JP2017050312A - Printed wiring board and manufacturing method for printed wiring board - Google Patents

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輝幸 石原
Teruyuki Ishihara
輝幸 石原
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公輔 池田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printed wiring board capable of suppressing stress occurring due to warp and a manufacturing method for the printed wiring board.SOLUTION: A bottom 73SI of a mounting via conductor 60I exposed from an opening 26 formed in a first circuit board 130 forms a pad for mounting an electronic component, and the component composition of an insulating layer 30 of the first circuit board 130 and the component composition of a first resin insulating layer 50 are the same. Therefore, since the difference between the thermal expansion coefficient of the insulating layer 30 of the first circuit board 130 and the thermal expansion coefficient of the first resin insulating layer 50 is reduced, so that occurring stress can be suppressed even in the case of a printed wiring board 10 having an opening 60 for exposing a mounting area SMF.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、実装エリアを有する第2回路基板と実装エリアを露出するための開口を有する第1回路基板とからなるプリント配線板及びプリント配線板の製造方法に関する。 The present invention relates to a printed wiring board including a second circuit board having a mounting area and a first circuit board having an opening for exposing the mounting area, and a method for manufacturing the printed wiring board.

特許文献1は、電子部品の実装領域を備える多層のベース基板と実装領域を露出させるキャビティを備えるキャビティ基板とから成る半導体素子搭載用のパッケージ基板を開示している。 Patent Document 1 discloses a package substrate for mounting a semiconductor element, which includes a multilayer base substrate having a mounting region for electronic components and a cavity substrate having a cavity for exposing the mounting region.

特開2015−060912号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-060912

特許文献1に開示されているパッケージ基板では、ベース基板に対するキャビティ基板の構造が非対称構造となるため、パッケージ基板が反りやすいと考えられる。また、反りに起因する応力によってキャビティ直下のベース基板にクラックが発生しやすいと考えられる。 In the package substrate disclosed in Patent Document 1, since the structure of the cavity substrate with respect to the base substrate is an asymmetric structure, the package substrate is considered to be easily warped. In addition, it is considered that cracks are likely to occur in the base substrate immediately below the cavity due to stress caused by warpage.

本発明のプリント配線板は、実装エリアを有する第3面と前記第3面と反対側の第4面とを有する第2回路基板と、前記第2回路基板の第3面上に積層されていて、第1面と前記第1面と反対側の第2面を有し、前記実装エリアを露出するための開口を有する第1回路基板と、からなる。そして、前記第1回路基板の前記第1面と前記第2回路基板の前記第3面が対向し、前記第2回路基板は、上面と前記上面と反対側の下面とを有し、前記下面から前記上面に至る第1ビア導体用の開口を有する第1の樹脂絶縁層と、前記第1の樹脂絶縁層の前記下面に形成されている第2回路基板内の第1導体層と、前記第1ビア導体用の開口に形成されていて前記第2回路基板内の第1導体層に繋がっている第1ビア導体とを有し、前記第3面と前記上面は同じ面であって、前記開口から露出する前記第1ビア導体のボトムは電子部品を搭載するためのパッドを形成し、前記第1回路基板の絶縁層と前記第1の樹脂絶縁層との成分組成が同一である。 The printed wiring board of the present invention is laminated on a second circuit board having a third surface having a mounting area and a fourth surface opposite to the third surface, and a third surface of the second circuit board. And a first circuit board having a first surface and a second surface opposite to the first surface and having an opening for exposing the mounting area. The first surface of the first circuit board and the third surface of the second circuit board face each other, and the second circuit board has an upper surface and a lower surface opposite to the upper surface, and the lower surface A first resin insulation layer having an opening for a first via conductor extending from the top surface to the top surface, a first conductor layer in a second circuit board formed on the bottom surface of the first resin insulation layer, A first via conductor formed in the opening for the first via conductor and connected to the first conductor layer in the second circuit board, and the third surface and the upper surface are the same surface, The bottom of the first via conductor exposed from the opening forms a pad for mounting an electronic component, and the component composition of the insulating layer of the first circuit board and that of the first resin insulating layer are the same.

本発明のプリント配線板では、第1回路基板に形成される開口から露出する第1ビア導体のボトムは電子部品を搭載するためのパッドを形成し、第1回路基板の絶縁層と第1の樹脂絶縁層との成分組成が同一である。このため、第1回路基板の絶縁層の熱膨張係数と第1の樹脂絶縁層の熱膨張係数との差が小さくなるので、実装エリアを露出するための開口を有するプリント配線板であっても、発生する応力を抑制することができる。 In the printed wiring board of the present invention, the bottom of the first via conductor exposed from the opening formed in the first circuit board forms a pad for mounting an electronic component, and the insulating layer of the first circuit board and the first layer The component composition of the resin insulation layer is the same. For this reason, since the difference between the thermal expansion coefficient of the insulating layer of the first circuit board and the thermal expansion coefficient of the first resin insulating layer is reduced, even a printed wiring board having an opening for exposing the mounting area The generated stress can be suppressed.

図1(A)は本発明の第1実施形態に係るプリント配線板の断面図であり、図1(B)は第1回路基板と第1回路基板の開口から露出する実装エリアを示す平面図である。FIG. 1A is a cross-sectional view of a printed wiring board according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a plan view showing a first circuit board and a mounting area exposed from the opening of the first circuit board. It is. 図2(A)第1実施形態に係る半導体装置の断面図であり、図2(B)は半導体装置の応用例の断面図である。2A is a cross-sectional view of the semiconductor device according to the first embodiment, and FIG. 2B is a cross-sectional view of an application example of the semiconductor device. 第1実施形態のプリント配線板の製造工程図。The manufacturing process figure of the printed wiring board of 1st Embodiment. 第1実施形態のプリント配線板の製造工程図。The manufacturing process figure of the printed wiring board of 1st Embodiment. 第1実施形態のプリント配線板の製造工程図。The manufacturing process figure of the printed wiring board of 1st Embodiment. 第1実施形態のプリント配線板の製造工程図。The manufacturing process figure of the printed wiring board of 1st Embodiment. 第1実施形態のプリント配線板の製造工程図。The manufacturing process figure of the printed wiring board of 1st Embodiment. 本発明の第1実施形態の改変例に係るプリント配線板の断面図。Sectional drawing of the printed wiring board which concerns on the modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係るプリント配線板の断面図。Sectional drawing of the printed wiring board which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 第2実施形態のプリント配線板の製造工程図。The manufacturing process figure of the printed wiring board of 2nd Embodiment. 第2実施形態のプリント配線板の製造工程図。The manufacturing process figure of the printed wiring board of 2nd Embodiment.

[第1実施形態]
図1(A)は第1実施形態のプリント配線板10を示す。第1実施形態のプリント配線板10は、第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有する第1回路基板130と第3面Vと第3面Vと反対側の第4面Wとを有する第2回路基板155を有する。
[First embodiment]
FIG. 1A shows a printed wiring board 10 of the first embodiment. The printed wiring board 10 of the first embodiment includes a first circuit board 130 having a first surface F and a second surface S opposite to the first surface F, a third surface V, and a third surface V opposite to the first surface F. A second circuit board 155 having a fourth surface W is included.

図1(A)に示されている第2回路基板155は、交互に積層されている導体層58、158、258、358と第1の樹脂絶縁層50、第2の樹脂絶縁層150、第3樹脂絶縁層250、第4の樹脂絶縁層350とから成るビルドアップ層55で形成されている。第2回路基板155は第1回路基板130の第1面F上に積層されている。第2回路基板155の第3面Vと第1回路基板130の第1面Fは接している。第2回路基板155のビルドアップ層55を構成する第1の樹脂絶縁層50はエポキシ系樹脂などのモールド樹脂と無機フィラー(無機粒子)を含有するように形成されている。第1の樹脂絶縁層50は、シリカやアルミナなどの無機フィラーを70〜85重量%含み、ガラス繊維やガラスクロスやアラミド繊維のような補強材を含まない。第2回路基板155のビルドアップ層55を構成する第2の樹脂絶縁層150、第3の樹脂絶縁層250、第4の樹脂絶縁層350は、エポキシ系樹脂と無機フィラーを含有するように形成されている。第2の樹脂絶縁層150、第3の樹脂絶縁層250、第4の樹脂絶縁層350は、無機フィラーを30〜45重量%含み、補強材を含まない。各樹脂絶縁層50、150、250、350には、それぞれの樹脂絶縁層を貫通するビア導体60、160、260、360が形成されている。ビア導体60、160、260、360は、第4面W側から第3面V側に向かって径が小さくなるようにテーパーしている。ビア導体60、160、260、360により隣接する導体層が接続されている。 The second circuit board 155 shown in FIG. 1A includes conductor layers 58, 158, 258, and 358 that are alternately stacked, a first resin insulating layer 50, a second resin insulating layer 150, and a second layer. It is formed by a build-up layer 55 composed of three resin insulation layers 250 and a fourth resin insulation layer 350. The second circuit board 155 is stacked on the first surface F of the first circuit board 130. The third surface V of the second circuit board 155 and the first surface F of the first circuit board 130 are in contact with each other. The first resin insulating layer 50 constituting the build-up layer 55 of the second circuit board 155 is formed so as to contain a mold resin such as an epoxy resin and an inorganic filler (inorganic particles). The first resin insulation layer 50 contains 70 to 85% by weight of an inorganic filler such as silica or alumina, and does not contain a reinforcing material such as glass fiber, glass cloth, or aramid fiber. The second resin insulating layer 150, the third resin insulating layer 250, and the fourth resin insulating layer 350 constituting the build-up layer 55 of the second circuit board 155 are formed so as to contain an epoxy resin and an inorganic filler. Has been. The second resin insulation layer 150, the third resin insulation layer 250, and the fourth resin insulation layer 350 contain 30 to 45% by weight of an inorganic filler and do not contain a reinforcing material. Via conductors 60, 160, 260, 360 penetrating through the respective resin insulation layers are formed in the respective resin insulation layers 50, 150, 250, 350. The via conductors 60, 160, 260, 360 are tapered so that the diameter decreases from the fourth surface W side toward the third surface V side. Adjacent conductor layers are connected by via conductors 60, 160, 260, 360.

第2回路基板155は第3面Vの略中央部分に図1(B)に示される実装エリアSMFを有する。図1(B)のX1−X1断面が図1(A)に対応する。実装エリアSMFは第1回路基板130の開口26により露出されている。第1の樹脂絶縁層50には、開口26の底部を構成する凹部51が形成されている。実装エリアSMF上にICチップ等の電子部品が実装される。 The second circuit board 155 has a mounting area SMF shown in FIG. An X1-X1 cross section in FIG. 1B corresponds to FIG. The mounting area SMF is exposed through the opening 26 of the first circuit board 130. The first resin insulating layer 50 has a recess 51 that forms the bottom of the opening 26. An electronic component such as an IC chip is mounted on the mounting area SMF.

図1(A)に示されている第1回路基板130は、モールド樹脂と無機フィラーを含有するように形成される絶縁層30と、導体ポスト32から成るスルーホール導体36とスルーホール導体36の第1端子36Fと第2端子36Sとで形成されている。絶縁層30は第1の樹脂絶縁層50との成分組成が同一であり、補強材を含まない。絶縁層30は第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sを有する。第1端子36Fは第1面F上に形成されていて、第2端子36Sは第2面S上に形成されている。第1回路基板130は、さらに、第2回路基板155の実装エリアSMFを露出するための開口26を有している。 A first circuit board 130 shown in FIG. 1A includes an insulating layer 30 formed so as to contain a mold resin and an inorganic filler, and a through-hole conductor 36 and a through-hole conductor 36 composed of conductor posts 32. The first terminal 36F and the second terminal 36S are formed. The insulating layer 30 has the same component composition as the first resin insulating layer 50 and does not include a reinforcing material. The insulating layer 30 has a first surface F and a second surface S opposite to the first surface F. The first terminal 36F is formed on the first surface F, and the second terminal 36S is formed on the second surface S. The first circuit board 130 further has an opening 26 for exposing the mounting area SMF of the second circuit board 155.

絶縁層30及び第1の樹脂絶縁層50は、成分組成が同一であり、第2の樹脂絶縁層150、第3の樹脂絶縁層250、第4の樹脂絶縁層350よりも無機フィラーの含有率が多く熱膨張係数(CTE)が小さい。実装エリアSMF上に実装される電子部品を囲う樹脂絶縁層の成分組成が同一となる。 The insulating layer 30 and the first resin insulating layer 50 have the same component composition, and the inorganic filler content is higher than that of the second resin insulating layer 150, the third resin insulating layer 250, and the fourth resin insulating layer 350. The coefficient of thermal expansion (CTE) is small. The component composition of the resin insulating layer surrounding the electronic component mounted on the mounting area SMF is the same.

図1(A)に示されるように、第1回路基板130の第1面Fと第1端子36F上に第1の樹脂絶縁層50が形成されている。第1の樹脂絶縁層50に第1の樹脂絶縁層50を貫通するビア導体60(60i、60o)用の開口68(68i、68o)が形成されている。第1の樹脂絶縁層50上に第2回路基板155内の導体層58が形成されている。ビア導体60用の開口68にビア導体60が形成されている。ビア導体60は、導体層(第2回路基板内の第1導体層)58と第1端子36Fを接続している接続用ビア導体60oと電子部品を実装するための実装用ビア導体(第1ビア導体)60iを有する。接続用ビア導体60oは第1回路基板130内のスルーホール導体36の第1端子36Fに直接接続されることが好ましい。 As shown in FIG. 1A, a first resin insulating layer 50 is formed on the first surface F of the first circuit board 130 and the first terminals 36F. Openings 68 (68i, 68o) for via conductors 60 (60i, 60o) penetrating the first resin insulation layer 50 are formed in the first resin insulation layer 50. A conductor layer 58 in the second circuit board 155 is formed on the first resin insulation layer 50. A via conductor 60 is formed in the opening 68 for the via conductor 60. The via conductor 60 includes a connecting via conductor 60o connecting the conductor layer (first conductor layer in the second circuit board) 58 and the first terminal 36F, and a mounting via conductor (first for mounting electronic components). Via conductor) 60i. The connecting via conductor 60o is preferably connected directly to the first terminal 36F of the through-hole conductor 36 in the first circuit board 130.

実装用ビア導体60iは実装エリアSMF内に形成されている。実装用ビア導体60iは、第1の樹脂絶縁層50のビア導体用の開口68i内に形成されている。実装用ビア導体60iのボトム(C4パッド)73SIは開口68iにより露出される。また、C4パッド73SIは、第1回路基板130の開口26により露出される。実装用ビア導体60iのボトム(C4パッド)73SIは、開口26と開口68iにより露出される。接続用ビア導体60oは、第1の樹脂絶縁層50の開口68o内に形成されている。接続用ビア導体60oのボトム60Bはスルーホール導体36の第1端子36Fに直接接続している。 The mounting via conductor 60i is formed in the mounting area SMF. The mounting via conductor 60 i is formed in the opening 68 i for the via conductor of the first resin insulating layer 50. The bottom (C4 pad) 73SI of the mounting via conductor 60i is exposed through the opening 68i. The C4 pad 73SI is exposed through the opening 26 of the first circuit board 130. The bottom (C4 pad) 73SI of the mounting via conductor 60i is exposed through the opening 26 and the opening 68i. The connecting via conductor 60o is formed in the opening 68o of the first resin insulating layer 50. The bottom 60B of the connection via conductor 60o is directly connected to the first terminal 36F of the through-hole conductor 36.

プリント配線板10は第2回路基板155の最外の第4の樹脂絶縁層350と最外の導体層358上にビルドアップ層55上のソルダーレジスト層70Fを有することができる。ビルドアップ層55上のソルダーレジスト層70Fに導体層(最上の導体層)358を露出する開口71Fが形成されている。開口71Fにより露出される導体層358はマザーボードと接続するパッド73Fとして機能する。パッド73F上に保護膜72を形成することができる。保護膜72は、パッド73Fの酸化を防止するための膜である。保護膜72は、例えば、Ni/Au、Ni/Pd/Au、Pd/AuやOSP(Organic Solderability Preservative)膜で形成される。 The printed wiring board 10 can have the solder resist layer 70 </ b> F on the buildup layer 55 on the outermost fourth resin insulating layer 350 and the outermost conductor layer 358 of the second circuit board 155. An opening 71 </ b> F that exposes the conductor layer (uppermost conductor layer) 358 is formed in the solder resist layer 70 </ b> F on the buildup layer 55. The conductor layer 358 exposed through the opening 71F functions as a pad 73F connected to the motherboard. A protective film 72 can be formed on the pad 73F. The protective film 72 is a film for preventing the pad 73F from being oxidized. The protective film 72 is formed of, for example, a Ni / Au, Ni / Pd / Au, Pd / Au, or OSP (Organic Solderability Preservative) film.

第1回路基板130のスルーホール導体36は、第2面S側に形成された埋め込み配線18と、円柱状の導体ポスト32から構成される。但し、図8に示すように第2面S側の埋め込み配線18は無くてもよい。すなわち、第2面S側の埋め込み配線18は有っても無くても良い。スルーホール導体36の第1端子36Fは、導体ポスト32の第1面F側の端部により構成される。第1端子36Fは、第1回路基板130の第1面Fと略同一面上に形成されている。スルーホール導体36の第2面S側の第2端子36Sは埋め込み配線18の第2面S側の露出面により構成される。第2端子36Sは、第1回路基板130の第2面Sより凹んでいる。第1回路基板130は、第2面Sより凹んだ第2端子36Sを露出させる開口31Sを有する。第2端子36S上およびC4パッド73SI上には保護膜72を形成することができる。 The through-hole conductor 36 of the first circuit board 130 is composed of the embedded wiring 18 formed on the second surface S side and the cylindrical conductor post 32. However, as shown in FIG. 8, the embedded wiring 18 on the second surface S side may be omitted. That is, the embedded wiring 18 on the second surface S side may or may not be present. The first terminal 36 </ b> F of the through-hole conductor 36 is configured by an end portion on the first surface F side of the conductor post 32. The first terminal 36 </ b> F is formed on substantially the same surface as the first surface F of the first circuit board 130. The second terminal 36S on the second surface S side of the through-hole conductor 36 is configured by an exposed surface on the second surface S side of the embedded wiring 18. The second terminal 36 </ b> S is recessed from the second surface S of the first circuit board 130. The first circuit board 130 has an opening 31S that exposes the second terminal 36S that is recessed from the second surface S. A protective film 72 can be formed on the second terminal 36S and the C4 pad 73SI.

図2(A)は、第1実施形態のプリント配線板10の第1応用例(半導体装置)220を示す。第1応用例220は、パッケージ基板(第1のパッケージ基板)である。
半導体装置220では、第1回路基板130の開口26内にICチップなどの電子部品90が収容されている。ICチップ90は、開口26から露出するC4パッド73SIに半田バンプ76SIにより実装される。開口26内にはICチップを封止する充填樹脂102が充填されている。
FIG. 2A shows a first application example (semiconductor device) 220 of the printed wiring board 10 of the first embodiment. The first application example 220 is a package substrate (first package substrate).
In the semiconductor device 220, an electronic component 90 such as an IC chip is accommodated in the opening 26 of the first circuit board 130. The IC chip 90 is mounted on the C4 pad 73SI exposed from the opening 26 by solder bumps 76SI. The opening 26 is filled with a filling resin 102 for sealing the IC chip.

図2(B)は、第1実施形態のプリント配線板10の第2応用例(POPモジュール)300を示す。第2応用例では、半導体装置220に接続体76SOを介して第2のパッケージ基板330が搭載されている。第2のパッケージ基板330は上基板310と上基板310上に実装されているメモリ等の電子部品290を有する。接続体76SOは、上側の開口31Sにより露出される第2端子36S上に形成されている。図2(B)では、接続体76SOは、半田バンプ76SOである。半田バンプ以外の接続体の例はめっきポストやピンなどの導体ポスト(図示せず)である。めっきポストやピンの形状は円柱である。直円柱が好ましい。上基板310上に電子部品290を封止するモールド樹脂302が形成されている。 FIG. 2B shows a second application example (POP module) 300 of the printed wiring board 10 of the first embodiment. In the second application example, the second package substrate 330 is mounted on the semiconductor device 220 via the connection body 76SO. The second package substrate 330 includes an upper substrate 310 and an electronic component 290 such as a memory mounted on the upper substrate 310. The connection body 76SO is formed on the second terminal 36S exposed through the upper opening 31S. In FIG. 2B, the connecting body 76SO is a solder bump 76SO. An example of the connection body other than the solder bump is a conductor post (not shown) such as a plating post or a pin. The shape of the plating posts and pins is a cylinder. A right circular cylinder is preferable. A mold resin 302 for sealing the electronic component 290 is formed on the upper substrate 310.

プリント配線板10は、ビルドアップ層55上のソルダーレジスト層70Fの開口71Fから露出されるパッド73Fに、マザーボードと接続するための半田バンプ76Fを有しても良い。 The printed wiring board 10 may have solder bumps 76F for connecting to the mother board on the pads 73F exposed from the openings 71F of the solder resist layer 70F on the buildup layer 55.

ICチップ90を封止する充填樹脂102は、絶縁層30と同様に、芯材を含有せず、無機フィラーを含有するモールド樹脂から成る。モールド樹脂の例は、エポキシ系樹脂やBT(ビスマレイミドトリアジン)樹脂を主としてなる樹脂である。無機フィラーとしては、アルミニウム化合物、カルシウム化合物、カリウム化合物、マグネシウム化合物およびケイ素化合物からなる群より選択される少なくとも一種からなる粒子等が挙げられる。更に、シリカ、アルミナ、ドロマイト等が挙げられる。第1実施形態で、充填樹脂102は絶縁層30と成分組成が同一であることが好ましい。少なくとも、絶縁層30の熱膨張係数と充填樹脂102の熱膨張係数との差は、10ppm/℃より小さいことが望ましい。また、絶縁層30に含まれる無機フィラーの含有率と充填樹脂102に含まれる無機フィラーの含有率との差は、10重量%より小さいことが好ましい。充填樹脂102と絶縁層30は、無機フィラーを70〜85重量%含み、熱膨張係数(CTE)は10ppm/℃程度である。 Like the insulating layer 30, the filling resin 102 that seals the IC chip 90 is made of a mold resin that does not contain a core material but contains an inorganic filler. An example of the mold resin is a resin mainly composed of an epoxy resin or a BT (bismaleimide triazine) resin. Examples of the inorganic filler include particles composed of at least one selected from the group consisting of aluminum compounds, calcium compounds, potassium compounds, magnesium compounds, and silicon compounds. Further, silica, alumina, dolomite and the like can be mentioned. In the first embodiment, it is preferable that the filling resin 102 has the same component composition as that of the insulating layer 30. At least, the difference between the thermal expansion coefficient of the insulating layer 30 and the thermal expansion coefficient of the filling resin 102 is desirably smaller than 10 ppm / ° C. The difference between the content of the inorganic filler contained in the insulating layer 30 and the content of the inorganic filler contained in the filling resin 102 is preferably smaller than 10% by weight. The filling resin 102 and the insulating layer 30 contain 70 to 85% by weight of an inorganic filler and have a coefficient of thermal expansion (CTE) of about 10 ppm / ° C.

第1実施形態のプリント配線板10では、第1回路基板130の絶縁層30と第1の樹脂絶縁層50との成分組成が同一であるため、第1回路基板130の絶縁層30の熱膨張係数と第1の樹脂絶縁層50の熱膨張係数との差が小さくなるので、実装エリアSMFを露出するための開口26を有するプリント配線板10であっても、発生する応力を抑制することができる。また、絶縁層30から離れた第2の樹脂絶縁層150、第3の樹脂絶縁層250、第4の樹脂絶縁層350が補強材を備えないため、全体の厚みを薄くすることができる。 In the printed wiring board 10 of the first embodiment, since the component compositions of the insulating layer 30 of the first circuit board 130 and the first resin insulating layer 50 are the same, the thermal expansion of the insulating layer 30 of the first circuit board 130 is performed. Since the difference between the coefficient and the thermal expansion coefficient of the first resin insulation layer 50 becomes small, even the printed wiring board 10 having the opening 26 for exposing the mounting area SMF can suppress the generated stress. it can. In addition, since the second resin insulating layer 150, the third resin insulating layer 250, and the fourth resin insulating layer 350 that are separated from the insulating layer 30 do not include the reinforcing material, the entire thickness can be reduced.

第1実施形態のプリント配線板10では、第1回路基板130の絶縁層30と第2回路基板155のすべての絶縁層(第1の樹脂絶縁層50、第2の樹脂絶縁層150、第3樹脂絶縁層250、第4の樹脂絶縁層350)とがエポキシ系樹脂及び無機フィラーからなることで、塑性変形しやすく、発生する応力を抑制することができる。 In the printed wiring board 10 of the first embodiment, the insulating layer 30 of the first circuit board 130 and all the insulating layers of the second circuit board 155 (first resin insulating layer 50, second resin insulating layer 150, third Since the resin insulating layer 250 and the fourth resin insulating layer 350) are made of an epoxy resin and an inorganic filler, they are easily plastically deformed and the generated stress can be suppressed.

第1実施形態のプリント配線板10では、電子部品90を実装するためのパッド73SIは実装用ビア導体60iのボトムである。パッド73SIは、電子部品を搭載するためのランドを有していない。これにより、電子部品を実装するためのパッド73SIのサイズを小さくすることが出来る。そのため、パッド73SIのピッチが狭くなり、プリント配線板10のサイズが小さくなる。プリント配線板10の反りが小さくなる。プリント配線板10と電子部品間の接続信頼性が高くなる。電子部品を実装しやすいプリント配線板10を提供することが出来る。 In the printed wiring board 10 of the first embodiment, the pad 73SI for mounting the electronic component 90 is the bottom of the mounting via conductor 60i. The pad 73SI does not have a land for mounting electronic components. Thereby, the size of the pad 73SI for mounting the electronic component can be reduced. For this reason, the pitch of the pads 73SI is reduced, and the size of the printed wiring board 10 is reduced. The warp of the printed wiring board 10 is reduced. The connection reliability between the printed wiring board 10 and the electronic component is increased. It is possible to provide a printed wiring board 10 on which electronic components can be easily mounted.

[第1実施形態のプリント配線板の製造方法]
第1実施形態のプリント配線板10の製造方法が図3〜図7に示される。
支持板20zと金属箔24が準備される(図3(A))。図3(A)では、支持板20z上に金属箔24が積層されている。支持板20zの例は金属板や両面銅張積層板である。金属箔24の例は銅箔やニッケル箔である。金属箔24上に電解銅めっきにより埋め込み配線18が形成される(図3(B))。導体ポストを形成するための開口22aを備えるめっきレジスト22が形成される(図3(C))。めっきレジスト22の開口22a内に電解めっき膜28が形成される(図3(D))。めっきレジスト22が除去される。電解めっき膜28から成る導体ポスト32が形成され、埋め込み配線18及び導体ポスト32から成るスルーホール導体36が完成する(図3(E))。導体ポスト32は電解めっき膜28のみで形成されている。但し、埋め込み配線18は形成されなくても良い。その場合、金属箔24上に直接導体ポスト32が形成されても良い。
[Method for Manufacturing Printed Wiring Board of First Embodiment]
The manufacturing method of the printed wiring board 10 of 1st Embodiment is shown by FIGS.
A support plate 20z and a metal foil 24 are prepared (FIG. 3A). In FIG. 3A, the metal foil 24 is laminated on the support plate 20z. Examples of the support plate 20z are a metal plate and a double-sided copper-clad laminate. Examples of the metal foil 24 are copper foil and nickel foil. The embedded wiring 18 is formed on the metal foil 24 by electrolytic copper plating (FIG. 3B). A plating resist 22 having an opening 22a for forming a conductor post is formed (FIG. 3C). An electrolytic plating film 28 is formed in the opening 22a of the plating resist 22 (FIG. 3D). The plating resist 22 is removed. A conductor post 32 made of the electrolytic plating film 28 is formed, and a through-hole conductor 36 made of the embedded wiring 18 and the conductor post 32 is completed (FIG. 3E). The conductor post 32 is formed only by the electrolytic plating film 28. However, the embedded wiring 18 may not be formed. In that case, the conductor post 32 may be formed directly on the metal foil 24.

導体ポスト32と金属箔24上にモールド樹脂用のフィルムが積層され、熱硬化されて絶縁層30が形成され、金属箔24、絶縁層30、導体ポスト32から成る第1中間体30αが完成する(図4(A))。絶縁層30の無機フィラー含有量は70〜85重量%である。絶縁層30の表面及び導体ポスト32が研磨されて平坦化される(図4(B))。 A film for molding resin is laminated on the conductor post 32 and the metal foil 24, and is thermally cured to form the insulating layer 30, and the first intermediate 30α composed of the metal foil 24, the insulating layer 30, and the conductor post 32 is completed. (FIG. 4 (A)). The inorganic filler content of the insulating layer 30 is 70 to 85% by weight. The surface of the insulating layer 30 and the conductor post 32 are polished and flattened (FIG. 4B).

絶縁層30の中央部分にレーザで、支持板20zの金属箔24に至る電子部品収容用の開口形成用の枠状の溝30βが形成される(図4(C))。このとき、枠状の溝30βに囲まれる部分にもスルーホール導体36を形成してもよい。これにより、導体の偏在による局所的な応力集中や反りを抑制できると考えられる。また、枠状の溝30βに囲まれる部分を剥離しやすくできると考えられる。枠状の溝30βを覆うように剥離層40が設けられる。剥離層40は、離型膜42の上に銅箔44が積層されて成る(図5(A))。絶縁層30上及び剥離層40上にモールド樹脂用のフィルムが積層され、熱硬化されて第1の樹脂絶縁層50が形成される(図5(B))。第1の樹脂絶縁層50を貫通するビア導体60が形成され、第1の樹脂絶縁層50上に導体層58が形成される。ビア導体60は、スルーホール導体36の第1端子36Fに直接接続される(図6(A))。 A frame-shaped groove 30β for forming an opening for accommodating an electronic component reaching the metal foil 24 of the support plate 20z is formed by a laser in the central portion of the insulating layer 30 (FIG. 4C). At this time, the through-hole conductor 36 may be formed also in a portion surrounded by the frame-like groove 30β. Thereby, it is thought that the local stress concentration and curvature by the uneven distribution of a conductor can be suppressed. Further, it is considered that the portion surrounded by the frame-shaped groove 30β can be easily peeled off. A release layer 40 is provided so as to cover the frame-shaped groove 30β. The release layer 40 is formed by laminating a copper foil 44 on a release film 42 (FIG. 5A). A film for mold resin is laminated on the insulating layer 30 and the release layer 40, and is thermally cured to form the first resin insulating layer 50 (FIG. 5B). A via conductor 60 penetrating the first resin insulation layer 50 is formed, and a conductor layer 58 is formed on the first resin insulation layer 50. The via conductor 60 is directly connected to the first terminal 36F of the through-hole conductor 36 (FIG. 6A).

第1の樹脂絶縁層50及び導体層58上に第2の樹脂絶縁層150が形成され、第2の樹脂絶縁層150を貫通するビア導体160、導体層158が形成される。第2の樹脂絶縁層150及び導体層158上に第3の樹脂絶縁層250が形成され、第3の樹脂絶縁層250を貫通するビア導体260、導体層258が形成される。第3の樹脂絶縁層250及び導体層258上に第4の樹脂絶縁層350が形成され、第4の樹脂絶縁層350を貫通するビア導体360、導体層358が形成される。これにより、第1の樹脂絶縁層50、第2の樹脂絶縁層150、第3の樹脂絶縁層250、第4の樹脂絶縁層350、ビア導体60、160、260、360、導体層58、158、258、358から成るビルドアップ層55が完成する。ビルドアップ層55上にソルダーレジスト層70Fが形成される。レーザにより、ソルダーレジスト層70Fに、パッド73Fを露出する開口71Fが形成される。これにより、第2中間体300αが形成される(図6(B))。 A second resin insulation layer 150 is formed on the first resin insulation layer 50 and the conductor layer 58, and a via conductor 160 and a conductor layer 158 penetrating the second resin insulation layer 150 are formed. A third resin insulation layer 250 is formed on the second resin insulation layer 150 and the conductor layer 158, and a via conductor 260 and a conductor layer 258 penetrating the third resin insulation layer 250 are formed. A fourth resin insulation layer 350 is formed on the third resin insulation layer 250 and the conductor layer 258, and a via conductor 360 and a conductor layer 358 penetrating the fourth resin insulation layer 350 are formed. Accordingly, the first resin insulation layer 50, the second resin insulation layer 150, the third resin insulation layer 250, the fourth resin insulation layer 350, the via conductors 60, 160, 260, 360, the conductor layers 58, 158. The build-up layer 55 composed of 258, 358 is completed. A solder resist layer 70 </ b> F is formed on the buildup layer 55. An opening 71F that exposes the pad 73F is formed in the solder resist layer 70F by the laser. Thereby, the second intermediate 300α is formed (FIG. 6B).

支持板20zから第2中間体300αが分離される(図6(C))。エッチングで、金属箔24を除去することで、枠状の溝30βが露出される(図7(A))。絶縁層30の内の枠状の溝30βで囲まれた部分30dを剥離層40の離型膜42と共に剥離することで開口26が形成される(図7(B))。エッチングで、銅箔44が除去されると共に、埋め込み配線18の上面18Uが絶縁層30の第2面Sから凹まされる。銅箔44の除去により、第1の樹脂絶縁層50の凹部51が実装エリアSMFとして開口26内に露出される(図7(C))。そして、Niめっき、Auめっきにより、埋め込み配線18の上面18U上、パッド73F上、C4パッド73SI上に保護膜72が形成される。第1回路基板130及び第2回路基板155を有するプリント配線板10が完成する(図7(D))。 The second intermediate 300α is separated from the support plate 20z (FIG. 6C). By removing the metal foil 24 by etching, the frame-shaped groove 30β is exposed (FIG. 7A). The portion 26d surrounded by the frame-like groove 30β in the insulating layer 30 is peeled off together with the release film 42 of the peeling layer 40, whereby the opening 26 is formed (FIG. 7B). The copper foil 44 is removed by etching, and the upper surface 18U of the embedded wiring 18 is recessed from the second surface S of the insulating layer 30. By removing the copper foil 44, the concave portion 51 of the first resin insulating layer 50 is exposed in the opening 26 as the mounting area SMF (FIG. 7C). Then, the protective film 72 is formed on the upper surface 18U of the embedded wiring 18, the pad 73F, and the C4 pad 73SI by Ni plating or Au plating. The printed wiring board 10 having the first circuit board 130 and the second circuit board 155 is completed (FIG. 7D).

C4パッド73SI上の半田バンプ76SIを介してプリント配線板10上にICチップ90が実装され、ICチップ90が充填樹脂(モールド樹脂)102で封止される。但し、半田バンプ76SIは、C4パッド73SI上ではなく、ICチップの側のパッド上に形成されても良い。第1のパッケージ基板(半導体装置)220が完成する(図2(A))。ICチップ90は開口26内に収容されている。ICチップ90は開口26から外にでていない。半田バンプ76SOを介して第2のパッケージ基板330が第1のパッケージ基板220に搭載される(図2(B))。POPモジュール(応用例)300が完成する。 The IC chip 90 is mounted on the printed wiring board 10 via the solder bumps 76SI on the C4 pad 73SI, and the IC chip 90 is sealed with a filling resin (mold resin) 102. However, the solder bumps 76SI may be formed not on the C4 pads 73SI but on the pads on the IC chip side. A first package substrate (semiconductor device) 220 is completed (FIG. 2A). The IC chip 90 is accommodated in the opening 26. The IC chip 90 does not protrude from the opening 26. The second package substrate 330 is mounted on the first package substrate 220 through the solder bumps 76SO (FIG. 2B). The POP module (application example) 300 is completed.

[第2実施形態]
図9は第2実施形態のプリント配線板10の断面を示す。
第2実施形態のプリント配線板10の絶縁層30の導体ポスト32は、第1導体ポスト部32aと第2導体ポスト部32bとの2段構造になっている。第1導体ポスト部32aと第2導体ポスト部32bとの間には埋め込み配線18bが介在されている。絶縁層30は、第1絶縁層30aと第2絶縁層30bとの2層構造になっている。第1導体ポスト部32aは第1絶縁層30aに埋められている。第2導体ポスト部32bは第2絶縁層30bに埋められている。
[Second Embodiment]
FIG. 9 shows a cross section of the printed wiring board 10 of the second embodiment.
The conductor post 32 of the insulating layer 30 of the printed wiring board 10 of the second embodiment has a two-stage structure of a first conductor post portion 32a and a second conductor post portion 32b. A buried wiring 18b is interposed between the first conductor post portion 32a and the second conductor post portion 32b. The insulating layer 30 has a two-layer structure of a first insulating layer 30a and a second insulating layer 30b. The first conductor post portion 32a is buried in the first insulating layer 30a. The second conductor post portion 32b is buried in the second insulating layer 30b.

[第2実施形態のプリント配線板の製造方法]
第2実施形態のプリント配線板10の製造方法が図10,図11に示される。
上述された第1実施形態と同様にして、支持板20zの金属箔24上に埋め込み配線18、第1導体ポスト部32a、第1絶縁層30aが形成される(図10(A))。第1絶縁層30aはモールド樹脂から成る。ここで、第1絶縁層30aの厚みは第1実施形態の絶縁層30の半分である。このため、電解めっきで形成される第1導体ポスト部32aの高さが、第1実施形態の導体ポスト32の半分であり、第1導体ポスト部32aは短時間で形成できる。
[Method for Manufacturing Printed Wiring Board of Second Embodiment]
A method for manufacturing the printed wiring board 10 of the second embodiment is shown in FIGS.
Similarly to the first embodiment described above, the embedded wiring 18, the first conductor post portion 32a, and the first insulating layer 30a are formed on the metal foil 24 of the support plate 20z (FIG. 10A). The first insulating layer 30a is made of a mold resin. Here, the thickness of the first insulating layer 30a is half that of the insulating layer 30 of the first embodiment. For this reason, the height of the first conductor post portion 32a formed by electrolytic plating is half that of the conductor post 32 of the first embodiment, and the first conductor post portion 32a can be formed in a short time.

第1導体ポスト部32a上に埋め込み配線18bが形成される(図10(B))。第2導体ポスト部32bを形成するための開口22baを備えるめっきレジスト22bが形成される(図10(C))。めっきレジスト22bの開口22ba内に電解めっき膜28bが形成される(図11(A))。めっきレジスト22bが除去される。電解めっき膜28bから成る第2導体ポスト部32bが形成される(図11(B))。 The embedded wiring 18b is formed on the first conductor post portion 32a (FIG. 10B). A plating resist 22b having an opening 22ba for forming the second conductor post portion 32b is formed (FIG. 10C). An electrolytic plating film 28b is formed in the opening 22ba of the plating resist 22b (FIG. 11A). The plating resist 22b is removed. A second conductor post portion 32b made of the electrolytic plating film 28b is formed (FIG. 11B).

第2導体ポスト部32bと第1絶縁層30a上にモールド樹脂から成る第2絶縁層30bが形成され、金属箔24、第1絶縁層30a、第2絶縁層30b、第1導体ポスト部32a、第2導体ポスト部32bから成る第1中間体30αが完成する。第1絶縁層30aと第2絶縁層30bとは成分組成が同一であり、第1絶縁層30a、第2絶縁層30bの無機フィラー含有量は70〜85重量%である。第2絶縁層30bの表面及び第2導体ポスト部32bが研磨される(図11(C))。以降の製造工程は第1実施形態と同様である。 A second insulating layer 30b made of mold resin is formed on the second conductor post portion 32b and the first insulating layer 30a, and the metal foil 24, the first insulating layer 30a, the second insulating layer 30b, the first conductor post portion 32a, A first intermediate 30α composed of the second conductor post portion 32b is completed. The first insulating layer 30a and the second insulating layer 30b have the same component composition, and the inorganic filler content of the first insulating layer 30a and the second insulating layer 30b is 70 to 85% by weight. The surface of the second insulating layer 30b and the second conductor post portion 32b are polished (FIG. 11C). The subsequent manufacturing process is the same as that of the first embodiment.

第2実施形態では、第1絶縁層30a、第2絶縁層30bの厚みは第1実施形態の絶縁層30の半分である。このため、電解めっきで形成される第1導体ポスト部32a、第2導体ポスト部32bの高さが、第1実施形態の導体ポスト32の半分であり、第1導体ポスト部32a、第2導体ポスト部32bは短時間で形成できる。また、導体ポスト32が、第1導体ポスト部32aと第2導体ポスト部32bとの2段構造であるため、各導体ポスト部32a,32bでプリント配線板10に作用する応力を緩和することができる。 In the second embodiment, the thickness of the first insulating layer 30a and the second insulating layer 30b is half that of the insulating layer 30 of the first embodiment. For this reason, the height of the first conductor post portion 32a and the second conductor post portion 32b formed by electrolytic plating is half of the conductor post 32 of the first embodiment, and the first conductor post portion 32a and the second conductor The post part 32b can be formed in a short time. Further, since the conductor post 32 has a two-stage structure of the first conductor post portion 32a and the second conductor post portion 32b, the stress acting on the printed wiring board 10 at each of the conductor post portions 32a and 32b can be relieved. it can.

10 プリント配線板
26 開口
30 絶縁層
32 導体ポスト
50 第1の樹脂絶縁層
130 第1回路基板
155 第2回路基板
150 第2の樹脂絶縁層
250 第3の樹脂絶縁層
350 第4の樹脂絶縁層
SMF 実装エリア
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Printed wiring board 26 Opening 30 Insulating layer 32 Conductor post 50 1st resin insulating layer 130 1st circuit board 155 2nd circuit board 150 2nd resin insulating layer 250 3rd resin insulating layer 350 4th resin insulating layer SMF mounting area

Claims (15)

実装エリアを有する第3面と前記第3面と反対側の第4面とを有する第2回路基板と、
前記第2回路基板の第3面上に積層されていて、第1面と前記第1面と反対側の第2面を有し、前記実装エリアを露出するための開口を有する第1回路基板と、からなるプリント配線板であって、
前記第1回路基板の前記第1面と前記第2回路基板の前記第3面が対向し、
前記第2回路基板は、上面と前記上面と反対側の下面とを有し、前記下面から前記上面に至る第1ビア導体用の開口を有する第1の樹脂絶縁層と、前記第1の樹脂絶縁層の前記下面に形成されている第2回路基板内の第1導体層と、前記第1ビア導体用の開口に形成されていて前記第2回路基板内の第1導体層に繋がっている第1ビア導体とを有し、
前記第3面と前記上面は同じ面であって、前記開口から露出する前記第1ビア導体のボトムは電子部品を搭載するためのパッドを形成し、
前記第1回路基板を構成する絶縁層と前記第1の樹脂絶縁層との成分組成が同一である。
A second circuit board having a third surface having a mounting area and a fourth surface opposite to the third surface;
A first circuit board that is laminated on a third surface of the second circuit board, has a first surface and a second surface opposite to the first surface, and has an opening for exposing the mounting area. A printed wiring board comprising:
The first surface of the first circuit board and the third surface of the second circuit board face each other;
The second circuit board has an upper surface and a lower surface opposite to the upper surface, and includes a first resin insulating layer having an opening for a first via conductor extending from the lower surface to the upper surface, and the first resin A first conductor layer in the second circuit board formed on the lower surface of the insulating layer and an opening for the first via conductor are connected to the first conductor layer in the second circuit board. A first via conductor;
The third surface and the upper surface are the same surface, and the bottom of the first via conductor exposed from the opening forms a pad for mounting an electronic component,
The component composition of the insulating layer constituting the first circuit board and the first resin insulating layer are the same.
請求項1のプリント配線板であって、前記第1回路基板の絶縁層および前記第1の樹脂絶縁層は、エポキシ系樹脂および無機フィラーを含有し、補強材を含まない。 2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the insulating layer of the first circuit board and the first resin insulating layer contain an epoxy resin and an inorganic filler, and do not contain a reinforcing material. 請求項2のプリント配線板であって、さらに、前記第2回路基板は、前記第1の樹脂絶縁層以外の樹脂絶縁層を有し、前記第1の樹脂絶縁層を除く前記第2回路基板のすべての樹脂絶縁層は、エポキシ系樹脂および無機フィラーを含有し、補強材を含まない。 3. The printed circuit board according to claim 2, wherein the second circuit board further includes a resin insulating layer other than the first resin insulating layer, and the second circuit board excluding the first resin insulating layer. All of the resin insulation layers contain an epoxy resin and an inorganic filler and do not contain a reinforcing material. 請求項1のプリント配線板であって、前記第1回路基板の絶縁層および前記第1の樹脂絶縁層は、前記第1の樹脂絶縁層を除く前記第2回路基板のすべての樹脂絶縁層よりも熱膨張係数が小さい。 2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the insulating layer of the first circuit board and the first resin insulating layer are made of all the resin insulating layers of the second circuit board except the first resin insulating layer. Also has a small coefficient of thermal expansion. 請求項1のプリント配線板であって、前記第1回路基板は、さらに、前記第1面と前記第2面とを貫通する複数の導体ポストを含む。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the first circuit board further includes a plurality of conductor posts penetrating the first surface and the second surface. 請求項5のプリント配線板であって、前記導体ポストの第1面側の表面は、前記第1回路基板の前記第1面と略同一面になる。 6. The printed wiring board according to claim 5, wherein a surface of the conductor post on the first surface side is substantially flush with the first surface of the first circuit board. 請求項6のプリント配線板であって、前記第1の樹脂絶縁層を貫通するビア導体が前記導体ポストに直接接続する。 7. The printed wiring board according to claim 6, wherein a via conductor that penetrates through the first resin insulating layer is directly connected to the conductor post. 請求項1のプリント配線板であって、前記第1の樹脂絶縁層には、前記開口の底部を構成する凹部が形成されている。 2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the first resin insulating layer has a recess that forms a bottom of the opening. 支持板上に第1回路基板となる絶縁層を形成することと、
前記第1回路基板となる絶縁層に枠状の溝を形成することと、
前記枠状の溝を被覆するように剥離膜を形成することと、
前記第1回路基板となる絶縁層上および前記剥離膜上に第2回路基板となる第1の樹脂絶縁層を形成することと、
前記支持板を除去することと、
前記絶縁層の前記支持板から剥離された面側に前記枠状の溝を露出させることと、
前記第1回路基板となる絶縁層の内の前記枠状の溝で囲まれた部分を剥離することで開口を形成することと、
前記剥離膜を除去し、前記第1の樹脂絶縁層の一部を実装エリアとして開口内に露出させることと、
を含むプリント配線板の製造方法であって、
前記第1回路基板となる絶縁層と前記第1の樹脂絶縁層との成分組成が同一である。
Forming an insulating layer to be a first circuit board on the support plate;
Forming a frame-like groove in the insulating layer to be the first circuit board;
Forming a release film so as to cover the frame-shaped groove;
Forming a first resin insulating layer to be a second circuit board on the insulating layer to be the first circuit board and on the release film;
Removing the support plate;
Exposing the frame-like groove on the side of the insulating layer peeled from the support plate;
Forming an opening by peeling a portion surrounded by the frame-shaped groove in the insulating layer to be the first circuit board;
Removing the release film and exposing a part of the first resin insulating layer as an mounting area in the opening;
A method of manufacturing a printed wiring board including:
The component composition of the insulating layer to be the first circuit board and the first resin insulating layer is the same.
請求項9のプリント配線板の製造方法であって、
前記第1回路基板となる絶縁層および前記第1の樹脂絶縁層は、エポキシ系樹脂および無機フィラーを含有し、補強材を含まない。
A method for producing a printed wiring board according to claim 9, comprising:
The insulating layer serving as the first circuit board and the first resin insulating layer contain an epoxy resin and an inorganic filler and do not contain a reinforcing material.
請求項10のプリント配線板の製造方法であって、
さらに、前記第1の樹脂絶縁層の上に、1または2以上の樹脂絶縁層を形成することを含み、
前記第1の樹脂絶縁層を除く前記第2回路基板のすべての樹脂絶縁層は、エポキシ系樹脂および無機フィラーを含有し、補強材を含まない。
It is a manufacturing method of the printed wiring board of Claim 10,
And forming one or more resin insulation layers on the first resin insulation layer,
All the resin insulation layers of the second circuit board except the first resin insulation layer contain an epoxy resin and an inorganic filler, and do not contain a reinforcing material.
請求項9のプリント配線板の製造方法であって、
さらに、前記第1の回路基板を貫通する複数の導体ポストを形成することを含む。
A method for producing a printed wiring board according to claim 9, comprising:
Furthermore, the method includes forming a plurality of conductor posts penetrating the first circuit board.
請求項12のプリント配線板の製造方法であって、
さらに、前記第1の樹脂絶縁層に、前記導体ポストの上面に直接接続するビア導体を形成することを含む。
A method of manufacturing a printed wiring board according to claim 12,
Furthermore, a via conductor that is directly connected to the upper surface of the conductor post is formed in the first resin insulating layer.
請求項13のプリント配線板の製造方法であって、
さらに、前記導体ポストの上面に前記ビア導体を接続する前に、前記導体ポストの上面を平坦化することを含む。
It is a manufacturing method of the printed wiring board of Claim 13,
Further, the method includes planarizing the upper surface of the conductor post before connecting the via conductor to the upper surface of the conductor post.
請求項9のプリント配線板の製造方法であって、
さらに、前記剥離膜を除去することにより、前記第1の樹脂絶縁層に前記開口の底部を構成する凹部を形成することを含む。
A method for producing a printed wiring board according to claim 9, comprising:
Furthermore, the method includes forming a recess that forms a bottom of the opening in the first resin insulating layer by removing the release film.
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