JP2016147282A - Calibration jig, calibration method and laser processing machine - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a calibration jib capable of accurately calibrating a gap sensor provided in a nozzle even in the case that attachments are attached to a nozzle tip part provided in a laser processing head, a calibration method and a laser processing machine.SOLUTION: The calibration jib in the laser processing machine includes a correction position 45 of calibration provided with a minute and sharp projection 49 freely penetratable through attachments 9 attached to a nozzle tip part of a laser processing head 21 in the laser processing machine, and a data acquisition position 47 having a plane that is brought into free contact with the nozzle tip part in a jig body 43. In the calibration jig 41, the correction position 45 and the data acquisition position 47 are provided proximately to a top face of the jig body 43, and the top face of the correction position 45 and the top face of the data acquisition position 47 are the same plane.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、レーザ加工ヘッドに備えたギャップセンサによって検出したワークと加工ヘッドとの間の間隙(ギャップ)の検出値のキャリブレーションを正確に行うことができるキャリブレーション治具及びキャリブレーション方法並びにレーザ加工機に係り、さらに詳細には、前記レーザ加工ヘッドに備えたノズルの先端部に、例えばビニールなどの保護フィルムの小片が付着しているような場合であっても、ノズルに備えたギャップセンサのキャリブレーションを正確に行うことができるキャリブレーション治具及びキャリブレーション方法並びにレーザ加工機に関する。   The present invention relates to a calibration jig, a calibration method, and a laser capable of accurately calibrating a detection value of a gap (gap) between a workpiece and a machining head detected by a gap sensor provided in the laser machining head. More specifically, a gap sensor provided in a nozzle even when a small piece of a protective film such as vinyl adheres to the tip of the nozzle provided in the laser processing head. The present invention relates to a calibration jig, a calibration method, and a laser processing machine that can accurately perform calibration.

レーザ加工機によって、例えば板状のワークのレーザ切断加工を行う場合、上記ワークの表面にビニールなどの保護フィルムを貼った状態でレーザ切断加工を行うことがある。この場合、前記保護フィルムなどの絶縁物の破片(小片)がレーザ加工ヘッドに備えたノズルの先端部に付着することがある。この場合、前記小片はほとんど融着して付着した状態にあり、容易に取れないことがある。したがって、キャリブレーション動作の異常原因となることがある。   When performing laser cutting processing of a plate-shaped workpiece, for example, with a laser processing machine, laser cutting processing may be performed in a state where a protective film such as vinyl is pasted on the surface of the workpiece. In this case, a piece (small piece) of an insulator such as the protective film may adhere to the tip of the nozzle provided in the laser processing head. In this case, the small pieces are almost fused and attached, and may not be easily removed. Therefore, it may cause an abnormality in the calibration operation.

なお、レーザ加工機におけるギャップセンサのキャリブレーションを行う先行文献として特許文献1がある。   Patent Document 1 is a prior document for performing calibration of a gap sensor in a laser processing machine.

特開平11−123573号公報JP-A-11-123573

前記特許文献1には、レーザ加工ヘッドに備えたノズルの先端部がスパッタ等によって汚れると、前記ノズルに備えたギャップセンサの静電容量が変化し、キャリブレーション調整値のノズルギャップと電圧の相関関係が変化して、ノズルギャップを正確に保つことが難しくなる旨の記載がある。すなわち、レーザ加工ヘッドにおけるノズル先端部の形状が変化したり、ノズル先端部に付着物があると、ノズルギャップを正確に制御してレーザ切断加工を行うことが難しくなるものであり、また接触検出の妨げにもなり、ギャップセンサーのキャリブレーション動作の不具合も発生することとなる。   In Patent Document 1, when the tip of the nozzle provided in the laser processing head is contaminated by sputtering or the like, the capacitance of the gap sensor provided in the nozzle changes, and the correlation between the nozzle gap of the calibration adjustment value and the voltage is changed. There is a description that it becomes difficult to maintain the nozzle gap accurately by changing the relationship. In other words, if the shape of the nozzle tip in the laser processing head changes or if there is a deposit on the nozzle tip, it will be difficult to accurately control the nozzle gap to perform laser cutting, and contact detection This also hinders the gap sensor calibration operation.

ところで、レーザ加工機においては、図1に概念的に示すように、レーザ加工機(図1においては図示省略)にX、Y、Z軸方向へ移動位置決め自在に備えたレーザ加工ヘッド1を、サーボモータ3によって上下方向(Z軸方向)に移動位置決めして、レーザ加工ヘッド1に備えたノズル5の先端部(下端部)とワークWとの間の間隔(ギャップ)を所望の間隔に保持してレーザ切断加工を行うのが一般的である。   By the way, in the laser processing machine, as conceptually shown in FIG. 1, a laser processing head 1 provided on a laser processing machine (not shown in FIG. 1) so as to be movable and positionable in the X, Y, and Z axis directions. The position is moved and positioned in the vertical direction (Z-axis direction) by the servo motor 3, and the distance (gap) between the tip (lower end) of the nozzle 5 provided in the laser processing head 1 and the workpiece W is maintained at a desired distance. In general, laser cutting is performed.

この場合、前記サーボモータ3によってレーザ加工ヘッド1の上下方向の位置決めを行い、ノズル5の先端部がワークWの表面に接触した状態にあるとき、レーザ加工ヘッド1の高さをZ=0に設定してある。この際、レーザ加工ヘッド1の上下動位置を検出するロータリーエンコーダなどのごとき上下位置検出器7の検出値は、例えば零に設定してある。そして、前記ノズル5に備えたギャップセンサ(図示省略)の検出値は、ノズル5の先端部とワークWとの間の間隔寸法(ギャップ)に対応して零に設定してある。すなわち、レーザ加工ヘッド1の上下位置を検出する上下位置検出器7の零点位置とギャップセンサの零点位置は相対的に一致した状態に設定してある。   In this case, when the laser machining head 1 is positioned in the vertical direction by the servo motor 3 and the tip of the nozzle 5 is in contact with the surface of the workpiece W, the height of the laser machining head 1 is set to Z = 0. It is set. At this time, the detection value of the vertical position detector 7 such as a rotary encoder that detects the vertical movement position of the laser processing head 1 is set to zero, for example. The detection value of a gap sensor (not shown) provided in the nozzle 5 is set to zero corresponding to the distance dimension (gap) between the tip of the nozzle 5 and the workpiece W. That is, the zero point position of the vertical position detector 7 that detects the vertical position of the laser processing head 1 and the zero point position of the gap sensor are set to be relatively coincident with each other.

したがって、前記サーボモータ3によってレーザ加工ヘッド1を、ワークWの上面から例えば0.2mm上昇すると、前記上下検出器7の検出値は0.2mmであり、ギャップセンサによるギャップの検出値は0.2mmに対応した検出値になる。すなわち、レーザ加工機に備えた制御装置(図示省略)の制御の下に前記サーボモータ3を正逆回転してレーザ加工ヘッド1の上下動位置を制御すると、ワークWとノズル5との間のギャップは、制御装置の指令値のとおりに正確に位置決めできるものである。すなわち、フィードバック制御が正確に行われ得るものである。   Accordingly, when the laser processing head 1 is raised by 0.2 mm from the upper surface of the workpiece W by the servo motor 3, for example, the detection value of the vertical detector 7 is 0.2 mm, and the detection value of the gap by the gap sensor is 0. The detection value corresponds to 2 mm. That is, when the servo motor 3 is rotated forward and backward under the control of a control device (not shown) provided in the laser processing machine to control the vertical movement position of the laser processing head 1, the gap between the workpiece W and the nozzle 5 is determined. The gap can be accurately positioned according to the command value of the control device. That is, feedback control can be performed accurately.

ところが、図2に示すように、ノズル5の先端部に、例えばビニールなどの保護フィルムの小片(破片)9が付着物として付着すると、ノズル5の先端部に融着し、除去しがたいものとなる。したがって、制御装置の制御の下にサーボモータ3を回転し、Z=0の高さ位置を設定するためにノズル5の先端部をワークWの表面に接触させようとすると、図2(A)に示すように、ノズル5の先端部でもってワークWを押し下げる。そして、前記小片9が破損し、ノズル5とワークWが接触すると、この接触を検出し停止することで、この間違った停止位置をZ=0の位置と認識することになる。   However, as shown in FIG. 2, when a small piece (debris) 9 of a protective film such as vinyl adheres to the tip of the nozzle 5 as an adhering substance, it is fused to the tip of the nozzle 5 and is difficult to remove. It becomes. Accordingly, when the servo motor 3 is rotated under the control of the control device and the tip of the nozzle 5 is brought into contact with the surface of the workpiece W in order to set the height position of Z = 0, FIG. As shown, the work W is pushed down by the tip of the nozzle 5. When the small piece 9 is broken and the nozzle 5 and the workpiece W come into contact with each other, the contact is detected and stopped, and the wrong stop position is recognized as a position of Z = 0.

したがって、制御装置の指令値どおりにサーボモータ3を駆動してノズル5の上下動位置の位置決めを行った場合、図2(B)〜(D)に示すように、指令値(Z=0.2、Z=1.5、Z=2.8)に対して、ノズル5の先端部とワークWの表面との間の実ギャップは指令値によるギャップより小さくなる。よって、ノズル5の先端部に小片9が付着した場合、小片9を除去する必要がある。しかし、小片9の除去が難しい場合には、ノズル5の先端部に小片が付着した状態においてキャリブレーションを行う必要がある。   Therefore, when the servo motor 3 is driven in accordance with the command value of the control device and the vertical movement position of the nozzle 5 is positioned, the command value (Z = 0..D) is obtained as shown in FIGS. 2, Z = 1.5, Z = 2.8), the actual gap between the tip of the nozzle 5 and the surface of the workpiece W is smaller than the gap by the command value. Therefore, when the small piece 9 adheres to the tip of the nozzle 5, it is necessary to remove the small piece 9. However, when it is difficult to remove the small piece 9, it is necessary to perform calibration in a state where the small piece is attached to the tip of the nozzle 5.

本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、レーザ加工機におけるキャリブレーション治具であって、レーザ加工機におけるレーザ加工ヘッドのノズル先端部に付着した付着物を貫通自在な微少な尖鋭突起を備えたキャリブレーションの補正位置と、前記ノズル先端部と接触自在な上面を有するデータ取得位置とを治具本体に備えていることを特徴とするものである。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and is a calibration jig in a laser processing machine, which is a microscopic tool capable of penetrating deposits attached to the tip of a nozzle of a laser processing head in a laser processing machine. The jig main body is provided with a calibration correction position having a sharp protrusion and a data acquisition position having an upper surface that is freely contactable with the nozzle tip.

また、前記キャリブレーション治具において、前記補正位置と前記データ取得位置は、前記治具本体の上面において近接して備えられていることを特徴とするものである。   In the calibration jig, the correction position and the data acquisition position are provided close to each other on the upper surface of the jig body.

また、前記キャリブレーション治具において、前記補正位置の上面と前記データ取得位置の上面は同一平面であることを特徴とするものである。   In the calibration jig, the upper surface of the correction position and the upper surface of the data acquisition position are the same plane.

また、前記キャリブレーション治具を用いたレーザ加工機におけるキャリブレーション方法であって、
(a)キャリブレーション治具の治具本体に備えた補正位置の上方位置にレーザ加工ヘッドを相対的に移動位置決めする行程、
(b)レーザ加工ヘッドを下降して、前記補正位置に備えた尖鋭突起とレーザ加工ヘッドに備えたノズル先端部とが接触したときの、レーザ加工ヘッドの高さ位置を検出する行程、
(c)前記治具本体に備えたデータ取得位置の上方位置にレーザ加工ヘッドを相対的に位置決めし、レーザ加工ヘッドを下降して前記データ取得位置の上面に前記ノズル先端部が接触したときの、レーザ加工ヘッドの高さ位置を検出する行程、
(d)前記補正位置でのレーザ加工ヘッドの高さ位置検出値と、前記データ取得位置でのレーザ加工ヘッドの高さ位置検出値とに基づいて高低差を演算する行程、
(e)高低差の演算結果に基づいて前記データ取得位置でのキャリブレーションの取得データの較正を行う行程、
の各工程を備えていることを特徴とするものである。
Further, a calibration method in a laser processing machine using the calibration jig,
(A) a process of relatively moving and positioning the laser processing head above the correction position provided in the jig body of the calibration jig;
(B) Lowering the laser processing head, and detecting the height position of the laser processing head when the sharp projection provided at the correction position and the nozzle tip provided in the laser processing head come into contact with each other,
(C) When the laser processing head is relatively positioned above the data acquisition position provided in the jig body, the laser processing head is lowered, and the nozzle tip is in contact with the upper surface of the data acquisition position. , The process of detecting the height position of the laser processing head,
(D) a step of calculating a height difference based on a height position detection value of the laser processing head at the correction position and a height position detection value of the laser processing head at the data acquisition position;
(E) a step of calibrating the acquired data of the calibration at the data acquisition position based on the calculation result of the height difference;
Each process is provided.

また、ワークテーブル上のワークに対してX、Y、Z軸方向へ相対的に移動位置決め自在なレーザ加工ヘッドを備え、このレーザ加工ヘッドに備えたノズルの先端部とワークとの間のギャップを検出するギャップセンサを前記ノズルに備えると共に、前記ノズル先端部とワークとの間のギャップを制御するためのギャップ制御装置を備えたレーザ加工機であって、
前記ギャップ制御装置は、前記ノズル先端部に付着した付着物を貫通自在な微少な尖鋭突起を備えたギャップの補正位置と前記ノズル先端部と接触自在な上面を有するデータ取得位置とを備えた治具本体における前記尖鋭突起に前記ノズル先端部が接触したときの、前記レーザ加工ヘッドの高さ位置検出値と、前記データ取得位置にノズル先端部が接触したときの、前記レーザ加工ヘッドの高さ位置検出値とに基づいて、高低差を演算する演算手段と、
前記データ取得位置でのキャリブレーションの取得データを、前記高低差の演算データに基づいて較正を行う較正手段と、
を備えていることを特徴とするものである。
In addition, a laser processing head that can be moved and positioned relative to the workpiece on the work table in the X, Y, and Z axis directions is provided, and a gap between the tip of the nozzle provided in the laser processing head and the workpiece is provided. A laser processing machine provided with a gap sensor for detection in the nozzle and a gap control device for controlling a gap between the nozzle tip and a workpiece,
The gap control device includes a correction position of a gap provided with a minute sharp protrusion that can pass through the deposit attached to the nozzle tip, and a data acquisition position having an upper surface that can contact the nozzle tip. The height position detection value of the laser processing head when the nozzle tip contacts the sharp projection on the tool body, and the height of the laser processing head when the nozzle tip contacts the data acquisition position An arithmetic means for calculating the height difference based on the position detection value;
Calibration means for calibrating the acquired data of the calibration at the data acquisition position based on the calculation data of the height difference;
It is characterized by having.

また、ワークテーブル上のワークに対してX、Y、Z軸方向へ相対的に移動位置決め自在なレーザ加工ヘッドを備え、このレーザ加工ヘッドに備えたノズルの先端部とワークとの間のギャップを検出するギャップセンサを前記ノズルに備えると共に、前記ノズルの先端部とワークとの間のギャップを制御するためのギャップ制御装置を備えたレーザ加工機であって、前記ノズルの先端部に付着した付着物を貫通自在な微少な尖鋭突起を備えたキャリブレーションの補正位置と、前記ノズルの先端部と接触自在な上面を備えたデータ取得位置とを備えた治具本体を、前記レーザ加工ヘッドに対してX、Y軸方向へ相対的に移動自在な位置に備え、前記治具本体を、前記レーザ加工ヘッドの下方位置へ相対的に移動位置決め自在に備えていることを特徴とするものである。   In addition, a laser processing head that can be moved and positioned relative to the workpiece on the work table in the X, Y, and Z axis directions is provided, and a gap between the tip of the nozzle provided in the laser processing head and the workpiece is provided. A laser processing machine comprising a gap sensor for detecting the nozzle and a gap control device for controlling a gap between the tip of the nozzle and a workpiece, the attachment being attached to the tip of the nozzle A jig body having a calibration correction position having a minute sharp protrusion that can penetrate the kimono and a data acquisition position having an upper surface that can be contacted with the tip of the nozzle is attached to the laser processing head. The jig body is provided at a position relatively movable in the X and Y axis directions, and is relatively movable and positioned at a position below the laser processing head. It is an feature.

本発明によれば、レーザ加工ヘッドにおけるノズル先端部に付着物が付着しているような場合であっても、ギャップセンサのキャリブレーションを正確に行うことができるものである。   According to the present invention, the gap sensor can be accurately calibrated even when a deposit is attached to the nozzle tip of the laser processing head.

レーザ加工ヘッドのノズル先端部に付着物が付着することなく、キャリブレーションが正確に行われ得る場合の説明図である。It is explanatory drawing in case a calibration can be performed correctly, without a deposit | attachment adhering to the nozzle front-end | tip part of a laser processing head. レーザ加工ヘッドのノズル先端部に付着物が付着すると、キャリブレーションが不正確になる場合の説明図である。It is explanatory drawing when a calibration becomes inaccurate if a deposit | attachment adheres to the nozzle front-end | tip part of a laser processing head. レーザ加工機の全体的構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the whole structure of a laser beam machine. キャリブレーション治具の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of a calibration jig | tool. 機能ブロック図の説明図である。It is explanatory drawing of a functional block diagram. キャリブレーション治具を使用してキャリブレーションを行う場合の作用説明図である。It is operation | movement explanatory drawing when performing calibration using a calibration jig | tool.

以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明するに、理解を容易にするために、本発明の実施形態に係るレーザ加工機の全体的構成について概念的、概略的に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For easy understanding, an overall configuration of a laser beam machine according to embodiments of the present invention will be conceptually and schematically described.

図3に示すように、本発明の実施形態に係るレーザ加工機11は、フレーム13を備えており、このフレーム13には、板状のワークWにプレス加工を行うためのパンチP、ダイDを備えた上下のタレット15U,15Lが上下に対向して水平に回転自在に備えられている。また、前記フレーム13には、パンチ加工位置に割出し位置決めされたパンチPを打圧するストライカ17が上下動自在に備えられている共に、前記ワークWを支持するワークテーブル19が備えられている。   As shown in FIG. 3, the laser processing machine 11 according to the embodiment of the present invention includes a frame 13, and the frame 13 includes a punch P and a die D for performing press working on a plate-shaped workpiece W. The upper and lower turrets 15U and 15L provided with are opposed to the upper and lower sides and are horizontally rotatable. Further, the frame 13 is provided with a striker 17 for hitting the punch P indexed and positioned at a punching position so as to be movable up and down, and a work table 19 for supporting the work W.

また、前記フレーム13における上部フレーム13Uには、前記ワークWのレーザ加工を行うレーザ加工ヘッド21を上下動自在に備えたスライダ23がY軸方向(図3において左右方向)へ移動自在に備えられている。前記レーザ加工ヘッド21は、前記レーザ加工ヘッド1に相当するもので、このレーザ加工ヘッド21の下部には、前記ノズル5に相当するノズル25が着脱交換自在に備えられている。このノズル25には、このノズル25の先端部(下端部)とワークWの表面(上面)との間隙(ギャップ)を検出するためのギャップセンサ(図示省略)が備えられている。そして、前記レーザ加工ヘッド21を上下方向に位置調節するために、前記スライダ23には前記サーボモータ3に相当するサーボモータ27が備えられており、このサーボモータ27には、前記ノズル25の上下位置を検出するための前記上下位置検出器7に相当する上下位置検出手段としてのロータリーエンコーダ29が備えられている。   Further, the upper frame 13U of the frame 13 is provided with a slider 23 provided with a laser processing head 21 for performing laser processing of the workpiece W so as to be movable up and down in a Y axis direction (left and right direction in FIG. 3). ing. The laser processing head 21 corresponds to the laser processing head 1, and a nozzle 25 corresponding to the nozzle 5 is detachably and replaceably provided below the laser processing head 21. The nozzle 25 is provided with a gap sensor (not shown) for detecting a gap (gap) between the tip (lower end) of the nozzle 25 and the surface (upper surface) of the workpiece W. In order to adjust the position of the laser processing head 21 in the vertical direction, the slider 23 is provided with a servo motor 27 corresponding to the servo motor 3. A rotary encoder 29 is provided as vertical position detecting means corresponding to the vertical position detector 7 for detecting the position.

また、前記パンチ加工位置及び前記レーザ加工ヘッド21によるレーザ加工位置に対してワークWの移動位置決めを行うために、前記フレーム13には、ワーク移動位置決め装置31が備えられている。すなわち、前記フレーム13には、X軸方向(図3において紙面に垂直な方向)に長いキャリッジベース33がY軸方向(図3において左右方向)へ移動位置決め自在に備えられており、このキャリッジベース33には、ワークWをクランプ自在な複数のワーククランプ35を備えたキャリッジ37がX軸方向へ移動位置決め自在に備えられている。   The frame 13 is provided with a workpiece movement positioning device 31 in order to position and move the workpiece W relative to the punching position and the laser processing position by the laser processing head 21. That is, the frame 13 is provided with a carriage base 33 that is long in the X-axis direction (perpendicular to the paper surface in FIG. 3) so as to be movable and positionable in the Y-axis direction (left-right direction in FIG. 3). 33 is provided with a carriage 37 having a plurality of workpiece clamps 35 that can clamp the workpiece W so as to be movable and positionable in the X-axis direction.

したがって、前記ワーククランプ35によってワークWをクランプした状態でもってキャリッジベース33をY軸方向に移動し、キャリッジ37をX軸方向に移動することにより、前記パンチ加工位置及びレーザ加工ヘッド21によるレーザ加工位置に対して、ワークWをX、Y軸方向へ移動位置決めすることができるものである。すなわち、本実施形態においては、レーザ加工とパンチ加工とを複合化したレーザ加工機でもって例示してある。なお、この種のレーザ加工機は既によく知られた構成であるから、上記レーザ加工機の構成についてのより詳細な説明は省略する。   Accordingly, by moving the carriage base 33 in the Y-axis direction and moving the carriage 37 in the X-axis direction with the workpiece W clamped by the workpiece clamp 35, the punching position and the laser machining by the laser machining head 21 are performed. The workpiece W can be moved and positioned in the X and Y axis directions with respect to the position. That is, in the present embodiment, a laser processing machine in which laser processing and punching are combined is illustrated. Since this type of laser processing machine has a well-known configuration, a more detailed description of the configuration of the laser processing machine will be omitted.

さて、前述したように、レーザ加工ヘッド21に備えたノズル25の先端部(下端部)に、例えばビニール等の小片9が付着すると、ノズル25の先端部とワークWの表面との直接的な接触を妨げることになる。したがって、レーザ加工ヘッド21又はノズル25に備えたギャップセンサのキャリブレーションを行う際、図2(A)に示すように、小片9が付着したノズル5に相当するノズル25の先端でもってワークWを押圧し、前記小片9が破損してワークWに接触すると、ワークWを押し下げて傾斜した状態になってはじめてノズルの先端とワークWが接触することになり、この位置を上下方向の基準位置(Z=0の位置)と認識することになる。よって、ワークWの表面(上面)とノズル25の先端部との間のギャップを、制御装置39の指令値どおりに制御することが難しくなるものである。   As described above, when a small piece 9 such as vinyl adheres to the tip (lower end) of the nozzle 25 provided in the laser processing head 21, the tip of the nozzle 25 and the surface of the workpiece W are directly connected. Will interfere with contact. Therefore, when the gap sensor provided in the laser processing head 21 or the nozzle 25 is calibrated, as shown in FIG. 2A, the workpiece W is held by the tip of the nozzle 25 corresponding to the nozzle 5 to which the small piece 9 is attached. When the small piece 9 is broken and comes into contact with the workpiece W, the tip of the nozzle and the workpiece W come into contact with each other only when the workpiece W is pushed down and inclined, and this position is determined as the reference position in the vertical direction ( Z = 0 position). Therefore, it becomes difficult to control the gap between the surface (upper surface) of the workpiece W and the tip of the nozzle 25 in accordance with the command value of the control device 39.

そこで、本実施形態においては、ノズル25の先端部に小片9が付着している場合であっても、レーザ加工ヘッド21に備えたギャップセンサのキャリブレーションを正確に行うことができるキャリブレーション治具41(図4参照)を備えている。このキャリブレーション治具41は、前記レーザ加工ヘッド21の下方位置へ相対的に位置決めすることができれば、レーザ加工機11の所望位置に備えることができるものである。   Therefore, in the present embodiment, even when the small piece 9 is attached to the tip of the nozzle 25, a calibration jig that can accurately perform calibration of the gap sensor provided in the laser processing head 21. 41 (see FIG. 4). The calibration jig 41 can be provided at a desired position of the laser processing machine 11 as long as the calibration jig 41 can be positioned relatively to the lower position of the laser processing head 21.

本実施形態においては、前記ワーク移動位置決め装置31における前記キャリッジ37の適宜一端側であって、前記ワーククランプ35によってワークWをクランプしたときに、ワークWと干渉しない位置に備えられている。前記キャリブレーション治具41は、板状の治具本体43を備えており、この治具本体41の上面には、キャリブレーションの補正位置45と、キャリブレーションのデータを取得するためのデータ取得位置47とを備えている。   In the present embodiment, it is provided at an appropriate one end side of the carriage 37 in the workpiece movement positioning device 31 and at a position where it does not interfere with the workpiece W when the workpiece W is clamped by the workpiece clamp 35. The calibration jig 41 includes a plate-like jig main body 43. On the upper surface of the jig main body 41, a calibration correction position 45 and a data acquisition position for acquiring calibration data. 47.

前記補正位置45の上面とデータ取得位置47の上面は段違いであってもよいが、本実施形態においては同一平面であって、補正位置45の上面には、図4(B)に示すように、前記小片9などの付着物を貫通自在な微少な尖鋭突起49が備えられている。この尖鋭突起49は、前記補正位置45の上面に、例えば十字形状の罫書き線45Aを、レーザ光や適宜の罫書工具等により形成するときに、バリとして突出するものであり、約0.1mm程度である。なお、バリなどの微小の尖鋭突起49を形成する加工としては、例えばパンチP、ダイDによって治具本体43の打抜き加工を行い、打抜き加工穴の周縁部にバリを形成する構成とすることも可能である。すなわち、前記尖鋭突起49は、例えばビニールなどの付着物を貫通する機能を有すればよいものである。ところで、前記データ取得位置47は前記補正位置45に近接して同一面に備えられている。そして、前記データ取得位置47の上面は、前記ノズル25の先端部が接触自在な平面に形成してある。   The upper surface of the correction position 45 and the upper surface of the data acquisition position 47 may be different from each other, but in the present embodiment, they are the same plane, and the upper surface of the correction position 45 is as shown in FIG. Further, a minute sharp protrusion 49 is provided which can penetrate through the deposit such as the small piece 9. The sharp protrusion 49 protrudes as a burr when, for example, a cross-shaped ruled line 45A is formed on the upper surface of the correction position 45 with a laser beam or an appropriate ruled tool, and the like is about 0.1 mm. Degree. In addition, as a process for forming the minute sharp protrusion 49 such as a burr, for example, the jig body 43 may be punched by a punch P and a die D, and a burr may be formed at the peripheral portion of the punched hole. Is possible. In other words, the sharp protrusion 49 only needs to have a function of penetrating a deposit such as vinyl. Incidentally, the data acquisition position 47 is provided on the same surface in the vicinity of the correction position 45. The upper surface of the data acquisition position 47 is formed on a flat surface where the tip of the nozzle 25 can be contacted.

以上のごとき構成において、レーザ加工ヘッド21におけるノズル25の先端部に、例えば小片9が付着した状態でもってギャップセンサのキャリブレーションを行うには、前記レーザ加工機11の動作を制御する前記制御装置39の制御の下に行うものである。前記制御装置39はコンピュータから構成してあって、図5に示すように、CPU51、RAM53、ROM55を備えると共に、入力手段57、出力手段59を備えている。   In the configuration as described above, in order to calibrate the gap sensor with, for example, the small piece 9 attached to the tip of the nozzle 25 in the laser processing head 21, the control device that controls the operation of the laser processing machine 11 is performed. This is performed under the control of 39. As shown in FIG. 5, the control device 39 includes a CPU 51, a RAM 53, and a ROM 55, as well as an input means 57 and an output means 59.

さらに、前記制御装置39には、キャリブレーション動作を行うためのキャリブレーションプログラムを格納したプログラムメモリ61が備えられている。また、前記制御装置39には、前記プログラムメモリ61に格納されたキャリブレーションプログラムを解析するプログラム解析手段63が備えられていると共に、このプログラム解析手段63の解析結果に基づいて前記ワーク移動位置決め装置31の移動動作を制御する第1の動作制御手段65が備えられている。また前記プログラム解析手段63の解析結果に基づいて前記レーザ加工ヘッド21の移動動作を制御する第2の動作制御手段67が備えられている。   Furthermore, the control device 39 is provided with a program memory 61 that stores a calibration program for performing a calibration operation. Further, the control device 39 is provided with program analysis means 63 for analyzing the calibration program stored in the program memory 61, and based on the analysis result of the program analysis means 63, the workpiece movement positioning device. First operation control means 65 for controlling the movement operation 31 is provided. Further, second operation control means 67 for controlling the moving operation of the laser processing head 21 based on the analysis result of the program analysis means 63 is provided.

また、前記制御装置39には、前記レーザ加工ヘッド21を下降したとき、前記尖鋭突起49がノズル25の先端に接触したことを検出するための接触検出手段69が接続してある。なお、接触検出手段69は、尖鋭突起49とノズル25の先端との接触を電気的に検出する構成やサーボモータ27の負荷変動を検出する構成、ロータリーエンコーダ29の停止を検出する構成など、所望の構成とすることができるものである。そして、前記接触検出手段69が接触を検出したときに、前記ロータリーエンコーダ29により検出したノズル25の高さ位置H1(図6参照)、例えば治具本体43の上面(基準位置S)からの上下動位置のデータを格納する第1メモリ71が前記制御装置39に備えられている。   The control device 39 is connected to contact detecting means 69 for detecting that the sharp projection 49 has contacted the tip of the nozzle 25 when the laser processing head 21 is lowered. The contact detection means 69 is configured to detect contact between the sharp protrusion 49 and the tip of the nozzle 25, detect load fluctuation of the servo motor 27, detect stop of the rotary encoder 29, and the like. It can be set as this structure. When the contact detection means 69 detects contact, the height position H1 of the nozzle 25 detected by the rotary encoder 29 (see FIG. 6), for example, the upper and lower positions from the upper surface (reference position S) of the jig body 43, for example. The control device 39 is provided with a first memory 71 for storing moving position data.

また、前記制御装置39には、前記データ取得位置47の上面に、小片9が付着していない状態のノズル25の先端部が接触したことを前記接触検出手段69によって検出したときに、前記ロータリーエンコーダ29によって検出したノズル25の基準位置Sからの上下動位置のデータH2(符号省略:一般的にはH2=0になる)を格納する第2メモリ75が前記制御装置39に備えられている。   Further, when the contact detecting means 69 detects that the tip of the nozzle 25 in a state in which the small piece 9 is not attached to the upper surface of the data acquisition position 47, the control device 39 has the rotary device. The control device 39 is provided with a second memory 75 for storing data H2 of the vertical movement position from the reference position S of the nozzle 25 detected by the encoder 29 (reference numeral omitted: generally H2 = 0). .

さらに、前記制御装置39には演算手段77が備えられている。この演算手段77は、前記第1、第2のメモリ71,75に格納されたデータH1,H2に基づいて、前記補正位置45におけるノズル25の高さ位置と、前記データ取得位置47におけるノズル25の高さ位置との高低差D、すなわち基準位置Sからの尖鋭突起49の高さを演算し、この高低差Dのデータを第3メモリ81に格納する。   Further, the control device 39 is provided with a calculation means 77. The calculation means 77 is based on the data H1 and H2 stored in the first and second memories 71 and 75, and the height position of the nozzle 25 at the correction position 45 and the nozzle 25 at the data acquisition position 47. The height difference D from the reference position S, that is, the height of the sharp protrusion 49 from the reference position S is calculated, and data of the height difference D is stored in the third memory 81.

さらに、前記ギャップ制御装置39には、較正手段79が備えられている。この較正手段79は、前記データ取得位置47において取得したキャリブレーションデータを、前記第3メモリ81に格納された高低差Dに相当するギャップセンサの検出値に基づいて較正を行う機能を有するものである。   Further, the gap control device 39 is provided with a calibration means 79. The calibration means 79 has a function of calibrating the calibration data acquired at the data acquisition position 47 based on the detection value of the gap sensor corresponding to the height difference D stored in the third memory 81. is there.

さて、以上のごとき構成において、キャリブレーションデータの較正を行うには、先ず、ノズル25の先端部を補正位置45の上方位置に位置決めし、ノズル25を下降すると、ノズル25に小片9が付着している場合には、図6(A)に模式的に図示するように、尖鋭突起49は小片9を貫通して、また、ノズル25に小片9が付着していない場合には、そのまま尖鋭突起49がノズル25の先端部に接触する。この際、接触検出手段69によって接触が検出されると、接触検知された高さ位置のデータH1は第1メモリ71に格納される。   In the configuration as described above, in order to calibrate the calibration data, first, when the tip of the nozzle 25 is positioned above the correction position 45 and the nozzle 25 is lowered, the small piece 9 adheres to the nozzle 25. 6A, the sharp projection 49 passes through the small piece 9, and when the small piece 9 is not attached to the nozzle 25, the sharp projection 49 is directly intact. 49 contacts the tip of the nozzle 25. At this time, when a contact is detected by the contact detection unit 69, the data H <b> 1 of the height position where the contact is detected is stored in the first memory 71.

ところで、図6の図示においては、補正位置45とデータ取得位置47との上面は基準位置Sと同一平面に備えた場合について例示してある。小片9が付着していない状態で予め演算手段77により演算された高低差Dが第3メモリ81に格納されているので、尖鋭突起49に当接した高さ位置から、この予め第3メモリ81に格納された尖鋭突起49の高さ寸法に相当する高低差Dだけ下降した位置が基準位置Sであると知ることができる。よって、尖鋭突起49に当接した位置から高低差Dだけ下降した位置におけるキャップセンサの検出値を、ギャップ零に設定する。   Incidentally, in the illustration of FIG. 6, the upper surface of the correction position 45 and the data acquisition position 47 is illustrated as being provided on the same plane as the reference position S. Since the height difference D calculated in advance by the calculation means 77 in a state where the small piece 9 is not attached is stored in the third memory 81, the third memory 81 is preliminarily determined from the height position in contact with the sharp protrusion 49. It can be known that the reference position S is a position that has been lowered by a height difference D corresponding to the height dimension of the sharp protrusion 49 stored in. Therefore, the detected value of the cap sensor at the position lowered by the height difference D from the position in contact with the sharp protrusion 49 is set to zero gap.

すなわち、データ取得位置47の上面にノズル25が接触したときにおけるギャップセンサの検出値を、前記高低差Dに相当するギャップセンサの検出値でもって較正することにより、ノズル25に小片9が付着しているような場合であっても、ギャップセンサの検出値を正確に較正できることになる。   That is, by calibrating the detection value of the gap sensor when the nozzle 25 comes into contact with the upper surface of the data acquisition position 47 with the detection value of the gap sensor corresponding to the height difference D, the small piece 9 adheres to the nozzle 25. Even in such a case, the detection value of the gap sensor can be accurately calibrated.

既に理解されるように、本実施形態によれば、キャリブレーション動作の際に、ノズル25の先端に小片9が付着していなくても、またノズル25の先端部に小片9が付着していても尖鋭突起49との接触をまったく同じ動作で検知できるものである。よって、データ取得位置47でノズル25の先端部を接触した状態におけるギャップセンサ(図示省略)の検出値を、較正手段79によって較正することにより、ギャップセンサの較正を正しく行うことができ、ノズル25の先端に小片9が付着していても、ノズル25の先端部のキャリブレーションを正しく行うことができることとなる。したがって、基準位置Sとの間のギャップを正確に制御できることになるものである。   As already understood, according to the present embodiment, even when the small piece 9 is not attached to the tip of the nozzle 25 during the calibration operation, the small piece 9 is attached to the tip of the nozzle 25. Also, contact with the sharp protrusion 49 can be detected with exactly the same operation. Therefore, by calibrating the detection value of the gap sensor (not shown) in the state where the tip of the nozzle 25 is in contact with the data acquisition position 47 by the calibration means 79, the gap sensor can be calibrated correctly. Even if the small piece 9 is attached to the tip of the nozzle 25, the tip of the nozzle 25 can be correctly calibrated. Therefore, the gap with respect to the reference position S can be accurately controlled.

すなわち、データ取得位置47において、プログラムメモリ61に格納されたキャリブレーションプログラムに従って、各ギャップポジション毎にキャリブレーションデータを取得する。上記各キャリブレーションデータを、第2メモリ75に一時的に格納する。そして、較正手段79において前記高低差Dに相当するギャップセンサの検出値でもって較正を行い、この較正を行ったキャリブレーションデータによって第2メモリ75のデータを更新することにより、正確なギャップの制御を行い得るものである。   That is, at the data acquisition position 47, calibration data is acquired for each gap position in accordance with the calibration program stored in the program memory 61. Each calibration data is temporarily stored in the second memory 75. Then, calibration is performed with the detection value of the gap sensor corresponding to the height difference D in the calibration means 79, and the data in the second memory 75 is updated with the calibration data subjected to the calibration, so that accurate gap control is performed. Can be done.

以上のごとき説明より理解されるように、本実施形態によれば、レーザ加工ヘッド21に備えたノズル25の先端部に付着物が付着した場合であっても、上記ノズル25に備えたギャップセンサのキャリブレーションを正確に行うことができ、ノズル25の先端部とワークとの間のギャップを常に正確に制御可能になるものである。したがって、レーザ加工機によるレーザ切断加工を精度よく行い得るものである。   As can be understood from the above description, according to the present embodiment, the gap sensor provided in the nozzle 25 can be used even when a deposit is attached to the tip of the nozzle 25 provided in the laser processing head 21. Can be accurately performed, and the gap between the tip of the nozzle 25 and the workpiece can always be accurately controlled. Therefore, the laser cutting processing by the laser processing machine can be performed with high accuracy.

なお、前記説明においては、補正位置45とデータ取得位置47を同一平面に備えている場合について説明した。しかし、補正位置45とデータ取得位置47を予め既知の段違いに備えることも可能である。   In the above description, the case where the correction position 45 and the data acquisition position 47 are provided on the same plane has been described. However, it is also possible to provide the correction position 45 and the data acquisition position 47 in advance with known differences.

1 レーザ加工ヘッド
5 ノズル
21 レーザ加工ヘッド
25 ノズル
29 ロータリーエンコーダ(上下位置検出手段)
39 制御装置
41 キャリブレーション治具
43 治具本体
45 キャリブレーションの補正位置
47 データ取得位置
49 尖鋭突起
69 接触検出手段
71 第1メモリ
75 第2メモリ
77 演算手段

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser processing head 5 Nozzle 21 Laser processing head 25 Nozzle 29 Rotary encoder (up-down position detection means)
39 Control Device 41 Calibration Jig 43 Jig Body 45 Calibration Correction Position 47 Data Acquisition Position 49 Sharp Projection 69 Contact Detection Means 71 First Memory 75 Second Memory 77 Calculation Means

Claims (6)

レーザ加工機におけるキャリブレーション治具であって、レーザ加工機におけるレーザ加工ヘッドのノズル先端部に付着した付着物を貫通自在な微少な尖鋭突起を備えたキャリブレーションの補正位置と、前記ノズル先端部と接触自在な上面を有するデータ取得位置とを治具本体に備えていることを特徴とするキャリブレーション治具。   A calibration jig in a laser processing machine, the calibration correction position having a minute sharp projection that can penetrate through the deposit attached to the nozzle tip of the laser processing head in the laser processing machine, and the nozzle tip A calibration jig characterized in that a jig body has a data acquisition position having an upper surface that is freely contactable with the jig. 請求項1に記載のキャリブレーション治具において、前記補正位置と前記データ取得位置は、前記治具本体の上面において近接して備えられていることを特徴とするキャリブレーション治具。   The calibration jig according to claim 1, wherein the correction position and the data acquisition position are provided close to each other on an upper surface of the jig body. 請求項2に記載のキャリブレーション治具において、前記補正位置の上面と前記データ取得位置の上面は同一平面であることを特徴とするキャリブレーション治具。   3. The calibration jig according to claim 2, wherein an upper surface of the correction position and an upper surface of the data acquisition position are the same plane. 請求項1、2又は3に記載のキャリブレーション治具を用いたレーザ加工機におけるキャリブレーション方法であって、
(a)キャリブレーション治具の治具本体に備えた補正位置の上方位置にレーザ加工ヘッドを相対的に移動位置決めする行程、
(b)レーザ加工ヘッドを下降して、前記補正位置に備えた尖鋭突起とレーザ加工ヘッドに備えたノズル先端部とが接触したときの、レーザ加工ヘッドの高さ位置を検出する行程、
(c)前記治具本体に備えたデータ取得位置の上方位置にレーザ加工ヘッドを相対的に位置決めし、レーザ加工ヘッドを下降して前記データ取得位置の上面に前記ノズル先端部が接触したときの、レーザ加工ヘッドの高さ位置を検出する行程、
(d)前記補正位置でのレーザ加工ヘッドの高さ位置検出値と、前記データ取得位置でのレーザ加工ヘッドの高さ位置検出値とに基づいて高低差を演算する行程、
(e)前記高低差の演算結果に基づいて前記データ取得位置でのキャリブレーションの取得データの較正を行う行程、
の各工程を備えていることを特徴とするレーザ加工機におけるキャリブレーション方法。
A calibration method in a laser processing machine using the calibration jig according to claim 1, 2, or 3,
(A) a process of relatively moving and positioning the laser processing head above the correction position provided in the jig body of the calibration jig;
(B) Lowering the laser processing head, and detecting the height position of the laser processing head when the sharp projection provided at the correction position and the nozzle tip provided in the laser processing head come into contact with each other,
(C) When the laser processing head is relatively positioned above the data acquisition position provided in the jig body, the laser processing head is lowered, and the nozzle tip is in contact with the upper surface of the data acquisition position. , The process of detecting the height position of the laser processing head,
(D) a step of calculating a height difference based on a height position detection value of the laser processing head at the correction position and a height position detection value of the laser processing head at the data acquisition position;
(E) a step of calibrating acquired data of calibration at the data acquisition position based on the calculation result of the height difference;
A calibration method in a laser beam machine characterized by comprising the steps described above.
ワークテーブル上のワークに対してX、Y、Z軸方向へ相対的に移動位置決め自在なレーザ加工ヘッドを備え、このレーザ加工ヘッドに備えたノズルの先端部とワークとの間のギャップを検出するギャップセンサを前記ノズルに備えると共に、前記ノズル先端部とワークとの間のギャップを制御するためのギャップ制御装置を備えたレーザ加工機であって、
前記ギャップ制御装置は、前記ノズル先端部に付着した付着物を貫通自在な微少な尖鋭突起を備えたギャップの補正位置と前記ノズル先端部と接触自在な上面を有するデータ取得位置とを備えた治具本体における前記尖鋭突起に前記ノズル先端部が接触したときの、前記レーザ加工ヘッドの高さ位置検出値と、前記データ取得位置にノズル先端部が接触したときの、前記レーザ加工ヘッドの高さ位置検出値とに基づいて高低差を演算する演算手段と、
前記データ取得位置でのキャリブレーションの取得データを、前記高低差の演算データに基づいて較正を行う較正手段と、
を備えていることを特徴とするレーザ加工機。
A laser processing head that can be moved and positioned relative to the workpiece on the work table in the X, Y, and Z axis directions is provided, and a gap between the tip of the nozzle provided in the laser processing head and the workpiece is detected. A laser processing machine provided with a gap sensor in the nozzle and a gap control device for controlling a gap between the nozzle tip and a workpiece,
The gap control device includes a correction position of a gap provided with a minute sharp protrusion that can pass through the deposit attached to the nozzle tip, and a data acquisition position having an upper surface that can contact the nozzle tip. The height position detection value of the laser processing head when the nozzle tip contacts the sharp projection on the tool body, and the height of the laser processing head when the nozzle tip contacts the data acquisition position A calculation means for calculating a height difference based on the position detection value;
Calibration means for calibrating the acquired data of the calibration at the data acquisition position based on the calculation data of the height difference;
A laser processing machine comprising:
ワークテーブル上のワークに対してX、Y、Z軸方向へ相対的に移動位置決め自在なレーザ加工ヘッドを備え、このレーザ加工ヘッドに備えたノズルの先端部とワークとの間のギャップを検出するギャップセンサを前記ノズルに備えると共に、前記ノズルの先端部とワークとの間のギャップを制御するためのギャップ制御装置を備えたレーザ加工機であって、前記ノズルの先端部に付着した付着物を貫通自在な微少な尖鋭突起を備えたキャリブレーションの補正位置と、前記ノズルの先端部と接触自在な上面を備えたデータ取得位置とを備えた治具本体を、前記レーザ加工ヘッドに対してX、Y軸方向へ相対的に移動自在な位置に備え、前記治具本体を、前記レーザ加工ヘッドの下方位置へ相対的に移動位置決め自在に備えていることを特徴とするレーザ加工機。
A laser processing head that can be moved and positioned relative to the workpiece on the work table in the X, Y, and Z axis directions is provided, and a gap between the tip of the nozzle provided in the laser processing head and the workpiece is detected. A laser processing machine including a gap sensor in the nozzle and a gap control device for controlling a gap between the tip of the nozzle and a workpiece, and deposits adhered to the tip of the nozzle A jig main body having a calibration correction position having a fine pointed protrusion that can be penetrated and a data acquisition position having an upper surface that can be brought into contact with the tip of the nozzle is set to the laser processing head. The jig body is provided at a position relatively movable in the Y-axis direction, and the jig main body is relatively movable to a position below the laser processing head. Laser processing machine for.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108480636A (en) * 2018-05-24 2018-09-04 成都青石激光科技有限公司 A kind of laser gain material manufacture check and punctuate device
JP6415783B1 (en) * 2017-10-19 2018-10-31 三菱電機株式会社 Laser processing machine and laser processing system

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11123573A (en) * 1997-10-15 1999-05-11 Amada Co Ltd Method and device for calibration of gap sensor in machining head
JP2010149159A (en) * 2008-12-25 2010-07-08 Komatsu Ntc Ltd Laser beam machining method and laser beam machining apparatus
JP2010214413A (en) * 2009-03-17 2010-09-30 Nisshinbo Holdings Inc Laser processing apparatus with alignment correction function
US20110089956A1 (en) * 2009-09-22 2011-04-21 Laser Mechanisms, Inc. Fast Response Capacitive Gauging System Featuring Steep Slope Filter Discrimination Circuit
JP2013146734A (en) * 2012-01-17 2013-08-01 Amada Co Ltd Gap control device of laser beam machine

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11123573A (en) * 1997-10-15 1999-05-11 Amada Co Ltd Method and device for calibration of gap sensor in machining head
JP2010149159A (en) * 2008-12-25 2010-07-08 Komatsu Ntc Ltd Laser beam machining method and laser beam machining apparatus
JP2010214413A (en) * 2009-03-17 2010-09-30 Nisshinbo Holdings Inc Laser processing apparatus with alignment correction function
US20110089956A1 (en) * 2009-09-22 2011-04-21 Laser Mechanisms, Inc. Fast Response Capacitive Gauging System Featuring Steep Slope Filter Discrimination Circuit
JP2013146734A (en) * 2012-01-17 2013-08-01 Amada Co Ltd Gap control device of laser beam machine

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6415783B1 (en) * 2017-10-19 2018-10-31 三菱電機株式会社 Laser processing machine and laser processing system
WO2019077720A1 (en) * 2017-10-19 2019-04-25 三菱電機株式会社 Laser machining apparatus and laser machining system
CN110114184A (en) * 2017-10-19 2019-08-09 三菱电机株式会社 Laser machine and laser-processing system
US10940559B2 (en) 2017-10-19 2021-03-09 Mitsubishi Electric Corporation Laser processing machine and system for shaft adjustment
CN108480636A (en) * 2018-05-24 2018-09-04 成都青石激光科技有限公司 A kind of laser gain material manufacture check and punctuate device
CN108480636B (en) * 2018-05-24 2024-03-29 成都青石激光科技有限公司 Laser additive manufacturing correction device

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