JP2016527449A5 - - Google Patents

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Claims (30)

第１のキャビティと、前記第１のキャビティに流体連通する第１の流体ポートと、開口端とを備える第１の弧状チャンバを画成する第１のハウジングと；
前記第１のハウジング内に回転可能にジャーナル支持され、回転出力軸と、前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第１のロータアームとを備えるロータアセンブリと；
前記開口端を通って前記第１の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設された弧状の第１のピストンであって、第１のシールと、前記第１のキャビティと、前記第１のピストンとが第１の圧力チャンバを画成し、前記第１のピストンの第１の部分が前記第１のロータアームと接触する第１のピストンとを有する；
ロータリ・アクチュエータと；
前記第１の流体ポートに結合された第１の流体ラインと；
高圧流体ラインと；
低圧流体ラインと；
前記高圧流体ラインに結合された集中圧力源と；
前記集中圧力源と前記ロータリ・アクチュエータとの間に位置決めされ、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、前記第１の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように制御可能であるサーボ弁とを備える；
ロータリ・アクチュエータシステム。 A first housing defining a first arcuate chamber comprising a first cavity, a first fluid port in fluid communication with the first cavity, and an open end;
A rotor assembly rotatably supported in the first housing and comprising a rotary output shaft and a first rotor arm extending radially outward from the rotary output shaft;
An arc-shaped first piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the first arc-shaped chamber through the open end, the first seal, and the first cavity And the first piston defines a first pressure chamber, and the first portion of the first piston has a first piston in contact with the first rotor arm;
A rotary actuator;
A first fluid line coupled to the first fluid port;
A high pressure fluid line;
A low pressure fluid line;
A concentrated pressure source coupled to the high pressure fluid line;
Is positioned between said rotary actuator and said centralized pressure source, in order to control the movement of the rotary actuator, for selectively connecting the first fluid line to the high pressure fluid line and said low pressure fluid line And a servo valve that is controllable;
Rotary actuator system. 前記第１のハウジングが、第２のキャビティと、前記第２のキャビティに流体連通する第２の流体ポートとを備える第２の弧状チャンバを更に画成し；
前記ロータアセンブリが第２のロータアームを更に備え；
前記ロータリ・アクチュエータが前記第２の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設される弧状の第２のピストンを更に備え、第２のシールと、前記第２のキャビティと、前記第２のピストンとが第２の圧力チャンバを画成し、前記第２のピストンの第１の部分が前記第２のロータアームと接触し；
前記ロータリ・アクチュエータシステムが前記第２の流体ポートに結合された第２の流体ラインを更に備え、前記サーボ弁が更に、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために前記第２の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように制御可能である；
請求項１のロータリ・アクチュエータシステム。 The first housing further defines a second arcuate chamber comprising a second cavity and a second fluid port in fluid communication with the second cavity;
The rotor assembly further comprises a second rotor arm;
The rotary actuator further comprises an arcuate second piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the second arcuate chamber, and a second seal, the second cavity, The second piston defines a second pressure chamber, and a first portion of the second piston contacts the second rotor arm;
The rotary actuator system further comprises a second fluid line coupled to the second fluid port, and the servo valve further includes the second fluid line to control movement of the rotary actuator. Controllable to selectively connect to a high pressure fluid line and said low pressure fluid line;
The rotary actuator system according to claim 1. 前記サーボ弁を制御するために結合された制御装置と；
位置フィードバック信号を提供するように構成される位置センサを更に備え；
前記制御装置が更に、前記位置センサからの位置フィードバック信号を受信し、前記位置フィードバック信号に基づき前記サーボ弁を制御するように構成され；
前記位置センサが前記回転出力軸に結合され、前記制御装置と、前記サーボ弁と、前記位置センサとがフィードバックループを備え；
前記位置センサが位置リミットセンサであり、前記制御装置が更に、前記位置センサからの位置リミット信号を受信し、前記位置リミット信号に基づき前記サーボ弁を制御するように構成される；
請求項１又は請求項２のロータリ・アクチュエータシステム。 A controller coupled to control the servo valve ;
A position sensor configured to provide a position feedback signal;
The controller is further configured to receive a position feedback signal from the position sensor and to control the servo valve based on the position feedback signal ;
Wherein the position sensor is coupled to the rotary output shaft, and the control device, and the servo valve, e Bei said position sensor and a feedback loop;
The position sensor is a position limit sensor, and the controller is further configured to receive a position limit signal from the position sensor and control the servo valve based on the position limit signal;
The rotary actuator system according to claim 1 or 2. 前記第１のロータアームが航空機の飛行操縦面に結合される、
請求項１乃至請求項３のいずれか１項のロータリ・アクチュエータシステム。 The first rotor arm is coupled to a flight control surface of an aircraft;
The rotary actuator system according to any one of claims 1 to 3 . 前記回転出力軸の外面に形成された中央装着点を含む中央作動アセンブリであって、前記中央装着点が前記回転出力軸の長手方向の中間点に近接する中央作動アセンブリと；
近端が前記中央装着点に取り外し自在に取り付けられた作動アームであって、遠端が被作動部材の外側装着形状部への取り付けに適合する作動アームとを更に備える；
請求項１乃至請求項４のいずれか１項のロータリ・アクチュエータシステム。 A central actuation assembly including a central mounting point formed on an outer surface of the rotary output shaft, wherein the central mounting point is proximate to a longitudinal intermediate point of the rotary output shaft;
An actuating arm having a proximal end removably attached to the central mounting point, and a distal end further comprising an actuating arm adapted to attach the actuated member to the outer mounting feature;
The rotary actuator system according to any one of claims 1 to 4 . 回転作動の方法であって、
第１のキャビティと、前記第１のキャビティに流体連通する第１の流体ポートと、開口端とを備える第１の弧状チャンバを画成する第１のハウジングと；
前記第１のハウジング内に回転可能にジャーナル支持され、回転出力軸と、前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第１のロータアームとを備えるロータアセンブリと；
前記開口端を通って前記第１の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設された弧状の第１のピストンであって、第１のシールと、前記第１のキャビティと、前記第１のピストンとが第１の圧力チャンバを画成し、前記第１のピストンの第１の部分が前記第１のロータアームと接触する第１のピストンと；
前記第１の流体ポートに結合された第１の流体ラインと；
高圧流体ラインと；
低圧流体ラインと；
を備えるロータリ・アクチュエータを提供するステップと；
前記高圧流体ラインに結合された集中圧力源を提供するステップと；
前記集中圧力源と前記ロータリ・アクチュエータとの間に位置決めされたサーボ弁を提供するステップと；
加圧流体を前記第１の圧力チャンバに送るために、前記第１の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように前記サーボ弁を制御するステップと；
前記第１のピストンを前記第１の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢し前記回転出力軸を付勢し第１の方向に回転させるステップとを備える；
回転作動の方法。 A method of rotational actuation,
A first housing defining a first arcuate chamber comprising a first cavity, a first fluid port in fluid communication with the first cavity, and an open end;
A rotor assembly rotatably supported in the first housing and comprising a rotary output shaft and a first rotor arm extending radially outward from the rotary output shaft;
An arc-shaped first piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the first arc-shaped chamber through the open end, the first seal, and the first cavity And a first piston, wherein the first piston defines a first pressure chamber, and a first portion of the first piston contacts the first rotor arm;
A first fluid line coupled to the first fluid port;
A high pressure fluid line;
A low pressure fluid line;
Providing a rotary actuator comprising:
Providing a concentrated pressure source coupled to the high pressure fluid line;
Providing a servo valve positioned between the concentrated pressure source and the rotary actuator;
Controlling the servo valve to selectively connect the first fluid line to the high pressure fluid line and the low pressure fluid line to send pressurized fluid to the first pressure chamber;
Urging the first piston partially outward from the first pressure chamber to urge the rotary output shaft to rotate in a first direction;
Method of rotation operation. 前記第１のハウジングが、第２のキャビティと、前記第２のキャビティに流体連通する第２の流体ポートとを備える第２の弧状チャンバを更に画成し；
前記ロータアセンブリが第２のロータアームを更に備え；
前記ロータリ・アクチュエータが前記第２の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設される弧状の第２のピストンを更に備え、第２のシールと、前記第２のキャビティと、前記第２のピストンとが第２の圧力チャンバを画成し、前記第２のピストンの第１の部分が前記第２のロータアームと接触し；
第２の流体ラインが前記第２の流体ポートに結合され、前記サーボ弁が更に、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために前記第２の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように制御可能であり；
加圧流体を前記第２の圧力チャンバに送るために、前記第２の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように前記サーボ弁を制御するステップと；
前記第２のピストンを前記第２の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢するステップとを更に備える；
請求項６の方法。 The first housing further defines a second arcuate chamber comprising a second cavity and a second fluid port in fluid communication with the second cavity;
The rotor assembly further comprises a second rotor arm;
The rotary actuator further comprises an arcuate second piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the second arcuate chamber, and a second seal, the second cavity, The second piston defines a second pressure chamber, and a first portion of the second piston contacts the second rotor arm;
A second fluid line is coupled to the second fluid port, and the servo valve further connects the second fluid line to the high pressure fluid line and the low pressure fluid line to control movement of the rotary actuator. Can be controlled to selectively connect;
Controlling the servo valve to selectively connect the second fluid line to the high pressure fluid line and the low pressure fluid line to deliver pressurized fluid to the second pressure chamber;
Urging the second piston partially outward from the second pressure chamber;
The method of claim 6 . 前記サーボ弁を制御するために結合された制御装置を提供するステップを更に備え；
前記サーボ弁を制御するステップが、加圧流体を前記第１の圧力チャンバに送るために、前記第１の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように前記制御装置によって前記サーボ弁を制御するステップを備え；
前記ロータリ・アクチュエータの位置を示す位置フィードバック信号を提供するように構成された位置センサを提供するステップと；
前記サーボ弁を制御するために、前記制御装置によって位置センサからの位置フィードバック信号を受信するステップと；
前記位置フィードバック信号に基づき、加圧流体を前記第１の圧力チャンバに送るために、前記第１の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように前記制御装置によって前記サーボ弁を制御するステップとを更に備え；
前記第１のピストンを前記第１の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢し前記回転出力軸を付勢し第１の方向に回転させるステップが、回転出力軸速度、回転出力軸位置、回転出力軸トルク、及び回転出力軸加速度からなる群のうちの少なくとも１つを制御するために前記回転出力軸を付勢し回転させるステップを更に含み；
前記位置センサが前記回転出力軸に結合され、前記位置フィードバック信号が回転位置フィードバック信号であり、又は、
前記位置センサが位置リミットセンサであり、前記位置フィードバック信号が位置リミット信号である、
請求項６又は請求項７の方法。 Providing a controller coupled to control the servo valve;
Controlling the servo valve to selectively connect the first fluid line to the high pressure fluid line and the low pressure fluid line to send pressurized fluid to the first pressure chamber; Controlling the servo valve by a device;
Providing a position sensor configured to provide a position feedback signal indicative of a position of the rotary actuator;
Receiving a position feedback signal from a position sensor by the controller to control the servo valve;
Based on the position feedback signal, by the controller to selectively connect the first fluid line to the high pressure fluid line and the low pressure fluid line to send pressurized fluid to the first pressure chamber. further example Bei and controlling the servo valve;
The step of urging the first piston partially outward from the first pressure chamber to urge the rotation output shaft to rotate in the first direction includes rotation output shaft speed, rotation output shaft position, rotating the output shaft torque, and further including only the step of rotating and biasing the rotary output shaft to control at least one of the group consisting of rotating the output shaft acceleration;
The position sensor is coupled to the rotary output shaft, Ri said position feedback signal is the rotational position feedback signal der, or,
The position sensor is a position limit sensor, and the position feedback signal is a position limit signal;
The method of claim 6 or claim 7 . ロータリ・アクチュエータを備え；
前記ロータリ・アクチュエータは、
第１のキャビティと、前記第１のキャビティに流体連通する第１の流体ポートと、開口端とを備える第１の弧状チャンバを画成する第１のハウジングと；
前記第１のハウジング内に回転可能にジャーナル支持され、回転出力軸と、前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第１のロータアームとを備えるロータアセンブリと；
前記開口端を通って前記第１の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設された弧状の第１のピストンであって、第１のシールと、前記第１のキャビティと、前記第１のピストンとが第１の圧力チャンバを画成し、前記第１のピストンの第１の部分が前記第１のロータアームと接触する、第１のピストンと；
前記第１の流体ポートに結合された第１の流体ラインと；
流体リザーバと；
前記流体リザーバに結合され、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、高圧を前記第１の流体ラインに選択的に提供するように制御可能な流体ポンプであって、集中液圧システムに接続されない流体ポンプとを有する；
ロータリ・アクチュエータシステム。 With rotary actuator;
The rotary actuator is
A first housing defining a first arcuate chamber comprising a first cavity, a first fluid port in fluid communication with the first cavity, and an open end;
A rotor assembly rotatably supported in the first housing and comprising a rotary output shaft and a first rotor arm extending radially outward from the rotary output shaft;
An arc-shaped first piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the first arc-shaped chamber through the open end, the first seal, and the first cavity And a first piston, wherein the first piston defines a first pressure chamber, and a first portion of the first piston contacts the first rotor arm;
A first fluid line coupled to the first fluid port;
A fluid reservoir;
Coupled to the fluid reservoir, in order to control the movement of the rotary actuator, a controllable fluid pump so as to provide selectively a high voltage to said first fluid line, connected to a centralized hydraulic system that having a fluid pump that is not;
Rotary actuator system. 前記第１のハウジングが、第２のキャビティと、前記第２のキャビティに流体連通する第２の流体ポートとを備える第２の弧状チャンバを更に画成し；
前記ロータアセンブリが第２のロータアームを更に備え；
前記ロータリ・アクチュエータが前記第２の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設される弧状の第２のピストンを更に備え、第２のシールと、前記第２のキャビティと、前記第２のピストンとが第２の圧力チャンバを画成し、前記第２のピストンの第１の部分が前記第２のロータアームと接触し；
前記ロータリ・アクチュエータが前記第２の流体ポートに結合された第２の流体ラインを更に備え；
前記流体ポンプが更に、前記ロータリ・アクチュエータのみの動きを制御するために、高圧を前記第２の流体ラインに選択的に供給するように制御可能である；
請求項９のロータリ・アクチュエータシステム。 The first housing further defines a second arcuate chamber comprising a second cavity and a second fluid port in fluid communication with the second cavity;
The rotor assembly further comprises a second rotor arm;
The rotary actuator further comprises an arcuate second piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the second arcuate chamber, and a second seal, the second cavity, The second piston defines a second pressure chamber, and a first portion of the second piston contacts the second rotor arm;
The rotary actuator further comprises a second fluid line coupled to the second fluid port;
The fluid pump is further controllable to selectively supply high pressure to the second fluid line to control the movement of the rotary actuator only;
The rotary actuator system according to claim 9 . 前記流体ポンプを制御するために結合された制御装置と；
位置フィードバック信号を供給するように構成された位置センサを更に備え、
前記制御装置は更に前記位置センサからの位置フィードバック信号を受信し、前記位置フィードバック信号に基づき前記流体ポンプを制御するように構成され；
前記位置センサが前記回転出力軸に結合され、前記制御装置と、前記流体ポンプと、前記位置センサとがフィードバックループを構成し；
前記位置センサが位置リミットセンサであり、前記制御装置が更に前記位置センサからの位置リミット信号を受信し、前記位置リミット信号に基づき前記流体ポンプを制御するように構成される、
請求項９又は請求項１０のロータリ・アクチュエータシステム。 A controller coupled to control the fluid pump ;
A position sensor configured to provide a position feedback signal;
The controller is further configured to receive a position feedback signal from the position sensor and to control the fluid pump based on the position feedback signal;
The position sensor is coupled to the rotary output shaft, and the control device, the fluid pump, and the position sensor form a feedback loop;
The position sensor is a position limit sensor, and the controller is further configured to receive a position limit signal from the position sensor and control the fluid pump based on the position limit signal;
The rotary actuator system according to claim 9 or 10 . 前記回転出力軸の外面に形成された中央装着点を含む中央作動アセンブリであって、前記中央装着点が前記回転出力軸の長手方向の中間点に近接する中央作動アセンブリと；
近端が前記中央装着点に取り外し自在に取り付けられた作動アームであって、遠端が被作動部材の外側装着形状部への取り付けに適合する作動アームとを更に備える；
請求項１１のロータリ・アクチュエータシステム。 A central actuation assembly including a central mounting point formed on an outer surface of the rotary output shaft, wherein the central mounting point is proximate to a longitudinal intermediate point of the rotary output shaft;
An actuating arm having a proximal end removably attached to the central mounting point, and a distal end further comprising an actuating arm adapted to attach the actuated member to the outer mounting feature;
The rotary actuator system according to claim 11 . 回転作動の方法であって、
第１のキャビティと、前記第１のキャビティに流体連通する第１の流体ポートと、開口端とを備える第１の弧状チャンバを画成する第１のハウジングと；
前記第１のハウジング内に回転可能にジャーナル支持され、回転出力軸、及び前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第１のロータアームを備えるロータアセンブリと；
前記開口端を通って前記第１の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジンング内に配設された弧状の第１のピストンであって、第１のシールと、前記第１のキャビティと、前記第１のピストンとが第１の圧力チャンバを画成し、前記第１のピストンの第１の部分が前記第１のロータアームと接触する第１のピストンと；
前記第１の流体ポートに結合された第１の流体ラインとを備える；
ロータリ・アクチュエータを提供するステップと；
流体リザーバを提供するステップと；
前記流体リザーバに結合された流体ポンプを提供するステップと；
加圧流体を前記第１の圧力チャンバに送るために、前記第１の流体ラインに高圧を選択的に供給するように前記流体ポンプを制御するステップと；
前記第１のピストンを前記第１の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢し前記回転出力軸を付勢し第１の方向に回転させるステップとを備える；
方法。 A method of rotational actuation,
A first housing defining a first arcuate chamber comprising a first cavity, a first fluid port in fluid communication with the first cavity, and an open end;
A rotor assembly comprising a rotary output shaft and a first rotor arm rotatably supported in the first housing and extending radially outward from the rotary output shaft;
An arc-shaped first piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the first arc-shaped chamber through the open end, the first seal, and the first cavity And a first piston, wherein the first piston defines a first pressure chamber, and a first portion of the first piston contacts the first rotor arm;
A first fluid line coupled to the first fluid port;
Providing a rotary actuator;
Providing a fluid reservoir;
Providing a fluid pump coupled to the fluid reservoir;
Controlling the fluid pump to selectively supply a high pressure to the first fluid line to send pressurized fluid to the first pressure chamber;
Urging the first piston partially outward from the first pressure chamber to urge the rotary output shaft to rotate in a first direction;
Method. 前記第１のハウジングが、第２のキャビティと、前記第２のキャビティに流体連通する第２の流体ポートとを備える第２の弧状チャンバを更に画成し；
前記ロータアセンブリが第２のロータアームを更に備え；
前記ロータリ・アクチュエータが前記第２の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設される弧状の第２のピストンを更に備え、第２のシールと、前記第２のキャビティと、前記第２のピストンとが第２の圧力チャンバを画成し、前記第２のピストンの第１の部分が前記第２のロータアームと接触し；
第２の流体ラインが前記第２の流体ポートに結合され；
加圧流体を前記第２の圧力チャンバに送るために、前記第２の流体ラインに高圧を選択的に供給するように前記流体ポンプを制御するステップと；
前記第２のピストンを前記第２の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢するステップとを更に備える；
請求項１３の方法。 The first housing further defines a second arcuate chamber comprising a second cavity and a second fluid port in fluid communication with the second cavity;
The rotor assembly further comprises a second rotor arm;
The rotary actuator further comprises an arcuate second piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the second arcuate chamber, and a second seal, the second cavity, The second piston defines a second pressure chamber, and a first portion of the second piston contacts the second rotor arm;
A second fluid line is coupled to the second fluid port;
Controlling the fluid pump to selectively supply a high pressure to the second fluid line to send pressurized fluid to the second pressure chamber;
Urging the second piston partially outward from the second pressure chamber;
The method of claim 13 . 前記流体ポンプを制御するために結合された制御装置を提供するステップを更に備え、前記流体ポンプを制御するステップが、前記第１の圧力チャンバに加圧流体を選択的に送るように前記制御装置によって前記流体ポンプを制御するステップと；
前記ロータリ・アクチュエータの位置を示す位置フィードバック信号を提供するように構成された位置センサを提供するステップとを備え；
前記位置センサが前記回転出力軸に結合され、前記位置フィードバック信号は回転位置フィードバック信号であり、
又は、前記位置センサが位置リミットセンサであり、前記位置フィードバック信号が位置リミット信号であり；
前記流体ポンプを制御するために、前記制御装置によって位置センサからの位置フィードバック信号を受信するステップと；
前記位置フィードバック信号に基づき、前記第１の圧力チャンバに加圧流体を選択的に送るように前記制御装置によって前記流体ポンプを制御するステップとを更に備え；
前記第１のピストンを前記第１の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢し、前記回転出力軸を付勢して第１の方向に回転させるステップが、回転出力軸速度と、回転出力軸位置と、回転出力軸トルクと、回転出力軸加速度とからなる群のうちの少なくとも１つを制御するために前記回転出力軸を付勢し回転させるステップを更に含む、
請求項１３又は請求項１４の方法。 Providing a controller coupled to control the fluid pump, wherein controlling the fluid pump selectively delivers pressurized fluid to the first pressure chamber. and controlling the fluid pump by;
Providing a position sensor configured to provide a position feedback signal indicative of a position of the rotary actuator;
The position sensor is coupled to the rotational output shaft, and the position feedback signal is a rotational position feedback signal;
Or the position sensor is a position limit sensor and the position feedback signal is a position limit signal;
Receiving a position feedback signal from a position sensor by the controller to control the fluid pump;
Controlling the fluid pump by the controller to selectively send pressurized fluid to the first pressure chamber based on the position feedback signal;
The step of urging the first piston partially outward from the first pressure chamber and urging the rotation output shaft to rotate in the first direction includes rotation output shaft speed and rotation output. Energizing and rotating the rotational output shaft to control at least one of the group consisting of axial position, rotational output shaft torque, and rotational output shaft acceleration;
15. A method according to claim 13 or claim 14 . 第１のキャビティと、前記第１のキャビティに流体連通する第１の流体ポートと、開口端とを備える第１の弧状チャンバを画成する第１のハウジングと；
前記第１のハウジング内に回転可能にジャーナル支持され、回転出力軸と、前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第１のロータアームをと備えるロータアセンブリと；
前記開口端を通って前記第１の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設された弧状の第１のピストンであって、第１のシールと、前記第１のキャビティと、前記第１のピストンとが第１の圧力チャンバを画成し、前記第１のピストンの第１の部分が前記第１のロータアームと接触する第１のピストンとを有する；
ロータリ・アクチュエータと；
前記第１の流体ポートに結合された第１の流体ラインと；
高圧流体ラインと；
低圧流体ラインと；
前記高圧流体ラインに結合された集中圧力源と；
前記集中圧力源と前記ロータリ・アクチュエータとの間に位置決めされたサーボ弁であって、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、前記第１の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように制御可能であるサーボ弁と；
流体リザーバと；
前記流体リザーバに結合された流体ポンプであって、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、高圧を前記第１の流体ラインに選択的に提供するように制御可能な流体ポンプと；
前記ロータリ・アクチュエータと、前記サーボ弁と、前記流体ポンプとの間に位置決めされたバルブブロックであって、前記流体ポンプ及び前記サーボ弁から前記第１の流体ラインに高圧を選択的に供給するように制御可能なバルブブロックとを備える；
ロータリ・アクチュエータシステム。 A first housing defining a first arcuate chamber comprising a first cavity, a first fluid port in fluid communication with the first cavity, and an open end;
A rotor assembly rotatably supported in the first housing and comprising a rotary output shaft and a first rotor arm extending radially outward from the rotary output shaft;
An arc-shaped first piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the first arc-shaped chamber through the open end, the first seal, and the first cavity And the first piston defines a first pressure chamber, and the first portion of the first piston has a first piston in contact with the first rotor arm;
A rotary actuator;
A first fluid line coupled to the first fluid port;
A high pressure fluid line;
A low pressure fluid line;
A concentrated pressure source coupled to the high pressure fluid line;
Wherein a servo valve which is positioned between the concentrated pressure source and said rotary actuator, in order to control the movement of the rotary actuator, the said first fluid line pressure fluid line and said low pressure fluid line A servo valve that is controllable to selectively connect to;
A fluid reservoir;
A fluid pump coupled to the fluid reservoir, the fluid pump being controllable to selectively provide high pressure to the first fluid line to control movement of the rotary actuator;
A valve block positioned between the rotary actuator, the servo valve, and the fluid pump for selectively supplying high pressure from the fluid pump and the servo valve to the first fluid line. A controllable valve block;
Rotary actuator system. 前記第１のハウジングが、第２のキャビティと、前記第２のキャビティに流体連通する第２の流体ポートとを備える第２の弧状チャンバを更に画成し；
前記ロータアセンブリが第２のロータアームを更に備え；
前記ロータリ・アクチュエータが前記第２の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設される弧状の第２のピストンを更に備え、第２のシールと、前記第２のキャビティと、前記第２のピストンとが第２の圧力チャンバを画成し、前記第２のピストンの第１の部分が前記第２のロータアームと接触し；
前記ロータリ・アクチュエータシステムが前記第２の流体ポートに結合された第２の流体ラインを更に備え、前記バルブブロックが、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、前記第２の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように更に制御可能である；
請求項１６のロータリ・アクチュエータシステム。 The first housing further defines a second arcuate chamber comprising a second cavity and a second fluid port in fluid communication with the second cavity;
The rotor assembly further comprises a second rotor arm;
The rotary actuator further comprises an arcuate second piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the second arcuate chamber, and a second seal, the second cavity, The second piston defines a second pressure chamber, and a first portion of the second piston contacts the second rotor arm;
The rotary actuator system further comprises a second fluid line coupled to the second fluid port, and the valve block connects the second fluid line to control the movement of the rotary actuator. Further controllable to selectively connect to the high pressure fluid line and said low pressure fluid line;
The rotary actuator system according to claim 16 . 前記バルブブロックと、前記流体ポンプと、前記サーボ弁とを制御するために結合された制御装置と；
位置フィードバック信号を供給するように構成された位置センサを更に備え；
前記制御装置は更に、前記位置センサからの位置フィードバック信号を受信し、前記位置フィードバック信号に基づき前記サーボ弁及び前記流体ポンプを制御するように構成され；
前記位置センサが前記回転出力軸に結合され、前記制御装置と、前記サーボ弁と、前記位置センサとが第１のフィードバックループを構成し、前記制御装置と、前記流体ポンプと、前記位置センサとが第２のフィードバックループを備える、
請求項１６又は請求項１７のロータリ・アクチュエータシステム。 A controller coupled to control the valve block, the fluid pump, and the servo valve ;
A position sensor configured to provide a position feedback signal;
The controller is further configured to receive a position feedback signal from the position sensor and to control the servo valve and the fluid pump based on the position feedback signal ;
The position sensor is coupled to the rotation output shaft, and the control device, the servo valve, and the position sensor constitute a first feedback loop, the control device, the fluid pump, and the position sensor Comprises a second feedback loop,
The rotary actuator system according to claim 16 or 17 . 回転作動の方法であって：
第１のキャビティと、前記第１のキャビティに流体連通する第１の流体ポートと、開口端とを備える第１の弧状チャンバを画成する第１のハウジングと；
前記第１のハウジング内に回転可能にジャーナル支持され、回転出力軸、及び前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第１のロータアームを備えるロータアセンブリと；
前記開口端を通って前記第１の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設された弧状の第１のピストンであって、第１のシールと、前記第１のキャビティと、前記第１のピストンとが第１の圧力チャンバを画成し、前記第１のピストンの第１の部分が前記第１のロータアームと接触する第１のピストンと；
前記第１の流体ポートに結合された第１の流体ラインと；
高圧流体ラインと；
低圧流体ラインと；
を備えるロータリ・アクチュエータを提供するステップと；
前記高圧流体ラインに結合された集中圧力源を提供するステップと；
前記集中圧力源と前記ロータリ・アクチュエータとの間に位置決めされたサーボ弁であって、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、前記第１の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように制御可能であるサーボ弁を提供するステップと；
流体リザーバを提供するステップと；
前記流体リザーバに結合された流体ポンプであって、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、高圧を前記第１の流体ラインに選択的に供給するように制御可能な流体ポンプを提供するステップと；
前記ロータリ・アクチュエータと、前記サーボ弁と、前記流体ポンプとの間に位置決めされたバルブブロックを提供するステップであって、前記バルブブロックは、前記流体ポンプと前記サーボ弁とから前記第１の流体ラインに高圧を選択的に提供するように制御可能である、バルブブロックを提供するステップと；
加圧流体を前記第１の圧力チャンバに送るために、前記第１の流体ラインに高圧を選択的に提供するように、前記流体ポンプと、前記バルブブロックと、前記サーボ弁とを制御するステップと；
前記第１のピストンを前記第１の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢し前記回転出力軸を付勢し第１の方向に回転させるステップとを備える；
方法。 The method of rotation operation:
A first housing defining a first arcuate chamber comprising a first cavity, a first fluid port in fluid communication with the first cavity, and an open end;
A rotor assembly comprising a rotary output shaft and a first rotor arm rotatably supported in the first housing and extending radially outward from the rotary output shaft;
An arc-shaped first piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the first arc-shaped chamber through the open end, the first seal, and the first cavity And a first piston, wherein the first piston defines a first pressure chamber, and a first portion of the first piston contacts the first rotor arm;
A first fluid line coupled to the first fluid port;
A high pressure fluid line;
A low pressure fluid line;
Providing a rotary actuator comprising:
Providing a concentrated pressure source coupled to the high pressure fluid line;
A servo valve positioned between the concentrated pressure source and the rotary actuator, wherein the first fluid line is connected to the high pressure fluid line and the low pressure fluid line to control the movement of the rotary actuator. Providing a servo valve that is controllable to selectively connect to;
Providing a fluid reservoir;
Providing a fluid pump coupled to the fluid reservoir, the fluid pump being controllable to selectively supply high pressure to the first fluid line to control movement of the rotary actuator. When;
Providing a valve block positioned between the rotary actuator, the servo valve, and the fluid pump, the valve block from the fluid pump and the servo valve to the first fluid. Providing a valve block that is controllable to selectively provide high pressure to the line;
Controlling the fluid pump, the valve block, and the servo valve to selectively provide a high pressure to the first fluid line for delivering pressurized fluid to the first pressure chamber. When;
Urging the first piston partially outward from the first pressure chamber to urge the rotary output shaft to rotate in a first direction;
Method. 前記第１のハウジングが、第２のキャビティと、前記第２のキャビティに流体連通する第２の流体ポートとを備える第２の弧状チャンバを更に画成し；
前記ロータアセンブリが第２のロータアームを更に備え；
前記ロータリ・アクチュエータが前記第２の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設される弧状の第２のピストンを更に備え、第２のシールと、前記第２のキャビティと、前記第２のピストンとが第２の圧力チャンバを画成し、前記第２のピストンの第１の部分が前記第２のロータアームと接触し；
前記ロータリ・アクチュエータシステムが前記第２の流体ポートに結合された第２の流体ラインを更に備え、前記バルブブロックが、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、前記第２の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように更に制御可能である；
請求項１９の方法。 The first housing further defines a second arcuate chamber comprising a second cavity and a second fluid port in fluid communication with the second cavity;
The rotor assembly further comprises a second rotor arm;
The rotary actuator further comprises an arcuate second piston disposed in the first housing so as to be capable of reciprocating in the second arcuate chamber, and a second seal, the second cavity, The second piston defines a second pressure chamber, and a first portion of the second piston contacts the second rotor arm;
The rotary actuator system further comprises a second fluid line coupled to the second fluid port, and the valve block connects the second fluid line to control the movement of the rotary actuator. Further controllable to selectively connect to the high pressure fluid line and said low pressure fluid line;
The method of claim 19 . 制御装置を提供するステップと；
前記ロータリ・アクチュエータの位置を示す位置フィードバック信号を提供するように構成された位置センサを提供するステップと；
前記制御装置によって前記位置センサからの位置フィードバック信号を受信するステップとを更に含み；
前記サーボ弁を制御するステップが、加圧流体を前記第１の圧力チャンバに送るために、前記第１の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように前記制御装置によって前記サーボ弁を制御するステップを含み；
前記流体ポンプを制御するステップが、前記第１の圧力チャンバに加圧流体を選択的に送るように前記制御装置によって前記流体ポンプを制御するステップを含み；
前記バルブブロックを制御するステップが、前記サーボ弁及び前記流体ポンプを前記第１の圧力チャンバに選択的に接続するように制御装置によって前記バルブブロックを制御するステップを含み；
前記制御装置と、前記サーボ弁と、前記位置センサとが第１のフィードバックループを構成し、前記制御装置と、前記流体ポンプと、前記位置センサとが第２のフィードバックループを備え；
前記位置フィードバック信号に基づき、前記第１の圧力チャンバに加圧流体を送るために前記制御装置によって前記サーボ弁と前記流体ポンプを制御し；
前記位置センサが前記回転出力軸に結合され、前記位置フィードバック信号が回転位置フィードバック信号であり、前記制御装置は更に、位置センサからの回転位置フィードバック信号受信し、前記回転位置フィードバック信号に基づき前記サーボ弁及び前記流体ポンプを制御するように構成され、
前記位置センサが位置リミットセンサであり、前記制御装置が更に、前記位置センサからの位置リミット信号を受信し、前記位置リミット信号に基づき前記サーボ弁及び前記流体ポンプを制御するように構成され、
前記第１のピストンを前記第１の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢し前記回転出力軸を付勢し第１の方向に回転させるステップが、回転出力軸速度と、回転出力軸位置と、回転出力軸トルクと、回転出力軸加速度とからなる群のうちの少なくとも１つを制御するために前記回転出力軸を付勢し回転させるステップを更に含む；
請求項１９又は請求項２０の方法。 Providing a controller;
Providing a position sensor configured to provide a position feedback signal indicative of a position of the rotary actuator;
Receiving a position feedback signal from the position sensor by the controller;
Controlling the servo valve to selectively connect the first fluid line to the high pressure fluid line and the low pressure fluid line to send pressurized fluid to the first pressure chamber; Controlling the servo valve by a device;
Controlling the fluid pump includes controlling the fluid pump by the controller to selectively deliver pressurized fluid to the first pressure chamber;
Step of controlling the valve block, the step-containing body which controls the valve block by the controller for selectively connecting the servo valve and the fluid pump to the first pressure chamber;
The control device, the servo valve, and the position sensor constitute a first feedback loop, and the control device, the fluid pump, and the position sensor include a second feedback loop;
Controlling the servo valve and the fluid pump by the controller to send pressurized fluid to the first pressure chamber based on the position feedback signal;
The position sensor is coupled to the rotation output shaft, the position feedback signal is a rotation position feedback signal, and the control device further receives a rotation position feedback signal from the position sensor, and based on the rotation position feedback signal, the servo is configured to control the valves and the fluid pump,
Wherein the position sensor is a position limit sensor, wherein the controller further receives a position limit signal from the position sensor is configured to control the servo valve and the fluid pump on the basis of the position limit signal,
The steps of urging the first piston partially outward from the first pressure chamber and urging the rotation output shaft to rotate in the first direction include rotation output shaft speed and rotation output shaft position. And urging and rotating the rotation output shaft to control at least one of the group consisting of rotation output shaft torque and rotation output shaft acceleration;
21. The method of claim 19 or claim 20 . 第１のキャビティと、第２のキャビティと、前記第１のキャビティに流体連通する第１の流体ポートと、前記第２のキャビティに流体連通する第２の流体ポートと、第１の開口端と、第２の開口端とを備える第１の弧状チャンバを画成する第１のハウジングと；
前記第１のハウジング内に回転可能にジャーナル支持され、回転出力軸と、前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第１のロータアームと、前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第２のロータアームとを備えるロータアセンブリと；
前記第１の開口端を通って前記第１の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設された弧状の第１のピストンであって、第１のシール、前記第１のキャビティ、及び前記第１のピストンが第１の圧力チャンバを画成し、前記第１のピストンの第１の部分が前記第１のロータアームと接触する第１のピストンとを有する；
ロータリ・アクチュエータと；
前記第２の開口端を通って前記第２の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第２のハウジング内に配設された弧状の第２のピストンであって、第２のシールと、前記第２のキャビティと、前記第２のピストンとが第２の圧力チャンバを画成し、前記第２のピストンの第１の部分が前記第２のロータアームと接触する第２のピストンと；
前記第１の流体ポートに結合された第１の流体ラインと；
高圧流体ラインと；
低圧流体ラインと；
前記高圧流体ラインに結合された集中圧力源と；
前記集中圧力源とロータリ・アクチュエータとの間に位置決めされたサーボ弁であって、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、前記第１の流体ラインを前記高圧流体ライン及び前記低圧流体ラインに選択的に接続するように制御可能であるサーボ弁と；
前記第２の流体ポートに結合された第２の流体ラインと；
流体リザーバと；
前記流体リザーバに結合された電動流体ポンプであって、前記ロータリ・アクチュエータの動きを制御するために、高圧を前記第２の流体ラインに選択的に供給しするように制御可能な流体ポンプとを備える；
ロータリ・アクチュエータシステム。 A first cavity, a second cavity, a first fluid port in fluid communication with the first cavity, a second fluid port in fluid communication with the second cavity, and a first open end A first housing defining a first arcuate chamber comprising a second open end;
A journal is rotatably supported in the first housing, and a rotation output shaft, a first rotor arm extending radially outward from the rotation output shaft, and a second extending radially outward from the rotation output shaft. A rotor assembly comprising:
An arc-shaped first piston disposed in the first housing so as to reciprocate in the first arc-shaped chamber through the first opening end, the first seal, the first cavity, and the first piston defining a first pressure chamber, and a first piston first portion of said first piston in contact with the first rotor arm;
A rotary actuator;
An arcuate second piston disposed in the second housing through the second open end so as to reciprocate in the second arcuate chamber, the second seal; A second piston, wherein the second cavity defines a second pressure chamber, and a first portion of the second piston contacts the second rotor arm;
A first fluid line coupled to the first fluid port;
A high pressure fluid line;
A low pressure fluid line;
A concentrated pressure source coupled to the high pressure fluid line;
A servo valve positioned between the concentrated pressure source and a rotary actuator, wherein the first fluid line is connected to the high pressure fluid line and the low pressure fluid line to control movement of the rotary actuator. A servo valve that is controllable to selectively connect;
A second fluid line coupled to the second fluid port;
A fluid reservoir;
An electrically operated fluid pump coupled to the fluid reservoir, the fluid pump being controllable to selectively supply high pressure to the second fluid line to control movement of the rotary actuator; Prepare;
Rotary actuator system. 前記流体ポンプが集中液圧システムに接続されない、
請求項２２のロータリ・アクチュエータシステム。 The fluid pump is not connected to a centralized hydraulic system;
The rotary actuator system according to claim 22 . 前記サーボ弁を制御するために結合された第１の制御装置と、前記流体ポンプを制御するために結合された第２の制御装置と；
位置フィードバック信号を供給するように構成された位置センサを更に備え；
前記第１の制御装置が更に、前記位置センサからの位置フィードバック信号を受信し、前記位置フィードバック信号に基づき前記サーボ弁を制御するように構成され、前記第２の制御装置が更に、前記位置センサからの前記位置フィードバック信号を受信し、前記位置フィードバック信号に基づき前記流体ポンプを制御するように構成され；
前記位置センサが前記回転出力軸に結合され、前記第１の制御装置と、前記サーボ弁と、 前記位置センサとが第１のフィードバックループを備え、前記第２の制御装置と、前記流体ポンプと、前記位置センサとが第２のフィードバックループを備える、
請求項２２又は請求項２３のロータリ・アクチュエータシステム。 A first controller coupled to control the servo valve ; and a second controller coupled to control the fluid pump ;
A position sensor configured to provide a position feedback signal;
The first control device is further configured to receive a position feedback signal from the position sensor and control the servo valve based on the position feedback signal, and the second control device further includes the position sensor. Configured to receive the position feedback signal from and control the fluid pump based on the position feedback signal ;
The position sensor is coupled to the rotation output shaft, the first control device, the servo valve, and the position sensor include a first feedback loop, the second control device, the fluid pump, The position sensor comprises a second feedback loop;
24. The rotary actuator system according to claim 22 or claim 23 . 前記位置センサが位置リミットセンサであり、前記第１の制御装置及び前記第２の制御装置が更に、前記位置センサからの位置リミット信号を受信し、前記位置リミット信号に基づき前記サーボ弁及び前記流体ポンプを制御するように構成される；
請求項２４のロータリ・アクチュエータシステム。 The position sensor is a position limit sensor, and the first control device and the second control device further receive a position limit signal from the position sensor, and based on the position limit signal, the servo valve and the fluid Configured to control the pump;
The rotary actuator system according to claim 24 . 回転作動の方法であって：
第１のキャビティと、第２のキャビティと、前記第１のキャビティに流体連通する第１の流体ポートと、前記第２のキャビティに流体連通する第２の流体ポートと、第１の開口端と、第２の開口端とを備える第１の弧状チャンバを画成する第１のハウジングと；
前記第１のハウジング内に回転可能にジャーナル支持され、回転出力軸と、前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第１のロータアームと、前記回転出力軸から半径方向外方へ延びる第２のロータアームとを備えるロータアセンブリと；
前記第１の開口端を通って前記第１の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第１のハウジング内に配設された弧状の第１のピストンであって、第１のシールと、前記第１のキャビティと、前記第１のピストンとが第１の圧力チャンバを画成し、前記第１のピストンの第１の部分が前記第１のロータアームと接触する第１のピストンと；
前記第２の開口端を通って前記第２の弧状チャンバ内を往復動自在に前記第２のハウジング内に配設された弧状の第２のピストンであって、第２のシールと、前記第２のキャビティと、前記第２のピストンとが第２の圧力チャンバを画成し、前記第２のピストンの第２の部分が前記第２のロータアームと接触する第２のピストンと；
前記第１の流体ポートに結合された第１の流体ラインと；
前記第２の流体ポートに結合された第２の流体ラインと；
高圧流体ラインと；
低圧流体ラインとを備える、ロータリ・アクチュエータを提供するステップと；
前記高圧流体ラインに結合された集中圧力源を提供するステップと；
前記集中圧力源と前記ロータリ・アクチュエータとの間に位置決めされたサーボ弁を提供するステップと；
流体リザーバを提供するステップと；
前記流体リザーバに結合された流体ポンプを提供するステップと；
加圧流体を前記第１の圧力チャンバに送るために、前記第１の流体ラインに高圧を選択的に供給するように前記サーボ弁を制御するステップと；
加圧流体を前記第２の圧力チャンバに送るために、前記第２の流体ラインに高圧を選択的に供給するように前記流体ポンプを制御するステップと；
前記第２のピストンを前記第２の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢し前記回転出力軸を付勢し第１の方向に回転させるステップとを備える；
方法。 The method of rotation operation:
A first cavity, a second cavity, a first fluid port in fluid communication with the first cavity, a second fluid port in fluid communication with the second cavity, and a first open end A first housing defining a first arcuate chamber comprising a second open end;
A journal is rotatably supported in the first housing, and a rotation output shaft, a first rotor arm extending radially outward from the rotation output shaft, and a second extending radially outward from the rotation output shaft. A rotor assembly comprising:
An arc-shaped first piston disposed in the first housing through the first opening end so as to reciprocate within the first arc-shaped chamber, the first seal; A first cavity in which a cavity and the first piston define a first pressure chamber, and a first portion of the first piston contacts the first rotor arm;
An arcuate second piston disposed in the second housing through the second open end so as to reciprocate in the second arcuate chamber, the second seal; Two cavities and the second piston define a second pressure chamber, and a second portion of the second piston is in contact with the second rotor arm;
A first fluid line coupled to the first fluid port;
A second fluid line coupled to the second fluid port;
A high pressure fluid line;
Providing a rotary actuator comprising a low pressure fluid line;
Providing a concentrated pressure source coupled to the high pressure fluid line;
Providing a servo valve positioned between the concentrated pressure source and the rotary actuator;
Providing a fluid reservoir;
Providing a fluid pump coupled to the fluid reservoir;
Controlling the servovalve to selectively supply a high pressure to the first fluid line to send pressurized fluid to the first pressure chamber;
Controlling the fluid pump to selectively supply a high pressure to the second fluid line to send pressurized fluid to the second pressure chamber;
Urging the second piston partially outward from the second pressure chamber and urging the rotational output shaft to rotate in a first direction;
Method. 前記流体ポンプが集中液圧システムに接続されない、
請求項２６の方法。 The fluid pump is not connected to a centralized hydraulic system;
27. The method of claim 26 . 前記サーボ弁を制御するために結合された第１の制御装置を提供するステップと；
前記流体ポンプを制御するために結合された第２の制御装置を提供するステップと；
前記ロータリ・アクチュエータの位置を示す位置フィードバック信号を供給するように構成された位置センサを提供するステップとを備え；
ここで、前記位置センサが前記回転出力軸に結合され、前記第１の制御装置と、前記サーボ弁と、前記位置センサとが第１のフィードバックループを備え、前記第２の制御装置と、前記流体ポンプと、前記位置センサとが第２のフィードバックループを備え；
前記第１の制御装置及び前記第２の制御装置にて前記位置センサからの位置フィードバック信号を受信するステップと；
前記位置フィードバック信号に基づき第１の制御装置によって前記サーボ弁を制御するステップと；
前記位置フィードバック信号に基づき第２の制御装置によって前記流体ポンプを制御するステップとを更に備える；
請求項２６又は請求項２７の方法。 Providing a first controller coupled to control the servo valve;
Providing a second controller coupled to control the fluid pump;
And a step of providing a position sensor configured to provide a position feedback signal indicating the position of said rotary actuator;
Here, the position sensor is coupled to the rotation output shaft, and the first control device, the servo valve, and the position sensor include a first feedback loop, the second control device, e Bei fluid pump, the position sensor and the second feedback loop;
Receiving a position feedback signal from the position sensor at the first control device and the second control device;
Controlling the servo valve by a first controller based on the position feedback signal;
Controlling the fluid pump by a second controller based on the position feedback signal;
28. The method of claim 26 or claim 27 . 前記位置センサが位置リミットセンサであり、前記第１の制御装置及び前記第２の制御装置が更に、前記位置センサからの位置リミット信号を受信し、前記位置リミット信号に基づき前記サーボ弁及び前記流体ポンプを制御するように構成される、
請求項２８の方法。 The position sensor is a position limit sensor, and the first control device and the second control device further receive a position limit signal from the position sensor, and based on the position limit signal, the servo valve and the fluid Configured to control the pump,
30. The method of claim 28 . 前記第１のピストンを前記第１の圧力チャンバから部分的に外方へ付勢し前記回転出力軸を付勢し第１の方向に回転させるステップが、回転出力軸速度と、回転出力軸位置と、回転出力軸トルクと、回転出力軸加速度とからなる群のうちの少なくとも１つを制御するために前記回転出力軸を付勢し回転させるステップを更に備える；
請求項２６乃至請求項２９のいずれか１項の方法。 The steps of urging the first piston partially outward from the first pressure chamber and urging the rotation output shaft to rotate in the first direction include rotation output shaft speed and rotation output shaft position. And urging and rotating the rotation output shaft to control at least one of the group consisting of rotation output shaft torque and rotation output shaft acceleration;
30. A method according to any one of claims 26 to 29 .
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