JP2016127151A - Method of manufacturing cut sintered ferrite sheet - Google Patents

Method of manufacturing cut sintered ferrite sheet Download PDF

Info

Publication number
JP2016127151A
JP2016127151A JP2014266882A JP2014266882A JP2016127151A JP 2016127151 A JP2016127151 A JP 2016127151A JP 2014266882 A JP2014266882 A JP 2014266882A JP 2014266882 A JP2014266882 A JP 2014266882A JP 2016127151 A JP2016127151 A JP 2016127151A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cut
ferrite
sheet
green sheet
maximum height
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2014266882A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
道久 川島
Michihisa Kawashima
道久 川島
育男 西
Ikuo Nishi
育男 西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maruwa Co Ltd
Original Assignee
Maruwa Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Maruwa Co Ltd filed Critical Maruwa Co Ltd
Priority to JP2014266882A priority Critical patent/JP2016127151A/en
Publication of JP2016127151A publication Critical patent/JP2016127151A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Ceramics (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a cut sintered ferrite sheet where the front and rear surfaces do not stick each other, even if a plurality of ferrite green sheets are stacked and fired.SOLUTION: A material of ferrite green sheet is spread on a long carrier sheet having specific surface characteristics on the surface. Specific rough surface of the long carrier sheet is transferred to the rear surface (restricted surface) of the ferrite green sheet thus obtained. The surface of the ferrite green sheet on the opposite side is not restricted but a free surface. A plurality of the ferrite green sheets are stacked and fired. The rubbing surfaces of the sintered ferrite sheet thus obtained do not stick each other, and whereby slidability is improved.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、裁断焼結フェライトシートの製造方法、特に裁断フェライトグリーンシートを焼成して、裁断焼結フェライトシートを製造する方法に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a cut sintered ferrite sheet, and more particularly to a method for producing a cut sintered ferrite sheet by firing a cut ferrite green sheet.

フェライトグリーンシートから焼結フェライトシートを製造する方法は周知である。その中に、特開2005−340759号公報(特許文献1)の段落「0082」と「図12」欄記載の方法がある。すなわち、フェライト原料混練物を長尺キャリアシートの上に延展して、フェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを前記長尺キャリアシートから分離した後、それを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを焼成する焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法がある。 A method for producing a sintered ferrite sheet from a ferrite green sheet is well known. Among them, there is a method described in paragraphs “0082” and “FIG. 12” in Japanese Patent Laid-Open No. 2005-340759 (Patent Document 1). That is, a ferrite raw material kneaded material is spread on a long carrier sheet and formed into a ferrite green sheet, and after separating the ferrite green sheet from the long carrier sheet, it is formed into a predetermined planar shape. There is a method for producing a cut sintered ferrite sheet comprising a cutting step of cutting to obtain a large number of cut ferrite green sheets and a firing step of firing the cut ferrite green sheets.

前記特許文献1において、フェライト原料混練物の物理特性によっても若干相異するが、前記長尺キャリアシートの延展された原料混練物から形成された延展物、すなわち、厚みが30〜500μmのフェライトグリーンシートにおいて、長尺キャリアシートの上に載せられた面(裏面)に対して背面側にある面(表面)は、総じて、外部から負荷を受けたことのない自由面になっている。 In the above-mentioned Patent Document 1, although slightly different depending on the physical properties of the ferrite raw material kneaded material, the extended material formed from the raw material kneaded material obtained by extending the long carrier sheet, that is, a ferrite green having a thickness of 30 to 500 μm In the sheet, the surface (front surface) on the back side with respect to the surface (back surface) placed on the long carrier sheet is generally a free surface that has not been subjected to a load from the outside.

また、特許第5360350号公報(特許文献2)には、前記特許文献1に記載の方法と同様の方法によって表面特性を、その中心線平均粗さにして170〜800nm、最大高さにして3.0〜10μm、100μm平方のフェライトグリーンシートを最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率(以下、「1/2面積占有率」とする。)にして10〜80%に調整したフェライトグリーンシートを開示している。なお、ここで「表面特性」とは、フェライトグリーンシート及び焼結フェライトシートの表面の粗さを表現する物理的パラメータを総称し、それは、後述する本発明の効果に影響を与える1種又は2種以上のパラメータ、例えば、中心線平均粗さ(Ra)や最大高さ(Rz)等の特性値をいう。 Also, in Japanese Patent No. 5360350 (Patent Document 2), the surface characteristics are set to 170-800 nm in terms of center line average roughness and 3 mm in maximum height by a method similar to the method described in Patent Document 1. The area occupancy ratio (hereinafter referred to as “1/2 area occupancy ratio) when the cut surface is virtually cut at a height of ½ of the maximum height of 0 to 10 μm and 100 μm square ferrite green sheets. The ferrite green sheet adjusted to 10 to 80% is disclosed. Here, the “surface characteristics” is a general term for physical parameters expressing the surface roughness of the ferrite green sheet and the sintered ferrite sheet, and it is one or two that affect the effects of the present invention described later. It refers to characteristic values such as centerline average roughness (Ra) and maximum height (Rz), such as more than seed parameters.

また、前記長尺キャリアシートの上に載せられたフェライトグリーンシートの裏面は、得られた延展物の自重による反作用なる外部負荷をそのまま受けて拘束面を形成し、その拘束面は、キャリアシートの表面特性にもよるが、総じて、前記自由面より僅かに大きな粗面になる。 Further, the back surface of the ferrite green sheet placed on the long carrier sheet is subjected to an external load that is a reaction due to the weight of the obtained extension as it is to form a constraining surface, and the constraining surface is formed of the carrier sheet. Depending on the surface characteristics, the rough surface is generally slightly larger than the free surface.

特開2005−340759号公報JP 2005-340759 A 特許第5360350号公報Japanese Patent No. 5360350

このような表面特性を有する多数枚の裁断フェライトグリーンシートを前記自由面と拘束面とが擦り合うように複数枚上下に重ねて積重物を作製し、それを焼成して得られた複数枚の裁断焼結フェライトシートのうち、相互に接触する裁断焼結フェライトシート同士は、焼成温度や表面特性によっては、裁断焼結フェライトシート同士の固着が起こる場合がある。その結果、目的物として得られた裁断焼結フェライトシートの品質・性能をその用途によっては十分に発揮させることができなという問題がある。 A plurality of sheets obtained by stacking a plurality of cut ferrite green sheets having such surface characteristics on top and bottom so that the free surface and the constraining surface rub against each other and firing it. Of the cut sintered ferrite sheets, the cut sintered ferrite sheets that are in contact with each other may stick to each other depending on the firing temperature and surface characteristics. As a result, there is a problem that the quality and performance of the cut sintered ferrite sheet obtained as the target product cannot be fully exhibited depending on the application.

従って、本発明の課題は、前記自由面の表面特性が、その中心線平均粗さにして150〜300nm、最大高さにして2.0〜5.0μm、1/2面積占有率にして50〜95%になっている裁断フェライトグリーンシートを800〜1000℃の温度で焼結しても、得られた裁断焼結フェライトシート同士が全く固着しない、滑動性の良い裁断焼結フェライトシートを得ることにある。なお、本発明において「滑動性が良い」とは、重ねた焼結フェライトシートのうち1枚を滑り始めさせるために、滑り面方向に加える力が小さいことを言う。 Therefore, the problem of the present invention is that the surface characteristics of the free surface have a center line average roughness of 150 to 300 nm, a maximum height of 2.0 to 5.0 μm, and a half area occupation ratio of 50. Even if the cut ferrite green sheet of ~ 95% is sintered at a temperature of 800 to 1000 ° C, the obtained cut sintered ferrite sheet does not adhere at all, and a cut sintered ferrite sheet having good sliding property is obtained. There is. In the present invention, “sliding is good” means that a force applied in the sliding surface direction is small in order to start sliding one of the stacked sintered ferrite sheets.

なお、このような課題を解決する公知技術として、特許第5360350号公報(特許文献2)記載の発明がある。しかし、この公知技術は、以下、詳述するように、裁断焼結フェライトシートの固着を防止する根本的技術思想及び課題を解決するための手段が、本発明のそれらと全く異なる。 In addition, there exists invention of patent 5360350 gazette (patent document 2) as a well-known technique which solves such a subject. However, as described in detail below, this known technique is completely different from those of the present invention in terms of a fundamental technical idea and a problem for preventing sticking of the cut sintered ferrite sheet.

特許文献2は、キャリアシートの表面を粗面加工して、その上にフェライト原料混練物を延展してフェライトグリーンシートを成形して、そのフェライトグリーンシートの裏面に中心線平均粗さにして370nm、最大高さにして4.0μm、1/2面積占有率にして75%にした裁断フェライトグリーンシートを焼成する技術を開示している。この公知技術によると、得られた複数枚の裁断焼結フェライトシートのうち、相互に接触する裁断焼結フェライトシート同士の固着がなく容易に剥離するという効果を挙げている(段落「0063〜0064」欄)。 In Patent Document 2, a surface of a carrier sheet is roughened, a ferrite raw material kneaded material is spread thereon to form a ferrite green sheet, and the center line average roughness is set to 370 nm on the back surface of the ferrite green sheet. Discloses a technique for firing a cut ferrite green sheet having a maximum height of 4.0 μm and a ½ area occupation ratio of 75%. According to this known technique, among the obtained plurality of cut sintered ferrite sheets, there is an effect that the cut sintered ferrite sheets in contact with each other do not adhere to each other and are easily separated (paragraphs “0063-0064”. "Column).

また、このフェライトグリーンシートの自由面は、中心線平均粗さにして104nm、最大高さにして1.3μm、1/2面積占有率にして93%なる表面特性を有する(段落「0064」欄)。 Further, the free surface of this ferrite green sheet has a surface characteristic of 104 nm as the center line average roughness, 1.3 μm as the maximum height, and 93% as a ½ area occupancy (paragraph “0064” column). ).

しかしながら、この特許文献2において、前記フェライトグリーンシートの裏面が、表面の自由面よりも表面特性が格段に大きい場合、キャリアシートによる外部負荷を受けて形成される裏面(拘束面)の表面特性をどの範囲にするかについては具体的に明記されていない。 However, in Patent Document 2, when the back surface of the ferrite green sheet has a surface property that is significantly greater than the free surface of the surface, the surface property of the back surface (restraint surface) formed by receiving an external load from the carrier sheet There is no specific description about the range.

また、特許文献2は、前記拘束面の中心線平均粗さが1120nmの裁断フェライトグリーンシートを使用すると、焼結して得られた裁断焼結フェライトシートの固着が起こらないとしている(段落「0076」、表1)が、これは、裁断フェライトグリーンシートの自由面がなく、表裏面ともに拘束面であった場合である。 Patent Document 2 states that when a cut ferrite green sheet having a center line average roughness of 1120 nm on the constraining surface is used, the cut sintered ferrite sheet obtained by sintering does not stick (paragraph “0076”). Table 1) shows a case where there is no free surface of the cut ferrite green sheet and both the front and back surfaces are constrained surfaces.

さらに、前記特許文献2は、特許請求の範囲に「少なくとも一方の表面の表面粗さにおいて、中心線平均粗さ・・・(後略)。」なる記載している。この記載に照らして特許文献2発明を検討してみると、それは、前記フェライトグリーンシートの表面と裏面の両方を同一表面特性にする(段落「0064」参照)という技術思想に立脚している(なお、一方の面に前記の表面特性を採用するにしても、特許文献2においては、他の表面特性をいかにして前記表面特性より大きくするかという技術思想を開示していない。)。 Furthermore, the said patent document 2 describes in the claim as "the surface roughness of at least one surface is centerline average roughness ... (omitted)". Examining the invention of Patent Document 2 in light of this description, it is based on the technical idea that both the front surface and the back surface of the ferrite green sheet have the same surface characteristics (see paragraph “0064”) ( In addition, even if the above surface characteristics are adopted for one surface, Patent Document 2 does not disclose a technical idea of how to make other surface characteristics larger than the above surface characteristics.

本発明は前記の課題を解決するために、粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、前記拘束面の表面特性より小さい下記の表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが30〜500μmのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、前記積重グリーンシートを800〜1000℃の温度範囲で焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法を採用する;
(1)中心線平均粗さ:150〜300nm、
(2)最大高さ:2.0〜5.0μm、
(3)1/2面積占有率:50〜95%。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention extends the kneaded material of the ferrite raw material on a long carrier sheet having a roughened surface, and reacts its own weight on the back surface of the obtained extended material. The constraining surface is formed by substantially transferring the rough surface of the long carrier sheet by applying an external load, and the constraining surface is exposed to the outside without applying any external load to the surface of the extension. Forming a ferrite green sheet having an equivalent thickness of 30 to 500 μm, and a free surface having the following surface characteristics smaller than the surface characteristics of the surface, and cutting the ferrite green sheet into a predetermined planar shape A plurality of the cut ferrite green sheets and a plurality of the cut ferrite green sheets stacked so that the restraining surface and the free surface directly rub against each other. A method for producing a cut sintered ferrite sheet comprising a stacking step of obtaining a stacked green sheet and a firing step of baking the stacked green sheet in a temperature range of 800 to 1000 ° C. to obtain a cut sintered ferrite sheet. adopt;
(1) Center line average roughness: 150 to 300 nm,
(2) Maximum height: 2.0 to 5.0 μm,
(3) 1/2 area occupancy: 50-95%.

さらに本発明は、粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写して下記の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、前記拘束面の表面特性より小さい表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが30〜500μmのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、前記積重グリーンシートを800〜1000℃の温度範囲で焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法を採用する;
(1)中心線平均粗さ:850〜1500nm、
(2)最大高さ:7〜15μm、
(3)1/2面積占有率:40〜65%。
Furthermore, the present invention provides an external load due to the reaction of its own weight on the back surface of the obtained extended product by extending the kneaded product of the ferrite raw material on a long carrier sheet having a roughened surface, The rough surface of the long carrier sheet is substantially transferred and the constraining surface having the following surface characteristics is exposed to the outside without applying any external load to the surface of the extended object. Forming a ferrite green sheet having an equivalent thickness of 30 to 500 μm, having a free surface having surface characteristics smaller than the surface characteristics, and cutting the ferrite green sheet into a predetermined planar shape to obtain a large number of sheets A cutting process for obtaining a cut ferrite green sheet, and a plurality of the cut ferrite green sheets stacked in such a manner that the constraining surface and the free surface directly rub against each other. Adopting a stacking step to obtain a Nshito, a method of making a cutting sintered ferrite sheet comprising a firing step to obtain a fired to cut sintered ferrite sheet in a temperature range of 800 to 1000 ° C. the stacking green sheets;
(1) Centerline average roughness: 850 to 1500 nm,
(2) Maximum height: 7 to 15 μm,
(3) 1/2 area occupancy: 40-65%.

さらに本発明は、粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる、下記(1)項記載の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、下記(2)項記載の表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが30〜500μmのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面が直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、前記積重グリーンシートを800〜1000℃の温度範囲で焼成して焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法を採用する;
(1)拘束面の中心線平均粗さ(Ra1):850〜1500nm、最大高さ(Rz1):7〜15μm、100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:40〜65%。
(2)自由面の中心線平均粗さ(Ra2):150〜300nm、最大高さ(Rz2):2.0〜5.0μm、100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:50〜95%。
Furthermore, the present invention provides an external load due to the reaction of its own weight on the back surface of the obtained extended product by extending the kneaded product of the ferrite raw material on a long carrier sheet having a roughened surface, The constraining surface having the surface characteristics described in the following (1), which is substantially transferred from the rough surface of the long carrier sheet, and exposed to the outside without applying any external load to the surface of the extended article A forming step of forming a ferrite green sheet having an equivalent thickness of 30 to 500 μm, including a free surface having surface characteristics described in the following (2), and forming the ferrite green sheet into a predetermined planar shape. Cutting process to obtain a large number of cut ferrite green sheets by cutting and stacking a plurality of the cut ferrite green sheets so that the restraining surface and the free surface directly rub against each other A method for producing a cut sintered ferrite sheet comprising a stacking step for obtaining a green sheet and a firing step for firing the stacked green sheet in a temperature range of 800 to 1000 ° C. to obtain a cut sintered ferrite sheet Adopt;
(1) Centerline average roughness (Ra1) of constraining surface: 850 to 1500 nm, maximum height (Rz1): 7 to 15 μm, 100 μm square cut ferrite green sheet is ½ the maximum height in the thickness direction Now, the area occupation ratio occupied by the cut surface when virtually cut is 40 to 65%.
(2) Centerline average roughness (Ra2) of free surface: 150 to 300 nm, maximum height (Rz2): 2.0 to 5.0 μm, 100 μm square cut ferrite green sheet having a maximum height of 1 in the thickness direction The area occupation ratio of the cut surface when virtually cut at a height of / 2 occupies the unit area: 50 to 95%.

本発明は、さらに好ましくは、粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる、下記(1)項記載の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、下記(2)項記載の表面特性を有する自由面とを備えており、表面特性の差が下記(3)項記載の表面特性であり、相当厚さが30〜500μmのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面が直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、前記積重グリーンシートを800〜1000℃の温度範囲で焼成して焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法を採用する;
(1)拘束面の中心線平均粗さ(Ra1):850〜1500nm、最大高さ(Rz1):7〜15μm、100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:40〜65%。
(2)自由面の中心線平均粗さ(Ra2):150〜300nm、最大高さ(Rz2):2.0〜5.0μm、100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:50〜95%。
(3)拘束面と自由面との中心線平均粗さの差(Ra1−Ra2)が550〜1350nm、最大高さの差(Rz1−Rz2)が3.5〜13μm。
The present invention more preferably, by extending the kneaded product of the ferrite raw material on a long carrier sheet having a roughened surface, an external load due to the reaction of its own weight is applied to the back surface of the obtained extended product. The constraining surface having the surface characteristics described in the following (1), which is substantially transferred from the rough surface of the long carrier sheet, and the external surface without any external load applied to the surface of the extended object. And a free surface having the surface characteristics described in (2) below, the difference in surface characteristics is the surface characteristics described in (3) below, and the equivalent thickness is 30 to 500 μm. A forming step of forming the ferrite green sheet, a cutting step of cutting the ferrite green sheet into a predetermined planar shape to obtain a plurality of cut ferrite green sheets, and the cut ferrite green sheet A stacking step of stacking a plurality of sheets so that the constraining surface and the free surface directly rub against each other to obtain a stacked green sheet, and firing the stacked green sheets in a temperature range of 800 to 1000 ° C. Adopting a method of producing a cut sintered ferrite sheet comprising a sintering step to obtain a sintered ferrite sheet;
(1) Centerline average roughness (Ra1) of constraining surface: 850 to 1500 nm, maximum height (Rz1): 7 to 15 μm, 100 μm square cut ferrite green sheet is ½ the maximum height in the thickness direction Now, the area occupation ratio occupied by the cut surface when virtually cut is 40 to 65%.
(2) Centerline average roughness (Ra2) of free surface: 150 to 300 nm, maximum height (Rz2): 2.0 to 5.0 μm, 100 μm square cut ferrite green sheet having a maximum height of 1 in the thickness direction The area occupation ratio of the cut surface when virtually cut at a height of / 2 occupies the unit area: 50 to 95%.
(3) The centerline average roughness difference (Ra1-Ra2) between the constraining surface and the free surface is 550-1350 nm, and the maximum height difference (Rz1-Rz2) is 3.5-13 μm.

さらに本発明は、上述の製造方法に加えて、前記長尺キャリアシートが、前記拘束面の中心線平均粗さ(Ra1)よりも大きい中心線平均粗さ(Ra3)を有するポリエチレンテレフタレートからなる裁断焼結フェライトシートの製造方法を採用する。 Furthermore, the present invention provides a cutting method in which the long carrier sheet is made of polyethylene terephthalate having a centerline average roughness (Ra3) larger than the centerline average roughness (Ra1) of the constraining surface in addition to the manufacturing method described above. The manufacturing method of the sintered ferrite sheet is adopted.

さらに本発明は、上述の製造方法に加えて、前記長尺キャリアシートは、その表面又は表面層に、無機微粒体又は熱硬化性樹脂微粒体が付着又は混入している裁断焼結フェライトシートの製造方法を採用する。 Furthermore, the present invention provides a long sintered carrier sheet comprising a cut sintered ferrite sheet in which inorganic fine particles or thermosetting resin fine particles are attached to or mixed in the surface or surface layer of the long carrier sheet. Adopt manufacturing method.

上記の手段を採用することにより、本発明は次に述べる作用を発揮する。 すなわち、前記積重グリーンシートにおいて隣接する上下の裁断フェライトグリーンシートを一対の歯車に擬制して観念的に示すと、図5に示すように、前記積重グリーンシート50は、その下位にある裁断フェライトグリーンシートを1つの下位歯車51aとし、上位にある裁断フェライトグリーンシートを前記下位歯車51aと噛み合う上位歯車52bとして、把握することができる。すると、各歯車51a、52bの歯53a,54bと歯溝55aと56bとを前記裁断フェライトシートの粗面であると擬制することができる。 By adopting the above means, the present invention exhibits the following actions. That is, when the upper and lower cut ferrite green sheets adjacent to each other in the stacked green sheet are conceptually shown as a pair of gears, as shown in FIG. 5, the stacked green sheet 50 is cut at the lower level. The ferrite green sheet can be grasped as one lower gear 51a, and the upper cut ferrite green sheet can be grasped as the upper gear 52b meshing with the lower gear 51a. Then, it can be assumed that the teeth 53a and 54b and the tooth grooves 55a and 56b of the gears 51a and 52b are rough surfaces of the cut ferrite sheet.

もし、前記歯車51a、52bの歯丈、ピッチ、歯先円直径等の歯車の形状や大きさ等の機械的特性が同一であれば、両歯車51a、52bは噛み合い、当然に両歯車51a、52bの歯は相互に深く進入する。 If the gears 51a, 52b have the same mechanical characteristics such as the shape and size of the gears such as the tooth height, pitch, tip diameter, etc., both the gears 51a, 52b mesh with each other. The teeth of 52b penetrate deeply into each other.

ところが、図6に示すように、前記両歯車51a、52bの歯の機械的特性が異なれば、当然に両歯車51a、52bの歯は相互に噛み合うことなく、深く進入もしない。 However, as shown in FIG. 6, if the mechanical characteristics of the teeth of the two gears 51a and 52b are different, the teeth of the two gears 51a and 52b naturally do not mesh with each other and do not enter deeply.

このように、裁断フェライトグリーンシートの表面特性が同一の範囲にあると、隣接する一対の裁断フェライトグリーンシートの擦り合う領域における一つの裁断フェライトグリーンシートの山の部分と、他の一つの裁断フェライトグリーンシートの谷の部分とが噛み合う頻度が高くなり、その結果、実際の裁断フェライトグリーンシートの山に相当する領域と谷に相当する領域が合致する頻度は小さいとは言え、積重グリーンシートが高温で焼成を受けるとき、両者が固着する頻度が高くなる。 In this way, when the surface properties of the cut ferrite green sheet are in the same range, the peak portion of one cut ferrite green sheet and the other cut ferrite in the region where a pair of adjacent cut ferrite green sheets rub against each other. The frequency with which the valleys of the green sheet mesh with each other increases, and as a result, the frequency of the area corresponding to the peak and the area corresponding to the valley of the actual cut ferrite green sheet is low, but the stacked green sheets When subjected to firing at a high temperature, the frequency with which the two stick together increases.

逆に、裁断フェライトグリーンシートの表面特性が相違すればする程、前記擦り合う領域における裁断フェライトグリーンシートの山の部分と裁断フェライトグリーンシートの谷の部分とが噛み合う頻度が小さくなり、その結果、積重グリーンシートを高温で焼成するとき、両者が固着する頻度が小さくなるため、滑動性が良くなる。 On the contrary, the more the surface characteristics of the cut ferrite green sheet are different, the lower the frequency with which the peak portion of the cut ferrite green sheet and the valley portion of the cut ferrite green sheet are meshed in the rubbing region. When the stacked green sheets are fired at a high temperature, the frequency with which they are fixed is reduced, so that the sliding property is improved.

そこで、本発明では、隣接する一対の裁断フェライトグリーンシートの擦り合わせ領域cにおける表面特性を格段に相異させて、裁断フェライトグリーンシートを焼成する過程で得られた裁断焼結フェライトシート同士の固着が確実に起こらないようにするために、1枚の裁断フェライトグリーンシートの自由面と、他の1枚の裁断フェライトグリーンシートの拘束面との噛み合いに注目して、まず、1枚の裁断フェライトグリーンシートの自由面の表面特性を特定する。 Therefore, in the present invention, the adhesion between the cut sintered ferrite sheets obtained in the process of firing the cut ferrite green sheets by significantly different the surface characteristics in the rubbing region c of a pair of adjacent cut ferrite green sheets. In order to prevent the occurrence of this problem, pay attention to the meshing between the free surface of one cut ferrite green sheet and the restrained surface of the other cut ferrite green sheet. Identify the surface properties of the free surface of the green sheet.

なお、前述した技術思想からすると、前記拘束面の表面特性を特定化してもよいのであるが、特許文献1で説明したように、この発明の分野において、前記キャリアシートの上にフェライト原料混練物を延展すると、得られた延展物であるフェライトグリーンシートの表面が必然的に特定表面を有する自由面になるので、本発明ではこれをそのまま利用する。 In addition, according to the above technical idea, the surface characteristics of the constraining surface may be specified. However, as described in Patent Document 1, in the field of the present invention, a ferrite raw material kneaded material on the carrier sheet Since the surface of the obtained ferrite green sheet inevitably becomes a free surface having a specific surface, this is used as it is in the present invention.

本発明においては、図1に示すように、相当厚さがH=30〜500μmのフェライトグリーンシート1を使用するとともに、その表面特性が自由面11の中心線平均粗さRa2にして150〜300nm、最大高さRz2にして2.0〜5.0μm、1/2面積占有率にして50〜95%なる表面特性を有する裁断フェライトグリーンシートを使用する。 In the present invention, as shown in FIG. 1, the ferrite green sheet 1 having an equivalent thickness of H = 30 to 500 μm is used, and the surface characteristic is 150 to 300 nm as the center line average roughness Ra2 of the free surface 11. A cut ferrite green sheet having surface characteristics of 2.0 to 5.0 μm for the maximum height Rz2 and 50 to 95% for a ½ area occupation ratio is used.

なお、ここで相当厚さHとは、裁断フェライトグリーンシートよりもわずかに広い面積を有する極力平滑な(グリーンシートの表面粗さよりも小さい表面粗さを有する)2枚の平面体、例えばガラス板に挟んだ場合、それらの間隔を意味する。従って、これは、裁断フェライトグリーンシートの自由面11と、その背面に相当する拘束面12において、最も外側に突出している山部13の頂点を通る平行面a2、b2間の距離に相当する。また、最大高さRzとは、JIS規格(JIS B 0601−2001)に規定されているとおり、前記山部13の頂部を通る平面a2と、前記自由面11において最も内側に窪んでいる谷部14を通る平面a1との高低差を意味する。 Here, the equivalent thickness H means two flat bodies having a slightly larger area than the cut ferrite green sheet (having a surface roughness smaller than the surface roughness of the green sheet), for example, a glass plate When sandwiched between, it means the interval between them. Accordingly, this corresponds to the distance between the parallel surfaces a2 and b2 passing through the apex of the peak portion 13 protruding outward in the free surface 11 of the cut ferrite green sheet and the constraining surface 12 corresponding to the back surface thereof. Further, the maximum height Rz is, as defined in JIS standard (JIS B 0601-2001), a plane a2 that passes through the top of the peak 13 and a valley that is recessed inwardly on the free surface 11. 14 means a difference in height from the plane a1 passing through 14.

さらに、面積占有率とは、前記高低差の中間位置で前記山部13を仮想的に水平に切断したとき現れる山部13の切断面が単位面積100μm平方当たりに占める比率を意味する。なお、測定装置やソフトウエアなどの環境に応じて、単位面積は100μm平方ではなく90μm平方や90μm×100μm等の面積とすることができるが、相対的な粗さはいずれの面積であっても同じである。 Further, the area occupancy means the ratio of the cut surface of the ridge 13 that appears when the ridge 13 is virtually horizontally cut at the middle position of the height difference to a unit area of 100 μm square. The unit area may be 90 μm square or 90 μm × 100 μm instead of 100 μm square depending on the environment of the measuring device or software, but the relative roughness may be any area. The same.

裁断フェライトグリーンシートを複数枚積み重ねて積重グリーンシートを作製した場合、その中の任意の裁断フェライトグリーンシートにおいて、他の裁断フェライトグリーンシートの自由面と擦り合う拘束面12の表面特性は、前記自由面の表面特性より一段と大きい(言い換えれば、自由面の表面特性は拘束面のそれより一段と小さい。)。なお、表面特性の大小は、裁断フェライトグリーンシートの表面粗さの大きさを相対的に示す値を意味し、例えば、中心線平均粗さの場合、それが大きい方が表面の粗さは大き。面積占有率に関しては、中心線平均粗さと最大高さが同じ場合、面積占有率が低いほど表面特性が大きいことを意味する。 When a stacked green sheet is produced by stacking a plurality of cut ferrite green sheets, the surface characteristics of the constraining surface 12 that rubs against the free surface of the other cut ferrite green sheets in the arbitrary cut ferrite green sheets are as described above. It is much larger than the surface characteristic of the free surface (in other words, the surface characteristic of the free surface is much smaller than that of the constraining surface). The size of the surface property means a value relatively indicating the size of the surface roughness of the cut ferrite green sheet. For example, in the case of the centerline average roughness, the larger the surface roughness, the larger the surface roughness. . Regarding the area occupancy, when the center line average roughness and the maximum height are the same, the lower the area occupancy, the larger the surface characteristics.

本発明においては、好ましくは、前記拘束面12として中心線平均粗さRa1にして850〜1500nm(0.850〜1.500μm)、最大高さRz1にして7〜15μm、1/2面積占有率にして40〜65%なる表面特性を有する裁断フェライトグリーンシート1を使用する。さらに好ましくは、自由面と拘束面との表面特性の差が、中心線平均粗さ(Ra1−Ra2)にして550〜1350nm、最大高さ(Rz1−Rz2)にして3.5〜13μmであるフェライトグリーンシート1を使用する。 In the present invention, preferably, the constraining surface 12 has a center line average roughness Ra1 of 850 to 1500 nm (0.850 to 1.500 μm), a maximum height Rz1 of 7 to 15 μm, and a 1/2 area occupation ratio. Then, a cut ferrite green sheet 1 having a surface characteristic of 40 to 65% is used. More preferably, the difference in surface characteristics between the free surface and the constraining surface is 550 to 1350 nm in terms of centerline average roughness (Ra1-Ra2), and 3.5 to 13 μm in terms of maximum height (Rz1-Rz2). Ferrite green sheet 1 is used.

前記拘束面のRa1が850nm未満であると、自由面のRa2に近くなってしまい、固着を完全に抑止することができず、逆に1500nmより大きくなると、固着は抑止されるがいわゆるオーバースペックとなってしまう。また、前記拘束面のRz1が7μm未満であると、自由面のRz2に近くなってしまい、固着を完全に抑止することができず、逆に15μmより大きくなると、固着は抑止されるがいわゆるオーバースペックとなってしまう。また、本発明において、中心線平均粗さと最大高さによっては若干相異するが、同一の中心線平均粗さと最大高さを有する場合を想定して、拘束面の1/2面積占有率を公知文献2よりも低めに寄せて表面の粗さを相対的に大きくしている。 If Ra1 of the constraining surface is less than 850 nm, it becomes close to Ra2 of the free surface and sticking cannot be completely prevented. On the other hand, if it exceeds 1500 nm, sticking is suppressed, but so-called over spec. turn into. Further, if Rz1 of the constraining surface is less than 7 μm, it becomes close to Rz2 of the free surface and sticking cannot be completely prevented. On the other hand, if it exceeds 15 μm, sticking is suppressed but the so-called overshooting occurs. It becomes spec. Further, in the present invention, although it is slightly different depending on the centerline average roughness and the maximum height, assuming that the centerline average roughness and the maximum height are the same, the occupancy ratio of 1/2 area of the constrained surface is The roughness of the surface is relatively increased to be lower than that of the known document 2.

上記手段を採用することにより、本発明は、前記積重グリーンシートにおいて、図2に示すように、1枚の第一裁断フェライトグリーンシート2の上に他の1枚の第二裁断フェライトグリーンシート3を重ねて、第一裁断フェライトグリーンシート2の自由面11と第二裁断フェライトグリーンシート3の拘束面12とによって形成された擦り合わせ領域cにおける空間が上下に広がって比較的大きい。 By adopting the above-mentioned means, the present invention is the stacked green sheet, as shown in FIG. 2, on one first cut ferrite green sheet 2 and another second cut ferrite green sheet. 3, the space in the rubbing region c formed by the free surface 11 of the first cut ferrite green sheet 2 and the constraining surface 12 of the second cut ferrite green sheet 3 spreads up and down and is relatively large.

これに対して、図3に示す公知技術のように、前記拘束面12の表面特性が比較的小さい、例えば、自由面の表面特性と同等の表面特性を有する第一、第二裁断フェライトグリーンシート2、3を積重した場合、擦り合わせ領域cにおける前記空間が比較的小さい。 On the other hand, as in the known technique shown in FIG. 3, the first and second cut ferrite green sheets have relatively small surface characteristics of the constraining surface 12, for example, surface characteristics equivalent to the surface characteristics of the free surface. When 2 and 3 are stacked, the space in the rubbing region c is relatively small.

さらに、本発明に係る前記擦り合わせ領域cにおいて、第一裁断フェライトグリーンシート2の山部が第二裁断フェライトグリーンシート3の谷部に進入する頻度を公知技術のそれと比較すると、本発明の方が公知技術より小さい。 Furthermore, in the rubbing region c according to the present invention, the frequency of the peak portion of the first cut ferrite green sheet 2 entering the valley portion of the second cut ferrite green sheet 3 is compared with that of the known technique. Is smaller than the known technology.

よって、そのような積重グリーンシートを焼成すると、前記表面特性が大きくなるにつれて、本発明に係る積重グリーンシートの方が公知技術により得られた裁断焼結フェライトシートより固着の発生が抑止されるとともに滑動生が良くなるという優れた効果を発揮する。 Therefore, when such a stacked green sheet is fired, as the surface characteristics increase, the stacked green sheet according to the present invention suppresses the occurrence of sticking than the cut sintered ferrite sheet obtained by a known technique. And has an excellent effect of improving sliding life.

本発明に係る裁断フェライトグリーンシートの一部断面を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the partial cross section of the cutting ferrite green sheet which concerns on this invention. 本発明に係る積重グリーンシートの一部断面を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the partial cross section of the stacked green sheet which concerns on this invention. 従来技術に係る積重グリーンシートの一部断面を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the partial cross section of the stacked green sheet which concerns on a prior art. 本発明に係る成形工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shaping | molding process based on this invention. 図4(a)におけるA部の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the A section in Drawing 4 (a). 従来技術に係る積重グリーンシートの凹凸を歯車に擬制して示す概念図である。It is a conceptual diagram which simulates the unevenness | corrugation of the stacked green sheet which concerns on a prior art by gears. 本発明に係る積重グリーンシートの凹凸を歯車に擬制して示す概念図である。It is a conceptual diagram which simulates the unevenness | corrugation of the stacked green sheet which concerns on this invention to a gearwheel.

次に本発明を実施するための形態について、さらに図面を追加して説明する。 Next, modes for carrying out the present invention will be described with additional drawings.

(混錬物の原料)
まず、フェライト粉末、その粉末同士を粘着結合させるバインダー、そのバインダーの流動性を調整する可塑剤及びそれらを混ぜやすくする溶剤(溶媒)を準備する。フェライト粉末としては、周知のNi−Zn−Cuフェライトを採用し、バインダーとしてPVB(ポリビニルブチラール)を前記フェライト粉末100重量部に対して5〜10重量部使用し、可塑剤としてブチルフタル酸ブチルを同様に1〜5重量部使用し、溶剤を同様に40〜80重量部使用する。なお、溶剤はグリコールエーテル、メチルエチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、n−ブタノールなどの有機溶媒から選ばれる。
(Raw material of kneaded material)
First, a ferrite powder, a binder that adhesively bonds the powder, a plasticizer that adjusts the fluidity of the binder, and a solvent (solvent) that makes them easy to mix are prepared. As the ferrite powder, a well-known Ni—Zn—Cu ferrite is adopted, PVB (polyvinyl butyral) is used as a binder in an amount of 5 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ferrite powder, and butyl butyl phthalate is similarly used as a plasticizer. 1 to 5 parts by weight, and 40 to 80 parts by weight of the solvent is used. The solvent is selected from organic solvents such as glycol ether, methyl ethyl ketone, toluene, methanol, ethanol, and n-butanol.

(混錬工程)
次に、前記原料を混錬する。混錬手段としては、特に限定されるものではないが、好ましくは、ボールミルが使用される。溶剤とフェライト粉末を先にボールミル内に充填してそれらを混合した後に、得られた混合物にバインダーと可塑剤を添加してさらに混合する。得られた均一なフェライト原料混錬物は、真空容器で充分に減圧脱泡して、後続する成形工程で得られる延展物のクラックの発生を防止する。
(Kneading process)
Next, the raw materials are kneaded. The kneading means is not particularly limited, but a ball mill is preferably used. A solvent and ferrite powder are first filled in a ball mill and mixed, and then a binder and a plasticizer are added to the resulting mixture and further mixed. The obtained uniform ferrite raw material kneaded material is sufficiently degassed under reduced pressure in a vacuum vessel to prevent the occurrence of cracks in the extended product obtained in the subsequent molding process.

(成形工程)
次に、フェライト原料混錬物を成形してフェライトグリーンシートを得る。成形方法は、図4(a)に示すドクターブレード法を用いて、所定の間隔を有する2枚のブレード21の間からフェライト原料混錬物23を長尺キャリアシート22の上に吐出・延展して、所定の厚みの延展物24を得る。
(Molding process)
Next, a ferrite raw material kneaded product is formed to obtain a ferrite green sheet. As a forming method, using a doctor blade method shown in FIG. 4A, a ferrite raw material kneaded material 23 is discharged and spread on a long carrier sheet 22 from between two blades 21 having a predetermined interval. Thus, the extended article 24 having a predetermined thickness is obtained.

前記長尺キャリアシートとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)又はポリイミド等の耐熱性の合成樹脂フィルムを粗面加工したものを使用するが、好ましくはPETを使用する。 As the elongate carrier sheet, a heat-treated synthetic resin film such as polyethylene terephthalate (PET) or polyimide is used, and preferably PET is used.

PETフィルムとしては、その表面又は表面層に、無機微粒体又は熱硬化性樹脂微粒体を付着又は混入させた特定の表面特性、すなわち、前記拘束面の中心線平均粗さ(Ra1)よりも大きい中心線平均粗さ(Ra3)を有するPETフィルムを使用する。前記表面特性を有するPETフィルムは、例えば、特開2007−62179号に記載されている物や、前記ドクターブレード法によって吐出されたPETグリーンシートの上に、前記微粒体(Si、炭化物又は熱硬化性樹脂微粒体)をスプレー塗布して、特定の表面粗さを有するように粗面処理した物を使用する。このとき、中心線平均粗さは、得ようとする拘束面の中心線平均粗さよりも大きい値とし、具体的には900〜1600nmの表面粗さに粗面処理された物が望ましい。 The PET film has a specific surface characteristic in which inorganic fine particles or thermosetting resin fine particles are adhered or mixed on the surface or surface layer thereof, that is, larger than the centerline average roughness (Ra1) of the constraining surface. A PET film having a center line average roughness (Ra3) is used. Examples of the PET film having the surface characteristics include those described in JP-A-2007-62179 and the fine particles (Si, carbide, or thermosetting) on the PET green sheet discharged by the doctor blade method. A finely divided resin fine particle) is applied by spraying, and a surface-treated product having a specific surface roughness is used. At this time, the center line average roughness is set to a value larger than the center line average roughness of the constraining surface to be obtained, and specifically, a product whose surface is roughened to a surface roughness of 900 to 1600 nm is desirable.

前記成形工程において、粗面処理された長尺キャリアシート22を用いることによって、図4(b)に示すように、長尺キャリアシートの凹凸が延展物24の裏面24aに実質的に転写されて、エントロピーが小さくなる。その結果、拘束面12ができる。 In the molding step, by using the rough carrier sheet 22 that has been roughened, the unevenness of the long carrier sheet is substantially transferred to the back surface 24a of the extension 24 as shown in FIG. Entropy is reduced. As a result, the constraining surface 12 is formed.

このとき、長尺キャリアシート22に接していない延展物24の表面24bは、特別に外力が加えられることないため、そのエントロピーは拘束面よりも増大し、自由面11となる。 At this time, the surface 24b of the extended article 24 that is not in contact with the long carrier sheet 22 is not subjected to any special external force, so that its entropy is larger than the constraining surface and becomes the free surface 11.

上記工程によって延展されて得られた延展物24は、徐々に乾燥・硬化されてフェライトグリーンシート1となる。得られたフェライトグリーンシート1の表面粗さは、拘束面において、中心線平均粗さは850〜1500nmであり、最大高さは7.0〜15μmとなるが、好ましくは、中心線平均粗さは900〜1300nmであり、最大高さは9〜12μmである。また、1/2面積占有率は40〜80%となるが、好ましくは70〜80%である。 The extension 24 obtained by the extension by the above process is gradually dried and cured to become the ferrite green sheet 1. As for the surface roughness of the obtained ferrite green sheet 1, the centerline average roughness is 850 to 1500 nm and the maximum height is 7.0 to 15 μm on the constrained surface, preferably the centerline average roughness. Is 900 to 1300 nm, and the maximum height is 9 to 12 μm. Moreover, although a 1/2 area occupation rate will be 40 to 80%, Preferably it is 70 to 80%.

(裁断工程)
次に、前記フェライトグリーンシートを50mm四方、100mm四方、200mm四方等の大きさに裁断し、裁断フェライトグリーンシートを得る。
(Cutting process)
Next, the ferrite green sheet is cut into a size of 50 mm square, 100 mm square, 200 mm square, etc. to obtain a cut ferrite green sheet.

(積重工程)
次に、前記裁断フェライトグリーンシートをアルミナセッター上に、拘束面と自由面とが直接擦り合うように2〜100枚程度重ねて、積重グリーンシートを得る。
(Stacking process)
Next, about 2 to 100 sheets of the cut ferrite green sheet are stacked on an alumina setter so that the constraining surface and the free surface rub against each other directly to obtain a stacked green sheet.

(焼成工程)
次に、前記積重グリーンシートを焼成し、焼結積重体を得る。焼成条件は、電気炉を用いてバインダー成分の除去とフェライトを粒子成長させる工程を設けることが好ましい。バインダー除去は150℃〜550℃で4〜80時間、フェライト粒子の成長は850℃〜960℃で1〜5時間の条件で行う。
(Baking process)
Next, the stacked green sheets are fired to obtain a sintered stack. As for the firing conditions, it is preferable to provide a step of removing binder components and growing ferrite particles using an electric furnace. The binder removal is performed at 150 ° C. to 550 ° C. for 4 to 80 hours, and the ferrite particles are grown at 850 ° C. to 960 ° C. for 1 to 5 hours.

裁断フェライトグリーンシートの加熱変形や割れを防止するために、バインダー除去は室温から10〜20℃/時間程度で昇温した後に一定温度を保持する方が良い。またその後、30〜60℃/時間で昇温した後に一定温度を保持し十分に焼結しフェライト粒子を成長させた後に徐々に冷却することが好ましい。ただし、保持温度、昇温速度、焼成時間はこの範囲に限定されず、処理するフェライトグリーンシートの枚数によって最適な条件を選定できる。 In order to prevent heat deformation and cracking of the cut ferrite green sheet, it is better to remove the binder after maintaining the temperature from room temperature to about 10 to 20 ° C./hour and then maintaining a constant temperature. After that, it is preferable that the temperature is increased at 30 to 60 ° C./hour, and thereafter, the temperature is kept constant and sufficiently sintered to grow ferrite particles, and then gradually cooled. However, the holding temperature, the heating rate, and the firing time are not limited to these ranges, and optimum conditions can be selected depending on the number of ferrite green sheets to be processed.

前記裁断フェライトグリーンシートを焼成すると、拘束面の中心線平均粗さが850nm以上で最大高さが5μm以上である裁断焼結フェライトシートが得られる。このとき、前記裁断フェライトグリーンシートの中心線平均粗さが1500nmを越えるか、最大高さが15μmを越えると平滑性が失われ、割れやすくなる。 When the cut ferrite green sheet is fired, a cut sintered ferrite sheet having a centerline average roughness of the constraining surface of 850 nm or more and a maximum height of 5 μm or more is obtained. At this time, if the center line average roughness of the cut ferrite green sheet exceeds 1500 nm or the maximum height exceeds 15 μm, the smoothness is lost, and cracking tends to occur.

(検査工程)
前記焼成工程にて前記焼結積重体が得られるが、製品としては裁断焼結フェライトシート1枚ごとに検査を行わなければならない。そのため、前記焼結積重体から裁断焼結フェライトシートを1枚ごとに品質を保ったまま分離させる必要がある。そのためには、得られた前記焼結積重体に、焼結フェライトシートの弾性領域内で人為的、機械的、熱力学的、電磁的又は流体力学的に負荷を加えて、バイメタルを変形させるように又はミクロ的な2次元方向にずらす。すると、本発明は、焼結積重体内の隣接する裁断焼結フェライトシート同士が固着せずに滑動性が良いため、非常に小さな前記負荷を加えるだけで、裁断焼結フェライトシートを容易に1枚ずつに分離することができる。
(Inspection process)
The sintered stack is obtained in the firing step, but the product must be inspected for each cut sintered ferrite sheet. Therefore, it is necessary to separate the cut sintered ferrite sheets from the sintered stack while maintaining the quality for each sheet. For this purpose, the bimetal is deformed by applying an artificial, mechanical, thermodynamic, electromagnetic or hydrodynamic load to the obtained sintered stack in the elastic region of the sintered ferrite sheet. Or in a micro two-dimensional direction. Then, in the present invention, since the adjacent cut sintered ferrite sheets in the sintered stack do not adhere to each other and have good slidability, the cut sintered ferrite sheet can be easily formed only by applying a very small load. Can be separated into individual sheets.

[実験結果]
本発明の具体的な実験結果を挙げる。
[Experimental result]
Specific experimental results of the present invention will be given.

[実施例]
累積50%体積粒子径1.0μmに調整したNi−Zn−Cuフェライト粉末を100重量部とバインダーとしてPVBをボールミルにて混合し、フェライト原料混錬物を得た。得られたフェライト原料混錬物を、ドクターブレード法を用いて、粗面加工を施したPETフィルム上に延展した。PETフィルムは、表面特性が中心線平均粗さRa3=1400nm、最大高さRz3=12μmとなるようにSi粒子とUV硬化樹脂を混錬したものをスプレー塗布して粗面加工を施したものを使用した。PETフィルム上に延展したフェライト原料混錬物を乾燥させた後に所定形状に裁断し、拘束面の表面特性が、中心線平均粗さRa1=1287nm、最大高さRz1=10.4μm、1/2面積占有率にして60%、自由面の表面特性が、中心線平均粗さRa2=266nm、最大高さRz2=4.0μm、1/2面積占有率にして82%である裁断フェライトグリーンシートを得た。
[Example]
PVB was mixed with a ball mill using 100 parts by weight of Ni—Zn—Cu ferrite powder adjusted to a cumulative 50% volume particle diameter of 1.0 μm and a binder to obtain a ferrite raw material kneaded product. The obtained ferrite raw material kneaded material was spread on a roughened PET film using a doctor blade method. The PET film is obtained by spraying a kneaded mixture of Si particles and UV curable resin so that the surface characteristics are centerline average roughness Ra3 = 1400 nm and maximum height Rz3 = 12 μm. used. The ferrite raw material kneaded material spread on the PET film is dried and then cut into a predetermined shape. The surface characteristics of the constraining surface are centerline average roughness Ra1 = 1287 nm, maximum height Rz1 = 10.4 μm, 1/2 A cut ferrite green sheet having an area occupancy ratio of 60%, a free-surface surface characteristic of centerline average roughness Ra2 = 266 nm, maximum height Rz2 = 4.0 μm, and ½ area occupancy ratio of 82%. Obtained.

この裁断フェライトグリーンシートを、拘束面と自由面とが擦り合うように10枚重ねて積重グリーンシートとし、この積重グリーンシートをアルミナセッターに載せ、温度400℃で4時間かけてバインダーを除去し、焼成温度900℃で3時間焼成し、焼結積重体を得た。この焼結積重体に人為的に弾性領域の負荷を加えて検査したところ、10枚全て容易に分離することができた。この裁断焼結フェライトシートの拘束面の表面特性は、中心線平均粗さRa=1150nm、最大高さRz=9.4μm、1/2面積占有率にして57%であった。 10 sheets of this cut ferrite green sheet are stacked so that the constraining surface and the free surface rub against each other to form a stacked green sheet. This stacked green sheet is placed on an alumina setter and the binder is removed at a temperature of 400 ° C. for 4 hours. And firing for 3 hours at a firing temperature of 900 ° C. to obtain a sintered stack. When the sintered stack was artificially loaded with an elastic region load and inspected, all 10 sheets could be easily separated. The surface properties of the constrained surface of the cut sintered ferrite sheet were 57% in terms of centerline average roughness Ra = 1150 nm, maximum height Rz = 9.4 μm, and ½ area occupancy.

[比較例1]
実施例と同じフェライト原料混錬物を、表面にサンドブラスト加工によって表面特性を、Ra3=530nm、Rz3=5.6μmに調整したPETフィルム上に、ドクターブレード法を用いて一定の厚さに延展・乾燥させた後に所定形状に裁断し、拘束面の表面特性が、Ra1=370nm、Rz1=4.0μm、1/2面積占有率にして73%、自由面の表面特性が、Ra2=104nm、Rz2=1.3μm、1/2面積占有率93%である裁断フェライトグリーンシートを得た。
[Comparative Example 1]
The same ferrite raw material kneaded material as in the example was spread on a PET film whose surface characteristics were adjusted to Ra3 = 530 nm and Rz3 = 5.6 μm by a sandblasting process to a constant thickness using a doctor blade method. After drying, it is cut into a predetermined shape, and the surface characteristics of the constraining surface are Ra1 = 370 nm, Rz1 = 4.0 μm, ½ area occupancy is 73%, the surface characteristics of the free surface are Ra2 = 104 nm, Rz2 A cut ferrite green sheet having 1.3 μm and a ½ area occupation ratio of 93% was obtained.

この裁断フェライトグリーンシートを、拘束面と自由面とが擦り合うように10枚重ねて積重グリーンシートとし、この積重グリーンシートをアルミナセッターに載せ、実施例と同じ焼成条件で焼成し、焼結積重体を得た。この焼結積重体に人為的に弾性領域内の負荷を加えて検査したところ、焼成中に拘束面と自由面とが固着しており、分離することができず、割れを生じた。この裁断焼結フェライトシートの拘束面の表面特性は、破片を分析したところ、Ra=292nm、Rz=3.5μm、1/2面積占有率にして12%であった。 Ten sheets of this cut ferrite green sheet are stacked so that the constraining surface and the free surface rub against each other to form a stacked green sheet. This stacked green sheet is placed on an alumina setter and fired under the same firing conditions as in the examples. A stacked body was obtained. When this sintered stack was inspected by artificially applying a load in the elastic region, the constraining surface and the free surface were fixed during firing and could not be separated, resulting in cracks. The surface properties of the constrained surface of this cut sintered ferrite sheet were 12% in terms of Ra = 292 nm, Rz = 3.5 μm, and ½ area occupancy when the fragments were analyzed.

[比較例2]
実施例と同じ方法によって製造された裁断フェライトグリーンシート(表面特性も実施例1と同じ)を、拘束面同士、自由面同士が擦り合うように10枚重ねて積重グリーンシートとし、この積重グリーンシートを実施例1と同じ条件で焼成し、焼結積重体を得た。この焼結積重体に人為的に弾性領域内の負荷を加えて検査したところ、焼成中に自由面同士が固着しており、分離することができなかった。この裁断焼結フェライトシートの拘束面の表面特性は実施例と同様に、中心線平均粗さRa=1150nm、最大高さRz=9.4μm、1/2面積占有率にして57%であった。
[Comparative Example 2]
10 sheets of cut ferrite green sheets (surface characteristics are the same as in Example 1) manufactured by the same method as in Example are stacked to form a stacked green sheet so that the constraining surfaces and free surfaces rub against each other. The green sheet was fired under the same conditions as in Example 1 to obtain a sintered stack. When this sintered stack was inspected artificially by applying a load in the elastic region, the free surfaces were fixed to each other during firing and could not be separated. The surface characteristics of the constrained surface of this cut sintered ferrite sheet were 57% in terms of centerline average roughness Ra = 1150 nm, maximum height Rz = 9.4 μm, and 1/2 area occupation ratio, as in the example. .

この結果から、フェライトグリーンシートにおいて擦り合わせ面の表面特性が近い場合、積み重ねて焼成すると擦り合わせ面でフェライトグリーンシートが固着されるが、本発明は、擦り合わせ面を表面特性の離れた拘束面と自由面とにすることによって、複数枚積み重ねて焼成しても擦り合わせ面が固着されず、滑動性が良いという、優れた効果を発揮する。 From this result, when the surface characteristics of the rubbed surface in the ferrite green sheet are close, the ferrite green sheet is fixed on the rubbed surface when stacked and fired. By making it a free surface, even if a plurality of sheets are stacked and baked, the rubbing surfaces are not fixed, and an excellent effect is exhibited that the sliding property is good.

本発明によると、裁断焼結フェライトシートの拘束面に適度な表面特性を設けることが容易に行え、離型粉末を用いることなく積み重ねた状態で焼成しても擦り合う自由面と拘束面とが固着せず、滑動性の良い裁断焼結フェライトシートが工業的に得られる。 According to the present invention, it is easy to provide appropriate surface characteristics on the constraining surface of the cut sintered ferrite sheet, and the free surface and the constraining surface rub against each other even when fired in a stacked state without using a release powder. A cut and sintered ferrite sheet that does not stick and has good sliding properties is industrially obtained.

1:フェライトグリーンシート
2:第一裁断フェライトグリーンシート
3:第二裁断フェライトグリーンシート
11:自由面
12:拘束面
13:山部
14:谷部
21:ブレード
22:長尺キャリアシート
23:フェライト原料混錬物
24:延展物
24a:裏面
24b:表面
50:積重グリーンシート
51a:下位歯車
51b:上位歯車
53a、54b:歯
55a、56b:歯溝
H:相当厚さ
Ra1、Ra2:中心線平均粗さ
Rz1、Rz2:最大高さ
a1、a2、b1、b2:平面
c:擦り合わせ領域
1: Ferrite green sheet 2: First cut ferrite green sheet 3: Second cut ferrite green sheet 11: Free surface 12: Restraint surface 13: Mountain portion 14: Valley portion 21: Blade 22: Long carrier sheet 23: Ferrite raw material Kneaded material 24: Extension 24a: Back surface 24b: Front surface 50: Stacked green sheet 51a: Lower gear 51b: Upper gear 53a, 54b: Teeth 55a, 56b: Tooth gap H: Equivalent thickness Ra1, Ra2: Center line average Roughness Rz1, Rz2: Maximum heights a1, a2, b1, b2: Plane c: Rubbing region

従って、本発明の課題は、前記自由面の表面特性が、その 中心線平均粗さにして150〜300nm、最大高さにして2.0〜5.0μm、1/2面積占有率にして50〜95%になっている裁断フェライトグリーンシートを800〜1000℃の温度で焼結しても、得られた裁断焼結フェライトシート同士が全く固着しない、滑動性の良い裁断焼結フェライトシートを得ることにある。なお、本発明において滑動性とは、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように重ねた2枚の裁断焼結フェライトシートのうち、少なくとも1枚に外部負荷をかけたときの相互の滑りやすさを意味し、例えば滑動性が良い焼結フェライトシートは、小さい外部負荷を受けて滑り出す。

Therefore, the subject of the present invention is that the surface characteristics of the free surface have a center line average roughness of 150 to 300 nm, a maximum height of 2.0 to 5.0 μm, and a half area occupation ratio of 50. Even if the cut ferrite green sheet of ~ 95% is sintered at a temperature of 800 to 1000 ° C, the obtained cut sintered ferrite sheet does not adhere at all, and a cut sintered ferrite sheet having good sliding property is obtained. There is. In the present invention, slidability refers to mutual sliding when an external load is applied to at least one of the two cut sintered ferrite sheets stacked so that the constraining surface and the free surface directly rub against each other. For example, a sintered ferrite sheet having good sliding properties starts to slide under a small external load.

(検査工程)
前記焼成工程にて前記焼結積重体が得られるが、製品としては裁断焼結フェライトシート1枚ごとに検査を行わなければならない。そのため、前記焼結積重体から裁断焼結フェライトシートを1枚ごとに品質を保ったまま分離させる必要がある。そのためには、得られた前記焼結積重体に、焼結フェライトシートの弾性領域内で人為的、機械的、熱力学的、電磁的又は流体力学的に外部負荷を加えて、バイメタルを変形させるように又はミクロ的な2次元方向にずらす。すると、まず、裁断焼結フェライトシートは外部負荷を受けるが、その負荷は弾性領域内の負荷であるので、破壊は起こらない。次に、本発明で得られた裁断焼結フェライトシートの活動性が良いので、小さい外部負荷を受けて滑り出す。そのため、焼結積重体から裁断焼結フェライトシートを1枚ずつに分離することができる。なお、もし前記拘束面と自由面との間に固着が起こっている場合、当然に隣接する2枚の裁断焼結フェライトシート間に滑動が起こらない。このようにして、この検査工程において固着が起こっているか否かを検査する。
(Inspection process)
The sintered stack is obtained in the firing step, but the product must be inspected for each cut sintered ferrite sheet. Therefore, it is necessary to separate the cut sintered ferrite sheets from the sintered stack while maintaining the quality for each sheet. For this purpose, the bimetal is deformed by applying an external load artificially, mechanically, thermodynamically, electromagnetically or hydrodynamically to the obtained sintered stack in the elastic region of the sintered ferrite sheet. Or in a micro two-dimensional direction. Then, first, the cut sintered ferrite sheet is subjected to an external load, but the load is a load in the elastic region, so that no breakage occurs. Next, since the cut sintered ferrite sheet obtained in the present invention has good activity, it slides under a small external load. Therefore, it is possible to separate the cut sintered ferrite sheets one by one from Shoyuiseki critical condition. It should be noted that if sticking occurs between the constraining surface and the free surface, naturally no sliding occurs between the two adjacent cut sintered ferrite sheets. In this way, it is inspected whether or not sticking has occurred in this inspection step.

Claims (6)

粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、前記拘束面の表面特性より小さい下記の表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが30〜500μmのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、
前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、
前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、
前記積重グリーンシートを800〜1000℃の温度範囲で焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程と
からなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法;
(1)中心線平均粗さ:150〜300nm、
(2)最大高さ:2.0〜5.0μm、
(3)100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:50〜95%。
By extending a kneaded product of ferrite raw material on a long carrier sheet having a roughened surface, an external load is applied to the back surface of the obtained extended product due to the reaction of its own weight. A constraining surface obtained by substantially transferring a rough surface and the following surface characteristics smaller than the surface characteristics of the constraining surface by exposing it to the outside without applying any external load to the surface of the extended object. A forming step of forming a ferrite green sheet having a free surface and an equivalent thickness of 30 to 500 μm;
Cutting the ferrite green sheet into a predetermined planar shape to obtain a large number of cut ferrite green sheets;
A plurality of the cut ferrite green sheets, a stacking step of stacking so that the constraining surface and the free surface directly rub to obtain a stacked green sheet;
A method for producing a cut sintered ferrite sheet comprising a firing step of firing the stacked green sheet in a temperature range of 800 to 1000 ° C. to obtain a cut sintered ferrite sheet;
(1) Center line average roughness: 150 to 300 nm,
(2) Maximum height: 2.0 to 5.0 μm,
(3) Area occupancy occupied by the cut surface when the 100 μm square cut ferrite green sheet is virtually cut at a height of ½ of the maximum height in the thickness direction: 50 to 95%.
粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写して下記の表面特性を有する拘束面を備えている、相当厚さが30〜500μmのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、
前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、
前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、
前記積重グリーンシートを800〜1000℃の温度範囲で焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程と
からなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法;
(1)中心線平均粗さ:850〜1500nm、
(2)最大高さ:7〜15μm、
(3)100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:40〜65%。
By extending a kneaded product of ferrite raw material on a long carrier sheet having a roughened surface, an external load is applied to the back surface of the obtained extended product due to the reaction of its own weight. A forming step of forming a ferrite green sheet having a corresponding thickness of 30 to 500 μm, which includes a constraining surface having the following surface characteristics by substantially transferring a rough surface;
Cutting the ferrite green sheet into a predetermined planar shape to obtain a large number of cut ferrite green sheets;
A plurality of the cut ferrite green sheets, a stacking step of stacking so that the constraining surface and the free surface directly rub to obtain a stacked green sheet;
A method for producing a cut sintered ferrite sheet comprising a firing step of firing the stacked green sheet in a temperature range of 800 to 1000 ° C. to obtain a cut sintered ferrite sheet;
(1) Centerline average roughness: 850 to 1500 nm,
(2) Maximum height: 7 to 15 μm,
(3) Area occupancy occupied by the cut surface when the 100 μm square cut ferrite green sheet is virtually cut at a height of ½ of the maximum height in the thickness direction: 40 to 65%.
粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる、下記(1)項記載の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、下記(2)項記載の表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが30〜500μmのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、
前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、
前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面が直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、
前記積重グリーンシートを800〜1000℃の温度範囲で焼成して焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程と
からなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法;
(1)拘束面の中心線平均粗さ(Ra1):850〜1500nm、最大高さ(Rz1):7〜15μm、100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:40〜65%。
(2)自由面の中心線平均粗さ(Ra2):150〜300nm、最大高さ(Rz2):2.0〜5.0μm、100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:50〜95%。
By extending a kneaded product of ferrite raw material on a long carrier sheet having a roughened surface, an external load is applied to the back surface of the obtained extended product due to the reaction of its own weight. The constraining surface having the surface characteristics described in the following (1), which is substantially transferred from the rough surface, and the surface of the extended article is exposed to the outside without applying any external load. 2) a forming step for forming a ferrite green sheet having an equivalent thickness of 30 to 500 μm, comprising a free surface having the surface characteristics described in the section;
Cutting the ferrite green sheet into a predetermined planar shape to obtain a large number of cut ferrite green sheets;
A plurality of the cut ferrite green sheets, and a stacking step of stacking the constraining surface and the free surface so as to directly rub to obtain a stacked green sheet;
A method for producing a cut sintered ferrite sheet comprising a firing step of firing the stacked green sheet in a temperature range of 800 to 1000 ° C. to obtain a cut sintered ferrite sheet;
(1) Centerline average roughness (Ra1) of constraining surface: 850 to 1500 nm, maximum height (Rz1): 7 to 15 μm, 100 μm square cut ferrite green sheet is ½ the maximum height in the thickness direction Now, the area occupation ratio occupied by the cut surface when virtually cut is 40 to 65%.
(2) Centerline average roughness (Ra2) of free surface: 150 to 300 nm, maximum height (Rz2): 2.0 to 5.0 μm, 100 μm square cut ferrite green sheet having a maximum height of 1 in the thickness direction The area occupation ratio of the cut surface when virtually cut at a height of / 2 occupies the unit area: 50 to 95%.
粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる、下記(1)項記載の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、下記(2)項記載の表面特性を有する自由面とを備えており、表面特性の差が下記(3)項記載の表面特性であり、相当厚さが30〜500μmのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、
前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、
前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面が直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、
前記積重グリーンシートを800〜1000℃の温度範囲で焼成して焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程と
からなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法;
(1)拘束面の中心線平均粗さ(Ra1):850〜1500nm、最大高さ(Rz1):7〜15μm、100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:40〜65%。
(2)自由面の中心線平均粗さ(Ra2):150〜300nm、最大高さ(Rz2):2.0〜5.0μm、100μm平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの1/2の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率:50〜95%。
(3)拘束面と自由面との中心線平均粗さの差(Ra1−Ra2)が550〜1350nm、最大高さの差(Rz1−Rz2)が3.5〜13μm。
By extending a kneaded product of ferrite raw material on a long carrier sheet having a roughened surface, an external load is applied to the back surface of the obtained extended product due to the reaction of its own weight. The constraining surface having the surface characteristics described in the following (1), which is substantially transferred from the rough surface, and the surface of the extended article is exposed to the outside without applying any external load. And a free surface having the surface characteristics described in the section 2), a difference in surface characteristics is the surface characteristics described in the section (3) below, and a molding process for molding into a ferrite green sheet having an equivalent thickness of 30 to 500 μm When,
Cutting the ferrite green sheet into a predetermined planar shape to obtain a large number of cut ferrite green sheets;
A plurality of the cut ferrite green sheets, and a stacking step of stacking the constraining surface and the free surface so as to directly rub to obtain a stacked green sheet;
A method for producing a cut sintered ferrite sheet comprising a firing step of firing the stacked green sheet in a temperature range of 800 to 1000 ° C. to obtain a cut sintered ferrite sheet;
(1) Centerline average roughness (Ra1) of constraining surface: 850 to 1500 nm, maximum height (Rz1): 7 to 15 μm, 100 μm square cut ferrite green sheet is ½ the maximum height in the thickness direction Now, the area occupation ratio occupied by the cut surface when virtually cut is 40 to 65%.
(2) Centerline average roughness (Ra2) of free surface: 150 to 300 nm, maximum height (Rz2): 2.0 to 5.0 μm, 100 μm square cut ferrite green sheet having a maximum height of 1 in the thickness direction The area occupation ratio of the cut surface when virtually cut at a height of / 2 occupies the unit area: 50 to 95%.
(3) The centerline average roughness difference (Ra1-Ra2) between the constraining surface and the free surface is 550-1350 nm, and the maximum height difference (Rz1-Rz2) is 3.5-13 μm.
前記長尺キャリアシートが、前記拘束面の中心線平均粗さ(Ra1)よりも大きい中心線平均粗さ(Ra3)を有するポリエチレンテレフタレートからなる請求項1乃至4に記載の裁断焼結フェライトシートの製造方法。 5. The cut sintered ferrite sheet according to claim 1, wherein the long carrier sheet is made of polyethylene terephthalate having a centerline average roughness (Ra3) larger than a centerline average roughness (Ra1) of the constraining surface. Production method. 前記長尺キャリアシートは、その表面又は表面層に、無機微粒体又は熱硬化性樹脂微粒体が付着又は混入している請求項1乃至5に記載の裁断焼結フェライトシートの製造方法。   The method for producing a cut sintered ferrite sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein the long carrier sheet has an inorganic fine particle or a thermosetting resin fine particle attached or mixed on a surface or a surface layer thereof.
JP2014266882A 2014-12-27 2014-12-27 Method of manufacturing cut sintered ferrite sheet Pending JP2016127151A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014266882A JP2016127151A (en) 2014-12-27 2014-12-27 Method of manufacturing cut sintered ferrite sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014266882A JP2016127151A (en) 2014-12-27 2014-12-27 Method of manufacturing cut sintered ferrite sheet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016127151A true JP2016127151A (en) 2016-07-11

Family

ID=56359679

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014266882A Pending JP2016127151A (en) 2014-12-27 2014-12-27 Method of manufacturing cut sintered ferrite sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2016127151A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111799905A (en) * 2019-04-01 2020-10-20 Tdk株式会社 Magnet structure, method for manufacturing magnet structure, and motor
WO2023171495A1 (en) * 2022-03-09 2023-09-14 戸田工業株式会社 Elongate ferrite sheet and cable using same, and method for manufacturing antenna device using same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111799905A (en) * 2019-04-01 2020-10-20 Tdk株式会社 Magnet structure, method for manufacturing magnet structure, and motor
CN111799905B (en) * 2019-04-01 2022-06-14 Tdk株式会社 Magnet structure, method for manufacturing magnet structure, and motor
WO2023171495A1 (en) * 2022-03-09 2023-09-14 戸田工業株式会社 Elongate ferrite sheet and cable using same, and method for manufacturing antenna device using same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5752101B2 (en) Porous ceramics
KR101506083B1 (en) Heat-insulating material
KR20120112150A (en) Method for producing electrostatic chuck and electrostatic chuck
JP7469408B2 (en) Porous cell body and method for producing same
JP2016127151A (en) Method of manufacturing cut sintered ferrite sheet
KR101316946B1 (en) Ceramic compositions for orthodontics brackets, orthodontics brackets manufactured using the same and preparation method thereof
JP5560081B2 (en) Ceramic clay, ceramic molded body, ceramic structure and manufacturing method thereof
US9850172B2 (en) Ceramic powder, method of manufacturing the same, and method for laser sinter molding
KR20200069398A (en) Multi-layered structure for sintering of thin ceramic plate and manufacturing method of thin ceramic plate using the same
CN107835796A (en) Porous ceramic structure
JP4358777B2 (en) Zirconia setter and method for manufacturing ceramic substrate
TWI356665B (en)
JP5677876B2 (en) Mold manufacturing method
JP5877821B2 (en) Composite fireproof insulation
JP6588913B2 (en) Metal oxide particles
TW201313473A (en) Laminated polyester film and method for manufacturing same
KR101874959B1 (en) Heat radiated grapheme sheet and manufacturing method thereof
JP4836006B2 (en) Method for firing ceramic honeycomb structure
TWI703048B (en) Ferrite laminate and noise suppression sheet
JP5493419B2 (en) ZnS sintered body, ZnS sintered body group and optical member, and manufacturing method thereof
JP6173010B2 (en) Carbonaceous acoustic diaphragm and manufacturing method thereof
TWI603497B (en) Led ceramic substrate and the manufacturing method thereof
JPH059064A (en) Production of high purity alumina sintered body
JP6760493B2 (en) Manufacturing method of carrier film and electronic parts
WO2017155687A1 (en) Vacuum glazing pillars for insulated glass units and insulated glass units therefrom