JP2016191752A - 空間光変調器及びその使用方法、変調方法、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基準平面A1に沿って配列された複数のミラー要素30の反射部31を備え、入射する照明光ILの位相を変調して射出する空間光変調器であって、その複数の反射部31のうち、隣接する2つの反射部31の間の隙間領域34Y,34Xに入射して、その隙間領域34Y,34Xから射出される照明光IL3の偏光状態を、反射部31から反射される照明光IL1,IL2の偏光状態と異ならせる波長板37Y,37Xを備える。
【選択図】図3
Description
第5の態様によれば、露光光で基板を露光する露光方法において、第1の態様又は第2の態様の空間光変調器のその複数の可動光学要素の配列にその露光光を照射することと、その複数の可動光学要素からの光で投影光学系を介してその基板を露光することと、その基板に露光されるパターンを制御するために、その空間光変調器のその複数の光学要素を個別に制御することと、を含む露光方法が提供される。
第9の態様によれば、第3の態様の露光装置或いは第5の態様又は第8の態様の露光方法を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、そのパターンが形成されたその基板を処理することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
図1は、本実施形態に係る空間光変調器(spatial light modulator: SLM)を使用するマスクレス方式の露光装置EXの概略構成を示す。図1において、露光装置EXは、パルス発光を行う露光用の光源2と、光源2からの露光用の照明光(露光光)ILで被照射面を照明する照明光学系ILSと、ほぼその被照射面又はその近傍の面上に二次元のアレイ(array: 配列)として配列されたそれぞれ高さが可変の微小ミラー(可動反射要素)である多数のミラー要素30を備えた空間光変調器28と、空間光変調器28(以下、SLM28という)を駆動する変調制御部48とを備えている。さらに、露光装置EXは、多数のミラー要素30によって生成された反射型の凹凸パターン(位相分布を持つ反射型マスクパターン)で反射された照明光ILを受光して、その凹凸パターン(位相分布)に対応して形成される空間像(デバイスパターン像)を感光性の基板としての半導体ウエハ(以下、単にウエハという)Wの表面に投影する投影光学系PLと、ウエハWの位置決め及び移動を行うウエハステージWSTと、装置全体の動作を統括制御するコンピュータよりなる主制御系40と、各種制御系等とを備えている。
光源2から射出された断面形状が矩形でほぼ平行光束のパルスレーザ光よりなる照明光ILは、照明光学系ILSに入射する。本実施形態の照明光学系ILSは、一例としてそれぞれ直交する2つの軸の回りの傾斜角が可変の多数の微小なミラー要素10a(可動反射要素)のアレイを有する空間光変調器10(以下、SLM10という)を備えている。照明光学系ILSにおいて、照明光ILは、一対のレンズよりなるビームエキスパンダ4、照明光ILの偏光状態を制御する1/2波長板等を有する偏光制御光学系6及びミラー8Aを介して、SLM10の多数のミラー要素10aの反射面を照明する。SLM10で反射された照明光ILは、レンズ14a,14bよりなるリレー光学系14及びミラー8Bを介してマイクロレンズアレイ16に入射する。マイクロレンズアレイ16に入射した照明光ILは、マイクロレンズアレイ16を構成する多数の微小なレンズエレメントによって二次元的に分割され、各レンズエレメントの後側焦点面である照明光学系ILSの瞳面(以下、照明瞳面という)IPPには二次光源(面光源)が形成される。
また、偏光制御光学系6として、例えば米国特許第7,423,731号公報に開示される偏光制御光学系を適用してもよい。また、偏光制御系として、米国公開公報第2006/0170901号公報、第2007/0146676号公報、第2007/0195305号公報、第2010/0165318号公報、第2014/0211174号公報及び第2014/0233008号公報等に開示される偏光制御系を用いてもよい。
反射部31の間隔gx及びgyは、それぞれ隣接する2つのミラー要素30の配列方向の間隔と言うこともできる。また、隙間領域34X,34Yを隣接する2つのミラー要素30(反射部31)間のスリットとみなすとき、間隔gx,gyをそれぞれスリット幅と言うこともできる。一例として反射部31は正方形であり、幅ax及びayは互いに等しく、ピッチpx,pyも互いに等しい。この場合、反射部31の間隔gx,gyも互いに等しくなる。なお、反射部31は長方形や六角形等の多角形でもよく、ピッチpx,pyは互いに異なってもよい。さらに、間隔gx,gyは互いに異なっていてもよい。なお、反射部31の間隔gx及びgyは、それぞれ隣接する2つのミラー要素30の反射面31aの配列方向の間隔と言うこともできる。また、隣接する2つのミラー要素30(反射部31)における互いに対向する辺同士(隙間領域を挟んで配置される2つのミラー要素の隙間領域側の辺同士)は、互いに平行であってもよい。
また、ミラー要素30間の隙間領域34Y,34Xに対向する部分のベース部材32の表面に、隙間領域34Y,34Xよりも例えば数%〜数10%広い幅で、隙間領域34Y,34Xに入射する照明光IL3の偏光状態を変換するための波長板37Y及び37X(偏光状態の変換部材)が固定されている(図3(B)参照)。図3(A)では、波長板37Y(波長板37Xも同様)はベース部材32の上層である絶縁層32Bの表面に設けられているが、例えば電極36Aを広くして、電極36Aの表面に波長板37Yを設けてもよい。ベース部材32又は電極36Aの表面の反射率は例えば数10%程度である。
図1において、SLM28の照明領域26A内の多数のミラー要素30のアレイで反射された照明光ILは、平均的な入射角αで投影光学系PLに入射する。不図示のコラムに支持された光軸AXWを持つ投影光学系PLは、SLM28(物体面)側に非テレセントリックであり、ウエハW(像面)側にテレセントリックの縮小投影光学系である。投影光学系PLは、SLM28によって設定される照明光ILの位相分布に応じた空間像の縮小像を、ウエハWの1つのショット領域内の露光領域26B(照明領域26Aと光学的に共役な領域)に形成する。投影光学系PLの投影倍率βは例えば1/10〜1/100程度であり、その解像度(ハーフピッチ又は線幅)は、例えばSLM28の1対のミラー要素30及び境界部34の像の幅(β・py)程度である。言い換えると、投影光学系PLの物体面において、1つのミラー要素30のピッチpyよりも小さい構造は解像されない。例えば、ミラー要素30及び境界部34の大きさが数μm角程度、投影光学系PLの投影倍率βが1/100程度であれば、投影光学系PLの解像度は数10nm程度である。
本実施形態のように物体側に非テレセントリックの投影光学系PLを用いることによって、SLM28の多数のミラー要素30の反射面とウエハWの露光面(フォトレジストの表面)とをほぼ平行に配置できる。従って、露光装置の設計・製造が容易である。
図1において、ウエハWはウエハホルダ(不図示)を介してウエハステージWSTの上面に吸着保持され、ウエハステージWSTは、不図示のガイド面上でX方向、Y方向にステップ移動を行うとともに、Y方向に一定速度で移動する。ウエハステージWSTのX方向、Y方向の位置、及びθz方向の回転角等はレーザ干渉計45によって形成され、この計測情報がステージ制御系44に供給されている。ステージ制御系44は、主制御系40からの制御情報及びレーザ干渉計45からの計測情報に基づいて、リニアモータ等の駆動系46を介してウエハステージWSTの位置及び速度を制御する。なお、ウエハWのアライメントを行うために、ウエハWのアライメントマークの位置を検出するアライメント系(不図示)等も備えられている。
上述のように、本実施形態の露光装置EXは、SLM28を備えている。また、SLM28は、基準平面A1(所定面)に沿って配列された複数のミラー要素30の反射部31(可動光学要素又は反射要素)を備え、入射する照明光ILの位相を変調して射出するとともに、一例として、その複数の反射部31のうち、基準平面A1のY方向(所定方向)において隣接する2つの反射部31の間の隙間領域34Y,34Xに入射して、その隙間領域34Y,34Xから射出される照明光IL3の偏光状態を、反射部31から反射される照明光IL1,IL2の偏光状態と異ならせる波長板37Y,37X(変換部材)を備えている。
また、SLM28の反射部31を含むミラー要素30は、それぞれ入射する光の位相を第1の位相(δ1)だけ変化させて反射する第1の状態、及び入射する光の位相をその第1の位相と180°異なる第2の位相(δ2)だけ変化させて反射する第2の状態を含む複数の状態に制御可能である。この場合にはミラー要素30(反射部31)の制御が容易である。
また、SLM28のミラー要素30は2次元のアレイであるため、一度の露光で大面積のパターンをウエハWに露光できる。なお、SLM28において、ミラー要素30を例えばX方向(ウエハWの非走査方向に対応する方向)に一次元のアレイ状に配列してもよい。
なお、SLM28の各ミラー要素30は、その第1の状態及びその第2の状態以外の第3の状態等を含む複数の状態に設定可能としてもよい。
また、照明光学系ILSからの照明光ILは、複数のミラー要素30(反射要素)にほぼ入射角αで斜めに入射し、ミラー要素30からの反射光が、投影光学系PLに対して投影光学系PLの光軸AXWに交差するように入射している。従って、投影光学系PLは物体面側に非テレセントリックであるため、SLM28からの反射光の全部を投影光学系PLを介してウエハWに照射でき、照明光ILの利用効率が高い。さらに、偏光制御光学系6で設定される照明光ILの偏光状態をウエハWの表面で正確に再現できる。
まず、上記の実施形態では、ウエハWを連続的に移動してウエハWを走査露光している。その他に、図8(B)に示すように、ウエハWの各ショット領域(例えばSA21)をY方向に複数の部分領域SB1〜SB5等に分割し、投影光学系PLの露光領域26Bに部分領域SB1等が達したときに、照明光ILを所定パルス数だけ発光させて、SLM28のミラー要素30のアレイからの反射光で部分領域SB1等を露光してもよい。この後、ウエハWをY方向にステップ移動させて、次の部分領域SB2等が露光領域26Bに達してから、同様に部分領域SB2等に露光が行われる。この方式は実質的にステップ・アンド・リピート方式であるが、部分領域SB1〜SB5等には互いに異なるパターンが露光される。
また、上述の実施形態及びその変形例では、位相変調型のSLM28,28Aにおいて隙間領域34Y,34Xからの反射光の影響を抑制しているが、図1の直交する2つの軸の回りの傾斜角が可変の多数の微小なミラー要素10a(可動反射要素)のアレイを有する空間光変調器10(SLM10)において、ミラー要素10aの隙間領域の下方又は上方に偏光状態を変換する部材、又は強度を弱める部材等を配置して、隙間領域を通過する照明光の影響を抑制してもよい。
また、位相変調型のSLM28を、照明光学系ILS中のSLM10の代わりに設けてもよい。
上述の実施形態では、平行平面板状の複屈折光学材料で形成された波長板37X、37Yを設けたが、構造性複屈折を利用する波長板を使用してもよい。この場合、ミラー要素30間の隙間領域34Y,34Xに対向する部分のベース部材32の表面に、XY平面内に周期方向を持ち且つ周期が波長以下の一次元ライン・アンド・スペース状の周期構造のパターンを形成すればよい。このとき、ベース部材32をエッチングしてパターンを形成する手法、或いはベース部材32上にパターンを堆積する手法を用いて、構造性複屈折を呈するパターンを形成できる。また、カバーガラス40の隙間領域34Y,34Xに対向する部分をエッチングしてパターンを形成してもよく、カバーガラス40の隙間領域34Y,34Xに対向する部分にパターンを堆積させてもよい。なお、このような構造性複屈折は、例えばRichter他による「Form Birefringent Microstructures:Modeling and Design」SPIE Vol.2404の第69頁〜第80頁に記載されている。
なお、照明光ILの利用効率が1/2に低下してもよい場合には、偏光ビームスプリッタ51の代わりに通常のビームスプリッタを使用し、1/4波長板52を省略してもよい。この場合には、偏光照明が使用できる。
また、上述の実施形態は、半導体デバイスの製造プロセスへの適用に限定されることなく、例えば、液晶表示素子、プラズマディスプレイ等の製造プロセスや、撮像素子(CMOS型、CCD等)、マイクロマシーン、MEMS(Microelectromechanical Systems:微小電気機械システム)、薄膜磁気ヘッド、及びDNAチップ等の各種デバイス(電子デバイス)の製造プロセスにも広く適用できる。
Claims (25)
- 光が入射する所定面内に配列された複数の可動光学要素を備え、該入射する光を変調して射出する空間光変調器であって、
前記複数の可動光学要素のうち、互いに隣接する2つの前記可動光学要素の間の隙間に入射して前記隙間から射出される光の状態を、前記可動光学要素から射出される光の状態と異ならせる変換部材を備える空間光変調器。 - 前記変換部材は、前記隙間から射出される光の偏光状態を、前記隙間に入射する光の偏光状態とは異なる状態に変換する、請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記変換部材は、波長板である、請求項2に記載の空間光変調器。
- 前記波長板は、複屈折性光学材料で形成される、請求項3に記載の空間光変調器。
- 前記波長板は、前記入射する光の波長よりも短い周期を持つ周期構造を有する、請求項3に記載の空間光変調器。
- 前記複数の可動光学要素を可撓性を有する部材を介して支持する支持部材を備え、
前記変換部材は、前記隙間に対向する前記支持部材の表面に設けられる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の空間光変調器。 - 前記変換部材は、前記隙間に入射する光の強度に対して前記変換部材を介した前記入射する光の強度を弱める、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 前記複数の可動光学要素は前記入射光を反射する反射面を有する反射要素であり、
前記複数の可動反射要素の前記反射面は、前記入射光の進行方向に沿った位置を変更するように移動する、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の空間光変調器。 - 前記反射要素は、それぞれ入射する前記光を反射する第1の状態と、入射する前記光の位相を前記第1の状態における位相と異なるように変化させて反射する第2の状態とを含む複数の状態のうちいずれかに設定される、請求項8に記載の空間光変調器。
- 前記複数の可動光学要素は前記入射光を反射する反射面を有する反射要素であり、
前記複数の反射要素はそれぞれ前記反射面を少なくとも一つの軸の回りに傾斜可能である、請求項1乃至7の何れか一項に記載の空間光変調器。 - 前記複数の可動光学要素は2次元に配列されている、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 前記隣り合う2つの前記可動光学要素は、多角形状である、請求項1乃至11のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 前記隣り合う2つの前記可動光学要素における、それぞれ他方の可動光学要素側の辺は、互いに平行な直線状である、請求項1乃至12のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 光が入射する所定面内に配列された複数の可動光学要素を備え、該入射する光を変調して射出する空間光変調器であって、
前記所定面の入射側に設けられる光透過部材を備え、
該光透過部材は、前記複数の可動光学要素のうち、互いに隣接する2つの前記可動光学要素の間の隙間へ向かう光の状態を、前記可動光学要素から射出される光の状態と異ならせる変換部材を備える空間光変調器。 - 前記変換部材は、前記隙間に対向する前記光透過部材の一部に設けられる、請求項14に記載の空間光変調器。
- 露光光で基板を露光する露光装置において、
請求項1乃至15のいずれか一項に記載の空間光変調器と、
前記空間光変調器の前記複数の可動光学要素に前記露光光を照射する照明光学系と、
前記複数の可動光学要素からの光を前記基板に導いて前記基板上にパターンを投影する投影光学系と、
前記基板に露光されるパターンを制御するために、前記空間光変調器の前記複数の可動光学要素を個別に制御する制御装置と、
を備える露光装置。 - 前記複数の可動光学要素はそれぞれ入射する前記光を反射する互いに平行な反射面を有する反射要素であり、
前記制御装置は、
複数の前記反射要素の反射面の位置を、前記投影光学系の光軸方向において変更する、請求項16に記載の露光装置。 - 請求項1乃至15のいずれか一項に記載の空間光変調器の前記複数の可動光学要素に光を照射することと、
前記複数の可動光学要素を通過した前記光を変調するように、前記複数の可動光学要素を個別に制御することと、
を含む空間光変調器の使用方法。 - 露光光で基板を露光する露光方法において、
請求項1乃至15のいずれか一項に記載の空間光変調器の前記複数の可動光学要素に前記露光光を照射することと、
前記複数の光学要素からの光で投影光学系を介して前記基板を露光することと、
前記基板に露光されるパターンを制御するために、前記空間光変調器の前記複数の可動光学要素を個別に制御することと、
を含む露光方法。 - 入射光を変調して射出する変調方法において、
所定面内に配列された複数の可動光学要素に入射光を照射することと、
該複数の可動光学要素を用いて前記入射光を変調することと、を含み、
前記複数の可動光学要素のうち、互いに隣接する2つの前記可動光学要素の間の隙間に入射して前記隙間から射出される光の状態を、前記可動光学要素から射出される光の状態と異ならせる変調方法。 - 入射光を変調して射出する変調方法において、
所定面内に配列された複数の可動光学要素に入射光を照射することと、
該複数の可動光学要素を用いて前記入射光を変調することと、を含み、
前記複数の可動光学要素のうち、互いに隣接する2つの前記可動光学要素の間の隙間へ向かう光の状態を、前記可動光学要素から射出される光の状態と異ならせる変調方法。 - 露光光で基板を露光する露光方法において、
請求項20又は21に記載の変調方法を用いて、前記露光光を変調することと、
該変調された光で投影光学系を介して前記基板を露光することと、
前記基板に露光されるパターンを制御するために、前記複数の可動光学要素を個別に制御することと、
を含む露光方法。 - 前記複数の可動光学要素はそれぞれ入射する前記光を反射する互いに平行な反射面を有する反射要素であり、
複数の前記反射要素の反射面の位置を、前記投影光学系の光軸方向において変更する、請求項19又は22に記載の露光方法。 - 請求項16又は17に記載の露光装置を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、
前記パターンが形成された前記基板を処理することと、
を含むデバイス製造方法。 - 請求項19、22又は23に記載の露光方法を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、
前記パターンが形成された前記基板を処理することと、
を含むデバイス製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114556185A (zh) * | 2019-10-15 | 2022-05-27 | 德克萨斯仪器股份有限公司 | 基于mems的相位空间光调制架构 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003098447A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Ricoh Co Ltd | 光変調装置及び光変調方法 |
JP2006098986A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射型光変調アレイ素子および画像形成装置 |
US20090190202A1 (en) * | 2008-01-29 | 2009-07-30 | Moidu Abdul Jaleel K | Mems micromirror devices with anti-reflective structures |
JP2012039353A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Foster Electric Co Ltd | マイクロスピーカ用磁気回路およびそれを用いたマイクロスピーカ |
JP2014533441A (ja) * | 2011-11-15 | 2014-12-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光変調器及び照明系 |
-
2015
- 2015-03-30 JP JP2015070451A patent/JP6558529B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003098447A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Ricoh Co Ltd | 光変調装置及び光変調方法 |
JP2006098986A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射型光変調アレイ素子および画像形成装置 |
US20090190202A1 (en) * | 2008-01-29 | 2009-07-30 | Moidu Abdul Jaleel K | Mems micromirror devices with anti-reflective structures |
JP2012039353A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Foster Electric Co Ltd | マイクロスピーカ用磁気回路およびそれを用いたマイクロスピーカ |
JP2014533441A (ja) * | 2011-11-15 | 2014-12-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光変調器及び照明系 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
今榮真紀子: "構造性複屈折を用いた広帯域1/4波長板の最適設計", KONICA MINOLTA TECHNOLOGY REPORT, vol. VOL.3, JPN7019000177, 2006, pages pp. 62-67 * |
菊田久雄: "波長より細かな格子構造による光制御", 光学, vol. 27巻1号, JPN7019000176, 10 January 1998 (1998-01-10), pages pp. 12-17 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114556185A (zh) * | 2019-10-15 | 2022-05-27 | 德克萨斯仪器股份有限公司 | 基于mems的相位空间光调制架构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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