JP2017057945A - Seal member, rotary actuator and bearing device - Google Patents

Seal member, rotary actuator and bearing device Download PDF

Info

Publication number
JP2017057945A
JP2017057945A JP2015184014A JP2015184014A JP2017057945A JP 2017057945 A JP2017057945 A JP 2017057945A JP 2015184014 A JP2015184014 A JP 2015184014A JP 2015184014 A JP2015184014 A JP 2015184014A JP 2017057945 A JP2017057945 A JP 2017057945A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
seal member
circumferential
axial
contact
circumferential direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015184014A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
英之 筒井
Hideyuki Tsutsui
英之 筒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP2015184014A priority Critical patent/JP2017057945A/en
Publication of JP2017057945A publication Critical patent/JP2017057945A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Support Of The Bearing (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Actuator (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a seal member which can sufficiently suppress the leakage of a medium in a rotary actuator, and can obtain a large oscillation angle, the rotary actuator and a bearing device.SOLUTION: In a rotary actuator 80, a first connecting part of an outer ring groove part 34 and a contact part 32A are arranged so as to extend along a peripheral direction, and a second connecting part of the outer ring groove part and the contact part are arranged so as to extend along an axial direction. The seal member comprises an axial seal member 35 which can cover the first connecting part, and peripheral seal members 36, 37 which can cover the second connecting part. The peripheral seal members have external peripheral faces on which recesses are formed. When the peripheral seal members are arranged so as to cover the second connecting part in a state that the recesses are oriented to the inside of the outer ring groove part 34, at least one side of the external peripheral faces of the peripheral seal members is arranged so as to progress along a portion which is exposed at the inside of the outer ring groove part at the axial seal member.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ロータリーアクチュエータの媒体の漏洩を防止するためのシール部材、該シール部材を備えるロータリーアクチュエータ、および該ロータリーアクチュエータを備える軸受装置に関する。   The present invention relates to a seal member for preventing medium leakage of a rotary actuator, a rotary actuator including the seal member, and a bearing device including the rotary actuator.

従来、圧力媒体としての圧力流体の作用によって出力軸が回転方向において揺動して駆動トルクを出力するロータリーアクチュエータが知られている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a rotary actuator is known in which an output shaft swings in the rotation direction by the action of a pressure fluid as a pressure medium and outputs a drive torque.

特開2004−162585号公報(特許文献1)には、ベーンロータをケース内に搖動可能に保持するために必要なベーンロータとケースとの間の軸方向クリアランスを詰めるためのプレートを備えるロータリーアクチュエータが開示されている。このようなロータリーアクチュエータは、軸方向クリアランスにより、作動流体室から軸方向への作動流体の漏れ防止を図っている。   Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-162585 (Patent Document 1) discloses a rotary actuator provided with a plate for closing the axial clearance between the vane rotor and the case necessary for holding the vane rotor in a swingable manner in the case. Has been. Such a rotary actuator prevents leakage of the working fluid from the working fluid chamber in the axial direction by the axial clearance.

また、特開2013−113347号公報(特許文献2)には、リング状に形成されたシール部材により出力軸とケースとの間が封止されたロータリーアクチュエータが開示されている。   Japanese Patent Laying-Open No. 2013-113347 (Patent Document 2) discloses a rotary actuator in which a gap between an output shaft and a case is sealed by a seal member formed in a ring shape.

特開2004−162585号公報JP 2004-162585 A 特開2013−113347号公報JP 2013-113347 A

しかしながら、上記ロータリーアクチュエータは、制御軸を揺動させるために作動流体室に供給される作動流体(媒体)の圧力が大きくなったときに、媒体の漏れを十分に抑制することが困難である。また、特許文献2に記載のロータリーアクチュエータは、揺動角が小さいという課題があった。   However, when the pressure of the working fluid (medium) supplied to the working fluid chamber increases in order to swing the control shaft, it is difficult for the rotary actuator to sufficiently suppress the leakage of the medium. Further, the rotary actuator described in Patent Document 2 has a problem that the swing angle is small.

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。本発明の主たる目的は、ロータリーアクチュエータにおいて媒体の漏れを十分に抑制することができ、かつ、大きな揺動角を実現し得るためのシール部材を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems. A main object of the present invention is to provide a seal member that can sufficiently suppress medium leakage in a rotary actuator and that can realize a large swing angle.

また、本発明の他の目的は、該シール部材を備え、媒体の漏れを十分に抑制することができ、かつ、大きな揺動角を有するロータリーアクチュエータを提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a rotary actuator that includes the seal member, can sufficiently suppress leakage of a medium, and has a large swing angle.

また、本発明のさらに他の目的は、該ロータリーアクチュエータを備える軸受装置を提供することにある。   Still another object of the present invention is to provide a bearing device including the rotary actuator.

本発明のシール部材は、軸方向に延びる揺動体と、揺動体を周方向に揺動可能に支持する支持体とを備え、揺動体と支持体とのいずれか一方には周方向に沿って延びる溝部が形成されており、溝部は揺動体と支持体との接触部と接続されており、溝部に供給された媒体の圧力を受けて周方向に揺動動作を行うロータリーアクチュエータに用いられるシール部材である。溝部と接触部との第1接続部は、周方向に沿って延びるように配置されており、第1接続部を覆うことが可能な軸方向シール部材と、溝部と接触部との第2接続部は、軸方向に沿って延びるように配置されており、第2接続部を覆うことが可能な周方向シール部材とを備える。周方向シール部材は、凹部が形成されている外周面を有する。周方向シール部材を凹部が溝部の内側に向いた状態で第2接続部を覆うように配置したときに、周方向シール部材の外周面の少なくとも1辺は、軸方向シール部材において溝部の内側で露出する部分と沿うように設けられている。   The seal member of the present invention includes an oscillating body extending in the axial direction and a support body that supports the oscillating body so as to be able to oscillate in the circumferential direction, and either the oscillating body or the support body is provided along the circumferential direction. An extending groove is formed, and the groove is connected to a contact portion between the rocking body and the support. The seal is used for a rotary actuator that performs rocking motion in the circumferential direction by receiving the pressure of the medium supplied to the groove. It is a member. The first connection part between the groove part and the contact part is arranged so as to extend along the circumferential direction, and an axial seal member capable of covering the first connection part, and a second connection between the groove part and the contact part. The part is disposed so as to extend along the axial direction, and includes a circumferential seal member capable of covering the second connection part. The circumferential seal member has an outer peripheral surface in which a recess is formed. When the circumferential seal member is disposed so as to cover the second connecting portion with the concave portion facing the inside of the groove portion, at least one side of the outer circumferential surface of the circumferential seal member is located inside the groove portion in the axial seal member. It is provided along the exposed part.

本発明のロータリーアクチュエータは、上記シール部材を備える。上記周方向シール部材は、凹部が溝部の内側に向いた状態で第2接続部を覆うように配置されている。周方向シール部材の外周面の少なくとも1辺は、軸方向シール部材において溝部の内側で露出する部分と線接触または面接触している。   The rotary actuator of this invention is equipped with the said sealing member. The said circumferential direction sealing member is arrange | positioned so that a 2nd connection part may be covered in the state in which the recessed part faced the inner side of the groove part. At least one side of the outer peripheral surface of the circumferential seal member is in line contact or surface contact with a portion of the axial seal member that is exposed inside the groove.

本発明の軸受装置は、上記ロータリーアクチュエータと、内輪と、内輪の外周を囲むように形成された外輪とを含む軸受とを備える。ロータリーアクチュエータおよび軸受は、周方向と内輪および外輪の周方向とが重なるように配置されている。内輪または外輪の周方向の一部は、軸受の静止時においてラジアル荷重を受ける負荷域になっている。ロータリーアクチュエータは、揺動体が支持体に対して周方向に揺動されることにより、内輪または外輪において負荷域を移動可能に設けられている。   A bearing device of the present invention includes the bearing including the rotary actuator, an inner ring, and an outer ring formed so as to surround the outer periphery of the inner ring. The rotary actuator and the bearing are arranged so that the circumferential direction and the circumferential direction of the inner ring and the outer ring overlap. A part of the inner ring or the outer ring in the circumferential direction is a load region that receives a radial load when the bearing is stationary. The rotary actuator is provided so that the load area can be moved in the inner ring or the outer ring by swinging the swing body in the circumferential direction with respect to the support body.

本発明によれば、ロータリーアクチュエータにおいて媒体の漏れを十分に抑制することができ、かつ、大きな揺動角を実現し得るためのシール部材を提供することができる。また、本発明によれば、媒体の漏れを十分に抑制することができ、かつ、大きな揺動角を有するロータリーアクチュエータ、および該ロータリーアクチュエータを備える軸受装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the sealing member which can fully suppress the leak of a medium in a rotary actuator and can implement | achieve a big rocking | fluctuation angle can be provided. In addition, according to the present invention, it is possible to provide a rotary actuator that can sufficiently suppress the leakage of the medium and has a large swing angle, and a bearing device including the rotary actuator.

実施の形態1に係る軸受装置を説明するための断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the bearing device according to the first embodiment. 図1中の矢印II−IIから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow II-II in FIG. 図2中の領域IIIの部分拡大図である。It is the elements on larger scale of the area | region III in FIG. 図1に示す軸方向シール部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the axial direction seal | sticker part shown in FIG. 図4中の矢印Vから見た側面図である。It is the side view seen from the arrow V in FIG. 図1に示す周方向シール部を示す側面図である。It is a side view which shows the circumferential direction seal part shown in FIG. 図6中の矢印VII−VIIから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow VII-VII in FIG. 図6中の矢印VIII−VIIIから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow VIII-VIII in FIG. 実施の形態2に係る軸受装置の遊星歯車機構を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a planetary gear mechanism of a bearing device according to a second embodiment. 実施の形態2に係る軸受装置を説明するための断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining a bearing device according to a second embodiment. 図10中の固定軸と間座との接触部を含む領域の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of the area | region containing the contact part of the fixed axis | shaft and spacer in FIG. 図11に示す領域と軸受装置の周方向において異なる領域の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the area | region which differs in the area | region shown in FIG. 図11中の線分XIII−XIIIにおける断面図である。It is sectional drawing in line segment XIII-XIII in FIG. 図11に示す軸方向シール部材の断面図である。It is sectional drawing of the axial direction sealing member shown in FIG. 図13に示す周方向シール部材の側面図である。FIG. 14 is a side view of the circumferential seal member shown in FIG. 13. 図15中の矢印XVI−XVIから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow XVI-XVI in FIG. 図15中の矢印XVII−XVIIから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow XVII-XVII in FIG. 図11に示す軸方向シール部材の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the modification of the axial direction sealing member shown in FIG. 図11に示す軸方向シール部材の他の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other modification of the axial direction sealing member shown in FIG. 図11に示す軸方向シール部材のさらに他の変形例を示す断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view showing still another modification of the axial seal member shown in FIG. 11. 図13に示す周方向シール部材の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the modification of the circumferential direction sealing member shown in FIG. 図21中の矢印XXII−XXIIから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow XXII-XXII in FIG. 図21中の矢印XXIII−XXIIIから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow XXIII-XXIII in FIG. 図21に示す周方向シール部材の他の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the other modification of the circumferential direction sealing member shown in FIG. 図24中の矢印XXV−XXVから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow XXV-XXV in FIG. 図24中の矢印XXVI−XXVIから見た断面図である。It is sectional drawing seen from the arrow XXVI-XXVI in FIG.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

(実施の形態1)
図1〜図5を参照して、実施の形態1に係るシール部材35,36,37、ロータリーアクチュエータ80、および軸受装置1について説明する。実施の形態1に係る軸受装置1は、回転軸10と、ハウジング20と、転がり軸受30と、ロータリーアクチュエータ80とを備える。実施の形態1に係るロータリーアクチュエータ80は、転がり軸受30の静止時においてラジアル荷重を受ける外輪32の負荷域を移動可能とするために軸受装置1に備えられているものである。ロータリーアクチュエータ80は、揺動体として転がり軸受30の外輪32と、支持体としてハウジング20と、外輪32とハウジング20との間に形成された第1空間34Aに第1媒体を供給する移動部40と、第1空間34Aを閉じるためのシール部材35,36,37とを主に備えている。実施の形態1に係るシール部材35,36,37は、軸方向シール部材35と、周方向シール部材36,37とを備えている。
(Embodiment 1)
With reference to FIGS. 1 to 5, the seal members 35, 36 and 37, the rotary actuator 80, and the bearing device 1 according to the first embodiment will be described. The bearing device 1 according to the first embodiment includes a rotating shaft 10, a housing 20, a rolling bearing 30, and a rotary actuator 80. The rotary actuator 80 according to the first embodiment is provided in the bearing device 1 so that the load area of the outer ring 32 that receives a radial load can be moved when the rolling bearing 30 is stationary. The rotary actuator 80 includes an outer ring 32 of the rolling bearing 30 as an oscillating body, a housing 20 as a support, and a moving unit 40 that supplies a first medium to a first space 34A formed between the outer ring 32 and the housing 20. The seal member 35, 36, 37 for closing the first space 34A is mainly provided. The seal members 35, 36, and 37 according to the first embodiment include an axial seal member 35 and circumferential seal members 36 and 37.

回転軸10は、軸受装置1において回転可能に設けられている軸である。ハウジング20は、軸受装置1において回転不能に設けられている部材である。   The rotating shaft 10 is a shaft that is rotatably provided in the bearing device 1. The housing 20 is a member provided in the bearing device 1 so as not to rotate.

転がり軸受30は、任意の構造を備えていればよいが、たとえば自動調心ころ軸受である。転がり軸受30は、内輪31と、外輪32と、複数の転動体33(たとえば球面ころ)とを含む。内輪31はその外周面に複数の転動体33と接触している転走面を有しており、外輪32はその内周面に複数の転動体33と接触している転走面を有している。   Although the rolling bearing 30 should just be provided with arbitrary structures, it is a self-aligning roller bearing, for example. Rolling bearing 30 includes an inner ring 31, an outer ring 32, and a plurality of rolling elements 33 (for example, spherical rollers). The inner ring 31 has a rolling surface in contact with the plurality of rolling elements 33 on its outer peripheral surface, and the outer ring 32 has a rolling surface in contact with the plurality of rolling elements 33 on its inner peripheral surface. ing.

内輪31はその転走面よりも内側において回転軸10とははめあわされており、外輪32はその転走面よりも外側においてハウジング20とはめあわされている。内輪31と回転軸10とは、一体として回転可能に設けられている。外輪32とハウジング20とは、転がり軸受30の稼働時には相対的な位置が変化しないようになっているが、後述するようにメンテナンス時などに周方向において相対的に移動可能に設けられている。すなわち、転がり軸受30は、いわゆる外輪静止荷重の転がり軸受である。   The inner ring 31 is fitted to the rotating shaft 10 on the inner side of the rolling surface, and the outer ring 32 is fitted to the housing 20 on the outer side of the rolling surface. The inner ring 31 and the rotating shaft 10 are provided so as to be integrally rotatable. The outer ring 32 and the housing 20 are arranged such that their relative positions do not change when the rolling bearing 30 is in operation, but are relatively movable in the circumferential direction during maintenance as described later. That is, the rolling bearing 30 is a so-called outer ring static load rolling bearing.

外輪32においてハウジング20との接触部32Aには、周方向に延在する外輪溝部34が形成されている。外輪32とハウジング20との接触部32Aは、外輪溝部34と接続されている。接触部32Aと外輪溝部34との接続部(後述する第1接続部および第2接続部)は、外輪溝部34の全周を取り囲むように設けられている。接触部32Aと外輪溝部34とを軸方向において接続している第1接続部は、周方向に延びるように形成されている。接触部32Aと外輪溝部34とを周方向において接続している第2接続部は、軸方向に延びるように形成されている。   In the outer ring 32, an outer ring groove 34 extending in the circumferential direction is formed in a contact portion 32 </ b> A with the housing 20. A contact portion 32 </ b> A between the outer ring 32 and the housing 20 is connected to the outer ring groove portion 34. A connection portion (a first connection portion and a second connection portion described later) between the contact portion 32 </ b> A and the outer ring groove portion 34 is provided so as to surround the entire circumference of the outer ring groove portion 34. The first connecting portion that connects the contact portion 32A and the outer ring groove portion 34 in the axial direction is formed to extend in the circumferential direction. The second connecting portion that connects the contact portion 32A and the outer ring groove portion 34 in the circumferential direction is formed to extend in the axial direction.

外輪溝部34の内部には、軸方向シール部材35および周方向シール部材36,37が設けられている。軸方向シール部材35は、外輪溝部34と接触部32Aとの上記第1接続部を覆うことが可能に設けられている。周方向シール部材36,37は、外輪溝部34と接触部32Aとの上記第2接続部を覆うことが可能に設けられている。   An axial seal member 35 and circumferential seal members 36 and 37 are provided inside the outer ring groove portion 34. The axial seal member 35 is provided so as to be able to cover the first connection portion between the outer ring groove portion 34 and the contact portion 32A. The circumferential seal members 36 and 37 are provided so as to cover the second connection portion between the outer ring groove portion 34 and the contact portion 32A.

図1に示されるように、軸方向シール部材35は、軸方向における両端部がそれぞれ外輪溝部34の軸方向における両端部と接続されている。図2および図3に示されるように、軸方向シール部材35は、周方向における両端部がそれぞれ外輪溝部34の周方向における両端部と接続されている。図2および図3に示されるように、周方向シール部材36は、後述する突出部材22と接続されており、第1空間34Aの周方向における一方端を構成している。図2および図3に示されるように、周方向シール部材37は、外輪溝部34の周方向における一方端部と接続されており、第1空間34Aの周方向における一方端を構成している。なお、軸方向シール部材35,周方向シール部材36,37について詳細は後述する。   As shown in FIG. 1, the axial seal member 35 has both end portions in the axial direction connected to both end portions in the axial direction of the outer ring groove portion 34. As shown in FIGS. 2 and 3, the axial seal member 35 has both ends in the circumferential direction connected to both ends in the circumferential direction of the outer ring groove 34. As shown in FIGS. 2 and 3, the circumferential seal member 36 is connected to a protruding member 22 described later, and constitutes one end in the circumferential direction of the first space 34 </ b> A. As shown in FIGS. 2 and 3, the circumferential seal member 37 is connected to one end portion in the circumferential direction of the outer ring groove portion 34 and constitutes one end in the circumferential direction of the first space 34 </ b> A. The details of the axial seal member 35 and the circumferential seal members 36 and 37 will be described later.

外輪溝部34の周方向に直交する断面形状は、任意の形状であればよいが、たとえば矩形である。外輪溝部34の軸方向に直交する断面形状は、たとえば円弧状である。外輪溝部34は、周方向に延在しており、かつ周方向において端部を有している(全周に連なっていない)限りにおいて、周方向において任意の領域に任意の長さにわたって形成されていればよい。好ましくは、外輪溝部34は外輪32とハウジング20との接触部32Aの大部分に渡って形成されている。より好ましくは、外輪溝部34は周方向において複数形成されており、複数の外輪溝部34は回転軸10を挟んで対向するように配置されている。外輪溝部34は、1つの転がり軸受30の軸方向(以下、単に軸方向という)において、少なくとも1つ形成されていればよく、複数形成されていてもよい。外輪溝部34は、軸方向において外輪溝部34のハウジング20との接触部32A上の任意の位置に形成されていればよいが、たとえば軸方向における中央に形成されている。   Although the cross-sectional shape orthogonal to the circumferential direction of the outer ring groove part 34 should just be arbitrary shapes, it is a rectangle, for example. The cross-sectional shape orthogonal to the axial direction of the outer ring groove portion 34 is, for example, an arc shape. As long as the outer ring groove portion 34 extends in the circumferential direction and has an end portion in the circumferential direction (not connected to the entire circumference), the outer ring groove portion 34 is formed in any region in the circumferential direction over an arbitrary length. It only has to be. Preferably, the outer ring groove 34 is formed over most of the contact portion 32A between the outer ring 32 and the housing 20. More preferably, a plurality of outer ring groove portions 34 are formed in the circumferential direction, and the plurality of outer ring groove portions 34 are arranged so as to face each other with the rotation shaft 10 interposed therebetween. At least one outer ring groove 34 may be formed in the axial direction of one rolling bearing 30 (hereinafter simply referred to as the axial direction), and a plurality of outer ring grooves 34 may be formed. The outer ring groove portion 34 may be formed at an arbitrary position on the contact portion 32A of the outer ring groove portion 34 with the housing 20 in the axial direction, but is formed at the center in the axial direction, for example.

外輪溝部34の内部は、ハウジング20から突出する突出部材22および周方向シール部材36により互いに独立し周方向に並ぶ第1空間34Aと第2空間34Bとに区分されている。第1空間34Aおよび第2空間34Bは、周方向に延びるように形成されている。   The inside of the outer ring groove 34 is divided into a first space 34A and a second space 34B that are arranged in the circumferential direction independently of each other by the protruding member 22 and the circumferential seal member 36 that protrude from the housing 20. The first space 34A and the second space 34B are formed so as to extend in the circumferential direction.

第1空間34Aが最も広がったときの第1空間34Aの周方向における両端部間と軸受30の軸心との成す角度は、移動部40がハウジング20に対し外輪32を移動可能な角度に相当し、たとえば160度程度とすることができる。   The angle formed between both end portions in the circumferential direction of the first space 34 </ b> A when the first space 34 </ b> A is most expanded and the axis of the bearing 30 corresponds to an angle at which the moving unit 40 can move the outer ring 32 with respect to the housing 20. For example, it can be set to about 160 degrees.

突出部材22は、外輪32とハウジング20との接触部32Aよりも回転軸10側に向かって突出している。突出部材22は、任意の構成を備えていればよいが、たとえば転がり軸受30の周方向において外輪溝部34と嵌合可能に設けられている。突出部材22と外輪溝部34とが嵌合可能な領域は周方向にわたって広く形成されている。言い換えると、外輪溝部34の周方向に垂直な断面形状は、たとえば周方向にわたって等しく設けられており、かつ外輪溝部34の周方向に垂直な断面形状と突出部材22の周方向に垂直な断面形状とが等しく設けられている。なお、外輪溝部34の周方向に垂直な断面形状と突出部材22の周方向に垂直な断面形状とは、互いに異なっていてもよい。軸方向シール部材35は、突出部材22と接触していなくてもよい。   The protruding member 22 protrudes toward the rotating shaft 10 from the contact portion 32 </ b> A between the outer ring 32 and the housing 20. Although the protrusion member 22 should just be provided with arbitrary structures, it is provided so that the outer ring groove part 34 can be fitted in the circumferential direction of the rolling bearing 30, for example. A region in which the protruding member 22 and the outer ring groove 34 can be fitted is formed wide in the circumferential direction. In other words, the cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction of the outer ring groove portion 34 is provided, for example, equally in the circumferential direction, and the cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction of the outer ring groove portion 34 and the cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction of the protruding member 22. Are equally provided. The cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction of the outer ring groove 34 and the cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction of the protruding member 22 may be different from each other. The axial seal member 35 may not be in contact with the protruding member 22.

突出部材22には、第1空間34Aと外部とを接続するための第1貫通孔23と、第2空間34Bと外部とを接続するための第2貫通孔24とが形成されている。つまり、外輪溝部34の内部における第1貫通孔23の開口端と、外輪溝部34の内部における第2貫通孔24の開口端とは、周方向において互いに反対方向に向いて形成されている。第1貫通孔23と第2貫通孔24とは互いに独立している。   The protruding member 22 has a first through hole 23 for connecting the first space 34A and the outside, and a second through hole 24 for connecting the second space 34B and the outside. That is, the opening end of the first through hole 23 inside the outer ring groove portion 34 and the opening end of the second through hole 24 inside the outer ring groove portion 34 are formed in opposite directions in the circumferential direction. The first through hole 23 and the second through hole 24 are independent of each other.

移動部40は、突出部材22における第1貫通孔23を介して第1空間34Aに接続されている。なお第2空間34Bは、第2貫通孔24を介してハウジング20の外部に接続されている。移動部40は、第1空間34Aを広げるように第1空間34Aに第1媒体を突出部材22を介して供給可能に設けられている。第1媒体は、気体や液体のうちから任意に選択され得るが、たとえば高い圧力の油である。つまり、ロータリーアクチュエータ80は、たとえば油圧アクチュエータである。ロータリーアクチュエータ80は、周方向に沿って延びる外輪溝部34(の内側に形成された第1空間34A)に供給された油圧(第1媒体の圧力)を受けて、支持体としてのハウジング20に対し揺動体としての外輪32を周方向に揺動させる。   The moving part 40 is connected to the first space 34 </ b> A via the first through hole 23 in the protruding member 22. The second space 34 </ b> B is connected to the outside of the housing 20 through the second through hole 24. The moving unit 40 is provided so that the first medium can be supplied to the first space 34A via the protruding member 22 so as to expand the first space 34A. The first medium can be arbitrarily selected from gas and liquid, and is, for example, high-pressure oil. That is, the rotary actuator 80 is, for example, a hydraulic actuator. The rotary actuator 80 receives the hydraulic pressure (the pressure of the first medium) supplied to the outer ring groove portion 34 (the first space 34A formed inside the outer ring groove portion 34) extending in the circumferential direction, and the housing 20 as a support body The outer ring 32 as a rocking body is rocked in the circumferential direction.

次に、図4〜図8を参照して、実施の形態1に係る軸方向シール部材35、周方向シール部材36,37について具体的に説明する。   Next, the axial seal member 35 and the circumferential seal members 36 and 37 according to the first embodiment will be specifically described with reference to FIGS.

軸方向シール部材35は、少なくともハウジング20と外輪32との接触面と外輪溝部34において軸方向に交差する方向(たとえばラジアル方向)に沿って延びる内周面との接続部(第1接続部)を覆うように設けられている。軸方向シール部材35は、たとえば、シール部分351,352と、シール部分351,352間を接続する接続部分353とを有している。軸方向シール部材35を構成する材料は、たとえば弾性を有し、第1媒体に対し耐性を有する任意の材料であればよいが、たとえばニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、アクリルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、スチレンブタジエンゴム、天然ゴムなどのゴム、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ABS樹脂などの樹脂、あるいは上記材料を繊維強化した材料、異種材料で積層した材料を例示できる。   The axial seal member 35 is a connection portion (first connection portion) between at least a contact surface between the housing 20 and the outer ring 32 and an inner peripheral surface extending in a direction (for example, radial direction) intersecting the axial direction in the outer ring groove portion 34. It is provided so as to cover. The axial seal member 35 includes, for example, seal portions 351 and 352 and a connection portion 353 that connects between the seal portions 351 and 352. The material constituting the axial seal member 35 may be any material having elasticity and resistance to the first medium. For example, nitrile rubber, hydrogenated nitrile rubber, acrylic rubber, silicone rubber, fluorine Rubber such as rubber, ethylene propylene rubber, styrene butadiene rubber, natural rubber, fluorine resin, polyimide resin, polyamide imide resin, polyether ether ketone resin, polyphenylene sulfide resin, polyamide resin, polyethylene resin, polyacetal resin, polyethylene terephthalate resin, polyurethane Examples thereof include resins such as resins, epoxy resins, unsaturated polyester resins, phenol resins, and ABS resins, materials obtained by reinforcing the above materials with fibers, and materials laminated with different materials.

シール部分351,352は、軸方向シール部材35のラジアル方向における外周端および内周端を構成可能に設けられている。シール部分351,352は、ラジアル方向においてハウジング20と面接触または線接触している外周端E1と外輪32(外輪溝部34の軸方向および周方向に沿って延びる内周面の少なくとも一部)と面接触または線接触している内周端E2とを有しており、かつ、外輪溝部34の上記内周面と面接触または線接触している側端E3を有している。シール部分351,352は、軸方向において第1空間34Aおよび第2空間34Bを挟んで互いに対向している。言い換えると、シール部分351,352において側端E3の反対側に位置する側端は、第1空間34Aおよび第2空間34Bに面している。   The seal portions 351 and 352 are provided such that the outer peripheral end and the inner peripheral end in the radial direction of the axial seal member 35 can be configured. The seal portions 351 and 352 include an outer peripheral end E1 that is in surface contact or line contact with the housing 20 in the radial direction, and an outer ring 32 (at least part of an inner peripheral surface that extends along the axial direction and the circumferential direction of the outer ring groove portion 34). It has an inner peripheral end E2 in surface contact or line contact, and a side end E3 in surface contact or line contact with the inner peripheral surface of the outer ring groove 34. The seal portions 351 and 352 are opposed to each other across the first space 34A and the second space 34B in the axial direction. In other words, the side end located on the opposite side of the side end E3 in the seal portions 351 and 352 faces the first space 34A and the second space 34B.

接続部分353は、たとえばシール部分351,352の内周端E2を接続するように設けられており、シール部分351,352の内周端E2と連なる内周端を有している。接続部分353において内周端E2の反対側に位置する外周面は、第1空間34Aおよび第2空間34Bに面している。軸方向シール部材35の内周端E2は、外輪溝部34内において軸方向に沿って延びる内周面の全面と面接触するように設けられていてもよい。   The connecting portion 353 is provided so as to connect, for example, the inner peripheral ends E2 of the seal portions 351 and 352, and has an inner peripheral end continuous with the inner peripheral end E2 of the seal portions 351 and 352. The outer peripheral surface located on the opposite side of the inner peripheral end E2 in the connection portion 353 faces the first space 34A and the second space 34B. The inner peripheral end E2 of the axial seal member 35 may be provided so as to be in surface contact with the entire inner peripheral surface extending along the axial direction in the outer ring groove portion 34.

軸方向シール部材35において外輪溝部34の内部に表出している部分(シール部分351,352において側端E3の反対側に位置する側端および接続部分353において内周端E2の反対側に位置する外周端)は、突出部材22、周方向シール部材36,37と線接触または面接触しており、少なくとも突出部材22および周方向シール部材36と摺動可能に設けられている。なお、軸方向シール部材35は、周方向シール部材37と摺動可能に設けられていてもよい。また、軸方向シール部材35は、突出部材22と接触していなくてもよい。   A portion of the axial seal member 35 exposed to the inside of the outer ring groove portion 34 (a side end located on the opposite side of the side end E3 in the seal portions 351 and 352 and a side opposite to the inner peripheral end E2 in the connection portion 353) The outer peripheral edge) is in line contact or surface contact with the protruding member 22 and the circumferential seal members 36 and 37, and is provided so as to be slidable at least with the protruding member 22 and the circumferential seal member 36. The axial seal member 35 may be provided so as to be slidable with the circumferential seal member 37. Further, the axial seal member 35 may not be in contact with the protruding member 22.

軸方向シール部材35の周方向における一端および他端は、それぞれ外輪溝部34の周方向における一端および他端とそれぞれ接続されている。軸方向シール部材35は、周方向において第1空間34Aが形成されている側の一端が後述する周方向シール部材37とも接続されている。また、軸方向シール部材35は、周方向シール部材36とも摺動可能に接続されているのが好ましい。   One end and the other end of the axial seal member 35 in the circumferential direction are respectively connected to one end and the other end of the outer ring groove portion 34 in the circumferential direction. One end of the axial seal member 35 on the side where the first space 34A is formed in the circumferential direction is also connected to a circumferential seal member 37 described later. The axial seal member 35 is preferably slidably connected to the circumferential seal member 36.

軸受装置1において外輪溝部34が複数形成されている場合には、軸方向シール部材35は各外輪溝部34内において上述のように設けられているのが好ましい。図1〜図5に示される2つの軸方向シール部材35は、それぞれ2つの外輪溝部34内において上記第1接続部を覆うように配置されて、当該外輪溝部34内の第1空間34Aを軸方向においてシールしている。   When a plurality of outer ring groove portions 34 are formed in the bearing device 1, the axial seal member 35 is preferably provided in each outer ring groove portion 34 as described above. The two axial seal members 35 shown in FIGS. 1 to 5 are arranged so as to cover the first connection portion in the two outer ring groove portions 34, respectively, and the first space 34A in the outer ring groove portion 34 is pivoted. Sealing in direction.

周方向シール部材36および周方向シール部材37は、周方向において第1空間34Aを挟むように設けられている。周方向シール部材36は、少なくとも第1空間34Aと、第1空間34Aと第2空間34Bとを区分する突出部材22とハウジング20との接触面との接続部(第2接続部)を覆うように設けられている。周方向シール部材36は、周方向における一端E4が第1空間34Aに面しており、周方向における他端E5が突出部材22と接続されている。周方向シール部材36は、上述のように、軸方向シール部材35と摺動可能に接続されている。   The circumferential seal member 36 and the circumferential seal member 37 are provided so as to sandwich the first space 34A in the circumferential direction. The circumferential seal member 36 covers at least the connection portion (second connection portion) between the contact surface of the housing 20 and the protruding member 22 that divides the first space 34A, the first space 34A, and the second space 34B. Is provided. The circumferential seal member 36 has one end E4 in the circumferential direction facing the first space 34A and the other end E5 in the circumferential direction connected to the protruding member 22. As described above, the circumferential seal member 36 is slidably connected to the axial seal member 35.

周方向シール部材37は、少なくともハウジング20と外輪32との接触面と外輪溝部34においてラジアル方向に沿って延びる内周面との接続部(第2接続部)を覆うように設けられている。周方向シール部材37の周方向における一端E4は、第1空間34Aに面しており、かつ周方向シール部材36の上記一端E4と第1空間34Aを挟んで対向している。周方向シール部材37の周方向における他端E5は、外輪溝部34の周方向における端部と接続されており、たとえば当該端部に固定されている。周方向シール部材37は、軸方向シール部材35に固定されていてもよい。   The circumferential seal member 37 is provided so as to cover at least a connection portion (second connection portion) between a contact surface between the housing 20 and the outer ring 32 and an inner circumferential surface extending along the radial direction in the outer ring groove portion 34. One end E4 in the circumferential direction of the circumferential seal member 37 faces the first space 34A, and faces the one end E4 of the circumferential seal member 36 with the first space 34A interposed therebetween. The other end E5 in the circumferential direction of the circumferential seal member 37 is connected to an end in the circumferential direction of the outer ring groove 34, and is fixed to the end, for example. The circumferential seal member 37 may be fixed to the axial seal member 35.

周方向シール部材36,37は、たとえば一端E4が他端E5よりも広く設けられている。一端E4には、他端E5側に向かって凹んでいる凹部38が形成されている。上述のように、周方向シール部材36,37は、それぞれの一端E4が第1空間34Aに面するように配置されている。このとき、周方向シール部材36,37の当該一端E4においてラジアル方向の外周側に位置する部分はハウジング20と線接触または面接触しており、内周側に位置する部分は軸方向シール部材35と線接触または面接触している。また、周方向シール部材36,37の当該一端E4において軸方向の一方および他方の側に位置する部分は軸方向シール部材35と線接触または面接触している。   For example, one end E4 of the circumferential seal members 36 and 37 is provided wider than the other end E5. The one end E4 is formed with a recess 38 that is recessed toward the other end E5. As described above, the circumferential seal members 36 and 37 are arranged so that one end E4 thereof faces the first space 34A. At this time, the portion located on the outer peripheral side in the radial direction at the one end E4 of the circumferential seal members 36 and 37 is in line contact or surface contact with the housing 20, and the portion located on the inner peripheral side is the axial seal member 35. Line contact or surface contact with Further, portions of the circumferential seal members 36 and 37 located on one and the other sides in the axial direction at the one end E4 are in line contact or surface contact with the axial seal member 35.

周方向シール部材36,37の凹部38内は第1空間34Aの一部を構成し、凹部38内にも第1媒体が供給される。これにより、周方向シール部材36,37は、凹部38内に供給された第1媒体によりハウジング20または軸方向シール部材35に押圧される。   The concave portions 38 of the circumferential seal members 36 and 37 constitute a part of the first space 34 </ b> A, and the first medium is also supplied into the concave portions 38. Thus, the circumferential seal members 36 and 37 are pressed against the housing 20 or the axial seal member 35 by the first medium supplied into the recess 38.

軸方向シール部材35、および周方向シール部材36,37を構成する材料は、たとえば弾性を有し、第1媒体に対し耐性を有する任意の材料であればよいが、たとえばニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、アクリルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、スチレンブタジエンゴム、天然ゴムなどのゴム、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ABS樹脂などの樹脂、あるいは上記材料を繊維強化した材料、異種材料で積層した材料を例示できる。   The material constituting the axial seal member 35 and the circumferential seal members 36 and 37 may be any material having elasticity and resistance to the first medium, for example, nitrile rubber, hydrogenated nitrile, and the like. Rubber, acrylic rubber, silicone rubber, fluoro rubber, ethylene propylene rubber, styrene butadiene rubber, natural rubber, etc., fluoro resin, polyimide resin, polyamide imide resin, polyether ether ketone resin, polyphenylene sulfide resin, polyamide resin, polyethylene resin Examples thereof include a resin such as polyacetal resin, polyethylene terephthalate resin, polyurethane resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, phenol resin, and ABS resin, a material obtained by fiber-reinforced the above material, and a material laminated with different materials.

なお、図1〜図3は、軸方向シール部材35および周方向シール部材36,37が転がり軸受30を備える軸受装置1に適用された例を示すが、上述した軸方向シール部材35および周方向シール部材36,37は、滑り軸受を備える軸受装置1にも同様に適用され得る。   1 to 3 show an example in which the axial seal member 35 and the circumferential seal members 36 and 37 are applied to the bearing device 1 including the rolling bearing 30, but the axial seal member 35 and the circumferential direction described above are used. The seal members 36 and 37 can be similarly applied to the bearing device 1 including a slide bearing.

次に、実施の形態1に係るシール部材35,36,37、ロータリーアクチュエータ80、および軸受装置1の作用効果について説明する。   Next, functions and effects of the seal members 35, 36, and 37, the rotary actuator 80, and the bearing device 1 according to the first embodiment will be described.

実施の形態1に係るシール部材35,36,37は、上記ロータリーアクチュエータ80に用いられるシール部材である。ロータリーアクチュエータ80において、外輪溝部34と上記接触部32Aとの第1接続部は、周方向に沿って延びるように配置されており、外輪溝部34と上記接触部32Aとの第2接続部は、軸方向に沿って延びるように配置されている。シール部材35,36,37は、上記第1接続部を覆うことが可能な軸方向シール部材35と、上記第2接続部を覆うことが可能な周方向シール部材36,37とを備える。周方向シール部材36,37は、凹部38が形成されている外周面を有している。周方向シール部材36,37を凹部38が外輪溝部34の内側に向いた状態で上記第2接続部を覆うように配置したときに、周方向シール部材36,37の上記外周面の少なくとも1辺は、軸方向シール部材35において外輪溝部34の内側で露出する部分と沿うように設けられている。   Seal members 35, 36, and 37 according to the first embodiment are seal members that are used in the rotary actuator 80. In the rotary actuator 80, the first connection portion between the outer ring groove portion 34 and the contact portion 32A is arranged so as to extend along the circumferential direction, and the second connection portion between the outer ring groove portion 34 and the contact portion 32A is It arrange | positions so that it may extend along an axial direction. The seal members 35, 36, and 37 include an axial seal member 35 that can cover the first connection portion, and a circumferential seal member 36 and 37 that can cover the second connection portion. The circumferential seal members 36 and 37 have an outer peripheral surface in which a recess 38 is formed. When the circumferential seal members 36 and 37 are arranged so as to cover the second connection portion with the recess 38 facing the inner side of the outer ring groove portion 34, at least one side of the outer circumferential surface of the circumferential seal members 36 and 37 Is provided along the portion of the axial seal member 35 that is exposed inside the outer ring groove 34.

このようにすれば、シール部材35,36,37は、ロータリーアクチュエータ80における上記第1接続部および第2接続部を覆うことができる。また、周方向シール部材36,37において一端E4に凹部38が形成されていることにより、周方向シール部材36,37は、第1空間34Aに供給された第1媒体により凹部38内からを押圧されることになる。そのため、周方向シール部材36,37の一端E4においてハウジング20および軸方向シール部材35と接触している上記部分は、凹部38が形成されていない場合と比べてより強くハウジング20および軸方向シール部材35と接触することができる。そのため、シール部材35,36,37は、ロータリーアクチュエータ80において外輪溝部34に供給された第1媒体が第1接続部および第2接続部から外部へ漏れ出ることを抑制することができ、ロータリーアクチュエータ80による揺動効率を高めることができる。   In this way, the seal members 35, 36, and 37 can cover the first connection portion and the second connection portion in the rotary actuator 80. Further, since the recess 38 is formed at one end E4 of the circumferential seal members 36 and 37, the circumferential seal members 36 and 37 are pressed from the inside of the recess 38 by the first medium supplied to the first space 34A. Will be. Therefore, the portion in contact with the housing 20 and the axial seal member 35 at one end E4 of the circumferential seal members 36 and 37 is stronger than the case where the recess 38 is not formed. 35 can be contacted. Therefore, the seal members 35, 36, and 37 can suppress the leakage of the first medium supplied to the outer ring groove portion 34 in the rotary actuator 80 from the first connection portion and the second connection portion to the outside. The rocking efficiency by 80 can be improved.

上記シール部材35,36,37は、周方向シール部材36,37を凹部38が外輪溝部34の内側に向いた状態で上記第2接続部を覆うように配置したときに、外輪溝部34の内側に向く上記外周面の部分(一端E4)の中央部に凹部38が形成されている。   The seal members 35, 36, and 37 are arranged on the inner side of the outer ring groove portion 34 when the circumferential seal members 36 and 37 are arranged so as to cover the second connection portion with the concave portion 38 facing the inner side of the outer ring groove portion 34. A concave portion 38 is formed at the center of the outer peripheral surface portion (one end E4) facing the surface.

このようにすれば、周方向シール部材36,37の一端E4において凹部38の全周を取り囲むように設けられている部分、すなわち周方向シール部材36,37の一端E4においてハウジング20および軸方向シール部材35と接触している上記部分の全体が、第1空間34Aに供給された第1媒体により凹部38内からを押圧されることになる。そのため、当該部分の全体が、ハウジング20および軸方向シール部材35と強く接触することができる。その結果、シール部材35,36,37は、ロータリーアクチュエータ80において外輪溝部34に供給された第1媒体が第1接続部および第2接続部から外部へ漏れ出ることをより効果的に抑制することができ、ロータリーアクチュエータ80による揺動効率を高めることができる。   In this way, the portion provided to surround the entire circumference of the recess 38 at one end E4 of the circumferential seal members 36, 37, that is, the housing 20 and the axial seal at one end E4 of the circumferential seal members 36, 37. The entire portion in contact with the member 35 is pressed from the inside of the recess 38 by the first medium supplied to the first space 34A. Therefore, the entire portion can be in strong contact with the housing 20 and the axial seal member 35. As a result, the seal members 35, 36, and 37 more effectively suppress the leakage of the first medium supplied to the outer ring groove portion 34 in the rotary actuator 80 from the first connection portion and the second connection portion. Thus, the swinging efficiency of the rotary actuator 80 can be increased.

上記軸方向シール部材35は、周方向に直交する断面形状がコ字状であり、軸方向シール部材35の内周面と周方向シール部材36,37の上記外周面とが線接触または面接触可能に形成されている。   The axial seal member 35 has a U-shaped cross section orthogonal to the circumferential direction, and the inner circumferential surface of the axial seal member 35 and the outer circumferential surfaces of the circumferential seal members 36 and 37 are in line contact or surface contact. It is made possible.

このようにしても、シール部材35,36,37は、ロータリーアクチュエータ80における上記第1接続部および第2接続部を覆うことができる。この場合、第1空間34Aは、外輪溝部34内に配置された軸方向シール部材35の内側に形成される。そのため、軸方向シール部材35の内周面と周方向シール部材36,37の上記外周面とが線接触または面接触可能に形成されていることにより、軸方向シール部材35および周方向シール部材36は、第1媒体が第1空間34Aから第2空間34Bへ漏れ出ることを抑制することができる。   Even in this case, the seal members 35, 36, and 37 can cover the first connection portion and the second connection portion in the rotary actuator 80. In this case, the first space 34 </ b> A is formed inside the axial seal member 35 disposed in the outer ring groove 34. Therefore, the axial seal member 35 and the circumferential seal member 36 are formed such that the inner circumferential surface of the axial seal member 35 and the outer circumferential surface of the circumferential seal members 36 and 37 are formed so as to be in line contact or surface contact. Can suppress the leakage of the first medium from the first space 34A to the second space 34B.

上記シール部材35,36,37を構成する材料は弾性を有しているのが好ましい。このようにすれば、周方向シール部材36,37が第1空間34Aに供給された第1媒体により凹部38内からを押圧されたときに、周方向シール部材36,37の一端E4において凹部38を取り囲むように設けられている部分は、弾性変形することができる。その結果、周方向シール部材36,37の当該部分は、周方向シール部材36,37を構成する材料が弾性を有していない場合と比べてハウジング20および軸方向シール部材35とより強く接触することができる。また、周方向シール部材36,37の弾性変形に伴って周方向シール部材36,37と接触している軸方向シール部材35の部分も弾性変形することができる。そのため、軸方向シール部材35の当該部分は、軸方向シール部材35を構成する材料が弾性を有していない場合と比べてハウジング20および外輪溝部34との内周面とより強く接触することができる。   The material constituting the sealing members 35, 36, and 37 preferably has elasticity. In this way, when the circumferential seal members 36, 37 are pressed from the inside of the recess 38 by the first medium supplied to the first space 34A, the recess 38 at one end E4 of the circumferential seal members 36, 37. The portion provided so as to surround can be elastically deformed. As a result, the portions of the circumferential seal members 36 and 37 make stronger contact with the housing 20 and the axial seal member 35 than when the material constituting the circumferential seal members 36 and 37 does not have elasticity. be able to. In addition, along with the elastic deformation of the circumferential seal members 36, 37, the portion of the axial seal member 35 that is in contact with the circumferential seal members 36, 37 can also be elastically deformed. Therefore, the portion of the axial seal member 35 can come into stronger contact with the inner peripheral surfaces of the housing 20 and the outer ring groove portion 34 than when the material constituting the axial seal member 35 does not have elasticity. it can.

実施の形態1に係るロータリーアクチュエータ80は、上記シール部材を備える。上記周方向シール部材36,37は、凹部38が外輪溝部34の内側に向いた状態で上記第2接続部を覆うように配置されている。上記周方向シール部材36,37の上記外周面の少なくとも1辺は、軸方向シール部材35において外輪溝部34の内側で露出する部分と線接触または面接触している。   The rotary actuator 80 according to Embodiment 1 includes the sealing member. The circumferential seal members 36 and 37 are arranged so as to cover the second connecting portion in a state where the concave portion 38 faces the inner side of the outer ring groove portion 34. At least one side of the outer peripheral surfaces of the circumferential seal members 36 and 37 is in line contact or surface contact with a portion of the axial seal member 35 exposed inside the outer ring groove portion 34.

このようにすれば、ロータリーアクチュエータ80は、シール部材35,36,37を備えない場合と比べて、より少ない量の第1媒体によって第1空間34Aの上記他方端を移動させることができる。つまり、シール部材35,36,37を備えるロータリーアクチュエータ80は、シール部材35,36,37を備えないロータリーアクチュエータと比べて、上記負荷域をより効率的に移動可能である。   In this way, the rotary actuator 80 can move the other end of the first space 34 </ b> A with a smaller amount of the first medium than in the case where the seal members 35, 36, and 37 are not provided. That is, the rotary actuator 80 including the seal members 35, 36, and 37 can move in the load region more efficiently than a rotary actuator that does not include the seal members 35, 36, and 37.

実施の形態1に係る軸受装置1は、上記ロータリーアクチュエータ80と、内輪31と、内輪31の外周を囲むように形成された外輪32とを含む軸受30とを備える。上記ロータリーアクチュエータ80および上記軸受30は、上記周方向と内輪31および外輪32の周方向とが重なるように配置されている。内輪31または外輪32の周方向の一部は、軸受30の静止時においてラジアル荷重を受ける負荷域になっている。軸受装置1においてロータリーアクチュエータ80は、揺動体としての外輪32が支持体としてのハウジング20に対して周方向に揺動されることにより、内輪31または外輪32において上記負荷域を移動可能に設けられている。   The bearing device 1 according to the first embodiment includes the bearing 30 including the rotary actuator 80, the inner ring 31, and the outer ring 32 formed so as to surround the outer periphery of the inner ring 31. The rotary actuator 80 and the bearing 30 are arranged so that the circumferential direction overlaps the circumferential direction of the inner ring 31 and the outer ring 32. A part of the inner ring 31 or the outer ring 32 in the circumferential direction is a load region that receives a radial load when the bearing 30 is stationary. In the bearing device 1, the rotary actuator 80 is provided such that the outer ring 32 as a swinging body is swung in the circumferential direction with respect to the housing 20 as a support so that the inner ring 31 or the outer ring 32 can move the load region. ing.

このようにすれば、シール部材35,36,37を備えた上記ロータリーアクチュエータ80を備える軸受装置1は、シール部材35,36,37を備えないロータリーアクチュエータを備える軸受装置と比べて、上記負荷域をより効率的に移動可能であり、長い軸受寿命を実現できる。   In this way, the bearing device 1 including the rotary actuator 80 including the seal members 35, 36, and 37 has a higher load range than the bearing device including the rotary actuator not including the seal members 35, 36, and 37. Can be moved more efficiently and a long bearing life can be realized.

(実施の形態2)
次に、図9〜図17を参照して、実施の形態2に係るシール部材、ロータリーアクチュエータ、および軸受装置について説明する。
(Embodiment 2)
Next, the seal member, the rotary actuator, and the bearing device according to the second embodiment will be described with reference to FIGS.

実施の形態2に係る軸受装置201は、遊星軸(固定軸)221と、遊星軸受230と、間座234と、ロータリーアクチュエータ80とを備える。実施の形態2に係るロータリーアクチュエータ80は、遊星軸受230の静止時においてラジアル荷重を受ける内輪231の負荷域を移動可能とするために軸受装置201に備えられているものである。ロータリーアクチュエータ80は、揺動体として遊星軸受230の内輪231および間座234と、支持体として遊星軸221と、遊星軸221と間座234との間に形成された第1空間235Aに第1媒体を供給する移動部40と、第1空間235Aを閉じるためのシール部材91,92,93,94とを主に備えている。実施の形態2に係るシール部材91,92,93,94は、軸方向シール部材91,92と、周方向シール部材93,94とを備えている。   The bearing device 201 according to the second embodiment includes a planetary shaft (fixed shaft) 221, a planetary bearing 230, a spacer 234, and a rotary actuator 80. The rotary actuator 80 according to the second embodiment is provided in the bearing device 201 so that the load area of the inner ring 231 that receives a radial load can be moved when the planetary bearing 230 is stationary. The rotary actuator 80 has a first medium in a first space 235A formed between the inner ring 231 and the spacer 234 of the planetary bearing 230 as a rocking body, the planetary shaft 221 as a support, and the planetary shaft 221 and the spacer 234. And a seal member 91, 92, 93, 94 for closing the first space 235A. The seal members 91, 92, 93, 94 according to the second embodiment include axial seal members 91, 92 and circumferential seal members 93, 94.

図9に示されるように、軸受装置201は、遊星歯車機構200を備えている。遊星歯車機構200は、太陽歯車210と、遊星歯車220と、遊星軸受230と、内歯車240とを含む。遊星軸受230は、太陽歯車210は、出力軸211と接合されている。   As shown in FIG. 9, the bearing device 201 includes a planetary gear mechanism 200. The planetary gear mechanism 200 includes a sun gear 210, a planetary gear 220, a planetary bearing 230, and an internal gear 240. In the planetary bearing 230, the sun gear 210 is joined to the output shaft 211.

遊星歯車220は、遊星軸221と遊星軸受230を介して接続されている。遊星軸221は、キャリア222により支持されている。キャリア222は、軸受装置201において回転可能に設けられている。つまり、遊星歯車220は、キャリア222により公転可能に支持されている。   The planetary gear 220 is connected to the planetary shaft 221 via the planetary bearing 230. The planetary shaft 221 is supported by the carrier 222. The carrier 222 is rotatably provided in the bearing device 201. That is, the planetary gear 220 is supported by the carrier 222 so as to be able to revolve.

遊星軸受230は、たとえば転がり軸受である。遊星軸受230は、任意の構造を備えていればよいが、たとえば自動調心ころ軸受である。遊星軸受230は、内輪231と、外輪232と、複数の転動体33(たとえば球面ころ)とを含む。内輪231はその外周面に複数の転動体33と接触している転走面を有しており、外輪232はその内周面に複数の転動体33と接触している転走面を有している。   The planetary bearing 230 is, for example, a rolling bearing. The planetary bearing 230 may have an arbitrary structure, but is a self-aligning roller bearing, for example. Planetary bearing 230 includes an inner ring 231, an outer ring 232, and a plurality of rolling elements 33 (for example, spherical rollers). The inner ring 231 has a rolling surface in contact with the plurality of rolling elements 33 on its outer peripheral surface, and the outer ring 232 has a rolling surface in contact with the plurality of rolling elements 33 on its inner peripheral surface. ing.

内輪231はその転走面よりも径方向の内側において遊星軸221とははめあわされており、外輪232はその転走面よりも径方向の外側において遊星歯車220とはめあわされている。内輪231と遊星軸221とは、周方向Rにおいて相対的に移動可能であって、キャリア222によって公転可能に設けられている。外輪232と遊星歯車220とは互いに固定され一体として回転可能に設けられている。あるいは外輪232自体が遊星歯車220として構成されて回転可能に設けられていてもよい。すなわち、転がり軸受230は、いわゆる内輪静止荷重の転がり軸受である。なお、軸受装置201の作動時には、外輪232が周方向Rに回転する一方、内輪231は周方向Rに回転しないように構成されている。   The inner ring 231 is fitted to the planetary shaft 221 on the inner side in the radial direction from the rolling surface, and the outer ring 232 is fitted to the planetary gear 220 on the outer side in the radial direction from the rolling surface. The inner ring 231 and the planetary shaft 221 are relatively movable in the circumferential direction R, and are provided so as to be revolved by the carrier 222. The outer ring 232 and the planetary gear 220 are fixed to each other and rotatably provided as a unit. Or outer ring | wheel 232 itself may be comprised as the planetary gear 220, and may be provided rotatably. That is, the rolling bearing 230 is a so-called inner ring static load rolling bearing. When the bearing device 201 is operated, the outer ring 232 rotates in the circumferential direction R, while the inner ring 231 does not rotate in the circumferential direction R.

軸受装置201において、転がり軸受230は1つの遊星軸221に任意の数だけ取り付けられていればよいが、たとえば1つの遊星軸221に2つの転がり軸受230が取り付けられている。2つの転がり軸受230は、たとえばその軸方向において間座234を挟んで平行に配置され、間座234により相対的に位置決めされている。   In the bearing device 201, any number of rolling bearings 230 may be attached to one planetary shaft 221. For example, two rolling bearings 230 are attached to one planetary shaft 221. The two rolling bearings 230 are arranged in parallel with the spacer 234 in the axial direction, for example, and are relatively positioned by the spacer 234.

図10および図13を参照して、間座234は、内輪231と同様に円環状に設けられており、その内部において遊星軸221とはめあわされている。間座234と内輪231とは、少なくとも周方向Rおよび転がり軸受230の径方向(以下、単に径方向という)において互いに固定され一体として移動可能に設けられている。内輪231と間座234とは、たとえば軸方向において嵌合可能に設けられている。たとえば、内輪231には軸方向において間座234と接続される面から軸方向に凹んだ凹部が設けられているとともに、間座234には軸方向において内輪231と接続される面から軸方向に突出した凸部が設けられており、間座234の凸部が内輪231の凹部に嵌合されることにより内輪231と間座234とが互いに固定され一体として移動可能に設けられていてもよい。また、内輪231に設けられた凸部と間座234に設けられた凹部とが嵌合されることにより内輪231と間座234とが互いに固定され一体として移動可能に設けられていてもよい。間座234において遊星軸221との接触面には、周方向Rに延在する間座溝部235が形成されている。   Referring to FIGS. 10 and 13, the spacer 234 is provided in an annular shape like the inner ring 231, and is fitted to the planetary shaft 221 inside thereof. The spacer 234 and the inner ring 231 are fixed to each other so as to be integrally movable at least in the circumferential direction R and the radial direction of the rolling bearing 230 (hereinafter simply referred to as the radial direction). The inner ring 231 and the spacer 234 are provided, for example, so as to be fitted in the axial direction. For example, the inner ring 231 is provided with a recess recessed in the axial direction from the surface connected to the spacer 234 in the axial direction, and the spacer 234 is axially extended from the surface connected to the inner ring 231 in the axial direction. A projecting convex portion is provided, and the inner ring 231 and the spacer 234 may be fixed to each other and movably provided by fitting the convex portion of the spacer 234 into the concave portion of the inner ring 231. . Further, the inner ring 231 and the spacer 234 may be fixed to each other and movably provided as one unit by fitting a convex portion provided on the inner ring 231 and a concave portion provided on the spacer 234. A spacer groove 235 extending in the circumferential direction R is formed on the contact surface of the spacer 234 with the planetary shaft 221.

間座234と遊星軸221との接触部234Aは、間座溝部235と接続されている。接触部234Aと間座溝部235との接続部(後述する第1接続部および第2接続部)は、間座溝部235の全周を取り囲むように設けられている。接触部234Aと間座溝部235とを軸方向において接続している第1接続部は、周方向に延びるように形成されている。接触部234Aと間座溝部235とを周方向において接続している第2接続部は、軸方向に延びるように形成されている。   A contact portion 234 </ b> A between the spacer 234 and the planetary shaft 221 is connected to the spacer groove 235. A connecting portion (a first connecting portion and a second connecting portion described later) between the contact portion 234A and the spacer groove portion 235 is provided so as to surround the entire circumference of the spacer groove portion 235. The first connection portion that connects the contact portion 234A and the spacer groove portion 235 in the axial direction is formed to extend in the circumferential direction. The second connecting portion that connects the contact portion 234A and the spacer groove portion 235 in the circumferential direction is formed to extend in the axial direction.

間座溝部235の内部には、軸方向シール部材91,92および周方向シール部材93,94が設けられている。軸方向シール部材91,92は、間座溝部235と接触部234Aとの上記第1接続部を覆うことが可能に設けられている。周方向シール部材93,94は、間座溝部235と接触部234Aとの上記第2接続部を覆うことが可能に設けられている。なお、軸方向シール部材91,92,周方向シール部材93,94について詳細は後述する。   Inside the spacer groove portion 235, axial seal members 91 and 92 and circumferential seal members 93 and 94 are provided. The axial seal members 91 and 92 are provided so as to cover the first connecting portion between the spacer groove portion 235 and the contact portion 234A. The circumferential seal members 93 and 94 are provided so as to be able to cover the second connection portion between the spacer groove portion 235 and the contact portion 234A. The axial seal members 91 and 92 and the circumferential seal members 93 and 94 will be described in detail later.

間座溝部235は周方向Rに延在しており、かつ周方向Rにおいて端部を有している(全周に連なっていない)限りにおいて、周方向Rにおいて任意の領域に任意の長さにわたって形成されていればよい。異なる観点から言えば、間座234の内周面234Aには、遊星軸221の外周面221Aと摺動する接触部236が周方向Rにおいて一部分に形成されている。好ましくは、間座溝部235は内輪231と遊星軸221との接触面の大部分に渡って形成されている。より好ましくは、間座溝部235は周方向Rにおいて複数形成されており、複数の間座溝部235は遊星軸221を挟んで対向するように配置されている。   As long as the spacer groove portion 235 extends in the circumferential direction R and has an end in the circumferential direction R (not connected to the entire circumference), the spacer groove portion 235 has an arbitrary length in an arbitrary region in the circumferential direction R. It is only necessary to be formed over. From a different point of view, a contact portion 236 that slides with the outer peripheral surface 221A of the planetary shaft 221 is formed in part in the circumferential direction R on the inner peripheral surface 234A of the spacer 234. Preferably, the spacer groove 235 is formed over most of the contact surface between the inner ring 231 and the planetary shaft 221. More preferably, a plurality of spacer grooves 235 are formed in the circumferential direction R, and the plurality of spacer grooves 235 are arranged to face each other with the planetary shaft 221 interposed therebetween.

間座溝部235は、1つの転がり軸受230の軸方向(以下、単に軸方向という)において、少なくとも1つ形成されていればよく、複数形成されていてもよい。複数の間座溝部235は、それぞれ同一の構成を備えていてもよいし、異なっていてもよい。   At least one spacer groove portion 235 may be formed in the axial direction of one rolling bearing 230 (hereinafter simply referred to as the axial direction), and a plurality of spacer grooves 235 may be formed. The plurality of spacer grooves 235 may have the same configuration or may be different from each other.

間座溝部235は、軸方向において間座溝部235の遊星軸221との接触面上の任意の位置に形成されていればよいが、たとえば軸方向における中央に形成されている。   The spacer groove portion 235 may be formed at an arbitrary position on the contact surface of the spacer groove portion 235 with the planetary shaft 221 in the axial direction. For example, the spacer groove portion 235 is formed at the center in the axial direction.

間座溝部235の内部は、遊星軸221から突出する突出部材227および突出部材227に接続されている周方向シール部材93により互いに独立し周方向Rに並ぶ第1空間235Aと第2空間235Bとに区分されている。第1空間235Aは、周方向Rに延びるように形成されており、周方向Rにおける一方の端部が周方向シール部材93の一端E6であって、他方の端部が周方向シール部材94の一端E6である。また、第2空間235Bは、周方向Rに延びるように形成されており、周方向Rにおける一方の端部が突出部材227と第2空間235Bとの接続端面であって、他方の端部が間座溝部235の周方向Rにおける他方端部である。   The interior of the spacer groove 235 includes a first space 235A and a second space 235B that are arranged in the circumferential direction R independently of each other by a projecting member 227 projecting from the planetary shaft 221 and a circumferential seal member 93 connected to the projecting member 227. It is divided into. The first space 235 </ b> A is formed to extend in the circumferential direction R, and one end in the circumferential direction R is one end E <b> 6 of the circumferential seal member 93 and the other end is the circumferential seal member 94. One end E6. The second space 235B is formed to extend in the circumferential direction R, and one end in the circumferential direction R is a connection end surface between the protruding member 227 and the second space 235B, and the other end is It is the other end portion in the circumferential direction R of the spacer groove portion 235.

ここで、間座234は、上述のように、内輪231と一体として周方向Rに移動可能に設けられているため、間座234および内輪231は遊星軸221に対して相対的に移動可能である。そのため、間座234に設けられている間座溝部235と遊星軸221に対して位置決めされている突出部材227とは相対的な位置関係が変更可能に設けられている。間座溝部235と突出部材227との相対的な位置関係が変更されると、間座溝部235および突出部材227の形状は一定であるため、第1空間235Aおよび第2空間235Bはそれぞれ一方が広がると他方が狭まるように変化する。   Here, since the spacer 234 is provided so as to be movable in the circumferential direction R integrally with the inner ring 231 as described above, the spacer 234 and the inner ring 231 are movable relative to the planetary shaft 221. is there. Therefore, the spacer groove portion 235 provided in the spacer 234 and the protruding member 227 positioned with respect to the planetary shaft 221 are provided so that the relative positional relationship can be changed. When the relative positional relationship between the spacer groove portion 235 and the protruding member 227 is changed, the shape of the spacer groove portion 235 and the protruding member 227 is constant, so that one of the first space 235A and the second space 235B is respectively As it spreads, it changes so that the other narrows.

第1空間235Aが最も広がったときの第1空間235Aの周方向Rにおける両端部間と軸受230の軸心との成す角度は、移動部(図示しない)が遊星軸221に対し内輪231を移動可能な角度に相当し、たとえば150度程度とすることができる。   The angle formed between both ends in the circumferential direction R of the first space 235 </ b> A when the first space 235 </ b> A is most expanded and the shaft center of the bearing 230 is moved by the moving unit (not shown) moving the inner ring 231 with respect to the planetary shaft 221. It corresponds to a possible angle and can be, for example, about 150 degrees.

突出部材227は、内輪231において第1の穴228Aから内輪231と遊星軸221との接触面よりも外輪232側に向かって突出している。突出部材227は、径方向における一方の端部が第1の穴228Aの内部において支持部材229により支持されている状態で、他方の端部がたとえば間座溝部235と軸方向において嵌合している。   The projecting member 227 projects from the first hole 228 </ b> A toward the outer ring 232 side from the contact surface between the inner ring 231 and the planetary shaft 221 in the inner ring 231. The projecting member 227 is fitted with the spacer groove portion 235 in the axial direction, for example, with one end portion in the radial direction being supported by the support member 229 inside the first hole 228A. Yes.

第1の穴228Aは、遊星軸221において、突出部材227を収容可能であり、かつ周方向Rおよび軸方向において突出部材227を位置決め可能に設けられている。第1の穴228Aは、たとえば内輪231の軸心を通って径方向に延びるように設けられている。この場合には、第1の穴228Aは2つの突出部材227を収容可能であって、2つの突出部材227は第1の穴228Aから外輪232側に向かってそれぞれ突出している。   The first hole 228A can accommodate the protruding member 227 on the planetary shaft 221 and is provided so that the protruding member 227 can be positioned in the circumferential direction R and the axial direction. The first hole 228A is provided, for example, so as to extend in the radial direction through the axis of the inner ring 231. In this case, the first hole 228A can accommodate the two protruding members 227, and the two protruding members 227 protrude from the first hole 228A toward the outer ring 232 side.

支持部材229は、第1の穴228Aの内部において突出部材227と接続されて突出部材227を径方向において支持可能に設けられている。突出部材227と支持部材229との接続面は、軸方向および径方向に対して傾斜している。これにより、支持部材229を遊星軸221の軸方向Aにおける端面に開口した第2の穴28Bに挿入して第1の穴228Aの内部にまで押し込むことにより、第1の穴228Aの内部に収容されていた突出部材227を径方向に移動させて間座溝部235と嵌合するまで突出させることができる。つまり、突出部材227は、支持部材229との接続の有無(支持部材229が第1の穴228Aの内部に挿入されているか否か)によって、遊星軸221の表面から突出した状態と、表面から突出しない状態とに変更可能に設けられている。   The support member 229 is connected to the projecting member 227 inside the first hole 228A, and is provided so as to support the projecting member 227 in the radial direction. The connection surface between the protruding member 227 and the support member 229 is inclined with respect to the axial direction and the radial direction. As a result, the support member 229 is inserted into the second hole 28B opened in the end surface in the axial direction A of the planetary shaft 221 and pushed into the first hole 228A, thereby being accommodated in the first hole 228A. The protruding member 227 that has been moved can be moved in the radial direction until it is fitted to the spacer groove 235. That is, the protruding member 227 protrudes from the surface of the planetary shaft 221 depending on whether the supporting member 229 is connected (whether the supporting member 229 is inserted into the first hole 228A) and from the surface. It is provided so that it can be changed to a state where it does not protrude.

間座234において、突出部材227と間座溝部235とが嵌合可能な領域は周方向Rにわたって広く形成されている。言い換えると、間座溝部235の周方向Rに垂直な断面形状は周方向Rにわたって等しく設けられている。間座溝部235の周方向Rに垂直な断面形状は、たとえば突出部材227の周方向Rに垂直な断面形状とほぼ等しく設けられている。   In the spacer 234, a region in which the protruding member 227 and the spacer groove 235 can be fitted is formed wide in the circumferential direction R. In other words, the cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction R of the spacer groove 235 is equally provided over the circumferential direction R. The cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction R of the spacer groove 235 is provided, for example, approximately equal to the cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction R of the protruding member 227.

図13を参照して、遊星軸221には、第1空間235Aと外部とを接続するための第1流通孔223と、第2空間235Bと外部とを接続するための第2流通孔224とが形成されている。つまり、第1流通孔223および第2流通孔224は、周方向Rにおいて突出部材227および第1の穴228Aを挟むように配置されている。突出部材227を挟んで設けられている第1流通孔223と第2流通孔224とは、同一の間座溝部235に接続可能に設けられている。周方向Rにおいて複数の間座溝部235が形成されている場合には、第1流通孔223、第2流通孔224、突出部材227および間座溝部235は、周方向Rにおいて回転対称に設けられているのが好ましい。   Referring to FIG. 13, the planetary shaft 221 has a first flow hole 223 for connecting the first space 235A and the outside, and a second flow hole 224 for connecting the second space 235B and the outside. Is formed. That is, the first flow hole 223 and the second flow hole 224 are arranged so as to sandwich the protruding member 227 and the first hole 228A in the circumferential direction R. The first flow hole 223 and the second flow hole 224 provided across the protruding member 227 are provided to be connectable to the same spacer groove portion 235. When a plurality of spacer grooves 235 are formed in the circumferential direction R, the first circulation holes 223, the second circulation holes 224, the protruding members 227, and the spacer grooves 235 are provided rotationally symmetrically in the circumferential direction R. It is preferable.

移動部(図示しない)は、遊星軸221における第1流通孔223を介して第1空間235Aに接続可能に設けられている。軸受装置201には、たとえば移動部に接続されており、第1媒体を流通可能なホースを第1流通孔223に接続するためのホース導入口51が形成されており、軸受装置201のメンテナンス時などにホース導入口51から上記ホースを導入して第1流通孔223に接続させてもよい。つまり、移動部は、軸受装置201の運転時などにおいては第1流通孔223と接続されていなくてもよい。なお、第2空間235Bは、第2流通孔224を介して軸受装置201の外部と接続されている。   The moving part (not shown) is provided so as to be connectable to the first space 235 </ b> A via the first flow hole 223 in the planetary shaft 221. In the bearing device 201, for example, a hose introduction port 51 for connecting a hose capable of flowing the first medium to the first flow hole 223, which is connected to the moving unit, is formed. For example, the hose may be introduced from the hose introduction port 51 and connected to the first flow hole 223. That is, the moving unit may not be connected to the first flow hole 223 when the bearing device 201 is operated. Note that the second space 235 </ b> B is connected to the outside of the bearing device 201 via the second flow hole 224.

移動部(図示しない)は、第1空間235Aを広げるように、遊星軸221を介して第1空間235Aに第1媒体を供給可能に設けられている。第1媒体は、気体や液体のうちから任意に選択され得るが、たとえば高い圧力の油である。つまり、ロータリーアクチュエータ80は、たとえば油圧アクチュエータである。ロータリーアクチュエータ80は、周方向に沿って延びる間座溝部235(の内側に形成された第1空間235A)に供給された油圧(第1媒体の圧力)を受けて、支持体としての遊星軸221に対し揺動体としての内輪231を周方向に揺動させる。   The moving unit (not shown) is provided so as to supply the first medium to the first space 235A via the planetary shaft 221 so as to expand the first space 235A. The first medium can be arbitrarily selected from gas and liquid, and is, for example, high-pressure oil. That is, the rotary actuator 80 is, for example, a hydraulic actuator. The rotary actuator 80 receives the hydraulic pressure (pressure of the first medium) supplied to the spacer groove portion 235 (the first space 235A formed inside thereof) extending along the circumferential direction, and the planetary shaft 221 as a support body. On the other hand, the inner ring 231 as the swinging body is swung in the circumferential direction.

次に、図11〜図17を参照して、実施の形態2に係る軸方向シール部材91,92、周方向シール部材93,94について具体的に説明する。なお、周方向シール部材93,94は、基本的に実施の形態1に係る周方向シール部材36,37と同等の構成を備えている。   Next, the axial seal members 91 and 92 and the circumferential seal members 93 and 94 according to the second embodiment will be specifically described with reference to FIGS. The circumferential seal members 93 and 94 basically have the same configuration as the circumferential seal members 36 and 37 according to the first embodiment.

図11に示されるように、軸方向シール部材91,92は、少なくとも間座234と遊星軸221との接触面と、間座溝部235(図13参照)において軸方向に交差する方向(たとえばラジアル方向)に沿って延びる内周面との接続部を覆うように設けられている。さらに、軸方向シール部材91,92は、突出部材227と遊星軸221との接続面(突出部材227の外周面および第1の穴228Aの内周面)と第1空間235Aとの接続部を覆うように設けられている。軸方向シール部材91,92は、軸方向において第1空間235Aを挟んで対向する位置に、それぞれ1つずつ設けられている。軸方向シール部材91,92は、それぞれ周方向R(図13参照)に沿うように設けられており、たとえば間座溝部235の周方向における一端(接触部236)と他端(接触部236)との間に渡って半円弧状に設けられている。   As shown in FIG. 11, the axial seal members 91 and 92 are at least a contact surface between the spacer 234 and the planetary shaft 221 and a direction (for example, radial) that intersects the axial direction at the spacer groove portion 235 (see FIG. 13). It is provided so as to cover the connecting portion with the inner peripheral surface extending along the direction. Further, the axial seal members 91 and 92 serve as a connection portion between the connecting surface (the outer peripheral surface of the protruding member 227 and the inner peripheral surface of the first hole 228A) between the protruding member 227 and the planetary shaft 221 and the first space 235A. It is provided to cover. One axial seal member 91, 92 is provided at a position facing each other across the first space 235A in the axial direction. The axial seal members 91 and 92 are respectively provided along the circumferential direction R (see FIG. 13). For example, one end (contact portion 236) and the other end (contact portion 236) of the spacer groove portion 235 in the circumferential direction. Are provided in a semicircular arc shape.

図11に示されるように、軸方向シール部材91は、第1空間235Aに面しており、周方向シール部材93,94、および突出部材227(特に、遊星軸221の第1の穴228Aからラジアル方向に突出している凸部227E)と面接触または線接触している。軸方向シール部材91は、周方向シール部材93および突出部材227と摺動可能に設けられている。軸方向シール部材91は、周方向シール部材94と固定されていてもよい。   As shown in FIG. 11, the axial seal member 91 faces the first space 235 </ b> A, and the circumferential seal members 93 and 94 and the projecting member 227 (particularly from the first hole 228 </ b> A of the planetary shaft 221). The protrusion 227E) protruding in the radial direction is in surface contact or line contact. The axial seal member 91 is slidably provided with the circumferential seal member 93 and the protruding member 227. The axial seal member 91 may be fixed to the circumferential seal member 94.

図11に示されるように、軸方向シール部材91は、軸方向シール部材92と面接触している。軸方向シール部材91は、軸方向に沿って延びる面とラジアル方向に沿って延びる面とを有し、当該2面がそれぞれ軸方向シール部材92と面接触しているのが好ましい。   As shown in FIG. 11, the axial seal member 91 is in surface contact with the axial seal member 92. The axial seal member 91 preferably has a surface extending along the axial direction and a surface extending along the radial direction, and the two surfaces are preferably in surface contact with the axial seal member 92, respectively.

軸方向シール部材91は、たとえばラジアル方向における外周端が間座234と面接触または線接触しており、内周端が遊星軸221と面接触している。   The axial direction seal member 91 has, for example, an outer peripheral end in the radial direction in surface contact or line contact with the spacer 234, and an inner peripheral end in surface contact with the planetary shaft 221.

図11に示されるように、軸方向シール部材92は、軸方向において軸方向シール部材91と間座234との間に配置されている。軸方向シール部材92は、第1空間235Aから見て軸方向シール部材91の後方に配置されている。軸方向シール部材92は、ラジアル方向における外周端が間座234と面接触または線接触しており、内周端が軸方向シール部材91と面接触または線接触している。軸方向シール部材92は、軸方向における一端が軸方向シール部材91と面接触または線接触しており、他端が間座234と面接触または線接触している。軸方向シール部材92は、間座溝部235内において軸方向への移動が間座234により制限されている。軸方向シール部材92は、間座溝部235内においてラジアル方向の外周側への移動が間座234によって制限されている。   As shown in FIG. 11, the axial seal member 92 is disposed between the axial seal member 91 and the spacer 234 in the axial direction. The axial seal member 92 is disposed behind the axial seal member 91 as viewed from the first space 235A. The axial direction sealing member 92 has an outer circumferential end in the radial direction that is in surface contact or line contact with the spacer 234, and an inner circumferential end that is in surface contact or line contact with the axial direction sealing member 91. One end in the axial direction of the axial seal member 92 is in surface contact or line contact with the axial seal member 91, and the other end is in surface contact or line contact with the spacer 234. The axial seal member 92 is restricted by the spacer 234 from moving in the axial direction in the spacer groove 235. The axial seal member 92 is restricted by the spacer 234 from moving radially outward in the spacer groove 235.

軸受装置201において間座溝部235が複数形成されている場合には、軸方向シール部材91,92は各間座溝部235内において上述のように設けられているのが好ましい。2つの間座溝部235が形成されている場合には、各間座溝部235内にそれぞれ2つの軸方向シール部材91,92が配置されるのが好ましい。   In the case where a plurality of spacer groove portions 235 are formed in the bearing device 201, the axial seal members 91 and 92 are preferably provided in each spacer groove portion 235 as described above. When two spacer groove portions 235 are formed, it is preferable that two axial seal members 91 and 92 are disposed in each spacer groove portion 235, respectively.

図11および図14を参照して、軸方向シール部材91,92は、たとえば周方向R(図3参照)に直交する断面の形状がL字状である。なお、図14は、図11に示される軸方向シール部材91,92の拡大断面図である。軸方向シール部材91,92は、たとえば当該断面において、ラジアル方向に沿って延びるように形成されている第1部分911,921と、軸方向に沿って延びるように形成されている第2部分(部分911,921に対し軸方向に突出している部分)912,922とを有している。   Referring to FIGS. 11 and 14, the axial seal members 91 and 92 have, for example, an L-shaped cross section perpendicular to the circumferential direction R (see FIG. 3). FIG. 14 is an enlarged cross-sectional view of the axial seal members 91 and 92 shown in FIG. The axial seal members 91 and 92 are, for example, in the cross section, a first portion 911 and 921 formed so as to extend along the radial direction, and a second portion formed so as to extend along the axial direction ( And portions 912 and 922 protruding in the axial direction with respect to the portions 911 and 921.

図11および図14に示されるように、軸方向シール部材91のラジアル方向に沿って延びるように形成されている第1部分911は、軸方向に沿って延びるように形成されている第2部分912が位置する側の側面において軸方向シール部材92と面接触している。軸方向シール部材91の上記第1部分911は、軸方向シール部材92と面接触している側面とは反対側に位置する側面において第1空間235Aに面しており、周方向シール部材93,94および突出部材227(の凸部227E)と面接触または線接触している。また、軸方向シール部材91の上記第1部分911の外周端および内周端は、それぞれ間座234および遊星軸221に面接触または線接触している。軸方向シール部材91の上記第2部分912は、ラジアル方向における外周面および内周面がそれぞれ軸方向シール部材92および遊星軸221に面接触または線接触している。軸方向シール部材91の上記第2部分912は、軸方向において間座234と間隔を隔てるように設けられているのが好ましい。なお、第2部分912は、軸方向において間座234と接するように設けられていてもよい。   As shown in FIGS. 11 and 14, the first portion 911 formed to extend along the radial direction of the axial seal member 91 is the second portion formed to extend along the axial direction. The side surface on which 912 is located is in surface contact with the axial seal member 92. The first portion 911 of the axial seal member 91 faces the first space 235A on the side surface opposite to the side surface in surface contact with the axial seal member 92, and the circumferential seal member 93, 94 and the projecting member 227 (projection 227E thereof) are in surface contact or line contact. In addition, the outer peripheral end and the inner peripheral end of the first portion 911 of the axial seal member 91 are in surface contact or line contact with the spacer 234 and the planetary shaft 221, respectively. The second portion 912 of the axial seal member 91 has an outer peripheral surface and an inner peripheral surface in the radial direction that are in surface contact or line contact with the axial seal member 92 and the planetary shaft 221, respectively. The second portion 912 of the axial seal member 91 is preferably provided so as to be spaced from the spacer 234 in the axial direction. The second portion 912 may be provided so as to contact the spacer 234 in the axial direction.

図11および図14に示されるように、軸方向シール部材92のラジアル方向に沿って延びるように形成されている第1部分921は、軸方向において間座234により挟持されている。具体的には、間座溝部235はラジアル方向に沿って延び、かつ互いに対向する2つの内周面を有している。軸方向シール部材92の上記第1部分921は間座溝部235の当該2つの内周面と面接触している。軸方向シール部材92の上記第1部分921、および軸方向シール部材92の軸方向に沿って延びるように形成されている第2部分922は、ラジアル方向における外周面および内周面がそれぞれ間座234および軸方向シール部材91に面接触または線接触している。   As shown in FIGS. 11 and 14, the first portion 921 formed so as to extend along the radial direction of the axial seal member 92 is sandwiched by spacers 234 in the axial direction. Specifically, the spacer groove 235 has two inner peripheral surfaces that extend along the radial direction and face each other. The first portion 921 of the axial seal member 92 is in surface contact with the two inner peripheral surfaces of the spacer groove 235. The first portion 921 of the axial seal member 92 and the second portion 922 formed so as to extend along the axial direction of the axial seal member 92 have an outer circumferential surface and an inner circumferential surface in the radial direction, respectively. 234 and the axial seal member 91 are in surface contact or line contact.

図13に示されるように、周方向シール部材93と周方向シール部材94とは、周方向において第1空間235Aを挟むように設けられている。周方向シール部材93は、少なくとも突出部材227と間座234との接触面および突出部材227と遊星軸221との接続面(突出部材227の外周面および第1の穴228Aの内周面)と、間座溝部235(第1空間235A)との接続部(第2接続部)を覆うように設けられている。周方向シール部材93は、周方向における一端E6が第1空間235Aに面している。当該一端E6は、突出部材227と遊星軸221との上記接続面よりも、周方向において第1流通孔223側に位置している。周方向シール部材93は、周方向における他端E7が突出部材227と接続されており、たとえば突出部材227に固定されている。   As shown in FIG. 13, the circumferential seal member 93 and the circumferential seal member 94 are provided so as to sandwich the first space 235A in the circumferential direction. The circumferential seal member 93 includes at least a contact surface between the protruding member 227 and the spacer 234 and a connection surface between the protruding member 227 and the planetary shaft 221 (an outer peripheral surface of the protruding member 227 and an inner peripheral surface of the first hole 228A). The spacer groove portion 235 (the first space 235A) is provided so as to cover the connection portion (second connection portion) with the spacer groove portion 235 (first space 235A). The circumferential seal member 93 has one end E6 in the circumferential direction facing the first space 235A. The one end E6 is located closer to the first flow hole 223 in the circumferential direction than the connection surface between the protruding member 227 and the planetary shaft 221. The other end E7 in the circumferential direction of the circumferential seal member 93 is connected to the protruding member 227, and is fixed to the protruding member 227, for example.

図13に示されるように、周方向シール部材94は、少なくとも間座234と遊星軸221との接触面と間座溝部235においてラジアル方向に沿って延びる内周面との接続部を覆うように設けられている。周方向シール部材94の周方向における一端E6は、第1空間235Aに面しており、かつ周方向シール部材93の上記一端E6と第1空間235Aを挟んで対向している。周方向シール部材94の周方向における他端E7は、間座溝部235の周方向における端部(接触部236)と接続されており、たとえば当該端部に固定されている。   As shown in FIG. 13, the circumferential seal member 94 covers at least a connection portion between the contact surface between the spacer 234 and the planetary shaft 221 and the inner circumferential surface extending in the radial direction in the spacer groove portion 235. Is provided. One end E6 in the circumferential direction of the circumferential seal member 94 faces the first space 235A and faces the one end E6 of the circumferential seal member 93 with the first space 235A interposed therebetween. The other end E7 in the circumferential direction of the circumferential seal member 94 is connected to an end portion (contact portion 236) in the circumferential direction of the spacer groove portion 235, and is fixed to the end portion, for example.

このとき、周方向シール部材93,94の当該一端E6において、ラジアル方向の外周側に位置する部分は間座234と線接触または面接触しており、内周側に位置する部分は遊星軸221と線接触または面接触している。また、周方向シール部材93,94の当該一端E6において軸方向の一方および他方の側に位置する部分は、軸方向シール部材91と線接触または面接触している。   At this time, at the one end E6 of the circumferential seal members 93 and 94, the portion located on the outer peripheral side in the radial direction is in line contact or surface contact with the spacer 234, and the portion located on the inner peripheral side is the planetary shaft 221. Line contact or surface contact with Further, portions of the circumferential seal members 93 and 94 located on one and the other side in the axial direction at the one end E6 are in line contact or surface contact with the axial seal member 91.

周方向シール部材93は、上述のように、軸方向シール部材91と摺動可能に接続されている。周方向シール部材94は、軸方向シール部材91に固定されていてもよい。   The circumferential seal member 93 is slidably connected to the axial seal member 91 as described above. The circumferential seal member 94 may be fixed to the axial seal member 91.

軸方向シール部材91,92、周方向シール部材93,94を構成する材料は、たとえば弾性を有し、第1媒体に対し耐性を有する任意の材料であればよいが、たとえばニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、アクリルゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、スチレンブタジエンゴム、天然ゴムなどのゴム、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ABS樹脂などの樹脂、あるいは上記材料を繊維強化した材料、異種材料で積層した材料を例示できる。   The material constituting the axial seal members 91 and 92 and the circumferential seal members 93 and 94 may be any material having elasticity and resistance to the first medium, for example, nitrile rubber, hydrogenation, etc. Nitrile rubber, acrylic rubber, silicone rubber, fluoro rubber, ethylene propylene rubber, styrene butadiene rubber, natural rubber and other rubber, fluoro resin, polyimide resin, polyamide imide resin, polyether ether ketone resin, polyphenylene sulfide resin, polyamide resin, polyethylene Examples thereof include a resin, a polyacetal resin, a polyethylene terephthalate resin, a polyurethane resin, an epoxy resin, an unsaturated polyester resin, a phenol resin, an ABS resin, or the like, or a material in which the above materials are fiber reinforced, or a material laminated with different materials.

図15〜図17を参照して、周方向シール部材93,94は、たとえば一端E6が他端E7よりも広く設けられている。一端E6には、他端E7側に向かって凹んでいる凹部95が形成されている。上述のように、周方向シール部材93,94は、それぞれの一端E6が第1空間235Aに面するように配置されている。図17に示されるように、周方向シール部材93,94は、周方向に直交する断面の形状がY字状である。そのため、周方向シール部材93,94の凹部95内は第1空間235Aの一部を構成し、凹部95内にも第1媒体が供給される。これにより、周方向シール部材93,94は、凹部95内に供給された第1媒体により間座234、遊星軸221、または軸方向シール部材91に押圧される。   Referring to FIGS. 15 to 17, for example, one end E6 of the circumferential seal members 93 and 94 is provided wider than the other end E7. The one end E6 is formed with a recess 95 that is recessed toward the other end E7. As described above, the circumferential seal members 93 and 94 are arranged so that the respective ends E6 thereof face the first space 235A. As shown in FIG. 17, the circumferential seal members 93 and 94 have a Y-shaped cross section perpendicular to the circumferential direction. Therefore, the recess 95 of the circumferential seal members 93 and 94 constitutes a part of the first space 235 </ b> A, and the first medium is also supplied into the recess 95. Accordingly, the circumferential seal members 93 and 94 are pressed against the spacer 234, the planetary shaft 221, or the axial seal member 91 by the first medium supplied into the recess 95.

次に、実施の形態2に係るシール部材91,92,93,94、ロータリーアクチュエータ80、および軸受装置201の作用効果について説明する。   Next, functions and effects of the seal members 91, 92, 93, 94, the rotary actuator 80, and the bearing device 201 according to the second embodiment will be described.

実施の形態2に係るシール部材91,92,93,94は、上記ロータリーアクチュエータ80に用いられるシール部材である。ロータリーアクチュエータ80において、間座溝部235と上記接触部234Aとの第1接続部は、周方向に沿って延びるように配置されており、間座溝部235と上記接触部234Aとの第2接続部は、軸方向に沿って延びるように配置されている。シール部材91,92,93,94は、上記第1接続部を覆うことが可能な軸方向シール部材91,92と、上記第2接続部を覆うことが可能な周方向シール部材93,94とを備える。周方向シール部材93,94は、凹部95が形成されている外周面を有している。周方向シール部材93,94を凹部95が間座溝部235の内側に向いた状態で上記第2接続部を覆うように配置したときに、周方向シール部材93,94の上記外周面の少なくとも1辺は、軸方向シール部材91,92において間座溝部235の内側で露出する部分と沿うように設けられている。   Seal members 91, 92, 93 and 94 according to the second embodiment are seal members used for the rotary actuator 80. In the rotary actuator 80, the first connection portion between the spacer groove portion 235 and the contact portion 234A is arranged to extend along the circumferential direction, and the second connection portion between the spacer groove portion 235 and the contact portion 234A. Are arranged so as to extend along the axial direction. The seal members 91, 92, 93, 94 include axial seal members 91, 92 that can cover the first connection portion, and circumferential seal members 93, 94 that can cover the second connection portion. Is provided. The circumferential seal members 93 and 94 have an outer peripheral surface in which a recess 95 is formed. When the circumferential seal members 93 and 94 are arranged so as to cover the second connection portion with the concave portion 95 facing the inside of the spacer groove portion 235, at least one of the outer circumferential surfaces of the circumferential seal members 93 and 94 The sides are provided along the portions of the axial seal members 91 and 92 that are exposed inside the spacer groove 235.

このようにすれば、実施の形態2に係るシール部材91,92,93,94は、実施の形態1に係るシール部材35,36,37と同様の効果を奏することができる。   In this way, the seal members 91, 92, 93, 94 according to the second embodiment can achieve the same effects as the seal members 35, 36, 37 according to the first embodiment.

上記シール部材91,92,93,94は、周方向シール部材93,94を凹部95が間座溝部235の内側に向いた状態で上記第2接続部を覆うように配置したときに、間座溝部235の内側に向く上記外周面の部分(一端E6)の中央部に凹部95が形成されている。   When the seal members 91, 92, 93, 94 are arranged so that the circumferential seal members 93, 94 cover the second connection part with the recess 95 facing the inside of the spacer groove part 235, A concave portion 95 is formed in the central portion of the outer peripheral surface portion (one end E6) facing the inside of the groove portion 235.

上記軸方向シール部材91,92は、第1の軸方向シール部材91と第2の軸方向シール部材92とを含む。第1の軸方向シール部材91は、間座溝部235の深さ方向および周方向に沿って延びるように形成されている第1部分911と、第1部分911と接続されているととともに、軸方向および周方向に沿って延びるように形成されており、かつ、揺動体としての内輪231または支持体としての遊星軸221の少なくとも一方と接触可能に設けられている第2部分912とを有する。第2の軸方向シール部材92は、第1の軸方向シール部材91の第1部分911および第2部分912と接触可能に設けられており、かつ、間座溝部235の上記深さ方向に沿って延びる内周面と接触可能に設けられている。   The axial seal members 91 and 92 include a first axial seal member 91 and a second axial seal member 92. The first axial seal member 91 is connected to the first portion 911 formed to extend along the depth direction and the circumferential direction of the spacer groove portion 235, and to the first portion 911. And a second portion 912 provided so as to be able to contact at least one of the inner ring 231 as the swinging body or the planetary shaft 221 as the support body. The second axial seal member 92 is provided so as to be in contact with the first portion 911 and the second portion 912 of the first axial seal member 91 and is along the depth direction of the spacer groove portion 235. It is provided so that it can contact the inner peripheral surface extended.

このようにすれば、軸方向シール部材91は、第1空間235Aに供給された第1媒体によって、軸方向において軸方向シール部材92側に押圧される。軸方向シール部材92は、軸方向シール部材91により間座234に向けて押圧される。このとき、軸方向シール部材92は、遊星軸221に対して固定されている間座234により、軸方向に位置決めされている。そのため、軸方向シール部材92は、軸方向に押圧されることにより、ラジアル方向へ突出するように弾性変形する。そのため、遊星軸221と軸方向シール部材91との間、軸方向シール部材91と軸方向シール部材92との間、軸方向シール部材92と間座234との間の面接触または線接触部分は、軸方向シール部材92の弾性変形に伴って当該接触部分の延在方向に対し直交する方向に押圧されることになる。その結果、軸方向シール部材91,92は、間座溝部235と上記接触部234Aとの第1接続部を覆うことができる。また、周方向シール部材93,94がそれぞれ間座溝部235と上記接触部234Aとの第2接続部を覆うように設けられている。そのため、シール部材91,92,93,94は、ロータリーアクチュエータ80において間座溝部235に供給された第1媒体が第1接続部および第2接続部から外部へ漏れ出ることを抑制することができ、ロータリーアクチュエータ80による揺動効率を高めることができる。   In this way, the axial seal member 91 is pressed toward the axial seal member 92 in the axial direction by the first medium supplied to the first space 235A. The axial seal member 92 is pressed toward the spacer 234 by the axial seal member 91. At this time, the axial seal member 92 is positioned in the axial direction by a spacer 234 fixed to the planetary shaft 221. Therefore, the axial seal member 92 is elastically deformed so as to protrude in the radial direction when pressed in the axial direction. Therefore, the surface contact or line contact portion between the planetary shaft 221 and the axial seal member 91, between the axial seal member 91 and the axial seal member 92, and between the axial seal member 92 and the spacer 234 is As the axial seal member 92 is elastically deformed, it is pressed in a direction orthogonal to the extending direction of the contact portion. As a result, the axial seal members 91 and 92 can cover the first connection portion between the spacer groove portion 235 and the contact portion 234A. Further, circumferential seal members 93 and 94 are provided so as to cover the second connection portion between the spacer groove portion 235 and the contact portion 234A, respectively. Therefore, the seal members 91, 92, 93, 94 can suppress the leakage of the first medium supplied to the spacer groove 235 in the rotary actuator 80 from the first connection portion and the second connection portion. The swinging efficiency by the rotary actuator 80 can be increased.

また、周方向シール部材93,94において一端E6に凹部95が形成されていることにより、周方向シール部材93,94は、第1空間235Aに供給された第1媒体により凹部95内からを押圧されることになる。そのため、周方向シール部材93,94の一端E6において間座234および遊星軸221と接触している上記部分は、凹部95が形成されていない場合と比べてより強く間座234および遊星軸221と接触することができる。   Further, since the concave portion 95 is formed at one end E6 of the circumferential seal members 93 and 94, the circumferential seal members 93 and 94 are pressed from within the concave portion 95 by the first medium supplied to the first space 235A. Will be. Therefore, the above-mentioned portion that is in contact with the spacer 234 and the planetary shaft 221 at one end E6 of the circumferential seal members 93 and 94 is more strongly connected to the spacer 234 and the planetary shaft 221 than in the case where the recess 95 is not formed. Can touch.

<変形例>
軸方向シール部材91,92は、図11および図14に示される構成に限られるものではない。図18〜図20は、軸方向シール部材91,92の変形例を示す図である。なお、図18〜図20では、軸方向シール部材および間座234の構成のみを示し、他は図示していない。図18〜図20に示される間座234および第1空間235Aは、図11および図13に示される間座234および第1空間235Aと基本的に同様の構成を備えている。
<Modification>
The axial seal members 91 and 92 are not limited to the configuration shown in FIGS. 11 and 14. 18-20 is a figure which shows the modification of the axial direction sealing members 91 and 92. As shown in FIG. 18 to 20, only the configuration of the axial seal member and the spacer 234 is shown, and the others are not shown. The spacer 234 and the first space 235A shown in FIGS. 18 to 20 have basically the same configuration as the spacer 234 and the first space 235A shown in FIGS. 11 and 13.

図18を参照して、軸方向シール部材91は、ラジアル方向において軸方向シール部材92を挟むように形成された2つの軸方向シール部材91A,91Bにより構成されていてもよい。軸方向シール部材91A,91Bは、それぞれラジアル方向に沿って延びるように形成されている部分と、軸方向に沿って延びるように形成されている部分とを有している。軸方向シール部材91A,91Bのラジアル方向に沿って延びるように形成されている部分は、それぞれ軸方向に沿って延びるように形成されている部分が位置する側の側面において軸方向シール部材92と面接触しており、当該側面とは反対側に位置する側面において第1空間235Aに面している。軸方向シール部材91Aのラジアル方向に沿って延びるように形成されている部分、および軸方向シール部材91Bのラジアル方向に沿って延びるように形成されている部分は、ラジアル方向に連なるように設けられている。軸方向シール部材91Aのラジアル方向に沿って延びるように形成されている部分の内周端と、軸方向シール部材91Bのラジアル方向に沿って延びるように形成されている部分の外周端とは、軸方向シール部材92と軸方向に重なる位置において互いに対向するように配置されている。軸方向シール部材91Bの軸方向に沿って延びるように形成されている部分は、外周面が間座234と面接触し、内周面が軸方向シール部材92と面接触している。なお、軸方向シール部材91Aの上記内周端と軸方向シール部材91Bの上記外周端とは、接触していてもよいし、接触可能に設けられていてもよい。   Referring to FIG. 18, the axial seal member 91 may be configured by two axial seal members 91 </ b> A and 91 </ b> B formed so as to sandwich the axial seal member 92 in the radial direction. Each of the axial seal members 91A and 91B has a portion formed so as to extend along the radial direction and a portion formed so as to extend along the axial direction. The portions formed so as to extend along the radial direction of the axial seal members 91A and 91B are respectively connected to the axial seal member 92 on the side surface on which the portions formed so as to extend along the axial direction are located. It is in surface contact and faces the first space 235A on the side surface opposite to the side surface. The portion formed so as to extend along the radial direction of the axial seal member 91A and the portion formed so as to extend along the radial direction of the axial seal member 91B are provided so as to be continuous in the radial direction. ing. An inner peripheral end of a portion formed so as to extend along the radial direction of the axial seal member 91A and an outer peripheral end of a portion formed so as to extend along the radial direction of the axial seal member 91B are: It arrange | positions so that it may mutually oppose in the position which overlaps with the axial direction sealing member 92 and an axial direction. As for the part formed so that it may extend along the axial direction of the axial direction seal member 91B, an outer peripheral surface is in surface contact with the spacer 234, and an inner peripheral surface is in surface contact with the axial direction seal member 92. In addition, the inner peripheral end of the axial seal member 91A and the outer peripheral end of the axial seal member 91B may be in contact with each other or may be provided so as to be in contact with each other.

このようにしても、軸方向シール部材91A,91Bは、第1空間235Aに供給された第1媒体により軸方向において軸方向シール部材92側に押圧される。その結果、軸方向シール部材92が上述のように弾性変形するため、遊星軸221(図11参照)と軸方向シール部材91Aとの間、軸方向シール部材91Aと軸方向シール部材92との間、軸方向シール部材92と軸方向シール部材91Bとの間、軸方向シール部材91Bと間座234との間、および軸方向シール部材92と間座234との間の面接触または線接触部分は、軸方向シール部材92の弾性変形に伴って当該接触部分の延在方向に対し直交する方向に押圧されることになる。そのため、各接触部分は高いシール性を発揮することができる。   Even in this case, the axial seal members 91A and 91B are pressed toward the axial seal member 92 in the axial direction by the first medium supplied to the first space 235A. As a result, the axial seal member 92 is elastically deformed as described above, and therefore, between the planetary shaft 221 (see FIG. 11) and the axial seal member 91A, and between the axial seal member 91A and the axial seal member 92. The surface contact or line contact portion between the axial seal member 92 and the axial seal member 91B, between the axial seal member 91B and the spacer 234, and between the axial seal member 92 and the spacer 234 is As the axial seal member 92 is elastically deformed, it is pressed in a direction orthogonal to the extending direction of the contact portion. Therefore, each contact part can exhibit high sealing performance.

図19を参照して、軸方向シール部材91は、ラジアル方向に沿って延びるように形成されている部分の外周端が尖鋭な形状の尖端として形成されていてもよい。軸方向シール部材91のラジアル方向に沿って延びるように形成されている部分は、第1空間235Aに面している側面が1つの平面として構成されており、当該側面とは反対側に位置する側面が互いに交差する方向に延びる2つの平面により構成されている。当該2つの平面は、第1空間235Aに面している側面に対して鋭角を成すように設けられている面、および第1空間235Aに面している側面と略平行に設けられている面である。このとき、軸方向シール部材92は、軸方向シール部材91の上記2つの平面とそれぞれ面接触可能に設けられているのが好ましい。   Referring to FIG. 19, the axial seal member 91 may be formed as a sharp tip having a sharp outer peripheral end that is formed so as to extend along the radial direction. The portion of the axial seal member 91 formed so as to extend along the radial direction has a side surface facing the first space 235 </ b> A as one plane, and is located on the opposite side to the side surface. The side surface is constituted by two planes extending in a direction intersecting each other. The two planes are a plane provided to form an acute angle with respect to the side surface facing the first space 235A, and a plane provided substantially parallel to the side surface facing the first space 235A. It is. At this time, it is preferable that the axial seal member 92 is provided so as to be in surface contact with the two planes of the axial seal member 91.

このようにしても、軸方向シール部材91は、第1空間235Aに供給された第1媒体により軸方向において軸方向シール部材92側に押圧されることにより、軸方向シール部材92をラジアル方向へ突出するように弾性変形させることができる。これにより、遊星軸221(図11参照)と軸方向シール部材91との間、軸方向シール部材91と軸方向シール部材92との間、および軸方向シール部材92と間座234との間の面接触または線接触部分は、軸方向シール部材92の弾性変形に伴って当該接触部分の延在方向に対し直交する方向に押圧されることになる。そのため、各接触部分は高いシール性を発揮することができる。   Even in this case, the axial seal member 91 is pressed toward the axial seal member 92 in the axial direction by the first medium supplied to the first space 235A, thereby causing the axial seal member 92 to move in the radial direction. It can be elastically deformed so as to protrude. Accordingly, between the planetary shaft 221 (see FIG. 11) and the axial seal member 91, between the axial seal member 91 and the axial seal member 92, and between the axial seal member 92 and the spacer 234. The surface contact or line contact portion is pressed in a direction orthogonal to the extending direction of the contact portion as the axial seal member 92 is elastically deformed. Therefore, each contact part can exhibit high sealing performance.

図11、図18および図19に示される軸方向シール部材91,92は、間座溝部234内において第1空間235Aを挟んで軸方向に対向するように設けられているが、これに限られるものではない。図20を参照して、軸方向シール部材96は、たとえば遊星軸221(図11参照)とともに第1空間235Aを囲むように設けられていてもよい。このとき、軸方向シール部材96は、間座234の間座溝部235の内周面に沿うように形成されているのが好ましい。言い換えると、軸方向シール部材96は、ラジアル方向および軸方向において内側に位置する内周面97が第1空間235Aに面しており、内周面97の反対側に位置する外周面98が間座溝部235の内周面と面接触しているのが好ましい。軸方向シール部材96は、ラジアル方向における内周端が遊星軸221(図11参照)と面接触または線接触している。   The axial seal members 91 and 92 shown in FIGS. 11, 18, and 19 are provided so as to face each other in the axial direction with the first space 235 </ b> A interposed in the spacer groove 234, but are not limited thereto. It is not a thing. Referring to FIG. 20, the axial seal member 96 may be provided so as to surround the first space 235A together with, for example, the planetary shaft 221 (see FIG. 11). At this time, the axial seal member 96 is preferably formed along the inner peripheral surface of the spacer groove 235 of the spacer 234. In other words, the axial seal member 96 has an inner peripheral surface 97 located on the inner side in the radial direction and the axial direction facing the first space 235A, and an outer peripheral surface 98 positioned on the opposite side of the inner peripheral surface 97. It is preferably in surface contact with the inner peripheral surface of the seat groove 235. The axial direction sealing member 96 has an inner peripheral end in the radial direction in surface contact or line contact with the planetary shaft 221 (see FIG. 11).

軸方向シール部材96は、間座溝部235の上記周方向に直交する断面の形状が方形状の場合に当該断面の形状がコ字状であり、半円形状の場合にC字状である。この場合、周方向シール部材93,94(図13参照)の上記一端E6(図13参照)においてラジアル方向の外周側に位置する部分は、軸方向シール部材96と線接触または面接触している。   The axial seal member 96 is U-shaped when the cross-sectional shape perpendicular to the circumferential direction of the spacer groove 235 is square, and C-shaped when the semi-circular shape. In this case, the portion located on the outer peripheral side in the radial direction at the one end E6 (see FIG. 13) of the circumferential seal members 93 and 94 (see FIG. 13) is in line contact or surface contact with the axial seal member 96. .

このようにしても、軸方向シール部材96が間座234と遊星軸221との接触面と、間座溝部235(図13参照)において軸方向に交差する方向(たとえばラジアル方向)に沿って延びる内周面との接続部を覆うように設けられていれば、第1空間235Aに供給された第1媒体が上記接続部から外部へ漏れ出ることを当該軸方向シール部材96により抑制することができる。そのため、移動部(図示しない)は、軸受装置が軸方向シール部材を備えない場合と比べて、より少ない量の第1媒体によって第1空間235Aの上記他方端を移動させることができる。その結果、軸方向シール部材96を備える軸受装置201は、軸方向シール部材96を備えない軸受装置と比べて、より効率的に長い軸受寿命を実現できる。   Even in this case, the axial seal member 96 extends along the contact surface between the spacer 234 and the planetary shaft 221 and the direction (for example, radial direction) intersecting the axial direction at the spacer groove portion 235 (see FIG. 13). If provided so as to cover the connection portion with the inner peripheral surface, the axial seal member 96 prevents the first medium supplied to the first space 235 </ b> A from leaking out from the connection portion. it can. Therefore, the moving part (not shown) can move the other end of the first space 235 </ b> A with a smaller amount of the first medium as compared with the case where the bearing device does not include the axial seal member. As a result, the bearing device 201 including the axial seal member 96 can achieve a longer bearing life more efficiently than a bearing device not including the axial seal member 96.

周方向シール部材36,37および周方向シール部材93,94は、図6〜図8および図15〜図17に示される構成に限られるものではない。図21〜図26は、周方向シール部材36,37,93,94の変形例を示す図である。図21〜図23を参照して、周方向シール部材36,37,93,94は、周方向に直交する断面の形状がV字状であってもよい。このとき、周方向シール部材36,37,93,94の一端E6を構成する部分の幅(厚み)は、他端E7を構成する部分の厚みと同等程度であってもよい。また、図24〜図26を参照して、周方向シール部材36,37,93,94は、一端E6を構成する部分の幅(厚み)が他端E7を構成する部分の厚みと比べて狭く(薄く)設けられていてもよい。   The circumferential seal members 36 and 37 and the circumferential seal members 93 and 94 are not limited to the configurations shown in FIGS. 6 to 8 and FIGS. 15 to 17. FIGS. 21 to 26 are views showing modifications of the circumferential seal members 36, 37, 93 and 94. With reference to FIGS. 21 to 23, the circumferential seal members 36, 37, 93, 94 may have a V-shaped cross section perpendicular to the circumferential direction. At this time, the width (thickness) of the portion constituting one end E6 of the circumferential seal members 36, 37, 93, 94 may be approximately the same as the thickness of the portion constituting the other end E7. 24 to 26, the circumferential seal members 36, 37, 93, and 94 are narrower in the width (thickness) of the portion constituting the one end E6 than the thickness of the portion constituting the other end E7. (Thin) may be provided.

図21〜図26に示される周方向シール部材93,94の一端E6および他端E7が、図13、図15〜図17に示される周方向シール部材93,94の一端E6および他端E7と同様に軸受装置内に配置されることにより、図21〜図26に示される周方向シール部材93,94は図15〜図17に示される周方向シール部材93,94と同様の効果を奏することができる。   One end E6 and the other end E7 of the circumferential seal members 93 and 94 shown in FIGS. 21 to 26 are connected to one end E6 and the other end E7 of the circumferential seal members 93 and 94 shown in FIGS. Similarly, the circumferential seal members 93 and 94 shown in FIGS. 21 to 26 have the same effects as the circumferential seal members 93 and 94 shown in FIGS. 15 to 17 by being arranged in the bearing device. Can do.

また、図24〜図26に示される周方向シール部材93,94は、上述のように、凹部95に面しており一端E6を構成する部分の厚みが他端E7を構成する部分の厚みと比べて薄いため、両部分の厚みが同等である場合と比べて、第1媒体により凹部95内から押圧されたときに容易に変形することができる。そのため、たとえば周方向シール部材93,94を構成する材料が比較的に弾性率の低い材料であっても、周方向シール部材93,94の一端E6は、間座234、遊星軸221、および軸方向シール部材91と強く接触することができる。   Further, as described above, the circumferential seal members 93 and 94 shown in FIGS. 24 to 26 face the recess 95, and the thickness of the portion constituting the one end E6 is the thickness of the portion constituting the other end E7. Compared to the case where the thicknesses of both portions are equal, the portions can be easily deformed when pressed from within the recess 95 by the first medium. Therefore, for example, even if the material constituting the circumferential seal members 93 and 94 is a material having a relatively low elastic modulus, one end E6 of the circumferential seal members 93 and 94 is connected to the spacer 234, the planetary shaft 221 and the shaft. It is possible to make strong contact with the direction seal member 91.

なお、図1〜図3は軸方向シール部材35および周方向シール部材36,37が転がり軸受30を備える軸受装置1に適用された例を示すが、上述した軸方向シール部材35および周方向シール部材36,37は、滑り軸受を備える軸受装置1にも同様に適用され得る。また、図10は、軸方向シール部材91,92および周方向シール部材93,94が、転がり軸受230を備える軸受装置201に適用された例を示すが、上述した軸方向シール部材91,92および周方向シール部材93,94は、滑り軸受を備える軸受装置201にも同様に適用され得る。   1 to 3 show an example in which the axial seal member 35 and the circumferential seal members 36 and 37 are applied to the bearing device 1 including the rolling bearing 30, but the axial seal member 35 and the circumferential seal described above. The members 36 and 37 can be similarly applied to the bearing device 1 including a sliding bearing. FIG. 10 shows an example in which the axial seal members 91 and 92 and the circumferential seal members 93 and 94 are applied to the bearing device 201 including the rolling bearing 230. The axial seal members 91 and 92 described above and The circumferential seal members 93 and 94 can be similarly applied to the bearing device 201 including a slide bearing.

以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲のすべての変更が含まれることが意図される。   Although the embodiment of the present invention has been described as above, the embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明は、交換作業が困難な軸受を備える軸受装置、機械装置、および軸受に特に有利に適用される。   The present invention is particularly advantageously applied to a bearing device, a mechanical device, and a bearing including a bearing that is difficult to exchange.

1 軸受装置、10 回転軸、20 ハウジング、22 突出部材、23 第1貫通孔、24 第2貫通孔、25 ハウジング溝部、30,230 軸受、31,231 内輪、32,232 外輪、33 転動体、34 外輪溝部、34A,235A 第1空間、34B,235B 第2空間、35,91,91A,91B,92,96 軸方向シール部材、36,37,93,94 周方向シール部材、40 移動部、50 摩擦力低減部、80 ロータリーアクチュエータ、100 機械装置、200 遊星歯車機構、210 太陽歯車、211 出力軸、220 遊星歯車、221 遊星軸、222 キャリア、234 間座、235 間座溝部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Bearing apparatus, 10 Rotating shaft, 20 Housing, 22 Protruding member, 23 1st through-hole, 24 2nd through-hole, 25 Housing groove part, 30, 230 Bearing, 31,231 Inner ring, 32,232 Outer ring, 33 Rolling body, 34 outer ring groove portion, 34A, 235A first space, 34B, 235B second space, 35, 91, 91A, 91B, 92, 96 axial seal member, 36, 37, 93, 94 circumferential seal member, 40 moving portion, 50 frictional force reduction unit, 80 rotary actuator, 100 mechanical device, 200 planetary gear mechanism, 210 sun gear, 211 output shaft, 220 planetary gear, 221 planetary shaft, 222 carrier, 234 spacer, 235 spacer groove.

Claims (7)

軸方向に延びる揺動体と、前記揺動体を周方向に揺動可能に支持する支持体とを備え、前記揺動体と前記支持体とのいずれか一方には前記周方向に沿って延びる溝部が形成されており、前記溝部は前記揺動体と前記支持体との接触部と接続されており、前記溝部に供給された媒体の圧力を受けて前記周方向に揺動動作を行うロータリーアクチュエータに用いられるシール部材であって、
前記溝部と前記接触部との第1接続部は、前記周方向に沿って延びるように配置されており、前記第1接続部を覆うことが可能な軸方向シール部材と、
前記溝部と前記接触部との第2接続部は、前記軸方向に沿って延びるように配置されており、前記第2接続部を覆うことが可能な周方向シール部材とを備え、
前記周方向シール部材は、凹部が形成されている外周面を有し、
前記周方向シール部材を前記凹部が前記溝部の内側に向いた状態で前記第2接続部を覆うように配置したときに、前記周方向シール部材の前記外周面の少なくとも1辺は、前記軸方向シール部材において前記溝部の内側で露出する部分と沿うように設けられている、シール部材。
An oscillating body that extends in the axial direction and a support that supports the oscillating body so as to be able to oscillate in the circumferential direction. The groove portion is connected to a contact portion between the rocking body and the support body, and is used for a rotary actuator that swings in the circumferential direction in response to the pressure of the medium supplied to the groove portion. A sealing member,
A first connecting portion between the groove and the contact portion is disposed so as to extend along the circumferential direction, and an axial seal member capable of covering the first connecting portion;
A second connecting portion between the groove and the contact portion is disposed so as to extend along the axial direction, and includes a circumferential seal member capable of covering the second connecting portion;
The circumferential seal member has an outer peripheral surface in which a recess is formed,
When the circumferential seal member is disposed so as to cover the second connecting portion with the concave portion facing the inside of the groove portion, at least one side of the outer circumferential surface of the circumferential seal member is the axial direction. A seal member provided along a portion of the seal member that is exposed inside the groove.
前記周方向シール部材を前記凹部が前記溝部の内側に向いた状態で前記第2接続部を覆うように配置したときに、前記溝部の内側に向く前記外周面の部分の中央部に前記凹部が形成されている、請求項1に記載のシール部材。   When the circumferential seal member is disposed so as to cover the second connecting portion in a state in which the concave portion is directed to the inside of the groove portion, the concave portion is provided at a central portion of the outer peripheral surface portion that is directed to the inner side of the groove portion. The sealing member according to claim 1, wherein the sealing member is formed. 前記軸方向シール部材は、第1の軸方向シール部材と第2の軸方向シール部材とを含み、
前記第1の軸方向シール部材は、前記溝部の深さ方向および前記周方向に沿って延びるように形成されている第1部分と、前記第1部分と接続されているととともに、前記軸方向および前記周方向に沿って延びるように形成されており、かつ、前記揺動体または前記支持体の少なくとも一方と接触可能に設けられている第2部分とを有し、
前記第2の軸方向シール部材は、前記第1の軸方向シール部材の前記第1部分および前記第2部分と接触可能に設けられており、かつ、前記溝部の前記深さ方向に沿って延びる内周面と接触可能に設けられている、請求項1または請求項2に記載のシール部材。
The axial seal member includes a first axial seal member and a second axial seal member;
The first axial seal member includes a first portion formed to extend along the depth direction of the groove and the circumferential direction, and is connected to the first portion, and the axial direction. And a second portion formed so as to extend along the circumferential direction, and provided so as to be able to contact at least one of the rocking body or the support body,
The second axial seal member is provided so as to be in contact with the first portion and the second portion of the first axial seal member, and extends along the depth direction of the groove portion. The seal member according to claim 1, wherein the seal member is provided so as to be in contact with the inner peripheral surface.
前記軸方向シール部材は、前記周方向に直交する断面形状がコ字状であり、
前記軸方向シール部材の内周面と前記周方向シール部材の前記外周面とが線接触または面接触可能に形成されている、請求項1または請求項2に記載のシール部材。
The axial seal member has a U-shaped cross-section perpendicular to the circumferential direction,
The seal member according to claim 1 or 2, wherein the inner circumferential surface of the axial seal member and the outer circumferential surface of the circumferential seal member are formed so as to be in line contact or surface contact.
前記シール部材を構成する材料は弾性を有している、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のシール部材。   The seal member according to any one of claims 1 to 4, wherein a material constituting the seal member has elasticity. 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のシール部材を備え、
前記周方向シール部材は、前記凹部が前記溝部の内側に向いた状態で前記第2接続部を覆うように配置されており、前記周方向シール部材の前記外周面の少なくとも1辺は、前記軸方向シール部材において前記溝部の内側で露出する部分と線接触または面接触している、ロータリーアクチュエータ。
A seal member according to any one of claims 1 to 5, comprising:
The circumferential seal member is disposed so as to cover the second connecting portion in a state in which the concave portion faces the inside of the groove portion, and at least one side of the outer circumferential surface of the circumferential seal member is formed on the shaft. A rotary actuator that is in line contact or surface contact with a portion of the direction seal member that is exposed inside the groove.
請求項6に記載のロータリーアクチュエータと、
内輪と、
前記内輪の外周を囲むように形成された外輪とを含む軸受とを備え、
前記ロータリーアクチュエータおよび前記軸受は、前記周方向と前記内輪および前記外輪の周方向とが重なるように配置されており、
前記内輪または前記外輪の前記周方向の一部は、前記軸受の静止時においてラジアル荷重を受ける負荷域になっており、
前記ロータリーアクチュエータは、前記揺動体が前記支持体に対して前記周方向に揺動されることにより、前記内輪または前記外輪において前記負荷域を移動可能に設けられている、軸受装置。
A rotary actuator according to claim 6;
Inner ring,
A bearing including an outer ring formed so as to surround the outer periphery of the inner ring,
The rotary actuator and the bearing are arranged so that the circumferential direction overlaps with the circumferential direction of the inner ring and the outer ring,
A portion of the inner ring or the outer ring in the circumferential direction is a load region that receives a radial load when the bearing is stationary,
The rotary actuator is a bearing device that is provided so as to be able to move the load region in the inner ring or the outer ring when the swinging body swings in the circumferential direction with respect to the support.
JP2015184014A 2015-09-17 2015-09-17 Seal member, rotary actuator and bearing device Pending JP2017057945A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015184014A JP2017057945A (en) 2015-09-17 2015-09-17 Seal member, rotary actuator and bearing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015184014A JP2017057945A (en) 2015-09-17 2015-09-17 Seal member, rotary actuator and bearing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017057945A true JP2017057945A (en) 2017-03-23

Family

ID=58389582

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015184014A Pending JP2017057945A (en) 2015-09-17 2015-09-17 Seal member, rotary actuator and bearing device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017057945A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6861730B2 (en) Sliding parts
US10648569B2 (en) Sliding component
EP3361128B1 (en) Sliding component
JP6345695B2 (en) Sliding parts
JPWO2018092742A1 (en) Sliding parts
JP6279474B2 (en) Sliding parts
TWI441983B (en) Stator seal assembly in uniaxial eccentric screw pump
JP6620680B2 (en) Flow path switching valve
JP6456955B2 (en) mechanical seal
US7351047B2 (en) Swash-plate variable volume chamber-type fluid machine
JP2017057945A (en) Seal member, rotary actuator and bearing device
KR101367693B1 (en) Seal assembly and rotary actuator containing such seal assembly
JP6721674B2 (en) Pumps and closure devices
WO2020209258A1 (en) Sliding component
JP2005003022A (en) Spindle type selector valve
JP6936321B2 (en) Device for sealing objects
JP2016095024A (en) Bearing device, mechanical device, and bearing
JPS62288719A (en) Dynamic pressure thrust bearing
JP7166985B2 (en) Anti-rotation pin for mechanical seal
US20230304532A1 (en) Tilting pad bearing
JP2012026348A (en) Pump sealing mechanism, and pump with the same
JP2011185431A (en) Wide-angle vane type rocking actuator
JP2022025504A (en) Fluid machine
KR20240019290A (en) sliding parts
JP2013053542A (en) Seal device