JP2017044494A - 検査装置、検査方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
検査装置、検査方法及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる検査装置100は、ウェハ60の画像データを取得する撮像部20と、画像データを処理する画像処理部30と、を備える。画像処理部30は、画像データを、動径及び偏角による極座標に変換した後、動径及び偏角を座標軸とする直交座標系に展開した極座標データを取得する極座標変換部31と、画像データまたは極座標データを、第1の値及び第2の値に二値化し、極座標データにおける第1の値のパターンの延びる方向と、直交座標系のいずれかの座標軸との間の角度を検出する角度検出部32と、フーリエ変換部33と、マスク部34と、を有する。画像処理部30は、さらに、異物欠陥検査を行う異物欠陥検査部35と、を備える。
【選択図】図1
Description
以下、本実施形態の具体的構成について図面を参照して説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施の形態を示すものであって、本発明の範囲が以下の実施の形態に限定されるものではない。以下の説明において、同一の符号が付されたものは実質的に同様の内容を示している。
図6(b)及び(c)に示すように、顕微鏡を用いてスナップショットをとって検査するミクロ検査では、感度は向上する。しかしながら、研磨痕を除去するためには、スナップショット一枚一枚についてフィルタをかけなければならない。フィルタリングが複雑になり、検査に時間を要するようになる。
次に、変形例を説明する。本変形例は、ウェハ60上にレジスト膜形成等の成膜処理を行った後の成膜ムラを検査する検査装置及び検査方法である。
変形例においては、まず、ウェハ60上に成膜処理を行う。成膜処理は、例えば、スピンコータでウェハ60上にレジストを塗布することにより行われる。その後、検査装置100を用いて検査する。検査装置100の構成及び検査方法は、上述の実施形態と同様であるので説明を省略する。
20 撮像部
30 画像処理部
31 極座標変換部
32 角度検出部
33 フーリエ変換部
34 マスク部
35 異物欠陥検査部
40 表示部
50 ステージ
60 ウェハ
100 検査装置
Claims (6)
- ウェハの画像データを取得する撮像部と、
前記画像データを処理する画像処理部と、
を備え、
前記画像処理部は、
前記画像データを、動径及び偏角による極座標に変換した後、前記動径及び前記偏角を座標軸とする直交座標系に展開した極座標データを取得する極座標変換部と、
前記画像データまたは前記極座標データを、第1の値及び第2の値に二値化し、前記極座標データにおける前記第1の値のパターンの延びる方向と、前記直交座標系のいずれかの座標軸との間の角度を検出する角度検出部と、
前記極座標データをフーリエ変換して空間周波数データを取得するフーリエ変換部と、
前記空間周波数データを、前記角度に対応したフィルタでマスクするマスク部と、
を有し、
前記フーリエ変換部は、前記空間周波数データを前記極座標データに逆フーリエ変換し、
前記極座標変換部は、前記極座標データを前記画像データに逆極座標変換し、
前記画像処理部は、さらに、逆極座標変換した前記画像データを用いて異物欠陥検査を行う異物欠陥検査部と、を備えた検査装置。 - 前記画像データは、前記ウェハを研磨し、洗浄した後における前記ウェハの前記画像データである請求項1に記載の検査装置。
- 前記画像データには、扇風機の羽根状のパターンが形成されている請求項1または2に記載の検査装置。
- ウェハの画像データを取得する工程と、
前記画像データを、動径及び偏角による極座標に変換した後、前記動径及び前記偏角を座標軸とする直交座標系に展開した極座標データを取得する工程と、
前記画像データまたは前記極座標データを、第1の値及び第2の値に二値化する工程と、
前記極座標データにおける前記第1の値のパターンの延びる方向と、前記直交座標系のいずれかの座標軸との間の角度を検出する工程と、
前記極座標データをフーリエ変換して空間周波数データを取得する工程と、
前記空間周波数データを、前記角度に対応したフィルタでマスクする工程と、
マスクされた前記空間周波数データを前記極座標データに逆フーリエ変換する工程と、
逆フーリエ変換された前記極座標データを前記画像データに逆極座標変換する工程と、
逆極座標変換した前記画像データを用いて異物欠陥検査を行う工程と、
を備えた検査方法。 - 前記ウェハを研磨する工程と、
前記研磨する工程の後で、前記ウェハを洗浄する工程と、
前記洗浄する工程の後で、請求項4に記載の検査方法で前記ウェハを検査する工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。 - 前記研磨する工程において、前記ウェハを遊星運動するパッドで研磨する請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
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KR20230126440A (ko) * | 2022-02-23 | 2023-08-30 | 인하대학교 산학협력단 | 폐렴 엑스레이 영상 분류를 위한 주파수 필터링기반 데이터 증강 방법 및 장치 |
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JP5409677B2 (ja) * | 2011-03-16 | 2014-02-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 画像作成方法、基板検査方法、その画像作成方法又はその基板検査方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板検査装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230126440A (ko) * | 2022-02-23 | 2023-08-30 | 인하대학교 산학협력단 | 폐렴 엑스레이 영상 분류를 위한 주파수 필터링기반 데이터 증강 방법 및 장치 |
KR102640340B1 (ko) * | 2022-02-23 | 2024-02-23 | 인하대학교 산학협력단 | 폐렴 엑스레이 영상 분류를 위한 주파수 필터링기반 데이터 증강 방법 및 장치 |
WO2023189753A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布処理方法、記憶媒体、及び塗布処理装置 |
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