JP2016216348A - Silica particle material and method for producing the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface treatment method for obtaining a silica particle material introduced with phenylamine and also excellent in treatability.SOLUTION: Provided is a surface treatment method where silica particles are subjected to surface treatment with a silane coupling agent in which an N-phenyl-aminoalkyl group (the alkyl group has the carbon number of 2 to 5) to a silicon atom and organosilazane, in which the molar ratio between the silane coupling agent and the organosilazane being the silane coupling agent: the organosilazane=1:2 to 1:10, and, after the surface treatment step, a solidification step where the silica particle material is precipitated by salt precipitation, and the precipitates are cleaned and dried with water to obtain the solid matter of the silica particle material. By performing the salt precipitation after the surface treatment, the flocculation of the silica particle material subjected to the surface treatment can be effectively suppressed.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、シリカ粒子材料、および、シリカ粒子を表面処理してシリカ粒子材料を得るための表面処理方法に関する。   The present invention relates to a silica particle material and a surface treatment method for obtaining a silica particle material by surface-treating silica particles.

シリカ粒子の一種であるコロイダルシリカは、水ガラスを原料として製造する方法、金属ケイ素粉末を原料として製造する方法、気相合成法等により製造される。水ガラスを原料として製造する方法は、水ガラスを中和したり、イオン交換することで水ガラスを沈殿させたりすることによって微小な粒子を生成する。   Colloidal silica which is a kind of silica particles is produced by a method of producing water glass as a raw material, a method of producing metal silicon powder as a raw material, a gas phase synthesis method or the like. The method for producing water glass as a raw material produces fine particles by neutralizing the water glass or by precipitating the water glass by ion exchange.

このようなシリカ粒子の粒径は、例えばコロイダルシリカでは数nm〜数百nm程度と非常に小さい。粒径の小さなシリカ粒子は種々の用途に供される。その一方で粒径の小さなシリカ粒子の比表面積は非常に大きい。このため粒径の小さなシリカ粒子は凝集し易い特性を持つ。一旦凝集したシリカ粒子は再分散し難い。このため、粒径の小さなシリカ粒子は取り扱い性に劣る問題がある。   For example, colloidal silica has a very small particle size of several nanometers to several hundred nanometers. Silica particles having a small particle size are used for various applications. On the other hand, the specific surface area of silica particles having a small particle size is very large. For this reason, silica particles with a small particle diameter have the characteristic of being easily aggregated. Once agglomerated silica particles are difficult to redisperse. For this reason, the silica particle with a small particle size has a problem inferior in handleability.

そこで出願人は小さなシリカ粒子であっても凝集が抑制できる技術を開発している(例えば特許文献1参照)。   Therefore, the applicant has developed a technique capable of suppressing aggregation even with small silica particles (see, for example, Patent Document 1).

特開2011−213514号公報JP 2011-213514 A

ところで、シリカ粒子の表面に導入する官能基として、フェニルアミン(−NHPh、−R−NHPh:Rはプロピレンなどのアルキレン)が注目されている。フェニルアミンを特許文献1の方法にてシリカ粒子材料に導入しようとすると、その導入の比率や量によっては好ましいシリカ粒子材料にならない場合もあった。
更に、本発明者らは以上の検討を行った際にN−フェニル−アミノアルキル基(Ph−NH−C2n)−:nは2〜5:Phはフェニル基)を導入したシリカ粒子をフィラーとして含む樹脂組成物がその他の官能基をもつシリカ粒子と比べて銅材料との間の密着性に優れることを発見した。
By the way, phenylamine (-NHPh, -R-NHPh: R is an alkylene such as propylene) has attracted attention as a functional group to be introduced onto the surface of the silica particles. When phenylamine is introduced into the silica particle material by the method of Patent Document 1, it may not be a preferable silica particle material depending on the ratio and amount of introduction.
Furthermore, when the present inventors conducted the above studies, silica particles into which an N-phenyl-aminoalkyl group (Ph—NH—C n H 2n ) —: n is 2 to 5 and Ph is a phenyl group) are introduced. It has been discovered that a resin composition containing as a filler is superior in adhesion to a copper material as compared with silica particles having other functional groups.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、フェニルアミンを導入し且つ取り扱い性に優れるシリカ粒子材料、および、そのようなシリカ粒子材料を得るための表面処理方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a silica particle material having phenylamine introduced therein and excellent in handleability, and a surface treatment method for obtaining such a silica particle material. To do.

(A)上記課題を解決する本発明のシリカ粒子材料を得るために採用される表面処理方法は、水を含む液状媒体中でN−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5)がケイ素原子に結合したシランカップリング剤およびオルガノシラザンによってシリカ粒子を表面処理する表面処理工程を持ち、
該シランカップリング剤と該オルガノシラザンとのモル比は、該シランカップリング剤:該オルガノシラザン=1:2〜1:10であり、
前記表面処理工程後に、塩化合物を添加して行う塩析により前記シリカ粒子を沈殿させ、沈殿物を水で洗浄・乾燥して、シリカ粒子材料の固形物を得る固形化工程を備える。
(A) The surface treatment method employed to obtain the silica particle material of the present invention that solves the above-mentioned problems is an N-phenyl-aminoalkyl group (the alkyl group has 2 to 5 carbon atoms) in a liquid medium containing water. ) Has a surface treatment step of surface-treating silica particles with a silane coupling agent bonded to a silicon atom and organosilazane,
The molar ratio of the silane coupling agent to the organosilazane is the silane coupling agent: the organosilazane = 1: 2 to 1:10,
After the surface treatment step, the method includes a solidification step of precipitating the silica particles by salting out by adding a salt compound, washing the precipitate with water and drying to obtain a solid of silica particle material.

表面処理を行った後に塩析を行うことにより表面処理が為されたシリカ粒子材料の凝集が効果的に抑制できる。   Aggregation of the surface-treated silica particle material can be effectively suppressed by performing salting out after the surface treatment.

塩化合物としてはシリカ粒子材料が沈殿するものであれば充分であるが、特に無機塩化合物であることが好ましい。また、前記塩化合物は塩化アンモニウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、硫酸アンモニウム、塩化ナトリウム、硝酸ナトリウム、硫酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、塩化カリウム、硝酸カリウム、炭酸カリウム、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、酢酸アンモニウム、プロピオン酸ナトリウム、安息香酸ナトリウム、マレイン酸ナトリウム、アジピン酸ナトリウム、クエン酸ナトリウム、ピリジン塩酸塩、トリエチルアミン塩酸塩、塩化テトラメチルアンモニウム、及び、ドデシル硫酸ナトリウムからなる群より選択される1以上の物質であることが好ましい。特にアンモニウム塩、炭酸塩、および炭酸アンモニウム塩から選択することが更に好ましい。   As the salt compound, it is sufficient if the silica particle material is precipitated, but an inorganic salt compound is particularly preferable. The salt compounds are ammonium chloride, ammonium carbonate, ammonium hydrogen carbonate, ammonium sulfate, sodium chloride, sodium nitrate, sodium sulfate, sodium carbonate, sodium phosphate, potassium chloride, potassium nitrate, potassium carbonate, sodium acetate, potassium acetate, ammonium acetate. One or more substances selected from the group consisting of sodium propionate, sodium benzoate, sodium maleate, sodium adipate, sodium citrate, pyridine hydrochloride, triethylamine hydrochloride, tetramethylammonium chloride, and sodium dodecyl sulfate It is preferable that In particular, it is more preferable to select from ammonium salts, carbonates, and ammonium carbonates.

上記した(A)の方法に対して以下に記載の(B)〜(D)のうちの何れか1つ以上の構成を加えることができる。   Any one or more configurations of (B) to (D) described below can be added to the method (A) described above.

(B)前記表面処理工程は、
前記シリカ粒子を前記シランカップリング剤で処理する第1の処理工程と、
前記シリカ粒子を前記オルガノシラザンで処理する第2の処理工程と、を持ち、
該第2の処理工程は、該第1の処理工程後に行う。
(C)前記第2の処理工程において、3つのアルコキシ基と炭素数1〜3のアルキル基とを持つ第2のシランカップリング剤で前記オルガノシラザンの一部を置き換え、
前記第2の処理工程後に、さらに前記シリカ粒子を前記オルガノシラザンで処理する第3の処理工程を持つ。
(D)前記オルガノシラザンは、テトラメチルジシラザン、ヘキサメチルジシラザン、ペンタメチルジシラザンから選ばれる少なくとも一種である。
(B) The surface treatment step includes
A first treatment step of treating the silica particles with the silane coupling agent;
A second treatment step of treating the silica particles with the organosilazane,
The second processing step is performed after the first processing step.
(C) In the second treatment step, a part of the organosilazane is replaced with a second silane coupling agent having three alkoxy groups and an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms,
After the second treatment step, the method further comprises a third treatment step of treating the silica particles with the organosilazane.
(D) The organosilazane is at least one selected from tetramethyldisilazane, hexamethyldisilazane, and pentamethyldisilazane.

(E)上述の表面処理方法にて製造されうるシリカ粒子材料は、式(1):−OSiXで表される官能基と、式(2):−OSiYで表される官能基とがシリカ粒子の表面に結合しており、乾燥状態を経ても一次粒子にまで分離している。(上記式(1)、(2)中;XはN−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5)であり;X、Xは−OSiR及び−OSiYよりそれぞれ独立して選択され;YはRであり;Y、YはR及び−OSiYよりそれぞれ独立して選択される。YはRであり;Y及びYは、R及び−OSiRからそれぞれ独立して選択され;Rは炭素数1〜3のアルキル基から独立して選択される。なお、X、X、Y、Y、Y、及びYの何れかは、隣接する官能基のX、X、Y、Y、Y、及びYの何れかと−O−にて結合しても良い。) (E) The silica particle material that can be produced by the surface treatment method described above includes a functional group represented by the formula (1): —OSiX 1 X 2 X 3 and a formula (2): —OSiY 1 Y 2 Y 3. Are bonded to the surface of the silica particles and are separated into primary particles even after being dried. (In the above formulas (1) and (2); X 1 is an N-phenyl-aminoalkyl group (the alkyl group has 2 to 5 carbon atoms); X 2 and X 3 are —OSiR 3 and —OSiY 4 Y) from 5 Y 6 are each independently selected; Y 1 is an R; Y 2, Y 3 is .Y 4 is selected independently from R and -OSiY 4 Y 5 Y 6 is an R; Y 5 and Y 6 are each independently selected from R and —OSiR 3 ; R is independently selected from an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, wherein X 2 , X 3 , Y 2 , Y 3 , Y 5 , and Y 6 may be bonded to any one of the adjacent functional groups X 2 , X 3 , Y 2 , Y 3 , Y 5 , and Y 6 via —O—.

上記した(E)のシリカ粒子材料は以下に記載の(F)〜(I)のうちの何れか1つ以上の構成を加えることができる。   The above-mentioned silica particle material (E) can be added with any one or more of the structures (F) to (I) described below.

(F)前記式(1)で表される官能基と前記式(2)で表される官能基との存在数比が1:12〜1:60である。(G)前記Xは前記シリカ粒子材料の単位表面積(nm)あたり0.5〜2.5個である。(H)前記Rは前記シリカ粒子材料の単位表面積(nm)あたり1〜10個である。(I)平均粒子径(体積基準、以下同じ)が3〜200nmである。
(J)上記課題を解決する本発明のシリカ粒子材料は、樹脂材料中に分散させてフィラーとして用いるものであり、粒子径3〜200nmでありシリカを主成分とする粒子材料と、その表面に導入されたN−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5)からなる官能基とをもつシリカ粒子材料である。そして、樹脂材料中に分散して樹脂組成物として銅材料からなる部材に接した状態で硬化した後の密着性に優れるとの特徴をもつ。
ここで、密着性に優れるとはフェニルアミノ基を表面にもつこと以外は同条件で作成したシリカ粒子材料と比べてピール強度が高いことを意味する。
特に密着性の程度としては、前記樹脂組成物の硬化物とその表面に密着させた前記部材との間のピール強度をA、前記樹脂材料のみの硬化物とその表面に密着させた前記部材との間のピール強度をBとしたときに、A÷Bが0.6以上であることが好ましい。
(F) The abundance ratio of the functional group represented by the formula (1) and the functional group represented by the formula (2) is 1:12 to 1:60. (G) X 1 is 0.5 to 2.5 per unit surface area (nm 2 ) of the silica particle material. (H) R is 1 to 10 per unit surface area (nm 2 ) of the silica particle material. (I) The average particle diameter (volume basis, the same applies hereinafter) is 3 to 200 nm.
(J) The silica particle material of the present invention that solves the above problems is used as a filler by being dispersed in a resin material, a particle material having a particle diameter of 3 to 200 nm and mainly composed of silica, and a surface thereof. This is a silica particle material having an introduced N-phenyl-aminoalkyl group (an alkyl group having 2 to 5 carbon atoms) and a functional group. And it has the characteristic that it is excellent in the adhesiveness after hardening | curing in the state which disperse | distributed in the resin material and contacted the member which consists of copper materials as a resin composition.
Here, excellent adhesion means that the peel strength is higher than that of the silica particle material prepared under the same conditions except that the surface has a phenylamino group.
In particular, as the degree of adhesion, A is the peel strength between the cured product of the resin composition and the member adhered to the surface thereof, and the cured product of only the resin material and the member adhered to the surface thereof. When the peel strength between is B, it is preferable that A ÷ B is 0.6 or more.

本発明のシリカ粒子の表面処理方法によると、N−フェニル−アミノをもつ官能基と、上式(2)で表されるオルガノシラザン由来の官能基とを、をシリカ粒子の表面に結合することができる。その後、塩析により沈殿させることで得られた表面処理済みのシリカ粒子材料は凝集が抑制されることになる。塩析を行うことでフェニルアミンに生じる電荷を適正に制御できるために凝集が抑制できるものと推測できる。   According to the silica particle surface treatment method of the present invention, the functional group having N-phenyl-amino and the organosilazane-derived functional group represented by the above formula (2) are bonded to the surface of the silica particle. Can do. Thereafter, aggregation of the surface-treated silica particle material obtained by precipitation by salting out is suppressed. It can be inferred that aggregation can be suppressed because the charge generated in phenylamine can be appropriately controlled by salting out.

そして、シランカップリング剤とオルガノシラザンとのモル比が1:2〜1:10の範囲内であれば、上式(1)で表される官能基と上式(2)で表される官能基とを、シリカ粒子材料の表面にバランス良く存在させ得る。   And if the molar ratio of a silane coupling agent and organosilazane is in the range of 1: 2 to 1:10, the functional group represented by the above formula (1) and the functional group represented by the above formula (2). The groups can be present in a balanced manner on the surface of the silica particle material.

本発明のシリカ粒子材料は、X(N−フェニル−アミノアルキル基)と、R(炭素数1〜3のアルキル基)とを表面に持つ。Rすなわち炭素数1〜3のアルキル基は疎水性が高いために、互いに反発し合う。したがって、本発明のシリカ粒子材料は炭素数1〜3のアルキル基同士の反発力により凝集し難い。 The silica particle material of the present invention has X 1 (N-phenyl-aminoalkyl group) and R (C1-C3 alkyl group) on the surface. Since R, that is, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms has high hydrophobicity, they repel each other. Therefore, the silica particle material of the present invention hardly aggregates due to the repulsive force between alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms.

つまり、本発明のシリカ粒子材料は、N−フェニル−アミノアルキル基とアルキル基とを共存させることで、N−フェニル−アミノ基に由来する効果と、凝集抑制効果とが両立できる。   That is, the silica particle material of the present invention can achieve both the effect derived from the N-phenyl-amino group and the aggregation suppressing effect by allowing the N-phenyl-aminoalkyl group and the alkyl group to coexist.

また、シリカ粒子材料の表面にRが多く存在するほど凝集抑制効果が向上するが、その一方で、樹脂に対する親和性が低下する。シリカ粒子材料の表面にXが多く存在するほどN−フェニル−アミノ基に由来する効果が向上するが、その一方で、Rの数が少なくなり凝集抑制効果が低減する。したがって、RとXとの存在数比には、好ましい範囲が存在する。式(1)で表される官能基と式(2)で表される官能基との存在数比が1:12〜1:60の範囲内であれば、樹脂に対する優れた親和性と優れた凝集抑制効果とを両立することができる。また、Xがシリカ粒子材料の単位表面積(nm)あたり0.5〜2.5個であれば、樹脂に対する優れた親和性と優れた凝集抑制効果とを両立することができる。 In addition, the more the R exists on the surface of the silica particle material, the better the aggregation suppressing effect, but the affinity for the resin decreases. The more X 1 is present on the surface of the silica particle material, the more the effect derived from the N-phenyl-amino group is improved. On the other hand, the number of R is reduced and the aggregation suppressing effect is reduced. Therefore, the existence ratio of the R and X 1, there is a preferred range. If the abundance ratio of the functional group represented by the formula (1) and the functional group represented by the formula (2) is within the range of 1:12 to 1:60, the resin has excellent affinity and excellent It is possible to achieve both an aggregation suppressing effect. Moreover, X 1 is as long as 0.5 to 2.5 per unit surface area of the silica particles material (nm 2), it is possible to achieve both excellent aggregation inhibition effect and excellent affinity to resins.

実施例1のシリカ粒子材料の粒度分布を表すグラフである。3 is a graph showing the particle size distribution of the silica particle material of Example 1. 実施例6のシリカ粒子材料の粒度分布を表すグラフである。6 is a graph showing a particle size distribution of a silica particle material of Example 6. 実施例7のシリカ粒子材料の粒度分布を表すグラフである。6 is a graph showing the particle size distribution of a silica particle material of Example 7. 実施例1のシリカ粒子材料の表面の赤外吸収スペクトルを表すグラフである。2 is a graph showing the infrared absorption spectrum of the surface of the silica particle material of Example 1. FIG. 実施例6のシリカ粒子材料の表面の赤外吸収スペクトルを表すグラフである。It is a graph showing the infrared absorption spectrum of the surface of the silica particle material of Example 6. FIG. 実施例7のシリカ粒子材料の表面の赤外吸収スペクトルを表すグラフである。It is a graph showing the infrared absorption spectrum of the surface of the silica particle material of Example 7. FIG.

本願発明のシリカ粒子材料の用途は特に限定しない。樹脂(又は樹脂組成物)中に分散させて樹脂組成物を構成したり、その他の材料に含有させてその材料が形成する隙間に挿入したりすることができる。樹脂組成物は半導体封止材、アンダーフィル、構造材料などに用いることができる。また、その他のフィラー(マイクロメートルオーダーの、繊維や粒子)も分散させることもできる。
特に銅材料からなる部材に接するように用いられることが好ましい。例えば、表面や内部に配線(銅材料からなる部材)が配設されている基板材料を構成する樹脂組成物のフィラーに採用することが好ましい。特に配線に接触する部位に用いる樹脂組成物のフィラーにすることが望ましい。例えば配線が表面に形成される場合には基板の表面に、内部に形成される場合には内部に配設された配線の周囲に用いる樹脂組成物に用いることができる。基板を被覆する被覆材に採用したり、複数の基板を接着する接着層に採用したりできる。
樹脂組成物中に本発明のシリカ粒子材料を含有させるときにはフィラーの全てとして用いることができるほか、フィラーの一部として用いることもできる。
本実施形態のシリカ粒子材料は以下の(A)又は(B)に開示の材料である。
The use of the silica particle material of the present invention is not particularly limited. It can be dispersed in a resin (or resin composition) to form a resin composition, or can be contained in other materials and inserted into gaps formed by the materials. The resin composition can be used for semiconductor encapsulants, underfills, structural materials, and the like. Further, other fillers (micrometer order fibers and particles) can also be dispersed.
In particular, it is preferably used so as to contact a member made of a copper material. For example, it is preferably employed as a filler for a resin composition constituting a substrate material on which wiring (member made of a copper material) is disposed on the surface or inside. In particular, it is desirable to use a filler of a resin composition used for a portion that contacts the wiring. For example, when the wiring is formed on the surface, the resin composition can be used on the surface of the substrate, and when the wiring is formed inside, the resin composition can be used around the wiring disposed inside. It can employ | adopt as the coating | coated material which coat | covers a board | substrate, or can employ | adopt as the contact bonding layer which adhere | attaches a several board | substrate.
When the silica particle material of the present invention is contained in the resin composition, it can be used not only as a filler but also as a part of the filler.
The silica particle material of the present embodiment is a material disclosed in the following (A) or (B).

(A)本発明のシリカ粒子材料は、式(1):−OSiXで表される官能基と、式(2):−OSiYで表される官能基とが表面に結合したシリカ粒子材料である。以下、式(1)で表される官能基を第1の官能基と呼び、式(2)で表される官能基を第2の官能基と呼ぶ。 (A) The silica particle material of the present invention includes a functional group represented by the formula (1): -OSiX 1 X 2 X 3 and a functional group represented by the formula (2): -OSiY 1 Y 2 Y 3 Is a silica particle material bonded to the surface. Hereinafter, the functional group represented by the formula (1) is referred to as a first functional group, and the functional group represented by the formula (2) is referred to as a second functional group.

第1の官能基におけるXは、N−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5。特にn−プロピル基であって3位に窒素原子が結合するN−フェニル−アミノプロピル基が好ましい)である。X、Xは、それぞれ、−OSiR又は−OSiYである。YはRである。Y、Yは、それぞれ、R又は−OSiRである。 X 1 in the first functional group is an N-phenyl-aminoalkyl group (the alkyl group has 2 to 5 carbon atoms, particularly an n-propyl group, in which a nitrogen atom is bonded to the 3-position). Group is preferred). X 2 and X 3 are —OSiR 3 or —OSiY 4 Y 5 Y 6 , respectively. Y 4 is R. Y 5 and Y 6 are each R or —OSiR 3 .

第2の官能基におけるYはRである。Y、Yは、それぞれ、−OSiR又は−OSiYである。 Y 1 in the second functional group is R. Y 2 and Y 3 are each —OSiR 3 or —OSiY 4 Y 5 Y 6 .

第1の官能基および第2の官能基に含まれる−OSiRが多い程、シリカ粒子材料の表面にRを多く持つ。第1の官能基および第2の官能基に含まれるR(炭素数1〜3のアルキル基)が多い程、本発明のシリカ粒子材料は凝集し難い。 The more —OSiR 3 contained in the first functional group and the second functional group, the more R on the surface of the silica particle material. The more R (the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms) contained in the first functional group and the second functional group, the less the silica particle material of the present invention aggregates.

第1の官能基に関していえば、X、Xがそれぞれ−OSiRである場合に、Rの数が最小となる。また、XおよびXがそれぞれ−OSiYであり、かつ、Y、Yがそれぞれ−OSiRである場合に、Rの数が最大となる。 Regarding the first functional group, when X 2 and X 3 are each —OSiR 3 , the number of R is minimized. Further, X 2 and X 3 is -OSiY 4 Y 5 Y 6, respectively, and, if Y 5, Y 6 is -OSiR 3 respectively, the number of R is maximized.

第2の官能基に関していえば、Y、Yがそれぞれ−OSiRである場合に、Rの数が最小となる。また、YおよびYがそれぞれ−OSiYであり、かつ、Y、Yがそれぞれ−OSiRである場合に、Rの数が最大となる。 Regarding the second functional group, when Y 2 and Y 3 are each —OSiR 3 , the number of R is minimized. Further, Y 2 and Y 3 are -OSiY 4 Y 5 Y 6, respectively, and, if Y 5, Y 6 is -OSiR 3 respectively, the number of R is maximized.

第1の官能基に含まれるXの数、第1の官能基に含まれるRの数、第2の官能基に含まれるRの数は、RとXとの存在数比や、シリカ粒子材料の粒径や用途に応じて適宜設定すれば良い。 The number of X 1 contained in the first functional group, the number of R contained in the first functional group, and the number of R contained in the second functional group are the abundance ratio of R and X 1 , silica What is necessary is just to set suitably according to the particle size and use of a particulate material.

なお、X、X、Y、Y、Y、及びYの何れかは、隣接する官能基のX、X、Y、Y、Y、及びYの何れかと−O−にて結合しても良い。例えば、第1の官能基のX、X、Y、及びYの何れかが、この第1の官能基に隣接する第1の官能基のX、X、Y、及びYの何れかと−O−にて結合していても良い。同様に、第2の官能基のY、Y、Y、及びYの何れかが、この第2の官能基に隣接する第2の官能基のY、Y、Y、及びYの何れかと−O−にて結合していても良い。さらには、第1の官能基のX、X、Y、及びYの何れかが、この第1の官能基に隣接する第2の官能基のY、Y、Y、及びYの何れかと−O−にて結合していても良い。 Incidentally, X 2, X 3, Y 2, Y 3, Y 5, and any of Y 6, X 2 of the adjacent functionality, X 3, Y 2, Y 3, Y 5, and any Y 6 You may combine with heel -O-. For example, any one of the first functional group X 2 , X 3 , Y 5 , and Y 6 is the first functional group adjacent to the first functional group X 2 , X 3 , Y 5 , and It may be bonded to any of Y 6 by —O—. Similarly, any of Y 2 , Y 3 , Y 5 , and Y 6 of the second functional group is replaced with Y 2 , Y 3 , Y 5 , Y 2 of the second functional group adjacent to the second functional group. And Y 6 may be bonded to each other by —O—. Furthermore, any one of the first functional groups X 2 , X 3 , Y 5 , and Y 6 is the second functional group adjacent to the first functional group, Y 2 , Y 3 , Y 5 , And Y 6 may be bonded to each other by —O—.

本発明のシリカ粒子材料において、第1の官能基と第2の官能基との存在数比が1:12〜1:60であれば、シリカ粒子材料の表面にXとRとがバランス良く存在する。このため、第1の官能基と第2の官能基との存在数比が1:12〜1:60であるシリカ粒子材料は、樹脂に対する親和性および凝集抑制効果に特に優れる。また、Xがシリカ粒子材料の単位表面積(nm)あたり0.5〜2.5個であれば、シリカ粒子材料の表面に充分な数の第1の官能基が結合し、第1の官能基および第2の官能基に由来するRもまた充分な数存在する。したがってこの場合にも、樹脂に対する親和性およびシリカ粒子材料の凝集抑制効果が充分に発揮される。 In the silica particle material of the present invention, if the abundance ratio of the first functional group to the second functional group is 1:12 to 1:60, X 1 and R are well balanced on the surface of the silica particle material. Exists. For this reason, the silica particle material in which the abundance ratio of the first functional group to the second functional group is 1:12 to 1:60 is particularly excellent in the affinity for the resin and the aggregation suppressing effect. Further, if X 1 is 0.5 to 2.5 per unit surface area (nm 2 ) of the silica particle material, a sufficient number of first functional groups are bonded to the surface of the silica particle material, and the first There are also a sufficient number of Rs derived from the functional group and the second functional group. Therefore, also in this case, the affinity for the resin and the effect of suppressing the aggregation of the silica particle material are sufficiently exhibited.

何れの場合にも、シリカ粒子材料の単位表面積(nm)あたりのRは、0.5個〜10個、さらには1個〜10個であるのが好ましい。この場合には、シリカ粒子材料の表面に存在するXの数とRの数とのバランスが良くなり、樹脂に対する親和性およびシリカ粒子材料の凝集抑制効果との両方がバランス良く発揮される。 In any case, R per unit surface area (nm 2 ) of the silica particle material is preferably 0.5 to 10, more preferably 1 to 10. In this case, the balance between the number of X 1 present on the surface of the silica particle material and the number of R is improved, and both the affinity for the resin and the aggregation suppressing effect of the silica particle material are exhibited in a well-balanced manner.

本発明のシリカ粒子材料においては、シリカ粒子の表面に存在していた水酸基のほぼ全部が第1の官能基または第2の官能基で置換されているのが好ましい。第1の官能基と第2の官能基との和が、シリカ粒子材料の単位表面積(nm)あたり2.0個以上であれば、本発明のシリカ粒子材料において、シリカ粒子の表面に存在していた水酸基のほぼ全部が第1の官能基または第2の官能基で置換されているといえる。 In the silica particle material of the present invention, it is preferable that almost all of the hydroxyl groups present on the surface of the silica particles are substituted with the first functional group or the second functional group. If the sum of the first functional group and the second functional group is 2.0 or more per unit surface area (nm 2 ) of the silica particle material, it is present on the surface of the silica particle in the silica particle material of the present invention. It can be said that almost all of the hydroxyl groups were substituted with the first functional group or the second functional group.

本発明のシリカ粒子材料は、表面にRを持つ。これは、赤外線吸収スペクトルによって確認できる可能性がある。詳しくは、本発明のシリカ粒子材料の赤外線吸収スペクトルを固体拡散反射法で測定すると、2962±2cm−1にC−H伸縮振動の極大吸収がある。このため、本発明のシリカ粒子材料であるか否かは、赤外線吸収スペクトルによって確認できる。但し、フェニルアミン由来の赤外吸収がブロードなピークであるために判別が困難である場合も多いため、その他の方法としては炭素原子の存在を測定したり、炭素原子・水素原子・窒素原子などの原子の組成比を算出して推測したりできる。 The silica particle material of the present invention has R on the surface. This may be confirmed by an infrared absorption spectrum. Specifically, when the infrared absorption spectrum of the silica particle material of the present invention is measured by a solid diffuse reflection method, there is a maximum absorption of C—H stretching vibration at 2962 ± 2 cm −1 . For this reason, it can be confirmed by the infrared absorption spectrum whether it is the silica particle material of this invention. However, since the infrared absorption derived from phenylamine is a broad peak, it is often difficult to distinguish, so other methods such as measuring the presence of carbon atoms, carbon atoms, hydrogen atoms, nitrogen atoms, etc. It can be estimated by calculating the composition ratio of the atoms.

また、上述したように本発明のシリカ粒子材料は凝集し難い。したがって、本発明のシリカ粒子材料は粒径の小さなシリカ粒子材料に適用できる。例えば、本発明のシリカ粒子材料は、粒径3nm〜5000nm程度にできる。平均粒径3〜200nmのシリカ粒子材料に適用するのが好ましい。   Further, as described above, the silica particle material of the present invention hardly aggregates. Therefore, the silica particle material of the present invention can be applied to a silica particle material having a small particle size. For example, the silica particle material of the present invention can have a particle size of about 3 nm to 5000 nm. It is preferable to apply to a silica particle material having an average particle diameter of 3 to 200 nm.

なお、本発明のシリカ粒子材料は、乾燥状態を経ても一次粒子にまで分離している。「乾燥状態を経ても一次粒子にまで分離している」かどうかは、超音波処理することによって再度分散可能であることで判断できる。つまり、乾燥状態を経ても簡単に一次粒子にまで分離できれば「乾燥状態を経ても一次粒子にまで分離している」である。具体的には、本発明のシリカ粒子材料をメチルエチルケトンに分散させたものに、発振周波数39kHz、出力500Wの超音波を照射することで、本発明のシリカ粒子材料を実質的に一次粒子にまで分散できる。このときの超音波照射時間は10分間以下で良い。本発明のシリカ粒子材料が一次粒子にまで分散したか否かは、粒度分布を測定することで確認できる。詳しくは、このシリカ粒子材料のメチルエチルケトン分散材料をマイクロトラック装置等の粒度分布測定装置で測定し、シリカ粒子材料の一次粒子に相当する粒度分布が観測され、凝集物の粒度分布が観測されなければ(例えば凝集物の割合が体積基準で5%以下(更には1%以下))、本発明のシリカ粒子材料が一次粒子にまで分散したといえる。   In addition, the silica particle material of this invention has isolate | separated even to the primary particle even if it passed through the dry state. Whether or not “the primary particles are separated even after passing through the dry state” can be judged by being dispersible again by ultrasonic treatment. In other words, if it can be easily separated into primary particles even after passing through a dry state, it is “separated into primary particles even after passing through a dry state”. Specifically, the silica particle material of the present invention is substantially dispersed to primary particles by irradiating the silica particle material of the present invention dispersed in methyl ethyl ketone with ultrasonic waves having an oscillation frequency of 39 kHz and an output of 500 W. it can. The ultrasonic irradiation time at this time may be 10 minutes or less. Whether or not the silica particle material of the present invention has been dispersed into primary particles can be confirmed by measuring the particle size distribution. Specifically, if the methyl ethyl ketone dispersion material of the silica particle material is measured with a particle size distribution measuring device such as a microtrack device, the particle size distribution corresponding to the primary particles of the silica particle material is observed, and the particle size distribution of the aggregate is not observed. (For example, the ratio of the aggregate is 5% or less (further 1% or less) on a volume basis), and it can be said that the silica particle material of the present invention is dispersed to primary particles.

本発明のシリカ粒子材料は、凝集し難いため、水やアルコール等の液状媒体に分散されていないシリカ粒子材料として提供できる。この場合、液状媒体の持ち込みがないために、樹脂材料用のフィラーとして好ましく用いられる。   Since the silica particle material of the present invention hardly aggregates, it can be provided as a silica particle material that is not dispersed in a liquid medium such as water or alcohol. In this case, since no liquid medium is brought in, it is preferably used as a filler for a resin material.

また、本発明のシリカ粒子材料は凝集し難いために、水で容易に洗浄できる。このため、本発明のシリカ粒子材料は、電子部品用のシリカ粒子材料に適用できる。   Moreover, since the silica particle material of the present invention hardly aggregates, it can be easily washed with water. For this reason, the silica particle material of this invention is applicable to the silica particle material for electronic components.

本発明のシリカ粒子の表面処理方法は、水を含む液状媒体中で、シランカップリング剤およびオルガノシラザンによってシリカ粒子を表面処理する工程(表面処理工程)を持つ。シランカップリング剤は、N−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5:すなわち上記のXをSiに結合する官能基としてもつ)がケイ素原子に結合したシランカップリング剤である。特にN−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシランが例示できる。 The silica particle surface treatment method of the present invention includes a step (surface treatment step) of treating silica particles with a silane coupling agent and organosilazane in a liquid medium containing water. Silane coupling agent, N- phenyl - amino alkyl group (the alkyl group has a carbon number of 2 to 5: i.e. having a functional group that binds X 1 above to Si) is a silane coupling agent bonded to the silicon atom is there. In particular, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane can be exemplified.

シランカップリング剤で表面処理することで、シリカ粒子の表面に存在する水酸基がシランカップリング剤に由来する官能基で置換される。シランカップリング剤に由来する官能基は式(3);−OSiXで表される。式(3)で表される官能基を第3の官能基と呼ぶ。第3の官能基におけるXは式(1)で表される官能基におけるXと同じである。X、Xは、それぞれ、アルキコキシ基である。オルガノシラザンで表面処理することで、第3の官能基のX、Xがオルガノシラザンに由来する−OSiY(式(2)で表される官能基、第2の官能基)で置換される。シリカ粒子の表面に存在する水酸基の全てが第3の官能基で置換されていない場合には、シリカ粒子の表面に残存する水酸基が第2の官能基で置換される。このため、表面処理されたシリカ粒子材料の表面には、式(1):−OSiXで表される官能基(すなわち第1の官能基)と、式(2):−OSiYで表される官能基と(すなわち第2の官能基)が結合する。なお、シランカップリング剤とオルガノシラザンとのモル比は、シランカップリング剤:オルガノシラザン=1:2〜1:10であるため、得られたシリカ粒子材料における第1の官能基と第2の官能基との存在数比は理論上1:12〜1:60となる。 By performing the surface treatment with the silane coupling agent, the hydroxyl group present on the surface of the silica particles is substituted with a functional group derived from the silane coupling agent. The functional group derived from the silane coupling agent is represented by the formula (3); —OSiX 1 X 4 X 5 . The functional group represented by the formula (3) is referred to as a third functional group. X 1 in the third functional group is the same as X 1 in the functional group represented by the formula (1). X 4 and X 5 are each an alkoxy group. By surface-treating with organosilazane, the third functional group X 4 and X 5 are derived from organosilazane —OSiY 1 Y 2 Y 3 (the functional group represented by the formula (2), the second functional group ). When all of the hydroxyl groups present on the surface of the silica particles are not substituted with the third functional group, the hydroxyl groups remaining on the surface of the silica particles are substituted with the second functional group. Therefore, the surface of the surface-treated silica particle material has a functional group represented by the formula (1): —OSiX 1 X 2 X 3 (that is, the first functional group) and a formula (2): —OSiY. The functional group represented by 1 Y 2 Y 3 is bonded to the functional group (that is, the second functional group). In addition, since the molar ratio of the silane coupling agent and the organosilazane is silane coupling agent: organosilazane = 1: 2 to 1:10, the first functional group and the second functional group in the obtained silica particle material are used. The abundance ratio with the functional group is theoretically from 1:12 to 1:60.

表面処理工程においては、シリカ粒子をシランカップリング剤及びオルガノシラザンで同時に表面処理しても良い。または、先ずシリカ粒子をシランカップリング剤で表面処理し、次いでオルガノシラザンで表面処理しても良い。または、先ずシリカ粒子をオルガノシラザンで表面処理し、次いでシランカップリング剤で表面処理し、さらにその後にオルガノシラザンで表面処理しても良い。何れの場合にも、シリカ粒子の表面に存在する水酸基全てが第2の官能基で置換されないように、オルガノシラザンの量を調整すれば良い。なお、シリカ粒子の表面に存在する水酸基は、全てが第3の官能基で置換されても良いし、一部のみが第3の官能基で置換され、他の部分が第2の官能基で置換されても良い。第3の官能基に含まれるX、Xは、全て第2の官能基で置換されるのが良い。 In the surface treatment step, the silica particles may be simultaneously surface treated with a silane coupling agent and an organosilazane. Alternatively, the silica particles may first be surface treated with a silane coupling agent and then surface treated with organosilazane. Alternatively, the silica particles may be first surface treated with organosilazane, then surface treated with a silane coupling agent, and then surface treated with organosilazane. In any case, the amount of organosilazane may be adjusted so that all the hydroxyl groups present on the surface of the silica particles are not substituted with the second functional group. The hydroxyl groups present on the surface of the silica particles may all be substituted with the third functional group, or only a part may be substituted with the third functional group, and the other part may be substituted with the second functional group. It may be replaced. All of X 4 and X 5 contained in the third functional group may be substituted with the second functional group.

なお、オルガノシラザンの一部を、第2のシランカップリング剤で置き換えても良い。第2のシランカップリング剤としては、3つのアルコキシ基と、1つのアルキル基とを持つものを用いることができる。この場合には、第3の官能基に含まれるX、Xが、第2のシランカップリング剤に由来する第4の官能基で置換される。第4の官能基は式(4);−OSiYで表される。Yは第2の官能基におけるYと同じRであり、X、Xはそれぞれアルコキシ基または水酸基である。第4の官能基に含まれるX、Xは、オルガノシラザンに由来する第2の官能基で置換されるか、または、別の第4の官能基で置換される。この場合には、シリカ粒子材料の表面に存在するRの量をさらに多くする事ができる。なお、オルガノシラザンの一部を、第2のシランカップリング剤に置き換える場合、第2のシランカップリング剤で表面処理した後に、再度オルガノシラザンで表面処理する必要がある。第4の官能基に含まれるX、Xを、最終的にはオルガノシラザンに由来する第2の官能基で置換するためである。 A part of organosilazane may be replaced with the second silane coupling agent. As the second silane coupling agent, one having three alkoxy groups and one alkyl group can be used. In this case, X 4 and X 5 contained in the third functional group are substituted with the fourth functional group derived from the second silane coupling agent. The fourth functional group has the formula (4); - represented by OSiY 1 X 6 X 7. Y 1 is the same R as Y 1 in the second functional group, X 6, X 7 is an alkoxy group or a hydroxyl group, respectively. X 6 and X 7 contained in the fourth functional group are substituted with the second functional group derived from organosilazane, or are substituted with another fourth functional group. In this case, the amount of R present on the surface of the silica particle material can be further increased. When a part of the organosilazane is replaced with the second silane coupling agent, it is necessary to surface-treat with the organosilazane again after the surface treatment with the second silane coupling agent. This is because X 6 and X 7 contained in the fourth functional group are finally substituted with the second functional group derived from organosilazane.

オルガノシラザンの一部を第2のシランカップリング剤で置き換える場合、上述した第1の官能基に含まれるX、Xは、オルガノシラザンに由来する第2の官能基で置換されるか、第2のシランカップリング剤に由来する第4の官能基で置換される。X、Xが第4の官能基で置換された場合、第4の官能基に含まれるX、Xは、第2の官能基で置換されるか、別の第4の官能基によって置換される。第4の官能基に含まれるX、Xが別の第4の官能基によって置換された場合、第4の官能基に含まれるX、Xは、第2の官能基で置換される。このため第2のシランカップリング剤は、第1のカップリング剤及びオルガノシラザンのみで表面処理する場合(オルガノシラザンを第2のシランカップリング剤で置き換えなかった場合)に設定されるオルガノシラザンの量(a)molに対して、最大限5a/3mol置き換えることができる。この場合に必要になるオルガノシラザンの量は、8a/3molである。 When a part of the organosilazane is replaced with the second silane coupling agent, X 4 and X 5 contained in the first functional group described above are substituted with the second functional group derived from the organosilazane, Substitution with a fourth functional group derived from the second silane coupling agent. When X 4 and X 5 are substituted with the fourth functional group, X 6 and X 7 contained in the fourth functional group are substituted with the second functional group or another fourth functional group. Is replaced by If X 6, X 7 contained in the fourth functional group has been replaced by another fourth functional group, X 6, X 7 contained in the fourth functional groups is substituted with the second functional group The For this reason, the second silane coupling agent is an organosilazane set when the surface treatment is performed only with the first coupling agent and the organosilazane (when the organosilazane is not replaced with the second silane coupling agent). A maximum of 5a / 3 mol can be substituted for the amount (a) mol. The amount of organosilazane required in this case is 8a / 3 mol.

シランカップリング剤および第2のシランカップリング剤のアルコキシ基は特に限定しないが、比較的炭素数の小さなものが好ましく、炭素数1〜12であることが好ましい。アルコキシ基の加水分解性を考慮すると、アルコキシ基はメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基の何れかであることがより好ましい。   The alkoxy groups of the silane coupling agent and the second silane coupling agent are not particularly limited, but those having a relatively small carbon number are preferred, and those having 1 to 12 carbon atoms are preferred. Considering the hydrolyzability of the alkoxy group, the alkoxy group is more preferably any one of a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, and a butoxy group.

オルガノシラザンとしては、シリカ粒子の表面に存在する水酸基およびシランカップリング剤に由来するアルコキシ基を、上述した第2の官能基で置換できるものであれば良いが、分子量の小さなものを用いるのが好ましい。具体的には、テトラメチルジシラザン、ヘキサメチルジシラザン、ペンタメチルジシラザン等が挙げられる。   Any organosilazane may be used as long as it can replace the hydroxyl group present on the surface of the silica particles and the alkoxy group derived from the silane coupling agent with the second functional group described above. preferable. Specific examples include tetramethyldisilazane, hexamethyldisilazane, pentamethyldisilazane, and the like.

第2のシランカップリング剤としては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン等が挙げられる。   Examples of the second silane coupling agent include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, and hexyltriethoxysilane.

なお、表面処理工程において、シランカップリング剤の重合や第2のシランカップリング剤の重合を抑制するため、重合禁止剤を加えても良い。重合禁止剤としては、3,5−ジブチル−4−ヒドロキシトルエン(BHT)、p−メトキシフェノール(メトキノン)等の一般的なものを用いることができる。   In the surface treatment step, a polymerization inhibitor may be added in order to suppress polymerization of the silane coupling agent or polymerization of the second silane coupling agent. As the polymerization inhibitor, common ones such as 3,5-dibutyl-4-hydroxytoluene (BHT) and p-methoxyphenol (methoquinone) can be used.

本発明のシリカ粒子の表面処理方法は、表面処理工程後に固形化工程を備えても良い。固形化工程は、表面処理工程後に塩化合物を添加することでシリカ粒子材料を沈殿させる工程である。塩化合物を添加することで塩析が進行する。本明細書中において塩析が進行しているかどうかの判断は、実際に沈殿が生じるかどうかで判断できるほか、塩化合物を反応系内に添加することのみをもっても、塩析が進行しているものとして判断できる。また、塩化合物の濃度が2mmol/L以上(好ましくは10mmol/L以上、より好ましくは15mmol/L以上)にまで添加することでも塩析が進行しているものとして扱うことができる。   The silica particle surface treatment method of the present invention may include a solidification step after the surface treatment step. The solidification step is a step of precipitating the silica particle material by adding a salt compound after the surface treatment step. Salting out progresses by adding a salt compound. In this specification, whether or not salting-out is progressing can be determined by whether or not precipitation actually occurs, and salting-out is proceeding only by adding a salt compound to the reaction system. It can be judged as a thing. Further, even when the salt compound is added to a concentration of 2 mmol / L or more (preferably 10 mmol / L or more, more preferably 15 mmol / L or more), the salting out can be handled.

得られた沈殿物は水で洗浄・乾燥等して、シリカ粒子材料の固形物を得ることができる。上述したように、一般的なシリカ粒子材料は非常に凝集し易いため、一旦固形化したシリカ粒子材料を再度分散するのは非常に困難である。しかし、本発明のシリカ粒子材料は凝集し難いため、固形化しても凝集し難く、また、例え凝集しても再分散し易い。なお、上述したように、シリカ粒子材料を水で洗浄することで、電子部品等の用途に用いられるシリカ粒子材料を容易に製造できる。なお、洗浄工程においては、シリカ粒子材料の抽出水(詳しくは、シリカ粒子材料を121℃で24時間浸漬した水)の電気伝導度が50μS/cm以下となるまで、洗浄を繰り返すのが好ましい。   The obtained precipitate can be washed with water, dried, etc. to obtain a solid of silica particle material. As described above, since a general silica particle material is very likely to aggregate, it is very difficult to disperse the once solidified silica particle material. However, since the silica particle material of the present invention hardly aggregates, it is difficult to aggregate even when solidified, and it is easy to redisperse even if aggregated. In addition, as mentioned above, the silica particle material used for uses, such as an electronic component, can be easily manufactured by wash | cleaning a silica particle material with water. In the washing step, washing is preferably repeated until the electrical conductivity of the silica particle material extraction water (specifically, the water in which the silica particle material is immersed at 121 ° C. for 24 hours) is 50 μS / cm or less.

塩化合物としては特に限定しないが、無機塩化合物を添加する方法が簡易で有り好ましい。塩化合物としては、例えば塩化アンモニウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、硫酸アンモニウム、塩化ナトリウム、硝酸ナトリウム、硫酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、塩化カリウム、硝酸カリウム、炭酸カリウム、アンモニア(水)、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、酢酸アンモニウム、プロピオン酸ナトリウム、安息香酸ナトリウム、マレイン酸ナトリウム、アジピン酸ナトリウム、クエン酸ナトリウム、ピリジン塩酸塩、トリエチルアミン塩酸塩、塩化テトラメチルアンモニウム、ドデシル硫酸ナトリウムが挙げられる。特に50〜300℃程度の加熱により揮発するような物質を採用することが望ましい。塩化合物はそのまま用いても良いが、水溶液などのような溶液(塩化合物溶液)として用いるのが好ましい。塩化合物溶液における塩化合物の濃度は0.1質量%以上が望ましく、0.5質量%以上が更に望ましい。塩化合物溶液の量は、洗浄対象であるシリカ粒子材料の質量を基準として6〜12倍程度にすることができる。   Although it does not specifically limit as a salt compound, The method of adding an inorganic salt compound is simple and preferable. Examples of the salt compound include ammonium chloride, ammonium carbonate, ammonium bicarbonate, ammonium sulfate, sodium chloride, sodium nitrate, sodium sulfate, sodium carbonate, sodium phosphate, potassium chloride, potassium nitrate, potassium carbonate, ammonia (water), sodium acetate, Examples include potassium acetate, ammonium acetate, sodium propionate, sodium benzoate, sodium maleate, sodium adipate, sodium citrate, pyridine hydrochloride, triethylamine hydrochloride, tetramethylammonium chloride, and sodium dodecyl sulfate. In particular, it is desirable to employ a substance that volatilizes by heating at about 50 to 300 ° C. Although the salt compound may be used as it is, it is preferably used as a solution (salt compound solution) such as an aqueous solution. The concentration of the salt compound in the salt compound solution is preferably 0.1% by mass or more, and more preferably 0.5% by mass or more. The amount of the salt compound solution can be about 6 to 12 times based on the mass of the silica particle material to be cleaned.

塩化合物溶液による処理(接触させること。塩析が進行する)は複数回数行うことも可能である。シリカ粒子材料を塩化合物溶液に浸漬後、撹拌することが望ましい。また、浸漬した状態で1時間から24時間、更には72時間程度放置することができる。放置する際には撹拌を継続することもできるし、撹拌しないこともできる。塩化合物溶液中にて処理する際には常温以上に加熱することもできる。   The treatment with the salt compound solution (contacting, salting out proceeds) can be performed a plurality of times. It is desirable to stir after immersing the silica particle material in the salt compound solution. Further, it can be left in the immersed state for 1 to 24 hours, and further for about 72 hours. When it is allowed to stand, stirring can be continued or not stirred. When processing in a salt compound solution, it can also be heated to room temperature or higher.

その後、処理により懸濁させたシリカ粒子材料をろ取した後、水にて洗浄する。使用する水はアルカリ金属などのイオンを含まない(例えば質量基準で1ppm以下)ことが望ましい。例えば、イオン交換水、蒸留水、純水などである。水による洗浄シリカ粒子材料を分散、懸濁させた後、ろ過することもできるし、ろ取したシリカ粒子材料に対して水を継続的に通過させることによっても可能である。水による洗浄の終了時期は、上述した抽出水の電気伝導度で判断しても良いし、シリカ粒子材料を洗浄した後の排水中のアルカリ金属濃度が1ppm以下になった時点としても良いし、抽出水のアルカリ金属濃度が5ppm以下になった時点としても良い。なお、水で洗浄する際には常温以上に加熱することもできる。   Thereafter, the silica particle material suspended by the treatment is collected by filtration and then washed with water. It is desirable that the water used does not contain ions such as alkali metals (for example, 1 ppm or less on a mass basis). For example, ion exchange water, distilled water, pure water and the like. The silica particle material washed with water can be dispersed and suspended and then filtered, or water can be continuously passed through the filtered silica particle material. The end time of washing with water may be determined by the electric conductivity of the extracted water described above, or may be the time when the alkali metal concentration in the waste water after washing the silica particle material becomes 1 ppm or less, It is good also as the time of the alkali metal concentration of extraction water becoming 5 ppm or less. When washing with water, it can be heated to a room temperature or higher.

シリカ粒子材料の乾燥は、常法により行うことができる。例えば、加熱や、減圧(真空)下に放置する等である。   The silica particle material can be dried by a conventional method. For example, heating or leaving under reduced pressure (vacuum).

乾燥以外でシリカ粒子材料を脱水する方法として、含水しているシリカ粒子材料に対して、水よりも沸点が高い水系有機溶媒を添加後、その水系有機溶媒に溶解可能な混合材料を混合し、水を除去する方法を用いることができる。水系有機溶媒としてはプロピレングリコールモノメチルエーテル(プロピレングリコール−1−メチルエーテル、沸点119℃程度;プロピレングリコール−2−メチルエーテル、沸点130℃程度)、ブタノール(沸点117.7℃)、N−メチル−2−ピロリドン(沸点204℃程度)、γ−ブチロラクトン(沸点204℃程度)などが例示できる。   As a method of dehydrating the silica particle material other than drying, after adding a water-based organic solvent having a boiling point higher than that of water to the water-containing silica particle material, a mixed material that is soluble in the water-based organic solvent is mixed, A method of removing water can be used. Examples of aqueous organic solvents include propylene glycol monomethyl ether (propylene glycol-1-methyl ether, boiling point of about 119 ° C .; propylene glycol-2-methyl ether, boiling point of about 130 ° C.), butanol (boiling point of 117.7 ° C.), N-methyl- Examples include 2-pyrrolidone (boiling point of about 204 ° C.) and γ-butyrolactone (boiling point of about 204 ° C.).

混合材料は、水系有機溶媒よりも沸点が高い有機化合物である。沸点が水系有機溶媒及び水よりも高いので、最終的にシリカ粒子材料と共に残存することになる。混合材料はそのまま、又は、反応することで高分子にすることもできる。混合材料は、シリカ粒子材料を分散するマトリクスを形成することもできる。混合材料は、含水したシリカ粒子材料に対して水系有機溶媒を添加した状態で、分散乃至溶解できる化合物である。混合材料は高分子であっても低分子であっても良い。混合材料は、エポキシ基、オキセタン基、水酸基、ブロックされたイソシアネート基、アミノ基、ハーフエステル基、アミック基、カルボキシ基、及び炭素-炭素二重結合基を化学構造中に有することが望ましい。これらの官能基は好適な反応条件を設定することで互いに結合可能な官能基(重合性官能基)であり、混合材料の分子量を向上できる。好適な反応条件としては単純に加熱や光照射を行ったり、熱や光照射によりラジカルやイオン(アニオン、カチオン)などの反応性種を生成したり、それらの官能基間を結合する反応開始剤(重合開始剤)を添加して加熱や光照射を行うことなどである。重合反応に際して必要な化合物を硬化剤として添加したり、その反応に対する触媒を添加したりできる。   The mixed material is an organic compound having a boiling point higher than that of the aqueous organic solvent. Since the boiling point is higher than that of the water-based organic solvent and water, it finally remains together with the silica particle material. The mixed material can be made into a polymer as it is or by reacting. The mixed material can also form a matrix in which the silica particle material is dispersed. The mixed material is a compound that can be dispersed or dissolved in a state where a water-based organic solvent is added to the water-containing silica particle material. The mixed material may be a polymer or a low molecule. The mixed material desirably has an epoxy group, an oxetane group, a hydroxyl group, a blocked isocyanate group, an amino group, a half ester group, an amic group, a carboxy group, and a carbon-carbon double bond group in the chemical structure. These functional groups are functional groups (polymerizable functional groups) that can be bonded to each other by setting suitable reaction conditions, and the molecular weight of the mixed material can be improved. Suitable reaction conditions include simple heating and light irradiation, generation of reactive species such as radicals and ions (anions and cations) by heat and light irradiation, and a reaction initiator that binds between these functional groups. (Polymerization initiator) is added and heating or light irradiation is performed. A compound necessary for the polymerization reaction can be added as a curing agent, or a catalyst for the reaction can be added.

混合材料としては重合により高分子材料を形成する単量体や、上述したような重合性官能基により修飾した高分子材料が好ましいものとして挙げられる。例えば、硬化前の、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂などのプレポリマーが好適である。   Preferred examples of the mixed material include a monomer that forms a polymer material by polymerization and a polymer material modified with a polymerizable functional group as described above. For example, a prepolymer such as an epoxy resin, an acrylic resin, or a urethane resin before curing is suitable.

水(更には水系有機溶媒も)を除去することで、混合材料中にシリカ粒子材料が混合乃至分散した状態とすることができる。
(B)本実施形態のシリカ粒子材料は、樹脂材料中に分散させて樹脂組成物とするためにフィラーとして用いるものである。樹脂材料としては特に限定しないが、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、ポリイミド樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂が例示できる。樹脂材料は硬化の前後どちらでも良い。
本実施形態のシリカ粒子材料は粒子材料とその表面に導入された官能基とからなる。粒子材料は粒子径が3〜200nmでありシリカを主成分とする。官能基はN−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5)からなる官能基。粒子材料の表面に官能基を導入する方法は特にて限定しないが、上記した官能基をもつシランカップリング剤を粒子材料の表面に接触させる方法が例示できる。
本実施形態のシリカ粒子材料をフィラーとして含有させた樹脂組成物は金属材料からなる部材との密着性に優れる。金属材料とは通常の金属、例えば純銅、純金、純銀のほか、銅、金、銀などの金属元素を全体の質量を基準として50質量%以上含有するものであってもよい。基板に配設される配線とする場合には薄膜状で用いられることが多い。密着性の測定はピール強度の測定により行う。ピール強度は以下に記載するJIS K 6854−1(接着剤−はく離接着強さ試験方法−第1部:90度はく離)に準拠した方法で測定することで行う。測定装置は万能材料試験機5582型を用い、試験温度は23℃、試験速度は50mm/分、引きはがし幅は10mmとする。
By removing water (and also an aqueous organic solvent), the silica particle material can be mixed or dispersed in the mixed material.
(B) The silica particle material of the present embodiment is used as a filler to be dispersed in a resin material to obtain a resin composition. Although it does not specifically limit as a resin material, An epoxy resin, a phenol resin, a urea resin, a polyimide resin, a urethane resin, and an acrylic resin can be illustrated. The resin material may be either before or after curing.
The silica particle material of this embodiment is composed of a particle material and a functional group introduced on the surface thereof. The particle material has a particle diameter of 3 to 200 nm and is mainly composed of silica. The functional group is a functional group composed of an N-phenyl-aminoalkyl group (the alkyl group has 2 to 5 carbon atoms). A method for introducing a functional group onto the surface of the particle material is not particularly limited, and examples thereof include a method in which the silane coupling agent having the functional group described above is brought into contact with the surface of the particle material.
The resin composition containing the silica particle material of the present embodiment as a filler is excellent in adhesion to a member made of a metal material. The metal material may contain an ordinary metal, for example, pure copper, pure gold, or pure silver, or a metal element such as copper, gold, or silver in an amount of 50% by mass or more based on the total mass. When wiring is provided on a substrate, it is often used in the form of a thin film. Adhesion is measured by measuring peel strength. The peel strength is measured by a method based on JIS K 6854-1 (adhesive-peeling peel strength test method-Part 1: 90 degree peel) described below. The measuring device is a universal material testing machine Model 5582, the test temperature is 23 ° C., the test speed is 50 mm / min, and the peeling width is 10 mm.

以下、本発明のシリカ粒子材料および本発明のシリカ粒子の表面処理方法を具体的に説明する。   Hereinafter, the silica particle material of the present invention and the surface treatment method of the silica particle of the present invention will be specifically described.

(試験1:製造条件の検討)
・実施例1
(1)準備工程
シリカ粒子としてのコロイダルシリカ(Si−80P:日揮触媒化成株式会社製、平均粒子径80nm、固形分濃度40%)を固形分濃度が20%になるようイオン交換水で希釈したスラリーを調製した。
(Test 1: Examination of manufacturing conditions)
Example 1
(1) Preparatory process Colloidal silica (Si-80P: JGC Catalysts & Chemicals Co., Ltd., average particle diameter 80 nm, solid content concentration 40%) as silica particles was diluted with ion-exchanged water so that the solid content concentration was 20%. A slurry was prepared.

(2)第1工程
シリカ粒子が20質量%の濃度で水に分散したスラリー100質量部にイソプロパノール40質量部、12N塩酸0.3質量部を加え混合して分散液とした。この分散液にN−フェニル−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量部を加え40℃で72時間混合した(混合液)。この工程により、シリカ粒子の表面に存在する水酸基をシランカップリング剤で表面処理した。なお、このときN−フェニル−アミノプロピルトリメトキシシランは必要な量の水酸基(一部)が表面処理されずに残存するように計算して加えた。
(2) First Step 40 parts by mass of isopropanol and 0.3 part by mass of 12N hydrochloric acid were added to 100 parts by mass of slurry in which silica particles were dispersed in water at a concentration of 20% by mass to obtain a dispersion. To this dispersion, 0.3 part by mass of N-phenyl-aminopropyltrimethoxysilane was added and mixed at 40 ° C. for 72 hours (mixed solution). By this step, the hydroxyl group present on the surface of the silica particles was surface treated with a silane coupling agent. At this time, N-phenyl-aminopropyltrimethoxysilane was calculated and added so that a necessary amount of hydroxyl groups (partially) remained without being surface-treated.

(3)第2工程
次いで、混合液にヘキサメチルジシラザン0.5質量部を加えた。塩化合物溶液として5質量%炭酸アンモニウム水溶液を6質量部加え40℃で72時間放置した。表面処理の進行に伴い、疎水性になったシリカ粒子が水、及びイソパノール中で安定に存在できなくなり凝集・沈殿した。なお、N−フェニル−アミノプロピルトリメトキシシランとヘキサメチルジシラザンとのモル比は2:5だった。
(3) Second Step Next, 0.5 part by mass of hexamethyldisilazane was added to the mixed solution. As a salt compound solution, 6 parts by mass of a 5% by mass aqueous ammonium carbonate solution was added and left at 40 ° C. for 72 hours. As the surface treatment progressed, the silica particles that became hydrophobic became unable to exist stably in water and isopropanol, and agglomerated and precipitated. The molar ratio of N-phenyl-aminopropyltrimethoxysilane to hexamethyldisilazane was 2: 5.

(4)固形化工程
表面処理の工程(第1及び第2工程)で得られた混合物全量をろ紙(アドバンテック製
5A)でろ別した。濾過残渣(固形分)を純水で洗浄したのちに105℃で乾燥して、シリカ粒子固形分が得られた。得られたシリカ粒子固形分(シリカ粒子材料に相当、以下同じ)を本実施例の試験試料とした。
(4) Solidification step The total amount of the mixture obtained in the surface treatment step (first and second steps) was filtered off with a filter paper (5A manufactured by Advantech). The filtration residue (solid content) was washed with pure water and then dried at 105 ° C. to obtain a silica particle solid content. The obtained silica particle solid content (corresponding to the silica particle material, the same applies hereinafter) was used as a test sample of this example.

・実施例2
第2工程で塩化合物溶液を5質量%塩化アンモニウム水溶液に変更したこと以外は実施例1と同様の方法にて本実施例の試験試料を得た。
Example 2
A test sample of this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the salt compound solution was changed to a 5% by mass ammonium chloride aqueous solution in the second step.

・実施例3
第2工程で塩化合物溶液を5質量%炭酸水素ナトリウム水溶液に変更したこと以外は実施例1と同様の方法にて本実施例の試験試料を得た。
Example 3
A test sample of this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the salt compound solution was changed to a 5 mass% sodium hydrogen carbonate aqueous solution in the second step.

・実施例4
第2工程で塩化合物溶液を5質量%炭酸カリウム水溶液に変更したこと以外は実施例1と同様の方法にて本実施例の試験試料を得た。
Example 4
A test sample of this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the salt compound solution was changed to a 5 mass% potassium carbonate aqueous solution in the second step.

・実施例5
第2工程で塩化合物溶液に変えて、12N塩酸水溶液0.2質量部、28%アンモニア水溶液0.1質量部を加えて、反応系内で塩酸アンモニウム塩とした以外は実施例1と同様の方法にて本実施例の試験試料を得た。
Example 5
In the second step, instead of the salt compound solution, 0.2 parts by mass of 12N hydrochloric acid aqueous solution and 0.1 parts by mass of 28% ammonia aqueous solution were added to make ammonium chloride salt in the reaction system. A test sample of this example was obtained by the method.

・実施例6
(1)準備工程シリカ粒子として、コロイダルシリカ(スノーテックスOL:日産化学工業株式会社製、平均粒子径50nm、固形分濃度20%)を準備した。
Example 6
(1) Preparation Step Colloidal silica (Snowtex OL: manufactured by Nissan Chemical Industries, average particle size 50 nm, solid content concentration 20%) was prepared as silica particles.

(2)第1工程
シリカ粒子が20質量%の濃度で水に分散したスラリー100質量部にイソプロパノール40質量部、28質量%アンモニア水2質量部を加え混合した。この分散液にN−フェニル−アミノプロピルトリメトキシシラン0.5質量部を加え40℃で72時間混合した。
(2) First Step 40 parts by mass of isopropanol and 2 parts by mass of 28% by mass of ammonia water were added to and mixed with 100 parts by mass of slurry in which silica particles were dispersed in water at a concentration of 20% by mass. 0.5 parts by mass of N-phenyl-aminopropyltrimethoxysilane was added to this dispersion and mixed at 40 ° C. for 72 hours.

(3)第2工程
次いで、イオン交換水を180質量部、ヘキサメチルジシラザン0.8質量部を加えた。塩化合物水溶液として5質量%炭酸アンモニウム水溶液を6質量部加え40℃で72時間放置した。表面処理の進行に伴い、疎水性になったシリカ粒子が水、及びイソパノール中で安定に存在できなくなり凝集・沈殿した。なお、N−フェニル−アミノプロピルトリメトキシシランとヘキサメチルジシラザンとのモル比は2:5だった。
(3) Second Step Subsequently, 180 parts by mass of ion-exchanged water and 0.8 parts by mass of hexamethyldisilazane were added. 6 parts by mass of a 5% by mass ammonium carbonate aqueous solution was added as a salt compound aqueous solution, and the mixture was allowed to stand at 40 ° C. for 72 hours. As the surface treatment progressed, the silica particles that became hydrophobic became unable to exist stably in water and isopropanol, and agglomerated and precipitated. The molar ratio of N-phenyl-aminopropyltrimethoxysilane to hexamethyldisilazane was 2: 5.

(4)固形化工程
表面処理の工程で得られた混合物全量をろ紙(アドバンテック製 5A)でろ別した。濾過残渣(固形分)を純水で洗浄したのちに105℃で乾燥して、得られたシリカ粒子固形分を本実施例の試験試料とした。
(4) Solidification step The total amount of the mixture obtained in the surface treatment step was filtered off with a filter paper (5A manufactured by Advantech). The filtration residue (solid content) was washed with pure water and then dried at 105 ° C., and the obtained silica particle solid content was used as a test sample of this example.

・実施例7
(1)準備工程シリカ粒子として、コロイダルシリカ(スノーテックスOS:日産化学工業株式会社製、平均粒子径10nm、固形分濃度20%)を準備した。
-Example 7
(1) Preparation Step Colloidal silica (Snowtex OS: manufactured by Nissan Chemical Industries, average particle size 10 nm, solid content concentration 20%) was prepared as silica particles.

(2)第1工程
シリカ粒子が20質量%の濃度で水に分散したスラリー100質量部にイソプロパノール40質量部、28質量%アンモニア水2質量部を加え混合した。この分散液にN−フェニル−アミノプロピルトリメトキシシラン3質量部を加え40℃で72時間混合した。
(2) First Step 40 parts by mass of isopropanol and 2 parts by mass of 28% by mass of ammonia water were added to and mixed with 100 parts by mass of slurry in which silica particles were dispersed in water at a concentration of 20% by mass. 3 parts by mass of N-phenyl-aminopropyltrimethoxysilane was added to this dispersion and mixed at 40 ° C. for 72 hours.

(3)第2工程
次いで、イオン交換水を180質量部、ヘキサメチルジシラザン4質量部を加えた。塩化合物溶液として5質量%炭酸アンモニウム水溶液6質量部加え40℃で72時間放置した。表面処理の進行に伴い、疎水性になったシリカ粒子が水、及びイソパノール中で安定に存在できなくなり凝集・沈殿した。なお、N−フェニル−アミノプロピルトリメトキシシランとヘキサメチルジシラザンとのモル比は2:5だった。
(3) Second Step Subsequently, 180 parts by mass of ion-exchanged water and 4 parts by mass of hexamethyldisilazane were added. As a salt compound solution, 6 parts by mass of a 5% by mass aqueous ammonium carbonate solution was added and the mixture was allowed to stand at 40 ° C. for 72 hours. As the surface treatment progressed, the silica particles that became hydrophobic became unable to exist stably in water and isopropanol, and agglomerated and precipitated. The molar ratio of N-phenyl-aminopropyltrimethoxysilane to hexamethyldisilazane was 2: 5.

(4)固形化工程
表面処理の工程で得られた混合物全量をろ紙(アドバンテック製 5A)でろ別した。濾過残渣(固形分)を純水で洗浄したのちに105℃で乾燥して、得られたシリカ粒子固形分を本実施例の試験試料とした。
(4) Solidification step The total amount of the mixture obtained in the surface treatment step was filtered off with a filter paper (5A manufactured by Advantech). The filtration residue (solid content) was washed with pure water and then dried at 105 ° C., and the obtained silica particle solid content was used as a test sample of this example.

・実施例8
第2工程で塩化合物溶液を5質量%トリエチルアミン塩酸水溶液5質量部に変更したこと以外は実施例1と同様の方法にて本実施例の試験試料を得た。
Example 8
A test sample of this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the salt compound solution was changed to 5 parts by mass of a 5% by mass triethylamine hydrochloric acid aqueous solution in the second step.

・実施例9
第2工程で塩化合物溶液を5質量%ピリジン塩酸水溶液5質量部に変更したこと以外は実施例1と同様の方法にて本実施例の試験試料を得た。
Example 9
A test sample of this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the salt compound solution was changed to 5 parts by mass of a 5% by mass pyridine hydrochloric acid aqueous solution in the second step.

・実施例10
第2工程で塩化合物溶液を5質量%酢酸アンモニウム塩酸水溶液5質量部に変更したこと以外は実施例1と同様の方法にて本実施例の試験試料を得た。
Example 10
A test sample of this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the salt compound solution was changed to 5 parts by mass of a 5% by mass ammonium acetate hydrochloric acid aqueous solution in the second step.

・比較例1
第2工程で塩化合物溶液を添加せず代わりに塩化合物ではない35%塩酸水溶液を5質量部加えた以外は実施例1と同様の方法にて処理を行った。第2工程で凝集沈殿が生じなかったため固形化工程でろ別出来ず、固形物は得られなかった。
Comparative example 1
The treatment was performed in the same manner as in Example 1 except that the salt compound solution was not added in the second step and 5 parts by mass of 35% hydrochloric acid aqueous solution that was not a salt compound was added instead. Since no aggregation precipitation occurred in the second step, it could not be filtered out in the solidification step, and no solid matter was obtained.

・比較例2
第2工程でヘキサメチルジシラザンを添加しない以外は実施例1と同様の方法にて処理を行った。第2工程で凝集沈殿が生じなかったため固形化工程でろ別出来ず、固形物は得られなかった。
Comparative example 2
The treatment was performed in the same manner as in Example 1 except that hexamethyldisilazane was not added in the second step. Since no aggregation precipitation occurred in the second step, it could not be filtered out in the solidification step, and no solid matter was obtained.

・比較例3
第1工程で各試薬を配合後、40℃で72時間混合(シランカップリング剤の反応を完了させなかった)せず、すぐに第2工程を実施した以外は同様の方法にて処理を行った。第2工程で凝集沈殿が生じなかったため固形化工程でろ別出来ず、固形物は得られなかった。
Comparative example 3
After mixing each reagent in the first step, it was processed in the same way except that the second step was performed immediately without mixing at 40 ° C. for 72 hours (the reaction of the silane coupling agent was not completed). It was. Since no aggregation precipitation occurred in the second step, it could not be filtered out in the solidification step, and no solid matter was obtained.

・比較例4
第2工程で塩化合物溶液を添加せず代わりにノニオン性高分子凝集剤SS−200(ハイモ株式会社製)の0.1%水溶液を5質量部加えた以外は実施例1と同様の方法にて処理を行った。得られたシリカ粒子固形分を本比較例の試験試料とした。
Comparative example 4
Instead of adding a salt compound solution in the second step, instead of adding 5 parts by mass of a 0.1% aqueous solution of nonionic polymer flocculant SS-200 (manufactured by Hymo Co., Ltd.), the same method as in Example 1 was used. Was processed. The obtained silica particle solid content was used as a test sample of this comparative example.

(凝集性評価試験)
実施例1−10、比較例4の試験試料について、液状媒体中における凝集性を評価した。
(Cohesiveness evaluation test)
The test samples of Example 1-10 and Comparative Example 4 were evaluated for aggregability in a liquid medium.

実施例1−10のシリカ粒子材料10gとメチルエチルケトンを15gとの混合物を撹拌し各シリカ材料分散液を得た。比較例4は同様の操作を行ったが、分散せず凝集沈殿したままだった。得られた各分散試料に含まれるシリカ粒子材料の粒度分布を、粒度分布測定装置(日機装株式会社製 マイクロトラック)により測定した。凝集性評価試験の結果を表1に、粒度分布を図1(実施例1)、図2(実施例6)、図3(実施例7)に示す。   A mixture of 10 g of the silica particle material of Example 1-10 and 15 g of methyl ethyl ketone was stirred to obtain each silica material dispersion. In Comparative Example 4, the same operation was performed, but the particles did not disperse and remained coagulated. The particle size distribution of the silica particle material contained in each of the obtained dispersion samples was measured using a particle size distribution measuring device (Microtrack manufactured by Nikkiso Co., Ltd.). The results of the cohesiveness evaluation test are shown in Table 1, and the particle size distribution is shown in FIG. 1 (Example 1), FIG. 2 (Example 6), and FIG. 3 (Example 7).

Figure 2016216348
Figure 2016216348

表1及び図1−3に示すように実施例の試験試料では凝集の無い一次粒子の状態で分散していることが分かった。図1〜3より明らかなように、それぞれ用いたコロイダルシリカの粒径に対応した粒径付近においてシャープな粒度分布を示し、一次粒子にまで分散されていることが分かった。   As shown in Table 1 and FIGS. 1-3, it was found that the test samples of the examples were dispersed in the state of primary particles without aggregation. As is clear from FIGS. 1 to 3, it was found that a sharp particle size distribution was shown in the vicinity of the particle size corresponding to the particle size of the colloidal silica used, and the particles were dispersed to primary particles.

従って、塩化合物を添加することによりシリカ粒子材料が一次粒子にまで分離可能な状態で分離することができた。   Therefore, by adding the salt compound, the silica particle material could be separated in a state where it could be separated into primary particles.

(表面の官能基の評価)
実施例1、6及び7の試験試料についてFT−IRにて表面に存在する官能基を評価した。具体的には実施例1、6、7の試験試料(シリカ粒子材料)を準備し、この試料の赤外線吸収スペクトルをFT−IR(サーモニコレット社製、FT−IR Avator)を用いた粉体拡散反射法で測定した。測定条件は分解能4、スキャン回数64で行った。極大吸収測定試験の結果を表すグラフを図4(実施例1)、図5(実施例6)、図6(実施例7)に示す。何れも3058cm−1、3027cm−1に芳香環のC−H伸縮振動、3413cm−1にアミノ基のN−H伸縮振動にそれぞれ相当するピークが観測された。このため、実施例1、6及び7の試験試料は表面にフェニルアミノ基が導入されていることが分かった。
(Evaluation of functional groups on the surface)
The functional groups present on the surface of the test samples of Examples 1, 6 and 7 were evaluated by FT-IR. Specifically, test samples (silica particle materials) of Examples 1, 6, and 7 were prepared, and the infrared diffusion spectrum of this sample was powder diffusion using FT-IR (manufactured by Thermo Nicolet, FT-IR Avatar). Measured by reflection method. The measurement conditions were a resolution of 4 and a scan count of 64. Graphs representing the results of the maximum absorption measurement test are shown in FIG. 4 (Example 1), FIG. 5 (Example 6), and FIG. 6 (Example 7). Both 3058cm -1, C-H stretching vibration of aromatic ring 3027cm -1, a peak corresponding respectively to the N-H stretching vibration of an amino group to 3413cm -1 were observed. For this reason, it turned out that the phenylamino group was introduce | transduced into the test sample of Example 1, 6, and 7 on the surface.

(試験2:ピール強度の評価)
・実施例A−1
(ワニス作成)
実施例の1と同様の方法で体積平均粒径が50nmの試験試料(以下、「試験試料A−1」と称する。表面にN−フェニル−アミノプロピル基を導入したもの)を得た。この試験試料150質量部をエチルメチルケトン(MEK)150質量部に湿式混合し、分散液300質量部を得た。この分散液300質量部にMEK150質量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学株式会社製:YDCN−704)100質量部、フェノールノボラック型樹脂(群栄化学工業株式会社製:PSM−4261)50質量部、イミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業株式会社製:キュアゾール2E4MZ)0.1質量部を加え混合し本実施例の試験試料としてのワニス600質量部を得た。
(Test 2: Evaluation of peel strength)
Example A-1
(Create varnish)
A test sample having a volume average particle size of 50 nm (hereinafter referred to as “test sample A-1”, having an N-phenyl-aminopropyl group introduced on the surface) was obtained in the same manner as in Example 1. 150 parts by mass of this test sample was wet mixed with 150 parts by mass of ethyl methyl ketone (MEK) to obtain 300 parts by mass of a dispersion. In 300 parts by mass of this dispersion, 150 parts by mass of MEK, 100 parts by mass of cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd .: YDCN-704), 50 parts of phenol novolac type resin (manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd .: PSM-4261) 50 0.1 part by mass of an imidazole-based curing accelerator (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd .: Curesol 2E4MZ) was added and mixed to obtain 600 parts by mass of a varnish as a test sample of this example.

(ピール強度測定用サンプル試作)
得られたワニスをガラスクロスに含浸させ、自然乾燥したのち、130℃の熱風循環オーブンで10分間、さらに150℃で3分加熱し半硬化させたプリプレグを得た。このプリプレグを8枚重ね合わせて、さらにそれらを銅箔二枚で挟み真空プレスを下記条件で実施した。
(Prototype sample for peel strength measurement)
The obtained varnish was impregnated into a glass cloth, air dried, and then heated in a hot air circulating oven at 130 ° C. for 10 minutes and further at 150 ° C. for 3 minutes to obtain a semi-cured prepreg. Eight of these prepregs were superposed and further sandwiched between two copper foils, and a vacuum press was performed under the following conditions.

プレス装置(真空プレスIMC−1AEA型)を用い、成形圧力は約2MPa、成形温度は50℃から170℃に昇温速度5℃/分で昇温し、昇温後に170℃、20分保持した。   Using a press apparatus (vacuum press IMC-1AEA type), the molding pressure was about 2 MPa, the molding temperature was raised from 50 ° C. to 170 ° C. at a rate of temperature rise of 5 ° C./min. .

さらに、これを熱風循環オーブンで170℃、5時間ポストキュアした。得られた銅張積層版は10mm幅の銅箔を残してエッチング(塩化第二鉄溶液を使用)した。   Further, this was post-cured in a hot air circulating oven at 170 ° C. for 5 hours. The obtained copper-clad laminate was etched (using a ferric chloride solution) leaving a 10 mm wide copper foil.

(ピール強度測定)
この樹脂付銅箔を90°引きはがし強さを下記条件で、JIS K 6854−1に準拠したピール強度測定した結果、1.3kN/mだった。
測定装置として万能材料試験機5582型を用い、試験温度が23℃、試験速度が50mm/分、引きはがし幅が10mmで測定を行った。結果を表2に示す。
(Peel strength measurement)
The peel strength of this resin-attached copper foil was peeled by 90 ° under the following conditions, and the peel strength was measured according to JIS K 6854-1. As a result, it was 1.3 kN / m.
A universal material testing machine 5582 type was used as a measuring device, and the measurement was performed at a test temperature of 23 ° C., a test speed of 50 mm / min, and a peeling width of 10 mm. The results are shown in Table 2.

・比較例A−1
試験試料A−1の試験試料を添加しない以外は実施例A−1と同様にして本比較例の試験試料(ワニス)を調製し、ピール強度を測定した。
・比較例A−2
試験試料A−1に代えて表面にフェニル基を導入したシリカ(アドマテックス製:YA050C−SP3)を用いた以外は実施例A−1と同様にして本比較例の試験試料(ワニス)を調製し、ピール強度を測定した。
Comparative Example A-1
A test sample (varnish) of this comparative example was prepared in the same manner as in Example A-1 except that the test sample of test sample A-1 was not added, and the peel strength was measured.
Comparative Example A-2
A test sample (varnish) of this comparative example was prepared in the same manner as in Example A-1, except that silica having a phenyl group introduced on the surface (Admatex: YA050C-SP3) was used instead of test sample A-1. The peel strength was measured.

・比較例A−3
試験試料A−1に代えて表面にビニル基を導入したシリカ(アドマテックス製:YA050C−SV1)を用いた以外は実施例A−1と同様にして本比較例の試験試料(ワニス)を調製し、ピール強度を測定した。
・比較例A−4
試験試料A−1に代えて表面にメタクリル基を導入したシリカ(アドマテックス製:YA050C−SM1)を用いた以外は実施例A−1と同様にして本比較例の試験試料(ワニス)を調製し、ピール強度を測定した。
Comparative Example A-3
A test sample (varnish) of this comparative example was prepared in the same manner as in Example A-1, except that silica having a vinyl group introduced on the surface (Admatex: YA050C-SV1) was used instead of test sample A-1. The peel strength was measured.
Comparative Example A-4
A test sample (varnish) of this comparative example was prepared in the same manner as in Example A-1, except that silica having a methacryl group introduced on the surface (Admatex: YA050C-SM1) was used instead of test sample A-1. The peel strength was measured.

Figure 2016216348
Figure 2016216348

表より明らかなように、N−フェニル−アミノプロピル基を表面に導入したシリカを用いた実施例の試験試料では比較例A−2〜A−4と比べてピール強度が高くなることが分かった。
最もピール強度が高いのはシリカを入れていない比較例A−1の試験試料であるがそのピール強度の値を基準として実施例の試験試料では0.81と高い値を示すことが分かった。シリカ表面のフェニルアミノ基がエポキシ樹脂のグリジシル基と反応することにより、シリカの樹脂への相溶性が向上していると考えられる。
As is clear from the table, it was found that the peel strength of the test sample of the example using silica with N-phenyl-aminopropyl group introduced on the surface was higher than that of Comparative Examples A-2 to A-4. .
The test sample of Comparative Example A-1 without silica was the highest in peel strength, but it was found that the test sample of the example showed a high value of 0.81 based on the peel strength value. It is considered that the compatibility of silica with the resin is improved by the reaction of the phenylamino group on the silica surface with the glycidyl group of the epoxy resin.

Claims (13)

式(1):−OSiXで表される官能基と、式(2):−OSiYで表される官能基とがシリカ粒子の表面に結合しており、乾燥状態を経ても一次粒子にまで分離しているシリカ粒子材料。(上記式(1)、(2)中;XはN−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5)であり;X、Xは−OSiR及び−OSiYよりそれぞれ独立して選択され;YはRであり;Y、YはR及び−OSiYよりそれぞれ独立して選択される。YはRであり;Y及びYは、R及び−OSiRからそれぞれ独立して選択され;Rは炭素数1〜3のアルキル基から独立して選択される。なお、X、X、Y、Y、Y、及びYの何れかは、隣接する官能基のX、X、Y、Y、Y、及びYの何れかと−O−にて結合しても良い。) The functional group represented by the formula (1): -OSiX 1 X 2 X 3 and the functional group represented by the formula (2): -OSiY 1 Y 2 Y 3 are bonded to the surface of the silica particles, Silica particle material that is separated into primary particles even after being dried. (In the above formulas (1) and (2); X 1 is an N-phenyl-aminoalkyl group (the alkyl group has 2 to 5 carbon atoms); X 2 and X 3 are —OSiR 3 and —OSiY 4 Y) from 5 Y 6 are each independently selected; Y 1 is an R; Y 2, Y 3 is .Y 4 is selected independently from R and -OSiY 4 Y 5 Y 6 is an R; Y 5 and Y 6 are each independently selected from R and —OSiR 3 ; R is independently selected from an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, wherein X 2 , X 3 , Y 2 , Y 3 , Y 5 , and Y 6 may be bonded to any one of the adjacent functional groups X 2 , X 3 , Y 2 , Y 3 , Y 5 , and Y 6 via —O—. 前記式(1)で表される官能基と前記式(2)で表される官能基との存在数比が1:12〜1:60である請求項1に記載のシリカ粒子材料。   2. The silica particle material according to claim 1, wherein the abundance ratio between the functional group represented by the formula (1) and the functional group represented by the formula (2) is 1:12 to 1:60. 前記Xは前記シリカ粒子材料の単位表面積(nm)あたり0.5〜2.5個である請求項1に記載のシリカ粒子材料。 2. The silica particle material according to claim 1, wherein X 1 is 0.5 to 2.5 per unit surface area (nm 2 ) of the silica particle material. 前記Rは前記シリカ粒子材料の単位表面積(nm)あたり0.5〜10個である請求項1〜請求項3の何れか一つに記載のシリカ粒子材料。 Wherein R is silica particulate material according to any one of claims 1 to 3 wherein the unit surface area of the silica particles material (nm 2) from 0.5 to 10 per. 平均粒子径が3〜200nmである請求項1〜請求項4の何れか一つに記載のシリカ粒子材料。   The silica particle material according to any one of claims 1 to 4, wherein the average particle diameter is 3 to 200 nm. 水を含む液状媒体中でN−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5)がケイ素原子に結合したシランカップリング剤およびオルガノシラザンによってシリカ粒子を表面処理する表面処理工程を持ち、
該シランカップリング剤と該オルガノシラザンとのモル比は、該シランカップリング剤:該オルガノシラザン=1:2〜1:10であり、
前記表面処理工程後に、塩化合物を添加して行う塩析により前記シリカ粒子を沈殿させ、沈殿物を水で洗浄・乾燥して、シリカ粒子材料の固形物を得る固形化工程を備えるシリカ粒子の表面処理方法。
It has a surface treatment process for surface-treating silica particles with a silane coupling agent in which an N-phenyl-aminoalkyl group (alkyl group has 2 to 5 carbon atoms) is bonded to a silicon atom and organosilazane in a liquid medium containing water. ,
The molar ratio of the silane coupling agent to the organosilazane is the silane coupling agent: the organosilazane = 1: 2 to 1:10,
After the surface treatment step, the silica particles are precipitated by salting out by adding a salt compound, and a solidification step of obtaining a solid of silica particle material by washing and drying the precipitate with water. Surface treatment method.
前記塩化合物は無機塩化合物である請求項6に記載のシリカ粒子の表面処理方法。   The surface treatment method for silica particles according to claim 6, wherein the salt compound is an inorganic salt compound. 前記塩化合物は塩化アンモニウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、硫酸アンモニウム、塩化ナトリウム、硝酸ナトリウム、硫酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、リン酸ナトリウム、塩化カリウム、硝酸カリウム、炭酸カリウム、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、酢酸アンモニウム、プロピオン酸ナトリウム、安息香酸ナトリウム、マレイン酸ナトリウム、アジピン酸ナトリウム、クエン酸ナトリウム、ピリジン塩酸塩、トリエチルアミン塩酸塩、塩化テトラメチルアンモニウム、及び、ドデシル硫酸ナトリウムからなる群より選択される1以上の物質である請求項6に記載のシリカ粒子の表面処理方法。   The salt compounds are ammonium chloride, ammonium carbonate, ammonium bicarbonate, ammonium sulfate, sodium chloride, sodium nitrate, sodium sulfate, sodium carbonate, sodium phosphate, potassium chloride, potassium nitrate, potassium carbonate, sodium acetate, potassium acetate, ammonium acetate, propion. One or more substances selected from the group consisting of sodium acid, sodium benzoate, sodium maleate, sodium adipate, sodium citrate, pyridine hydrochloride, triethylamine hydrochloride, tetramethylammonium chloride, and sodium dodecyl sulfate The method for surface treatment of silica particles according to claim 6. 前記表面処理工程は、
前記シリカ粒子を前記シランカップリング剤で処理する第1の処理工程と、
前記シリカ粒子を前記オルガノシラザンで処理する第2の処理工程と、を持ち、
該第2の処理工程は、該第1の処理工程後に行う請求項6〜8のうちの何れか1項に記載のシリカ粒子の表面処理方法。
The surface treatment step includes
A first treatment step of treating the silica particles with the silane coupling agent;
A second treatment step of treating the silica particles with the organosilazane,
The method for treating a surface of silica particles according to any one of claims 6 to 8, wherein the second treatment step is performed after the first treatment step.
前記第2の処理工程において、3つのアルコキシ基と炭素数1〜3のアルキル基とを持つ第2のシランカップリング剤で前記オルガノシラザンの一部を置き換え、
前記第2の処理工程後に、さらに前記シリカ粒子を前記オルガノシラザンで処理する第3の処理工程を持つ請求項9に記載のシリカ粒子の表面処理方法。
In the second treatment step, a part of the organosilazane is replaced with a second silane coupling agent having three alkoxy groups and an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms,
The method for treating a surface of silica particles according to claim 9, further comprising a third treatment step of treating the silica particles with the organosilazane after the second treatment step.
前記オルガノシラザンは、テトラメチルジシラザン、ヘキサメチルジシラザン、ペンタメチルジシラザンから選ばれる少なくとも一種である請求項6〜10の何れか1項に記載のシリカ粒子の表面処理方法。   The surface treatment method for silica particles according to any one of claims 6 to 10, wherein the organosilazane is at least one selected from tetramethyldisilazane, hexamethyldisilazane, and pentamethyldisilazane. 粒子径3〜200nmでありシリカを主成分とする粒子材料と、その表面に導入されたN−フェニル−アミノアルキル基(アルキル基は炭素数が2〜5)からなる官能基とをもつシリカ粒子材料であって、
樹脂材料中に分散して樹脂組成物として金属材料からなる部材に接した状態で硬化した後の密着性に優れる、
前記樹脂材料中に分散させてフィラーとして用いるシリカ粒子材料。
Silica particles having a particle diameter of 3 to 200 nm and having a particle material mainly composed of silica and a functional group composed of an N-phenyl-aminoalkyl group (the alkyl group has 2 to 5 carbon atoms) introduced on the surface thereof Material,
Excellent adhesion after cured in a state where it is dispersed in a resin material and in contact with a member made of a metal material as a resin composition,
A silica particle material used as a filler dispersed in the resin material.
前記樹脂組成物の硬化物とその表面に密着させた前記部材との間のピール強度をA、前記樹脂材料のみの硬化物とその表面に密着させた前記部材との間のピール強度をBとしたときに、A÷Bが0.6以上である請求項12に記載のシリカ粒子材料。
The peel strength between the cured product of the resin composition and the member adhered to the surface thereof is A, and the peel strength between the cured material of the resin material only and the member adhered to the surface is B. The silica particle material according to claim 12, wherein A ÷ B is 0.6 or more.
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