JP2017067684A - Foreign matter inspection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a foreign matter inspection device that can achieve facilitation of maintenance of a metal detection unit such as an attachment/detachment of the metal detection unit with respect to a device.SOLUTION: A foreign matter inspection device 1 comprises: a conveyer 10; an X-ray inspection unit 2; a metal detection unit 3; and housing 4. In the housing 4, a lower part door 41 and a rear surface lower part door 45 are provided that open and close the housing 4. The lower part door 41 is arranged on one side in a horizontal direction vertical to a conveyance direction of an inspected object S by the conveyer 10, and is configured to cause at least the metal detection unit 3 to be externally exposed when opened. The rear surface lower part door 45 is arranged on other side in the horizontal direction vertical to the conveyance direction of the inspected object S by the conveyer 10, and is configured to cause at least the metal detection unit 3 to be externally exposed when opened.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、異物検査装置に関する。   The present invention relates to a foreign matter inspection apparatus.

特許文献1には、X線の透過性を利用して被検査物に含まれる異物を検出するX線検査と、磁界と金属との相互作用を利用して被検査物に含まれる異物を検出する金属検出との両方を行うことができる異物検査装置が記載されている。   In Patent Document 1, X-ray inspection for detecting foreign matter contained in an object to be inspected using X-ray permeability and foreign matter contained in the object to be inspected using an interaction between a magnetic field and a metal are disclosed. A foreign substance inspection apparatus capable of performing both of metal detection and the detection is described.

特開2015−28465号公報JP 2015-28465 A

上述したような異物検査装置では、X線の外部漏洩を抑制する筐体の内部に、X線検査部と共に金属検出部を収容する必要がある。ただし、金属検出部が筐体の内部に収容されていると、例えば金属検出部はX線検査部よりも重いのが通常であるため、装置に対する金属検出部の着脱等、金属検出部のメンテナンスが困難になる。   In the foreign substance inspection apparatus as described above, it is necessary to house the metal detection unit together with the X-ray inspection unit inside the housing that suppresses external leakage of X-rays. However, if the metal detection unit is housed inside the housing, for example, the metal detection unit is usually heavier than the X-ray inspection unit, so maintenance of the metal detection unit such as attachment / detachment of the metal detection unit to / from the apparatus is possible. Becomes difficult.

そこで、本発明は、装置に対する金属検出部の着脱等、金属検出部のメンテナンスの容易化を図ることができる異物検査装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a foreign object inspection apparatus capable of facilitating maintenance of a metal detection unit such as attachment / detachment of a metal detection unit to / from the apparatus.

本発明の異物検査装置は、被検査物を搬送する搬送部と、X線の透過性を利用して、搬送部で搬送されている被検査物に含まれる異物を検出するX線検査部と、磁界と金属との相互作用を利用して、搬送部で搬送されている被検査物に含まれる異物を検出する金属検出部と、搬送部の少なくとも一部、X線検査部、及び金属検出部を内部に収容し、X線検査部のX線の外部漏洩を抑制する筐体と、を備え、筐体には、当該筐体を開閉する第1扉部及び第2扉部が設けられており、第1扉部は、搬送部による被検査物の搬送方向に垂直な所定方向における一方の側に配置され、開けられた際に少なくとも金属検出部を外部に露出させ、第2扉部は、搬送部による被検査物の搬送方向に垂直な所定方向における他方の側に配置され、開けられた際に少なくとも金属検出部を外部に露出させる。   A foreign matter inspection apparatus according to the present invention includes a transport unit that transports an object to be inspected, an X-ray inspection unit that detects foreign matter contained in the test object being transported by the transport unit using X-ray transparency, and , A metal detection unit for detecting foreign matter contained in the object being transported by the transport unit using the interaction between the magnetic field and the metal, at least a part of the transport unit, an X-ray inspection unit, and metal detection And a housing that suppresses external leakage of X-rays of the X-ray inspection unit. The housing includes a first door portion and a second door portion that open and close the housing. The first door part is disposed on one side in a predetermined direction perpendicular to the conveyance direction of the inspection object by the conveyance part, and when opened, at least the metal detection part is exposed to the outside, and the second door part Is placed on the other side in a predetermined direction perpendicular to the conveyance direction of the object to be inspected by the conveyance unit and opened. Exposing at least a metal detection unit to the outside.

この異物検査装置では、第1扉部及び第2扉部を開けることで、搬送方向に垂直な所定方向における一方の側及び他方の側の両側から金属検出部にアクセスすることができる。よって、この異物検査装置によれば、装置に対する金属検出部の着脱等、金属検出部のメンテナンスの容易化を図ることが可能となる。   In this foreign matter inspection apparatus, by opening the first door portion and the second door portion, the metal detector can be accessed from both sides on one side and the other side in a predetermined direction perpendicular to the transport direction. Therefore, according to this foreign substance inspection device, it is possible to facilitate maintenance of the metal detection unit, such as attachment / detachment of the metal detection unit to / from the device.

本発明の異物検査装置では、所定方向は、搬送部による被検査物の搬送方向に垂直な水平方向であってもよい。これにより、装置に対する金属検出部の着脱等、金属検出部のメンテナンスの更なる容易化を図ることが可能となる。   In the foreign matter inspection apparatus of the present invention, the predetermined direction may be a horizontal direction perpendicular to the direction in which the inspection object is conveyed by the conveyance unit. Thereby, it becomes possible to further facilitate the maintenance of the metal detection unit such as the attachment / detachment of the metal detection unit to / from the apparatus.

本発明の異物検査装置では、第1扉部及び第2扉部のそれぞれは、開けられた際に搬送部の一部を外部に露出させてもよい。これにより、搬送方向に垂直な所定方向における一方の側及び他方の側の両側から搬送部の一部にアクセスすることができるので、搬送部の清掃等、搬送部のメンテナンスの容易化を図ることが可能となる。   In the foreign matter inspection apparatus of the present invention, each of the first door part and the second door part may expose a part of the transport part to the outside when opened. This makes it possible to access a part of the transport unit from one side and the other side in a predetermined direction perpendicular to the transport direction, thereby facilitating the maintenance of the transport unit, such as cleaning the transport unit. Is possible.

本発明の異物検査装置では、第1扉部及び第2扉部のそれぞれは、X線検査部及び金属検出部の電装部品の遮蔽状態を維持しつつ開閉可能であってもよい。これにより、電装部品を保護しつつ金属検出部のメンテナンスを実施することができる。   In the foreign matter inspection apparatus of the present invention, each of the first door portion and the second door portion may be openable and closable while maintaining the shielding state of the electrical components of the X-ray inspection portion and the metal detection portion. Thereby, maintenance of a metal detection part can be implemented, protecting an electrical component.

本発明によれば、装置に対する金属検出部の着脱等、金属検出部のメンテナンスの容易化を図ることができる異物検査装置を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the foreign material inspection apparatus which can aim at the easy maintenance of a metal detection part, such as attachment or detachment of a metal detection part with respect to an apparatus.

実施形態に係る異物検査装置の正面図である。It is a front view of the foreign material inspection apparatus which concerns on embodiment. 図1に示される異物検査装置の内部構成及び制御系を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining the internal structure and control system of the foreign material inspection apparatus shown by FIG. 図2のX線検査部及び金属検出部の主要構成の説明図である。It is explanatory drawing of the main structures of the X-ray inspection part and metal detection part of FIG. 図2のX線検査部及び金属検出部の主要構成の斜視図である。It is a perspective view of the main structures of the X-ray inspection part and metal detection part of FIG. 下部扉及び後面下部扉が開けられた状態での異物検査装置の(a)正面図及び(b)背面図である。It is the (a) front view and (b) back view of a foreign material inspection apparatus in the state where the lower door and the rear lower door were opened.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, the same or equivalent elements will be denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

図1は実施形態に係る異物検査装置1の正面図である。図1に示される異物検査装置1は、被検査物に含まれる異物を検出する装置である。被検査物は例えば食品である。異物検査装置1は、その内部において被検査物を搬送しつつX線検査及び金属検出を行い、被検査物に異物が含まれるか否かを検査する。   FIG. 1 is a front view of a foreign matter inspection apparatus 1 according to an embodiment. A foreign matter inspection device 1 shown in FIG. 1 is a device that detects foreign matter contained in an inspection object. The inspected object is, for example, food. The foreign object inspection apparatus 1 performs X-ray inspection and metal detection while conveying the inspection object in the interior thereof, and inspects whether or not the inspection object contains foreign objects.

X線検査は、X線の透過性を利用して被検査物に含まれる異物を検出する手法であり、X線検査部2(図2参照)によって実現される。X線検査では、被検査物とは異なるX線透過性を有する異物を検出することができる。一方、金属検出は、磁界と金属との相互作用を利用して被検査物に含まれる異物を検出する手法であり、金属検出部3(図2参照)によって実現される。金属検出では金属異物を検出することができる。X線検査部2及び金属検出部3の詳細については後述する。   X-ray inspection is a technique for detecting foreign matter contained in an object to be inspected using X-ray transparency, and is realized by the X-ray inspection unit 2 (see FIG. 2). In the X-ray inspection, it is possible to detect a foreign substance having X-ray permeability different from that of the inspection object. On the other hand, metal detection is a technique for detecting a foreign substance contained in an inspection object using an interaction between a magnetic field and metal, and is realized by the metal detection unit 3 (see FIG. 2). In metal detection, a metal foreign object can be detected. Details of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 will be described later.

異物検査装置1は、その内部に空間が画成された筐体4を有する。筐体4は、X線検査部2及び金属検出部3を内部に収容する。筐体4は、X線検査部2により発生されるX線を遮蔽し、X線の外部漏洩を抑制する。筐体4は、例えばステンレスなどで形成される。   The foreign matter inspection apparatus 1 has a housing 4 in which a space is defined. The housing 4 accommodates the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 therein. The housing 4 shields X-rays generated by the X-ray inspection unit 2 and suppresses external leakage of X-rays. The housing 4 is made of, for example, stainless steel.

筐体4は、本実施形態では箱状を呈している。筐体4の左側面には、筐体4の内部に連通する開口部4aが形成されている。同様に、筐体4の右側面には、筐体4の内部に連通する開口部4bが形成されている。本実施形態では、被検査物は、開口部4aから筐体4の内部へ搬入されて検査が行われ、開口部4bから筐体4の外部へ搬出される。つまり、開口部4aが被検査物の搬入口、開口部4bが被検査物の搬出口となる。   The housing 4 has a box shape in this embodiment. An opening 4 a that communicates with the inside of the housing 4 is formed on the left side surface of the housing 4. Similarly, an opening 4 b that communicates with the inside of the housing 4 is formed on the right side surface of the housing 4. In the present embodiment, the object to be inspected is carried into the inside of the housing 4 from the opening 4a and inspected, and is carried out of the housing 4 through the opening 4b. That is, the opening 4a serves as an inspection object carry-in port, and the opening 4b serves as an inspection object carry-out port.

筐体4の前面には、筐体4を開閉する上部扉40及び下部扉(第1扉部)41が設けられている。上部扉40及び下部扉41は、例えば開き戸構造である。上部扉40又は下部扉41が開閉されることで、後述するX線検査部2及び金属検出部3の少なくとも一部が外部に露出される。上部扉40及び下部扉41は、例えばステンレスなどで形成される。   On the front surface of the housing 4, an upper door 40 and a lower door (first door portion) 41 that open and close the housing 4 are provided. The upper door 40 and the lower door 41 have a hinged door structure, for example. By opening or closing the upper door 40 or the lower door 41, at least a part of an X-ray inspection unit 2 and a metal detection unit 3 described later are exposed to the outside. The upper door 40 and the lower door 41 are made of, for example, stainless steel.

上部扉40の前面には、ディスプレイ5及び操作スイッチ6が設けられている。ディスプレイ5は、表示機能と入力機能を兼ね備えた表示装置であり、例えばタッチパネルである。ディスプレイ5は、X線検査及び金属検出の結果などを表示するとともに、金属検出及びX線検査に関する各種パラメータの設定を行う操作画面を表示する。操作スイッチ6は、X線検査部2及び金属検出部3の電源スイッチなどである。   A display 5 and operation switches 6 are provided on the front surface of the upper door 40. The display 5 is a display device having both a display function and an input function, and is, for example, a touch panel. The display 5 displays the result of X-ray inspection and metal detection, and also displays an operation screen for setting various parameters related to metal detection and X-ray inspection. The operation switch 6 is a power switch for the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3.

筐体4は、支持台7によって支持されている。筐体4の上面には、報知部8及びクーラー9が設けられている。報知部8は、異物混入や機器の作動状態を報知する。報知部8は、X線検査部2に対応する第1報知器81、及び金属検出部3に対応する第2報知器82を備えている。クーラー9は、筐体4の内部に冷気を送り、筐体4の内部に配置された機器の温度を調整する。   The housing 4 is supported by a support base 7. A notification unit 8 and a cooler 9 are provided on the upper surface of the housing 4. The notification unit 8 notifies of foreign matter contamination and the operating state of the device. The notification unit 8 includes a first notification device 81 corresponding to the X-ray inspection unit 2 and a second notification device 82 corresponding to the metal detection unit 3. The cooler 9 sends cool air to the inside of the housing 4 and adjusts the temperature of the devices arranged inside the housing 4.

図2は、図1に示される異物検査装置1の内部構成及び制御系を説明する概念図である。図2に示されるように、筐体4の内部は、後述するX線発生器の一部や構成要素の制御基板などが配置される基板室T1と、被検査物Sが搬入されて検査が行われる検査室T2とに区画されている。基板室T1は、上述したクーラー9によって温度調整されている。   FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating the internal configuration and control system of the foreign matter inspection apparatus 1 shown in FIG. As shown in FIG. 2, the inside of the housing 4 is inspected with a substrate chamber T <b> 1 in which a part of an X-ray generator to be described later and a control board of a component are arranged, and an object S to be inspected. It is divided into the inspection room T2 to be performed. The temperature of the substrate chamber T1 is adjusted by the cooler 9 described above.

検査室T2には、被検査物Sを搬送するコンベヤ(搬送部)10が配置されている。コンベヤ10は、本実施形態ではローラ式のベルトコンベヤであり、一端部が開口部4aに位置し且つ他端部が開口部4bに位置した状態で、筐体4の内部を水平方向に延在している。つまり、筐体4は、コンベヤ10のうち一端部及び他端部を除く部分を内部に収容している。本実施形態のコンベヤ10は、開口部4aを介して被検査物Sを筐体4の内部に搬入し、開口部4bを介して被検査物Sを筐体4の外部に搬出する。   In the inspection room T2, a conveyor (conveying unit) 10 that conveys the inspection object S is disposed. The conveyor 10 is a roller belt conveyor in the present embodiment, and extends in the horizontal direction inside the housing 4 with one end located in the opening 4a and the other end located in the opening 4b. doing. That is, the housing | casing 4 has accommodated the part except the one end part and other end part among the conveyors 10 inside. The conveyor 10 according to the present embodiment carries the inspection object S into the housing 4 through the opening 4a and carries the inspection object S out of the housing 4 through the opening 4b.

開口部4aには、X線遮蔽カーテン42が配置されている。同様に、開口部4bには、X線遮蔽カーテン43が配置されている。X線遮蔽カーテン42,43は、上端が筐体4に対する固定端であり且つ下端が自由端である。X線遮蔽カーテン42,43は、X線検査部2が発生したX線を遮蔽し、X線の外部漏洩を抑制する。X線遮蔽カーテン42,43は、例えばタングステンを含有する可撓性材料などにより形成される。なお、被検査物Sの搬入及び搬出を自動化すべく、コンベヤ10の右側に搬入用コンベヤ11を配置し、コンベヤ10の左側に搬出用コンベヤ12を配置してもよい。また、搬出用コンベヤ12が、被検査物Sの振分機能を備えていてもよい。   An X-ray shielding curtain 42 is disposed in the opening 4a. Similarly, an X-ray shielding curtain 43 is disposed in the opening 4b. The X-ray shielding curtains 42 and 43 have upper ends that are fixed to the housing 4 and lower ends that are free ends. The X-ray shielding curtains 42 and 43 shield X-rays generated by the X-ray inspection unit 2 and suppress external leakage of X-rays. The X-ray shielding curtains 42 and 43 are made of, for example, a flexible material containing tungsten. In order to automate the loading and unloading of the inspection object S, the loading conveyor 11 may be disposed on the right side of the conveyor 10 and the unloading conveyor 12 may be disposed on the left side of the conveyor 10. Further, the carry-out conveyor 12 may have a function of distributing the inspection object S.

検査室T2には、被検査物Sを通過させるための貫通穴31aが形成された環状体のケース31が配置されている。コンベヤ10は、貫通穴31aを介してケース31を貫通している。被検査物Sは、コンベヤ10によってケース31の貫通穴31aを通過し、ケース31においてX線検査及び金属検出が順次実行される。ケース31は、例えばステンレスなどで形成される。   In the inspection chamber T2, an annular case 31 having a through hole 31a for allowing the inspection object S to pass therethrough is disposed. The conveyor 10 penetrates the case 31 through the through hole 31a. The inspection object S passes through the through hole 31 a of the case 31 by the conveyor 10, and X-ray inspection and metal detection are sequentially performed in the case 31. The case 31 is made of, for example, stainless steel.

最初に、X線検査を行うX線検査部2について説明する。X線検査部2は、X線検査制御部20、X線発生器21、及びX線検出器22を備える。X線発生器21は、X線を発生するX線源、及びスリット機構を含む。X線検出器22は、X線発生器21で発生したX線を検出する。X線発生器21及びX線検出器22は、コンベヤ10及びケース31を上下方向から挟むように対向配置されている。なお、X線発生器21のうち、X線源などは基板室T1に配置され、X線を照射する機構が検査室T2に配置されている。X線検出器22としては、例えば複数のX線検出センサを前後方向に沿って並設したラインセンサが用いられる。X線検出器22は、X線漏洩を低減させるために、基板ケース23に収容されている。基板ケース23には、X線検出器22へX線を到達させるために、スリット23a(図4参照)が設けられている。   First, the X-ray inspection unit 2 that performs X-ray inspection will be described. The X-ray inspection unit 2 includes an X-ray inspection control unit 20, an X-ray generator 21, and an X-ray detector 22. The X-ray generator 21 includes an X-ray source that generates X-rays and a slit mechanism. The X-ray detector 22 detects X-rays generated by the X-ray generator 21. The X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 are arranged so as to face each other so as to sandwich the conveyor 10 and the case 31 from above and below. In the X-ray generator 21, an X-ray source and the like are disposed in the substrate chamber T1, and a mechanism for irradiating X-rays is disposed in the examination chamber T2. As the X-ray detector 22, for example, a line sensor in which a plurality of X-ray detection sensors are arranged in parallel in the front-rear direction is used. The X-ray detector 22 is accommodated in the substrate case 23 in order to reduce X-ray leakage. The substrate case 23 is provided with a slit 23a (see FIG. 4) in order to allow X-rays to reach the X-ray detector 22.

X線検査制御部20は、外部との信号の入出力などを行う入出力インターフェースI/O、処理を行うためのプログラムおよび情報などが記憶されたROM(Read Only Memory)、データを一時的に記憶するRAM(RandomAccess Memory)、HDD(Hard Disk Drive)などの記憶媒体、CPU(Central Processing Unit)、及び通信回路などを有する。X線検査制御部20は、CPUが出力する信号に基づいて、入力データをRAMに記憶し、ROMに記憶されているプログラムをRAMにロードし、RAMにロードされたプログラムを実行することで、後述する機能を実現する。   The X-ray inspection control unit 20 temporarily stores input / output interface I / O for inputting / outputting signals to / from the outside, a ROM (Read Only Memory) in which a program and information for performing processing, and the like are stored. It has a storage medium such as a RAM (Random Access Memory) and a HDD (Hard Disk Drive), a CPU (Central Processing Unit), a communication circuit, and the like. The X-ray inspection control unit 20 stores input data in the RAM based on a signal output from the CPU, loads a program stored in the ROM into the RAM, and executes the program loaded in the RAM. The functions described later are realized.

X線検査制御部20は、基板室T1に配置され、X線発生器21及びX線検出器22に接続されている。X線検査制御部20は、ディスプレイ5に接続され、操作画面を介して作業員から操作情報を受け付ける。X線検査制御部20は、操作情報に基づいてX線発生器21及びX線検出器22の動作プロファイルを設定するとともに、X線発生器21及びX線検出器22の動作を制御する。X線検査制御部20は、X線発生器21及びX線検出器22よりも上流側に配置されたレーザセンサ24を用いて被検査物Sを検出した場合、当該被検査物Sの検査を開始する。X線検査制御部20は、X線発生器21を制御して、コンベヤ10によって搬送されている被検査物SにX線を照射させる。X線検出器22は、被検査物Sを透過したX線のX線透過量を計測し、計測したX線透過量をX線検査制御部20へ出力する。   The X-ray inspection control unit 20 is disposed in the substrate chamber T <b> 1 and is connected to the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22. The X-ray inspection control unit 20 is connected to the display 5 and receives operation information from an operator via an operation screen. The X-ray inspection control unit 20 sets operation profiles of the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 based on the operation information, and controls operations of the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22. When the X-ray inspection control unit 20 detects the inspection object S using the laser sensor 24 disposed upstream of the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22, the X-ray inspection control unit 20 inspects the inspection object S. Start. The X-ray inspection control unit 20 controls the X-ray generator 21 to irradiate the inspection object S being conveyed by the conveyor 10 with X-rays. The X-ray detector 22 measures the X-ray transmission amount of X-rays that have passed through the inspection object S, and outputs the measured X-ray transmission amount to the X-ray inspection control unit 20.

X線検査制御部20は、時系列で取得したX線透過量を画素値に反映させたX線透過画像を生成する。そして、X線検査制御部20は、画像処理技術によりX線透過画像を解析して、異物を検出する。例えば、X線検査制御部20は、X線透過画像の画素値に基づいて、被検査物Sの基準透過率との差が所定値以上となる画像領域が存在するか否かを判定する。そして、X線検査制御部20は、被検査物Sの基準透過率との差が所定値以上となる画像領域が存在する場合には、異物を検出したと判定する。   The X-ray inspection control unit 20 generates an X-ray transmission image in which the X-ray transmission amount acquired in time series is reflected in the pixel value. Then, the X-ray inspection control unit 20 detects the foreign matter by analyzing the X-ray transmission image using an image processing technique. For example, the X-ray inspection control unit 20 determines whether there is an image region in which the difference from the reference transmittance of the inspection object S is a predetermined value or more based on the pixel value of the X-ray transmission image. The X-ray inspection control unit 20 determines that a foreign object has been detected when there is an image region in which the difference from the reference transmittance of the inspection object S is a predetermined value or more.

X線検査制御部20は、作業員からの要求に応じて、X線検査の結果データをディスプレイ5に表示させたり、記憶部に結果データを記憶したりする。また、X線検査制御部20は、X線発生器21及びX線検出器22が正常に作動している場合、第1報知器81を用いてX線検査に係る機器が作動中である旨を作業員に報知する。さらに、X線検査制御部20は、異物を検出したと判定した場合、第1報知器81を用いて異物を検知した旨を作業員に報知する。   The X-ray inspection control unit 20 displays the result data of the X-ray inspection on the display 5 or stores the result data in the storage unit in response to a request from the worker. Further, the X-ray inspection control unit 20 indicates that when the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 are operating normally, the device relating to the X-ray inspection is operating using the first alarm 81. To the workers. Further, when it is determined that a foreign object has been detected, the X-ray inspection control unit 20 notifies the worker that the foreign object has been detected using the first notification device 81.

図3は、図2のX線検査部2及び金属検出部3の主要構成の説明図である。図4は、図2のX線検査部2及び金属検出部3の主要構成の斜視図である。図3及び図4に示されるように、ケース31は、本体部32、第1フード部33、及び第2フード部34を有する。第1フード部33は、本体部32に対して開口部4a側(搬入口側)に設けられている。第2フード部34は、本体部32に対して開口部4b側(搬出口側)に設けられている。上述したケース31の貫通穴31aは、本体部32、第1フード部33、及び第2フード部34それぞれの内壁によって画成されている。   FIG. 3 is an explanatory diagram of the main components of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 of FIG. FIG. 4 is a perspective view of the main components of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 of FIG. As shown in FIGS. 3 and 4, the case 31 includes a main body portion 32, a first hood portion 33, and a second hood portion 34. The first hood portion 33 is provided on the opening 4 a side (loading side) with respect to the main body portion 32. The second hood part 34 is provided on the opening part 4 b side (the outlet side) with respect to the main body part 32. The through hole 31 a of the case 31 described above is defined by the inner walls of the main body portion 32, the first hood portion 33, and the second hood portion 34.

第1フード部33の上面には、X線を通過させるX線通過スリット33aがX線発生器21の下方に位置するように形成されている。第1フード部33の下面には、X線を通過させるX線通過スリット33bがX線通過スリット33aと対向するように形成されている。X線通過スリット33bの下方には、X線検出器22が配置される。このように構成することで、X線発生器21が発生したX線21aは、X線通過スリット33a,33bを通過し、ケース31の内部を搬送されている被検査物Sに照射される。なお、第1フード部33の側面において、X線通過スリット33a,33bよりも下流側(本体部32側)にはスリット33cが設けられている。スリット33cには、レーザセンサ38が配置される。レーザセンサ38は、スリット33cを介してコンベヤ10上の被検査物Sにレーザを照射する。   An X-ray passage slit 33 a that allows X-rays to pass is formed on the upper surface of the first hood portion 33 so as to be positioned below the X-ray generator 21. An X-ray passage slit 33b that allows X-rays to pass through is formed on the lower surface of the first hood portion 33 so as to face the X-ray passage slit 33a. The X-ray detector 22 is disposed below the X-ray passage slit 33b. With this configuration, the X-ray 21 a generated by the X-ray generator 21 passes through the X-ray passage slits 33 a and 33 b and is irradiated to the inspection object S being conveyed inside the case 31. In addition, on the side surface of the first hood portion 33, a slit 33c is provided on the downstream side (the main body portion 32 side) of the X-ray passage slits 33a and 33b. A laser sensor 38 is disposed in the slit 33c. The laser sensor 38 irradiates the inspection object S on the conveyor 10 with laser through the slit 33c.

次に、金属検出を行う金属検出部3について説明する。金属検出部3は、金属検出制御部30、サーチコイルである環状の送信コイル35、及びサーチコイルである環状の受信コイル36,37を備える。送信コイル35及び受信コイル36,37は、金属などの導電性材料で形成され、ケース31の本体部32の内部に配置されている。送信コイル35及び受信コイル36,37は、貫通穴31aの延在方向と同軸に配置されている。つまり、送信コイル35及び受信コイル36,37は、貫通穴31aを囲むように配置されている。これにより、被検査物Sは、コンベヤ10によって送信コイル35及び受信コイル36,37を通過する。   Next, the metal detection unit 3 that performs metal detection will be described. The metal detection unit 3 includes a metal detection control unit 30, an annular transmission coil 35 that is a search coil, and annular reception coils 36 and 37 that are search coils. The transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are formed of a conductive material such as metal and are disposed inside the main body 32 of the case 31. The transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are arranged coaxially with the extending direction of the through hole 31a. That is, the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are disposed so as to surround the through hole 31a. As a result, the inspection object S passes through the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 by the conveyor 10.

送信コイル35は、受信コイル36,37間に配置されている。受信コイル36,37は、互いに差動接続されるとともに送信コイル35に対して対称に配置されている。2つの受信コイル36,37は、同一の鎖交磁束を有する。送信コイル35は、通電可能に構成されており、磁束を発生する。受信コイル36,37それぞれには、送信コイル35が発生した磁界の電磁誘導によって電圧が励起する。なお、第1フード部33及び第2フード部34は、送信コイル35が発生した磁界の外部漏洩と外来磁界の進入を遮蔽する。   The transmission coil 35 is disposed between the reception coils 36 and 37. The receiving coils 36 and 37 are differentially connected to each other and arranged symmetrically with respect to the transmitting coil 35. The two receiving coils 36 and 37 have the same flux linkage. The transmission coil 35 is configured to be energized and generates magnetic flux. A voltage is excited in each of the receiving coils 36 and 37 by electromagnetic induction of a magnetic field generated by the transmitting coil 35. The first hood portion 33 and the second hood portion 34 shield external leakage of the magnetic field generated by the transmission coil 35 and entry of an external magnetic field.

金属検出制御部30は、外部との信号の入出力などを行う入出力インターフェースI/O、処理を行うためのプログラムおよび情報などが記憶されたROM、データを一時的に記憶するRAM、HDDなどの記憶媒体、CPU、及び通信回路などを有する。金属検出制御部30は、CPUが出力する信号に基づいて、入力データをRAMに記憶し、ROMに記憶されているプログラムをRAMにロードし、RAMにロードされたプログラムを実行することで、後述する機能を実現する。   The metal detection control unit 30 includes an input / output interface I / O for inputting / outputting signals from / to the outside, a ROM storing programs and information for processing, a RAM for temporarily storing data, an HDD, etc. Storage medium, CPU, and communication circuit. The metal detection control unit 30 stores input data in the RAM based on a signal output from the CPU, loads a program stored in the ROM into the RAM, and executes the program loaded into the RAM, which will be described later. Realize the function to do.

金属検出制御部30は、基板室T1に配置されるとともにX線検査制御部20に接続され、X線検査制御部20を介してディスプレイ5の操作画面に入力された作業員からの操作情報を受け付ける。金属検出制御部30は、操作情報に基づいて送信コイル35及び受信コイル36,37の動作プロファイルを設定する。金属検出制御部30は、送信コイル35及び受信コイル36,37よりも上流側に配置されたレーザセンサ38を用いて被検査物Sを検出した場合、当該被検査物Sの金属検出を開始する。   The metal detection control unit 30 is disposed in the substrate chamber T1 and connected to the X-ray inspection control unit 20, and receives operation information from the worker input to the operation screen of the display 5 via the X-ray inspection control unit 20. Accept. The metal detection control unit 30 sets operation profiles of the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 based on the operation information. When the metal detection control unit 30 detects the inspection object S using the laser sensor 38 disposed on the upstream side of the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37, the metal detection control unit 30 starts metal detection of the inspection object S. .

金属検出制御部30は、送信コイル35へ交番励磁電流を供給し、磁束を発生させる。送信コイル35によって発生された磁束は、2つの受信コイル36,37を貫通し、電磁誘導によって受信コイル36,37それぞれに電圧が励起される。金属検出制御部30は、受信コイル36,37の差動接続の出力電圧を取得して、金属検出の判定を行う。金属検出制御部30は、差動接続の出力電圧が0のときは、金属異物を検出していないと判定する。一方、金属検出制御部30は、差動接続の出力電圧が0でないときは、金属異物を検出したと判定する。   The metal detection control unit 30 supplies an alternating excitation current to the transmission coil 35 to generate a magnetic flux. The magnetic flux generated by the transmission coil 35 passes through the two reception coils 36 and 37, and a voltage is excited in each of the reception coils 36 and 37 by electromagnetic induction. The metal detection control unit 30 acquires the output voltage of the differential connection of the receiving coils 36 and 37 and determines metal detection. When the differential connection output voltage is 0, the metal detection control unit 30 determines that a metal foreign object is not detected. On the other hand, when the differential connection output voltage is not zero, the metal detection control unit 30 determines that a metal foreign object has been detected.

金属検出制御部30は、作業員からの要求に応じて、金属検出の結果データをディスプレイ5に表示させたり、記憶部に結果データを記憶したりする。また、金属検出制御部30は、送信コイル35及び受信コイル36,37が正常に作動している場合、第2報知器82を用いて金属検出に係る機器が作動中である旨を作業員に報知する。さらに、金属検出制御部30は、異物を検出したと判定した場合、第2報知器82を用いて異物を検知した旨を作業員に報知する。なお、ケース31は、耐振特性向上の目的で防振台39(防振台39a,39b)により保持されていてもよい。   The metal detection control unit 30 displays the metal detection result data on the display 5 or stores the result data in the storage unit in response to a request from the worker. In addition, when the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are operating normally, the metal detection control unit 30 informs the worker that the metal detection device is operating using the second alarm 82. Inform. Furthermore, when the metal detection control unit 30 determines that a foreign object has been detected, the metal detection control unit 30 notifies the worker that the foreign object has been detected using the second notification device 82. The case 31 may be held by a vibration isolation table 39 (anti-vibration tables 39a and 39b) for the purpose of improving the vibration resistance characteristics.

上述したX線検査部2及び金属検出部3は、それぞれ独立に作動可能に構成されている。つまり、異物検査装置1は、X線検査及び金属検出の両方を行うだけでなく、X線検査及び金属検出の何れか一方を実行することもできる。上述のとおり、本実施形態では、X線検査部2がディスプレイ5の表示制御を行うため、X線検査部2が停止している場合には、ディスプレイ5に金属検出部3の操作画面が表示されない。このため、筐体4の内部には、金属検出部3に接続されたサブディスプレイ(不図示)が配置されている。金属検出部3は、X線検査部2が停止している場合には、サブディスプレイを介して操作情報を受け付け、サブディスプレイに結果データなどを表示する。   The X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 described above are configured to be independently operable. That is, the foreign substance inspection apparatus 1 can perform not only both the X-ray inspection and the metal detection but also any one of the X-ray inspection and the metal detection. As described above, in the present embodiment, since the X-ray inspection unit 2 performs display control of the display 5, the operation screen of the metal detection unit 3 is displayed on the display 5 when the X-ray inspection unit 2 is stopped. Not. For this reason, a sub-display (not shown) connected to the metal detection unit 3 is disposed inside the housing 4. When the X-ray inspection unit 2 is stopped, the metal detection unit 3 receives operation information via the sub display and displays result data or the like on the sub display.

次に、筐体4の扉構造について説明する。図5の(a)に示されるように、筐体4において前側(コンベヤ10による被検査物Sの搬送方向に垂直な水平方向における一方の側)に配置された下部扉41を例えば下側に回動させて開くと、金属検出部3、コンベヤ10及びX線遮蔽カーテン42,43などが外部に露出する。つまり、下部扉41は、開けられた際に、金属検出部3、コンベヤ10及びX線遮蔽カーテン42,43などを外部に露出させる。   Next, the door structure of the housing 4 will be described. As shown in FIG. 5A, the lower door 41 arranged on the front side (one side in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10) in the housing 4 is, for example, on the lower side. When it is rotated and opened, the metal detection unit 3, the conveyor 10, the X-ray shielding curtains 42, 43 and the like are exposed to the outside. That is, when the lower door 41 is opened, the metal detection unit 3, the conveyor 10, the X-ray shielding curtains 42, 43, and the like are exposed to the outside.

一方、図5の(b)に示されるように、筐体4の後面には、筐体4を開閉する後面上部扉44及び後面下部扉(第2扉部)45が設けられている。後面上部扉44及び後面下部扉45は、例えば開き戸構造であり、例えばステンレスなどで形成される。筐体4において後側(コンベヤ10による被検査物Sの搬送方向に垂直な水平方向における他方の側)に配置された後面下部扉45を例えば下側に回動させて開くと、金属検出部3、コンベヤ10及びX線遮蔽カーテン42,43などが外部に露出する。つまり、後面下部扉45は、開けられた際に、金属検出部3、コンベヤ10及びX線遮蔽カーテン42,43などを外部に露出させる。   On the other hand, as shown in FIG. 5B, a rear upper door 44 and a rear lower door (second door portion) 45 for opening and closing the housing 4 are provided on the rear surface of the housing 4. The rear upper door 44 and the rear lower door 45 have a hinged door structure, for example, and are formed of, for example, stainless steel. When the rear lower door 45 disposed on the rear side (the other side in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10) in the housing 4 is opened by rotating downward, for example, the metal detection unit 3. The conveyor 10 and the X-ray shielding curtains 42, 43 are exposed to the outside. That is, when the rear lower door 45 is opened, the metal detection unit 3, the conveyor 10, the X-ray shielding curtains 42, 43, and the like are exposed to the outside.

なお、上部扉40及び後面上部扉44のそれぞれを例えば左側に回動させて開くと、X線検査部2及び金属検出部3の電装部品50が外部に露出する。つまり、下部扉41及び後面下部扉45のそれぞれは、X線検査部2及び金属検出部3の電装部品50の遮蔽状態を維持しつつ開閉可能である。   If each of the upper door 40 and the rear upper door 44 is rotated and opened, for example, to the left side, the electrical components 50 of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 are exposed to the outside. That is, each of the lower door 41 and the rear lower door 45 can be opened and closed while maintaining the shielding state of the electrical component 50 of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3.

以上説明したように、異物検査装置1では、下部扉41及び後面下部扉45を開けることで、コンベヤ10による被検査物Sの搬送方向に垂直な水平方向における一方の側及び他方の側の両側から金属検出部3にアクセスすることができる。よって、異物検査装置1によれば、装置に対する金属検出部3の着脱等、金属検出部3のメンテナンスの容易化を図ることが可能となる。   As described above, in the foreign matter inspection apparatus 1, by opening the lower door 41 and the rear lower door 45, both sides on one side and the other side in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10. Can access the metal detector 3. Therefore, according to the foreign substance inspection device 1, it is possible to facilitate maintenance of the metal detection unit 3, such as attachment / detachment of the metal detection unit 3 to / from the device.

また、異物検査装置1では、下部扉41及び後面下部扉45を開けることで、コンベヤ10による被検査物Sの搬送方向に垂直な水平方向における一方の側及び他方の側の両側からコンベヤ10にアクセスすることができる。よって、異物検査装置1によれば、コンベヤ10の清掃等、コンベヤ10のメンテナンスの容易化を図ることが可能となる。   Moreover, in the foreign material inspection apparatus 1, by opening the lower door 41 and the rear lower door 45, the conveyor 10 can be moved from one side in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10 and from both sides on the other side. Can be accessed. Therefore, according to the foreign material inspection apparatus 1, it is possible to facilitate maintenance of the conveyor 10, such as cleaning of the conveyor 10.

また、異物検査装置1では、下部扉41及び後面下部扉45のそれぞれが、X線検査部2及び金属検出部3の電装部品50の遮蔽状態を維持しつつ開閉可能である。これにより、電装部品50を保護しつつ金属検出部3及びコンベヤ10のメンテナンスを実施することができる。   Further, in the foreign matter inspection apparatus 1, the lower door 41 and the rear lower door 45 can be opened and closed while maintaining the shielded state of the electrical components 50 of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3. Thereby, maintenance of the metal detection part 3 and the conveyor 10 can be implemented, protecting the electrical component 50. FIG.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。   Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment.

例えば、下部扉41及び後面下部扉45は、それぞれ、コンベヤ10による被検査物Sの搬送方向に垂直な所定方向における一方の側及び他方の側に配置されていればよい。また、下部扉41及び後面下部扉45のそれぞれは、少なくとも金属検出部3を外部に露出させるものであればよい。また、下部扉41及び後面下部扉45のそれぞれは、X線検査部2及び金属検出部3の電装部品50の遮蔽状態を維持しつつ開閉可能なものであればよい。一例として、後面上部扉44に相当する扉を残しつつ、後面下部扉45に代えて、筐体4の後面全体を覆う扉が設けられてもよい。その場合、電装部品50が配置される上部は、二重扉構造となる。   For example, the lower door 41 and the rear lower door 45 may be disposed on one side and the other side in a predetermined direction perpendicular to the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10, respectively. Each of the lower door 41 and the rear lower door 45 only needs to expose at least the metal detector 3 to the outside. Each of the lower door 41 and the rear lower door 45 only needs to be openable and closable while maintaining the shielding state of the electrical component 50 of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3. As an example, a door that covers the entire rear surface of the housing 4 may be provided in place of the rear lower door 45 while leaving a door corresponding to the rear upper door 44. In that case, the upper part where the electrical component 50 is arranged has a double door structure.

また、上述した実施形態では、被検査物Sを開口部4aから開口部4bへ搬送する例を示したが、搬送方向を逆にしてもよい。この場合、レーザセンサ24を開口部4bと第2フード部34との間に配置し、第2フード部34の側面にスリットを設けてレーザセンサ38を配置すればよい。   In the above-described embodiment, the example in which the inspection object S is transported from the opening 4a to the opening 4b has been described. However, the transport direction may be reversed. In this case, the laser sensor 24 may be disposed between the opening 4b and the second hood portion 34, and a slit may be provided on the side surface of the second hood portion 34.

また、本実施形態では、筐体4の内部にコンベヤ10の一部を配置する例を説明したが、コンベヤ10はその全てが筐体4の内部に収容されていてもよい。   Further, in the present embodiment, an example in which a part of the conveyor 10 is disposed inside the housing 4 has been described, but the conveyor 10 may be entirely accommodated inside the housing 4.

1…異物検査装置、2…X線検査部、3…金属検出部、4…筐体、10…コンベヤ(搬送部)、41…下部扉(第1扉部)、45…後面下部扉(第2扉部)、50…電装部品、S…被検査物。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Foreign substance inspection apparatus, 2 ... X-ray inspection part, 3 ... Metal detection part, 4 ... Housing | casing, 10 ... Conveyor (conveyance part), 41 ... Lower door (1st door part), 45 ... Rear lower door (1st) 2 doors), 50 ... electrical components, S ... inspected object.

Claims (4)

被検査物を搬送する搬送部と、
X線の透過性を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出するX線検査部と、
磁界と金属との相互作用を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出する金属検出部と、
前記搬送部の少なくとも一部、前記X線検査部、及び前記金属検出部を内部に収容し、前記X線検査部のX線の外部漏洩を抑制する筐体と、を備え、
前記筐体には、当該筐体を開閉する第1扉部及び第2扉部が設けられており、
前記第1扉部は、前記搬送部による前記被検査物の搬送方向に垂直な所定方向における一方の側に配置され、開けられた際に少なくとも前記金属検出部を外部に露出させ、
前記第2扉部は、前記搬送部による前記被検査物の前記搬送方向に垂直な前記所定方向における他方の側に配置され、開けられた際に少なくとも前記金属検出部を外部に露出させる、異物検査装置。
A transport unit for transporting an object to be inspected;
An X-ray inspection unit that detects foreign matter contained in the inspection object being transported by the transport unit, utilizing X-ray transparency;
Utilizing the interaction between the magnetic field and the metal, a metal detection unit that detects foreign matter contained in the inspection object being conveyed by the conveyance unit;
A housing that houses at least a part of the transport unit, the X-ray inspection unit, and the metal detection unit, and suppresses external leakage of X-rays of the X-ray inspection unit,
The housing is provided with a first door portion and a second door portion for opening and closing the housing,
The first door portion is disposed on one side in a predetermined direction perpendicular to the conveyance direction of the inspection object by the conveyance unit, and when opened, at least the metal detection unit is exposed to the outside,
The second door portion is disposed on the other side in the predetermined direction perpendicular to the transport direction of the inspection object by the transport portion, and exposes at least the metal detection portion to the outside when opened. Inspection device.
前記所定方向は、前記搬送部による前記被検査物の前記搬送方向に垂直な水平方向である、請求項1記載の異物検査装置。   The foreign object inspection apparatus according to claim 1, wherein the predetermined direction is a horizontal direction perpendicular to the conveyance direction of the inspection object by the conveyance unit. 前記第1扉部及び前記第2扉部のそれぞれは、開けられた際に前記搬送部の前記一部を外部に露出させる、請求項1又は2記載の異物検査装置。   The foreign substance inspection apparatus according to claim 1, wherein each of the first door part and the second door part exposes the part of the transport part to the outside when the first door part and the second door part are opened. 前記第1扉部及び前記第2扉部のそれぞれは、前記X線検査部及び前記金属検出部の電装部品の遮蔽状態を維持しつつ開閉可能である、請求項1〜3のいずれか一項記載の異物検査装置。   Each of the said 1st door part and the said 2nd door part can be opened and closed, maintaining the shielding state of the electrical component of the said X-ray inspection part and the said metal detection part. The foreign matter inspection apparatus described.
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