JP2016216277A - Method for producing carbon nanostructure - Google Patents

Method for producing carbon nanostructure Download PDF

Info

Publication number
JP2016216277A
JP2016216277A JP2015100262A JP2015100262A JP2016216277A JP 2016216277 A JP2016216277 A JP 2016216277A JP 2015100262 A JP2015100262 A JP 2015100262A JP 2015100262 A JP2015100262 A JP 2015100262A JP 2016216277 A JP2016216277 A JP 2016216277A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carbon
base material
carbon nanostructure
laser
heating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015100262A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6435986B2 (en
Inventor
日方 威
Takeshi Hikata
威 日方
大久保 総一郎
Soichiro Okubo
総一郎 大久保
龍資 中井
Ryusuke Nakai
龍資 中井
大輔 谷岡
Daisuke Tanioka
大輔 谷岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP2015100262A priority Critical patent/JP6435986B2/en
Publication of JP2016216277A publication Critical patent/JP2016216277A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6435986B2 publication Critical patent/JP6435986B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a carbon nanostructure capable of efficiently producing a carbon nanostructure while suppressing the melting of a catalyst.SOLUTION: There is provided a method for producing a carbon nanostructure, comprising: a step where a base material essentially consisting of a metal oxide is prepared, the metal oxide capable of forming a solid solution with carbon; and a step where a carbon-containing gas is fed while heating the base material. In the feed step, a laser is used as a heating source, and the output of the laser is controlled to be low at the initial stage of the heating than the stationary state. In the feed step, it is preferable that the output of the laser is increased at any timing from the start to the completion of the reduction reaction for the oxide. In the feed step, a tension of performing partition to the base material is preferably applied. The metal is preferably made of iron, nickel or cobalt. It is preferably that the maximum temperature of the base material in the feed step is 1,200°C or lower.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、カーボンナノ構造体の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a carbon nanostructure.

炭素原子がナノメートルレベル間隔で並列した線状のカーボンナノチューブやシート状のグラフェンといったカーボンナノ構造体が従来知られている。このようなカーボンナノ構造体は、例えば鉄などの微細触媒を加熱しつつ、炭素を含む原料ガスを供給することで触媒からカーボンナノ構造体を成長させる方法により得られる(例えば特開2005−330175号公報参照)。   Conventionally, carbon nanostructures such as linear carbon nanotubes and sheet-like graphene in which carbon atoms are arranged in parallel at nanometer level intervals are known. Such a carbon nanostructure is obtained by a method of growing a carbon nanostructure from a catalyst by supplying a raw material gas containing carbon while heating a fine catalyst such as iron (for example, JP 2005-330175 A). No. publication).

上記従来の製造方法は、カーボンナノ構造体を構成するカーボンナノフィラメントの触媒からの成長方向の制御が難しく、成長したカーボンナノフィラメントに曲がりが発生し易い。このように曲りが発生すると、カーボンナノフィラメントに例えば五員環や七員環などの構造的な欠陥が生じ、抵抗等が局所的に増加する。また、複数のカーボンナノフィラメントを高密度で束ねることが困難となる。   In the above conventional manufacturing method, it is difficult to control the growth direction of the carbon nanofilament constituting the carbon nanostructure from the catalyst, and the grown carbon nanofilament is likely to be bent. When bending occurs in this way, structural defects such as a five-membered ring and a seven-membered ring occur in the carbon nanofilament, and resistance and the like increase locally. In addition, it is difficult to bundle a plurality of carbon nanofilaments at high density.

そこで、触媒を酸化し、この酸化した触媒を浸炭熱処理しながら分断することで、この分断面間にカーボンナノフィラメントを成長させる方法が提案されている(特開2013−237572号公報参照)。   Therefore, a method has been proposed in which a carbon nanofilament is grown between the cross sections by oxidizing the catalyst and dividing the oxidized catalyst while carburizing heat treatment (see JP 2013-237572 A).

特開2005−330175号公報JP-A-2005-330175 特開2013−237572号公報JP2013-237572A

上述の酸化触媒の分断面にカーボンナノフィラメントを成長させる方法では、酸化した触媒の分断面を一定出力のレーザー照射により一定温度に加熱することで浸炭熱処理を行う。しかしながら、浸炭熱処理の初期に起きる酸化触媒から酸素が抜ける還元反応は発熱反応であるため、この発熱により触媒が過加熱されて溶融し、カーボンナノ構造体が得られない場合がある。   In the above-described method for growing carbon nanofilaments on the oxidation catalyst, a carburizing heat treatment is performed by heating the oxidized catalyst to a constant temperature by laser irradiation with a constant output. However, since the reduction reaction in which oxygen is released from the oxidation catalyst that occurs in the early stage of the carburizing heat treatment is an exothermic reaction, this exothermic heat causes the catalyst to be overheated and melted, and a carbon nanostructure may not be obtained.

本発明は、上述のような事情に基づいてなされたものであり、触媒の溶融を抑えつつ、効率よくカーボンナノ構造体を製造できるカーボンナノ構造体の製造方法の提供を目的とする。   This invention is made | formed based on the above situations, and it aims at provision of the manufacturing method of the carbon nanostructure which can manufacture a carbon nanostructure efficiently, suppressing melting | dissolving of a catalyst.

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係るカーボンナノ構造体の製造方法は、炭素と固溶体を形成可能な金属の酸化物を主成分とする基材を用意する工程と、上記基材を加熱しつつ炭素含有ガスを供給する工程とを備えるカーボンナノ構造体の製造方法であって、上記供給工程で、加熱源としてレーザーを用い、このレーザーの出力を定常状態より加熱初期に小さく制御する。   A method for producing a carbon nanostructure according to one embodiment of the present invention, which has been made to solve the above problems, includes a step of preparing a base material mainly composed of an oxide of a metal capable of forming a solid solution with carbon, A method for producing a carbon nanostructure comprising a step of supplying a carbon-containing gas while heating a substrate, wherein a laser is used as a heating source in the supplying step, and the output of the laser is changed from a steady state to an initial stage of heating. Control small.

本発明の一態様に係るカーボンナノ構造体の製造方法は、触媒の溶融を抑えつつ、効率よくカーボンナノ構造体を製造できる。   The method for producing a carbon nanostructure according to one embodiment of the present invention can efficiently produce a carbon nanostructure while suppressing melting of the catalyst.

本発明の一実施形態のカーボンナノ構造体の製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the carbon nanostructure of one Embodiment of this invention. 図1のカーボンナノ構造体の製造方法で用いるカーボンナノ構造体の製造装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the manufacturing apparatus of the carbon nanostructure used with the manufacturing method of the carbon nanostructure of FIG. 図1のカーボンナノ構造体の製造方法の供給工程のレーザーの出力制御の概略を示すグラフである。It is a graph which shows the outline of the laser output control of the supply process of the manufacturing method of the carbon nanostructure of FIG. 実施例における金属触媒の温度の時間変化を示すグラフである。It is a graph which shows the time change of the temperature of the metal catalyst in an Example.

[本発明の実施形態の説明]
本発明の一態様に係るカーボンナノ構造体の製造方法は、炭素と固溶体を形成可能な金属の酸化物を主成分とする基材を用意する工程と上記基材を加熱しつつ炭素含有ガスを供給する工程とを備えるカーボンナノ構造体の製造方法であって、上記供給工程で、加熱源としてレーザーを用い、このレーザーの出力を定常状態より加熱初期に小さく制御する。
[Description of Embodiment of the Present Invention]
The method for producing a carbon nanostructure according to one aspect of the present invention includes a step of preparing a base material mainly composed of a metal oxide capable of forming a solid solution with carbon, and a carbon-containing gas while heating the base material. A carbon nanostructure manufacturing method including a supplying step, wherein a laser is used as a heating source in the supplying step, and an output of the laser is controlled to be smaller than a steady state at an initial stage of heating.

当該カーボンナノ構造体の製造方法は、金属触媒(酸化物)の加熱初期にカーボンナノフィラメントを成長させる定常状態よりも低い出力でレーザーを照射することで、金属触媒の過加熱を防止してその溶融を抑制できる。また、当該カーボンナノ構造体の製造方法は、カーボンナノフィラメントを成長させる定常状態では出力を抑える必要がないため、カーボンナノフィラメントの成長が停滞しない。つまり、当該カーボンナノ構造体の製造方法は、カーボンナノ構造体を効率よく製造できる。なお、「主成分」とは、含有量の最も多い成分を意味し、例えば50質量%以上含まれる成分を意味する。「定常状態」とは、カーボンナノ構造体が連続的に成長する状態を意味する。   The carbon nanostructure manufacturing method prevents overheating of the metal catalyst by irradiating the laser with an output lower than the steady state in which the carbon nanofilament is grown in the initial stage of heating the metal catalyst (oxide). Melting can be suppressed. Moreover, since the manufacturing method of the said carbon nanostructure does not need to suppress an output in the steady state which grows a carbon nanofilament, the growth of a carbon nanofilament does not stagnate. That is, the carbon nanostructure manufacturing method can efficiently manufacture the carbon nanostructure. The “main component” means a component having the largest content, for example, a component contained in an amount of 50% by mass or more. “Steady state” means a state in which carbon nanostructures are continuously grown.

上記供給工程で、レーザーの出力を上記酸化物の還元反応開始から終了までのいずれかのタイミングで上昇させるとよい。このように酸化物の還元反応が開始してからレーザー出力を上昇させることで、金属触媒の溶融を抑制しつつ、カーボンナノフィラメントの成長タイミングを早めて生産性を向上できる。   In the supplying step, the laser output may be increased at any timing from the start to the end of the oxide reduction reaction. Thus, by raising the laser output after the oxide reduction reaction starts, the growth timing of the carbon nanofilament can be advanced and productivity can be improved while suppressing melting of the metal catalyst.

上記供給工程で上記基材に対して分断するような張力を付加するとよい。このように張力を付加することで、カーボンナノフィラメントの成長をより確実に行うことができる。   It is preferable to add a tension that divides the base material in the supplying step. By applying tension in this way, the growth of carbon nanofilaments can be performed more reliably.

上記金属が鉄、ニッケル又はコバルトであるとよい。金属触媒としてこれらの金属を用いることで、カーボンナノフィラメントをより確実に成長させることができる。   The metal may be iron, nickel or cobalt. By using these metals as metal catalysts, carbon nanofilaments can be grown more reliably.

上記供給工程における上記基材の最大温度としては、1200℃以下が好ましい。このように基材の最大温度を1200℃以下に調整することで、より確実に金属触媒の溶融を抑制できる。   The maximum temperature of the substrate in the supplying step is preferably 1200 ° C. or lower. Thus, by adjusting the maximum temperature of the base material to 1200 ° C. or less, melting of the metal catalyst can be suppressed more reliably.

[本発明の実施形態の詳細]
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳説する。
[Details of the embodiment of the present invention]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

[カーボンナノ構造体の製造方法]
当該カーボンナノ構造体は、図1に示すように、以下の工程を備える製造方法により得ることができる。
(1)炭素と固溶体を形成可能な金属の酸化物を主成分とする基材を用意する工程S1
(2)上記基材を加熱しつつ、上記基材に炭素含有ガスを供給する工程S2
[Method for producing carbon nanostructure]
The carbon nanostructure can be obtained by a manufacturing method including the following steps as shown in FIG.
(1) Step S1 of preparing a base material composed mainly of a metal oxide capable of forming a solid solution with carbon
(2) Step S2 of supplying a carbon-containing gas to the base material while heating the base material

当該カーボンナノ構造体の製造方法は、上記供給工程で、加熱源としてレーザーを用い、このレーザーの出力を定常状態より加熱初期に小さく制御する。このように金属触媒(酸化物)の加熱初期にカーボンナノフィラメントを成長させる定常状態よりも低い出力でレーザーを照射することで、金属触媒の過加熱を防止してその溶融を抑制できる。また、当該カーボンナノ構造体の製造方法は、カーボンナノフィラメントを成長させる定常状態では出力を抑える必要がないため、カーボンナノフィラメントの成長が停滞しない。つまり、当該カーボンナノ構造体の製造方法は、カーボンナノ構造体を効率よく製造できる。   In the carbon nanostructure manufacturing method, a laser is used as a heating source in the supplying step, and the output of the laser is controlled to be smaller than the steady state in the initial heating stage. Thus, by irradiating the laser with an output lower than the steady state in which carbon nanofilaments are grown in the initial stage of heating the metal catalyst (oxide), overheating of the metal catalyst can be prevented and its melting can be suppressed. Moreover, since the manufacturing method of the said carbon nanostructure does not need to suppress an output in the steady state which grows a carbon nanofilament, the growth of a carbon nanofilament does not stagnate. That is, the carbon nanostructure manufacturing method can efficiently manufacture the carbon nanostructure.

当該カーボンナノ構造体の製造方法は、例えば図2に示す製造装置を用いて好適に行うことができる。   The method for producing the carbon nanostructure can be suitably performed using, for example, a production apparatus shown in FIG.

(カーボンナノ構造体の製造装置)
図2に示すカーボンナノ構造体の製造装置は、反応室11と、反応室11の内部に配置された加熱器12と、加熱器12と対向配置され、シート状の基材Xを保持する一対の固定ブロック13a,13bと、固定ブロック13a,13bを支持するためのベース台14と、固定ブロック13a,13bと連結棒15により連結された駆動部16と、反応室11に原料ガスなどを供給するためのガス供給部17と、反応室11からガスを排気するための排気部18とを主に備える。また、図3の製造装置10は、基材Xを局所的に加熱するためのレーザー光発振器19と、基材Xを局所的に冷却するための冷却器20a,20bと、加熱器12、駆動部16、ガス供給部17、排気部18、レーザー光発振器19及び冷却器20a,20bを制御するための制御部21とをさらに備える。
(Carbon nanostructure manufacturing equipment)
The carbon nanostructure manufacturing apparatus shown in FIG. 2 includes a reaction chamber 11, a heater 12 disposed inside the reaction chamber 11, and a pair that is disposed to face the heater 12 and holds a sheet-like substrate X. The fixed blocks 13a and 13b, the base 14 for supporting the fixed blocks 13a and 13b, the drive unit 16 connected to the fixed blocks 13a and 13b by the connecting rod 15, and the raw material gas are supplied to the reaction chamber 11. The gas supply part 17 for performing and the exhaust part 18 for exhausting gas from the reaction chamber 11 are mainly provided. 3 includes a laser light oscillator 19 for locally heating the substrate X, coolers 20a and 20b for locally cooling the substrate X, a heater 12, and driving. And a control unit 21 for controlling the unit 16, the gas supply unit 17, the exhaust unit 18, the laser light oscillator 19, and the coolers 20a and 20b.

反応室11の内部において、一対の固定ブロック13a,13bはベース台14の上面に配置されている。固定ブロック13a,13bにより、基材Xの一方端部及び他方端部が把持される。基材Xの一方端部及び他方端部は、それぞれ固定ブロック13a,13bを介して一対の冷却器20a,20bにより局所的に冷却可能となっている。基材Xの他方端部を固定する固定ブロック13b及び他方端部を冷却する冷却器20bは、ベース台14の上面を移動可能に構成される。一方、基材Xの一方端部を固定する固定ブロック13a及び一方端部を冷却する冷却器20aは、ベース台14に固定されている。   Inside the reaction chamber 11, the pair of fixed blocks 13 a and 13 b are disposed on the upper surface of the base table 14. One end portion and the other end portion of the substrate X are gripped by the fixing blocks 13a and 13b. One end and the other end of the substrate X can be locally cooled by a pair of coolers 20a and 20b via fixed blocks 13a and 13b, respectively. The fixed block 13b that fixes the other end of the base X and the cooler 20b that cools the other end are configured to be movable on the upper surface of the base table 14. On the other hand, the fixed block 13 a that fixes one end of the base X and the cooler 20 a that cools the one end are fixed to the base table 14.

加熱器12は、固定ブロック13a,13bにより固定される基材Xの上面と対向するよう反応室11内に配置される。なお、反応室11の壁を石英などの透光性部材により構成することで、反応室11の外部に加熱器12を配置してもよい。加熱器12としては、例えば電熱ヒータなど任意の加熱装置を用いることができる。この加熱器12は、基材Xの酸化等に用いられる。   The heater 12 is arrange | positioned in the reaction chamber 11 so that the upper surface of the base material X fixed by the fixed blocks 13a and 13b may be opposed. Note that the heater 12 may be disposed outside the reaction chamber 11 by configuring the wall of the reaction chamber 11 with a light-transmitting member such as quartz. As the heater 12, for example, an arbitrary heating device such as an electric heater can be used. This heater 12 is used for oxidation of the substrate X and the like.

駆動部16は、基材Xの他方端部を固定する固定ブロック13bに接続され、この固定ブロック13b及び他方端部を冷却する冷却器20bを連結棒15の軸と平行に水平方向に移動させる。   The drive unit 16 is connected to a fixed block 13b that fixes the other end of the base material X, and moves the cooler 20b that cools the fixed block 13b and the other end in the horizontal direction parallel to the axis of the connecting rod 15. .

レーザー光発振器19は、基材Xの一部(具体的にはガス供給工程S2で分断する領域)を局所的に加熱する加熱源である。具体的には、反応室11の上壁面に開口が形成され、この開口に筒状のレーザー光導入部19aが接続されている。レーザー光発振器19から発振されたレーザー光は、レーザー光導入部19aを介して、反応室11の内部の基材Xに照射される。   The laser oscillator 19 is a heating source that locally heats a part of the substrate X (specifically, a region to be divided in the gas supply step S2). Specifically, an opening is formed in the upper wall surface of the reaction chamber 11, and a cylindrical laser light introducing portion 19a is connected to the opening. The laser beam oscillated from the laser beam oscillator 19 is irradiated to the base material X inside the reaction chamber 11 through the laser beam introducing part 19a.

基材Xに照射するレーザー光としては、赤外線が好ましく、具体的には900nm以上1000nm以下の波長のレーザー光が好ましい。   As a laser beam irradiated to the base material X, infrared rays are preferable and specifically, a laser beam having a wavelength of 900 nm or more and 1000 nm or less is preferable.

冷却器20a,20bの構成は、従来周知の任意の構成を採用することができ、例えばペルチェ素子などの熱電素子を用いてもよいし、水やその他の冷却媒体を流通させる構成としてもよい。なお、冷却媒体を用いる場合、冷却媒体を冷却器20a,20bから反応室11の外部まで導出し、外部において熱交換器などにより冷却した後、再度冷却器20a,20bに還流する構成としてもよい。   As the configurations of the coolers 20a and 20b, any conventionally known configuration can be adopted. For example, a thermoelectric element such as a Peltier element may be used, or water or another cooling medium may be circulated. In the case of using a cooling medium, the cooling medium may be led out from the coolers 20a and 20b to the outside of the reaction chamber 11, cooled by a heat exchanger or the like outside, and then recirculated to the coolers 20a and 20b. .

(1)用意工程S1
本工程では、炭素と固溶体を形成可能な金属の酸化物を主成分とする基材Xを用意する。本工程は、炭素と固溶体を形成可能な金属を主成分とする基材Xの少なくとも一部を酸化する工程により基材Xを用意してもよいし、あらかじめ酸化した基材Xを入手してもよい。
(1) Preparation step S1
In this step, a base material X containing a metal oxide capable of forming a solid solution with carbon as a main component is prepared. In this step, the base material X may be prepared by oxidizing at least a part of the base material X whose main component is a metal capable of forming a solid solution with carbon, or a pre-oxidized base material X is obtained. Also good.

基材Xが主成分とする金属としては、鉄、ニッケル及びコバルトが好ましく、浸炭を行い易い鉄が好ましい。さらに、鉄の中でも純度が4N以上の純鉄が好ましい。なお、基材Xは、本発明の効果を損なわない範囲で上記金属以外の添加物等を含んでもよい。   As a metal which the base material X has as a main component, iron, nickel and cobalt are preferable, and iron which is easy to carburize is preferable. Furthermore, pure iron having a purity of 4N or more is preferable among iron. In addition, the base material X may contain additives other than the said metal in the range which does not impair the effect of this invention.

基材Xはシート状のものが好ましい。また、基材Xの平均厚さとしては、例えば10μm以上1mm以下とできる。なお、基材Xとして、例えば多孔質ウスタイトや酸化鉄の圧粉体等の多孔質体を用いてもよい。   The substrate X is preferably a sheet. Moreover, as average thickness of the base material X, it can be 10 micrometers or more and 1 mm or less, for example. For example, a porous material such as porous wustite or iron oxide compact may be used as the substrate X.

上記基材Xの酸化方法としては、酸素存在下での熱処理が挙げられる。この熱処理としては、例えば大気雰囲気中で500℃以上1000℃以下、0.1時間以上2時間以下加熱する方法が用いられる。   Examples of the method for oxidizing the substrate X include heat treatment in the presence of oxygen. As this heat treatment, for example, a method of heating in an air atmosphere at 500 ° C. or higher and 1000 ° C. or lower and 0.1 hour or longer and 2 hours or shorter is used.

なお、基材Xの酸化後、ガス供給部17より窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスを反応室11に供給し、反応室11内から酸素を排出することが好ましい。   In addition, after oxidizing the base material X, it is preferable to supply an inert gas such as nitrogen gas or argon gas from the gas supply unit 17 to the reaction chamber 11 and discharge oxygen from the reaction chamber 11.

(2)ガス供給工程S2
本工程では、酸化した基材Xを加熱しつつ、この基材Xに炭素含有ガスを供給する。このとき基材Xに対して分断するような張力を付加するとよい。具体的には、駆動部16により基材Xの他方端部を固定する固定ブロック13bを対向する固定ブロック13aから離間する方向に移動させることで、基材Xを分断するような張力を付加する。これにより、基材Xは1対の固定ブロック13a,13b間で分断される。また、上記分断と共に同時にレーザー光発振器19から発振されるレーザー光の照射により、基材Xの分断部分を加熱する。さらに、この状態の基材Xにガス供給部17より炭素含有ガスを供給する。
(2) Gas supply process S2
In this step, the carbon-containing gas is supplied to the base X while heating the oxidized base X. At this time, it is preferable to apply a tension that divides the base material X. Specifically, the driving unit 16 moves the fixing block 13b that fixes the other end of the base material X in a direction away from the opposing fixing block 13a, thereby applying a tension that divides the base material X. . Thereby, the base material X is divided between the pair of fixed blocks 13a and 13b. In addition, the divided portion of the substrate X is heated by the irradiation of the laser beam oscillated from the laser light oscillator 19 at the same time as the division. Further, a carbon-containing gas is supplied from the gas supply unit 17 to the substrate X in this state.

本工程では、レーザー光発振器19の出力を定常状態より加熱初期に小さく制御する。つまり、加熱初期のレーザー光発振器19の出力をP1[W]とし、定常状態のレーザー光発振器19の出力をP2[W]としたとき、P1<P2となるように出力を制御する。具体的には、図3に示すように、加熱初期では出力P1で基材Xを加熱し、その後出力をP2に上昇させる。   In this step, the output of the laser light oscillator 19 is controlled to be smaller than the steady state at the beginning of heating. That is, when the output of the laser light oscillator 19 in the initial stage of heating is P1 [W] and the output of the steady-state laser light oscillator 19 is P2 [W], the output is controlled so that P1 <P2. Specifically, as shown in FIG. 3, at the initial stage of heating, the substrate X is heated with the output P1, and then the output is increased to P2.

レーザー光発振器19の出力を上昇させるタイミングとしては、基材Xの酸化物の還元反応開始から終了までのいずれかのタイミングが好ましく、還元反応の終了時から上昇させることがより好ましい。このように少なくとも酸化物の還元が開始してから出力を上昇させることで、金属触媒の溶融を抑制しつつ、カーボンナノフィラメントの成長タイミングを早めて生産性を向上できる。なお、レーザー光発振器19による基材Xの加熱開始時点から、レーザー光発振器19の出力を上昇させるタイミングまでの時間としては、例えば10秒以上3分以下である。   The timing for increasing the output of the laser oscillator 19 is preferably any timing from the start to the end of the reduction reaction of the oxide of the substrate X, and more preferably from the end of the reduction reaction. Thus, by raising the output after at least the reduction of the oxide is started, the growth timing of the carbon nanofilament can be advanced and the productivity can be improved while suppressing the melting of the metal catalyst. The time from the start of heating the substrate X by the laser light oscillator 19 to the timing of increasing the output of the laser light oscillator 19 is, for example, 10 seconds or more and 3 minutes or less.

レーザー光発振器19の出力上昇の制御方法としては特に限定されず、図3に示すように直線(一次関数)的に連続的に上昇させてもよく、曲線(二次関数、指数関数等)的に連続的に上昇させてもよく、ステップ状に上昇させてもよい。また、複数回に分けて出力を上昇させてもよい。   The method for controlling the output increase of the laser oscillator 19 is not particularly limited, and may be continuously increased linearly (linear function) as shown in FIG. May be raised continuously, or may be raised stepwise. Further, the output may be increased in a plurality of times.

加熱初期のレーザー光発振器19の出力P1と定常状態のレーザー光発振器19の出力P2との差(P2−P1)の下限としては、1Wが好ましく、3Wがより好ましい。一方、上記差(P2−P1)の上限としては、20Wが好ましく、10Wがより好ましい。上記差(P2−P1)が上記下限より小さい場合、触媒の溶融の抑制が不十分となるおそれや、定常状態におけるカーボンナノフィラメントの成長効率が低下するおそれがある。逆に、上記差(P2−P1)が上記上限を超える場合、触媒の還元が不十分となるおそれがある。   The lower limit of the difference (P2−P1) between the output P1 of the laser light oscillator 19 in the initial stage of heating and the output P2 of the laser light oscillator 19 in the steady state is preferably 1W, and more preferably 3W. On the other hand, the upper limit of the difference (P2−P1) is preferably 20 W, and more preferably 10 W. When the difference (P2−P1) is smaller than the lower limit, the suppression of the melting of the catalyst may be insufficient, or the growth efficiency of carbon nanofilaments in a steady state may be reduced. Conversely, when the difference (P2−P1) exceeds the upper limit, the reduction of the catalyst may be insufficient.

また、加熱初期のレーザー光発振器19の出力P1としては、例えば1W以上15W以下とすることができる。定常状態のレーザー光発振器19の出力P2としては、例えば5W以上20W以下とすることができる。なお、出力P1及び出力P2の大きさ、及びこれらの出力の切替のタイミングは、基材Xの温度変化の測定値によるフィードバック制御により調整してもよい。また、レーザー光の直径としては、例えば1mm以上10mm以下とできる。   Further, the output P1 of the laser light oscillator 19 in the initial stage of heating can be set to 1 W or more and 15 W or less, for example. The output P2 of the laser light oscillator 19 in the steady state can be set to 5 W or more and 20 W or less, for example. Note that the magnitudes of the outputs P1 and P2 and the timing of switching between these outputs may be adjusted by feedback control based on the measured value of the temperature change of the substrate X. Moreover, as a diameter of a laser beam, it can be 1 mm or more and 10 mm or less, for example.

また、供給工程における基材Xの最大温度、つまり基材Xの還元反応時の最大温度の上限としては、1200℃が好ましく、1100℃がより好ましい。基材Xの最大温度が上記上限を超える場合、触媒としての基材Xが溶融するおそれがある。なお、定常状態における基材Xの加熱温度としては、例えば800℃以上1050℃以下である。   Moreover, as an upper limit of the maximum temperature of the base material X in the supplying step, that is, the maximum temperature during the reduction reaction of the base material X, 1200 ° C. is preferable, and 1100 ° C. is more preferable. When the maximum temperature of the base material X exceeds the said upper limit, there exists a possibility that the base material X as a catalyst may fuse | melt. In addition, as heating temperature of the base material X in a steady state, it is 800 degreeC or more and 1050 degrees C or less, for example.

定常状態におけるレーザー光発振器19による加熱時間としては、例えば1分以上30分以下とすることができる。   The heating time by the laser light oscillator 19 in the steady state can be, for example, 1 minute or more and 30 minutes or less.

上記炭素含有ガスとしては、炭化水素ガス等の還元性を有するガスが用いられ、例えばアセチレンと窒素又はアルゴンとの混合ガスを用いることができる。この混合ガス中のアセチレン濃度としては1体積%以上20体積%以下とすることができる。   As the carbon-containing gas, a reducing gas such as a hydrocarbon gas is used. For example, a mixed gas of acetylene and nitrogen or argon can be used. The acetylene concentration in the mixed gas can be 1% by volume or more and 20% by volume or less.

なお、基材Xに対して分断するような張力を付加するタイミングは、還元反応終了後又はレーザー光発振器19の出力上昇後が好ましい。このようなタイミングで張力を付加することで、より確実かつ効率的にカーボンナノフィラメントを成長させることができる。   Note that the timing at which tension is applied to the substrate X is preferably after the reduction reaction is completed or the output of the laser oscillator 19 is increased. By applying tension at such timing, carbon nanofilaments can be grown more reliably and efficiently.

このような作業により、基材Xの分断面にカーボンナノフィラメントが成長する。換言すれば、離間した基材Xの分断面間をカーボンナノフィラメントが連結した構造が得られる。このとき、分断界面領域において、局所的に還元、浸炭、及びカーボンナノフィラメントの成長というプロセスが連続的に行なわれる。また、上記張力の付加により、成長したカーボンナノフィラメントに対して一定の張力が加えられた状態となるため、曲がりなどの変形が抑制されたカーボンナノフィラメントを容易に成長させることができる。   By such an operation, carbon nanofilaments grow on the cross section of the substrate X. In other words, a structure in which carbon nanofilaments are connected between the separated cross sections of the separated base material X is obtained. At this time, processes such as reduction, carburization, and carbon nanofilament growth are continuously performed locally in the divided interface region. Moreover, since a certain tension is applied to the grown carbon nanofilament by the addition of the tension, the carbon nanofilament in which deformation such as bending is suppressed can be easily grown.

このカーボンナノフィラメントの成長過程を以下に詳述する。当該カーボンナノ構造体の製造方法では、例えば酸化鉄を含む基材Xの分断端面を主に浸炭しながら、この端面より基材Xを構成する例えば鉄等の部材を主成分とする微粒子を分離しつつ、カーボンナノフィラメントを連続的に成長させている。具体的には、まず、基材Xを加熱し、原料ガスを供給することで、基材Xの表面から順次浸炭を進行させる。次に、基材Xが分断端面から浸炭された触媒(鉄)をナノサイズで分離し、端面と分離した触媒とを繋ぐカーボンナノフィラメントを端面から略垂直に引き出す。この引出方向はカーボンナノフィラメントのC軸となる。その後、さらに浸炭が進んで、より微細なサイズの浸炭された触媒が、例えばナノ粒子やナノフィラメントとして、順次基材Xから分離してカーボンナノフィラメントの内部に保持された(引き込まれた)状態でカーボンナノフィラメントが成長する。さらにその後、触媒が分離することで、基材Xの分断端面には新生面が表出し、この新生面において浸炭が進行し、カーボンナノフィラメントの成長が持続する。このとき分離した触媒がカーボンナノフィラメントの内部に保持されることにより、分離した触媒がカーボンナノフィラメントの成長を阻害する可能性を低減できる。引き出されたカーボンナノフィラメントの中にはこの分離触媒(金属ナノ粒子)等が包含されるが、外周のグラフェン層は維持される。この結果、長尺のカーボンナノフィラメントが形成される。   The growth process of this carbon nanofilament will be described in detail below. In the carbon nanostructure manufacturing method, for example, while carburizing mainly the divided end face of the base material X containing iron oxide, fine particles mainly composed of members such as iron constituting the base material X are separated from the end face. However, the carbon nanofilament is continuously grown. Specifically, first, the base material X is heated and the raw material gas is supplied, so that carburization proceeds sequentially from the surface of the base material X. Next, the catalyst (iron) in which the substrate X is carburized from the cut end face is separated in nano-size, and carbon nanofilaments connecting the end face and the separated catalyst are pulled out substantially vertically from the end face. This drawing direction is the C axis of the carbon nanofilament. Thereafter, the carburization further proceeds, and the carburized catalyst having a finer size is sequentially separated from the substrate X, for example, as nanoparticles or nanofilaments, and held (pulled) inside the carbon nanofilaments. The carbon nanofilament grows. Further, after that, the catalyst is separated, so that a new surface appears on the divided end surface of the substrate X, and carburization proceeds on this new surface, and the growth of the carbon nanofilament is continued. Since the separated catalyst is held inside the carbon nanofilament at this time, the possibility that the separated catalyst inhibits the growth of the carbon nanofilament can be reduced. The extracted carbon nanofilament includes the separation catalyst (metal nanoparticles) and the like, but the outer graphene layer is maintained. As a result, long carbon nanofilaments are formed.

なお、冷却器20で基材Xのカーボンナノ構造体の成長に寄与しない部分を冷却することが好ましい。さらに、基材Xの近傍に炭素含有ガスを供給する供給管等を用いて、基材Xの分断部分に局所的に炭素含有ガスを供給してもよい。これらにより、カーボンナノ構造体の製造を効率的に行うことができる。   In addition, it is preferable to cool the part which does not contribute to the growth of the carbon nanostructure of the substrate X with the cooler 20. Furthermore, the carbon-containing gas may be locally supplied to the divided portion of the substrate X using a supply pipe that supplies the carbon-containing gas in the vicinity of the substrate X. By these, manufacture of a carbon nanostructure can be performed efficiently.

また、反応室11内にキャリアガスとして窒素ガス等の不活性ガスを供給することで、カーボンナノ構造体の形成に伴って炭素含有ガスから生成される反応ガス(一酸化炭素、、二酸化炭素、水等)をカーボンナノ構造体に接触させずに反応室11から排出することができる。   Further, by supplying an inert gas such as nitrogen gas as a carrier gas into the reaction chamber 11, a reaction gas (carbon monoxide, carbon dioxide, carbon dioxide, carbon dioxide, carbon dioxide, carbon dioxide, Water, etc.) can be discharged from the reaction chamber 11 without contacting the carbon nanostructure.

[カーボンナノ構造体]
当該カーボンナノ構造体の製造方法から得られるカーボンナノ構造体は、炭素からなるカーボンナノフィラメントと、上述の金属触媒に由来する金属ナノ粒子とを有する。ただし、当該カーボンナノ構造体の製造方法で得られるカーボンナノ構造体において、金属ナノ粒子は必ずしも存在しなくてもよい。つまり、当該カーボンナノ構造体の製造方法において、触媒金属が必ずしもカーボンナノフィラメントに引き込まれなくてもよい。
[Carbon nanostructure]
The carbon nanostructure obtained from the method for producing the carbon nanostructure has carbon nanofilaments made of carbon and metal nanoparticles derived from the metal catalyst described above. However, in the carbon nanostructure obtained by the method for producing the carbon nanostructure, the metal nanoparticles are not necessarily present. That is, in the manufacturing method of the carbon nanostructure, the catalyst metal does not necessarily have to be drawn into the carbon nanofilament.

カーボンナノフィラメントの形状は、その用途に応じて適宜選択することができ、具体的には線状、チューブ状又はフィルム状とすることができる。なお、「フィルム状」とは、C軸方向に対するフィラメントの最大幅(C軸と垂直方向の最大長さ)が例えば5倍以上の板状を指す。   The shape of the carbon nanofilament can be appropriately selected according to the application, and specifically, it can be a linear shape, a tube shape, or a film shape. The “film shape” refers to a plate shape in which the maximum width of the filament in the C-axis direction (maximum length in the direction perpendicular to the C-axis) is, for example, 5 times or more.

カーボンナノフィラメントの長さは、その用途に応じて適宜選択できるが、例えば1mm以上とすることができる。   Although the length of a carbon nanofilament can be suitably selected according to the use, it can be 1 mm or more, for example.

カーボンナノフィラメントが線状又はチューブ状の場合、その外径としては例えば10nm以上1μm以下とすることができる。   When the carbon nanofilament is linear or tube-shaped, the outer diameter can be set to, for example, 10 nm or more and 1 μm or less.

金属ナノ粒子は、カーボンナノ構造体を製造する際に用いられる金属触媒の一部である。金属ナノ粒子の主金属としては、鉄、ニッケル、コバルト等が挙げられる。また、金属ナノ粒子は、酸素等の金属以外の成分を含んでもよい。さらに、金属ナノ粒子は金属酸化物を主体としてもよい。つまり、金属ナノ粒子は酸化された金属を含んでもよい。なお、「主金属」とは、含有量の最も多い金属元素を意味し、例えば50質量%以上含まれる金属元素を意味する。   Metal nanoparticles are part of a metal catalyst used in producing carbon nanostructures. Examples of the main metal of the metal nanoparticles include iron, nickel, and cobalt. In addition, the metal nanoparticles may contain a component other than a metal such as oxygen. Furthermore, the metal nanoparticles may be mainly composed of a metal oxide. That is, the metal nanoparticles may include an oxidized metal. The “main metal” means a metal element having the largest content, for example, a metal element contained in 50% by mass or more.

[その他の実施形態]
今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
[Other Embodiments]
The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is not limited to the configuration of the embodiment described above, but is defined by the scope of the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims. The

当該カーボンナノ構造体の製造方法は、上記供給工程の前に、酸化した基材を還元する工程と、還元工程後の基材を再酸化する工程とを備えてもよい。つまり、当該カーボンナノ構造体の製造方法は、これらの工程を経て得られるスポンジ状の基体を用いてカーボンナノ構造を製造してもよい。   The manufacturing method of the carbon nanostructure may include a step of reducing the oxidized base material and a step of reoxidizing the base material after the reduction step before the supplying step. That is, the carbon nanostructure manufacturing method may manufacture a carbon nanostructure using a sponge-like substrate obtained through these steps.

以下、実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

(実施例1)
平均厚さ20μmの純鉄シート(純度5N)を基材として準備し、反応室内において大気中で850℃、1時間熱処理して酸化鉄シートにした。その後、反応室内に窒素ガスを供給し、酸素を反応室内から排出した。
Example 1
A pure iron sheet (purity 5N) having an average thickness of 20 μm was prepared as a base material, and heat treated in the reaction chamber in the atmosphere at 850 ° C. for 1 hour to obtain an iron oxide sheet. Thereafter, nitrogen gas was supplied into the reaction chamber, and oxygen was discharged from the reaction chamber.

次に、酸化鉄シートをアセチレンの濃度が5体積%のアセチレン及び窒素含有ガスフロー中で、まず波長940nm、直径3mmの赤外線レーザー光を10Wの出力で1分間照射し酸化鉄シートを還元した。なお、還元反応自体は10秒程度で完了すると考えられる。上記照射開始から1分後、上記レーザー光の出力を15Wに上昇すると共に酸化鉄シートに張力を加えて破断したところ、破断面にファイバー状のカーボンナノフィラメントが得られた。このカーボンナノフィラメントの長さは200μm以上であった。   Next, the iron oxide sheet was reduced by first irradiating an infrared laser beam having a wavelength of 940 nm and a diameter of 3 mm for 1 minute at an output of 10 W in an acetylene and nitrogen-containing gas flow having an acetylene concentration of 5% by volume. The reduction reaction itself is considered to be completed in about 10 seconds. One minute after the start of the irradiation, the output of the laser beam was increased to 15 W and a tension was applied to the iron oxide sheet to break it. As a result, fiber-like carbon nanofilaments were obtained on the fracture surface. The length of the carbon nanofilament was 200 μm or more.

(比較例1)
平均厚さ20μmの純鉄シート(純度5N)を基材として準備し、反応室内において大気中で850℃、1時間熱処理して酸化鉄シートにした。その後、反応室内にアルゴンガスを供給し、酸素を反応室内から排出した。
(Comparative Example 1)
A pure iron sheet (purity 5N) having an average thickness of 20 μm was prepared as a base material, and heat treated in the reaction chamber in the atmosphere at 850 ° C. for 1 hour to obtain an iron oxide sheet. Thereafter, argon gas was supplied into the reaction chamber, and oxygen was discharged from the reaction chamber.

次に、酸化鉄シートをアセチレンの濃度が5体積%のアセチレン及びアルゴン含有ガスフロー中で、波長940nm、直径3mmの赤外線レーザー光を15Wの出力で照射しながら酸化鉄シートに張力を加えて破断したところ、酸化鉄シートの温度が1250℃まで上昇し、酸化鉄シートが溶融した。そのため、カーボンナノフィラメントが得られなかった。   Next, the iron oxide sheet was ruptured by applying tension to the iron oxide sheet while irradiating an infrared laser beam having a wavelength of 940 nm and a diameter of 3 mm with an output of 15 W in a gas flow containing acetylene and argon having an acetylene concentration of 5% by volume. As a result, the temperature of the iron oxide sheet rose to 1250 ° C., and the iron oxide sheet melted. Therefore, a carbon nanofilament could not be obtained.

図4に、上記実施例1及び比較例1の酸化鉄シートの温度変化を示す。実施例1では、酸化鉄シートの還元時のピーク温度が比較例1に対して抑えられており、さらに定常状態における加熱温度も比較例1よりも高い。つまり、実施例1は、触媒である酸化鉄シートの溶融を抑えつつ、効率よくカーボンナノフィラメントを成長できている。   In FIG. 4, the temperature change of the iron oxide sheet of the said Example 1 and the comparative example 1 is shown. In Example 1, the peak temperature during reduction of the iron oxide sheet is suppressed as compared with Comparative Example 1, and the heating temperature in the steady state is also higher than that of Comparative Example 1. That is, in Example 1, carbon nanofilaments can be efficiently grown while suppressing melting of the iron oxide sheet as a catalyst.

以上のように、本発明の一態様に係るカーボンナノ構造体の製造方法は、触媒の溶融を抑えつつ、効率よくカーボンナノ構造体を製造できる。このようにして得られるカーボンナノ構造体は、種々の用途に好適に用いることができる。   As described above, the method for producing a carbon nanostructure according to one embodiment of the present invention can efficiently produce a carbon nanostructure while suppressing melting of the catalyst. The carbon nanostructure thus obtained can be suitably used for various applications.

11 反応室
12 加熱器
13a、13b 固定ブロック
14 ベース台
15 連結棒
16 駆動部
17 ガス供給部
18 排気部
19 レーザー光発振器
19a レーザー光導入部
20a、20b 冷却器
21 制御部
X 基材
S1 用意工程
S2 ガス供給工程
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Reaction chamber 12 Heater 13a, 13b Fixed block 14 Base stand 15 Connecting rod 16 Drive part 17 Gas supply part 18 Exhaust part 19 Laser light oscillator 19a Laser light introduction part 20a, 20b Cooler 21 Control part X Base material S1 Preparation process S2 Gas supply process

Claims (5)

炭素と固溶体を形成可能な金属の酸化物を主成分とする基材を用意する工程と、
上記基材を加熱しつつ炭素含有ガスを供給する工程と
を備えるカーボンナノ構造体の製造方法であって、
上記供給工程で、加熱源としてレーザーを用い、このレーザーの出力を定常状態より加熱初期に小さく制御するカーボンナノ構造体の製造方法。
Preparing a base material mainly composed of a metal oxide capable of forming a solid solution with carbon;
A process for supplying a carbon-containing gas while heating the substrate,
A method for producing a carbon nanostructure, wherein a laser is used as a heating source in the supplying step, and the output of the laser is controlled to be smaller than the steady state at the beginning of heating.
上記供給工程で、レーザーの出力を上記酸化物の還元反応開始から終了までのいずれかのタイミングで上昇させる請求項1に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。   The method for producing a carbon nanostructure according to claim 1, wherein in the supplying step, the output of the laser is increased at any timing from the start to the end of the reduction reaction of the oxide. 上記供給工程で、上記基材に対して分断するような張力を付加する請求項1又は請求項2に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。   The method for producing a carbon nanostructure according to claim 1 or 2, wherein a tension that divides the substrate is applied in the supplying step. 上記金属が鉄、ニッケル又はコバルトである請求項1、請求項2又は請求項3に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。   The method for producing a carbon nanostructure according to claim 1, wherein the metal is iron, nickel, or cobalt. 上記供給工程における上記基材の最大温度が1200℃以下である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。   The method for producing a carbon nanostructure according to any one of claims 1 to 4, wherein a maximum temperature of the base material in the supplying step is 1200 ° C or lower.
JP2015100262A 2015-05-15 2015-05-15 Method for producing carbon nanostructure Active JP6435986B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015100262A JP6435986B2 (en) 2015-05-15 2015-05-15 Method for producing carbon nanostructure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015100262A JP6435986B2 (en) 2015-05-15 2015-05-15 Method for producing carbon nanostructure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016216277A true JP2016216277A (en) 2016-12-22
JP6435986B2 JP6435986B2 (en) 2018-12-12

Family

ID=57580230

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015100262A Active JP6435986B2 (en) 2015-05-15 2015-05-15 Method for producing carbon nanostructure

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6435986B2 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005231952A (en) * 2004-02-20 2005-09-02 Net Space:Kk Synthesis of carbon nanotube by laser beam
CN103508450A (en) * 2013-09-11 2014-01-15 清华大学 Laser preparation method for large-area patterned graphene
JP2014162705A (en) * 2013-02-27 2014-09-08 Sumitomo Electric Ind Ltd Carbon nano-structure, production method and production apparatus of carbon nano-structure
JP2014231454A (en) * 2013-05-29 2014-12-11 東京エレクトロン株式会社 Method for generating graphene
JP2014237557A (en) * 2013-06-06 2014-12-18 東京エレクトロン株式会社 Method of growing carbon nanotube

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005231952A (en) * 2004-02-20 2005-09-02 Net Space:Kk Synthesis of carbon nanotube by laser beam
JP2014162705A (en) * 2013-02-27 2014-09-08 Sumitomo Electric Ind Ltd Carbon nano-structure, production method and production apparatus of carbon nano-structure
JP2014231454A (en) * 2013-05-29 2014-12-11 東京エレクトロン株式会社 Method for generating graphene
JP2014237557A (en) * 2013-06-06 2014-12-18 東京エレクトロン株式会社 Method of growing carbon nanotube
CN103508450A (en) * 2013-09-11 2014-01-15 清华大学 Laser preparation method for large-area patterned graphene

Also Published As

Publication number Publication date
JP6435986B2 (en) 2018-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5344210B2 (en) Carbon nanotube synthesis method and synthesis apparatus
TWI357448B (en) Process for the production of carbon nanostructure
WO2007074506A1 (en) Method of growing carbon nanotube and carbon nanotube growing system
TW200535093A (en) Catalyst structural body and process for producing carbon nonotube by using the same
US9096434B2 (en) Method and apparatus for manufacturing carbon nanostructure, and carbon nanostructure assembly
JP6051943B2 (en) Carbon nanostructure manufacturing method and manufacturing apparatus thereof
JP6435986B2 (en) Method for producing carbon nanostructure
JP5245072B2 (en) Carbon nanotube synthesis method and synthesis apparatus thereof
KR20130012767A (en) Method of manufacturing zno nanostructures
JP6447347B2 (en) Method for producing carbon nanostructure
US10767282B2 (en) Method for manufacturing carbon nanostructure, and device for manufacturing carbon nanostructure
JP2010275168A (en) Control of chirality of carbon nanotubes
JP2007091484A (en) Method for production of carbon fiber, and substrate unit
JP4190569B2 (en) Carbon nanotube growth method
JP2010138033A (en) Substrate for synthesizing cnt, production method of the substrate, and production method of cnt
JP6575387B2 (en) Carbon nanostructure manufacturing method and carbon nanostructure manufacturing apparatus
JP2015096454A (en) Manufacturing method of carbon nano-structure, and carbon nano-structure assembly
JP2010099572A (en) Catalytic base material and method of manufacturing carbon nano structure using the same
JP6705300B2 (en) Carbon nanostructure manufacturing method and carbon nanostructure manufacturing apparatus
CN110453280B (en) Preparation method of high-quality wafer-level graphene single crystal
JP4059795B2 (en) Carbon nanotube growth method
JP2009114591A (en) Method for producing metal oxide fiber material-formed body
Tee et al. Effect of Reaction Temperature and Flow Rate of Precursor on Formation of Multi‐Walled Carbon Nanotubes
JP2010116305A (en) Process of producing carbon nanotube and base material for growing carbon nanotube
JP2018035029A (en) Quartz glass crucible producing method and quartz glass crucible

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180122

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180921

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181016

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181029

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6435986

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250