JP2017110866A - Pressure reduction drier machine - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate or save an energy source newly added for heating an item to be dried and to increase a drying capability.SOLUTION: This invention comprises a reduced pressure exhaust port 111 for exhausting air and vapor from a decompression vessel 11 into which an object 5 to be dried is fed; an exhaust intake port 12 arranged at the decompression vessel 11; a decompression pump 17 including a pump intake port 171 communicated with the reduced pressure port 111 and a pump exhaust port 172 so as to decompress an inside of the decompression vessel 11; an exhaust port 212 for heating the object communicated with the exhaust intake port 12; a heating device 20 comprising an exhaust flow-in port 201 communicated with the pump exhaust port 172 and exhaust changing-over means 21 for changing-over an exhaust port 222 for heating the object with the pump exhaust and the exhaust flow-in port 201 between the communicated state and a shut-off state; an external shut-off valve 25 for allowing or shutting off a communication between the external part connection port 116 arranged at the decompression vessel 11 and the outside air; and a controller 39 for controlling an operation.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、洗浄後の機械部品の乾燥に用いられる減圧乾燥機に関する。   The present invention relates to a vacuum dryer used for drying machine parts after cleaning.

切削加工後の機械部品は、スプレー式洗浄機、超音波式洗浄機その他の洗浄装置で洗浄される。洗浄後の機械部品には、洗浄装置で使用されている洗浄液が残留している。   The machine parts after the cutting process are cleaned by a spray cleaning machine, an ultrasonic cleaning machine or other cleaning devices. The cleaning liquid used in the cleaning device remains in the machine parts after cleaning.

減圧乾燥機は、機械部品等の乾燥対象物を密閉した乾燥容器内に入れて、乾燥容器内を、乾燥対象物の温度に対する蒸気圧よりも低くすることによって、乾燥対象物に残留した洗浄液を蒸発させる。洗浄液が蒸発するときに、洗浄液は、蒸発潜熱を乾燥対象物から奪う。このため、乾燥対象物の温度は、乾燥が進むにつれて低下し、温度低下とともに、乾燥速度が低下する。乾燥対象物の乾燥速度を高めるために、乾燥対象物を加熱する方法が取られている。   The vacuum dryer puts the drying object such as machine parts in a closed drying container, and lowers the inside of the drying container below the vapor pressure with respect to the temperature of the drying object to remove the cleaning liquid remaining on the drying object. Evaporate. When the cleaning liquid evaporates, the cleaning liquid takes the latent heat of evaporation from the object to be dried. For this reason, the temperature of the object to be dried decreases as the drying proceeds, and the drying rate decreases as the temperature decreases. In order to increase the drying speed of the object to be dried, a method of heating the object to be dried is taken.

例えば、減圧ポンプの排熱を利用する方法が提案されている。外気を冷却空気として導入し、減圧ポンプの排熱と熱交換する。減圧ポンプの排熱によって加熱された加熱空気を、減圧容器の外面へ噴射して、減圧容器を温める(特許文献1)。   For example, a method using exhaust heat of a decompression pump has been proposed. Outside air is introduced as cooling air to exchange heat with the exhaust heat of the vacuum pump. The heated air heated by the exhaust heat of the decompression pump is jetted to the outer surface of the decompression container to warm the decompression container (Patent Document 1).

特開2015―078817号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-078817

本発明は、乾燥対象物を加熱するための新たに付加するエネルギー源を排除または節減し、乾燥能力を高めることを課題とする。   An object of the present invention is to eliminate or save a newly added energy source for heating an object to be dried, and to increase the drying capacity.

上述の課題に鑑みて、本発明は、減圧乾燥機であって、乾燥対象物が投入される減圧容器と、前記減圧容器に設けられ、前記減圧容器から空気及び蒸気を排気する減圧排気口(111)と、前記減圧容器に設けられた排気取り入れ口(112)と、前記減圧排気口と連通するポンプ吸気口、及びポンプ排気口を備え、前記減圧容器内を減圧する減圧ポンプと、前記排気取り入れ口と連通する対象物加温用排出ポート(212)と、前記ポンプ排気口と連通する排気流入ポート(201)と、前記対象物加温用排出ポートと前記排気流入ポートとを連通状態と遮断状態とに切り換える排気切り換え手段(21)と、を備える加温装置と、前記減圧容器に設けられた外部接続口(116)と、前記外部接続口に連通する第1のポートと、前記減圧容器の外部に開口する第2のポートとを備え、前記外部接続口と外気との連通を許容または遮断する外部遮断弁(25)と、動作を制御するコントローラと、を備えている。
なお、本項において説明の便宜上、適宜構成要素に符号を付して対象を例示するが、構成要素を実施形態に限定する趣旨ではない。
In view of the above-described problems, the present invention is a vacuum dryer, which includes a vacuum container into which an object to be dried is charged, and a vacuum exhaust port provided in the vacuum container and exhausting air and steam from the vacuum container ( 111), an exhaust intake port (112) provided in the decompression vessel, a pump intake port communicating with the decompression exhaust port, and a pump exhaust port, and a decompression pump for decompressing the inside of the decompression vessel, and the exhaust An object heating discharge port (212) communicating with the intake port, an exhaust inflow port (201) communicating with the pump exhaust port, and the object heating discharge port and the exhaust inflow port are in communication with each other. A heating device comprising an exhaust switching means (21) for switching to a shut-off state, an external connection port (116) provided in the decompression vessel, a first port communicating with the external connection port, and the decompression And a second port for outside opening of vessel, the external connection port and the outside air and the external shut-off valve that allows or blocks the communication between the (25) includes a controller for controlling the operation, the.
In this section, for convenience of explanation, the constituent elements are appropriately denoted by reference numerals, and the objects are exemplified, but the constituent elements are not limited to the embodiments.

上記構成によれば、排気切り換え手段によって前記対象物加温用排出ポートと前記排気流入ポートとを連通状態にし、外部遮断弁によって前記外部接続口と外気との連通を許容することで、減圧ポンプの排気を排気取り入れ口から減圧容器内に導入し、導入された排気が外部接続口から、外部遮断弁を通して減圧容器の外部へ排出される。   According to the above configuration, the pressure-reducing pump is configured such that the exhaust gas switching means brings the object heating discharge port and the exhaust inflow port into communication, and the external shutoff valve allows communication between the external connection port and outside air. The exhaust gas is introduced into the decompression container through the exhaust intake port, and the introduced exhaust gas is discharged from the external connection port to the outside of the decompression container through the external shutoff valve.

減圧ポンプの排気は、高温であるため、高温の排気が減圧容器内を通り抜けることによって、減圧容器及び乾燥対象物が排気によって直接温められる。減圧容器及び乾燥対象物が排気によって温められるため、乾燥が早められる。また、排気の通過によって温められた減圧容器を再度遮閉して、再度減圧することによって、排気によって与えられた熱量を利用して再び残留洗浄液が蒸発できる。そのため、乾燥対象物の乾燥度が向上する。   Since the exhaust of the decompression pump is hot, the decompression container and the drying object are directly warmed by the exhaust as the high-temperature exhaust passes through the decompression container. Since the decompression container and the object to be dried are warmed by exhaust, drying is accelerated. In addition, the remaining cleaning liquid can be evaporated again by using the amount of heat given by the exhaust gas by closing the decompression container warmed by the passage of the exhaust gas again and reducing the pressure again. Therefore, the dryness of a dry object improves.

本発明に係る減圧乾燥器は、好ましくは、減圧容器内に配設され、吸気口と連通し、乾燥対象物に対向する噴口を、更に備えている。   The reduced pressure dryer according to the present invention preferably further includes a nozzle that is disposed in the vacuum container, communicates with the air inlet, and faces the object to be dried.

上記構成によれば、減圧ポンプの排気を、噴口から噴出して乾燥対象物へ吹き付けることができる。乾燥対象物の表面に減圧ポンプの排気が直接接触することで、乾燥対象物の温度は速やかに上昇する。乾燥対象物の表面温度が上昇するため、乾燥対象物が大気と接触したときに、乾燥対象物表面に洗浄液が残留している場合であっても、残留した洗浄液が蒸発し、乾燥対象物が乾燥する効果が生ずる。乾燥対象物の表面に残留している洗浄液が排気の流れに触れることにより、洗浄液が蒸発する効果が生ずる。   According to the said structure, the exhaust_gas | exhaustion of a pressure reduction pump can be ejected from a nozzle and sprayed on a drying target object. When the exhaust of the vacuum pump directly contacts the surface of the object to be dried, the temperature of the object to be dried rises quickly. Since the surface temperature of the drying object rises, when the drying object comes into contact with the atmosphere, even if the cleaning liquid remains on the surface of the drying object, the remaining cleaning liquid evaporates and the drying object is The effect of drying occurs. When the cleaning liquid remaining on the surface of the object to be dried touches the flow of the exhaust gas, the cleaning liquid evaporates.

本発明に係る減圧乾燥器は、好ましくは、前記ポンプ排気口と連通し、前記減圧容器外面に対向する開口を備える容器加温配管を更に備え、前記加温装置は、前記容器加温配管と連通する容器加温用排出ポートを有し、前記排気切り換え手段は、前記対象物加温用排出ポートおよび前記容器加温用排出ポートのうち前記コントローラによって選択された所定の一方と前記排気流入ポートとを連通を許容し、他方と前記排気流入ポートとの連通を遮断する。   The vacuum dryer according to the present invention preferably further includes a container heating pipe that communicates with the pump exhaust port and has an opening facing the outer surface of the vacuum container, and the heating device includes the container heating pipe and A container heating discharge port communicating therewith, wherein the exhaust switching means includes a predetermined one selected by the controller from the object heating discharge port and the container heating discharge port and the exhaust inflow port; Is allowed to communicate, and the communication between the other and the exhaust inflow port is blocked.

上記構成によれば、減圧ポンプの排気を減圧容器内に導入しないときに、減圧ポンプの排気を減圧容器外周に吹き付けることができる。排気によって減圧容器を加熱できる。減圧容器が加熱することによって、減圧容器に投入された乾燥対象物が、減圧容器内面からの放射熱によって加温される。乾燥対象物が、減圧ポンプの排気によって加熱されることで、乾燥対象物の乾燥速度が向上する。   According to the above configuration, when the exhaust from the decompression pump is not introduced into the decompression container, the exhaust from the decompression pump can be blown to the outer periphery of the decompression container. The vacuum vessel can be heated by exhaust. When the decompression container is heated, the object to be dried put into the decompression container is heated by the radiant heat from the inner surface of the decompression container. The drying speed of the drying object is improved by heating the drying object by the exhaust of the vacuum pump.

本発明に係る減圧乾燥器は、好ましくは、前記加温装置は、一端が前記排気流入ポートと連通し、他端が2つの流出口(321,322)とをもつ分岐管を有し、前記排気切り換え手段は、前記分岐管の一方の流出口と、前記対象物加温用排出ポートとを、連通状態と遮断状態とに切り換える排気取り入れ弁(21)と、前記分岐管の他方の流出口と、前記容器加温用排出ポートとを、連通状態と遮断状態とに切り換える容器加温弁(22)と、を備える。   The vacuum dryer according to the present invention is preferably such that the heating device has a branch pipe having one end communicating with the exhaust inflow port and the other end having two outflow ports (321, 322), The exhaust gas switching means includes an exhaust intake valve (21) for switching one outlet of the branch pipe and the discharge port for heating the object between a communication state and a cutoff state, and the other outlet of the branch pipe. And a container heating valve (22) for switching the container heating discharge port between a communication state and a shut-off state.

上記構成によれば、減圧ポンプの排気の切り替えタイミングを柔軟に設定でき、簡易に構成できる。   According to the said structure, the switching timing of the exhaust_gas | exhaustion of a pressure reduction pump can be set flexibly, and it can comprise simply.

本発明に係る減圧乾燥器は、好ましくは、前記減圧排気口(111)、および外部へ開放された外気吸入口(141)のうち前記コントローラによって選択された所定の一方と前記ポンプ吸気口との連通を許容し、他方と前記ポンプ吸気口とを連通を遮断する吸気切り換え装置(12)を、更に備える。   The vacuum dryer according to the present invention is preferably configured such that a predetermined one selected by the controller among the vacuum exhaust port (111) and an outside air intake port (141) opened to the outside is connected to the pump intake port. An intake air switching device (12) that permits communication and blocks communication between the other and the pump intake port is further provided.

上記構成によれば、吸気切り換え装置により、減圧容器と減圧ポンプのポンプ吸気口との連通状態を遮閉し、減圧ポンプが外気を吸入できる。減圧ポンプが外気を吸入して排気することで、減圧ポンプ内部を乾燥させることができる。さらに、排気切換手段により、前記対象物加温用排出ポートと前記排気流入ポートとを連通した状態において、減圧ポンプが外気を吸入すれば、減圧ポンプは、吸入した外気を加温し、減圧容器内に排気するため、減圧容器内に湿度の低い加熱空気を送風できる。   According to the above configuration, the communication state between the decompression container and the pump intake port of the decompression pump is shut off by the intake air switching device, and the decompression pump can suck the outside air. The inside of the decompression pump can be dried because the decompression pump sucks and exhausts outside air. Further, if the decompression pump sucks outside air in a state where the object warming discharge port and the exhaust inflow port are communicated by the exhaust switching means, the decompression pump warms the sucked outside air, and the decompression container Because the air is exhausted, heated air with low humidity can be blown into the decompression vessel.

本発明に係る減圧乾燥器は、好ましくは、前記外部遮断弁(25)は、外気を導入する方向の流量を規制する減圧破壊弁(253)であり、前記排気取り入れ口(112)から前記減圧容器に導入された前記減圧ポンプからの排気を排出する加温排気口(117)と、前記加温排気口に連通する流入ポート(52)と、減圧容器外部に解放された流出ポート(53)とを備える加温排気弁(51)を更に備える。   In the decompression dryer according to the present invention, preferably, the external shut-off valve (25) is a decompression destruction valve (253) that regulates a flow rate in a direction in which outside air is introduced, and the decompression dryer (112) A heated exhaust port (117) for discharging the exhaust from the decompression pump introduced into the container, an inflow port (52) communicating with the heated exhaust port, and an outflow port (53) opened to the outside of the decompression container And a heating exhaust valve (51).

上記構成によれば、外部遮断弁および加温排気弁からなる2つの弁を備えたことで、外部遮断弁と加温排気弁とが果たす機能をそれぞれに分離できる。つまり、外気を減圧容器内に取り入れて減圧を破壊する場合には減圧破壊弁を機能させることで、急激な圧力上昇を抑制して円滑に減圧を行うことができる。一方、排気取り入れ口から取り入れた排気を排出する場合には、加温排気弁を機能させることで十分な排気量を確保することができる。そして、それぞれの弁のサイズ、開度を調整することにより、外気取入れと排気排出の速度を最適に設計できる。   According to the above configuration, since the two valves including the external shutoff valve and the warming exhaust valve are provided, the functions performed by the external shutoff valve and the warming exhaust valve can be separated from each other. That is, when breaking the decompression by taking outside air into the decompression vessel, the decompression break valve is made to function to suppress the rapid pressure rise and smoothly perform the decompression. On the other hand, when exhausting from the exhaust intake port is discharged, a sufficient exhaust amount can be secured by causing the warming exhaust valve to function. By adjusting the size and opening of each valve, the outside air intake and exhaust exhaust speed can be optimally designed.

本発明に係る減圧乾燥器は、好ましくは、前記排気取り入れ口と前記ポンプ排気口との中間に設けられるフィルタ(19)を、更に備える。   The vacuum dryer according to the present invention preferably further includes a filter (19) provided between the exhaust intake port and the pump exhaust port.

上記構成によれば、減圧ポンプの排気をろ過できるため、減圧容器内に導入する排気によって、減圧容器及び乾燥対象物が汚れることを防止できる。   According to the said structure, since the exhaust_gas | exhaustion of a decompression pump can be filtered, it can prevent that a decompression container and a drying target object become dirty with the exhaust_gas | exhaustion introduce | transduced in a decompression container.

本発明の乾燥方法は、乾燥対象物を投入された減圧容器を密閉するステップと、減圧ポンプによって前記減圧容器内を減圧するステップと、前記減圧容器の密閉状態を破壊するステップと、前記減圧容器と前記減圧ポンプの吸入口との連通状態を遮閉し、前記減圧ポンプが前記吸入口から外気を吸い込むステップと、前記外気を吸い込むステップによって吸い込んだ外気を前記減圧容器に導入して前記乾燥対象物を加温し、同時に前記減圧容器から排気する排気取り入れステップと、を含む。   The drying method of the present invention includes a step of sealing a decompression container filled with an object to be dried, a step of decompressing the inside of the decompression container with a decompression pump, a step of breaking the sealed state of the decompression container, and the decompression container And the suction port of the decompression pump is shut off, and the decompression pump sucks the outside air from the suction port, and the outside air sucked by the step of sucking the outside air is introduced into the decompression container and the object to be dried And an exhaust intake step for heating the object and simultaneously exhausting from the decompression vessel.

上記構成によれば、外気を吸い込むステップによって減圧ポンプが外気を吸い込む。減圧ポンプの排気は、減圧ポンプの駆動熱によって加温されている。そして、減圧ポンプは、外気を吸い込んでいるため、減圧容器内の空気よりも湿度が低く、高温の排気が減圧容器内に導入される。そして、排気取り入れステップによって減圧容器内に減圧ポンプの排気を導入し、同時に減圧容器内に導入された排気を減圧容器から排気する。外気が加温された排気が減圧容器内を通過するため、減圧容器内に投入された乾燥対象物は、排気と熱交換する。また、乾燥対象物に残留する洗浄液の蒸発が促進される。
減圧ポンプの排気を減圧容器内に導入することによって、乾燥対象物の表面と導入された排気との熱交換が促進され、乾燥対象物の温度が速やかに上昇する。
また、乾燥対象物5の表面と排気との間で乾燥対象物5に残留した洗浄液が交換され、乾燥対象物5が乾燥する効果が生ずる。
According to the above configuration, the decompression pump sucks outside air in the step of sucking outside air. The exhaust from the vacuum pump is heated by the drive heat of the vacuum pump. Since the decompression pump sucks in the outside air, the humidity is lower than the air in the decompression container, and high-temperature exhaust gas is introduced into the decompression container. Then, exhaust of the decompression pump is introduced into the decompression container by the exhaust intake step, and at the same time, the exhaust introduced into the decompression container is exhausted from the decompression container. Since the exhaust gas in which the outside air is heated passes through the decompression vessel, the object to be dried put in the decompression vessel exchanges heat with the exhaust. Further, evaporation of the cleaning liquid remaining on the dry object is promoted.
By introducing the exhaust of the decompression pump into the decompression vessel, heat exchange between the surface of the object to be dried and the introduced exhaust is promoted, and the temperature of the object to be dried rises quickly.
Further, the cleaning liquid remaining on the drying object 5 is exchanged between the surface of the drying object 5 and the exhaust, and the drying object 5 has an effect of drying.

本発明の乾燥方法は、好ましくは、上記排気取り入れステップの後に更に、前記減圧容器内を密閉するステップと、前記減圧容器内を減圧するステップと、を含む。   The drying method of the present invention preferably further includes a step of sealing the inside of the decompression vessel and a step of decompressing the inside of the decompression vessel after the exhaust intake step.

蒸発潜熱を奪われることによって乾燥対象物の表面温度が低下した結果、乾燥対象物の表面上に洗浄液が残留する場合がある。
上記構成によれば、排気の通過によって温められた減圧容器を再度遮閉して、再度減圧することによって、排気によって与えられた熱量を利用して再び残留洗浄液が蒸発できる。このため、再度減圧乾燥を行うときに、先の減圧乾燥操作において乾燥対象物上に残留した洗浄液が、加えられた熱を利用して沸騰、蒸発できるので、乾燥対象物の乾燥度が向上する。
As a result of the surface temperature of the dry object being lowered due to the removal of latent heat of evaporation, the cleaning liquid may remain on the surface of the dry object.
According to the above configuration, the residual cleaning liquid can be evaporated again using the amount of heat given by the exhaust gas by closing the decompression vessel heated by the passage of the exhaust gas again and reducing the pressure again. For this reason, when performing drying under reduced pressure again, the cleaning liquid remaining on the object to be dried in the previous operation for drying under reduced pressure can be boiled and evaporated using the applied heat, so that the degree of drying of the object to be dried is improved. .

上述の発明によれば、乾燥対象物を加熱するための新たに付加するエネルギー源を排除または節減し、乾燥能力を高めた減圧乾燥機を提供できる。   According to the above-described invention, it is possible to provide a reduced-pressure drier having an increased drying capacity by eliminating or saving a newly added energy source for heating an object to be dried.

本発明の第1実施形態の減圧乾燥機の概略図を示す。The schematic of the vacuum dryer of a 1st embodiment of the present invention is shown. 本発明の第1実施形態の減圧乾燥機の減圧容器内部の斜視図を示す。The perspective view inside the pressure reduction container of the vacuum dryer of 1st Embodiment of this invention is shown. 本発明の第1実施形態の乾燥方法のフローチャートを示す。The flowchart of the drying method of 1st Embodiment of this invention is shown. 本発明の第2実施形態の減圧乾燥機の概略図を示す。The schematic of the vacuum dryer of 2nd Embodiment of this invention is shown. 本発明の第2実施形態の乾燥方法のフローチャートを示す。The flowchart of the drying method of 2nd Embodiment of this invention is shown.

(第1実施形態)
図1及び図2に従って、本発明の第1実施形態の減圧乾燥機10を説明する。減圧乾燥機10は、乾燥対象物5が投入される減圧容器11と、減圧容器11の内部を減圧する減圧ポンプ17と、加温装置20と、吸気切替え装置12と、を備えている。
(First embodiment)
A vacuum dryer 10 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. The vacuum dryer 10 includes a vacuum container 11 into which the object 5 to be dried is charged, a vacuum pump 17 that decompresses the inside of the vacuum container 11, a heating device 20, and an intake air switching device 12.

減圧ポンプ17は、ポンプ吸気口171と、ポンプ排気口172を備えている。減圧ポンプ17は、吸込んだ空気を送り出す送風機としても働く。減圧ポンプ17として、例えばルーツポンプ、スクロールポンプ、ベーンポンプ、ダイアフラムポンプ、スクリューポンプが利用できる。減圧ポンプ17がコールドトラップを必要としない場合、蒸気を含む空気を直接吸込み、減圧容器11内を減圧してもよい。減圧ポンプ17は、モータ173を駆動源としている。減圧ポンプ17の排気は、減圧ポンプによって圧縮され、モータ173の排熱によって温められる。   The decompression pump 17 includes a pump intake port 171 and a pump exhaust port 172. The decompression pump 17 also functions as a blower that sends out the sucked air. As the decompression pump 17, for example, a Roots pump, a scroll pump, a vane pump, a diaphragm pump, or a screw pump can be used. When the decompression pump 17 does not require a cold trap, the inside of the decompression vessel 11 may be decompressed by directly sucking air containing steam. The decompression pump 17 uses a motor 173 as a drive source. The exhaust from the decompression pump 17 is compressed by the decompression pump and warmed by the exhaust heat of the motor 173.

減圧容器11は、乾燥対象物5が搬入、搬出される略矩形の投入口113が設けられている。投入口113の周囲には、パッキン114が設けられている。投入口113の両側には、一対のシャッタガイド271が設けられている。シャッタ27は、一対のシャッタガイド271に支持され、シャッタガイド271にガイドされて摺動自在に設けられている。シリンダ28は、エアシリンダであり、シャッタ27を駆動する。方向切り替え弁283は、圧縮空気源(不図示)から送られる圧縮空気の流路を切り換えて、シリンダ28の作動を制御する。シリンダ28のピストンロッド281は、シャッタ27に連結する。シリンダ28のシリンダは、減圧容器11の外部に連結ピン282を介して設置される。   The decompression vessel 11 is provided with a substantially rectangular inlet 113 through which the drying object 5 is carried in and out. A packing 114 is provided around the insertion port 113. A pair of shutter guides 271 are provided on both sides of the insertion port 113. The shutter 27 is supported by a pair of shutter guides 271 and is slidably guided by the shutter guide 271. The cylinder 28 is an air cylinder and drives the shutter 27. The direction switching valve 283 controls the operation of the cylinder 28 by switching the flow path of the compressed air sent from a compressed air source (not shown). A piston rod 281 of the cylinder 28 is connected to the shutter 27. The cylinder of the cylinder 28 is installed outside the decompression vessel 11 via a connection pin 282.

シャッタ27は、シリンダ28が縮んで、投入口113から離間するときに、投入口113を開口する。そして、シリンダ28が伸びると、投入口113に向かって移動し、投入口113を覆ったときにパッキン114に密着し、投入口113を密閉する。   The shutter 27 opens the input port 113 when the cylinder 28 is contracted and separated from the input port 113. When the cylinder 28 extends, the cylinder 28 moves toward the insertion port 113, and when the cylinder 28 is covered, the cylinder 28 comes into close contact with the packing 114 and seals the insertion port 113.

減圧容器11には、空気及び蒸気を排気する減圧排気口111と、排気取り入れ口112と、外部接続口116とが設けられている。減圧排気口111は、吸気切替え装置12を介して、ポンプ吸気口171に連通している。排気取り入れ口112は、加温装置20を介して、ポンプ排気口172に連通している。そして、外部接続口116は、外部遮断弁25を介して、減圧容器11の外部と連通し大気圧の外気を導入したり大気中に空気及び蒸気を排気したりする。   The decompression vessel 11 is provided with a decompression exhaust port 111 for exhausting air and steam, an exhaust intake port 112, and an external connection port 116. The decompression exhaust port 111 communicates with the pump intake port 171 through the intake air switching device 12. The exhaust intake port 112 communicates with the pump exhaust port 172 via the heating device 20. The external connection port 116 communicates with the outside of the decompression vessel 11 through the external shut-off valve 25 to introduce atmospheric pressure outside air or exhaust air and steam into the atmosphere.

外部接続口115には、圧力スイッチ27が設けられている。なお、圧力スイッチ27に替えて、圧力センサを設けても良い。   A pressure switch 27 is provided at the external connection port 115. Instead of the pressure switch 27, a pressure sensor may be provided.

吸気切り換え装置12は、分岐管15と、減圧排気弁13と、外気吸入弁14と、を含んでいる。分岐管15は、第1の流入口151と第2の流入口152と、共通の流出口である吸気接続口123とを接続する、T字又はY字状の配管である。減圧排気弁13は、2方電磁弁である。減圧排気弁13の流入ポートは、吸気流入口131であり、流出ポート132は、流入口151と接続される。外気吸入弁14もまた2方電磁弁である。外気吸入弁14の流入ポートは、外気吸入口141であり、流出ポート142は、第2の流入口152と接続される。   The intake air switching device 12 includes a branch pipe 15, a pressure reducing exhaust valve 13, and an outside air intake valve 14. The branch pipe 15 is a T-shaped or Y-shaped pipe that connects the first inlet 151, the second inlet 152, and the intake connection port 123 that is a common outlet. The decompression exhaust valve 13 is a two-way solenoid valve. The inflow port of the decompression exhaust valve 13 is an intake inflow port 131, and the outflow port 132 is connected to the inflow port 151. The outside air intake valve 14 is also a two-way electromagnetic valve. The inflow port of the outside air intake valve 14 is an outside air inlet 141, and the outflow port 142 is connected to the second inflow port 152.

吸気切り換え装置12は、吸気流入口131と、外気吸入口141と、吸気接続口123を備えている。吸気切り換え装置12は、吸気流入口131、および外部へ開放された外気吸入口141のうちコントローラ39によって選択された所定の一方に対して、吸気接続口123との連通を許容し、他方と吸気接続口123とを連通を遮断する。   The intake air switching device 12 includes an intake air inlet 131, an outside air intake port 141, and an intake connection port 123. The intake air switching device 12 allows the predetermined one selected by the controller 39 among the intake air inlet 131 and the outside air inlet port 141 opened to the outside to allow communication with the intake air connection port 123 and intake air with the other. The communication with the connection port 123 is blocked.

なお、吸気切り替え装置12は、上記の構成に替えて、3ポート流路切り換え弁又は三方弁を使用できる。   The intake air switching device 12 can use a three-port flow path switching valve or a three-way valve in place of the above configuration.

減圧排気口111と吸気流入口131は、配管29で接続されている。吸気接続口123とポンプ吸気口171とが接続されている。   The decompression exhaust port 111 and the intake air inlet 131 are connected by a pipe 29. The intake connection port 123 and the pump intake port 171 are connected.

加温装置20は、分岐管32と、排気切換手段200である排気取り入れ弁21および容器加温弁22と、排気取り入れ口112と連通する対象物加温用排出ポート212と、ポンプ排気口172と連通する排気流入ポート201と、を備えている。   The heating device 20 includes a branch pipe 32, an exhaust intake valve 21 and a container warming valve 22 that are exhaust switching means 200, an object heating exhaust port 212 that communicates with the exhaust intake 112, and a pump exhaust 172. And an exhaust inflow port 201 communicating with the air.

分岐管32は、排気流入ポート201と、第1の流出口321と、第2の流出口322とを接続する、T字又はY字状の配管である。排気取り入れ弁21は、第1の流出口321と連通する流入ポート211と、対象物加温用排出ポート212である流出ポートとを有する、2ポート電磁弁である。   The branch pipe 32 is a T-shaped or Y-shaped pipe that connects the exhaust inflow port 201, the first outflow port 321, and the second outflow port 322. The exhaust intake valve 21 is a two-port solenoid valve having an inflow port 211 that communicates with the first outflow port 321 and an outflow port that is a discharge port 212 for heating the object.

排気取り入れ弁21は、第1の流出口321と、対象物加温用排出ポート212とを、連通状態と遮断状態とに切り替える。容器加温弁22は、第2の流出口322である流入ポートと、容器加温用排出ポート222である流出ポートと、を有する2ポート電磁弁である。
容器加温弁22は、ポンプ排気口172と、開口23とを、連通状態と遮断状態とに切り替える。配管33は、対象物加温用排出ポート212と排気取り入れ口112とを接続する。
The exhaust intake valve 21 switches the first outlet 321 and the discharge port 212 for heating the object between a communication state and a cutoff state. The container warming valve 22 is a two-port solenoid valve having an inflow port that is the second outlet 322 and an outflow port that is the container warming discharge port 222.
The container warming valve 22 switches the pump exhaust port 172 and the opening 23 between a communication state and a cutoff state. The pipe 33 connects the object heating discharge port 212 and the exhaust intake port 112.

かかる構成により、排気切換手段200は、対象物加温用排出ポート212および容器加温用排出ポート222のうちコントローラ39によって選択された所定の一方と排気流入ポート201とを連通を許容し、他方と排気流入ポート201との連通を遮断する。   With this configuration, the exhaust gas switching unit 200 allows the predetermined one selected by the controller 39 among the object warming discharge port 212 and the container warming discharge port 222 to communicate with the exhaust inflow port 201, and And the communication with the exhaust inflow port 201 are blocked.

加温装置20は、上述の構成に替えて、3ポート流路切り換え弁又は、三方弁を利用できる。   The heating device 20 can use a three-port flow path switching valve or a three-way valve in place of the above-described configuration.

フィルタ19は、減圧ポンプ17の動作状態等を考慮して適宜設けられるが、望ましくは、排気取り入れ口112と、ポンプ排気口172との中間に設けられる。より望ましくは、フィルタ19は、第1の流出口321と排気取り入れ弁21の中間に設けられる。フィルタ19は、減圧ポンプ17の排気に含まれる異物、蒸気、油分等を取り除く。   The filter 19 is appropriately provided in consideration of the operation state of the decompression pump 17 and the like, but is desirably provided between the exhaust intake port 112 and the pump exhaust port 172. More desirably, the filter 19 is provided between the first outlet 321 and the exhaust intake valve 21. The filter 19 removes foreign matter, steam, oil, etc. contained in the exhaust of the decompression pump 17.

フィルタ30は、外気や乾燥対象物の状態等を考慮して、減圧ポンプ17が吸引するガスから、異物及び水分を除去するために、適宜設けられる。フィルタ30は、吸気接続口123とポンプ吸気口171との間に設けることが望ましい。   The filter 30 is appropriately provided in order to remove foreign substances and moisture from the gas sucked by the vacuum pump 17 in consideration of the outside air, the state of the dry object, and the like. The filter 30 is preferably provided between the intake connection port 123 and the pump intake port 171.

容器加温配管34の一方端は、容器加温用排出ポート222に接続される。容器加温配管34の他端は、減圧容器11の外壁面に空隙を設けて対向する開口23となっている。容器加温配管34は、途中で分岐して、複数の開口23を備えてもよい。その場合、それぞれの開口23が減圧容器11の外壁面に対向するように設けられる。   One end of the container warming pipe 34 is connected to the container warming discharge port 222. The other end of the container heating pipe 34 is an opening 23 that faces the outer wall surface of the decompression container 11 with a gap. The container heating pipe 34 may be branched in the middle and provided with a plurality of openings 23. In that case, each opening 23 is provided so as to face the outer wall surface of the decompression vessel 11.

減圧容器11内には、乾燥対象物5を囲むようにエアブロパイプ35が設けられている。エアブロパイプ35には、乾燥対象物5に対向するように複数のノズル37が設けられている。それぞれのノズル37には、噴口371が設けられている。   An air blow pipe 35 is provided in the decompression vessel 11 so as to surround the drying object 5. The air blow pipe 35 is provided with a plurality of nozzles 37 so as to face the drying object 5. Each nozzle 37 is provided with a nozzle 371.

外部遮断弁25は、減圧容器11の外部接続口116に取り付けられる。外部遮断弁25は、外部接続口116と連通する第1のポート251と、外気に解放された第2のポート252と、を備える2ポート電磁弁である。第2ポート252には、フィルタ26が設けられている。   The external shutoff valve 25 is attached to the external connection port 116 of the decompression vessel 11. The external shutoff valve 25 is a two-port solenoid valve that includes a first port 251 that communicates with the external connection port 116 and a second port 252 that is released to the outside air. A filter 26 is provided at the second port 252.

外部遮断弁25は、減圧容器11が密閉されて減圧状態にあるときに、開弁し、外気を減圧容器11内に取込む減圧破壊弁として作用する。また、外部遮断弁25は、減圧容器11が常圧時にあるときに排気取り入れ口112から取り入れられた減圧ポンプ17の排気が外部へ排出される加温排気弁としても作用する。フィルタ26は、外気を減圧容器11内に取込むときに、異物をろ過する役割を担う。さらに、減圧ポンプ17の排気を排出する際には、消音器としても作用する。   The external shutoff valve 25 is opened when the decompression vessel 11 is sealed and in a decompressed state, and acts as a decompression destruction valve that takes outside air into the decompression vessel 11. The external shut-off valve 25 also functions as a warming exhaust valve that exhausts the exhaust of the decompression pump 17 taken from the exhaust intake 112 when the decompression vessel 11 is at normal pressure. The filter 26 plays a role of filtering foreign matter when taking outside air into the decompression vessel 11. Furthermore, when exhausting the vacuum pump 17, it also functions as a silencer.

コントローラ39は、圧力スイッチ27の出力信号を受けて、方向切り替え弁283、外部遮断弁25、加温装置20、吸気切替え装置12を制御する。   The controller 39 receives the output signal of the pressure switch 27 and controls the direction switching valve 283, the external shutoff valve 25, the heating device 20, and the intake air switching device 12.

図3は、減圧乾燥機10の運転手順の一例を示している。まず、コントローラ39は、減圧ポンプ17を運転する(S1)。好ましくは、減圧ポンプ17をしばらく運転し、減圧ポンプ17が温まるのを待つ。減圧ポンプ17は、運転するにつれてモータ173の駆動熱によって温められる。そして、減圧ポンプ17の排気は、減圧ポンプ17の排熱によって加熱される。コントローラ39は、方向切り替え弁283を切り換えて、シリンダ28に圧縮空気を送り、シャッタ27を閉じる(S2)。   FIG. 3 shows an example of the operation procedure of the vacuum dryer 10. First, the controller 39 operates the decompression pump 17 (S1). Preferably, the decompression pump 17 is operated for a while and waits for the decompression pump 17 to warm up. The decompression pump 17 is warmed by the driving heat of the motor 173 as it operates. The exhaust from the decompression pump 17 is heated by the exhaust heat from the decompression pump 17. The controller 39 switches the direction switching valve 283, sends compressed air to the cylinder 28, and closes the shutter 27 (S2).

コントローラ39は、減圧容器11を減圧する(S3)。詳しくは、コントローラ39は、外部遮断弁25を閉弁し、減圧排気弁13を開弁し、外気吸入弁14を閉弁する。さらに、コントローラ39は、排気取り入れ弁21を閉弁し、容器加温弁22を開弁する。すると、減圧ポンプ17は、減圧容器11内の空気及び蒸気を吸い込み、開口23へ排気する。   The controller 39 decompresses the decompression container 11 (S3). Specifically, the controller 39 closes the external shutoff valve 25, opens the pressure reducing exhaust valve 13, and closes the outside air intake valve 14. Further, the controller 39 closes the exhaust intake valve 21 and opens the container warming valve 22. Then, the decompression pump 17 sucks air and vapor in the decompression container 11 and exhausts them to the opening 23.

減圧容器11内分の圧力が減少し、所定の圧力を下回ると、圧力スイッチ27が減圧信号をコントローラ39に発信する(S4)。コントローラ39は、減圧信号を受けた後、一定の時間減圧乾燥を行う(S5)。減圧乾燥の時間は、付着している洗浄液の量、乾燥対象物5の体積及び投入前温度等によって適宜定められる。   When the pressure in the decompression vessel 11 decreases and falls below a predetermined pressure, the pressure switch 27 transmits a decompression signal to the controller 39 (S4). After receiving the decompression signal, the controller 39 performs decompression drying for a certain time (S5). The time for drying under reduced pressure is appropriately determined depending on the amount of the cleaning liquid adhering, the volume of the object to be dried 5, the temperature before charging, and the like.

減圧容器11内の圧力が、乾燥対象物5の表面温度に対する蒸気圧を下回ると、乾燥対象物5に付着している洗浄液が沸騰する。そして、乾燥対象物5が乾燥を始める。乾燥対象物5に付着している洗浄液が沸騰し、蒸発する際に、洗浄液は乾燥対象物5から蒸発潜熱を奪う。洗浄液の沸騰、蒸発によって、乾燥対象物5の表面温度は低下する。表面温度が低下すると表面から洗浄液への熱移動量が減少する。また、表面温度に対する蒸気圧が低下する。このため、乾燥の進行とともに、乾燥速度が低下する。   When the pressure in the decompression vessel 11 is lower than the vapor pressure with respect to the surface temperature of the drying object 5, the cleaning liquid adhering to the drying object 5 boils. Then, the drying object 5 starts to dry. When the cleaning liquid adhering to the drying object 5 boils and evaporates, the cleaning liquid takes the latent heat of evaporation from the drying object 5. Due to boiling and evaporation of the cleaning liquid, the surface temperature of the drying object 5 decreases. When the surface temperature decreases, the amount of heat transfer from the surface to the cleaning liquid decreases. Moreover, the vapor pressure with respect to the surface temperature decreases. For this reason, a drying rate falls with progress of drying.

減圧ポンプ17の排気は、開口23から噴出し、減圧容器11の外面に吹き付けられる。減圧ポンプ17の排気は、減圧ポンプ17の駆動熱により温められている。減圧容器11の外面は、排気によって加熱される。減圧ポンプ17の排熱は、減圧容器11の外面から内面に伝わり、減圧容器11の内面から放射し、乾燥対象物5に伝わる。即ち、乾燥対象物5は、減圧ポンプ17の排熱によって加熱される。乾燥対象物5が減圧容器11からの放射熱により加温されるため、乾燥対象物5の乾燥速度が向上する。   The exhaust from the decompression pump 17 is ejected from the opening 23 and blown to the outer surface of the decompression container 11. The exhaust from the decompression pump 17 is warmed by the driving heat of the decompression pump 17. The outer surface of the decompression vessel 11 is heated by exhaust. The exhaust heat of the decompression pump 17 is transmitted from the outer surface to the inner surface of the decompression vessel 11, is radiated from the inner surface of the decompression vessel 11, and is transmitted to the drying object 5. That is, the drying object 5 is heated by the exhaust heat of the decompression pump 17. Since the drying object 5 is heated by the radiant heat from the decompression vessel 11, the drying speed of the drying object 5 is improved.

コントローラ39は、外部遮断弁25を開弁する(S6)。外気がフィルタ26、外部遮断弁35を通り、減圧容器11内に流入する。減圧容器11内の圧力は、徐々に上昇し、大気圧に達する。   The controller 39 opens the external shutoff valve 25 (S6). Outside air passes through the filter 26 and the external shutoff valve 35 and flows into the decompression vessel 11. The pressure in the decompression vessel 11 gradually increases and reaches atmospheric pressure.

好ましくは、コントローラ39は、吸気切り換え装置12を操作して、減圧ポンプ17の吸気を外気に切り替える(S7)。詳しくは、外気吸入弁14を開弁し、減圧排気弁13を閉弁する。減圧ポンプ17は、外気吸入口141から外気を取り込み、開口23へ排気する。減圧ポンプ17内が外気に換気されることによって、減圧ポンプ17内が乾燥する。また、減圧ポンプ17内の乾燥と共に、減圧ポンプ17の排気も乾燥する。   Preferably, the controller 39 operates the intake air switching device 12 to switch the intake air of the decompression pump 17 to the outside air (S7). Specifically, the outside air intake valve 14 is opened, and the pressure reducing exhaust valve 13 is closed. The decompression pump 17 takes in outside air from the outside air inlet 141 and exhausts it to the opening 23. The inside of the decompression pump 17 is dried by ventilating the inside of the decompression pump 17 to the outside air. Further, the exhaust of the decompression pump 17 is also dried together with the drying in the decompression pump 17.

コントローラ39は、排気取り入れ弁21を開弁する(S8)。さらに、コントローラ39は、容器加温弁22を閉弁する(S9)。減圧ポンプ17が吐き出した排気は、排気取り入れ口112から減圧容器11内部へ取り入れられ、乾燥対象物5を温め、外部接続口116から排出する。このとき、排気取り入れ口112にエアブロパイプ35、噴口371が設けられているため、排気は、噴口371を通って、乾燥対象物5に直接吹き付けられる。   The controller 39 opens the exhaust intake valve 21 (S8). Further, the controller 39 closes the container heating valve 22 (S9). Exhaust gas discharged from the decompression pump 17 is taken into the decompression vessel 11 from the exhaust intake port 112, warms the drying object 5, and is discharged from the external connection port 116. At this time, since the air blow pipe 35 and the injection hole 371 are provided in the exhaust intake port 112, the exhaust gas is blown directly onto the drying object 5 through the injection hole 371.

コントローラ39は、一定時間この状態を保つ(S10)。減圧ポンプ17の排気は、減圧ポンプ17の駆動熱で温められているため、温度が高く、相対湿度が低くなっている。乾燥対象物5は、排気の吹き付けによって温められる。また、排気と乾燥対象物5との間で、乾燥対象物5に残留している洗浄液を交換するため、乾燥対象物5がさらに乾燥する効果が生ずる。ステップS10における、乾燥対象物5の加温時間は、乾燥対象物5の減圧乾燥操作後の状態と、乾燥対象物5の温度の上昇具合に応じて適宜定められる。   The controller 39 maintains this state for a certain time (S10). Since the exhaust of the decompression pump 17 is warmed by the driving heat of the decompression pump 17, the temperature is high and the relative humidity is low. The drying object 5 is warmed by blowing exhaust. Further, since the cleaning liquid remaining on the drying object 5 is exchanged between the exhaust and the drying object 5, an effect of further drying the drying object 5 is produced. The heating time of the drying object 5 in step S10 is appropriately determined according to the state after the reduced pressure drying operation of the drying object 5 and the temperature rise of the drying object 5.

コントローラ39は、容器加温弁22を開弁する(S11)。排気取り入れ弁を閉弁する(S12)。減圧容器11の減圧を開始する(S13)。ステップS13ないしステップS17は、上述のステップS3ないしステップ7と同じであるため、説明を省略する。   The controller 39 opens the container warming valve 22 (S11). The exhaust intake valve is closed (S12). The decompression of the decompression vessel 11 is started (S13). Steps S13 to S17 are the same as steps S3 to S7 described above, and a description thereof will be omitted.

ステップ3ないしステップ5において、蒸発潜熱を奪われることによって乾燥対象物5の表面温度が低下した結果、乾燥対象物5の表面上に洗浄液が残留する場合がある。減圧ポンプ17の排気を乾燥対象物5に吹き付けることによって、乾燥対象物5の表面と導入された排気との熱交換が促進され、乾燥対象物5の温度が速やかに上昇する。このため、ステップ13ないしステップS17において再度減圧乾燥を行うときに、先の減圧乾燥操作において乾燥対象物5上に残留した洗浄液が、加えられた熱を利用して沸騰、蒸発できる。   In step 3 to step 5, the cleaning liquid may remain on the surface of the drying object 5 as a result of the surface temperature of the drying object 5 being lowered due to the removal of latent heat of evaporation. By blowing the exhaust of the decompression pump 17 onto the drying object 5, heat exchange between the surface of the drying object 5 and the introduced exhaust is promoted, and the temperature of the drying object 5 quickly increases. For this reason, when the reduced-pressure drying is performed again in step 13 to step S17, the cleaning liquid remaining on the drying object 5 in the previous reduced-pressure drying operation can boil and evaporate using the applied heat.

コントローラ39は、シャッタ27を開ける(S18)。   The controller 39 opens the shutter 27 (S18).

(第2実施形態)
図4に従って、第2実施形態の減圧乾燥機50について説明する。本実施形態の減圧乾燥機50は、外部遮断弁253が減圧破壊弁であり減圧容器11からの排気を想定していない点、および加温排気弁51を備えている点が大きく異なる。以下、減圧乾燥機50の内、第1実施形態の減圧乾燥機10と異なる点について主に説明する。第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。
(Second Embodiment)
The vacuum dryer 50 according to the second embodiment will be described with reference to FIG. The vacuum dryer 50 of the present embodiment is greatly different in that the external shut-off valve 253 is a vacuum breaker valve and does not assume exhaust from the decompression vessel 11, and the heating exhaust valve 51 is provided. Hereinafter, the difference between the vacuum dryer 50 and the vacuum dryer 10 of the first embodiment will be mainly described. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

外部遮断弁253は、外部に開放する流入ポート255と、外部接続口116に連通する流出ポート254と、を備える2ポート電磁弁である。流入ポート255には、フィルタ55が設けられている。   The external shut-off valve 253 is a two-port solenoid valve including an inflow port 255 that opens to the outside and an outflow port 254 that communicates with the external connection port 116. A filter 55 is provided at the inflow port 255.

減圧容器11は、更に加温排気口117を備える。加温排気口117には、加温排気弁51が設けられている。加温排気弁51は、大気に開放している流出ポート53と、加温排気口117に連通する流入ポート52を備える2ポート電磁弁である。加温排気口117および加温排気弁51は、外部接続口116及び外部遮断弁253よりも大径の口径となっている。   The decompression vessel 11 further includes a heated exhaust port 117. A heating exhaust valve 51 is provided at the heating exhaust port 117. The warming exhaust valve 51 is a two-port solenoid valve that includes an outflow port 53 that is open to the atmosphere and an inflow port 52 that communicates with the warming exhaust port 117. The warming exhaust port 117 and the warming exhaust valve 51 have a larger diameter than the external connection port 116 and the external shutoff valve 253.

外部遮断弁253及び加温排気弁51は、コントローラ39によって制御される。   The external shutoff valve 253 and the warming exhaust valve 51 are controlled by the controller 39.

外部遮断弁である減圧破壊弁253は、外気を導入する方向の流量を規制するいわゆる真空破壊弁であり、減圧容器11の大気開放用途に使用する。減圧破壊弁253の開口は、減圧容器11が減圧状態を脱するときの圧力上昇速度を制限する。減圧破壊弁253が、減圧容器11内の圧力の急激な上昇を抑えることで、外気が急激に減圧容器11内に流れ込み、乾燥対象物が破損することを防止する。減圧破壊弁253は有効断面積が広すぎない方が良い。   The decompression break valve 253 that is an external shut-off valve is a so-called vacuum break valve that regulates the flow rate in the direction in which outside air is introduced, and is used for opening the decompression container 11 to the atmosphere. The opening of the depressurization destruction valve 253 limits the pressure increase rate when the depressurization container 11 leaves the depressurized state. The decompression destruction valve 253 suppresses a rapid increase in the pressure in the decompression vessel 11, thereby preventing the outside air from suddenly flowing into the decompression vessel 11 and damaging the drying target. The decompression / breakdown valve 253 should not have an effective area that is too wide.

他方、加温排気弁51は、排気取り入れ口112から取り入れた排気を排出する用途にのみ使用する。減圧ポンプ17の排気は非常に低いため、加温排気弁51の有効断面積が狭いと、圧力損失により流速が低下する場合がある。   On the other hand, the warming exhaust valve 51 is used only for the purpose of exhausting the exhaust taken in from the exhaust intake 112. Since the exhaust pressure of the decompression pump 17 is very low, if the effective sectional area of the warming exhaust valve 51 is narrow, the flow rate may decrease due to pressure loss.

すなわち、排気ポンプ17の排気特性、減圧容器11の容積等に応じて、排気吐出しと、減圧破壊とで適切な有効断面積が異なる場合がある。本実施形態の減圧乾燥機50によれば、加温排気弁51と減圧破壊弁253とを別々に設けたため、それぞれの弁を適切な開度で設計できる。   In other words, depending on the exhaust characteristics of the exhaust pump 17 and the volume of the decompression vessel 11, an appropriate effective cross-sectional area may differ between exhaust discharge and decompression failure. According to the vacuum dryer 50 of the present embodiment, since the warming exhaust valve 51 and the vacuum breaker valve 253 are provided separately, each valve can be designed with an appropriate opening degree.

図5は、減圧乾燥機50の運転手順の一例を示す。ステップS1ないしステップS6までは、第1実施形態と同様である。外部遮断弁である減圧破壊弁253を開弁する(S6)と、減圧容器11内へ外気が流入する。圧力スイッチ27は、減圧容器11内の圧力が大気圧付近にまで上昇すると、コントローラ39に圧力到達信号を発信する(S51)。圧力到達信号を受けて、コントローラ39は、外部遮断弁253を閉弁する(S52)。コントローラ39は、引続き加温排気弁51を開弁し(S53)、以後、第1実施形態と同様にステップS7〜ステップS18を実行する。   FIG. 5 shows an example of the operation procedure of the vacuum dryer 50. Steps S1 to S6 are the same as in the first embodiment. When the decompression destruction valve 253 which is an external shut-off valve is opened (S6), outside air flows into the decompression vessel 11. When the pressure in the decompression vessel 11 rises to near atmospheric pressure, the pressure switch 27 transmits a pressure arrival signal to the controller 39 (S51). In response to the pressure arrival signal, the controller 39 closes the external shutoff valve 253 (S52). The controller 39 continues to open the warming exhaust valve 51 (S53), and thereafter executes steps S7 to S18 as in the first embodiment.

なお、ステップS52とステップS53の順序を入れ替え、又は同時に実施しても良い。   Note that the order of step S52 and step S53 may be interchanged, or may be performed simultaneously.

また、外部遮断弁253を閉弁するタイミングを、減圧容器11内の圧力到達を条件とすること(S51)に替えて、外部遮断弁253の開弁後、一定の時間経過後に変更できる。このときは、あらかじめ圧力上昇具合を確認しておき、減圧容器11内の圧力が大気圧付近になるまでの時間を、前記一定の時間として利用できる。   Further, the timing for closing the external shut-off valve 253 can be changed after a certain period of time has elapsed after the external shut-off valve 253 is opened, instead of being conditional on reaching the pressure in the decompression vessel 11 (S51). At this time, the degree of pressure increase is confirmed in advance, and the time until the pressure in the decompression vessel 11 becomes close to atmospheric pressure can be used as the predetermined time.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、前記した実施形態に限定されず、適宜変形して実施することが可能である。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to above-described embodiment, It can change and implement suitably.

10、50 減圧乾燥機
11 減圧容器
111 減圧排気口
112 排気取り入れ口
116 外部接続口
117 加温排気口
12 吸気切り換え装置
13 減圧排気弁
14 外気吸入弁
141 外気吸入口
17 減圧ポンプ
19 フィルタ
20 加温装置
200 排気切り換え手段
201 排気流入ポート
21 排気取り入れ弁(排気切り換え手段)
212 対象物加温用排出ポート
22 容器加温弁(排気切り換え手段)
222 容器加温用排出ポート
23 開口
25、253 外部遮断弁
251 第1のポート
252 第2のポート
321 第1の流出口
322 第2の流出口
37 噴口
39 コントローラ
5 乾燥対象物
51 加温排気弁
52 流入ポート
53 流出ポート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 50 Vacuum dryer 11 Depressurization container 111 Depressurization exhaust port 112 Exhaust intake port 116 External connection port 117 Heating exhaust port 12 Intake switching device 13 Depressurization exhaust valve 14 Outside air suction valve 141 Outside air suction port 17 Decompression pump 19 Filter 20 Warming Device 200 Exhaust gas switching means 201 Exhaust gas inflow port 21 Exhaust intake valve (exhaust gas switching means)
212 Exhaust port for object heating 22 Container heating valve (exhaust switching means)
222 Container heating discharge port 23 Opening 25, 253 External shut-off valve 251 First port 252 Second port 321 First outlet 322 Second outlet 37 Injection hole 39 Controller 5 Drying object 51 Heating exhaust valve 52 Inflow port 53 Outflow port

Claims (9)

減圧乾燥機であって、
乾燥対象物が投入される減圧容器と、
前記減圧容器に設けられ、前記減圧容器から空気及び蒸気を排気する減圧排気口と、
前記減圧容器に設けられた排気取り入れ口と、
前記減圧排気口と連通するポンプ吸気口、及びポンプ排気口を備え、前記減圧容器内を減圧する減圧ポンプと、
前記排気取り入れ口と連通する対象物加温用排出ポートと、前記ポンプ排気口と連通する排気流入ポートと、前記対象物加温用排出ポートと前記排気流入ポートとを連通状態と遮断状態とに切り換える排気切り換え手段と、を備える加温装置と、
前記減圧容器に設けられた外部接続口と、
前記外部接続口に連通する第1のポートと、前記減圧容器の外部に開口する第2のポートとを備え、前記外部接続口と外気との連通を許容または遮断する外部遮断弁と、
動作を制御するコントローラと、を備える減圧乾燥機。
A vacuum dryer,
A decompression container into which an object to be dried is charged;
A vacuum exhaust port provided in the vacuum container and exhausting air and steam from the vacuum container;
An exhaust inlet provided in the decompression vessel;
A pump suction port communicating with the decompression exhaust port, and a pump exhaust port, and a decompression pump for decompressing the interior of the decompression vessel;
The object heating discharge port communicating with the exhaust intake port, the exhaust inflow port communicating with the pump exhaust port, the object heating discharge port, and the exhaust inflow port in a communication state and a cutoff state. An exhaust gas switching means for switching, and a heating device comprising:
An external connection port provided in the decompression vessel;
An external shut-off valve comprising a first port communicating with the external connection port and a second port opening to the outside of the decompression vessel, and allowing or blocking communication between the external connection port and outside air;
A vacuum dryer comprising: a controller for controlling operation;
請求項1に記載の減圧乾燥機であって、前記減圧容器内に配設され、前記排気取り入れ口と連通し、前記乾燥対象物に対向する噴口を、更に備える減圧乾燥機。   2. The vacuum dryer according to claim 1, further comprising a nozzle that is disposed in the vacuum container, communicates with the exhaust intake port, and faces the object to be dried. 請求項1又は請求項2に記載の減圧乾燥機であって、
前記ポンプ排気口と連通し、前記減圧容器外面に対向する開口を備える容器加温配管を更に備え、
前記加温装置は、前記容器加温配管と連通する容器加温用排出ポートを有し、
前記排気切り換え手段は、前記対象物加温用排出ポートおよび前記容器加温用排出ポートのうち前記コントローラによって選択された所定の一方と前記排気流入ポートとを連通を許容し、他方と前記排気流入ポートとの連通を遮断する減圧乾燥機。
The vacuum dryer according to claim 1 or 2,
A container heating pipe that communicates with the pump exhaust port and includes an opening facing the outer surface of the decompression container;
The heating device has a container heating discharge port communicating with the container heating pipe,
The exhaust gas switching means allows communication between a predetermined one selected by the controller from the object warming discharge port and the container warming discharge port and the exhaust inflow port, and the other and the exhaust inflow port. A vacuum dryer that cuts off communication with the port.
請求項3に記載の減圧乾燥機であって、
前記加温装置は、
一端が前記排気流入ポートと連通し、他端が2つの流出口とをもつ分岐管を有し、
前記排気切り換え手段は、
前記分岐管の一方の流出口と、前記対象物加温用排出ポートとを、連通状態と遮断状態とに切り換える排気取り入れ弁と、
前記分岐管の他方の流出口と、前記容器加温用排出ポートとを、連通状態と遮断状態とに切り換える容器加温弁と、を備える減圧乾燥機。
A vacuum dryer according to claim 3,
The heating device is
A branch pipe having one end communicating with the exhaust inflow port and the other end having two outlets;
The exhaust gas switching means is
An exhaust intake valve that switches between one outlet of the branch pipe and the discharge port for heating the object between a communication state and a cutoff state;
A vacuum dryer comprising: a container heating valve that switches the other outlet of the branch pipe and the container heating discharge port between a communication state and a shut-off state.
請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の減圧乾燥機であって、
前記減圧排気口、および外部へ開放された外気吸入口のうち前記コントローラによって選択された所定の一方と前記ポンプ吸気口との連通を許容し、他方と前記ポンプ吸気口とを連通を遮断する吸気切り換え装置を、更に備える減圧乾燥機。
The vacuum dryer according to any one of claims 1 to 4,
Among the decompression exhaust port and the outside air intake port opened to the outside, intake air that allows communication between the predetermined one selected by the controller and the pump intake port and blocks communication between the other and the pump intake port A vacuum dryer further comprising a switching device.
請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の減圧乾燥機であって、
前記外部遮断弁は、外気を導入する方向の流量を規制する減圧破壊弁であり、
前記排気取り入れ口から前記減圧容器に導入された前記減圧ポンプからの排気を排出する加温排気口と、前記加温排気口に連通する流入ポートと、減圧容器外部に解放された流出ポートとを備える加温排気弁を更に備える減圧乾燥機。
A vacuum dryer according to any one of claims 1 to 5,
The external shut-off valve is a decompression destruction valve that regulates the flow rate in the direction of introducing outside air,
A heating exhaust port for discharging exhaust from the decompression pump introduced into the decompression vessel from the exhaust intake port, an inflow port communicating with the heating exhaust port, and an outflow port released to the outside of the decompression vessel A vacuum dryer further comprising a heated exhaust valve.
請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の減圧乾燥機であって、
前記排気取り入れ口と前記ポンプ排気口との中間に設けられるフィルタを、
更に備える減圧乾燥機。
The vacuum dryer according to any one of claims 1 to 6,
A filter provided between the exhaust intake port and the pump exhaust port;
A vacuum dryer further provided.
乾燥対象物の乾燥方法であって、
乾燥対象物を投入された減圧容器を密閉するステップと、
減圧ポンプによって前記減圧容器内を減圧するステップと、
前記減圧容器の密閉状態を破壊するステップと、
前記減圧容器と前記減圧ポンプの吸入口との連通状態を遮閉し、前記減圧ポンプが前記吸入口から外気を吸い込むステップと、
前記外気を吸い込むステップによって吸い込んだ外気を前記減圧容器に導入して前記乾燥対象物を加温し、同時に前記減圧容器から排気する排気取り入れステップと、
を含む乾燥対象物の乾燥方法。
A method for drying an object to be dried,
Sealing the vacuum container filled with the dry object;
Depressurizing the interior of the decompression vessel with a decompression pump;
Breaking the sealed state of the vacuum vessel;
Shutting off the communication state between the decompression container and the suction port of the decompression pump, and the decompression pump sucks outside air from the suction port;
Exhaust air intake step of introducing the outside air sucked in the step of sucking the outside air into the decompression container to heat the drying object and simultaneously exhausting from the decompression container;
A method for drying an object to be dried.
請求項8に記載の乾燥方法であって、上記排気取り入れステップの後に更に、
前記減圧容器内を密閉するステップと、
前記減圧容器内を減圧するステップと、
を含む乾燥対象物の乾燥方法。
9. The drying method according to claim 8, further comprising after the exhaust intake step.
Sealing the inside of the vacuum vessel;
Reducing the pressure in the vacuum container;
A method for drying an object to be dried.
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