JP2016221615A - ロボット装置の診断方法、およびロボットシステム - Google Patents

ロボット装置の診断方法、およびロボットシステム Download PDF

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Abstract

【課題】ロボット装置の関節駆動系の偏芯量を測定し、その偏芯量に基づき、ロボット装置の診断を容易かつ的確に行えるようにする。
【解決手段】ロボットアーム100の関節(103〜108)は、減速機(127〜132)を介してモータ(121〜126)の回転駆動力により駆動される。第1の位置検出器(115〜120)、第2の位置検出器(139〜144)により、減速機の入力軸および出力軸の回転角度を検出する。第1および第2の位置検出器がそれぞれ出力する入力軸および出力軸の回転角度を同期的に記録し、同期的に記録した入力軸および出力軸の回転角度のいずれか一方を減速機の減速比を用いて換算する。その換算後において、入力軸回転角度に対する出力軸回転角度の振幅を算出し、算出された振幅に基づき減速機の入力軸の回転中心と出力軸の回転中心との偏芯量を算出する。
【選択図】図1

Description

本発明は、モータの回転駆動力により、減速機を介して関節の回転角度を制御するロボット装置の診断方法、およびロボットシステムに関する。
産業用ロボットなどのロボット装置では、モータの回転駆動力により、減速機を介して関節の回転角度を制御する。このような減速機を配置するのは、比較的高速な回転数を有するモータのような回転駆動源から、所望の範囲の関節駆動トルクと回転数を得るためである。この種の減速機には、大きな減速比を達成し、またコンパクトに実装できる波動歯車機構を用いた減速機が広く用いられている。通常、このような波動歯車機構を用いた減速機は、モータ側の入力軸と、出力リンク側の出力軸が同軸となるよう配置される。
上記のようなロボット装置の関節の駆動系において、組立時の組み付け不良や、動作中に加わった衝撃等により関節軸である出力軸の回転中心と、入力軸であるモータ軸回転中心との軸ズレが発生する場合がある。関節軸回転中心とモータ軸回転中心との軸ズレ(芯ズレ、偏芯)は、ロボットアーム動作軌道の変動や、動作時の振動を発生させる原因となる。特に、ロボット装置を用いた精密組み立て動作においては、このような関節軸の偏芯に起因する障害が発生すると、自動組み立てを停止させるなどの必要が生じ、生産性を低下させる可能性がある。
従来ではこの種のロボット装置の関節の駆動系のモータ軸に減速機を取付ける場合、関節の減速機の入力軸および出力軸の偏芯のような故障を特定、確認する必要があった。このロボット関節の減速機の入力軸および出力軸の偏芯は、例えば組立時の減速機取り付け誤差や、上記のような衝突時の衝撃、摩耗などの経年変化によって生じる。このような減速機を含む関節駆動系の確認方法として種々の手法が提案されている。例えば、ロボット装置の各関節軸を所定動作で駆動してロボット装置に設置された加速度センサにより、動作中の加速度変動を観測することによって、関節軸の故障等を検出する手法が知られている(例えば下記の特許文献1)。また、関節の駆動軸に歪センサを設け、所定動作駆動時の関節軸の歪信号を検出して予め設定された規範信号との比較判定により関節の故障等を検出する手法が提案されている(例えば下記の特許文献2)。
特開2006−281421号公報 特開2012−139772号公報
特許文献1のように加速度センサを用いる構成では、駆動時の振動信号による故障診断を行っている。このため、検出信号にはモータ回転軸と関節回転軸の偏芯による振動の他、フレームのたわみ、ロボット装置の設置架台等の他要因による振動も外乱として含まれることになる。従って、このような外乱に影響され、モータ回転軸と関節軸との微小な偏芯を判別できない可能性がある。
また、特許文献2に開示されている歪センサを利用した故障診断方法は、ロボット装置の各関節個別に異常検出を行うことができない。このため、異常個所の特定に時間が要し装置を停止する時間が長くなることや、モータ回転軸と関節軸の微小な偏芯は歪信号として検出できない可能性がある。また、ロボット装置の所定動作時の歪信号と規範信号との比較によりロボット装置の異常検出を行うため、ロボット装置組立時には、規範信号の設定が困難であり、ロボット装置組立後の組み付け異常を検出するのが困難である可能性がある。
本発明は、上述の問題点に鑑み、ロボット装置の関節駆動系の偏芯量を測定し、その偏芯量に基づき、組付異常診断、衝突などの障害後の組付異常診断、経年変化による異常診断などを容易かつ的確に実行できるようにすることにある。
上記課題を解決するため、本発明においては、例えば、モータの回転駆動力により、入力軸と出力軸が同軸となるよう配置される減速機を介して関節の回転角度を制御するロボット装置の診断方法において、制御装置が、前記モータを回転させつつ、前記減速機の入力軸の回転角度を検出する第1の角度センサ、および前記減速機の出力軸の回転角度を検出する第2の角度センサがそれぞれ出力する入力軸回転角度、および出力軸回転角度を同期的に記録する記録工程と、制御装置が、前記記録工程において同期的に記録した前記入力軸回転角度、および前記出力軸回転角度のいずれか一方を前記減速機の減速比を用いて換算し、その換算後において、前記記録工程における前記入力軸回転角度に対する前記出力軸回転角度の振幅を算出する振幅値算出工程と、制御装置が、前記振幅値算出工程で算出された前記振幅に基づき前記入力軸の回転中心と前記出力軸の回転中心の偏芯量を算出する偏芯量算出工程と、を備えたことを特徴とする。
上記構成により、減速機の入力軸回転角度、および出力軸回転角度のいずれか一方を前記減速機の減速比を用いて換算し、その換算後において、入力軸回転角度に対する出力軸回転角度の振幅に基づき、減速機の入力軸と出力軸の偏芯量を算出することができる。そして、この偏芯量を用いて、ロボット装置の関節駆動系の組付異常診断、衝突後の組付異常診断、経年変化による異常診断などを容易かつ的確に実行することができる。
本発明を実施可能な故障診断方法によるロボットシステムの構成を示したブロック図である。 図1のモータ制御器の要部構成例を示したブロック図である。 図1のロボットシステムの制御装置およびロボットアームのモータ制御器の間の通信シーケンスを示した説明図である。 図1のロボットシステムにおける故障診断制御手順を示したフローチャート図である。 (a)〜(f)は図1のロボットアームの関節、第1軸〜第6軸の故障診断時の動作例を示した説明図である。 (a)〜(f)は図5(a)〜(f)に対応して故障診断時の図1のロボットアームの関節、第1軸〜第6軸の動作プロフィールを示した線図である。 (a)〜(f)は図5および図6(a)〜(f)に対応して故障診断時の図1のロボットアームの関節、第1軸〜第6軸における減速機の入力軸側の回転角度に対する減速機の出力軸側の回転角度の振幅波形を示した線図である。 図1のロボットアームの関節、第1軸の偏芯量(関節軸変位)を横軸に回転角度を取って示した線図である。 図1のロボットシステムにおける減速機の出力軸側の位置検出器の検出分解能と可能な偏芯量見積誤差の関係を示した表図である。 図1のロボットアームの関節、第1軸〜第6軸の減速機の入力軸側の回転角度に対する減速機の出力軸側の回転角度の振幅、およびこれに基づき算出された偏芯見積量を示した表図である。 図1のロボットアームの関節、第1軸の調整前と調整後の減速機の入力軸側の回転角度に対する減速機の出力軸側の回転角度の振幅、およびこれに基づき算出された偏芯見積量を示した表図である。 図1のロボットアームの関節、第2軸の内部構成の一例を示した断面図である。 図1のロボットシステムの制御装置の構成例を示したブロック図である。
以下、添付図面に示す実施例を参照して本発明を実施するための形態につき説明する。なお、以下に示す実施例はあくまでも一例であり、例えば細部の構成については本発明の趣旨を逸脱しない範囲において当業者が適宜変更することができる。また、本実施形態で取り上げる数値は、参考数値であって、本発明を限定するものではない。
以下では、モータ軸と関節に位置検出装置を具備した6軸多関節ロボットに関する実施例につき詳細に説明する。しかしながら、本発明の故障診断方法は、以下に実施例として示す構成のみに限定されるものではなく、モータ軸とモータで駆動を行う出力軸に位置検出装置を具備したモーションコントローラ等にも利用することができる。
図1に本実施例のロボットシステム99の構成を示す。本実施例のロボットシステム99は、関節の駆動系に位置検出器を配置した6軸多関節のロボットアーム100を用いている。
図1では、ロボットアーム100の構成ブロックとして、103〜108の関節の回路構成を示している。これらの関節でそれぞれ可動的に結合されるロボットリンク133〜138は、103〜108の各関節のブロック内に示してある。ロボットアーム100において、これらリンクと関節の関係は例えば次のようになっている。例えば、各関節のうち第1軸103は、不図示の基部(図5の501)上にロボットリンク133(の基部側)を回動支持する。第2軸104はロボットリンク133の先端部に対して、ロボットリンク134(の基部側)を回動支持する。以下、同様にリンク〜関節が結合され、ロボットリンク137の先端部に対して第6軸108を介してロボットリンク138が回動支持される。このアーム先端側のロボットリンク138は、例えば、エンドエフェクタ(403)の装着部位などとなる。なお、以上のリンク〜関節の結合順は一例であって、他の順序で結合されていても、後述のロボット制御は直接影響を受けない。
上述の順序で、各関節(103〜108)で各ロボットリンク(133〜138)を結合して成るロボットアーム100の構成例は、後述の図5(a)〜(f)に示されている。図5(a)〜(f)において501はロボットアーム100の基部であり、アーム先端側のロボットリンク138はエンドエフェクタ403が装着されている。
図1のロボットシステム99は、操作盤147、ロボットアーム100、制御装置102、および電源101から構成されている。
制御装置102は、ロボットアーム100の基準位置を所望の位置姿勢に制御するため、ロボットアーム100の各関節(103〜108)のモータ121〜126の回転角度を生成する。このモータ121〜126の回転角度の指令値は例えば後述の駆動指令コマンドのような形式でシリアル通信線146を介して各関節に送信する。また、各関節(103〜108)のモータ121〜126への電源供給制御は、制御装置102の電源回路10を介して行われる。制御装置102の電源回路10は、必要な駆動タイミングにおいて、給電配線145を介して各関節(103〜108)のモータ制御器(109〜114)の電源回路10に駆動電力を供給する。
操作盤147は、制御装置102のインターフェイス(IF)98と通信線により接続されている。操作盤147は、例えばティーチングペンダントなどと呼ばれる教示装置(あるいはロボットプログラミング用の制御端末)である。操作盤147には、ロボット操作のためのジョグキー、ファンクションキーなどから成るキーボード、状態表示などのためのLCDパネルなどから成る表示装置などによって構成されたユーザインターフェイス手段が実装される。
制御装置102は、上記の電源回路10、インターフェイス98の他、シリアル通信線146を介して制御情報を送信する、通信制御器20軌道生成器30、メモリ40を含む。軌道生成器30は、ロボット制御の基幹部分に相当し、例えば、ロボットアーム100の手先などに定義されたロボット基準点の軌道を生成する。このロボット軌道は、例えば操作盤147で逐次指定されたロボット基準点の位置姿勢の目標値である教示点の集合などによって画成される。軌道生成器30は、例えばある教示点から次の教示点へとロボット基準点の軌道を生成し、その軌道を達成するための各関節(103〜108)の目標回転角度を生成する。軌道生成器30で生成された各関節(103〜108)の目標回転角度は、通信制御器20によってシリアル通信線146を介して各関節(103〜108)のモータ制御器(109〜114)の通信制御器20に制御情報として送信される。
なお、より詳細には、制御装置102の要部は、例えば図13に示すように、汎用マイクロプロセッサなどを用いたCPU601を中心として構成することができる。図13において、制御装置102は、例えばCPU601と、各部を制御するための制御プログラムを記憶するROM602と、データを一時的に記憶するRAM603と、インターフェイス回路604、605、出力装置606から構成することができる。
ROM602は、後述のようなロボット制御プログラム(例えば図4)を記憶するコンピュータ(CPU601)により読み取り可能な記録媒体に相当する。CPU601は、例えばROM602に格納されたロボット制御プログラムを実行することにより、後述のロボット制御を実行する。
なお、ROM602の一部は、E(E)PROMのような書き換え可能な不揮発領域により構成できる。その場合、不図示のフラッシュメモリや光ディスクのようなコンピュータ読み取り可能な記録媒体や、ネットワークなどを介して取得したロボット制御プログラムを新たに上記書き換え可能な不揮発領域にインストールすることができる。また、上記書き換え可能な不揮発領域に格納されているロボット制御プログラムは、上記コンピュータ読み取り可能な記録媒体や、ネットワークなどを介して取得したデータによって更新することもできる。
インターフェイス回路604は、例えば図1のインターフェイス98に相当し、操作盤147との間のデータ入出力に用いることができる。また、インターフェイス回路605は、例えば上述のシリアル通信線146を介して各関節(103〜108)のモータ制御器109〜114と通信する通信制御器20の通信回路に相当し、例えばシリアルポートなどから構成される。
なお、ロボットアーム100のロボット制御情報は、例えば複数の教示点データ、あるいはロボット制御プログラムなどの形式で記述される。このロボット制御情報は、操作盤147または制御装置102のいずれかに配置された不図示の記憶装置(例えばRAM、ROMやHDDやSSDなどの外部記憶装置)に格納される。
出力装置606は、例えば各種ディスプレイ装置や音声合成装置などから構成され、各種情報、例えば後述の故障診断処理において得られた偏芯量や故障診断結果に関する情報の通知出力に用いられる。この出力装置606により、故障診断処理において得られた偏芯量や故障診断結果をユーザ(管理者)に通知することができる。また、出力装置606は、図12ではCPU601に接続して示してあるが、例えばネットワークインターフェイスを介して接続された外部の管理サーバ(のディスプレイや音声出力装置など)であってもよい。
図1において、ロボットアーム100の各関節は、上記のように第1軸103、第2軸104、第3軸105、第4軸106、第5軸107、第6軸108から成る。各関節(103〜108)には、回転駆動源であるモータ121〜126のモータ駆動制御を行うモータ制御器109、110、111、112、113、114がそれぞれ設けられている。
図1のモータ制御器109〜114の構成は共通であり、モータ制御器109の構成部材にのみ参照符号を付して示してある。即ち、モータ制御器109〜114は、上述の電源回路10、通信制御器20、および演算器50、シリアル通信器60、ADコンバータ70、電流検出器80、モータドライバ90から構成されている。
シリアル通信器60は、後述の位置検出器115〜120、および位置検出器139〜144との入出力に用いられる。これら位置検出器115〜120、139〜144は、回転角度検出を行うエンコーダ素子などから構成される。モータ制御器109〜114は、シリアル通信器60を介してこれら位置検出器115〜120、139〜144のセンサデバイスから位置検出出力を取得する。
演算器50、ADコンバータ70、電流検出器80、モータドライバ90は各関節(103〜108)の回転駆動源としての3相ブラシレスモータなどから成るモータ121〜126の駆動制御に用いられる。演算器50は制御装置102から送信された角度指令値に基づき、モータ121〜126のフィードバック制御を行う。電流検出器80は、例えばサーボ制御のため、モータ121〜126の駆動電流を検出する。モータドライバ90は、サーボ制御情報から、実際にモータ121〜126に印加する駆動信号を生成する。
各関節(103〜108)の回転駆動源としてのモータ121、122、123、124、125、126の出力軸は、波動歯車機構などを用いた減速機127、128、129、130、131、132の入力側と結合される。即ち、モータ121〜126の回転駆動力が各モータの出力軸を介して減速機127〜132に入力される。減速機127、128、129、130、131、132に波動歯車機構などを用いた減速機構を用いる場合、入力軸と出力軸が同軸となるよう配置でき、また大きな減速比を作用させることができる。減速機127、128、129、130、131、132の出力軸には、出力節としてロボットリンク133、134、135、136、137、138が結合される。
モータ121〜126の出力軸、即ち減速機127〜132の入力軸には、それぞれこれら各軸の回転角度を検出する角度センサとして位置検出器115、116、117、118、119、120が配置されている。また、減速機127〜132の出力軸には、これら各軸の回転角度を検出する角度センサとして位置検出器139、140、141、142、143、144が配置されている。これら減速機127〜132の減速比や各位置検出器(115〜120、139〜144)の分解能の一例については後述する。
ここで、各関節(103〜108)のハードウェア的構成、特にモータ(121〜126)、減速機(127〜132)、および位置検出器(115〜120、139〜144)廻りの構成例につき説明する。ここでは各関節(103〜108)の第2軸104の構成を例にとり、説明する。
図12は、図1の第2軸104の近傍のロボットアーム100の断面を示している。同図に示すように、この関節(第2軸104)には、モータ122、およびモータ122の出力(回転角度)を減速する減速機128が設けられている。モータ122は、3相ブラシレスモータなどから構成される。
モータ122の回転機構は、主に回転軸1222とロータマグネット1223から構成されている。また、モータ122のモータハウジング1224,1225には、回転軸1222を回転自在に支持する軸受1226,1227が設けられており、モータハウジング1224には、ステータコイル1228が取付けられている。モータ122はモータカバー1229内に収容されている。
減速機128の入力側、すなわちモータ122の回転軸1222の一端には、位置検出器116(第1の角度センサ)が設けられている。この位置検出器116は例えば回転軸1222の回転角度を検出するロータリーエンコーダにより構成される。位置検出器116はモータ122の回転軸1222の回転に伴って、入力側パルス信号を生成し、図1の制御装置102に出力する。このようにして、位置検出器116によって、減速機128の入力軸の駆動量を検出することができる。なお、必要に応じて、モータ122と位置検出器116との間に、不図示のブレーキユニットを設けることもできる。
一方、モータ122の回転軸1222の他方の端部には減速機128が取付けられている。波動歯車減速機を用いる場合、減速機128は入力部であるウェブジェネレータ1282、サーキュラスプライン1283、フレックススプライン1284から構成される。動力伝達部として機能するフレックススプライン1284は、ウェブジェネレータ1282とサーキュラスプライン1283との間に配置される。
フレックススプライン1284は、この関節(第2軸104)で可動支持されるロボットリンク134に結合されており、減速機128で減速された速度でロボットリンク134が駆動される。サーキュラスプライン1283は、この関節(第2軸104)の手元側のリンク133に結合されている。一方、入力側のウェブジェネレータ1282は、モータ122の回転軸1222に結合されている。
以上の構成において、モータ122の回転軸1222とウェブジェネレータ1282との結合部が、減速機128の入力軸、フレックススプライン1284とロボットリンク134の結合部が減速機128の出力軸として機能する。このような構成では、減速機128の出力軸の回転角度が、実出力角度、すなわち関節(104)の角度となる。
ロボットリンク133とリンク134との間には、クロスローラベアリング1035が設けられており、ロボットリンク133と134は、クロスローラベアリング1035を介して回転自在に結合されている。以上の構成において、モータ122の回転軸1222の回転は、減速機128を介して減速され、ロボットリンク133とリンク134とが相対的に回転する。
減速機128の出力側には、位置検出器140(第2の角度センサ)が設けられ、この関節(第2軸104)のロボットリンク133、134の相対的な回転角度を検出する。位置検出器140は、この関節(第2軸104)の駆動に伴って出力側パルス信号を生成し、制御装置102(図1)に出力する。すなわち、位置検出器140は、減速機128の出軸の駆動量を検出することができる。位置検出器116、140は、光学式や磁気式のロータリーエンコーダなどから構成することができる。
上記の通り、図12では、ロボットアーム100の第2軸104を例にモータ、減速機、および位置検出器(角度センサ)廻りの構造につき説明した。他の関節(103、105〜108)についても上記と同様の構成が設けられるものとする。なお、第4軸106、第6軸108などの場合、上述の第2軸104とは異なり、例えば回動軸とロボットリンクの中心軸がほぼ一致するような配置となっている。このような構成においても、例えばリンクの伸びる方向や形状に係る構成が図12の図示とは異なるものの、構成部材やそれらの位置関係は上述の構成と実質同等である。
各モータ121〜126の出力軸に接続される各減速機の減速比は、例えば減速機127が50対1、減速機128が87.5対1、減速機129が58対1、減速機130が50対1、減速機131が50対1、減速機132が51対1とする。
減速機127〜132の入力軸に設けた位置検出器115〜120は、例えばアブソリュートエンコーダであり、その分解能は各軸共通で例えば217パルス/回転とする。一方、減速機127〜132の出力軸に設けた位置検出器139〜144は、例えばアブソリュートエンコーダであり、その分解能は各軸共通で例えば222パルス/回転とする。
なお、上記の減速機127〜132の出力側の位置検出器139〜144の分解能は、ロボット装置を利用した自動組立工程の要求される軌道精度やコストにより適宜決定すればよい。
例えば、上記のように、モータ軸回転角度を検出する位置検出器の分解能が217パルス/回転、各関節軸に配設される各減速機の減速比が50〜87.5程度である場合を考える。このような設計条件において、モータ軸回転角度と同等の分解能で関節軸の回転角度を検出するには、位置検出器139〜144の分解能は223〜224パルス/回転程度とするのが望ましい。
本実施例の故障診断と組付調整においては、減速機127〜132の出力軸の位置検出器139〜144の分解能と、検出可能なモータ軸回転中心と関節軸回転中心の偏芯量見積り精度の対応を図9に示す。偏芯量見積り精度を、0.001[mm]より小さい偏芯量を検出できるよう設定するなら、図9に示すように、減速機127〜132の出力軸の位置検出器139〜144の分解能は位置検出器の分解能は、少なくとも220/回転以上有していればよい。この偏芯量見積り精度を、0.001[mm]は、減速機の入力軸(モータ軸)の回転中心と、減速機の出力軸(モータ軸)の回転中心の偏芯の検出精度としては充分に高精度である。
ここで、図2にモータ制御器109〜114のより詳細な構成例を示す。なお、図2は、制御ブロック図としてモータ制御器109〜114、特にその演算器50の制御機能を図示しているが、図2の制御機能はハードウェア回路又はソフトウェアによって実現できる。例えば、図2の制御機能の任意の一部は、演算器50を構成するマイクロプロセッサなどの演算ハードウェアと、この演算ハードウェア上で実行される制御ソフトウェアによって実現することもできる。
各モータ制御器109〜114の構成は実質同等であって、図2では、図1と異なる参照符号で図1のモータ121〜126廻りの制御系を図示してある。即ち、図2において、図1の各関節(103〜108)の回転駆動源としてのモータ121〜126はモータ214として示してある。モータ214の出力軸(即ち減速機127〜132の入力軸側)の位置検出器115〜120は位置検出器215として示してある。また、図2では、減速機127〜132は減速機216として示され、また、ロボットリンク133〜138はロボットリンク217として示されている。ロボットリンク217側、即ち減速機127〜132の出力軸側の位置検出器139〜144は位置検出器218として示してある。以下では、図2の構成については、便宜上、上記の図2における参照符号を主に用いて説明するが、図1の部材との対応については上記の通りである。
モータ制御器109〜114(の演算器50)は、減速機216の入力軸、および出力軸の位置検出器215と、位置検出器218からモータ軸回転角度情報、および関節軸回転角度情報を取得する。また、モータ制御器109〜114(の演算器50)は、モータ214の駆動電流をデジタル変換した電流値情報を入力する。そして、モータ制御器109〜114(の演算器50)は、入力した減速機216の入力軸側、および出力軸側のモータ軸回転角度情報、および関節軸回転角度情報、およびモータ214の駆動電流値に基づき、モータ214のフィードバック制御を行う。このモータ制御器109〜114(の演算器50)のフィードバック制御には、位置フィードバック制御処理(202)、速度フィードバック制御処理(203)、電流フィードバック制御処理(206、207)が含まれる。
図2の構成でいえば、上記のモータ制御器109〜114(の演算器50)の制御機能は、位置制御器(PID制御器)202、速度制御器(PID制御器)203により実現される。特に、より詳細なサーボモータ制御機能は、q軸電流制御器(PID制御器)206、d軸電流制御器(PID制御器)207により実現される。制御装置102から入力されるモータ回転位置の目標値(201)は、位置制御器(PID制御器)202に入力される。速度制御器(PID制御器)203の後段には、トルクリミッタ204、およびノッチフィルタ205が配置され、その出力が、電流フィードバック制御処理を行うq軸電流制御器206、d軸電流制御器207に入力される。
q軸電流制御器206、d軸電流制御器207の出力はクラーク/パーク変換器208を介してPWM波形生成器209に入力される。そして、PWM波形生成器209のPWM制御によりモータの回転位置目標値201を実現するためのモータ214の駆動エネルギーが決定される。PWM波形生成器209がモータ214に対して出力する3相の駆動電流は、逆クラーク/パーク変換器210を介して検出され、ローパスフィルタを介してq軸電流制御器206、d軸電流制御器207の前段にフィードバックされる。また、逆クラーク/パーク変換器210の後段のローパスフィルタの出力は、dq軸電流非干渉器212を介してq軸電流制御器206、d軸電流制御器207の後段にフィードバックされる。dq軸電流非干渉器212は、電気角演算器211を介してモータ214の回転軸(減速機216の入力軸)側の位置検出器の出力を入力する。
また、ロボットリンク217(減速機216の出力軸)側の位置検出器218から取得される出力軸回転角度は出力軸フィードバック制御器219に入力される。出力軸フィードバック制御器219は、入力された出力軸回転角度の実際値に基づき位置目標値補正信号を生成する。出力軸フィードバック制御器219が生成した位置目標値補正信号は位置制御器(PID制御器)202が出力する位置目標値に加算される。また、位置フィードバック目標値補正信号を微分処理した後に速度目標値補正信号として速度制御器(PID制御器)203の速度目標値に加算する処理が行われる。
出力軸フィードバック制御器219では、減速機および関節軸の挙動を模擬した計算モデルより補正値を算出する処理を行う。位置制御器(PID制御器)202の位置フィードバック制御処理は2ミリ秒毎、速度制御器(PID制御器)203の速度フィードバック制御処理は0.5ミリ秒毎に実行される。また、q軸電流制御器206、d軸電流制御器207による電流フィードバック制御処理は0.1ミリ秒毎に実行される。位置フィードバック制御処理(202)、速度フィードバック制御処理(203)、電流フィードバック制御処理(206、207)により決定されたモータ出力値は、クラーク/パーク変換器208(座標変換ブロック)によりモータ出力に換算される。そして、クラーク/パーク変換器208(座標変換ブロック)の出力がPWM波形生成器209に入力され、PWM変換されてモータドライバを介してモータ214に出力される。
図1において、制御装置102は、ロボットアーム100の各関節軸の軌道生成を実行した後、通信線146を介して各関節(103〜108)に対して目標モータ回転角度をそれぞれ送信する。
図3に、制御装置102と、ロボットアーム100の各関節(103〜108)のモータ制御器109〜114との間の通信シーケンスの一例を示す。図3では、制御装置102は、ロボットアーム100が、2つの教示点に相当する位置姿勢を取るよう2回の目標値生成を行っている(3011、3021)。そして、図3では、各関節(103〜108)のモータ制御器109〜114に、それぞれの関節が取るべき目標値(関節角度)を送信し、制御を実行させる2サイクル分のシーケンスが実行されている(301、302)。
図3において、制御装置102は、ロボットアームの各関節軸のモータ回転角度の目標値を格納した駆動指令コマンドCj,iを各関節(103〜108)のモータ制御器109〜114へそれぞれ個別に送信する。駆動指令コマンドCj,iには、モータ回転角度目標値の他、必要な制御パラメータ更新データなどが格納される。
その後、各軸に駆動指令コマンド実行を開始するトリガとなる制御実行コマンドEをモータ制御器109〜114へ同時送信(ブロードキャスト)することにより指令コマンドを更新してロボットアーム100を動作させる。制御実行コマンドEは、クロックパルスなどに同期して例えば2ミリ秒毎に常時繰り返し制御装置102から送信されるよう制御される。
制御実行コマンドEを受信すると、各軸のモータ制御器109〜114は、それぞれモータ(121〜126)を駆動指令コマンドCj,iで指定された回転角度だけ動作させる。続いて、モータ制御器109〜114から、現在のエラー発生状況などを含むステータス情報Sj,iが制御装置102に返送される。ステータス情報Sj,iには、少なくとも位置検出器115〜120から得たモータ軸回転角度情報、位置検出器139〜144から得た出力軸回転角度情報が格納されて制御装置102に返送される。
なお、図3中のインデックス(添字)jは、モータ制御器109〜114の識別インデックスであり、モータ制御器109〜114は、順にj=1〜6に対応する。上述の通り、モータ制御器109〜114はそれぞれ第1軸〜第6軸(103〜108)の各関節であって、j=1〜6はそれぞれ第1軸〜第6軸(103〜108)を示すものとして読み取ることができる。一方、インデックスiは、制御実行コマンドEが送信される毎に1ずつ増加する指令実行インデックスを表し、図3のi=1、i=2は301、302の2回のシーケンスに相当する。例えば、制御装置102がモータ制御器111(第3軸105)に301のシーケンスで送信する駆動指令コマンド(目標値)はC3,1である。
以上のようにして、制御装置102とモータ制御器109〜114間で、例えば駆動指令コマンドCj,i、制御実行コマンドE、ステータス情報Sj,iを双方向にハンドシェイクすることによりロボット制御が行われる。図3に例示した制御(通信)シーケンスは、ロボットアーム100の起動時から継続して行われる。
以上の構成において、本実施例のロボット装置の診断方法では、関節(第j軸)を駆動するモータを回転させつつ、その関節の減速機の入力軸の回転角度を位置検出器(第1の角度センサ:図2の215)により検出する。また、同時に、その関節の減速機の出力軸の回転角度を検出する位置検出器(第2の角度センサ:図2の218)により検出する。これらの入力軸回転角度、および出力軸回転角度は同期的に記録する(記録工程)。そして、同期的に記録した減速機の入力軸および出力軸の回転角度のいずれか一方を減速機の減速比を用いて換算し、その換算後において、入力軸回転角度に対する出力軸回転角度の振幅を算出する(振幅値算出工程)。さらに、算出された前記振幅に基づき減速機の入力軸の回転中心と出力軸の回転中心の偏芯量を算出する(偏芯量算出工程)。
上記のようにして算出した振幅や偏芯量は必要に応じてユーザ(管理者)に通知し、また、他の管理端末などに出力することができる。また、算出した偏芯量の大きさによって当該の関節が故障しているかどうかの判定を行うことができる。
次に、本ロボットシステムにおける故障診断の具体的な制御手順につき、図4を用いてさらに詳細に説明する。図4の故障診断制御手順は、例えば図13の構成において、制御装置102を構成するCPU601の制御プログラムとして記述され、ROM602(あるいは不図示の外部記憶装置)などのコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納される。図4の故障診断制御は、例えば操作盤147で診断プログラム実行を選択する操作を行うことなどにより起動される。
図4の故障診断制御手順が起動されると、CPU601はステップS401において、内部変数の初期化を行う。ステップS402では、CPU601はロボットアーム100の故障診断のための各関節軸6軸分の軌道データ作成と駆動指令コマンドの生成を行う。
ステップS403以降に示したループが、第j軸に関する診断処理で、処理中の関節を識別するインデックス(j)のカウンタをインクリメント(ステップS413)しながら、ステップS403〜S416で1軸づつ各関節(103〜108)の診断を行う。この診断処理は、ステップS412でj=6、すなわち第6軸の診断処理を実行することが確認されるまで繰り返される。
ステップS403では、駆動指令コマンドCj,iによって、生成した例えば2ミリ秒毎の回転角度目標値を各関節(103〜108)のモータ制御器109〜114に送信する。その後、制御実行コマンドEを送信すると、ロボットアーム100は駆動指令コマンドCj,iによって指定された故障診断動作を実行する。
この故障診断動作では、例えば、第1軸103、第2軸104、第3軸105、第4軸106、第5軸107、第6軸108の順序で各関節を個別に順次動作させる。なお、故障診断動作の際の各関節(103〜108)の起動パターンには任意の構成が考えられるが、例えば各関節で駆動されるロボットリンク(133〜138)が干渉しないように軌道を生成して、各関節軸を順次動作ではなく同時動作させてもよい。
本実施例の故障診断動作において各関節(103〜108)に順次実行させる動作の例を図5(a)〜(f)に示す。図5(a)〜(f)は、それぞれ故障診断動作で実行させる第1軸103、第2軸104、第3軸105、第4軸106、第5軸107、第6軸108の動作を示している。図中の矢印103a、104a、105a、106a、107a、108aは、それぞれ各関節(103〜108)の回動動作を示している。また、図中の破線は各各関節(103〜108)の回動動作終了時の姿勢を示している。
本実施例では、図5(a)〜(c)に示す第1軸103の駆動範囲は−180〜180[deg]、第2軸104の駆動範囲は−80〜+80[deg]、第3軸105の駆動範囲は−60〜+90[deg]としてある。また、図5(d)〜(f)に示す第4軸106の駆動範囲は−170〜+170[deg]、第5軸107の駆動範囲は−105〜+105[deg]、第6軸108の駆動範囲は−180〜+180[deg]としてある。
なお、上記のような各関節(103〜108)の駆動範囲は、あくまでも一例であって、本発明を実施するロボットアームの可動範囲に基づいて設定すればよい。また、各関節の駆動範囲は1回転程度駆動させる方が正確にモータ軸と関節軸の偏芯量を見積もれるため、設定する駆動範囲は、診断を実施するロボット装置の最大可動範囲で駆動することが望ましい。
図5(a)〜(f)に示す各関節(103〜108)の回動動作は、例えば関節負荷より制限される最大加速度で加速を行った後に等速動作、続いて減速を行う、といったパターンとする。各関節(103〜108)の動作加速度および速度は、各関節の負荷により設定すればよく、本実施例では例えば各関節(103〜108)共通で、上記の等速動作時に32[deg/秒]で設定した。
ここで、ステップS402で生成した駆動指令コマンドで指令する各関節(103〜108)の軌道プロファイルをそれぞれ図6(a)〜(f)に示す。図6(a)〜(f)の軌道プロファイルは、上記の図5(a)〜(f)の各関節(103〜108)の回動動作に相当する。図6(a)は第1軸103の、図6(b)は第2軸104の、また図6(c)は第3軸105の軌道プロファイルを示している。図6(d)は第4軸106の、図6(e)は第5軸107の、また図6(f)は第6軸108の軌道プロファイルを示している。図6(a)〜(f)の横軸は時間(秒)、縦軸は各関節(103〜108)の関節軸角度である。
続いて、ステップS408で終了判定を行いながらステップS404〜S407のマイナーループを実行する。このステップS404〜S407のループは故障診断動作中、常時繰り返し実行される。ステップS404では、モータ軸(減速機の入力軸)の回転角度を位置検出器115〜120より取得する。続いて、ステップS405では、取得したモータ軸の回転角度をモータ制御器109〜114に設けた内部メモリ(不図示)に記録する。
また、ステップS406において関節軸(減速機の出力軸)の回転角度を位置検出器139〜144より取得する。続いて、ステップS407では、取得した関節軸の回転角度をモータ制御器109〜114に設けた内部メモリ(不図示)に記憶する。
なお、ステップS407で関節軸(減速機の出力軸)の回転角度を検出する際、位置検出器139〜144のうち複数の位置検出センサによって位置情報補正などが行われている場合には、この補正機能を無効化して関節軸の回転角度を取得する必要がある。
ステップS404〜S407のループは、例えばクロックパルスなどに同期して、0.1ミリ秒毎に同時実行させ、ステップS408の終了判定で動作終了まで繰り返し実行される。ステップS408の終了判定は、当該の関節軸(第j軸)に指定した動作が全て実行されたか否かの判定によって行う。ステップS408での終了判定後には、0.1ミリ秒毎に同期的に取得されたモータ軸回転角度情報と関節軸回転角度情報の時系列データが同期的に内部メモリに記録されることになる。即ち、ステップS404〜S408の期間が当該の関節軸(第j軸)の減速機の入力軸回転角度および出力軸回転角度の記録期間(記録工程)となる。
続いて、ステップS409において、モータ制御器109〜114の内部メモリ内よりモータ軸回転角度情報と関節軸回転角度情報の時系列データを読み出して、モータ軸回転角度を基準とした関節軸回転角度を算出する(振幅値算出工程)。このステップS409は、制御装置102のCPU601、またはモータ制御器109〜114に実装される演算器50のいずれかによって実行することができる。この振幅計算には例えば以下の式(1)のような計算式を用いることができる。
Figure 2016221615
ここで、jは関節軸インデックス(j=1,2…6)、iは0.1ミリ秒時系列のデータインデックス(i=1,2…)、Aは振幅値である。また、θは減速機の出力軸の回転角度(パルス数単位)、θは減速機の入力軸の回転角度(パルス数単位)、Kは減速比を示す。
ここで、上記の減速比Kを作用させる演算は、必要に応じて2つの軸の回転角度の領域が整合するよう行う換算に相当する。そして、上記の式(1)を用いた振幅値算出工程は、換算後において、例えば入力軸の回転角度に対する出力軸の回転角度の振幅を算出する過程に相当する。
なお、減速機の入力軸と出力軸の回転角度の差分として振幅Aを求める場合、上記の式(1)では減速比Kをθに乗算しているが、減速比Kをθを作用させるのは減速機の入力軸と出力軸の回転角度のいずれか一方でよい。ただし、その場合、必要に応じて2つの軸の回転角度の領域が整合するよう、減速比Kは上記の式(1)のものとは逆数に取るなどの措置が必要である。
上記式(1)により得られた各関節(103〜108)の回転角度の振幅データを、それぞれ図7(a)〜(f)に示す。なお、この例で使用したロボットアーム100では、可動範囲制限により、1周期分の振幅データが取得できなかった第2軸104、第3軸105、第4軸106、第5軸107については不足分データを補完した。この補完では、定速動作中の振幅を正弦波形として振幅波形を補完した。
図7(a)〜(f)の振幅のパルス数は、各関節(103〜108)の振幅データから算出される振幅値は関節軸(減速機の出力軸)側の位置検出器(139〜144)の単位換算で示されている。図7(a)〜(c)に示す通り、関節(103〜105)の回転角度の振幅は第1軸103が120[パルス]、第2軸104が84[パルス]、第3軸105が44[パルス]となっている。また、図7(d)〜(f)に示す通り、各関節(106〜108)の回転角度の振幅は第4軸106が24[パルス]、第5軸107が76[パルス]、第6軸108が38[パルス]となっている。
上記の通り、図7(a)〜(f)の振幅波形は、減速機127〜132の減速比を用いて減速機127〜132の入力軸、および出力軸の回転角度を比較した差分波形に相当する。このため、理想的な関節駆動状態においては、各関節(106〜108)の図7(a)〜(f)の振幅波形は差分ゼロで水平になるはずである。これに対して、例えば減速機127〜132の入力軸および出力軸の偏芯があれば、その偏芯量に応じて回転角度の振幅波形は変化する。このような減速機127〜132の入力軸と出力軸の偏芯は、組み付け不良や経時変化による摩耗、動作中にロボットアーム100に与えられた衝撃などによって生じる。
本実施例の故障診断においては、少なくとも減速機127〜132の入力軸および出力軸の回転角度の振幅から偏芯量を求め、これら振幅や偏芯量を必要に応じてユーザ(管理者)に通知し、また、他の管理端末などに出力する。また、算出した偏芯量の大きさによって当該の関節が故障しているかどうかの判定を行うことができる。上記の振幅や偏芯量、故障判断結果の通知出力は、例えば出力装置606(図12)により行うことができる。
図4のステップS410では、ステップS409にて算出された振幅値より、各関節(103〜108)のモータ軸回転中心と関節軸中心、即ち減速機127〜132の入力軸および出力軸の偏芯量を算出する。このステップS410は、制御装置102のCPU601、またはモータ制御器109〜114に実装される演算器50のいずれかによって実行することができる。この偏芯量算出には例えば以下の式(2)のような計算式を用いることができる。
Figure 2016221615
ここで、jは関節軸インデックス(j=1,2…6)、Pは振幅[rad]、ωは減速機の出力軸動作速度[rad/秒]を示す。また、Lは減速機の出力軸の位置検出器設置長で、関節軸回転中心〜位置検出器の距離に相当する。
上記の式(2)により算出された関節(103〜108)の偏芯見積量を図10に示す。本実施例では、故障診断判定基準、即ち、当該の関節の故障と判定するための減速機127〜132の入力軸および出力軸の偏芯量は例えば0.5[mm]に設定する。また、本例で用いたロボットアーム100において、故障診断判定基準の0.5[mm]の偏芯量は、減速機127〜132の入力軸および出力軸の偏芯量は100[パルス]の振幅に相当する。
この故障診断判定の偏芯量には、位置検出器(115〜120、139〜144)の位置検出センサの実装誤差、ロボットアームにおける作業位置精度などに応じて決定すればよい。もちろん、上記の故障診断判定基準の偏芯量の値は一例であり、実際のロボットアーム100の構成や仕様によって異なる値に設定することができる。特に、上記の故障診断判定基準の偏芯量は、例えば位置検出器(115〜120、139〜144)の精度誤差、ロボット装置の位置精度等を考慮して決定される値である。従って、この故障診断判定基準の偏芯量は、当業者において、対象のロボットシステムを利用して行われる作業で要求される位置精度などに応じて、適宜決定すればよい。
図4のステップS411では、診断中の第j軸の偏芯量と、上記の故障診断判定基準の偏芯量を比較し、第j軸の偏芯量が、故障診断判定基準以上である場合には当該関節故障と判定し、ステップS414に移行する。また、第j軸の偏芯量が、故障診断判定基準よりも小さければステップS412に移行する。
図10において、算出された各関節(103〜108)の偏芯量は、上記の故障診断判定基準の偏芯量である0.5[mm](振幅で100[パルス])を勘案すると、第1軸103がこの故障診断判定基準を超過していることが判る。図10において、第1軸103の偏芯量は、振幅120[パルス]/偏芯見積量0.572[mm]であって、上記の故障診断判定基準を超過している。従って、図10の例では、第1軸103のみが故障、と判定され、ステップS411からS414への分岐が生じる。
ステップS412では、故障診断終了判定を行い全関節軸の故障診断が終了していない場合は、ステップS413により故障診断を行う対象関節軸のインデックスjのカウンタを更新する。これにより、順次、ステップS403〜ステップS413をすべての関節軸の故障診断が終了するまで上記の処理を繰り返す。
ステップS411で故障と判定された関節に関しては、図4ではステップS414、S415、S416に示す措置を講じるものとしている。
例えば、図10の例では、故障(異常)と判断された第1軸103について、モータ軸回転中心と関節軸回転中心の組付調整を実施する。例えば、ステップS414において、ステップS409で算出された振幅データより、モータ軸回転中心と関節軸回転中心の偏芯量が最大(振幅のピーク)となる関節軸回転角度(偏芯位置)を算出する。図8は、本例において第1軸103の関節軸回転中心の変位[パルス単位]を横軸に当該関節の回動角度を取って示している。この例では、第1軸103の偏芯量が最大(振幅のピーク)となる関節軸回転角度(偏芯位置)は回転角度:12[deg]に相当する。
この偏芯量が最大(振幅のピーク)となる関節軸回転角度(偏芯位置)は、例えば出力装置606によって表示ないしは音声メッセージなどの形式で出力し、ユーザ(管理者)に通知することができる。
さらに、この通知出力に加え、下記のように偏芯量が最大(振幅のピーク)となる関節軸回転角度(偏芯位置)まで、当該関節を実際に回転駆動し、その位置で停止させユーザ(管理者)の作業を待つように制御すると便利である。即ち、ステップS415において、ステップS409、ステップS414にて算出された偏芯量、および偏芯位置(図8の第1軸103回転角度:12[deg])を特定し、偏芯データを得る。ステップS416にて第1軸103をこの偏芯位置まで回動させて停止させる。なお、この時、当該の関節(この例では第1軸103)を停止させる偏芯位置は、出力装置606を用いて例えば表示出力し、ユーザ(管理者)に通知してもよい。この時の表示形式には、回転角度値の数値表示(例えば度数やパルス数単位による)や、関節の角度の状態を表示する画像表示、などの各種の形式を利用することができる。
その後、ユーザ(管理者)は、例えばマイクロゲージ等の検出器からなる軸調整治具を第1軸103へ固定設置する。そして、制御装置102へ送信されるモータ軸回転角度および関節軸回転角度情報と第1軸103に設置された軸調整治具での測定位置を参照しながら、組付調整を行う。例えば、ステップS409で算出された振幅データの振幅幅(最大値−最小値)/2だけ第1軸103の関節軸を移動させる、といった組付調整を行うことができる。
本例において、上記の組付調整前、および後の第1軸103のモータ軸回転角度を基準とした振幅と偏芯見積量を図11に示す。図11に示すように、上記の故障診断に基づく組付調整を行うことにより、モータ軸回転中心と関節軸回転中心の偏芯量が改善されていることが判る。
以上のように、本実施例によれば、減速機の入力軸回転角度、および出力軸回転角度のいずれか一方を前記減速機の減速比を用いて換算する。この換算後において、入力軸回転角度に対する出力軸回転角度の振幅に基づき、減速機の入力軸と出力軸の偏芯量を算出することができる。そして、この偏芯量を用いて、ロボット装置の関節駆動系の組付異常診断、衝突後の組付異常診断、経年変化による異常診断などを容易かつ的確に実行することができる。本実施例の故障(異常)診断は、生産現場などにおけるロボット作業時の異常検出や調整のみならず、ロボット装置の自動組立工程時の、衝突や経年劣化等の故障診断にも利用可能である。
101…電源、102…制御回路、103〜108…関節(第1軸〜第6軸)、109〜114…モータ制御器、115〜120、139〜144…位置検出器(角度センサ)、121〜126…モータ、127〜132…減速機、133〜138…ロボットリンク、147…操作盤、202…位置制御器(PID制御器)、203…速度制御器(PID制御器)、204…トルクリミッタ、205…ノッチフィルタ、206…q軸電流制御器(PID制御器)、207…d軸電流制御器(PID制御器)、208…クラーク/パーク変換器、209…PWM波形生成器、210…逆クラーク/パーク変換器、211…電気角演算器、212…dq軸電流非干渉器、214…モータ、215、218…位置検出器、216…減速機、217…ロボットリンク、219…出力軸フィードバック制御器、403 エンドエフェクタ。

Claims (12)

  1. モータの回転駆動力により、入力軸と出力軸が同軸となるよう配置される減速機を介して関節の回転角度を制御するロボット装置の診断方法において、
    制御装置が、前記モータを回転させつつ、前記減速機の入力軸の回転角度を検出する第1の角度センサ、および前記減速機の出力軸の回転角度を検出する第2の角度センサがそれぞれ出力する入力軸回転角度、および出力軸回転角度を同期的に記録する記録工程と、
    制御装置が、前記記録工程において同期的に記録した前記入力軸回転角度、および前記出力軸回転角度のいずれか一方を前記減速機の減速比を用いて換算し、その換算後において、前記記録工程における前記入力軸回転角度に対する前記出力軸回転角度の振幅を算出する振幅値算出工程と、
    制御装置が、前記振幅値算出工程で算出された前記振幅に基づき前記入力軸の回転中心と前記出力軸の回転中心の偏芯量を算出する偏芯量算出工程と、
    を備えたことを特徴とするロボット装置の診断方法。
  2. 請求項1に記載のロボット装置の診断方法において、前記制御装置が、前記偏芯量算出工程で算出された前記偏芯量を出力する出力工程を備えたことを特徴とするロボット装置の診断方法。
  3. 請求項1または2に記載のロボット装置の診断方法において、前記制御装置が、前記偏芯量算出工程で算出された偏芯量に基づき前記ロボット装置の故障を検出する検出工程を備えたことを特徴とするロボット装置の診断方法。
  4. 請求項1から3のいずれか1項に記載のロボット装置の診断方法において、前記制御装置が、前記振幅値算出工程で算出された振幅に基づき前記入力軸の回転中心と前記出力軸の回転中心の偏芯位置を算出し、算出された偏芯位置を出力装置に出力することを特徴とするロボット装置の診断方法。
  5. 請求項1から4のいずれか1項に記載のロボット装置の診断方法において、前記減速機が波動歯車機構を用いて構成されることを特徴とするロボット装置の診断方法。
  6. 前記制御装置に、請求項1から5のいずれか1項に記載の各工程を実行させるための制御プログラム。
  7. 請求項6に記載の制御プログラムを格納したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
  8. モータの回転駆動力により、入力軸と出力軸が同軸となるよう配置された減速機を介してロボットアームの関節の回転角度を制御するロボットシステムにおいて、
    前記減速機の入力軸の回転角度を検出する第1の角度センサと、
    前記減速機の出力軸の回転角度を検出する第2の角度センサと、
    前記第1の角度センサ、および前記第2の角度センサがそれぞれ出力する入力軸回転角度、および出力軸回転角度を同期的に記録し、同期的に記録した前記入力軸回転角度、および前記出力軸回転角度のいずれか一方を前記減速機の減速比を用いて換算し、その換算後において、前記入力軸回転角度に対する前記出力軸回転角度の振幅を算出し、算出された前記振幅に基づき前記入力軸の回転中心と前記出力軸の回転中心との偏芯量を算出し、算出された前記偏芯量を出力させる制御装置と、
    を備えたことを特徴とするロボットシステム。
  9. 請求項8に記載のロボットシステムにおいて、前記制御装置が、算出した前記偏芯量を出力装置に出力することを特徴とするロボットシステム。
  10. 請求項8または9に記載のロボットシステムにおいて、前記制御装置が、算出した偏芯量に基づき前記ロボットアームの故障を検出することを特徴とするロボットシステム。
  11. 請求項8から10のいずれか1項に記載のロボットシステムにおいて、前記制御装置が、算出した前記振幅に基づき前記入力軸の回転中心と前記出力軸の回転中心の偏芯位置を算出し、算出された前記偏芯位置を出力装置に出力することを特徴とするロボットシステム。
  12. 請求項8から11のいずれか1項に記載のロボットシステムにおいて、前記減速機が波動歯車機構を用いて構成されることを特徴とするロボットシステム。
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