JP2017022289A - 半導体レーザ、光モジュール、光通信装置、及び光通信システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2.5Gbps以上の通信速度の光通信に用いられる直接変調型の半導体レーザであって、GaAs基板10上に設けられ、n型導電型の下部クラッド層14と、前記下部クラッド層上に設けられ、InAsからなる複数の量子ドット42とGaAs又はAlGaAsからなり前記複数の量子ドットを覆うバリア層50とを含む複数の量子ドット層52が積層された活性層40と、前記活性層上に設けられ、p型導電型の上部クラッド層20と、前記上部クラッド層上に設けられたp電極30と、前記GaAs基板の下面に設けられたn電極36と、を備え、前記複数の量子ドット層の前記量子ドットの面密度Dは4×1010cm−2より高く、前記複数の量子ドット層の厚さTは42000×D−0.295≦T<40nmである半導体レーザ。
【選択図】図8
Description
12 バッファ層
14 下部クラッド層
16、18 導波路層
20 上部クラッド層
26 コンタクト層
30 p電極
36 n電極
40 活性層
42 量子ドット
44 第1バリア層
46 第2バリア層
48 第3バリア層
50 バリア層
52 量子ドット層
54 InGaAs層
60 GaAs基板
62 InAs量子ドット
64 GaAs層
66 量子ドット層
70 活性層
72 量子ドット
74 バリア層
76 量子ドット層
100 半導体レーザ
200 光モジュール
300 光通信装置
400 光通信システム
Claims (9)
- 2.5Gbps以上の通信速度の光通信に用いられる直接変調型の半導体レーザであって、
GaAs基板上に設けられ、第1導電型を有する下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上に設けられ、InAsからなる複数の量子ドットとGaAs又はAlGaAsからなり前記複数の量子ドットを覆うバリア層とを含む複数の量子ドット層が積層された活性層と、
前記活性層上に設けられ、前記第1導電型とは反対の導電型である第2導電型を有する上部クラッド層と、
前記上部クラッド層上に設けられた第1導電型用電極と、
前記GaAs基板の下面に設けられた第2導電型用電極と、を備え、
前記複数の量子ドット層の前記量子ドットの面密度D(cm−2)は4×1010cm−2より高く、前記複数の量子ドット層の厚さT(nm)は42000×D−0.295≦T<40nmであることを特徴とする半導体レーザ。 - 前記活性層は、5層以上の前記量子ドット層が積層されていることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ。
- 前記複数の量子ドット層は、前記複数の量子ドットの間に設けられたInGaAs層を含むことを特徴とする請求項1または2記載の半導体レーザ。
- 前記半導体レーザの発振波長は、1.2μm以上且つ1.35μm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の半導体レーザ。
- 前記複数の量子ドット層のうち最下層の量子ドット層は、GaAs層又はAlGaAs層の上面に設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の半導体レーザ。
- 前記下部クラッド層と前記活性層との間に設けられ、GaAsからなる第1導波路層と、
前記上部クラッド層と前記活性層との間に設けられ、GaAsからなる第2導波路層と、を備え、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層はAlGaAsからなり、
前記活性層は前記第1導波路層と前記第2導波路層とに接して設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の半導体レーザ。 - 請求項1から6のいずれか一項記載の半導体レーザを備えることを特徴とする光モジュール。
- 請求項7記載の光モジュールを備えることを特徴とする光通信装置。
- 請求項8記載の光通信装置を備えることを特徴とする光通信システム。
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