JP2016203194A - Manufacturing method of solder bonded body - Google Patents
Manufacturing method of solder bonded body Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016203194A JP2016203194A JP2015085240A JP2015085240A JP2016203194A JP 2016203194 A JP2016203194 A JP 2016203194A JP 2015085240 A JP2015085240 A JP 2015085240A JP 2015085240 A JP2015085240 A JP 2015085240A JP 2016203194 A JP2016203194 A JP 2016203194A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder
- temperature
- workpiece
- paste
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、第1の部材と第2の部材とがはんだ接合されたはんだ接合体を製造する製造方法に関し、特に、はんだペーストを用いたはんだ接合に関する。 The present invention relates to a manufacturing method for manufacturing a solder joined body in which a first member and a second member are joined by soldering, and particularly relates to soldering using a solder paste.
従来、この種のはんだ接合体の製造方法としては、たとえば特許文献1に記載のものが提案されている。この製造方法では、まず、第1の部材と第2の部材との間に、はんだに溶剤を含有させてなるはんだペーストを介在させてなるワークを用意する(用意工程)。ここで、はんだペーストは、粉末状のはんだとフラックスとを混合させたものであり、フラックスは、ベース樹脂、溶剤、活性剤等を含有したものである。 Conventionally, for example, a method described in Patent Document 1 has been proposed as a method for manufacturing this type of solder joint. In this manufacturing method, a work is first prepared between a first member and a second member by interposing a solder paste containing a solvent in solder (preparation step). Here, the solder paste is a mixture of powdered solder and flux, and the flux contains a base resin, a solvent, an activator, and the like.
そして、このワークを、常温よりも高い第1の温度(通常100℃以上)で加熱し(予熱工程)、次に、ワークを、第1の温度よりも高い第2の温度で加熱してはんだを溶融させる(本加熱工程)。その後、ワークにおける溶融リフローしたはんだを冷却して固化することにより、第1の部材と第2の部材とがはんだ接合されたはんだ接合体を形成する(冷却工程)。 The workpiece is heated at a first temperature (normally 100 ° C. or higher) higher than normal temperature (preheating step), and then the workpiece is heated at a second temperature higher than the first temperature to be soldered. Is melted (main heating step). Thereafter, the molten and reflowed solder in the workpiece is cooled and solidified to form a solder joined body in which the first member and the second member are joined by soldering (cooling step).
このように、両方の部材間に事前に供給されたはんだペーストにおいて、はんだを溶融させる前に予熱(プリヒート)を行うが、このとき、はんだ溶融時に、フラックスに含有される溶剤が突沸し、はんだごと飛散してしまう場合がある。 As described above, in the solder paste supplied in advance between both members, preheating is performed before the solder is melted. At this time, when the solder is melted, the solvent contained in the flux bumps, May be scattered.
ここで、第1の部材または第2の部材として、しばしば基板が用いられるが、この基板におけるボンディングランド等は、はんだが付着してしまっては困る領域である。そして、第1の部材や第2の部材にこのような領域があると、溶融状態のはんだが飛散し付着した時点で不良品となってしまう。 Here, a substrate is often used as the first member or the second member, but a bonding land or the like on this substrate is a region where solder is not attached. If such a region is present in the first member or the second member, it becomes a defective product when the molten solder is scattered and adhered.
ここで、単純には、このようなはんだ飛散防止のためには、予熱時間を通常よりも長くして、はんだペースト全体を高粘度状態とすればよいと考えられる。しかし、はんだ溶融前(つまり本加熱工程前)の予熱時間が長すぎると、予熱温度によっては、はんだ自体が酸化してペーストの濡れ性が低下してしまい、結果として、はんだ中のボイドが多くなるおそれがある。 Here, simply, in order to prevent such solder scattering, it is considered that the preheating time should be longer than usual and the entire solder paste should be in a high viscosity state. However, if the preheating time before melting of the solder (that is, before the main heating step) is too long, depending on the preheating temperature, the solder itself is oxidized and the wettability of the paste is lowered, resulting in many voids in the solder. There is a risk.
本発明は、上記した問題に鑑みてなされたものであり、第1の部材と第2の部材とがはんだ接合されたはんだ接合体を製造するにあたって、はんだ接合時に発生するはんだ飛散の防止、および、はんだ中のボイド発生の抑制に適した製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and in the manufacture of a solder joined body in which the first member and the second member are joined by solder, prevention of solder scattering generated during solder joining, and An object of the present invention is to provide a manufacturing method suitable for suppressing the generation of voids in solder.
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、第1の部材(10)と第2の部材(20)との間に、はんだ(30)に溶剤を含有させてなるはんだペースト(40)を介在させてなるワーク(W1)を用意する用意工程と、ワークを、常温よりも高い第1の温度(T2)で加熱する予熱工程と、次に、ワークを、第1の温度よりも高い第2の温度(T3)で加熱して前記はんだを溶融させる本加熱工程と、ワークにおける溶融したはんだを冷却して固化することにより、第1の部材と第2の部材とがはんだ接合されたはんだ接合体を形成する冷却工程と、を備えるはんだ接合体の製造方法であって、
予熱工程の前に、はんだペーストにおいて外気に接する外表面(40a)側が内部側よりも粘度が高い状態となるように、第1の温度よりも低い第3の温度(T1)にワークを保持する粘度調整工程を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a solder paste comprising a solder (30) containing a solvent between the first member (10) and the second member (20) ( 40) preparing a workpiece (W1) intervening, a preheating step of heating the workpiece at a first temperature (T2) higher than room temperature, and then the workpiece from the first temperature. The main heating step in which the solder is melted by heating at a higher second temperature (T3), and the melted solder in the workpiece is cooled and solidified, whereby the first member and the second member are joined by soldering. A cooling step for forming a solder joint, and a method for producing a solder joint comprising:
Prior to the preheating step, the workpiece is held at a third temperature (T1) lower than the first temperature so that the outer surface (40a) side in contact with the outside air in the solder paste is in a state of higher viscosity than the inner side. A viscosity adjusting step is provided.
それによれば、予熱工程前の粘度調整工程において、はんだペーストを、予熱工程の第1の温度よりも低い第3の温度に保持することで、ペースト中の外表面側の溶剤が揮発し、ペーストは、内部側よりも外表面側が高粘度の状態となる。この状態では、ペーストの外表面は粘度が大きくなるため、溶剤の突沸やはんだの飛散が防止できる。 According to this, in the viscosity adjustment step before the preheating step, the solder paste is maintained at a third temperature lower than the first temperature in the preheating step, so that the solvent on the outer surface side in the paste is volatilized, and the paste Has a higher viscosity on the outer surface side than on the inner side. In this state, since the viscosity of the outer surface of the paste increases, it is possible to prevent solvent boiling and solder scattering.
また、ペースト内部は、溶剤が十分に含有された低粘度の状態とできるので、はんだペーストの濡れ性は十分に確保される。このように、本発明によれば、はんだ接合時に発生するはんだ飛散の防止、および、はんだ中のボイド発生の抑制に適した製造方法を提供することができる。 Moreover, since the inside of the paste can be in a low-viscosity state in which the solvent is sufficiently contained, the wettability of the solder paste is sufficiently ensured. Thus, according to the present invention, it is possible to provide a manufacturing method suitable for preventing solder scattering that occurs during solder joining and suppressing the generation of voids in the solder.
また、請求項2に記載の発明のように、請求項1に記載の製造方法においては、粘度調整工程では、第3の温度にワークを保持することにより、はんだペーストを、粘度調整工程前におけるはんだペースト中の溶剤の重量に対して溶剤の重量減少率が3%以上7%以下の状態となるようにすることが好ましい。 Moreover, in the manufacturing method of Claim 1, like the invention of Claim 2, in a viscosity adjustment process, a solder paste is made before a viscosity adjustment process by hold | maintaining a workpiece | work to 3rd temperature. It is preferable that the weight reduction rate of the solvent is 3% or more and 7% or less with respect to the weight of the solvent in the solder paste.
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings for the sake of simplicity.
本発明の第1実施形態にかかるはんだ接合体S1について、図1を参照して述べる。このはんだ接合体S1は、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種装置を駆動するための電子装置として適用されるものである。 The solder joint S1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This solder joint S1 is mounted on a vehicle such as an automobile, for example, and is applied as an electronic device for driving various devices for the vehicle.
本実施形態のはんだ接合体S1は、大きくは、第1の部材10と、第2の部材20と、第1の部材10および第2の部材20の間に介在して当該両方の部材を接合するはんだ30と、を備えて構成されている。
The solder joint body S1 of the present embodiment is broadly joined between the
第1の部材10としては、限定するものではないが、半導体チップ、トランジスタ素子、フリップチップ素子、モールドパッケージ、抵抗素子、コンデンサ素子などのはんだ実装部品が挙げられる。第2の部材20としては、限定するものではないが、配線基板、リードフレーム、ヒートシンク、バスバーなどが挙げられる。図示例では、第1の部材10は半導体チップ、第2の部材20はプリント基板としている。
Examples of the
さらには、第1の部材10と第2の部材20とが、たとえば共に金属端子などの金属部材であってもよい。要するに、第1の部材10および第2の部材20は共に、はんだ接合が可能な部材であればよい。
Furthermore, both the
はんだ30としては、公知のはんだを用いることができる。たとえば、Sn−Ag系、Sn−Cu系、Sn−Ag−Cu系合金、Sn−Pb系合金などが挙げられるが、Pbフリーのものが望ましい。後述するが、このはんだ30は、はんだペーストの状態で設置されて、はんだ付けに供されたものである。
As the
次に、はんだ接合体S1の製造方法について、図2、図3および図4を参照して述べる。まず、図2に示されるように、用意工程として、第1の部材10と第2の部材20との間に、はんだに溶剤を含有させてなるはんだペースト40を介在させてなるワークW1を用意する。
Next, a method for manufacturing the solder joint S1 will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 2, as a preparation process, a work W <b> 1 is prepared in which a
ここでは、図2に示されるように、はんだペースト40を、印刷、ディスペンスおよび転写等の公知の手法により、第2の部材20上に配置する(図2(a)、(b)参照)。そして、この上に第1の部材10を搭載することにより、両方の部材10、20間にはんだペースト40を介在させ、ワークW1を形成している(図2(c)参照)。ここで、はんだペースト40の外周端面は、両方の部材10、20間にて外気に露出し、外気に接する外表面40aとされる。
Here, as shown in FIG. 2, the
このような、はんだペースト40は、はんだに溶剤を含有させてなるものであるが、具体的には、図4に示されるように、公知のものと同様、粉末状のはんだ30と、溶剤を含むフラックス41との混合物として構成される。限定するものではないが、たとえばペースト全体に対して、はんだ30は80〜90重量%、フラックス41は10〜20重量%とされる。
Such a
まず、はんだ30としては、上述したように、公知のはんだを用いることができる。限定するものではないが、具体的に、はんだペースト40中のはんだ30としては、たとえばSn−Ag系、Sn−Cu系、Sn−Ag−Cu系合金、Sn−Pb系合金などの粉末が挙げられる。もちろん、この場合もPbフリーのものが望ましい。
First, as the
また、フラックス41は、これも公知のものであるが、以下の各作用(1)、(2)、(3)を発揮するものである。(1)母材とはんだの濡れを阻害する酸化物等を除去する酸化物除去作用。(2)空気を遮断し、加熱によるはんだの再酸化を防止する再酸化防止作用。(3)はんだの表面張力を減少させ、はんだの濡れを助ける表面張力減少作用。
Further, the
そして、フラックス41は、金属表面の酸化膜を除去するベース樹脂、洗浄能力および濡れ性を向上させる活性剤、粘度を調整する溶剤、さらには、必要に応じて、酸化防止剤やチキソ剤等が混合された混合物として構成されている。ここで限定するものではないが、フラックス41全体に対して、ベース樹脂は30〜40重量%、活性剤は1〜5重量%、溶剤は40〜50重量%とされる。
The
また、限定するものではないが、上記したベース樹脂、活性剤、溶剤について通常用いられるものを挙げておく。ベース樹脂としては、ロジンまたは各種のロジン誘導体等が挙げられる。活性剤としては、有機ハロゲン化水素酸塩類、有機酸類、有機ハロゲン類等が挙げられる。溶剤としては、アルコール類、グリコールエーテル類、エステル類、炭化水素類等が挙げられる。そして、溶剤は、フラックス41の中でも特に揮発しやすい成分である。
Moreover, although not limited, what is normally used about the above-mentioned base resin, an activator, and a solvent is mentioned. Examples of the base resin include rosin and various rosin derivatives. Examples of the activator include organic hydrohalides, organic acids, organic halogens and the like. Examples of the solvent include alcohols, glycol ethers, esters, hydrocarbons and the like. The solvent is a component that is particularly volatile in the
次に、このワークW1に対して、図3に示される温度プロファイルにて、はんだ付けを行う。本実施形態のはんだ付けも、公知の方法と同様、ワークW1を常温よりも高い第1の温度T2で加熱する予熱工程、ワークW1を第1の温度T2よりも高い第2の温度T3で加熱してはんだを溶融させる本加熱工程、ワークW1における溶融したはんだを冷却して固化する冷却工程と、を備える。 Next, the workpiece W1 is soldered with the temperature profile shown in FIG. In the soldering of the present embodiment, similarly to the known method, the preheating step of heating the workpiece W1 at the first temperature T2 higher than the normal temperature, and heating the workpiece W1 at the second temperature T3 higher than the first temperature T2. And a main heating step for melting the solder and a cooling step for cooling and solidifying the molten solder in the workpiece W1.
さらに、本実施形態のはんだ付けでは、予熱工程の前に粘度調整工程を備えた独自の方法としている。この粘度調整工程は、はんだペースト40において外表面40a側が内部側よりも粘度が高い状態となるように、第1の温度T2よりも低い第3の温度T1にワークW1を保持するものである。
Furthermore, in the soldering of this embodiment, it is set as the original method provided with the viscosity adjustment process before the preheating process. In the viscosity adjusting step, the workpiece W1 is held at the third temperature T1 lower than the first temperature T2 so that the
この粘度調整工程により実現される状態、すなわち、はんだペースト40において外表面40a側が内部側よりも粘度が高い状態を、以下、「外側高粘度状態」と略して言うこととする。この外側高粘度状態のはんだペースト40については、図4に示される。図4に示されるように、フラックス41のうち外表面40a側は高粘度部分42とされ、内部側は低粘度部分43とされている。
A state realized by this viscosity adjusting step, that is, a state where the
これら粘度調整工程、予熱工程、本加熱工程、冷却工程における昇温、降温等の温度調整は、典型的には、はんだリフロー用のリフロー炉を用いて行うが、その他の加熱装置として、オーブンやホットプレート等を用いてもよい。図3では、本実施形態におけるワークW1のリフロー炉への投入タイミングが示されている。 Temperature adjustment such as temperature increase and temperature decrease in the viscosity adjustment process, preheating process, main heating process, and cooling process is typically performed using a reflow furnace for solder reflow. A hot plate or the like may be used. FIG. 3 shows the timing of putting the workpiece W1 into the reflow furnace in the present embodiment.
ここで、粘度調整工程においてはんだペースト40が外側高粘度状態となる第3の温度T1は、予め求めておく。はんだペースト40における外側高粘度状態を確認する方法は、たとえば樹脂フィルム等に対して一般に行われている突き刺し強度試験を準用すればよい。
Here, the third temperature T1 at which the
具体的には、基板上にはんだペースト40の液滴を落とし、この状態で(たとえば上記図2(b)の状態)これを所定温度に保持する。その後、ペーストの外表面をピン等で突き刺し、そのときの外表面における荷重、および、外表面を通過した内部における荷重を求めてやればよい。
Specifically, a droplet of the
この両者の荷重の大小により、はんだペースト40における外表面側の粘度と内部側の粘度との相対的な大小関係が判別され、外側高粘度状態が確認できる。そして、はんだペースト40が外側高粘度状態となるための温度を求め、これを第3の温度T1として採用すればよい。
The relative magnitude relationship between the viscosity on the outer surface side and the viscosity on the inner side in the
この第3の温度T1は、予熱工程の第1の温度T2よりも低く、典型的には常温以上であるが、はんだペースト40が外側高粘度状態となる温度であれば、常温よりも高くても低くてもよい。ここで、常温とは20℃〜30℃である。なお、第3の温度T1が常温以下の場合、粘度調整工程は、特に上記した加熱装置を用いなくてもよく、常温未満の場合には、冷所に放置する等の方法でもよい。
The third temperature T1 is lower than the first temperature T2 in the preheating step and is typically equal to or higher than room temperature. However, if the temperature is such that the
さらに言えば、第3の温度T1は、通常の予熱工程の温度である100℃よりも低い、つまり上限が100℃未満であることが望ましく、典型的には30℃〜50℃が望ましい。また、第3の温度T1に保持する時間は、限定するものではないが、5分〜30分程度とする。たとえば、図3の例では、第3の温度T1は40℃と一定温度であり、時間は10分程度である。 Furthermore, the third temperature T1 is desirably lower than 100 ° C., which is the temperature of the normal preheating process, that is, the upper limit is less than 100 ° C., and typically 30 ° C. to 50 ° C. is desirable. Moreover, although it does not limit the time hold | maintained at 3rd temperature T1, it shall be about 5 minutes-30 minutes. For example, in the example of FIG. 3, the third temperature T1 is a constant temperature of 40 ° C., and the time is about 10 minutes.
こうして、粘度調整工程により、はんだペースト40を外側高粘度状態としたら、温度を第1の温度T2まで上げて予熱工程に移り、はんだペースト40を予熱する。その後、さらに温度を第2の温度T2まで上げて本加熱工程に移り、はんだペースト40中のはんだ30を溶融させる。
Thus, if the
ここで、限定するものではないが、図3の例において、予熱工程では、たとえば第1の温度T2を130℃〜150℃、時間を1分〜2分程度とし、本加熱工程では、たとえば第2の温度T3を220℃〜250℃、時間を1分程度とする。なお、上記したように、本実施形態におけるはんだペースト40は、上記具体例に示したような公知のものであり、各工程における温度および時間の上記具体例はこれに適したものである。
Here, although not limited, in the example of FIG. 3, in the preheating step, for example, the first temperature T2 is set to 130 ° C. to 150 ° C. and the time is set to about 1 minute to 2 minutes. The temperature T3 of 2 is set to 220 to 250 ° C., and the time is set to about 1 minute. As described above, the
そして、本加熱工程の後は、温度を下げて冷却工程に移る。この冷却工程により溶融したはんだ30が固化して、はんだ接合が完了し、第1の部材10と第2の部材20とがはんだ接合されたはんだ接合体S1が形成される。
Then, after the main heating step, the temperature is lowered to move to the cooling step. The melted
なお、図3には、従来のはんだ付けにおける温度プロファイルを比較例として、破線で示してある。本実施形態と比較例とでは、ワークW1のリフロー炉への投入タイミングが異なるが、予熱工程、本加熱工程、冷却工程は実質同一である。 In FIG. 3, a temperature profile in the conventional soldering is shown by a broken line as a comparative example. In this embodiment and the comparative example, the timing of putting the workpiece W1 into the reflow furnace is different, but the preheating step, the main heating step, and the cooling step are substantially the same.
しかし、図3に示されるように、従来における予熱工程の前工程が、予熱工程の温度まで昇温する昇温工程であるのに対して、図3の例における粘度調整工程は、第3の温度T1を昇温等の変動がない一定温度として一定時間、保持し続けるものである。つまり、図3に示される粘度調整工程は、予熱工程の前工程としての従来の昇温工程とは、全く相違するものである。 However, as shown in FIG. 3, the previous step of the preheating step in the prior art is a temperature raising step for raising the temperature to the temperature of the preheating step, whereas the viscosity adjusting step in the example of FIG. The temperature T1 is kept at a constant temperature without fluctuation such as a temperature rise for a certain time. That is, the viscosity adjustment process shown in FIG. 3 is completely different from the conventional temperature raising process as a pre-process of the preheating process.
ただし、本実施形態では、第3の温度T1が一定の幅を以て変動することを、除外するものではない。つまり、粘度調整工程においては、第3の温度T1を変動するものとしてもよい。 However, in the present embodiment, it is not excluded that the third temperature T1 fluctuates with a certain width. That is, in the viscosity adjusting step, the third temperature T1 may be changed.
ところで、本実施形態によれば、予熱工程前の粘度調整工程において、はんだペースト40を、予熱工程の第1の温度T2よりも低い第3の温度T1に保持することで、ペースト中の外表面40a側の溶剤が揮発し、ペーストは、内部側よりも外表面40a側が高粘度の状態となる。この状態では、ペーストの外表面40aは粘度が大きくなるため、溶剤の突沸やはんだの飛散が防止できる。
By the way, according to this embodiment, in the viscosity adjustment step before the preheating step, the
ここで、図4には、本実施形態による、はんだ飛散抑制の様子を模式的に示している。上述したが、図4に示されるように、粘度調整工程によってはんだペースト40中のフラックス41は、ペースト内部の低粘度部分43とペーストの外表面40a側の高粘度部分42とに区分けされたものとなる。
Here, FIG. 4 schematically shows the state of solder scattering suppression according to the present embodiment. As described above, as shown in FIG. 4, the
この状態で、予熱工程および本加熱工程を行うと、図4に示されるように、溶剤が十分に存在するペースト内部にて、溶剤が気化した部分すなわち溶剤気化部K1が生じる。すると、この溶剤気化部K1の膨張する圧力により、はんだ30がペーストの外表面40a側に移動する。しかし、本実施形態では、ペーストの外表面40a側は高粘度部分42とされているので、移動してくるはんだ30の外部への飛散は、抑制されやすい。
When the preheating step and the main heating step are performed in this state, as shown in FIG. 4, a portion where the solvent is vaporized, that is, a solvent vaporization portion K <b> 1 is generated inside the paste where the solvent is sufficiently present. Then, the
また、ペースト内部は、溶剤が十分に含有された低粘度の状態とできるので、はんだペースト40の濡れ性は十分に確保される。
Moreover, since the inside of the paste can be in a low-viscosity state in which the solvent is sufficiently contained, the wettability of the
また、粘度調整工程では、実質的に、はんだペースト40の外表面40a側のみで溶剤を揮発させればよいため、第3の温度T1は、予熱における第1の温度T2よりも大幅に低温にすることができる。このことは、ペースト中のはんだ30の酸化を防止して、濡れ性低下を抑制するという点で好ましい。
Further, in the viscosity adjusting step, it is only necessary to volatilize the solvent substantially only on the
このように、本実施形態によれば、第1の部材10と第2の部材20とがはんだ接合されたはんだ接合体S1を製造するにあたって、はんだ接合時に発生するはんだ30飛散の防止、および、はんだ30中のボイド発生の抑制に適した製造方法を提供できる。
As described above, according to the present embodiment, in manufacturing the solder joint S1 in which the
また、粘度調整工程では、外表面40a側の溶剤が揮発してはんだペースト40が外側高粘度状態となる。つまり、このことは、粘度調整工程の前後でペースト中の溶剤の重量が減少することになる。
Further, in the viscosity adjusting step, the solvent on the
このような外側高粘度状態を実現するには、粘度調整工程では、第3の温度T1にワークW1を保持することにより、はんだペースト40において、粘度調整工程前の溶剤の重量に対して溶剤の重量減少率が3%以上7%以下の状態となるようにすることが、望ましい。このような重量減少率であれば、はんだペースト40のうち、主として外表面40a側の溶剤が揮発し、ペースト内部の溶剤の量はさほど変化しないレベルとなる。
In order to realize such an outer high-viscosity state, in the viscosity adjusting step, the work W1 is held at the third temperature T1, so that in the
ここで、粘度調整工程前におけるはんだペースト40中の溶剤の重量に対して溶剤の重量減少率が3%以上7%以下の状態となることとは、換言すれば、粘度調整工程前におけるペースト中の溶剤が揮発して、揮発後の溶剤の重量が粘度調整工程前の93%以上97%以下の重量に減少することである。このような溶剤の重量変化については、公知のTG法(Thermo Gravimetry、熱重量測定法のこと)等の方法により測定できる。
Here, the weight reduction rate of the solvent becomes 3% or more and 7% or less with respect to the weight of the solvent in the
(他の実施形態)
なお、第1の部材10および第2の部材20は共に、はんだ接合が可能な部材であればよく、上記した具体例に限定されるものではない。また、はんだ30としては、はんだペースト40の状態で設置されて、はんだ付けに供されたものであればよく、これも、上記した具体例に限定されるものではない。
(Other embodiments)
The
また、はんだペースト40におけるはんだ30やフラックス41についても、上記した具体例に限定されるものではない。
Further, the
また、たとえば第2の部材20が配線基板で、第1の部材10が半導体チップであるような場合、第2の部材20に対して複数個の第1の部材10がはんだ接合されるものであってもよい。
For example, when the
また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。 Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed within the scope described in the claims. The above embodiments are not irrelevant to each other, and can be combined as appropriate unless the combination is clearly impossible, and the above embodiments are not limited to the illustrated examples. Absent. In each of the above-described embodiments, it is needless to say that elements constituting the embodiment are not necessarily essential unless explicitly stated as essential and clearly considered essential in principle. Yes. Further, in each of the above embodiments, when numerical values such as the number, numerical value, quantity, range, etc. of the constituent elements of the embodiment are mentioned, it is clearly limited to a specific number when clearly indicated as essential and in principle. The number is not limited to the specific number except for the case. Further, in each of the above embodiments, when referring to the shape, positional relationship, etc. of the component, etc., the shape, unless otherwise specified and in principle limited to a specific shape, positional relationship, etc. It is not limited to the positional relationship or the like.
10 第1の部材
20 第2の部材
30 はんだ
40 はんだペースト
40a はんだペーストの外表面
T1 第3の温度
T2 第1の温度
T3 第2の温度
W1 ワーク
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記ワークを、常温よりも高い第1の温度(T2)で加熱する予熱工程と、
次に、前記ワークを、前記第1の温度よりも高い第2の温度(T3)で加熱して前記はんだを溶融させる本加熱工程と、
前記ワークにおける前記溶融したはんだを冷却して固化することにより、前記第1の部材と前記第2の部材とがはんだ接合されたはんだ接合体を形成する冷却工程と、を備えるはんだ接合体の製造方法であって、
前記予熱工程の前に、前記はんだペーストにおいて外気に接する外表面(40a)側が内部側よりも粘度が高い状態となるように、前記第1の温度よりも低い第3の温度(T1)に前記ワークを保持する粘度調整工程を備えることを特徴とするはんだ接合体の製造方法。 A preparation step of preparing a work (W1) in which a solder paste (40) containing a solvent in solder (30) is interposed between the first member (10) and the second member (20). When,
A preheating step of heating the workpiece at a first temperature (T2) higher than room temperature;
Next, a main heating step in which the workpiece is heated at a second temperature (T3) higher than the first temperature to melt the solder,
Cooling the solidified solder in the workpiece to form a solder joined body in which the first member and the second member are joined by soldering, thereby producing a solder joined body. A method,
Before the preheating step, the solder paste has a third temperature (T1) lower than the first temperature such that the outer surface (40a) side in contact with the outside air has a higher viscosity than the inner side. A method for producing a solder joint comprising a viscosity adjusting step for holding a workpiece.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015085240A JP2016203194A (en) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | Manufacturing method of solder bonded body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015085240A JP2016203194A (en) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | Manufacturing method of solder bonded body |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016203194A true JP2016203194A (en) | 2016-12-08 |
Family
ID=57486398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015085240A Pending JP2016203194A (en) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | Manufacturing method of solder bonded body |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016203194A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021094582A (en) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | 株式会社オリジン | Manufacturing method of soldered substrate, and soldering device |
-
2015
- 2015-04-17 JP JP2015085240A patent/JP2016203194A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021094582A (en) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | 株式会社オリジン | Manufacturing method of soldered substrate, and soldering device |
JP7145839B2 (en) | 2019-12-18 | 2022-10-03 | 株式会社オリジン | Soldering substrate manufacturing method and soldering apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104520062B (en) | high-temperature lead-free solder alloy | |
WO2006041068A1 (en) | Packaging method of electronic component | |
JP2013540591A (en) | Variable melting point solder | |
WO2010061428A1 (en) | Electronic device manufacturing method, substrate for mounting electronic component and method for manufacturing the substrate | |
US9847310B2 (en) | Flip chip bonding alloys | |
JP5849421B2 (en) | Solder, semiconductor device using solder, and soldering method | |
JP4063271B2 (en) | Solder paste and soldering method | |
US7413110B2 (en) | Method for reducing stress between substrates of differing materials | |
JP5187465B1 (en) | High temperature lead-free solder alloy | |
CN111112869A (en) | Mixed alloy solder, method for producing same, and soldering method | |
US20190013308A1 (en) | Die bonding to a board | |
JP2009283628A (en) | Method for mounting semiconductor element | |
JP2008277335A (en) | Semiconductor device and its manufacturing process | |
JP2016203194A (en) | Manufacturing method of solder bonded body | |
KR20150111403A (en) | A Pb FREE SOLDERING FLUX AND PASTE FOR ELECTRONIC COMPONENT, AND A SOLDERING METHOD USING THE SAME MATERIALS | |
JP2009277777A (en) | Solder ball loading method and member for mounting electronic component | |
JP2014146635A (en) | Solder joint method and joint structure of solder ball and electrode | |
US9881813B2 (en) | Mounting structure and method for producing mounting structure | |
JP2011253853A (en) | Method of solder joint | |
JP2007313548A (en) | Cream solder | |
JP6888900B2 (en) | Au-Sn alloy solder paste, method of manufacturing Au-Sn alloy solder layer, and Au-Sn alloy solder layer | |
CN108284286B (en) | Brazing alloy for die bonding | |
JP6561467B2 (en) | Sn-58Bi eutectic alloy, electronic component and method for manufacturing electronic device | |
JP2019155465A (en) | Solder paste for chip component joining | |
JP4471824B2 (en) | High temperature solder and cream solder |