JP2016095331A - Device and method for peeling substrate - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method for peeling a substrate that can peel a second substrate from a first substrate of a structure without causing problems.SOLUTION: According to the method for peeling of an embodiment, a hanger unit 14 is provided to a window glass 102. A flexible plate-like member 12 is hung from the window glass 102 via the hanger unit 14 to be supported. The flexible plate-like member 12 holds a liquid crystal panel 106. The flexible plate-like member 12 is equipped with bending means 16 at the lower part of the member 12 to apply a force bending the flexible plate-like member 12 to a direction in which the member 12 becomes separated from the window glass 102 to the flexible plate-like member 12 from the bending means 16. This conveys an energization force from the flexible plate-like member 12 generated by the bending to the interface between the window glass 102 and the liquid crystal panel 106 into a direction in which the interface is peeled, whereby the liquid crystal panel 106 is peeled from the window glass 102.SELECTED DRAWING: Figure 8

Description

本発明は、基板の剥離装置及び剥離方法に関する。 The present invention relates to a stripping apparatus and method of removing the substrate.

近年、構造物の窓ガラス(第1の基板)に、粘着層を介して液晶パネル(第2の基板)を貼合することにより、現場にてデジタルサイネージを組み立てることが検討されている。 Recently, on the window glass of the structure (first substrate), by laminating a liquid crystal panel (second substrate) via an adhesive layer, it has been considered to assemble a digital signage on site. このデジタルサイネージによれば、通行人は、店舗、オフィスの外部から窓ガラスを介して液晶パネルの表示内容を確認できるため、看板、広告等として有効利用することができる。 According to this digital signage, passers, store, because you can check the display contents of the liquid crystal panel from the office of the outside through the window glass, it is possible to effectively use billboards, as advertising and the like.

ところで、上記形態のデジタルサイネージでは、窓ガラスに貼合された液晶パネルを交換したり修理したりする際に、液晶パネルを窓ガラスから剥離させる必要がある。 Meanwhile, in the digital signage of the above embodiment, when the or repair to replace the liquid crystal panel stuck on the window glass, it is necessary to separate the liquid crystal panel from the window glass. この場合、作業者に無理な負担をかけることなく液晶パネルを窓ガラスから剥離させること、及び簡便な剥離装置を用いて剥離させることが望まれている。 In this case, it is desirable to separate the liquid crystal panel without applying unreasonable burden on the operator can be detached from the window glass, and using a simple stripping apparatus.

液晶パネルを窓ガラスから剥離させる剥離装置ではないが、特許文献1には、被処理ウェハに接着剤を介して貼合された支持ウェハを、被処理ウェハから剥離する剥離装置が開示されている。 Is not a peeling device to peel the liquid crystal panel from the window glass, Patent Document 1, a support wafer stuck through the adhesive to the treated wafer, and peeling apparatus is disclosed for stripping from the treated wafer .

特許文献1の剥離装置は、水平に配置された第1の保持部の下面で被処理ウェハを保持し、水平に配置された第2の保持部の上面で支持ウェハを保持する。 Peeling apparatus of Patent Document 1 holds the processed wafer at the lower surface of the first holding portions arranged horizontally, to hold the support wafer on the upper surface of the second holding portion disposed horizontally. 第2の保持部は、弾性体で構成されている。 The second holding portion is constituted by an elastic body.

特許文献1の剥離装置による剥離方法は、まず、第2の保持部の外周部のみを鉛直下方に移動させる。 Peeling method according to the peeling device of Patent Document 1, first, moving only the outer peripheral portion of the second holding portion vertically downward. これにより、第2の保持部に保持された支持ウェハが、その外周部から中心部に向けて被処理ウェハから連続的に剥離される。 Thus, support wafer held by the second holding portion is continuously stripped from the treated wafer toward the center from the outer periphery thereof. ここで、被処理ウェハは、第1の保持部の下面に保持されている。 Here, the processed wafer is held on the lower surface of the first holding portion. 次に、被処理ウェハの中心部と支持ウェハの中心部のみが接着した状態で、第2の保持部全体を鉛直下方に移動させる。 Next, in a state where only the central portion of the support wafer and the center of the processed wafers are bonded, to move the entire second holding portion vertically downward. これによって、被処理ウェハから支持ウェハが剥離される。 Thus, the support wafer is peeled from the processed wafer.

特開2013−89922号公報 JP 2013-89922 JP

特許文献1の剥離装置は、重合ウェハ(被処理ウェハに支持ウェハが接合されたウェハ)を水平方向に配置して、被処理ウェハから支持ウェハを剥離することを基本構成としている。 Peeling apparatus of Patent Document 1, the overlapped wafer (wafer support wafer to be processed wafer is bonded) disposed horizontally, and the basic configuration of peeling the support wafer from the process wafer. よって、構造物に鉛直方向(又は鉛直方向に対して傾斜した方向)に設置された窓ガラスから液晶パネルを剥離する剥離装置に、特許文献1の剥離装置を転用することは困難であった。 Accordingly, the peeling apparatus for peeling a liquid crystal panel from the vertical direction the installed window glass (or inclined direction with respect to the vertical direction) in the structure, it is difficult to divert the peeling device of Patent Document 1.

すなわち、窓ガラスが設置されている現場(構造物)にて、窓ガラスから液晶パネルを問題無く剥離する簡便な剥離装置は、従来には存在していない。 That is, at the site (structure) in which the window glass is installed, a simple peeling device for peeling without the liquid crystal panel issues from the window glass, it does not exist in the prior art. よって、デジタルサイネージの普及に伴って、窓ガラスから液晶パネルを問題無く剥離することができる簡便な剥離装置及び剥離方法が望まれていた。 Thus, with the spread of digital signage, simple stripping apparatus and peeling method capable of peeling without the liquid crystal panel issues from the window glass has been desired.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、構造物に設置された第1の基板から第2の基板を問題無く剥離することができる基板の剥離装置及び剥離方法を提供することを目的とする。 The present invention In view of such a situation was made, to provide a peeling apparatus and peeling method of a substrate which can be peeled off without the second substrate from the first substrate placed in the structure problem With the goal.

本発明の一態様の基板の剥離装置は、前記目的を達成するために、構造物に設置された第1の基板に、粘着層を介して貼合された第2の基板を、前記第1の基板から剥離する剥離装置において、前記第2の基板を着脱自在に保持する可撓性板状部材と、前記第1の基板又は前記構造物に着脱自在に支持されるとともに、前記可撓性板状部材が着脱自在に支持される支持部材と、前記可撓性板状部材を前記第1の基板から退避させる方向に湾曲させる力を前記可撓性板状部材に付与する湾曲手段と、を備えたことを特徴とする。 One aspect of the peeling apparatus of a substrate of the present invention, in order to achieve the above object, a first substrate placed in the structure, a second substrate which is stuck through the adhesive layer, the first the separation unit for peeling from the substrate, and a flexible plate-shaped member for holding the second substrate detachably, with the detachably supported on the first substrate or the structure, the flexible a support member plate-like member is supported detachably and curved means for applying a force to bend the flexible plate-like member in a direction to retract from the first substrate to the flexible plate-like member, characterized by comprising a.

本発明の一態様の基板の剥離方法は、前記目的を達成するために、構造物に設置された第1の基板に、粘着層を介して貼合された第2の基板を、前記第1の基板から剥離する剥離方法において、前記第1の基板又は前記構造物に支持部材を着脱自在に支持するとともに、前記支持部材に可撓性板状部材を着脱自在に支持する支持工程と、前記可撓性板状部材によって前記第2の基板を着脱自在に保持する保持工程と、前記可撓性板状部材を前記第1の基板から退避させる方向に湾曲させる力を、湾曲手段によって前記可撓性板状部材に付与する剥離工程と、を備えたことを特徴とする。 One aspect the method of the substrate of the release of the present invention, in order to achieve the above object, a first substrate placed in the structure, a second substrate which is stuck through the adhesive layer, the first in a peeling method for peeling from the substrate, the first substrate or with freely supported detachable support member to the structure, a supporting step for supporting detachably the flexible plate-like member to the support member, the a holding step by the flexible plate-like member for holding detachably said second substrate, a force to bend the flexible plate-like member in a direction to retract from the first substrate, the accepted by bending means a peeling step of imparting wrinkle resistance plate member, characterized by comprising a.

本発明の一態様によれば、支持工程にて、支持部材を第1の基板又は構造物に取り付け、この後、支持部材に可撓性板状部材を支持させる。 According to one aspect of the present invention, by the support step, attaching the support member to the first substrate or structure, after this, to support the flexible plate-like member to the support member. 次に、保持工程にて、第1の基板に貼合されている第2の基板を可撓性板状部材によって保持させる。 Next, in the holding step to hold the second substrate which is stuck to the first substrate by a flexible plate-like member. 次に、剥離工程にて、可撓性板状部材を第1の基板から退避させる方向に湾曲させる力を、湾曲手段から可撓性板状部材に付与する。 Next, in the peeling process, a force for bending the flexible plate-like member in a direction to retract from the first substrate, imparts to the flexible plate-like member from the curved section. これにより発生した可撓性板状部材からの付勢力が、第1の基板と第2の基板との界面を剥離させる方向に伝達されて、界面が剥離される。 Biasing force of the flexible plate-like member thereby has occurred, is transmitted in a direction for peeling the interface between the first substrate and the second substrate, the interface is peeled off. そして、界面が全て剥離されると、すなわち、第1の基板から第2の基板が完全に剥離されると、第2の基板は可撓性板状部材及び支持部材を介して第1の基板又は構造物に支持される。 When the interface is peeled off all, i.e., when the first substrate and the second substrate is completely removed, the second substrate is a first substrate via a flexible plate-like member and the support member or it is supported by the structure. その結果、第2の基板が落下または滑落して破損することを防止できる。 As a result, it is possible to prevent the second substrate is broken dropped or sliding manner. そして、剥離した第2の基板は、支持部材から可撓性板状部材を取り外した後、可撓性板状部材による保持を解除することにより、回収することができる。 Then, a second substrate was peeled off, after removal of the flexible plate-like member from the support member, by releasing the holding by the flexible plate-like member, it can be recovered. 以上により、本発明の一態様によれば、構造物に設置された第1の基板から第2の基板を傷つけることなく剥離することができる。 As described above, according to one aspect of the present invention, it can be separated without damaging the second substrate from the first substrate placed in the structure.

本発明の基板の剥離装置の一態様は、前記湾曲手段は、前記可撓性板状部材の一端部に取り付けられるとともに、前記第1の基板又は前記構造物に付勢力をもって当接され、その反力によって前記可撓性板状部材に前記力を付与することが好ましい。 One aspect of the peeling apparatus of a substrate of the present invention, the bending means may be attached to one end of said flexible plate-like member, which abuts with the energizing force to the first substrate or the structure, the it is preferable to apply the force to the flexible plate-like member by the reaction force.

本発明の基板の剥離方法の一態様は、前記剥離工程において、前記湾曲手段は、前記可撓性板状部材の一端部に取り付けられるとともに、前記第1の基板又は前記構造物に付勢力をもって当接され、その反力によって前記可撓性板状部材に前記力を付与することが好ましい。 One aspect of the method of removing the substrate of the present invention, in the peeling step, the bending means may be attached to one end of said flexible plate-like member, having a biasing force to the first substrate or the structure is in contact, it is preferable to impart said force to the flexible plate-like member by the reaction force.

本発明の一態様によれば、湾曲手段の反力を利用し、この反力を可撓性板状部材に伝達して第2の基板を剥離する剥離構造なので、特許文献1のような動力を利用した剥離構造と比較して、簡便な構造で前記力を可撓性板状部材に付与することができる。 According to one aspect of the present invention, utilizing the reaction force of the bending means, since release structure for separating the second substrate by transferring the reaction force to the flexible plate-like member, the power of Patent Document 1 compared to peel structure that can be utilized to impart the force to the flexible plate-like member with a simple structure.

本発明の基板の剥離装置の一態様は、前記支持部材は、鉛直方向位置調整部、及び水平方向位置調整部を備え、鉛直方向に設置された前記第1の基板に対し、前記鉛直方向位置調整部によって前記可撓性板状部材の鉛直方向位置が調整され、前記水平方向位置調整部によって前記可撓性板状部材の水平方向位置が調整されることが好ましい。 One aspect of the peeling apparatus of a substrate of the present invention, the support member, vertical position adjusting unit, and includes a horizontal position adjusting section, with respect to the first substrate disposed in a vertical direction, the vertical position vertical position of said flexible plate-like member is adjusted by the adjustment unit, the horizontal position of the flexible plate-like member by the horizontal position adjusting section are preferably adjusted.

本発明の基板の剥離方法の一態様は、前記支持部材は、鉛直方向位置調整部、及び水平方向位置調整部を備え、前記支持工程において、鉛直方向に設置された前記第1の基板に対し、前記鉛直方向位置調整部によって前記可撓性板状部材の鉛直方向位置を調整し、かつ前記水平方向位置調整部によって前記可撓性板状部材の水平方向位置を調整することが好ましい。 One aspect of the method of removing the substrate of the present invention, the support member, vertical position adjusting unit, and includes a horizontal position adjusting section, in the supporting step, with respect to the first substrate disposed in a vertical direction , by the vertical position adjusting unit to adjust the vertical position of said flexible plate-like member, and it is preferable to adjust the horizontal position of the flexible plate-like member by the horizontal position adjusting section.

本発明の一態様は、鉛直方向に設置された既設の第1の基板に対する第2の基板の現場剥離に特化した態様である。 One aspect of the present invention are those embodiments that specializes in situ separation of the second substrate to the first substrate of the installed existing vertically. すなわち、支持部材は、鉛直方向位置調整部、及び水平方向位置調整部を備えており、支持工程において、鉛直方向に配設された第1の基板に対し、鉛直方向位置調整部を操作して、第2の基板に対する可撓性板状部材の鉛直方向位置を調整し、かつ水平方向位置調整部を操作して、第2の基板に対する可撓性板状部材の水平方向位置を調整する。 That is, the support member, vertical position adjusting unit, and includes a horizontal position adjusting section, the supporting step, with respect to the first substrate disposed in the vertical direction, by operating the vertical position adjuster to adjust the vertical position of the flexible plate-like member to the second substrate, and by operating the horizontal position adjusting section adjusts the horizontal position of the flexible plate-like member to the second substrate. つまり、作業者は、可撓性板状部材の質量を負担することなく、第2の基板に対する可撓性板状部材の位置決めを行うことができる。 In other words, the operator, without incurring the mass of the flexible plate-like member, it is possible to position the flexible plate-like member to the second substrate. よって、鉛直方向に貼合された第2の基板に対する可撓性板状部材の位置調整を容易に行うことができる。 Therefore, it is possible to adjust the position of the flexible plate-like member to the second substrate which is stuck in the vertical direction easily.

本発明の基板の剥離方法の一態様は、前記可撓性板状部材の一端部に対応する前記第2の基板の一端部と前記第1の基板との界面に剥離刃を刺入して剥離開始部を作成する剥離開始部作成工程を、前記剥離工程の前工程に備えたことが好ましい。 One aspect of the method of removing the substrate of the present invention, the peeling blade and penetrating into the interface between the second end portion and the first substrate of the substrate corresponding to one end portion of said flexible plate-like member a peeling start portion generation step of generating a peeling start portion, it is preferable with the previous step of the release process.

本発明の一態様によれば、剥離を促進する剥離開始部を界面に作成することによって、第2の基板を短時間で剥離することができる。 According to one aspect of the present invention, the peeling start portion to facilitate peeling by creating the interface, it is possible to peel the second substrate in a short time. 第2の基板は、剥離開始部が作成された一端部から、一端部に対向する他端に向けて円滑に剥離される。 The second substrate is, from one end of the peeling start portion is created, it is smoothly peeled toward the other end opposite the one end.

本発明の基板の剥離装置及び剥離方法の一態様は、前記第1の基板は窓ガラスであり、前記第2の基板は画像表示パネルであることが好ましい。 One aspect of the peeling apparatus and method of removing the substrate of the present invention, the first substrate is a window glass, it is preferable that the second substrate is an image display panel.

本発明の一態様によれば、窓ガラスに貼合された画像表示パネルの剥離に好適である。 According to one aspect of the present invention is suitable for separation of the image display panel stuck on the window glass.

以上説明したように本発明の基板の剥離装置及び剥離方法によれば、構造物に設置された第1の基板から第2の基板を問題無く剥離することができる。 According to the peeling apparatus and method of removing the substrate of the present invention as described above, it can be peeled off without the second substrate from the first substrate placed in the structure problem.

デジタルサイネージの縦断面図 Longitudinal sectional view of a digital signage 図1のA部の拡大断面図 Enlarged sectional view of part A of FIG. 1 (A)は剥離装置の正面図、(B)は剥離装置の側面図 (A) is a front view of the peeling device, (B) is a side view of the peeling device 可撓性板状部材の説明図 Illustration of a flexible plate-like member 湾曲手段の説明図 Illustration of a curved section 現場剥離における剥離装置の組み立て手順を示した説明図 Explanatory view showing the assembly procedure of the separation device in the field peeling 現場剥離における剥離装置の組み立て手順を示した説明図 Explanatory view showing the assembly procedure of the separation device in the field peeling 現場剥離における剥離状況を時系列的に示した説明図 Explanatory view time series shows the peeling situation in situ stripping 窓ガラスと液晶パネルの界面にナイフを刺入して剥離開始部を作成する説明図 Illustration of creating a peeling start portion by penetrating the knife at the interface of the window glass and the liquid crystal panel 粘着部材を備えた可撓性板状部材の断面図 Sectional view of a flexible plate-shaped member having an adhesive member (A)〜(D)は粘着部材の配置形態を示した可撓性板状部材の平面図 (A) ~ (D) is a plan view of a flexible plate-like member showing the arrangement of the adhesive member

以下、添付図面に従って本発明に係る基板の剥離装置及び剥離方法の好ましい実施形態について説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of the peeling apparatus and peeling method of a substrate according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

まず、基板の貼合装置及び貼合方法によって貼合されて組み立てられた画像表示装置について説明する。 First, description is given of an image display device thus assembled stuck by bonding apparatus and bonding method for a substrate.

図1は、画像表示装置100の縦断面図、図2は、図1のA部の拡大断面図である。 Figure 1 is a longitudinal sectional view of the image display device 100, FIG. 2 is an enlarged sectional view of part A of FIG.

〈画像表示装置100〉 <Image display device 100>
本実施形態の画像表示装置100は、第1の基板である窓ガラス102、第1の粘着層114、透明面材であるガラス板110、第2の粘着層116、及び第2の基板である液晶パネル106の順で積層して構成される。 The image display apparatus 100 of the present embodiment, the window glass 102 which is a first substrate, a first adhesive layer 114, a glass plate 110 is a transparent surface material, is the second adhesive layer 116, and a second substrate formed by laminating in this order a liquid crystal panel 106. 以下、各部材について説明する。 The following describes the respective members.

(第1の基板) (A first substrate)
第1の基板としては、透明部材を例示できる。 As the first substrate can be exemplified by a transparent member. 例えば店舗、オフィス等に用いられる既設の透明部材が挙げられる。 For example the store include existing transparent member used in offices. 透明部材としては、ガラス、アクリルなどの樹脂または、ガラスと樹脂の積層体等が挙げられる。 The transparent member, glass, resin such as acrylic or laminate of glass and resin.

(透明面材) (Transparent surface material)
透明面材は、後述する液晶パネル106を窓ガラス102に貼合する際に、液晶パネル106と窓ガラス102との間に介在される板状体である。 Transparent surface material, at the time of bonding the liquid crystal panel 106 to be described later on the window glass 102 is a plate-like body interposed between the liquid crystal panel 106 and the window glass 102. 透明面材の例として、ガラス板、樹脂板等が挙げられる。 Examples of the transparent surface material, a glass plate, a resin plate and the like. 液晶パネル106からの射出光や反射光に対して透明性が高い点はもちろん、耐光性、低複屈折性、高い平面精度、耐表面擦傷性、高い機械的強度を有する観点から、透明面材としてガラス板を用いることが最も好ましい。 Course highly transparent point with respect to the exit light and the reflected light from the liquid crystal panel 106, light resistance, low birefringence, high flatness, resistance to surface abrasion resistance, from the viewpoint of having a high mechanical strength, transparent surface material it is most preferred to use a glass plate as the. 透明面材として、第1の粘着層114及び第2の粘着層116を構成する光硬化性樹脂組成物を硬化させる光に対して高い透過率を有する観点でも、ガラス板の使用が好ましい。 As the transparent surface material, even in terms of having a high transmittance to light to cure the photocurable resin composition constituting the first adhesive layer 114 and the second adhesive layer 116, use of the glass plate is preferred.

ガラス板の例として、ソーダライムガラス等のガラス材料が挙げられる。 Examples of the glass plate include glass materials such as soda-lime glass. また、樹脂板の例としては、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート等の透明性の高い樹脂材料が挙げられる。 Further, examples of the resin plate, polycarbonate, highly transparent resin material such as polymethyl methacrylate and the like.

透明面材の形状は、貼合対象である液晶パネル106の平面形状に合わせて決定すればよく、一例として矩形である。 The shape of the transparent surface material may be determined in accordance with the planar shape of the liquid crystal panel 106 is a bonding target is rectangular as one example. 透明面材の厚さは、機械的強度、透明性等の点から、ガラス板であれば、0.2〜2.0mm程度が好ましい。 The thickness of the transparent surface material, mechanical strength, transparency and the like, if a glass plate, about 0.2~2.0mm are preferred. 観察者に表示画像の奥行き感を強く感じさせないためには、透明面材の厚さは0.2〜1.1mm程度がより好ましい。 To the observer does not feel strongly the sense of depth of the display image, the thickness of the transparent surface material about 0.2~1.1mm is more preferable. 樹脂板であれば、透明面材の厚さは0.1〜1.0mm程度が好ましい。 If the resin sheet, the thickness of the transparent surface material about 0.1~1.0mm are preferred.

(遮光部) (Light blocking portion)
透明面材は、周端部に遮光部を有することが好ましい。 Transparent surface material preferably has a light shielding portion in the peripheral portion. 遮光部を備えることで、液晶パネル106を窓ガラス102に貼合した際に、液晶パネル106に接続されたフレキシブルプリント配線板等の配線部材を隠すことができる。 By providing the light shielding portion, the liquid crystal panel 106 when the stuck on a window glass 102, it is possible to hide the wiring member of the flexible printed wiring board or the like connected to the liquid crystal panel 106. 透明面材がガラス板の場合、黒色顔料を含むセラミック印刷等の印刷法を用いて遮光部を形成することが、遮光性が高く好ましい。 When the transparent surface material is a glass plate, it is, preferable because of high light-shielding property to form the light shielding portion by using a printing method of a ceramic printing containing a black pigment. なお、遮光部は、種々の薄膜形成法を用いて形成できる。 Incidentally, the light blocking portion may be formed using a variety of thin film forming method.

(粘着層) (Adhesive layer)
粘着層は、液状の光硬化性樹脂組成物を硬化させた透明樹脂から構成されている。 Adhesive layer is composed of a transparent resin obtained by curing the photocurable liquid resin composition. 粘着層の原料となる光硬化性樹脂組成物は、光硬化性を有する硬化性化合物、光重合開始剤、及び、必要に応じて非硬化性オリゴマーを含む液状の組成物が好ましい。 Photocurable resin composition as a material of the adhesive layer, the curable compound having a photocurable, a photopolymerization initiator, and, a liquid composition comprising a non-curable oligomer as required are preferred. 非硬化性オリゴマーは、光硬化性樹脂組成物の硬化時に組成物中の硬化性化合物と硬化反応を生じない水酸基を有するオリゴマーが好ましい。 Non-curable oligomer, oligomer having a hydroxyl group that does not cause a curing reaction with the curable compound in the composition upon curing of the photocurable resin composition. 第1の粘着層114および第2の粘着層116の透明樹脂は同一でも異なってもよい。 Transparent resin of the first adhesive layer 114 and the second adhesive layer 116 may be the same or different.

粘着層の厚さは、0.1〜2.0mm程度が好ましく、0.2〜0.8mm程度がより好ましい。 The thickness of the adhesive layer is preferably about 0.1 to 2.0 mm, about 0.2~0.8mm is more preferable. 第1の粘着層114および第2の粘着層116の厚は同一でもよく異なってもよい。 The thickness of the first adhesive layer 114 and the second adhesive layer 116 may be different may be the same.

第1の粘着層114と第2の粘着層116との面積は、透明面材の大きさに応じて調整される。 A first adhesive layer 114 area between the second adhesive layer 116 is adjusted according to the size of the transparent surface material. 第1の粘着層114および第2の粘着層116の面積は、同一でもよく異なってもよい。 Area of ​​the first adhesive layer 114 and the second adhesive layer 116 may be different may be the same. 面積が異なる場合の例としては、ガラス板110の第2の面110bに遮光部112を有する場合に、第1の粘着層114がガラス板110の第1の面110aの全域に設けられているのに対し、第2の粘着層116がガラス板110の第2の面110bの一部の領域に設けられている。 Examples of when the area is different, if the second surface 110b of the glass plate 110 having a light shielding portion 112, the first adhesive layer 114 is provided over the entire first surface 110a of the glass plate 110 whereas, the second adhesive layer 116 is provided in a part of the area of ​​the second surface 110b of the glass plate 110. これにより、ガラス板110の第2の面110bは、第2の粘着層116が設けられた領域と、第2の粘着層116が設けられていない領域と、を有する。 Thus, the second surface 110b of the glass plate 110 has a region where the second adhesive layer 116 is provided, and a region where the second adhesive layer 116 is not provided, the.

第2の基板としては、例えば、液晶ディスプレイパネル(LCD:Liquid Crystal Display)、プラズマディスプレイパネル(PDP:Plasma Display Panel)、有機ELディスプレイパネル(OELD:Organic Electro Luminescence Display)等の画像表示パネルを挙げることができる。 As the second substrate, for example, a liquid crystal display panel (LCD: Liquid Crystal Display), a plasma display panel (PDP: Plasma Display Panel), an organic EL display panel (OELD: Organic Electro Luminescence Display) include an image display panel such as be able to.

図2に示すように、液晶表示ユニット104は、液晶パネル106と、一対の偏光板122、124と、バックライト126と、フレーム128と、ケース130と、を備える。 2, the liquid crystal display unit 104 includes a liquid crystal panel 106, a pair of polarizing plates 122 and 124, a backlight 126, a frame 128, a case 130, a. 液晶パネル106は、一対のガラス基板132、134と、これらガラス基板132、134の間に封入された液晶(不図示)と、を備える。 The liquid crystal panel 106 includes a pair of glass substrates 132, 134, and liquid crystal (not shown) which is sealed between the glass substrates 132 and 134, a.

一対のガラス基板132、134は、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor)を備えたTFT素子基板と、カラーフィルターを備えたカラーフィルター基板と、から構成される。 A pair of glass substrates 132, 134 is composed of a TFT element substrate including a thin film transistor (Thin Film Transistor), and a color filter substrate having a color filter, from.

バックライト126は、発光ダイオード等の発光素子136と、導光板138と、プリズムシート(不図示)と、光拡散シート等の複数の光学フィルム140と、ミラー142と、を備える。 The backlight 126 includes a light emitting element 136 such as a light emitting diode, a light guide plate 138, a prism sheet (not shown), and a plurality of optical films 140, such as a light diffusion sheet, a mirror 142, a. 発光素子136から射出された光は、導光板138に入射して内部を導光する間にミラー142で反射し、複数の光学フィルム140を介して液晶パネル106に向けて射出される。 Light emitted from the light emitting element 136 is reflected by the mirror 142 while guiding the inner and incident on the light guide plate 138 is emitted toward the liquid crystal panel 106 through a plurality of optical films 140.

複数の光学フィルム140は、導光板138から射出された光の強度を均一化する機能を有する。 A plurality of optical films 140 has a function to equalize the intensity of light emitted from the light guide plate 138. そのため、複数の光学フィルム140と液晶パネル106とは、間隔をおいて配置されている。 Therefore, the plurality of optical films 140 and the liquid crystal panel 106, are arranged at intervals.

液晶パネル106は、粘着層または粘着層とガラス板110を介して窓ガラス102に支持される。 The liquid crystal panel 106 is supported on a window glass 102 through an adhesive layer or an adhesive layer and the glass plate 110. 液晶パネル106とバックライト126とは独立しているため、バックライト126は、液晶パネル106とは別に窓ガラス102に支持される。 Since is independent of the liquid crystal panel 106 and a backlight 126, a backlight 126, a liquid crystal panel 106 is supported separately from the window glass 102.

バックライト126は、断面がL字状のアングル144を介して窓ガラス102に支持される。 The backlight 126 in cross section is supported on a window glass 102 through the L-shaped angle 144. 図1では、アングル144は、ガラス板110の第2の面110b上の遮光部112に両面粘着テープ146によって固定されている。 In Figure 1, the angle 144 is fixed by a double-sided adhesive tape 146 to the light-shielding portion 112 on the second surface 110b of the glass plate 110. すなわち、バックライト126はフレーム128に固定され、フレーム128はケース130に固定され、ケース130は、ボルト148によってアングル144に固定され、アングル144が遮光部112に固定されている。 That is, the backlight 126 is fixed to the frame 128, the frame 128 is fixed to the case 130, the case 130 is fixed to the angle 144 by bolts 148, the angle 144 is fixed to the light-shielding portion 112.

これにより、バックライト126は、ガラス板110を介して窓ガラス102に支持される。 Accordingly, the backlight 126 is supported on a window glass 102 through the glass plate 110.

《本発明の基板の剥離装置及び剥離方法》 "Stripping apparatus and method of removing the substrate of the present invention"
次に、本発明の基板の剥離装置及び剥離方法について説明する。 It will now be described stripping apparatus and method of removing the substrate of the present invention.

本発明は、構造物に設置された第1の基板に粘着剤を介して貼合された第2の基板を、第1の基板から剥離する基板の剥離装置及び剥離方法であり、第1の基板及び第2の基板を特に限定するものではないが、以下の基板に適用することが好ましい。 The present invention, a second substrate which is stuck through the adhesive to the first substrate placed in the structure, a peeling apparatus and peeling method of a substrate for peeling the first substrate, the first not particularly limit the substrate and the second substrate, it is preferably applied to the following substrates.

第1の基板としては、ガラス板、透明アクリル樹脂等の透明プラスチック板等の透明基板を挙げることができる。 As the first substrate include a glass plate, a transparent substrate of the transparent plastic plate such as a transparent acrylic resin. なお、図1、図2では、第1の基板として、構造物に設置された既設の窓ガラス102を例示している。 Incidentally, FIG. 1, FIG. 2, as the first substrate, exemplifies the existing window glass 102 installed in a structure.

第2の基板としては、例えば液晶ディスプレイパネル(LCD:Liquid Crystal Display)、プラズマディスプレイパネル(PDP:Plasma Display Panel)、有機ELディスプレイパネル(OELD:Organic Electro Luminescence Display)等の画像表示パネルを挙げることができる。 As the second substrate, for example, a liquid crystal display panel (LCD: Liquid Crystal Display), a plasma display panel (PDP: Plasma Display Panel), an organic EL display panel (OELD: Organic Electro Luminescence Display) and the like an image display panel such as can. なお、図1、図2では、第2の基板として、液晶パネル106を例示している。 Incidentally, FIG. 1, FIG. 2, as the second substrate, illustrating the liquid crystal panel 106.

また、本発明の基板の剥離装置及び剥離方法は、第1の基板が鉛直方向又は鉛直方向から傾斜した状態に適用することができる。 Further, the peeling apparatus and method of removing the substrate of the present invention can be applied to a state in which the first substrate is inclined from the vertical direction or the vertical direction. 本実施形態では、図1、図2に基づき、構造物に設置された既設の窓ガラス102から液晶パネル106を剥離する現場剥離の一例で説明する。 In the present embodiment, FIG. 1, with reference to FIG. 2, illustrating the existing window glass 102 installed in a structure in one example of a site stripping for peeling the liquid crystal panel 106. また、窓ガラス102は鉛直方向に設置されているものとする。 Also, the window glass 102 is assumed to be installed in a vertical direction. また、液晶パネル106の画面サイズは、一例として42インチである。 Also, the screen size of the liquid crystal panel 106 is 42 inches as an example.

〔剥離装置10〕 [Peeling device 10]
図3(A)は、実施形態の剥離装置10を窓ガラス102に着脱自在に支持させた正面図であり、図3(B)は図3(A)の側面図である。 3 (A) is a front view obtained by detachably supported the peeling device 10 to the window glass 102 embodiment, FIG. 3 (B) is a side view of FIG. 3 (A).

図3(A)、(B)に示すように、剥離装置10は可撓性板状部材12、ハンガーユニット(支持部材)14、及び湾曲手段16を備えて構成される。 FIG. 3 (A), the configured with the (B), the peeling apparatus 10 includes a flexible plate-like member 12, the hanger unit (supporting member) 14 and the curved section 16,.

〈可撓性板状部材12〉 <Flexible plate-like member 12>
可撓性板状部材12は、矩形状の液晶パネル106の裏面(非貼合面)を保持する平坦な部材であり、液晶パネル106の面積サイズよりも大きな面積サイズに構成される。 Flexible plate-like member 12 is a flat member that holds the rear surface of the rectangular liquid crystal panel 106 (non-lamination surface), and a large area size than the area size of the liquid crystal panel 106. 液晶パネル106を保持する可撓性板状部材12の保持構造として、実施形態では、吸着保持と、吸着および粘着保持を併用する例について以下に説明する。 As the holding structure of the flexible plate-like member 12 for holding the liquid crystal panel 106, in the embodiment example will be described below in conjunction with the suction holding the suction and adhesive holding.

まず、吸着保持の例について説明する。 First, an example of the suction holding. 図4は、可撓性板状部材12の縦断面図である。 Figure 4 is a longitudinal sectional view of a flexible plate-like member 12.

図4の如く、可撓性板状部材12は、矩形状の可撓板18、可撓板18の周面部に貼り合わされた額縁状の独立気泡のスポンジ部材20、及びスポンジ部材20の内周側の可撓板18に貼り合わされた矩形状の多孔性シート22によって構成される。 As shown in FIG. 4, the flexible plate-like member 12, the inner periphery of the rectangular flexible plate 18, the sponge member 20 in the peripheral surface in the bonded a frame-shaped closed-cell flexible plate 18 and the sponge member 20, It constituted by a rectangular porous sheet 22 bonded to the flexible board 18 side.

額縁状のスポンジ部材20と多孔性シート22との間は額縁状の隙間24が形成される。 Between the frame-shaped sponge member 20 and the porous sheet 22 is frame-shaped gap 24 is formed. スポンジ部材20及び多孔性シート22は、可撓板18に接着剤(又は両面接着テープ)34を用いて貼り付けられる。 Sponge member 20 and the porous sheet 22 is affixed with an adhesive (or double-sided adhesive tape) 34 to the flexible plate 18.

可撓板18の内部には、一端が隙間24に連通され、他端が複数の吸引ポート26(図3(A)参照)に連通される吸引路28が備えられる。 Inside the flexible plate 18, one end of which communicates with the gap 24, the other end suction passage 28 in communication with a plurality of suction ports 26 (see FIG. 3 (A)) is provided. 吸引ポート26は、可撓板18の両端部(液晶パネル106を吸着しない部分)に複数備えられ、これらの吸引ポート26は、吸引ホース30を介して真空ポンプ32に接続される。 Suction port 26 is provided a plurality on both ends of the flexible plate 18 (portion not adsorb the liquid crystal panel 106), these suction ports 26 is connected to a vacuum pump 32 via a suction hose 30.

図4に戻り、可撓性板状部材12によって液晶パネル106を吸着保持する場合には、液晶パネル106の周面にスポンジ部材20を当接し、額縁状の隙間24を液晶パネル106によって閉塞する。 Returning to Figure 4, when sucking and holding the liquid crystal panel 106 by a flexible plate-like member 12, the peripheral surface of the liquid crystal panel 106 against the sponge member 20 equivalents, to close the frame-shaped gap 24 by the liquid crystal panel 106 . この状態で、真空ポンプ32を駆動すると、吸引ホース30、吸引ポート26、吸引路28、及び隙間24を介して空気が吸引される。 In this state, when driving the vacuum pump 32, the suction hose 30, suction ports 26, air is sucked through the suction passage 28, and the gap 24. これによって多孔性シート22の吸着面22Aに吸着力が発生するので、吸着面22Aに液晶パネル106が吸着保持される。 This interrupts the suction force to the suction surface 22A of the porous sheet 22 is generated, the liquid crystal panel 106 is held by suction on the suction surface 22A.

多孔性シート22の厚さは2mm以下であることが好ましく、1mm以下(例えば0.5mm)であることがより好ましい。 Preferably the thickness of the porous sheet 22 is 2mm or less, and more preferably 1mm or less (e.g., 0.5 mm). また、スポンジ部材20の厚さは多孔性シート22の厚さよりも厚くして、液晶パネル106を吸着保持した際に弾性変形して多孔性シート22の厚さまで弾性変形することが好ましい。 The thickness of the sponge member 20 is made thicker than the thickness of the porous sheet 22, it is preferable that the liquid crystal panel 106 is elastically deformed when sucked and held elastically to a thickness of the porous sheet 22 deform. これにより、隙間24を確実に閉空間とすることができるので、液晶パネル106を吸着保持する吸着力が増大する。 Thus, it is possible to closed space ensuring the gap 24, the suction force for attracting and holding the liquid crystal panel 106 is increased. また、多孔性シート22は導電性を有することが好ましい。 Further, the porous sheet 22 preferably has conductivity.

可撓板18は、適度な可撓性が必要であり、例えば厚さが2mm以上3mm以下の塩化ビニル樹脂板が好適である。 The flexible plate 18, it is necessary to appropriate flexibility, for example it is preferred the following vinyl chloride resin plate 3mm or 2mm thick. この場合、一枚の塩化ビニル樹脂板でもよいが、図4のように、厚さが2mmの塩化ビニル樹脂板18Aと厚さが0.5mmの塩化ビニル樹脂板18Bとを接着剤(あるいは両面接着テープ)36で貼り合わせて構成することもできる。 In this case, it may be a single vinyl chloride resin plate, but as in FIG. 4, the adhesive and the vinyl chloride resin plate 18B of 0.5mm thickness and a vinyl chloride resin plate 18A thickness of 2 mm (or both sides may be constructed by bonding with adhesive tape) 36. 可撓板18の多孔性シート22を貼り合わせた面の反対側の面に導電性シート(図示しない)を貼り合わせることが好ましい。 Attaching the conductive sheet (not shown) on the opposite side of the surface bonded to the porous sheet 22 of the flexible plate 18 is preferred. これにより、剥離時等において、静電気の発生を抑えることができる。 Thus, in the peeling or the like, it is possible to suppress the generation of static electricity.

次に、吸着および粘着保持を併用する例について説明する。 Next, an example of a combination of adsorption and adhesive holding. 図10は、粘着部材88を備えた可撓性板状部材12の断面図であり、図4に示した可撓性板状部材12の断面図と対応している。 Figure 10 is a cross-sectional view of a flexible plate-like member 12 with an adhesive member 88, which corresponds to the cross-sectional view of a flexible plate-shaped member 12 shown in FIG.

図10に示すように、粘着部材88は、スポンジ部材20と多孔性シート22との間の額縁状の隙間24に配置される。 As shown in FIG. 10, the adhesive member 88 is disposed in a frame-shaped gap 24 between the sponge member 20 and the porous sheet 22. 具体的には、隙間24において、不図示の両面接着テープを介して塩化ビニル樹脂板18Bに接着されている。 Specifically, in the gap 24, it is adhered to a vinyl chloride resin plate 18B via the double-sided adhesive tape (not shown). また、前記両面接着テープの厚さを含む粘着部材88の厚さは、多孔性シート22の厚さと接着剤34の厚さとを合算した厚さに設定されている。 The thickness of the adhesive member 88 including the thickness of the double-sided adhesive tape is set to a thickness obtained by summing the thickness of the thickness of the porous sheet 22 and the adhesive 34. 可撓性板状部材12に粘着部材88を設けると、前記多孔性シート22の吸着面22Aの吸着力に加えて、粘着部材88の粘着力で液晶パネル106が保持されて、可撓性板状部材12と液晶パネル106をさらに十分に互いに保持できるため好ましい。 When the flexible plate-like member 12 providing an adhesive member 88, in addition to said suction force of the suction surface 22A of the porous sheet 22, a liquid crystal panel 106 is held in the adhesive force of the adhesive member 88, a flexible plate preferred for the Jo member 12 and the liquid crystal panel 106 can be more fully held together. また、剥離している間に可撓性板状部材12の撓み過ぎ等に起因して、多孔性シート22の吸着面22Aの吸着力が失われても、粘着部材88による粘着力により、可撓性板状部材12が液晶パネル106から完全に外れることを防止できる。 Further, due to the deflection only like a flexible plate-shaped member 12 while peeling, even if the suction force of the suction surface 22A of the porous sheet 22 is lost, the adhesive force by the adhesive member 88, variable FLEXIBLE plate member 12 can be prevented from fully disengaged from the liquid crystal panel 106.

なお、液晶パネル106の剥離完了後には、前記真空吸着を解除し、可撓性板状部材12を液晶パネル106に対して撓ませることで、液晶パネル106から粘着部材88を容易に外すことができる。 Note that after the peeling completion of the liquid crystal panel 106, and releasing the vacuum suction, the flexible plate-like member 12 by deflecting the liquid crystal panel 106, can remove the adhesive member 88 easily from the liquid crystal panel 106 it can.

粘着部材88の硬度はショアA70以下が好ましく、粘着部材88の表面粗さ(Ra)は、0.2μm以下であることが好ましい。 The hardness of the adhesive member 88 is preferably Shore A70 or less, the surface roughness of the adhesive member 88 (Ra) is preferably 0.2μm or less. 粘着部材88の硬度は、JIS Z 2246(2000年)に準拠した試験方法にて測定した値である。 The hardness of the adhesive member 88 is a value measured by a test method conforming to JIS Z 2246 (2000 years). 粘着部材88の表面粗さ(Ra)は、JIS B 0601(2000年)に準拠した試験方法により測定した値である。 Surface roughness of the adhesive member 88 (Ra) is a value measured by a test method based on JIS B 0601 (2000 years). 上記の条件を満たす粘着部材88は、安定した粘着力を得ることができ、また、繰り返して吸着、剥離可能なので作業性が良好となる。 Satisfying adhesive member 88 described above, it is possible to obtain a stable adhesive strength and workability becomes good repeated adsorption, since peelable. このような粘着部材88としては、ウレタン製又はシリコン製などのゴムシートが好適に挙げられる。 Such adhesive member 88, a rubber sheet such as urethane or silicone is preferably used.

図11(A)、(B)、(C)、(D)は、可撓性板状部材12に対する粘着部材88の配置形態を示した可撓性板状部材12の平面図であり、模式的に示している。 Figure 11 (A), (B), (C), (D) is a plan view of a flexible plate-like member 12 showing the arrangement of the pressure-sensitive member 88 against the flexible plate-like member 12, schematically to show basis.

隙間24に対する粘着部材88の配置形態の一例として、図11(A)に示した形態は、短冊状に構成した4枚の粘着部材88を、隙間24の4辺に沿って配置した形態である。 As an example of the arrangement of the pressure-sensitive member 88 against the gap 24, the configuration shown in FIG. 11 (A), the four pressure-sensitive member 88 configured to strip form, in a form arranged along the four sides of the gap 24 . この形態において粘着部材88は、矩形状の可撓性板状部材12の4辺に沿って配置される。 The adhesion member 88 in this embodiment, are arranged along the four sides of the rectangular flexible plate member 12.

図11(B)に示した形態は、短冊状に構成した2枚の粘着部材88を、隙間24の対向する2辺に沿って配置した形態である。 Embodiment shown in FIG. 11 (B), the two adhesive members 88 configured in strips, in a form arranged along two opposing sides of the gap 24. この形態において粘着部材88は、矩形状の可撓性板状部材12の2辺に沿って配置される。 The adhesion member 88 in this embodiment are arranged along two sides of the rectangular flexible plate member 12.

図11(C)に示した形態は、図11(B)の形態に対し、多孔性シート22を矩形のシートに2分割し、そのシート間の隙間24Aに、粘着部材88を追加配置した形態である。 Embodiment shown in FIG. 11 (C) with respect to the form of FIG. 11 (B), 2 to divide the porous sheet 22 in a rectangular sheet, the gaps 24A between the sheet was additionally arranged an adhesive member 88 forms it is. つまり、粘着部材88は、可撓性板状部材12の少なくとも2辺に沿って配置される。 That is, the adhesive member 88 is disposed along at least two sides of the flexible plate-like member 12.

図11(D)に示した形態は、四角形状の4枚の粘着部材88を、隙間24の角部に沿って配置した形態である。 Embodiment shown in FIG. 11 (D) a square four adhesive member 88, in a form arranged along the corner portion of the gap 24. この形態において粘着部材88は、矩形状の可撓性板状部材12の角部に配置される。 The adhesion member 88 in this embodiment are arranged at the corners of the rectangular flexible plate member 12. 角部に配置される粘着部材88の形状は、四角形状に限定されず、円形であっても多角形であってもよい。 The shape of the adhesive member 88 disposed at the corners is not limited to a square shape, it may be polygonal, even circular.

なお、粘着部材88の形態は、上記4形態に限定されるものではなく、配置位置、及び大きさ等は、粘着部材88が持つ粘着力、可撓性板状部材12及び液晶パネル106の大きさ、質量等によって適宜選択されるものである。 Incidentally, the form of the adhesive member 88 is not limited to the above 4 form, position, and size, etc., the adhesive force adhesive member 88 has the size of the flexible plate-like member 12 and the liquid crystal panel 106 it is, is appropriately selected by the mass or the like.

〈支持部材:ハンガーユニット14〉 <Support member: hanger unit 14>
図3に示すハンガーユニット14は、可撓性板状部材12を吊り下げ支持する冶具である。 Hanger unit 3 14 is a jig for supporting hanging the flexible plate-like member 12. ハンガーユニット14を設けると、可撓性板状部材12が支持されるので、第2の基板が第1の基板から完全に剥離した際に、可撓性板状部材12の落下または滑落を防げる。 The provision of the hanger unit 14, since the flexible plate-like member 12 is supported, when the second substrate was completely peeled from the first substrate, prevent the falling or sliding off the flexible plate-like member 12 . その結果、第2の基板を傷つけることなく剥離できる。 As a result, peeling without damaging the second substrate. また、ハンガーユニット14は、可撓性板状部材12の矢印Dで示す鉛直方向の位置と傾き、及び矢印Eで示す水平方向の位置を調整する冶具であることが好ましい。 Further, the hanger unit 14, inclination and vertical position indicated by the arrow D of the flexible plate-like member 12, and is preferably a jig to adjust the horizontal position indicated by the arrow E.

図3(A)の如く、ハンガーユニット14は、鉛直方向に配設された窓ガラス102の面に沿って、可撓性板状部材12の水平方向の位置を調整する水平方向位置調整部38、及び窓ガラス102の面に沿って、可撓性板状部材12の鉛直方向の位置を調整する鉛直方向位置調整部40を備える。 As Figure 3 (A), the hanger unit 14, along the surface of the window glass 102 which is disposed in the vertical direction, the horizontal direction position adjusting unit 38 to adjust the horizontal position of the flexible plate-like member 12 , and along the surface of the window glass 102, and a vertical position adjusting unit 40 for adjusting the vertical position of the flexible plate-like member 12. また、ハンガーユニット14は、一対のハンド吸着盤42を備えている。 Further, the hanger unit 14 has a pair of hands suction cups 42. これらのハンド吸着盤42を、窓ガラス102に吸着させることにより、ハンガーユニット14が窓ガラス102に着脱自在に支持される。 These hand suction cups 42, by adsorbing to the window glass 102, the hanger unit 14 is detachably supported on the window glass 102. なお、ハンド吸着盤42に代えて、真空ポンプ(図示せず)に連結した吸着盤も使用可能であるが、現場貼合の場合にはハンドリング性のよいハンド吸着盤42が好ましい。 Instead of the hand suction cup 42, but suction cup connected to a vacuum pump (not shown) may also be used, good hand suction cups 42 of the handling property in the case of field bonding is preferred. ハンド吸着盤42としては、シンワ測定株式会社製の許容荷重が25kgf/1個のものを好適に使用することができる。 The hand suction cup 42 can be allowable load made Shinwa measurement, Ltd. is preferably used 25 kgf / 1 single ones. ハンド吸着盤42の吸着位置は、窓ガラス102に限定されず、窓ガラス102を支持する構造体の壁(支持体)に吸着してもよい。 Suction position of the hand suction cups 42 is not limited to the window glass 102 may be adsorbed to the wall (support) of the structure supporting the window glass 102.

(水平方向位置調整部38) (Horizontal position adjusting section 38)
水平方向位置調整部38は、レール状部材38Aに2台のリニアスライダ38B、38Bが、レール状部材38Aの長手方向に沿ってスライド自在に支持されることにより構成される。 Horizontal position adjusting section 38 is constructed by two linear slider 38B on the rail-like member 38A, 38B is slidably supported along the longitudinal direction of the rail-like member 38A. 2台のリニアスライダ38B、38Bにそれぞれハンド吸着盤42が設けられる。 Two linear slider 38B, Hand suction cups 42 each are provided in 38B.

(鉛直方向位置調整部40) (Vertical position adjusting portion 40)
鉛直方向位置調整部40は、一対のターンバックル44、44によって構成される。 Vertical position adjusting unit 40 is constituted by a pair of turnbuckles 44 and 44. 一対のターンバックル44、44は、その上端がレール状部材38Aの両端部に取り付けられることにより、レール状部材38Aに吊設される。 A pair of turnbuckles 44 and 44, by which the upper end is attached to both ends of the rail-shaped member 38A, is suspended in the rail-like member 38A.

(ハンガーユニット14の作用) (The action of the hanger unit 14)
ハンガーユニット14を使用する場合には、まず、レール状部材38Aの長手方向が水平方向を向くように2台のハンド吸着盤42を窓ガラス102の面に吸着させる。 When using the hanger unit 14 first hand suction cups 42 of the two so that the longitudinal direction of the rail-shaped member 38A is horizontally oriented is adsorbed on the surface of the window glass 102. ハンド吸着盤42の吸着位置は、液晶パネル106の剥離位置に対応した大まかな位置である。 Suction position of the hand suction cups 42 are rough position corresponding to the release position of the liquid crystal panel 106. そして、一対のターンバックル44、44の下端に設けたフック44Aに、可撓性板状部材12の上端に取り付けられたリング12Aを着脱自在に係合させる。 Then, the hook 44A provided on the lower ends of the pair of turnbuckles 44 and 44, releasably to freely engaged the ring 12A which is attached to the upper end of the flexible plate-like member 12. これにより、可撓性板状部材12が、ハンガーユニット14に吊り下げ支持される。 Thus, the flexible plate-like member 12 is supported in a suspended state hanger unit 14. そして、作業者は、レール状部材38Aを水平方向に移動させる作業、及び一対のターンバックル44、44の鉛直方向の長さを個別に調整する作業を行う。 The operator work of moving the rail-like member 38A in the horizontal direction, and the work of adjusting individually the length of the vertical direction of the pair of turnbuckles 44 and 44 performed. ターンバックル44、44の長さを同じだけ伸ばすと可撓性板状部材12は鉛直方向に下降し、同じだけ縮めると鉛直方向に上昇して、鉛直方向の位置を調整できる。 The length of the turnbuckle 44, 44 flexible plate-like member 12 and extend as much is lowered in the vertical direction, it rises to the same amount shorten the vertical direction, can adjust the position in the vertical direction. また、ターンバックル44、44の一方を伸ばして、他方を縮めると可撓性板状部材12の傾きを調整できる。 Further, by extending one of the turnbuckle 44 you can adjust the inclination of the flexible plate-like member 12 and reducing the other.

これにより、液晶パネル106を良好に保持する位置に可撓性板状部材12が容易に位置決めされる。 Thus, the flexible plate-like member 12 of the liquid crystal panel 106 in a position to better hold is easily positioned.

なお、水平方向位置調整部38、及び鉛直方向位置調整部40の構成は、上記の例に限定されるものではなく、可撓性板状部材12の水平方向、鉛直方向および傾きを調整可能な機能を有するものであれば適用できる。 The configuration of the horizontal position adjusting section 38 and the vertical position adjusting section 40, is not intended to be limited to the above example, adjustable horizontal flexible plate-like member 12, the vertical direction and inclination applicable as long as it has a function.

〈湾曲手段16〉 <Curved means 16>
湾曲手段16は、可撓性板状部材12を、その上端部から下端部にかけて、窓ガラス102から退避する方向に円弧状に湾曲させる力を、可撓性板状部材12に付与する冶具である。 Bending means 16, a flexible plate-like member 12, toward the lower end from an upper end thereof, a force to be arcuately curved in a direction retracting from the window glass 102, in a jig to impart to the flexible plate-like member 12 is there. これにより、窓ガラス102と液晶パネル106との界面に、界面を剥離させる方向の力が付与される。 Thus, the interface between the window glass 102 and the liquid crystal panel 106, the direction of the force to peel the interface is granted.

(湾曲手段16の形態) (In the form of a curved section 16)
図5(A)、(B)に示した剥離状況を示す説明図の如く、2形態の湾曲手段16が示されている。 FIG. 5 (A), the are as explanatory view showing the peeling situation shown, two forms of the bending means 16 shown in (B).

湾曲手段16は、可撓性板状部材12の下端部(一端部)であって可撓性板状部材12の幅方向の少なくとも2か所に着脱自在に設けられる。 Bending means 16 is detachably attached the lower end of the flexible plate-like member 12 a (one end portion) in at least two positions in the width direction of the flexible plate-like member 12. なお、図3(A)では、4か所に湾曲手段16が備えられている。 In FIG. 3 (A), the curved section 16 at four locations are provided.

図5(A)の湾曲手段16は、可撓性板状部材12の下端部を、スプリング16Dの付勢力によって窓ガラス102から退避する方向に押し上げる押上方式である。 Bending means of Figure 5 (A) 16, the lower end portion of the flexible plate-like member 12, a pushing-up method to push up in the direction of retreat from the window glass 102 by the biasing force of the spring 16D. この湾曲手段16は、可撓性板状部材12の下端部にプレート16Aが着脱自在に固定され、このプレート16Aの開口部(不図示)に棒状のプッシャ16Bが挿抜自在に取り付けられている。 The bending means 16 has a lower end portion to the plate 16A of the flexible plate-like member 12 is detachably fixed, rod-shaped pusher 16B is mounted for insertion in the opening of the plate 16A (not shown). プッシャ16Bの先端部には、窓ガラス102に当接される弾性体16Cが取り付けられ、スプリング16Dは、プレート16Aと弾性体16Cとの間に介在され、スプリング16Dにプッシャ16Bが挿通されている。 The distal end of the pusher 16B, the elastic member 16C mounted to abut against the window glass 102, the spring 16D is interposed between the plate 16A and the elastic member 16C, pusher 16B is inserted through the spring 16D .

この湾曲手段16によれば、スプリング16Dの付勢力によって弾性体16Cが窓ガラス102に押圧当接されるので、その反力によって、可撓性板状部材12をその上端部から下端部にかけて、窓ガラス102から退避する方向に円弧状に湾曲させることができる。 According to the curved section 16, since the elastic member 16C is pressed against the window glass 102 by the biasing force of the spring 16D, by reaction force thereof, toward the lower end portion of the flexible plate-like member 12 from its upper end, it can be curved in an arc shape in a direction retracting from the window glass 102. なお、弾性体16Cを、窓ガラス102を支持する構造物の壁、柱等に押圧当接させてもよい。 Incidentally, the elastic member 16C, the wall of the structure for supporting the window glass 102, may be pressed against a pillar or the like.

図5(B)の湾曲手段16は、可撓性板状部材12の下端部を窓ガラス102から退避する方向に、ウエイト部材16Eの自重によって牽引する牽引方式である。 Bending means of Figure 5 (B) 16 in the direction of retracting the lower end portion of the flexible plate-like member 12 from the window glass 102, a traction system for traction by the weight of the weight member 16E. この湾曲手段16は、プレート16Aに牽引ロープ16Fを介してウエイト部材16Eを吊り下げて構成される。 The bending means 16 is constituted by hanging a weight member 16E via a traction rope 16F to plate 16A. また、ウエイト部材16Eの自重をプレート16Aに水平方向に付与するために、牽引ロープ16Fはプーリ16Gに巻き掛けられている。 Further, in order to impart a horizontal direction to the plate 16A of the self-weight of the weight member 16E, pulling rope 16F it is wound around the pulley 16G.

この湾曲手段16も図5(A)に示した湾曲手段16と同様の効果を得ることができる。 The bending means 16 also can be obtained the same effect as the bending means 16 shown in FIG. 5 (A). なお、可撓性板状部材12に対するプレート16Aの固定形態は、特に限定されないが、例えばクランプ方式やハンド吸着盤方式等を採用することにより可撓性板状部材12に対して着脱自在に取り付けることができる。 The fixed form of a plate 16A with respect to the flexible plate-like member 12 is not particularly limited, removably mounted to the flexible plate-like member 12 by employing, for example, clamping system and hand suction cup system, etc. be able to.

〔液晶パネル106の剥離方法〕 [Peeling method of the liquid crystal panel 106]
剥離装置10を用いて現場剥離を行う際に、剥離装置10を現場にて組み立てる組み立て手順、及び組み立てた剥離装置10によって第1の基板である窓ガラス102から第2の基板である液晶パネル106を剥離する剥離手順を以下に説明する。 When performing the scene peeling using the peeling apparatus 10, the assembly procedure the liquid crystal panel 106 is a second substrate from the window glass 102 which is a first substrate and by the assembled peeling device 10, assembled peeling device 10 on site the stripping procedures of peeling will be described below.

〈剥離装置10の組立手順〉 <Assembly procedure of the separation device 10>
まず、図6、図7に従って剥離装置10の組立手順を説明する。 First, FIG. 6, the assembly procedure of the peeling apparatus 10 will be described with reference to FIG. 7.

(支持工程) (Supporting step)
図6(A)の正面図、(B)の側面図に示すように、作業者は、鉛直に設置されている窓ガラス102に、ハンガーユニット14のハンド吸着盤42をレール状部材38Aが水平になるように吸着させる。 Figure 6 a front view of (A), as shown in the side view of (B), the operator, the window glass 102 installed vertically, the hand suction cups 42 of the hanger unit 14 rail-shaped member 38A is horizontal adsorbed to be.

次に、図7(A)、(B)に示すように、作業者は、ハンガーユニット14の一対のターンバックル44のフック44Aに、可撓性板状部材12のリング12Aを着脱自在に係合させ、可撓性板状部材12を、ハンガーユニット14を介して窓ガラス102に吊り下げ支持する。 Next, as shown in FIG. 7 (A), (B), the operator, the hook 44A of the pair of turnbuckles 44 of the hanger unit 14, detachably engaged removably ring 12A of the flexible plate-like member 12 engaged thereby, the flexible plate-like member 12 hanging supports the window glass 102 via the hanger unit 14.

この後、ハンガーユニット14によって、可撓性板状部材12を矢印Dで示す鉛直方向及び矢印Eで示す水平方向に移動させることによって、液晶パネル106を良好に保持する位置に可撓性板状部材12の位置を調整する。 Thereafter, the hanger unit 14, by moving in the horizontal direction indicated by the vertical direction and the arrow E shows the flexible plate-like member 12 in the arrow D, the flexible plate a liquid crystal panel 106 in a position to better hold adjusting the position of the member 12.

(保持工程) (Holding step)
図5の如く、液晶パネル106の周面にスポンジ部材20を当接して、隙間24を液晶パネル106によって閉塞する。 As shown in FIG. 5, the sponge member 20 on the peripheral surface of the liquid crystal panel 106 in contact, closing the gap 24 by the liquid crystal panel 106. この後、真空ポンプ32を駆動する。 Thereafter, it drives the vacuum pump 32. これによって、多孔性シート22の吸着面22Aに液晶パネル106が吸着保持される。 Thus, the liquid crystal panel 106 is held by suction on the suction surface 22A of the porous sheet 22.

(剥離工程) (Stripping step)
図8(A)の如く、可撓性板状部材12の下部に湾曲手段16を取り付けて、可撓性板状部材12を窓ガラス102から退避させる方向に湾曲させる力を、湾曲手段16から可撓性板状部材12に付与する。 Figure as 8 (A), with a curved section 16 at the bottom of the flexible plate-like member 12 fitted, the flexible plate-like member 12 a force to bend in a direction to retract the window glass 102, a curved section 16 imparting to the flexible plate-like member 12.

図8(A)〜(C)は、液晶パネル106が窓ガラス102から剥離していく、その状態を時系列的に示している。 Figure 8 (A) ~ (C), the liquid crystal panel 106 is gradually peeled from the window glass 102, and time series shows the state.

湾曲により発生した可撓性板状部材12からの付勢力が、窓ガラス102と液晶パネル106との界面を剥離させる方向に伝達されるので、図8(B)の如く、下端部の界面から上端部の界面に向けて界面が徐々に剥離されていく。 Biasing force of the flexible plate-like member 12 generated by the curved, because it is transmitted in a direction of peeling the interface between the window glass 102 and the liquid crystal panel 106, as shown FIG. 8 (B), from the interface of the lower end portion towards the interface of the upper end surface is gradually peeled off.

そして、図8(C)の如く界面が全て剥離されると、すなわち、窓ガラス102から液晶パネル106が完全に剥離されると、液晶パネル106は、可撓性板状部材12及びハンガーユニット14を介して窓ガラス102に支持されているので、窓ガラス102から落下することなく、吊り下げ支持される。 Then, when the interface as shown in FIG. 8 (C) is stripped of all, i.e., when the window glass 102 liquid crystal panel 106 is completely peeled, the liquid crystal panel 106, a flexible plate-like member 12 and the hanger unit 14 because it is supported by the window glass 102 through, without falling from the window glass 102, it is suspended support.

以上の手順により窓ガラス102に対する液晶パネル106の剥離作業が終了する。 Peeling operation of the liquid crystal panel 106 is completed for window glass 102 by the above procedure.

剥離作業の終了後、液晶パネル106の回収作業、及び剥離装置10の取り外し作業を行う。 After completion of the separating operation, recovery operations of the liquid crystal panel 106, and Removing the peeling apparatus 10 performs.

その作業は、まず、液晶パネル106を保持した可撓性板状部材12を、ハンガーユニット14から取り外し、可撓性板状部材12を構造物の床又はテーブルに載置する。 Its operation, first, the flexible plate-like member 12 holding the liquid crystal panel 106, removed from the hanger unit 14, placing the flexible plate-like member 12 on the floor or table structure. この後、可撓性板状部材12による保持を解除(真空ポンプ32を停止)して、可撓性板状部材12から液晶パネル106を回収する。 Thereafter, release the holding by the flexible plate-like member 12 (the vacuum pump 32 stops) to be recovered crystal panel 106 from the flexible plate-like member 12. そして最後に、ハンガーユニット14を窓ガラス102から取り外す。 Finally, remove the hanger unit 14 from the window glass 102.

以上により、実施形態の剥離装置10による剥離方法によれば、構造物に設置された窓ガラス102から液晶パネル106を傷付けることなく剥離することができる。 As described above, according to the peeling method according to the peeling apparatus 10 of the embodiment, it can be separated without damaging the liquid crystal panel 106 from the window glass 102 installed in a structure.

〈実施形態の剥離装置10の他の特徴〉 <Other features of the peeling apparatus 10 of Embodiment>
湾曲手段16は、可撓性板状部材12の下端部に取り付けられるとともに、窓ガラス102又は構造物に付勢力をもって当接され、その反力によって可撓性板状部材12に前記力(可撓性板状部材12を湾曲させる力)を付与している。 Bending means 16, together with the attached to the lower end portion of the flexible plate-like member 12, which abuts with the energizing force to the window glass 102 or structure, said force to the flexible plate-like member 12 by the reaction force (Yes It is imparted a force) for bending the FLEXIBLE plate member 12. すなわち、湾曲手段16の反力を利用し、この反力を可撓性板状部材12に伝達して液晶パネル106を剥離する剥離構造なので、特許文献1のような動力を利用した剥離構造と比較して、簡便な構造で前記力を可撓性板状部材12に付与することができる。 That is, utilizing the reaction force of the bending means 16, since release structure for separating the liquid crystal panel 106 to transmit the reaction force to the flexible plate-like member 12, a peeling structure using power, such as in Patent Document 1 in comparison, it is possible to impart the force to the flexible plate-like member 12 with a simple structure.

ハンガーユニット14には、水平方向位置調整部38及び鉛直方向位置調整部40が備えられている。 The hanger unit 14, the horizontal position adjusting section 38 and the vertical position adjusting section 40 is provided. これにより、作業者は、可撓性板状部材12の質量を負担することなく、液晶パネル106に対する可撓性板状部材12の位置決めを行うことができる。 Thus, the operator, without incurring the mass of the flexible plate-like member 12, it is possible to position the flexible plate-like member 12 to the liquid crystal panel 106. よって、鉛直方向に貼合された液晶パネル106に対する可撓性板状部材12の位置調整を容易に行うことができる。 Therefore, it is possible to adjust the position of the flexible plate-like member 12 to the liquid crystal panel 106 stuck vertically easily.

図9は、液晶パネル106の下端部と窓ガラス102との界面に剥離刃であるナイフ46を、矢印F方向に刺入して剥離開始部48を作成する剥離開始部作成工程の説明図である。 9, a knife 46 is the interface to the peeling blade and the lower end portion and the window glass 102 of the liquid crystal panel 106, in illustration of the peeling start portion generation step of generating a peeling start portion 48 and penetrating in the direction of the arrow F is there. このように、予め界面に剥離開始部48を作成しておくことにより、この剥離開始部48が剥離起点となるので液晶パネル106を短時間で剥離することができる。 Thus, by previously creating a peeling start portion 48 in advance interface, it is possible to peel the liquid crystal panel 106 in a short time since the peeling start portion 48 is peel start point. 剥離開始部48は、液晶パネル106の下端部に沿って作成することが好ましい。 Peeling start portion 48 is preferably created along the lower end portion of the liquid crystal panel 106. また、ナイフ46の刺入量aは、液晶パネル106のサイズに応じて数ミリから十数ミリとすることが好ましい。 Further, the amount of insertion a knife 46 is preferably a ten millimeters from a few millimeters depending on the size of the liquid crystal panel 106.

更に、剥離開始部作成工程は、剥離工程の前工程で実施されるものである。 Furthermore, the peeling start portion forming step is to be carried out in the previous step of the release process. 支持工程の前、支持工程と保持工程との間、保持工程と剥離工程との間で実施することが好ましい。 Previous supporting step, between the supporting step and the holding step is preferably carried out in between the holding step and the peeling step.

〔産業上の利用可能性〕 [Industrial Applicability]
上記説明した実施形態では、本発明の基板の剥離装置及び剥離方法を、構造物に設置された窓ガラス(第1の基板)から液晶パネル(第2の基板)を現場剥離する一例で説明したが、これに限定されず、第1の基板が鉛直方向に対して傾斜した基板であっても、本発明を適用することができる。 In the embodiments described above, the peeling apparatus and method of removing the substrate of the present invention have been described from the installed glazing structure (first substrate) in an example of the field separating the liquid crystal panel (second substrate) but not limited thereto, and the first substrate be a substrate which is inclined with respect to the vertical direction, it is possible to apply the present invention.

10…剥離装置、12…可撓性板状部材、12A…リング、14…ハンガーユニット、16…湾曲手段、16A…プレート、16B…プッシャ、16C…弾性体、16D…スプリング、16E…ウエイト部材、16F…牽引ロープ、16G…プ―リ、18…可撓板、20…スポンジ部材、22…多孔性シート、24…隙間、26…吸引ポート、28…吸引路、30…吸引ホース、32…真空ポンプ、34…接着剤、36…接着剤、38…水平方向位置調整部、38A…レール状部材、38B…リニアスライダ、40…鉛直方向位置調整部、42…ハンド吸着盤、44…ターンバックル、44A…フック、46…ナイフ、48…剥離開始部、88…粘着部材、100…デジタルサイネージ、102…窓ガラス、106…液晶パネル 10 ... peeling apparatus, 12 ... flexible plate-like member, 12A ... ring, 14 ... hanger unit, 16 ... bending means, 16A ... plate, 16B ... pusher, 16C ... elastic body, 16D ... spring, 16E ... weight member, 16F ... tow rope, 16G ... flop - Li, 18 ... flexible plate, 20 ... sponge member, 22 ... porous sheet, 24 ... gap, 26 ... suction port, 28 ... suction passage, 30 ... suction hose, 32 ... vacuum pumps, 34 ... adhesive, 36 ... adhesive, 38 ... horizontal position adjustment unit, 38A ... rail-like member, 38B ... linear slider, 40 ... vertical position adjusting portion, 42 ... hand suction cup, 44 ... turnbuckle, 44A ... hook, 46 ... knife, 48 ... peeling start portion, 88 ... adhesive member, 100 ... digital signage, 102 ... window glass, 106 ... liquid crystal panel

Claims (9)

  1. 構造物に設置された第1の基板に、粘着層を介して貼合された第2の基板を、前記第1の基板から剥離する剥離装置において、 A first substrate placed in the structure, a second substrate which is stuck through the adhesive layer, the peeling device for peeling from the first substrate,
    前記第2の基板を着脱自在に保持する可撓性板状部材と、 A flexible plate-shaped member for holding the second substrate detachably,
    前記第1の基板又は前記構造物に着脱自在に支持されるとともに、前記可撓性板状部材が着脱自在に支持される支持部材と、 Together it is detachably supported on the first substrate or the structure, a supporting member to which the flexible plate-like member is supported detachably,
    前記可撓性板状部材を前記第1の基板から退避させる方向に湾曲させる力を前記可撓性板状部材に付与する湾曲手段と、 A curved means for applying a force to bend the flexible plate-like member in a direction to retract from the first substrate to the flexible plate-like member,
    を備えたことを特徴とする基板の剥離装置。 Peeling device substrate, comprising the.
  2. 前記湾曲手段は、前記可撓性板状部材の一端部に取り付けられるとともに、前記第1の基板又は前記構造物に付勢力をもって当接され、その反力によって前記可撓性板状部材に前記力を付与する請求項1に記載の基板の剥離装置。 The bending means may be attached to one end of said flexible plate-like member, wherein the contact with a biasing force to the first substrate or the structure, the said flexible plate-like member by the reaction force peeling device substrate according to claim 1 for imparting force.
  3. 前記支持部材は、鉛直方向位置調整部、及び水平方向位置調整部を備え、鉛直方向に設置された前記第1の基板に対し、前記鉛直方向位置調整部によって前記可撓性板状部材の鉛直方向位置が調整され、前記水平方向位置調整部によって前記可撓性板状部材の水平方向位置が調整される請求項1又は2に記載の基板の剥離装置。 Wherein the support member, vertical position adjusting unit, and includes a horizontal position adjusting section, with respect to the first substrate disposed in the vertical direction, the vertical of said flexible plate-like member by the vertical position adjusting section direction position is adjusted, the peeling device substrate according to claim 1 or 2 horizontal position of the flexible plate-like member is adjusted by the horizontal position adjusting section.
  4. 前記第1の基板は窓ガラスであり、前記第2の基板は画像表示パネルである請求項1、2又は3に記載の基板の剥離装置。 Wherein the first substrate is a window glass, said second substrate peeling device substrate according to claim 1, 2 or 3 which is an image display panel.
  5. 構造物に設置された第1の基板に、粘着層を介して貼合された第2の基板を、前記第1の基板から剥離する剥離方法において、 A first substrate placed in the structure, a second substrate which is stuck through the adhesive layer, the peeling method for peeling from the first substrate,
    前記第1の基板又は前記構造物に支持部材を着脱自在に支持するとともに、前記支持部材に可撓性板状部材を着脱自在に支持する支持工程と、 Thereby detachably supporting the support member to the first substrate or the structure, a supporting step for supporting detachably the flexible plate-like member on said support member,
    前記可撓性板状部材によって前記第2の基板を着脱自在に保持する保持工程と、 A holding step of holding detachably said second substrate by said flexible plate-like member,
    前記可撓性板状部材を前記第1の基板から退避させる方向に湾曲させる力を、湾曲手段によって前記可撓性板状部材に付与する剥離工程と、 A force of bending the flexible plate-like member in a direction to retract from the first substrate, a peeling step of applying to said flexible plate-like member by a curved section,
    を備えたことを特徴とする基板の剥離方法。 Peeling method of the substrate, comprising the.
  6. 前記剥離工程において、前記湾曲手段は、前記可撓性板状部材の一端部に取り付けられるとともに、前記第1の基板又は前記構造物に付勢力をもって当接され、その反力によって前記可撓性板状部材に前記力を付与する請求項5に記載の基板の剥離方法。 In the stripping step, the bending means may be attached to one end of said flexible plate-like member, which abuts with the energizing force to the first substrate or the structure, said flexible by its reaction force peeling method of a substrate according to claim 5 for imparting said force to the plate-like member.
  7. 前記可撓性板状部材の一端部に対応する前記第2の基板の一端部と前記第1の基板との界面に剥離刃を刺入して剥離開始部を作成する剥離開始部作成工程を、前記剥離工程の前工程に備えた請求項5又は6に記載の基板の剥離方法。 A peeling start portion generation step of generating a peeling start portion peeling blade and penetrating into the interface of one end portion of the second substrate corresponding to one end portion and said first substrate of said flexible plate-like member peeling method of a substrate according to claim 5 or 6 comprising the previous step of the release process.
  8. 前記支持部材は、鉛直方向位置調整部、及び水平方向位置調整部を備え、 Wherein the support member comprises vertical position adjusting unit, and a horizontal position adjusting section,
    前記支持工程において、鉛直方向に設置された前記第1の基板に対し、前記鉛直方向位置調整部によって前記可撓性板状部材の鉛直方向位置を調整し、かつ前記水平方向位置調整部によって前記可撓性板状部材の水平方向位置を調整する請求項5、6又は7に記載の基板の剥離方法。 Wherein the supporting step, with respect to the first substrate disposed in a vertical direction, the vertical by direction position adjusting unit to adjust the vertical position of said flexible plate-like member, and said by the horizontal position adjusting section peeling method of a substrate according to claim 5, 6 or 7 to adjust the horizontal position of the flexible plate-like member.
  9. 前記第1の基板は窓ガラスであり、前記第2の基板は画像表示パネルである請求項5から8のいずれかに記載の基板の剥離方法。 Wherein the first substrate is a window glass, said second substrate peeling method of a substrate according to any one of claims 5 to 8 which is an image display panel.
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