JP2016125834A - Induction detection type rotary encoder - Google Patents

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JP2016125834A JP2014264468A JP2014264468A JP2016125834A JP 2016125834 A JP2016125834 A JP 2016125834A JP 2014264468 A JP2014264468 A JP 2014264468A JP 2014264468 A JP2014264468 A JP 2014264468A JP 2016125834 A JP2016125834 A JP 2016125834A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an induction detection type rotary encoder with which it is possible to downsize and conduct a stroke-suppressed and high-accuracy position detection.SOLUTION: An induction detection type rotary encoder comprises a first transmission winding and a second transmission winding provided in a stator, a first reception winding provided in a first area, a second reception winding provided in a second area, a first magnetic flux coupling element provided in a third area of a rotor, and a second magnetic flux coupling element provided in a fourth area. The second area, the first area, the third area, and the fourth area are arranged in an axial direction in the order stated. A shortest distance between the first transmission winding and the first magnetic flux coupling element is shorter than a shortest distance between the second transmission winding and the first magnetic flux coupling element. A shortest distance between the second transmission winding and the second magnetic flux coupling element is shorter than a shortest distance between the first transmission winding and the second magnetic flux coupling element. The shortest distance between the first transmission winding and the first magnetic flux coupling element is shorter than a shortest distance between the first transmission winding and the second magnetic flux coupling element. The shortest distance between the second transmission winding and the second magnetic flux coupling element is shorter than the shortest distance between the second transmission winding and the first magnetic flux coupling element.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、ロータとステータとに設けられた配線の間で生じる磁束結合を利用して回転角を測定する誘導検出型ロータリエンコーダに関する。   The present invention relates to an inductive detection type rotary encoder that measures a rotation angle by using magnetic flux coupling generated between wirings provided on a rotor and a stator.

誘導検出型ロータリエンコーダは、送信巻線及び受信巻線が設けられたステータと、磁束結合体が設けられたロータとを備える。この誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、送信巻線には周期的に電流方向が変化する送信電流が流される。磁束結合体は、送信巻線に流される送信電流によって発生した磁界に基づく誘導電流を発生させる。受信巻線は、磁束結合体を流れる誘導電流によって発生した磁界に基づく誘導電圧を検出する。   The inductive detection type rotary encoder includes a stator provided with a transmission winding and a reception winding, and a rotor provided with a magnetic flux coupling body. In this inductive detection type rotary encoder, a transmission current whose current direction changes periodically flows through the transmission winding. The magnetic flux coupling body generates an induced current based on a magnetic field generated by a transmission current that flows through the transmission winding. The receiving winding detects an induced voltage based on a magnetic field generated by an induced current flowing through the magnetic flux coupling body.

例えば、特許文献1に開示される誘導検出型ロータリエンコーダにおいては、ステータに、複数の送信巻線及び複数の受信巻線が絶縁層を介して積層されている。また、ロータには、複数の磁束結合体が絶縁層を介して積層されている。   For example, in the inductive detection type rotary encoder disclosed in Patent Document 1, a plurality of transmission windings and a plurality of reception windings are laminated on a stator via an insulating layer. In addition, a plurality of magnetic flux coupling bodies are stacked on the rotor via an insulating layer.

特許文献1に記載のアブソリュート型エンコーダでは、送信巻線、受信巻線及び磁束結合体によって構成されるトラックを2つ備え、これらのトラックが同心円状に配置された構成を備えている。   The absolute encoder described in Patent Document 1 includes two tracks each including a transmission winding, a reception winding, and a magnetic flux coupling body, and has a configuration in which these tracks are arranged concentrically.

また、特許文献2に記載の誘導検出型ロータリエンコーダでは、複数の送信巻線、複数の受信巻線及び複数の磁束結合体を積層構造にすることで、誘導検出型ロータリエンコーダの小型化を達成している。   In addition, in the inductive detection type rotary encoder described in Patent Document 2, the induction detection type rotary encoder can be reduced in size by forming a plurality of transmission windings, a plurality of reception windings, and a plurality of magnetic flux coupling bodies in a laminated structure. doing.

特開2006−322927号公報JP 2006-322927 A 特開2013−152163号公報JP 2013-152163 A

しかしながら、特許文献1に記載のアブソリュート型エンコーダでは、2つのトラックが同心円状に配置されるため、エンコーダの外径が大きくなってしまうという問題がある。この点、特許文献2に記載の誘導検出型ロータリエンコーダでは、同じ外径の2つのトラックが積層される構成のため、エンコーダを小型化できるメリットがある。しかし、測定するトラックとは別のトラックからのクロストーク(ノイズ成分)が発生しやすく、測定精度の低下を招くという問題がある。   However, the absolute encoder described in Patent Document 1 has a problem in that the outer diameter of the encoder increases because the two tracks are arranged concentrically. In this regard, the inductive detection type rotary encoder described in Patent Document 2 has a merit that the size of the encoder can be reduced because two tracks having the same outer diameter are stacked. However, there is a problem that crosstalk (noise component) from a track different from the track to be measured is likely to occur, resulting in a decrease in measurement accuracy.

本発明の目的は、エンコーダの小型化とクロストークを抑制した精度の高い位置検出を行うことができる誘導検出型ロータリエンコーダを提供することである。   An object of the present invention is to provide an inductive detection type rotary encoder that can perform position detection with high accuracy while miniaturizing an encoder and suppressing crosstalk.

上記課題を解決するために、本発明の誘導検出型ロータリエンコーダは、ステータと、ステータと対向し、回転軸を中心に回転可能に設けられたロータと、ステータに設けられ、回転軸を中心とした第1半径を有する第1送信巻線と、ステータに設けられ、回転軸を中心とした第2半径を有する第2送信巻線と、ステータに設けられ、回転軸を中心とした環状の第1領域に形成され、回転軸を中心とした第1内側半径と第1外側半径とを有する第1受信巻線と、ステータに設けられ、回転軸を中心とした環状の第2領域に形成され、第1受信巻線との間に第1絶縁層を介して形成され、回転軸を中心とした第2内側半径と第2外側半径とを有する第2受信巻線と、ロータに設けられ、回転軸を中心とした環状の領域であって回転軸に沿った軸方向に第1領域と重なる第3領域に形成され、回転軸を中心とした第3内側半径と第3外側半径とを有する第1磁束結合体と、ロータに設けられ、回転軸を中心とした環状の領域であって軸方向に第2領域と重なる第4領域に形成され、第1磁束結合体との間に第2絶縁層を介して形成され、回転軸を中心とした第4内側半径と第4外側半径とを有する第2磁束結合体と、を備え、第2領域、第1領域、第3領域及び第4領域は、軸方向にこの順で並び、第1送信巻線と第1磁束結合体との最短距離は、第2送信巻線と第1磁束結合体との最短距離よりも短く、第2送信巻線と第2磁束結合体との最短距離は、第1送信巻線と第2磁束結合体との最短距離よりも短く、かつ、第1送信巻線と第1磁束結合体との最短距離は、第1送信巻線と第2磁束結合体との最短距離よりも短く、第2送信巻線と第2磁束結合体との最短距離は、第2送信巻線と第1磁束結合体との最短距離よりも短いことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, an inductive detection type rotary encoder according to the present invention includes a stator, a rotor facing the stator and rotatably provided around a rotation axis, a stator provided, and the rotation axis as a center. The first transmission winding having the first radius, the second transmission winding provided on the stator and having the second radius around the rotation axis, and the annular first transmission winding provided on the stator and centering on the rotation axis. A first receiving winding formed in one region and having a first inner radius and a first outer radius centered on the rotation axis, and provided in the stator and formed in an annular second region centered on the rotation axis. A second receiving winding formed between the first receiving winding and the first receiving layer and having a second inner radius and a second outer radius around the rotation axis; and the rotor, An annular region centered on the rotation axis and along the rotation axis A first magnetic flux coupling body having a third inner radius and a third outer radius with the rotation axis as a center, and a rotor provided at a third region that overlaps the first region in the direction, with the rotation axis as a center. A fourth inner radius that is formed in a fourth region that is an annular region and overlaps the second region in the axial direction, and is formed through a second insulating layer between the first magnetic flux coupling body and centering on the rotation axis And a second magnetic flux coupling body having a fourth outer radius, and the second region, the first region, the third region, and the fourth region are arranged in this order in the axial direction, The shortest distance from the first magnetic flux coupling body is shorter than the shortest distance between the second transmission winding and the first magnetic flux coupling body, and the shortest distance between the second transmission winding and the second magnetic flux coupling body is the first transmission winding. The shortest distance between the first transmission winding and the first magnetic flux coupling body is shorter than the shortest distance between the line and the second magnetic flux coupling body. The shortest distance between the second transmission winding and the first magnetic flux coupling body is shorter than the shortest distance between the second transmission winding and the first magnetic flux coupling body. To do.

このような構成によれば、第1受信巻線、第2受信巻線、第1磁束結合体及び第2磁束結合体の積層構造によってエンコーダの外径を小型化することができる。また、第1送信巻線と第1磁束結合体との最短距離を、第2送信巻線と第1磁束結合体との最短距離よりも短くすることで、第1磁束結合体では第2送信巻線からのクロストークの影響が抑制される。また、第2送信巻線と第2磁束結合体との最短距離を、第1送信巻線と第2磁束結合体との最短距離よりも短くすることで、第2磁束結合体では第1送信巻線からのクロストークの影響が抑制される。   According to such a configuration, the outer diameter of the encoder can be reduced by the laminated structure of the first receiving winding, the second receiving winding, the first magnetic flux coupling body, and the second magnetic flux coupling body. In addition, the shortest distance between the first transmission winding and the first magnetic flux coupling body is shorter than the shortest distance between the second transmission winding and the first magnetic flux coupling body. The influence of crosstalk from the winding is suppressed. In addition, by making the shortest distance between the second transmission winding and the second magnetic flux coupling body shorter than the shortest distance between the first transmission winding and the second magnetic flux coupling body, the second magnetic flux coupling body performs the first transmission. The influence of crosstalk from the winding is suppressed.

本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第1内側半径は、第2内側半径よりも大きく、第2外側半径は、第1内側半径以上であり、第1外側半径は、第2外側半径よりも大きくてもよい。このような構成によれば、エンコーダの外径の大型化を抑制しつつ、軸方向にみて第2受信巻線と第2磁束結合体との間に第2送信巻線を配置するスペースを確保することができる。   In the inductive detection type rotary encoder of the present invention, the first inner radius is larger than the second inner radius, the second outer radius is greater than or equal to the first inner radius, and the first outer radius is larger than the second outer radius. It can be large. According to such a configuration, a space for arranging the second transmission winding is ensured between the second reception winding and the second magnetic flux coupling body in the axial direction while suppressing an increase in the outer diameter of the encoder. can do.

本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第3内側半径は、第4内側半径よりも大きく、第4外側半径は、第3内側半径以上であり、記第3外側半径は、第4外側半径よりも大きくてもよい。このような構成によれば、エンコーダの外径の大型化を抑制しつつ、軸方向にみて第2受信巻線と第2磁束結合体との間に第2送信巻線を配置するスペースを確保することができる。   In the inductive detection type rotary encoder of the present invention, the third inner radius is larger than the fourth inner radius, the fourth outer radius is greater than or equal to the third inner radius, and the third outer radius is larger than the fourth outer radius. May be larger. According to such a configuration, a space for arranging the second transmission winding is ensured between the second reception winding and the second magnetic flux coupling body in the axial direction while suppressing an increase in the outer diameter of the encoder. can do.

本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第1半径は、第1外側半径よりも大きく、第2半径は、第1内側半径よりも小さくてもよい。このような構成によれば、エンコーダの外径の大型化を抑制しつつ、クロストークの影響を抑制する配置を実現することができる。   In the inductive detection type rotary encoder of the present invention, the first radius may be larger than the first outer radius, and the second radius may be smaller than the first inner radius. According to such a configuration, it is possible to realize an arrangement that suppresses the influence of crosstalk while suppressing an increase in the outer diameter of the encoder.

本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第1送信巻線は、第2送信巻線と同層に設けられていてもよい。このような構成によれば、エンコーダの薄型化を図ることができる。   In the inductive detection type rotary encoder of the present invention, the first transmission winding may be provided in the same layer as the second transmission winding. According to such a configuration, the encoder can be thinned.

本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第1磁束結合体及び第1受信巻線は、回転軸を中心とした回転方向に第1ピッチで周期的に変化する形状に設けられ、第2磁束結合体及び第2受信巻線は、回転軸を中心とした回転方向に第1ピッチと異なる第2ピッチで周期的に変化する形状に設けられていてもよい。このような構成によれば、ロータの回転角度における絶対値を得られるようになる。   In the inductive detection type rotary encoder of the present invention, the first magnetic flux coupling body and the first reception winding are provided in a shape that periodically changes at a first pitch in the rotation direction around the rotation axis, and the second magnetic flux coupling The body and the second receiving winding may be provided in a shape that periodically changes at a second pitch different from the first pitch in the rotation direction about the rotation axis. According to such a configuration, an absolute value in the rotation angle of the rotor can be obtained.

本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第1磁束結合体は、回転軸を中心として第3内側半径と同じ半径で環状に設けられた第1環状電流経路を含み、第2磁束結合体は、回転軸を中心として第4外側半径と同じ半径で環状に設けられた第2環状電流経路を含んでいてもよい。このような構成によれば、第1環状電流経路がシールドの役目を果たし、第2送信巻線から第1磁束結合体へのクロストークの影響を抑制することができる。また、第2環状電流経路がシールドの役目を果たし、第1送信巻線から第2磁束結合体へのクロストークの影響を抑制することができる。   In the inductive detection type rotary encoder of the present invention, the first magnetic flux coupling body includes a first annular current path provided in an annular shape with the same radius as the third inner radius around the rotation axis, and the second magnetic flux coupling body is A second annular current path provided in an annular shape with the same radius as the fourth outer radius about the rotation axis may be included. According to such a configuration, the first annular current path serves as a shield, and the influence of crosstalk from the second transmission winding to the first magnetic flux coupling body can be suppressed. In addition, the second annular current path serves as a shield, and the influence of crosstalk from the first transmission winding to the second magnetic flux coupling body can be suppressed.

本発明の誘導検出型ロータリエンコーダにおいて、第1磁束結合体の内側に回転軸を中心として環状に設けられた第1環状電流経路と、第2磁束結合体の外側に回転軸を中心として環状に設けられた第2環状電流経路と、をさらに備えていてもよい。このような構成によれば、第1環状電流経路がシールドの役目を果たし、第2送信巻線から第1磁束結合体へのクロストークの影響を抑制することができる。また、第2環状電流経路がシールドの役目を果たし、第1送信巻線から第2磁束結合体へのクロストークの影響を抑制することができる。   In the inductive detection type rotary encoder of the present invention, a first annular current path provided in an annular shape around the rotational axis inside the first magnetic flux coupling body, and an annular shape around the rotational axis outside the second magnetic flux coupling body. And a second annular current path provided. According to such a configuration, the first annular current path serves as a shield, and the influence of crosstalk from the second transmission winding to the first magnetic flux coupling body can be suppressed. In addition, the second annular current path serves as a shield, and the influence of crosstalk from the first transmission winding to the second magnetic flux coupling body can be suppressed.

デジタル式マイクロメータを例示する正面図である。It is a front view which illustrates a digital micrometer. 第1実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダの構成を例示する断面図である。It is sectional drawing which illustrates the structure of the induction | guidance | derivation detection type rotary encoder which concerns on 1st Embodiment. ステータ及びロータの構成を例示する模式的断面図である。It is a typical sectional view which illustrates the composition of a stator and a rotor. 第1送信巻線、第2送信巻線及び第1受信巻線を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the 1st transmission winding, the 2nd transmission winding, and the 1st reception winding. 第1受信巻線の一つの受信巻線部を例示する平面図である。It is a top view which illustrates one receiving winding part of the 1st receiving winding. 第2受信巻線を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the 2nd receiving winding. 第2受信巻線の一つの受信巻線部を例示する平面図である。It is a top view which illustrates one receiving winding part of the 2nd receiving winding. 、第1磁束結合体を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the 1st magnetic flux coupling body. 第2磁束結合体を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the 2nd magnetic flux coupling body. 第2実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを例示する断面図である。It is sectional drawing which illustrates the induction | guidance | derivation detection type rotary encoder which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the magnetic flux coupling body which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the magnetic flux coupling body which concerns on 2nd Embodiment. 第3実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを例示する断面図である。It is sectional drawing which illustrates the induction | guidance | derivation detection type rotary encoder which concerns on 3rd Embodiment. 第3実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the magnetic flux coupling body which concerns on 3rd Embodiment. 第3実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。It is a top view which illustrates the magnetic flux coupling body which concerns on 3rd Embodiment.

〔第1実施形態〕
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
図1は、第1実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを適用したデジタル式マイクロメータを例示する正面図である。図1に表したように、デジタル式マイクロメータ1は、フレーム3と、シンブル5と、スピンドル7と、表示部9と、を備える。フレーム3は、シンブル5及びスピンドル7を支持する本体部3aと、本体部3aから間隔を開けて設けられるアンビル部3bとを有する。シンブル5は、フレーム3の本体部3aに回転可能に取り付けられる。測定子であるスピンドル7は、フレーム3の本体部3aで回転可能に支持される。
[First Embodiment]
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the same members are denoted by the same reference numerals, and the description of the members once described is omitted as appropriate.
FIG. 1 is a front view illustrating a digital micrometer to which the inductive detection type rotary encoder according to the first embodiment is applied. As shown in FIG. 1, the digital micrometer 1 includes a frame 3, a thimble 5, a spindle 7, and a display unit 9. The frame 3 includes a main body portion 3a that supports the thimble 5 and the spindle 7, and an anvil portion 3b that is provided at a distance from the main body portion 3a. The thimble 5 is rotatably attached to the main body 3 a of the frame 3. The spindle 7 that is a measuring element is rotatably supported by the main body 3 a of the frame 3.

スピンドル7の一端7a側はフレーム3の本体部3aからアンビル部3bに向けて突出している。アンビル部3bには、スピンドル7の一端7aと対向するようにアンビル3cが取り付けられる。スピンドル7の他端側はフレーム3の本体部3aに入り込む。スピンドル7の他端側には送りねじ(図1には示されない)が設けられる。この送りねじがシンブル5内に設けられたナット(図1には示されない)に嵌め込まれている。   One end 7 a side of the spindle 7 protrudes from the main body portion 3 a of the frame 3 toward the anvil portion 3 b. An anvil 3c is attached to the anvil portion 3b so as to face one end 7a of the spindle 7. The other end side of the spindle 7 enters the main body 3 a of the frame 3. A feed screw (not shown in FIG. 1) is provided on the other end side of the spindle 7. This feed screw is fitted into a nut (not shown in FIG. 1) provided in the thimble 5.

フレーム3の本体部3aの外装面には表示部9が設けられる。表示部9は、例えばセグメント方式で数値等を表示する液晶表示パネルである。このような構成において、シンブル5を正方向に回転させると、スピンドル7は、スピンドル7の軸(回転軸AX)に沿ってアンビル3c側へ移動する。これにより、スピンドル7とアンビル3cとの間隔が狭くなる。一方、シンブル5を逆方向に回転させるとスピンドル7は回転軸AXに沿ってアンビル3cとは反対側へ移動する。これにより、スピンドル7とアンビル3cとの間隔が広くなる。   A display unit 9 is provided on the exterior surface of the main body 3 a of the frame 3. The display unit 9 is a liquid crystal display panel that displays a numerical value or the like by a segment method, for example. In such a configuration, when the thimble 5 is rotated in the forward direction, the spindle 7 moves to the anvil 3c side along the axis of the spindle 7 (rotation axis AX). Thereby, the space | interval of the spindle 7 and the anvil 3c becomes narrow. On the other hand, when the thimble 5 is rotated in the reverse direction, the spindle 7 moves along the rotation axis AX to the opposite side to the anvil 3c. Thereby, the space | interval of the spindle 7 and the anvil 3c becomes wide.

対象物の大きさを測定する場合には、アンビル3cとスピンドル7の一端7aとの間に対象物を配置し、シンブル5を正方向に回転させてアンビル3cとスピンドル7の一端7aとの間で対象物を挟むようにする。この際のアンビル3cとスピンドル7の一端7aとの間隔が測定結果として表示部9に表示される。   When measuring the size of the object, the object is placed between the anvil 3c and one end 7a of the spindle 7, and the thimble 5 is rotated in the forward direction so that the anvil 3c and one end 7a of the spindle 7 are To sandwich the object. The distance between the anvil 3c and the one end 7a of the spindle 7 at this time is displayed on the display unit 9 as a measurement result.

次に、本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダの構成について説明する。
図2は、本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダの構成を例示する断面図である。
図2に表したように、誘導検出型ロータリエンコーダ11は、フレーム3の本体部3aに設けられる。
Next, the configuration of the inductive detection type rotary encoder according to the present embodiment will be described.
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the configuration of the inductive detection type rotary encoder according to this embodiment.
As shown in FIG. 2, the inductive detection type rotary encoder 11 is provided in the main body 3 a of the frame 3.

誘導検出型ロータリエンコーダ11は、ステータ14と、ロータ15とを備える。ステータ14はステータブッシュ21を介してフレーム3の本体部3aに固定される。ロータ15は、ステータ14と対向し、回転軸AXを中心に回転可能に設けられる。ロータ15は、円筒状のロータブッシュ19の端面に固定される。ロータブッシュ19及びステータブッシュ21にはスピンドル7が挿入される。   The induction detection type rotary encoder 11 includes a stator 14 and a rotor 15. The stator 14 is fixed to the main body 3 a of the frame 3 via the stator bush 21. The rotor 15 faces the stator 14 and is provided to be rotatable about the rotation axis AX. The rotor 15 is fixed to the end face of the cylindrical rotor bush 19. The spindle 7 is inserted into the rotor bush 19 and the stator bush 21.

スピンドル7の表面には、シンブル5の内部に配置されたナットに嵌め込まれる送りねじ23が形成される。また、スピンドル7の表面には、スピンドル7の長手方向(スピンドル7の進退方向)にキー溝25が設けられる。キー溝25には、ロータブッシュ19に固定されたピン27の先端部が嵌まっている。これにより、スピンドル7が回転すると、その回転力がピン27を介してロータブッシュ19に伝わり、ロータ15が回転する。すなわち、スピンドル7の回転に連動してロータ15が回転することになる。ピン27はキー溝25に固定されていないので、ロータ15をスピンドル7とともに移動させずにロータ15を回転させることができる。一方、ステータブッシュ21はスピンドル7を回転させても回転しない。つまり、ステータ14はスピンドル7を回転させても固定されたままである。   On the surface of the spindle 7, a feed screw 23 that is fitted into a nut disposed inside the thimble 5 is formed. Further, a key groove 25 is provided on the surface of the spindle 7 in the longitudinal direction of the spindle 7 (advancing and retracting direction of the spindle 7). The key groove 25 is fitted with a tip portion of a pin 27 fixed to the rotor bush 19. As a result, when the spindle 7 rotates, the rotational force is transmitted to the rotor bush 19 via the pin 27 and the rotor 15 rotates. That is, the rotor 15 rotates in conjunction with the rotation of the spindle 7. Since the pin 27 is not fixed to the key groove 25, the rotor 15 can be rotated without moving the rotor 15 together with the spindle 7. On the other hand, the stator bush 21 does not rotate even if the spindle 7 is rotated. That is, the stator 14 remains fixed even when the spindle 7 is rotated.

次に、ステータ14及びロータ15の構成について説明する。
図3は、ステータ及びロータの構成を例示する模式的断面図である。
図3に表したように、ステータ14は、積層された絶縁層33A、33B、33C及び33Dを有する。絶縁層33A、33B、33C及び33Dは、ロータ15から離れる方向にこの順で積層される。絶縁層33A、33B、33C及び33Dには、スピンドル7を通すための貫通孔34が設けられる。
Next, the configuration of the stator 14 and the rotor 15 will be described.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating the configuration of the stator and the rotor.
As illustrated in FIG. 3, the stator 14 includes stacked insulating layers 33A, 33B, 33C, and 33D. The insulating layers 33A, 33B, 33C, and 33D are stacked in this order in the direction away from the rotor 15. The insulating layers 33A, 33B, 33C and 33D are provided with a through hole 34 through which the spindle 7 passes.

ロータ15は、積層された絶縁層42A及び42Bを有する。絶縁層42A及び42Bは、ステータ14から離れる方向にこの順で積層される。絶縁層42A及び42Bには、スピンドル7を通すための貫通孔43が設けられる。   The rotor 15 has laminated insulating layers 42A and 42B. The insulating layers 42 </ b> A and 42 </ b> B are stacked in this order in a direction away from the stator 14. The insulating layers 42A and 42B are provided with a through hole 43 through which the spindle 7 passes.

ステータ14には、第1受信巻線32a及び第2受信巻線32bが設けられる。第1受信巻線32aは、回転軸AXを中心とした環状の第1領域R1に形成される。第1受信巻線32aの一部は絶縁層33Aのロータ15側に形成され、他部は絶縁層33Aと絶縁層33Bとの間に形成される。これらは絶縁層33Aを貫通するスルーホール又はビアを介して接続される。   The stator 14 is provided with a first reception winding 32a and a second reception winding 32b. The first reception winding 32a is formed in an annular first region R1 centered on the rotation axis AX. A part of the first reception winding 32a is formed on the rotor 15 side of the insulating layer 33A, and the other part is formed between the insulating layer 33A and the insulating layer 33B. These are connected through a through hole or a via penetrating the insulating layer 33A.

第2受信巻線32bは、回転軸AXを中心とした環状の第2領域R2に形成される。第2受信巻線32bの一部は絶縁層33Bと絶縁層33Cとの間に形成され、他部は絶縁層33Cと絶縁層33Dとの間に形成される。これらは絶縁層33Cを貫通するスルーホール又はビアを介して接続される。   The second reception winding 32b is formed in an annular second region R2 centered on the rotation axis AX. A part of the second reception winding 32b is formed between the insulating layer 33B and the insulating layer 33C, and the other part is formed between the insulating layer 33C and the insulating layer 33D. These are connected through a through hole or a via penetrating the insulating layer 33C.

さらに、ステータ14には、回転軸AXを中心とした環状の第1送信巻線31a及び第2送信巻線31bが設けられる。第1送信巻線31aはステータ14の外周側に設けられ、第2送信巻線31bはステータ14の内周側に設けられる。第1送信巻線31aに流される電流の方向は周期的に変化する。この電流により発生する磁界をロータ15に形成された第1磁束結合体41aに与える。また、第2送信巻線31bに流される電流の方向は周期的に変化する。この電流により発生する磁界をロータ15に形成された第2磁束結合体41bに与える。   Further, the stator 14 is provided with an annular first transmission winding 31a and second transmission winding 31b centered on the rotation axis AX. The first transmission winding 31 a is provided on the outer peripheral side of the stator 14, and the second transmission winding 31 b is provided on the inner peripheral side of the stator 14. The direction of the current flowing through the first transmission winding 31a changes periodically. A magnetic field generated by this current is applied to the first magnetic flux coupling body 41 a formed on the rotor 15. Further, the direction of the current flowing through the second transmission winding 31b changes periodically. A magnetic field generated by this current is applied to the second magnetic flux coupling body 41 b formed in the rotor 15.

ロータ15には、第1磁束結合体41aと、第2磁束結合体41bとが設けられる。第1磁束結合体41aは、回転軸AXを中心とした環状の第3領域R3に形成される。第1磁束結合体41aは、絶縁層42Aのステータ14側に設けられる。第2磁束結合体41bは、回転軸AXを中心とした環状の第4領域R4に形成される。第2磁束結合体41bは、絶縁層42Aと絶縁層42Bとの間に形成される。   The rotor 15 is provided with a first magnetic flux coupling body 41a and a second magnetic flux coupling body 41b. The first magnetic flux coupling body 41a is formed in an annular third region R3 centered on the rotation axis AX. The first magnetic flux coupling body 41a is provided on the stator 14 side of the insulating layer 42A. The second magnetic flux coupling body 41b is formed in an annular fourth region R4 centered on the rotation axis AX. The second magnetic flux coupling body 41b is formed between the insulating layer 42A and the insulating layer 42B.

本実施形態では、第2領域R2、第1領域R1、第3領域R3及び第4領域R4がこの順に並んでいる。これにより、第1受信巻線32aは、第1磁束結合体41aと対向し、第2受信巻線32bは、第2磁束結合体41bと対向する。   In the present embodiment, the second region R2, the first region R1, the third region R3, and the fourth region R4 are arranged in this order. As a result, the first receiving winding 32a faces the first magnetic flux coupling body 41a, and the second receiving winding 32b faces the second magnetic flux coupling body 41b.

ここで、誘導検出型ロータリエンコーダ11の動作について説明する。
誘導検出型ロータリエンコーダ11においては、第1送信巻線31aに流す送信電流の方向を周期的に変化させ、この送信電流により発生する磁界をロータ15に形成された第1磁束結合体41aに与える。第1磁束結合体41aには、磁束結合による誘導電流が流れる。第1受信巻線32aは、第1磁束結合体41aに流れる誘導電流によって発生した磁界に基づく誘導電圧を検出する。
Here, the operation of the inductive detection type rotary encoder 11 will be described.
In the inductive detection type rotary encoder 11, the direction of the transmission current flowing through the first transmission winding 31a is periodically changed, and a magnetic field generated by this transmission current is applied to the first magnetic flux coupling body 41a formed on the rotor 15. . An induced current due to magnetic flux coupling flows through the first magnetic flux coupling body 41a. The first receiving winding 32a detects an induced voltage based on a magnetic field generated by an induced current flowing through the first magnetic flux coupling body 41a.

また、誘導検出型ロータリエンコーダ11においては、第2送信巻線31bに流す送信電流の方向を周期的に変化させ、この送信電流により発生する磁界をロータ15に形成された第2磁束結合体41bに与える。第2磁束結合体41bには、磁束結合による誘導電流が流れる。第2受信巻線32bは、第2磁束結合体41bに流れる誘導電流によって発生した磁界に基づく誘導電圧を検出する。   Further, in the inductive detection type rotary encoder 11, the direction of the transmission current flowing through the second transmission winding 31b is periodically changed, and the magnetic field generated by the transmission current is changed to the second magnetic flux coupling body 41b formed in the rotor 15. To give. An induced current caused by magnetic flux coupling flows through the second magnetic flux coupling body 41b. The second receiving winding 32b detects an induced voltage based on a magnetic field generated by the induced current flowing through the second magnetic flux coupling body 41b.

本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ11において、第1送信巻線31aと第1磁束結合体41aとの最短距離は、第2送信巻線31bと第1磁束結合体41aとの最短距離よりも短くなっている。さらに、第2送信巻線31bと第2磁束結合体41bとの最短距離は、第1送信巻線31aと第2磁束結合体41bとの最短距離よりも短くなっている。さらに、第1送信巻線31aと第1磁束結合体41aとの最短距離は、第1送信巻線31aと第2磁束結合体41bとの最短距離よりも短くなっている。さらに、第2送信巻線31bと第2磁束結合体41bとの最短距離は、第2送信巻線31bと第1磁束結合体41aとの最短距離よりも短くなっている。   In the inductive detection type rotary encoder 11 according to this embodiment, the shortest distance between the first transmission winding 31a and the first magnetic flux coupling body 41a is smaller than the shortest distance between the second transmission winding 31b and the first magnetic flux coupling body 41a. Is also shorter. Furthermore, the shortest distance between the second transmission winding 31b and the second magnetic flux coupling body 41b is shorter than the shortest distance between the first transmission winding 31a and the second magnetic flux coupling body 41b. Furthermore, the shortest distance between the first transmission winding 31a and the first magnetic flux coupling body 41a is shorter than the shortest distance between the first transmission winding 31a and the second magnetic flux coupling body 41b. Further, the shortest distance between the second transmission winding 31b and the second magnetic flux coupling body 41b is shorter than the shortest distance between the second transmission winding 31b and the first magnetic flux coupling body 41a.

このような構成では、第1送信巻線31aに電流が流れることで磁界が発生し、この磁界によって第1磁束結合体41aに誘導電流が流れる。この際、第2磁束結合体41bは第1送信巻線31a及び第1磁束結合体41aで発生する磁界の影響を受けることになる。本実施形態では、第1送信巻線31a及び第1磁束結合体41aから第2磁束結合体41bが離れた位置にあることから、第1送信巻線31a及び第1磁束結合体41aの磁界の影響を第2磁束結合体41bが受けにくくなる。
同様に、第2送信巻線31bに電流が流れることで磁界が発生し、この磁界によって第2磁束結合体41bに誘導電流が流れる。この際、第1磁束結合体41aは第2送信巻線31b及び第2磁束結合体41bで発生する磁界の影響を受けることになる。本実施形態では、第2送信巻線31b及び第2磁束結合体41bから第1磁束結合体41aが離れた位置にあることから、第2送信巻線31b及び第2磁束結合体41bの磁界の影響を第1磁束結合体41aが受けにくくなる。
この結果、第1磁束結合体41aでは、第2送信巻線31bからのクロストークの影響が抑制される。また、第2磁束結合体41bでは、第1送信巻線31aからのクロストークの影響が抑制される。
In such a configuration, a magnetic field is generated by a current flowing through the first transmission winding 31a, and an induced current flows through the first magnetic flux coupling body 41a by this magnetic field. At this time, the second magnetic flux coupling body 41b is affected by the magnetic field generated by the first transmission winding 31a and the first magnetic flux coupling body 41a. In the present embodiment, since the second magnetic flux coupling body 41b is located away from the first transmission winding 31a and the first magnetic flux coupling body 41a, the magnetic field of the first transmission winding 31a and the first magnetic flux coupling body 41a is reduced. The second magnetic flux coupling body 41b is not easily affected.
Similarly, when a current flows through the second transmission winding 31b, a magnetic field is generated, and an induced current flows through the second magnetic flux coupling body 41b due to this magnetic field. At this time, the first magnetic flux coupling body 41a is affected by the magnetic field generated by the second transmission winding 31b and the second magnetic flux coupling body 41b. In the present embodiment, since the first magnetic flux coupling body 41a is located away from the second transmission winding 31b and the second magnetic flux coupling body 41b, the magnetic field of the second transmission winding 31b and the second magnetic flux coupling body 41b is reduced. The first magnetic flux coupling body 41a is not easily affected.
As a result, in the first magnetic flux coupling body 41a, the influence of crosstalk from the second transmission winding 31b is suppressed. Further, in the second magnetic flux coupling body 41b, the influence of crosstalk from the first transmission winding 31a is suppressed.

上記の距離関係を実現するため、本実施形態では、第1受信巻線32a及び第1磁束結合体41aの径と、第2受信巻線32b及び第2磁束結合体41bの径とを相違させて、第1送信巻線31aと第1磁束結合体41aに近づけ、第2送信巻線31bを第2磁束結合体41bに近づけて配置している。   In order to realize the above distance relationship, in the present embodiment, the diameters of the first reception winding 32a and the first magnetic flux coupling body 41a are made different from the diameters of the second reception winding 32b and the second magnetic flux coupling body 41b. Thus, the first transmission winding 31a and the first magnetic flux coupling body 41a are brought close to each other, and the second transmission winding 31b is placed close to the second magnetic flux coupling body 41b.

ここで、上記のような位置関係を実現するための具体例を説明する。
先ず、第1受信巻線32aの回転軸AXを中心とした内側半径を第1内側半径r11、外側半径を第1外側半径r12とする。第2受信巻線32bの回転軸AXを中心とした内側半径を第2内側半径r21、外側半径を第2外側半径r22とする。第1磁束結合体41aの回転軸AXを中心とした内側半径を第3内側半径r31、外側半径を第3外側半径r32とする。第2磁束結合体41bの回転軸AXを中心とした内側半径を第4内側半径r41、外側半径を第4外側半径r42とする。また、第1送信巻線31aの回転軸AXを中心とした半径を第1半径r10、第2送信巻線31bの回転軸AXを中心とした半径を第2半径r20とする。
Here, a specific example for realizing the above positional relationship will be described.
First, an inner radius around the rotation axis AX of the first reception winding 32a is a first inner radius r11, and an outer radius is a first outer radius r12. An inner radius around the rotation axis AX of the second reception winding 32b is a second inner radius r21, and an outer radius is a second outer radius r22. The inner radius around the rotation axis AX of the first magnetic flux coupling body 41a is the third inner radius r31, and the outer radius is the third outer radius r32. The inner radius around the rotation axis AX of the second magnetic flux coupling body 41b is the fourth inner radius r41, and the outer radius is the fourth outer radius r42. Further, a radius around the rotation axis AX of the first transmission winding 31a is a first radius r10, and a radius around the rotation axis AX of the second transmission winding 31b is a second radius r20.

ここで、内側半径とは、回転軸AXに沿った方向にみて、巻線や磁束結合体が設けられた領域を一定の幅を持ったリング状の領域とした場合のリング内側の半径のことをいう。また、外側半径とは、このリング状の領域のリング外側の半径のことをいう。第1半径とは、第1送信巻線31aを円形とした場合の巻線の中心位置での半径のことをいう。第2半径とは、第2送信巻線31bを円形とした場合の巻線の中心位置での半径のことをいう。   Here, the inner radius is a radius on the inner side of the ring when the region where the winding and the magnetic flux coupling body are provided as a ring-shaped region having a certain width as viewed in the direction along the rotation axis AX. Say. Further, the outer radius means a radius outside the ring of this ring-shaped region. The first radius means a radius at the center position of the winding when the first transmission winding 31a is circular. The second radius is a radius at the center position of the winding when the second transmission winding 31b is circular.

本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ11では、第1内側半径r11は、第2内側半径r21よりも大きく、第2外側半径r22は、第1内側半径r11以上であり、第1外側半径r12は、第2外側半径r22よりも大きい。これにより、第1受信巻線32a及び第2受信巻線32bを同層に並べる場合に比べてエンコーダの外径を小さくすることができる。   In the inductive detection type rotary encoder 11 according to the present embodiment, the first inner radius r11 is larger than the second inner radius r21, the second outer radius r22 is greater than or equal to the first inner radius r11, and the first outer radius r12. Is larger than the second outer radius r22. Thereby, the outer diameter of the encoder can be reduced as compared with the case where the first reception winding 32a and the second reception winding 32b are arranged in the same layer.

また、本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ11において、第3内側半径r31は、第4内側半径r41よりも大きく、第4外側半径r42は、第3内側半径r31以上であり、第3外側半径r32は、第4外側半径r42よりも大きくなっている。これにより、第1磁束結合体41a及び第2磁束結合体41bを同層に並べる場合に比べてエンコーダの外径を小さくすることができる。また、軸方向にみて第2受信巻線32bと第2磁束結合体41bとの間に第2送信巻線31bを配置することができ、第2送信巻線31bによる第1磁束結合体41aへのクロストークを抑制することができる。   In the inductive detection type rotary encoder 11 according to the present embodiment, the third inner radius r31 is larger than the fourth inner radius r41, the fourth outer radius r42 is equal to or greater than the third inner radius r31, and the third outer radius r31 is greater than the third inner radius r31. The radius r32 is larger than the fourth outer radius r42. Thereby, the outer diameter of an encoder can be made small compared with the case where the 1st magnetic flux coupling body 41a and the 2nd magnetic flux coupling body 41b are arranged in the same layer. Further, the second transmission winding 31b can be disposed between the second reception winding 32b and the second magnetic flux coupling body 41b as viewed in the axial direction, and the first magnetic flux coupling body 41a is formed by the second transmission winding 31b. Crosstalk can be suppressed.

図3に表した例では、第1送信巻線31aは、第2送信巻線31bと同層に設けられる。そして、第2半径r20は、第2内側半径r21よりも小さく、第1半径r10は、第1外側半径r12よりも大きい。これにより、第1送信巻線31aを第1磁束結合体41aの近くに配置でき、第2送信巻線31bを第2磁束結合体41bの近くに配置することができる。   In the example shown in FIG. 3, the first transmission winding 31a is provided in the same layer as the second transmission winding 31b. The second radius r20 is smaller than the second inner radius r21, and the first radius r10 is larger than the first outer radius r12. Thereby, the 1st transmission winding 31a can be arrange | positioned near the 1st magnetic flux coupling body 41a, and the 2nd transmission winding 31b can be arrange | positioned near the 2nd magnetic flux coupling body 41b.

次に、第1送信巻線31a、第2送信巻線31b、第1受信巻線32a、第2受信巻線32b、第1磁束結合体41a及び第2磁束結合体41bの平面的形状について説明する。   Next, planar shapes of the first transmission winding 31a, the second transmission winding 31b, the first reception winding 32a, the second reception winding 32b, the first magnetic flux coupling body 41a, and the second magnetic flux coupling body 41b will be described. To do.

図4は、第1送信巻線、第2送信巻線及び第1受信巻線を例示する平面図である。
図4に表したように、第1送信巻線31aは、絶縁層33Aの外周に近い側に配置され、第2送信巻線31bは、貫通孔34に近い側に配置される。第2送信巻線31bの取り出し配線は、絶縁層33Aにおける第1受信巻線32aの内側の位置でスルーホールを介して絶縁層33Bと絶縁層33Cとの間まで引き回される。これにより、ステータ14の外径を大きくすることなく、第1受信巻線32aと干渉せずに配線できる。なお、第2送信巻線31bの取り出し配線は、第2受信巻線32bの貫通孔34側から下層に引き回してもよい。
FIG. 4 is a plan view illustrating the first transmission winding, the second transmission winding, and the first reception winding.
As shown in FIG. 4, the first transmission winding 31 a is disposed on the side close to the outer periphery of the insulating layer 33 </ b> A, and the second transmission winding 31 b is disposed on the side close to the through hole 34. The lead-out wiring of the second transmission winding 31b is routed between the insulating layer 33B and the insulating layer 33C through a through hole at a position inside the first receiving winding 32a in the insulating layer 33A. As a result, wiring can be performed without increasing the outer diameter of the stator 14 and without interfering with the first receiving winding 32a. Note that the take-out wiring of the second transmission winding 31b may be routed from the through hole 34 side of the second reception winding 32b to the lower layer.

第1受信巻線32aは、第1送信巻線31a及び第2送信巻線31bの間における第1送信巻線31aに近い位置に配置される。第1受信巻線32aは、回転方向に位相を異ならせた3つの受信巻線部321a〜323aにて構成される。受信巻線部321a〜323aにおける互いに交差する部分は、絶縁層33Aを介して上下に配列され、相互にスルーホール又はビアにて接続される。これにより、各々絶縁分離されて配置される。   The first reception winding 32a is disposed at a position close to the first transmission winding 31a between the first transmission winding 31a and the second transmission winding 31b. The first reception winding 32a includes three reception winding portions 321a to 323a having different phases in the rotation direction. The portions of the reception winding portions 321a to 323a that intersect with each other are arranged vertically via the insulating layer 33A and are connected to each other by through holes or vias. Thereby, each is insulated and arranged.

図5は、第1受信巻線の一つの受信巻線部を例示する平面図である。
図5に表したように、受信巻線部321aは、ロータ15の回転方向にピッチλ1をもって周期的に変化するループ状(菱型状)の形状を有する。受信巻線部321aにおいて、菱型状のパターン対PA1は10個設けられる。なお、受信巻線部322a、323aも受信巻線部321aと同様の形状を有する。
FIG. 5 is a plan view illustrating one receiving winding portion of the first receiving winding.
As shown in FIG. 5, the reception winding portion 321 a has a loop shape (diamond shape) that periodically changes with a pitch λ <b> 1 in the rotation direction of the rotor 15. In the reception winding part 321a, ten rhombus pattern pairs PA1 are provided. The reception winding portions 322a and 323a have the same shape as the reception winding portion 321a.

図6は、第2受信巻線を例示する平面図である。
図6に表したように、第2受信巻線32bは、第1受信巻線32aと同様な形状を有し、回転方向に位相を異ならせた3つの受信巻線部321b〜323bにて構成される。しかし、第2受信巻線32bの全体の大きさは第1受信巻線32aよりも小さい。また、第2受信巻線32bの回転方向のピッチは、第1受信巻線32aの回転方向のピッチと相違する。
FIG. 6 is a plan view illustrating the second reception winding.
As shown in FIG. 6, the second receiving winding 32b has the same shape as the first receiving winding 32a, and is configured by three receiving winding portions 321b to 323b having different phases in the rotation direction. Is done. However, the overall size of the second reception winding 32b is smaller than that of the first reception winding 32a. Further, the pitch in the rotation direction of the second reception winding 32b is different from the pitch in the rotation direction of the first reception winding 32a.

図7は、第2受信巻線の一つの受信巻線部を例示する平面図である。
図7に表したように、受信巻線部321bは、ロータ15の回転方向にピッチλ1とは異なるピッチλ2をもって周期的に変化するループ状(菱型状)の形状を有する。例えば、ピッチλ2は、ピッチλ1よりも長い。言い換えると、ピッチλ1は、ピッチλ2よりも短い。菱型状のパターン対PA2は8個設けられる。なお、受信巻線部322b、323bも受信巻線部321bと同様の形状を有する。
FIG. 7 is a plan view illustrating one receiving winding portion of the second receiving winding.
As shown in FIG. 7, the reception winding portion 321 b has a loop shape (diamond shape) that periodically changes in the rotation direction of the rotor 15 with a pitch λ 2 different from the pitch λ 1. For example, the pitch λ2 is longer than the pitch λ1. In other words, the pitch λ1 is shorter than the pitch λ2. Eight rhombus pattern pairs PA2 are provided. The reception winding portions 322b and 323b also have the same shape as the reception winding portion 321b.

図8は、第1磁束結合体を例示する平面図である。
図8に表したように、第1磁束結合体41aは、スピンドル7に対して同軸的に形成され、第1受信巻線32aと空隙を介して重なるように形成される。第1磁束結合体41aは、第1受信巻線32aと同じピッチλ1をもってロータ15の回転方向に周期的に変化する連続した歯車状の形状を有する。
FIG. 8 is a plan view illustrating the first magnetic flux coupling body.
As shown in FIG. 8, the first magnetic flux coupling body 41a is formed coaxially with the spindle 7 and is formed so as to overlap the first reception winding 32a with a gap. The first magnetic flux coupling body 41a has a continuous gear-like shape that periodically changes in the rotation direction of the rotor 15 with the same pitch λ1 as that of the first reception winding 32a.

第1磁束結合体41aは、スピンドル7に近づく方向に窪む凹部411aと、スピンドル7から離れる方向に突出する凸部412aとを交互に構成する。図8に表した例では、凹部411aと凸部412aとのパターン対PA3は10個設けられる。   The first magnetic flux coupling body 41 a alternately includes concave portions 411 a that are recessed in a direction approaching the spindle 7 and convex portions 412 a that protrude in a direction away from the spindle 7. In the example shown in FIG. 8, ten pattern pairs PA3 of the concave portions 411a and the convex portions 412a are provided.

図9は、第2磁束結合体を例示する平面図である。
図9に表したように、第2磁束結合体41bは、スピンドル7に対して同軸的に形成され、第1磁束結合体41aと同様な凹部411bと凸部412bとが交互に繰り返される歯車状の形状を有する。第2磁束結合体41bの凹部411b及び凸部412bのピッチはλ2である。図9に表した例では、凹部411bと凸部412bとのパターン対PA4は9個設けられる。なお、第1磁束結合体41a及び第2磁束結合体41bの形状は歯車状、sin波状のほか、島状など他の形状であってもよい。
FIG. 9 is a plan view illustrating a second magnetic flux coupling body.
As shown in FIG. 9, the second magnetic flux coupling body 41b is formed coaxially with the spindle 7, and has a gear shape in which concave portions 411b and convex portions 412b similar to the first magnetic flux coupling body 41a are alternately repeated. It has the shape of The pitch of the concave portion 411b and the convex portion 412b of the second magnetic flux coupling body 41b is λ2. In the example shown in FIG. 9, nine pattern pairs PA4 of the concave portions 411b and the convex portions 412b are provided. The first magnetic flux coupling body 41a and the second magnetic flux coupling body 41b may have other shapes such as a gear shape, a sin wave shape, and an island shape.

このような構成を備えた本実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ11では、エンコーダの外径を小型化しつつ、クロストークの影響を抑制した精度の高い位置検出を行うことができる。   The inductive detection type rotary encoder 11 according to the present embodiment having such a configuration can perform highly accurate position detection while suppressing the influence of crosstalk while reducing the outer diameter of the encoder.

〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。
図10は、第2実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを例示する断面図である。
図11及び図12は、第2実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。
第2実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ12において、第1磁束結合体41aは第1環状電流経路413aを含み、第2磁束結合体41bは第2環状電流経路413bを含む。
[Second Embodiment]
Next, 2nd Embodiment of this invention is described based on drawing.
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating an inductive detection type rotary encoder according to the second embodiment.
11 and 12 are plan views illustrating the magnetic flux coupling body according to the second embodiment.
In the inductive detection type rotary encoder 12 according to the second embodiment, the first magnetic flux coupling body 41a includes a first annular current path 413a, and the second magnetic flux coupling body 41b includes a second annular current path 413b.

図11に表したように、第2実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ12の第1磁束結合体41aは、回転軸AXを中心として第3内側半径r31と同じ半径で環状に設けられた第1環状電流経路413aを含む。第1環状電流経路413aの一部は凸部412aと共通になっている。   As shown in FIG. 11, the first magnetic flux coupling body 41 a of the inductive detection type rotary encoder 12 according to the second embodiment is provided in an annular shape with the same radius as the third inner radius r <b> 31 around the rotation axis AX. One annular current path 413a is included. A part of the first annular current path 413a is shared with the convex portion 412a.

また、図12に表したように、第2磁束結合体41bは、回転軸AXを中心として第4外側半径r42と同じ半径で環状に設けられた第2環状電流経路413bを含む。第2環状電流経路413bの一部は凹部411bと共通になっている。   In addition, as illustrated in FIG. 12, the second magnetic flux coupling body 41b includes a second annular current path 413b that is annularly provided with the same radius as the fourth outer radius r42 around the rotation axis AX. A part of the second annular current path 413b is shared with the recess 411b.

第2実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ12において第1磁束結合体41a及び第2磁束結合体41b以外の構成は第1実施形態と同様である。このような第2実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ12によれば、第1環状電流経路413a及び第2環状電流経路413bのそれぞれがシールドの役目を果たすことになる。   In the inductive detection type rotary encoder 12 according to the second embodiment, the configuration other than the first magnetic flux coupling body 41a and the second magnetic flux coupling body 41b is the same as that of the first embodiment. According to the inductive detection type rotary encoder 12 according to the second embodiment, each of the first annular current path 413a and the second annular current path 413b serves as a shield.

例えば、第1環状電流経路413aは第1磁束結合体41aの第2送信巻線31b側に設けられているため、第2送信巻線31bで発生した磁界による影響を第1磁束結合体41aが受ける前に第1環状電流経路413aで受けることができる。つまり、第1環状電流経路413aは第2送信巻線31bの磁界に対するシールドの役目を果たす。これにより、第1磁束結合体41aは、第2送信巻線31bの磁界の影響をほとんど受けず、第1送信巻線31aの磁界による電流を十分に流すことができるようになる。   For example, since the first annular current path 413a is provided on the second transmission winding 31b side of the first magnetic flux coupling body 41a, the first magnetic flux coupling body 41a is affected by the magnetic field generated in the second transmission winding 31b. Before receiving, it can be received by the first annular current path 413a. That is, the first annular current path 413a serves as a shield against the magnetic field of the second transmission winding 31b. As a result, the first magnetic flux coupling body 41a is hardly affected by the magnetic field of the second transmission winding 31b, and can sufficiently flow the current due to the magnetic field of the first transmission winding 31a.

同様に、第2環状電流経路413bは第2磁束結合体41bの第1送信巻線31a側に設けられているため、第1送信巻線31aで発生した磁界による影響を第2磁束結合体41bが受ける前に第2環状電流経路413bで受けることができる。つまり、第2環状電流経路413bは第1送信巻線31aの磁界に対するシールドの役目を果たす。これにより、第2磁束結合体41bは、第1送信巻線31aの磁界の影響をほとんど受けず、第2送信巻線31bの磁界による電流を十分に流すことができるようになる。   Similarly, since the second annular current path 413b is provided on the first transmission winding 31a side of the second magnetic flux coupling body 41b, the influence of the magnetic field generated in the first transmission winding 31a is affected by the second magnetic flux coupling body 41b. Can be received by the second annular current path 413b. That is, the second annular current path 413b serves as a shield against the magnetic field of the first transmission winding 31a. As a result, the second magnetic flux coupling body 41b is hardly affected by the magnetic field of the first transmission winding 31a, and can sufficiently flow the current due to the magnetic field of the second transmission winding 31b.

第2実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ12によれば、第1環状電流経路413a及び第2環状電流経路413bのそれぞれによるシールド効果によって、クロストークの影響を抑制した精度の高い位置検出を行うことができる。   According to the inductive detection type rotary encoder 12 according to the second embodiment, highly accurate position detection is performed with the influence of crosstalk suppressed by the shielding effect of each of the first annular current path 413a and the second annular current path 413b. be able to.

〔第3実施形態〕
次に、本発明の第3実施形態を図面に基づいて説明する。
図13は、第3実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダを例示する断面図である。
図14及び図15は、第3実施形態に係る磁束結合体を例示する平面図である。
第3実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ13は、第1磁束結合体41aの内側に回転軸AXを中心として環状に設けられた第1環状電流経路413aと、第2磁束結合体41bの外側に回転軸AXを中心として環状に設けられた第2環状電流経路413bと、をさらに備えている。すなわち、第1環状電流経路413aは、第1磁束結合体41aとは独立して環状に設けられ、第2環状電流経路413bは、第2磁束結合体41bとは独立して環状に設けられる。これら以外の構成は第1実施形態と同様である。
[Third Embodiment]
Next, 3rd Embodiment of this invention is described based on drawing.
FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating an inductive detection type rotary encoder according to the third embodiment.
14 and 15 are plan views illustrating the magnetic flux coupling body according to the third embodiment.
The inductive detection type rotary encoder 13 according to the third embodiment includes a first annular current path 413a provided annularly around the rotation axis AX inside the first magnetic flux coupling body 41a, and an outer side of the second magnetic flux coupling body 41b. And a second annular current path 413b provided annularly around the rotation axis AX. That is, the first annular current path 413a is provided in an annular shape independently of the first magnetic flux coupling body 41a, and the second annular current path 413b is provided in an annular shape independently of the second magnetic flux coupling body 41b. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

第1磁束結合体41aと独立して第1環状電流経路413aが設けられていても、第2実施形態と同様に、第1環状電流経路413aは第2送信巻線31bの磁界に対するシールドの役目を果たす。また、第2磁束結合体41bと独立して第2環状電流経路413bが設けられていても、第2環状電流経路413bは第1送信巻線31aの磁界に対するシールドの役目を果たす。   Even if the first annular current path 413a is provided independently of the first magnetic flux coupling body 41a, the first annular current path 413a serves as a shield against the magnetic field of the second transmission winding 31b as in the second embodiment. Fulfill. Even if the second annular current path 413b is provided independently of the second magnetic flux coupling body 41b, the second annular current path 413b serves as a shield against the magnetic field of the first transmission winding 31a.

第3実施形態では、第1環状電流経路413a及び第2環状電流経路413bが独立して設けられているため、第1磁束結合体41a及び第2磁束結合体41bのそれぞれは、第1送信巻線31a及び第2送信巻線31bのそれぞれからの磁界による電流が効率良く流れることになる。   In the third embodiment, since the first annular current path 413a and the second annular current path 413b are provided independently, each of the first magnetic flux coupling body 41a and the second magnetic flux coupling body 41b has the first transmission winding. Current due to the magnetic field from each of the line 31a and the second transmission winding 31b flows efficiently.

第3実施形態に係る誘導検出型ロータリエンコーダ13によれば、第1環状電流経路413a及び第2環状電流経路413bのそれぞれによるシールド効果によって、クロストークの影響を抑制した精度の高い位置検出を行うことができる。   According to the inductive detection type rotary encoder 13 according to the third embodiment, highly accurate position detection is performed in which the influence of crosstalk is suppressed by the shielding effect of each of the first annular current path 413a and the second annular current path 413b. be able to.

以上説明したように、実施形態によれば、エンコーダの小型化とクロストークを抑制した精度の高い位置検出を行うことができる誘導検出型ロータリエンコーダ11、12及び13を提供することが可能になる。   As described above, according to the embodiment, it is possible to provide inductive detection type rotary encoders 11, 12, and 13 that can perform position detection with high accuracy while miniaturizing an encoder and suppressing crosstalk. .

なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。   Although the present embodiment has been described above, the present invention is not limited to these examples. For example, those in which the person skilled in the art appropriately added, deleted, and changed the design of each of the above-described embodiments, and combinations of the features of each embodiment as appropriate, also have the gist of the present invention. As long as it is within the scope of the present invention.

以上のように、本発明は、デジタル式マイクロメータのほか、デジタル式インジケータなど回転量を検出して測定値を求める各種測定器に好適に利用できる。   As described above, the present invention can be suitably used for various measuring instruments such as a digital indicator, which detect a rotation amount and obtain a measurement value, in addition to a digital micrometer.

1…デジタル式マイクロメータ
3…フレーム
5…シンブル
7…スピンドル
9…表示部
11,12,13…誘導検出型ロータリエンコーダ
14…ステータ
15…ロータ
31a…第1送信巻線
31b…第2送信巻線
33A,33B,33C,33D…絶縁層
41a…第1磁束結合体
41b…第2磁束結合体
42A,42B…絶縁層
R1…第1領域
R2…第2領域
R3…第3領域
R4…第4領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Digital micrometer 3 ... Frame 5 ... Thimble 7 ... Spindle 9 ... Display part 11, 12, 13 ... Inductive detection type rotary encoder 14 ... Stator 15 ... Rotor 31a ... 1st transmission winding 31b ... 2nd transmission winding 33A, 33B, 33C, 33D ... insulating layer 41a ... first magnetic flux coupling body 41b ... second magnetic flux coupling body 42A, 42B ... insulating layer R1 ... first region R2 ... second region R3 ... third region R4 ... fourth region

Claims (8)

ステータと、
前記ステータと対向し、回転軸を中心に回転可能に設けられたロータと、
前記ステータに設けられ、前記回転軸を中心とした第1半径を有する第1送信巻線と、
前記ステータに設けられ、前記回転軸を中心とした第2半径を有する第2送信巻線と、
前記ステータに設けられ、前記回転軸を中心とした環状の第1領域に形成され、前記回転軸を中心とした第1内側半径と第1外側半径とを有する第1受信巻線と、
前記ステータに設けられ、前記回転軸を中心とした環状の第2領域に形成され、前記第1受信巻線との間に第1絶縁層を介して形成され、前記回転軸を中心とした第2内側半径と第2外側半径とを有する第2受信巻線と、
前記ロータに設けられ、前記回転軸を中心とした環状の領域であって前記回転軸に沿った軸方向に前記第1領域と重なる第3領域に形成され、前記回転軸を中心とした第3内側半径と第3外側半径とを有する第1磁束結合体と、
前記ロータに設けられ、前記回転軸を中心とした環状の領域であって前記軸方向に前記第2領域と重なる第4領域に形成され、前記第1磁束結合体との間に第2絶縁層を介して形成され、前記回転軸を中心とした第4内側半径と第4外側半径とを有する第2磁束結合体と、
を備え、
前記第2領域、前記第1領域、前記第3領域及び前記第4領域は、前記軸方向にこの順で並び、
前記第1送信巻線と前記第1磁束結合体との最短距離は、前記第2送信巻線と前記第1磁束結合体との最短距離よりも短く、
前記第2送信巻線と前記第2磁束結合体との最短距離は、前記第1送信巻線と前記第2磁束結合体との最短距離よりも短く、
かつ、
前記第1送信巻線と前記第1磁束結合体との最短距離は、前記第1送信巻線と前記第2磁束結合体との最短距離よりも短く
前記第2送信巻線と前記第2磁束結合体との最短距離は、前記第2送信巻線と前記第1磁束結合体との最短距離よりも短いことを特徴とする誘導検出型ロータリエンコーダ。
A stator,
A rotor facing the stator and rotatably provided around a rotation axis;
A first transmission winding provided on the stator and having a first radius around the rotation axis;
A second transmission winding provided on the stator and having a second radius around the rotation axis;
A first receiving winding provided on the stator, formed in an annular first region centered on the rotating shaft, and having a first inner radius and a first outer radius centered on the rotating shaft;
Provided in the stator, formed in an annular second region centered on the rotating shaft, formed with a first insulating layer between the first receiving winding and the first centered on the rotating shaft; A second receiving winding having two inner radii and a second outer radius;
A third region that is provided in the rotor and that is an annular region that is centered on the rotation axis and that overlaps the first region in the axial direction along the rotation axis, and that is centered on the rotation axis. A first magnetic flux coupling body having an inner radius and a third outer radius;
A second insulating layer provided in the rotor and formed in a fourth region that is an annular region centered on the rotation axis and overlaps the second region in the axial direction. A second magnetic flux coupling body having a fourth inner radius and a fourth outer radius about the rotation axis;
With
The second region, the first region, the third region, and the fourth region are arranged in this order in the axial direction,
The shortest distance between the first transmission winding and the first magnetic flux coupling body is shorter than the shortest distance between the second transmission winding and the first magnetic flux coupling body,
The shortest distance between the second transmission winding and the second magnetic flux coupling body is shorter than the shortest distance between the first transmission winding and the second magnetic flux coupling body,
And,
The shortest distance between the first transmission winding and the first magnetic flux coupling body is shorter than the shortest distance between the first transmission winding and the second magnetic flux coupling body. The second transmission winding and the second magnetic flux. An inductive detection type rotary encoder characterized in that a shortest distance to a coupling body is shorter than a shortest distance between the second transmission winding and the first magnetic flux coupling body.
前記第1内側半径は、前記第2内側半径よりも大きく、
前記第2外側半径は、前記第1内側半径以上であり、
前記第1外側半径は、前記第2外側半径よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
The first inner radius is greater than the second inner radius;
The second outer radius is greater than or equal to the first inner radius;
The inductive detection type rotary encoder according to claim 1, wherein the first outer radius is larger than the second outer radius.
前記第3内側半径は、前記第4内側半径よりも大きく、
前記第4外側半径は、前記第3内側半径以上であり、
前記第3外側半径は、前記第4外側半径よりも大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
The third inner radius is greater than the fourth inner radius;
The fourth outer radius is greater than or equal to the third inner radius;
The inductive detection type rotary encoder according to claim 1, wherein the third outer radius is larger than the fourth outer radius.
前記第1半径は、前記第1外側半径よりも大きく、
前記第2半径は、前記第1内側半径よりも小さいことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
The first radius is greater than the first outer radius;
The inductive detection type rotary encoder according to claim 1, wherein the second radius is smaller than the first inner radius.
前記第1送信巻線は、前記第2送信巻線と同層に設けられたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。   The inductive detection type rotary encoder according to any one of claims 1 to 4, wherein the first transmission winding is provided in the same layer as the second transmission winding. 前記第1磁束結合体及び前記第1受信巻線は、前記回転軸を中心とした回転方向に第1ピッチで周期的に変化する形状に設けられ、
前記第2磁束結合体及び前記第2受信巻線は、前記回転軸を中心とした回転方向に前記第1ピッチと異なる第2ピッチで周期的に変化する形状に設けられたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
The first magnetic flux coupling body and the first reception winding are provided in a shape that periodically changes at a first pitch in a rotation direction around the rotation axis,
The second magnetic flux coupling body and the second receiving winding are provided in a shape that periodically changes at a second pitch different from the first pitch in a rotation direction around the rotation axis. The inductive detection type rotary encoder according to any one of claims 1 to 5.
前記第1磁束結合体は、前記回転軸を中心として前記第3内側半径と同じ半径で環状に設けられた第1環状電流経路を含み、
前記第2磁束結合体は、前記回転軸を中心として前記第4外側半径と同じ半径で環状に設けられた第2環状電流経路を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
The first magnetic flux coupling body includes a first annular current path provided in an annular shape with the same radius as the third inner radius around the rotation axis,
The second magnetic flux coupling body includes a second annular current path provided in an annular shape with the same radius as the fourth outer radius around the rotation axis. The inductive detection type rotary encoder described in 1.
前記第1磁束結合体の内側に前記回転軸を中心として環状に設けられた第1環状電流経路と、
前記第2磁束結合体の外側に前記回転軸を中心として環状に設けられた第2環状電流経路と、をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の誘導検出型ロータリエンコーダ。
A first annular current path provided in an annular shape around the rotation axis inside the first magnetic flux coupling body;
The induction according to any one of claims 1 to 6, further comprising a second annular current path provided in an annular shape around the rotation axis outside the second magnetic flux coupling body. Detection type rotary encoder.
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