JP2017114032A - Liquid injection head and liquid injection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、圧電素子の駆動により液体を噴射する液体噴射ヘッド、および当該液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head that ejects liquid by driving a piezoelectric element, and a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head.
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置,有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイやFED(面発光ディスプレイ)等の電極を形成する電極形成装置,バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではR(Red)・G(Green)・B(Blue)の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。 The liquid ejecting apparatus includes a liquid ejecting head and ejects various liquids from the ejecting head. As this liquid ejecting apparatus, for example, there is an image recording apparatus such as an ink jet printer or an ink jet plotter, but recently, various types of manufacturing have been made by taking advantage of the ability to accurately land a very small amount of liquid on a predetermined position. It is also applied to devices. For example, a display manufacturing apparatus for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode forming apparatus for forming an electrode such as an organic EL (Electro Luminescence) display or FED (surface emitting display), a chip for manufacturing a biochip (biochemical element) Applied to manufacturing equipment. The recording head for the image recording apparatus ejects liquid ink, and the color material ejecting head for the display manufacturing apparatus ejects solutions of R (Red), G (Green), and B (Blue) color materials. The electrode material ejecting head for the electrode forming apparatus ejects a liquid electrode material, and the bioorganic matter ejecting head for the chip manufacturing apparatus ejects a bioorganic solution.
上記の液体噴射ヘッドは、圧力室に液体を導入し、当該圧力室の液体に圧力変動を生じさせて、この圧力室に通じるノズルから液体を噴射するように構成されている。上記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段としては、圧電素子が好適に用いられる。この圧電素子としては、例えば、圧力室に近い側から順に、圧力室毎に設けられる個別電極として機能する下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電体層と、複数の圧力室に共通な共通電極として機能する上電極膜とが、成膜技術によりそれぞれ積層形成されて構成される(例えば、特許文献1)。このような圧電素子では、圧力室に対応する領域において、圧電体層が下電極膜を覆うように、圧電体層の幅が下電極膜の幅よりも幅広に形成されている。そして、圧電体層において上下の電極膜によって挟まれた部分が、電極膜への電圧の印加によって変形する能動部(活性部)となる。このような圧電素子は、圧力室の一側(例えば、ノズルが形成されるノズルプレートとは反対側)を区画した振動板上に形成される。この振動板は、可撓性を有し、圧電素子の変形に伴って変形する。 The liquid ejecting head is configured to introduce a liquid into a pressure chamber, cause a pressure fluctuation in the liquid in the pressure chamber, and eject the liquid from a nozzle that communicates with the pressure chamber. A piezoelectric element is preferably used as the pressure generating means for causing the pressure fluctuation in the liquid in the pressure chamber. As this piezoelectric element, for example, in order from the side closer to the pressure chamber, a lower electrode film functioning as an individual electrode provided for each pressure chamber, a piezoelectric layer such as lead zirconate titanate (PZT), and a plurality of pressures The upper electrode film functioning as a common electrode common to the chambers is formed by being laminated by a film forming technique (for example, Patent Document 1). In such a piezoelectric element, in the region corresponding to the pressure chamber, the width of the piezoelectric layer is formed wider than the width of the lower electrode film so that the piezoelectric layer covers the lower electrode film. A portion sandwiched between the upper and lower electrode films in the piezoelectric layer becomes an active part (active part) that is deformed by application of a voltage to the electrode film. Such a piezoelectric element is formed on a diaphragm that partitions one side of the pressure chamber (for example, the side opposite to the nozzle plate on which the nozzle is formed). The diaphragm has flexibility and deforms with the deformation of the piezoelectric element.
ここで、液体噴射ヘッドの品質の指標として、排除体積と呼ばれるものがある。排除体積とは、所定の駆動電圧を印加して圧電素子を駆動させたときの圧力室の容積の変化量(圧力室から排除される液体の体積)を意味する。この排除体積に応じて噴射される液体の量が変化する。所定の液体噴射を実現するためには、排除体積が所定の量となっている必要がある。このような排除体積は、圧力室の寸法に応じて増減する。このため、圧力室の寸法を測定し、管理することが好ましい。 Here, there is a so-called excluded volume as an index of the quality of the liquid jet head. The excluded volume means the amount of change in the volume of the pressure chamber (the volume of liquid excluded from the pressure chamber) when the piezoelectric element is driven by applying a predetermined driving voltage. The amount of liquid ejected changes according to the excluded volume. In order to realize the predetermined liquid ejection, the excluded volume needs to be a predetermined amount. Such an excluded volume increases or decreases according to the size of the pressure chamber. For this reason, it is preferable to measure and manage the dimensions of the pressure chamber.
圧力室の寸法を測定する方法としては、例えば、液体噴射ヘッドの製造過程において、圧力室をノズルプレートで区画する前に、工具顕微鏡などで圧力室の寸法を光学的に測定する方法が挙げられる。しかしながら、特許文献1に記載の液体噴射ヘッドでは、圧力室の寸法を測定することが難しいという課題があった。特許文献1に記載の液体噴射ヘッドにて、ノズルプレートを接合する前にノズルプレート側から、圧力室の開口部の壁面に顕微鏡の焦点を合わせ、開口部の寸法を測定することによって圧力室の寸法を測定する方法が採用される。このとき、顕微鏡の視野には下電極や上電極の像も映り込む。顕微鏡の焦点を開口部の壁面に合わせているため、焦点深度により、下電極や上電極の像はぼやける。これにより、下電極や上電極のぼやけた像が、焦点の合った開口部の壁面の像に干渉しやすい。この結果、開口部の壁面の輪郭部が不鮮明になり、開口部の壁面を把握しにくくなるため、圧力室の寸法を測定しにくくなる。 As a method for measuring the size of the pressure chamber, for example, a method of optically measuring the size of the pressure chamber with a tool microscope or the like before partitioning the pressure chamber with the nozzle plate in the manufacturing process of the liquid jet head can be given. . However, the liquid ejecting head described in Patent Document 1 has a problem that it is difficult to measure the dimensions of the pressure chamber. In the liquid ejecting head described in Patent Document 1, before joining the nozzle plate, the microscope is focused on the wall surface of the opening of the pressure chamber from the nozzle plate side, and the dimensions of the opening are measured by measuring the dimensions of the opening. A method of measuring dimensions is employed. At this time, the image of the lower electrode and the upper electrode is also reflected in the field of view of the microscope. Since the microscope is focused on the wall surface of the opening, the images of the lower electrode and the upper electrode are blurred depending on the depth of focus. Thereby, the blurred image of the lower electrode or the upper electrode easily interferes with the image of the wall surface of the focused opening. As a result, the contour of the wall surface of the opening becomes unclear and it becomes difficult to grasp the wall surface of the opening, making it difficult to measure the dimensions of the pressure chamber.
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
[適用例1]本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記圧電体と、前記上電極と、前記リード配線とのうちの少なくとも前記下電極が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。 Application Example 1 A liquid ejecting head according to this application example is a liquid ejecting head capable of ejecting liquid, and defines a plurality of pressure chambers and a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers. A piezoelectric element provided at a position overlapping with the pressure chamber across a part of the walls, and the piezoelectric element is provided on a side opposite to the pressure chamber side of the part of the walls. A lower electrode, a piezoelectric body provided on the opposite side of the wall of the lower electrode, an upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body to the lower electrode side, and the upper electrode A lead wire provided on the opposite side of the piezoelectric body side, the lower electrode is provided separately for each piezoelectric element, and the upper electrode is provided across the plurality of piezoelectric elements. And the plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection, and When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction toward the inspection pressure chamber, at least the lower electrode of the lower electrode, the piezoelectric body, the upper electrode, and the lead wiring that constitute the piezoelectric element. An electrode is provided over a region straddling the pressure chamber for inspection.
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極が検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。したがって、下電極の輪郭は、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭の像が、下電極の像に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすくなるので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。 In this application example, when the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction from a part of the walls toward the inspection pressure chamber, the lower electrode is provided over a region straddling the inspection pressure chamber. Therefore, the contour of the lower electrode is located outside the region of the inspection pressure chamber. For this reason, when the inspection pressure chamber is optically observed in a direction from the inspection pressure chamber toward a part of the wall, the contour of the lower electrode is not observed in the region of the inspection pressure chamber. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed, the contour image of the inspection pressure chamber is suppressed from being interfered with the image of the lower electrode. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed, the outline of the inspection pressure chamber can be clearly grasped, so that the dimensions of the inspection pressure chamber can be easily measured.
[適用例2]上記の液体噴射ヘッドでは、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電体と、前記上電極と、前記リード配線とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことが好ましい。 Application Example 2 In the liquid ejecting head, when the inspection pressure chamber is viewed in a direction from the partial wall toward the inspection pressure chamber, the piezoelectric body, the upper electrode, and the lead It is preferable that the wiring is provided over a region straddling the inspection pressure chamber.
本適用例によれば、検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられた下電極に加え、圧電体と、上電極と、リード配線とが、検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられているので、検査用圧力室を区画する壁のうちの一部の壁の剛性が高められる。 According to this application example, in addition to the lower electrode provided over the region straddling the inspection pressure chamber, the piezoelectric body, the upper electrode, and the lead wiring are provided over the region straddling the inspection pressure chamber. The rigidity of some of the walls defining the inspection pressure chamber is increased.
[適用例3]本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極が、前記検査用圧力室の外側に設けられ、前記圧電素子を構成する前記圧電体と、前記上電極とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。 Application Example 3 A liquid ejecting head according to this application example is a liquid ejecting head capable of ejecting liquid, and divides a plurality of pressure chambers and a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers. A piezoelectric element provided at a position overlapping with the pressure chamber across a part of the walls, and the piezoelectric element is provided on a side opposite to the pressure chamber side of the part of the walls. A lower electrode, a piezoelectric body provided on the opposite side of the wall of the lower electrode, an upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body to the lower electrode side, and the upper electrode A lead wire provided on the opposite side of the piezoelectric body side, the lower electrode is provided separately for each piezoelectric element, and the upper electrode is provided across the plurality of piezoelectric elements. And the plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection, and When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction toward the inspection pressure chamber, the lower electrode constituting the piezoelectric element is provided outside the inspection pressure chamber, and the piezoelectric body constituting the piezoelectric element And the upper electrode is provided over a region across the pressure chamber for inspection.
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極が検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、圧電体と上電極とが検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。このため、下電極の輪郭は、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。また、圧電体の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。さらに、上電極の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。これにより、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭、および圧電体の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。また、圧電体が光透過性を有する場合においては、上電極の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。このため、検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極、圧電体、および上電極の像が検査用圧力室の輪郭の像に干渉することを低く抑えることができる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすいので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。 In this application example, when the inspection pressure chamber is viewed in plan from a part of the wall toward the inspection pressure chamber, the lower electrode is positioned outside the region overlapping the inspection pressure chamber, and the piezoelectric body and the upper electrode Are provided over a region straddling the pressure chamber for inspection. For this reason, the outline of the lower electrode is located outside the region of the pressure chamber for inspection. In addition, the contour of the piezoelectric body is located outside the region of the pressure chamber for inspection. Further, the contour of the upper electrode is located outside the region of the pressure chamber for inspection. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed in a direction from the inspection pressure chamber toward a part of the wall, the contour of the lower electrode and the contour of the piezoelectric body are not observed in the region of the inspection pressure chamber. . Further, when the piezoelectric body has light transmittance, the contour of the upper electrode is not observed in the region of the pressure chamber for inspection. For this reason, when the inspection pressure chamber is optically observed, it is possible to keep the images of the lower electrode, the piezoelectric body, and the upper electrode from interfering with the contour image of the inspection pressure chamber. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed, the outline of the inspection pressure chamber can be clearly grasped, so that the dimensions of the inspection pressure chamber can be easily measured.
[適用例4]本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記圧電体とが、前記検査用圧力室の外側に設けられ、前記圧電素子を構成する前記上電極が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。 Application Example 4 A liquid ejecting head according to this application example is a liquid ejecting head capable of ejecting liquid, and partitions a plurality of pressure chambers and a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers. A piezoelectric element provided at a position overlapping with the pressure chamber across a part of the walls, and the piezoelectric element is provided on a side opposite to the pressure chamber side of the part of the walls. A lower electrode, a piezoelectric body provided on the opposite side of the wall of the lower electrode, an upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body to the lower electrode side, and the upper electrode A lead wire provided on the opposite side of the piezoelectric body side, the lower electrode is provided separately for each piezoelectric element, and the upper electrode is provided across the plurality of piezoelectric elements. And the plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection, and When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction toward the inspection pressure chamber, the lower electrode and the piezoelectric body constituting the piezoelectric element are provided outside the inspection pressure chamber, and the piezoelectric element The upper electrode constituting is provided over a region straddling the pressure chamber for inspection.
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極と圧電体とが検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、上電極が検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。このため、下電極の輪郭は、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。また、圧電体の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。さらに、上電極の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。これにより、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭、および圧電体の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。また、上電極の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。このため、検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極、圧電体、および上電極の像が検査用圧力室の輪郭の像に干渉することを低く抑えることができる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすいので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。 In this application example, when the inspection pressure chamber is viewed in plan from a part of the wall toward the inspection pressure chamber, the lower electrode and the piezoelectric body are located outside the region overlapping the inspection pressure chamber, and An electrode is provided over a region across the pressure chamber for inspection. For this reason, the outline of the lower electrode is located outside the region of the pressure chamber for inspection. In addition, the contour of the piezoelectric body is located outside the region of the pressure chamber for inspection. Further, the contour of the upper electrode is located outside the region of the pressure chamber for inspection. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed in a direction from the inspection pressure chamber toward a part of the wall, the contour of the lower electrode and the contour of the piezoelectric body are not observed in the region of the inspection pressure chamber. . Further, the contour of the upper electrode is not observed in the region of the pressure chamber for inspection. For this reason, when the inspection pressure chamber is optically observed, it is possible to keep the images of the lower electrode, the piezoelectric body, and the upper electrode from interfering with the contour image of the inspection pressure chamber. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed, the outline of the inspection pressure chamber can be clearly grasped, so that the dimensions of the inspection pressure chamber can be easily measured.
[適用例5]上記の液体噴射ヘッドでは、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記リード配線が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことが好ましい。 Application Example 5 In the liquid ejecting head, when the inspection pressure chamber is viewed in a direction from the partial wall toward the inspection pressure chamber, the lead wiring straddles the inspection pressure chamber. It is preferable that it is provided over the region.
本適用例によれば、リード配線が、検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられているので、検査用圧力室を区画する壁のうちの一部の壁の剛性が高められる。 According to this application example, since the lead wiring is provided over the region across the inspection pressure chamber, the rigidity of a part of the walls defining the inspection pressure chamber can be increased.
[適用例6]本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記上電極とが、前記検査用圧力室の外側に設けられ、前記圧電素子を構成する前記圧電体と、前記リード配線とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。 Application Example 6 A liquid ejecting head according to this application example is a liquid ejecting head capable of ejecting liquid, and partitions a plurality of pressure chambers and a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers. A piezoelectric element provided at a position overlapping with the pressure chamber across a part of the walls, and the piezoelectric element is provided on a side opposite to the pressure chamber side of the part of the walls. A lower electrode, a piezoelectric body provided on the opposite side of the wall of the lower electrode, an upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body to the lower electrode side, and the upper electrode A lead wire provided on the opposite side of the piezoelectric body side, the lower electrode is provided separately for each piezoelectric element, and the upper electrode is provided across the plurality of piezoelectric elements. And the plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection, and When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction toward the inspection pressure chamber, the lower electrode and the upper electrode constituting the piezoelectric element are provided outside the inspection pressure chamber, and the piezoelectric element The piezoelectric body and the lead wiring are provided over a region straddling the inspection pressure chamber.
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極と上電極とが検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、圧電体とリード配線とが検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。このため、下電極の輪郭と上電極の輪郭とは、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。また、圧電体の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。さらに、リード配線の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。これにより、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭、および上電極の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。さらに、圧電体の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。また、圧電体が光透過性を有する場合においては、リード配線の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。このため、検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極、圧電体、上電極、およびリード配線の像が検査用圧力室の輪郭の像に干渉することを低く抑えることができる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすいので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。 In this application example, when the inspection pressure chamber is viewed in plan from a part of the wall toward the inspection pressure chamber, the lower electrode and the upper electrode are positioned outside the region overlapping the inspection pressure chamber, and the piezoelectric The body and the lead wiring are provided over a region straddling the pressure chamber for inspection. For this reason, the outline of the lower electrode and the outline of the upper electrode are located outside the region of the pressure chamber for inspection. In addition, the contour of the piezoelectric body is located outside the region of the pressure chamber for inspection. Further, the outline of the lead wiring is located outside the region of the pressure chamber for inspection. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed in the direction from the inspection pressure chamber toward a part of the wall, the contour of the lower electrode and the contour of the upper electrode are not observed in the region of the inspection pressure chamber. . Further, the contour of the piezoelectric body is not observed in the region of the pressure chamber for inspection. In addition, when the piezoelectric body is light transmissive, the outline of the lead wiring is not observed in the region of the pressure chamber for inspection. For this reason, when the inspection pressure chamber is optically observed, it is possible to suppress the interference of the image of the lower electrode, the piezoelectric body, the upper electrode, and the lead wiring with the contour image of the inspection pressure chamber. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed, the outline of the inspection pressure chamber can be clearly grasped, so that the dimensions of the inspection pressure chamber can be easily measured.
[適用例7]本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記圧電体と、前記上電極とが、前記検査用圧力室の外側に設けられ、前記圧電素子を構成する前記リード配線が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。 Application Example 7 A liquid jet head according to this application example is a liquid jet head capable of jetting liquid, and divides a plurality of pressure chambers and a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers. A piezoelectric element provided at a position overlapping with the pressure chamber across a part of the walls, and the piezoelectric element is provided on a side opposite to the pressure chamber side of the part of the walls. A lower electrode, a piezoelectric body provided on the opposite side of the wall of the lower electrode, an upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body to the lower electrode side, and the upper electrode A lead wire provided on the opposite side of the piezoelectric body side, the lower electrode is provided separately for each piezoelectric element, and the upper electrode is provided across the plurality of piezoelectric elements. And the plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection, and When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction toward the inspection pressure chamber, the lower electrode, the piezoelectric body, and the upper electrode constituting the piezoelectric element are provided outside the inspection pressure chamber. The lead wiring constituting the piezoelectric element is provided over a region straddling the inspection pressure chamber.
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極と圧電体と上電極とが検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、リード配線が検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。このため、下電極の輪郭と、圧電体の輪郭と、上電極の輪郭とは、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。また、リード配線の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。これにより、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭、圧電体の輪郭、および上電極の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。また、リード配線の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。このため、検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極、圧電体、上電極、およびリード配線の像が検査用圧力室の輪郭の像に干渉することを低く抑えることができる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすいので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。 In this application example, when the inspection pressure chamber is viewed in plan from a part of the wall toward the inspection pressure chamber, the lower electrode, the piezoelectric body, and the upper electrode are positioned outside the region overlapping the inspection pressure chamber. In addition, the lead wiring is provided over a region across the pressure chamber for inspection. For this reason, the outline of the lower electrode, the outline of the piezoelectric body, and the outline of the upper electrode are located outside the region of the pressure chamber for inspection. Also, the outline of the lead wiring is located outside the area of the pressure chamber for inspection. Accordingly, when the inspection pressure chamber is optically observed in the direction from the inspection pressure chamber toward a part of the wall, the contour of the lower electrode, the contour of the piezoelectric body, and the contour of the upper electrode are Not observed in the area. Further, the outline of the lead wiring is not observed in the region of the pressure chamber for inspection. For this reason, when the inspection pressure chamber is optically observed, it is possible to suppress the interference of the image of the lower electrode, the piezoelectric body, the upper electrode, and the lead wiring with the contour image of the inspection pressure chamber. As a result, when the inspection pressure chamber is optically observed, the outline of the inspection pressure chamber can be clearly grasped, so that the dimensions of the inspection pressure chamber can be easily measured.
[適用例8]上記の液体噴射ヘッドでは、前記複数の圧力室が所定の方向に配列し、前記複数の圧力室の配列の端部に、前記検査用圧力室が位置する、ことが好ましい。 Application Example 8 In the liquid jet head, it is preferable that the plurality of pressure chambers are arranged in a predetermined direction, and the inspection pressure chambers are located at an end of the arrangement of the plurality of pressure chambers.
本適用例によれば、複数の圧力室の配列の端部に検査用圧力室が位置するため、検査用圧力室を他の圧力室から区別しやすい。 According to this application example, since the inspection pressure chamber is located at the end of the arrangement of the plurality of pressure chambers, the inspection pressure chamber can be easily distinguished from other pressure chambers.
[適用例9]本適用例に係る液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドを有する。 Application Example 9 A liquid ejecting apparatus according to this application example includes the liquid ejecting head.
本適用例の液体噴射装置は、圧力室の寸法を測定しやすい液体噴射ヘッドを有している。この液体噴射ヘッドによれば、液体噴射ヘッドにおける液体の噴射性能の水準を管理しやすい。よって、この液体噴射装置では、液体の噴射性能の水準を管理しやすくすることができる。 The liquid ejecting apparatus according to this application example includes a liquid ejecting head that easily measures the size of the pressure chamber. According to this liquid ejecting head, it is easy to manage the level of the liquid ejecting performance of the liquid ejecting head. Therefore, in this liquid ejecting apparatus, the level of the liquid ejecting performance can be easily managed.
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド(以下、記録ヘッド)を搭載したインクジェット式プリンター(以下、プリンター)を例に挙げる。さらに、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならしめている。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, various limitations are made as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the following description unless otherwise specified. However, the present invention is not limited to these embodiments. In the following description, an ink jet printer (hereinafter referred to as a printer) equipped with an ink jet recording head (hereinafter referred to as a recording head), which is a kind of liquid ejecting head, is taken as an example of the liquid ejecting apparatus of the present invention. Further, in the following drawings, the scale of each layer and each member is made different from the actual scale so that each layer and each member can be recognized.
プリンター1の構成について、図1を参照して説明する。プリンター1は、記録紙等の記録媒体2(着弾対象の一種)の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター1は、記録ヘッド3、この記録ヘッド3が取り付けられるキャリッジ4、キャリッジ4を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構5、記録媒体2を副走査方向に移送する搬送機構6等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、液体供給源としてのインクカートリッジ7に貯留されている。このインクカートリッジ7は、記録ヘッド3に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
The configuration of the printer 1 will be described with reference to FIG. The printer 1 is a device that records an image or the like by ejecting liquid ink onto the surface of a recording medium 2 (a kind of landing target) such as recording paper. The printer 1 includes a
上記のキャリッジ移動機構5はタイミングベルト8を備えている。そして、このタイミングベルト8はDCモーター等のパルスモーター9により駆動される。従ってパルスモーター9が作動すると、キャリッジ4は、プリンター1に架設されたガイドロッド10に案内されて、主走査方向(記録媒体2の幅方向)に往復移動する。
The
図2は、本実施形態の記録ヘッド3の構成を示す分解斜視図である。また、図3は、記録ヘッド3の平面図(上面図)である。なお、図3は、後述する封止板20が接合されていない状態を示している。すなわち、図3は、後述する各層が積層された振動板21(本発明における圧力室を区画する壁のうちの一部の壁に相当)の平面図である。さらに、図4及び図5は、記録ヘッド3の要部構成を示す図であり、図4はノズル列に直交する方向に沿った断面の模式図、図5はノズル列方向に沿った断面(図3におけるA−A′断面)の模式図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the
本実施形態における記録ヘッド3は、圧力室形成基板15、ノズルプレート16、アクチュエーターユニット14、及び、封止板20等を積層して構成されている。圧力室形成基板15は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなる板材である。この圧力室形成基板15には、複数の圧力室22となる空間(以下、適宜、圧力室空間と称する。)が、隔壁22a(図5)を間に挟んで並設されている。複数の圧力室22は、所定の方向に配列している。これらの圧力室空間は、ノズル列方向に直交する方向に長尺な空部であり、ノズルプレート16の各ノズル25に一対一に対応して設けられている。すなわち、各圧力室空間(或いは圧力室22)は、ノズル列方向に沿って、ノズル25の形成ピッチと同じピッチで形成されている。このため、複数の圧力室22は、ノズル列の方向に沿って配列している。
The
なお、本実施形態における圧力室22(圧力室空間)の上部開口(ノズル25側とは反対側の開口)は、図3に示すように、台形状を呈している。また、圧力室22(圧力室空間)の長手方向のノズル25側端部の壁22bは、図4に示すように、圧力室形成基板15の上下面に対して部分的に傾斜している。この圧力室22(圧力室空間)の寸法に関し、圧力室22の高さ(すなわち、圧力室形成基板15の厚さ)は、約70〔μm〕に設定されている。また、圧力室22の長手方向の長さ(ノズル列方向に直交する方向の寸法)は、約360〔μm〕に設定されている。さらに、図5に示す圧力室22の短手方向の幅w1(ノズル列方向の寸法)は、約70〔μm〕に設定されている。なお、本実施形態における圧力室22の寸法(長さ及び幅)は、圧力室空間の上部開口(振動板21側の開口)の内寸法を意味している。
In addition, the upper opening (opening opposite to the
また、図2に示すように、圧力室形成基板15において、圧力室空間に対して当該圧力室空間長手方向の側方(ノズル25との連通側とは反対側)に外れた領域には、圧力室形成基板15を貫通する連通部23が、圧力室空間の並設方向に沿って形成されている。この連通部23は、各圧力室空間に共通な空部である。この連通部23と各圧力室空間とは、インク供給路24を介してそれぞれ連通されている。なお、連通部23は、後述する振動板21の連通開口部26および封止板20の液室空部53と連通して、各圧力室空間(圧力室22)に共通なインク室であるリザーバー(共通液室)を構成する。インク供給路24は、圧力室空間よりも狭い幅で形成されており、連通部23から圧力室空間に流入するインクに対して流路抵抗となる部分である。
Further, as shown in FIG. 2, in the pressure
圧力室形成基板15の下面(アクチュエーターユニット14との接合面側とは反対側の面)には、ノズルプレート16(ノズル形成基板)が、接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。本実施形態におけるノズルプレート16は、ドット形成密度(例えば、300dpi〜600dpi)に相当するピッチ(隣接ノズル25の中心間距離)で各ノズル25が並設されている。各ノズル25は、圧力室空間に対してインク供給路24とは反対側の端部で連通する。なお、ノズルプレート16は、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼板などから作製される。
A nozzle plate 16 (nozzle forming substrate) is bonded to the lower surface of the pressure chamber forming substrate 15 (the surface opposite to the bonding surface side with the actuator unit 14) via an adhesive, a heat welding film, or the like. . In the
アクチュエーターユニット14は、振動板21および圧電素子19から構成される。振動板21は、圧力室形成基板15の上面に形成された酸化シリコン(SiOx)(例えば、二酸化シリコン(SiO2))からなる弾性膜17と、この弾性膜17上に形成された酸化ジルコニウム(ZrOx)からなる絶縁体膜18と、を含む。この振動板21における圧力室空間に対応する部分、即ち、圧力室空間の上部開口を塞いで圧力室22の一部を区画する部分は、圧電素子19の撓み変形に伴ってノズル25から遠ざかる方向あるいは近接する方向に変位する変位部として機能する。なお、弾性膜17の厚さは300〜2000〔nm〕に設定されることが望ましく、絶縁体膜18の厚さは30〜600〔nm〕に設定されることが望ましい。また、図2に示すように、この振動板21における圧力室形成基板15の連通部23に対応する部分には、当該連通部23と連通する連通開口部26が開設されている。
The
振動板21(絶縁体膜18)の圧力室空間に対応する部分、すなわち変位部の上面(ノズル25側とは反対側の面)には、圧電素子19が形成されている。本実施形態における圧電素子19は、振動板21側から順に下電極27、圧電体28および上電極29が、成膜技術により積層されて構成されている。図5に示すように、下電極27は、個々の圧力室22ごとに独立して(個別に)設けられる一方、上電極29は、複数の圧力室22に亘って連続して(共通に)設けられている。したがって、下電極27は、圧力室22ごとの個別電極となり、上電極29は、各圧力室22に共通な共通電極となる。
A
具体的には、図3及び図5に示すように、ノズル列方向における上電極29の両端部は、圧力室空間の上部開口の縁を越えて列設された複数の圧力室空間(圧力室22)の外側まで延設されている。また、図3及び図4に示すように、圧力室22の長手方向(ノズル列方向に直交する方向)における上電極29の両端部は、圧力室空間の上部開口の縁を越えて当該圧力室空間(圧力室22)の外側まで延設されている。圧力室22の長手方向における下電極27は、一側(図3における上側)の端部が圧力室空間の上部開口縁を超えてインク供給路24と重なる位置まで延在され、他側(図3における下側)の端部がリード配線41まで延在されている。そして、本実施形態では、図5に示すように、圧力室空間上(圧力室22に対応する領域)における下電極27のノズル列方向の幅w3は、ノズル列方向における圧力室22の幅w1よりも狭く形成されている。また、圧力室空間上における圧電体28は、ノズル列方向における幅w2が圧力室22の同方向における幅w1よりも狭く形成されると共に、下電極27の同方向における幅w3よりも広く形成され、下電極27を覆っている。すなわち、ノズル列方向における寸法が、上電極29の幅、圧力室22の幅w1、圧電体28の幅w2、下電極27の幅w3の順に小さくなっている。
Specifically, as shown in FIGS. 3 and 5, both end portions of the
ここで、圧力室空間上のノズル列方向における圧電体28の幅w2は、30〜60〔μm〕に設定されることが望ましい。また、下電極27の幅w3は、15〜60〔μm〕に設定されることが望ましい。さらに、下電極27の一側の外端部から圧電体28の同側の外端部までの距離w4は、2.5〜8.0〔μm〕に設定されることが望ましい。
Here, the width w2 of the
また、本実施形態では、図3に示すように、圧電体28が部分的に除去された開口部28aによって、圧電体28が個々の圧電素子19ごとに分割されている。具体的には、圧電体28は、圧力室22の長手方向の両端部(詳しくは、圧力室空間の両側の上部開口縁)を超えて外側まで延在されると共に、複数の圧力室22に亘って形成されている。そして、隣り合う圧力室22の間に対応する領域の圧電体28が部分的に除去されて、圧電体28が積層されていない開口部28aが複数形成されている。すなわち、複数の開口部28aがノズル列方向に沿って、圧力室22の形成ピッチ(ノズル25の形成ピッチ)と同じピッチで形成されている。換言すると、開口部28aと開口部28aとの間に、1つの圧力室22に対応する圧電素子19が圧力室22の形成ピッチと同じピッチで形成されている。なお、本実施形態の開口部28aは、平面視において、圧力室22の長手方向に沿って長尺な細長六角形状に形成されている。また、圧力室22の長手方向において、開口部28aから外れた領域の圧電体28は、複数の圧力室22に亘って連続して形成されている。ここで、本実施形態の圧電体28の幅w2とは、一方の開口部28aの長辺と他方の開口部28aの長辺との間に形成された圧電体28の幅のことである。要するに、圧力室22の幅w1、圧電体28の幅w2及び下電極27の幅w3とは、各圧力室22において圧電素子19が実質的に振動する部分の幅である。
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, the
このように構成された圧電素子19では、下電極27、圧電体28および上電極29が積層された領域、すなわち下電極27と上電極29との間に圧電体28が挟まれた領域が両電極膜27、29への電圧の印加により圧電歪みが生じる能動部(活性部)となる。
In the
なお、上電極29および下電極27は、イリジウム(Ir)、白金(Pt)、チタン(Ti)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)等の各種金属や、これらの合金等が用いられる。また、圧電体28としては、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電性圧電性材料や、これにニオブ、ニッケル、マグネシウム、ビスマス又はイットリウム等の金属を添加したリラクサ強誘電体等が用いられる。なお、上電極29の厚さは、30〜100〔nm〕に設定されることが望ましい。また、下電極27の厚さは、50〜300〔nm〕に設定されることが望ましい。さらに、圧電体28の厚さ(詳しくは、能動部における圧電体28の厚さ)は、0.7〜5〔μm〕に設定されることが望ましい。
The
圧力室空間の上部開口縁よりも圧力室空間長手方向の外側に外れた領域における圧電体28上であって、上電極29に対して所定の間隔を隔てた位置(図4における左側の位置)には、リード配線41が形成されている。そして、圧電体28においてリード配線41が形成されている位置には、図4に示すように、当該圧電体28を貫通する状態で、圧電体28の上面から下電極27に至るスルーホール42が形成されている。リード配線41は、個別電極である下電極27に対応してパターニングされている。このリード配線41は、上記のスルーホール42を通じて下電極27に導通されている。そして、このリード配線41を介して各圧電素子19に選択的に駆動電圧(駆動パルス)が印加される。
A position on the
なお、リード配線41は、例えば、ニッケル(Ni)、イリジウム(Ir)、金(Au)、白金(Pt)、タングステン(W)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)などの各種の金属及びこれらの金属の合金、それらの導電性酸化物(例えば酸化イリジウムなど)、ストロンチウム(Sr)とルテニウム(Ru)の複合酸化物、ランタン(La)とニッケル(Ni)の複合酸化物などを用いることができる。また、リード配線41は、複数の導電層の積層で構成されていても、単層で構成されていてもよい。
The
図2に示すように、アクチュエーターユニット14における圧力室形成基板15との接合面である下面とは反対側の上面には、圧電素子19を収容可能な収容空部51を有する封止板20が接合される。この封止板20には、収容空部51よりもノズル列に直交する方向の外側に外れた位置であって、振動板21の連通開口部26および圧力室形成基板15の連通部23に対応する領域には、液室空部53が設けられている。液室空部53は、封止板20を厚さ方向に貫通して圧力室空間(圧力室22)の並設方向に沿って設けられており、上述したように連通開口部26および連通部23と一連に連通して各圧力室空間の共通のインク室となるリザーバーを画成する。なお、図示しないが、封止板20には、収容空部51と液室空部53の他に、封止板20を厚さ方向に貫通する配線開口部が設けられ、この配線開口部内にリード配線41の端部が露出される。そして、このリード配線41の露出部分には、プリンター本体側からの図示しない配線部材の端子が電気的に接続される。
As shown in FIG. 2, a sealing
上記構成の記録ヘッド3では、インクを噴射する際において、インクカートリッジ7からインクを取り込み、リザーバー、インク供給路24、圧力室22、およびノズル25に至るまでの流路内がインクで満たされる。そして、プリンター本体側からの駆動信号の供給により、圧力室22に対応するそれぞれの下電極27と上電極29との間に両電極の電位差に応じた電界が付与され、圧電素子19および振動板21の変位部が変位することにより、圧力室22内に圧力変動が生じる。この圧力変動を制御することで、ノズル25からインクが噴射される。
In the
また、上記構成の記録ヘッド3において、ノズル25より噴射されるインク量を決定する指標として、排除体積と呼ばれるものがある。排除体積とは、圧力室22に対応するそれぞれの下電極27と上電極29との間に、所定の電位差を印加し、圧電素子19を駆動させ、振動板21の変位部を変位させたときの、圧力室22の容積の変化量のことである。この排除体積に応じて吐出されるインクの量は変化する。したがって所定のインク量を吐出するためには、排除体積が所定の量となっている必要がある。このような排除体積は、圧力室22の寸法に応じて増減する。このため、圧力室22の寸法を測定し、管理することが好ましい。
In the
圧力室22の寸法を測定する方法として、例えば、記録ヘッド3の製造過程において、圧力室22をノズルプレート16で区画する前に、工具顕微鏡などで圧力室22の寸法を、光学的に測定する方法が挙げられる。具体的には、図6に示すように、記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22に接合する前に、ノズルプレート16側から、圧力室22の開口部30の壁面31に顕微鏡の焦点を合わせて、圧力室22の開口部30の寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定する方法が挙げられる。
As a method for measuring the size of the
しかしながら、上記の方法で圧力室22の寸法を測定することが難しいという課題があった。圧力室22の寸法測定では、まず、ノズルプレート16を圧力室22に接合する前に、ノズルプレート16側から、開口部30の壁面31に顕微鏡の焦点を合わせて、圧力室22の開口部30の輪郭32を光学的に観測する。そして、光学的に観測される開口部30の輪郭32に基づいて開口部30の寸法を計測することによって、圧力室22の寸法が測定され得る。なお、本実施形態では、振動板21は、光透過性を有している。
However, there is a problem that it is difficult to measure the size of the
このとき、開口部30の輪郭32を光学的に観測したときの画像には、振動板21を通して下電極27の像も映り込む。なお、本実施形態では、圧電体28も光透過性を有している。このため、開口部30の輪郭32を光学的に観測したときの画像には、圧電体28を通して上電極29の像も映り込む。このため、光学的に観測した画像には、開口部30の輪郭32の像に加え、下電極27の輪郭34や上電極29の輪郭35の像も映し出される。このとき、顕微鏡の焦点を開口部30の壁面31に合わせているため、焦点深度により、下電極27や上電極29の像はぼやける。すなわち、下電極27の輪郭34や上電極29の輪郭35の像がぼやける。これにより、ぼやけた下電極27の輪郭34や上電極29の輪郭35の像が、開口部30の輪郭32の像に干渉しやすい。この結果、開口部30の輪郭32が不鮮明になり、開口部30の輪郭32を把握しにくく(光学的に観測しにくく)なるため、圧力室22の寸法を測定しにくくなる。
At this time, the image of the
そこで、本実施形態では、検査用の圧力室22(以下、検査用圧力室33と呼ぶ)が設けられている。つまり、本実施形態では、記録ヘッド3において、複数の圧力室22に検査用圧力室33が含まれている。本実施形態では、図7に示すように、複数の圧力室22の配列の端部に検査用圧力室33が位置している。図7では、1つのノズル列に対応する複数の圧力室22の配列が模式的に平面図として図示されている。図7に示す例では、複数の圧力室22の配列の両端部に検査用圧力室33が設けられている。
Therefore, in the present embodiment, an inspection pressure chamber 22 (hereinafter referred to as an inspection pressure chamber 33) is provided. That is, in the present embodiment, in the
本実施形態では、複数の圧力室22のうち検査用圧力室33を除く圧力室22は、上述したリザーバーおよびインク供給路24を介してインクを導入可能に構成されている。また、本実施形態では、複数の圧力室22のうち検査用圧力室33を除く圧力室22に対して圧電素子19が設けられている。検査用圧力室33は、検査用圧力室33の開口部30の輪郭32を光学的に観測しやすいように構成されている。これにより、記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33に接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33の開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33の開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33の寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。
In the present embodiment, the
なお、複数の圧力室22の配列における検査用圧力室33の配置は、複数の圧力室22の配列の両端部に限定されない。複数の圧力室22の配列における検査用圧力室33の配置構成としては、複数の圧力室22の配列の一方の端部だけに配置する構成も採用され得る。また、図7に示す例では、複数の圧力室22の配列において、6個の検査用圧力室33が設けられている。しかしながら、複数の圧力室22の配列における検査用圧力室33の個数は、これに限定されず、少なくとも1個の検査用圧力室33が設けられていれば、5個以下の個数や、6個を超える個数など、種々の個数が採用され得る。本実施形態では、複数の圧力室22の配列において、検査用圧力室33が複数の圧力室22の配列の端部に位置している。この構成によれば、1つのノズル列に対応する複数の圧力室22が、当該ノズル列を形成する複数のノズル25が配置されるピッチを維持して、ノズル列方向に連続的に配置される。このことにより、当該ノズル列を形成する各ノズル25より、各ノズル25が配置されるピッチにて、インクを噴射することができる。
Note that the arrangement of the
以下、検査用圧力室33の実施例について、図面を参照して説明する。以下において、検査用圧力室33を実施例ごとに識別するために、検査用圧力室33に実施例ごとに異なるアルファベット文字や記号等を付記する。
Hereinafter, an embodiment of the
(実施例1)
実施例1の検査用圧力室33Aは、図8に示すように、振動板21の検査用圧力室33Aと反対側において、下電極27が検査用圧力室33Aの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例1では、振動板21から検査用圧力室33Aに向かう方向に検査用圧力室33Aを平面視したとき、下電極27が検査用圧力室33Aをまたぐ領域にわたって設けられている。なお、実施例1では、圧電体28と、上電極29と、リード配線41とが、検査用圧力室33Aと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例1では、振動板21から検査用圧力室33Aに向かう方向に検査用圧力室33Aを平面視したとき、圧電体28と、上電極29と、リード配線41とが、検査用圧力室33Aの領域に重なっていない。
Example 1
As shown in FIG. 8, the
したがって、下電極27の輪郭34は、検査用圧力室33Aの領域よりも外側に位置する。また、圧電体28の輪郭、上電極29の輪郭35、リード配線41の輪郭も、検査用圧力室33Aの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Aから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Aを光学的に観測したときに、下電極27の輪郭34が検査用圧力室33Aの領域内に観測されない。また、圧電体28の輪郭、上電極29の輪郭35、リード配線41の輪郭も検査用圧力室33Aの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Aを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Aの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41の像に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Aを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Aの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Aに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Aの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Aの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Aの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。
Therefore, the
次に、上記実施例1の製造方法を図9A〜図9Hを参照しながら説明する。検査用圧力室33および圧力室22に振動板21が、開口部30と反対側に設けられている(図9A)。この振動板21から検査用圧力室33Aに向かう方向に検査用圧力室33Aを平面視したとき、検査用圧力室33Aに重ねて設けられた振動板21の検査用圧力室33Aと反対側の面全面に、下電極27となる下金属膜27aを、スパッタ法等により形成する(図9B)。その後、この下金属膜27aを、検査用圧力室33Aをまたぐ領域にわたって下電極27が形成されるようにエッチングによりパターニングする(。具体的には、フォトリソグラフィー法によって、エッチングに対するマスクとなるレジストパターンを下金属膜27aの振動板21と反対側に設け、水溶液などのエッチング溶液によって下金属膜27aを上面側からエッチングした後、レジストパターンを除去する図9C)。また、このとき、圧力室22に重なる領域には、圧力室22ごとに個別の下電極27がパターニングされる。これにより、圧力室22ごとに個別の下電極27が形成される。
Next, the manufacturing method of the said Example 1 is demonstrated, referring FIG. 9A-FIG. 9H. The
振動板21の検査用圧力室33Aと反対側の面に、下電極27を設けた後、下電極27の振動板21と反対側に、検査用圧力室33Aと重なる領域よりも外側に位置するように、圧電体28を設ける。当該下電極27が形成された振動板21の検査用圧力室33Aと反対側の面全面に、圧電体28となるPZT層28bを形成する(図9D)。PZT層28bの形成方法は、特に限定されないが、例えば、金属有機物を触媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなるPZT層28bを得る、いわゆるゾル−ゲル法が用いられる。その他、スパッタやIJ塗布法等の種々の方法でPZT層28bを形成してもよい。その後、フォトリソグラフィー法によって、PZT層28bの振動板21と反対側に、エッチングに対するマスクとなるレジストパターンを形成し、このPZT層28bをエッチングにより、圧力室22に重なる領域に個別の圧電体28が位置するようにパターニングした後、レジストパターンを除去する(図9E)。このとき、検査用圧力室33Aに重なる領域には、圧電体28が形成されない。つまり、圧力室22に重なる領域からPZT層28bが除去される。このため、圧電体28は、検査用圧力室33Aと重なる領域よりも外側に位置する。
After the
その後、下電極27および圧電体28が形成された振動板21の検査用圧力室33Aと反対側の面全面に、スパッタ法等により上電極29となる上金属膜29aを形成する(図9F)。そして、フォトリソグラフィー法によって、上金属膜29aの振動板21と反対側に、にエッチングに対するマスクとなるレジストパターンを形成し、この上金属膜29aをエッチングにより、圧力室22に重なる領域に上電極29が位置するようにパターニングした後、レジストパターンを除去する(図9G)。このとき、検査用圧力室33Aに重なる領域には、上電極29が形成されない。つまり、圧力室22に重なる領域から上金属膜29aが除去される。このため、上電極29は、検査用圧力室33Aと重なる領域よりも外側に位置する。
Thereafter, an
上電極29までパターニングした後、リード配線41をパターニングする。はじめに、下電極27、圧電体28および上電極29が形成された振動板21の検査用圧力室33Aと反対側の面全面に、金属層43をスパッタ法等により形成する(図9H)。そして、フォトリソグラフィー法及びエッチングによって、金属層43をパターニングしてリード配線41(図8)を形成する。このとき、検査用圧力室33Aに重なる領域には、リード配線41が形成されない。つまり、圧力室22に重なる領域から金属層43が除去される。このため、リード配線41は、検査用圧力室33Aと重なる領域よりも外側に位置する。このようにして、本実施例のアクチュエーターユニット14を形成することができる。
After patterning up to the
(実施例2)
実施例2の検査用圧力室33Bは、図10に示すように、振動板21の検査用圧力室33Bと反対側において、下電極27と圧電体28とが検査用圧力室33Bの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例2では、振動板21から検査用圧力室33Bに向かう方向に検査用圧力室33Bを平面視したとき、下電極27と圧電体28とが検査用圧力室33Bをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例2は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例2において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 2)
As shown in FIG. 10, the
なお、実施例2では、上電極29とリード配線41とが、検査用圧力室33Bと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例2では、振動板21から検査用圧力室33Bに向かう方向に検査用圧力室33Bを平面視したとき、上電極29とリード配線41とが、検査用圧力室33Bの領域に重なっていない。
In the second embodiment, the
したがって、下電極27の輪郭34と圧電体28の輪郭は、検査用圧力室33Bの領域よりも外側に位置する。また上電極29の輪郭35とリード配線41の輪郭も、検査用圧力室33Bの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Bから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Bを光学的に観測したときに、下電極27の輪郭34が検査用圧力室33Bの領域内に観測されない。なお、圧電体28は、検査用圧力室33Bの領域内において、下電極27に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室33Bを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Bの領域内において、圧電体28の像は観測されない。また、上電極29の輪郭35とリード配線41の輪郭も検査用圧力室33Bの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Bを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Bの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Bを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Bの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Bに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Bの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Bの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Bの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体28があるので、振動板21を補強することができる。
Therefore, the
なお、実施例2の製造方法では、実施例1の圧電体28をパターニングする工程において、検査用圧力室33Bに重なる領域にわたって圧電体28を残す。その他の工程については、実施例1と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the second embodiment, in the step of patterning the
(実施例3)
実施例3の検査用圧力室33Cは、図11に示すように、振動板21の検査用圧力室33Cと反対側において、下電極27と、圧電体28と、上電極29とが検査用圧力室33Cの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例3では、振動板21から検査用圧力室33Cに向かう方向に検査用圧力室33Cを平面視したとき、下電極27と、圧電体28と、上電極29とが検査用圧力室33Cをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例3は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例3において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 3)
As shown in FIG. 11, in the
なお、実施例3では、リード配線41が、検査用圧力室33Cと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例3では、振動板21から検査用圧力室33Cに向かう方向に検査用圧力室33Cを平面視したとき、リード配線41が、検査用圧力室33Cの領域に重なっていない。
In Example 3, the
したがって、下電極27の輪郭34と、圧電体28の輪郭と、上電極の輪郭35とは、検査用圧力室33Cの領域よりも外側に位置する。またリード配線41の輪郭も、検査用圧力室33Cの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Cから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Cを光学的に観測したときに、下電極27の輪郭34が検査用圧力室33Cの領域内に観測されない。なお、圧電体28と上電極29は、検査用圧力室33Cの領域内において、下電極27に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室33Cを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Cの領域内において、圧電体28と上電極29の像は観測されない。また、リード配線41の輪郭も検査用圧力室33Cの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Cを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Cの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Cを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Cの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Cに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Cの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Cの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Cの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体28と上電極29とがあるので、振動板21を補強することができる。
Therefore, the
なお、実施例3の製造方法では、実施例2の上電極29をパターニングする工程において、検査用圧力室33Cに重なる領域にわたって上電極29を残す。その他の工程については、実施例2と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the third embodiment, in the process of patterning the
(実施例4)
実施例4の検査用圧力室33Dは、図12に示すように、振動板21の検査用圧力室33Dと反対側において、下電極27と、圧電体28と、リード配線41とが検査用圧力室33Dの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例4では、振動板21から検査用圧力室33Dに向かう方向に検査用圧力室33Dを平面視したとき、下電極27と、圧電体28と、リード配線41とが検査用圧力室33Dをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例4は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例4において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
Example 4
As shown in FIG. 12, the
なお、実施例4では、上電極29が、検査用圧力室33Dと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例4では、振動板21から検査用圧力室33Dに向かう方向に検査用圧力室33Dを平面視したとき、上電極29が、検査用圧力室33Dの領域に重なっていない。
In the fourth embodiment, the
したがって、下電極27の輪郭34と、圧電体28の輪郭と、リード配線41の輪郭とは、検査用圧力室33Dの領域よりも外側に位置する。また上電極29の輪郭35も、検査用圧力室33Dの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Dから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Dを光学的に観測したときに、下電極27の輪郭34が検査用圧力室33Dの領域内に観測されない。なお、圧電体28とリード配線41は、検査用圧力室33Dの領域内において、下電極27に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室33Dを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Dの領域内において、圧電体28とリード配線41の像は観測されない。また、上電極29の輪郭35も検査用圧力室33Dの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Dを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Dの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Dを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Dの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Dに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Dの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Dの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Dの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体28とリード配線41とがあるので、振動板21を補強することができる。
Therefore, the
なお、実施例4の製造方法では、実施例2のリード配線41をパターニングする工程において、検査用圧力室33Dに重なる領域にわたってリード配線41を残す。その他の工程については、実施例2と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the fourth embodiment, in the process of patterning the
(実施例5)
実施例5の検査用圧力室33Eは、図13に示すように、振動板21の検査用圧力室33Eと反対側において、下電極27と、圧電体28と、上電極29と、リード配線41とが検査用圧力室33Eの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例5では、振動板21から検査用圧力室33Eに向かう方向に検査用圧力室33Eを平面視したとき、下電極27と、圧電体28と、上電極29と、リード配線41とが検査用圧力室33Eをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例5は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例5において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 5)
As shown in FIG. 13, the
上記の構成により、実施例5では、下電極27の輪郭34と、圧電体28の輪郭と、上電極29の輪郭35と、リード配線41の輪郭とは、検査用圧力室33Eの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Eから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Eを光学的に観測したときに、下電極27の輪郭34が検査用圧力室33Eの領域内に観測されない。なお、圧電体28と、上電極29と、リード配線41は、検査用圧力室33Eの領域内において、下電極27に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室33Eを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Eの領域内において、圧電体28と、上電極29と、リード配線41の像は観測されない。このことにより、検査用圧力室33Eを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Eの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Eを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Eの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Eに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Eの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Eの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Eの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体28と、上電極29と、リード配線41とがあるので、振動板21を補強することができる。
With the above configuration, in Example 5, the
なお、実施例5の製造方法では、実施例3のリード配線41をパターニングする工程において、検査用圧力室33Eに重なる領域にわたってリード配線41を残す。その他の工程については、実施例3と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the fifth embodiment, in the process of patterning the
(実施例6)
実施例6の検査用圧力室33Fは、図14に示すように、振動板21の検査用圧力室33Fと反対側において、下電極27と上電極29とが検査用圧力室33Fの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例6では、振動板21から検査用圧力室33Fに向かう方向に検査用圧力室33Fを平面視したとき、下電極27と上電極29とが検査用圧力室33Fをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例6は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例6において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 6)
As shown in FIG. 14, the
なお、実施例6では、圧電体28とリード配線41とが、検査用圧力室33Fと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例6では、振動板21から検査用圧力室33Fに向かう方向に検査用圧力室33Fを平面視したとき、圧電体28とリード配線41とが、検査用圧力室33Fの領域に重なっていない。
In Example 6, the
したがって、下電極27の輪郭34と上電極29の輪郭35とは、検査用圧力室33Fの領域よりも外側に位置する。また圧電体28の輪郭とリード配線41の輪郭も、検査用圧力室33Fの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Fから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Fを光学的に観測したときに、下電極27の輪郭34が検査用圧力室33Fの領域内に観測されない。なお、上電極29は、検査用圧力室33Fの領域内において、下電極27に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室33Fを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Fの領域内において、上電極29の像は観測されない。また、圧電体28の輪郭とリード配線41の輪郭も検査用圧力室33Fの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Fを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Fの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Fを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Fの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Fに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Fの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Fの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Fの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、上電極29があるので、振動板21を補強することができる。
Therefore, the
なお、実施例6の製造方法では、実施例1の上電極29をパターニングする工程において、検査用圧力室33Fに重なる領域にわたって上電極29を残す。その他の工程については、実施例1と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the sixth embodiment, in the process of patterning the
(実施例7)
実施例7の検査用圧力室33Gは、図15に示すように、振動板21の検査用圧力室33Gと反対側において、下電極27と、上電極29と、リード配線41とが検査用圧力室33Gの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例7では、振動板21から検査用圧力室33Gに向かう方向に検査用圧力室33Gを平面視したとき、下電極27と、上電極29と、リード配線41とが検査用圧力室33Gをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例7は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例7において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 7)
As shown in FIG. 15, the
なお、実施例7では、圧電体28が、検査用圧力室33Gと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例7では、振動板21から検査用圧力室33Gに向かう方向に検査用圧力室33Gを平面視したとき、圧電体28が、検査用圧力室33Gの領域に重なっていない。
In Example 7, the
したがって、下電極27の輪郭34と、上電極29の輪郭35と、リード配線41の輪郭は、検査用圧力室33Gの領域よりも外側に位置する。また圧電体28の輪郭も、検査用圧力室33Gの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Gから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Gを光学的に観測したときに、下電極27の輪郭34が検査用圧力室33Gの領域内に観測されない。なお、上電極29とリード配線41は、検査用圧力室33Gの領域内において、下電極27に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室33Gを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Gの領域内において、上電極29とリード配線41の像は観測されない。また、圧電体28の輪郭も検査用圧力室33Gの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Gを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Gの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Gを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Gの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Gに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Gの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Gの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Gの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、上電極29とリード配線41とがあるので、振動板21を補強することができる。
Therefore, the
なお、実施例7の製造方法では、実施例6のリード配線41をパターニングする工程において、検査用圧力室33Gに重なる領域にわたってリード配線41を残す。その他の工程については、実施例6と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the seventh embodiment, in the step of patterning the
(実施例8)
実施例8の検査用圧力室33Hは、図16に示すように、振動板21の検査用圧力室33Hと反対側において、下電極27とリード配線41とが検査用圧力室33Hの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例8では、振動板21から検査用圧力室33Hに向かう方向に検査用圧力室33Hを平面視したとき、下電極27とリード配線41とが検査用圧力室33Hをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例8は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例8において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 8)
As shown in FIG. 16, the
なお、実施例8では、圧電体28と上電極29とが、検査用圧力室33Hと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例8では、振動板21から検査用圧力室33Hに向かう方向に検査用圧力室33Hを平面視したとき、圧電体28と上電極29とが、検査用圧力室33Hの領域に重なっていない。
In Example 8, the
したがって、下電極27の輪郭34とリード配線41の輪郭は、検査用圧力室33Hの領域よりも外側に位置する。また圧電体28の輪郭と上電極29の輪郭35も、検査用圧力室33Hの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Hから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Hを光学的に観測したときに、下電極27の輪郭34が検査用圧力室33Hの領域内に観測されない。なお、リード配線41は、検査用圧力室33Hの領域内において、下電極27に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室33Hを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Hの領域内において、上電極29とリード配線41の像は観測されない。また、圧電体28の輪郭と上電極29の輪郭35も検査用圧力室33Hの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Hを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Hの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Hを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Hの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Hに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Hの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Hの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Hの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、リード配線41があるので、振動板21を補強することができる。
Therefore, the
なお、実施例8の製造方法では、実施例1のリード配線41をパターニングする工程において、検査用圧力室33Hに重なる領域にわたってリード配線41を残す。その他の工程については、実施例1と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the eighth embodiment, in the step of patterning the
(実施例9)
実施例9の検査用圧力室33Iは、図17に示すように、振動板21の検査用圧力室33Iと反対側において、上電極29が検査用圧力室33Iの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例9では、振動板21から検査用圧力室33Iに向かう方向に検査用圧力室33Iを平面視したとき、上電極29が検査用圧力室33Iをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例9は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例9において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
Example 9
As shown in FIG. 17, the inspection pressure chamber 33I according to the ninth embodiment is provided over the region where the
なお、実施例9では、下電極27と、圧電体28と、リード配線41とが、検査用圧力室33Iと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例9では、振動板21から検査用圧力室33Iに向かう方向に検査用圧力室33Iを平面視したとき、下電極27と、圧電体28と、リード配線41とが、検査用圧力室33Iの領域に重なっていない。
In Example 9, the
したがって、上電極の輪郭35は、検査用圧力室33Iの領域よりも外側に位置する。また下電極27の輪郭34と、圧電体28の輪郭と、リード配線41の輪郭も、検査用圧力室33Iの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Iから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Iを光学的に観測したときに、上電極29の輪郭35が検査用圧力室33Iの領域内に観測されない。また、下電極27の輪郭34と、圧電体28の輪郭と、リード配線41の輪郭も検査用圧力室33Iの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Iを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Iの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Iを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Iの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Iに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Iの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Iの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Iの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。
Therefore, the contour 35 of the upper electrode is located outside the region of the inspection pressure chamber 33I. The
なお、実施例9の製造方法では、実施例6の下電極27をパターニングする工程において、検査用圧力室33Iと重なる領域から下金属膜27aを除去する。つまり、実施例9の製造方法では、実施例6の下電極27をパターニングする工程において、検査用圧力室33Iと重なる領域よりも外側に下電極27を残す。その他の工程については、実施例6と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the ninth embodiment, in the step of patterning the
(実施例10)
実施例10の検査用圧力室33Jは、図18に示すように、振動板21の検査用圧力室33Jと反対側において、リード配線41が検査用圧力室33Jの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例10では、振動板21から検査用圧力室33Jに向かう方向に検査用圧力室33Jを平面視したとき、リード配線41が検査用圧力室33Jをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例10は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例10において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 10)
As shown in FIG. 18, the
なお、実施例10では、下電極27と、圧電体28と、上電極29とが、検査用圧力室33Jと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例10では、振動板21から検査用圧力室33Jに向かう方向に検査用圧力室33Jを平面視したとき、下電極27と、圧電体28と、上電極29とが、検査用圧力室33Jの領域に重なっていない。
In Example 10, the
したがって、リード配線41の輪郭は、検査用圧力室33Jの領域よりも外側に位置する。また下電極27の輪郭34と、圧電体28の輪郭と、上電極29の輪郭35も、検査用圧力室33Jの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Jから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Jを光学的に観測したときに、リード配線41の輪郭が検査用圧力室33Jの領域内に観測されない。また、下電極27の輪郭34と、圧電体28の輪郭と、上電極29の輪郭35も検査用圧力室33Jの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Jを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Jの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Jを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Jの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Jに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Jの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Jの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Jの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。
Therefore, the outline of the
なお、実施例10の製造方法では、実施例8の下電極27をパターニングする工程において、検査用圧力室33Jと重なる領域から下金属膜27aを除去する。つまり、実施例10の製造方法では、実施例8の下電極27をパターニングする工程において、検査用圧力室33Jと重なる領域よりも外側に下電極27を残す。その他の工程については、実施例8と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the tenth embodiment, in the step of patterning the
(実施例11)
実施例11の検査用圧力室33Kは、図19に示すように、振動板21の検査用圧力室33Kと反対側において、圧電体28と上電極29とが検査用圧力室33Kの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例11では、振動板21から検査用圧力室33Kに向かう方向に検査用圧力室33Kを平面視したとき、圧電体28と上電極29とが検査用圧力室33Kをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例11は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例11において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 11)
As shown in FIG. 19, the
なお、実施例11では、下電極27とリード配線41とが、検査用圧力室33Kと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例11では、振動板21から検査用圧力室33Kに向かう方向に検査用圧力室33Kを平面視したとき、下電極27とリード配線41とが、検査用圧力室33Kの領域に重なっていない。
In Example 11, the
したがって、圧電体28の輪郭と上電極29の輪郭35は、検査用圧力室33Kの領域よりも外側に位置する。また下電極27の輪郭34とリード配線41の輪郭も、検査用圧力室33Kの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Kから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Kを光学的に観測したときに、圧電体28の輪郭が検査用圧力室33Kの領域内に観測されない。なお、圧電体28が光透過性を有する場合においては、上電極29の輪郭35も検査用圧力室33Kの領域内に観測されない。また、下電極27の輪郭34とリード配線41の輪郭も検査用圧力室33Kの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Kを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Kの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Kを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Kの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Kに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Kの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Kの開口部30の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Kの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体28があるので、振動板21を補強することができる。
Accordingly, the contour of the
なお、実施例11の製造方法では、実施例3の下電極27をパターニングする工程において、検査用圧力室33Kと重なる領域から下金属膜27aを除去する。つまり、実施例11の製造方法では、実施例6の下電極27をパターニングする工程において、検査用圧力室33Kと重なる領域よりも外側に下電極27を残す。その他の工程については、実施例3と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of Example 11, in the step of patterning the
(実施例12)
実施例12の検査用圧力室33Lは、図20に示すように、振動板21の検査用圧力室33Lと反対側において、圧電体28と、上電極29と、リード配線41とが検査用圧力室33Lの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例12では、振動板21から検査用圧力室33Lに向かう方向に検査用圧力室33Lを平面視したとき、圧電体28と、上電極29と、リード配線41とが検査用圧力室33Lをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例12は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例12において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 12)
As shown in FIG. 20, the
なお、実施例12では、下電極27が、検査用圧力室33Lと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例12では、振動板21から検査用圧力室33Lに向かう方向に検査用圧力室33Lを平面視したとき、下電極27が、検査用圧力室33Lの領域に重なっていない。
In the twelfth embodiment, the
したがって、圧電体28の輪郭と、上電極29の輪郭35と、リード配線41の輪郭は、検査用圧力室33Lの領域よりも外側に位置する。また下電極27の輪郭34も、検査用圧力室33Lの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Lから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Lを光学的に観測したときに、圧電体28の輪郭が検査用圧力室33Lの領域内に観測されない。なお、圧電体28が光透過性を有する場合においては、上電極29の輪郭35とリード配線41の輪郭も検査用圧力室33Lの領域内に観測されない。また、下電極27の輪郭34も検査用圧力室33Lの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Lを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Lの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Lを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Lの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Lに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Lの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Lの開口部30の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Lの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体28とリード配線41とがあるので、振動板21を補強することができる。
Therefore, the contour of the
なお、実施例12の製造方法では、実施例11のリード配線41をパターニングする工程において、検査用圧力室33Lに重なる領域にわたってリード配線41を残す。その他の工程については、実施例11と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of Example 12, in the step of patterning the
(実施例13)
実施例13の検査用圧力室33Mは、図21に示すように、振動板21の検査用圧力室33Mと反対側において、圧電体28とリード配線41とが検査用圧力室33Mの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例13では、振動板21から検査用圧力室33Mに向かう方向に検査用圧力室33Mを平面視したとき、圧電体28とリード配線41が検査用圧力室33Mをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例13は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例13において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 13)
As shown in FIG. 21, in the
なお、実施例13では、下電極27と上電極29とが、検査用圧力室33Mと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例13では、振動板21から検査用圧力室33Mに向かう方向に検査用圧力室33Mを平面視したとき、下電極27と上電極29とが、検査用圧力室33Mの領域に重なっていない。
In the thirteenth embodiment, the
したがって、圧電体28の輪郭とリード配線41の輪郭は、検査用圧力室33Mの領域よりも外側に位置する。また下電極27の輪郭34と上電極29の輪郭35も、検査用圧力室33Mの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Mから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Mを光学的に観測したときに、圧電体28の輪郭が検査用圧力室33Mの領域内に観測されない。なお、圧電体28が光透過性を有する場合においては、リード配線41の輪郭も検査用圧力室33Mの領域内に観測されない。また、下電極27の輪郭34と上電極29の輪郭35も検査用圧力室33Mの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Mを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Mの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Mを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Mの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Mに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Mの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Mの開口部30の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Mの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体28があるので、振動板21を補強することができる。
Accordingly, the outline of the
なお、実施例13の製造方法では、実施例10の圧電体28をパターニングする工程において、検査用圧力室33Mに重なる領域にわたって圧電体28を残す。その他の工程については、実施例10と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of the thirteenth embodiment, in the step of patterning the
(実施例14)
実施例14の検査用圧力室33Nは、図22に示すように、振動板21の検査用圧力室33Nと反対側において、上電極29とリード配線41とが検査用圧力室33Nの開口部30をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例14では、振動板21から検査用圧力室33Nに向かう方向に検査用圧力室33Nを平面視したとき、上電極29とリード配線41とが検査用圧力室33Nをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例14は、実施例1と同様の構成を有している。このため、実施例14において、実施例1と同様の構成については、実施例1と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(Example 14)
As shown in FIG. 22, the
なお、実施例14では、下電極27と圧電体28とが、検査用圧力室33Nと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例14では、振動板21から検査用圧力室33Nに向かう方向に検査用圧力室33Nを平面視したとき、下電極27と圧電体28とが、検査用圧力室33Nの領域に重なっていない。
In Example 14, the
したがって、上電極29の輪郭35とリード配線41の輪郭は、検査用圧力室33Nの領域よりも外側に位置する。また下電極27の輪郭35と圧電体28の輪郭も、検査用圧力室33Nの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室33Nから振動板21に向かう方向に検査用圧力室33Nを光学的に観測したときに、上電極29の輪郭35が検査用圧力室33Nの領域内に観測されない。なお、リード配線41は、検査用圧力室33Nの領域内において、上電極29に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室33Nを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Nの領域内において、リード配線41の像は観測されない。また、下電極27の輪郭34と圧電体28の輪郭も検査用圧力室33Nの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室33Nを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Nの開口部30の輪郭32の像が、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室33Nを光学的に観測したときに、検査用圧力室33Nの開口部30の輪郭32を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33Nに接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33Nの開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33Nの開口部30の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33Nの寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、リード配線41があるので、振動板21を補強することができる。
Therefore, the contour 35 of the
なお、実施例14の製造方法では、実施例9のリード配線41をパターニングする工程において、検査用圧力室33Nに重なる領域にわたってリード配線41を残す。その他の工程については、実施例9と同様であるため、詳細な説明を省略する。
In the manufacturing method of Example 14, in the step of patterning the
本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。上記各実施例では、振動板21の検査用圧力室33と反対側において、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41などを活用して検査用圧力室33の開口部30の寸法を測定する例を示したが、この構成に限定するものではない。たとえば、下電極27、圧電体28、上電極29、リード配線41以外に、遮光性を有する膜を、検査用圧力室33の開口部30をまたぐ領域にわたって設けてもいい。このことによって、記録ヘッド3にて、ノズルプレート16を圧力室22および検査用圧力室33に接合する前に、ノズルプレート16側から、振動板21の検査用圧力室33の開口部30の輪郭32に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室33の開口部30の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室33の寸法を測定することで、圧力室22の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、遮光性を有する膜を設けることで、振動板21を補強することができる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be added to the above-described embodiment. In each of the above embodiments, the
1…プリンター、3…記録ヘッド、14…アクチュエーターユニット、15…圧力室形成基板、16…ノズルプレート、17…弾性膜、18…絶縁体膜、19…圧電素子、20…封止板、21…振動板、22…圧力室、22a…隔壁、23…連通部、25…ノズル、26…連通開口部、27…下電極、27a…下金属膜、28…圧電体、28b…PZT層、29…上電極、29a…上金属膜、30…開口部、31…壁面、32…輪郭、33,33A,33B,33C,33D,33E,33F,33G,33H,33I,33J,33K,33L,33M,33N…検査用圧力室、34…輪郭、35…輪郭、41…リード配線、42…スルーホール、43…金属層。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Printer, 3 ... Recording head, 14 ... Actuator unit, 15 ... Pressure chamber formation board, 16 ... Nozzle plate, 17 ... Elastic film, 18 ... Insulator film, 19 ... Piezoelectric element, 20 ... Sealing plate, 21 ... Diaphragm, 22 ... Pressure chamber, 22a ... Partition, 23 ... Communication part, 25 ... Nozzle, 26 ... Communication opening, 27 ... Lower electrode, 27a ... Lower metal film, 28 ... Piezoelectric body, 28b ... PZT layer, 29 ... Upper electrode, 29a ... upper metal film, 30 ... opening, 31 ... wall surface, 32 ... contour, 33, 33A, 33B, 33C, 33D, 33E, 33F, 33G, 33H, 33I, 33J, 33K, 33L, 33M, 33N ... Pressure chamber for inspection, 34 ... Outline, 35 ... Outline, 41 ... Lead wiring, 42 ... Through hole, 43 ... Metal layer.
Claims (9)
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記圧電体と、前記上電極と、前記リード配線とのうちの少なくとも前記下電極が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A liquid ejecting head capable of ejecting liquid,
Multiple pressure chambers;
A piezoelectric element provided at a position overlapping the pressure chamber across a part of walls defining a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers;
Have
The piezoelectric element is
A lower electrode provided on the side opposite to the pressure chamber side of the partial wall;
A piezoelectric body provided on the side opposite to the wall of the lower electrode;
An upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body from the lower electrode side;
A lead wire provided on the opposite side of the upper electrode from the piezoelectric body side;
Have
The lower electrode is provided individually for each piezoelectric element,
The upper electrode is provided across a plurality of the piezoelectric elements,
The plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection,
When the inspection pressure chamber is viewed in plan from the partial wall toward the inspection pressure chamber, the lower electrode, the piezoelectric body, the upper electrode, and the lead wiring constituting the piezoelectric element And at least the lower electrode is provided over a region across the pressure chamber for inspection,
A liquid jet head characterized by that.
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記圧電体と、前記上電極と、前記リード配線とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1,
When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction from the partial wall toward the inspection pressure chamber,
The piezoelectric body, the upper electrode, and the lead wiring are provided over a region across the pressure chamber for inspection,
A liquid jet head characterized by that.
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記下電極が、前記検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、
前記圧電体と、前記上電極とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A liquid ejecting head capable of ejecting liquid,
Multiple pressure chambers;
A piezoelectric element provided at a position overlapping the pressure chamber across a part of walls defining a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers;
Have
The piezoelectric element is
A lower electrode provided on the side opposite to the pressure chamber side of the partial wall;
A piezoelectric body provided on the side opposite to the wall of the lower electrode;
An upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body from the lower electrode side;
A lead wire provided on the opposite side of the upper electrode from the piezoelectric body side;
Have
The lower electrode is provided individually for each piezoelectric element,
The upper electrode is provided across a plurality of the piezoelectric elements,
The plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection,
When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction from the partial wall toward the inspection pressure chamber,
The lower electrode is positioned outside a region overlapping the pressure chamber for inspection;
The piezoelectric body and the upper electrode are provided over a region straddling the inspection pressure chamber,
A liquid jet head characterized by that.
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記下電極と、前記圧電体とが、前記検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、
前記上電極が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A liquid ejecting head capable of ejecting liquid,
Multiple pressure chambers;
A piezoelectric element provided at a position overlapping the pressure chamber across a part of walls defining a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers;
Have
The piezoelectric element is
A lower electrode provided on the side opposite to the pressure chamber side of the partial wall;
A piezoelectric body provided on the side opposite to the wall of the lower electrode;
An upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body from the lower electrode side;
A lead wire provided on the opposite side of the upper electrode from the piezoelectric body side;
Have
The lower electrode is provided individually for each piezoelectric element,
The upper electrode is provided across a plurality of the piezoelectric elements,
The plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection,
When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction from the partial wall toward the inspection pressure chamber,
The lower electrode and the piezoelectric body are located outside a region overlapping the pressure chamber for inspection,
The upper electrode is provided over a region across the pressure chamber for inspection;
A liquid jet head characterized by that.
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記リード配線が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 3 or 4,
When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction from the partial wall toward the inspection pressure chamber,
The lead wiring is provided over a region straddling the inspection pressure chamber,
A liquid jet head characterized by that.
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記下電極と、前記上電極とが、前記検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、
前記圧電体と、前記リード配線とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A liquid ejecting head capable of ejecting liquid,
Multiple pressure chambers;
A piezoelectric element provided at a position overlapping the pressure chamber across a part of walls defining a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers;
Have
The piezoelectric element is
A lower electrode provided on the side opposite to the pressure chamber side of the partial wall;
A piezoelectric body provided on the side opposite to the wall of the lower electrode;
An upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body from the lower electrode side;
A lead wire provided on the opposite side of the upper electrode from the piezoelectric body side;
Have
The lower electrode is provided individually for each piezoelectric element,
The upper electrode is provided across a plurality of the piezoelectric elements,
The plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection,
When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction from the partial wall toward the inspection pressure chamber,
The lower electrode and the upper electrode are located outside a region overlapping the pressure chamber for inspection,
The piezoelectric body and the lead wiring are provided over a region straddling the inspection pressure chamber,
A liquid jet head characterized by that.
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記下電極と、前記圧電体と、前記上電極とが、前記検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、
前記リード配線が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A liquid ejecting head capable of ejecting liquid,
Multiple pressure chambers;
A piezoelectric element provided at a position overlapping the pressure chamber across a part of walls defining a pressure chamber into which the liquid can be introduced among the plurality of pressure chambers;
Have
The piezoelectric element is
A lower electrode provided on the side opposite to the pressure chamber side of the partial wall;
A piezoelectric body provided on the side opposite to the wall of the lower electrode;
An upper electrode provided on the opposite side of the piezoelectric body from the lower electrode side;
A lead wire provided on the opposite side of the upper electrode from the piezoelectric body side;
Have
The lower electrode is provided individually for each piezoelectric element,
The upper electrode is provided across a plurality of the piezoelectric elements,
The plurality of pressure chambers include a pressure chamber for inspection,
When the inspection pressure chamber is viewed in plan in a direction from the partial wall toward the inspection pressure chamber,
The lower electrode, the piezoelectric body, and the upper electrode are located outside a region overlapping the pressure chamber for inspection,
The lead wiring is provided over a region straddling the inspection pressure chamber,
A liquid jet head characterized by that.
前記複数の圧力室が所定の方向に配列し、
前記複数の圧力室の配列の端部に、前記検査用圧力室が位置する、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to any one of claims 1 to 7,
The plurality of pressure chambers are arranged in a predetermined direction,
The inspection pressure chamber is located at an end of the array of the plurality of pressure chambers,
A liquid jet head characterized by that.
ことを特徴とする液体噴射装置。 The liquid ejecting head according to claim 1 is provided.
A liquid ejecting apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015253158A JP2017114032A (en) | 2015-12-25 | 2015-12-25 | Liquid injection head and liquid injection device |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015253158A JP2017114032A (en) | 2015-12-25 | 2015-12-25 | Liquid injection head and liquid injection device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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ID=59232967
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---|---|---|---|
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JP (1) | JP2017114032A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20180079210A1 (en) * | 2016-09-20 | 2018-03-22 | Rohm Co., Ltd. | Ink jet print head and method of manufacturing the same |
JP2019162858A (en) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 株式会社リコー | Actuator, liquid discharge head, liquid discharge unit, and liquid discharge device |
-
2015
- 2015-12-25 JP JP2015253158A patent/JP2017114032A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20180079210A1 (en) * | 2016-09-20 | 2018-03-22 | Rohm Co., Ltd. | Ink jet print head and method of manufacturing the same |
US10220618B2 (en) * | 2016-09-20 | 2019-03-05 | Rohm Co., Ltd. | Ink jet print head and method of manufacturing the same |
JP2019162858A (en) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 株式会社リコー | Actuator, liquid discharge head, liquid discharge unit, and liquid discharge device |
JP7135848B2 (en) | 2018-03-19 | 2022-09-13 | 株式会社リコー | Actuator, Liquid Ejection Head, Liquid Ejection Unit, and Apparatus for Ejecting Liquid |
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