JP2016530542A - 改良されたジャイロスコープ構造体およびジャイロスコープ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、微小電気機械デバイス、および、特に独立請求項の前文に規定する、ジャイロスコープ構造体およびジャイロスコープに関する。
微小電気機械システム(マイクロエレクトロメカニカルシステム;Micro−Electro−Mechanical System)、つまり、MEMSは、小型化された機械的および電気機械的システムであって、少なくともいくつかの要素が機械的機能性を有するもの、と定義できる。MEMSデバイスは、集積回路の作成に使用する道具と同じものを使って作られるので、複数のマイクロマシンとマイクロエレクトロニクスを同じシリコンピース上に組み立てて、先進的なデバイスを実現することができる。
本発明の目的は、精度と外部からの衝撃に対する低感度性の向上を実現しつつ、設計寸法からの逸脱に対する感度がより低いジャイロスコープ構造体を設計することである。本発明の目的は、独立請求項の特徴部分に従うジャイロスコープ構造体を用いて実現される。
以下に、好ましい実施態様に関連して、添付の図面を参照して、本発明をより詳細に説明する。
下記の各実施態様は例示である。明細書中において「或る」、「1つの」または「いくつかの」実施態様ということがあるが、これは、必ずしもこれらの語による言及が同じ実施態様を意味したり、特徴が1つの実施態様にのみ適用されることを意味したりするものではない。異なる実施態様の特徴を1つずつ組み合わせて更なる実施態様を提供してもよい。
Sdiff = (s1+s4) − (s2+s3) (1)
(即ち、第1の検出要素170と第4の検出要素172からの信号の合計から第2の検出要素171と第3の検出要素173からの信号の合計を減ずる。)
Claims (24)
- 微小電気機械のジャイロスコープ構造体であって、前記構造体が、
平面の表面を含む第1の振動質量体と、
平面の表面を含む第2の振動質量体と、
前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体とを他の本体要素上にて平行な配置に懸架するための第1のばね構造体であって、前記第1の振動質量体の前記平面の表面と前記第2の振動質量体の前記平面の表面とが、質量体の基準面を形成しているものである、前記第1のばね構造体と、
励起手段と、
検出手段とを有し、
前記第1のばね構造体が、前記第1の振動質量体を前記他の本体要素に取り付けるための前記第1の振動質量体の平面内における第1のアンカーポイントと、前記第1のアンカーポイントと前記第1の振動質量体とに取り付けられた第1のばねアセンブリとを含み、前記第1のばねアセンブリは、質量体の前記平面に平行である第1の励起軸の周りで前記第1の振動質量体が回転振動できるようにするものであって、
前記第1のばね構造体が、前記第2の振動質量体を前記他の本体要素に取り付けるための前記第2の振動質量体の平面内における第2のアンカーポイントと、前記第2のアンカーポイントと前記第2の振動質量体とに取り付けられた第2のばねアセンブリとを含み、前記第2のばねアセンブリは、質量体の前記平面に平行である第2の励起軸の周りで前記第2の振動質量体が回転振動できるようにするものであって、
前記第1の励起軸と前記第2の励起軸とは、共通の主軸に対して位置合わせがされており、
前記第1のばねアセンブリは、質量体の前記平面に対して垂直な第1の検出軸の周りで前記第1の振動質量体が回転振動できるようにし、
前記第2のばねアセンブリは、質量体の前記平面に対して垂直な第2の検出軸の周りで前記第2の振動質量体が回転振動できるようにし、
前記第1の検出軸と前記第2の検出軸とは、ゼロでない距離で隔てられており、
前記励起手段は、前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体とを前記共通の主軸の周りで振動させるように構成されており、
前記検出手段は、面内検出櫛部を備える少なくとも1つの検出要素と、前記第1の振動質量体または前記第2の振動質量体の前記回転振動を質量体の前記平面における、前記共通の主軸に平行な方向の前記面内検出櫛部の線形振動に変換するための第2のばね構造体とを含み、
前記検出手段は、前記面内検出櫛部の前記線形振動を検出するように構成されている
ことを特徴とする微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体とが、前記共通の主軸に沿ってねじれるように、かつ質量体の前記平面において曲がるように構成されている連結ばねによって接続されている
ことを特徴とする請求項1に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記共通の主軸が、前記第1のアンカーポイントと前記第2のアンカーポイントとを通り抜ける
ことを特徴とする請求項1または2に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記連結ばねが、前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体との間で前記共通の主軸に沿って伸びるビーム状ばねである
ことを特徴とする請求項3に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1のアンカーポイントが、前記第1の振動質量体にパターン形成されている領域であって、かつ前記第1のばねアセンブリが、前記第1のアンカーポイントと前記第1の振動質量体との間を伸びるように、前記第1の振動質量体にパターン形成されている第1のビーム状ばねを含むものであるか、または、
前記第2のアンカーポイントが、前記第2の振動質量体にパターン形成されている領域であって、かつ前記第1のばねアセンブリが、前記第2のアンカーポイントと前記第2の振動質量体との間を伸びるように、前記第2の振動質量体にパターン形成されている第2のビーム状ばねを含むものである
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記励起手段が、前記第1の振動質量体とともに動くように構成されている第1の質量体電極と、前記第2の振動質量体とともに動くように構成されている第2の質量体電極であって、前記他の本体要素に取り付けられた単数または複数の電極と相互作用するように構成されている第1の質量体電極と第2の質量体電極とを含む
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の質量体電極または前記第2の質量体電極が、前記第1の質量体または前記第2の質量体の前記表面にそれぞれパターン形成されている導電層領域を含む
ことを特徴とする請求項6に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記励起手段が、第3のばね構造体を含み、前記第3のばね構造体が、前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体とに接続され、前記第1の振動質量体の前記回転振動と前記第2の振動質量体の前記回転振動とを逆位相運動に連結するものである
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記共通の主軸が、前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体とを2つの部分に分割し、かつ前記逆位相運動において、前記連結が、前記第1の振動質量体の一部を前記共通の主軸の片側において、1つの方向に動くように配置されており、この時、前記第2の振動質量体の一部が前記共通の主軸の同じ側において逆方向に動く
ことを特徴とする請求項8に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第3のばね構造体が、
第3のアンカーポイントと、
本質的に剛性のビームと、
第3のばねアセンブリであって、前記第3のアンカーポイントと前記ビームの中心点とを接続する中心ばねと、前記ビームの第1の端部を前記第1の振動質量体に接続する第1の端部ばねと、第2の端部ばねであって、前記ビームを前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体の運動に従う往復運動するシーソー型の運動に連結するために前記ビームの第2の端部を前記第2の振動質量体に接続する前記第2の端部ばねとを含むものである、第3のばねアセンブリとを含む
ことを特徴とする請求項8または9に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第3のばね構造体が、前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体とにパターン形成されている領域である
ことを特徴とする請求項10に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記ビームの前記第1の端部を前記第1の振動質量体に接続する前記第1の端部ばねが、質量体の前記平面の方向に剛性であるように構成されていて、前記ビームの前記第1の端部の運動を前記第1の振動質量体に本質的に堅固に連結し、かつ、質量体の前記平面に対して垂直な方向に柔軟であるように構成されていて、前記第1の振動質量体の前記回転振動の間、前記ビームが前記シーソー型の運動をできるようにするか、または、
前記ビームの前記第2の端部を前記第2の振動質量体に接続する前記第2の端部ばねが、質量体の前記平面の方向に剛性であるように構成されていて、前記ビームの前記第2の端部の運動を前記第2の振動質量体に本質的に堅固に連結し、かつ、質量体の前記平面に対して垂直な方向に柔軟であるように構成されていて、前記第2の振動質量体の前記回転振動の間、前記ビームが前記シーソー型の運動をできるようにする
ことを特徴とする請求項10または11に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記ビームが、前記共通の主軸に平行である
ことを特徴とする請求項10、11または12に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記検出要素が、固定子櫛部と回転子櫛部とを有する面内検出櫛部を含み、
前記第2のばね構造体が、細長いばねを含むものであって、前記細長いばねの一端が前記回転子櫛部に接続されており、かつ前記細長いばねの他端が前記第1の振動質量体または前記第2の振動質量体に接続されており、
前記細長いばねが、その長さに沿った方向に本質的に剛性であり、かつ質量体の前記平面の外に曲がるように構成されて、前記第1の振動質量体または前記第2の振動質量体が、前記共通の主軸の周りで前記回転振動できるようにする
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記細長いばねが、蛇行ばねである
ことを特徴とする請求項14に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第2のばね構造体が、さらに、前記面内検出櫛部の運動の成分が前記共通の主軸に平行な方向から逸脱することを防止するための手段も含む
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記面内検出櫛部の前記回転子が、細長い矩形形状を有する領域に伸び、
前記第2のばね構造体が、4つのアンカーばねを有する第4のばねアセンブリであって、各アンカーばねが前記矩形の回転子領域の1つの角を前記他の本体要素に連結するように構成されている、前記第4のばねアセンブリを含み、
各々の前記アンカーばねは、質量体の前記平面における方向であって前記共通の主軸の方向に対して垂直な方向に本質的に剛性であり、かつ質量体の前記平面における方向であって前記共通の主軸の方向に曲がる
ことを特徴とする請求項16に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の検出手段が、4つの別個の検出要素を有する
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 質量体の前記平面を形成する前記第1の振動質量体の前記表面と前記第2の振動質量体の前記表面とが、矩形形状に組み合わせられており、
前記検出要素が質量体の前記平面に平行に配置され、2つの検出要素が前記矩形形状の片側に配置され、かつ2つの検出要素が前記矩形形状の反対側に配置されている
ことを特徴とする請求項18に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 2つの検出要素が、前記第1の振動質量体の一方の側に沿って前記共通の主軸について対称に配置され、かつ2つの検出要素が前記第2の振動質量体の一方の側に沿って前記共通の主軸について対称に配置されている
ことを特徴とする請求項19に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記共通の主軸が、質量体の前記平面を2つの部分に分割し、
第1の検出要素と第2の検出要素とが、前記第1の振動質量体の前記側に沿って配置されており、
第3の検出要素と第4の検出要素とが、前記第2の振動質量体の前記側に沿って配置されており、
前記第1の検出要素と前記第3の検出要素とが、前記共通の主軸に対して同じ部分にある
ことを特徴とする請求項20に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 請求項1〜21のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体と、前記微小電気機械の構造体から電気信号を受け取るように接続されている電気回路とを含む
ジャイロスコープ。 - 前記電気回路が、前記第1の検出要素から第1の信号を受け取り、前記第2の検出要素から第2の信号を受け取り、前記第3の検出要素から第3の信号を受け取り、かつ前記第4の検出要素から第4の信号を受け取るように構成されており、
前記電気回路が、第1の信号、第2の信号、第3の信号および第4の信号の同時的な組合せとしての差動入力信号を受け取るように構成されている
ことを特徴とする請求項22に記載のジャイロスコープ。 - 前記組合せが、前記第1の検出要素と前記第4の検出要素からの信号の合計から前記第2の検出要素と前記第3の検出要素からの信号の合計を減ずることにより形成されている
ことを特徴とする請求項23に記載のジャイロスコープ。
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