JP2016152410A - Method of manufacturing electronic component - Google Patents

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千鶴 金
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千鶴 金
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an electronic component that can form a resist cured body layer with a high reflective index to light by using white pigment and also enhance resolution, undercut preventiveness and migration resistance of the resist cured body layer.SOLUTION: A method of manufacturing an electronic component according to the present invention comprises: a first step of using a non-development type photocurable composition which includes a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and white pigment, can be cured by irradiation with light, and can form a resist cured body layer so as to form a plurality of resist layers in a patterned state on a surface of an electronic component body without exposure; and a second step of curing the plurality of resist layers by irradiating the plurality of resist layers with light so as to form a plurality of resist cured body layers.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である非現像型光硬化性組成物を用いる電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a non-developable light that contains a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment, can be cured by light irradiation, and can form a cured resist layer without development. The present invention relates to a method for producing an electronic component using a curable composition.

プリント配線板を高温のはんだから保護するための保護膜として、ソルダーレジスト膜が広く用いられている。   A solder resist film is widely used as a protective film for protecting a printed wiring board from high-temperature solder.

また、様々な電子部品において、プリント配線板の上面に発光ダイオード(以下、LEDと略す)チップが搭載されている。LEDから発せられた光の内、上記プリント配線板の上面側に到達した光も利用するために、プリント配線板の上面に白色ソルダーレジスト膜が形成されていることがある。この場合には、LEDチップの表面からプリント配線板とは反対側に直接照射される光だけでなく、プリント配線板の上面側に到達し、白色ソルダーレジスト膜により反射された反射光も利用できる。従って、LEDから生じた光の利用効率を高めることができる。   In various electronic components, a light emitting diode (hereinafter abbreviated as LED) chip is mounted on the upper surface of a printed wiring board. A white solder resist film may be formed on the upper surface of the printed wiring board in order to use light that has reached the upper surface side of the printed wiring board among the light emitted from the LEDs. In this case, not only light directly irradiated from the surface of the LED chip to the opposite side of the printed wiring board but also reflected light that reaches the upper surface side of the printed wiring board and is reflected by the white solder resist film can be used. . Therefore, the utilization efficiency of the light generated from the LED can be increased.

下記の特許文献1には、電子回路配線が形成された基板上に白色ソルダーレジストAを塗布し、硬化させる工程と、上記白色ソルダーレジストA上に、さらに白色ソルダーレジストBを塗布し、硬化させる工程とを含むプリント配線板の製造方法が開示されている。このプリント配線板は、バックライトの反射板機能を有する。   In the following Patent Document 1, a white solder resist A is applied and cured on a substrate on which electronic circuit wiring is formed, and a white solder resist B is further applied and cured on the white solder resist A. A method of manufacturing a printed wiring board including a process is disclosed. This printed wiring board has a reflector function of a backlight.

特開2011−66267号公報JP 2011-66267 A

特許文献1では、上記白色ソルダーレジストA,Bを形成するために、現像型の感光性組成物又は熱硬化性樹脂組成物を用いることが記載されているにすぎない。   Patent Document 1 merely describes the use of a developing type photosensitive composition or a thermosetting resin composition in order to form the white solder resists A and B.

現像型の感光性組成物では、レジスト膜を形成するために、フォトリソグラフィーにおける露光工程及び現像工程などの多くの工程が必要である。このため、工程数が多く、プリント配線板の製造効率が悪い。   In the development type photosensitive composition, in order to form a resist film, many steps such as an exposure step and a development step in photolithography are required. For this reason, there are many processes and the manufacturing efficiency of a printed wiring board is bad.

さらに、現像型の感光性組成物では、酸又はアルカリなどの薬液を用いた現像を行うため、環境負荷が大きい。さらに、現像により除去されるレジスト膜部分を形成するために、余分なレジスト材料を用いなければならない。また、現像により除去されたレジスト膜部分は廃棄物となる。このため、廃棄物の量が多いので環境負荷が大きい。   Furthermore, since the development type photosensitive composition performs development using a chemical solution such as acid or alkali, the environmental load is large. Furthermore, an extra resist material must be used to form a resist film portion that is removed by development. The resist film portion removed by development becomes waste. For this reason, since the amount of waste is large, the environmental load is large.

また、特許文献1に記載のような現像型の感光性組成物や熱硬化性樹脂組成物(エポキシ系熱硬化樹脂、シリコーン系熱硬化樹脂等)を用いた場合には、レジスト膜の解像度が低かったり、レジスト膜の外周面に凹部が形成されてアンダーカットが生じたり、マイグレーションが発生したりすることがある。   In addition, when a development type photosensitive composition or a thermosetting resin composition (epoxy thermosetting resin, silicone thermosetting resin, etc.) as described in Patent Document 1 is used, the resolution of the resist film is low. It may be low, or a recess may be formed on the outer peripheral surface of the resist film, resulting in undercutting or migration.

また、白色レジスト膜では、光の反射率が高いことが求められている。しかしながら、従来、白色顔料を含むレジスト膜においては特に、解像度、アンダーカット防止性及び耐マイグレーション性を全て高めることは困難であるという問題がある。   Further, the white resist film is required to have a high light reflectance. However, conventionally, there is a problem that it is difficult to improve all of resolution, undercut prevention and migration resistance, particularly in a resist film containing a white pigment.

本発明の目的は、白色顔料が使用されていることにより、光の反射率が高いレジスト硬化物層を形成することができ、更にレジスト硬化物層の解像度、アンダーカット防止性及び耐マイグレーション性を高めることができる電子部品の製造方法を提供することである。   An object of the present invention is to use a white pigment to form a resist cured product layer having a high light reflectance, and further to improve the resolution, undercut prevention and migration resistance of the resist cured product layer. An object of the present invention is to provide an electronic component manufacturing method that can be enhanced.

本発明の広い局面によれば、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である非現像型光硬化性組成物を用いて、電子部品本体の表面上に、現像を行わずにパターン状に、複数層のレジスト層を形成する第1の工程と、前記複数層のレジスト層に光を照射し、前記複数層のレジスト層を硬化させて、複数層のレジスト硬化物層を形成する第2の工程とを備える、電子部品の製造方法が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, it contains a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment, can be cured by light irradiation, and can form a cured resist layer without development. A first step of forming a plurality of resist layers in a pattern on the surface of the electronic component body using a non-developable photocurable composition without developing, and the plurality of resist layers And a second step of curing the plurality of resist layers to form a plurality of resist cured product layers, and a method for manufacturing an electronic component.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記非現像型光硬化性組成物中の前記白色顔料の含有量が10重量%以上、80重量%以下である。   On the specific situation with the manufacturing method of the electronic component which concerns on this invention, content of the said white pigment in the said non-developing type photocurable composition is 10 to 80 weight%.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記非現像型光硬化性組成物が、チオール基を1個以上有するチオール基含有化合物を含む。   On the specific situation with the manufacturing method of the electronic component which concerns on this invention, the said non-development type photocurable composition contains the thiol group containing compound which has 1 or more of thiol groups.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記複数層のレジスト硬化物層の合計の厚みが20μm以上、90μm以下である。   On the specific situation with the manufacturing method of the electronic component which concerns on this invention, the total thickness of the said several resist hardened | cured material layer is 20 micrometers or more and 90 micrometers or less.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記複数層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みが5μm以上、40μm以下である。   On the specific situation with the manufacturing method of the electronic component which concerns on this invention, the average thickness per layer of the said several resist hardened | cured material layer is 5 micrometers or more and 40 micrometers or less.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記複数層のレジスト層を、スクリーン印刷により形成する。   In a specific aspect of the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, the plurality of resist layers are formed by screen printing.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記複数層のレジスト層として、3層以上のレジスト層を形成し、かつ、前記複数層のレジスト硬化物層として、3層以上のレジスト硬化物層を形成する。   In a specific aspect of the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, three or more resist layers are formed as the plurality of resist layers, and three or more resist cured product layers are formed as the plurality of resist cured product layers. A cured resist layer is formed.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記複数層のレジスト層のうちの一部のレジスト層を形成した後、前記一部のレジスト層に光を照射し、前記一部のレジスト層を硬化させて、一部のレジスト硬化物層を形成し、次に、前記複数層のレジスト層のうちの他のレジスト層を形成した後、前記他のレジスト層に光を照射し、前記他のレジスト層を硬化させて、前記一部のレジスト硬化物層と他のレジスト硬化物層とを含む複数層のレジスト硬化物層を形成する。   In a specific aspect of the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, after forming a part of the resist layer of the plurality of resist layers, the part of the resist layer is irradiated with light, and the part of the resist layer is irradiated with light. The resist layer is cured to form a part of the cured resist layer, and after forming another resist layer of the plurality of resist layers, the other resist layer is irradiated with light. Then, the other resist layer is cured to form a plurality of resist cured product layers including the part of the resist cured product layer and the other resist cured product layer.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記複数層のレジスト層の全部のレジスト層を形成した後、前記全部のレジスト層に光を照射し、前記全部のレジスト層を硬化させて、複数層のレジスト硬化物層を形成する。   In a specific aspect of the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, after all the resist layers of the plurality of resist layers are formed, the entire resist layer is irradiated with light, and the entire resist layer is cured. In this way, a plurality of resist cured product layers are formed.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記第1の工程が、前記非現像型光硬化性組成物として、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第1の組成物を用いて、電子部品本体の表面上に、現像を行わずにパターン状に、前記複数層のレジスト層の1層として、第1のレジスト層を形成する工程と、前記非現像型光硬化性組成物として、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第2の組成物を用いて、前記第1のレジスト層の前記電子部品本体側とは反対の表面上に、現像を行わずにパターン状に、前記複数層のレジスト層の1層として、第2のレジスト層を形成する工程とを含み、前記第2の工程が、前記第1のレジスト層に光を照射し、前記第1のレジスト層を硬化させて、前記複数層のレジスト硬化物層の1層として、第1のレジスト硬化物層を形成する工程と、前記第2のレジスト層に光を照射し、前記第2のレジスト層を硬化させて、前記複数層のレジスト硬化物層の1層として、第2のレジスト硬化物層を形成する工程とを含む。   In a specific aspect of the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, the first step includes, as the non-developable photocurable composition, a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment. Including a first composition which can be cured by light irradiation and can form a cured resist layer without development, and is patterned on the surface of the electronic component body without development. In addition, a step of forming a first resist layer as one layer of the plurality of resist layers, a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment as the non-developable photocurable composition A second resist composition that can be cured by irradiation with light and can form a cured resist layer without development, and the electronic component main body side of the first resist layer. On the opposite surface, the multiple layers in a pattern without development Forming a second resist layer as one layer of the resist layer, wherein the second step irradiates the first resist layer with light and cures the first resist layer; A step of forming a first resist cured product layer as one layer of the plurality of resist cured product layers, irradiating light to the second resist layer, curing the second resist layer, Forming a second resist cured product layer as one layer of the plurality of resist cured product layers.

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記第1の工程が、前記非現像型光硬化性組成物として、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第3の組成物を用いて、前記第2のレジスト層の前記第1のレジスト層側とは反対の表面上に、現像を行わずにパターン状に、前記複数層のレジスト層の1層として、第3のレジスト層を形成する工程を含み、前記第2の工程が、前記第3のレジスト層に光を照射し、前記第3のレジスト層を硬化させて、前記複数層のレジスト硬化物層の1層として、第3のレジスト硬化物層を形成する工程を含む。   In a specific aspect of the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, the first step includes, as the non-developable photocurable composition, a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment. And the first resist layer side of the second resist layer using a third composition that can be cured by irradiation with light and can form a cured resist layer without development. Includes a step of forming a third resist layer as a layer of the plurality of resist layers on the opposite surface in a pattern without development, and the second step includes the third step. The method includes irradiating the resist layer with light to cure the third resist layer to form a third resist cured product layer as one layer of the plurality of resist cured product layers.

本発明に係る電子部品の製造方法では、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である非現像型光硬化性組成物を用いるので、露光工程及び現像工程などの多くの工程を行う必要がない。   In the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment are included, and can be cured by light irradiation, and a cured resist layer is formed without development. Since a non-developable photocurable composition that can be used is used, it is not necessary to perform many steps such as an exposure step and a development step.

さらに、本発明に係る電子部品の製造方法では、白色顔料が使用されていることにより、光の反射率が高いレジスト硬化物層を形成することができる。   Furthermore, in the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a resist cured product layer having a high light reflectance can be formed by using a white pigment.

さらに、本発明に係る電子部品の製造方法は、上記非現像型光硬化性組成物を用いて、電子部品本体の表面上に、現像を行わずにパターン状に、複数層のレジスト層を形成する第1の工程と、上記複数層のレジスト層に光を照射し、上記複数層のレジスト層を硬化させて、複数層のレジスト硬化物層を形成する第2の工程とを備えるので、白色顔料が用いられていても、レジスト硬化物層の解像度、アンダーカット防止性及び耐マイグレーション性を全て高めることができる。   Furthermore, in the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a plurality of resist layers are formed in a pattern on the surface of the electronic component body using the non-developable photocurable composition without performing development. And a second step of irradiating the plurality of resist layers with light and curing the plurality of resist layers to form a plurality of resist cured product layers. Even if a pigment is used, the resolution, undercut prevention and migration resistance of the resist cured product layer can all be improved.

図1(a)〜(e)は、本発明の一実施形態に係る電子部品を製造する方法を説明するための断面図である。1A to 1E are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an electronic component according to an embodiment of the present invention. 図2(a)〜(d)は、本発明の他の実施形態に係る電子部品を製造する方法を説明するための断面図である。2A to 2D are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an electronic component according to another embodiment of the present invention. 図3(a)〜(c)は、本発明の他の実施形態に係る電子部品を製造する方法を説明するための断面図である。3A to 3C are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an electronic component according to another embodiment of the present invention. 図4(a)〜(e)は、従来の現像型レジスト組成物を用いて、電子部品を製造する方法の一例を説明するための断面図である。4A to 4E are cross-sectional views for explaining an example of a method for producing an electronic component using a conventional developing resist composition.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

(電子部品の製造方法)
本発明に係る電子部品の製造方法では、非現像型光硬化性組成物を用いる。上記非現像型光硬化性組成物は、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含む。上記非現像型光硬化性組成物は、光硬化性化合物と光重合開始剤とを含むので、光の照射により硬化可能である。上記非現像型光硬化性組成物は、現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である。
(Method for manufacturing electronic parts)
In the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a non-developable photocurable composition is used. The non-developable photocurable composition includes a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment. Since the non-developable photocurable composition contains a photocurable compound and a photopolymerization initiator, it can be cured by light irradiation. The non-developable photocurable composition can form a cured resist layer without development.

本発明に係る電子部品の製造方法では、上記非現像型光硬化性組成物は、現像して用いられない。レジスト膜を形成するために現像が行われないので、上記非現像型光硬化性組成物は、レジスト硬化物層(レジスト膜)を形成するために現像を行う現像型組成物とは異なる。本発明に係る電子部品の製造方法では、上記非現像型光硬化性組成物として、現像を行わなくても、レジスト硬化物層を得ることができる組成を採用することができる。   In the method for producing an electronic component according to the present invention, the non-developable photocurable composition is not used after being developed. Since development is not performed to form a resist film, the non-developable photocurable composition is different from a developable composition that develops to form a resist cured product layer (resist film). In the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a composition capable of obtaining a cured resist layer can be adopted as the non-developable photocurable composition without performing development.

上記非現像型光硬化性組成物を用いることによって、フォトリソグラフィーにおける露光工程及び現像工程などの多くの工程を行わなくても、良好なレジスト硬化物層を形成することができる。本発明に係る電子部品の製造方法では、露光工程及び現像工程などの多くの工程を行う必要がない。このため、廃棄物の量を少なくすることができ、環境負荷を低減できる。さらに、電子部品の製造コストも低くすることができる。   By using the non-developable photocurable composition, a good resist cured product layer can be formed without performing many steps such as an exposure step and a development step in photolithography. In the electronic component manufacturing method according to the present invention, it is not necessary to perform many steps such as an exposure step and a development step. For this reason, the amount of waste can be reduced and the environmental load can be reduced. Furthermore, the manufacturing cost of the electronic component can be reduced.

本発明に係る電子部品の製造方法では、上記非現像型光硬化性組成物において、白色顔料が使用されていることにより、光の反射率が高いレジスト硬化物層を形成することができる。   In the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a white pigment is used in the non-developable photocurable composition, whereby a resist cured product layer having a high light reflectance can be formed.

本発明に係る電子部品の製造方法は、上記非現像型光硬化性組成物を用いて、電子部品本体の表面上に、現像を行わずにパターン状に、複数層のレジスト層を形成する第1の工程と、上記複数層のレジスト層に光を照射し、上記複数層のレジスト層を硬化させて、複数層のレジスト硬化物層を形成する第2の工程とを備える。上記第1の工程では、パターン状のレジスト層を形成するために、現像を行わない。上記第1の工程後に、上記第2の工程の全体が行われてもよい。上記第1の工程中に、上記第2の工程の一部が行われてもよい。   The method for manufacturing an electronic component according to the present invention includes forming a plurality of resist layers in a pattern on the surface of the electronic component body using the non-developable photocurable composition without performing development. And a second step of forming a plurality of cured resist layers by irradiating the plurality of resist layers with light and curing the plurality of resist layers. In the first step, development is not performed to form a patterned resist layer. After the first step, the entire second step may be performed. A part of the second step may be performed during the first step.

本発明に係る電子部品の製造方法では、現像型組成物を用いておらず、更に光硬化性組成物とは異なる熱硬化性組成物を用いていない。本発明に係る電子部品の製造方法では、現像を行わずに、多層のレジスト硬化物層を形成するので、白色顔料が用いられていても、レジスト硬化物層の解像度、アンダーカット防止性及び耐マイグレーション性を全て高めることができる。   In the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a development type composition is not used, and a thermosetting composition different from a photocurable composition is not used. In the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a multilayer resist cured product layer is formed without performing development. Therefore, even if a white pigment is used, the resolution of the resist cured product layer, the undercut prevention property, and the resistance to resistance. All migration can be improved.

具体的には、パターン状のレジスト硬化物層を、所定の位置に高精度に形成することができる。例えば、パターン状のレジスト硬化物層を、電極がない領域に選択的に、精度よく形成することができる。このため、解像度が高くなり、電子部品の信頼性が高くなる。   Specifically, the patterned resist cured product layer can be formed at a predetermined position with high accuracy. For example, a patterned resist cured product layer can be selectively and accurately formed in a region where no electrode is present. For this reason, the resolution is increased and the reliability of the electronic component is increased.

さらに、レジスト硬化物層の下方の外周面において、内側に窪んだ凹部が形成され難くなる。このため、アンダーカット防止性が高くなり、電子部品の信頼性が高くなる。   Furthermore, it becomes difficult to form a recess recessed inward on the outer peripheral surface below the cured resist layer. For this reason, undercut prevention property becomes high and the reliability of an electronic component becomes high.

さらに、耐マイグレーション性も高くなり、電子部品において、絶縁不良の発生が生じ難く、電子部品の信頼性が高くなる。   Furthermore, migration resistance is also increased, insulation failure is unlikely to occur in the electronic component, and the reliability of the electronic component is increased.

また、複数層のレジスト硬化物層を形成することによって、レジスト硬化物層の厚みを厚くすることができる。このため、レジスト性能がより一層高く発現する。   Moreover, the thickness of a resist cured material layer can be thickened by forming the resist cured material layer of multiple layers. For this reason, resist performance appears even higher.

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な電子部品の製造方法を説明する。   Hereinafter, a specific method for manufacturing an electronic component of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1(a)〜(e)は、本発明の一実施形態に係る電子部品を製造する方法を説明するための断面図である。   1A to 1E are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing an electronic component according to an embodiment of the present invention.

先ず、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である非現像型光硬化性組成物を用意する。本実施形態では、上記非現像型光硬化性組成物として、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第1の組成物と、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第2の組成物と、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第3の組成物とを用いている。上記第1の組成物、上記第2の組成物及び上記第3の組成物は、同一であってもよく、異なっていてもよい。さらに、基板と上記第1のレジスト層との密着性を高めるために、基板と第1のレジスト層との間に、密着層として、酸化チタンの含有量が10重量%未満であるレジスト層を形成してもよい。   First, it contains a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment, can be cured by irradiation with light, and can form a resist cured product layer without development. Prepare a composition. In the present embodiment, the non-developable photocurable composition contains a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment, can be cured by light irradiation, and can be resisted without development. A first composition capable of forming a cured product layer, a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment, which can be cured by light irradiation and is cured without development. A cured resist product that includes a second composition capable of forming a physical layer, a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment, is curable by light irradiation, and is not developed. And a third composition capable of forming a layer. The first composition, the second composition, and the third composition may be the same or different. Further, in order to enhance the adhesion between the substrate and the first resist layer, a resist layer having a titanium oxide content of less than 10% by weight is provided as an adhesion layer between the substrate and the first resist layer. It may be formed.

さらに、図1(a)に示すように、電子部品本体11を用意する。電子部品本体11として、基板11Aが用いられており、基板11Aの表面上に複数の電極11Bが配置されている。基板11Aの電極11Bがない領域において、後に複数層のレジスト硬化物層2が形成される部分の表面は、絶縁層などであってもよい。   Furthermore, as shown in FIG. 1A, an electronic component main body 11 is prepared. A substrate 11A is used as the electronic component body 11, and a plurality of electrodes 11B are disposed on the surface of the substrate 11A. In the region where the electrode 11B is not provided on the substrate 11A, the surface of the portion where the multiple layers of the cured resist layer 2 are formed later may be an insulating layer or the like.

次に、図1(b)に示すように、電子部品本体11の表面上に、上記第1の組成物(非現像型光硬化性組成物)を塗布して、複数層のレジスト層12(図1(d)参照)の1層として、第1のレジスト層12Aを形成する。図1(b)では、電子部品本体11の表面上に、現像を行わずに、パターン状に第1のレジスト層12Aを形成している。   Next, as shown in FIG.1 (b), the said 1st composition (non-development type photocurable composition) is apply | coated on the surface of the electronic component main body 11, and the multiple resist layers 12 ( A first resist layer 12A is formed as one layer shown in FIG. In FIG. 1B, the first resist layer 12A is formed in a pattern on the surface of the electronic component body 11 without performing development.

次に、図1(c)に示すように、電子部品本体11の表面上に、より具体的には第1のレジスト層12Aの電子部品本体11側とは反対の表面上に、上記第2の組成物(非現像型光硬化性組成物)を塗布して、複数層のレジスト層12(図1(d)参照)の1層として、第2のレジスト層12Bを形成する。図1(c)では、電子部品本体11の表面上に、現像を行わずに、パターン状に第2のレジスト層12Bを形成している。第1のレジスト層12Aの表面上の全体に、第2のレジスト層12Bを形成している。   Next, as shown in FIG. 1C, on the surface of the electronic component main body 11, more specifically, on the surface opposite to the electronic component main body 11 side of the first resist layer 12A, The second resist layer 12B is formed as a single layer of the plurality of resist layers 12 (see FIG. 1D) by applying the above composition (non-developable photocurable composition). In FIG. 1C, the second resist layer 12B is formed in a pattern on the surface of the electronic component body 11 without performing development. A second resist layer 12B is formed on the entire surface of the first resist layer 12A.

次に、図1(d)に示すように、電子部品本体11の表面上に、より具体的には第2のレジスト層12Bの第1のレジスト層12A側とは反対の表面上に、上記第3の組成物(非現像型光硬化性組成物)を塗布して、複数層のレジスト層12の1層として、第3のレジスト層12Cを形成する。図1(d)では、電子部品本体11の表面上に、現像を行わずに、パターン状に第3のレジスト層12Cを形成している。第2のレジスト層12Bの表面上の全体に、第3のレジスト層12Cを形成している。   Next, as shown in FIG. 1 (d), on the surface of the electronic component main body 11, more specifically, on the surface opposite to the first resist layer 12A side of the second resist layer 12B, A third composition (non-developable photocurable composition) is applied to form a third resist layer 12C as one layer of the plurality of resist layers 12. In FIG. 1D, the third resist layer 12C is formed in a pattern on the surface of the electronic component body 11 without performing development. A third resist layer 12C is formed on the entire surface of the second resist layer 12B.

上記の結果、電子部品本体21の表面上に、第1のレジスト層12A、第2のレジスト層12B及び第3のレジスト層12Cを含む複数層のレジスト層12を形成している。本実施形態では、レジスト層12は3層である。なお、第3のレジスト層12Cを形成しなくてもよい。レジスト層は2層であってもよい。なお、第4のレジスト層、第5のレジスト層、・・・、第nのレジスト層(nは任意の整数)を更に形成してもよい。   As a result, a plurality of resist layers 12 including the first resist layer 12A, the second resist layer 12B, and the third resist layer 12C are formed on the surface of the electronic component body 21. In the present embodiment, the resist layer 12 has three layers. Note that the third resist layer 12C may not be formed. There may be two resist layers. A fourth resist layer, a fifth resist layer,..., An nth resist layer (n is an arbitrary integer) may be further formed.

複数層のレジスト層12は、部分的にかつ複数の箇所に形成されている。具体的には、基板11Aの表面上の複数の電極11Bの間に、複数層のレジスト層12を形成している。複数層のレジスト層12は、レジストパターンである。例えば、複数層のレジスト層12は、従来の現像型組成物を用いることを想定したときに、現像後に残存させて形成されるレジスト層部分に対応する位置にのみに形成されている。レジスト層12は、従来の現像型組成物を用い、現像により除去されるレジスト層部分に対応する位置に形成されていない。   The plurality of resist layers 12 are partially formed at a plurality of locations. Specifically, a plurality of resist layers 12 are formed between the plurality of electrodes 11B on the surface of the substrate 11A. The multiple resist layers 12 are resist patterns. For example, the plurality of resist layers 12 are formed only at positions corresponding to resist layer portions that are formed to remain after development, assuming that a conventional developing composition is used. The resist layer 12 is not formed at a position corresponding to a resist layer portion to be removed by development using a conventional developing composition.

非現像型光硬化性組成物の塗布方法としては、例えば、ディスペンサーによる塗布方法、スクリーン印刷による塗布方法、及びインクジェット装置による塗布方法等が挙げられる。製造効率に優れることから、スクリーン印刷が好ましい。非現像型光硬化性組成物をパターン印刷することが好ましい。複数層のレジスト層を、スクリーン印刷により形成することが好ましい。スクリーン印刷を複数回行うことで、複数層のレジスト層を形成することができる。   Examples of the coating method of the non-developable photocurable composition include a coating method using a dispenser, a coating method using screen printing, and a coating method using an inkjet apparatus. Screen printing is preferred because of its excellent manufacturing efficiency. It is preferable to pattern-print the non-developable photocurable composition. It is preferable to form a plurality of resist layers by screen printing. A plurality of resist layers can be formed by performing screen printing a plurality of times.

次に、複数層のレジスト層12に光を照射する。例えば、複数層のレジスト層12の電子部品本体11側とは反対側から、レジスト層12に光を照射する。この結果、図1(e)に示すように、複数層のレジスト層12が光硬化し、複数層のレジスト硬化物層2が形成される。具体的には、第1のレジスト層12Aの電子部品本体11側とは反対側から、第1のレジスト層12Aに光を照射する。この結果、複数層のレジスト硬化物層2の1層として、第1のレジスト硬化物層2Aが形成される。第2のレジスト層12Bの電子部品本体11側とは反対側から、また第2のレジスト層12Bの第1のレジスト層12A側とは反対側から、第2のレジスト層12Bに光を照射する。この結果、複数層のレジスト硬化物層2の1層として、第2のレジスト硬化物層2Bが形成される。第3のレジスト層12Cの電子部品本体11側とは反対側から、また第3のレジスト層12Cの第2のレジスト層12B側とは反対側から、第3のレジスト層12Cに光を照射する。この結果、複数層のレジスト硬化物層2の1層として、第3のレジスト硬化物層2Cが形成される。この結果、電子部品本体11(電子部品本体)の表面上に、複数層のレジスト硬化物層2が形成された電子部品1が得られる。   Next, the plurality of resist layers 12 are irradiated with light. For example, the resist layer 12 is irradiated with light from the side opposite to the electronic component main body 11 side of the plurality of resist layers 12. As a result, as shown in FIG. 1E, the plurality of resist layers 12 are photocured, and a plurality of resist cured product layers 2 are formed. Specifically, the first resist layer 12A is irradiated with light from the side opposite to the electronic component main body 11 side of the first resist layer 12A. As a result, the first resist cured product layer 2 </ b> A is formed as one layer of the plurality of resist cured product layers 2. The second resist layer 12B is irradiated with light from the side opposite to the electronic component body 11 side of the second resist layer 12B and from the side of the second resist layer 12B opposite to the first resist layer 12A side. . As a result, the second resist cured product layer 2 </ b> B is formed as one layer of the plurality of resist cured product layers 2. The third resist layer 12C is irradiated with light from the side opposite to the electronic component main body 11 side of the third resist layer 12C and from the side opposite to the second resist layer 12B side of the third resist layer 12C. . As a result, a third resist cured product layer 2 </ b> C is formed as one layer of the plurality of resist cured product layers 2. As a result, the electronic component 1 in which a plurality of resist cured product layers 2 are formed on the surface of the electronic component main body 11 (electronic component main body) is obtained.

上記の光照射時には、第1のレジスト層12Aに光を照射し、第2のレジスト層12Bに光を照射し、第3のレジスト層12Cに光を照射する。第1のレジスト層12Aへの光の照射は、第2のレジスト層12Bの形成前であってもよく、第2のレジスト層12Bの形成後であってもよく、第3のレジスト層12Cの形成前であってもよく、第3のレジスト層12Cの形成後であってもよい。第2のレジスト層12Bへの光の照射は、第3のレジスト層12Cの形成前であってもよく、第3のレジスト層12Cの形成後であってもよい。製造効率を高める観点からは、複数層のレジスト層12に、光を照射することが好ましい。一方で、図2(a)、図2(b)、図2(c)、図2(d)、図3(a)、図3(b)、図3(c)の各工程を経て、電子部品を得ることも好ましい。   During the light irradiation, the first resist layer 12A is irradiated with light, the second resist layer 12B is irradiated with light, and the third resist layer 12C is irradiated with light. The first resist layer 12A may be irradiated with light before the formation of the second resist layer 12B, after the formation of the second resist layer 12B, or from the third resist layer 12C. It may be before formation or after formation of the third resist layer 12C. The light irradiation to the second resist layer 12B may be before the formation of the third resist layer 12C or after the formation of the third resist layer 12C. From the viewpoint of increasing the production efficiency, it is preferable to irradiate the plurality of resist layers 12 with light. On the other hand, through each step of FIG. 2 (a), FIG. 2 (b), FIG. 2 (c), FIG. 2 (d), FIG. 3 (a), FIG. 3 (b), and FIG. It is also preferable to obtain an electronic component.

上記複数層のレジスト層の全部のレジスト層を形成した後、上記全部のレジスト層に光を照射し、上記全部のレジスト層を硬化させて、複数層のレジスト硬化物層を形成してもよい(図1(a)〜(e)参照)。この場合には、レジスト硬化物層の製造効率が高くなる。また、この形成方法では、レジスト層の形成とレジスト層の硬化とを含む1ステップが、1回行われる。   After forming all the resist layers of the plurality of resist layers, the resist layers may be irradiated with light to cure all the resist layers to form a plurality of resist cured product layers. (See FIGS. 1A to 1E). In this case, the production efficiency of the cured resist layer is increased. Further, in this forming method, one step including the formation of the resist layer and the curing of the resist layer is performed once.

上記複数層のレジスト層のうちの一部のレジスト層を形成した後、上記一部のレジスト層に光を照射し、上記一部のレジスト層を硬化させて、一部のレジスト硬化物層を形成し、次に、上記複数層のレジスト層のうちの他のレジスト層を形成した後、上記他のレジスト層に光を照射し、上記他のレジスト層を硬化させて、上記一部のレジスト硬化物層と他のレジスト硬化物層とを含む複数層のレジスト硬化物層を形成してもよい(図2(a)〜(d)、図3(a)〜(c)参照)。この場合には、各レジスト硬化物層を十分に硬化させることができ、特に下層のレジスト硬化物層を十分に硬化させることができ、優れた解像度を得ることができる。また、この形成方法では、レジスト層の形成とレジスト層の硬化とを含む1ステップが、複数回で行われ、2回行われてもよく、3回以上行われてもよい。製造効率を上げるために、上記一部のレジスト層に光を照射する際の露光量を少なくしてもよい。この場合にも、複数回光を照射するので、各レジスト硬化物層を十分に硬化させることができる。   After forming a part of the plurality of resist layers, the part of the resist layer is irradiated with light, and the part of the resist layer is cured to form a part of the resist cured product layer. And then forming another resist layer of the plurality of resist layers, irradiating the other resist layer with light, curing the other resist layer, and A plurality of resist cured product layers including a cured product layer and another resist cured product layer may be formed (see FIGS. 2A to 2D and FIGS. 3A to 3C). In this case, each resist cured product layer can be sufficiently cured, particularly the lower resist cured product layer can be sufficiently cured, and an excellent resolution can be obtained. Further, in this forming method, one step including the formation of the resist layer and the curing of the resist layer may be performed a plurality of times, twice, or three times or more. In order to increase the production efficiency, the exposure amount when irradiating light to the part of the resist layer may be reduced. Also in this case, since the light is irradiated a plurality of times, each cured resist layer can be sufficiently cured.

なお、図1(a)〜(e)、及び図2(a)〜(d)、図3(a)〜(c)を用いて説明したレジスト硬化物層の製造方法は、本発明の範囲内おいて、適宜変更することができる。但し、電子部品の製造時に、レジスト層及びレジスト硬化物層を形成するために現像は行われない。   In addition, the manufacturing method of the resist cured material layer demonstrated using FIG. 1 (a)-(e), FIG. 2 (a)-(d), and FIG. 3 (a)-(c) is the range of this invention. It can be changed as appropriate. However, development is not performed in order to form a resist layer and a resist hardened material layer at the time of manufacture of an electronic component.

なお、従来、現像型組成物が用いられることが多かった。ネガ型の現像型組成物を用いる場合には、図4(a)に示すように、例えば、基板111Aと、基板111Aの表面上に配置された電極111Bとを有する電子部品本体111を用意する。次に、図4(b)に示すように、電子部品本体111の表面上に、全体に、レジスト層112を形成する。次に、図4(c)に示すように、マスク113を介して、電極111B上のレジスト層112のみに光を照射する。その後、図4(d)に示すように、現像し、電極111B上に位置するレジスト層112を部分的に除去する。レジスト層112を部分的に除去した後、残存しているレジスト層112を熱硬化させる。この結果、図4(e)に示すように、電子部品本体111(電子部品本体)の表面上に、レジスト硬化物層102が形成された電子部品101を得る。   Conventionally, development type compositions have often been used. When using a negative developing composition, as shown in FIG. 4A, for example, an electronic component body 111 having a substrate 111A and an electrode 111B arranged on the surface of the substrate 111A is prepared. . Next, as shown in FIG. 4B, a resist layer 112 is formed on the entire surface of the electronic component main body 111. Next, as shown in FIG. 4C, only the resist layer 112 on the electrode 111B is irradiated with light through a mask 113. Thereafter, as shown in FIG. 4D, development is performed, and the resist layer 112 located on the electrode 111B is partially removed. After the resist layer 112 is partially removed, the remaining resist layer 112 is thermally cured. As a result, as shown in FIG. 4E, an electronic component 101 having a cured resist layer 102 formed on the surface of the electronic component main body 111 (electronic component main body) is obtained.

このように、現像型組成物を用いる場合には、レジスト硬化物層の形成効率及び電子部品の製造効率が悪い。さらに、現像を行う必要がある。さらに、レジスト硬化物層の解像度が低かったり、アンダーカットが生じたり、マイグレーションが発生したりすることがある。   Thus, when using a development type composition, the formation efficiency of a resist hardened material layer and the manufacture efficiency of electronic parts are bad. Furthermore, it is necessary to perform development. Further, the resolution of the resist cured product layer may be low, undercut may occur, or migration may occur.

これに対して、本発明に係る電子部品の製造方法を採用することにより、レジスト硬化物層の形成効率及び電子部品の製造効率を高めることができる。また、現像を行う必要がない。さらに、白色顔料が用いられていても、レジスト硬化物層の解像度、アンダーカット防止性及び耐マイグレーション性を全て高めることができる。   On the other hand, by employing the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, it is possible to increase the formation efficiency of the cured resist layer and the manufacturing efficiency of the electronic component. Further, there is no need to perform development. Furthermore, even if a white pigment is used, the resolution, undercut prevention and migration resistance of the resist cured product layer can all be improved.

電子部品本体の熱劣化を防ぐ観点からは、上記レジスト硬化物層を形成するために、熱硬化剤の作用により上記レジスト層を熱硬化させないことが好ましい。   From the viewpoint of preventing thermal deterioration of the electronic component body, it is preferable that the resist layer is not thermally cured by the action of a thermosetting agent in order to form the resist cured product layer.

上記レジスト硬化物層を形成するために、粗化処理が行われないことが好ましい。   In order to form the said resist hardened | cured material layer, it is preferable that a roughening process is not performed.

上記電子部品はプリント配線板であることが好ましい。   The electronic component is preferably a printed wiring board.

上記非現像型光硬化性組成物は、(A)光硬化性化合物と、(D)白色顔料と、(E)光重合開始剤とを含む。上記非現像型光硬化性組成物は、(A)光硬化性化合物と、(B)エチレン性不飽和結合を1個以上有する反応性希釈剤と、(C)チオール基を1個以上有するチオール基含有化合物と、(D)白色顔料と、(E)光重合開始剤とを含むことが好ましい。本発明に係る光硬化性組成物は、(F)熱硬化性化合物を含まないか、又は、(F)熱硬化性化合物を5重量%以下で含むことが好ましい。   The non-developable photocurable composition contains (A) a photocurable compound, (D) a white pigment, and (E) a photopolymerization initiator. The non-developable photocurable composition comprises (A) a photocurable compound, (B) a reactive diluent having at least one ethylenically unsaturated bond, and (C) a thiol having at least one thiol group. It preferably contains a group-containing compound, (D) a white pigment, and (E) a photopolymerization initiator. The photocurable composition according to the present invention preferably contains no (F) thermosetting compound or contains (F) a thermosetting compound in an amount of 5% by weight or less.

上記の好ましい組成を有する非現像型光硬化性組成物では、現像を行わなくても、電子部品に対するレジスト硬化物層の密着性を高めることができる。例えば、基板などの電子部品本体とレジスト硬化物層との密着性を高めることができ、レジスト硬化物層の剥離を抑えることができる。さらに、上記非現像型光硬化性組成物は、(D)白色顔料を含むので、白色のレジスト硬化物層を形成することができ、光の反射率が高いレジスト膜を得ることができる。レジスト硬化物層が白色であることにより、レジスト硬化物層の光の反射率を高めることができる。さらに、上記の好ましい組成を有する非現像型光硬化性組成物では、高温下に晒されても、剥離及び変色が生じ難いレジスト硬化物層を得ることができる。このため、レジスト硬化物層を備える電子部品等の信頼性を高めることができる。   In the non-developable photocurable composition having the above preferred composition, the adhesion of the resist cured product layer to the electronic component can be enhanced without development. For example, the adhesion between the electronic component main body such as a substrate and the resist cured product layer can be enhanced, and peeling of the resist cured product layer can be suppressed. Further, since the non-developable photocurable composition contains (D) a white pigment, a white resist cured product layer can be formed, and a resist film having a high light reflectance can be obtained. When the resist cured product layer is white, the light reflectance of the resist cured product layer can be increased. Furthermore, with the non-developable photocurable composition having the above preferred composition, it is possible to obtain a resist cured product layer that hardly undergoes peeling and discoloration even when exposed to high temperatures. For this reason, reliability of an electronic component etc. provided with a resist hardened material layer can be improved.

上記光硬化性組成物は、光の照射により硬化させるために、(F)熱硬化性化合物を含んでいなくてもよく、熱硬化剤を含んでいなくてもよい。上記光硬化性組成物は、熱硬化剤の作用により熱硬化させて用いられないことが好ましい。上記レジスト膜を形成するために、電子部品本体の表面上に配置されたレジスト層を熱硬化させなくてもよい。上記レジストを形成するために、電子部品本体の表面上に配置されたレジスト層を加熱しなくてもよい。但し、上記レジスト層に対して、低温での加熱が行われてもよい。上記レジスト膜を形成するために、上記レジスト層を、280℃以上に加熱しないことが好ましく、180℃以上に加熱しないことがより好ましく、60℃以上に加熱しないことが更に好ましい。上記レジスト層を加熱する温度が低いほど、電子部品本体の熱劣化を抑えることができる。   In order to harden the said photocurable composition by irradiation of light, it does not need to contain the (F) thermosetting compound and may not contain the thermosetting agent. It is preferable that the photocurable composition is not used after being thermoset by the action of a thermosetting agent. In order to form the resist film, the resist layer disposed on the surface of the electronic component main body may not be thermally cured. In order to form the resist, it is not necessary to heat the resist layer disposed on the surface of the electronic component body. However, the resist layer may be heated at a low temperature. In order to form the resist film, the resist layer is preferably not heated to 280 ° C. or higher, more preferably not heated to 180 ° C. or higher, and still more preferably not heated to 60 ° C. or higher. The lower the temperature at which the resist layer is heated, the more the thermal deterioration of the electronic component body can be suppressed.

レジスト硬化物層の解像度、アンダーカット防止性及び耐マイグレーション性を効果的に高める観点からは、複数層のレジスト硬化物層の合計の厚みは好ましくは20μm以上、より好ましくは30μm以上、好ましくは90μm以下、より好ましくは60μm以下である。複数層のレジスト硬化物層の合計の厚みは、3層のレジスト硬化物層を形成する場合には、3層のレジスト硬化物層の厚みである。複数層のレジスト硬化物層の合計の厚みは、2層のレジスト硬化物層を形成する場合には、2層のレジスト硬化物層の厚みである。   From the viewpoint of effectively increasing the resolution, undercut prevention and migration resistance of the resist cured product layer, the total thickness of the plurality of resist cured product layers is preferably 20 μm or more, more preferably 30 μm or more, preferably 90 μm. Below, more preferably 60 μm or less. The total thickness of the plurality of resist cured product layers is the thickness of the three resist cured product layers in the case of forming three resist cured product layers. The total thickness of the plurality of resist cured product layers is the thickness of the two resist cured product layers when two resist cured product layers are formed.

レジスト硬化物層の解像度、アンダーカット防止性及び耐マイグレーション性を効果的に高める観点からは、複数層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みは好ましくは5μm以上、より好ましくは10μm以上、好ましくは40μm以下、より好ましくは30μm以下である。上記第1のレジスト硬化物層、上記第2のレジスト硬化物層及び上記第3のレジスト硬化物層のそれぞれの1層当たりの平均厚みは好ましくは5μm以上、より好ましくは10μm以上、好ましくは40μm以下、より好ましくは30μm以下である。   From the viewpoint of effectively improving the resolution, undercut prevention and migration resistance of the resist cured product layer, the average thickness per layer of the plurality of resist cured product layers is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, Preferably it is 40 micrometers or less, More preferably, it is 30 micrometers or less. The average thickness of each of the first resist cured product layer, the second resist cured product layer, and the third resist cured product layer is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, preferably 40 μm. Hereinafter, it is more preferably 30 μm or less.

以下、上記光硬化性組成物に含まれる各成分を説明する。   Hereinafter, each component contained in the photocurable composition will be described.

((A)光硬化性化合物)
上記非現像型光硬化性組成物は現像に用いられないので、(A)光硬化性化合物は、カルボキシル基を有さないことが好ましい。光硬化性に優れるので、(A)光硬化性組成物は、(A1)エチレン性不飽和結合を2個以上有する光硬化性化合物であることが好ましい。(A1)光硬化性化合物の使用により、電子部品本体に対するレジスト硬化物層の密着性が効果的に高くなる。特に(D)白色顔料の含有量が多い場合に、(A1)光硬化性化合物を用いていないと、レジスト硬化物層の密着性が低くなりやすい傾向がある。(A1)光硬化性化合物を用いることで、(D)白色顔料の含有量が多くても、レジスト硬化物層の密着性を高めることができる。また、(A)光硬化性化合物がカルボキシル基を有さないことが好ましい。(A)光硬化性化合物がカルボキシル基を有さないことにより、レジスト硬化物層におけるカルボキシル基による悪影響を防ぐことができ、例えばレジスト硬化物層の変色を抑えることができる。(A)光硬化性化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
((A) photocurable compound)
Since the non-developable photocurable composition is not used for development, the (A) photocurable compound preferably does not have a carboxyl group. Since it is excellent in photocurability, it is preferable that (A) the photocurable composition is (A1) a photocurable compound having two or more ethylenically unsaturated bonds. (A1) By using the photocurable compound, the adhesion of the resist cured product layer to the electronic component main body is effectively increased. In particular, when the content of the (D) white pigment is large, if the (A1) photocurable compound is not used, the adhesion of the resist cured product layer tends to be lowered. (A1) By using a photocurable compound, even if there is much content of (D) white pigment, the adhesiveness of a resist hardened | cured material layer can be improved. Moreover, it is preferable that (A) a photocurable compound does not have a carboxyl group. (A) Since a photocurable compound does not have a carboxyl group, the bad influence by the carboxyl group in a resist cured material layer can be prevented, for example, discoloration of a resist cured material layer can be suppressed. (A) As for a photocurable compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

(A1)光硬化性化合物におけるエチレン性不飽和結合を含む基としては、ビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。効果的に反応を進行させ、剥離及び変色をより一層抑制する観点からは、(メタ)アクリロイル基が好ましい。(A)光硬化性化合物は、(メタ)アクリロイル基を有することが好ましい。   (A1) Examples of the group containing an ethylenically unsaturated bond in the photocurable compound include a vinyl group, an allyl group, and a (meth) acryloyl group. A (meth) acryloyl group is preferable from the viewpoint of effectively allowing the reaction to proceed and further suppressing peeling and discoloration. (A) It is preferable that a photocurable compound has a (meth) acryloyl group.

電子部品本体に対するレジスト硬化物層の密着性を高める観点からは、(A)光硬化性化合物は、(A11)エポキシ(メタ)アクリレートであることが好ましい。レジスト硬化物層の硬度を高める観点からは、(A11)エポキシ(メタ)アクリレートは、2官能のエポキシ(メタ)アクリレートと、3官能以上のエポキシ(メタ)アクリレートとを含むことが好ましい。2官能のエポキシ(メタ)アクリレートは、(メタ)アクリロイル基を2個有することが好ましい。3官能以上のエポキシ(メタ)アクリレートは、(メタ)アクリロイル基を3個以上有することが好ましい。   From the viewpoint of enhancing the adhesion of the cured resist layer to the electronic component body, the (A) photocurable compound is preferably (A11) epoxy (meth) acrylate. From the viewpoint of increasing the hardness of the resist cured product layer, the (A11) epoxy (meth) acrylate preferably contains a bifunctional epoxy (meth) acrylate and a trifunctional or higher functional epoxy (meth) acrylate. The bifunctional epoxy (meth) acrylate preferably has two (meth) acryloyl groups. The tri- or higher functional epoxy (meth) acrylate preferably has three or more (meth) acryloyl groups.

(A11)エポキシ(メタ)アクリレートは、(メタ)アクリル酸とエポキシ化合物とを反応させて得られる。(A11)エポキシ(メタ)アクリレートは、エポキシ基を(メタ)アクリロイル基に変換することにより得ることができる。上記光硬化性組成物は光の照射により硬化させるので、(A11)エポキシ(メタ)アクリレートは、エポキシ基を有さないことが好ましい。   (A11) Epoxy (meth) acrylate is obtained by reacting (meth) acrylic acid with an epoxy compound. (A11) Epoxy (meth) acrylate can be obtained by converting an epoxy group into a (meth) acryloyl group. Since the said photocurable composition is hardened | cured by irradiation of light, it is preferable that (A11) epoxy (meth) acrylate does not have an epoxy group.

(A11)エポキシ(メタ)アクリレートとしては、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート(例えば、ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールF型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールS型エポキシ(メタ)アクリレート)、クレゾールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、アミン変性ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート、カルボン酸無水物変性エポキシ(メタ)アクリレート、及びフェノールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   (A11) As epoxy (meth) acrylate, bisphenol type epoxy (meth) acrylate (for example, bisphenol A type epoxy (meth) acrylate, bisphenol F type epoxy (meth) acrylate, bisphenol S type epoxy (meth) acrylate), cresol Novolak type epoxy (meth) acrylate, amine modified bisphenol type epoxy (meth) acrylate, caprolactone modified bisphenol type epoxy (meth) acrylate, carboxylic anhydride modified epoxy (meth) acrylate, phenol novolac type epoxy (meth) acrylate, etc. Can be mentioned.

2官能のエポキシ(メタ)アクリレートの市販品としては、KAYARAD R−381(日本化薬社製、ビスフェノールA型エポキシアクリレート)、ダイセル・オルネクス社製のEBECRYL3701及びEBECRYL3708(変性ビスフェノールA型エポキシアクリレート)等が挙げられる。また、3官能以上のエポキシ(メタ)アクリレートの市販品としては、EBECRYL3603(ダイセル・オルネクス社製、ノボラックエポキシアクリレート)等が挙げられる。また、2官能のエポキシ(メタ)アクリレートの水酸基を変性させて、(メタ)アクリロイル基を導入することにより、3官能以上のエポキシ(メタ)アクリレートを得てもよい。   Examples of commercially available bifunctional epoxy (meth) acrylates include KAYARAD R-381 (Nippon Kayaku Co., Ltd., bisphenol A type epoxy acrylate), Daicel Ornex Co., Ltd. EBECRYL 3701 and EBECRYL 3708 (modified bisphenol A type epoxy acrylate), etc. Is mentioned. Moreover, EBECRYL3603 (the Daicel Ornex company make, novolak epoxy acrylate) etc. are mentioned as a commercial item of the epoxy (meth) acrylate more than trifunctional. Further, a trifunctional or higher functional epoxy (meth) acrylate may be obtained by modifying a hydroxyl group of a bifunctional epoxy (meth) acrylate and introducing a (meth) acryloyl group.

「(メタ)アクリロイル基」は、アクリロイル基とメタクリロイル基とを示す。「(メタ)アクリル」は、アクリルとメタクリルとを示す。「(メタ)アクリレート」は、アクリレートとメタクリレートとを示す。   “(Meth) acryloyl group” refers to an acryloyl group and a methacryloyl group. “(Meth) acryl” refers to acrylic and methacrylic. “(Meth) acrylate” refers to acrylate and methacrylate.

(A)光硬化性化合物の重量平均分子量は2000以上であることが好ましい。(A)光硬化性化合物の重量平均分子量が2000以上であると、レジスト硬化物層の密着性が高くなる。(A)光硬化性化合物の重量平均分子量は好ましくは20000以下である。   (A) It is preferable that the weight average molecular weight of a photocurable compound is 2000 or more. (A) The adhesiveness of a resist hardened | cured material layer becomes it high that the weight average molecular weight of a photocurable compound is 2000 or more. (A) The weight average molecular weight of a photocurable compound becomes like this. Preferably it is 20000 or less.

(A)光硬化性化合物及び(B)反応性希釈剤における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されるポリスチレン換算での重量平均分子量であり、下記の測定装置及び測定条件にて測定することができる。   The weight average molecular weight in (A) a photocurable compound and (B) a reactive diluent is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC), and the measurement apparatus and measurement conditions described below. Can be measured.

測定装置:日本ウォーターズ社製「Waters GPC System(Waters 2690+Waters 2414(RI))」
測定条件カラム:Shodex GPC LF−G×1本、Shodex GPC LF−804×2本
移動相:THF 1.0mL/分
サンプル濃度:5mg/mL
検出器:示差屈折率検出器(RID)
標準物質:ポリスチレン(TOSOH社製、分子量:620〜590000)
Measuring device: “Waters GPC System (Waters 2690 + Waters 2414 (RI))” manufactured by Nihon Waters
Measurement condition columns: Shodex GPC LF-G × 1, Shodex GPC LF-804 × 2 Mobile phase: THF 1.0 mL / min Sample concentration: 5 mg / mL
Detector: Differential refractive index detector (RID)
Standard substance: polystyrene (Made by TOSOH, molecular weight: 620 to 590000)

剥離及び変色を効果的に抑える観点からは、(A)光硬化性化合物は、脂環式骨格を有する化合物ではないことが好ましく、脂環式骨格を有するエポキシ(メタ)アクリレートではないことが好ましい。剥離及び変色をより一層抑える観点からは、(A)光硬化性化合物は、芳香族骨格を有する化合物を含むことが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ(メタ)アクリレートを含むことが好ましい。   From the viewpoint of effectively suppressing peeling and discoloration, the (A) photocurable compound is preferably not a compound having an alicyclic skeleton, and preferably not an epoxy (meth) acrylate having an alicyclic skeleton. . From the viewpoint of further suppressing peeling and discoloration, the (A) photocurable compound preferably contains a compound having an aromatic skeleton, and preferably contains an epoxy (meth) acrylate having an aromatic skeleton.

剥離及び変色を効果的に抑える観点からは、(A)光硬化性化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート又はポリエステル(メタ)アクリレートであることが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ(メタ)アクリレート、又はウレタン(メタ)アクリレートであることがより好ましい。   From the viewpoint of effectively suppressing peeling and discoloration, the (A) photocurable compound is preferably an epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate or polyester (meth) acrylate having an aromatic skeleton. More preferably, it is an epoxy (meth) acrylate or a urethane (meth) acrylate having a group skeleton.

(A11)エポキシ(メタ)アクリレートは、水酸基を有するエポキシ(メタ)アクリレートの水酸基を変性させたエポキシ(メタ)アクリレートであってもよい。この場合には、架橋度を高め、硬度を高めることができる。変性に用いることができる化合物としては、シランカップリング剤、及びイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニル基、(メタ)アクリロイル基、スチリル基、メルカプト基、エポキシ基、アミノ基、スルフィド基、ウレイド基、及びイソシアネート基などの官能基を有する化合物等が挙げられる。光反応性があるので、ビニル基、(メタ)アクリロイル基、スチリル基、又はメルカプト基を有する化合物が好ましい。イソシアネート基を有するモノマーとしては、ビニル基、(メタ)アクリロイル基、スチリル基、又はメルカプト基を有する化合物等が挙げられる。   (A11) The epoxy (meth) acrylate may be an epoxy (meth) acrylate obtained by modifying a hydroxyl group of an epoxy (meth) acrylate having a hydroxyl group. In this case, the degree of crosslinking can be increased and the hardness can be increased. Examples of the compound that can be used for modification include a silane coupling agent and a monomer having an isocyanate group. Examples of the silane coupling agent include compounds having a functional group such as vinyl group, (meth) acryloyl group, styryl group, mercapto group, epoxy group, amino group, sulfide group, ureido group, and isocyanate group. A compound having a vinyl group, a (meth) acryloyl group, a styryl group, or a mercapto group is preferred because of photoreactivity. Examples of the monomer having an isocyanate group include a compound having a vinyl group, a (meth) acryloyl group, a styryl group, or a mercapto group.

上記光硬化性組成物100重量%中、(A)光硬化性化合物、(A1)光硬化性化合物及び(A11)エポキシ(メタ)アクリレートの含有量は好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは40重量%以下、より好ましくは30重量%以下である。(A)光硬化性化合物、(A1)光硬化性化合物及び(A11)エポキシ(メタ)アクリレートの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、レジスト硬化物層の密着性が効果的に高くなる。また、レジスト硬化物層の密着性を効果的に高める観点から、上記光硬化性組成物100重量%中、重量平均分子量が2000以上である2官能のエポキシ(メタ)アクリレートと、重量平均分子量が2000以上である3官能以上のエポキシ(メタ)アクリレートとの合計の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは40重量%以下、より好ましくは30重量%以下である。   The content of (A) the photocurable compound, (A1) the photocurable compound, and (A11) the epoxy (meth) acrylate is preferably 5% by weight or more, more preferably 10%, in 100% by weight of the photocurable composition. % By weight or more, preferably 40% by weight or less, more preferably 30% by weight or less. When the contents of (A) the photocurable compound, (A1) the photocurable compound, and (A11) the epoxy (meth) acrylate are not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the adhesion of the resist cured product layer is effectively improved. Get higher. In addition, from the viewpoint of effectively increasing the adhesion of the resist cured product layer, in 100% by weight of the photocurable composition, a bifunctional epoxy (meth) acrylate having a weight average molecular weight of 2000 or more and a weight average molecular weight are The total content with the trifunctional or higher functional epoxy (meth) acrylate that is 2000 or higher is preferably 5% by weight or higher, more preferably 10% by weight or higher, preferably 40% by weight or lower, more preferably 30% by weight or lower. It is.

((B)エチレン性不飽和結合を1個以上有する反応性希釈剤)
(B)反応性希釈剤は、エチレン性不飽和結合を1個以上有する。(A)光硬化性化合物とともに(B)反応性希釈剤を用いることにより、(D)白色顔料の含有量が多くても、レジスト硬化物層の密着性を効果的に高めることができ、更に光硬化性組成物の粘度を最適な範囲に制御することが容易である。(B)反応性希釈剤は、(A)光硬化性化合物とは異なる化合物である。(B)反応性希釈剤は、カルボキシル基を有さないことが好ましい。(B)反応性希釈剤の重量平均分子量は2000未満であることが好ましい。(B)反応性希釈剤の重量平均分子量は一般に2000未満であり、好ましくは800以下、より好ましくは600以下である。(B)反応性希釈剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
((B) Reactive diluent having one or more ethylenically unsaturated bonds)
(B) The reactive diluent has one or more ethylenically unsaturated bonds. (A) By using the reactive diluent (B) together with the photocurable compound, (D) even if the content of the white pigment is large, the adhesion of the resist cured product layer can be effectively increased. It is easy to control the viscosity of the photocurable composition within an optimal range. (B) The reactive diluent is a compound different from (A) the photocurable compound. (B) It is preferable that a reactive diluent does not have a carboxyl group. (B) The weight average molecular weight of the reactive diluent is preferably less than 2000. (B) The weight average molecular weight of the reactive diluent is generally less than 2000, preferably 800 or less, more preferably 600 or less. (B) Only 1 type of reactive diluent may be used and 2 or more types may be used together.

(B)反応性希釈剤におけるエチレン性不飽和結合を含む基としては、ビニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。効果的に反応を進行させ、剥離及び変色をより一層抑制する観点からは、(メタ)アクリロイル基が好ましい。(B)反応性希釈剤は、(メタ)アクリロイル基を有することが好ましい。   (B) Examples of the group containing an ethylenically unsaturated bond in the reactive diluent include a vinyl group, an allyl group, and a (meth) acryloyl group. A (meth) acryloyl group is preferable from the viewpoint of effectively allowing the reaction to proceed and further suppressing peeling and discoloration. (B) The reactive diluent preferably has a (meth) acryloyl group.

(B)反応性希釈剤としては、特に限定されず、多価アルコールの(メタ)アクリル酸付加物、多価アルコールのアルキレンオキサイド変性物の(メタ)アクリル酸付加物、ウレタン(メタ)アクリレート類、及びポリエステル(メタ)アクリレート類等が挙げられる。上記多価アルコールとしては、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、トリメチロールプロパン、シクロヘキサンジメタノール、トリシクロデカンジメタノール、ビスフェノールAのアルキレンオキシド付加物、及びペンタエリスリトール等が挙げられる。   (B) The reactive diluent is not particularly limited, and is a polyhydric alcohol (meth) acrylic acid adduct, a polyhydric alcohol alkylene oxide-modified (meth) acrylic acid adduct, urethane (meth) acrylates. And polyester (meth) acrylates. Examples of the polyhydric alcohol include diethylene glycol, triethylene glycol, polyethylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol, polypropylene glycol, trimethylol propane, cyclohexane dimethanol, tricyclodecane dimethanol, an alkylene oxide adduct of bisphenol A, and Examples include pentaerythritol.

(B)反応性希釈剤は、(B1)エチレン性不飽和結合を1個有する化合物であってもよい。レジスト硬化物層の密着性をより一層高める観点からは、(B)反応性希釈剤は、(B1)エチレン性不飽和結合を1個有する化合物を含むことが好ましく、(メタ)アクリロイル基を1個有する化合物を含むことが好ましい。   (B) The reactive diluent may be (B1) a compound having one ethylenically unsaturated bond. From the viewpoint of further improving the adhesion of the resist cured product layer, the (B) reactive diluent preferably contains (B1) a compound having one ethylenically unsaturated bond, and (meth) acryloyl group is 1 It is preferable that the compound which has one is included.

(B)反応性希釈剤は、エチレン性不飽和結合を2個有する化合物を含んでいてもよく、(B2)エチレン性不飽和結合を2個以上有する化合物を含んでいてもよい。レジスト硬化物層の密着性を更に一層高める観点からは、(B)反応性希釈剤は、(B2)エチレン性不飽和結合を2個以上有する化合物を含むことが好ましく、(メタ)アクリロイル基を2個以上有する化合物を含むことが好ましい。   (B) The reactive diluent may contain a compound having two ethylenically unsaturated bonds, and (B2) may contain a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds. From the viewpoint of further improving the adhesion of the cured resist layer, the (B) reactive diluent preferably contains (B2) a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds, and has a (meth) acryloyl group. It is preferable that the compound which has 2 or more is included.

レジスト硬化物層の密着性をより一層高める観点からは、(B)反応性希釈剤は、脂環式化合物を含むか、又は、芳香環又は水酸基を含むことが好ましい。(B)反応性希釈剤は、単官能化合物であることが好ましいが、二官能化合物などの多官能化合物の複数成分が含まれていてもよい。   From the viewpoint of further improving the adhesion of the resist cured product layer, the (B) reactive diluent preferably contains an alicyclic compound, or contains an aromatic ring or a hydroxyl group. (B) The reactive diluent is preferably a monofunctional compound, but may contain a plurality of components of a polyfunctional compound such as a bifunctional compound.

上記光硬化性組成物100重量%中、(B)反応性希釈剤及び(B2)エチレン性不飽和結合を2個以上有する化合物の含有量は好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。(B)反応性希釈剤及び(B2)エチレン性不飽和結合を2個以上有する化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、レジスト硬化物層の密着性が効果的に高くなる。   The content of (B) a reactive diluent and (B2) a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in 100% by weight of the photocurable composition is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight. As mentioned above, Preferably it is 50 weight% or less, More preferably, it is 40 weight% or less. When the content of the (B) reactive diluent and (B2) the compound having two or more ethylenically unsaturated bonds is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the adhesion of the resist cured product layer is effectively enhanced. .

((C)チオール基を1個以上有するチオール基含有化合物)
(C)チオール基を1個以上有するチオール基含有化合物の使用により、高温下に晒されても、剥離が生じ難いレジスト硬化物層を得ることができ、かつ、耐熱性が高いレジスト硬化物層を得ることができることができる。(C)チオール基含有化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
((C) a thiol group-containing compound having one or more thiol groups)
(C) By using a thiol group-containing compound having at least one thiol group, a resist cured product layer that can be hardly peeled off even when exposed to high temperatures and has a high heat resistance can be obtained. Can be obtained. (C) As for a thiol group containing compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

(C)チオール基含有化合物の具体例としては、SC有機化学社製のトリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)(TMMP)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)(PEMP)、トリス−[(3−メルカプトプロピオニルオキシ)−エチル]−イソシアヌレート(TEMPIC)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)(EGMP−4)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)(DPMP)等の1級多官能チオール、昭和電工社製のペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(カレンズMT PE1)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチリルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン(カレンズMT NR1)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン(カレンズMT BD1)等の2級多官能チオール、SC有機化学社製の(β−メルカプトプロピオン酸(BMPA)、メチル−3−メルカプトプロピオネート(MPM)、2−エチルヘキシル−3−メルカプトプロピオネート(EHMP)、n−オクチル−3−メルカプトプロピオネート(NOMP)、メトキシブチル−3−メルカプトプロピオネート(MBMP)、ステアリル−3−メルカプトプロピオネート(STMP)等の単官能チオール等が挙げられる。   (C) Specific examples of the thiol group-containing compound include trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate) (TMMP), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) (PEMP) manufactured by SC Organic Chemical Co., Ltd. Tris-[(3-mercaptopropionyloxy) -ethyl] -isocyanurate (TEMPIC), tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate) (EGMP-4), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate) ) (DPMP) and other primary polyfunctional thiols, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) (Karenz MT PE1), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyryloxyethyl)- 1,3,5-triazine-2, , 6 (1H, 3H, 5H) -trione (Karenz MT NR1), secondary polyfunctional thiol such as 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane (Karenz MT BD1), manufactured by SC Organic Chemical Co., Ltd. (Β-mercaptopropionic acid (BMPA), methyl-3-mercaptopropionate (MPM), 2-ethylhexyl-3-mercaptopropionate (EHMP), n-octyl-3-mercaptopropionate (NOMP), And monofunctional thiols such as methoxybutyl-3-mercaptopropionate (MBMP) and stearyl-3-mercaptopropionate (STMP).

上記光硬化性組成物100重量%中、(C)チオール基含有化合物の含有量は好ましくは0.1重量%以上、より好ましくは0.5重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。(C)チオール基含有化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、レジスト硬化物層における剥離及び変色がより一層抑制される。また、(C)チオール基含有化合物の含有量が上記上限以下であると、保存中にゲル化が進行しにくい。(C)チオール基含有化合物の含有量が上記下限以上であると、硬化性がより一層高くなる。   In 100% by weight of the photocurable composition, the content of the (C) thiol group-containing compound is preferably 0.1% by weight or more, more preferably 0.5% by weight or more, preferably 10% by weight or less, more preferably Is 5% by weight or less. (C) When the content of the thiol group-containing compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, peeling and discoloration in the resist cured product layer are further suppressed. Further, when the content of the (C) thiol group-containing compound is not more than the above upper limit, gelation hardly proceeds during storage. (C) Curability becomes still higher that content of a thiol group containing compound is more than the above-mentioned minimum.

(A)光硬化性化合物100重量部に対して、(C)チオール基含有化合物の含有量は好ましくは0.1重量部以上、より好ましくは0.5重量部以上、好ましくは20重量部未満、より好ましくは15重量部以下、更に好ましくは10重量部未満、更に一層好ましくは8重量部以下、特に好ましくは6重量部未満、最も好ましくは5重量部以下である。(A)光硬化性化合物と(B)反応性希釈剤との合計100重量部に対して、(C)チオール基含有化合物の含有量は好ましくは0.2重量部以上、より好ましくは1重量部以上、好ましくは20重量部以下、より好ましくは10重量部以下、更に好ましくは6重量部以下である。(C)チオール基含有化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、レジスト硬化物層における剥離及び変色がより一層抑制される。また、(C)チオール基含有化合物の含有量が上記上限以下であると、保存中にゲル化が進行しにくい。(C)チオール基含有化合物の含有量が上記下限以上であると、硬化性がより一層高くなる。   (A) The content of the (C) thiol group-containing compound is preferably 0.1 parts by weight or more, more preferably 0.5 parts by weight or more, preferably less than 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the photocurable compound. More preferably, it is 15 parts by weight or less, more preferably less than 10 parts by weight, still more preferably 8 parts by weight or less, particularly preferably less than 6 parts by weight, most preferably 5 parts by weight or less. The content of the (C) thiol group-containing compound is preferably 0.2 parts by weight or more, more preferably 1 part by weight based on 100 parts by weight of the total of (A) the photocurable compound and (B) the reactive diluent. Part or more, preferably 20 parts by weight or less, more preferably 10 parts by weight or less, still more preferably 6 parts by weight or less. (C) When the content of the thiol group-containing compound is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, peeling and discoloration in the resist cured product layer are further suppressed. Further, when the content of the (C) thiol group-containing compound is not more than the above upper limit, gelation hardly proceeds during storage. (C) Curability becomes still higher that content of a thiol group containing compound is more than the above-mentioned minimum.

((D)白色顔料)
上記光硬化性組成物が(D)白色顔料を含むことにより、光の反射率が高いレジスト硬化物層を形成することができる。(D)白色顔料の使用によって、(D)白色顔料以外の充填材のみを用いた場合と比較して、光の反射率が高いレジスト硬化物層が得られる。(D)白色顔料は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
((D) White pigment)
When the said photocurable composition contains (D) white pigment, the resist cured material layer with a high reflectance of light can be formed. (D) By using a white pigment, compared with the case where only fillers other than (D) white pigment are used, the resist cured material layer with a high reflectance of light is obtained. (D) As for a white pigment, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

(D)白色顔料としては、アルミナ、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化アンチモン及び酸化マグネシウム等が挙げられる。   (D) Examples of white pigments include alumina, titanium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, antimony oxide, and magnesium oxide.

レジスト硬化物層の光の反射率をより一層高める観点からは、(D)白色顔料は、酸化チタン、酸化亜鉛又は酸化ジルコニウムであることが好ましい。この好ましい白色顔料を用いる場合に、酸化チタン、酸化亜鉛及び酸化ジルコニウムの中で、1種又は2種以上の白色顔料を用いることができる。(D)白色顔料は、酸化チタン又は酸化亜鉛であることが好ましく、酸化チタンであることが好ましく、酸化亜鉛であることが好ましい。(D)白色顔料は、酸化ジルコニウムであってもよい。   From the viewpoint of further increasing the light reflectance of the cured resist layer, the (D) white pigment is preferably titanium oxide, zinc oxide or zirconium oxide. When this preferred white pigment is used, one or more white pigments can be used among titanium oxide, zinc oxide and zirconium oxide. (D) The white pigment is preferably titanium oxide or zinc oxide, preferably titanium oxide, and preferably zinc oxide. (D) The white pigment may be zirconium oxide.

上記酸化チタンは、ルチル型酸化チタンであることが好ましい。ルチル型酸化チタンの使用により、レジスト硬化物層の耐熱性がより一層高くなり、レジスト硬化物層の変色がより一層抑えられる。   The titanium oxide is preferably rutile titanium oxide. By using the rutile type titanium oxide, the heat resistance of the resist cured product layer is further increased, and discoloration of the resist cured product layer is further suppressed.

上記酸化チタンは、アルミニウム酸化物により表面処理されたルチル型酸化チタンであることが好ましい。上記アルミニウム酸化物により表面処理されたルチル型酸化チタンの使用により、レジスト硬化物層の耐熱性がより一層高くなる。   The titanium oxide is preferably rutile type titanium oxide surface-treated with aluminum oxide. The use of rutile-type titanium oxide surface-treated with the aluminum oxide further increases the heat resistance of the resist cured product layer.

上記アルミニウム酸化物により表面処理されたルチル型酸化チタンとしては、例えば、ルチル塩素法酸化チタンである石原産業社製「CR−90−2」、ルチル塩素法酸化チタンである石原産業社製「CR−58」、ルチル塩素法酸化チタンであるデュポン社製「R−900」、並びにルチル硫酸法酸化チタンである石原産業社製「R−630」等が挙げられる。   Examples of the rutile-type titanium oxide surface-treated with the aluminum oxide include, for example, “CR-90-2” manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., which is rutile chlorine method titanium oxide, and “CR, manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., which is rutile chlorine method titanium oxide -58 "," R-900 "manufactured by DuPont which is rutile chlorine method titanium oxide, and" R-630 "manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd. which is rutile sulfuric acid method titanium oxide.

上記酸化亜鉛は、表面処理された酸化亜鉛であることが好ましい。レジスト硬化物層の加工性及び光の反射率をより一層高める観点からは、上記酸化亜鉛は、珪素、アルミニウム又はジルコニアを含む材料により表面処理されていることが好ましく、珪素を含む材料により表面処理されていることがより好ましい。上記珪素を含む材料は、シリコーン化合物であることが好ましい。   The zinc oxide is preferably surface-treated zinc oxide. From the viewpoint of further improving the workability of the resist cured product layer and the light reflectance, the zinc oxide is preferably surface-treated with a material containing silicon, aluminum or zirconia, and the surface treatment with a material containing silicon. More preferably. The material containing silicon is preferably a silicone compound.

上記酸化ジルコニウムは、表面処理された酸化ジルコニウムであることが好ましい。レジスト硬化物層の光の反射率をより一層高める観点からは、上記酸化ジルコニウムは、珪素、アルミニウム又はジルコニアを含む材料により表面処理されていることが好ましく、珪素を含む材料により表面処理されていることがより好ましい。上記珪素を含む材料は、シリコーン化合物であることが好ましい。   The zirconium oxide is preferably surface-treated zirconium oxide. From the viewpoint of further increasing the light reflectance of the cured resist layer, the zirconium oxide is preferably surface-treated with a material containing silicon, aluminum or zirconia, and is surface-treated with a material containing silicon. It is more preferable. The material containing silicon is preferably a silicone compound.

上記表面処理の方法は特に限定されない。表面処理の方法として、乾式法、湿式法、インテグラルブレンド法、並びに他の公知慣用の表面処理方法を用いることができる。   The surface treatment method is not particularly limited. As a surface treatment method, a dry method, a wet method, an integral blend method, and other known and commonly used surface treatment methods can be used.

(D)白色顔料の平均粒径は、好ましくは0.1μm以上、好ましくは40μm以下である。上記平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、レジスト硬化物層の光の反射率をより一層高めることができる。   (D) The average particle diameter of the white pigment is preferably 0.1 μm or more, and preferably 40 μm or less. The reflectance of the light of a resist hardened | cured material layer can be further improved as the said average particle diameter is more than the said minimum and below the said upper limit.

上記平均粒径は、体積基準粒度分布曲線において積算値が50%のときの粒径値である。該平均粒径は、例えばレーザ光式粒度分布計を用いて測定可能である。該レーザ光式粒度分布計の市販品としては、Beckman Coulter社製「LS 13 320」等が挙げられる。   The average particle diameter is a particle diameter value when the integrated value is 50% in the volume-based particle size distribution curve. The average particle size can be measured using, for example, a laser beam type particle size distribution meter. As a commercial product of the laser beam type particle size distribution analyzer, “LS 13 320” manufactured by Beckman Coulter, Inc. can be cited.

上記光硬化性組成物100重量%中、(D)白色顔料の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは20重量%以上、更に好ましくは30重量%以上、特に好ましくは35重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下、更に好ましくは60重量%以下である。上記光硬化性組成物100重量%中、(D)白色顔料の含有量は、10重量%以上、80重量%以下であることが好ましく、20重量%以上、70重量%以下であることがより好ましく、30重量%以上、60重量%以下であることが更に好ましい。(D)白色顔料の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、レジスト硬化物層の光の反射率がより一層高くなり、上記レジスト硬化物層の密着性がより一層高くなる。上記光硬化性組成物100重量%中、(D)白色顔料の含有量は、50重量%以上であってもよい。   In 100% by weight of the photocurable composition, the content of the (D) white pigment is preferably 10% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, still more preferably 30% by weight or more, and particularly preferably 35% by weight. Above, preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less, and still more preferably 60% by weight or less. In 100% by weight of the photocurable composition, the content of the (D) white pigment is preferably 10% by weight or more and 80% by weight or less, and more preferably 20% by weight or more and 70% by weight or less. Preferably, it is 30 wt% or more and 60 wt% or less. (D) When the content of the white pigment is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the light reflectance of the resist cured product layer is further increased, and the adhesion of the resist cured product layer is further enhanced. In 100% by weight of the photocurable composition, the content of the (D) white pigment may be 50% by weight or more.

((E)光重合開始剤)
上記光硬化性組成物は、(E)光重合開始剤を含むので、光の照射により光硬化性組成物を硬化させることができる。(E)光重合開始剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
((E) Photopolymerization initiator)
Since the said photocurable composition contains the photoinitiator (E), a photocurable composition can be hardened by irradiation of light. (E) As for a photoinitiator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

(E)光重合開始剤としては、アシルフォスフィンオキサイド、ハロメチル化トリアジン、ハロメチル化オキサジアゾール、イミダゾール、ベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテル、アントラキノン、ベンズアンスロン、ベンゾフェノン、アセトフェノン、チオキサントン、安息香酸エステル、アクリジン、フェナジン、チタノセン、α−アミノアルキルフェノン、オキシム、及びこれらの誘導体が挙げられる。   (E) As a photopolymerization initiator, acylphosphine oxide, halomethylated triazine, halomethylated oxadiazole, imidazole, benzoin, benzoin alkyl ether, anthraquinone, benzanthrone, benzophenone, acetophenone, thioxanthone, benzoate, acridine, Examples include phenazine, titanocene, α-aminoalkylphenone, oxime, and derivatives thereof.

ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、o−ベンゾイル安息香酸メチル及びミヒラーズケトン等が挙げられる。ベンゾフェノン系光重合開始剤の市販品としては、EAB(保土谷化学社製)等が挙げられる。   Examples of the benzophenone photopolymerization initiator include methyl o-benzoylbenzoate and Michler's ketone. EAB (made by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) etc. are mentioned as a commercial item of a benzophenone series photoinitiator.

アセトフェノン系光重合開始剤の市販品としては、ダロキュア1173、ダロキュア2959、イルガキュア184、イルガキュア907、及びイルガキュア369(チバスペシャリティーケミカルズ社製)等が挙げられる。   Examples of commercially available acetophenone photopolymerization initiators include Darocur 1173, Darocur 2959, Irgacure 184, Irgacure 907, and Irgacure 369 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

ベンゾイン系光重合開始剤の市販品としては、イルガキュア651(チバスペシャリティーケミカルズ社製)等が挙げられる。   Examples of commercially available benzoin photopolymerization initiators include Irgacure 651 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤の市販品としては、Lucirin TPO(BASF社製)、及びイルガキュア819(チバスペシャリティーケミカルズ社製)等が挙げられる。   Examples of commercially available acylphosphine oxide photopolymerization initiators include Lucirin TPO (manufactured by BASF) and Irgacure 819 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

チオキサントン系光重合開始剤の市販品としては、イソプロピルチオキサントン、及びジエチルチオキサントン等が挙げられる。   Examples of commercially available thioxanthone photopolymerization initiators include isopropyl thioxanthone and diethyl thioxanthone.

剥離及び変色をより一層抑制する観点からは、(E)光重合開始剤は、アセトフェノン系光重合開始剤と、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤との双方を含むことが好ましく、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤と、ビスアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤との双方を含むことも好ましい。   From the viewpoint of further suppressing peeling and discoloration, the (E) photopolymerization initiator preferably contains both an acetophenone photopolymerization initiator and an acylphosphine oxide photopolymerization initiator. It is also preferable to include both an oxide photopolymerization initiator and a bisacylphosphine oxide photopolymerization initiator.

(A)光硬化性化合物と(B)反応性希釈剤との合計100重量部に対して、(E)光重合開始剤の含有量は好ましくは1重量部以上、より好ましくは3重量部以上、好ましくは20重量部以下、より好ましくは15重量部以下である。(E)光重合開始剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、光硬化性組成物を良好に光硬化させることができる。   The content of (E) the photopolymerization initiator is preferably 1 part by weight or more, more preferably 3 parts by weight or more based on 100 parts by weight of the total of (A) the photocurable compound and (B) the reactive diluent. , Preferably 20 parts by weight or less, more preferably 15 parts by weight or less. (E) When content of a photoinitiator is more than the said minimum and below the said upper limit, a photocurable composition can be photocured favorably.

((F)熱硬化性化合物)
上記光硬化性組成物は、(F)熱硬化性化合物を含まないか、又は、(F)熱硬化性化合物を5重量%以下で含むことが好ましい。本発明では、(F)熱硬化性化合物の使用する場合には、(F)熱硬化性化合物の使用量を少なくすることが好ましい。(F)熱硬化性化合物の含有量が5重量%以下である組成物と、(F)熱硬化性化合物の含有量が例えば10重量%以上である組成物とでは、硬化物の基本物性が一般に異なる。(F)熱硬化性化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
((F) thermosetting compound)
The photocurable composition preferably does not contain (F) a thermosetting compound or contains (F) a thermosetting compound at 5% by weight or less. In the present invention, when the (F) thermosetting compound is used, it is preferable to reduce the amount of the (F) thermosetting compound used. (F) The composition having a thermosetting compound content of 5% by weight or less and the composition (F) having a thermosetting compound content of, for example, 10% by weight or more have a basic physical property of the cured product. Generally different. (F) As for a thermosetting compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

(F)熱硬化性化合物としては、エポキシ化合物等が挙げられる。   (F) An epoxy compound etc. are mentioned as a thermosetting compound.

上記光硬化性組成物は、エポキシ化合物を含まないか、又は、エポキシ化合物を5重量%以下で含むことが好ましい。   It is preferable that the said photocurable composition does not contain an epoxy compound or contains an epoxy compound at 5 weight% or less.

剥離及び変色をより一層抑制する観点からは、光硬化性組成物100重量%中、(F)熱硬化性化合物の含有量は少ないほどよい。光硬化性組成物100重量%中、(F)熱硬化性化合物の含有量は好ましくは3重量%以下、より好ましくは1重量%以下、更に好ましくは0.5重量%以下、特に好ましくは0重量%(未使用)である。   From the viewpoint of further suppressing peeling and discoloration, the content of the (F) thermosetting compound is preferably as small as possible in 100% by weight of the photocurable composition. In 100% by weight of the photocurable composition, the content of the (F) thermosetting compound is preferably 3% by weight or less, more preferably 1% by weight or less, still more preferably 0.5% by weight or less, particularly preferably 0. % By weight (unused).

(他の成分)
上記光硬化性組成物は、上述した成分以外に、安定化剤を含むことが好ましい。上記光硬化性組成物が安定化剤を含むことで、(C)チオール基含有化合物を用いていても、保管中のゲル化及び粘度変化がより一層抑えられる。具体的には、安定化剤として、例えば特開平5−155987号公報、特開2012−17448号公報等に記載された化合物を用いることができる。
(Other ingredients)
It is preferable that the said photocurable composition contains a stabilizer other than the component mentioned above. Even if the (C) thiol group containing compound is used because the said photocurable composition contains a stabilizer, gelatinization and a viscosity change during storage are further suppressed. Specifically, for example, compounds described in JP-A-5-155987 and JP-A-2012-17448 can be used as the stabilizer.

上記光硬化性組成物は、上述した成分以外に、溶剤、白色顔料以外の無機フィラー、有機フィラー、着色剤、重合禁止剤、連鎖移動剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、消泡剤、レベリング剤、界面活性剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、ワックス、マスキング剤、消臭剤、芳香剤、防腐剤、抗菌剤、帯電防止剤及び密着性付与剤等を含んでいてもよい。上記密着性付与剤としては、シランカップリング剤等が挙げられる。   In addition to the components described above, the photocurable composition includes a solvent, an inorganic filler other than a white pigment, an organic filler, a colorant, a polymerization inhibitor, a chain transfer agent, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an antifoaming agent, and leveling. Agents, surfactants, slip agents, anti-blocking agents, waxes, masking agents, deodorants, fragrances, preservatives, antibacterial agents, antistatic agents, and adhesion-imparting agents. Examples of the adhesion imparting agent include silane coupling agents.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited only to the following examples.

(実施例1)
(1)非現像型光硬化性組成物の調製
以下に示す配合成分を以下に示す配合量で配合して、非現像型光硬化性組成物を調製した。
Example 1
(1) Preparation of non-development type photocurable composition The compounding component shown below was mix | blended with the compounding quantity shown below, and the non-development type photocurable composition was prepared.

(A)光硬化性化合物20重量部
ビスフェノールA型エポキシアクリレート(ダイセル・オルネクス社製、Ebecryl 3700)
(B)エチレン性不飽和結合を1個以上有する反応性希釈剤30重量部
TMPTA(トリメチロールプロパントリアクリレート)及びDPGDA(ジプロピレングリコールジアクリレート)の混合物
(C)チオール基を1個以上有するチオール基含有化合物1重量部
TMMP
(D)白色顔料30重量部
酸化チタン(石原産業社製、CR−90)
(E)光重合開始剤5重量部
TPO(BASF社製)及びIrgacure819(BASF社製)の混合物
(A) 20 parts by weight of photocurable compound Bisphenol A type epoxy acrylate (Ebecryl 3700, manufactured by Daicel Ornex)
(B) 30 parts by weight of reactive diluent having one or more ethylenically unsaturated bonds Mixture of TMPTA (trimethylolpropane triacrylate) and DPGDA (dipropylene glycol diacrylate) (C) Thiol having one or more thiol groups 1 part by weight of group-containing compound TMMP
(D) White pigment 30 parts by weight Titanium oxide (manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., CR-90)
(E) Photopolymerization initiator 5 parts by weight A mixture of TPO (manufactured by BASF) and Irgacure 819 (manufactured by BASF)

(2)電子部品の作製
100mm×100mm×厚さ0.8mmのFR−4に銅箔を積層した基板を用意した。この基板上に、スクリーン印刷法により、180メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、マスクパターンで非現像型光硬化性組成物を1回スクリーン印刷して、第1のレジスト層を形成した。印刷後、第1のレジスト層に波長365nmの紫外線を照射するために、照射エネルギーが1500mJ/cmとなるようにベルトコンベアー式紫外線照射器で1回流すことにより、第1のレジスト硬化物層を形成した。次に、スクリーン印刷法により、180メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、基板上に位置する第1のレジスト硬化物層上に、マスクパターンで非現像型光硬化性組成物を1回スクリーン印刷して、第2のレジスト層を形成した。印刷後、第2のレジスト層に波長365nmの紫外線を照射するために、照射エネルギーが1500mJ/cmとなるようにベルトコンベアー式紫外線照射器で1回流すことにより、第2のレジスト硬化物層を形成した。次に、スクリーン印刷法により、180メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、基板上に位置する第2のレジスト硬化物層上に、マスクパターンで非現像型光硬化性組成物を1回スクリーン印刷して、第3のレジスト層を形成した。印刷後、第3のレジスト層に波長365nmの紫外線を照射するために、照射エネルギーが1500mJ/cmとなるようにベルトコンベアー式紫外線照射器で1回流すことにより、第3のレジスト硬化物層を形成した。このようにして、測定サンプルとしての3層のレジスト硬化物層を形成し、電子部品を得た。得られた3層のレジスト硬化物層の合計の厚みは60μmであった。得られた3層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みは20μmであった。なお、第1のレジスト硬化物層の厚みと第2のレジスト硬化物層の厚みと第3のレジスト硬化物層の厚みとは、ほぼ同じであった。
(2) Production of electronic component A substrate was prepared by laminating copper foil on FR-4 having a size of 100 mm x 100 mm x thickness 0.8 mm. On this substrate, a non-developable photocurable composition was screen-printed once with a mask pattern using a 180 mesh polyester-biased plate by screen printing to form a first resist layer. After printing, in order to irradiate the first resist layer with ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm, the first resist cured product layer is flowed once with a belt conveyor type ultraviolet irradiator so that the irradiation energy is 1500 mJ / cm 2. Formed. Next, a non-developable photocurable composition is screened once with a mask pattern on the first resist cured material layer located on the substrate by a screen printing method using a 180 mesh polyester bias plate. Printing was performed to form a second resist layer. After printing, in order to irradiate the second resist layer with ultraviolet light having a wavelength of 365 nm, the second resist cured product layer is flowed once with a belt conveyor type ultraviolet irradiator so that the irradiation energy is 1500 mJ / cm 2. Formed. Next, a non-developable photocurable composition is screened once with a mask pattern on the second resist cured product layer located on the substrate using a 180 mesh polyester bias plate by screen printing. Printing was performed to form a third resist layer. After printing, in order to irradiate the third resist layer with ultraviolet light having a wavelength of 365 nm, the third resist cured product layer is flowed once with a belt conveyor type ultraviolet irradiator so that the irradiation energy is 1500 mJ / cm 2. Formed. In this way, a three-layer resist cured product layer as a measurement sample was formed to obtain an electronic component. The total thickness of the obtained three resist cured product layers was 60 μm. The average thickness per layer of the obtained three resist cured product layers was 20 μm. In addition, the thickness of the 1st resist cured material layer, the thickness of the 2nd resist cured material layer, and the thickness of the 3rd resist cured material layer were substantially the same.

(実施例2)
得られた3層のレジスト硬化物層の合計の厚みを90μmに変更したこと、並びに得られた3層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みを30μmに変更したこと以外は実施例1と同様にして、電子部品を得た。レジスト層の厚みは、スクリーン印刷時のメッシュサイズ、印刷条件により調整した。
(Example 2)
Example 1 except that the total thickness of the obtained three resist cured product layers was changed to 90 μm, and the average thickness per layer of the obtained three resist cured product layers was changed to 30 μm. In the same manner, an electronic component was obtained. The thickness of the resist layer was adjusted according to the mesh size and printing conditions during screen printing.

(実施例3)
得られた3層のレジスト硬化物層の合計の厚みを21μmに変更したこと、並びに得られた3層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みを7μmに変更したこと以外は実施例1と同様にして、電子部品を得た。レジスト層の厚みは、スクリーン印刷時のメッシュサイズ、印刷条件により調整した。
(Example 3)
Example 1 except that the total thickness of the obtained three resist cured product layers was changed to 21 μm and the average thickness per layer of the obtained three resist cured product layers was changed to 7 μm. In the same manner, an electronic component was obtained. The thickness of the resist layer was adjusted according to the mesh size and printing conditions during screen printing.

(実施例4)
2層のレジスト層及び2層のレジスト硬化物層を形成するためにスクリーン印刷の回数を2回に変更したこと、得られた2層のレジスト硬化物層の合計の厚みを40μmに変更したこと、並びに得られた2層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みを20μmに変更したこと以外は実施例1と同様にして、電子部品を得た。レジスト層の厚みは、スクリーン印刷時のメッシュサイズ、印刷条件により調整した。
Example 4
The number of screen printings was changed to 2 to form two resist layers and two cured resist layers, and the total thickness of the resulting two resist cured layers was changed to 40 μm. In addition, an electronic component was obtained in the same manner as in Example 1 except that the average thickness per layer of the obtained two resist cured product layers was changed to 20 μm. The thickness of the resist layer was adjusted according to the mesh size and printing conditions during screen printing.

(比較例1)
(1)非現像型熱硬化性組成物の調製
以下に示す熱硬化性樹脂を用いて電子部品を作製した。
(Comparative Example 1)
(1) Preparation of non-developable thermosetting composition An electronic component was prepared using the thermosetting resin shown below.

RG−12−6−2(古川ケミカルズ社製、シリコーン系熱硬化性樹脂組成物)   RG-12-6-2 (Furukawa Chemicals, silicone-based thermosetting resin composition)

(2)電子部品の作製
100mm×100mm×厚さ0.8mmのFR−4に銅箔を積層した基板を用意した。この基板上に、スクリーン印刷法により、180メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、マスクパターンで非現像型熱硬化性組成物を1回スクリーン印刷して、80℃30分間乾燥させ、第1のレジスト層を形成した。次に、スクリーン印刷法により、180メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、基板上に位置する第1のレジスト層上に、マスクパターンで非現像型熱硬化性組成物を1回スクリーン印刷して、80℃30分間乾燥させ、第2のレジスト層を形成した。次に、スクリーン印刷法により、180メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、基板上に位置する第2のレジスト層上に、マスクパターンで非現像型熱硬化性組成物を1回スクリーン印刷して、80℃30分間乾燥させ、第3のレジスト層を形成した。さらに、150℃1時間熱硬化させることにより、測定サンプルとしての3層のレジスト硬化物層を形成し、電子部品を得た。得られた3層のレジスト硬化物層の合計の厚みは45μmであった。得られた3層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みは15μmであった。
(2) Production of electronic component A substrate was prepared by laminating copper foil on FR-4 having a size of 100 mm x 100 mm x thickness 0.8 mm. On this substrate, a non-developable thermosetting composition is screen-printed once with a mask pattern using a 180 mesh polyester bias plate by screen printing, and dried at 80 ° C. for 30 minutes. The resist layer was formed. Next, a non-developable thermosetting composition was screen-printed once with a mask pattern on the first resist layer located on the substrate by a screen printing method using a 180 mesh polyester bias plate. And dried at 80 ° C. for 30 minutes to form a second resist layer. Next, by screen printing, a non-developable thermosetting composition was screen-printed once with a mask pattern on the second resist layer located on the substrate, using a 180 mesh polyester bias plate. And dried at 80 ° C. for 30 minutes to form a third resist layer. Furthermore, by thermosetting at 150 ° C. for 1 hour, a three-layer resist cured product layer as a measurement sample was formed, and an electronic component was obtained. The total thickness of the obtained three resist cured product layers was 45 μm. The average thickness per layer of the obtained three resist cured product layers was 15 μm.

(比較例2)
(1)現像型光・熱硬化性組成物の調製
以下に示す配合成分を以下に示す配合量で配合して、非現像型光硬化性組成物を調製した。
(Comparative Example 2)
(1) Preparation of development type light / thermosetting composition The compounding component shown below was mix | blended with the compounding quantity shown below, and the non-development type photocurable composition was prepared.

(A)光硬化性化合物50重量部
酸基含有アクリレート(ダイセル・オルネクス社製、(ACA)Z250)
(B)エチレン性不飽和結合を1個以上有する反応性希釈剤10重量部
TMPTA(トリメチロールプロパントリアクリレート)
(D)白色顔料
酸化チタン(石原産業社製、CR−90)40重量部
(E)光重合開始剤2重量部
TPO(BASF社製)及びIrgacure819(BASF社製)の混合物
(F)ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製、JER828)5重量部
(他の成分)
プロピレングリコールエチルエーテルアセテート
(A) 50 parts by weight of photocurable compound Acid group-containing acrylate (manufactured by Daicel Ornex Co., (ACA) Z250)
(B) 10 parts by weight of reactive diluent having one or more ethylenically unsaturated bonds TMPTA (trimethylolpropane triacrylate)
(D) White pigment Titanium oxide (manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., CR-90) 40 parts by weight (E) Photopolymerization initiator 2 parts by weight A mixture of TPO (manufactured by BASF) and Irgacure 819 (manufactured by BASF) (F) Bisphenol A Type epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, JER828) 5 parts by weight (other components)
Propylene glycol ethyl ether acetate

(2)電子部品の作製
100mm×100mm×厚さ0.8mmのFR−4に銅箔を積層した基板を用意した。この基板上に、スクリーン印刷法により、100メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、現像型光・熱硬化性組成物を全面に1回スクリーン印刷して、80℃30分間乾燥させ、第1のレジスト層を形成した。次に、スクリーン印刷法により、100メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、第1のレジスト層上に、現像型光・熱硬化性組成物を全面に1回スクリーン印刷して、80℃30分間乾燥させ、第2のレジスト層を形成した。次に、スクリーン印刷法により、100メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、基板上に位置する第2のレジスト層上に、現像型光・熱硬化性組成物を全面に1回スクリーン印刷して、80℃30分間乾燥させ、第3のレジスト層を形成した。次に、マスクパターンを介して1000mJで露光し、アルカリ現像によりパターン形成後、150℃1時間熱硬化させることにより、測定サンプルとしての3層のレジスト硬化物層を形成し、電子部品を得た。得られた3層のレジスト硬化物層の合計の厚みは60μmであった。得られた3層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みは20μmであった。
(2) Production of electronic component A substrate was prepared by laminating copper foil on FR-4 having a size of 100 mm x 100 mm x thickness 0.8 mm. On this substrate, a screen-printing method is used to screen-print the development type photo-thermosetting composition once on the entire surface using a 100 mesh polyester-biased plate, followed by drying at 80 ° C. for 30 minutes. The resist layer was formed. Next, a screen-printing method is used to screen-print the development type photo / thermosetting composition once on the entire surface of the first resist layer using a 100 mesh polyester bias plate at 80 ° C. and 30 ° C. A second resist layer was formed by drying for a minute. Next, a screen-printing method is used to screen-print the development type photo / thermosetting composition once on the entire surface of the second resist layer located on the substrate using a 100 mesh polyester bias plate. And dried at 80 ° C. for 30 minutes to form a third resist layer. Next, exposure was performed at 1000 mJ through a mask pattern, and after pattern formation by alkali development, heat curing was performed at 150 ° C. for 1 hour to form a three-layer resist cured product layer as a measurement sample, thereby obtaining an electronic component. . The total thickness of the obtained three resist cured product layers was 60 μm. The average thickness per layer of the obtained three resist cured product layers was 20 μm.

(比較例3)
2層のレジスト層及び2層のレジスト硬化物層を形成するためにスクリーン印刷の回数を2回に変更したこと、得られた2層のレジスト硬化物層の合計の厚みを30μmに変更したこと、並びに得られた2層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みを15μmに変更したこと以外は比較例1と同様にして、電子部品を得た。
(Comparative Example 3)
The number of screen printings was changed to 2 to form two resist layers and two cured resist layers, and the total thickness of the obtained two resist cured layers was changed to 30 μm. In addition, an electronic component was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that the average thickness per layer of the obtained two resist cured product layers was changed to 15 μm.

(比較例4)
2層のレジスト層及び2層のレジスト硬化物層を形成するためにスクリーン印刷の回数を2回に変更したこと、得られた2層のレジスト硬化物層の合計の厚みを40μmに変更したこと、並びに得られた2層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みを20μmに変更したこと以外は比較例2と同様にして、電子部品を得た。レジスト層の厚みは、スクリーン印刷時のメッシュサイズ、印刷条件により調整した。
(Comparative Example 4)
The number of screen printings was changed to 2 to form two resist layers and two cured resist layers, and the total thickness of the resulting two resist cured layers was changed to 40 μm. In addition, an electronic component was obtained in the same manner as in Comparative Example 2 except that the average thickness per layer of the obtained two resist cured product layers was changed to 20 μm. The thickness of the resist layer was adjusted according to the mesh size and printing conditions during screen printing.

(比較例5)
熱硬化型と現像型からなる2層のレジスト硬化物層を形成するために、1層目は比較例1の1層目と同様に、2層目は比較例2の2層目と同様にして、電子部品を得た。得られた2層のレジスト硬化物層の合計の厚みは35μmであった。
(Comparative Example 5)
In order to form a two-layer resist cured product layer comprising a thermosetting type and a development type, the first layer is the same as the first layer of Comparative Example 1, and the second layer is the same as the second layer of Comparative Example 2. To obtain an electronic component. The total thickness of the obtained two resist cured product layers was 35 μm.

(比較例6)
熱硬化型と現像型からなる2層のレジスト硬化物層を形成するために、1層目は比較例2の1層目と同様に、2層目は比較例1の2層目と同様にして、電子部品を得た。得られた2層のレジスト硬化物層の合計の厚みは35μmであった。
(Comparative Example 6)
In order to form a two-layer cured resist layer consisting of a thermosetting type and a development type, the first layer is the same as the first layer of Comparative Example 2, and the second layer is the same as the second layer of Comparative Example 1. To obtain an electronic component. The total thickness of the obtained two resist cured product layers was 35 μm.

(評価)
(1)光の反射率
形成されたレジスト硬化物層において、色彩・色差計(コニカミノルタ社製、CR−400)を用いてすることにより、光の反射率を評価した。
(Evaluation)
(1) Light reflectivity In the formed resist cured material layer, the light reflectivity was evaluated by using a color / color difference meter (CR-400, manufactured by Konica Minolta Co., Ltd.).

[光の反射率の判定基準]
○○:90%以上
○:85%以上90%未満
[Judgment criteria for light reflectance]
○○: 90% or more ○: 85% or more and less than 90%

(2)解像度
L/S=200/200[μm]の配線パターンを光学顕微鏡で観察し、Line幅、Space幅を測定することにより、解像度を評価した。解像度を以下の基準で判定した。
(2) Resolution The wiring pattern of L / S = 200/200 [μm] was observed with an optical microscope, and the resolution was evaluated by measuring the Line width and the Space width. The resolution was judged according to the following criteria.

[解像度の判定基準]
○:L/S:200以上250未満/150以上200未満
×:L/S:250以上300未満/100以上150未満
[Resolution criteria]
○: L / S: 200 or more and less than 250/150 or more and less than 200 ×: L / S: 250 or more and less than 300/100 or more and less than 150

(3)アンダーカット防止性
パターン形成部分を光学顕微鏡により断面観察することにより、レジスト硬化物層の基板に接するパターン幅と最表面のパターン幅とから、アンダーカット防止性を評価した。アンダーカット防止性を以下の基準で判定した。なお、レジスト硬化物層の基板に接するパターン幅が、最表面のパターン幅よりも狭い場合に、レジスト硬化物層の外周面に凹部が形成されていた。
(3) Undercut prevention The undercut prevention was evaluated from the pattern width of the resist cured product layer in contact with the substrate and the pattern width of the outermost surface by observing a cross section of the pattern formation portion with an optical microscope. Undercut prevention was determined according to the following criteria. In addition, when the pattern width which contacts the board | substrate of a resist cured material layer was narrower than the pattern width of the outermost surface, the recessed part was formed in the outer peripheral surface of a resist cured material layer.

[アンダーカット防止性の判定基準]
○:基板に接するパターン幅≧最表面のパターン幅
×:基板に接するパターン幅<最表面のパターン幅
[Criteria for undercut prevention]
○: Pattern width in contact with substrate ≧ pattern width on outermost surface ×: Pattern width in contact with substrate <pattern width on outermost surface

(4)耐マイグレーション性
くし型パターン基板にレジストを塗布したサンプルを、85℃、湿度85%RHの環境下で電圧値100Vにて1000時間の耐マイグレーション性試験することにより、耐マイグレーション性を評価した。耐マイグレーション性を以下の基準で判定した。
(4) Migration resistance A sample coated with a resist on a comb-shaped pattern substrate is subjected to a migration resistance test for 1000 hours at a voltage value of 100 V in an environment of 85 ° C. and a humidity of 85% RH, thereby evaluating migration resistance. did. Migration resistance was determined according to the following criteria.

[耐マイグレーション性の判定基準]
○:マイグレーション発生なし
×:マイグレーション発生
[Judgment criteria for migration resistance]
Y: No migration occurred X: Migration occurred

組成及び結果を下記の表1に示す。   The composition and results are shown in Table 1 below.

Figure 2016152410
Figure 2016152410

1…電子部品
2…複数層のレジスト硬化物層
2A〜2C…レジスト硬化物層
11…電子部品本体(塗布対象部材)
11A…基板
11B…電極
12…複数層のレジスト層(硬化前)
12A〜12C…レジスト層(硬化前)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic component 2 ... Multi-layered resist cured material layer 2A-2C ... Resist cured material layer 11 ... Electronic component main body (coating object member)
11A ... substrate 11B ... electrode
12 ... Multiple resist layers (before curing)
12A-12C ... resist layer (before curing)

Claims (11)

光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である非現像型光硬化性組成物を用いて、電子部品本体の表面上に、現像を行わずにパターン状に、複数層のレジスト層を形成する第1の工程と、
前記複数層のレジスト層に光を照射し、前記複数層のレジスト層を硬化させて、複数層のレジスト硬化物層を形成する第2の工程とを備える、電子部品の製造方法。
A non-developable photocurable composition comprising a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment, which can be cured by light irradiation and can form a cured resist layer without development. A first step of forming a plurality of resist layers in a pattern without development on the surface of the electronic component body using
And a second step of irradiating the plurality of resist layers with light to cure the plurality of resist layers to form a plurality of resist cured product layers.
前記非現像型光硬化性組成物中の前記白色顔料の含有量が10重量%以上、80重量%以下である、請求項1に記載の電子部品の製造方法。   2. The method for producing an electronic component according to claim 1, wherein the content of the white pigment in the non-developable photocurable composition is 10 wt% or more and 80 wt% or less. 前記非現像型光硬化性組成物が、チオール基を1個以上有するチオール基含有化合物を含む、請求項1又は2に記載の電子部品の製造方法。   The manufacturing method of the electronic component of Claim 1 or 2 in which the said non-development type photocurable composition contains the thiol group containing compound which has one or more thiol groups. 前記複数層のレジスト硬化物層の合計の厚みが20μm以上、90μm以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。   The manufacturing method of the electronic component of any one of Claims 1-3 whose sum total thickness of the said several resist hardened | cured material layer is 20 micrometers or more and 90 micrometers or less. 前記複数層のレジスト硬化物層の1層当たりの平均厚みが5μm以上、40μm以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。   The manufacturing method of the electronic component of any one of Claims 1-4 whose average thickness per layer of the said multiple-layered resist cured material layer is 5 micrometers or more and 40 micrometers or less. 前記複数層のレジスト層を、スクリーン印刷により形成する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。   The method for manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the plurality of resist layers are formed by screen printing. 前記複数層のレジスト層として、3層以上のレジスト層を形成し、かつ、前記複数層のレジスト硬化物層として、3層以上のレジスト硬化物層を形成する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。   The resist layer according to any one of claims 1 to 6, wherein three or more resist layers are formed as the plurality of resist layers, and three or more resist cured product layers are formed as the plurality of resist cured product layers. 2. A method for manufacturing an electronic component according to item 1. 前記複数層のレジスト層のうちの一部のレジスト層を形成した後、前記一部のレジスト層に光を照射し、前記一部のレジスト層を硬化させて、一部のレジスト硬化物層を形成し、次に、前記複数層のレジスト層のうちの他のレジスト層を形成した後、前記他のレジスト層に光を照射し、前記他のレジスト層を硬化させて、前記一部のレジスト硬化物層と他のレジスト硬化物層とを含む複数層のレジスト硬化物層を形成する、請求項1〜7のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。   After forming a part of the plurality of resist layers, the part of the resist layer is irradiated with light to cure the part of the resist layer to form a part of the resist cured product layer. And then forming another resist layer of the plurality of resist layers, irradiating the other resist layer with light, curing the other resist layer, and The manufacturing method of the electronic component of any one of Claims 1-7 which forms the multiple-layered resist hardened | cured material layer containing a hardened | cured material layer and another resist hardened | cured material layer. 前記複数層のレジスト層の全部のレジスト層を形成した後、前記全部のレジスト層に光を照射し、前記全部のレジスト層を硬化させて、複数層のレジスト硬化物層を形成する、請求項1〜7のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。   After forming all the resist layers of the plurality of resist layers, irradiating all the resist layers with light to cure all the resist layers to form a plurality of resist cured product layers. The manufacturing method of the electronic component of any one of 1-7. 前記第1の工程が、前記非現像型光硬化性組成物として、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第1の組成物を用いて、電子部品本体の表面上に、現像を行わずにパターン状に、前記複数層のレジスト層の1層として、第1のレジスト層を形成する工程と、前記非現像型光硬化性組成物として、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第2の組成物を用いて、前記第1のレジスト層の前記電子部品本体側とは反対の表面上に、現像を行わずにパターン状に、前記複数層のレジスト層の1層として、第2のレジスト層を形成する工程とを含み、
前記第2の工程が、前記第1のレジスト層に光を照射し、前記第1のレジスト層を硬化させて、前記複数層のレジスト硬化物層の1層として、第1のレジスト硬化物層を形成する工程と、前記第2のレジスト層に光を照射し、前記第2のレジスト層を硬化させて、前記複数層のレジスト硬化物層の1層として、第2のレジスト硬化物層を形成する工程とを含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
The first step includes a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment as the non-developable photocurable composition, is curable by light irradiation, and is not developed. On the surface of the electronic component body using the first composition capable of forming a cured resist layer on the surface of the electronic component body in a pattern without development, the first resist layer is formed as one layer of the plurality of resist layers. A step of forming a resist layer; and the non-developable photocurable composition, which includes a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment, is curable by light irradiation, and is developed Without using the second composition that is capable of forming a cured resist layer without developing the pattern on the surface of the first resist layer opposite to the electronic component body side, A second resist layer is formed as one of a plurality of resist layers. And a degree,
In the second step, the first resist layer is irradiated with light to cure the first resist layer, so that the first resist layer is formed as one layer of the plurality of resist cured layers. And irradiating the second resist layer with light, curing the second resist layer, and forming a second resist cured product layer as one layer of the plurality of resist cured product layers. The manufacturing method of the electronic component of any one of Claims 1-9 including the process to form.
前記第1の工程が、前記非現像型光硬化性組成物として、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、白色顔料とを含み、光の照射により硬化可能であり、かつ現像を行わずにレジスト硬化物層を形成可能である第3の組成物を用いて、前記第2のレジスト層の前記第1のレジスト層側とは反対の表面上に、現像を行わずにパターン状に、前記複数層のレジスト層の1層として、第3のレジスト層を形成する工程を含み、
前記第2の工程が、前記第3のレジスト層に光を照射し、前記第3のレジスト層を硬化させて、前記複数層のレジスト硬化物層の1層として、第3のレジスト硬化物層を形成する工程を含む、請求項10に記載の電子部品の製造方法。
The first step includes a photocurable compound, a photopolymerization initiator, and a white pigment as the non-developable photocurable composition, is curable by light irradiation, and is not developed. On the surface opposite to the first resist layer side of the second resist layer, using a third composition that can form a resist cured product layer in a pattern without development, A step of forming a third resist layer as one of the plurality of resist layers;
In the second step, the third resist layer is irradiated with light to cure the third resist layer, thereby forming a third resist cured product layer as one layer of the plurality of resist cured product layers. The manufacturing method of the electronic component of Claim 10 including the process of forming.
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