JP2016170058A

JP2016170058A - 検査装置

Info

Publication number: JP2016170058A
Application number: JP2015050177A
Authority: JP
Inventors: 理沙山下; Risa Yamashita; 鈴木　丈己; Takemi Suzuki; 丈己鈴木
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 2015-03-13
Filing date: 2015-03-13
Publication date: 2016-09-23

Abstract

【課題】複数の被測定物の検査を同時に行うことができ、検査にかかる時間を短縮できる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１０は、互いに波長の異なる複数の光を多重化した波長多重光を出射する波長多重光源１１と、波長多重光を減衰して出力する光減衰器１２と、波長多重光を複数の光に分波し、複数の被測定物へ出力する分波器１３と、複数の被測定物それぞれと接続され、被測定物の出力特性を測定する複数の測定器１５−１〜１５−ｎと、測定器１５−１〜１５−ｎからの測定結果を受信する制御端末１６と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、被測定物を検査するための検査装置に関する。

ルータやスイッチなどのネットワーク機器において、光信号と電気信号を相互に変換する光トランシーバが広く使用されている。

光トランシーバは内部にＰＤ（Photodiode）などの受光素子を有する。光トランシーバの出荷前には、受光素子に光を入力し、その出力を測定し、出力結果と所定の規格範囲を比較して良品、不良品を判定する、という検査が行われる。検査項目は、ＰＤの受信感度、ＬＯＳ（Loss Of Signal）などである。

図２は、一般的な従来の検査装置の概略構成図である。図２に示すように、従来の検査装置２０は、単波長光源２１、光減衰器２２、光スイッチ２３、複数の測定器２５−１〜２５−ｎ、制御端末２６からなる。検査装置２０において、複数の被測定物２４−１〜２４−ｎが、光スイッチ２３と複数の測定器２５−１〜２５−ｎに接続される。

単波長光源２１は、単一の波長λ０の光を発光する光源である。単波長光源２１は、具体的に、例えば、ＬＤ（Laser Diode）などの半導体発光素子である。

光減衰器２２は、入力された光を所定のパワーとなるように減衰して出力する光デバイスである。光減衰器２２は、単波長光源２１と光スイッチ２３に光ファイバで接続されている。光減衰器２２は、単波長光源２１からの光を受信し、所定のパワーとなるように減衰し、光スイッチ２３へ出力する。

光スイッチ２３は、光減衰器２２、複数の被測定物２４−１〜２４−ｎと光ファイバで接続されている。光スイッチ２３は、光減衰器２２からの光を、光経路を切り替えて、複数の被測定物２４−１〜２４−ｎのうちいずれか一つに出力する。

複数の被測定物２４−１〜２４−ｎは、検査装置２０で検査される対象物である。被測定物２４−１〜２４−ｎは、具体的に、例えば、ＰＤなどの受光素子である。図２では、検査装置２０は、ｎ個の被測定物２４−１〜２４−ｎを配置でき、ｎ個の被測定物２４−１〜２４−ｎを順次検査することができる。

複数の測定器２５−１〜２５−ｎはそれぞれ複数の被測定物２４−１〜２４−ｎと接続されている。また、複数の測定器２５−１〜２５−ｎはそれぞれ制御端末２６に電気ケーブルで接続されている。複数の測定器２５−１〜２５−ｎはそれぞれ、複数の被測定物２４−１〜２４−ｎからの出力を受信し、その出力特性を測定し、測定結果を制御端末２６へ送るという動作を行う。測定器２５−１〜２５−ｎは、具体的に、例えば、オシロスコープである。

制御端末２６は、単波長光源２１、光減衰器２２、光スイッチ２３、複数の測定器２５−１〜２５−ｎと電気ケーブルで接続されている。制御端末２６は、単波長光源２１に対して発光のＯＮ、ＯＦＦの制御信号を送る。また、制御端末２６は、光減衰器２２に対して、減衰量を設定する制御信号を送る。また、制御端末２６は、光スイッチ２３に対して、どの被測定物２４−１〜２４−ｎへ光を出力するかを指示する制御信号を送る。また、制御端末２６は、測定器２５−１〜２５−ｎから測定結果を受信し、その測定結果を表示する。制御端末２６は、具体的に、例えば、ＰＣ（Personal Computer）である。

図２に示す検査装置２０において、被測定物の検査を開始すると、制御端末２６は光スイッチ２３に対して出力先を被測定物２４−１に切替えるよう制御信号を送る。単波長光源２１からの光は被測定物２４−１へ送られ、測定器２５−１は被測定物２４−１の出力特性を測定し、測定結果を制御端末２６へ送る。制御端末２６は、測定結果を受信し、被測定物２４−１の良品、不良品の判定を行う。制御端末２６は、被測定物２４−１の検査が終了すると、光スイッチ２３の出力先を被測定物２４−２〜２４−ｎへ順次切り替えて、被測定物２４−２〜２４−ｎの検査を順次行う。

特開２００７−２７１５８８号公報

従来の検査装置２０は、複数の被測定物２４−１〜２４−ｎの検査を順番で行うという方式であるため、複数の被測定物２４−１〜２４−ｎの検査にかかる合計時間が長くなるという問題があった。

したがって、本発明の目的は、複数の被測定物の検査を同時に行うことができ、検査にかかる時間を短縮できる検査装置を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するため、互いに波長の異なる複数の光を多重化した波長多重光を出射する波長多重光源と、波長多重光を複数の光に分波し、複数の被測定物へ出力する分波器と、複数の被測定物それぞれと接続され、被測定物の出力特性を測定する複数の測定器と、複数の測定器と接続され、測定器からの測定結果を受信する制御端末と、を備える検査装置である。

本発明に係る検査装置によれば、複数の被測定物の検査を同時に行うことができ、検査にかかる時間を短縮できる。

本発明の実施の形態に係る検査装置の概略構成図である。従来の検査装置の概略構成図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
［実施の形態］
図１は、本発明の実施の形態に係る検査装置の概略構成図である。

図１に示すように、実施の形態に係る検査装置１０は、波長多重光源１１、光減衰器１２、分波器１３、制御端末１６からなる。検査装置１０において、複数の被測定物１４−１〜１４−ｎが、分波器１３と複数の測定器１５−１〜１５−ｎに接続される。

波長多重光源１１は、互いに波長の異なる複数の光（波長：λ１，λ２，…，λｎ）を多重化した波長多重光を出力する光源である。波長多重光源１１は、互いに波長の異なる光（波長：λ１，λ２，…，λｎ）を発光する複数の発光素子、複数の発光素子が発光した複数の光を合波する光合波部を備える。波長多重光源１１の内部において、複数の発光素子は互いに波長の異なる複数の光を発光し、複数の発光素子からの複数の光は光合波部により多重化されて波長多重光となる。波長多重光は、波長多重光源１１に接続された光ファイバから出力される。ここで、複数の光の各波長は、各光を受信する被測定物の受信波長の仕様幅に入るように設定される。

波長多重光源１１として、例えば、波長多重光トランシーバを使用することができる。波長多重光トランシーバは、ルータやスイッチなどのネットワーク機器に挿抜可能な光モジュールである。波長多重光トランシーバは、光コネクタを挿抜可能な光コネクタ挿入口を有するハウジング、ネットワーク機器と接続するための電気エッジコネクタを有する。また、波長多重光トランシーバは、ハウジングの内部に、複数の発光素子、複数の発光素子からの複数の光を合波する光合波部、複数の受光素子、光ファイバから入射された波長多重光を複数の光に分波し複数の受光素子へ送る光分波部を有する。波長多重光トランシーバを波長多重光源１１として使用する場合、電気エッジコネクタから複数の発光素子を発光させるための電圧を印加し、波長多重光が出射される送信側の光ファイバを光減衰器１２に接続するように構成すればよい。波長多重光トランシーバは、一般に市販されている量産品であり、廉価に調達できるため、波長多重光源１１の部分を低コスト化できる、という利点がある。

光減衰器１２は、入力された光を所定のパワーとなるように減衰して出力する光デバイスである。光減衰器２２は、波長多重光源１１と分波器１３に光ファイバで接続されており、波長多重光源１１が出射した光を受信し、所定のパワーとなるように減衰して、分波器１３へ出力する。

分波器１３は、光減衰器１２、複数の被測定物１４−１〜１４−ｎと光ファイバで接続されている。分波器１３は、光減衰器１２からの波長多重光を複数の光に分波し、分波した複数の光を複数の被測定物１４−１〜１４−ｎへ出力する。分波器１３は、特に限定されないが、例えば、石英系光導波路を用いたＡＷＧ（Arrayed Waveguide Grating）である。

複数の被測定物１４−１〜１４−ｎは、検査装置１０で検査される対象物である。被測定物１４−１〜１４−ｎは、具体的に、例えば、光トランシーバで用いられるＰＤなどの受光素子である。図１では、検査装置２０は、ｎ個の被測定物１４−１〜１４−ｎを配置でき、ｎ個の被測定物２４−１〜２４−ｎは分波器１３の出力側に接続されている。

複数の測定器１５−１〜１５−ｎはそれぞれ複数の被測定物１４−１〜１４−ｎと接続されている。また、複数の測定器１５−１〜１５−ｎはそれぞれ制御端末１６に電気ケーブルで接続されている。複数の測定器１５−１〜１５−ｎはそれぞれ、複数の被測定物１４−１〜１４−ｎからの出力を受信し、その出力特性を測定し、測定結果を制御端末１６へ送るという動作を行う。測定器１５−１〜１５−ｎは、具体的に、例えば、オシロスコープである。

制御端末１６は、波長多重光源１１、光減衰器１２、複数の測定器１５−１〜１５−ｎと電気ケーブルで接続されている。制御端末１６は、波長多重光源１１に対して、波長多重光出射のＯＮ、ＯＦＦの制御信号を送る。また、制御端末１６は、光減衰器１２に対して、減衰量を設定する制御信号を送る。また、制御端末１６は、測定器１５−１〜１５−ｎから測定結果を受信し、その測定結果を表示する。制御端末１６は、具体的に、例えば、ＰＣである。

次に、図１に示す検査装置１０を使用した被測定物の検査手順を説明する。

まず、被測定物の検査を担当する作業者は、複数の被測定物１４−１〜１４−ｎを分波器１３と複数の測定器１５−１〜１５−ｎに接続する。また、作業者は、制御端末１６を使用し、光減衰器１２の減衰量を設定する。次に、作業者は、制御端末１６を使用し、波長多重光源１１に対し波長多重光を出射するように制御する。波長多重光源１１が出射した波長多重光は、光減衰器１２に入力され、所定の光パワーに減衰されて、分波器１３へ出力される。分波器１３において、波長多重光は複数の光（波長：λ１，λ２，…，λｎ）へ分波され、複数の光はそれぞれ被測定物１４−１〜１４−ｎへ出力される。被測定物１４−１〜１４−ｎは光を受信し、例えば、被測定物１４−１〜１４−ｎが受光素子の場合、電気信号に変換して、測定器１５−１〜１５−ｎへ出力する。測定器１５−１〜１５−ｎはそれぞれ、被測定物１４−１〜１４−ｎの出力特性を測定し、測定結果を制御端末１６へ送る。制御端末１６は、測定結果を受信し、被測定物１４−１〜１４−ｎの良品、不良品の判定を行い、測定結果と判定結果を作業者へ表示する。なお、良品、不良品の判定は、作業者が行ってもよい。

本実施の形態の検査装置によれば、波長多重光を使用し、複数の被測定物に同時に光を入力することができるので、複数の被測定物を同時に検査することができる。結果として、複数の測定物を検査するのにかかる時間を短縮できる。

１０検査装置，１１波長多重光源，１２光減衰器，１３分波器，１４−１〜１４−ｎ被測定物，１５−１〜１５−ｎ測定器，１６制御端末

Claims

互いに波長の異なる複数の光を多重化した波長多重光を出射する波長多重光源と、
前記波長多重光を複数の光に分波し、複数の被測定物へ出力する分波器と、
複数の前記被測定物それぞれと接続され、前記被測定物の出力特性を測定する複数の測定器と、
複数の前記測定器と接続され、前記測定器からの測定結果を受信する制御端末と、
を備える検査装置。
前記波長多重光源と前記分波器に接続され、前記波長多重光源からの波長多重光を減衰し、前記分波器へ出力する光減衰器を備える、
請求項１記載の検査装置。
前記波長多重光源は、波長多重光トランシーバである、
請求項１又は２に記載の検査装置。