JP2016210626A - Method for producing vacuum multi-layered glass - Google Patents

Method for producing vacuum multi-layered glass Download PDF

Info

Publication number
JP2016210626A
JP2016210626A JP2013217184A JP2013217184A JP2016210626A JP 2016210626 A JP2016210626 A JP 2016210626A JP 2013217184 A JP2013217184 A JP 2013217184A JP 2013217184 A JP2013217184 A JP 2013217184A JP 2016210626 A JP2016210626 A JP 2016210626A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
glass
support
bonding layer
assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013217184A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
菅野 亮
Akira Sugano
亮 菅野
佳佑 加藤
Keisuke Kato
佳佑 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Priority to JP2013217184A priority Critical patent/JP2016210626A/en
Priority to PCT/JP2014/076813 priority patent/WO2015056606A1/en
Publication of JP2016210626A publication Critical patent/JP2016210626A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To produce a vacuum multi-layered glass in "flow type manner".SOLUTION: Provided is a method for producing vacuum multi-layered glass including: a step of placing an assembly having a bonding layer and an open space between a 1'st and a 2'nd glass substrates, on a transportation table and in which the bonding layer is arranged in a picture-frame shape on the 1'st and/or 2'nd glass substrate and the open space is maintained by a bearing member; a step of transporting, by the transportation table, the assembly into a vacuum chamber under vacuum environment in which a bearing release member is installed; a step of heating the assembly in the vacuum chamber and by using the bearing release member the maintenance of the open space by the bearing member is released, and by the contact of the bonding layer with the 1'st and 2'nd glass substrates an enclosed space is formed between the 1'st and 2'nd glass substrates; and a step of discharging the assembly from the vacuum chamber by the transportation table.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、真空複層ガラスの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a vacuum multilayer glass.

一対のガラス基板の間に、低圧または真空状態に保持された密閉空間を有する、いわゆる「真空複層ガラス」は、優れた断熱効果を有するため、例えばビルおよび住宅等の建築物用の窓ガラス用途に広く利用されている。   A so-called “vacuum double-glazed glass” having a sealed space held in a low-pressure or vacuum state between a pair of glass substrates has an excellent heat insulating effect, and thus, for example, a window glass for buildings such as buildings and houses. Widely used in applications.

真空複層ガラスは、以下のように製造される。まず、第1のガラス基板と、第2のガラス基板とを準備する。一方のガラス基板の表面には、周囲に沿って、接合層が形成されている。次に、第1および第2のガラス基板を、両者が接合層を介して対向するように積層して、組立体を構成する。次に、この組立体を加熱して、接合層を溶融、軟化させ、両ガラス基板を接合する。これにより、両ガラス基板の間には、密閉空間が形成される。次に、第1のガラス基板に予め設けられていた開口を利用して、密閉空間内が減圧処理される。その後、減圧処理に利用された開口が封止され、真空複層ガラスが製造される(特許文献1)。   The vacuum double-glazed glass is manufactured as follows. First, a first glass substrate and a second glass substrate are prepared. A bonding layer is formed on the surface of one glass substrate along the periphery. Next, the first and second glass substrates are laminated so that both are opposed to each other through the bonding layer to form an assembly. Next, this assembly is heated to melt and soften the bonding layer and bond both glass substrates. Thereby, a sealed space is formed between both glass substrates. Next, the inside of the sealed space is decompressed using an opening provided in advance in the first glass substrate. Then, the opening utilized for the decompression process is sealed, and a vacuum double-glazed glass is manufactured (Patent Document 1).

特開平10−2161号公報JP-A-10-2161

前述のように、従来の真空複層ガラスの製造方法では、ガラス基板に設けられた開口を利用して、組立体の密閉空間内を減圧処理する工程、および開口を封止処理する工程が含まれる。   As described above, the conventional vacuum multilayer glass manufacturing method includes the step of reducing the pressure in the sealed space of the assembly using the opening provided in the glass substrate and the step of sealing the opening. It is.

しかしながら、このような製造方法は、いわゆる「バッチ式」では実施できるものの、「流れ方式」で実施することは難しい。すなわち、従来の製造方法では、生産ライン等において、流れ作業的に真空複層ガラスを連続的に製造することには適していない。このため、生産効率の観点から、真空複層ガラスを「流れ方式」で製造することに関して、大きな要望がある。   However, although such a manufacturing method can be carried out by the so-called “batch type”, it is difficult to carry out by the “flow type”. That is, the conventional manufacturing method is not suitable for continuously manufacturing the vacuum double-glazed glass in a flow operation on a production line or the like. For this reason, from the viewpoint of production efficiency, there is a great demand for manufacturing vacuum double-glazed glass by the “flow method”.

本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、真空複層ガラスを「流れ方式」で製造することが可能な、真空複層ガラスの製造方法を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of such a background, and this invention aims at providing the manufacturing method of a vacuum double-glazed glass which can manufacture a vacuum double-glazed glass by a "flow system". And

本発明では、相互に対向する第1のガラス基板と第2のガラス基板との間に、減圧された密閉空間を備える真空複層ガラスの製造方法であって、
(a)第1のガラス基板と第2のガラス基板との間に、接合層および開放空間を有する組立体を、搬送台上に置載するステップであって、前記接合層は、前記第1および/または第2のガラス基板に額縁状に配置され、前記開放空間は、支持部材によって維持されるステップと、
(b)前記搬送台により、前記組立体を、支持解除部材が設置された真空環境下の真空チャンバ内に搬送するステップと、
(c)前記真空チャンバ内で、前記組立体が加熱され、前記支持解除部材を用いて、前記支持部材による前記開放空間の維持が解除され、前記接合層が前記第1および第2のガラス基板と接触することによって、前記第1のガラス基板と第2のガラス基板との間に、前記接合層によって取り囲まれた密閉空間が形成されるステップと、
(d)前記搬送台により、前記組立体を、前記真空チャンバから排出させるステップと、
を有することを特徴とする真空複層ガラスの製造方法が提供される。
In the present invention, there is provided a method for producing a vacuum double-glazed glass having a reduced pressure sealed space between a first glass substrate and a second glass substrate facing each other,
(A) A step of placing an assembly having a bonding layer and an open space between a first glass substrate and a second glass substrate on a transport table, wherein the bonding layer includes the first glass substrate and the second glass substrate. And / or arranged in a frame shape on the second glass substrate, the open space being maintained by a support member;
(B) transporting the assembly into a vacuum chamber under a vacuum environment in which a support release member is installed by the transport table;
(C) The assembly is heated in the vacuum chamber, the maintenance of the open space by the support member is released by using the support release member, and the bonding layer is the first and second glass substrates. A closed space surrounded by the bonding layer is formed between the first glass substrate and the second glass substrate by contacting with the first glass substrate; and
(D) discharging the assembly from the vacuum chamber by the transfer table;
A method for producing a vacuum double-glazed glass is provided.

ここで、本発明による製造方法において、前記組立体において、前記第2のガラス基板は、前記第1のガラス基板の上方に配置され、
前記支持部材は、第2のガラス基板を支持する支持部と該支持部が設置された基部とを有し、
前記(c)のステップでは、前記支持解除部材が前記基部を押圧して、前記支持部が前記第2のガラス基板から遠ざかるようにスライドすることにより前記第2のガラス基板が落下し、前記開放空間の維持が解除されても良い。
Here, in the manufacturing method according to the present invention, in the assembly, the second glass substrate is disposed above the first glass substrate,
The support member has a support portion that supports the second glass substrate and a base portion on which the support portion is installed,
In the step (c), the support releasing member presses the base portion, and the support portion slides away from the second glass substrate, whereby the second glass substrate falls, and the opening is released. The maintenance of the space may be released.

また、本発明による製造方法において、前記支持部材は、上部に斜面が形成され、前記(c)のステップでは、前記支持解除部材が前記斜面を押圧しても良い。   Further, in the manufacturing method according to the present invention, the support member may be formed with a slope on the top, and in the step (c), the support release member may press the slope.

また、本発明による製造方法において、前記組立体において、前記第2のガラス基板は、前記第1のガラス基板の上方に配置され、
前記支持部材は、第2のガラス基板を支持する支持部と該支持部を回転可能とする基部とを有し、
前記(c)のステップでは、前記支持解除部材が前記支持部に当接して、前記支持部が回転することにより前記第2のガラス基板が落下し、前記開放空間の維持が解除されても良い。
In the manufacturing method according to the present invention, in the assembly, the second glass substrate is disposed above the first glass substrate,
The support member includes a support portion that supports the second glass substrate and a base portion that allows the support portion to rotate,
In the step (c), the support release member may come into contact with the support part, and the support part may be rotated to cause the second glass substrate to fall and release the maintenance of the open space. .

また、本発明による製造方法において、前記支持解除部材は、前記真空チャンバの上部に取り付けられても良い。   In the manufacturing method according to the present invention, the support release member may be attached to an upper portion of the vacuum chamber.

また、本発明による製造方法において、前記真空チャンバ内の圧力は、1×10−5Pa〜10Paの範囲であっても良い。 In the manufacturing method according to the present invention, the pressure in the vacuum chamber may be in the range of 1 × 10 −5 Pa to 10 Pa.

また、本発明による製造方法において、前記真空チャンバ内の温度は、150℃以上であり、前記第1および第2のガラス基板のうち、低い方の軟化点未満の温度であっても良い。   In the manufacturing method according to the present invention, the temperature in the vacuum chamber may be 150 ° C. or higher, and may be a temperature lower than the lower softening point of the first and second glass substrates.

また、本発明による製造方法において、前記接合層は、ガラス固化層を有しても良い。   In the manufacturing method according to the present invention, the bonding layer may have a vitrified layer.

また、本発明による製造方法において、前記(a)のステップにおいて、前記組立体は、前記第1および第2のガラス基板の間に、さらに、額縁状の第2の接合層および額縁状の金属部材を有し、前記接合層は、前記第1のガラス基板に配置され、前記第2の接合層は、前記第2のガラス基板に配置され、前記金属部材は、前記接合層と第2の接合層の間に配置され、
前記(c)のステップにおいて、前記第1のガラス基板と第2のガラス基板との間には、前記接合層、前記金属部材、および前記第2の接合層によって取り囲まれた前記密閉空間が形成されても良い。
In the manufacturing method according to the present invention, in the step (a), the assembly further includes a frame-shaped second bonding layer and a frame-shaped metal between the first and second glass substrates. And the bonding layer is disposed on the first glass substrate, the second bonding layer is disposed on the second glass substrate, and the metal member includes the bonding layer and the second glass substrate. Between the bonding layers,
In the step (c), the sealed space surrounded by the bonding layer, the metal member, and the second bonding layer is formed between the first glass substrate and the second glass substrate. May be.

本発明では、真空複層ガラスを「流れ方式」で製造することが可能な、真空複層ガラスの製造方法を提供することができる。   The present invention can provide a method for producing a vacuum double-glazing capable of producing a vacuum double-glazing by a “flow method”.

真空複層ガラスの構成の一例を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically an example of the structure of vacuum multilayer glass. 本発明の一実施形態による真空複層ガラスの製造方法を概略的に示したフロー図である。It is the flowchart which showed schematically the manufacturing method of the vacuum double layer glass by one Embodiment of this invention. 組立体に使用される第1のガラス基板および第2のガラス基板を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the 1st glass substrate and 2nd glass substrate which are used for an assembly. 組立体の断面を模式的に示した図である。It is the figure which showed the cross section of the assembly typically. 図4に示した組立体の概略的な上面図である。FIG. 5 is a schematic top view of the assembly shown in FIG. 4. 支持部材の別の配置形態例を模式的に示した組立体の上面図である。It is a top view of the assembly which showed another example of arrangement form of a support member typically. 真空チャンバ内に設けられた支持解除部材によって、支持部材による支持機能が失われる際の様子を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the mode at the time of the support function by a support member being lost by the support release member provided in the vacuum chamber. 別のシール部材を有する真空複層ガラスの概略的な部分断面図である。It is a schematic fragmentary sectional view of the vacuum multilayer glass which has another sealing member. 図4の例とは異なる支持部材を有する別の組立体の断面を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the cross section of another assembly which has a different supporting member from the example of FIG. 図9に示した組立体において、支持部材による支持機能が失われる際の様子を模式的に示した図である。In the assembly shown in FIG. 9, it is the figure which showed typically the mode at the time of the support function by a support member being lost. 図4および図9の例とは異なる支持部材を有する、さらに別の組立体の断面を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the cross section of another assembly which has a different supporting member from the example of FIG. 4 and FIG. 図11に示した組立体において、支持部材による支持機能が失われる際の様子を模式的に示した図である。In the assembly shown in FIG. 11, it is the figure which showed typically the mode at the time of the support function by a support member being lost.

以下、図面を参照して、本発明について説明する。   Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.

(真空複層ガラスの構成について)
まず、図1を参照して、真空複層ガラスの構成の一例について、簡単に説明する。
(About the structure of the vacuum double-layer glass)
First, with reference to FIG. 1, an example of a structure of a vacuum double-glazed glass is demonstrated easily.

図1には、真空複層ガラスの構成の一例を概略的に示す。   In FIG. 1, an example of a structure of vacuum double layer glass is shown roughly.

図1に示すように、真空複層ガラス100は、第1のガラス基板110と、第2のガラス基板120と、両ガラス基板110、120の間に構成された密閉空間130と、該密閉空間130を取り囲むシール部材150とを有する。   As shown in FIG. 1, the vacuum multi-layer glass 100 includes a first glass substrate 110, a second glass substrate 120, a sealed space 130 formed between both glass substrates 110 and 120, and the sealed space. And a sealing member 150 surrounding 130.

第1のガラス基板110は、第1の表面112および第2の表面114を有する。真空複層ガラス100において、第1のガラス基板110は、第2の表面114の側が外側となるようにして配置される。同様に、第2のガラス基板120は、第3の表面122および第4の表面124を有する。真空複層ガラス100において、第2のガラス基板120は、第4の表面124の側が外側となるようにして配置される。従って、密閉空間130は、第1のガラス基板110の第1の表面112と、第2のガラス基板120の第3の表面122との間に形成される。   The first glass substrate 110 has a first surface 112 and a second surface 114. In the vacuum multi-layer glass 100, the first glass substrate 110 is disposed so that the second surface 114 side is the outside. Similarly, the second glass substrate 120 has a third surface 122 and a fourth surface 124. In the vacuum double-glazed glass 100, the second glass substrate 120 is disposed such that the fourth surface 124 side is the outside. Therefore, the sealed space 130 is formed between the first surface 112 of the first glass substrate 110 and the third surface 122 of the second glass substrate 120.

密閉空間130内は、真空状態に維持される。ここで、密閉空間130の真空度は、特に限られず、大気圧よりも低いいかなる圧力であっても良い。一般に、密閉空間130の圧力は、0.2Pa〜0.001Pa程度である。   The sealed space 130 is maintained in a vacuum state. Here, the degree of vacuum of the sealed space 130 is not particularly limited, and may be any pressure lower than atmospheric pressure. Generally, the pressure of the sealed space 130 is about 0.2 Pa to 0.001 Pa.

必要な場合、真空複層ガラス100は、密閉空間130内に、1または2以上のピラー(図示されていない)を有しても良い。   If necessary, the vacuum double-glazed glass 100 may have one or more pillars (not shown) in the sealed space 130.

シール部材150は、密閉空間130を密閉保持するための部材であり、シール部材150は、密閉空間130の周囲全体にわたって構成される。   The seal member 150 is a member for hermetically holding the sealed space 130, and the seal member 150 is configured over the entire periphery of the sealed space 130.

シール部材150の構成としては、従来より各種構造のものが提案されている。例えば、図1の例では、シール部材150は、単一の接合層155で構成されている。この接合層155は、真空複層ガラス100を厚さ方向(Z方向)から見たとき、第1または第2のガラス基板110、120の周囲にわたって、「額縁状」に設置されている。   As the structure of the seal member 150, various structures have been proposed. For example, in the example of FIG. 1, the seal member 150 is configured by a single bonding layer 155. The bonding layer 155 is installed in a “frame shape” around the first or second glass substrate 110 or 120 when the vacuum multilayer glass 100 is viewed from the thickness direction (Z direction).

なお、本願において、「額縁状」という用語は、平面視において、平板形状の内部が取り除かれ、外側輪郭および内側輪郭を有する「枠」で構成された形状の総称を意味する。すなわち、真空複層ガラス100の周囲に沿って形成されることを意味している。ただし、「額縁状」の部材の外側輪郭および/または内側輪郭は、必ずしも額のような略直方体の形状に限られず、例えば、四角形、略四角形、台形、略台形などの多角形、円形、略円形、楕円形または略楕円形の形状であっても良い。また、「額縁状」の部材の外側輪郭と内側輪郭は、必ずしも相似形である必要はなく、両者は、例えば、異なる形状であっても良い。   In the present application, the term “frame shape” means a general term for a shape constituted by a “frame” having an outer outline and an inner outline, with the inside of a flat plate shape removed in plan view. That is, it means that it is formed along the periphery of the vacuum double-glazed glass 100. However, the outer contour and / or inner contour of the “frame-shaped” member is not necessarily limited to a substantially rectangular parallelepiped shape such as a forehead, for example, a polygon such as a quadrangle, a substantially quadrangle, a trapezoid, a substantially trapezoid, a circle, a substantially The shape may be circular, elliptical or substantially elliptical. Further, the outer contour and the inner contour of the “frame-shaped” member are not necessarily similar, and both may be different shapes, for example.

接合層155は、熱処理によって、第1および第2のガラス基板110、120を相互に接合することができるものであれば、その材質および構成は、特に限られない。例えば、接合層155は、ガラス固化層(軟化点350〜600℃)であっても良い。   The material and configuration of the bonding layer 155 are not particularly limited as long as the first glass substrate 110 and the second glass substrate 120 can be bonded to each other by heat treatment. For example, the bonding layer 155 may be a vitrified layer (softening point 350 to 600 ° C.).

ガラス固化層は、ガラスフリットを含むペーストを焼成することにより形成される。ガラス固化層は、ガラス成分を含むが、さらにセラミック粒子を含んでも良い。   The vitrified layer is formed by firing a paste containing glass frit. The vitrified layer contains a glass component, but may further contain ceramic particles.

ガラス固化層に含まれるガラス成分の組成は、特に限られない。ガラス固化層に含まれるガラス成分は、例えば、ZnO−Bi−B系またはZnO−SnO−P系のガラスであっても良い。 The composition of the glass component contained in the vitrified layer is not particularly limited. The glass component contained in the vitrified layer may be, for example, ZnO—Bi 2 O 3 —B 2 O 3 based glass or ZnO—SnO—P 2 O 5 based glass.

表1には、ガラス固化層に含まれるガラス成分に使用され得る、ZnO−Bi−B系のガラスの組成の一例を示す。また、表2には、ガラス固化層に含まれるガラス成分に使用され得る、ZnO−SnO−P系のガラスの組成の一例を示す。 Table 1 shows an example of the composition of ZnO—Bi 2 O 3 —B 2 O 3 based glass that can be used for the glass component contained in the vitrified layer. Table 2 shows an example of the composition of ZnO—SnO—P 2 O 5 based glass that can be used for the glass component contained in the vitrified layer.

Figure 2016210626
Figure 2016210626

Figure 2016210626
あるいは、接合層155は、ろう材またははんだ材料を含んでも良い。
Figure 2016210626
Alternatively, the bonding layer 155 may include a brazing material or a solder material.

さらに、図1の例では、接合層155の断面は、コーナー部が丸みを帯びた略矩形状の形状で示されている。しかしながら、これは、単なる一例に過ぎず、接合層155の断面は、例えば、略楕円形、略台形など、その他の形状を有しても良い。   Furthermore, in the example of FIG. 1, the cross section of the bonding layer 155 is shown in a substantially rectangular shape with rounded corners. However, this is merely an example, and the cross section of the bonding layer 155 may have other shapes such as a substantially elliptical shape and a substantially trapezoidal shape.

(本発明の一実施例による真空複層ガラスの製造方法について)
以下、図2を参照して、本発明の一実施例による真空複層ガラスの製造方法について、詳しく説明する。
(About the manufacturing method of the vacuum double layer glass by one Example of this invention)
Hereinafter, with reference to FIG. 2, the manufacturing method of the vacuum multilayer glass by one Example of this invention is demonstrated in detail.

図2には、本発明の一実施例による真空複層ガラスの製造方法(第1の製造方法)のフローを概略的に示す。   In FIG. 2, the flow of the manufacturing method (1st manufacturing method) of the vacuum multilayer glass by one Example of this invention is shown roughly.

図2に示すように、第1の製造方法は、
(a)第1のガラス基板と第2のガラス基板との間に、接合層および開放空間を有する組立体を、搬送台上に置載するステップであって、前記接合層は、前記第1および/または第2のガラス基板に額縁状に配置され、前記開放空間は、支持部材によって維持される、開放空間形成ステップ(ステップS110)と、
(b)前記搬送台により、前記組立体を、支持解除部材が設置された真空環境下の真空チャンバ内に搬送する、真空チャンバ搬送ステップ(ステップS120)と、
(c)前記真空チャンバ内で、前記組立体が加熱され、前記支持解除部材を用いて、前記支持部材による前記開放空間の維持が解除され、前記接合層が前記第1および第2のガラス基板と接触することによって、前記第1のガラス基板と第2のガラス基板との間に、前記接合層によって取り囲まれた密閉空間が形成される、密閉空間形成ステップ(ステップS130)と、
(d)前記搬送台により、前記組立体を、前記真空チャンバから排出させる、真空チャンバ排出ステップ(ステップS140)と、
を有する。
As shown in FIG. 2, the first manufacturing method is:
(A) A step of placing an assembly having a bonding layer and an open space between a first glass substrate and a second glass substrate on a transport table, wherein the bonding layer includes the first glass substrate and the second glass substrate. And / or a second glass substrate arranged in a frame shape, and the open space is maintained by a support member, an open space forming step (step S110);
(B) A vacuum chamber transfer step (step S120) in which the transfer unit transfers the assembly into a vacuum chamber in a vacuum environment in which a support release member is installed;
(C) The assembly is heated in the vacuum chamber, the maintenance of the open space by the support member is released using the support release member, and the bonding layer is formed by the first and second glass substrates. A sealed space forming step (step S130) in which a sealed space surrounded by the bonding layer is formed between the first glass substrate and the second glass substrate by contacting with the first glass substrate;
(D) a vacuum chamber discharging step (step S140) for discharging the assembly from the vacuum chamber by the transfer table;
Have

以下、各工程について、詳しく説明する。   Hereinafter, each step will be described in detail.

(ステップS110)
まず、第1のガラス基板および第2のガラス基板が準備される。両ガラス基板の材質および寸法は、特に限られない。例えば、両ガラス基板は、ソーダライムガラスおよび/または無アルカリガラス等であっても良い。なお、両ガラス基板の材質および寸法は、必ずしも同一である必要はない。
(Step S110)
First, a first glass substrate and a second glass substrate are prepared. The material and dimensions of both glass substrates are not particularly limited. For example, both glass substrates may be soda lime glass and / or alkali-free glass. The materials and dimensions of both glass substrates are not necessarily the same.

(接合層の形成)
次に、第1のガラス基板の一方の表面、および/または第2のガラス基板の一方の表面に、周囲にわたって、額縁状に接合層が形成される。以下の例では、第1のガラス基板の一方の表面(第1の表面)にのみ、接合層が形成されるものと仮定する。
(Formation of bonding layer)
Next, a bonding layer is formed in a frame shape over the periphery on one surface of the first glass substrate and / or one surface of the second glass substrate. In the following example, it is assumed that the bonding layer is formed only on one surface (first surface) of the first glass substrate.

図3には、第1および第2の表面312、314を有する第1のガラス基板310と、第3および第4の表面322、324を有する第2のガラス基板320とを示す。第1のガラス基板310の第1の表面312には、接合層356が額縁上に形成されている。   FIG. 3 shows a first glass substrate 310 having first and second surfaces 312 and 314 and a second glass substrate 320 having third and fourth surfaces 322 and 324. A bonding layer 356 is formed on the frame on the first surface 312 of the first glass substrate 310.

前述のように、接合層356の材質は、特に限られないが、ここでは、接合層356がガラス固化層で形成される場合を例に、第1のガラス基板310の第1の表面312に接合層356を形成する方法について説明する。   As described above, the material of the bonding layer 356 is not particularly limited. Here, the bonding layer 356 is formed on the first surface 312 of the first glass substrate 310 as an example in which the bonding layer 356 is formed of a glass solidified layer. A method for forming the bonding layer 356 will be described.

第1のガラス基板310の第1の表面312の周囲に、ガラス固化層356を形成する場合、まず、ガラス固化層用のペーストが調製される。通常、ペーストは、ガラスフリット、セラミック粒子、ポリマー、および有機バインダ等を含む。ただし、セラミック粒子は、省略しても良い。ガラスフリットは、最終的に、ガラス固化層356を構成するガラス成分となる。   When the glass solidified layer 356 is formed around the first surface 312 of the first glass substrate 310, first, a paste for the glass solidified layer is prepared. Usually, the paste includes glass frit, ceramic particles, a polymer, an organic binder, and the like. However, the ceramic particles may be omitted. The glass frit eventually becomes a glass component constituting the glass solidified layer 356.

調製されたペーストは、第1のガラス基板310の第1の表面312の周囲に塗布される。   The prepared paste is applied around the first surface 312 of the first glass substrate 310.

次に、ペーストを含む第1のガラス基板310が乾燥処理される。乾燥処理の条件は、ペースト中の有機バインダが除去される条件である限り、特に限られない。乾燥処理は、例えば、第1のガラス基板310を、100℃〜200℃の温度に、30分〜1時間程度保持することにより実施されても良い。   Next, the first glass substrate 310 containing the paste is dried. The conditions for the drying treatment are not particularly limited as long as the organic binder in the paste is removed. The drying process may be performed, for example, by holding the first glass substrate 310 at a temperature of 100 ° C. to 200 ° C. for about 30 minutes to 1 hour.

次に、ペーストを仮焼成するため、第1のガラス基板310が高温で熱処理される。熱処理の条件は、ペースト中に含まれるポリマーが除去される条件である限り、特に限られない。熱処理は、例えば300℃〜470℃の温度範囲に、第1のガラス基板310を30分〜1時間程度保持することにより実施しても良い。これにより、ペーストが焼成され、ガラス固化層が形成される。   Next, in order to pre-fire the paste, the first glass substrate 310 is heat-treated at a high temperature. The conditions for the heat treatment are not particularly limited as long as the polymer contained in the paste is removed. The heat treatment may be performed, for example, by holding the first glass substrate 310 in the temperature range of 300 ° C. to 470 ° C. for about 30 minutes to 1 hour. Thereby, a paste is baked and a glass solidification layer is formed.

(組立体の形成)
次に、第1のガラス基板310および第2のガラス基板320の間に開放空間を有する組立体が構成される。
(Formation of assembly)
Next, an assembly having an open space between the first glass substrate 310 and the second glass substrate 320 is formed.

図4および図5には、組立体370の一構成例を概略的に示す。図4は、組立体370の概略的な断面図を示しており、図5は、組立体370の概略的な上面図を示している。なお、図5において、第2のガラス基板320は、明確化のため省略されている。   4 and 5 schematically show a configuration example of the assembly 370. FIG. FIG. 4 shows a schematic cross-sectional view of the assembly 370, and FIG. 5 shows a schematic top view of the assembly 370. In FIG. 5, the second glass substrate 320 is omitted for clarity.

図4および図5に示すように、組立体370は、第1のガラス基板310の第1の表面312と、第2のガラス基板320の第3の表面322とが相互に対向するようにして、両ガラス基板310、320を相互に積層することにより構成される。   As shown in FIGS. 4 and 5, the assembly 370 has the first surface 312 of the first glass substrate 310 and the third surface 322 of the second glass substrate 320 facing each other. The two glass substrates 310 and 320 are stacked on each other.

ただし、両ガラス基板310、320の間には、支持部材372が配置されており、このため、両ガラス基板310、320の間には、開放空間329が形成される。   However, a support member 372 is disposed between the glass substrates 310 and 320, and thus an open space 329 is formed between the glass substrates 310 and 320.

より具体的には、支持部材372の存在により、接合層356の少なくとも一部は、第2のガラス基板320の第3の表面322と非接触な状態となり、これにより、組立体370を上面(図のZ方向)から見たとき、接合層356で取り囲まれた領域と、その外側の領域の間で、気体連通が可能となる。   More specifically, due to the presence of the support member 372, at least a part of the bonding layer 356 is in a non-contact state with the third surface 322 of the second glass substrate 320, whereby the assembly 370 is placed on the upper surface ( When viewed from the Z direction in the figure, gas communication is possible between a region surrounded by the bonding layer 356 and a region outside the region.

また、真空複層ガラス100として、第1のガラス基板310と第2のガラス基板320との間隔を保持するピラーを配置する場合、このステップで第2のガラス基板320が積層される前に第1のガラス基板310の第1の表面312に複数のピラーを配置すると良い。   In addition, when a pillar that maintains the distance between the first glass substrate 310 and the second glass substrate 320 is disposed as the vacuum double-glazed glass 100, the first glass substrate 320 is laminated before the second glass substrate 320 is laminated in this step. A plurality of pillars may be arranged on the first surface 312 of one glass substrate 310.

支持部材372は、基部374と、支持部376とを有し、基部374の上部には斜面378が形成される。支持部376は、基部374の側部に、略水平な方向に延在するように形成される。また、斜面378は、基部374の上部に、支持部376の方に向かって傾斜するように(高さが減少するように)形成される。   The support member 372 includes a base portion 374 and a support portion 376, and an inclined surface 378 is formed on the upper portion of the base portion 374. The support portion 376 is formed on the side portion of the base portion 374 so as to extend in a substantially horizontal direction. In addition, the slope 378 is formed on the upper portion of the base portion 374 so as to be inclined toward the support portion 376 (so that the height is reduced).

支持部材372は、支持部376の上面を第2のガラス基板320の第3の表面322と接触させることにより、第2のガラス基板320を、第1のガラス基板310から「浮かした」状態で支持することができる。   The support member 372 makes the second glass substrate 320 “floating” from the first glass substrate 310 by bringing the upper surface of the support portion 376 into contact with the third surface 322 of the second glass substrate 320. Can be supported.

支持部材372を含むこのような組立体370は、搬送台380の上に置載される。   Such an assembly 370 including the support member 372 is placed on the transport table 380.

搬送台380は、図5に示すように、XY平面(組立体370の設置面)に対して略水平な方向(矢印F1の方向)に移動することができる。このため、搬送台380上の組立体370も、矢印F1の方向に移動することができる。搬送台380は、例えば、真空チャンバの内部、さらには真空チャンバの出口、およびその外側まで延在しても良い。   As shown in FIG. 5, the transport table 380 can move in a substantially horizontal direction (direction of arrow F <b> 1) with respect to the XY plane (installation surface of the assembly 370). For this reason, the assembly 370 on the conveyance stand 380 can also move in the direction of the arrow F1. The transfer table 380 may extend to the inside of the vacuum chamber, the outlet of the vacuum chamber, and the outside thereof, for example.

なお、図4および図5の例では、組立体370は、単一の支持部材372を有し、この支持部材372の基部374は、第1のガラス基板310の外側であって、第1のガラス基板310の一つの辺316a(図5参照)の近傍に配置されている。また、支持部材372の基部374は、辺316aの中央近傍に配置されている。   4 and 5, the assembly 370 has a single support member 372, and the base 374 of the support member 372 is outside the first glass substrate 310, and The glass substrate 310 is disposed in the vicinity of one side 316a (see FIG. 5). Further, the base 374 of the support member 372 is disposed near the center of the side 316a.

しかしながら、これは単なる一例に過ぎない。すなわち、第1および第2のガラス基板310、320の間に開放空間329が形成される限り、支持部材372の数および配置場所は、特に限られない。例えば、支持部材372は、複数存在しても良い。   However, this is only an example. That is, as long as the open space 329 is formed between the first and second glass substrates 310 and 320, the number and the arrangement location of the support members 372 are not particularly limited. For example, a plurality of support members 372 may exist.

図6には、支持部材372の別の配置形態の例を示す。この図は、組立体の概略的な上面図を示したものである。なお、図5の場合と同様、図6においても、第2のガラス基板320は、明確化のため省略されている。   In FIG. 6, the example of another arrangement | positioning form of the supporting member 372 is shown. This figure shows a schematic top view of the assembly. As in FIG. 5, the second glass substrate 320 is also omitted in FIG. 6 for clarity.

図6の例では、組立体370aは、2つの支持部材372−1、372−2を有する。これらの支持部材372−1、372−2の基部は、第1のガラス基板310の外側であって、第1のガラス基板310の一つの辺316aの両端近傍(隣接する2つのコーナー部の近傍)に配置されている。   In the example of FIG. 6, the assembly 370a includes two support members 372-1 and 372-2. The bases of these support members 372-1 and 372-2 are outside the first glass substrate 310 and in the vicinity of both ends of one side 316a of the first glass substrate 310 (near two adjacent corners). ).

さらに、支持部材372の基部374の形状は、特に限られない。例えば、支持部材372の基部374は、図5〜図6に示すような、高さ方向(Z方向)に延伸軸を有し、断面が四角形の他、円形でも良い。また、支持部材372の支持部376は、基部374に接合層356よりも高さ方向で高い位置に設置され、少なくとも最近接の接合層356部分が第2のガラス基板320に接触しない高さに設置されていれば良い。   Furthermore, the shape of the base 374 of the support member 372 is not particularly limited. For example, the base 374 of the support member 372 may have a stretching axis in the height direction (Z direction) as shown in FIGS. In addition, the support portion 376 of the support member 372 is installed at a height higher than the bonding layer 356 in the base portion 374, and at a height at which at least the closest bonding layer 356 portion does not contact the second glass substrate 320. It only has to be installed.

この他にも、支持部材372の数、形状、および配置形態として、様々な態様が考えられる。   In addition, various modes are conceivable as the number, shape, and arrangement of the support members 372.

なお、図4に示したような組立体370の構成では、上側の第2のガラス基板320の状態が不安定であり、ハンドリング中に位置がずれる可能性がある。そのような場合には、第2のガラス基板320の周囲に、第2のガラス基板320の動きを拘束するような停止部材を設けても良い。あるいは、第2のガラス基板320を第1のガラス基板310と仮留めしても良い。そのような停止部材および仮留め方法は、従来から広く知られており、ここではこれ以上説明しない。   In the configuration of the assembly 370 as shown in FIG. 4, the state of the upper second glass substrate 320 is unstable, and the position may be shifted during handling. In such a case, a stop member that restrains the movement of the second glass substrate 320 may be provided around the second glass substrate 320. Alternatively, the second glass substrate 320 may be temporarily fixed to the first glass substrate 310. Such stop members and temporary fastening methods are well known in the art and will not be described further here.

(ステップS120)
次に、搬送台380により、前述の工程で構成された組立体370が搬送され、組立体370は、真空チャンバ内に挿入される。組立体370の搬送速度は、特に限られない。なお、組立体370は、真空チャンバ内に挿入する前に、予熱しておいても良い。
(Step S120)
Next, the assembly 370 configured in the above-described steps is transported by the transport base 380, and the assembly 370 is inserted into the vacuum chamber. The conveyance speed of the assembly 370 is not particularly limited. The assembly 370 may be preheated before being inserted into the vacuum chamber.

真空チャンバ内は、減圧環境に維持されている。また、真空チャンバ内の圧力は、例えば、1×10−5Pa〜10Paの範囲であっても良い。好ましくは、真空チャンバ内の圧力は、0.1Pa以下である。 The inside of the vacuum chamber is maintained in a reduced pressure environment. Moreover, the pressure in a vacuum chamber may be the range of 1 * 10 < -5 > Pa-10Pa, for example. Preferably, the pressure in the vacuum chamber is 0.1 Pa or less.

(ステップS130)
組立体370は、真空チャンバ内で加熱され、減圧処理される。例えば、真空チャンバ内が高温に維持されていて組立体370全体が加熱されてもよく、真空チャンバ内を組立体370が搬送されながら加熱されていってもよい。また、組立体370全体が加熱されてもよいし、局所的に加熱されてもよく、加熱温度は、150℃以上であって良い。また、加熱温度は、第1のガラス基板310の軟化点と、第2のガラス基板320の軟化点のうち、低い方の軟化点よりも低い温度であっても良い。
(Step S130)
The assembly 370 is heated in a vacuum chamber and decompressed. For example, the inside of the vacuum chamber may be maintained at a high temperature and the entire assembly 370 may be heated, or the assembly 370 may be heated while being transported through the vacuum chamber. Further, the entire assembly 370 may be heated or locally heated, and the heating temperature may be 150 ° C. or higher. Further, the heating temperature may be a temperature lower than the lower one of the softening point of the first glass substrate 310 and the softening point of the second glass substrate 320.

次に、真空チャンバ内に設けられた支持解除部材を用いて、支持部材372による開放空間329の維持が解除される。すなわち、支持解除部材により、支持部材372は、支持機能が失われた状態となる。その結果、第1のガラス基板310上に、第2のガラス基板320が落下する。これにより、接合層356は、全周にわたって第2のガラス基板320と接触するようになる。その結果、組立体370の開放空間329は、接合層356によって周囲を覆われた密閉空間となる。   Next, using the support release member provided in the vacuum chamber, the maintenance of the open space 329 by the support member 372 is released. That is, the support member 372 is in a state in which the support function is lost by the support release member. As a result, the second glass substrate 320 falls on the first glass substrate 310. Thereby, the bonding layer 356 comes into contact with the second glass substrate 320 over the entire circumference. As a result, the open space 329 of the assembly 370 becomes a sealed space whose periphery is covered with the bonding layer 356.

図7には、真空チャンバ内に設けられた支持解除部材によって、支持部材372による支持機能が失われる際の様子を示す。   FIG. 7 shows a state in which the support function by the support member 372 is lost by the support release member provided in the vacuum chamber.

図7に示すように、この例では、支持解除部材は、真空チャンバの上部に設けられたロッド部材389である。ロッド部材389は、支持部材372の方に向かって延伸することができる。   As shown in FIG. 7, in this example, the support release member is a rod member 389 provided at the upper portion of the vacuum chamber. The rod member 389 can extend toward the support member 372.

支持部材372による第2のガラス基板320の支持を解除する場合、真空チャンバの上部から、このロッド部材389が下降する。これにより、ロッド部材389の先端は、支持部材372の斜面378と当接する。   When the support of the second glass substrate 320 by the support member 372 is released, the rod member 389 is lowered from the upper part of the vacuum chamber. As a result, the tip of the rod member 389 comes into contact with the inclined surface 378 of the support member 372.

ロッド部材389の先端により、支持部材372の斜面378が押し圧を受けると、支持部材372には、水平方向(図の矢印F2の方向)に移動する力が生じる。従って、支持部材372は、第2のガラス基板320から遠ざかる方向に移動する。   When the inclined surface 378 of the support member 372 receives a pressing pressure by the tip of the rod member 389, a force that moves in the horizontal direction (the direction of the arrow F2 in the figure) is generated in the support member 372. Accordingly, the support member 372 moves in a direction away from the second glass substrate 320.

ここで、支持部材372が一定距離以上移動すると、支持部材372の支持部376は、もはや第2のガラス基板320を支持することができなくなる。そのため、支持部材372による第2のガラス基板320の支持が解除される。これにより、第1のガラス基板310上に、第2のガラス基板320が落下する。   Here, when the support member 372 moves more than a certain distance, the support portion 376 of the support member 372 can no longer support the second glass substrate 320. Therefore, the support of the second glass substrate 320 by the support member 372 is released. As a result, the second glass substrate 320 falls on the first glass substrate 310.

その結果、図7に示すように、組立体370の開放空間329が失われ、第1のガラス基板310と第2のガラス基板320の間に、密閉空間330が形成される。   As a result, as shown in FIG. 7, the open space 329 of the assembly 370 is lost, and a sealed space 330 is formed between the first glass substrate 310 and the second glass substrate 320.

一方、組立体370中の接合層356は、真空チャンバ内での加熱により、溶融、軟化した状態にある。このため、第1のガラス基板310の接合層356が、全周にわたって第2のガラス基板320と接触した際には、接合層356によって、第1のガラス基板310と第2のガラス基板320とが接合され、接合体390が構成される。   On the other hand, the bonding layer 356 in the assembly 370 is melted and softened by heating in the vacuum chamber. Therefore, when the bonding layer 356 of the first glass substrate 310 is in contact with the second glass substrate 320 over the entire circumference, the bonding layer 356 causes the first glass substrate 310 and the second glass substrate 320 to Are joined to form a joined body 390.

ここで、真空チャンバ内は、減圧環境になっており、このため、第2のガラス基板320が落下する直前には、開放空間329は、既に減圧状態となっている。従って、第2のガラス基板320が落下した後に、両ガラス基板310、320の間に形成される密閉空間330は、減圧状態となる。   Here, the inside of the vacuum chamber is in a reduced pressure environment, and therefore, the open space 329 is already in a reduced pressure state immediately before the second glass substrate 320 falls. Therefore, after the second glass substrate 320 falls, the sealed space 330 formed between the glass substrates 310 and 320 is in a reduced pressure state.

なお、支持解除部材の働きにより、支持部材372による支持が解除された後(すなわち第2のガラス基板320が第1のガラス基板310上に落下した後)には、接合体390に、必要に応じて、第2のガラス基板320の側から、押し圧を加えても良い。これにより、接合体390の周囲にわたって、接合層356が均一に分布するようになり、第1のガラス基板310と第2のガラス基板320の間に、より良好な接合を得ることができる。   Note that, after the support by the support member 372 is released by the function of the support release member (that is, after the second glass substrate 320 falls on the first glass substrate 310), the bonded body 390 needs to be Accordingly, a pressing pressure may be applied from the second glass substrate 320 side. Accordingly, the bonding layer 356 is uniformly distributed over the periphery of the bonded body 390, and better bonding can be obtained between the first glass substrate 310 and the second glass substrate 320.

(ステップS140)
次に、搬送台380により、接合体390、すなわち真空複層ガラスが、真空チャンバから排出される。これにより、接合体390が降温される。なお、接合体390の降温は、真空チャンバ内で実施しても良い。
(Step S140)
Next, the bonded body 390, that is, the vacuum multilayer glass is discharged from the vacuum chamber by the transport table 380. Thereby, the temperature of the bonded body 390 is decreased. Note that the temperature of the bonded body 390 may be lowered in a vacuum chamber.

以上のような工程を経て、例えば図1に示したような真空複層ガラス100を製造することができる。   Through the steps as described above, for example, the vacuum multilayer glass 100 as shown in FIG. 1 can be manufactured.

このような第1の製造方法では、複数の真空複層ガラス100を、「流れ方式」で連続的に製造することができる。このため、真空複層ガラス100の生産性が向上する。   In such a first manufacturing method, the plurality of vacuum double-glazed glasses 100 can be continuously manufactured by the “flow method”. For this reason, the productivity of the vacuum double-glazed glass 100 is improved.

また、このような第1の製造方法では、複雑な駆動系を使用せずに、ロッド部材389のような、真空チャンバ側に設置された簡単な支持解除部材を用いて、支持部材372による第2のガラス基板320の支持を解除することができる。このため、製造設備の構成を簡略化することができる。   Further, in such a first manufacturing method, a simple support releasing member installed on the vacuum chamber side, such as the rod member 389, is used without using a complicated drive system, and the first manufacturing method by the support member 372 is used. The support of the second glass substrate 320 can be released. For this reason, the structure of manufacturing equipment can be simplified.

また、第1の製造方法では、油分等の、飛散の原因となる成分が必要な支持部材は、使用されない。このため、真空チャンバ内を汚染することなく、清浄な真空環境下で、接合体390を形成することができる。   In the first manufacturing method, a support member that requires components that cause scattering, such as oil, is not used. Therefore, the bonded body 390 can be formed in a clean vacuum environment without contaminating the inside of the vacuum chamber.

(シール部材の別の構成について)
以上の記載では、真空複層ガラスのシール部材として、図1に示したような額縁状の接合層155を想定し、本発明の一実施例による製造方法について説明した。
(About another configuration of the seal member)
In the above description, the frame-shaped joining layer 155 as shown in FIG. 1 is assumed as the vacuum double-glazed glass sealing member, and the manufacturing method according to the embodiment of the present invention has been described.

しかしながら、シール部材の構成は、これに限られるものではない。例えば、シール構造は、金属部材と、第1および第2の接合層とで構成されても良い。以下、図8を参照して、そのようなシール構造について、簡単に説明する。   However, the configuration of the seal member is not limited to this. For example, the seal structure may be composed of a metal member and first and second bonding layers. Hereinafter, such a sealing structure will be briefly described with reference to FIG.

図8には、真空複層ガラスに適用され得る、別のシール部材の概略的な部分断面図を示す。   FIG. 8 shows a schematic partial cross-sectional view of another sealing member that can be applied to a vacuum double-glazed glass.

図8に示すように、この真空複層ガラス600は、第1のガラス基板610と、第2のガラス基板620と、両ガラス基板610、620の間に構成された密閉空間630と、該密閉空間630を取り囲むシール部材650とを有する。   As shown in FIG. 8, this vacuum double-glazed glass 600 includes a first glass substrate 610, a second glass substrate 620, a sealed space 630 formed between both glass substrates 610 and 620, and the sealed glass And a seal member 650 surrounding the space 630.

シール部材650は、第1の接合層665、金属部材658、および第2の接合層667を、この順に積層することにより構成される。   The seal member 650 is configured by stacking a first bonding layer 665, a metal member 658, and a second bonding layer 667 in this order.

第1の接合層665は、第1のガラス基板610の第1の表面612側に、第1のガラス基板610の周囲にわたって、額縁状に設置されている。同様に、第2の接合層667は、第2のガラス基板620の第3の表面622側に、第2のガラス基板620の周囲にわたって、額縁状に設置されている。   The first bonding layer 665 is installed in a frame shape on the first surface 612 side of the first glass substrate 610 over the periphery of the first glass substrate 610. Similarly, the second bonding layer 667 is provided in a frame shape around the second glass substrate 620 on the third surface 622 side of the second glass substrate 620.

また、金属部材658は、第1の表面661および第2の表面662を有し、額縁状の形状を有する。金属部材658の第1の表面661は、少なくとも一部が第1の接合層665と結合されており、金属部材658の第2の表面662は、少なくとも一部が第2の接合層667と結合されている。   The metal member 658 has a first surface 661 and a second surface 662, and has a frame shape. The first surface 661 of the metal member 658 is at least partially bonded to the first bonding layer 665, and the second surface 662 of the metal member 658 is at least partially bonded to the second bonding layer 667. Has been.

ここで、図8からは明確ではないが、金属部材658の第1の表面661は、第1の接合層665と結合された結合部分以外の箇所では、他の部材とは結合されておらず、金属部材658の第2の表面662は、第2の接合層667と結合された結合部分以外の箇所では、他の部材とは結合されていない。   Here, although it is not clear from FIG. 8, the first surface 661 of the metal member 658 is not coupled to other members at a portion other than the coupling portion coupled to the first bonding layer 665. The second surface 662 of the metal member 658 is not bonded to another member at a place other than the bonding portion bonded to the second bonding layer 667.

なお、図8の例では、金属部材658は、断面で見たとき、直線的に折れ曲がった輪郭の「段差」形状を有する。しかしながら、金属部材658の形状は、特に限られない。例えば、金属部材558は、断面で見たとき、曲線的に湾曲した形状、または直線と曲線の組み合わせで構成された輪郭を有しても良い。あるいは、金属部材658は、断面で見たとき、略平坦な形状を有しても良い。   In the example of FIG. 8, the metal member 658 has a “step” shape with a contour that is linearly bent when viewed in cross section. However, the shape of the metal member 658 is not particularly limited. For example, the metal member 558 may have a curved shape when viewed in cross section, or a contour configured by a combination of a straight line and a curved line. Alternatively, the metal member 658 may have a substantially flat shape when viewed in cross section.

また、図8の例では、真空複層ガラス600を上部(厚さ方向:図8のZ方向)から見たとき、第1の接合層665は、第2の接合層667とは設置位置がずれている。しかしながら、これは必ずしも必要ではなく、図8のZ方向から見たとき、第1の接合層665は、一部または全部が第2の接合層667と重なっていても良い。   Further, in the example of FIG. 8, when the vacuum double-glazed glass 600 is viewed from above (thickness direction: Z direction in FIG. 8), the first bonding layer 665 is installed at a position different from the second bonding layer 667. It's off. However, this is not always necessary, and the first bonding layer 665 may partially or entirely overlap with the second bonding layer 667 when viewed from the Z direction in FIG.

真空複層ガラスのシール部材650は、このような構成を有しても良い。   The vacuum multilayer glass sealing member 650 may have such a configuration.

このようなシール部材650を有する真空複層ガラス600も、基本的に、前述の図1に示した真空複層ガラス100の製造用の、図2に示した各ステップを実施することにより、同様に製造することができる。   The vacuum double-glazed glass 600 having such a sealing member 650 is basically the same by performing the steps shown in FIG. 2 for manufacturing the vacuum double-glazed glass 100 shown in FIG. Can be manufactured.

例えば、前述のステップS110において、まず、第1の表面612上に第1の接合層665が配置された第1のガラス基板610と、第3の表面622上に第2の接合層667が配置された第2のガラス基板620と、を準備する。また、第1のガラス基板610の第1の接合層656上に、額縁状の金属部材658を配置する。   For example, in the above-described step S110, first, the first glass substrate 610 in which the first bonding layer 665 is disposed on the first surface 612 and the second bonding layer 667 are disposed on the third surface 622. The prepared second glass substrate 620 is prepared. In addition, a frame-shaped metal member 658 is disposed over the first bonding layer 656 of the first glass substrate 610.

次に、両ガラス基板610、620の間に開放空間が形成されるように支持部材を配置して、組立体を構成する。その後は、前述のステップS120〜ステップS140を実施することにより、図8に示したようなシール部材650を有する真空複層ガラス600を製造することができる。   Next, a support member is arranged so that an open space is formed between the glass substrates 610 and 620, thereby constituting an assembly. Thereafter, the vacuum double-glazed glass 600 having the sealing member 650 as shown in FIG. 8 can be manufactured by performing the above-described steps S120 to S140.

なお、以上の記載では、支持解除部材の一例として、上下方向に伸縮可能なロッド部材389を挙げ、このロッド部材389の上からの押し圧により、支持部材372の第2のガラス基板320の支持を解除する方法について説明した。   In the above description, the rod member 389 that can be expanded and contracted in the vertical direction is given as an example of the support release member, and the support member 372 supports the second glass substrate 320 by the pressing force from above the rod member 389. Explained how to cancel.

しかしながら、支持部材372の第2のガラス基板320の支持を解除する方法は、これに限られるものではない。例えば、上下方向に伸縮可能なロッド部材389の代わりに、両ガラス基板610、620に沿った横(水平)方向に伸縮可能なロッド部材を用いることにより、支持部材の第2のガラス基板320の支持を解除しても良い。この場合、支持部材は、基部の側面に、ロッド部材と当接する斜面を有するように構成される。   However, the method for releasing the support of the second glass substrate 320 of the support member 372 is not limited to this. For example, instead of the rod member 389 that can be expanded and contracted in the vertical direction, a rod member that can be expanded and contracted in the horizontal (horizontal) direction along the both glass substrates 610 and 620 is used. Support may be released. In this case, the support member is configured to have a slope that contacts the rod member on the side surface of the base.

あるいは、支持部材と支持解除部材の組み合わせとして、別の構成を使用しても良い。   Alternatively, another configuration may be used as a combination of the support member and the support release member.

図9および図10には、支持部材と支持解除部材の別の組み合わせの一例を模式的に示す。   9 and 10 schematically show an example of another combination of the support member and the support release member.

図9には、図4の例とは異なる支持部材を有する別の組立体の断面を模式的に示す。また、図10には、この別の組立体において、支持部材による支持機能が失われる際の様子を模式的に示す。   FIG. 9 schematically shows a cross section of another assembly having a support member different from the example of FIG. FIG. 10 schematically shows a state where the support function by the support member is lost in this other assembly.

図9に示すように、この組立体470は、第1のガラス基板410と、第2のガラス基板420と、支持部材472とを備える。   As shown in FIG. 9, the assembly 470 includes a first glass substrate 410, a second glass substrate 420, and a support member 472.

第1のガラス基板410は、第1の表面412および第2の表面414を有し、第2のガラス基板420は、第3の表面422および第4の表面424を有する。第1のガラス基板410の第1の表面412には、接合層456が形成されている。   The first glass substrate 410 has a first surface 412 and a second surface 414, and the second glass substrate 420 has a third surface 422 and a fourth surface 424. A bonding layer 456 is formed on the first surface 412 of the first glass substrate 410.

支持部材472は、基部474と、該基部474の側面から水平方向に延伸する支持部476とを有する。支持部476は、上部から所定の負荷を受けた際に、自身がXZ平面内で回転可能な回転軸477を有する。回転軸477は、図9の紙面と垂直な方向(Y方向)に延伸している。   The support member 472 includes a base portion 474 and a support portion 476 extending in the horizontal direction from the side surface of the base portion 474. The support portion 476 has a rotation shaft 477 that can rotate within the XZ plane when receiving a predetermined load from above. The rotation shaft 477 extends in a direction (Y direction) perpendicular to the paper surface of FIG.

支持部材472は、両ガラス基板410および420の間に、開放空間429が形成されるように配置される。より具体的には、支持部材472は、支持部476によって、第2のガラス基板420を第3の表面422で支持しており、これにより、第2のガラス基板420を、第1のガラス基板410から「浮かした」状態にすることができる。   The support member 472 is disposed so that an open space 429 is formed between the glass substrates 410 and 420. More specifically, the support member 472 supports the second glass substrate 420 on the third surface 422 by the support portion 476, whereby the second glass substrate 420 is supported by the first glass substrate. From 410, the state can be "floated".

なお、支持部材472の回転軸477は、第2のガラス基板420の重量程度では、支持部476が回転しないように設定される。   Note that the rotation shaft 477 of the support member 472 is set so that the support portion 476 does not rotate about the weight of the second glass substrate 420.

このような組立体470において、支持部材472による第2のガラス基板420の支持を解除する際には、組立体470を搬送台480上に置載して、組立体470を真空チャンバ内に搬送する。   In such an assembly 470, when releasing the support of the second glass substrate 420 by the support member 472, the assembly 470 is placed on the transfer table 480 and the assembly 470 is transferred into the vacuum chamber. To do.

図10に示すように、真空チャンバの上部には、支持解除部材として、ロッド部材489が設けられている。このロッド部材489は、支持部材472の支持部476の方に向かって延伸することができる。   As shown in FIG. 10, a rod member 489 is provided as a support release member at the top of the vacuum chamber. The rod member 489 can extend toward the support portion 476 of the support member 472.

支持部材472による第2のガラス基板420の支持を解除する場合、真空チャンバの上部から、このロッド部材489が下降する。これにより、ロッド部材489の先端は、支持部材472の支持部476と接触する。   When releasing the support of the second glass substrate 420 by the support member 472, the rod member 489 descends from the upper part of the vacuum chamber. Thereby, the tip of the rod member 489 comes into contact with the support portion 476 of the support member 472.

ロッド部材489の先端により、支持部材472の支持部476が押し圧を受けると、回転軸477を中心として、支持部476が下方に回転する(矢印F3参照)。   When the support portion 476 of the support member 472 receives a pressing force by the tip of the rod member 489, the support portion 476 rotates downward about the rotation shaft 477 (see arrow F3).

ここで、支持部476がある角度以上回転すると、支持部476は、もはや第2のガラス基板420を支持することができなくなる。そのため、支持部材472による第2のガラス基板420の支持が解除される。これにより、第1のガラス基板410上に、第2のガラス基板420が落下する。なお、図面上は第2のガラス基板420が大きく傾いて支持されているが、これは説明のために誇張して記載しており、実際には第2のガラス基板420は、第1のガラス基板410と重ね合わせる際に位置ズレや破損が発生しない程度の高さから落下される。   Here, when the support portion 476 is rotated by a certain angle or more, the support portion 476 can no longer support the second glass substrate 420. Therefore, the support of the second glass substrate 420 by the support member 472 is released. As a result, the second glass substrate 420 falls on the first glass substrate 410. In the drawing, the second glass substrate 420 is supported with a large inclination. However, this is exaggerated for the sake of explanation, and the second glass substrate 420 is actually the first glass. When superposed on the substrate 410, it is dropped from a height that does not cause misalignment or damage.

その結果、図10に示すように、組立体470の開放空間429が失われ、第1のガラス基板410と第2のガラス基板420の間に、密閉空間430を形成することができる。   As a result, as shown in FIG. 10, the open space 429 of the assembly 470 is lost, and a sealed space 430 can be formed between the first glass substrate 410 and the second glass substrate 420.

図11および図12には、支持部材と支持解除部材のさらに別の組み合わせの一例を模式的に示す。   FIG. 11 and FIG. 12 schematically show an example of still another combination of a support member and a support release member.

図11には、図4および図9の例とは異なる支持部材を有する、さらに別の組立体の断面を模式的に示す。また、図12には、この組立体において、支持部材による支持機能が失われる際の様子を模式的に示す。なお、図12は、組立体の模式的な上面図であるが、明確化のため、一部の部材は省略されている。   FIG. 11 schematically shows a cross-section of still another assembly having a support member different from the examples of FIGS. 4 and 9. FIG. 12 schematically shows a state where the support function by the support member is lost in this assembly. FIG. 12 is a schematic top view of the assembly, but some members are omitted for clarity.

図11に示すように、この組立体570は、第1のガラス基板510と、第2のガラス基板520と、支持部材572とを備える。   As shown in FIG. 11, the assembly 570 includes a first glass substrate 510, a second glass substrate 520, and a support member 572.

第1のガラス基板510は、第1の表面512および第2の表面514を有し、第2のガラス基板520は、第3の表面522および第4の表面524を有する。第1のガラス基板510の第1の表面512には、接合層556が形成されている。   The first glass substrate 510 has a first surface 512 and a second surface 514, and the second glass substrate 520 has a third surface 522 and a fourth surface 524. A bonding layer 556 is formed on the first surface 512 of the first glass substrate 510.

支持部材572は、基部574と、該基部474の側面から水平方向に延伸する支持部576とを有する。支持部576は、水平方向から所定の負荷を受けた際に、自身がXY平面(組立体570の搬送方向と平行な平面)内で回転可能な回転軸577を有する。回転軸577は、図11のZ方向に延伸しており、従って、基部574の延伸方向と一致している。   The support member 572 includes a base portion 574 and a support portion 576 extending in the horizontal direction from the side surface of the base portion 474. The support portion 576 has a rotation shaft 577 that can rotate within the XY plane (a plane parallel to the conveyance direction of the assembly 570) when receiving a predetermined load from the horizontal direction. The rotating shaft 577 extends in the Z direction in FIG. 11 and therefore coincides with the extending direction of the base 574.

支持部材572は、両ガラス基板510および520の間に、開放空間529が形成されるように配置される。より具体的には、支持部材572は、支持部576によって、第2のガラス基板520を第3の表面522で支持しており、これにより、第2のガラス基板520を、第1のガラス基板510から「浮かした」状態にすることができる。   The support member 572 is disposed so that an open space 529 is formed between the glass substrates 510 and 520. More specifically, the support member 572 supports the second glass substrate 520 on the third surface 522 by the support portion 576, whereby the second glass substrate 520 is supported by the first glass substrate. From 510, the state can be "floated".

このような組立体570において、支持部材572による第2のガラス基板520の支持を解除する際には、組立体570を搬送台580上に置載して、組立体570を真空チャンバ内に搬送する。   In such an assembly 570, when the support of the second glass substrate 520 by the support member 572 is released, the assembly 570 is placed on the transfer table 580, and the assembly 570 is transferred into the vacuum chamber. To do.

図12の上図に示すように、真空チャンバの上部には、支持解除部材として、ロッド部材589が設けられている。ロッド部材589は、真空チャンバの上部から、下方に向かって延在している。ロッド部材589の先端は、搬送台580には達していない。なお、このロッド部材589は、位置が固定されている上、非可動式である。   As shown in the upper diagram of FIG. 12, a rod member 589 is provided as a support release member at the upper portion of the vacuum chamber. The rod member 589 extends downward from the upper part of the vacuum chamber. The tip end of the rod member 589 does not reach the transport table 580. The rod member 589 has a fixed position and is non-movable.

真空チャンバ内では、搬送台580上の組立体570は、図12の矢印F4の方向(Y方向)に進行する。   In the vacuum chamber, the assembly 570 on the carrier 580 advances in the direction of arrow F4 (Y direction) in FIG.

ここで、搬送台580によって、組立体570がロッド部材589の設置位置まで搬送されると、支持部材572の支持部576は、ロッド部材589と当接する。しかしながら、搬送台580によって、組立体570は、さらに矢印F4の方向に前進する。その結果、図12の下図に示すように、支持部576は、ロッド部材589からの力によって、回転軸577を中心に、矢印F5の方向に回転する。   Here, when the assembly 570 is transported to the installation position of the rod member 589 by the transport base 580, the support portion 576 of the support member 572 comes into contact with the rod member 589. However, the carrier 580 causes the assembly 570 to further advance in the direction of the arrow F4. As a result, as shown in the lower diagram of FIG. 12, the support portion 576 rotates around the rotation shaft 577 in the direction of the arrow F5 by the force from the rod member 589.

これにより、支持部材572による第2のガラス基板520の支持が解除され、第1のガラス基板510上に、第2のガラス基板520が落下する。なお、図面上は第2のガラス基板520が大きく傾いて支持されているが、これは説明のために誇張して記載しており、実際には第2のガラス基板520は、第1のガラス基板510と重ね合わせる際に位置ズレや破損が発生しない程度の高さから落下される。   As a result, the support of the second glass substrate 520 by the support member 572 is released, and the second glass substrate 520 falls on the first glass substrate 510. Note that the second glass substrate 520 is supported with a large inclination in the drawing, but this is exaggerated for the sake of explanation. Actually, the second glass substrate 520 is the first glass. When superposed on the substrate 510, it is dropped from a height that does not cause misalignment or damage.

その結果、組立体570の開放空間529が失われ、第1のガラス基板510と第2のガラス基板520の間に、密閉空間を形成することができる。   As a result, the open space 529 of the assembly 570 is lost, and a sealed space can be formed between the first glass substrate 510 and the second glass substrate 520.

以上、組立体に使用され得る支持部材と、真空チャンバ内に設置される支持解除部材の組み合わせの一例について説明した。しかしながら、上記の組み合わせは、単なる一例に過ぎず、支持部材と支持解除部材の組み合わせとして、その他の組み合わせを適用しても良いことは、当業者には明らかである。   The example of the combination of the support member that can be used in the assembly and the support release member installed in the vacuum chamber has been described above. However, it will be apparent to those skilled in the art that the above combination is merely an example, and that other combinations may be applied as the combination of the support member and the support release member.

すなわち、本発明において重要なことは、組立体に含まれる支持部材によって形成された開放空間が、真空チャンバ内に設けられた支持解除部材によって、真空チャンバ内で密閉空間に変化することであり、これが満たされる限り、支持部材と支持解除部材の組み合わせは、特に限定されないことに留意する必要がある。   That is, what is important in the present invention is that the open space formed by the support member included in the assembly is changed to a sealed space in the vacuum chamber by the support release member provided in the vacuum chamber. It should be noted that the combination of the support member and the support release member is not particularly limited as long as this is satisfied.

本発明は、建築物の窓ガラス等に使用される真空複層ガラス等に利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for vacuum double glazing and the like used for building window glass and the like.

100 真空複層ガラス
110 第1のガラス基板
112 第1の表面
114 第2の表面
120 第2のガラス基板
122 第3の表面
124 第4の表面
130 密閉空間
150 シール部材
155 接合層
310 第1のガラス基板
312 第1の表面
314 第2の表面
316a 辺
320 第2のガラス基板
322 第3の表面
324 第4の表面
329 開放空間
330 密閉空間
356 接合層
370 組立体
370a 組立体
372 支持部材
372―1、372−2 支持部材
374 基部
376 支持部
378 斜面
380 搬送台
389 ロッド部材
390 接合体
410 第1のガラス基板
412 第1の表面
414 第2の表面
420 第2のガラス基板
422 第3の表面
424 第4の表面
429 開放空間
430 密閉空間
456 接合層
470 組立体
472 支持部材
474 基部
476 支持部
477 回転軸
480 搬送台
489 ロッド部材
510 第1のガラス基板
512 第1の表面
514 第2の表面
520 第2のガラス基板
522 第3の表面
524 第4の表面
529 開放空間
556 接合層
570 組立体
572 支持部材
574 基部
576 支持部
577 回転軸
580 搬送台
589 ロッド部材
600 真空複層ガラス
610 第1のガラス基板
612 第1の表面
620 第2のガラス基板
622 第3の表面
630 密閉空間
650 シール部材
658 金属部材
661 金属部材の第1の表面
662 金属部材の第2の表面
665 第1の接合層
667 第2の接合層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Vacuum multilayer glass 110 1st glass substrate 112 1st surface 114 2nd surface 120 2nd glass substrate 122 3rd surface 124 4th surface 130 Sealed space 150 Sealing member 155 Bonding layer 310 1st Glass substrate 312 First surface 314 Second surface 316a Side 320 Second glass substrate 322 Third surface 324 Fourth surface 329 Open space 330 Sealed space 356 Bonding layer 370 Assembly 370a Assembly 372 Support member 372- DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 372-2 Support member 374 Base part 376 Support part 378 Slope 380 Carriage 389 Rod member 390 Joint body 410 1st glass substrate 412 1st surface 414 2nd surface 420 2nd glass substrate 422 3rd surface 424 Fourth surface 429 Open space 430 Sealed space 456 Contact Layer 470 Assembly 472 Support member 474 Base portion 476 Support portion 477 Rotating shaft 480 Transport base 489 Rod member 510 First glass substrate 512 First surface 514 Second surface 520 Second glass substrate 522 Third surface 524 Second 4 surface 529 open space 556 bonding layer 570 assembly 572 support member 574 base portion 576 support portion 577 rotating shaft 580 carrier 589 rod member 600 vacuum double-glazed glass 610 first glass substrate 612 first surface 620 second glass Substrate 622 Third surface 630 Sealed space 650 Seal member 658 Metal member 661 Metal member first surface 662 Metal member second surface 665 First bonding layer 667 Second bonding layer

Claims (9)

相互に対向する第1のガラス基板と第2のガラス基板との間に、減圧された密閉空間を備える真空複層ガラスの製造方法であって、
(a)第1のガラス基板と第2のガラス基板との間に、接合層および開放空間を有する組立体を、搬送台上に置載するステップであって、前記接合層は、前記第1および/または第2のガラス基板に額縁状に配置され、前記開放空間は、支持部材によって維持されるステップと、
(b)前記搬送台により、前記組立体を、支持解除部材が設置された真空環境下の真空チャンバ内に搬送するステップと、
(c)前記真空チャンバ内で、前記組立体が加熱され、前記支持解除部材を用いて、前記支持部材による前記開放空間の維持が解除され、前記接合層が前記第1および第2のガラス基板と接触することによって、前記第1のガラス基板と第2のガラス基板との間に、前記接合層によって取り囲まれた密閉空間が形成されるステップと、
(d)前記搬送台により、前記組立体を、前記真空チャンバから排出させるステップと、
を有することを特徴とする真空複層ガラスの製造方法。
A method for producing a vacuum double-glazed glass comprising a reduced-pressure sealed space between a first glass substrate and a second glass substrate facing each other,
(A) A step of placing an assembly having a bonding layer and an open space between a first glass substrate and a second glass substrate on a transport table, wherein the bonding layer includes the first glass substrate and the second glass substrate. And / or arranged in a frame shape on the second glass substrate, the open space being maintained by a support member;
(B) transporting the assembly into a vacuum chamber under a vacuum environment in which a support release member is installed by the transport table;
(C) The assembly is heated in the vacuum chamber, the maintenance of the open space by the support member is released by using the support release member, and the bonding layer is the first and second glass substrates. A closed space surrounded by the bonding layer is formed between the first glass substrate and the second glass substrate by contacting with the first glass substrate; and
(D) discharging the assembly from the vacuum chamber by the transfer table;
A method for producing a vacuum double-glazed glass, comprising:
前記組立体において、前記第2のガラス基板は、前記第1のガラス基板の上方に配置され、
前記支持部材は、第2のガラス基板を支持する支持部と該支持部が設置された基部とを有し、
前記(c)のステップでは、前記支持解除部材が前記基部を押圧して、前記支持部が前記第2のガラス基板から遠ざかるようにスライドすることにより前記第2のガラス基板が落下し、前記開放空間の維持が解除される請求項1に記載の真空複層ガラスの製造方法。
In the assembly, the second glass substrate is disposed above the first glass substrate,
The support member has a support portion that supports the second glass substrate and a base portion on which the support portion is installed,
In the step (c), the support releasing member presses the base portion, and the support portion slides away from the second glass substrate, whereby the second glass substrate falls, and the opening is released. The method for producing a vacuum double-glazed glass according to claim 1, wherein the maintenance of the space is released.
前記支持部材は、上部に斜面が形成され、前記(c)のステップでは、前記支持解除部材が前記斜面を押圧する請求項2に記載の真空複層ガラスの製造方法。   3. The method for producing a vacuum multilayer glass according to claim 2, wherein the support member has an inclined surface formed thereon, and in the step (c), the support releasing member presses the inclined surface. 前記組立体において、前記第2のガラス基板は、前記第1のガラス基板の上方に配置され、
前記支持部材は、第2のガラス基板を支持する支持部と該支持部を回転可能とする基部とを有し、
前記(c)のステップでは、前記支持解除部材が前記支持部に当接して、前記支持部が回転することにより前記第2のガラス基板が落下し、前記開放空間の維持が解除される請求項1に記載の真空複層ガラスの製造方法。
In the assembly, the second glass substrate is disposed above the first glass substrate,
The support member includes a support portion that supports the second glass substrate and a base portion that allows the support portion to rotate,
In the step (c), the support release member comes into contact with the support portion, and the support portion rotates, whereby the second glass substrate falls, and the maintenance of the open space is released. The manufacturing method of the vacuum double-glazed glass of 1.
前記支持解除部材は、前記真空チャンバの上部に取り付けられる請求項1乃至4のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。   The method for manufacturing a vacuum double-glazed glass according to claim 1, wherein the support release member is attached to an upper portion of the vacuum chamber. 前記真空チャンバ内の圧力は、1×10−5Pa〜10Paの範囲である請求項1乃至5のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。 The method for producing a vacuum multi-layer glass according to any one of claims 1 to 5, wherein the pressure in the vacuum chamber is in a range of 1 x 10-5 Pa to 10 Pa. 前記真空チャンバ内の温度は、150℃以上であり、前記第1および第2のガラス基板のうち、低い方の軟化点未満の温度である請求項1乃至6のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。   The vacuum according to any one of claims 1 to 6, wherein the temperature in the vacuum chamber is 150 ° C or higher, and is a temperature lower than the lower softening point of the first and second glass substrates. A method for producing a multilayer glass. 前記接合層は、ガラス固化層を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。   The method for producing a vacuum double-layer glass according to any one of claims 1 to 7, wherein the bonding layer includes a glass solidified layer. 前記(a)のステップにおいて、前記組立体は、前記第1および第2のガラス基板の間に、さらに、額縁状の第2の接合層および額縁状の金属部材を有し、前記接合層は、前記第1のガラス基板に配置され、前記第2の接合層は、前記第2のガラス基板に配置され、前記金属部材は、前記接合層と第2の接合層の間に配置され、
前記(c)のステップにおいて、前記第1のガラス基板と第2のガラス基板との間には、前記接合層、前記金属部材、および前記第2の接合層によって取り囲まれた前記密閉空間が形成される請求項1乃至8のいずれか一つに記載の真空複層ガラスの製造方法。
In the step (a), the assembly further includes a frame-shaped second bonding layer and a frame-shaped metal member between the first and second glass substrates, and the bonding layer includes: , Disposed on the first glass substrate, the second bonding layer is disposed on the second glass substrate, and the metal member is disposed between the bonding layer and the second bonding layer,
In the step (c), the sealed space surrounded by the bonding layer, the metal member, and the second bonding layer is formed between the first glass substrate and the second glass substrate. The manufacturing method of the vacuum multilayer glass as described in any one of Claim 1 thru | or 8.
JP2013217184A 2013-10-18 2013-10-18 Method for producing vacuum multi-layered glass Pending JP2016210626A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013217184A JP2016210626A (en) 2013-10-18 2013-10-18 Method for producing vacuum multi-layered glass
PCT/JP2014/076813 WO2015056606A1 (en) 2013-10-18 2014-10-07 Production method for vacuum multilayer glass

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013217184A JP2016210626A (en) 2013-10-18 2013-10-18 Method for producing vacuum multi-layered glass

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016210626A true JP2016210626A (en) 2016-12-15

Family

ID=57552271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013217184A Pending JP2016210626A (en) 2013-10-18 2013-10-18 Method for producing vacuum multi-layered glass

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2016210626A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018079552A1 (en) 2016-10-27 2018-05-03 三井化学東セロ株式会社 Electronic device production method, adhesive film for electronic device production, and electronic component testing device
JP2020121906A (en) * 2019-01-31 2020-08-13 Ykk Ap株式会社 Manufacturing method of multiple glass, and multiple glass

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018079552A1 (en) 2016-10-27 2018-05-03 三井化学東セロ株式会社 Electronic device production method, adhesive film for electronic device production, and electronic component testing device
JP2020121906A (en) * 2019-01-31 2020-08-13 Ykk Ap株式会社 Manufacturing method of multiple glass, and multiple glass
JP7084332B2 (en) 2019-01-31 2022-06-14 Ykk Ap株式会社 Manufacturing method of double glazing and double glazing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6500902B2 (en) Method of manufacturing vacuum double glass, and vacuum double glass
JP6187470B2 (en) Multi-layer glass and method for producing multi-layer glass
US11008802B2 (en) Methods for manufacturing tempered vacuum glass and production lines therefor
JP6495928B2 (en) Frit used in vacuum insulated glass (VIG) unit and / or associated method
JP2017509573A (en) Vacuum insulated glass (VIG) unit with lead-free double frit end seal and / or method of manufacturing the same
WO2016009949A1 (en) Vacuum multilayer glass and method for manufacturing vacuum multilayer glass
WO2014136152A1 (en) Multiple pane glass and method for producing multiple pane glass
JP2016536255A (en) Method for producing tempered vacuum glass
TW201712207A (en) Vacuum glass panel, glass window, and method for producing vacuum glass panel
JP2013540684A (en) Vacuum glass panel and manufacturing method thereof
WO2017056419A1 (en) Glass panel unit manufacturing method and glass window manufacturing method
CN101807672B (en) Glass sealing structure and manufacturing method thereof
JP2016210626A (en) Method for producing vacuum multi-layered glass
KR101071879B1 (en) Vacuum glass panel having spacer and manufacturing method thereof
EP3170799B1 (en) Vacuum multi-layer glass
JP2016030718A (en) Method and apparatus for production of vacuum multiple glass
WO2015056606A1 (en) Production method for vacuum multilayer glass
JP2016210625A (en) Method for producing vacuum multi-layered glass
WO2015064458A1 (en) Vacuum multi-layer glass manufacturing method
CN104817259A (en) Self-heat-sealing type vacuum glass
WO2015056599A1 (en) Production method for vacuum multilayer glass
AU2016275569B2 (en) Pump out tube preform
JP2017019697A (en) Production method of vacuum airtight body
JP2015202992A (en) vacuum double glazing
JP2014080313A (en) Double glass, and manufacturing method of double glass