JP2016207482A - ショートアーク型放電ランプ - Google Patents

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俊明 大谷
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Abstract

【課題】ランプ内の電極が陰極上側で垂直点灯するショートアーク型放電ランプにおいて、ランプの局所的な歪み応力の増加を抑制することにより、破裂を防止して長寿命化した放電ランプを提供する。
【解決手段】発光部1Aの内部で対向して配置された陰極3及び陽極2、陰極3及び陽極2を夫々支持する電極支持棒5、電極支持棒5に夫々接続されシール管部1Cから外方に突出するリード線、及びシール管部1Cに装填され電極支持棒5及びリード線を支持すると共に放電管の内部を気密封止する電極マウント9とを備え、陰極3側で発光部1Aとシール管部1Cの境界の位置Aからシール管部1Cの陰極封止部Bまでの間に電極側端面9aを底面とするポケット部1cが形成されており、ポケット部1cのシール管部1Cの内周面の面積をSとし、ショートアーク型放電ランプの入力電力をPとしたとき、(S/P)が140〜260mm2/kWの範囲内にある。
【選択図】図2

Description

本発明は、紫外線を発光する高圧水銀ランプに関し、特に、アーク長が比較的短いショートアーク型放電ランプに関する。
高圧水銀ランプのうち、アーク長が比較的短い構造のランプはショートアーク型放電ランプと称される。ショートアーク型放電ランプは、高輝度の光を放射することができるため広い分野で用いられる。特に、中心発光波長が365[nm]のi線ランプや436[nm]のg線ランプは、半導体、液晶、プリント基板等の製造工程における露光用光源として用いられる。
製造工程で用いられる露光用ランプでは、処理能力向上の要請から、高輝度の出力ばかりでなく、ランプの立ち上がり時間(即ち、点灯始動から定常点灯への移行時間)の短縮が求められるため、水銀の蒸発を促すために陽極を下側にして使用される。
特開2006-172809「ショートアーク型放電ランプ」(公開日:2006年6月29日)出願人:ウシオ電気株式会社 特開2012-204288「ショートアーク型放電ランプ」(公開日:2012年10月22日)出願人:岩崎電気株式会社
ショートアーク型放電ランプでは、ランプ内部の陽極と陰極のどちらを上側にして使用するかは、その用途によって決められる。製造工程で用いられる露光用ランプでは、ランプの立ち上がり時間を短縮するため、ランプの発光物質である水銀が容易に蒸発し易いように陰極を上側にし、陽極を下側にして使用される。
しかし、ランプの寿命試験を実施すると、陰極上側で垂直点灯したランプは、陽極上側で垂直点灯したランプに比較して、ランプの破裂が発生する比率が高いことが判明した。
そこで、本発明は、ランプ内の電極が陰極上側で垂直点灯するショートアーク型放電ランプにおいて、ランプの局所的な歪み応力の増加を抑制することにより破裂を防止して、長寿命化を実現することを目的とする。
本発明に係るショートアーク型放電ランプは、発光部と該発光部の両側にシール管部を夫々設けた放電管と、前記発光部の内部で相互に対向して配置された陰極及び陽極、該陰極及び陽極を夫々支持する電極支持棒、該電極支持棒に夫々接続され前記シール管部から外方に突出するリード線、及び該シール管部に装填され該電極支持棒及び該リード線を支持すると共に前記放電管の内部を気密封止する電極マウントとを備え、前記陰極が上側で前記陽極が下側になるように、前記放電管の中心軸線が略垂直に設置されるショートアーク型放電ランプであって、前記陰極側では、前記発光部と前記シール管部の境界の位置Aから該シール管の陰極封止部Bまでの間に電極側端面を底面とするポケット部が形成されており、位置Aから陰極封止部Bまでの距離をLとし、ポケット部の前記シール管部の内周面の面積をSとし、前記ショートアーク型放電ランプの入力電力をPとしたとき、(S/P)が140〜260 mm2/kWの範囲内にある。
更に、上記ショートアーク型放電ランプでは、前記シール管部の内径Dは、13〜23 mmの範囲内にあってよい。
更に、上記ショートアーク型放電ランプでは、前記ポケット部の長さLは、8.5〜25 mmの範囲内にあってよい。
本発明によれば、ランプ内の電極が陰極上側で垂直点灯するショートアーク型放電ランプにおいて、ランプの局所的な歪み応力の増加を抑制することにより破裂を防止して、長寿命化を実現することが出来る。
図1Aは、本発明の一実施形態に係るショートアーク型放電ランプの概略構成を示す断面図である。 図1Bは、図1Aのランプの変形例であって、電極マウントの内端面側の形状を凸形状とし、シール管部の口径を部分的に絞った形態を示す図である。 図1Cは、図1Aのランプの他の変形例であって、電極マウントの内端面側を凹形状とした形態を示す図である。 図2は、図1Aに示すショートアーク型放電ランプの陰極の周囲の部分拡大図である。 図3は、ランプの入力電力P、シール管部の内径D、円形の凹部の長さLを変えた複数のランプを試作して、長時間点灯の寿命試験を実施して、陰極封止部に発生する歪み応力F及びランプ破壊との関係を示す図である。 図4は、円形の凹部のガラス管内周面積(S/P)と歪み応力F(1,500h)との関係を示し、歪み緩和効果の有無を説明する図である。 図5は、顕微鏡型歪検査器による歪みの測定方法を説明する図である。 図6は、陰極封止部Bを通るように、シール管部1Cの軸線に垂直方向に切断した断面図である。
以下、本発明に係るショートアーク型放電ランプの実施形態を、添付図面を参照しながら説明する。なお、図に示された同じ要素に対しては、同じ参照符号を付して、重複した説明を省略している。
[ショートアーク型放電ランプ]
(全般)
図1Aは、本発明の一実施形態に係るショートアーク型放電ランプの概略構成を示す断面図である。ショートアーク型放電ランプ10は、球状の発光部1Aとその両側の管状のシール管部1B,1Cからなる放電管1を有する。発光部1Aの内部の空間1aには、陽極2及び陰極3が対向して配置されている。陽極2及び陰極3は電極支持棒5の内端に夫々支持されている。シール管部1B,1Cの外端からリード線6が夫々突出している。本実施形態のショートアーク型放電ランプ10は、電極が陰極上側で垂直点灯するように設置され使用される。
(電極マウント)
シール管部1B、1Cには、電極マウント9が夫々装着されている。電極マウント9は、電極支持棒5及びリード線6を支持すると同時に放電管1の内部を気密封止する機能を有する。電極支持棒5には、放電管1の封入後もその中に残った不純物や点灯時に発生する不純物を除去するためにゲッター材11が装着されている。
電極マウント9の内端面9aは、発光部1Aとシール管部1B、1Cの境界位置pから所定の距離だけ軸線方向外方に離れた位置にある。即ち、シール管部1B、1Cの電極側端部には、電極マウント9の内端面9aを底面とする円形の凹部(「ポケット部」ともいう。)1b、1cが夫々形成されている。
放電管1の発光部1Aにはチップオフ4が形成されている。ランプの製造時に、チップオフ4の位置に取り付けられた排気管から放電管1内に、水銀を封入するとともに、少なくともアルゴン、クリプトン、キセノンなどの希ガスを単独又はこれらの混合ガスを封入する。
本実施形態では、放電管1は石英ガラス、陽極2,陰極3,電極支持棒5及びリード線6は、タングステンによって形成されている。電極マウント9の主要部は、石英ガラスによって形成されている。
ランプ10のシール形態は、図1Aに示すようなシール管部1C及び電極マウント9の内端面9aに限定されない。例えば、図1Bに示すように、電極マウント9の内端面9a側の形状を凸形状とし、シール管部1Cの口径を部分的に絞った形態のものもある。或いは、図1Cに示すように、電極マウント9の内端面9a側を凹形状としたものもある。このように、シール管部1Cを変形したもの、電極マウント9の内端面9aを変形したものも、本実施形態の対象であるランプ10に含まれる。
本実施形態のショートアーク型放電ランプ10は、入力電力Pが2〜10 [kW]の範囲で中心発光波長が436 [nm]の紫外線を出力する、いわゆるg線ランプである。
[ランプ破裂]
(ランプ破裂の状況)
図2は、図1Aに示すショートアーク型放電ランプの陰極3の周囲の部分拡大図である。ここで、図1Aに示す発光部1Aとシール管部1Cの境界位置pを「位置A」とし、シール管部1Cの電極マウント9の内端面9aとの接続点を「陰極封止部B」とする。シール管部1Cのサイズは、内径をD[mm]とし、ポケット部1cの長さ(即ち、位置Aから陰極封止部Bの距離)をL[mm]とする。シール管部1Cのポケット部1cの内周面の面積をS[mm]とする。Sは、(Dπ×L)で求まる。
本発明者等は、破裂したランプを解析したところ、多くのランプに於いて陰極封止部Bを起点としたランプ破裂の痕跡を確認した。陰極上側で垂直点灯するランプでは、ガラス管の陰極封止部Bに応力が集中し、ここがガラス管の脆弱部分であると判断される。
(破裂の原因究明)
点灯中のランプでは、発光部1Aの内部のアークが形成され、このアークから発生したフレアと呼ばれる領域が形成される。点灯中のランプを観察したところ、電極間のアーク23から発生し立ち昇ったフレア24は、発光部1Aのガラス管内周面の領域Sに届き、ここを局所的に加熱している。加熱によりこの領域Sに生じた歪みεは、領域Sを起点に周囲に拡張し、ガラス管の陰極封止部Bに歪みεとして到達する。陰極封止部Bにおいて、この歪みεを主要因とする歪み応力Fとランプ点灯時の圧力との合計が、ガラス管の陰極封止部Bの耐圧強度超えると、ランプは破壊するものと思われる。
即ち、歪み応力F+ランプ点灯時の圧力>ガラス管の陰極封止部Bの耐圧強度が成立すれば、ランプは破壊される。なお、矢印22は、封入物の対流の向きを示している。
(陰極封止部Bにおける歪み応力Fとランプの破壊の関係)
そこで、ランプの入力電力P [kW]、シール管部1Cの内径D[mm]、ポケット部長さL [mm]を変えた複数のランプを試作し、長時間点灯の寿命試験を実施して、陰極封止部Bに発生する歪み応力F [kg/cm2]及びランプ破壊の関係を確認した。ランプ破壊前は弾性域にあるので、歪みεと歪み応力Fは比例関係にある。陰極封止部Bにおける歪み応力Fは、オリンパス株式会社(Olympus Corporation)製ガラス歪検査器(顕微鏡型)SVP−MS1を用いて測定した。この測定方法に関しては、明細書の最後に説明する。表1は、この試験結果である。更に、図4は、これを図示したものである。
Figure 2016207482
表1は、ランプ入力電力P、シール管部1Cの内径D及びポケット部長さLと、ガラス管の陰極封止部Bに発生する歪み応力F及びランプ破壊との関係を示す表である。
表1及び図3に示すように、ランプの破壊は、2本のサンプルNo.2とNo.7で発生した。歪み応力Fは、夫々、20.1 [kg/cm2]、22.0 [kg/cm2]であった。この結果より、陰極封止部Bの応力が、20 [kg/cm2]を超えると、ランプ破壊が発生することが分かった。
[破裂を防止したランプ]
ランプが破壊されると、ガラス管の破片が飛び散り、発光管の封入物は周囲に飛散して、外部に悪影響を及ぼす。特に、環境を破壊したり、人体を傷つけたりすることは絶対に避けなければならない。そこで、安全性を十分考慮して、陰極封止部Bの歪み応力Fを、実際にランプ破壊が起こった数値の半分以下の10 [kg/cm2]以下を安全領域の応力と規定した。このタイプのランプ寿命は、1,500時間程度である。図3に示すように、1,500時間経過時に陰極封止部Bの歪み応力Fが10 [kg/cm2]を超えるランプは、サンプルNo.7,2,4,3の4種類であり、残りのサンプルはいずれも10 [kg/cm2]以下であった。
アークから立ち昇ったフレア24が、発光管内周面の領域Sに届き、この領域Sに生じた歪みεは周囲に拡張して陰極封止部Bに歪みεとして到達する。従って、断面で考えれば、ポケット部の長さLを長くすることにより、領域Sの歪みεが陰極封止部Bへ歪みε2として到達するのを遅らせることが期待できる。実際には、シール管部1Cのガラス管は円筒形なので、ポケット部の長さLを長くしてガラス管内周面積Sを広くすることで歪みεとして到達するのを遅らせることが期待できる。また、アーク及びそのフレアは、定格入力Pに比例して高温になると考えられる。そこで、単位電力当たりのガラス管内周面積(S/P)に着目して、歪みεとして到達するのを遅らせる、即ち、歪み緩和効果との関係を検討した。
表2は、ポケット部1cの単位電力当たりのガラス管内周面積(S/P) [mm2/kW]と歪み応力F(1,500h) [kg/cm2]との関係を示し、歪み緩和効果の有無を決定した表である。ここで、応力F(1,500h) [kg/cm2]は、図4から読み取ったランプ点灯1,500時間経過時の歪み応力Fの値である。図4は、表2を図示したものである。
Figure 2016207482
表2は、ポケット部1cの単位電力当たりのガラス管内周面積(S/P)と歪み応力F(1,500h)との関係を示し、歪み緩和効果の有無を決定した表である。
表2により、(S/P)が140〜260 [mm2/kW]の範囲内であれば、点灯時間1,500時間経過時の応力F(1,500h)は10 [kg/cm2]以下に留まることが分かった。陰極封止部Bの応力Fが10 [kg/cm2]以下であるならば、ランプ破壊のおそれはないものと判断される。即ち、S/Pが140〜260 [mm2/kW]の範囲内であれば、歪み緩和効果が有ったと判断される。140≦S/P≦260 [mm2/kW]
このときのシール管部1Cの内径D [mm]及びポケット部長さL [mm]の範囲は、次の通りであった。13≦D≦23 [mm]。8.5≦L≦25 [mm]
(長さLの上限)
ここで、長さLの上限について検討する。領域Sに生じた歪みεが陰極封止部Bに歪みεとして到達するのを遅らせるためには、長さL1は物理的に長ければ長いほどよい。しかし、長さL1が長すぎると、シール管部1Cのシール性(機密性)が悪化するという問題が生じた。即ち、長さL1が長くなると、マウント9及び電極支持棒5も長くなる。これらが長すぎると、シール工程で、マウント9を軸線の周りに旋盤で回転させながら部分的にバーナーで炙ってマウント9を溶着させたとき、マウント9の欠け、封止部の傷が発生することがある。また、回転する電極支持棒5の頭部が重くなり中心からブレが生じ、シール管部内で偏芯し、陰極封止部Bに偏肉が発生する。
そこで、長さLを変えたサンプルを作成し、陰極封止部Bの偏肉の有無を検査した。表3は、ポケット部の長さLとマウント9の偏肉の有無との関係を示す表である。
Figure 2016207482
表3の結果より、Lは25 [mm]以下であることが好ましいことが判明した。
[顕微鏡型歪検査器による歪みの測定]
ガラス管の陰極封止部Bに歪み応力Fは、ガラス歪検査器を用いて測定した。図5を参照しながら、この測定の原理を簡単に説明する。図5(A)は歪みが無い場合、図5(B)は歪みが有る場合である。光源から発する光を偏光板(偏光子)によって直線偏光波Uに変え、ガラス体内を通過させる。
図5(A)に示すように、ガラスに歪みが無い場合には、Uの成分波u1とu2は同じ速度でガラス内を通過し、u1とu2の間には光路差が無く、従ってUは入射前と同じく直線偏光のままとなる。
図5(B)に示すように、ガラスに歪みが有って応力Fが働いている場合、Uの成分波u1とu2とは互いに違う速度でガラス内を通過し、通過後にはRだけの光路差を生じる。この光路差R [nm]は、応力F [kg/cm2]と偏光が通過した距離L [cm]に比例するので、R=CFL……(1)と表される。
比例定数Cは、ガラスによって決まるので、ガラスの光弾性定数と呼ばれ、その単位は[nm・cm-1)/(kg・cm-2)]となる。ちなみに、石英ガラスはC=3.5。
次に、応力Fは、式(1)から、F=R/CLとして求められる。
図6は、陰極封止部Bを通るように、シール管部1Cの軸線に垂直方向に切断した断面図である。直線偏光波Uを陰極封止部Bに向けて通過させる。光路に沿って歪みεが分布していて、この積分値によって光路差Rが生じる。ここで、歪みは他所に比べて陰極封止部Bに大きく集中しているため、この光路差Rによって求めた応力Fをシール管部1Cの陰極封止部B付近の歪み応力と見做すことが出来る。
[まとめ]
以上、本発明の一実施形態に係るショートアーク型放電ランプについて説明したが、本実施形態は、本発明の範囲を何ら限定するものではない。本実施形態に対して当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものである。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
1:放電管、 1A:発光部、 1B,1C:シール管部、 1a:空間、 1b,1c:凹部,ポケット部、 2:陽極、 3:陰極、 4:チップオフ、 5:電極支持棒、 6:リード線、 9:マウント,電極マウント、 9a:内端面、 10:ショートアーク型放電ランプ、 11:ゲッター材、 22:対流の向き、 23:アーク、 24:フレア
A:位置: B:陰極封止部、 C:比例定数、 F:応力、 P:ランプ入力電力、 D:内径、 L:距離、 R:光路差、 U:直線偏光波、 p:境界位置、 u1,u2:成分波、 S:領域、 S:ガラス管内周面積

Claims (3)

  1. 発光部と該発光部の両側にシール管部を夫々設けた放電管と、
    前記発光部の内部で相互に対向して配置された陰極及び陽極、該陰極及び陽極を夫々支持する電極支持棒、該電極支持棒に夫々接続され前記シール管部から外方に突出するリード線、及び該シール管部に装填され該電極支持棒及び該リード線を支持すると共に前記放電管の内部を気密封止する電極マウントとを備え、
    前記陰極が上側で前記陽極が下側になるように、前記放電管の中心軸線が略垂直に設置されるショートアーク型放電ランプであって、
    前記陰極側では、前記発光部と前記シール管部の境界の位置Aから該シール管の陰極封止部Bまでの間に電極側端面を底面とするポケット部が形成されており、
    位置Aから陰極封止部Bまでの距離をLとし、ポケット部の前記シール管部の内周面の面積をSとし、前記ショートアーク型放電ランプの入力電力をPとしたとき、(S/P)が140〜260 mm2/kWの範囲内にある、ショートアーク型放電ランプ。
  2. 請求項1に記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
    前記シール管部の内径Dは、13〜23 mmの範囲内にある、ショートアーク型放電ランプ。
  3. 請求項1に記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
    前記ポケット部の長さLは、8.5〜25 mmの範囲内にある、ショートアーク型放電ランプ。
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