JP2016153352A - 結晶育成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CZ法において、結晶育成中のルツボ内のメルトに原料を供給しながら結晶を育成する方法であって、前記原料としてロッド状原料を用い、該ロッド状原料を固体のまま育成中の結晶とルツボ壁との間のメルトに接触させ、連続的又は断続的に前記ロッド状原料を挿入し、溶解しながら、前記結晶を育成することを特徴とする結晶育成方法。
【選択図】図1
Description
法と略称する)による結晶育成方法に関する。
概略図を図2に示した結晶育成装置を用いて、N型で、抵抗率50Ωcm±7%、直径206mmの結晶を育成した。原料の初期チャージ量を200kgとし、直胴長さ100cmの結晶を中心磁場強度が4000Gの水平磁場を印加して育成した。平均の単結晶成長速度はおおよそ0.7mm/minであった。結晶トップ部は抵抗率以外の品質が入らない場合があるので、直胴10cmで規格上限の53.5Ωcmなるように狙って、P(リン)を初期ドープした。
実施例1で結晶を育成した後、リチャージにより原料を追加しルツボ内の原料を200kgとして、2本目の結晶育成を中心磁場強度が4000Gの水平磁場を印加して行った。狙いの抵抗率は実施例1と同じ、N型、50Ωcm±7%である。今回は育成中の結晶における製品部分の育成の開始からスリップバック長さ育成した後に、具体的には製品開始長さ(10cm)+スリップバック長さ(約20cm)=30cmからロッド状原料を追加することとした。そこで、初期のメルト中のドーパント濃度は、製品開始長さの10cmで53.5Ωcmとなる濃度、つまり原料を追加しない場合と同じ濃度となるようにPをリチャージ時に追加ドープした。
ロッド状原料を挿入しないことを除いては実施例2と同じ条件で、結晶引上げを行った。これにより得られた結晶の中心部における抵抗率を図3に示した。
4…メルト(原料融液)、 5…石英ルツボ、 6…黒鉛ルツボ、
7…加熱ヒータ(メインヒータ)、 8…断熱部材、 9…ガス流出口、
10…ガス導入口、 11…トップチャンバー、 12…ガスパージ筒、
13…遮熱部材、 14…挿入機、 15…ロッド状原料、
100…結晶育成装置(引上げ炉)。
Claims (14)
- CZ法において、結晶育成中のルツボ内のメルトに原料を供給しながら結晶を育成する方法であって、前記原料としてロッド状原料を用い、該ロッド状原料を固体のまま育成中の結晶とルツボ壁との間のメルトに接触させ、連続的又は断続的に前記ロッド状原料を挿入し、溶解しながら、前記結晶を育成することを特徴とする結晶育成方法。
- 前記ロッド状原料を引上げ炉内に挿入する際、前記ロッド状原料を上下動可能な可動部を具備する挿入機を用い、前記ロッド状原料を前記可動部により前記引上げ炉内に挿入することを特徴とする請求項1に記載の結晶育成方法。
- 前記ロッド状原料を追加する際、該追加を、前記挿入機として更に前記引上げ炉内と炉外を隔絶することができるゲートバルブを有する挿入部を具備するものを用い、前記ゲートバルブにより前記引上げ炉内と炉外を隔絶した後に行うことを特徴とする請求項2に記載の結晶育成方法。
- 前記ロッド状原料の断面積を育成する結晶の1/10以下、10mm2以上とすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記ロッド状原料の本数を複数本とすることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記メルトに中心磁場強度500−6000Gの磁場を印加することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記メルトを前記ルツボの周りに配したヒータを用いて加熱し、前記ヒータの発熱部の上端を前記メルトの表面である湯面より上にすることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記メルト中に固化層を形成したことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記ロッド状原料をノンドープの原料又は初期メルトの導電型と同じ導電型の原料とし、前記ロッド状原料の溶解比率αを(1−k)/10≦α≦1(ここでαは一定時間内においてメルトから結晶化した質量に対する、ロッド状原料をメルトに溶解した質量であり、kは抵抗率制御のためにメルトに投入されているドーパントの偏析係数である。)とすることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記育成中の結晶の成長速度V(mm/min)を、0.01≦V≦15000/D2+0.45(ここでDは育成中の結晶直径(単位:mm)である。)とすることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記ロッド状原料の挿入を、育成中の結晶における製品部分の育成の開始からスリップバック長さ分育成した後に開始することを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記結晶を育成した後、次の結晶育成前に原料をリチャージし、再度次の結晶育成において請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の結晶育成方法を用いて、次の結晶を育成することにより、ひとつの石英ルツボから複数の結晶を育成することを特徴とする結晶育成方法。
- 前記ロッド状原料の導電型を初期メルトの導電型と同じとし、前記ロッド状原料のドーパント濃度を初期メルト濃度に対して±10%以内とし、前記ロッド状原料の溶解比率αを0.9≦α≦1.1以内(ここでαは一定時間内においてメルトから結晶化した質量に対する、ロッド状原料をメルトに溶解した質量である。)とすることを特徴とする請求項1から請求項8、請求項10から請求項12のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
- 前記ロッド状原料をノンドープの原料とし、前記ロッド状原料の溶解比率αを(1−k)/10から1−kの間(ここでαは一定時間内においてメルトから結晶化した質量に対する、ロッド状原料をメルトに溶解した質量であり、kは抵抗率制御のためにメルトに投入されているドーパントの偏析係数である。)とすることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の結晶育成方法。
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JPS6483591A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-29 | Toshiba Ceramics Co | Apparatus for producing single crystal |
JPH02279582A (ja) * | 1989-04-21 | 1990-11-15 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | 半導体単結晶製造装置及び製造方法 |
JPH09208360A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Sumitomo Sitix Corp | 単結晶の成長方法 |
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JPH09208360A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Sumitomo Sitix Corp | 単結晶の成長方法 |
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