JP2017032048A - 管継手、流体制御機器、及び流体制御装置 - Google Patents

管継手、流体制御機器、及び流体制御装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2017032048A
JP2017032048A JP2015151800A JP2015151800A JP2017032048A JP 2017032048 A JP2017032048 A JP 2017032048A JP 2015151800 A JP2015151800 A JP 2015151800A JP 2015151800 A JP2015151800 A JP 2015151800A JP 2017032048 A JP2017032048 A JP 2017032048A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flange portion
housing
pipe
pipe joint
fluid control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015151800A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6649004B2 (ja
Inventor
泰司 千葉
Taiji Chiba
泰司 千葉
一誠 渡辺
Kazumasa Watanabe
一誠 渡辺
敏之 稲田
Toshiyuki Inada
敏之 稲田
篠原 努
Tsutomu Shinohara
努 篠原
出 四方
Izuru Yomo
出 四方
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Priority to JP2015151800A priority Critical patent/JP6649004B2/ja
Publication of JP2017032048A publication Critical patent/JP2017032048A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6649004B2 publication Critical patent/JP6649004B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
  • Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)

Abstract

【課題】施工性及びシール性の双方に優れ、小型の製造装置への使用に好適であり、生産性及び信頼性の高い管継手、流体制御機器、及び流体制御装置を提供する。
【解決手段】管継手(1)は、第1管部材(4)、筐体(8)、及び第2管部材(6)と、筐体内に収容され、第2管部材の第2フランジ部(18)を第1管部材の第1フランジ部(16)に向けて押圧し、第1及び第2管部材の間にシール部(36)を形成する板ばね(10)とを備え、筐体は、第1フランジ部が筐体の内フランジ部(20)に係止され且つ第2フランジ部が第1フランジ部に当接した状態で、板ばねが筐体内に収容される第1側面開口(26)を有し、筐体内で第2フランジ部と第1フランジ部とがシール部(36)を形成し、シール部は第1及び第2フランジ部の一方に凸設した環状の弾性部材(19)が第1及び第2フランジ部の他方に面接触してなる。
【選択図】図19

Description

本発明は、管継手、流体制御機器、及び流体制御装置に関する。
従来の管継手として、特許文献1に記載の流体継手が開示されている。この流体継手は、互いに連通する流体通路を有している継手部材たる第1及び第2管部材と、これら第1及び第2管部材同士を結合する結合手段とを備えている。第1及び第2管部材の一端にはそれぞれ第1及び第2フランジ部が形成されている。そして、結合手段は、上壁及び一対の側壁から形成され、一対の側壁によって第1及び第2フランジ部を第1及び第2管部材の管長方向(軸方向)の両側から挟持するクリップと、第2管部材の外周面に当接されて弾性力によって第1及び第2管部材の管径方向(軸方向の直交方向)に第2管部材を押圧する抜け止めばねとを有している。また、第1フランジ部の外周面と第2フランジ部の内周面との間には、シール部材が介在されている。
特開2013−96507号公報

ところで、近年、種々の装置のコンパクト化に伴い、装置の各構成機器の小型化も促進され、装置内で使用される従来の小型の管継手及びバルブ(流体制御機器)にも更なる小型化が要求されている。
しかしながら、装置が小型である場合、装置内における施工スペースも必然的に狭くなるため、回転使用するスパナ等の工具を用いて管継手を結合する作業は困難を極める。
また、管継手におけるシール性を向上するためには、樹脂等の弾性体からなるシール部材(Oリングやガスケット)を使用するのが好ましい。しかし、管継手の組立の際、極小のシール部材を管継手に取り付ける作業は困難を極め、極小ゆえに作業時にシール部材を紛失し易いといった問題もある。
また、装置のメンテナンス等により管継手を分解し、装置に対し繰り返し脱着することが想定される。この場合には、シール部材の紛失の可能性が更に高まる。
また、樹脂製のシール部材を用いる場合には、管継手を繰り返し分解、脱着すると、金属製である第1及び第2フランジ部同士の接触箇所に傷が生じ、管継手のシール性を低下させるおそれがある。
また、上記クリップに弾性力を付与して第1及び第2管部材を挟持する場合、クリップの弾性力が各管継手でばらつくことが想定される。このような第1及び第2管部材を挟持に関わるばね部材の弾性力にばらつきが想定される場合、管継手のシール性を確保するためには、安全率を掛けた大きな値にばね部材の弾性力を予め設定する必要がある。
しかしながら、ばね部材の弾性力を大きくし過ぎると、ばね部材の取り付けの作業性が悪化するおそれがある。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、施工性及びシール性の双方に優れ、小型装置への使用に好適であり、生産性及び信頼性の高い管継手、流体制御機器、及び流体制御装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の管継手と、流体制御機器、及び流体制御装置に用いる管継手は、一端に第1フランジ部を有する第1管部材と、一端に第2フランジ部を有する第2管部材と、一端に内周が縮径されてなる内フランジ部及び該内フランジ部よりなる第1端面開口を有するとともに、他端に第2端面開口を有する筐体と、筐体内に収容され、第2フランジ部を第1フランジ部に向けて押圧する板ばねとを備え、筐体は、第1フランジ部が内フランジ部に係止され且つ第1及び第2管部材の管長方向に第2フランジ部が第1フランジ部に当接した状態で、板ばねが筐体内に収容される第1側面開口を有し、第1管部材をその他端から第2端面開口を経て第1端面開口に挿通することで、第1フランジ部が内フランジ部に係止され、第2端面開口に第2フランジ部から第2管部材を挿通することで、筐体内で第2フランジ部と第1フランジ部とがシール部を形成し、シール部は、第1及び第2フランジ部の一方に凸設した環状の弾性部材が第1及び第2フランジ部の他方に面接触してなる。
本発明の管継手、流体制御機器、及び流体制御装置によれば、施工性及びシール性の双方に優れ、小型の製造装置への使用に好適であり、生産性及び信頼性の高い管継手、流体制御機器、及び流体制御装置を提供することができる。
本発明の一実施形態に係る管継手の斜視図である。 図1の管継手の一部縦断面図である。 図2の第1管部材の斜視図である。 図2の第2管部材の斜視図である。 図4の第2フランジ部の縦断面図である。 図2の筐体の斜視図である。 図6の筐体をA−A方向から見た断面図である。 図6の筐体をB−B方向から見た断面図である。 図2の板ばねの斜視図である。 図9の板ばねをC方向から見た図である。 図2の座金の斜視図である。 図2のブッシュの斜視図である。 図1の管継手を分解して各部材を断面で示した分解斜視図である。 図13の状態から、第1管部材を筐体に挿入した状態を示した図である。 図14の状態から、座金を第2管部材に装着した状態を示した図である。 図15の状態から、ブッシュを第2管部材に装着した状態を示した図である。 図16の状態から、第2管部材を筐体に挿入した状態を示した図である。 図17の状態から、板ばねを筐体に装着し、管継手の組み立てが完成した状態を示した図である。 図18の管継手の縦断面図である。 図19のシール部を拡大した図である。 図18の管継手の一部縦断面図である。 図21の押圧部を拡大した図である。
以下、図面に基づき本発明の一実施形態に係る管継手について説明する。
図1に示すように、管継手1は、流体通路2を形成する第1管部材4及び第2管部材6と、第1及び第2管部材4、6を収容して結合するための筐体8とを有している。第1管部材4及び筐体8は金属製であり、第2管部材6も後で詳述する弾性部材19を除き金属製である。管継手1は、第1及び第2管部材4、6の管継手1における外端(他端)4a、6aが図示しない配管や自動式又は手動式の弁の入口又は出口に溶接等によって接続され、流体制御機器が形成される。
この流体制御機器は、何れも図示しないフローコントローラ、レギュレータ等が配管で接続された流体制御装置に使用される。この流体制御装置は、例えば図示しない小型装置の流体処理ライン等で使用される。この小型装置は、管継手1や上記弁を含む小型の各機器から構成される。
図2に示すように、管継手1は、筐体8内に収容された板ばね10及び座金12と、筐体8に取り付けられたブッシュ14とを更に有している。板ばね10、座金12、及びブッシュ14は何れも金属製である。
図3に示すように、第1管部材4には、管継手1における内端(一端)4bに第1フランジ部16が形成されている。第1フランジ部16は、内端4bに第1管部材4の管径方向Yに沿う平坦面16aを有し、平坦面16aには流体通路2が開口されている。
図4に示すように、第2管部材6には、管継手1における内端(一端)6bに第1フランジ部16と略同径の第2フランジ部18が形成されている。
図5に示すように、第2フランジ部18には、流体通路2が開口され、流体通路2の開口を囲むようにして環状溝18aが凹設されている。環状溝18aには環状の弾性部材19が嵌合されることにより、弾性部材19が装着された第2フランジ部18ひいては第2管部材6が形成される。
弾性部材19は、例えばPTFE(ポリテトラフルオロエチレン、Polytetrafluoroethylene)等の比較的高硬度の樹脂から形成されている。弾性部材19は、環状溝18aに嵌合される環状の嵌合部19aと、嵌合部19aから断面視三角形状に突設された環状の突起部19bとを備えている。突起部19bは、突起部19bの外周をなす外テーパ面19b1と、突起部19bの内周をなす内テーパ面19b2と、外及び内テーパ面19b1、19b2の間に形成された管径方向Yに沿う平坦面19b3とから形成されている。
一方、第2フランジ部18には、環状溝18aと流体通路2との間に内周壁18bが形成され、環状溝18aの外周側には外周壁18cが形成されている。そして、図5に示すように、内周及び外周壁18b、18cをそれぞれ内及び外テーパ面19b2、19b1に沿う方向にプライヤー又は専用治具等でかしめて屈曲させる。これより、嵌合部19aの内周及び外周のコーナーが若干潰れ、内周及び外周壁18b、18cが環状溝18aにおける弾性部材19の係止爪として機能し、環状溝18aからの弾性部材19の脱落が阻止される。
図6から図8に示すように、筐体8は直方体状の小型の外形(例えば、図6で見たときの管径方向Yの長さ:約12mm、管長方向Xの長さ:約15mm、幅方向Zの長さ:約10mm)を有し、筐体8内は円柱状の空洞となっている。
筐体8の一端8aは、第1管部材4の外端4aが突出し、筐体8の内周が縮径されてなる内フランジ部20が形成されている。一端8aには、内フランジ部20により第1端面開口22が形成されている。第1端面開口22は、第1及び第2フランジ部16、18よりも小径の円形をなしている。一方、筐体8の他端8bには、第2管部材6の外端6aが突出する第2端面開口24が形成されている。
第2端面開口24は、第1及び第2フランジ部16、18の径よりも若干大径の円形をなし、第1及び第2フランジ部16、18が挿通可能である。
また、筐体8の側面8cには、第1フランジ部16が内フランジ部20に係止され且つ第1及び第2管部材4、6の管長方向Xに第2フランジ部18の弾性部材19が第1フランジ部16の平坦面16aに当接した状態で、板ばね10が筐体8内に収容される第1側面開口26が形成されている。
筐体8における板ばね10の収容空間28は、第1内端面28a、第2内端面28b、及び一対の内側面28c、28dで囲まれた空間である。第1内端面28aは、第1側面開口26から筐体8内の管径方向(管長方向の直交方向)Yに延び、第2端面開口24が開口されている。また、第2内端面28bは、第1側面開口26から筐体8内の管径方向Yに延び、第1内端面28aに対向している。また、一対の内側面28c、28dは第1及び第2内端面28a、28bから連なって形成されている。また、図7に示すように、筐体8には、第1側面開口26の対向位置に、収容空間28に連通する第2側面開口30が形成されている。
また、図8に示すように、一対の内側面28c、28dには、第1内端面28a側と第2内端面28b側とで管長方向Xにそれぞれ段差部28eが形成されている。各段差部28eにより、第1内端面28aの方が第2内端面28bよりも幅方向Zの幅が小さくなる。また、筐体8内の板ばね10の収容空間28の内フランジ部20側には、第1及び第2フランジ部16、18よりも若干大きな内径を有する円柱状の第1及び第2フランジ部16、18の収容空間32が確保されている。また、収容空間28の第2端面開口24側には、収容空間32と略同内径を有する円柱状のブッシュ14の収容空間34が確保されている。
図9に示すように、板ばね10は、位置決め部10a、押圧部10b、及び折曲部10cから形成されている。板ばね10は、収容空間28に収容され、第2フランジ部18を第1フランジ部16に向けて押圧し、第1及び第2管部材4、6の間に後述するシール部36を形成する。詳しくは、位置決め部10aは、第1内端面28aに当接され、板ばね10を収容空間28内で位置決めする。押圧部10bは、第2内端面28b側で第2フランジ部18を押圧する。また、折曲部10cは、位置決め部10a及び押圧部10bから連なり、板ばね10は、折曲部10cの撓みによって押圧部10bに所定の押圧力を付与する。
位置決め部10a及び押圧部10bには、これらの対向する先端10a1、10b1を管径方向Yに第2管部材6の管径よりも大となる範囲でU字状に切り欠いた切り欠き10a2、10b2がそれぞれ形成されている。
押圧部10bは、その先端10b1から折曲部10cにかけて、対向する位置決め部10aとは反対側に凸に屈曲され、押圧部10bの幅方向に延びる屈曲線10b3が形成されている。
また、板ばね10は、本実施形態では、位置決め部10aと押圧部10bが管径方向Yにほぼ同じ長さに形成されている。
図10に示すように、板ばね10は、収容空間28に収容されたとき、位置決め部10a及び押圧部10bの幅方向Zの幅が各段差部28eを補完する形状を有する。即ち、第1内端面28aに当接する位置決め部10aの方が第2内端面28b側に位置する押圧部10bよりも幅方向Zの幅が小さくなる。
図11に示すように、座金12は、板ばね10と第2フランジ部18との間に設けられるとともに第2管部材6に外嵌され、例えば環状の平板形状をなしている。また、座金12は、各収容空間32、34の内径よりも若干小さな外径(例えば約7mm)を有している。また、座金12は、焼き入れ等の硬化処理が施されており、これにより、板ばね10の装着時、板ばね10が第2管部材6に傷を付けるのを防止することができる。
図12に示すように、ブッシュ14は、一端14aが第2端面開口24に係合されるとともに第2管部材6に外嵌される。また、ブッシュ14は、各収容空間32、34の内径よりも若干小さな外径(例えば約7mm)を有している。
以下、図13から図18を参照して管継手1の組み立て手順について詳しく説明する。
先ず、図13に示すように、管継手1の各構成部品を並べて配置する。次に、図14に示すように第1管部材4を筐体8に挿入する。このとき、筐体8では、第1管部材4を外端4aから第2端面開口24を経て第1端面開口22に挿通することで、第1フランジ部16が内フランジ部20に係止される。
次に、図15に示すように、座金12を第2管部材6に外嵌し、第2フランジ部18に当接させる。次に、図16に示すように、ブッシュ14を第2管部材6に外嵌する。
次に、図17に示すように、第2管部材6を第2フランジ部18から第2端面開口24に挿通し、筐体8内で第2フランジ部18が第1フランジ部16に突き当てられる。このとき、座金12は収容空間28の第2内端面28b側に位置付けられるとともに、ブッシュ14の一端14aは第2端面開口24に係合、装着される。
最後に、図18に示すように、板ばね10をプライヤー又は専用治具等で押し込むことで、押圧部10bを位置決め部10aに近接させる方向に撓ませながら板ばね10を収容空間28に収容して筐体8に装着し、管継手1の組み立てが終了する。
図19に示すように、上述の手順で組み立てて完成した管継手1では、位置決め部10a及び押圧部10bの各切り欠き10a2、10b2のU字状の底が第2管部材6に近接又は当接した状態で、位置決め部10aの先端10a1及び押圧部10bの先端10b1が第2側面開口30から突出している。
また、座金12が収容空間28の第2内端面28b側に位置付けられるため、板ばね10の押圧部10bは第1内端面28aではなく座金12、ひいては第2フランジ部18を確実に押圧し、第1及び第2管部材4、6間にシール部36が形成される。
そして、図20に示すように、板ばね10の押圧部10bが第2フランジ部18を押圧することにより、弾性部材19の平坦面19b3は第1フランジ部16の平坦面16aに面接触し、弾性部材19が管長方向Xに若干潰れることにより、第1及び第2管部材4、6間のシール部36が環帯状のシール面38として形成される。
また、図21及び図22に示すように、板ばね10の押圧部10bに屈曲線10b3が形成されることにより、座金12は板ばね10により2箇所の直線状の押圧線40により押圧される。こうして、シール部36のシール面38における面圧は、板ばね10の押圧力と弾性部材19の弾性力とに基づいて決定される。また、弾性部材19には、板ばね10の押圧によって弾性変形の範囲で潰れる、即ち、弾性部材19が弾性限界を超えて塑性変形しない範囲で潰れるように、管長方向Xの潰し代が予め確保されている。また、この弾性部材19の潰し代は、板ばね10の個体差による押圧力のばらつきを許容可能な管長方向Xの幅に設定されている。
以上のように本実施形態によれば、施工性及びシール性の双方に優れ、小型の製造装置への使用に好適であり、生産性及び信頼性の高い管継手1、この管継手1を用いた流体制御機器、及びこの流体制御機器を用いた流体制御装置を提供することができる。
具体的には、筐体8の側面8cに第1側面開口26が形成されることにより、第1フランジ部16が内フランジ部20に係止され且つ第1及び第2管部材4、6の管長方向に第2フランジ部18が第1フランジ部16に当接した状態で、板ばね10が筐体8内に収容される。これにより、小型装置内の施工スペースが狭い場合、スパナ等の回転工具を用いなくとも、板ばね10を筐体8に収容、装着するだけの簡単な作業で、管継手1における第1及び第2管部材4、6間のシール部36を形成することができ、管継手1の結合に係る施工性を大幅に高めることができる。
しかも、第2フランジ部18に凸設した弾性部材19を第1フランジ部16に面接触させたシール面38によりシール部36を形成することができるため、例えば、金属製の第1及び第2フランジ部16、18同士を線接触して環状のシール線によりシール部36を形成する場合に比して、シール部36のシール性を向上することができる。また、管継手1の組立時やメンテナンス時に、別部材としたOリングやガスケット等の極小のシール部材が紛失する懸念が排除される。
また、弾性部材19でシール面38を形成したことにより、装置のメンテナンス等により管継手1を分解し、装置に対し繰り返し脱着したとしても、第1及び第2フランジ部16、18同士の接触箇所に傷が生じるようなことはなく、管継手1のシール性を高く維持することができる。
また、弾性部材19に、板ばね10の押圧によって弾性変形の範囲で潰れる潰し代が確保されていることにより、弾性部材19の塑性変形が防止され、弾性部材19のいわゆるヘタリによる管継手1のシール性低下を抑制することができる。
また、弾性部材19の潰し代は、板ばね10の個体差による押圧力のばらつきを許容可能な幅に設定されていることにより、板ばね10の押圧力がばらついたとしても、板ばね10の押圧による弾性部材19の塑性変形が回避され、板ばね10の押圧力と弾性部材19の弾性力との合力により管継手1のシール性を常時維持することができる。
また、板ばね10による押圧力がさほど大きくない場合であっても、板ばね10の押圧力と弾性部材19の弾性力との合力によりシール部36のシール力を高めることができ、管継手1のシール性を効果的に高めることができる。従って、管継手1のシール性を確保するために、安全率を掛けた大きな値に板ばね10の弾性力を設定する必要はないため、筐体8に対する板ばね10の取り付け作業を容易に行うことができる。
また、管継手1を繰り返し脱着したとき、板ばね10のヘタリが発生し、板ばね10から所望の押圧力を得ることができなくなったとしても、弾性部材19の弾性力で補うことにより、管継手1の必要締め付け荷重を維持することが可能である。
また、板ばね10の押圧部10bに屈曲線10b3が形成されることにより、座金12は板ばね10により2箇所の直線状の押圧線40により押圧される。これにより、板ばね10により座金12の中央部分を確実に押圧可能となるため、板ばね10による押圧力によってシール部36におけるシール力、ひいては管継手1におけるシール性を更に効果的に高めることができる。
また、筐体8には、第1側面開口26の対向位置に、収容空間28に連通する第2側面開口30が形成され、位置決め部10a及び押圧部10bの各切り欠き10a2、10b2のU字状の底が第2管部材6に近接又は当接した状態で、位置決め部10aの先端10a1及び押圧部10bの先端10b1が第2側面開口30から突出している。これにより、第2側面開口30から突出した位置決め部10aの先端10a1及び/又は押圧部10bの先端10b1を押すことで、板ばね10を筐体8から容易に取り外すことができる。従って、板ばね10の交換や管継手1の分解等を容易に行うことができ、管継手1のメンテナンス性を高めることができる。
また、筐体8における板ばね10の収容空間28の内側面28c、28dに段差部28eが形成され、板ばね10は、収容空間28に収容されたとき、位置決め部10a及び押圧部10bの幅方向Zの幅が各段差部28eを補完する形状を有する。これにより、第1内端面28aに押圧部10bを当接させて装着するといった筐体8の収容空間28に対する板ばね10の誤組み付けを防止することができる。従って、板ばね10による座金12の押圧を確実に線接触で行うことができ、当該誤組み付けに起因した管継手1におけるシール性低下を防止することができる。
以上で本発明の一実施形態についての説明を終えるが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更ができるものである。
例えば、上記実施形態では、第1フランジ部16に平坦面16aを形成し、第2フランジ部18に弾性部材19の平坦面19b3を形成している。しかし、これに限らず、シール面38が形成されれば良く、例えば、第1フランジ部16に弾性部材19を設け、第2フランジ部18に平坦面を形成しても良い。
また、シール面38を形成可能であれば、弾性部材19の形状、材質、及び装着手法は上記実施形態に限定されない。
また、上記実施形態では、板ばね10の位置決め部10aの先端10a1及び押圧部10bの先端10b1の双方が第2側面開口30から突出している。しかし、これに限らず、先端10a1、10b1の少なくとも何れか一方を第2側面開口30から突出させても良い。
また、筐体8の第1及び第2側面開口26、30からの板ばね10の抜け防止のため、図示しない抜け止めクリップを設けても良い。
また、筐体8、板ばね10は、上記実施形態の形状に限られないし、座金12やブッシュ14を備えない管継手1にも適用可能である。
また、管継手1を弁に接続した流体制御機器は、種々の流体回路を構成する流体制御装置に適用可能であり、流体制御機器を用いた流体制御装置は種々の小型の製造装置に適用可能である。
1 管継手
4 第1管部材
4a 外端(他端)
4b 内端(一端)
6 第2管部材
6a 外端(他端)
8 筐体
8a 一端
10 板ばね
16 第1フランジ部
18 第2フランジ部
19 弾性部材
20 内フランジ部
22 第1端面開口
24 第2端面開口
26 第1側面開口
36 シール部

Claims (5)

  1. 一端に第1フランジ部を有する第1管部材と、
    一端に第2フランジ部を有する第2管部材と、
    一端に内周が縮径されてなる内フランジ部及び該内フランジ部よりなる第1端面開口を有するとともに、他端に第2端面開口を有する筐体と、
    前記筐体内に収容され、前記第2フランジ部を前記第1フランジ部に向けて押圧する板ばねと
    を備え、
    前記筐体は、前記第1フランジ部が内フランジ部に係止され且つ前記第1及び第2管部材の管長方向に前記第2フランジ部が前記第1フランジ部に当接した状態で、前記板ばねが前記筐体内に収容される第1側面開口を有し、
    前記第1管部材をその他端から前記第2端面開口を経て前記第1端面開口に挿通することで、前記第1フランジ部が内フランジ部に係止され、前記第2端面開口に前記第2フランジ部から前記第2管部材を挿通することで、前記筐体内で前記第2フランジ部と前記第1フランジ部とがシール部を形成し、
    前記シール部は、前記第1及び第2フランジ部の一方に凸設した環状の弾性部材が前記第1及び第2フランジ部の他方に面接触してなる、管継手。
  2. 前記弾性部材は、前記板ばねの押圧によって弾性変形の範囲で潰れる潰し代を有する、請求項1に記載の管継手。
  3. 前記潰し代は、前記板ばねの個体差による押圧力のばらつきを許容可能な幅に設定されている、請求項2に記載の管継手。
  4. 請求項1から3の何れか一項に記載の管継手を備えた流体制御機器であって、
    流体の入口及び出口を有し、前記入口及び出口の少なくとも何れか一方に前記第1及び第2管部材の少なくとも何れか一方の他端が接続された弁を含む、流体制御機器。
  5. 請求項4に記載の流体制御機器を備えた、流体制御装置。
JP2015151800A 2015-07-31 2015-07-31 管継手、流体制御機器、及び流体制御装置 Active JP6649004B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015151800A JP6649004B2 (ja) 2015-07-31 2015-07-31 管継手、流体制御機器、及び流体制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015151800A JP6649004B2 (ja) 2015-07-31 2015-07-31 管継手、流体制御機器、及び流体制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017032048A true JP2017032048A (ja) 2017-02-09
JP6649004B2 JP6649004B2 (ja) 2020-02-19

Family

ID=57988334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015151800A Active JP6649004B2 (ja) 2015-07-31 2015-07-31 管継手、流体制御機器、及び流体制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6649004B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018155076A1 (ja) 2017-02-23 2018-08-30 村田機械株式会社 ストッカ、及び作業用足場の形成方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018155076A1 (ja) 2017-02-23 2018-08-30 村田機械株式会社 ストッカ、及び作業用足場の形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6649004B2 (ja) 2020-02-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016052223A1 (ja) 樹脂製管継手
JP6240455B2 (ja) 合成樹脂製管継手
US20110163540A1 (en) O-ringless seal couplings
CN107588256B (zh) 塑料密封配件
WO2016052222A1 (ja) 樹脂製管継手
JP2013083316A (ja) 配管接続構造
US8491017B2 (en) Fitting structure including a pair of connection pipes and a clamp ring
JP2020101277A (ja) 急激な曲げ技術を用いる金属シール嵌め合わせ組立体及びその製造する方法
JP5915918B2 (ja) 高圧パイプ用継手および継手構造
US20190293179A1 (en) Seal structure, sealing method, and coupling equipped with said seal structure
JP5923578B2 (ja) 樹脂製管継手
JP2017032048A (ja) 管継手、流体制御機器、及び流体制御装置
JP4257319B2 (ja) 集積パネルと流体デバイスとの接続構造
JP2016205566A (ja) 無溶接フランジ管継手
JP4512526B2 (ja) 集積パネルと流体デバイスとの接続構造
JP5923579B2 (ja) 樹脂製管継手
US10473247B2 (en) Method of forming a pipe joint, pipe joint component, and pipe joint, fluid control device, fluid control unit and semiconductor fabrication apparatus including the pipe joint component
JP4437553B2 (ja) マニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニット
CN112639348A (zh) 流路接头构造
US20080054574A1 (en) Gasket with non-distortable orifice
JP6420882B2 (ja) 合成樹脂製管継手
KR20190137899A (ko) 밸브 장치 및 유체제어장치
EP4361484A1 (en) Connector module for fluidly connecting a fluid system to a function module, assembly comprising a connector module and method for fluidly connecting a fluid system to a connector module
JP5995595B2 (ja) 制御弁および制御弁の組立方法
WO2024089133A1 (en) Connector module for fluidly connecting a fluid system to a function module, assembly comprising a connector module and method for fluidly connecting a fluid system to a connector module

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180706

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190722

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190724

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190829

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191218

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200116

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6649004

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250