JP2016150872A - Barium titanate and production method therefor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide barium titanate which is usable as a functional ceramic in spite of containing niobium and sulfur, and in particular usable as a functional ceramic excellent in dielectric property in spite of containing niobium and sulfur.SOLUTION: The barium titanate is provided which contains a sulfur atom, a niobium atom and a metal atom M ( M is one or two or more element selected from aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium and samarium) and in which the content of the sulfur atom is 500 mass.ppm or less, the content of niobium atom is 1 to 1000 mass.ppm and a ratio of the total molar number of the metal M to the molar number of the niobium atom (M/Nb) is 1 to 3.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、圧電体、積層セラミックコンデンサ、オプトエレクトロニクス材、誘電体、半導体、センサー等の機能性セラミックの原料として用いられるチタン酸バリウム及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to barium titanate used as a raw material for functional ceramics such as piezoelectric bodies, multilayer ceramic capacitors, optoelectronic materials, dielectrics, semiconductors, and sensors, and a method for producing the same.

チタン酸バリウムは、従来、圧電体、積層セラミックコンデンサ等の機能性セラミックの原料として用いられてきた。近年、積層セラミックコンデンサには、高容量化のために積層数の増加や高誘電率化が求められている。そのため、原料であるチタン酸バリウムには、微細で、高い正方晶性を持つことが要望されている。   Barium titanate has been conventionally used as a raw material for functional ceramics such as piezoelectric bodies and multilayer ceramic capacitors. In recent years, multilayer ceramic capacitors are required to have an increased number of layers and a higher dielectric constant in order to increase the capacity. Therefore, the raw material barium titanate is required to have a fine and high tetragonal property.

そのため、機能性セラミックの原料として用いられるチタン酸バリウムには、微細で、高い正方晶性を持たせるために、不純物含有量を極力少なくして、結晶性を上げるための方策が取られている(例えば、特許文献1〜3)。   For this reason, barium titanate used as a raw material for functional ceramics has been designed to increase the crystallinity by reducing the impurity content as much as possible in order to provide fine and high tetragonal properties. (For example, Patent Documents 1 to 3).

ここで、チタン酸バリウムを製造する方法の一つとして、炭酸バリウムと二酸化チタンとを混合し、得られる混合物を焼成する、所謂、固相法が知られている。この固相法で使用される二酸化チタンの製造方法としては、ガス状の四塩化チタンを冷却して液状にした後、高温で酸素と反応させ、塩素を分離することによって二酸化チタンを得る方法(塩素法)と、オキシ硫酸チタンを加水分解して得られるオキシ水酸化チタンを洗浄し、乾燥及び焼成することによって二酸化チタンを得る方法(硫酸法)とが、主に知られている。   Here, as one method for producing barium titanate, a so-called solid phase method is known in which barium carbonate and titanium dioxide are mixed and the resulting mixture is fired. As a method for producing titanium dioxide used in this solid phase method, after cooling gaseous titanium tetrachloride into a liquid state, it is reacted with oxygen at a high temperature to obtain chlorine dioxide by separating chlorine ( The chlorine method) and the method of obtaining titanium dioxide by washing titanium oxyhydroxide obtained by hydrolyzing titanium oxysulfate, drying and baking (sulfuric acid method) are mainly known.

そして、機能性セラミックの原料として使用されるチタン酸バリウムには、上述したように、不純物含有量を極力少なくすることが求められていることから、チタン酸バリウムを製造するための原料である二酸化チタンとしては、不純成分の塩素がガスとなり分離し易く、高純度なものが得られるために、塩素法により得られる二酸化チタンが一般的に用いられている(例えば、特許文献4)。   As described above, since barium titanate used as a raw material for functional ceramics is required to reduce the impurity content as much as possible, it is a raw material for producing barium titanate. Titanium dioxide obtained by the chlorine method is generally used as titanium because the impure component chlorine becomes a gas and is easily separated and can be highly purified (for example, Patent Document 4).

特開平8−165200号公報JP-A-8-165200 特開2006−27971号公報JP 2006-27971 A 国際公開第2003/004416号パンフレットInternational Publication No. 2003/004416 Pamphlet 特開2006−265094号公報JP 2006-265094 A

一方、硫酸法により得られる二酸化チタンは、原料であるイルメナイト鉱石に含まれるニオブや、製造工程中で使用される硫酸に由来する硫黄などが、不可避的に残留してしまうため、従来、機能性セラミック用のチタン酸バリウムの製造原料としては、不適切であると考えられていた。   On the other hand, titanium dioxide obtained by the sulfuric acid method has a conventional functionality because niobium contained in the raw ilmenite ore and sulfur derived from sulfuric acid used in the manufacturing process inevitably remain. It was considered inappropriate as a raw material for producing barium titanate for ceramics.

ところが、硫酸法は、塩素法に比べ、粒径が小さい二酸化チタンが得られること、製造コストが低いこと等の利点を有する。そのため、硫酸法により得られる二酸化チタンのように、ニオブ及び硫黄を不純物として含む二酸化チタンを原料に用いて得られる機能性セラミック用のチタン酸バリウムの開発が望まれる。   However, the sulfuric acid method has advantages such as obtaining titanium dioxide having a small particle size and low production cost compared to the chlorine method. Therefore, it is desired to develop barium titanate for functional ceramics obtained by using titanium dioxide containing niobium and sulfur as impurities, such as titanium dioxide obtained by the sulfuric acid method.

従って、本発明の目的は、ニオブ及び硫黄を含有していながら、積層セラミックコンデンサ、圧電体等の機能性セラミック用として使用可能なチタン酸バリウム、特に、ニオブ及び硫黄を含有していながら、誘電特性に優れる機能性セラミック用途として使用可能なチタン酸バリウム、及びその製造方法を提供することにある。   Therefore, the object of the present invention is to provide barium titanate that can be used for functional ceramics such as multilayer ceramic capacitors and piezoelectric bodies, while containing niobium and sulfur, in particular, while containing niobium and sulfur, and having dielectric properties. An object of the present invention is to provide a barium titanate that can be used as a functional ceramic application having excellent performance, and a production method thereof.

上記本発明の課題は、以下の本発明により解決される。すなわち、本発明(1)は、硫黄原子と、ニオブ原子と、金属原子M(Mは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素である。)と、を含有し、
硫黄原子の含有量が500質量ppm以下であり、ニオブ原子の含有量が1〜1000質量ppmであり、
ニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が、1〜3であること、
を特徴とするチタン酸バリウムを提供するものである。
The above-mentioned problems of the present invention are solved by the following present invention. That is, the present invention (1) is a sulfur atom, a niobium atom, and a metal atom M (M is one or two selected from aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium, and samarium. Is an element of a species or more), and
The sulfur atom content is 500 mass ppm or less, the niobium atom content is 1-1000 mass ppm,
The ratio of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms (M / Nb) is 1 to 3,
The barium titanate characterized by this is provided.

また、本発明(2)は、二酸化チタンと、炭酸バリウムと、三価の金属イオンM3+を有する化合物(Mは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素である。)と、を混合して、原料混合物を得る第一工程と、
該原料混合物を焼成して、チタン酸バリウムを得る第二工程と、
を有すること、
を特徴とするチタン酸バリウムの製造方法を提供するものである。
Further, the present invention (2) relates to a compound having titanium dioxide, barium carbonate, and a trivalent metal ion M 3+ (M is aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium, and samarium. A first step of obtaining a raw material mixture by mixing one or two or more elements selected from
Baking the raw material mixture to obtain barium titanate;
Having
The manufacturing method of the barium titanate characterized by these is provided.

本発明によれば、ニオブ及び硫黄を含有していながら、積層セラミックコンデンサ、圧電体等の機能性セラミック用として使用可能なチタン酸バリウム、特に、ニオブ及び硫黄を含有していながら、誘電特性に優れるチタン酸バリウム、及びその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, barium titanate that can be used for functional ceramics such as multilayer ceramic capacitors and piezoelectric bodies while containing niobium and sulfur, in particular, it has excellent dielectric properties while containing niobium and sulfur. Barium titanate and a method for producing the same can be provided.

本発明のチタン酸バリウムは、硫黄原子と、ニオブ原子と、金属原子M(Mは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素である。)と、を含有し、
硫黄原子の含有量が500質量ppm以下であり、ニオブ原子の含有量が1〜1000質量ppmであり、
ニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が、1〜3であること、
を特徴とするチタン酸バリウムである。
The barium titanate of the present invention is a sulfur atom, a niobium atom, and a metal atom M (M is one or two selected from aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium, and samarium. The above elements), and
The sulfur atom content is 500 mass ppm or less, the niobium atom content is 1-1000 mass ppm,
The ratio of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms (M / Nb) is 1 to 3,
It is a barium titanate characterized by these.

本発明のチタン酸バリウムは、硫黄原子と、ニオブ原子と、金属原子Mと、を含有する。   The barium titanate of the present invention contains a sulfur atom, a niobium atom, and a metal atom M.

本発明のチタン酸バリウム中の硫黄原子の含有量は、500質量ppm以下、好ましくは10〜400質量ppm、特に好ましくは20〜350ppmである。チタン酸バリウム中の硫黄原子の含有量が、上記範囲を超えると、正方晶のチタン酸バリウムとなり難くなり、誘電特性が低くなる。なお、本発明のチタン酸バリウム中の硫黄原子の含有量は、原子換算の含有量であり、本発明のチタン酸バリウムの全質量に対する原子換算の硫黄原子の質量割合である。   Content of the sulfur atom in the barium titanate of this invention is 500 mass ppm or less, Preferably it is 10-400 mass ppm, Most preferably, it is 20-350 ppm. If the sulfur atom content in the barium titanate exceeds the above range, tetragonal barium titanate becomes difficult to be obtained, and the dielectric properties are lowered. In addition, content of the sulfur atom in the barium titanate of this invention is content of atom conversion, and is a mass ratio of the sulfur atom of atom conversion with respect to the total mass of the barium titanate of this invention.

本発明のチタン酸バリウム中のニオブ原子の含有量は、1〜1000質量ppm、好ましくは10〜800質量ppm、特に好ましくは20〜700ppmである。チタン酸バリウム中のニオブ原子の含有量が、上記範囲を超えると、チタン酸バリウムの半導体化につながり、誘電特性が低くなる。なお、本発明のチタン酸バリウム中のニオブ原子の含有量は、原子換算の含有量であり、本発明のチタン酸バリウムの全質量に対する原子換算のニオブ原子の質量割合である。   The content of niobium atoms in the barium titanate of the present invention is 1-1000 ppm by mass, preferably 10-800 ppm by mass, particularly preferably 20-700 ppm. When the content of niobium atoms in the barium titanate exceeds the above range, the barium titanate is made into a semiconductor and the dielectric properties are lowered. In addition, content of the niobium atom in the barium titanate of this invention is content of atom conversion, and is a mass ratio of the niobium atom of atom conversion with respect to the total mass of the barium titanate of this invention.

本発明のチタン酸バリウムは、金属原子M、すなわち、アルミニウム原子、鉄原子、ガリウム原子、イットリウム原子、インジウム原子、アンチモン原子、ビスマス原子、ランタン原子、ネオジム原子及びサマリウム原子のうちのいずれか1種を含有するか、あるいは、これらの原子のうちの2種以上を含有する。本発明のチタン酸バリウムに係る金属原子Mとしては、アルミニウム原子又は鉄原子であることが、硫酸法により得られる二酸化チタンを原料としても、ニオブ原子及び硫黄原子の含有によるチタン酸バリウムの誘電特性の低下を少なくする効果が高くなる点で好ましい。   The barium titanate of the present invention is any one of metal atom M, that is, aluminum atom, iron atom, gallium atom, yttrium atom, indium atom, antimony atom, bismuth atom, lanthanum atom, neodymium atom and samarium atom. Or contain two or more of these atoms. The metal atom M related to the barium titanate of the present invention is an aluminum atom or an iron atom. Even if titanium dioxide obtained by the sulfuric acid method is used as a raw material, the dielectric properties of barium titanate due to the inclusion of niobium atoms and sulfur atoms It is preferable at the point from which the effect of reducing the fall of becomes high.

本発明のチタン酸バリウム中の金属原子Mの含有量の合計は、ニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が1〜3、好ましくは1〜2.75となる範囲で適宜選択され、好ましくは1〜1200質量ppm、特に好ましくは10〜1000質量ppmである。なお、本発明のチタン酸バリウム中の金属原子Mの含有量の合計は、原子換算の含有量の合計であり、本発明のチタン酸バリウムの全質量に対する原子換算の金属原子Mの合計の質量割合である。   The total content of metal atoms M in the barium titanate of the present invention is such that the ratio of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms (M / Nb) is 1 to 3, preferably 1 to 2.75. In the range which becomes, it is suitably selected, Preferably it is 1-1200 mass ppm, Most preferably, it is 10-1000 mass ppm. In addition, the sum total of content of the metal atom M in the barium titanate of this invention is the sum of content of atom conversion, and the total mass of the metal atom M of atom conversion with respect to the total mass of the barium titanate of this invention. It is a ratio.

本発明のチタン酸バリウムでは、ニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)は、1〜3、好ましくは1〜2.75である。ニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が上記範囲にあることにより、チタン酸バリウムの半導体化が抑制され、チタン酸バリウムの誘電特性の低下を少なくする効果が高くなる点で好ましい。なお、本発明のチタン酸バリウム中のニオブ原子のモル数とは、本発明のチタン酸バリウム中に存在するニオブの原子換算のモル数であり、また、本発明のチタン酸バリウム中の金属原子Mの合計モル数とは、本発明のチタン酸バリウム中に存在するMの原子換算の合計モル数である。   In the barium titanate of the present invention, the ratio (M / Nb) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms is 1 to 3, preferably 1 to 2.75. When the ratio of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms (M / Nb) is in the above range, the semiconductorization of barium titanate is suppressed and the effect of reducing the deterioration of the dielectric properties of barium titanate is reduced. Is preferable from the viewpoint of increasing. The number of moles of niobium atoms in the barium titanate of the present invention is the number of moles of niobium converted into atoms in the barium titanate of the present invention, and the metal atoms in the barium titanate of the present invention. The total number of moles of M is the total number of moles in terms of atoms of M present in the barium titanate of the present invention.

本発明のチタン酸バリウムでは、硫黄原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/S)は、好ましくは1〜10、特に好ましくは2〜9である。硫黄原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/S)が上記範囲にあることにより、粒成長が抑えられるため、微細なチタン酸バリウムとなり易い。なお、本発明のチタン酸バリウム中の硫黄原子のモル数とは、本発明のチタン酸バリウム中に存在する硫黄の原子換算のモル数である。   In the barium titanate of the present invention, the ratio (M / S) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of sulfur atoms is preferably 1 to 10, particularly preferably 2 to 9. Since the ratio (M / S) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of sulfur atoms is in the above range, grain growth is suppressed, and therefore, fine barium titanate tends to be formed. In addition, the number of moles of sulfur atoms in the barium titanate of the present invention is the number of moles of sulfur present in the barium titanate of the present invention in terms of atoms.

本発明のチタン酸バリウムは、本発明の効果を損なわないのであれば、Na、Mg、Ca、Zr、Si、P、Sr、Mn等の原子を含有していてもよい。   The barium titanate of the present invention may contain atoms such as Na, Mg, Ca, Zr, Si, P, Sr, and Mn as long as the effects of the present invention are not impaired.

本発明のチタン酸バリウムの平均粒子径は、好ましくは0.01〜0.8μm、特に好ましくは0.05〜0.5μmである。チタン酸バリウムの平均粒子径が上記範囲にあることにより、高容量化、高誘電率化等の誘電特性に優れたチタン酸バリウムとなる。   The average particle diameter of the barium titanate of the present invention is preferably 0.01 to 0.8 μm, particularly preferably 0.05 to 0.5 μm. When the average particle diameter of barium titanate is in the above range, barium titanate having excellent dielectric properties such as high capacity and high dielectric constant is obtained.

なお、本発明において、チタン酸バリウムの平均粒子径とは、一次粒子の粒子径であり、走査型電子顕微鏡(SEM)写真により任意に抽出した一次粒子1000個について径を測定し、それらの平均値を平均粒子径とした。   In addition, in this invention, the average particle diameter of barium titanate is the particle diameter of a primary particle, a diameter is measured about 1000 primary particles arbitrarily extracted with the scanning electron microscope (SEM) photograph, and those averages are measured. The value was defined as the average particle size.

本発明のチタン酸バリウムのBET比表面積は、好ましくは1〜30m/g、特に好ましくは1.5〜20m/gである。 The BET specific surface area of the barium titanate of the present invention is preferably 1 to 30 m 2 / g, particularly preferably 1.5 to 20 m 2 / g.

本発明のチタン酸バリウムは、硫黄原子の含有量が500質量ppm以下、好ましくは10〜400質量ppmであり、ニオブ原子の含有量が1〜1000質量ppm、好ましくは10〜800ppmであり、且つ、ニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が、1〜3、好ましくは1〜2.75であることにより、硫黄原子及びニオブ原子を含んでいるにもかかわらず、誘電特性が、硫黄原子及びニオブ原子を含んでいないチタン酸バリウムと同程度又はそれに近くなる。そのため、本発明のチタン酸バリウムは、積層セラミックコンデンサ、圧電体、オプトエレクトロニクス材、誘電体、半導体、温度センサー等に用いられる機能性セラミックの原料として、好適である。   The barium titanate of the present invention has a sulfur atom content of 500 ppm by mass or less, preferably 10 to 400 ppm by mass, a niobium atom content of 1 to 1000 ppm by mass, preferably 10 to 800 ppm, and The ratio of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms (M / Nb) is 1 to 3, preferably 1 to 2.75, so that sulfur atoms and niobium atoms are contained. Regardless, the dielectric properties are comparable or close to that of barium titanate without sulfur and niobium atoms. Therefore, the barium titanate of the present invention is suitable as a raw material for functional ceramics used for multilayer ceramic capacitors, piezoelectric bodies, optoelectronic materials, dielectrics, semiconductors, temperature sensors and the like.

本発明のチタン酸バリウムの製造方法は、二酸化チタンと、炭酸バリウムと、三価の金属イオンM3+を有する化合物(Mは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素である。)と、を混合して、原料混合物を得る第一工程と、
該原料混合物を焼成して、チタン酸バリウムを得る第二工程と、
を有すること、
を特徴とするチタン酸バリウムの製造方法である。
The method for producing barium titanate of the present invention comprises a compound having titanium dioxide, barium carbonate, and a trivalent metal ion M 3+ (M is aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium). And one or more elements selected from samarium), and a first step of obtaining a raw material mixture,
Baking the raw material mixture to obtain barium titanate;
Having
Is a method for producing barium titanate.

本発明のチタン酸バリウムの製造方法は、二酸化チタンと、炭酸バリウムと、三価の金属イオンM3+を有する化合物と、を混合して、原料混合物を得る第一工程と、第一工程を行い得られる原料混合物を、焼成して、チタン酸バリウムを得る第二工程と、を有する。 The method for producing barium titanate according to the present invention comprises a first step in which titanium dioxide, barium carbonate, and a compound having a trivalent metal ion M 3+ are mixed to obtain a raw material mixture, and a first step. And firing the obtained raw material mixture to obtain barium titanate.

第一工程は、二酸化チタンと、炭酸バリウムと、三価の金属イオンM3+を有する化合物と、を混合して、原料混合物を得る工程である。 The first step is a step of obtaining a raw material mixture by mixing titanium dioxide, barium carbonate, and a compound having a trivalent metal ion M 3+ .

第一工程に係る二酸化チタンは、粉末状の二酸化チタンである。第一工程に係る二酸化チタンの平均粒子径は、好ましくは0.1〜1.0μm、特に好ましくは0.2〜0.8μmである。二酸化チタンの平均粒子径が、上記範囲にあることが、微細なチタン酸バリウムが得られる点で好ましい。   The titanium dioxide according to the first step is powdered titanium dioxide. The average particle diameter of the titanium dioxide according to the first step is preferably 0.1 to 1.0 μm, particularly preferably 0.2 to 0.8 μm. It is preferable that the average particle diameter of titanium dioxide is in the above range in that fine barium titanate can be obtained.

第一工程に係る炭酸バリウムは、粉末状の炭酸バリウムである。第一工程に係る炭酸バリウムの平均粒子径は、好ましくは0.1〜1.0μm、特に好ましくは0.2〜0.7μmである。炭酸バリウムの平均粒子径が、上記範囲にあることにより、微細なチタン酸バリウムが得られる点で好ましい。   The barium carbonate according to the first step is powdered barium carbonate. The average particle diameter of the barium carbonate according to the first step is preferably 0.1 to 1.0 μm, particularly preferably 0.2 to 0.7 μm. When the average particle diameter of barium carbonate is in the above range, it is preferable in that fine barium titanate can be obtained.

第一工程に係る三価の金属イオンM3+を有する化合物とは、化合物中に3価のイオンの状態のMが存在している化合物である。三価の金属イオンM3+を有する化合物に係るMは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素であり、好ましくはアルミニウム、鉄である。第一工程に係る三価の金属イオンM3+を有する化合物としては、例えば、三価のMの酸化物、三価のMの塩、複数の三価のMの複合塩、三価のMの錯体が挙げられる。第一工程に係る三価の金属イオンM3+を有する化合物としては、更に具体的には、酸化アルミニウム(Al)、酸化鉄(Fe)等の三価のMの酸化物;炭酸アルミニウム(Al(CO)、炭酸鉄(Fe(CO)等の三価のMの炭酸塩;塩化アルミニウム(AlCl)、塩化鉄(FeCl)等の三価のMの塩化物;硝酸アルミニウム(Al(NO)、硝酸鉄(Fe(NO)等の三価のMの硝酸塩;硫酸アルミニウム(Al(SO)、硫酸鉄(Fe(SO)等の三価のMの硫酸塩;リン酸アルミニウム(AlPO)、リン酸鉄(FePO)等の三価のリン酸塩、ギ酸アルミニウム(Al(HCOO))、乳酸アルミニウム(Al(C(OH)COO))、ギ酸鉄(Fe(HCOO))、乳酸鉄(Fe(C(OH)COO))等の三価の有機酸塩などが挙げられる。第一工程に係る三価の金属イオンM3+を有する化合物は、1種であっても又は2種以上の組み合わせであってもよい。第一工程に係る三価の金属イオンM3+を有する化合物が粉末状の場合、三価の金属イオンM3+を有する化合物の平均粒子径は、好ましくは0.005〜0.1μm、特に好ましくは0.01〜0.09μmである。また、第一工程に係る三価の金属イオンM3+を有する化合物を、粉末状のまま、純水等の溶媒を加えたゾル状、あるいはアンモニア水等の水以外の溶媒を加えることでゲル状にしたもの等の状態で混合することができる。 The compound having a trivalent metal ion M 3+ according to the first step is a compound in which M in a trivalent ion state exists in the compound. M relating to the compound having a trivalent metal ion M 3+ is one or more elements selected from aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium and samarium, preferably Aluminum and iron. Examples of the compound having a trivalent metal ion M 3+ according to the first step include a trivalent M oxide, a trivalent M salt, a plurality of trivalent M complex salts, and a trivalent M compound. A complex. More specifically, the compound having the trivalent metal ion M 3+ according to the first step is a trivalent M oxide such as aluminum oxide (Al 2 O 3 ) or iron oxide (Fe 2 O 3 ). Trivalent M carbonates such as aluminum carbonate (Al 2 (CO 3 ) 3 ) and iron carbonate (Fe 2 (CO 3 ) 3 ); three such as aluminum chloride (AlCl 3 ) and iron chloride (FeCl 3 ) Trivalent M nitrate such as aluminum nitrate (Al (NO 3 ) 3 ), iron nitrate (Fe (NO 3 ) 3 ); aluminum sulfate (Al 2 (SO 4 ) 3 ), sulfuric acid Trivalent M sulfate such as iron (Fe 2 (SO 4 ) 3 ); trivalent phosphate such as aluminum phosphate (AlPO 4 ) and iron phosphate (FePO 4 ), aluminum formate (Al (HCOO) 3 ) Aluminum lactate (Al (C 2 H 4 (OH) COO) 3 ), iron formate (Fe (HCOO) 3 ), iron lactate (Fe (C 2 H 4 (OH) COO) 3 ), and the like. The compound having the trivalent metal ion M 3+ according to the first step may be one type or a combination of two or more types. When the compound having the trivalent metal ion M 3+ according to the first step is in a powder form, the average particle size of the compound having the trivalent metal ion M 3+ is preferably 0.005 to 0.1 μm, particularly preferably. 0.01 to 0.09 μm. In addition, the compound having the trivalent metal ion M 3+ according to the first step is in the form of a sol obtained by adding a solvent such as pure water in a powder form, or by adding a solvent other than water such as ammonia water. It can mix in the state of what was made.

本発明において、二酸化チタン、炭酸バリウム及び三価の金属イオンM3+を有する化合物の平均粒子径は、一次粒子の粒子径であり、走査型電子顕微鏡写真に基づいて求められる。 In the present invention, the average particle size of the compound having titanium dioxide, barium carbonate, and trivalent metal ion M 3+ is the particle size of the primary particles, and is determined based on a scanning electron micrograph.

第一工程において、二酸化チタンと炭酸バリウムと三価の金属イオンM3+を有する化合物とを混合する方法は、特に制限されず、湿式で混合する手段としては、ボールミル、ピンミル、ビーズミル、ディスパーミル、ホモジナイザー、振動ミル、アトライター等の混合手段を用いる混合方法が挙げられ、また、乾式で混合する手段としては、ハイスピードミキサー、スーパーミキサー、ターボスフェアミキサー、ヘンシェルミキサー、ナウターミキサー、リボンブレンダー等の混合手段を用いる混合方法が挙げられる。 In the first step, the method of mixing titanium dioxide, barium carbonate, and a compound having a trivalent metal ion M 3+ is not particularly limited, and means for wet mixing include ball mill, pin mill, bead mill, disper mill, A mixing method using a mixing means such as a homogenizer, a vibration mill, an attritor or the like can be mentioned, and examples of the dry mixing means include a high speed mixer, a super mixer, a turbo sphere mixer, a Henschel mixer, a nauter mixer, a ribbon blender, etc. And a mixing method using the mixing means.

第一工程において、二酸化チタンと炭酸バリウムとの混合割合は、原子換算で、チタン原子に対するバリウム原子のモル比(Ba/Ti)が、0.990〜1.010、好ましくは0.995〜1.005となる混合割合である。   In the first step, the mixing ratio of titanium dioxide and barium carbonate is such that the molar ratio (Ba / Ti) of barium atoms to titanium atoms is 0.990 to 1.010, preferably 0.995 to 1 in terms of atoms. The mixing ratio is 0.005.

第一工程に係る原料混合物中のニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)は、1〜3、好ましくは1〜2.75である。原料混合物中のニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が上記範囲にあることにより、チタン酸バリウムの半導体化が抑制され、硫酸法により得られる二酸化チタンを原料としても、誘電特性に優れるチタン酸バリウムが得られる。なお、原料混合物中のニオブ原子のモル数とは、原料混合物中に存在するニオブの原子換算のモル数であり、また、原料混合物中の金属原子Mの合計モル数とは、原料混合物中に存在するMの原子換算の合計モル数である。   The ratio (M / Nb) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms in the raw material mixture in the first step is 1 to 3, preferably 1 to 2.75. The ratio of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms in the raw material mixture (M / Nb) is in the above range, so that barium titanate is made semiconducting and titanium dioxide obtained by the sulfuric acid method Even as a raw material, barium titanate having excellent dielectric properties can be obtained. The number of moles of niobium atoms in the raw material mixture is the number of moles of niobium converted into atoms in the raw material mixture, and the total number of moles of metal atoms M in the raw material mixture is the number of moles of niobium atoms in the raw material mixture. It is the total number of moles in terms of atoms of M present.

第一工程に係る原料混合物中の硫黄原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/S)は、好ましくは1〜10、特に好ましくは2〜9である。原料混合物中の硫黄原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/S)が上記範囲にあることにより、粒成長が抑えられるため、微細なチタン酸バリウムが得られる。なお、原料混合物中の硫黄原子のモル数とは、原料混合物中に存在する硫黄の原子換算のモル数である。   The ratio (M / S) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of sulfur atoms in the raw material mixture according to the first step is preferably 1 to 10, particularly preferably 2 to 9. Since the ratio (M / S) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of sulfur atoms in the raw material mixture is in the above range, grain growth is suppressed, so that fine barium titanate is obtained. The number of moles of sulfur atoms in the raw material mixture is the number of moles of sulfur in the raw material mixture in terms of atoms.

第一工程では、二酸化チタン、炭酸バリウム及び三価の金属イオンM3+を有する化合物以外に、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じて、上記金属原子M以外の金属原子を有する化合物を混合してもよい。また、第一工程では、二酸化チタン、炭酸バリウム及び三価の金属イオンM3+を有する化合物以外に、必要に応じて、Na、Mg、Ca、Zr、Si、P、Sr、Mn等を含有する化合物を混合してもよい。 In the first step, in addition to the compound having titanium dioxide, barium carbonate, and the trivalent metal ion M 3+ , the compound having a metal atom other than the metal atom M as necessary, as long as the effects of the present invention are not impaired. May be mixed. In the first step, Na, Mg, Ca, Zr, Si, P, Sr, Mn, and the like are contained as necessary in addition to the compound having titanium dioxide, barium carbonate, and the trivalent metal ion M 3+. You may mix a compound.

第一工程では、各種原料を混合して、原料混合物を得るが、第一工程を行い得られる原料混合物は、硫黄原子と、ニオブ原子と、金属原子M(Mは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素である。)と、を含有する。原料混合物中の硫黄原子、ニオブ原子及び金属原子Mは、第一工程で混合される原料に由来する。そして、第一工程で得られる原料混合物中のニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が、1〜3、好ましくは1〜2.75となるように、原料及びそれらの混合量を選択する。   In the first step, various raw materials are mixed to obtain a raw material mixture. The raw material mixture obtained by performing the first step is composed of a sulfur atom, a niobium atom, and a metal atom M (M is aluminum, iron, gallium, And one or more elements selected from yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium, and samarium.). The sulfur atom, niobium atom, and metal atom M in the raw material mixture are derived from the raw material mixed in the first step. And the ratio (M / Nb) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms in the raw material mixture obtained in the first step is 1 to 3, preferably 1 to 2.75. The raw materials and their mixing amounts are selected.

また、第一工程では、第二工程を行い得られるチタン酸バリウム中の硫黄原子の含有量が500質量ppm以下、好ましくは10〜400質量ppm、ニオブ原子の含有量が1〜1000質量ppm、好ましくは10〜800質量ppm、且つ、金属原子Mの含有量が好ましくは1〜1200質量ppm、特に好ましくは10〜1000質量ppmとなるように、原料及びそれらの混合量を選択する。第二工程を行い得られるチタン酸バリウム中の硫黄原子の含有量が500質量ppm以下、好ましくは10〜400質量ppm、ニオブ原子の含有量が1〜1000質量ppm、好ましくは10〜800質量ppm、且つ、金属原子Mの含有量が好ましくは1〜1200質量ppm、特に好ましくは10〜1000質量ppmとなるように、原料を混合することにより、微細な粒子径を有し、誘電特性に優れるチタン酸バリウムが得られる。   In the first step, the sulfur atom content in the barium titanate obtained by performing the second step is 500 ppm by mass or less, preferably 10 to 400 ppm by mass, and the niobium atom content is 1 to 1000 ppm by mass. Preferably, the raw materials and the mixed amount thereof are selected so that the content of the metal atom M is preferably 10 to 800 ppm by mass, and more preferably 1 to 1200 ppm by mass, and particularly preferably 10 to 1000 ppm by mass. The sulfur atom content in the barium titanate obtained by performing the second step is 500 ppm by mass or less, preferably 10 to 400 ppm by mass, and the niobium atom content is 1 to 1000 ppm by mass, preferably 10 to 800 ppm by mass. In addition, by mixing the raw materials so that the content of the metal atom M is preferably 1 to 1200 mass ppm, particularly preferably 10 to 1000 mass ppm, it has a fine particle diameter and excellent dielectric properties. Barium titanate is obtained.

また、第一工程では、得られる原料混合物中の硫黄原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/S)が1〜10となるように原料及びそれらの混合量を選択することが好ましく、2〜9となるように原料及びそれらの混合量を選択することが特に好ましい。原料混合物中の硫黄原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/S)が1〜10であること、好ましくは2〜9であることにより、後述する第二工程において粒成長を抑えることができ、微細なチタン酸バリウムを得ることができる。   Moreover, at a 1st process, a raw material and those mixing amount are selected so that ratio (M / S) of the total number of moles of the metal atom M with respect to the number of moles of the sulfur atom in the obtained raw material mixture may be set to 1-10. It is particularly preferable to select the raw materials and the mixing amount thereof so as to be 2-9. When the ratio (M / S) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of sulfur atoms in the raw material mixture is 1 to 10, preferably 2 to 9, grain growth in the second step to be described later Can be suppressed, and fine barium titanate can be obtained.

チタン酸バリウム中の硫黄及びニオブの多くは、第一工程の混合原料である二酸化チタン中に含まれている硫黄及びニオブに由来する。そのため、第一工程に係る二酸化チタン中の硫黄原子の含有量は、好ましくは1〜1000質量ppm、特に好ましくは10〜900質量ppmである。第一工程に係る二酸化チタン中の硫黄原子の含有量が上記範囲にあることにより、微細な粒子径を有したチタン酸バリウムが得られる。一方、二酸化チタン中の硫黄原子の含有量が上記範囲を超えると、正方晶のチタン酸バリウムが得られ難くなり誘電特性が低くなる。また、第一工程に係る二酸化チタン中のニオブ原子の含有量は、好ましくは1〜2000ppm、特に好ましくは10〜1500ppmである。第一工程に係る二酸化チタン中のニオブ原子の含有量が上記範囲にあっても、本発明によれば、誘電特性に優れるチタン酸バリウムが得られる。この理由は定かではないが、四価のチタンに対して、五価のニオブが存在すると価数的にバランスが取りづらく、チタン酸バリウムの半導体化につながるものと考えられるが、本発明によれば、三価の金属Mを添加することによって、四価のチタンに対して、五価のニオブと三価の金属M(合計の価数が八価)が存在することになり、価数的にバランスが取れるためチタン酸バリウムの半導体化を抑制することができ、誘電特性への影響を小さくできるものと本発明者らは推察している。   Most of sulfur and niobium in barium titanate are derived from sulfur and niobium contained in titanium dioxide which is a mixed raw material in the first step. Therefore, content of the sulfur atom in the titanium dioxide which concerns on a 1st process becomes like this. Preferably it is 1-1000 mass ppm, Most preferably, it is 10-900 mass ppm. When the content of the sulfur atom in the titanium dioxide according to the first step is in the above range, barium titanate having a fine particle diameter is obtained. On the other hand, if the content of sulfur atoms in titanium dioxide exceeds the above range, tetragonal barium titanate is difficult to obtain and the dielectric properties are lowered. Further, the content of niobium atoms in the titanium dioxide in the first step is preferably 1 to 2000 ppm, particularly preferably 10 to 1500 ppm. Even if the content of niobium atoms in the titanium dioxide in the first step is within the above range, according to the present invention, barium titanate having excellent dielectric properties can be obtained. The reason for this is not clear, but it is considered that the presence of pentavalent niobium in comparison with tetravalent titanium makes it difficult to balance the valence and leads to the semiconductorization of barium titanate. For example, by adding trivalent metal M, pentavalent niobium and trivalent metal M (the total valence is octavalent) exist for tetravalent titanium. Therefore, the present inventors have inferred that barium titanate can be made semiconductive and the influence on dielectric properties can be reduced.

第一工程に係る二酸化チタンは、硫酸法により得られた二酸化チタンであることが好ましい。硫酸法とは、イルメナイト鉱(FeTiO)を原料に用い、濃硫酸との反応で生成するオキシ硫酸チタン(TiOSO)を加水分解して得られるオキシ水酸化チタン(TiO(OH))を焼成後、粉砕して、粉末状の二酸化チタンを得る方法である。硫酸法により得られる二酸化チタンは、製造原料に由来するニオブ及び製造過程で使用される硫酸に由来する硫黄を含有している。 The titanium dioxide according to the first step is preferably titanium dioxide obtained by a sulfuric acid method. The sulfuric acid method refers to titanium oxyhydroxide (TiO (OH) 2 ) obtained by hydrolyzing titanium oxysulfate (TiOSO 4 ) produced by reaction with concentrated sulfuric acid using ilmenite ore (FeTiO 3 ) as a raw material. In this method, powdery titanium dioxide is obtained by pulverizing after firing. Titanium dioxide obtained by the sulfuric acid method contains niobium derived from production raw materials and sulfur derived from sulfuric acid used in the production process.

第二工程は、第一工程を行い得られる原料混合物を、焼成して、チタン酸バリウムを得る工程である。   The second step is a step of obtaining barium titanate by firing the raw material mixture obtained by performing the first step.

第二工程において、原料混合物を焼成するときの焼成温度は、800〜1200℃、好ましくは850〜1150℃であり、また、焼成時間は、好ましくは1〜50時間、特に好ましくは3〜35時間である。焼成温度及び焼成時間が上記範囲であることによりチタン酸バリウムの一次粒子の過度な粒成長を抑えつつ、焼結を進めることができる。   In the second step, the firing temperature when firing the raw material mixture is 800 to 1200 ° C, preferably 850 to 1150 ° C, and the firing time is preferably 1 to 50 hours, particularly preferably 3 to 35 hours. It is. Sintering can be performed while suppressing excessive grain growth of the primary particles of barium titanate when the firing temperature and firing time are within the above ranges.

第二工程において、原料混合物を焼成するときの焼成雰囲気は、特に制限されず、大気下で焼成を行うことができる。  In the second step, the firing atmosphere when firing the raw material mixture is not particularly limited, and firing can be performed in the air.

第二工程では、原料混合物を一回焼成した後、必要に応じて、更に一回又は複数回焼成を繰り返してもよい。   In the second step, after firing the raw material mixture once, the firing may be repeated once or a plurality of times as necessary.

第二工程を行った後、必要に応じて、焼成により得られたチタン酸バリウムを、ボールミル、ビーズミル、アルティマイザー、気流粉砕機等の粉砕手段で粉砕又は解砕してもよい。   After performing the second step, the barium titanate obtained by firing may be pulverized or pulverized by a pulverizing means such as a ball mill, a bead mill, an optimizer, or an airflow pulverizer, if necessary.

本発明のチタン酸バリウムの製造方法を行い得られるチタン酸バリウムは、硫黄原子と、ニオブ原子と、金属原子M(Mは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素である。)と、を含有しており、硫黄原子の含有量が500質量ppm以下、好ましくは10〜400質量ppmであり、ニオブ原子の含有量が1〜1000質量ppm、好ましくは10〜800質量ppmであり、ニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が1〜3、好ましくは1〜2.75である。また、本発明のチタン酸バリウムの製造方法を行い得られるチタン酸バリウムでは、硫黄原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/S)が1〜10、好ましくは2〜9である。また、本発明のチタン酸バリウムの製造方法を行い得られるチタン酸バリウムは、平均粒子径が好ましくは0.01〜0.8μm、特に好ましくは0.05〜0.5μmであり、また、BET比表面積が1〜30g/m、好ましくは1.5〜20g/mである。 The barium titanate obtained by carrying out the method for producing barium titanate of the present invention comprises a sulfur atom, a niobium atom, and a metal atom M (M is aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium). And one or two or more elements selected from samarium), and the content of sulfur atoms is 500 ppm by mass or less, preferably 10 to 400 ppm by mass, and the content of niobium atoms The amount is 1 to 1000 ppm by mass, preferably 10 to 800 ppm by mass, and the ratio (M / Nb) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms is 1 to 3, preferably 1 to 2.75. It is. Moreover, in the barium titanate obtained by performing the method for producing barium titanate of the present invention, the ratio (M / S) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of sulfur atoms is 1 to 10, preferably 2 to 9. It is. The barium titanate obtained by carrying out the method for producing barium titanate of the present invention preferably has an average particle size of 0.01 to 0.8 μm, particularly preferably 0.05 to 0.5 μm, and BET a specific surface area of 1 to 30 g / m 2, preferably from 1.5 to 20 / m 2.

本発明のチタン酸バリウムの製造方法では、原料混合物中に、三価の金属イオンM3+を有する化合物を存在させることで、原料混合物中、特に、二酸化チタン中にニオブが含まれていても、ニオブによる誘電特性の低下を抑えることができる。つまり、本発明のチタン酸バリウムの製造方法では、原料混合物中に、三価の金属イオンM3+を有する化合物を存在させることで、原料混合物中にニオブが含まれていても、誘電特性に優れるチタン酸バリウムを得ることができる。 In the method for producing barium titanate of the present invention, the presence of a compound having a trivalent metal ion M 3+ in the raw material mixture allows the raw material mixture, in particular, titanium dioxide to contain niobium, A decrease in dielectric characteristics due to niobium can be suppressed. That is, in the method for producing barium titanate according to the present invention, the compound having the trivalent metal ion M 3+ is present in the raw material mixture, so that even if niobium is contained in the raw material mixture, the dielectric properties are excellent. Barium titanate can be obtained.

以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、例中の特性は以下の方法により測定した。
(1)BET比表面積
BET法により求めた。
(2)平均粒子径
走査型電子顕微鏡(SEM)写真により任意に抽出した一次粒子1000個について径を測定し、それらの平均値を平均粒子径とした。
(3)ニオブ含有量の測定
IPC発光分光分析法により測定した。
(4)硫黄含有量の測定
蛍光X線元素分析(XRF)法により測定した。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited to these Examples. In addition, the characteristic in an example was measured with the following method.
(1) BET specific surface area Determined by the BET method.
(2) Average particle diameter The diameter was measured about 1000 primary particles arbitrarily extracted by a scanning electron microscope (SEM) photograph, and the average value thereof was defined as the average particle diameter.
(3) Measurement of niobium content The niobium content was measured by IPC emission spectroscopy.
(4) Measurement of sulfur content The sulfur content was measured by a fluorescent X-ray elemental analysis (XRF) method.

また、実施例及び比較例で使用した試料は以下のものを使用した。
<炭酸バリウム>
BET比表面積3.93m/g、平均粒子径0.35μm(一次粒子)の物性を有する市販の炭酸バリウムを使用した。
<二酸化チタンA>
BET比表面積9.09m/g、平均粒子径0.745μm(一次粒子)の物性を有する市販の二酸化チタンを使用した。当該二酸化チタンのニオブ含有量は881質量ppm、硫黄含有量は83質量ppmであった。
<二酸化チタンB>
BET比表面積6.60m/g、平均粒子径0.590μm(一次粒子)の物性を有する市販の二酸化チタンを使用した。当該二酸化チタンのニオブ含有量および硫黄含有量は検出限界以下であった。
<硝酸アルミニウムゲル>
純水、硝酸アルミニウム九水和物(和光純薬工業(株)製)及びアンモニア水(和光純薬工業(株)製)を質量比113:1:17で混合し、撹拌することにより硝酸アルミニウムゲルを得た。
<アルミナゾル>
純水及び酸化アルミニウム(和光純薬工業(株)製)を質量比833:1で混合し、撹拌することにより固形分濃度0.12質量%のアルミナゾルを得た。
Moreover, the following samples were used in the examples and comparative examples.
<Barium carbonate>
Commercially available barium carbonate having physical properties of a BET specific surface area of 3.93 m 2 / g and an average particle size of 0.35 μm (primary particles) was used.
<Titanium dioxide A>
Commercially available titanium dioxide having physical properties of a BET specific surface area of 9.09 m 2 / g and an average particle diameter of 0.745 μm (primary particles) was used. The titanium dioxide had a niobium content of 881 ppm by mass and a sulfur content of 83 ppm by mass.
<Titanium dioxide B>
Commercially available titanium dioxide having physical properties of a BET specific surface area of 6.60 m 2 / g and an average particle size of 0.590 μm (primary particles) was used. The niobium content and sulfur content of the titanium dioxide were below the detection limit.
<Aluminum nitrate gel>
Pure water, aluminum nitrate nonahydrate (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and ammonia water (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) are mixed at a mass ratio of 113: 1: 17, and stirred to mix aluminum nitrate. A gel was obtained.
<Alumina sol>
Pure water and aluminum oxide (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) were mixed at a mass ratio of 833: 1 and stirred to obtain an alumina sol having a solid content concentration of 0.12% by mass.

(実施例1)
純水35Lに、前記炭酸バリウム12.45kg及び前記二酸化チタンA 5kgを加えた。これに、前記硝酸アルミニウムゲル2.32kgを添加して原料混合スラリーを得た。このスラリーをボールミル(ビーズ径が1mmのジルコニアビーズ)により6時間、湿式混合した。混合処理後、130℃で2時間乾燥して原料混合物を得た。この原料混合物の物性を表1に示す。
次いで、得られた原料混合物の乾燥物を、電気炉により1070℃で6時間保持して焼成し、室温まで冷却後、ジェットミルにより粉砕を行ってチタン酸バリウム粉末を得た。得られたチタン酸バリウム粉末の物性を表2に示す。
Example 1
To 35 L of pure water, 12.45 kg of the barium carbonate and 5 kg of the titanium dioxide A were added. To this, 2.32 kg of the aluminum nitrate gel was added to obtain a raw material mixed slurry. This slurry was wet mixed by a ball mill (zirconia beads having a bead diameter of 1 mm) for 6 hours. After the mixing treatment, the mixture was dried at 130 ° C. for 2 hours to obtain a raw material mixture. Table 1 shows the physical properties of this raw material mixture.
Next, the obtained dried material mixture was fired by holding at 1070 ° C. for 6 hours in an electric furnace, cooled to room temperature, and then pulverized by a jet mill to obtain barium titanate powder. Table 2 shows the physical properties of the obtained barium titanate powder.

(実施例2)
硝酸アルミニウムゲル2.32kgに代えて、硝酸アルミニウムゲル4.64kgとし、1070℃で焼成することに代えて、1085℃で焼成すること以外は、実施例1と同様に行い、チタン酸バリウム粉末を得た。得られたチタン酸バリウム粉末の物性を表2に示す。
(Example 2)
The barium titanate powder was prepared in the same manner as in Example 1 except that instead of the aluminum nitrate gel 2.32 kg, the aluminum nitrate gel was 4.64 kg, instead of baking at 1070 ° C., baking at 1085 ° C. Obtained. Table 2 shows the physical properties of the obtained barium titanate powder.

(実施例3)
硝酸アルミニウムゲル2.32kgに代えて、アルミナゾル4.64kgとし、1070℃で焼成することに代えて、1075℃で焼成すること以外は、実施例1と同様に行い、チタン酸バリウム粉末を得た。得られたチタン酸バリウム粉末の物性を表2に示す。
(Example 3)
Barium titanate powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that alumina nitrate gel was replaced with 2.32 kg, alumina sol was 4.64 kg, and baking was performed at 1070 ° C. instead of baking at 1070 ° C. . Table 2 shows the physical properties of the obtained barium titanate powder.

(比較例1)
純水35Lに、前記炭酸バリウム12.45kg、前記二酸化チタンA 5kgを加え、原料混合スラリーを得た。このスラリーをボールミル(ビーズ径が1mmのジルコニアビーズ)により6時間、湿式混合した。混合処理後、130℃で2時間乾燥して原料混合物を得た。この原料混合物の物性を表1に示す。
次いで、得られた原料混合物の乾燥物を、電気炉により995℃で6時間保持して焼成し、室温まで冷却後、ジェットミルにより粉砕を行ってチタン酸バリウム粉末を得た。得られたチタン酸バリウム粉末の物性を表2に示す。
(Comparative Example 1)
To 35 L of pure water, 12.45 kg of the barium carbonate and 5 kg of the titanium dioxide A were added to obtain a raw material mixed slurry. This slurry was wet mixed by a ball mill (zirconia beads having a bead diameter of 1 mm) for 6 hours. After the mixing treatment, the mixture was dried at 130 ° C. for 2 hours to obtain a raw material mixture. Table 1 shows the physical properties of this raw material mixture.
Next, the obtained dried material mixture was fired by holding at 995 ° C. for 6 hours in an electric furnace, cooled to room temperature, and then pulverized by a jet mill to obtain barium titanate powder. Table 2 shows the physical properties of the obtained barium titanate powder.

(比較例2)
純水35Lに、前記炭酸バリウム12.45kg、前記二酸化チタンB 5kgを加え、これに硝酸アルミニウムゲル2.32kgを添加して原料混合スラリーを得た。このスラリーをボールミル(ビーズ径が1mmのジルコニアビーズ)により6時間、湿式混合した。混合処理後、130℃で2時間乾燥して原料粉末混合物を得た。この原料粉末混合物の物性を表1に示す。
次いで、得られた原料粉末混合物の乾燥物を、電気炉により1040℃で6時間保持して焼成し、室温まで冷却後、ジェットミルにより粉砕を行ってチタン酸バリウム粉末を得た。得られたチタン酸バリウム粉末の物性を表2に示す。
(Comparative Example 2)
To 35 L of pure water, 12.45 kg of the barium carbonate and 5 kg of the titanium dioxide B were added, and 2.32 kg of aluminum nitrate gel was added thereto to obtain a raw material mixed slurry. This slurry was wet mixed by a ball mill (zirconia beads having a bead diameter of 1 mm) for 6 hours. After the mixing treatment, the raw material powder mixture was obtained by drying at 130 ° C. for 2 hours. Table 1 shows the physical properties of this raw material powder mixture.
Subsequently, the obtained dried material powder mixture was fired by holding at 1040 ° C. for 6 hours in an electric furnace, cooled to room temperature, and then pulverized by a jet mill to obtain barium titanate powder. Table 2 shows the physical properties of the obtained barium titanate powder.

(参考例1)
純水35Lに、前記炭酸バリウム12.45kg、前記二酸化チタンB 5kgを加え、原料混合スラリーを得た。このスラリーをボールミル(ビーズ径が1mmのジルコニアビーズ)により6時間、湿式混合した。混合処理後、130℃で2時間乾燥して原料粉末混合物を得た。この原料粉末混合物の物性を表1に示す。
次いで、得られた原料粉末混合物の乾燥物を、電気炉により965℃で6時間保持して焼成し、室温まで冷却後、ジェットミルにより粉砕を行ってチタン酸バリウム粉末を得た。得られたチタン酸バリウム粉末の物性を表2に示す。
(Reference Example 1)
To 35 L of pure water, 12.45 kg of the barium carbonate and 5 kg of the titanium dioxide B were added to obtain a raw material mixed slurry. This slurry was wet mixed by a ball mill (zirconia beads having a bead diameter of 1 mm) for 6 hours. After the mixing treatment, the raw material powder mixture was obtained by drying at 130 ° C. for 2 hours. Table 1 shows the physical properties of this raw material powder mixture.
Subsequently, the dried material powder mixture obtained was fired by holding it at 965 ° C. for 6 hours in an electric furnace, cooled to room temperature, and then pulverized by a jet mill to obtain barium titanate powder. Table 2 shows the physical properties of the obtained barium titanate powder.

Figure 2016150872
Figure 2016150872

Figure 2016150872
Figure 2016150872

<特性評価>
各実施例、各比較例及び参考例1で得られたチタン酸バリウム粉末に5質量%のPVAバインダーを加え、250メッシュ篩に通し、直径15mmφ、肉厚1mmの円盤ディスクを加圧成形して成形体を得た。この成形体を1245℃で2時間焼成した。この焼成した成形体にIn−Gaペーストで電極を塗布し、半導体化の指標となる絶縁抵抗値を求めた。その結果を表3に示す。なお、絶縁抵抗値は絶縁抵抗率計(SM−8220 TOA−DKK社製)を用い、50Vの電圧を60秒印加して測定した。
<Characteristic evaluation>
5 mass% PVA binder is added to the barium titanate powder obtained in each example, each comparative example, and reference example 1, and is passed through a 250 mesh sieve, and a disk disk having a diameter of 15 mmφ and a thickness of 1 mm is pressure-molded. A molded body was obtained. The molded body was fired at 1245 ° C. for 2 hours. An electrode was applied to the fired molded body with an In—Ga paste, and an insulation resistance value serving as an index for semiconductor formation was obtained. The results are shown in Table 3. The insulation resistance value was measured by applying a voltage of 50 V for 60 seconds using an insulation resistivity meter (SM-8220 manufactured by TOA-DKK).

Figure 2016150872
Figure 2016150872

表3の結果から明らかなように、実施例のチタン酸バリウムから得られた成形体の絶縁抵抗値は参考例のチタン酸バリウムから得られた成形体の絶縁抵抗値と変わらない結果となった。一方、比較例のチタン酸バリウムから得られた成形体の絶縁抵抗値は低いものとなり、成形体の半導体化が進んでいることが分かった。   As is apparent from the results in Table 3, the insulation resistance value of the molded body obtained from the barium titanate of the example was the same as the insulation resistance value of the molded body obtained from the barium titanate of the reference example. . On the other hand, it was found that the molded product obtained from the barium titanate of the comparative example had a low insulation resistance value, and the molded product was being made into a semiconductor.

Claims (7)

硫黄原子と、ニオブ原子と、金属原子M(Mは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素である。)と、を含有し、
硫黄原子の含有量が500質量ppm以下であり、ニオブ原子の含有量が1〜1000質量ppmであり、
ニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が、1〜3であること、
を特徴とするチタン酸バリウム。
Sulfur atom, niobium atom, and metal atom M (M is one or more elements selected from aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium and samarium). Containing,
The sulfur atom content is 500 mass ppm or less, the niobium atom content is 1-1000 mass ppm,
The ratio of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms (M / Nb) is 1 to 3,
Barium titanate characterized by
平均粒子径が0.01〜0.5μmであり、BET比表面積が1〜30m/gであることを特徴とする請求項1記載のチタン酸バリウム。 2. The barium titanate according to claim 1, having an average particle diameter of 0.01 to 0.5 μm and a BET specific surface area of 1 to 30 m 2 / g. 積層セラミックコンデンサ、圧電体、オプトエレクトロニクス材、誘電体、半導体、温度センサー用であることを特徴とする請求項1又は2いずれか1項記載のチタン酸バリウム。   3. The barium titanate according to claim 1, wherein the barium titanate is used for a multilayer ceramic capacitor, a piezoelectric body, an optoelectronic material, a dielectric, a semiconductor, or a temperature sensor. 二酸化チタンと、炭酸バリウムと、三価の金属イオンM3+を有する化合物(Mは、アルミニウム、鉄、ガリウム、イットリウム、インジウム、アンチモン、ビスマス、ランタン、ネオジム及びサマリウムから選ばれる1種又は2種以上の元素である。)と、を混合して、原料混合物を得る第一工程と、
該原料混合物を焼成して、チタン酸バリウムを得る第二工程と、
を有すること、
を特徴とするチタン酸バリウムの製造方法。
Compound having titanium dioxide, barium carbonate, and trivalent metal ion M 3+ (M is one or more selected from aluminum, iron, gallium, yttrium, indium, antimony, bismuth, lanthanum, neodymium and samarium) And a first step of obtaining a raw material mixture,
Baking the raw material mixture to obtain barium titanate;
Having
A process for producing barium titanate, characterized in that
前記二酸化チタンが、硫酸法により得られた二酸化チタンであることを特徴とする請求項4記載のチタン酸バリウムの製造方法。   The method for producing barium titanate according to claim 4, wherein the titanium dioxide is titanium dioxide obtained by a sulfuric acid method. 前記二酸化チタンが、1〜3000ppmのニオブ原子を含有していることを特徴とする請求項4又は5に記載のチタン酸バリウムの製造方法。   The method for producing barium titanate according to claim 4 or 5, wherein the titanium dioxide contains 1 to 3000 ppm of niobium atoms. 前記原料混合物中のニオブ原子のモル数に対する金属原子Mの合計モル数の比(M/Nb)が1〜3であることを特徴とする請求項4〜6に記載のチタン酸バリウムの製造方法。



7. The method for producing barium titanate according to claim 4, wherein the ratio (M / Nb) of the total number of moles of metal atoms M to the number of moles of niobium atoms in the raw material mixture is 1 to 3. 8. .



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