わせるGFF方式を始めとして、軽量化・加工性などに有利な透明導電性フィルムを用いた構成が多く採用されている(例えば、特許文献4)。しかし耐熱性の低いフィルムを使用するため高温焼成ができず、熱硬化を必要としないか、あるいは低温焼成でも硬化膜を得られるUV硬化型保護膜が好んで用いられる(例えば、特許文献5参照)。 Capacitive touch panels, which are currently the mainstream, use many configurations that use transparent conductive films that are advantageous in terms of weight reduction and workability, including the GFF method in which two ITO films are bonded to a cover glass. (For example, Patent Document 4). However, since a film having low heat resistance is used, high-temperature baking is not possible and thermosetting is not required, or a UV-curable protective film that can obtain a cured film even by low-temperature baking is preferably used (see, for example, Patent Document 5). ).
静電容量方式タッチパネルでは抵抗膜式タッチパネルのような外部の衝撃を緩和する働きを有する層がないため、表面保護膜にはより高い硬度が求められる。さらには、回路接続を目的とした加工を行うため、感光性に加えて、薬品処理におけるより高い基材密着性が求められる。低温焼成では焼成に比べて熱硬化が進みにくく、UVによる硬化特性を高める必要がある。 Since the capacitive touch panel does not have a layer having a function of mitigating external impacts like the resistive touch panel, higher hardness is required for the surface protective film. Furthermore, since processing for circuit connection is performed, in addition to photosensitivity, higher substrate adhesion in chemical treatment is required. Low-temperature firing is less likely to proceed with heat curing than firing, and it is necessary to improve the curing characteristics by UV.
低温硬化可能な樹脂組成物として、例えば特許文献6記載のアルカリ可溶性共重合体、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、光ラジカル発生剤、1分子中にオキセタニル基を2個以上有する化合物および酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物や、特許文献7記載のカルボキシル基含有ポリシロキサン、溶剤、二重結合および/または三重結合を有する化合物および光重合開始剤を含有する樹脂組成物(例えば、特許文献7参照)が提案されている。しかしこれらの組成物は、Si原子を有するガラスや窒化ケイ素基板との接着性は向上するものの、ITOやモリブデン等のSi原子を有しない基板においては、熱処理や薬品処理後の接着性が不十分である。 Examples of the low-temperature curable resin composition include an alkali-soluble copolymer described in Patent Document 6, a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, a photo radical generator, a compound having two or more oxetanyl groups in a molecule, and A radiation-sensitive resin composition containing an acid generator, a resin composition containing a carboxyl group-containing polysiloxane described in Patent Document 7, a solvent, a compound having a double bond and / or a triple bond, and a photopolymerization initiator ( For example, Patent Document 7) has been proposed. However, although these compositions improve adhesion to Si atoms-containing glass and silicon nitride substrates, substrates that do not have Si atoms such as ITO and molybdenum have insufficient adhesion after heat treatment and chemical treatment. It is.
本発明は、低温硬化性にも優れ、高硬度、高透過率であり、パターン直線性、耐薬品性に優れる硬化膜を形成できるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物、および該感光性樹脂組成物を用いた、タッチパネルに用いられるオーバーコートに適した高品質の硬化膜を提供することを目的とする。 The present invention is an alkali-developable photosensitive resin composition capable of forming a cured film having excellent low-temperature curability, high hardness, high transmittance, and excellent pattern linearity and chemical resistance, and the photosensitive resin composition An object of the present invention is to provide a high-quality cured film suitable for an overcoat used for a touch panel.
本発明の感光性樹脂組成物は、光ラジカル重合開始剤(A)と、光カチオン重合開始剤(B)と、カチオン重合性化合物(C)と、アルカリ可溶性樹脂(F)とを含有し、カチオン重合性化合物(C)が、ビニルエーテル化合物(C1)を含む2種以上のカチオン重合性化合物を含むことにより、高硬度、高透明であり、パターン直線性、耐薬品性に優れる硬化膜の形成が可能となり、低温硬化性にも優れたものであることを見出したものである。 The photosensitive resin composition of the present invention contains a photo radical polymerization initiator (A), a photo cationic polymerization initiator (B), a cationic polymerizable compound (C), and an alkali-soluble resin (F). Formation of a cured film having high hardness, high transparency, and excellent pattern linearity and chemical resistance by the cationic polymerizable compound (C) containing two or more cationic polymerizable compounds including the vinyl ether compound (C1). And has been found to be excellent in low-temperature curability.
すなわち、本発明は、光ラジカル重合開始剤(A)と、光カチオン重合開始剤(B)と、カチオン重合性化合物(C)と、アルカリ可溶性樹脂(F)とを含有する感光性樹脂組成物であって、カチオン重合性化合物(C)が、ビニルエーテル化合物(C1)を含む2種以上のカチオン重合性化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。 That is, the present invention relates to a photosensitive resin composition comprising a photo radical polymerization initiator (A), a photo cationic polymerization initiator (B), a cationic polymerizable compound (C), and an alkali-soluble resin (F). In addition, the present invention relates to a photosensitive resin composition, wherein the cationically polymerizable compound (C) includes two or more kinds of cationically polymerizable compounds including a vinyl ether compound (C1).
また、本発明は、カチオン重合性化合物(C)が、エポキシ化合物(C2)およびオキセタン化合物(C3)から選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とする前記感光性樹脂組成物に関する。 The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the cationic polymerizable compound (C) contains at least one selected from an epoxy compound (C2) and an oxetane compound (C3).
また、本発明は、エポキシ化合物(C2)が、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(C2-a)およびクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(C2-b)から選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とする前記感光性樹脂組成物に関する。 The present invention is also characterized in that the epoxy compound (C2) contains at least one selected from a phenol novolac type epoxy resin (C2-a) and a cresol novolac type epoxy resin (C2-b). The present invention relates to a resin composition.
また、本発明は、カチオン重合性化合物(C)が、エポキシ化合物(C2)およびオキセタン化合物(C3)を含むことを特徴とする前記感光性樹脂組成物に関する。 The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the cationically polymerizable compound (C) includes an epoxy compound (C2) and an oxetane compound (C3).
また、本発明は、光ラジカル重合開始剤(A)が、オキシムエステル系光重合開始剤(A1)、チオキサントン系光重合開始剤(A2)、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、およびイミダゾール系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも2種を含むことを特徴とする前記感光性樹脂組成物に関する。 In the present invention, the photoradical polymerization initiator (A) is an oxime ester photopolymerization initiator (A1), a thioxanthone photopolymerization initiator (A2), an acetophenone photopolymerization initiator, or a benzoin photopolymerization initiator. Benzophenone photopolymerization initiator, triazine photopolymerization initiator, borate photopolymerization initiator, carbazole photopolymerization initiator, and at least two selected from the group consisting of imidazole photopolymerization initiators It relates to the photosensitive resin composition.
また、本発明は、光ラジカル重合開始剤(A)が、オキシムエステル系光ラジカル重合開始剤(A1)を含むことを特徴とする前記感光性樹脂組成物に関する。 The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the radical photopolymerization initiator (A) contains an oxime ester radical photopolymerization initiator (A1).
また、本発明は、光ラジカル重合開始剤(A)が、チオキサントン系光ラジカル重合開
始剤(A2)を含むことを特徴とする前記感光性樹脂組成物に関する。
The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the photoradical polymerization initiator (A) includes a thioxanthone photoradical polymerization initiator (A2).
また、本発明は、光カチオン重合開始剤(B)が、芳香族スルホニウム塩(B1)を含むことを特徴とする前記感光性樹脂組成物に関する。 The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the cationic photopolymerization initiator (B) includes an aromatic sulfonium salt (B1).
また、本発明は、オキセタン化合物(C3)が、化学式(3−5)に示される化合物、または(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレートを重合してなる重合体を含むことを特徴とする前記感光性樹脂組成物。に関する。
また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜に関する。 Moreover, this invention relates to the cured film formed using the said photosensitive resin composition.
また、本発明は、タッチパネル用である前記硬化膜に関する。 The present invention also relates to the cured film for a touch panel.
また、本発明は、請求項1〜9いずれか1項記載の感光性樹脂組成物を基材上に塗布後、マスクを介して露光し、現像してパターンを形成後、加熱焼成する工程を有することを特徴とする硬化膜の製造方法。 In addition, the present invention includes a step of applying the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 9 on a substrate, exposing through a mask, developing and forming a pattern, followed by heating and baking. A method for producing a cured film, comprising:
また、本発明は、加熱焼成の温度が150℃以下であることを特徴とする前記記載の硬化膜の製造方法。 In addition, the present invention provides the method for producing a cured film as described above, wherein the temperature for heating and baking is 150 ° C. or lower.
本発明の感光性樹脂組成物は、低温硬化性にも優れ、高硬度、高透過率であり、パターン直線性、密着性、耐薬品性に優れる硬化膜を形成でき、該硬化膜は、高硬度、高透過率であり、パターン直線性、密着性、耐薬品性に優れるため、特にタッチパネルに用いられるオーバーコートに適している。 The photosensitive resin composition of the present invention is excellent in low-temperature curability, has high hardness and high transmittance, and can form a cured film having excellent pattern linearity, adhesion, and chemical resistance. Hardness, high transmittance, and excellent pattern linearity, adhesion, and chemical resistance make it particularly suitable for overcoats used in touch panels.
まず、本発明の感光性樹脂組成物の各種構成成分について説明する。
なお、本願では、「(メタ)アクリロイル」、「(メタ)アクリル」、「(メタ)アクリル酸」、「(メタ)アクリレート」、または「(メタ)アクリルアミド」と表記した場合には、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイルおよび/またはメタクリロイル」、「アクリルおよび/またはメタクリル」、「アクリル酸および/またはメタクリル酸」、「アクリレートおよび/またはメタクリレート」、または「アクリルアミドおよび/またはメタクリルアミド」を表すものとする。
First, various components of the photosensitive resin composition of the present invention will be described.
In the present application, the case where “(meth) acryloyl”, “(meth) acryl”, “(meth) acrylic acid”, “(meth) acrylate”, or “(meth) acrylamide” is particularly described. Unless otherwise indicated, “acryloyl and / or methacryloyl”, “acrylic and / or methacrylic”, “acrylic acid and / or methacrylic acid”, “acrylate and / or methacrylate”, or “acrylamide and / or methacrylamide”, respectively. It shall represent.
本発明の感光性樹脂組成物は、光ラジカル重合開始剤(A)と、光カチオン重合開始剤(B)と、カチオン重合性化合物(C)と、アルカリ可溶性樹脂(F)とを含有する感光性樹脂組成物であって、カチオン重合性化合物(C)が、ビニルエーテル化合物(C1)を含む2種以上のカチオン重合性化合物を含むことを特徴とする。 The photosensitive resin composition of the present invention contains a photo radical polymerization initiator (A), a photo cationic polymerization initiator (B), a cationic polymerizable compound (C), and an alkali-soluble resin (F). The cationic polymerizable compound (C) includes two or more cationic polymerizable compounds including the vinyl ether compound (C1).
<光ラジカル重合開始剤(A)>
本発明の感光性樹脂組成物には、該組成物を紫外線照射により硬化させ、フォトリソグ
ラフィー法により塗膜を形成するために、光ラジカル重合開始剤を加えて溶剤現像型あるいはアルカリ現像型の感光性樹脂組成物の形態で調製することができる。光ラジカル重合開始剤としては従来公知のものをいずれも用いることができる。
<Photoradical polymerization initiator (A)>
In the photosensitive resin composition of the present invention, a photo-radical polymerization initiator is added to the photosensitive resin composition of the solvent development type or alkali development type in order to cure the composition by ultraviolet irradiation and form a coating film by a photolithography method. Can be prepared in the form of an adhesive resin composition. Any conventionally known radical photopolymerization initiator can be used.
光ラジカル重合開始剤(A)として例えば、オキシムエステル系光重合開始剤(A1)、チオキサントン系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤、またはアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤が挙げられる。 Examples of the photo radical polymerization initiator (A) include oxime ester photopolymerization initiator (A1), thioxanthone photopolymerization initiator, acetophenone photopolymerization initiator, benzoin photopolymerization initiator, benzophenone photopolymerization initiator, Examples include triazine photopolymerization initiators, borate photopolymerization initiators, carbazole photopolymerization initiators, imidazole photopolymerization initiators, and acylphosphine oxide photopolymerization initiators.
これらの中でも、光ラジカル重合開始剤(A)が、オキシムエステル系光重合開始剤(A1)、チオキサントン系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、およびイミダゾール系光重合開始剤からなる群から選ばれる光ラジカル重合開始剤を含むことが、低温硬化性付与のために好ましく、より好ましくは、少なくとも2種を含む場合、耐薬品性に優れたものとする事ができる。 Among these, the photo radical polymerization initiator (A) is an oxime ester photopolymerization initiator (A1), a thioxanthone photopolymerization initiator, an acetophenone photopolymerization initiator, a benzoin photopolymerization initiator, and a benzophenone photopolymerization initiator. Including a radical photoinitiator selected from the group consisting of an initiator, a triazine photopolymerization initiator, a borate photopolymerization initiator, a carbazole photopolymerization initiator, and an imidazole photopolymerization initiator It is preferable for imparting, and more preferably, when it contains at least two kinds, it can be excellent in chemical resistance.
また、好ましくはオキシムエステル系光ラジカル重合開始剤(A1)を含む場合、感度が高く、添加量が少なくて良いため、透過率が高いものとすることができ、さらにチオキサントン系光ラジカル重合開始剤(A2)を含む場合、交互作用により塗膜の硬化が一層促進されるため、基材への密着性をより優れたものとする事ができる。 Further, preferably, when the oxime ester-based photoradical polymerization initiator (A1) is included, the sensitivity can be high and the addition amount can be small, so that the transmittance can be high, and further, the thioxanthone-based photoradical polymerization initiator. When (A2) is included, since the curing of the coating film is further promoted by the interaction, the adhesion to the substrate can be further improved.
具体的には、例えば1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)等のオキシムエステル系光重合開始剤(A1)、
チオキサントン、2−クロルチオキサントン、2−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン系光重合開始剤(A2)、
4−フェノキシジクロロアセトフェノン、4−t−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン等のアセトフェノン系光重合開始剤、
2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系光重合開始剤、
ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン系光重合開始剤、
2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペロニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−スチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−
ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン等のトリアジン系光重合開始剤、
ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、
イミダゾール系光重合開始剤等が挙げられる。
これらの光重合開始剤は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
Specifically, for example, 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl-2- (o-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (o-acetyloxime) and other oxime ester photopolymerization initiators (A1),
Thioxanthone photopolymerization initiators (A2) such as thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone,
4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2- Acetophenone series such as benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one Photopolymerization initiator,
Acylphosphine oxide photopolymerization initiators such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide,
Benzoin photopolymerization initiators such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyldimethyl ketal,
Benzophenone-based photopolymerization initiators such as benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide,
2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s -Triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis (trichloro) Methyl) -6-styryl-s-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxy-)
Naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-trichloromethyl- (piperonyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl (4'-methoxystyryl)- Triazine photopolymerization initiators such as 6-triazine,
Borate photopolymerization initiator, carbazole photopolymerization initiator,
Examples include imidazole-based photopolymerization initiators.
These photoinitiators can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types by arbitrary ratios as needed.
また、オキシムエステル系光重合開始剤(A1)のなかでも、
1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カル
バゾール−3−イル] −,1−(o−アセチルオキシム)、とりわけ、1,2−オクタンジ
オン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム)]は、加熱工程時に黄変がより小さく、絶縁膜としての透過率が高く、特に波長400nm付近の透過率が高い感光性樹脂組成物を提供することができるため、より好ましい。
Among the oxime ester photopolymerization initiators (A1),
1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl-2- (o-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3 -Yl]-, 1- (o-acetyloxime), especially 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl-2- (o-benzoyloxime)], is yellowed during the heating step. A photosensitive resin composition that is smaller, has a high transmittance as an insulating film, and particularly has a high transmittance around a wavelength of 400 nm is more preferable.
さらに、チオキサントン系光重合開始剤(A2)のなかでも、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンが好ましく、とりわけ、入手性の観点から2,4−ジイソプロピルチオキサントンが好ましくが好ましい。 Further, among the thioxanthone photopolymerization initiators (A2), isopropylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone are preferable, and 2,4-diisopropylthioxanthone is particularly preferable from the viewpoint of availability.
オキシムエステル系光重合開始剤(A1)の市販品としては、
例えば、イルガキュアOXE−01、イルガキュアOXE−02(いずれもBASF社製)、N−1919(ADEKA社製)、TRONLY TR−PBG−304、TRON
LY TR−PBG−305、TRONLY TR−PBG−309(いずれも常州強力電子新材料社製)等が挙げられる。
As a commercial item of an oxime ester photoinitiator (A1),
For example, Irgacure OXE-01, Irgacure OXE-02 (all manufactured by BASF), N-1919 (manufactured by ADEKA), TRONLY TR-PBG-304, TRON
LY TR-PBG-305, TRONLY TR-PBG-309 (both manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd.) and the like.
チオキサントン系光重合開始剤(A2)の市販品としては、
例えば、カヤキュアDETX−S(日本化薬社製)等が挙げられる。
As a commercial product of the thioxanthone photopolymerization initiator (A2),
Examples thereof include Kayacure DETX-S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).
光ラジカル重合開始剤(A)は、透過率の観点から樹脂組成物の固形分の合計100重量%中、1〜15重量%の量で用いることが好ましく、1〜10重量%の量で用いることがより好ましい。
また、オキシムエステル系光重合開始剤(A1)を含有する場合には、光ラジカル重合開始剤(A)の合計量を基準(100重量%)として、40〜95重量%の量含むことが、硬度および基材密着性の観点で好ましい。
The radical photopolymerization initiator (A) is preferably used in an amount of 1 to 15% by weight in a total of 100% by weight of the solid content of the resin composition from the viewpoint of transmittance, and is used in an amount of 1 to 10% by weight. It is more preferable.
When the oxime ester-based photopolymerization initiator (A1) is contained, the total amount of the photoradical polymerization initiator (A) is 40 to 95% by weight based on the standard (100% by weight), It is preferable in terms of hardness and substrate adhesion.
また、さらにチオキサントン系光重合開始剤(A2)を併用する場合、オキシムエステル系光重合開始剤(A1)100重量部に対してチオキサントン系光重合開始剤(A2)を5重量部〜100重量部の量で用いることで、基材密着性が良化するため好ましく、20重量部〜50重量部の量で用いることで基材密着性がさらに良化するため特に好ましい。 Further, when the thioxanthone photopolymerization initiator (A2) is used in combination, 5 to 100 parts by weight of the thioxanthone photopolymerization initiator (A2) with respect to 100 parts by weight of the oxime ester photopolymerization initiator (A1). It is preferable because the substrate adhesion is improved, and it is particularly preferable because the substrate adhesion is further improved when used in an amount of 20 to 50 parts by weight.
<増感剤>
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに増感剤として、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、4,4’−ジエチルイソフタロフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。
これらの増感剤は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して
用いることができる。
増感剤の含有量は、光重合開始剤(A)100重量部に対して、0.1〜150重量部の量で用いることができる。
<Sensitizer>
The photosensitive resin composition of the present invention further includes α-acyloxy ester, acylphosphine oxide, methylphenylglyoxylate, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, and ethylanthraquinone as sensitizers. 4,4′-diethylisophthalophenone, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4,4′-diethylaminobenzophenone, and the like can be used in combination.
These sensitizers can be used singly or in combination of two or more at any ratio as necessary.
The content of the sensitizer can be used in an amount of 0.1 to 150 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the photopolymerization initiator (A).
<光カチオン重合開始剤(B)>
光カチオン重合開始剤(B)は、UV照射あるいは加熱によりテトラフルオロホウ酸や、ヘキサフルオロリン酸などの強酸を生じ、この強酸が後述するカチオン重合性化合物の酸素原子をプロトン化してカチオン活性種が形成され、重合反応が開始されるものであり、公知の化合物を、特に限定なく使用することができる。
<Photocationic polymerization initiator (B)>
The cationic photopolymerization initiator (B) generates a strong acid such as tetrafluoroboric acid or hexafluorophosphoric acid by UV irradiation or heating, and the strong acid protonates an oxygen atom of a cationically polymerizable compound described later to form a cationic active species. Is formed and the polymerization reaction is started, and any known compound can be used without particular limitation.
光カチオン重合開始剤(B)として例えば、カチオン部分が、芳香族スルホニウム、芳香族ヨードニウム、芳香族ジアゾニウム、芳香族アンモニウム、チオキサントニウム、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄カチオン、またはチアンスレニウムであって、アニオン部分が、BF4 −、PF6 −、SbF6 −、または[BX4]−(但し、Xは、フェニル基の有する水素原子の2個以上が、フッ素原子またはトリフルオロメチル基によって置換された官能基を示す。)で構成される、芳香族スルホニウム塩(B1)、芳香族ヨードニウム塩(B2)、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族アンモニウム塩、チオキサントニウム塩、または(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄塩等が挙げられる
これらの光カチオン重合開始剤は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
As the cationic photopolymerization initiator (B), for example, the cation moiety is aromatic sulfonium, aromatic iodonium, aromatic diazonium, aromatic ammonium, thioxanthonium, (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1 -Methylethyl) benzene] -iron cation, or thianthrium, and the anion moiety is BF 4 − , PF 6 − , SbF 6 − , or [BX 4 ] − (where X is a phenyl group An aromatic sulfonium salt (B1), an aromatic iodonium salt (B2), an aromatic diazonium salt, wherein two or more hydrogen atoms represent a functional group substituted by a fluorine atom or a trifluoromethyl group. , Aromatic ammonium salts, thioxanthonium salts, or (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1- (Methylethyl) benzene] -iron salt and the like These photocationic polymerization initiators can be used alone or in admixture of two or more at any ratio as required.
これらの中でも、芳香族スルホニウム塩(B1)、または芳香族ヨードニウム塩(B2)が、残膜率および密着性向上のために好ましく、残膜率向上の観点から、より好ましくは、芳香族ヨードニウム塩(B2)である。 Among these, aromatic sulfonium salt (B1) or aromatic iodonium salt (B2) is preferable for improving the remaining film ratio and adhesion, and more preferably aromatic iodonium salt from the viewpoint of improving the remaining film ratio. (B2).
芳香族スルホニウム塩(B1)としては、例えばビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビスヘキサフルオロホスフェート、ビス[4−(ジフェニルスル
ホニオ)フェニル]スルフィド ビスヘキサフルオロアンチモネート、ビス[4−(ジフ
ェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビステトラフルオロボレート、ビス[4−(
ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド テトラキス(ペンタフルオロフェニル)
ボレート、ジフェニル−4−(フェニルチオ)フェニルスルホニウム ヘキサフルオロホ
スフェート、ジフェニル−4−(フェニルチオ)フェニルスルホニウム ヘキサフルオロ
アンチモネート、ジフェニル−4−(フェニルチオ)フェニルスルホニウム テトラフル
オロボレート、ジフェニル−4−(フェニルチオ)フェニルスルホニウム テトラキス(
ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス[4−(ジ(4−(2−ヒドロキシエトキシ))フェニルスルホニオ)フェニル]スルフィドビスヘキサフルオロホスフェート、ビス[4−(ジ(4−
(2−ヒドロキシエトキシ))フェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビスヘキサ
フルオロアンチモネート、ビス[4−(ジ(4−(2−ヒドロキシエトキシ))フェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビステトラフルオロボレート、ビス[4−(ジ(4
−(2−ヒドロキシエトキシ))フェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド テトラキ
ス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することができる。
Examples of the aromatic sulfonium salt (B1) include bis [4- (diphenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluorophosphate, bis [4- (diphenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluoroantimonate, and bis [4- (Diphenylsulfonio) phenyl] sulfide bistetrafluoroborate, bis [4- (
Diphenylsulfonio) phenyl] sulfide tetrakis (pentafluorophenyl)
Borate, diphenyl-4- (phenylthio) phenylsulfonium hexafluorophosphate, diphenyl-4- (phenylthio) phenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyl-4- (phenylthio) phenylsulfonium tetrafluoroborate, diphenyl-4- (phenylthio) phenyl Sulfonium tetrakis (
Pentafluorophenyl) borate, triphenylsulfonium hexafluorophosphate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis [4- (di (4- (2 -Hydroxyethoxy)) phenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluorophosphate, bis [4- (di (4-
(2-hydroxyethoxy)) phenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluoroantimonate, bis [4- (di (4- (2-hydroxyethoxy)) phenylsulfonio) phenyl] sulfide bistetrafluoroborate, bis [ 4- (di (4
-(2-Hydroxyethoxy)) phenylsulfonio) phenyl] sulfide tetrakis (pentafluorophenyl) borate and the like can be used.
また、芳香族ヨードニウム塩(B2)としては、例えばジフェニルヨードニウム ヘキ
サフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネート、ジ
フェニルヨードニウム テトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウムヘキサフル
オロホスフェート、ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネ
ート、ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウム テトラフルオロボレート、ビス(ドデシ
ルフェニル)ヨードニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、4−メチ
ルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェニルヨードニウム ヘキサフルオロホスフェ
ート、4−メチルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェニルヨードニウム ヘキサフ
ルオロアンチモネート、4−メチルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェニルヨードニウム テトラフルオロボレート、4−メチルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェ
ニルヨードニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することが
できる。
Examples of the aromatic iodonium salt (B2) include diphenyliodonium hexafluorophosphate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, and bis (dodecylphenyl) iodonium hexafluoro. Phosphate, bis (dodecylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (dodecylphenyl) iodonium tetrafluoroborate, bis (dodecylphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, 4-methylphenyl-4- (1-methylethyl) Phenyliodonium hexafluorophosphate, 4-methylphenyl-4- (1- Tilethyl) phenyliodonium hexafluoroantimonate, 4-methylphenyl-4- (1-methylethyl) phenyliodonium tetrafluoroborate, 4-methylphenyl-4- (1-methylethyl) phenyliodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate Etc. can be used.
また、芳香族ジアゾニウム塩としては、例えばフェニルジアゾニウム ヘキサフルオロ
ホスフェート、フェニルジアゾニウム ヘキサフルオロアンチモネート、フェニルジアゾ
ニウム テトラフルオロボレート、フェニルジアゾニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することができる。
As the aromatic diazonium salt, for example, phenyldiazonium hexafluorophosphate, phenyldiazonium hexafluoroantimonate, phenyldiazonium tetrafluoroborate, phenyldiazonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate and the like can be used.
また、芳香族アンモニウム塩としては、1−ベンジル−2−シアノピリジニウム ヘキ
サフルオロホスフェート、1−ベンジル−2−シアノピリジニウム ヘキサフルオロアン
チモネート、1−ベンジル−2−シアノピリジニウム テトラフルオロボレート、1−ベ
ンジル−2−シアノピリジニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、1
−(ナフチルメチル)−2−シアノピリジニウム ヘキサフルオロホスフェート、1−(
ナフチルメチル)−2−シアノピリジニウムヘキサフルオロアンチモネート、1−(ナフチルメチル)−2−シアノピリジニウム テトラフルオロボレート、1−(ナフチルメチ
ル)−2−シアノピリジニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使
用することができる。
Examples of aromatic ammonium salts include 1-benzyl-2-cyanopyridinium hexafluorophosphate, 1-benzyl-2-cyanopyridinium hexafluoroantimonate, 1-benzyl-2-cyanopyridinium tetrafluoroborate, 1-benzyl- 2-cyanopyridinium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, 1
-(Naphthylmethyl) -2-cyanopyridinium hexafluorophosphate, 1- (
Naphtylmethyl) -2-cyanopyridinium hexafluoroantimonate, 1- (naphthylmethyl) -2-cyanopyridinium tetrafluoroborate, 1- (naphthylmethyl) -2-cyanopyridinium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, etc. are used. be able to.
また、チオキサントニウム塩としては、S−ビフェニル 2−イソプロピル チオキサントニウムヘキサフルオロホスフェート等を使用することができる。 Moreover, S-biphenyl 2-isopropyl thioxanthonium hexafluorophosphate etc. can be used as a thioxanthonium salt.
また、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄塩としては、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄(II)ヘキサフルオロホスフェート、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄(II)ヘキサフルオロアンチモネート、2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄(II)テトラフルオロボレート、2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄(II)テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することができる。 (2,4-Cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -iron salt includes (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene]. -Iron (II) hexafluorophosphate, (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene]-Iron (II) hexafluoroantimonate, 2,4-cyclopentadien-1-yl ) [(1-Methylethyl) benzene] -iron (II) tetrafluoroborate, 2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -iron (II) tetrakis (pentafluorophenyl) Borate or the like can be used.
光カチオン重合開始剤(B)としては、例えば、CPI−100P、CPI−200K、CPI−101A(以上、サンアプロ(株)製)、サイラキュア光硬化開始剤UVI−6990、サイラキュア光硬化開始剤UVI−6992、サイラキュア光硬化開始剤UVI−6976(以上、ダウ・ケミカル日本(株)製)、アデカオプトマーSP−150、アデカオプトマーSP−152、アデカオプトマーSP−170、アデカオプトマーSP−172(以上、旭電化工業(株)製)、CI−5102、CI−2855(以上、日本曹達(株)製)、サンエイドSI−60L、サンエイドSI−80L、サンエイドSI−100L、サンエイドSI−110L、サンエイドSI−180L、サンエイドSI−110、サンエイドSI−145、サンエイドSI−150、サンエイドSI−160、サンエイドSI−180(以上、三新化学工業(株)製)、エサキュア1064、エサキュア1187(以上、ランベルティ社製)、オムニキャット432、オムニキャット440、オムニキャット445、オムニキャット550、オムニキャット650、オムニキャットBL−550(アイジーエムレジン社製)、イルガキュア250(BASF(株)製
)、ロードシル フォトイニシエーター2074(RHODORSIL PHOTOINITIATOR 2074(ローディア・ジャパン(株)製)、WPI−113、WPI−
116、WPI−169、WPI−170(和光純薬工業(株)製)等が市販されている。
Examples of the cationic photopolymerization initiator (B) include CPI-100P, CPI-200K, CPI-101A (manufactured by San Apro Co., Ltd.), Syracure photocuring initiator UVI-6990, Syracure photocuring initiator UVI- 6992, Cyracure photocuring initiator UVI-6976 (above, manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd.), Adeka optomer SP-150, Adeka optomer SP-152, Adeka optomer SP-170, Adeka optomer SP-172 (Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), CI-5102, CI-2855 (Nippon Soda Co., Ltd.), Sun-Aid SI-60L, Sun-Aid SI-80L, Sun-Aid SI-100L, Sun-Aid SI-110L, Sun-Aid SI-180L, Sun-Aid SI-110, Sun-Aid SI-145 Sun-Aid SI-150, Sun-Aid SI-160, Sun-Aid SI-180 (manufactured by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.), Esacure 1064, Esacure 1187 (manufactured by Lamberti), Omnicat 432, Omnicat 440, Omni Cat 445, Omni Cat 550, Omni Cat 650, Omni Cat BL-550 (manufactured by IG Resin), Irgacure 250 (manufactured by BASF Corporation), Rhodosil Photo Initiator 2074 (RHODORSIL PHOTOINITIATOR 2074 (Rhodia Japan Co., Ltd.) Manufactured), WPI-113, WPI-
116, WPI-169, WPI-170 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and the like are commercially available.
これらの中では、芳香族スルホニウム塩(B1)であるサンアプロ社製CPI―100P、CPI―101A、CPI―200K、CPI―210S、あるいは芳香族ヨードニウム塩であるBASF社製イルガキュア250、和光純薬工業社製WPI−113、WPI−116、WPI−169、WPI−170が好ましい。 Among these, CPI-100P, CPI-101A, CPI-200K, CPI-210S manufactured by San Apro, which are aromatic sulfonium salts (B1), or Irgacure 250 manufactured by BASF, which is an aromatic iodonium salt, Wako Pure Chemical Industries, Ltd. WPI-113, WPI-116, WPI-169, and WPI-170 manufactured by KK are preferred.
光カチオン重合開始剤(B)は、感光性樹脂組成物の固形分の合計100重量%中、0.1〜30重量%の量で用いることが好ましく、残膜率、耐薬品性、透過率の観点から1〜20重量%の量で用いることがより好ましい。 The cationic photopolymerization initiator (B) is preferably used in an amount of 0.1 to 30% by weight in a total of 100% by weight of the solid content of the photosensitive resin composition, and has a residual film rate, chemical resistance, and transmittance. From the viewpoint of, it is more preferable to use in an amount of 1 to 20% by weight.
<カチオン重合性化合物(C)>
本発明におけるカチオン重合性化合物とは、前述の光カチオン重合開始剤(B)へのUV照射あるいは加熱により生じたテトラフルオロホウ酸や、ヘキサフルオロリン酸などの強酸と反応し、カチオン活性種を生じる化合物のことである。
カチオン重合性化合物としては、ビニルエーテル化合物(C1)、エポキシ化合物(C2)オキセタン化合物(C3)、スチレン誘導体、またはジエン化合物等が挙げられる。
<Cationically polymerizable compound (C)>
The cationically polymerizable compound in the present invention reacts with a strong acid such as tetrafluoroboric acid or hexafluorophosphoric acid generated by UV irradiation or heating to the above-mentioned photocationic polymerization initiator (B), and a cationically active species is obtained. It is the resulting compound.
Examples of the cationic polymerizable compound include a vinyl ether compound (C1), an epoxy compound (C2), an oxetane compound (C3), a styrene derivative, and a diene compound.
本発明のカチオン重合性化合物(C)としては、ビニルエーテル化合物(C1)を含む2種以上のカチオン重合性化合物であれば、公知の化合物を、特に限定なく使用することができる。 As the cationically polymerizable compound (C) of the present invention, known compounds can be used without particular limitation as long as they are two or more kinds of cationically polymerizable compounds including the vinyl ether compound (C1).
また、好ましくは、さらにエポキシ化合物(C2)またはオキセタン化合物(C3)を含むことが、硬度、残膜率、密着性、耐薬品性のために好ましく、より好ましくは、ビニルエーテル化合物(C1)、エポキシ化合物(C2)、およびオキセタン化合物(C3)を含むことにより、硬度、残膜率のために好ましい。 Further, it is preferable that an epoxy compound (C2) or an oxetane compound (C3) is further contained for hardness, residual film ratio, adhesion, and chemical resistance, and more preferably a vinyl ether compound (C1), an epoxy. By including the compound (C2) and the oxetane compound (C3), it is preferable for the hardness and the remaining film ratio.
このように、ビニルエーテル化合物(C1)、エポキシ化合物(C2)、およびオキセタン化合物(C3)を含む場合の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100重量%)として、ビニルエーテル化合物(C1)が0.5〜20重量%、エポキシ化合物(C2)が3〜40重量%、オキセタン化合物(C3)が5〜50重量%、の範囲にあると硬度、残膜率、密着性、耐薬品性が高く、優れた塗膜が得られるため好ましい。 Thus, the content in the case of including the vinyl ether compound (C1), the epoxy compound (C2), and the oxetane compound (C3) is based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by weight) as a vinyl ether compound ( When C1) is in the range of 0.5 to 20% by weight, epoxy compound (C2) is in the range of 3 to 40% by weight, and oxetane compound (C3) is in the range of 5 to 50% by weight, the hardness, remaining film ratio, adhesion, It is preferable because it has high chemical properties and an excellent coating film can be obtained.
[ビニルエーテル化合物(C1)]
ビニルエーテル化合物(C1)としては、公知の化合物であれば特に制限なく使用できるが、炭素数3〜35のものが好ましく、例えば以下の単官能又は多官能ビニルエーテルが挙げられる。
尚、上記「単官能ビニルエーテル」とはビニル基の数が1個の、「多官能ビニルエーテル」とはビニル基の数が2個以上の、それぞれビニルエーテル化合物を意味する。
単官能ビニルエーテルとしては、例えば、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、t−ブチルビニルエーテル、2−エチルヘキシルビニルエーテル、n−ノニルビニルエーテル、ラウリルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、シクロヘキシルメチルビニルエーテル、4−メチルシクロヘキシルメチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、ジシクロペンテニルビニルエーテル、2−ジシクロペンテノキシエチルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、ブトキシエチルビニルエーテル、メトキシエトキシエチルビニルエーテル、エトキシエトキシエチルビニルエーテル、メトキシポリエ
チレングリコールビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル、2−ヒドロキシエチルビニルエーテル、2−ヒドロキシプロピルビニルエーテル、4−ヒドロキシブチルビニルエーテル、4−ヒドロキシメチルシクロヘキシルメチルビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテル、ポリエチレングリコールビニルエーテル、クロルエチルビニルエーテル、クロルブチルビニルエーテル、クロルエトキシエチルビニルエーテル、フェニルエチルビニルエーテル及びフェノキシポリエチレングリコールビニルエーテル、エチルオキセタンメチルビニルエーテル、ジシクロペンタジエンビニルエーテル、シクロヘキサンジメタノールビニルグリシジルエーテル、トリシクロデカンビニルエーテルアクリル酸2−(ビニロキシエトキシ)エチル、メタクリル酸2−(ビニロキシエトキシ)エチル等が挙げられる。
[Vinyl ether compound (C1)]
The vinyl ether compound (C1) can be used without particular limitation as long as it is a known compound, but preferably has 3 to 35 carbon atoms, and examples thereof include the following monofunctional or polyfunctional vinyl ethers.
The “monofunctional vinyl ether” means a vinyl ether compound having one vinyl group, and the “polyfunctional vinyl ether” means two or more vinyl groups.
Examples of the monofunctional vinyl ether include methyl vinyl ether, ethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, n-butyl vinyl ether, t-butyl vinyl ether, 2-ethylhexyl vinyl ether, n-nonyl vinyl ether, lauryl vinyl ether, cyclohexyl vinyl ether, cyclohexyl methyl vinyl ether, 4-methyl Cyclohexylmethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, dicyclopentenyl vinyl ether, 2-dicyclopentenoxyethyl vinyl ether, methoxyethyl vinyl ether, ethoxyethyl vinyl ether, butoxyethyl vinyl ether, methoxyethoxyethyl vinyl ether, ethoxyethoxyethyl vinyl ether, methoxypolyethylene glycol vinyl ether , Tetrahydrofurfuryl vinyl ether, 2-hydroxyethyl vinyl ether, 2-hydroxypropyl vinyl ether, 4-hydroxybutyl vinyl ether, 4-hydroxymethylcyclohexyl methyl vinyl ether, diethylene glycol monovinyl ether, polyethylene glycol vinyl ether, chloroethyl vinyl ether, chlorobutyl vinyl ether, chloroethoxy Ethyl vinyl ether, phenyl ethyl vinyl ether and phenoxy polyethylene glycol vinyl ether, ethyl oxetane methyl vinyl ether, dicyclopentadiene vinyl ether, cyclohexane dimethanol vinyl glycidyl ether, tricyclodecane vinyl ether 2- (vinyloxyethoxy) ethyl acrylate, methacrylate Acid 2- (vinyloxy) ethyl, and the like.
多官能ビニルエーテルとしては、例えば、エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールジビニルエーテル、ブチレングリコールジビニルエーテル、ヘキサンジオールジビニルエーテル、ビスフェノールAアルキレンオキサイドジビニルエーテル、ビスフェノールFアルキレンオキサイドジビニルエーテル等のジビニルエーテル類;トリメチロールエタントリビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、グリセリントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ジペンタエリスリトールペンタビニルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル、EO付加トリメチロールプロパントリビニルエーテル、PO付加トリメチロールプロパントリビニルエーテル、EO付加ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、PO付加ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、EO付加ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、PO付加ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、EO付加ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル及びPO付加ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル等が挙げられる。
これらのビニルエーテルは、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
Examples of the polyfunctional vinyl ether include ethylene glycol divinyl ether, diethylene glycol divinyl ether, triethylene glycol divinyl ether, polyethylene glycol divinyl ether, propylene glycol divinyl ether, butylene glycol divinyl ether, hexanediol divinyl ether, bisphenol A alkylene oxide divinyl ether, Divinyl ethers such as bisphenol F alkylene oxide divinyl ether; trimethylolethane trivinyl ether, trimethylolpropane trivinyl ether, ditrimethylolpropane tetravinyl ether, glycerin trivinyl ether, pentaerythritol tetravinyl ether, dipentaerythritol pentavinyl ether Ter, dipentaerythritol hexavinyl ether, EO-added trimethylolpropane trivinyl ether, PO-added trimethylolpropane trivinyl ether, EO-added ditrimethylolpropane tetravinyl ether, PO-added ditrimethylolpropane tetravinyl ether, EO-added pentaerythritol tetravinyl ether, PO-added penta Examples include erythritol tetravinyl ether, EO-added dipentaerythritol hexavinyl ether, and PO-added dipentaerythritol hexavinyl ether.
These vinyl ethers can be used singly or in combination of two or more in any ratio as necessary.
これらのビニルエーテルのなかでも、高感度化・入手性の観点からジエチレングリコールジビニルエーテル、またはトリエチレングリコールジビニルエーテルが好ましく、耐薬品性の観点からエチルオキセタンメチルビニルエーテル、またはジシクロペンタジエンビニルエーテルが好ましい。 Among these vinyl ethers, diethylene glycol divinyl ether or triethylene glycol divinyl ether is preferable from the viewpoint of high sensitivity and availability, and ethyl oxetane methyl vinyl ether or dicyclopentadiene vinyl ether is preferable from the viewpoint of chemical resistance.
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるビニルエーテル化合物(C1)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100重量%)として、通常0.5〜30重量%、好ましくは1〜10重量%である。ビニルエーテル化合物(C1)の含有量が、前記の範囲にあると残膜率と耐薬品性が高く、優れた塗膜が得られるため好ましい。 The content of the vinyl ether compound (C1) used in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.5 to 30% by weight, preferably 1 based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by weight). -10% by weight. When the content of the vinyl ether compound (C1) is in the above range, the residual film ratio and chemical resistance are high, and an excellent coating film is obtained, which is preferable.
[エポキシ化合物(C2)]
本発明の感光性樹脂組成物に使用されるエポキシ化合物(C2)としては、エポキシ基を有する公知の化合物を、特に限定されず使用することができる。
[Epoxy compound (C2)]
As an epoxy compound (C2) used for the photosensitive resin composition of this invention, the well-known compound which has an epoxy group can be used without being specifically limited.
エポキシ化合物(C2)の具体例としては、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(C2-a)、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(C2-b)、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノール−Aノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等が挙げられる。
これらのなかでも、エポキシ化合物(C2)がフェノールノボラック型エポキシ樹脂(
C2-a)またはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(C2-b)であることが残膜率、耐薬品性の観点から好ましい。
Specific examples of the epoxy compound (C2) include phenol novolac type epoxy resin (C2-a), cresol novolac type epoxy resin (C2-b), trishydroxyphenylmethane type epoxy resin, dicyclopentadiene phenol type epoxy resin, bisphenol. -A type epoxy resin, bisphenol-F type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, bisphenol-A novolac type epoxy resin, naphthalene skeleton-containing epoxy resin, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin and the like.
Among these, the epoxy compound (C2) is a phenol novolac type epoxy resin (
C2-a) or a cresol novolac type epoxy resin (C2-b) is preferable from the viewpoint of the remaining film ratio and chemical resistance.
これらのエポキシ化合物の中でも、速硬化性・耐薬品性の観点からエポキシ当量(g/eq.)が150〜250のものが好ましく、170〜220のものが特に好ましい。 Among these epoxy compounds, those having an epoxy equivalent (g / eq.) Of 150 to 250 are preferable, and those of 170 to 220 are particularly preferable from the viewpoints of fast curability and chemical resistance.
(フェノールノボラック型エポキシ樹脂(C2-a))
フェノールノボラック型エポキシ樹脂(C2-a)としては、例えば、エピクロンN−
740、エピクロンN−770、エピクロンN−775(大日本インキ化学工業(株)製)、D.E.N438(ダウ・ケミカル製)、RE−306(日本化薬(株)製)、jER152、jER154(いずれも三菱化学(株)製)等が挙げられる。
(Phenol novolac type epoxy resin (C2-a))
As the phenol novolac type epoxy resin (C2-a), for example, Epicron N-
740, Epicron N-770, Epicron N-775 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.), D.I. E. N438 (manufactured by Dow Chemical), RE-306 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), jER152, jER154 (both manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) and the like.
(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(C2-b))
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(C2-b)としては、例えば、エピクロンN−
660、エピクロンN−665、エピクロンN−670、エピクロンN−673、エピクロンN−680、エピクロンN−695、エピクロンN−665−EXP、エピクロンN−672−EXP(いずれもDIC(株)製)、EOCN−102S、EOCN−103S、EOCN−104S(いずれも日本化薬(株)製)、UVR−6650(ユニオンカーバイド(株)製)、ESCN−195(住友化学工業(株)製)等が挙げられる。
(Cresol novolac type epoxy resin (C2-b))
As the cresol novolac type epoxy resin (C2-b), for example, Epicron N-
660, Epicron N-665, Epicron N-670, Epicron N-673, Epicron N-680, Epicron N-695, Epicron N-665-EXP, Epicron N-672-EXP (all manufactured by DIC Corporation), EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UVR-6650 (manufactured by Union Carbide Co., Ltd.), ESCN-195 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), etc. It is done.
トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂としては、例えば、EPPN−503、EPPN−502H、EPPN−501H(いずれも日本化薬(株)製)、TACTIX−742(ダウ・ケミカル(株)製)、jERE1032H60(三菱化学(株)製
)等が挙げられる。
As the trishydroxyphenylmethane type epoxy resin, for example, EPPN-503, EPPN-502H, EPPN-501H (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), TACTIX-742 (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), jERE1032H60 ( Mitsubishi Chemical Co., Ltd.).
ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、エピクロンEXA−7200(DIC(株)製)、TACTIX−556(ダウ・ケミカル(株)製)等が挙げられる。 Examples of the dicyclopentadiene phenol type epoxy resin include Epicron EXA-7200 (manufactured by DIC Corporation), TACTIX-556 (manufactured by Dow Chemical Corporation), and the like.
ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、jER828、jER1001(いずれも三菱化学(株)製)、UVR−6410(ユニオンカーバイド(株)製)、D.E.R−331(ダウ・ケミカル(株)製)、YD−8125(東都化成(株)製)等のビスフェノール−A型エポキシ樹脂、UVR−6490(ユニオンカーバイド社製)、YDF−8170(東都化成(株)製)等のビスフェノール−F型エポキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the bisphenol type epoxy resin include jER828, jER1001 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), UVR-6410 (manufactured by Union Carbide Corporation), D.I. E. Bisphenol-A type epoxy resins such as R-331 (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), YD-8125 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), UVR-6490 (manufactured by Union Carbide), YDF-8170 (manufactured by Toto Kasei ( Bisphenol-F type epoxy resin, etc.).
ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、NC−3000、NC−3000H(いずれも日本化薬(株)製)等のビフェノール型エポキシ樹脂、jERYX−4000
(三菱化学(株)製)等のビキシレノール型エポキシ樹脂、jER YL−6121(三
菱化学(株)製)等が挙げられる。
Examples of the biphenol type epoxy resin include biphenol type epoxy resins such as NC-3000 and NC-3000H (both manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), jERYX-4000.
Examples thereof include bixylenol type epoxy resins such as (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), jER YL-6121 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and the like.
ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、エピクロンN−880(DIC(株)製)、jER E157S75(三菱化学(株)製)等が挙げられる。 Examples of the bisphenol A novolac type epoxy resin include Epicron N-880 (manufactured by DIC Corporation), jER E157S75 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and the like.
ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂としては、例えば、NC−7000、NC−7300(いずれも日本化薬(株)製)、EXA−4750(DIC(株)製)等が挙げられる。 Examples of the naphthalene skeleton-containing epoxy resin include NC-7000, NC-7300 (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), EXA-4750 (manufactured by DIC Corporation), and the like.
脂環式エポキシ樹脂としては、例えば、EHPE−3150((株)ダイセル製)等が挙げられる。 Examples of the alicyclic epoxy resin include EHPE-3150 (manufactured by Daicel Corporation).
複素環式エポキシ樹脂としては、例えば、TEPIC−L,TEPIC−H、TEPIC−S(いずれも日産化学工業(株)製)等が挙げられる。 Examples of the heterocyclic epoxy resin include TEPIC-L, TEPIC-H, and TEPIC-S (all manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.).
これらのエポキシ化合物は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。 These epoxy compounds can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types by arbitrary ratios as needed.
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるエポキシ化合物(C2)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100重量%)として、通常0.5〜50重量%、好ましくは1〜40重量%である。エポキシ化合物(C2)の含有量が、前記の範囲にあると耐薬品性が高く、優れた塗膜が得られるため好ましい。 The content of the epoxy compound (C2) used in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.5 to 50% by weight, preferably 1 based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by weight). -40% by weight. It is preferable that the content of the epoxy compound (C2) is in the above range because chemical resistance is high and an excellent coating film can be obtained.
[オキセタン化合物(C3)]
オキセタン化合物(C3)としては、オキセタン基を有する公知の化合物を特に限定されず使用することができる。オキセタン化合物(C3)は、オキセタン基が1官能であるもの、オキセタン基が2官能であるもの、オキセタン基が2官能以上であるものが挙げられる。
[Oxetane compound (C3)]
As the oxetane compound (C3), a known compound having an oxetane group is not particularly limited and can be used. Examples of the oxetane compound (C3) include those in which the oxetane group is monofunctional, those in which the oxetane group is bifunctional, and those in which the oxetane group is bifunctional or more.
オキセタン基が1官能であるものとしては、
(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルアクリレート(例えば、大阪有機化学工業社製OXE−10)、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメタクリレート(例えば、大阪有機化学工業社製OXE−30)、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−212)、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−(フェノキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−(2−メタクリロキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−{[3−(トリエトキシシリル)プロポキシ]メチル}オキセタン等が挙げられる。
As an oxetane group that is monofunctional,
(3-ethyloxetane-3-yl) methyl acrylate (for example, OXE-10 manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), (3-ethyloxetane-3-yl) methyl methacrylate (for example, OXE-30 manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) ), 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane (for example, OXT-212 manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3- (phenoxymethyl) oxetane , 3-ethyl-3- (2-methacryloxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3-{[3- (triethoxysilyl) propoxy] methyl} oxetane, and the like.
オキセタン基が1官能であるものの中では、好ましくは、下記式(3−1)、または式(3−2)で表される、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、または3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタンが好ましい。
オキセタン基が2官能のものとしては、
4,4’−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル(例えば、宇部興産(株)製、OXBP)、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)
メトキシメチル]ベンゼン(例えば、宇部興産(株)製OXTP)、1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン(例えば、東亞合成(株)製OXT−121)、ジ[1−エチル(3−オキセタニル)]メチルエーテル(例えば、東亞合成(株)製OXT−221)、ジ[1−エチル(3−オキセタニル)]メチルエーテル−3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−(2−フェノキシメチル)オキセタン、3,7−ビス(3−オキセタニル)−5−オキサ−ノナン、1,2−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エタン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]プロパン、エチレングリコースビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジシクロペンテニルビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、トリエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、テトラエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、1,4−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ブタン、1,6−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ヘキサン、ポリエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、エチレンオキシド(EO)変性ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、プロピレンオキシド(PO)変性ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、EO変性水添ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、PO変性水添ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、EO変性ビスフェノールF(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、東亞合成(株)製OXT−191等が挙げられる。
As an oxetane group having a bifunctional group,
4,4′-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl] biphenyl (eg, OXBP manufactured by Ube Industries, Ltd.), 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl)
Methoxymethyl] benzene (for example, OXTP manufactured by Ube Industries, Ltd.), 1,4-bis {[(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxy] methyl} benzene (for example, OXT-121 manufactured by Toagosei Co., Ltd.) Di [1-ethyl (3-oxetanyl)] methyl ether (for example, OXT-221 manufactured by Toagosei Co., Ltd.), di [1-ethyl (3-oxetanyl)] methyl ether-3-ethyl-3-hydroxymethyl Oxetane, 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3- (2-phenoxymethyl) oxetane, 3,7-bis (3-oxetanyl) -5-oxa-nonane, 1 , 2-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ethane, 1,3-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl Propane, ethylene glycose bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dicyclopentenyl bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, triethylene glycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tetra Ethylene glycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, 1,4-bis (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) butane, 1,6-bis (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) hexane, polyethylene Glycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ethylene oxide (EO) modified bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, propylene oxide (PO) modified bisphenol A bis (3-ethyl-3- Oki Tanylmethyl) ether, EO-modified hydrogenated bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, PO-modified hydrogenated bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO-modified bisphenol F (3-ethyl) -3-oxetanylmethyl) ether, Toagosei Co., Ltd. OXT-191, etc. are mentioned.
オキセタン基が2官能であるものの中では、好ましくは、下記一般式(3−3)、一般式(3−4)、または化学式(3−5)で表される化合物が挙げられる。とりわけ化学式(3−5)で表される化合物を用いることで、硬度、残膜率、密着性が向上するために好ましい。
[一般式(3−3)中、R2は、同一若しくは異なっていても良く、炭素数が1〜10の炭化水素基、炭素数が1〜10のアルコキシ基、又は炭素数が1〜10のヒドロキシアルキレン基を表す。R3は、炭素数が1〜30の2価の有機基を表す。n1は1〜20の整数である。] [In General Formula (3-3), R 2 may be the same or different, and is a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, or 1 to 10 carbon atoms. Represents a hydroxyalkylene group. R 3 represents a divalent organic group having 1 to 30 carbon atoms. n 1 is an integer of from 1 to 20. ]
R2の炭素数として、より好ましくは、1〜4であり、更に好ましくは、1又は2であ
り、特に好ましくは、1である。
The number of carbon atoms of R 2 is more preferably 1 to 4, further preferably 1 or 2, and particularly preferably 1.
n2は、1〜10の整数で表されるものが好ましい。
n 2 is preferably represented by an integer of 1 to 10.
オキセタン基が2官能以上であるものとしては、
ペンタエリスリトールトリス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサ(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジトリメチロールプロパンテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、オキセタン基を含有する樹脂(例えば、特許第3783462号記載のオキセタン変性フェノールノボラック樹脂等)や前述の(3−エチルオキセタン−
3−イル)メチル(メタ)アクリレートのような(メタ)アクリルモノマーを重合させて
得られる重合体が挙げられる。このような重合体は、公知の重合法を用いて得ることができる。
As an oxetane group having two or more functional groups,
Pentaerythritol tris (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, pentaerythritol tetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol hexa (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol penta Kis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol tetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone-modified di Pentaerythritol pentakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ditrimethylolpropanetetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, oxy Resin (e.g., described in Japanese Patent No. 3783462 oxetane-modified phenol novolak resin, etc.) containing the Tan group and the above-mentioned (3-ethyloxetane -
Examples include polymers obtained by polymerizing (meth) acrylic monomers such as 3-yl) methyl (meth) acrylate. Such a polymer can be obtained using a known polymerization method.
オキセタン基が2官能以上であるものなかでも、オキセタン化合物(C3)が(3−エ
チルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレートを重合してなる重合体であるこ
とが硬度・耐薬品性の観点から好ましい。
Among those having an oxetane group having two or more functional groups, the oxetane compound (C3) is a polymer obtained by polymerizing (3-ethyloxetane-3-yl) methyl (meth) acrylate. It is preferable from the viewpoint.
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるオキセタン化合物(C3)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100重量%)として、通常0.5〜50重量%、好ましくは1〜40重量%である。オキセタン化合物(C3)の含有量が、前記の範囲にあると耐薬品性が高く、優れた塗膜が得られるため好ましい。 The content of the oxetane compound (C3) used in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.5 to 50% by weight, preferably 1 based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by weight). -40% by weight. When the content of the oxetane compound (C3) is in the above range, the chemical resistance is high, and an excellent coating film is obtained, which is preferable.
<(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物>
本発明の感光性樹脂組成物は、(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物を含んでいてもよく、これにより、より硬度に優れた塗膜を得ることができる。(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物は硬度、残膜率の観点から少なくとも3官能以上であることが好ましい。
<Radically polymerizable compound having (meth) acrylic group>
The photosensitive resin composition of this invention may contain the radically polymerizable compound which has a (meth) acryl group, and can thereby obtain the coating film which was excellent in hardness. The radically polymerizable compound having a (meth) acrylic group is preferably at least trifunctional or more from the viewpoint of hardness and remaining film ratio.
(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物の具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレ−ト、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、ペンタエリスリトールのホモポリマーとアクリル酸の反応生成物などが挙げられる。 Specific examples of the radical polymerizable compound having a (meth) acryl group include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipenta Erythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol hexaacrylate, reaction product of pentaerythritol tri (meth) acrylate and acid anhydride, reaction product of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and acid anhydride And a reaction product of pentaerythritol homopolymer and acrylic acid.
また、酸基を有していても良く、例えば、多価アルコールと(メタ)アクリル酸との遊離水酸基含有ポリ(メタ)アクリレート類と、ジカルボン酸類とのエステル化物;多価カルボン酸と、モノヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類とのエステル化物等を挙げることができる。具体例としては、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート等のモノヒドロキシオリゴアクリレートまたはモノヒドロキシオリゴメタクリレート類と、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、テレフタル酸等のジカルボン酸類との遊離カルボキシル基含有モノエステル化物;プロパン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸等のテトラカルボン酸類と、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート等のモノヒドロキシモノアクリレートまたはモノヒドロキシモノメタクリレート類との遊離カルボキシル基含有オリゴエステル化物等を挙げることができる。
これらの(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
In addition, it may have an acid group, for example, an esterified product of a free hydroxyl group-containing poly (meth) acrylate of a polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid and a dicarboxylic acid; a polyvalent carboxylic acid, Examples thereof include esterified products with hydroxyalkyl (meth) acrylates. Specific examples include monohydroxy oligoacrylates or monohydroxy oligomethacrylates such as pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, terephthalate. Monoesterified product containing free carboxyl group with dicarboxylic acid such as acid; propane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid, butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid, benzene-1,2,3 Tetracarboxylic acids such as 1,4-tetracarboxylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate It can be given free carboxyl group-containing oligo ester of monohydroxy monoacrylate or monohydroxy monomethacrylate and the like.
These radically polymerizable compounds having a (meth) acryl group can be used singly or as a mixture of two or more at any ratio as required.
このような(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物として市販品では、例えば、アロニックスM−400、アロニックスM−460、アロニックスM−402、アロニックスM−510、アロニックスM−520(東亜合成株式会社製)、KAYARAD
T−1420、KAYARAD DPHA、KAYARAD DPCA20、KAYAR
AD DPCA30、KAYARAD DPCA60、KAYARAD DPCA120(
日本化薬株式会社製)、ビスコート#802、ビスコート#2500、ビスコート#1000、ビスコート#1080(大阪有機化学工業株式会社)を挙げることができる。
Commercially available radically polymerizable compounds having such a (meth) acryl group include, for example, Aronix M-400, Aronix M-460, Aronix M-402, Aronix M-510, Aronix M-520 (Toa Gosei Co., Ltd.) Made), KAYARAD
T-1420, KAYARAD DPHA, KAYARAD DPCA20, KAYAR
AD DPCA30, KAYARAD DPCA60, KAYARAD DPCA120 (
Nippon Kayaku Co., Ltd.), Biscoat # 802, Biscoat # 2500, Biscoat # 1000, Biscoat # 1080 (Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.).
(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物を用いる場合、含有量は、樹脂組成物の固形分の合計100重量%中、5〜80重量%の量で用いることが好ましい。この場合、5重量%よりエチレン性不飽和二重結合を有するラジカル重合性化合物が少ないと、硬度アップや耐溶剤性付与という効果が得られ難く、80重量%より多いと透過率の低下、密着性の低下が起こる場合がある。より好ましくは、10〜50重量%である。 When using the radically polymerizable compound which has a (meth) acryl group, it is preferable to use content in the quantity of 5-80 weight% in the total of 100 weight% of solid content of a resin composition. In this case, if the amount of the radically polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond is less than 5% by weight, it is difficult to obtain the effect of increasing the hardness and imparting solvent resistance. Sexual decline may occur. More preferably, it is 10 to 50% by weight.
<アルカリ可溶性樹脂(F)>
本発明の感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、熱可塑性樹脂等が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂は、可視光領域の400〜700nmの全波長領域において分光透過率が好ましくは80%以上、より好ましくは95%以上の透明樹脂であることが好ましい。また、アルカリ現像型感光性組成物の形態で用いる場合には、酸性置換基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性アクリル系樹脂を用いることが好ましい。また、さらに光感度を向上させるために、エチレン性不飽和二重結合を有する活性エネルギー線硬化性樹脂を用いることもできる。
<Alkali-soluble resin (F)>
Examples of the alkali-soluble resin contained in the photosensitive resin composition of the present invention include thermoplastic resins. The alkali-soluble resin is preferably a transparent resin having a spectral transmittance of preferably 80% or more, more preferably 95% or more in the entire wavelength region of 400 to 700 nm in the visible light region. Moreover, when using with the form of an alkali image development type photosensitive composition, it is preferable to use the alkali-soluble acrylic resin which copolymerized the acidic substituent containing ethylenically unsaturated monomer. In order to further improve the photosensitivity, an active energy ray-curable resin having an ethylenically unsaturated double bond can also be used.
熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、ビニル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン(HDPE、LDPE)、ポリブタジエン、およびポリイミド樹脂等が挙げられる。 Examples of the thermoplastic resin include acrylic resin, butyral resin, styrene-maleic acid copolymer, chlorinated polyethylene, chlorinated polypropylene, polyvinyl chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyvinyl acetate, and polyurethane resin. Polyester resins, vinyl resins, alkyd resins, polystyrene resins, polyamide resins, rubber resins, cyclized rubber resins, celluloses, polyethylene (HDPE, LDPE), polybutadiene, and polyimide resins.
酸性置換基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアクリル系アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性置換基を有する樹脂が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂として具体的には、酸性置換基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン/(無水)マレイン酸共重合体、スチレン/スチレンスルホン酸共重合体、エチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、又はイソブチレン/(無水)マレイン酸共重合体等が挙げられる。中でも、酸性置換基を有するアクリル樹脂、およびスチレン/スチレンスルホン酸共重合体から選ばれる少なくとも1種の樹脂、特に酸性置換基を有するアクリル樹脂は、耐熱性、透明性が高いため、好適に用いられる。 Examples of the acrylic alkali-soluble resin copolymerized with an acidic substituent-containing ethylenically unsaturated monomer include resins having an acidic substituent such as a carboxyl group and a sulfone group. Specific examples of the alkali-soluble resin include an acrylic resin having an acidic substituent, an α-olefin / (anhydrous) maleic acid copolymer, a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, an ethylene / (meth) acrylic acid copolymer, Or an isobutylene / (anhydrous) maleic acid copolymer etc. are mentioned. Among them, at least one resin selected from an acrylic resin having an acidic substituent and a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, particularly an acrylic resin having an acidic substituent, is preferably used because of its high heat resistance and transparency. It is done.
エチレン性不飽和二重結合を有する活性エネルギー線硬化性樹脂としては、たとえば以下に示す(i)や(ii)の方法によりエチレン性不飽和二重結合を導入した樹脂が挙げられる。 Examples of the active energy ray-curable resin having an ethylenically unsaturated double bond include resins into which an ethylenically unsaturated double bond has been introduced by the following methods (i) and (ii).
[方法(i)]
方法(i)としては、例えば、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の1種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖エポキシ基に、エチレン性不飽和二重結合を有する不飽和一塩基酸のカルボキシル基を付加反応させ、更に、生成した水酸基に、多塩基酸無水物を反応させ、エチレン性不飽和二重結合およびカルボキシル基を導入する方法がある。このようにして得られた樹脂は、残膜率および硬度に優れるために好ましい。
[Method (i)]
As the method (i), for example, a side chain epoxy group of a copolymer obtained by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group and one or more other monomers is used. Addition reaction of a carboxyl group of an unsaturated monobasic acid having an ethylenically unsaturated double bond, and further reacting a polybasic acid anhydride with the generated hydroxyl group to convert an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group. There is a way to introduce. The resin thus obtained is preferable because of its excellent residual film rate and hardness.
エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−グリシドキシエチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、及び3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートが挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。次工程の不飽和一塩基酸との反応性の観点で、グリシジル(メタ)アクリレートが好ましい。 Examples of the ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group include glycidyl (meth) acrylate, methyl glycidyl (meth) acrylate, 2-glycidoxyethyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate. And 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, which may be used alone or in combination of two or more. From the viewpoint of reactivity with the unsaturated monobasic acid in the next step, glycidyl (meth) acrylate is preferred.
不飽和一塩基酸としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸、(メタ)アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体等のモノカルボン酸等が挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。 Examples of unsaturated monobasic acids include (meth) acrylic acid, crotonic acid, o-, m-, p-vinylbenzoic acid, α-haloalkyl of (meth) acrylic acid, alkoxyl, halogen, nitro, cyano substituted products, etc. Monocarboxylic acid etc. are mentioned, These may be used independently or may use 2 or more types together.
多塩基酸無水物としては、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられ、これらは単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。カルボキシル基の数を増やす等、必要に応じて、トリメリット酸無水物等のトリカルボン酸無水物を用いたり、ピロメリット酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物を用いて、残った無水物基を加水分解したりすること等もできる。また、多塩基酸無水物として、エチレン性不飽和二重結合を有する、テトラヒドロ無水フタル酸、又は無水マレイン酸を用いると、更にエチレン性不飽和二重結合を増やすことができる。 Examples of polybasic acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride, etc., and these may be used alone or in combination of two or more. It doesn't matter. If necessary, use a tricarboxylic anhydride such as trimellitic anhydride or a tetracarboxylic dianhydride such as pyromellitic dianhydride to increase the number of carboxyl groups. The group can be hydrolyzed. Further, when tetrahydrophthalic anhydride or maleic anhydride having an ethylenically unsaturated double bond is used as the polybasic acid anhydride, the ethylenically unsaturated double bonds can be further increased.
方法(i)の類似の方法として、例えば、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量
体と、他の1種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖カルボキシル基の一部に、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を付加反応させ、エチレン性不飽和二重結合およびカルボキシル基を導入する方法がある。
As a method similar to the method (i), for example, a side chain of a copolymer obtained by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group and one or more other monomers. There is a method in which an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group is added to a part of a carboxyl group to introduce an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group.
[方法(ii)]
方法(ii)としては、水酸基を有するエチレン性不飽和単量体を使用し、他のカルボキシル基を有する不飽和一塩基酸の単量体や、他の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖水酸基に、イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体のイソシアネート基を反応させる方法がある。
[Method (ii)]
As the method (ii), an ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group is used, and an unsaturated monobasic acid monomer having another carboxyl group or another monomer is copolymerized. There is a method of reacting the isocyanate group of an ethylenically unsaturated monomer having an isocyanate group with the side chain hydroxyl group of the obtained copolymer.
水酸基を有するエチレン性不飽和単量体としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−若しくは3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−若しくは3−若しくは4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレ
ート、又はシクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキルメタアクリレート類が挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用して用いてもかまわない。また、上記ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートに、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び/又はブチレンオキシド等を付加重合させたポリエーテルモノ(メタ)アクリレートや、ポリγ−バレロラクトン、ポリε−カプロラクトン、及び/又はポリ12−ヒドロキシステアリン酸等を付加したポリエステルモノ(メタ)アクリレートも使用できる。塗膜異物抑制の観点から、2−ヒドロキシエチルメタアクリレート、又はグリセロールメタアクリレートが好ましい。
Examples of the ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2- or 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- or 3- or 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, and glycerol. Examples thereof include hydroxyalkyl methacrylates such as (meth) acrylate or cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, and these may be used alone or in combination of two or more. In addition, polyether mono (meth) acrylate obtained by addition polymerization of ethylene oxide, propylene oxide, and / or butylene oxide to the above hydroxyalkyl (meth) acrylate, polyγ-valerolactone, polyε-caprolactone, and / or Polyester mono (meth) acrylate added with poly-12-hydroxystearic acid or the like can also be used. From the viewpoint of suppressing foreign matter on the coating film, 2-hydroxyethyl methacrylate or glycerol methacrylate is preferable.
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体としては、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、又は1,1−ビス〔メタアクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられるが、これらに限定することなく、2種類以上併用することもできる。 Examples of the ethylenically unsaturated monomer having an isocyanate group include 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate or 1,1-bis [methacryloyloxy] ethyl isocyanate, but are not limited thereto. Two or more types can be used in combination.
アルカリ可溶性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは、3000〜100000であり、より好ましくは5000〜50000である。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗工性が良好であり、アルカリ可溶性樹脂として使用する際には現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に未露光部分の現像性が良好である傾向にあり、好ましい。
アルカリ可溶性樹脂の分子量分布[重量平均分子量/数平均分子量]は、好ましくは1.5〜6.0であり、より好ましくは、1.8〜4.0である。分子量分布が、前記の範囲にあると、現像性に優れるので好ましい。
The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the alkali-soluble resin is preferably 3000 to 100,000, more preferably 5000 to 50000. When the weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is in the above range, the coating property is good, and when used as an alkali-soluble resin, film loss does not easily occur during development, and the developability of the unexposed part during development. Tends to be good, which is preferable.
The molecular weight distribution [weight average molecular weight / number average molecular weight] of the alkali-soluble resin is preferably 1.5 to 6.0, and more preferably 1.8 to 4.0. The molecular weight distribution in the above range is preferable because the developability is excellent.
アルカリ可溶性樹脂(F)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100重量%)として、通常5〜90重量%、好ましくは10〜70重量%である。アルカリ可溶性樹脂(F)の含有量が、前記の範囲にあると、現像液への溶解性に優れ、現像残渣が発生し難く、また現像時に露光部の膜減りが生じ難いため好ましい。 The content of the alkali-soluble resin (F) is usually 5 to 90% by weight, preferably 10 to 70% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by weight). When the content of the alkali-soluble resin (F) is in the above-mentioned range, it is preferable because it is excellent in solubility in a developing solution, hardly causes a development residue, and does not easily reduce the film thickness of an exposed portion during development.
<溶剤>
溶剤としては、例えば
1,2,3−トリクロロプロパン、1,3−ブタンジオール、1,3−ブチレングリコール、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,4−ジオキサン、2−ヘプタノン、2−メチル−1,3−プロパンジオール、3,5,5−トリメチル−2−シクロヘキセン−1−オン、3,3,5−トリメチルシクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メチル−1,3−ブタンジオール、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール、3−メトキシ−3−メチルブチルアセテート、3−メトキシブタノール、3−メトキシブチルアセテート、4−ヘプタノン、m−キシレン、m−ジエチルベンゼン、m−ジクロ
ロベンゼン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、n−ブチルアルコール、n−ブチルベンゼン、n−プロピルアセテート、N−メチルピロリドン、o−キシレン、o−クロロトルエン、o−ジエチルベンゼン、o−ジクロロベンゼン、p−クロロトルエン、p−ジエチルベンゼン、sec−ブチルベンゼン、tert−ブチルベンゼン、γ―ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸n−アミル、酢酸n−ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等が挙げられる。
これらの溶剤は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
<Solvent>
Examples of the solvent include 1,2,3-trichloropropane, 1,3-butanediol, 1,3-butylene glycol, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,4-dioxane, 2-heptanone, and 2-methyl. -1,3-propanediol, 3,5,5-trimethyl-2-cyclohexen-1-one, 3,3,5-trimethylcyclohexanone, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methyl-1,3-butanediol 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate, 3-methoxybutanol, 3-methoxybutyl acetate, 4-heptanone, m-xylene, m-diethylbenzene, m-dichlorobenzene N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, n-butylal N-butylbenzene, n-propyl acetate, N-methylpyrrolidone, o-xylene, o-chlorotoluene, o-diethylbenzene, o-dichlorobenzene, p-chlorotoluene, p-diethylbenzene, sec-butylbenzene, tert-butylbenzene, γ-butyrolactone, isobutyl alcohol, isophorone, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monotertiary butyl ether, Ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether Ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, diisobutyl ketone, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoisopropyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol Monomethyl ether, cyclohexanol, cyclohexanol acetate, cyclohexanone, cyclopentanone, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate, dipropylene glycol monoethyl acetate Dipropylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, diacetone alcohol, triacetin, tripropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, propylene glycol diacetate, propylene glycol phenyl ether, propylene Glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether propionate, benzyl alcohol Methyl isobutyl ketone, methyl cyclohexanol, acetic acid n- amyl acetate n- butyl, isoamyl acetate, isobutyl acetate, propyl acetate, dibasic esters, ethylene carbonate and propylene carbonate.
These solvents can be used singly or in combination of two or more at any ratio as required.
特に溶剤の乾燥性を考慮し、ダイコートや印刷法などにおいては、160℃以上の高沸点溶剤を含むことが好ましく、たとえば、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール(bp174℃)、1,3−ブタンジオール(bp203℃)、3−メチル−1,3−ブタンジオール(bp203℃)、2−メチル−1,3−プロパンジオール(bp213℃)、ジイソブチルケトン(bp168.1℃)、エチレングリコールモノブチルエーテル(bp171.2℃)、エチレングリコールモノヘキシルエーテル(bp208.1℃)、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート(bp191.5℃)、エチレングリコールジブチルエーテル(bp203.3℃)、ジエチレングリコールモノメチルエーテル(bp194.0℃)、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(bp202.0℃)、ジエチレングリコールジエチルエーテル(bp188.4℃)、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル(bp207.3℃)、プロピレングリコールモノブチルエーテル(bp170.2℃)、プロピレングリコールジアセテート(bp190.0℃)、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(bp187.2℃)、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル(bp197.8℃)、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル(bp212.0℃)、ジプロピレングリコールジメチルエーテル(bp175℃)、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル(bp206.3℃)、3−エトキシプロピオン酸エチル(bp169.7℃)、3−メトキシブチルアセテート(bp172.5℃)、3−メトキシ−3−メチルブチルアセテート(bp188℃)、γ−ブチロ
ラクトン(bp204℃)、N,N−ジメチルアセトアミド(bp166.1℃)、N−メチルピロリドン(bp202℃)、p−クロロトルエン(bp162.0℃)、o−ジエチルベンゼン(bp183.4℃)、m−ジエチルベンゼン(bp181.1℃)、p−ジエチルベンゼン(bp183.8℃)、o−ジクロロベンゼン(bp180.5℃)、m−ジクロロベンゼン(bp173.0℃)、n−ブチルベンゼン(bp183.3℃)、sec−ブチルベンゼン(bp178.3℃)、tert−ブチルベンゼン(bp169.1℃)、シクロヘキサノール(bp161.1℃)、シクロヘキシルアセテート(bp173℃)、メチルシクロヘキサノール(bp174℃)等が挙げられ、160℃以上の高沸点溶剤は溶剤の全量を基準として5〜50重量%が好ましい。
溶剤の含有量は、樹脂組成物中の固形分の合計100重量部に対して、200〜4000重量部の量で用いることができる。
Particularly considering the drying property of the solvent, it is preferable to include a high boiling point solvent of 160 ° C. or higher in die coating or printing method, for example, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol (bp 174 ° C.), 1, 3-butanediol (bp 203 ° C.), 3-methyl-1,3-butanediol (bp 203 ° C.), 2-methyl-1,3-propanediol (bp 213 ° C.), diisobutyl ketone (bp 168.1 ° C.), ethylene glycol Monobutyl ether (bp 171.2 ° C.), ethylene glycol monohexyl ether (bp 208.1 ° C.), ethylene glycol monobutyl ether acetate (bp 191.5 ° C.), ethylene glycol dibutyl ether (bp 203.3 ° C.), diethylene glycol monomethyl ether (bp 194.degree. C.) 0 ℃), Jie Ren glycol monoethyl ether (bp 202.0 ° C.), diethylene glycol diethyl ether (bp 188.4 ° C.), diethylene glycol monoisopropyl ether (bp 207.3 ° C.), propylene glycol monobutyl ether (bp 170.2 ° C.), propylene glycol diacetate (bp 190 0.0 ° C.), dipropylene glycol monomethyl ether (bp 187.2 ° C.), dipropylene glycol monoethyl ether (bp 197.8 ° C.), dipropylene glycol monopropyl ether (bp 212.0 ° C.), dipropylene glycol dimethyl ether (bp 175 ° C.) ), Tripropylene glycol monomethyl ether (bp 206.3 ° C.), ethyl 3-ethoxypropionate (bp 169.7 ° C.), 3-methoxy Tyl acetate (bp 172.5 ° C.), 3-methoxy-3-methylbutyl acetate (bp 188 ° C.), γ-butyrolactone (bp 204 ° C.), N, N-dimethylacetamide (bp 166.1 ° C.), N-methylpyrrolidone (bp 202 ° C), p-chlorotoluene (bp162.0 ° C), o-diethylbenzene (bp183.4 ° C), m-diethylbenzene (bp181.1 ° C), p-diethylbenzene (bp183.8 ° C), o-dichlorobenzene (bp180) 0.5 ° C), m-dichlorobenzene (bp 173.0 ° C), n-butylbenzene (bp183.3 ° C), sec-butylbenzene (bp178.3 ° C), tert-butylbenzene (bp169.1 ° C), cyclo Hexanol (bp 161.1 ° C.), cyclohexyl acetate (b 173 ° C.), include such methylcyclohexanol (bp174 ℃), preferably high-boiling solvent or 160 ° C. 5 to 50 wt% based on the total amount of solvent.
Content of a solvent can be used in the quantity of 200-4000 weight part with respect to a total of 100 weight part of solid content in a resin composition.
<その他の成分>
本発明の感光性樹脂組成物には、その他必要に応じてシラン化合物、加熱硬化型触媒、無機酸化物微粒子、酸化防止剤、界面活性剤、貯蔵安定剤、レベリング剤、光安定剤などを使用することもできる。
<Other ingredients>
In the photosensitive resin composition of the present invention, a silane compound, a thermosetting catalyst, inorganic oxide fine particles, an antioxidant, a surfactant, a storage stabilizer, a leveling agent, a light stabilizer and the like are used as necessary. You can also
<シラン化合物>
本発明の感光性樹脂組成物は、さらにシラン化合物を併用してもよい。シラン化合物を含むことでガラス基材、ITOなどとの密着性が向上するために好ましい。
<Silane compound>
The photosensitive resin composition of the present invention may further use a silane compound. Including a silane compound is preferable because adhesion to a glass substrate, ITO, or the like is improved.
シラン化合物としては、アミドまたはウレタン骨格、イミダゾール基、イソシアネート基、ビニル基、グリシジル基、(メタ)アクリロイルオキシ基、アミノ基、ウレイド基、メルカプト基、またはスルフィド基を有するシラン化合物等が挙げられる。
シラン化合物の中でも、アミドまたはウレタン骨格を有するシラン化合物(D1)、より好ましくは一般式(6)で示されるシラン化合物、またはイミダゾール基を有するシラン化合物(D2)、より好ましくは化学式(7)で表されるシラン化合物が、より密着性に優れるために好ましい。
Examples of the silane compound include silane compounds having an amide or urethane skeleton, an imidazole group, an isocyanate group, a vinyl group, a glycidyl group, a (meth) acryloyloxy group, an amino group, a ureido group, a mercapto group, or a sulfide group.
Among silane compounds, a silane compound (D1) having an amide or urethane skeleton, more preferably a silane compound represented by the general formula (6), or a silane compound (D2) having an imidazole group, more preferably a chemical formula (7). The silane compound represented is preferable because it is more excellent in adhesion.
[シラン化合物(D1)]
シラン化合物(D1)としては、一般式(6)で示されるシラン化合物が挙げられる。
[一般式(6)中、R31は、炭素数1〜20のアルコキシ基、炭素数6〜20のアリールオキシ基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数7〜30のアルアルキル基、炭素数7〜30のアルカリール基、
Xは、炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数6〜20のアリーレン基、炭素数1〜20のアルコキシレン基、
R32 、R33およびR34は、互いに独立して、炭素数1〜20のアルコキシ基、炭素数6〜20のアリールオキシ基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数7〜30のアルアルキル基、炭素数7〜30のアルカリール基、置換基を有するシロキサン基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、または水素原子である。]
[Silane Compound (D1)]
As a silane compound (D1), the silane compound shown by General formula (6) is mentioned.
[In General Formula (6), R 31 is an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, an aryloxy group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, carbon An aralkyl group having 7 to 30 carbon atoms, an alkaryl group having 7 to 30 carbon atoms,
X is an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, an alkoxylene group having 1 to 20 carbon atoms,
R 32 , R 33 and R 34 are each independently an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, an aryloxy group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an aryl having 6 to 20 carbon atoms. Group, an aralkyl group having 7 to 30 carbon atoms, an alkaryl group having 7 to 30 carbon atoms, a siloxane group having a substituent, a halogen atom, a hydroxy group, or a hydrogen atom. ]
R31が、アルキル基、アリール基、アルアルキル基、アルカリール基の場合、アミド骨格を有するシラン化合物となり、R31が、アルコキシ基、アリールオキシ基の場合、ウレタン骨格を有するシラン化合物となる。 When R 31 is an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group, or an alkaryl group, the silane compound has an amide skeleton, and when R 31 is an alkoxy group or an aryloxy group, the silane compound has a urethane skeleton.
一般式(6)で示されるシラン化合物としては、例えば(3−カルバメートエチル)プロピルトリエトキシシラン、(3−カルバメートエチル)プロピルトリメトキシシラン、(3−カルバメートエチル)プロピルトリプロパキシシラン、(3−カルバメートプロピル)プロピルトリエトキシシラン、(3−カルバメートプロピル)プロピルトリメトキシシラン、(3−カルバメートプロピル)プロピルトリプロパキシシラン、(3−カルバメートブチル)プロピルトリエトキシシラン、(3−カルバメートブチル)プロピルトリメ
トキシシラン、(3−カルバメートブチル)プロピルトリプロパキシシラン、(3−カル
バメートブチル)ブチルトリプロパキシシラン、(3−カルバメートブチル)プロピルメ
チルジエトキシシラン、(3−カルバメートペンチル)プロピルトリエトキシシラン、(3−カルバメートヘキシル)プロピルトリエトキシシラン、3−カルバメートオクチル)ペンチルトリブトキシシラン、(3−カルバメートエチル)プロピルシリルトリクロライド、(3−カルバメートエチル)プロピルトリメチルシラン、3−カルバメートエチル)プロピルジメチルシラン、3−カルバメートエチル)プロピルトリブチルシラン、3−カルバメートエチル)エチル-p-キシレントリエトキシシラン、3−カルバメートエチル)-p-フェニレントリエトキシシランなどが挙げられるが、これらに限られない。また一般式(6)で示されるシラン化合物(D1)は、その加水分解により生じるシラノール化合物であっても、それらが脱水縮合したポリオルガノシロキサン化合物でも良い。
Examples of the silane compound represented by the general formula (6) include (3-carbamateethyl) propyltriethoxysilane, (3-carbamateethyl) propyltrimethoxysilane, (3-carbamateethyl) propyltripropoxysilane, (3 -Carbamatepropyl) propyltriethoxysilane, (3-carbamatepropyl) propyltrimethoxysilane, (3-carbamatepropyl) propyltripropoxysilane, (3-carbamatebutyl) propyltriethoxysilane, (3-carbamatebutyl) propyl Trimethoxysilane, (3-carbamatebutyl) propyltripropoxysilane, (3-carbamatebutyl) butyltripropoxysilane, (3-carbamatebutyl) propylmethyldiethoxysilane, (3-cal Matepentyl) propyltriethoxysilane, (3-carbamatehexyl) propyltriethoxysilane, 3-carbamateoctyl) pentylriboxysilane, (3-carbamateethyl) propylsilyltrichloride, (3-carbamateethyl) propyltrimethylsilane, 3-carbamateethyl) propyldimethylsilane, 3-carbamateethyl) propyltributylsilane, 3-carbamateethyl) ethyl-p-xylenetriethoxysilane, 3-carbamateethyl) -p-phenylenetriethoxysilane, etc. It is not limited to these. Further, the silane compound (D1) represented by the general formula (6) may be a silanol compound produced by hydrolysis thereof or a polyorganosiloxane compound obtained by dehydration condensation thereof.
一般式(6)で示されるシラン化合物(D)は耐熱性に優れているため塗膜が黄変しにくく、また化学的にも安定であるため経時安定性に優れ、経時後も現像性が損なわれることがない。 Since the silane compound (D) represented by the general formula (6) is excellent in heat resistance, the coating film is hardly yellowed, and is chemically stable, so that it is excellent in stability over time, and developability after aging. It will not be damaged.
[シラン化合物(D2)]
シラン化合物(D2)は、イミダゾール基を有するシラン化合物であり、一分子中に第1官能基としてイミダゾール基を、第2官能基としてアルコキシシリル基、クロロシリル基、アセトキシシリル基から選ばれる1種類以上を共に有する化合物などであり、イミダゾール環が飽和炭化水素基、不飽和炭化水素基等の置換基を有していても良い。
詳しくは、イミダゾール、2−アルキルイミダゾール、2,4−ジアルキルイミダゾール、4−ビニルイミダゾール等と3−グリドキシプロピルシラン化合物との反応物、2−エチル−4−メチルイミダゾプロピルシラン、およびこれらの塩、分子内縮合物、分子間縮合物等が挙げられる。
[Silane Compound (D2)]
The silane compound (D2) is a silane compound having an imidazole group, and one or more kinds selected from an imidazole group as a first functional group and an alkoxysilyl group, a chlorosilyl group, and an acetoxysilyl group as a second functional group in one molecule. And the imidazole ring may have a substituent such as a saturated hydrocarbon group or an unsaturated hydrocarbon group.
Specifically, imidazole, 2-alkylimidazole, 2,4-dialkylimidazole, a reaction product of 4-vinylimidazole and the like with 3-gridoxypropylsilane compound, 2-ethyl-4-methylimidazopropylsilane, and salts thereof , Intramolecular condensates, intermolecular condensates, and the like.
イミダゾール基を有するシラン化合物の中でも、より好ましくは、化学式(7)で示されるシラン化合物である。
また、化学式(7)で示されるシラン化合物、またはシラン化合物の加水分解により生じるシラノール化合物であっても、シラノール化合物の脱水縮合反応により生じるポリオルガノシロキサン化合物であってもよく、これらの混合物であっても良い。
Further, it may be a silane compound represented by the chemical formula (7), a silanol compound produced by hydrolysis of the silane compound, or a polyorganosiloxane compound produced by a dehydration condensation reaction of the silanol compound, and a mixture thereof. May be.
化学式(7)で示されるシラン化合物(D2)は、市販品としてはIM−1000(JX日鉱日石金属社製)が挙げられる。 As a silane compound (D2) represented by the chemical formula (7), IM-1000 (manufactured by JX Nippon Mining & Metals) may be mentioned as a commercial product.
その他のシラン化合物としては、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(ビニルベンジル)−2−アミノエチル−3−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、等が挙げられる。
これらのシラン化合物は、単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
Other silane compounds include vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycid Xylpropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, p-styryltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxy Silane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- ( 1,3-dimethyl-butylidene) propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (vinylbenzyl) -2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride, 3-ureidopropyl Triethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, bis (triethoxysilylpropyl) tetrasulfide, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, and the like. It is.
These silane compounds can be used alone or in admixture of two or more at any ratio as required.
またシラン化合物(D)の重量平均分子量(Mw)は、200以上5000未満であることが、現像性の点からより好ましい。
シラン化合物(D)の含有量は、樹脂組成物の固形分合計100重量%中、1重量%以上20重量%未満であることが、現像性の点からより好ましい。さらに好ましくは、1重量%以上10重量%未満である。
The weight average molecular weight (Mw) of the silane compound (D) is more preferably 200 or more and less than 5000 from the viewpoint of developability.
The content of the silane compound (D) is more preferably 1% by weight or more and less than 20% by weight in the total solid content of the resin composition of 100% by weight from the viewpoint of developability. More preferably, they are 1 weight% or more and less than 10 weight%.
シラン化合物(D)の重量平均分子量(Mw)が、200以上の場合、入手性の観点から好ましく、5000未満の場合、現像性が良好となるために好ましい。また、含有量が1重量%以上の場合、透過率と現像性が優れ、20重量%未満の場合、基材への密着性や硬度だけでなく、現像性にも優れるために好ましい。 When the weight average molecular weight (Mw) of the silane compound (D) is 200 or more, it is preferable from the viewpoint of availability, and when the weight average molecular weight (Mw) is less than 5000, the developability is good. Moreover, when the content is 1% by weight or more, the transmittance and developability are excellent, and when it is less than 20% by weight, not only the adhesion to the substrate and the hardness but also the developability is preferable.
<加熱硬化型触媒>
本発明における感光性樹脂組成物は、加熱硬化型触媒を使用することもできる。
加熱硬化型触媒は、80〜200℃以上に加熱されることでエポキシ樹脂に対して触媒能を発揮する化合物又は組成物である。これらは単独で、またはエポキシ樹脂のような他の樹脂に適宜分散させて配合することができる。このような加熱硬化型触媒としては、以下に示すものが挙げられる。
<Heat-curing catalyst>
A thermosetting catalyst can also be used for the photosensitive resin composition in the present invention.
A thermosetting catalyst is a compound or composition that exhibits catalytic ability for an epoxy resin when heated to 80 to 200 ° C. or higher. These can be blended alone or in appropriate dispersion in another resin such as an epoxy resin. Examples of such a thermosetting catalyst include those shown below.
ジシアンジアミド:市販品としてはjERキュアDICY7、15、20、7A(以上はジャパンエポキシレジン(株)製/商品名)、オミキュアDDA10、DDA50、DDA100、DDA5、CG−325、CG−1200、CG−1400、DICYNEX325、DICY−F、DICY−M(以上はCVCSpecialty Chemicals,Inc.製/商品名)等が挙げられる。
アミンアダクト体:市販品としてはアミキュアPN−23、MY−24、PN−D、MY−D、PN−H、MY−H(以上は味の素ファインテクノ(株)製/商品名)等が挙げられる。
イミダゾール:市販品としてはキュアゾール2MZ、2PZ、2PHZ、2MZ−OK、2PZ−OK、2P4MHZ、2PHZ、2E4MZ、C11Z、C17Z、2MA−OK、1B2MZ(以上は四国化成工業(株)製/商品名)、jERキュアIBMI−12、EMI−24、BMI−12(以上はジャパンエポキシレジン(株)製/商品名)、ニチゴーイミダゾール2PI、2MI、2E4MI、1B2MI(以上は日本合成化学工業(株)製/商品名)等が挙げられる。また、これら化合物の官能基を適宜不活性基シアノエチル基で置換したタイプ、トリメリット酸等で造塩したタイプ、ジシアンジアミドで変性したタイプも同様に使用できる。これらの市販品としては2E4MZ−CN、2PHZ−CN、C11Z−CNS、2MZ−AZINE(以上は四国化成工業(株)製/商品名)、等が挙げられる。
尿素型アダクト系、芳香族ウレア:市販品としてはフジキュアFXR1020、1030、1081(以上は富士化成工業(株)製/商品名)、DCMU(保土谷化学工業(株)製、3−(3,4−ジクロロフェニル)−1,1−ジメチル尿素/商品名)、オミキュア24、52、94(以上はCVCSpecialty Chemicals,Inc.製/商品名)等が挙げられる。
イリドタイプ系:市販品としてはエピキュアYPH−101、102、103、104、201、202、203、204、205、206、207、208、209、210(以上はジャパンエポキシレジン(株)製/商品名)が挙げられる。
p−トルエンスルホン酸の塩:市販品としてはアンカー1786B、キャタリスト2134(以上はエアープロダクツジャパン(株)製/商品名)、アデカハードナーEH−3293S((株)ADEKA製/商品名)等が挙げられる。
マイクロカプセル化潜在性硬化剤:市販品としてはノバキュアHX−3721、3722、3741、3742、3748、3613、3088、3921HP、3941HP(以上は旭化成ケミカルズ(株)製/商品名)等が挙げられる。
その他、ジアミノマレオニトリルとその誘導体、シッフベース、メラミンとその誘導体、カルボン酸エステルとジメチルヒドラジンとエポキシ化合物によって合成されるアミンイミド、アミンイミドイミダゾール系化合物等が適宜使用できる。
Dicyandiamide: Commercially available products are jER Cure DICY 7, 15, 20, 7A (the above is Japan Epoxy Resin Co., Ltd./trade name), Omicure DDA10, DDA50, DDA100, DDA5, CG-325, CG-1200, CG-1400 , DICYNEX 325, DICY-F, and DICY-M (the above is a product name / product name, manufactured by CVC Specialty Chemicals, Inc.).
Amine Adduct: Amicure PN-23, MY-24, PN-D, MY-D, PN-H, MY-H (above / manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd./trade name) and the like are listed as commercial products. .
Imidazole: Commercially available products include Curesol 2MZ, 2PZ, 2PHZ, 2MZ-OK, 2PZ-OK, 2P4MHZ, 2PHZ, 2E4MZ, C11Z, C17Z, 2MA-OK, 1B2MZ (the above are manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd./trade names) , JER Cure IBMI-12, EMI-24, BMI-12 (above Japan Epoxy Resin Co./trade name), Nichigoimidazole 2PI, 2MI, 2E4MI, 1B2MI (above Japan Synthetic Chemical Co., Ltd./ Product name). Further, a type in which the functional group of these compounds is appropriately substituted with an inert group cyanoethyl group, a type salted with trimellitic acid, or a type modified with dicyandiamide can be used in the same manner. Examples of these commercially available products include 2E4MZ-CN, 2PHZ-CN, C11Z-CNS, 2MZ-AZINE (the above is a product name manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.).
Urea-type adduct system, aromatic urea: As commercially available products, Fujicure FXR1020, 1030, 1081 (the above is manufactured by Fuji Kasei Kogyo Co., Ltd./trade name), DCMU (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), 3- (3 4-dichlorophenyl) -1,1-dimethylurea / trade name), Omicure 24, 52, 94 (the above is CVCCS Specialty Chemicals, Inc./trade name) and the like.
Irido type: As a commercial product, EpiCure YPH-101, 102, 103, 104, 201, 202, 203, 204, 205, 206, 207, 208, 209, 210 (the above is made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd./trade name) ).
Salts of p-toluenesulfonic acid: As commercial products, there are Anchor 1786B, Catalyst 2134 (the above is manufactured by Air Products Japan Co., Ltd./trade name), Adeka Hardener EH-3293S (manufactured by ADEKA Co., Ltd./trade name), and the like. Can be mentioned.
Microencapsulated latent curing agent: NovaCure HX-3721, 3722, 3741, 3742, 3748, 3613, 3088, 3921HP (above / made by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd.)
In addition, diaminomaleonitrile and its derivatives, Schiff base, melamine and its derivatives, amine imide synthesized by carboxylic acid ester, dimethylhydrazine and epoxy compound, amine imide imidazole compound and the like can be used as appropriate.
これらのなかでも、イミダゾール系化合物又はジシアンジアミド類及びこれらの変性物が、硬化性や入手性などの観点から好ましい。
加熱硬化型触媒の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分合計100重量%中、好ましくは0.5〜30重量%、さらに好ましくは0.7〜15重量%である。この範囲を逸脱すると、硬化が十分に進行しないか、十分に密着性が発現しないという不具合が生じる場合がある。
Among these, imidazole compounds or dicyandiamides and modified products thereof are preferable from the viewpoint of curability and availability.
The content of the thermosetting catalyst is preferably 0.5 to 30% by weight, more preferably 0.7 to 15% by weight, in the total solid content of 100% by weight of the photosensitive resin composition. When deviating from this range, there may be a problem that the curing does not proceed sufficiently or the adhesiveness is not sufficiently developed.
<酸無水物系硬化剤>
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに酸無水物系硬化剤を併用してもよい。酸無水物系硬化剤は、エポキシ樹脂と混合することで熱硬化を促進することができる。前述の加熱硬化型触媒との違いは触媒作用がない点である。
<Acid anhydride curing agent>
The photosensitive resin composition of the present invention may further use an acid anhydride curing agent. The acid anhydride curing agent can promote thermal curing by mixing with an epoxy resin. The difference from the aforementioned thermosetting catalyst is that there is no catalytic action.
酸無水物系硬化剤としては、
無水酢酸、無水プロピオン酸、酪酸無水物、へキサン酸無水物 、酢酸プロピオン酸無水
物等の脂肪族カルボン酸無水物、コハク酸無水物、マレイン酸無水物等の脂肪族ジカルボン酸無水物、シクロへキサン酸カルボン酸等の脂肪族環式カルボン酸無水物、安息香酸無水物、フタル酸無水物、等の芳香族カルボン酸無水物、ピロメリット酸無水物、トリメリット酸無水物、等の芳香族ジカルボン酸無水物等が挙げられる。
As an acid anhydride curing agent,
Acetic anhydride, propionic anhydride, butyric acid anhydride, hexanoic acid anhydride, aliphatic carboxylic acid anhydride such as acetic acid propionic acid anhydride, aliphatic dicarboxylic acid anhydride such as succinic acid anhydride, maleic acid anhydride, cyclohexane Aromatic carboxylic anhydrides such as aliphatic cyclic carboxylic anhydrides such as hexanoic acid carboxylic acid, benzoic anhydride, phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, etc. Group dicarboxylic acid anhydride and the like.
より具体的には、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、3,4,5,6−テトラヒドロ無水フタル酸、3−メチル−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、4−メチル−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、3−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチル−3,6エンドメチレン−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸3,3’ ,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸ニ無水物を好ましく使用することができる。 More specifically, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 3-methyl-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, 4 -Methyl-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 3-methylhexahydrophthalic anhydride, 4-methylhexahydrophthalic anhydride, methyl-3,6 endomethylene-1,2 , 3,6-Tetrahydrophthalic anhydride 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride can be preferably used.
市販品としては、
リカシッドTH、リカシッドHT−1A、リカシッドHH、リカシッドMH−700、リカシッドMH−700G、リカシッドMH(いずれも新日本(株)製)、HN−2200、HN−2000、HN−5500、無水メチルハイミック酸(MHAC−P)(いずれも日立化成(株)製)、YH−306、YH−307(いずれも三菱化学(株)製)等が挙げられる。
As a commercial item,
Ricacid TH, Ricacid HT-1A, Ricacid HH, Ricacid MH-700, Ricacid MH-700G, Ricacid MH (all manufactured by Shin Nippon Co., Ltd.), HN-2200, HN-2000, HN-5500, anhydrous methyl hymic Examples include acid (MHAC-P) (all manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), YH-306, YH-307 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and the like.
酸無水物系硬化剤は、エポキシ化合物(C2)の固形分の合計100重量%中、0.1〜40重量%の量で用いることが好ましく、耐薬品性の観点から5〜30重量%の量で用いることがより好ましい。 The acid anhydride curing agent is preferably used in an amount of 0.1 to 40% by weight in a total of 100% by weight of the solid content of the epoxy compound (C2), and 5 to 30% by weight from the viewpoint of chemical resistance. More preferably, it is used in an amount.
<無機酸化物微粒子>
本発明の感光性樹脂組成物は無機酸化物微粒子を用いることができる。無機酸化物微粒子としては、得られる硬化性組成物の硬化被膜の無色性の観点から、ケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、チタニウム、亜鉛、インジウム、スズ、アンチモンおよびセリウムよりなる群から選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物粒子であることが好ましい。なかでも透過率の観点から、ケイ素、ジルコニウム、チタニウムまたはアルミニウムの酸化物粒子が好ましく、とくにケイ素の酸化物粒子が好ましい。
<Inorganic oxide fine particles>
The photosensitive resin composition of the present invention can use inorganic oxide fine particles. As the inorganic oxide fine particles, at least one element selected from the group consisting of silicon, aluminum, zirconium, titanium, zinc, indium, tin, antimony and cerium from the viewpoint of the colorlessness of the cured film of the resulting curable composition The oxide particles are preferred. Among these, from the viewpoint of transmittance, oxide particles of silicon, zirconium, titanium or aluminum are preferable, and oxide particles of silicon are particularly preferable.
無機酸化物微粒子は、分散液中あるいは塗布液中で、分散安定化を図るために、あるいはアルカリ可溶性成分との親和性、結合性を高めるために、プラズマ放電処理やコロナ放電処理のような物理的表面処理、界面活性剤やカップリング剤等による化学的表面処理がなされていても良い。 Inorganic oxide fine particles are used in physical solutions such as plasma discharge treatment and corona discharge treatment in order to stabilize dispersion in the dispersion or coating solution, or to increase affinity and binding properties with alkali-soluble components. Surface treatment, chemical surface treatment with a surfactant, a coupling agent or the like may be performed.
酸化物粒子の平均一次粒子径は、1nm〜1000nmが好ましく、3nm〜100nmがさらに好ましく、5nm〜30nmが特に好ましい。平均一次粒子径が1000nmを超えると、硬化物としたときの透明性が低下したり、被膜としたときの表面状態が悪化する傾向がある。また、粒子の分散性を改良するために各種の界面活性剤やアミン類を添加してもよい。 The average primary particle diameter of the oxide particles is preferably 1 nm to 1000 nm, more preferably 3 nm to 100 nm, and particularly preferably 5 nm to 30 nm. When the average primary particle diameter exceeds 1000 nm, the transparency when cured is reduced, or the surface state when coated is liable to deteriorate. Various surfactants and amines may be added to improve the dispersibility of the particles.
無機酸化物微粒子の平均一次粒子径は、たとえばBET法を用いて測定される。具体的には、BET法にて得られた無機酸化物微粒子の比表面積を得、無機酸化物の比重を用いて体積と表面積の比を算出し、粒子を真球であると仮定して、これらの比から粒子径を求め、平均一次粒子径とする方法がある。 The average primary particle diameter of the inorganic oxide fine particles is measured using, for example, the BET method. Specifically, the specific surface area of the inorganic oxide fine particles obtained by the BET method is obtained, the ratio of volume to surface area is calculated using the specific gravity of the inorganic oxide, and the particles are assumed to be true spheres. There is a method of obtaining the particle diameter from these ratios to obtain the average primary particle diameter.
無機酸化物粒子は、有機溶媒分散物として用いるのが好ましい。有機溶媒分散物として用いる場合、他の成分との相溶性、分散性の観点から、分散媒は、有機溶剤が好ましい。
このような有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール等のアルコール類; アセトン、メチルエチルケトン、メチルイ
ソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類; 酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチ
ル、γ − ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル類; エチレングリコール
モノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のエーテル類; ベン
ゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類; ジメチルホルムアミド、ジメチルア
セトアミド、N − メチルピロリドン等のアミド類を挙げることができる。中でも、メタノール、イソプロパノール、ブタノール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、トルエン、キシレンが好ましい。
The inorganic oxide particles are preferably used as an organic solvent dispersion. When used as an organic solvent dispersion, the dispersion medium is preferably an organic solvent from the viewpoint of compatibility with other components and dispersibility.
Examples of such an organic solvent include alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, butanol, and octanol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, and γ-butyrolactone , Esters such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; ethers such as ethylene glycol monomethyl ether and diethylene glycol monobutyl ether; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; dimethylformamide, dimethylacetamide, Examples thereof include amides such as N-methylpyrrolidone. Of these, methanol, isopropanol, butanol, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, toluene and xylene are preferred.
ケイ素の酸化物微粒子分散体として市販されている商品としては、日産化学工業(株)製PMA−ST、PMA−ST−MS、IPA−ST、IPA−ST−MS、IPA−ST−L、IPA−ST−ZL、IPA−ST−UP、EG−ST、NPC−ST−30、MEK−ST、MEK−ST−L、MIBK−ST、NBA−ST、XBA−ST、DMAC−ST、ST−UP、ST−OUP、ST−20、ST−40、ST−C、ST−N、ST−O、ST−50、ST−OL等、触媒化成工業(株)製中空シリカCS60−IPA等を挙げることができる。また粉体シリカとしては、日本アエロジル(株)製アエロジル130、アエロジル300、アエロジル380、アエロジルTT600、アエロジルOX50、旭硝子(株)製シルデックスH31、H32、H51、H52、H121、H122、日本シリカ工業(株)製E220A、E220、富士シリシア(株)製SYLYSIA470、日本板硝子(株)製SGフレ−ク等を挙げることができる。 Commercially available products as silicon oxide fine particle dispersions include PMA-ST, PMA-ST-MS, IPA-ST, IPA-ST-MS, IPA-ST-L, IPA manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. -ST-ZL, IPA-ST-UP, EG-ST, NPC-ST-30, MEK-ST, MEK-ST-L, MIBK-ST, NBA-ST, XBA-ST, DMAC-ST, ST-UP ST-OUP, ST-20, ST-40, ST-C, ST-N, ST-O, ST-50, ST-OL, etc., and hollow silica CS60-IPA manufactured by Catalyst Kasei Kogyo Co., Ltd. Can do. As the powdered silica, Aerosil 130, Aerosil 300, Aerosil 380, Aerosil TT600, Aerosil OX50, Silex H31, H32, H51, H52, H121, H122, Asahi Glass Co., Ltd., Nippon Silica Industry, Nippon Aerosil Co., Ltd. Examples include E220A and E220 manufactured by Fuji Electric, SYLYSIA470 manufactured by Fuji Silysia Co., Ltd., SG flake manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd., and the like.
アルミニウムの酸化物微粒子分散体として市販されている商品としては、日産化学工業(株)製アルミナゾル−100、アルミナゾル−200、アルミナゾル−520、住友大阪セメント(株)製AS−150I、AS−150Tが挙げられる。 Commercially available products as aluminum oxide fine particle dispersions include Alumina Sol-100, Alumina Sol-200, Alumina Sol-520 manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., AS-150I and AS-150T manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Can be mentioned.
ジルコニアの酸化物微粒子分散体として市販されている商品としては、日産化学工業(株)製ZR−40BL、ZR−30BS、ZR−30AL、ZR−30AH等、住友大阪セメント(株)製HXU−110JCを挙げることができる。その他、ジルコニアの酸化物微粒子分散液は特許4692630号公報記載の方法等で得ることができる。 Commercially available products as zirconia oxide fine particle dispersions include ZR-40BL, ZR-30BS, ZR-30AL, ZR-30AH, etc., manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., HXU-110JC, manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Can be mentioned. In addition, the oxide fine particle dispersion of zirconia can be obtained by the method described in Japanese Patent No. 469630.
チタニウムの酸化物微粒子分散体として市販されている商品としては、シーアイ化成(株)製 ナノテック、堺化学工業(株)製 D−962を挙げることができる。その他、チタニウムの酸化物微粒子分散液は特許4692630号公報等記載の方法で得ることができる。 Examples of products that are commercially available as titanium oxide fine particle dispersions include Nanotec manufactured by CI Chemical Co., Ltd., and D-962 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd. In addition, a titanium oxide fine particle dispersion can be obtained by a method described in Japanese Patent No. 469630.
その他、亜鉛等の酸化物微粒子分散体の市販品としては、シーアイ化成(株)製ナノテック等を挙げることができる。 In addition, as a commercially available product of oxide fine particle dispersions such as zinc, nanotech manufactured by CI Kasei Co., Ltd. can be exemplified.
無機酸化物微粒子を含む場合、含有量は、感光性樹脂組成物における固形分合計100重量%中、10〜80重量%が好ましく、20〜70重量%がさらに好ましい。添加量が10重量%以上であれば、硬度・耐酸性向上の効果が高く、一方で80重量%以下である場合、現像性、透過率にも優れたものとすることができる。 When the inorganic oxide fine particles are included, the content is preferably 10 to 80% by weight and more preferably 20 to 70% by weight in the total solid content of 100% by weight in the photosensitive resin composition. When the addition amount is 10% by weight or more, the effect of improving the hardness and acid resistance is high. On the other hand, when the addition amount is 80% by weight or less, the developability and transmittance can be excellent.
<酸化防止剤>
本発明の樹脂組成物には酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤は、加熱工程を経ることによる黄変等による透過率の低下を抑制することができる。そのため、酸化防止剤を含むことで、加熱工程時の黄変を防止し、透過率の高い塗膜を得る事ができる。
<Antioxidant>
The resin composition of the present invention can contain an antioxidant. The antioxidant can suppress a decrease in transmittance due to yellowing or the like due to the heating process. Therefore, by including an antioxidant, yellowing during the heating step can be prevented, and a coating film having a high transmittance can be obtained.
本発明における「酸化防止剤」とは、紫外線吸収機能、ラジカル補足機能、または、過酸化物分解機能を有する化合物であればよく、具体的には、酸化防止剤としてヒンダードフェノール系、ヒンダードアミン系、リン系、イオウ系、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、ヒドロキシルアミン系、サルチル酸エステル系、およびトリアジン系の化合物があげられ、公知の紫外線吸収剤、酸化防止剤等が使用できる。これらの酸化防止剤の中でも、塗膜の透過率と感度の両立の観点から、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤およびイオウ系酸化防止剤が好ましい。フェノール系のなかでも特に、立体障害性の高いヒンダードフェノール系酸化防止剤がより好ましい。 The “antioxidant” in the present invention may be a compound having an ultraviolet absorbing function, a radical scavenging function, or a peroxide decomposing function. Specifically, as an antioxidant, a hindered phenol type, a hindered amine type are used. , Phosphorus-based, sulfur-based, benzotriazole-based, benzophenone-based, hydroxylamine-based, salicylate-based, and triazine-based compounds, and known ultraviolet absorbers, antioxidants, and the like can be used. Among these antioxidants, phenol-based antioxidants, phosphorus-based antioxidants and sulfur-based antioxidants are preferable from the viewpoint of achieving both transmittance and sensitivity of the coating film. Among phenol-based compounds, hindered phenol-based antioxidants having high steric hindrance are particularly preferable.
[フェノール系酸化防止剤]
例えば、2,6−ジ−t−ブチル−4−エチルフェノール、2,4−ビス−(n−オクチルチオ)−6−(4−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、2,2−チオ−ジエチレンビス{3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート}、N,N'−ヘキサメチレンビス(3,5−ジ−t−
ブチル−4−ヒドロキシ−ヒドロシンナミド)、3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジルフォスフォネート−ジエチルエステル、トリス−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−イソシアヌレート、2,6−ジ−t−ブチルフェノール、2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、2,6−ジ−t−ブチル−4−メトキシフェノール、トリエチレングリコール−ビス{3−(3−t−ブチル−5−メチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート}、1,6−ヘキサンジオール−ビス{3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート}、ペンタエリスリチル−テトラキス{3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート}、オクタデシル−3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)ベンゼンなどが挙げられ、単独又は2種以上を使用してもよい。
[Phenolic antioxidant]
For example, 2,6-di-t-butyl-4-ethylphenol, 2,4-bis- (n-octylthio) -6- (4-hydroxy-3,5-di-t-butylanilino) -1,3 , 5-triazine, 2,2-thio-diethylenebis {3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate}, N, N'-hexamethylenebis (3,5-di- t-
Butyl-4-hydroxy-hydrocinnamide), 3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzylphosphonate-diethyl ester, tris- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl) -isocyanate Nurate, 2,6-di-t-butylphenol, 2,6-di-t-butyl-p-cresol, 2,6-di-t-butyl-4-methoxyphenol, triethylene glycol-bis {3- ( 3-tert-butyl-5-methyl-4-hydroxyphenyl) propionate}, 1,6-hexanediol-bis {3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate}, pentaerythris Lityl-tetrakis {3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate}, octadecyl-3- (3,5 Di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate, 1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) benzene, and the like. You may use individually or 2 or more types.
なかでも、2,4−ビス−(n−オクチルチオ)−6−(4−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、N,N'−ヘキサメチレンビス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシ−ヒドロシンナ
ミド)、3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジルフォスフォネート−ジエチルエステル、及びトリス−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−イソシアヌレートからなる群から選ばれるヒンダードフェノール系酸化防止剤は、光硬化性の面から好ましい。
Among them, 2,4-bis- (n-octylthio) -6- (4-hydroxy-3,5-di-t-butylanilino) -1,3,5-triazine, pentaerythritol tetrakis [3- (3 5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], N, N′-hexamethylenebis (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxy-hydrocinnamide), 3,5-di-t- A hindered phenolic antioxidant selected from the group consisting of butyl-4-hydroxybenzylphosphonate-diethyl ester and tris- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -isocyanurate is: It is preferable from the viewpoint of photocurability.
[リン系酸化防止剤]
リン系酸化防止剤としては、市販されているものを使用できるが、トリス[2,4−ジ−(tert)−ブチルフェニル]ホスフィントリス[2−[[2,4,8,10−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)ジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−6−イル]オキシ]エチル]アミン、トリス[2−[(4,6,9,11−テトラ−tert−ブチルジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−2−イル)オキシ]エチル]アミン、亜りん酸エチルビス(2,4−ジtert−ブチル−6−メチルフェニル) が挙げられ、 これらからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物であることが好ましく、これらは1種又は2種以上を使用することができる。
[Phosphorus antioxidant]
Although what is marketed can be used as phosphorus antioxidant, Tris [2,4-di- (tert) -butylphenyl] phosphinetris [2-[[2,4,8,10-tetrakis ( 1,1-dimethylethyl) dibenzo [d, f] [1,3,2] dioxaphosphin-6-yl] oxy] ethyl] amine, tris [2-[(4,6,9,11- Tetra-tert-butyldibenzo [d, f] [1,3,2] dioxaphosphin-2-yl) oxy] ethyl] amine, ethylbisphosphite (2,4-ditert-butyl-6-) It is preferable that it is at least one compound selected from the group consisting of these, and these may be used alone or in combination of two or more.
[イオウ系酸化防止剤]
イオウ系酸化防止剤は分子中にイオウを含む酸化防止剤である。このような含イオウ系酸化防止剤としては市販されているものを使用できるが、3,3'−チオジプロパン酸ジ
オクタデシル、ジミリスチル−3,3’−チオジプロピオネート、ジパルミチル−3,3’−チオジプロピオネート、ジステアリル−3,3’−チオジプロピオネート、4,4’
−チオビス−3−メチル−6−tert−ブチルフェノール、チオジエチレンビス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]が挙げられ、これらからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物であることが好ましく、これらは1種又は2種以上を使用することができる。
[Sulfur antioxidants]
A sulfur-based antioxidant is an antioxidant containing sulfur in the molecule. As such a sulfur-containing antioxidant, commercially available ones can be used, but dioctadecyl 3,3′-thiodipropanoate, dimyristyl-3,3′-thiodipropionate, dipalmityl-3,3′- Thiodipropionate, distearyl-3,3′-thiodipropionate, 4,4 ′
-Thiobis-3-methyl-6-tert-butylphenol, thiodiethylenebis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], and at least one selected from the group consisting of these It is preferable that it is a seed | species compound, and these can use 1 type (s) or 2 or more types.
これらの酸化防止剤は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。 These antioxidants can be used singly or in combination of two or more at any ratio as required.
酸化防止剤の含有量は、樹脂組成物の固形分合計100重量%中、0.1重量%以上4重量%未満であることが好ましい。0.1重量%より少ない場合は、酸化防止剤が不足するため黄変防止効果が得られにくく、4重量%より多い場合には紫外線露光時に発生するラジカルを補足してしまうため、感光性樹脂組成物の硬化が不十分となることがある。 The content of the antioxidant is preferably 0.1 wt% or more and less than 4 wt% in the total solid content of the resin composition of 100 wt%. When the amount is less than 0.1% by weight, it is difficult to obtain a yellowing prevention effect due to insufficient antioxidant, and when the amount is more than 4% by weight, the radicals generated at the time of UV exposure are captured. Curing of the composition may be insufficient.
<貯蔵安定剤>
貯蔵安定剤としては、例えばベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの4級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、t−ブチルピロカテコール、トリエチルホスフィン、トリフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。貯蔵安定剤は、樹脂組成物の合計100重量%中、0.1〜5重量%の量で用いることができる。
<Storage stabilizer>
Examples of the storage stabilizer include quaternary ammonium chlorides such as benzyltrimethyl chloride and diethylhydroxyamine, organic acids such as lactic acid and oxalic acid, and organic acids such as methyl ether, t-butylpyrocatechol, triethylphosphine, and triphenylphosphine. Examples thereof include phosphine and phosphite. The storage stabilizer can be used in an amount of 0.1 to 5% by weight in a total of 100% by weight of the resin composition.
<レベリング剤>
本発明の感光性樹脂組成物には、透明基板上での組成物のレベリング性をよくするため、レベリング剤を添加することが好ましい。レベリング剤としては、主鎖にポリエーテル構造又はポリエステル構造を有するジメチルシロキサンが好ましい。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、東レ・ダウコーニング社製FZ−2122、ビックケミー社製BYK−330などが挙げられる。主鎖にポリエステル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、ビックケミー社製BYK−310、BYK−370などが挙げられる。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンと、主鎖にポリエステル構造を有するジメチルシロキサンとは、併用することもできる。レベリング剤の含有量は通常、樹脂組成物の合計100重量%中、0.003〜0.5重量%用いることが好ましい。
<Leveling agent>
In order to improve the leveling property of the composition on the transparent substrate, it is preferable to add a leveling agent to the photosensitive resin composition of the present invention. As the leveling agent, dimethylsiloxane having a polyether structure or a polyester structure in the main chain is preferable. Specific examples of dimethylsiloxane having a polyether structure in the main chain include FZ-2122 manufactured by Toray Dow Corning, BYK-330 manufactured by BYK Chemie. Specific examples of dimethylsiloxane having a polyester structure in the main chain include BYK-310 and BYK-370 manufactured by BYK Chemie. Dimethylsiloxane having a polyether structure in the main chain and dimethylsiloxane having a polyester structure in the main chain can be used in combination. The content of the leveling agent is usually preferably 0.003 to 0.5% by weight in a total of 100% by weight of the resin composition.
レベリング剤として特に好ましいものとしては、分子内に疎水基と親水基を有するいわゆる界面活性剤の一種で、親水基を有しながらも水に対する溶解性が小さく、着色組成物に添加した場合、その表面張力低下能が低いという特徴を有し、さらに表面張力低下能が低いにも拘らずガラス板への濡れ性が良好なものが有用であり、泡立ちによる塗膜の欠陥が出現しない添加量において十分に帯電性を抑止できるものが好ましく使用できる。このような好ましい特性を有するレベリング剤として、ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンが好ましく使用できる。ポリアルキレンオキサイド単位としては、ポリエチレンオキサイド単位、ポリプロピレンオキサイド単位があり、ジメチルポリシロキサンは、ポリエチレンオキサイド単位とポリプロピレンオキサイド単位とを共に有していてもよい。 Particularly preferred as a leveling agent is a kind of so-called surfactant having a hydrophobic group and a hydrophilic group in the molecule, having a hydrophilic group but low solubility in water, and when added to a coloring composition, It has the characteristics of low surface tension reduction ability, and it is useful to have good wettability to the glass plate despite its low surface tension reduction ability. Those that can sufficiently suppress the chargeability can be preferably used. As a leveling agent having such preferable characteristics, dimethylpolysiloxane having a polyalkylene oxide unit can be preferably used. Examples of the polyalkylene oxide unit include a polyethylene oxide unit and a polypropylene oxide unit, and dimethylpolysiloxane may have both a polyethylene oxide unit and a polypropylene oxide unit.
また、ポリアルキレンオキサイド単位のジメチルポリシロキサンとの結合形態は、ポリアルキレンオキサイド単位がジメチルポリシロキサンの繰り返し単位中に結合したペンダント型、ジメチルポリシロキサンの末端に結合した末端変性型、ジメチルポリシロキサンと交互に繰り返し結合した直鎖状のブロックコポリマー型のいずれであってもよい。ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンは、東レ・ダウコーニング株式会社から市販されており、例えば、FZ−2110、FZ−2122、FZ−2130、FZ−2166、FZ−2191、FZ−2203、FZ−2207が挙げられるが、
これらに限定されるものではない。
In addition, the bonding form of the polyalkylene oxide unit with dimethylpolysiloxane includes a pendant type in which the polyalkylene oxide unit is bonded in the repeating unit of dimethylpolysiloxane, a terminal-modified type in which the end of dimethylpolysiloxane is bonded, and dimethylpolysiloxane. Any of linear block copolymer types in which they are alternately and repeatedly bonded may be used. Dimethylpolysiloxane having a polyalkylene oxide unit is commercially available from Toray Dow Corning Co., Ltd., for example, FZ-2110, FZ-2122, FZ-2130, FZ-2166, FZ-2191, FZ-2203, FZ. -2207,
It is not limited to these.
レベリング剤には、アニオン性、カチオン性、ノニオン性、または両性の界面活性剤を補助的に加えることも可能である。界面活性剤は、2種以上混合して使用しても構わない。
レベリング剤に補助的に加えるアニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどが挙げられる。
An anionic, cationic, nonionic or amphoteric surfactant can be supplementarily added to the leveling agent. Two or more kinds of surfactants may be mixed and used.
Anionic surfactants added to the leveling agent as auxiliary agents include polyoxyethylene alkyl ether sulfate, sodium dodecylbenzene sulfonate, alkali salt of styrene-acrylic acid copolymer, sodium alkyl naphthalene sulfonate, alkyl diphenyl ether disulfonic acid Sodium, lauryl sulfate monoethanolamine, lauryl sulfate triethanolamine, ammonium lauryl sulfate, monoethanolamine stearate, sodium stearate, sodium lauryl sulfate, monoethanolamine of styrene-acrylic acid copolymer, polyoxyethylene alkyl ether phosphate Examples include esters.
レベリング剤に補助的に加えるカオチン性界面活性剤としては、アルキル4級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。レベリング剤に補助的に加えるノニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどの;アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、また、フッ素系やシリコーン系の界面活性剤が挙げられる。 Examples of the chaotic surfactant that is supplementarily added to the leveling agent include alkyl quaternary ammonium salts and their ethylene oxide adducts. Nonionic surfactants added to the leveling agent as auxiliary agents include polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether phosphate ester, polyoxyethylene sorbitan monostearate And amphoteric surfactants such as alkyl dimethylamino acetic acid betaine and alkylimidazolines, and fluorine-based and silicone-based surfactants.
<樹脂組成物の製法>
本発明の感光性樹脂組成物は、光ラジカル重合開始剤(A)、光カチオン重合開始剤(B)、カチオン重合性化合物(C)、アルカリ可溶性樹脂(F)、および必要に応じて、溶剤、加熱硬化型触媒、無機酸化物微粒子、シラン化合物、酸化防止剤、レベリング剤、その他の成分等を攪拌・混合して得ることが出来る。
本発明の感光性樹脂組成物は、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、5μm以上の粗大粒子、好ましくは1μm以上の粗大粒子、さらに好ましくは0.5μm以上の粗大粒子および混入した塵、異物の除去を行うことが好ましい。
<Production method of resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention comprises a photo radical polymerization initiator (A), a photo cationic polymerization initiator (B), a cationic polymerizable compound (C), an alkali-soluble resin (F), and, if necessary, a solvent. , A thermosetting catalyst, inorganic oxide fine particles, silane compound, antioxidant, leveling agent, and other components can be obtained by stirring and mixing.
The photosensitive resin composition of the present invention is a coarse particle having a size of 5 μm or more, preferably a coarse particle having a size of 1 μm or more, more preferably a coarse particle having a size of 0.5 μm or more, by means of centrifugation, sintered filter, membrane filter or the like. It is preferable to remove the mixed dust and foreign matter.
<硬化膜>
本発明の硬化膜は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、ガラス基材、ITO上、モリブデン上、その他の金属膜上、有機膜上に、スピンコートなどの回転塗布、ダイコートなどの流延塗布、ロールコートによる塗布、ロール転写法による塗布などにより形成することができる。
本発明の硬化膜は、高硬度、高透過率であり、パターン直線性、密着性、耐薬品性に優れるため、特にタッチパネルに用いられるオーバーコートに適している。
<Curing film>
The cured film of the present invention is prepared by spin coating such as spin coating, die coating, etc. on a glass substrate, ITO, molybdenum, other metal film, or organic film using the photosensitive resin composition of the present invention. It can be formed by casting, roll coating, roll transfer, or the like.
The cured film of the present invention has high hardness and high transmittance, and is excellent in pattern linearity, adhesion, and chemical resistance, and is particularly suitable for an overcoat used for a touch panel.
オーバーコートは例えば、タッチパネルに用いられる金属配線保護膜用途、タッチセンサーのX電極−Y電極間を絶縁するための絶縁膜用途等に用いられており、いずれで使用されても良い。 The overcoat is used for, for example, a metal wiring protective film used for a touch panel, an insulating film for insulating between the X electrode and the Y electrode of the touch sensor, and any of them may be used.
硬化膜は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、印刷法またはフォトリソグラフィー法により、製造することができ、フォトリソグラフィー法を用いることが好ましい。 A cured film can be manufactured by the printing method or the photolithographic method using the photosensitive resin composition of this invention, and it is preferable to use the photolithographic method.
フォトリソグラフィー法により製造する場合、例えば感光性樹脂組成物を基材上に塗布後、マスクを介して露光し、現像してパターンを形成後、加熱焼成する工程により硬化膜を製造することができる。 In the case of producing by a photolithography method, for example, after a photosensitive resin composition is applied onto a substrate, it is exposed through a mask, developed, a pattern is formed, and then a cured film can be produced by a process of heating and baking. .
硬化膜を形成する場合、まず、ガラス基材、ITO膜、モリブデン、その他の金属膜、有機膜などの基材上に、感光性樹脂組成物をスプレーコートやスピンコート、スリットコート、ロールコート等の塗布方法により塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させて、塗布膜を形成する。次いで、この塗布膜にマスクを介して超高圧水銀ランプを用いて露光したのち、溶剤またはアルカリ現像液を用いて浸漬するか、もしくはスプレーなどにより現像液を噴霧して現像し、塗膜の未露光部を溶解除去し、所望のパターンを形成後、加熱焼成することにより硬化膜を形成することができる。 When forming a cured film, first, a photosensitive resin composition is spray coated, spin coated, slit coated, roll coated, etc. on a substrate such as a glass substrate, ITO film, molybdenum, other metal film, or organic film. After coating by this coating method, pre-baking is performed to evaporate the solvent to form a coating film. Next, the coated film is exposed using a super high pressure mercury lamp through a mask, and then immersed in a solvent or an alkaline developer, or developed by spraying a developer with a spray or the like. A cured film can be formed by dissolving and removing the exposed portion and forming a desired pattern, followed by heating and baking.
現像に際しては、アルカリ現像液として炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム等の水溶液が使用され、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリを用いることもできる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。 In development, an aqueous solution such as sodium carbonate or sodium hydroxide is used as an alkali developer, and an organic alkali such as dimethylbenzylamine or triethanolamine can also be used. An antifoaming agent or a surfactant can also be added to the developer.
現像処理方法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。 As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied.
加熱焼成温度については、200℃を超える温度での高温焼成工程を経て、得られる場合が多く、高温焼成工程は塗膜の熱硬化を促進するため、200℃以下での低温焼成で得られる塗膜に比べて、耐薬品性等が優れたものとなる。しかし、本発明の感光性樹脂組成物は、高温焼成を必要とせず、150℃以下の低温焼成であっても、耐薬品性等の必要特性に優れた硬化膜を得ることができる。そのため、タッチパネルの構成に耐熱性の低いフィルムが含まれるなどして低温焼成が必要となる場合にも、150℃以下の低温で、優れた硬化膜を得ることが可能である。
ただし、加熱焼成温度が100℃未満である場合は、十分な耐薬品性等が得られないため、100℃以上で加熱焼成することが好ましい。
The heating and baking temperature is often obtained through a high-temperature baking process at a temperature exceeding 200 ° C., and the high-temperature baking process promotes the thermal curing of the coating film. Compared to the membrane, the chemical resistance is excellent. However, the photosensitive resin composition of the present invention does not require high-temperature baking, and a cured film excellent in necessary properties such as chemical resistance can be obtained even at low-temperature baking of 150 ° C. or lower. Therefore, an excellent cured film can be obtained at a low temperature of 150 ° C. or lower even when low-temperature baking is required, for example, when the touch panel configuration includes a film having low heat resistance.
However, when the heating and baking temperature is less than 100 ° C., sufficient chemical resistance or the like cannot be obtained, and thus it is preferable to heat and burn at 100 ° C. or higher.
以下に、実施例により本発明を説明する。なお、実施例中の「部」および「%」とは、それぞれ「重量部」および「重量%」を表す。また、「PGMEA」とはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを意味する。 Hereinafter, the present invention will be described by way of examples. In the examples, “parts” and “%” represent “parts by weight” and “% by weight”, respectively. “PGMEA” means propylene glycol monomethyl ether acetate.
実施例に先立ち、樹脂の重量平均分子量、および酸価の測定方法について説明する。
(樹脂の重量平均分子量)
樹脂の重量平均分子量(Mw)は、TSKgelカラム(東ソー社製)を用い、RI検出器を装備したGPC(東ソー社製、HLC−8120GPC)で、展開溶媒にTHFを用いて測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)である。
Prior to the examples, the weight average molecular weight of the resin and the method for measuring the acid value will be described.
(Weight average molecular weight of resin)
The weight average molecular weight (Mw) of the resin was measured in terms of polystyrene measured using TSKgel column (manufactured by Tosoh Corporation) and GPC equipped with RI detector (manufactured by Tosoh Corporation, HLC-8120GPC) using THF as a developing solvent. It is a weight average molecular weight (Mw).
(酸価)
樹脂溶液0.5〜1gに、アセトン80mlおよび水10mlを加えて攪拌して均一に溶解させ、0.1mol/LのKOH水溶液を滴定液として、自動滴定装置(「COM−555」平沼産業製)を用いて滴定し、樹脂溶液の酸価を測定した。そして、樹脂溶液の酸価と樹脂溶液の固形分濃度から、樹脂の固形分あたりの酸価を算出した。
(Acid value)
80 ml of acetone and 10 ml of water are added to 0.5 to 1 g of the resin solution and stirred to dissolve uniformly, and an automatic titrator ("COM-555" manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.) is used with a 0.1 mol / L KOH aqueous solution as a titrant. ) And the acid value of the resin solution was measured. Then, the acid value per solid content of the resin was calculated from the acid value of the resin solution and the solid content concentration of the resin solution.
続いて、アルカリ可溶性樹脂(F)溶液、およびオキセタン化合物の製造方法について説明する。 Then, the manufacturing method of alkali-soluble resin (F) solution and an oxetane compound is demonstrated.
<アルカリ可溶性樹脂(F)溶液の製造方法>
(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−1)の調製)
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、撹拌装置を取り付けた反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100部を入れ、容器に窒
素ガスを注入しながら120℃に加熱して、同温度で滴下管より
スチレン5.2部、
グリシジルメタクリレート35.5部、
ジシクロペンタニルメタクリレート41.0部、
アゾビスイソブチロニトリル1.0部
の混合物を2.5時間かけて滴下し重合反応を行った。
次にフラスコ内を空気置換し、
アクリル酸17.0部
にトリスジメチルアミノメチルフェノール0.3部、およびハイドロキノン0.3部を投入し、120℃で5時間反応を続け固形分酸価=0.8となったところで反応を終了し、重量平均分子量が約12000(GPCによる測定)の樹脂溶液を得た。
さらにテトラヒドロ無水フタル酸30.4部、トリエチルアミン0.5部を加え120℃で4時間反応させ、不揮発分が40%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して樹脂溶液(F1−1)を調製した。
<Method for producing alkali-soluble resin (F) solution>
(Preparation of alkali-soluble resin solution (F-1))
Place 100 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate in a reaction vessel equipped with a thermometer, cooling tube, nitrogen gas inlet tube and stirrer in a separable four-necked flask, and heat to 120 ° C while injecting nitrogen gas into the vessel. 5.2 parts of styrene from the dropping tube at temperature,
35.5 parts glycidyl methacrylate,
41.0 parts dicyclopentanyl methacrylate,
A mixture of 1.0 part of azobisisobutyronitrile was added dropwise over 2.5 hours to carry out a polymerization reaction.
Next, the inside of the flask was purged with air,
Add 0.3 part of trisdimethylaminomethylphenol and 0.3 part of hydroquinone to 17.0 parts of acrylic acid, and continue the reaction at 120 ° C for 5 hours. When the solid content acid value becomes 0.8, the reaction is terminated. Thus, a resin solution having a weight average molecular weight of about 12000 (measured by GPC) was obtained.
Further, 30.4 parts of tetrahydrophthalic anhydride and 0.5 part of triethylamine were added and reacted at 120 ° C. for 4 hours. Propylene glycol monomethyl ether acetate was added so that the non-volatile content was 40%, and the resin solution (F1-1) Was prepared.
(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−2)の調製)
アルカリ可溶性樹脂溶液(F−1)の
ジシクロペンタニルメタクリレートを
ジシクロペンテニルメタクリレートにした
以外は樹脂溶液(F1−1)と同様の方法にて合成反応を行い、樹脂溶液(F1−2)を調製した。重量平均分子量は12500であった。
(Preparation of alkali-soluble resin solution (F-2))
A synthetic reaction is performed in the same manner as the resin solution (F1-1) except that dicyclopentanyl methacrylate in the alkali-soluble resin solution (F-1) is changed to dicyclopentenyl methacrylate, and the resin solution (F1-2) is obtained. Prepared. The weight average molecular weight was 12500.
(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−3)の調製)
アルカリ可溶性樹脂溶液(F−1)の
ジシクロペンタニルメタクリレートを
ジシクロペンタニルオキシエチルメタクリレートにした
以外は樹脂溶液(F−1)と同様の方法にて合成反応を行い、樹脂溶液(F−3)を調製した。重量平均分子量は12500であった。
(Preparation of alkali-soluble resin solution (F-3))
A synthetic reaction is carried out in the same manner as in the resin solution (F-1) except that dicyclopentanyl methacrylate in the alkali-soluble resin solution (F-1) is changed to dicyclopentanyloxyethyl methacrylate. 3) was prepared. The weight average molecular weight was 12500.
(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−4)の調製)
アルカリ可溶性樹脂溶液(F−1)の
ジシクロペンタニルメタクリレートを
ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレートにした
以外は樹脂溶液(F−1)と同様の方法にて合成反応を行い、樹脂溶液(F−4)を調製した。重量平均分子量は12500であった。
(Preparation of alkali-soluble resin solution (F-4))
A synthetic reaction is performed in the same manner as the resin solution (F-1) except that dicyclopentanyl methacrylate in the alkali-soluble resin solution (F-1) is changed to dicyclopentenyloxyethyl methacrylate. ) Was prepared. The weight average molecular weight was 12500.
(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−5)の調製)
温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管及び撹拌装置を備えたセパラブル4口フラスコにPGMEA370部を仕込み、80℃に昇温し、フラスコ内を窒素置換した後、滴下管より、
パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亜合成社製アロニックスM110)18部、
ベンジルメタクリレート10部、
グリシジルメタクリレート18.2部、
メタクリル酸メチル25部、
及び2,2'−アゾビスイソブチロニトリル2.0部
の混合物を2時間かけて滴下した。滴下後、更に100℃で
3時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル1.0部をシクロヘキサノン50部で溶解させたものを添加し、更に100℃で1時間反応を続けた。次に、容器内を空気置換に替え、
アクリル酸9.3部(グリシジル基の当量)
にトリスジメチルアミノフェノール0.5部及びハイドロキノン0.1部を上記容器内に投入し、120℃で6時間反応を続け固形分酸価0.5となったところで反応を終了し、アクリル樹脂の溶液を得た。更に、引き続き
テトラヒドロ無水フタル酸19.5部(生成した水酸基の当量)、
トリエチルアミン0.5部を加え120℃で3.5時間反応させアクリル樹脂の溶液を得た。
室温まで冷却した後、樹脂溶液約2gをサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が20重量%になるようにPGMEAを添加してアクリル樹脂溶液(F−5)を調製した。重量平均分子量(Mw)は19000であった。
(Preparation of alkali-soluble resin solution (F-5))
A separable four-necked flask equipped with a thermometer, a cooling pipe, a nitrogen gas introduction pipe, a dropping pipe and a stirring device was charged with 370 parts of PGMEA, heated to 80 ° C., and the atmosphere in the flask was replaced with nitrogen.
18 parts of paracylphenol ethylene oxide modified acrylate (Aronix M110 manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.)
10 parts of benzyl methacrylate,
18.2 parts glycidyl methacrylate,
25 parts of methyl methacrylate,
A mixture of 2.0 parts of 2,2′-azobisisobutyronitrile was added dropwise over 2 hours. After dropping, the reaction was further carried out at 100 ° C. for 3 hours, and then 1.0 part of azobisisobutyronitrile dissolved in 50 parts of cyclohexanone was added, and the reaction was further continued at 100 ° C. for 1 hour. Next, replace the inside of the container with air replacement,
9.3 parts of acrylic acid (equivalent of glycidyl group)
Into the vessel, 0.5 parts of trisdimethylaminophenol and 0.1 part of hydroquinone were added, and the reaction was continued at 120 ° C. for 6 hours. When the solid content acid value became 0.5, the reaction was terminated. A solution was obtained. Furthermore, 19.5 parts of tetrahydrophthalic anhydride (equivalent of generated hydroxyl group),
0.5 parts of triethylamine was added and reacted at 120 ° C. for 3.5 hours to obtain an acrylic resin solution.
After cooling to room temperature, about 2 g of the resin solution was sampled, heated and dried at 180 ° C. for 20 minutes to measure the nonvolatile content, and PGMEA was added to the previously synthesized resin solution so that the nonvolatile content was 20 wt%. An acrylic resin solution (F-5) was prepared. The weight average molecular weight (Mw) was 19000.
(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−6)の調製)
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン196部を仕込み、80℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、n−ブチルメタクリレート37.2部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート12.9部、メタクリル酸12.0部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亞合成株式会社製「アロニックスM110」)20.7部、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル1.1部の混合物を2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に3時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が20質量%になるようにメトキシプロピルアセテートを添加してアクリル樹脂溶液1を調製した。重量平均分子量(Mw)は26000であった。
(Preparation of alkali-soluble resin solution (F-6))
A reaction vessel equipped with a separable four-necked flask equipped with a thermometer, a cooling tube, a nitrogen gas introduction tube, a dropping tube and a stirring device was charged with 196 parts of cyclohexanone, heated to 80 ° C., and purged with nitrogen in the reaction vessel. From the tube, 37.2 parts of n-butyl methacrylate, 12.9 parts of 2-hydroxyethyl methacrylate, 12.0 parts of methacrylic acid, paracumylphenol ethylene oxide modified acrylate (“Aronix M110” manufactured by Toagosei Co., Ltd.) 20.7 A mixture of 1.1 parts of 2,2′-azobisisobutyronitrile was added dropwise over 2 hours. After completion of dropping, the reaction was further continued for 3 hours to obtain an acrylic resin solution. After cooling to room temperature, about 2 parts of the resin solution was sampled, heated and dried at 180 ° C. for 20 minutes, and the nonvolatile content was measured. The methoxypropyl acetate was added to the previously synthesized resin solution so that the nonvolatile content was 20% by mass. Was added to prepare an acrylic resin solution 1. The weight average molecular weight (Mw) was 26000.
(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−7)の調製)
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン207部を仕込み、80℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、メタクリル酸20部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート(東亜合成社製アロニックスM110)20部、メタクリル酸メチル45部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート8.5部、及び2,2'−アゾビス
イソブチロニトリル1.33部の混合物を2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に3時間反応を継続し、共重合体樹脂溶液を得た。次に得られた共重合体溶液全量に対して、窒素ガスを停止し乾燥空気を1時間注入しながら攪拌したのちに、室温まで冷却した後、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(昭和電工社製カレンズMOI)6.5部、ラウリン酸ジブチル錫0.08部、シクロヘキサノン26部の混合物を70℃で3時間かけて滴下した。滴下終了後、更に1時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が20質量%になるようにシクロヘキサノンを添加してアクリル樹脂溶液2を調製した。重量平均分子量(Mw)は18000であった。
(Preparation of alkali-soluble resin solution (F-7))
207 parts of cyclohexanone was charged into a reaction vessel equipped with a separable four-necked flask equipped with a thermometer, a cooling tube, a nitrogen gas introduction tube, a dropping tube and a stirring device, heated to 80 ° C., and the inside of the reaction vessel was purged with nitrogen. From the tube, 20 parts of methacrylic acid, 20 parts of paracumylphenol ethylene oxide modified acrylate (Aronix M110 manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 45 parts of methyl methacrylate, 8.5 parts of 2-hydroxyethyl methacrylate, and 2,2′-azobis A mixture of 1.33 parts of isobutyronitrile was added dropwise over 2 hours. After completion of the dropwise addition, the reaction was further continued for 3 hours to obtain a copolymer resin solution. Next, after the nitrogen gas was stopped and stirred while injecting dry air for 1 hour with respect to the total amount of the copolymer solution obtained, the mixture was cooled to room temperature, and then 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (Karenz manufactured by Showa Denko KK). MOI) A mixture of 6.5 parts, 0.08 part dibutyltin laurate and 26 parts cyclohexanone was added dropwise at 70 ° C. over 3 hours. After completion of the dropwise addition, the reaction was further continued for 1 hour to obtain an acrylic resin solution. After cooling to room temperature, sample 2 parts of the resin solution, heat dry at 180 ° C. for 20 minutes, measure the nonvolatile content, and add cyclohexanone to the previously synthesized resin solution so that the nonvolatile content is 20% by mass. Thus, an acrylic resin solution 2 was prepared. The weight average molecular weight (Mw) was 18000.
<オキセタン化合物の製造方法>
(オキセタン化合物溶液(C3−1))
ガス導入管、コンデンサー、攪拌翼、および温度計を備え付けた反応槽に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100部を仕込み、窒素気流下で90℃に昇温し、滴下槽から、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメタクリレート100部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート48部および2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3部を予め均一に混合した混合液を2時間かけて滴下し、その後2時間、90℃を保ち反応させた。室温に冷却後、固形分が20%となるように
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈し、オキセタン化合物(C3−1)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。
<Method for producing oxetane compound>
(Oxetane compound solution (C3-1))
A reaction vessel equipped with a gas introduction tube, a condenser, a stirring blade, and a thermometer was charged with 100 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate, heated to 90 ° C. under a nitrogen stream, and (3-ethyloxetane- 3-yl) methyl methacrylate 100 parts, propylene glycol monomethyl ether acetate 48 parts and 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) 3 parts in advance were mixed dropwise over 2 hours, Thereafter, the reaction was continued at 90 ° C. for 2 hours. After cooling to room temperature, the mixture was diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the solid content was 20% to obtain a propylene glycol monomethyl ether acetate solution of the oxetane compound (C3-1).
<シラン化合物の製造方法>
(シラン化合物(D−3))
反応槽として冷却管を付けたフラスコを準備し、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業製「KBE−9007」)100g、エタノール(キシダ化学社製)100gをよく攪拌混合したものを準備し、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を60℃まで昇温した。反応槽の温度が60℃に安定してから、6時間攪拌した。FT−IRスペクトルにより反応が終了したことを確認し、反応槽の温度を常温まで下げ、試料を窒素置換した容器に取り出し保管した。
<Method for producing silane compound>
(Silane compound (D-3))
Prepare a flask equipped with a cooling tube as a reaction tank, and thoroughly stir and mix 100 g of 3-isocyanatopropyltriethoxysilane (“KBE-9007” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and 100 g of ethanol (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd.). After substituting with nitrogen, the temperature of the reaction vessel was raised to 60 ° C. by heating in an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction vessel was stabilized at 60 ° C., the mixture was stirred for 6 hours. After confirming the completion of the reaction by FT-IR spectrum, the temperature of the reaction vessel was lowered to room temperature, and the sample was taken out and stored in a container purged with nitrogen.
[実施例1]
(感光性樹脂組成物(R1))
下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、1μmのフィルタで濾過して、樹脂組成物(R−1)を得た。
・光ラジカル重合開始剤(A)
OXE−01 : 2.00部
「イルガキュアOXE−01」(BASF社製);
1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2
−(o−ベンゾイルオキシム)]
・カチオン重合開始剤(B)
Irg250 : 2.86部
「イルガキュア250」(BASF社製);
ヨードニウム,(4−メチルフェニル)[4−(2メチルプロピル)フェニル]
−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)
・カチオン重合性化合物(C)
DVE−3 : 1.00部
「DVE−3」(BASF社製);トリエチレングリコールジビニルエーテル
スチレン : 1.00部
・アルカリ可溶性樹脂(F)
F−1 :79.95部
・レベリング剤
BYK−330 : 1.00部
「BYK−330」(ビックケミー社製);ポリエーテル構造含有
ジメチルシロキサンのPGMEA溶液(固型分1%に調整)
・溶剤
PGMEA :12.19部
[Example 1]
(Photosensitive resin composition (R1))
A mixture having the following composition was stirred and mixed so as to be uniform, and then filtered through a 1 μm filter to obtain a resin composition (R-1).
-Photoradical polymerization initiator (A)
OXE-01: 2.00 parts “Irgacure OXE-01” (manufactured by BASF);
1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl-2
-(O-benzoyloxime)]
-Cationic polymerization initiator (B)
Irg250: 2.86 parts “Irgacure 250” (manufactured by BASF);
Iodonium, (4-methylphenyl) [4- (2methylpropyl) phenyl]
-Hexafluorophosphate (1-)
・ Cationically polymerizable compound (C)
DVE-3: 1.00 part “DVE-3” (manufactured by BASF); triethylene glycol divinyl ether styrene: 1.00 part, alkali-soluble resin (F)
F-1: 79.95 parts Leveling agent BYK-330: 1.00 part “BYK-330” (manufactured by BYK-Chemie); polyether structure-containing PGMEA solution of dimethylsiloxane (adjusted to 1% solid content)
Solvent PGMEA: 12.19 parts
[実施例2〜74、比較例1]
(感光性組成物(R−2〜75))
以下、表1〜表12に示すように組成および配合量(重量部)を変更した以外は、感光性樹脂組成物(R−1)と同様にして感光性樹脂組成物(R−2〜75)を得た。
[Examples 2 to 74, Comparative Example 1]
(Photosensitive composition (R-2 to 75))
Hereinafter, the photosensitive resin composition (R-2 to 75) was the same as the photosensitive resin composition (R-1) except that the composition and the blending amount (parts by weight) were changed as shown in Tables 1 to 12. )
表1.〜表12.の略語を下記に記す。
<光ラジカル重合開始剤(A)>
[オキシムエステル系光ラジカル重合開始剤(A1)]
・OXE−01:「イルガキュアOXE−01」(BASF社製);
1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム)]
・OXE−02:「イルガキュアOXE−02」(BASF社製);エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)
・PBG−304:「TRONLY TR−PBG−304」(常州強力電子新材料社製
)
・PBG−305:「TRONLY TR−PBG−305」(常州強力電子新材料社製
)
・PBG−309:「TRONLY TR−PBG−309」(常州強力電子新材料社製
)
・N−1919(ADEKA社製)
Table 1. ~ Table 12. The following abbreviations are used.
<Photoradical polymerization initiator (A)>
[Oxime ester photoradical polymerization initiator (A1)]
OXE-01: “Irgacure OXE-01” (manufactured by BASF);
1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl-2- (o-benzoyloxime)]
OXE-02: “Irgacure OXE-02” (manufactured by BASF); ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (o- Acetyl oxime)
・ PBG-304: “TRONLY TR-PBG-304” (manufactured by Changzhou Power Electronics New Materials Co., Ltd.)
・ PBG-305: “TRONLY TR-PBG-305” (manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd.)
・ PBG-309: "TRONLY TR-PBG-309" (manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd.)
・ N-1919 (made by ADEKA)
[チオキサントン系光ラジカル重合開始剤(A2)]
・DETX−S:「カヤキュアDETX−S」(日本化薬社製);2,4−ジエチルチオキサントン
・2−イソプロピルチオキサントン(東京化成工業社製)
[その他の光ラジカル重合開始剤]
・Irg369:「イルガキュア369」(BASF社製);2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン
[Thioxanthone photoradical polymerization initiator (A2)]
DETX-S: “Kayacure DETX-S” (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.); 2,4-diethylthioxanthone • 2-isopropylthioxanthone (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
[Other photo radical polymerization initiators]
Irg369: “Irgacure 369” (manufactured by BASF); 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one
<光カチオン重合開始剤(B)>
[芳香族スルホニウム塩(B1)]
・CPI−100P:「CPI−100P」(サンアプロ社製);トリアリールスルホニ
ウム・PF6塩の50%プロピレンカーボネート溶液
・CPI−101A:「CPI−101A」(サンアプロ社製);トリアリールスルホニウム・SbF6塩の50%プロピレンカーボネート溶液
・CPI−210K:「CPI−210K」(サンアプロ社製);トリアリールスルホニウム・特殊リン系アニオン塩の50%プロピレンカーボネート溶液
[芳香族ヨードニウム塩(B2)]
・Irg250:「イルガキュア250」(BASF社製);ヨードニウム,(4−メチルフェニル)[4−(2メチルプロピル)フェニル] −ヘキサフルオロフォスフェート(
1−)の75%プロピレンカーボネート溶液
・WPI−113:「WPI−113」(和光純薬社製);ジフェニルヨードニウム・PF6塩の50%プロピレンカーボネート溶液
・WPI−116:「WPI−116」(和光純薬社製);ジフェニルヨードニウム・SbF6塩の50%プロピレンカーボネート溶液
・WPI−169:「WPI−169」(和光純薬社製);ジフェニルヨードニウム・ビス(パーフルオロブタンスルホニル)イミド塩の50%プロピレンカーボネート溶液
・WPI−170:「WPI−170」(和光純薬社製);ジフェニルヨードニウム・PF6塩の50%プロピレンカーボネート溶液
<Photocationic polymerization initiator (B)>
[Aromatic sulfonium salt (B1)]
CPI-100P: “CPI-100P” (manufactured by San Apro); 50% propylene carbonate solution of triarylsulfonium / PF 6 salt • CPI-101A: “CPI-101A” (manufactured by San Apro); triaryl sulfonium / SbF 6 salt 50% propylene carbonate solution / CPI-210K: “CPI-210K” (manufactured by San Apro); 50% propylene carbonate solution of triarylsulfonium / special phosphorus anion salt [aromatic iodonium salt (B2)]
Irg250: “Irgacure 250” (manufactured by BASF); iodonium, (4-methylphenyl) [4- (2methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (
1-) 75% propylene carbonate solution / WPI-113: “WPI-113” (manufactured by Wako Pure Chemical Industries); 50% propylene carbonate solution of diphenyliodonium / PF6 salt / WPI-116: “WPI-116” (Japanese sum) 50% propylene carbonate solution of diphenyliodonium / SbF6 salt / WPI-169: “WPI-169” (manufactured by Wako Purechemical); 50% of diphenyliodonium / bis (perfluorobutanesulfonyl) imide salt Propylene carbonate solution / WPI-170: “WPI-170” (manufactured by Wako Pure Chemical Industries); 50% propylene carbonate solution of diphenyliodonium / PF6 salt
<カチオン重合性化合物(C)>
[ビニルエーテル化合物(C1)]
・HEVE:「HEVE」(丸善石油化学社製);2−ヒドロキシエチルビニルエーテル・DEGV:「DEGV」(丸善石油化学社製);ジエチレングリコールモノビニルエーテル
・HBVE:「HBVE」(丸善石油化学社製);4−ヒドロキシブチルビニルエーテル・EOXTVE:「EOXTVE」(丸善石油化学社製);エチルオキセタンメチルビニルエーテル
・CHDMVG:「CHDMVG」(丸善石油化学社製);シクロヘキサンジメタノールビニルグリシジルエーテル
・DVE−2:「DVE−2」(BASF社製);ジエチレングリコールジビニルエーテル
・DVE−3:「DVE−3」(BASF社製);トリエチレングリコールジビニルエーテル
・VEEA:「VEEA」(日本触媒社製);アクリル酸2−(ビニロキシエトキシ)エチル
<Cationically polymerizable compound (C)>
[Vinyl ether compound (C1)]
HEVE: “HEVE” (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.); 2-hydroxyethyl vinyl ether; DEGV: “DEGV” (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.); diethylene glycol monovinyl ether; 4-hydroxybutyl vinyl ether / EOXTVE: “EOXTVE” (manufactured by Maruzen Petrochemicals); ethyl oxetane methyl vinyl ether / CHDMVG: “CHDMVG” (manufactured by Maruzen Petrochemicals); cyclohexanedimethanol vinyl glycidyl ether / DVE-2: “DVE” -2 "(manufactured by BASF); diethylene glycol divinyl ether / DVE-3:" DVE-3 "(manufactured by BASF); triethylene glycol divinyl ether / VEEA:" VEEA "(manufactured by Nippon Shokubai Co.); acrylic acid 2- (Vini Kishietokishi) ethyl
[エポキシ化合物(C2)]
・jER152:「jER152」(三菱化学社製);フェノールノボラック型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・jER154:「jER154」(三菱化学社製);フェノールノボラック型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・N−660:「エピクロンN−660」(DIC社製);クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・N−673:「エピクロンN−673」(DIC社製);クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・N−695:「エピクロンN−695」(DIC社製);クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・N−740:「エピクロンN−740」(DIC社製);フェノールノボラック型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・N−770:「エピクロンN−770」(DIC社製);フェノールノボラック型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・N−775:「エピクロンN−775」(DIC社製);フェノールノボラック型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・EHPE−3150:「EHPE−3150」(ダイセル社製);2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・セロキサイド2021P:「セロキサイド2021P」(ダイセル社製):3、4−エポキシシクロヘキセニルのPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・EXA−7200:「エピクロンEXA−7200」(DIC社製);ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・jER E157S75:「jER E157S75」(三菱化学社製);ビスフェノールA型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・jER828:「jER828」(三菱化学社製);ビスフェノール型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・jER YX−4000:「jER YX−4000」(三菱化学社製);ビフェノール型エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
・TEPIC−S:「TEPIC−S」(日産化学工業社製);複素環式エポキシ樹脂のPGMEA溶液(固型分20%に調整)
[Epoxy compound (C2)]
JER152: “jER152” (Mitsubishi Chemical Corporation); PGMEA solution of phenol novolac type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
JER154: “jER154” (Mitsubishi Chemical Corporation); PGMEA solution of phenol novolac type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
N-660: “Epiclon N-660” (manufactured by DIC); PGMEA solution of cresol novolac type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
N-673: “Epiclon N-673” (manufactured by DIC); PGMEA solution of cresol novolac type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
N-695: “Epiclon N-695” (manufactured by DIC); PGMEA solution of cresol novolac type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
N-740: “Epiclon N-740” (manufactured by DIC); PGMEA solution of phenol novolac type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
N-770: “Epiclon N-770” (manufactured by DIC); PGMEA solution of phenol novolac type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
N-775: “Epiclon N-775” (manufactured by DIC); PGMEA solution of phenol novolac type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
EHPE-3150: “EHPE-3150” (manufactured by Daicel); PGMEA solution of 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol ( Adjusted to 20% solid content)
Celoxide 2021P: “Celoxide 2021P” (manufactured by Daicel): PGMEA solution of 3,4-epoxycyclohexenyl (adjusted to 20% solid content)
EXA-7200: “Epiclon EXA-7200” (manufactured by DIC); PGMEA solution of dicyclopentadienephenol type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
JER E157S75: “jER E157S75” (manufactured by Mitsubishi Chemical); PGMEA solution of bisphenol A type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
JER828: “jER828” (Mitsubishi Chemical Corporation); PGMEA solution of bisphenol type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
JER YX-4000: “jER YX-4000” (Mitsubishi Chemical Corporation); PGMEA solution of biphenol type epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
-TEPIC-S: “TEPIC-S” (manufactured by Nissan Chemical Industries); PGMEA solution of heterocyclic epoxy resin (adjusted to 20% solid content)
[オキセタン化合物(C3)]
・OXT−221:「アロンオキセタンOXT−221」(東亞合成社製):ジ[1−エチル(3−オキセタニル)]メチルエーテル
・OXBP:「OXBP」(宇部興産社製);4,4’−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル
・OXTP:「OXTP」(宇部興産社製);1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ベンゼン
・OXT−101:「アロンオキセタンOXT−101」(東亞合成社製):3−エチル3−ヒドロキシメチルオキセタン
・OXT−212:「アロンオキセタンOXT−212」(東亞合成社製):2−エチルヘキシルオキセタン
・OXT−121:「アロンオキセタンOXT−121」(東亞合成社製):キシリレンビスオキセタン
・OXT−221:「アロンオキセタンOXT−221」(東亞合成社製):3−エチル−3{[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]メチル}オキセタン
[Oxetane compound (C3)]
OXT-221: “Aron oxetane OXT-221” (manufactured by Toagosei Co., Ltd.): di [1-ethyl (3-oxetanyl)] methyl ether OXBP: “OXBP” (manufactured by Ube Industries); 4,4′- Bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl] biphenyl · OXTP: “OXTP” (manufactured by Ube Industries); 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl] benzene · OXT- 101: “Aron oxetane OXT-101” (manufactured by Toagosei Co., Ltd.): 3-ethyl 3-hydroxymethyl oxetane / OXT-212: “Aron oxetane OXT-212” (manufactured by Toagosei Co., Ltd.): 2-ethylhexyl oxetane / OXT- 121: “Aron Oxetane OXT-121” (manufactured by Toagosei Co., Ltd.): Xylylenebisoxetane / OXT-221: “Aron oxetane OXT-221” (manufactured by Toagosei Co., Ltd.): 3-ethyl-3 {[(3-ethyloxetane-3-yl) methoxy] methyl} oxetane
<(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物>
・M−402:「アロニックスM−402」(東亞合成社製):ジペンタエリスリトールペンタアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物
・V#802:「V#802」(大阪有機化学工業社製):トリペンタエリスリトールヘプタアクリレートおよびトリペンタエリスリトールオクタアクリレートを主成分とするペンタエリスリトールのホモポリマーとアクリル酸の反応生成物
<Radically polymerizable compound having (meth) acrylic group>
M-402: “Aronix M-402” (manufactured by Toagosei Co., Ltd.): a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate. V # 802: “V # 802” (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.): Reaction product of acrylic acid with pentaerythritol homopolymer based on tripentaerythritol heptaacrylate and tripentaerythritol octaacrylate
<無機酸化物微粒子分散液>
・PMA−ST:「PMA−ST」(日産化学工業(株)製):ケイ素の酸化物微粒子のPGMEA分散液(不揮発分30重量%)
<加熱硬化性触媒>
・2E4MZ:「2E4MZ」(四国化成(株)製):2−エチル−4−メチルイミダゾール
<酸無水物系硬化剤>
・BPDA:3,3’ ,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸ニ無水物(三菱化学社
製)
<シラン化合物>
・IM−1000:「IM−1000」(JX日鉱日石金属社製):イミダゾール基を有する
PMA-ST: “PMA-ST” (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.): PGMEA dispersion of silicon oxide fine particles (non-volatile content: 30% by weight)
<Heat curable catalyst>
2E4MZ: “2E4MZ” (manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.): 2-ethyl-4-methylimidazole <anhydride curing agent>
BPDA: 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (Mitsubishi Chemical Corporation)
<Silane compound>
IM-1000: “IM-1000” (manufactured by JX Nippon Mining & Metals): having an imidazole group
<レベリング剤>
・BYK−330:「BYK−330」(ビックケミー社製);ポリエーテル構造含有ジメチルシロキサンのPGMEA溶液(固型分1%に調整)
<溶剤>
・PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
<Leveling agent>
BYK-330: “BYK-330” (by Big Chemie); PGMEA solution of polyether structure-containing dimethylsiloxane (adjusted to 1% solid content)
<Solvent>
・ PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate
<感光性樹脂組成物の評価>
以下に示す評価方法にて得られた感光性樹脂組成物をそれぞれ評価した。結果を表12〜14に示す。
<Evaluation of photosensitive resin composition>
The photosensitive resin compositions obtained by the evaluation methods shown below were each evaluated. The results are shown in Tables 12-14.
(1)透過率の測定
得られた感光性樹脂組成物を用いて、150℃60分加熱により、仕上がり膜厚が1.5μmとなるように塗布した基板を得た。
まず、100mm×100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製ガラス
イーグル2000)に、スピンコーターを用いて、得られた感光性樹脂組成物を塗布し、ホットプレート(アズワン社製「EC−1200N(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークした。
超高圧水銀ランプを用いて、照度20mW/cm2、露光量200mJ/cm2で紫外線露光を行った。
塗布基板を150℃で60分加熱、放冷して膜厚が1.5μmの硬化膜を得た。膜厚は、アルバック社製の触針式膜厚計DECTAC−3で測定した。
顕微分光光度計(オリンパス光学社製「OSP−SP100」)を用いて、得られた塗膜の波長400nmにおける透過率を測定した。
透過率は95%以上で良好といえる。それ以下は実用には適さない透過率である。
(1) Measurement of transmittance Using the obtained photosensitive resin composition, a substrate coated with a finished film thickness of 1.5 μm was obtained by heating at 150 ° C. for 60 minutes.
First, a 100 mm × 100 mm, 0.7 mm thick glass substrate (Corning Glass
The obtained photosensitive resin composition was applied to Eagle 2000) using a spin coater, and prebaked at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate (“EC-1200N (trade name)” manufactured by ASONE).
Using an ultrahigh pressure mercury lamp, ultraviolet exposure was performed with an illuminance of 20 mW / cm 2 and an exposure amount of 200 mJ / cm 2 .
The coated substrate was heated at 150 ° C. for 60 minutes and allowed to cool to obtain a cured film having a thickness of 1.5 μm. The film thickness was measured with a stylus type film thickness meter DECTAC-3 manufactured by ULVAC.
Using a microspectrophotometer ("OSP-SP100" manufactured by Olympus Optical Co., Ltd.), the transmittance of the obtained coating film at a wavelength of 400 nm was measured.
It can be said that the transmittance is good at 95% or more. Below that, the transmittance is not suitable for practical use.
(2)鉛筆硬度の測定
前記(1)記載の方法で得られた膜厚1.5μmの硬化膜について、「JIS K5600−5−4(1999)」に準拠して鉛筆硬度を測定した。
この値が4Hまたはそれより硬いとき、表面硬度は良好といえる。硬度が3Hの場合は、実用可能な最低限の硬度、2H以下は実用には適さない硬度である。
◎;5H以上
○;4H
△;3H
×;2H以下
(2) Measurement of pencil hardness Pencil hardness was measured according to "JIS K5600-5-4 (1999)" about the cured film with a film thickness of 1.5 micrometers obtained by the method of said (1) description.
When this value is 4H or higher, the surface hardness is good. When the hardness is 3H, the minimum practical hardness, 2H or less is not suitable for practical use.
◎; 5H or more ○; 4H
△; 3H
×: 2H or less
(3)パターン直線性
得られた感光性樹脂組成物を用いて、150℃60分加熱により、仕上がり膜厚が1.5μmとなるように塗布した基板を得た。
(3) Pattern linearity The board | substrate apply | coated so that a final film thickness might be set to 1.5 micrometers was obtained by heating at 150 degreeC for 60 minute (s) using the obtained photosensitive resin composition.
まず、100mm×100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製ガラス
イーグル2000)に、スピンコーターを用いて、得られた感光性樹脂組成物を塗布し、ホットプレート(アズワン社製「EC−1200N(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークした。
超高圧水銀ランプを用いて、50μmのラインアンドスペースパターンを形成可能なマスクを介して照度20mW/cm2、露光量100mJ/cm2で紫外線露光を行った。
続いて、自動現像装置(「(商品名)」、アクテス社製)を用いて、0.045wt%水酸化カリウム水溶液で90秒間スプレー現像し、次いで水で30秒間リンスした。
現像後の基板を150℃で60分加熱、放冷後、パターンの直線性を評価した。
○;直線性が良好
×;ギザつき、剥離等による直線性不良
First, a 100 mm × 100 mm, 0.7 mm thick glass substrate (Corning Glass
The obtained photosensitive resin composition was applied to Eagle 2000) using a spin coater, and prebaked at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate (“EC-1200N (trade name)” manufactured by ASONE).
Using an ultra-high pressure mercury lamp, UV exposure was performed at an illuminance of 20 mW / cm 2 and an exposure amount of 100 mJ / cm 2 through a mask capable of forming a 50 μm line and space pattern.
Subsequently, using an automatic developing device (“(trade name)”, manufactured by Actes Co., Ltd.), spray development was performed for 90 seconds with a 0.045 wt% aqueous potassium hydroxide solution, followed by rinsing with water for 30 seconds.
The substrate after development was heated at 150 ° C. for 60 minutes and allowed to cool, and then the linearity of the pattern was evaluated.
○: Good linearity ×: Poor linearity due to jaggedness or peeling
(4)残膜率
得られた感光性樹脂組成物を用いて、230℃20分加熱加熱により、仕上がり膜厚が1.5μmとなるように塗布した基板を得た。
(4) Residual film ratio Using the obtained photosensitive resin composition, a substrate coated so as to have a finished film thickness of 1.5 μm was obtained by heating and heating at 230 ° C. for 20 minutes.
まず、100mm×100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製ガラス
イーグル2000)に、スピンコーターを用いて、得られた感光性樹脂組成物を塗布し、ホットプレート(アズワン社製「EC−1200N(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークしたのち、アルバック社製の触針式膜厚計DECTAC−3で膜厚を測定した(膜厚1)。
続いて超高圧水銀ランプを用いて、50μmのラインアンドスペースパターンを形成可能なマスクを介して照度20mW/cm2、露光量100mJ/cm2で紫外線露光を行った。
さらに、自動現像装置(「ADE−3000S(商品名)」、アクテス社製)を用いて、0.045wt%水酸化カリウム水溶液で90秒間スプレー現像し、次いで水で30秒間リンスした。
現像後の基板を150℃で30分加熱、放冷後、アルバック社製の触針式膜厚計DECTAC−3で膜厚を測定した(膜厚2)。
得られた膜厚から下記式を用いて残膜率を算出した。
(残膜率)=(膜厚2)/(膜厚1)×100(%)
○;残膜率80%以上
△;残膜率70%以上80%未満
×;残膜率70%未満
First, a 100 mm × 100 mm, 0.7 mm thick glass substrate (Corning Glass
After applying the obtained photosensitive resin composition to Eagle 2000) using a spin coater and prebaking at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate (“EC-1200N (trade name)” manufactured by ASONE). The film thickness was measured with a stylus type film thickness meter DECTAC-3 manufactured by ULVAC (film thickness 1).
Subsequently, using an ultrahigh pressure mercury lamp, ultraviolet exposure was performed at an illuminance of 20 mW / cm 2 and an exposure amount of 100 mJ / cm 2 through a mask capable of forming a 50 μm line and space pattern.
Further, using an automatic developing device (“ADE-3000S (trade name)”, manufactured by Actes Co., Ltd.), spray development was performed for 90 seconds with a 0.045 wt% aqueous potassium hydroxide solution, followed by rinsing with water for 30 seconds.
The substrate after development was heated at 150 ° C. for 30 minutes and allowed to cool, and then the film thickness was measured with a stylus-type film thickness meter DECTAC-3 manufactured by ULVAC (film thickness 2).
The remaining film ratio was calculated from the obtained film thickness using the following formula.
(Residual film ratio) = (film thickness 2) / (film thickness 1) × 100 (%)
○: Remaining film ratio 80% or more Δ; Remaining film ratio 70% or more and less than 80% ×: Remaining film ratio less than 70%
(5)ITO接着性の評価(密着性)
表面にITOをスパッタリングしたガラス基板(「0007(商品名)」、ジオマテック製;以下、「ITO基板」)上に、前記(1)記載の方法と同様にして膜厚1.5μmの硬化膜を形成し、JIS「K5600−5−6(1999年4月20日制定)」に準じてITOと硬化膜の接着性を評価した。
ガラス基板上のITO表面に、カッターナイフでガラス板の素地に到達するように、直交する縦横11本ずつの平行な直線を1mm間隔で引いて、1mm×1mmのマス目を100個作製した。切られた硬化膜表面にセロハン粘着テープ(幅=18mm、粘着力=3.7N/10mm)を張り付け、消しゴム(JISS6050合格品)で擦って密着さ
せ、テープの一端を持ち、板に直角を保ち瞬間的に剥離した際のマス目の残存数を目視によって評価した。マス目の剥離面積により以下のように判定し、3以上を合格とした。
5:剥離面積=0%
4:剥離面積=<5%
3:剥離面積=5〜14%
2:剥離面積=15〜34%
1:剥離面積=35%〜64%
0:剥離面積=65%〜100%
(5) Evaluation of ITO adhesion (adhesion)
A cured film having a film thickness of 1.5 μm is formed on a glass substrate (“0007 (trade name)”, manufactured by Geomatec; hereinafter referred to as “ITO substrate”) on which ITO is sputtered in the same manner as described in (1) above. Then, the adhesion between ITO and the cured film was evaluated according to JIS “K5600-5-6 (established on April 20, 1999)”.
On the ITO surface on the glass substrate, 11 parallel straight lines of 11 vertical and horizontal directions were drawn at 1 mm intervals so as to reach the substrate of the glass plate with a cutter knife, and 100 squares of 1 mm × 1 mm were produced. A cellophane adhesive tape (width = 18 mm, adhesive strength = 3.7 N / 10 mm) is applied to the cut cured film surface, and it is rubbed with an eraser (JISS6050-accepted product) to hold it, holding one end of the tape, and maintaining a right angle to the plate The remaining number of squares when peeled instantaneously was visually evaluated. Judgment was made as follows according to the peeled area of the cells, and 3 or more was determined to be acceptable.
5: Peel area = 0%
4: Peel area = <5%
3: Peel area = 5-14%
2: Peel area = 15-34%
1: Peeling area = 35% -64%
0: peeling area = 65% to 100%
(6)薬液処理方法(耐薬品性)
(6−1)酸の処理方法
(5)で作製した硬化膜を有するITO基板を、HCl/HNO3/H2O=18/4/78(重量比)で混合した35℃の水溶液に80秒間処理した。処理後の基板について、(5)と同様にして接着性の評価を行った。
(6) Chemical solution processing method (chemical resistance)
(6-1) An ITO substrate having a cured film prepared by the acid treatment method (5) is mixed with an aqueous solution at 35 ° C. mixed with HCl / HNO 3 / H 2 O = 18/4/78 (weight ratio). Processed for seconds. About the board | substrate after a process, it evaluated adhesiveness like (5).
(6−2)アルカリの処理方法
(5)で作製した硬化膜を有するITO基板を、モノエタノールアミン/ジエチレングリコールモノブチルエーテル=30/70(重量比)で混合した60℃の溶液に5分間処理した。処理後の基板について、(5)と同様にして接着性の評価を行った。
(6-2) An ITO substrate having a cured film produced by the alkali treatment method (5) was treated for 5 minutes in a 60 ° C. solution mixed with monoethanolamine / diethylene glycol monobutyl ether = 30/70 (weight ratio). . About the board | substrate after a process, it evaluated adhesiveness like (5).
表13〜15に示すように、光ラジカル重合開始剤(A)と、光カチオン重合開始剤(B)と、カチオン重合性化合物(C)と、アルカリ可溶性樹脂(F)とを含有する感光性樹脂組成物であって、カチオン重合性化合物(C)が、ビニルエーテル化合物(C1)を含む2種以上のカチオン重合性化合物を含む感光性樹脂組成物により、加熱焼成温度が、150℃と低温の場合にも硬化性に優れ、高硬度、高透過率であり、パターン直線性、耐薬品性に優れていた。 As shown in Tables 13 to 15, photosensitivity containing a photo radical polymerization initiator (A), a photo cation polymerization initiator (B), a cation polymerizable compound (C), and an alkali-soluble resin (F). It is a resin composition, and the cationically polymerizable compound (C) is a photosensitive resin composition containing two or more kinds of cationically polymerizable compounds including a vinyl ether compound (C1). Also in the case, it had excellent curability, high hardness, high transmittance, and excellent pattern linearity and chemical resistance.
なお、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、加熱焼成温度を、230℃に変更した場合にも、硬化性に優れ、高硬度、高透過率であり、パターン直線性、耐薬品性に優れていた。 In addition, even when the heating and baking temperature is changed to 230 ° C. using the photosensitive resin composition of the present invention, it has excellent curability, high hardness, high transmittance, pattern linearity, and chemical resistance. It was excellent.
以上の結果より、本願の感光性樹脂組成物により、硬化性に優れ、高硬度、高透過率であり、解像性、耐薬品性にも優れた塗膜を得ることができ、該塗膜は、タッチパネルに用いられるオーバーコートに適した高品質の硬化膜である事が確認できた。 From the above results, the photosensitive resin composition of the present application can provide a coating film having excellent curability, high hardness, high transmittance, excellent resolution, and chemical resistance. Was confirmed to be a high-quality cured film suitable for an overcoat used for a touch panel.
[実施例2〜74、比較例1]
(感光性組成物(R−2〜75))
以下、表1〜表12に示すように組成および配合量(重量部)を変更した以外は、感光性樹脂組成物(R−1)と同様にして感光性樹脂組成物(R−2〜75)を得た。
ただし、実施例53〜55は参考例である。
[Examples 2 to 74, Comparative Example 1]
(Photosensitive composition (R-2 to 75))
Hereinafter, the photosensitive resin composition (R-2 to 75) was the same as the photosensitive resin composition (R-1) except that the composition and the blending amount (parts by weight) were changed as shown in Tables 1 to 12. )
However, Examples 53 to 55 are reference examples.
Claims (13)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(C2-b)から選ばれる少なくとも1種を含むこ
とを特徴とする請求項2記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 2, wherein the epoxy compound (C2) contains at least one selected from a phenol novolac type epoxy resin (C2-a) and a cresol novolak type epoxy resin (C2-b). object.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017022725A JP6432075B2 (en) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | Photosensitive resin composition and cured film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017022725A JP6432075B2 (en) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | Photosensitive resin composition and cured film |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013112919A Division JP6171573B2 (en) | 2013-05-29 | 2013-05-29 | Photosensitive resin composition and cured film |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017126074A true JP2017126074A (en) | 2017-07-20 |
JP6432075B2 JP6432075B2 (en) | 2018-12-05 |
Family
ID=59364031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017022725A Active JP6432075B2 (en) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | Photosensitive resin composition and cured film |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6432075B2 (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019005453A (en) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 株式会社三洋物産 | Game machine |
JP2019005454A (en) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 株式会社三洋物産 | Game machine |
CN109752923A (en) * | 2017-11-08 | 2019-05-14 | 三星显示有限公司 | Photosensitive resin composition |
JP2020023678A (en) * | 2018-07-27 | 2020-02-13 | 日本化薬株式会社 | Electronic component sealant |
JP2020168452A (en) * | 2020-07-07 | 2020-10-15 | 株式会社三洋物産 | Game machine |
WO2020250825A1 (en) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | 東レ株式会社 | Conductive layer-provided substrate, member for touch panel, and touch panel |
CN115926534A (en) * | 2021-08-24 | 2023-04-07 | 韩国太阳油墨股份公司 | UV curable inkjet ink composition |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000122284A (en) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Mitsubishi Chemicals Corp | Photosensitive composition, image forming material and image forming method |
JP2000298339A (en) * | 1999-04-14 | 2000-10-24 | Dainippon Printing Co Ltd | Photosensitive resin composition |
JP2003517513A (en) * | 1999-12-17 | 2003-05-27 | エス アンド シー ポリマー シリコン−ウント コンポジテ スペジアリターテン ジーエムビーエイチ | Photoinitiator system using acylphosphine oxide initiator |
WO2005061583A1 (en) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Mitsui Chemicals, Inc. | Cationically polymerizable resin composition |
US20070020559A1 (en) * | 2005-07-25 | 2007-01-25 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Positive-type photosensitive resin composition and cured film manufactured therefrom |
JP2008065161A (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Fujifilm Corp | Curable composition for color filter, color filter and method for producing the same |
JP2009157225A (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Sanyo Chem Ind Ltd | Photosensitive resin composition |
JP2010169783A (en) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Jsr Corp | Radiation-sensitive composition for colored layer formation, color filter, and color liquid crystal display element |
JP2012116974A (en) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | Photosensitive resin composition and insulating film for touch panel |
JP2012145699A (en) * | 2011-01-11 | 2012-08-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Colored photosensitive resin composition for touch panel, touch panel, and display device |
JP2012168526A (en) * | 2011-01-26 | 2012-09-06 | Sanyo Chem Ind Ltd | Photosensitive composition |
WO2012133148A1 (en) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 東レ株式会社 | Black resin composition, resin black matrix substrate, and touch panel |
JP2013068972A (en) * | 2011-03-04 | 2013-04-18 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | Photosensitive composition |
-
2017
- 2017-02-10 JP JP2017022725A patent/JP6432075B2/en active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000122284A (en) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Mitsubishi Chemicals Corp | Photosensitive composition, image forming material and image forming method |
JP2000298339A (en) * | 1999-04-14 | 2000-10-24 | Dainippon Printing Co Ltd | Photosensitive resin composition |
JP2003517513A (en) * | 1999-12-17 | 2003-05-27 | エス アンド シー ポリマー シリコン−ウント コンポジテ スペジアリターテン ジーエムビーエイチ | Photoinitiator system using acylphosphine oxide initiator |
WO2005061583A1 (en) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Mitsui Chemicals, Inc. | Cationically polymerizable resin composition |
US20070020559A1 (en) * | 2005-07-25 | 2007-01-25 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Positive-type photosensitive resin composition and cured film manufactured therefrom |
JP2008065161A (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Fujifilm Corp | Curable composition for color filter, color filter and method for producing the same |
JP2009157225A (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Sanyo Chem Ind Ltd | Photosensitive resin composition |
JP2010169783A (en) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Jsr Corp | Radiation-sensitive composition for colored layer formation, color filter, and color liquid crystal display element |
JP2012116974A (en) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | Photosensitive resin composition and insulating film for touch panel |
JP2012145699A (en) * | 2011-01-11 | 2012-08-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Colored photosensitive resin composition for touch panel, touch panel, and display device |
JP2012168526A (en) * | 2011-01-26 | 2012-09-06 | Sanyo Chem Ind Ltd | Photosensitive composition |
JP2013068972A (en) * | 2011-03-04 | 2013-04-18 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | Photosensitive composition |
WO2012133148A1 (en) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 東レ株式会社 | Black resin composition, resin black matrix substrate, and touch panel |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019005453A (en) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 株式会社三洋物産 | Game machine |
JP2019005454A (en) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 株式会社三洋物産 | Game machine |
CN109752923A (en) * | 2017-11-08 | 2019-05-14 | 三星显示有限公司 | Photosensitive resin composition |
JP2020023678A (en) * | 2018-07-27 | 2020-02-13 | 日本化薬株式会社 | Electronic component sealant |
JP7266484B2 (en) | 2018-07-27 | 2023-04-28 | 日本化薬株式会社 | Sealant for electronic parts |
WO2020250825A1 (en) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | 東レ株式会社 | Conductive layer-provided substrate, member for touch panel, and touch panel |
TWI805927B (en) * | 2019-06-11 | 2023-06-21 | 日商東麗股份有限公司 | Substrate with conductive layer and member for touch panel |
JP2020168452A (en) * | 2020-07-07 | 2020-10-15 | 株式会社三洋物産 | Game machine |
CN115926534A (en) * | 2021-08-24 | 2023-04-07 | 韩国太阳油墨股份公司 | UV curable inkjet ink composition |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6432075B2 (en) | 2018-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6171573B2 (en) | Photosensitive resin composition and cured film | |
JP6432075B2 (en) | Photosensitive resin composition and cured film | |
JP5211307B2 (en) | Photosensitive composition | |
KR102251113B1 (en) | Thermosetting resin composition, cured film, substrate with curing film, and electronic component | |
WO2012121179A1 (en) | β-HYDROXYALKYL AMIDE AND RESIN COMPOSITION | |
KR20110097767A (en) | Siloxane resin composition and protective film for touch panel using same | |
JP2012116975A (en) | Photosensitive resin composition and insulating film for touch panel | |
KR20230104564A (en) | Black resin composition for light-shielding film, substrate with that light-shielding film by curing thereof, and color filter or touch panel using the substrate with that light-shielding film | |
WO2010067876A1 (en) | Curable composition comprising inorganic oxide microparticles that are surface-modified with maleimide groups | |
JP2012103453A (en) | Photosensitive resin composition and touch-panel insulator film | |
JP2011053674A (en) | Colored photosensitive resin composition, and color filter and liquid crystal display device manufactured using the same | |
JPWO2011129312A1 (en) | Negative photosensitive resin composition, cured film, and touch panel member | |
JP2012185408A (en) | Photosensitive resin composition and insulating film for touch panel | |
JP2012215833A (en) | Photosensitive resin composition and insulating film for touch panel | |
JP5477268B2 (en) | Photosensitive resin composition and insulating film for touch panel | |
KR20140138815A (en) | Resin composition, transparent film for touch panel sensors using same, and touch panel | |
WO2018159675A1 (en) | Thermosetting resin composition, cured film, substrate having cured film, electronic component, and ink composition for inkjet | |
JP2014043506A (en) | Resin composition and coating film using the same | |
JP6529213B2 (en) | Shading composition for touch panel and touch panel | |
JP7210875B2 (en) | Photosensitive resin composition, cured film and method for producing the same | |
JP5867197B2 (en) | Photosensitive composition, protective film using the same, and insulating film for touch panel | |
JP2019113590A (en) | Photosensitive resin composition and cured film | |
JP2019045736A (en) | Photosensitive resin composition and cured film | |
JP6733831B2 (en) | Fluorine-containing active energy ray curable resin, liquid repellent, resin composition containing the same, and cured film | |
JP6438298B2 (en) | New photosensitive resin composition and its application |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180612 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181016 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20181016 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181016 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20181016 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6432075 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |