JP2017118473A - Piezoelectric oscillator - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、発振回路素子を収容した絶縁基板の上部に圧電振動子を接合して一体化した圧電発振器に関する。 The present invention relates to a piezoelectric oscillator in which a piezoelectric vibrator is bonded and integrated on an insulating substrate that houses an oscillation circuit element.
簡便で低コストの圧電発振器として、発振回路素子を収容した絶縁基板の上部に、圧電振動子の外底面を導電接合した,いわゆる2段重ね構造のものが知られている。このような構造の圧電発振器は例えば特許文献1に開示されている。
As a simple and low-cost piezoelectric oscillator, a so-called two-stage stacked structure is known in which an outer bottom surface of a piezoelectric vibrator is conductively bonded to an upper portion of an insulating substrate that houses an oscillation circuit element. A piezoelectric oscillator having such a structure is disclosed in
前記圧電振動子は、圧電素子と、当該圧電素子を収容する容器と、当該容器に接合される蓋とからなり、圧電振動子全体では略直方体のパッケージとなっている。前記圧電素子は、その端部が圧電素子を搭載するための搭載電極の上に導電性接着剤を介して片持ち接合されている。圧電振動子の外底面である前記容器の外底面の4隅には、圧電素子から導出された4つの底部電極が形成されている。 The piezoelectric vibrator includes a piezoelectric element, a container that accommodates the piezoelectric element, and a lid that is bonded to the container. The entire piezoelectric vibrator is a substantially rectangular parallelepiped package. The piezoelectric element is cantilevered at its end on a mounting electrode for mounting the piezoelectric element via a conductive adhesive. At the four corners of the outer bottom surface of the container, which is the outer bottom surface of the piezoelectric vibrator, four bottom electrodes led out from the piezoelectric element are formed.
一方、前記絶縁基板には、発振回路素子が収容される上方に開口した凹部が設けられている。前記凹部を包囲する側壁の上面は平面視略矩形の枠状であり、当該側壁の上面の4隅には、前記底部電極と対応した4つの接合電極が形成されている。そして絶縁基板の前記凹部の内底面と対向する反対面(圧電発振器の外底面)には、外部基板と半田を介して導電接合される複数の実装端子が形成されている。これらの複数の実装端子には、電源用、出力用、グランド用等の実装端子が含まれている。 On the other hand, the insulating substrate is provided with a concave portion opened upward to accommodate the oscillation circuit element. The upper surface of the side wall that surrounds the recess has a substantially rectangular frame shape in plan view, and four junction electrodes corresponding to the bottom electrode are formed at the four corners of the upper surface of the side wall. A plurality of mounting terminals are formed on the opposite surface (outer bottom surface of the piezoelectric oscillator) opposite to the inner bottom surface of the recess of the insulating substrate. The plurality of mounting terminals include mounting terminals for power, output, and ground.
前記圧電振動子の4つの底部電極と前記絶縁基板の4つの接合電極とは、接合材を介して一対一で導電接合される。当該導電接合後における圧電振動子の底部電極と絶縁基板の実装端子との位置関係について、例えば特許文献2が開示されている。しかし特許文献2における表面実装水晶発振器の場合、電源用の実装端子(14d)の上方に圧電素子と電気的に接続された底部電極が位置しているため、圧電素子が当該底部電極を介して電源用の実装端子からのノイズの影響を受けやすくなってしまう。また、電源用の実装端子の上方に、圧電素子を搭載するための搭載電極が位置している構成の場合も、圧電素子が電源用の実装端子からのノイズの影響を受けやすくなってしまう。このように圧電素子が当該実装端子からのノイズの影響を受けることによって、圧電発振器における位相雑音(位相ノイズ)特性が悪化してしまうという問題があった。
The four bottom electrodes of the piezoelectric vibrator and the four bonding electrodes of the insulating substrate are conductively bonded on a one-to-one basis via a bonding material. For example,
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、電源用の実装端子からのノイズの影響を低減し、優れた位相雑音特性を有する圧電発振器を提供することを目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above point, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric oscillator having excellent phase noise characteristics by reducing the influence of noise from a power supply mounting terminal.
上記目的を達成するために本発明は、圧電振動子の外底面に、発振回路素子が収容された絶縁基板が接合された圧電発振器であって、前記圧電振動子は、圧電素子と、当該圧電素子を収容する容器と、金属製の蓋とを有し、前記容器の外底面には、圧電素子と電気的に接続された一対の底部電極と、圧電素子と電気的に接続されず、かつ前記蓋と電気的に接続された一対のシールド用の底部電極とが形成され、前記絶縁基板は、複数の発振回路素子搭載用パッドと、当該パッドから引き出された複数の実装端子と、前記複数の発振回路素子搭載用パッドの一部と電気的に接続され前記底部電極と対応した接合電極とを備え、前記複数の実装端子には電源用の実装端子とグランド用の実装端子とが含まれ、前記一対のシールド用の底部電極のうち、一方は前記グランド用の実装端子と電気的に接続され、他方は、前記電源用の実装端子の上方に位置するとともに前記発振回路素子搭載用パッドと電気的に接続されていない接合電極と電気機械的に接合されている。 In order to achieve the above object, the present invention provides a piezoelectric oscillator in which an insulating substrate containing an oscillation circuit element is bonded to the outer bottom surface of a piezoelectric vibrator, the piezoelectric vibrator comprising the piezoelectric element and the piezoelectric vibrator. A container containing the element; and a metal lid; a pair of bottom electrodes electrically connected to the piezoelectric element on the outer bottom surface of the container; and not electrically connected to the piezoelectric element; A pair of shield bottom electrodes electrically connected to the lid is formed, and the insulating substrate includes a plurality of oscillation circuit element mounting pads, a plurality of mounting terminals drawn from the pads, and the plurality of the plurality of mounting terminals. A bonding electrode corresponding to the bottom electrode and electrically connected to a part of the oscillation circuit element mounting pad, and the plurality of mounting terminals include a power supply mounting terminal and a ground mounting terminal. The bottom electrode for the pair of shields One is electrically connected to the ground mounting terminal, and the other is electrically connected to a bonding electrode positioned above the power supply mounting terminal and not electrically connected to the oscillation circuit element mounting pad. Mechanically joined.
上記発明によれば、電源用の実装端子からのノイズの影響を低減させることができる。前記絶縁基板のグランド用の実装端子と電気的に接続された一方のシールド用の底部電極は、圧電振動子の蓋を介して他方のシールド用の底部電極と電気的に接続されており、当該他方のシールド用の底部電極は前記電源用の実装端子の上方に位置している。この電源用の実装端子の上方に位置する接合電極は、発振回路素子搭載用パッドと電気的に接続されておらず、電気的に独立した電極となっている。そして、前記電源用の実装端子の上方に位置する接合電極に、他方のシールド用の底部電極が電気機械的に接合されることで当該電源用の実装端子の上方に位置する接合電極もグランド電位となる。すなわち、上記構成によって電源用の実装端子の上方にグランド層が形成されるため、電源用の実装端子からのノイズを前記グランド層によって遮断することができる。 According to the said invention, the influence of the noise from the mounting terminal for power supplies can be reduced. One shield bottom electrode electrically connected to the ground mounting terminal of the insulating substrate is electrically connected to the other shield bottom electrode via the lid of the piezoelectric vibrator, and The other shield bottom electrode is located above the power supply mounting terminal. The bonding electrode positioned above the power supply mounting terminal is not electrically connected to the oscillation circuit element mounting pad, and is an electrically independent electrode. Then, the bottom electrode for the other shield is electromechanically joined to the junction electrode located above the power supply mounting terminal, so that the junction electrode located above the power supply mounting terminal is also ground potential. It becomes. That is, since the ground layer is formed above the power supply mounting terminal by the above configuration, noise from the power supply mounting terminal can be blocked by the ground layer.
また上記目的を達成するために、前記圧電振動子の容器に圧電素子が搭載される搭載電極が形成され、当該搭載電極の少なくとも一部が平面視透過で前記シールド用の底部電極と重畳していてもよい。 In order to achieve the above object, a mounting electrode on which a piezoelectric element is mounted is formed on the container of the piezoelectric vibrator, and at least a part of the mounting electrode is superimposed on the bottom electrode for shielding in plan view transmission. May be.
上記発明によれば、電源用の実装端子からのノイズの影響をより低減させることができる。これは電源用の実装端子の上方にグランド接続されたシールド用の底部電極が位置しているため、電源用の実装端子からのノイズが遮断されるとともに、搭載電極の少なくとも一部が平面視透過で前記シールド用の底部電極と重畳することによって、搭載電極に接合された圧電素子へのノイズの伝搬が抑制されるからである。 According to the said invention, the influence of the noise from the mounting terminal for power supplies can be reduced more. This is because the bottom electrode for the shield connected to the ground is located above the power supply mounting terminal, so that the noise from the power supply mounting terminal is blocked and at least a part of the mounting electrode is transparent in plan view. This is because the propagation of noise to the piezoelectric element joined to the mounting electrode is suppressed by overlapping with the bottom electrode for shielding.
また上記目的を達成するために、前記絶縁基板は、発振回路素子が収容される凹部と、当該凹部の内底面に前記複数の発振回路素子搭載用パッドとを備え、前記圧電振動子の一対のシールド用の底部電極の他方が、前記発振回路素子搭載用パッドから前記電源用の実装端子へ引き出された配線パターンの前記絶縁基板の凹部に露出した部分に対して平面視で重畳していてもよい。 In order to achieve the above object, the insulating substrate includes a recess in which the oscillation circuit element is accommodated, and the plurality of oscillation circuit element mounting pads on the inner bottom surface of the recess, and a pair of the piezoelectric vibrators Even if the other bottom electrode of the shield overlaps with a portion exposed in the concave portion of the insulating substrate of the wiring pattern drawn from the oscillation circuit element mounting pad to the power supply mounting terminal in a plan view. Good.
上記発明によれば、電源用の実装端子からのノイズの影響をより低減させることができる。発振回路素子搭載用パッドから電源用の実装端子へ引き出された配線パターンのうち絶縁基板の凹部に露出した部分は、その上部が解放されているため電源用の実装端子から伝搬したノイズが上方に拡散しやすくなる。これに対して本発明に係る構成であれば、圧電振動子の一対のシールド用の底部電極の他方が、電源用の実装端子とつながった配線パターンの前記凹部に露出した部分に重畳しているため、電源用の実装端子からのノイズの影響をより低減させることができる。 According to the said invention, the influence of the noise from the mounting terminal for power supplies can be reduced more. Of the wiring pattern drawn out from the oscillation circuit element mounting pad to the power supply mounting terminal, the portion exposed in the concave portion of the insulating substrate is open, so that the noise propagated from the power supply mounting terminal is upward. It becomes easy to diffuse. On the other hand, in the configuration according to the present invention, the other of the pair of shield bottom electrodes of the piezoelectric vibrator is overlapped with the exposed portion of the wiring pattern connected to the power supply mounting terminal. Therefore, the influence of noise from the power supply mounting terminal can be further reduced.
なお、前記圧電振動子の一対のシールド用の底部電極の他方が、前記発振回路素子搭載用パッドから前記電源用の実装端子へ引き出された配線パターンの,絶縁基板の側壁によって覆われた領域の一部または全部に対して、平面視で重畳していてもよい。 The other of the pair of shield bottom electrodes of the piezoelectric vibrator is a region of the wiring pattern drawn out from the oscillation circuit element mounting pad to the power supply mounting terminal and covered by the side wall of the insulating substrate. A part or all of them may be superimposed in a plan view.
上記構成の場合、電源用の実装端子からのノイズの影響をより低減させることができる。これは、圧電振動子の一対のシールド用の底部電極の他方が、電源用の実装端子へ引き出された配線パターンの絶縁基板の側壁によって覆われた領域の一部または全部に対して平面視で重畳しているため、電源用の実装端子だけでなく当該実装端子へ引き出された配線パターンの絶縁基板の側壁によって覆われた領域からのノイズの影響も抑制することができるからである。 In the case of the above configuration, the influence of noise from the power supply mounting terminals can be further reduced. This is because, in plan view, a part or all of the region covered by the side wall of the insulating substrate of the wiring pattern in which the other of the pair of shield bottom electrodes of the piezoelectric vibrator is drawn out to the power supply mounting terminal is shown. This is because the effect of noise not only from the power supply mounting terminal but also from the region covered by the side wall of the insulating substrate of the wiring pattern drawn out to the mounting terminal can be suppressed.
また上記目的を達成するために、前記絶縁基板の電源用の実装端子が、平面視透過で前記圧電振動子の搭載電極と重畳していない構成であってもよい。 Moreover, in order to achieve the said objective, the structure which the mounting terminal for the power supplies of the said insulated substrate does not overlap with the mounting electrode of the said piezoelectric vibrator by planar view transmission may be sufficient.
上記発明によれば、電源用の実装端子からのノイズの影響をより低減させることができる。これは電源用の実装端子の上方にグランド層が形成されることによって電源用の実装端子からのノイズを前記グランド層によって遮断できるだけでなく、絶縁基板の電源用の実装端子を平面視透過で圧電振動子の搭載電極と重畳しないように配置することによって、電源用の実装端子からのノイズの影響をより小さくすることができるからである。 According to the said invention, the influence of the noise from the mounting terminal for power supplies can be reduced more. This is because the ground layer is formed above the power supply mounting terminal, so that not only can the noise from the power supply mounting terminal be blocked by the ground layer, but also the power supply mounting terminal of the insulating substrate can be seen through in plan view. This is because the influence of noise from the power supply mounting terminal can be further reduced by disposing the vibrator so as not to overlap with the mounting electrode of the vibrator.
以上のように、電源用の実装端子からのノイズの影響を低減し、優れた位相雑音特性を有する圧電発振器を提供することができる。 As described above, it is possible to provide a piezoelectric oscillator having excellent phase noise characteristics by reducing the influence of noise from a power supply mounting terminal.
以下、本発明の実施形態を温度補償機能を備えた水晶発振器(TCXO)を例に挙げ、図1乃至7を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形態に係る水晶発振器の断面模式図である。水晶発振器1は全体としては略直方体状であり、平面視では略矩形となっている。本実施形態では水晶発振器1の平面視における外形寸法は、長辺が1.65mmで、短辺が1.25mmとなっている。なお、前述の水晶発振器の平面視の外形寸法は一例であり、前記外形寸法以外のパッケージサイズであってもよい。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7, taking a crystal oscillator (TCXO) having a temperature compensation function as an example. FIG. 1 is a schematic sectional view of a crystal oscillator according to an embodiment of the present invention. The
水晶発振器1は、発振回路素子を収容した絶縁基板3の上部に水晶振動子2が接合材14(半田)を介して導電接合された,いわゆる「2段重ね構造」となっている。水晶発振器1は、絶縁基板の外底面301の4隅に設けられた4つの実装端子12が、半田等を介して外部基板と接合されるようになっている。以下、水晶発振器を構成する水晶振動子と絶縁基板とに大別して説明する。
The
まず、水晶振動子2の概略について図1乃至2を参照しながら説明する。水晶振動子2は、直方体状のパッケージからなる表面実装型の圧電振動子であり、水晶素子7と、容器4と、蓋9が主な構成部材となっている。
First, an outline of the
図1に示す水晶素子7は、ATカット水晶振動板の表裏主面に各種電極が形成された平面視矩形状の圧電素子である。水晶振動板の表裏主面の各々には、励振電極E,Eが水晶振動板を挟んで対向するように一対で形成されている。そして一対の励振電極の各々からは、水晶振動板の長辺の一端側に向かって引出電極が引き出されている。この一対の引出電極の各々の終端部は接着用の電極(接着電極)となっている。なお、図1では励振電極(E)のみを図示し、前記引出電極と前記接着電極は図示を省略している。 The crystal element 7 shown in FIG. 1 is a piezoelectric element having a rectangular shape in plan view in which various electrodes are formed on the front and back main surfaces of an AT-cut crystal diaphragm. A pair of excitation electrodes E and E are formed on each of the front and back main surfaces of the crystal diaphragm so as to face each other with the crystal diaphragm interposed therebetween. An extraction electrode is extracted from each of the pair of excitation electrodes toward one end side of the long side of the quartz crystal diaphragm. Each terminal portion of the pair of lead electrodes is an electrode for bonding (adhesive electrode). In FIG. 1, only the excitation electrode (E) is shown, and the drawing electrode and the adhesive electrode are not shown.
容器4は上部が開口した箱状の容器体であり、平面視では略矩形となっている。容器4は、絶縁性材料からなる平板状の底板部40と、底板部40の上面の外周部に取り付けられる金属製の枠部5とで構成されている。底板部40はセラミックグリーンシートからなる2つの層(下層である第1層41と、その上層の第2層42)で構成されている。第2層42の上面の外周部には図示しないタングステン(W)のメタライズ層が枠状に形成されており、当該メタライズ層の上にコバール(Kovar)からなる枠部5がロウ材を介して取り付けられている。枠部5の外周縁と内周縁とは平面視で略矩形となっており、その上面に蓋9が封止材を介してシーム溶接される。 The container 4 is a box-shaped container body whose upper part is open, and has a substantially rectangular shape in plan view. The container 4 includes a flat bottom plate portion 40 made of an insulating material and a metal frame portion 5 attached to the outer peripheral portion of the upper surface of the bottom plate portion 40. The bottom plate portion 40 is composed of two layers (a first layer 41 as a lower layer and a second layer 42 as an upper layer) made of ceramic green sheets. A tungsten (W) metallization layer (not shown) is formed in a frame shape on the outer peripheral portion of the upper surface of the second layer 42, and a frame portion 5 made of Kovar is placed on the metallization layer via a brazing material. It is attached. The outer peripheral edge and the inner peripheral edge of the frame part 5 are substantially rectangular in a plan view, and a lid 9 is seam welded to the upper surface of the frame part 5 via a sealing material.
図1に示すように枠部5と底板部の第2層42の上面とで囲まれた空間は凹部C1となっており、平面視では略矩形となっている。この凹部C1の内底面420(第2層42の上面)の一短辺側には、水晶素子7と導電接合される一対の搭載電極6,6が並列して形成されている(図1では1つの搭載電極のみ図示)。一対の搭載電極6,6の上には、前述した水晶素子7の一対の接着電極(図示省略)が導電性接着剤Sを介して一対一で導電接合される。これにより、水晶素子7の長辺の一端側が搭載電極6上に片持ち支持接合される。なお本実施形態では導電性接着剤Sにシリコーン系の導電性樹脂接着剤が使用されているが、シリコーン系以外の導電性樹脂接着剤を使用してもよい。 As shown in FIG. 1, a space surrounded by the frame portion 5 and the upper surface of the second layer 42 of the bottom plate portion is a concave portion C1, and is substantially rectangular in plan view. On one short side of the inner bottom surface 420 (the upper surface of the second layer 42) of the recess C1, a pair of mounting electrodes 6 and 6 that are conductively bonded to the crystal element 7 are formed in parallel (in FIG. 1). Only one mounted electrode is shown). On the pair of mounting electrodes 6 and 6, the pair of adhesive electrodes (not shown) of the crystal element 7 described above are conductively bonded one-to-one via the conductive adhesive S. As a result, one end side of the long side of the crystal element 7 is cantilevered and bonded onto the mounting electrode 6. In this embodiment, a silicone-based conductive resin adhesive is used for the conductive adhesive S, but a conductive resin adhesive other than a silicone-based adhesive may be used.
図2は本発明の実施形態に係る水晶振動子の底面模式図であり、水晶振動子の外底面となる容器4の外底面410(第1層41の下面)は平面視略矩形となっている。この外底面410の4隅の各々には底部電極8(8a,8b,8c,8d)が形成されている。なお、4つの底部電極の方向性を識別するための目印として、底部電極8aの1つの角部は面取りされている。
FIG. 2 is a schematic bottom view of the crystal resonator according to the embodiment of the present invention, and the outer bottom surface 410 (the lower surface of the first layer 41) of the container 4 serving as the outer bottom surface of the crystal resonator is substantially rectangular in plan view. Yes. A bottom electrode 8 (8a, 8b, 8c, 8d) is formed at each of the four corners of the outer
本実施形態において搭載電極6および底部電極8等は、3種類の金属の積層構成となっている。具体的にはこれらの電極は、容器の基材(セラミック)上に印刷処理によってタングステン層が形成され、当該タングステン層の上に、ニッケルめっき層、金めっき層の順で電解めっき法によってめっき層が積層された構成となっている。このように搭載電極や底部電極等は一括で形成されている。なお前述した電極の各層を構成する金属材料は一例であり、他の金属材料を使用してもよい。例えばタングステンに代えてモリブデンを用いてもよい。
In the present embodiment, the mounting electrode 6 and the
図2に示すように平面視略矩形の容器の外底面410の4つの角部は、平面視では4分の1円状に切り欠かれている。具体的には、容器の底板部40の外側面の4つの稜部の各々は底板部40を厚み方向に貫くように切り欠かれており、これら4つの切り欠かれた部位の各々の内壁面のうち、第1層41の厚み分だけに導体が被着されている。このように4分の1円柱状に切り欠かれた部位の内壁面の一部に導体が被着されたものをキャスタレーションと称し、図2では符号40a,40b,40c,40dで表示している。これらのキャスタレーション40a〜40dにおける各導体は、平面視4分の1円状の引出部L1,L2,L3,L4を介して外底面410の底部電極8a,8b,8c,8dの各々に電気的に接続されている。
As shown in FIG. 2, the four corners of the outer
本実施形態では底板部40のうち、第2層42の内部を厚み方向に貫く貫通孔の内部に導体が充填された4本のビア(図1ではビアV1,V2の2つのみ図示)が形成されている。こらら4本のビアは、その一端側が第2層42の上面に露出している。このうちビアV1,V2の各々の一端側は、第2層42の上面の外周部の図示しないメタライズ層と接続されており、前記メタライズ層の上に取り付けられた金属製の枠部5と電気的に接続されている。一方、ビアV1の他端側は、キャスタレーション40aを経由して最終的に底部電極8aに引き出されている。同様にビアV2の他端側は、キャスタレーション40cを経由して最終的に底部電極8cに引き出されている。 In the present embodiment, four vias (only two vias V1 and V2 are shown in FIG. 1) in which a conductor is filled in a through-hole penetrating the inside of the second layer 42 in the thickness direction in the bottom plate portion 40 are shown. Is formed. One end of each of these four vias is exposed on the upper surface of the second layer 42. Of these, one end side of each of the vias V1 and V2 is connected to a metallization layer (not shown) on the outer peripheral portion of the upper surface of the second layer 42, and is electrically connected to the metal frame 5 attached on the metallization layer. Connected. On the other hand, the other end side of the via V1 is finally drawn out to the bottom electrode 8a via the castellation 40a. Similarly, the other end side of the via V2 is finally drawn out to the bottom electrode 8c via the castellation 40c.
4つの底部電極8a,8b,8c,8dのうち、底部電極8bは、キャスタレーション40bと、第1層41と第2層42の積層間に設けられた内部配線(図示省略)と、図示しないビアとを経由して一対の搭載電極6の一方と電気的に接続されている。そして底部電極8dは、キャスタレーション40dと、第1層41と第2層42の積層間に設けられた内部配線(図示省略)と、図示しないビアとを経由して一対の搭載電極6の他方と電気的に接続されている。つまり、底部電極8b,8dは水晶素子7と接続される電極(水晶用電極)となっている。
Of the four
4つの底部電極8a,8b,8c,8dのうち、底部電極8a,8cは前述したように枠部5を介して蓋9と電気的に接続され、かつ搭載電極6とは電気的に接続されないシールド用の電極(以下、シールド用電極と略)となっている。なお図2において点線で示すように一対の搭載電極6,6の各々の一部は平面視透過で、シールド用電極である底部電極8aおよび水晶用電極である底部電極8dとそれぞれ重畳している。
Of the four
蓋9は平面視略矩形の金属製の平板である。蓋9はコバールが基材となっており、当該基材の表面にニッケルメッキと金メッキが施されている。そして蓋の枠部5と接合される側の主面の外周部には封止材が枠状に形成されている。
以上が水晶振動子の概略である。次に絶縁基板について図1、図3乃至4を参照しながら説明する。
The lid 9 is a metal flat plate having a substantially rectangular shape in plan view. The cover 9 is made of Kovar as a base material, and the surface of the base material is plated with nickel and gold. A sealing material is formed in a frame shape on the outer peripheral portion of the main surface on the side joined to the frame portion 5 of the lid.
The above is the outline of the crystal resonator. Next, the insulating substrate will be described with reference to FIGS. 1 and 3 to 4.
絶縁基板3は上部が開口した箱状の容器体であり、平面視では略矩形となっている。絶縁基板3は2枚のセラミックグリーンシートが積層された状態で焼成により一体成形されている。具体的には絶縁基板3は、図1に示すように平板状の第1層30と、第1層30の上面の外周部に積層され枠状の第2層31とで構成されている。第1層30の上面と第2層31とで囲まれた空間は凹部C2となっている。つまり、第2層31は凹部C2を包囲する側壁となっている。なお、図3は発振回路素子13が凹部C2に搭載されていない状態を表しており、水晶振動子2が絶縁基板3上に接合された状態における底部電極8の位置を点線で透過表示している。
The insulating substrate 3 is a box-shaped container body having an open top, and has a substantially rectangular shape in plan view. The insulating substrate 3 is integrally formed by firing in a state where two ceramic green sheets are laminated. Specifically, as shown in FIG. 1, the insulating substrate 3 includes a flat plate-like
図3に示すように凹部C2は発振回路素子13が収容される空間であり、平面視略矩形となっている。凹部C2の内底面300(第1層30の上面)には、6つの発振回路素子搭載用パッド11(11a〜11f)が形成されており、これらのパッドから引き出された配線パターンの一部が露出している。
As shown in FIG. 3, the concave portion C2 is a space in which the
本実施形態では発振回路素子13は、発振回路や温度センサ、温度補償回路等が1チップ化された集積回路素子(ベアチップIC)であり、その外観は直方体状となっている。そして発振回路素子13の回路面側に6つの機能端子(図示省略)が設けられており、当該回路面側が絶縁基板の凹部C2の内底面に対向した状態で、金属バンプBを介して発振回路素子搭載用パッド11a〜11fと超音波接合(Flip Chip Bonding)される。
In the present embodiment, the
また、本実施形態では発振回路素子13を発振回路素子搭載用パッド上に搭載した後に、発振回路素子13と絶縁基板の側壁との隙間からアンダーフィル剤を注入して発振回路素子13と凹部C2の内底面300との隙間にアンダーフィル剤を行き渡らせた後、アンダーフィル剤を硬化させている。図1における符号Rはアンダーフィル剤が硬化した後の状態を表している。なお本実施形態では前記アンダーフィル剤としてエポキシ系樹脂を使用している。このようにアンダーフィル剤を発振回路素子と凹部の内底面との隙間に行き渡らせることにより、発振回路素子13の絶縁基板3への接合信頼性を向上させることができる。
Further, in this embodiment, after the
絶縁基板の第1層30の下面301(水晶発振器の外底面)は、図4に示すように平面視略矩形であり、その4隅には外部基板と半田等を介して接合される実装端子12(12a,12b,12c,12d)が形成されている。本実施形態において、実装端子12aは電源用の端子(直流)であり、実装端子12bは出力用、実装端子12cは接地(グランド)用、実装端子12dは周波数制御用(またはグランド用)の端子となっている。なお、4つの実装端子の方向性を識別するための目印として、実装端子12dのみが他の実装端子とは異なった平面形状となっている。
The lower surface 301 (outer bottom surface of the crystal oscillator) of the
平面視で平面視略矩形の絶縁基板の4つの角部は、平面視では4分の1円状に切り欠かれている。具体的には、絶縁基板の第1層30と第2層31の外側面の4つの稜部の各々を当該容器の厚み方向に貫くように切り欠かれており、これら4つの切り欠かれた部位の各々の内壁面のうち、第1層30の厚み分だけに導体が被着されている。図3では4分の1円柱状に切り欠かれた部位の内壁面の一部に導体が被着されたものをキャスタレーション33(33a,33b,33c,33d)として図示している。
The four corners of the insulating substrate having a substantially rectangular shape in plan view are cut out into a quarter of a circle in plan view. Specifically, each of the four ridges on the outer surface of the
図3に示す第2層31の上面310(側壁の上面)は平坦面であり、当該上面の4隅には4つの接合電極10a,10b,10c,10dが形成されている。これら4つの接合電極10a,10b,10c,10dは、水晶振動子2の外底面410に設けられた4つの底部電極8a,8b,8c,8dと一対一で対応している。すなわち、接合電極10aは底部電極8aに対応し、接合電極10bは底部電極8bに、接合電極10cは底部電極8cに、接合電極10dは底部電極8dにそれぞれ対応している。
The upper surface 310 (upper surface of the side wall) of the
接合電極10(10a〜10d)は、その平面視形状がアルファベットの「L」字状に屈曲した形状となっている。すなわち接合電極10は、平面視で略矩形の凹部C2の仮想角部(図3では角部が曲率を帯びているため)と、当該角部を挟んで隣接する2つの辺に沿うようにして側壁の上面(第2層31の上面310)に形成されている。つまり、接合電極10の内周縁は側壁の内周縁に沿って形成されている。一方、接合電極10の外周縁のうち絶縁基板のキャスタレーション33a〜33dに近接する角部は平面視で4分の1円状に切り欠かれている。なお接合電極10の絶縁基板のキャスタレーション33a〜33dに近接する角部は、平面視で4分の1円状でなくてもよい。例えば当該角部をC面状に切り欠いた構成であってもよい。また、当該角部を切り欠かない構成(直角)であってもよい。
The bonding electrode 10 (10a to 10d) has a shape in plan view that is bent into an alphabetic “L” shape. That is, the bonding electrode 10 is provided so as to be along a virtual corner portion of the substantially rectangular concave portion C2 in plan view (because the corner portion is curved in FIG. 3) and two adjacent sides across the corner portion. It is formed on the upper surface of the side wall (the
絶縁基板の側壁のうち1組の対向する長辺部分には、当該側壁の内壁面を半円柱状に切欠き、その内部に導体が充填された4つのビア(ハーフビア)V3,V4,V5,V6が形成されている(後述する図6参照)。すなわち、4つのビアV3〜V6は絶縁基板の長辺側の側壁の内壁面に露出している。これら4つのビアV3〜V6の各々の一端側は、4つの接合電極10a〜10dと一対一で電気的に接続されている。
A pair of opposing long sides of the side wall of the insulating substrate has four vias (half vias) V3, V4, V5, in which the inner wall surface of the side wall is cut into a semi-cylindrical shape and the inside is filled with a conductor. V6 is formed (see FIG. 6 described later). That is, the four vias V3 to V6 are exposed on the inner wall surface of the side wall on the long side of the insulating substrate. One end side of each of these four vias V3 to V6 is electrically connected to the four
一方、ビアV3〜V6の各々の他端側は、ビアV4の他端側は配線パターンを経由して発振回路素子搭載用パッド11bと接続されている。そしてビアV6の他端側は配線パターンを経由して発振回路素子搭載用パッド11eと接続されている(図6参照)。ビアV5の他端側は発振回路素子搭載用パッド11dと接続され、ビアV3の他端側は何れの発振回路素子搭載用パッドとも接続されていない。すなわち、接合電極10aはシールド用電極(いわゆるNC(Non Connection)端子)となっている。接合電極10b,10dは水晶用の端子となっており、接合電極10cはグランド用の端子となっている。
On the other hand, the other end side of each of the vias V3 to V6 is connected to the oscillation circuit element mounting pad 11b via the wiring pattern on the other end side of the via V4. The other end of the via V6 is connected to the oscillation circuit
6つの発振回路素子搭載用パッドのうち4つのパッド11a,11c,11d,11fは、それぞれ配線パターン15a,15c,15d,15fを介して第1層30の上面の4隅のキャスタレ−ション33a〜33dに引き出されており、キャスタレ−ション33a〜33dを経由して絶縁基板の第1層30の下面301の実装端子12a〜12dに一対一で引き出されている。
以上が絶縁基板の概略である。
Of the six oscillator circuit element mounting pads, four
The above is the outline of the insulating substrate.
上述したように水晶用端子である発振回路素子搭載用パッド11b,11eは、配線パターン15b,15eとビアV4,V6を経由して接合電極10b,10dとそれぞれ電気的に接続されている。これら接合電極10b,10dに、水晶振動子の底部電極8b,8dとが各々導電接合されることによって、最終的に発振回路素子搭載用パッド11b,11eは、水晶素子7の表裏主面に形成された励振電極E,Eとそれぞれ電気的に接続されることになる。
As described above, the oscillation circuit
一方、接合電極10cはビアV5と配線パターン15dを介してグランド用の実装端子12cとつながっている。絶縁基板の接合電極10cは、水晶振動子のシールド用電極である底部電極8cと導電接合される。そして底部電極8cは枠部5や蓋7を介して水晶振動子のシールド用電極である底部電極8aと電気的に接続される。この底部電極8aは絶縁基板の接合電極10aと導電接合される。つまり、底部電極8aおよび当該電極に接合された接合電極10aはグランド電位となる。そして、接合電極10aは電源用の端子である実装電極12aの上方に位置している。さらに、図5に示すように水晶素子が搭載される搭載電極6の大部分が、平面視透過でグランド接続された底部電極8aと重畳している。このような構成によって、電源用の実装端子12aからのノイズが、グランド接続された底部電極8aで遮断されるとともに、当該底部電極8aに搭載電極6の大部分が重畳しているため水晶素子への実装端子12aからのノイズの影響を低減させることができる。その結果、水晶発振器の位相雑音特性を向上させることができる。
On the other hand, the
本実施形態における水晶振動子2は、図2において点線で示すように搭載電極6の一部が、平面視透過でシールド用電極である底部電極8aと重畳している。
In the
上記構成によれば、電源用の実装端子12aからのノイズの影響をより低減させることができる。これは電源用の実装端子12aの上方にグランド接続されたシールド用電極(底部電極8a)が位置しているため、電源用の実装端子12aからのノイズが遮断されるとともに、搭載電極6の一部が平面視透過でシールド用電極(8a)と重畳することによって、搭載電極6に接合された水晶素子7へのノイズの伝搬が抑制されるからである。 According to the said structure, the influence of the noise from the mounting terminal 12a for power supplies can be reduced more. This is because the shield electrode (bottom electrode 8a) connected to the ground is located above the power supply mounting terminal 12a, so that noise from the power supply mounting terminal 12a is blocked and one of the mounting electrodes 6 is provided. This is because the propagation of the noise to the crystal element 7 bonded to the mounting electrode 6 is suppressed when the portion is overlapped with the shielding electrode (8a) in plan view.
また、本実施形態では図3,図5に示すように、水晶振動子2の一対のシールド用電極(8a,8c)の他方(8a)が、発振回路素子搭載用パッド11aから電源用の実装端子12aへ引き出された配線パターン(15a)の絶縁基板の凹部C2に露出した部分に対して、平面視で重畳している。
In this embodiment, as shown in FIGS. 3 and 5, the other of the pair of shield electrodes (8a, 8c) (8a) of the
上記構成によれば、電源用の実装端子12aからのノイズの影響をより低減させることができる。発振回路素子搭載用パッド11aから電源用の実装端子12aへ引き出された配線パターン15aのうち絶縁基板の凹部C2に露出した部分は、その上部が解放されているため電源用の実装端子12aから伝搬したノイズが上方に拡散しやすくなる。本実施形態に係る構成であれば、水晶振動子のシールド用の電極8aが、配線パターン15aの凹部C2に露出した部分に重畳しているため、電源用の実装端子12aからのノイズの影響をより低減させることができる。 According to the said structure, the influence of the noise from the mounting terminal 12a for power supplies can be reduced more. Of the wiring pattern 15a drawn from the oscillation circuit element mounting pad 11a to the power supply mounting terminal 12a, the portion exposed to the recess C2 of the insulating substrate is propagated from the power supply mounting terminal 12a because the upper part is released. Noise tends to diffuse upward. In the configuration according to the present embodiment, since the shielding electrode 8a of the crystal resonator is superimposed on the portion exposed to the recess C2 of the wiring pattern 15a, the influence of noise from the power supply mounting terminal 12a is affected. It can be further reduced.
本実施形態では発振回路素子13が発振回路素子搭載用パッド11(11a〜11f)上に搭載された状態では、図5に示すように発振回路素子搭載用パッド11が平面視で発振回路素子13によって、その全部が覆い隠された状態となっている。本発明は当該構成に限定されるものではなく、発振回路素子の搭載後の状態において、発振回路素子搭載用パッドの一部が平面視で発振回路素子から外側にはみ出していてもよい。当該構成の場合、水晶振動子の一対のシールド用電極の他方が、電源用の実装端子と接続されている発振回路素子搭載用パッドの,発振回路素子から外側にはみ出した部分を平面視で覆うように位置させればよい。これにより、電源用の実装端子へ引き出された配線パターンの絶縁基板の凹部に露出した部分に加えて、発振回路素子搭載用パッドの前記はみ出した部分も、前記シールド用電極によって遮蔽することができるため、電源用の実装端子からのノイズの影響を更に低減させることができる。
In the present embodiment, in a state where the
また本実施形態では図6に示すように、水晶振動子2の一対のシールド用電極(8a,8c)の他方(8a)が、発振回路素子搭載用パッド11aから電源用の実装端子12aへ引き出された配線パターン15aのうち絶縁基板の側壁(31)によって覆われた領域の一部に対して、平面視で重畳している。
In the present embodiment, as shown in FIG. 6, the other (8a) of the pair of shield electrodes (8a, 8c) of the
上記構成によれば、電源用の実装端子12aからのノイズの影響をより低減させることができる。これは、水晶振動子2の一対のシールド用電極(8a,8c)の他方(8a)が、電源用の実装端子12aへ引き出された配線パターン15aの絶縁基板の側壁(31)によって覆われた領域の大部分に対して平面視で重畳しているため、電源用の実装端子12aだけでなく配線パターン15aの前記側壁によって覆われた領域からのノイズの影響も抑制することができるからである。
According to the said structure, the influence of the noise from the mounting terminal 12a for power supplies can be reduced more. This is because the other (8a) of the pair of shield electrodes (8a, 8c) of the
また、本実施形態では図7に示すように、電源用の実装端子12aが、平面視透過で水晶振動子2の搭載電極6と重畳しない構成となっている。当該構成によれば、電源用の実装端子12aからのノイズの影響をより低減させることができる。これは電源用の実装端子12aの上方にグランド層が形成されることによって電源用の実装端子12aからのノイズを前記グランド層によって遮断できるだけでなく、電源用の実装端子12aを平面視透過で水晶振動子2の搭載電極6と重畳しないように配置することによって、電源用の実装端子12aからのノイズの影響をより小さくすることができるからである。
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 7, the power supply mounting terminal 12 a is configured not to overlap with the mounting electrode 6 of the
上述した本発明の実施形態では、絶縁基板の凹部の開口面側が圧電振動子の外底面側に導電接合された構造となっていたが、本発明は当該構造にのみ適用されるものではない。例えば絶縁基板の凹部の開口面側とは反対側の平坦面側が、圧電振動子の外底面側に導電接合された構造であってもよい。このような構造の場合、絶縁基板の前記平坦面側に前述した実施形態における接合電極を形成し、側壁の上面(天面)側に実装端子を形成することができる。 In the above-described embodiment of the present invention, the opening surface side of the concave portion of the insulating substrate is conductively bonded to the outer bottom surface side of the piezoelectric vibrator. However, the present invention is not applied only to the structure. For example, the structure may be such that the flat surface side opposite to the opening surface side of the concave portion of the insulating substrate is conductively bonded to the outer bottom surface side of the piezoelectric vibrator. In the case of such a structure, the bonding electrode in the above-described embodiment can be formed on the flat surface side of the insulating substrate, and the mounting terminal can be formed on the upper surface (top surface) side of the side wall.
―本発明の実施形態の変形例―
本発明の実施形態の他の変形例について図8乃至9を参照しながら説明する。図8は本発明の実施形態の変形例に係る絶縁基板の上面模式図であり、凹部C3の内底面161に形成された複数の発振回路素子搭載用パッドと、これらのパッドから引き出された配線パターンの記載は省略している。図9は本発明の実施形態の変形例に係る水晶発振器の部分断面図であり、電源用の端子である実装端子18aに着目した図となっている。以下、本発明の実施形態との相違点について述べる。なお、前述した本発明の実施形態と同一の構成については同一の番号を付してその説明を割愛する。
-Modification of the embodiment of the present invention-
Another modification of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a schematic top view of an insulating substrate according to a modification of the embodiment of the present invention. A plurality of oscillation circuit element mounting pads formed on the inner bottom surface 161 of the recess C3 and wirings drawn from these pads. The description of the pattern is omitted. FIG. 9 is a partial cross-sectional view of a crystal oscillator according to a modification of the embodiment of the present invention, focusing on the mounting terminal 18a which is a power supply terminal. Hereinafter, differences from the embodiment of the present invention will be described. In addition, about the same structure as embodiment of this invention mentioned above, the same number is attached | subjected and the description is omitted.
本発明の実施形態の変形例では、絶縁基板の構成が前述した本発明の実施形態と異なっている。具体的には、図8に示すように平面視で絶縁基板16の外周縁の4つの角部が直角になっており、前述したキャスタレーション(33a〜33d)は形成されていない。このように絶縁基板にキャスタレーションが形成されないことによって、キャスタレーションが形成された容器に比べて容器本体の剛性を向上させることができる。さらに、絶縁基板の凹部C3を包囲する側壁の上面(160)の面積をより大きく確保することができるため、接合電極を配置できる領域を拡大させることができる。すなわち、本発明の実施形態の変形例に係る絶縁基板によれば、容器の剛性を高めつつ、接合電極を配置できる領域を拡大することができるため、圧電発振器がより小型化になった場合に好適である。
In the modification of the embodiment of the present invention, the configuration of the insulating substrate is different from the above-described embodiment of the present invention. Specifically, as shown in FIG. 8, the four corners of the outer peripheral edge of the insulating
絶縁基板16の側壁の上面160の4隅部分には、4つの接合電極17a,17b,17c,17dが形成されている。これらの接合電極は、水晶振動子2の4つの底部電極8a,8b,8c,8dと一対一で対応している。すなわち、接合電極17aは底部電極8aに,接合電極17bは底部電極8bに,接合電極17cは底部電極8cに,接合電極17dは底部電極8dにそれぞれ対応している。
Four
接合電極17(17a〜17d)は、その平面視形状は略「L」字状に屈曲した形状であるが、一部の構成が本発明の実施形態と異なっている。具体的には、接合電極17の内周縁は、絶縁基板16の隣接する2つの側壁の内周縁に沿って形成されているが、当該隣接する2つの側壁の内周縁を超えて、これらの内周縁に連続する各内壁面にまで及んでいる(図9参照)。すなわち、本実施形態の変形例における接合電極17は、絶縁基板16の隣接する2つの側壁の上面から、当該隣接する2つの側壁の各内壁面の下端(内底面161)にわたって形成されている。なお、接合電極は、絶縁基板の隣接する2つの側壁の上面から、当該隣接する2つの側壁の各内壁面の下端まで及んでいない構成であってもよい。つまり、接合電極は、絶縁基板の前記隣接する2つの側壁の各内壁面の途中の高さまで形成されていてもよい。
The bonding electrode 17 (17a to 17d) has a shape bent in a substantially “L” shape in plan view, but a part of the configuration is different from the embodiment of the present invention. Specifically, the inner peripheral edge of the
一方、接合電極17a〜17dの各外周縁のうち、絶縁基板16の外周縁の4つの角部に直近となる各角部は直角となっている。これにより、接合電極17a〜17dは絶縁基板16の外周縁の4つの角部の近傍にまで及んで形成されている。その結果、本実施形態の変形例における接合電極17は、前述した本発明の実施形態における接合電極10に比べて、その平面視における面積が大きくなっている。
On the other hand, among the outer peripheral edges of the
絶縁基板16の下面(水晶発振器の外底面)は平面視略矩形であり、その4隅には外部基板と半田等を介して接合される実装端子18(18a,18b,18c,18d)が形成されている(図9では18aのみ図示)。実装端子18aは電源用の端子(直流)であり、実装端子18bは出力用、実装端子18cは接地用、実装端子18dは周波数制御用(またはグランド用)の端子となっている。 The lower surface of the insulating substrate 16 (outer bottom surface of the crystal oscillator) is substantially rectangular in plan view, and mounting terminals 18 (18a, 18b, 18c, 18d) that are joined to the external substrate via solder or the like are formed at the four corners. (Only 18a is shown in FIG. 9). The mounting terminal 18a is a power supply terminal (DC), the mounting terminal 18b is for output, the mounting terminal 18c is for grounding, and the mounting terminal 18d is for frequency control (or ground).
本発明の実施形態の変形例において、水晶振動子2のシールド用電極である底部電極8aは、絶縁基板の接合電極17aと導電接合される。これにより、底部電極8aおよび当該電極に接合された接合電極17aはグランド電位となる。そして、接合電極17aは電源用の端子である実装電極18aの上方に位置している。このような構成によって、電源用の実装端子18aの上方にグランド層が形成されるため、電源用の実装端子18aからのノイズを前記グランド層によって遮断することができる。ここで、接合電極17aは前述したように本発明の実施形態における接合電極10aよりも、その平面視における面積が大きくなっているため、電源用の端子である実装端子18aと平面視で重畳する面積も相対的に大きくなっている。これにより、電源用の実装端子18aからのノイズの影響をより低減させることができる。
In the modification of the embodiment of the present invention, the bottom electrode 8a which is a shield electrode of the
さらに、本発明の実施形態の変形例では、絶縁基板16の隣接する2つの側壁の各内壁面に及んだ接合電極17aが形成されている。このような構成により、電源用の実装端子18aから伝わったノイズが凹部C3側へ伝搬するのを抑制することができる。以上の構成により、実装端子18aからのノイズの影響をより低減させることができるため、水晶発振器の位相雑音特性をさらに向上させることができる。
Furthermore, in the modification of the embodiment of the present invention, the
なお、接合電極17は絶縁基板16の側壁の内壁面まで及んで形成されているため、底部電極8の内周縁から接合電極17とアンダーフィルRの上面との境界部分にかけて接合材14のフィレットFが形成されるようになる。これにより、実装端子18aからのノイズの影響を低減させつつ、凹部C3側における接合強度も向上させることができる。なお前述した接合電極は、絶縁基板の側壁の上面から当該側壁の内壁面を経由して発振回路素子搭載用パッドの一部にまで延出されていてもよい。当該構成の場合、製造過程における絶縁不良を防止するために、前記側壁の内壁面や凹部C3の内底面161等に露出した電極部分をアルミナ等の絶縁材料で被覆してもよい。
Since the
本発明の実施形態とその変形例において、圧電発振器として温度補償型の水晶発振器(TCXO:Temperature Compensated Oscillator)を例に挙げたが、TCXOに限らず、温度補償機能を有さない水晶発振器(SPXO)においても本発明は適用可能である。 In the embodiments of the present invention and modifications thereof, a temperature compensated crystal oscillator (TCXO: Temperature Compensated Oscillator) is taken as an example of a piezoelectric oscillator. The present invention can also be applied to the above.
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。 The present invention can be implemented in various other forms without departing from the spirit or main features thereof. Therefore, the above-described embodiment is merely an example in all respects and should not be interpreted in a limited manner. The scope of the present invention is indicated by the claims, and is not restricted by the text of the specification. Further, all modifications and changes belonging to the equivalent scope of the claims are within the scope of the present invention.
圧電発振器の量産に適用できる。 It can be applied to mass production of piezoelectric oscillators.
1 水晶発振器
2 水晶振動子
3、16 絶縁基板
4 容器
6 搭載電極
7 水晶素子
8a〜8d 底部電極
10a〜10d、17a〜17d 接合電極
11a〜11f 発振回路素子搭載用パッド
12a〜12d、18a〜18d 実装端子
15a〜15d 配線パターン
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記圧電振動子は、圧電素子と、当該圧電素子を収容する容器と、金属製の蓋とを有し、前記容器の外底面には、圧電素子と電気的に接続された一対の底部電極と、
圧電素子と電気的に接続されず、かつ前記蓋と電気的に接続された一対のシールド用の底部電極とが形成され、
前記絶縁基板は、複数の発振回路素子搭載用パッドと、当該パッドから引き出された複数の実装端子と、前記複数の発振回路素子搭載用パッドの一部と電気的に接続され前記底部電極と対応した接合電極とを備え、
前記複数の実装端子には電源用の実装端子とグランド用の実装端子とが含まれ、
前記一対のシールド用の底部電極のうち、
一方は前記グランド用の実装端子と電気的に接続され、
他方は、前記電源用の実装端子の上方に位置するとともに前記発振回路素子搭載用パッドと電気的に接続されていない接合電極と電気機械的に接合されていることを特徴とする圧電発振器。 A piezoelectric oscillator in which an insulating substrate containing an oscillation circuit element is bonded to the outer bottom surface of a piezoelectric vibrator,
The piezoelectric vibrator includes a piezoelectric element, a container that houses the piezoelectric element, and a metal lid, and a pair of bottom electrodes that are electrically connected to the piezoelectric element are provided on an outer bottom surface of the container. ,
A pair of bottom electrodes for shielding that are not electrically connected to the piezoelectric element and electrically connected to the lid;
The insulating substrate is electrically connected to a plurality of oscillation circuit element mounting pads, a plurality of mounting terminals drawn from the pads, and a part of the plurality of oscillation circuit element mounting pads, and corresponds to the bottom electrode. A bonded electrode,
The plurality of mounting terminals include a power supply mounting terminal and a ground mounting terminal,
Of the pair of bottom electrodes for shielding,
One is electrically connected to the ground mounting terminal,
The other of the piezoelectric oscillators is located above the power supply mounting terminal and is electromechanically bonded to a bonding electrode that is not electrically connected to the oscillation circuit element mounting pad.
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