JP2016515475A - レーザー光に対して透明な固体媒体とターゲットとの間に挟まれた流体流路を有してターゲット上でレーザーショックピーニングを実施するためのシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
レーザーパルスを発生させ、ターゲットに伝播する装置と、
流体を供給するための流体源と、
使用中に流体が供給される入口と、
使用中に流体が分注される出口と、
入口と出口との間に配置された流体流路と、
レーザーパルスが通過できるように、入射レーザー光に対して透明である固体媒体と、
流体が固体媒体及びターゲットと直接接触するように、レーザーショックピーニング工程の間に、流体流路は使用中に固体媒体とターゲットとの間に挟まれており、その結果、レーザーパルスの通過経路で如何なる空気−流体界面を除去し、
レーザーパルスがターゲットをたたいた後に発生するプラズマ/蒸気泡の崩壊に際して、流体層のキャビテーションを通した二次ショック事象が起こるように、流体は一定の厚さを有する流体流路に供給される。
レーザーパルスを発生させ、レーザーパルスをターゲットに伝播させるためのデバイスを提供するステップと、
ターゲットの表面がレーザーパルスによって衝突されるように、ターゲットをレーザー経路に位置させるステップと、
レーザーパルスが通過できるように、入射レーザー光に対して透明である固体媒体をレーザー通路に位置させるステップと、
流体が、レーザーパルスの通過経路において如何なる空気−流体界面を除去するため、固体媒体及びターゲットと直接接触するように、固体媒体とターゲットの接触面との間に配置された流体流路中に流体を供給するステップと、
レーザーパルスがターゲットをたたいた後に発生するプラズマ/蒸気泡の崩壊に際し、流体層中のキャビテーションを通した二次ショック事象を誘導するように、一定の厚さの流体層を作り出すステップと、
を含む。
LSPの間の二次ショック事象の発生
切除皮膜の無いレーザーショックピーニング(LSP)に対する適切な閉じ込め層の厚さへの発明者の研究は、キャビテーションショック現象の観測をもたらした。そのようなキャビテーションショック現象は、研究の様々な他の分野において見出されているが、現在までのところ、レーザー誘導キャビテーションショックはLSPの分野とまだ関連がない。1064nmのシングルレーザーショットが静的水槽に発射される実験的試験が、南アフリカのCSIRナショナルレーザーセンターで行われた。タンクは、1mmから45mmの水層厚さの制御された変化を可能にしている。水層内で起こる物理的なショック現象を観察するために、Fastcam SA−5 ハイスピードカメラがシャドウグラフ光学構成において使用された。レーザー照射において、初期または第1の衝撃波が予想通りに起こることが見出され、プラズマ/蒸気泡の膨張が続く。気泡は、数ナノ秒の間プラズマの形態に、その後蒸気の形態にあるプラズマ/蒸気泡として参照される。第1の衝撃波の発生及びプラズマ気泡の膨張が図5に示されており、第1の衝撃波及びプラズマ気泡は符号110及び112でそれぞれ示されている。研究の間、水層が十分に厚い場合、ターゲット表面上のプラズマ蒸気泡112の急速な崩壊がキャビテーションに起因する強い二次ショック事象をもたらすことが見出された。プラズマ蒸気泡112の崩壊及び二次衝撃波の発生が図6に示されている。この図において、二次衝撃波は、符号114により示されている。
i)膨張するプラズマ/蒸気泡は、水層を通して突発する。これは一般的に、薄い水層が水スプレージェットまたはノズルを通して適用される従来のLSP工程の間に起こるものである。
ii)ターゲット表面で膨張または崩壊するプラズマ蒸気泡は、空気/水界面の水面から形成された別のプラズマ/蒸気泡と接触する。図7は、ターゲット表面118から生じるプラズマ/蒸気泡116と、空気/水界面122から生じる別のプラズマ/蒸気泡120との間の接触が明確に見える一連の画像を示している。
十分に厚い水層によって被覆されているターゲットに高強度のレーザーパルスを発射した後に発生するプラズマ/蒸気泡は、上述したように、最初に膨張して、それから特定の条件で崩壊する。上述したように、プラズマ/蒸気泡の崩壊は、キャビテーション事象として参照されてもよく、ターゲット材料及び水閉じ込め層の両方を通したショックの発生をもたらすのに十分な高レベル圧力の発生に関連している。シングルレーザーパルスの後で、プラズマ/蒸気泡の成長と崩壊が二次ショック事象をもたらすことが理解されなければならない。このプラズマ/蒸気泡は一般的に、気泡振動として参照されるように、連続して膨張及び縮小、並びにリバウンドし続ける。第1の気泡膨張及び縮小の期間は、第1の気泡振動周期として参照される。上述したように、レーザー照射の際に、初期または第1の衝撃波は、LSP工程において予期されているように発生する。それから、水閉じ込め構成に依存して、キャビテーション事象は、追加の、または二次のショック事象をもたらし得る。例えば、この二次ショック事象によって発生するプラズマ/蒸気泡の特性は、例えば気泡のエネルギー、媒体の密度、媒体の比熱、水圧、及び表面の存在のような他の境界条件に依存している。二次プラズマ/蒸気泡の挙動に関して、各気泡振動の大きさと期間は、泡エネルギーに直接関連している。
非特許文献1(R.Fabbro他:J.Appl.Phys.68 775−784(1990))は、予測できず、且つ信頼性に欠くエネルギーのターゲットへの送達に起因した望ましくないブレークダウン現象が、LSP工程の間に、水面、すなわち空気/水界面で最初に起こることを以前に述べた。彼らの短い研究の間に、水面でのプラズマ形成は、2GW/cm2程度で1064nmのレーザー光に対して最初に観察された。
図面を参照すると、同一の参照符号は同一の特徴を示しており、本発明の第1の実施形態による、ターゲット上のレーザーショックピーニング(LSP)を実施するためのシステムの非限定的な実施例が、参照符号10によって示されている。
12 レーザービーム
14 レーザーウインドウ(固体媒体)
16 本体
18 締め具
20 入口
24 流体流路
26 流体チャンバ
28 水層の厚さ
30 水キャビティの長さ
32 ギャップ
40 システム
42 本体
44 出口
50 システム
52 レンズ
54 本体
60 システム
62 本体
64 チャンバ
68 ノズル
70 入口
72 出口
80 一次圧力パルス
82 二次圧力パルス
84 圧力パルスの間の時間分
86 第1の気泡振動周期
100 構成要素(ターゲット)
102 ターゲットの接触面
110 衝撃波
112 プラズマ蒸気泡
114 二次衝撃波
116 蒸気泡
118 ターゲット表面
120 蒸気泡
122 空気/水界面
124 水層
126 水層
128 空気
130 空気/水界面
132 衝撃波
134 プラズマ
Claims (16)
- ターゲット上でレーザーショックピーニングを実施するためのシステムであって、
レーザーパルスを発生させ、且つ前記ターゲットに送達させるためのデバイスと、
流体を供給するための流体源と、
使用中に流体が供給される入口と、
使用中に流体が分注される出口と、
前記入口と前記出口との間に配置された流体流路と、及び
前記レーザーパルスが通過することを可能にさせる、入射レーザー光に対して透明である固体媒体と、
を含み、
前記流体が前記固体媒体及び前記ターゲットと直接接触し、その結果、前記レーザーパルスの通過経路において如何なる空気−流体界面を除去するように、前記流体流路は、前記レーザーショックピーニング工程の間に、使用中に前記固体媒体と前記ターゲットとの間に挟まれており、
前記レーザーパルスが前記ターゲットをたたいた後に発生するプラズマ気泡の崩壊に際し、流体層におけるキャビテーションを通した二次ショック事象が起こるように、前記流体は一定の厚さを有した前記流体流路に供給される、システム。 - 前記レーザーパルスが前記ターゲットをたたいた後に発生する前記プラズマ気泡の第1の気泡振動周期を検出するための手段を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の気泡振動周期を検出するための手段は、前記第1の気泡振動周期を記録するための手段を含む、請求項2に記載のシステム。
- 前記流体流路は、層状の前記流体層の厚さが少なくとも約5mmとなるように配置されている、請求項1から3のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記流体層の厚さは少なくとも約10mmである、請求項4に記載のシステム。
- 前記レーザー発生装置は、約0.5から100GW/cm2の間の強度のレーザーパルスを発生させることができる、請求項1から5のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記レーザーパルスの強度は、約0.5から10GW/cm2の間にある、請求項6に記載のシステム。
- 前記固体媒体は、ウインドウまたはレンズであるか、またはウインドウとレンズの組み合せである、請求項1から7のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記レンズに入射するレーザービームは収束していない、請求項8に記載のシステム。
- 伝達損失が最小に保たれるように、前記レンズは短焦点距離を有している、請求項9に記載のシステム。
- 流体流路は、前記流体流がレーザーショックピーニング工程において処理されるターゲットの表面に平行となるように配置されている、請求項1から10のいずれか一項に記載のシステム。
- ターゲット上でレーザーショックピーニングを実施する方法であって、
レーザーパルスを発生させ、前記ターゲットに送達させるためのデバイスを提供するステップと、
前記ターゲットの表面が前記レーザーパルスによって衝突されるように前記ターゲットをレーザー経路に位置させるステップと、
前記レーザーパルスが通過できるように入射レーザー光に対して透明である固体媒体を前記レーザー経路に位置させるステップと、
流体を供給するステップであって、前記レーザーパルスの通過経路において如何なる空気−流体界面を除去するため、前記流体が前記固体媒体及び前記ターゲットと直接接触するように、前記固体媒体と前記ターゲットの接触面との間に配置された流体流路に流体を供給するステップと、及び
一定厚さの流体層を作り出すステップであって、前記レーザーパルスが前記ターゲットをたたいた後に発生するプラズマ気泡の崩壊に際し、前記流体層におけるキャビテーションを通した二次ショック事象を誘導するように流体層を作り出すステップと、
を含む方法。 - 前記レーザーパルスの出力強度を検視するため、前記流体層における前記キャビテーションを検出するステップを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記レーザーパルスが前記ターゲットをたたいた後に発生するプラズマ気泡の泡エネルギーを測定するステップを含む、請求項13に記載の方法。
- 泡エネルギーの測定として、前記レーザーパルスが前記ターゲットをたたいた後に発生するプラズマ気泡の第1の気泡振動周期を決定するステップを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記レーザーパルスが前記ターゲットをたたいた後に発生するプラズマ気泡のエネルギーを利用して、前記ターゲットの前記接触面に及ぼされる前記レーザーパルスの圧力を決定するステップを含む、請求項13から15のいずれか一項に記載の方法。
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