JP2016143699A - Wafer with thermocouple - Google Patents
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 30
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 229910001006 Constantan Inorganic materials 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 229910001179 chromel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940037003 alum Drugs 0.000 description 1
- 238000009954 braiding Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N platinum rhodium Chemical compound [Rh].[Pt] PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
本発明は、熱電対付きウエハに関し、より詳細には、ウエハに束ねて固定された熱電対が故障した際に、固定用線材とウエハとの固定状態を維持して、該当する熱電対のみを交換又は修理して、熱電対が故障した際のコストを低減する熱電対付きウエハに関する。 The present invention relates to a wafer with a thermocouple, and more specifically, when a thermocouple bundled and fixed to a wafer fails, the fixing wire and the wafer are maintained in a fixed state, and only the corresponding thermocouple is used. The present invention relates to a wafer with a thermocouple that can be replaced or repaired to reduce the cost when the thermocouple fails.
シリコンウエハを製造する過程においては、加熱処理装置内のウエハの表面温度を検知することが重要であるため、ウエハの表面に熱電対の測温部を埋設した熱電対付きウエハを使用している。 In the process of manufacturing a silicon wafer, since it is important to detect the surface temperature of the wafer in the heat treatment apparatus, a wafer with a thermocouple in which a thermocouple temperature measuring unit is embedded on the surface of the wafer is used. .
熱電対付きウエハは、熱電対の測温部から熱電対線を引き出して、外部の計測器に接続している。そのため、この熱電対付きウエハを使用する際に、熱電対線を介してウエハに埋設した測温部に引張り力や捩りモーメント等が加わるので、この負荷により、測温部が抜けて外れてしまう、又は測温部付近の熱電対線が切断されてしまうという問題が起きる。 The wafer with a thermocouple is connected to an external measuring instrument by pulling out a thermocouple wire from the temperature measuring section of the thermocouple. For this reason, when using this thermocouple-equipped wafer, a tensile force or a torsional moment is applied to the temperature measuring part embedded in the wafer via the thermocouple wire. Alternatively, there is a problem that the thermocouple wire near the temperature measuring section is cut.
この問題に対して、本願発明の発明者らは、固定部材や接着剤で複数の熱電対線を束ねてウエハの表面上に固定して、測温部が抜けて外れてしまうことを防止した熱電対付きウエハを提案している(例えば、特許文献1参照)。 In order to solve this problem, the inventors of the present invention bundled a plurality of thermocouple wires with a fixing member or an adhesive and fixed them on the surface of the wafer, thereby preventing the temperature measuring part from coming off and coming off. A wafer with a thermocouple has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
この熱電対付きウエハは、固定用線材の両端部の固定用被覆材を剥がして、むき出しにした固定用素線を接着剤でウエハに固定して、測温部からウエハの外側に配置された測定器に接続された複数の熱電対素線のそれぞれが被覆材で被覆された熱電対線を、ウエハに固定している。 This thermocouple-attached wafer was placed on the outside of the wafer from the temperature measuring section by peeling off the fixing covering material at both ends of the fixing wire and fixing the exposed fixing wire to the wafer with an adhesive. A thermocouple wire in which each of a plurality of thermocouple wires connected to the measuring instrument is coated with a coating material is fixed to the wafer.
この熱電対の熱電対線を固定用線材でウエハに固定した熱電対ウエハにおいては、熱電対線を固定用線材でウエハに固定することで、測温部がウエハから外れてしまうことを防止しながら、従来の鋭利な角を有するものや乾燥して鋭利な縁ができてしまう接着剤で複数の熱電対線を束ねて固定した際に生じる被覆材が破けることを防止できると共に、接着剤の使用量を接着剤の量を減らして、接着剤とウエハの表面との膨張率が異なることを起因とするウエハの歪みを防止できる。 In the thermocouple wafer in which the thermocouple wire of this thermocouple is fixed to the wafer with the fixing wire, the thermocouple wire is fixed to the wafer with the fixing wire to prevent the temperature measuring unit from being detached from the wafer. However, it is possible to prevent the covering material generated when a plurality of thermocouple wires are bundled and fixed with a conventional adhesive having a sharp corner or a dry sharp edge, and an adhesive. By reducing the amount of adhesive used, it is possible to prevent distortion of the wafer caused by the difference in expansion coefficient between the adhesive and the surface of the wafer.
一方で、固定用線材で複数の熱電対線を束ねてウエハに固定すると、一つの熱電対が故障した場合に、その該当する熱電対のみを交換、又は修理することが難しい。この場合には、固定用線材とウエハとを固定している接着剤を剥がす、固定用線材を切断して解放する、あるいは、熱電対付きウエハごと交換するなどを行っており、修理に掛かるコストが高くなるという問題が新たに見つかった。 On the other hand, if a plurality of thermocouple wires are bundled and fixed to a wafer with a fixing wire, it is difficult to replace or repair only the corresponding thermocouple when one thermocouple fails. In this case, the adhesive for fixing the fixing wire and the wafer is peeled off, the fixing wire is cut and released, or the entire wafer with a thermocouple is replaced. A new problem has been found.
本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、その課題は、ウエハに束ねて固定された熱電対が故障した際に、固定用線材とウエハとの固定状態を維持して、該当する熱電対のみを交換又は修理して、熱電対が故障した際のコストを低減する熱電対付きウエハ
を提供することである。
The present invention has been made in view of the above problems, and the problem is that when the thermocouple bundled and fixed to the wafer breaks down, the fixing wire and the wafer are maintained in a fixed state, and the problem is applicable. It is to provide a wafer with a thermocouple that replaces or repairs only the thermocouple to reduce the cost when the thermocouple fails.
上記の課題を解決する本発明の熱電対付きウエハは、ウエハ、熱電対、固定用線材および束縛用線材を有する熱電対付きウエハであって、前記熱電対を構成する一組の熱電対素線の端部を接合した測温部が前記ウエハに埋設され、前記固定用線材が前記熱電対の配線方向に略直角に配置され、かつその両端部が前記ウエハに固定され、前記束縛用線材が、複数の前記熱電対の配線を束ねて前記固定用線材に着脱可能に固定したことを特徴とする。 A wafer with a thermocouple of the present invention that solves the above problems is a wafer with a thermocouple having a wafer, a thermocouple, a fixing wire, and a binding wire, and a set of thermocouple wires that constitute the thermocouple A temperature measuring unit joined to the end of the wire is embedded in the wafer, the fixing wire is arranged substantially perpendicular to the wiring direction of the thermocouple, and both ends thereof are fixed to the wafer, and the binding wire is A plurality of thermocouple wires are bundled and fixed to the fixing wire in a detachable manner.
本発明の熱電対付きウエハによれば、固定用線材および束縛用線材を用いて複数の熱電対線の配線の途中をウエハに着脱可能に固定するようにしたので、固定用線材とウエハとの固定状態を維持したまま、故障した熱電対のみを交換又は修理することができる。これにより、従来のように固定用線材とウエハとを固定している接着剤を剥がしたり、固定用線材を切断して解放したり、あるいは、熱電対付きウエハごと交換したりすることを行わずに、故障した熱電対のみを容易に交換又は修理できるので、故障した際のコストを低減できる。 According to the thermocouple-equipped wafer of the present invention, the fixing wire and the binding wire are used to detachably fix the middle of the plurality of thermocouple wires to the wafer. Only the failed thermocouple can be replaced or repaired while remaining fixed. As a result, the adhesive for fixing the fixing wire and the wafer is not peeled off, the fixing wire is cut and released, or the entire wafer with a thermocouple is not replaced. In addition, since only the failed thermocouple can be easily replaced or repaired, the cost at the time of failure can be reduced.
以下、本発明の熱電対付きウエハについて説明する。図1は、本発明の第一実施形態の熱電対付きウエハ10の製造途中の構成を例示している。図2は、図1に構成に束縛用線材40を用いて複数の熱電対20の配線23、25を束ねて固定した構成を例示している。この熱電対付きウエハ10は、加熱処理装置内のウエハの表面温度を検知するものである。なお、図面に関しては、構成が分かり易いように寸法を変化させており、各部材、各部品の板厚や幅や長さなどの比率も必ずしも実際に製造するものの比率とは一致させていない。
Hereinafter, the wafer with thermocouple of the present invention will be described. FIG. 1 illustrates a configuration in the middle of manufacturing the thermocouple-equipped
図1に示すように、熱電対付きウエハ10は、ウエハ11と、図示しない計測器に接続された複数の熱電対20と、複数の熱電対20の配線方向の一部をウエハ11の垂直方向に拘束する固定用線材30とを備えている。なお、複数の熱電対20については、それぞれ同様の構成であり、重複を避けるため、そのうちの一つを例に上げて説明する。
As shown in FIG. 1, a
ウエハ11は、半導体素子製造の材料であって、円柱状のインドゴットを薄くスライスした円板状の板で構成されている。このウエハ11の表面には、凹状に形成された複数の埋設孔12が形成されている。
The
熱電対20は、熱電対素線21が被覆材22で被覆された配線(熱電対線)23と、熱電対素線24が被覆材22で被覆された配線(熱電対線)25とを有して構成されている。この熱電対20は、一対の熱電対素線21、24の端部をスポット溶接で接合して形成された測温部26が、ウエハ11の表面上に形成された埋設孔12に埋設されて、その埋設孔12に接着剤13が充填されて固定されている。
The
この熱電対20としては、熱電対素線21をアルメル、熱電対素線24をクロメルで構成したタイプK、熱電対素線21を白金、熱電対素線24を白金ロジウムで構成したタイプR、熱電対素線21をクロメル、熱電対素線24をコンスタンタンで構成したタイプE、及び熱電対素線21を鉄、熱電対素線24をコンスタンタンで構成したタイプJ等が例示できる。また、熱電対20の熱電対素線21、24の外径は、例えば、0.1mm〜0.5mmに設定されている。
As the
被覆材22は、耐熱性の違いから、耐熱ビニールなどの合成樹脂、フッ素樹脂、シリカガラス繊維、及びセラミック繊維を例示できる。この被覆材22として、シリカガラス繊維、及びセラミック繊維などの繊維質の材料を用いる場合には、網組加工を施すことにより、柔軟性を向上させることが好ましい。また、加熱処理装置内においては、ウエハ11の表面温度が300度〜1200度と高温になることから、被覆材22としては、耐熱性、電気絶縁性に優れ、更に、柔軟性にも優れるアルミナ、シリカを主成分とするアルミナ繊維が好ましい。
The covering
固定用線材30は、固定用素線31が固定用被覆材32で被覆された線材で構成されている。この固定用線材30は、ウエハ11の外縁部の近傍に配置されると共に複数の配線23、25の配線方向を横断する方向、すなわち、配線方向に略直角に配置されている。この固定用線材30は、両端部の固定用被覆材32が剥がされて、むき出しにされた固定用素線31のそれぞれが接着剤14でウエハ11の表面に固定されている。
The
なお、固定用線材30は、熱電対20の配線方向の一部をウエハ11の垂直方向に拘束する、すなわち複数の配線23、25の表側を跨ぐように配置されているが、複数の配線23、25の裏側に潜るように配置されてもよい。また、接着剤14は、熱電対20の測温部26を固定する接着剤13と同じものを使用してもよい。また、実施形態では、一本の固定用線材30をウエハ11に固定したが、複数の固定用線材30をウエハ11に固定してもよい。
The
従来技術の熱電対付きウエハにおいては、この固定用線材30を複数の配線23、25に巻回して、固定用線材30を縛ることによって、複数の配線23、25を束ねて、その配線方向および垂直方向に固定していたが、熱電対20が故障した場合に、該当する熱電対20のみを交換、又は修理することが難しかった。
In the wafer with a thermocouple of the prior art, the
そこで、図2に示すように、本発明の熱電対付きウエハ10は、束縛用線材40を備え、束縛用線材40が、複数の熱電対20の配線23、25を束ねて固定用線材30に着脱可能に固定するように構成される。
Therefore, as shown in FIG. 2, the thermocouple-equipped
図3は、図2の矢視方向IIIで示す断面図であり、束縛用線材40がどの様にして複数の配線23、25を束ねて固定用線材30に固定されているかを例示している。
FIG. 3 is a cross-sectional view taken in the direction of arrow III in FIG. 2 and illustrates how the
束縛用線材40は、束縛用素線41が束縛用被覆材42で被覆された一本の線材で構成される。この束縛用線材40は、複数の配線23、25と固定用線材30との交差する部分に配置され、複数の配線23、25の裏側から表側に向かって固定用線材30の延設方向に対して斜めに交差する方向に掛け回されて、両端部が解放可能に結合される。
The
この両端部の解放可能な結合は、両端部を縛ることにより結び目43を形成した結合が望ましい。両端部を縛って結び目43を形成することにより、複数の配線23、25と固
定用線材30とを束ねると共に、複数の配線23、25が固定用線材30に対し配線方向に動かないように複数の配線23、25に締め付け力を掛けることができ、且つその結び目43を解くことで束縛用線材40の結合を容易に解放し、配線23、25をその配線方向に移動または引き抜くことができる。なお、この結び目43を形成する縛り方としては、止め結び(一重結び)、花結び(蝶々結び)、本結び、及びもやい結びなどを例示できる。
The releasable connection between both ends is preferably a connection in which a
なお、束縛用線材40は、複数の配線23、25と固定用線材30とを束ねて固定できればよいため一巻き以上すればよいが、複数の配線23、25と固定用線材30とに複数回、巻回してから両端部を縛って結び目43を形成すると、複数の配線23、25を固定用線材30により確実に固定することができる。また、束縛用線材40を複数回、巻回す際には、交互に交差するように巻き回してもよい。また、複数の束縛用線材40で複数の配線23、25と固定用線材30とを束ねて固定してもよい。
The
加えて、束縛用線材40により複数の配線23、25と固定用線材30とを束ねて固定する際に、その束ねた部分や結び目43の厚みが厚くなると、熱電対付きウエハ10で温度を測定したときに、それらの部分の温度が高くなる。そのため、複数の配線23、25を配線方向に直交する方向にずらして重ならないようにする、及び束縛用線材40を同じ箇所に複数回巻き付けるのではなく、配線23、25の配線方向にずらして巻き回して重ならないようにすると、束ねた部分の厚みが薄くなり、温度を測定したときの影響を少なくできるので、精度の向上に有利になる。
In addition, when the plurality of
更に、固定用線材30及び束縛用線材40は、前述の熱電対20を製造する際の配線23、25の端材で構成されることが望ましい。固定用線材30及び束縛用線材40が熱電対20の配線23、25の端材で構成されることで、熱電対付きウエハ10の製造コストを低減できる。また、熱電対20の配線23、25の端材を利用することで、固定用線材30及び束縛用線材40は、熱電対20に用いられる配線23、25のどちらかと同じ材質の被覆材22で、且つ同じ材質の熱電対素線21又は24を有することになる。これにより、ウエハ11の表面には、熱電対20に用いられる素材以外のものはなく、別の素材を用いることで発生する計測温度のズレがなくなり、正確な温度の測定に有利となる。
Furthermore, it is desirable that the fixing
次に、熱電対付きウエハ10において、複数の熱電対20のうちの少なくとも一本の測温部26が故障した場合の修理方法について説明する。
Next, in the
まず、束縛用線材40の結び目43を解いて、束縛用線材40の両端部の結合を解放する。次いで、故障した熱電対20の測温部26の近傍の熱電対素線21、24を切断し、その切断した箇所で接合して新たな測温部26を形成する。次いで、ウエハ11に新たな埋設孔12を形成し、その埋設孔12に測温部26を埋設して接着剤13で固定する。熱電対素線21、24を切断して短くなるがその分については、固定が解除された配線23、25を配線方向にずらすことで、配線23、25にひずみを与えることなく略同じ位置に新たな測温部26を設置できる。これにより故障した熱電対を容易に修理することができ、加熱処理装置内で支障なく表面温度を検知できる。
First, the
また、複数の熱電対20のうちの少なくとも一本の熱電対素線21、24が中途の位置で断線した場合は、束縛用線材40の結び目43を解いて、束縛用線材40の両端部の結合を解放した後に、該当の熱電対20を配線方向に引き抜いて交換すればよい。
Further, when at least one
この第一実施形態の熱電対付きウエハ10によれば、固定用線材30を用いて複数の配線23、25を固定する効果に加えて、複数の熱電対20のうち少なくとも一つが故障した際に、解放可能に結合させた束縛用線材40を解くことで、複数の配線23、25と固
定用線材30との固定が解除されるので、固定用線材30とウエハ11とを固定している接着剤14を剥がしたり、固定用線材30を切断して解放したり、あるいは、熱電対付きウエハ10ごと交換することを行わずに、固定用線材30のウエハ11に対する固定状態を維持したまま、該当の熱電対20のみを容易に交換又は修理できるので、故障した際のコストを低減できる。
According to the thermocouple-equipped
また、固定用素線31が固定用被覆材32に被覆された固定用線材30と、束縛用素線41が束縛用被覆材42に被覆された束縛用線材40との両方を用いて、複数の配線23、25をウエハ11に対して固定することにより、複数の配線23、25を、熱電対素線21、24を被覆材22に被覆したまま固定しても、その被覆材22を傷つけることがないので、被覆材22が破けることを防ぐことができる。特に、熱電対素線21、24を、アルミナ繊維を網組加工して形成した被覆材22で被覆する場合に、非常に細くて解れ易いアルミナ繊維同士を接触させることで、アルミナ繊維が解れることを回避できるので、耐久性の向上には有利になる。
Further, a plurality of fixing
加えて、固定用線材30の固定用素線31の端部を接着剤14でウエハ11に固定するので、ウエハ11上の接着剤14の量を低減して、接着剤14とウエハ11との接着面積を大幅に低減できる。これにより、ウエハ11の表面と接着剤14との熱膨張率との差による、ウエハ11の歪みを抑え、ウエハ11の破砕を防ぐことができる。
In addition, since the end portion of the
図4は、本発明の第二実施形態の熱電対付きウエハ10の構成を例示している。この熱電対付きウエハ10は、上記の構成において、固定用線材30を、張架用線材50および少なくとも2本の係止用線材60で構成した実施形態である。
FIG. 4 illustrates the configuration of the
張架用線材50は、配線23、25の配線方向に略直角に配置され、かつその両端部がそれぞれ係止用線材60の略中間部に固定され、各係止用線材60の両端部がウエハ11に固定される。束縛用線材40の両端部を解放可能に結合させて、複数の配線23、25及び張架用線材50を束ねると共に、張架用線材50を介して複数の配線23、25を固定用線材30に固定するように構成される。
The stretching
図5は、一方の係止用線材60と張架用線材50との連結した部分の拡大図である。
FIG. 5 is an enlarged view of a portion where one
係止用線材60は、例えば、固定用線材30と同等の線材で構成され、その固定用被覆材を全て剥がして、むき出しにした係止用素線61の両端部のそれぞれが中間部62を中心にして放射状に配置されて接着剤14でウエハ11に固定される。
The
張架用線材50は、張架用素線51が張架用被覆材52で被覆された一本の線材で構成される。この張架用線材50は、端部53の張架用被覆材52が剥がされてむき出しにされた張架用素線51が、係止用線材60の中間部62に巻き回されて、その巻き回された端部53が張架用素線51の周方向に巻かれて固定される。また、この張架用線材50においても、固定用線材30及び束縛用線材40と同様に、熱電対20を製造する際の端材で構成されることが望ましい。
The stretching
この第二実施形態の熱電対付きウエハ10によれば、複数の係止用線材60を用いて、係止用線材60の両端部のそれぞれを放射状に配置して接着剤14でウエハ11に固着するので、接着剤14の接着面積を小さくしながら、ウエハ11との接着点の数を増やすことができる。一つ一つの接着面積を小さくすることで、接着剤14とウエハ11の表面との熱膨張率の相違によるウエハ11の表面の破損などを防止することができ、また、接着点数を増やすことで、係止用線材60に掛かる力が大きくなっても、ウエハ11との固着力が強くなるので、複数の配線23、25をウエハ11に対して固定できる。
According to the thermocouple-equipped
また、加熱処理装置内で温度を測定中に仮にいくつかの接着点がウエハ11から剥がれても、残りの接着点により、複数の熱電対20の配線23、25とウエハ11との固定状態を維持できる。従って、仮にいくつかの接着点が剥がれても、使用に影響が少なく、ウエハの製造を中断しなければならない事態を回避できる。
Further, even if some bonding points are peeled off from the
なお、係止用線材60においては、中間部62で張架用線材50と連結しなくてもよいが、中間部62で連結することにより、複数の配線23、25に引張り力や捩りモーメントが掛かったときに、係止用線材60の両端部に均等に分散されるので、より耐久性の向上に有利になる。
In the
図6及び図7は、本発明の第三実施形態の熱電対付きウエハ10の構成を例示している。この熱電対付きウエハ10は、第二実施形態の構成に加えて、係止用線材60の中間部62と張架用線材50の端部53との連結部を、接着剤14でウエハ11に固着した実施形態である。この構成によれば、連結部を接着剤14でウエハ11に固着することにより、中間部62と端部53とが擦れて切断される、あるいは端部53の固定が解除されることを回避できるので、耐久性の向上に有利になる。
6 and 7 illustrate the configuration of the
図8は、本発明の第四実施形態の熱電対付きウエハ10の構成の一部を例示している。この熱電対付きウエハ10は、第三実施形態の構成に加えて、張架用線材50に連結された係止用線材60の両端部がそれぞれ別の係止用線材70の略中間部に固定されて、各連結部をウエハ11に接着剤14で固着した実施形態である。
FIG. 8 illustrates part of the configuration of the thermocouple-equipped
係止用線材70は係止用線材60と同等の線材で構成される。むき出しにした係止用素線71の両端部のそれぞれが中間部72を中心にして放射状に配置されて接着剤14でウエハ11に固定される。係止用線材60の端部63の係止用素線61が係止用線材70の中間部72に巻き回されて、その巻き回された端部63が係止用素線61の周方向に巻かれて、接着剤14でウエハ11に固定される。
The
この構成によれば、張架用線材50に連結された係止用線材60の両端部を更に別の係止用線材70に連結し、その係止用線材70の両端部と連結部とを接着剤14でウエハ11に接着することで、ウエハ11との接着点の数をより増やすことができ、耐久性の向上に有利になる。
According to this configuration, both ends of the
10 熱電対ウエハ
11 ウエハ
13、14 接着剤
20 熱電対
21、24 熱電対素線
22 被覆材
23、25 配線
26 測温部
30 固定用線材
31 固定用素線
32 固定用被覆材
40 束縛用線材
41 束縛用素線
42 束縛用被覆材
43 結び目
50 張架用線材
51 張架用素線
52 張架用被覆材
60、70 係止用線材
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記熱電対を構成する一組の熱電対素線の端部を接合した測温部が前記ウエハに埋設され、
前記固定用線材が前記熱電対の配線方向に略直角に配置され、かつその両端部が前記ウエハに固定され、
前記束縛用線材が、複数の前記熱電対の配線を束ねて前記固定用線材に着脱可能に固定したことを特徴とする熱電対付きウエハ。 A wafer with a thermocouple having a wafer, a thermocouple, a fixing wire and a binding wire,
A temperature measuring unit joining the ends of a pair of thermocouple strands constituting the thermocouple is embedded in the wafer,
The fixing wire is disposed substantially perpendicular to the wiring direction of the thermocouple, and both ends thereof are fixed to the wafer;
The thermocouple-attached wafer, wherein the binding wire is detachably fixed to the fixing wire by bundling a plurality of wires of the thermocouple.
前記張架用線材が前記熱電対の配線方向に略直角に配置され、かつその両端部がそれぞれ前記係止用線材の略中間部に固定され、
前記係止用線材の両端部が前記ウエハに固定されると共に、
前記束縛用線材が、複数の前記熱電対の配線を束ねて前記張架用線材に着脱可能に固定したことを特徴とする請求項1又は2に記載の熱電対付きウエハ。 The fixing wire comprises a tension wire and at least two locking wires,
The wire for stretching is disposed substantially perpendicular to the wiring direction of the thermocouple, and both end portions thereof are respectively fixed to substantially intermediate portions of the locking wire;
Both ends of the locking wire are fixed to the wafer,
The wafer with a thermocouple according to claim 1 or 2, wherein the binding wire is detachably fixed to the stretching wire by bundling a plurality of wires of the thermocouple.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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CN109000813A (en) * | 2018-08-17 | 2018-12-14 | 上海甫研电子科技有限公司 | A kind of diffusion furnace chip temperature thermocouple |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002544502A (en) * | 1999-05-10 | 2002-12-24 | センサーレイ コーポレイション | Apparatus for detecting temperature on integrated circuit manufacturing tool substrate |
JP2004153235A (en) * | 2002-09-04 | 2004-05-27 | Okazaki Mfg Co Ltd | Junction structure for wafer member |
JP2005030792A (en) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Okazaki Mfg Co Ltd | Temperature measuring wafer |
JP2013172050A (en) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Anritsu Keiki Kk | Wafer with temperature sensor, method for manufacturing the same, and fixing method of element wire for temperature sensor |
-
2015
- 2015-01-30 JP JP2015016614A patent/JP6343569B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002544502A (en) * | 1999-05-10 | 2002-12-24 | センサーレイ コーポレイション | Apparatus for detecting temperature on integrated circuit manufacturing tool substrate |
JP2004153235A (en) * | 2002-09-04 | 2004-05-27 | Okazaki Mfg Co Ltd | Junction structure for wafer member |
JP2005030792A (en) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Okazaki Mfg Co Ltd | Temperature measuring wafer |
JP2013172050A (en) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Anritsu Keiki Kk | Wafer with temperature sensor, method for manufacturing the same, and fixing method of element wire for temperature sensor |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109000813A (en) * | 2018-08-17 | 2018-12-14 | 上海甫研电子科技有限公司 | A kind of diffusion furnace chip temperature thermocouple |
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