JP2016087855A - Screen printing apparatus and screen printing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法に関するものである。 The present invention relates to a screen printing apparatus and a screen printing method for printing a paste on a substrate by filling the opening area provided in the mask plate with a paste by sliding a squeegee on the mask plate.
従来、マスクプレート上でスキージを摺動させてマスクプレート上のペーストを掻き寄せることにより、マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置が知られている。このようなスクリーン印刷装置では、基板上に電極が通常の密集度で配置された非ファインピッチ領域のほか、非ファインピッチ領域よりも相対的に高い密集度で電極が配置されたファインピッチ領域が混在している場合、ファインピッチ領域内の電極に対しては非ファインピッチ領域内の電極よりも高い印圧でペーストを印刷する必要がある。このため従来、ファインピッチ領域に対応するマスクプレートの開口領域にペーストを充填する場合には、非ファインピッチ領域に対応するマスクプレートの開口領域にペーストを充填する場合よりも相対的にアタック角の小さいスキージを用いるようにしている。 2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a screen printing apparatus that prints a paste on a substrate by filling the opening area provided in the mask plate by sliding the squeegee on the mask plate and scraping the paste on the mask plate. Yes. In such a screen printing apparatus, in addition to the non-fine pitch area where the electrodes are arranged at a normal density on the substrate, there is a fine pitch area where the electrodes are arranged at a relatively higher density than the non-fine pitch area. When they are mixed, it is necessary to print the paste at a higher printing pressure on the electrodes in the fine pitch region than on the electrodes in the non-fine pitch region. For this reason, conventionally, when the paste is filled in the opening area of the mask plate corresponding to the fine pitch area, the attack angle is relatively smaller than when the paste is filled in the opening area of the mask plate corresponding to the non-fine pitch area. A small squeegee is used.
また、スキージに水平軸回りの回転を与えることより、スキージのマスクプレート上での摺動動作中にアタック角を切り替えることができるようにしたスクリーン印刷装置が考案されている(例えば、下記の特許文献1)。このスクリーン印刷装置では、スキージがファインピッチ領域に対応する開口領域に対してペーストを充填するときには、スキージが非ファインピッチ領域に対応する開口領域に対してペーストを充填するときよりもスキージのアタック角が小さくなるように切り替える。このため、マスクプレートにファインピッチ領域に対応する開口領域と非ファインピッチ領域に対応する開口領域が混在する場合であっても、1回のスキージ摺動動作でペーストを印刷することができる。 In addition, a screen printing apparatus has been devised in which the attack angle can be switched during the sliding operation of the squeegee on the mask plate by giving the squeegee rotation about the horizontal axis (for example, the following patents) Reference 1). In this screen printing apparatus, when the squeegee fills the opening area corresponding to the fine pitch area with the paste, the squeegee attack angle is larger than when the squeegee fills the opening area corresponding to the non-fine pitch area. Switch so that becomes smaller. For this reason, even when the opening area corresponding to the fine pitch area and the opening area corresponding to the non-fine pitch area are mixed on the mask plate, the paste can be printed by one squeegee sliding operation.
しかしながら、上記のようにスキージの摺動動作中にスキージのアタック角を切り替える構成のスクリーン印刷装置では、ペーストの充填圧が異なる開口領域がスキージの摺動方向と直交する方向(スキージの長手方向)に並んでいる場合には、いずれかの開口領域に合わせてアタック角を設定せざるを得ず、どの開口領域に対しても適切な充填圧でペーストを印刷することができるというものではなかった。 However, in the screen printing apparatus configured to switch the attack angle of the squeegee during the sliding operation of the squeegee as described above, the direction in which the opening regions having different paste filling pressures are orthogonal to the sliding direction of the squeegee (longitudinal direction of the squeegee) In the case where they are lined up, the attack angle has to be set according to one of the opening areas, and the paste cannot be printed with an appropriate filling pressure in any opening area. .
そこで本発明は、ペーストの充填圧が異なる複数の開口領域それぞれに対して適切な充填圧でペーストを充填することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus and a screen printing method capable of filling a paste with an appropriate filling pressure in each of a plurality of opening areas having different paste filling pressures.
本発明のスクリーン印刷装置は、基板と接触されるマスクプレートと、前記基板と接触した前記マスクプレート上を摺動し、ペースト掻寄せ面で前記マスクプレート上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填するスキージとを備えたスクリーン印刷装置であって、前記ペースト掻寄せ面の一部と対向する位置に、前記スキージのアタック角とは異なるアタック角を有する付加スキージが取り付けられた。 The screen printing apparatus of the present invention includes: a mask plate that is in contact with a substrate; and the mask that slides on the mask plate that is in contact with the substrate and scrapes the paste on the mask plate on a paste scraping surface. A screen printing apparatus including a squeegee for filling a paste in an opening area provided in a plate, wherein the screen printing apparatus has an attack angle different from an attack angle of the squeegee at a position facing a part of the paste scraping surface. An additional squeegee was attached.
本発明のスクリーン印刷方法は、マスクプレートに基板を接触させる基板接触工程と、前記基板と接触した前記マスクプレート上でスキージを摺動させ、前記スキージのペースト掻寄せ面で前記マスクプレート上のペーストを掻き寄せることにより、前記マスクプレートに設けられた開口領域にペーストを充填するペースト充填工程とを含むスクリーン印刷方法であって、前記ペースト掻寄せ面の一部と対向する位置に、前記スキージのアタック角とは異なるアタック角を有する付加スキージを取り付けた状態で前記ペースト充填工程を実行する。 The screen printing method of the present invention includes a substrate contacting step of bringing a substrate into contact with a mask plate, sliding a squeegee on the mask plate in contact with the substrate, and a paste on the mask plate on a paste scraping surface of the squeegee A paste filling step of filling the opening area provided in the mask plate with a paste filling step, wherein the squeegee is placed at a position facing a part of the paste scraping surface. The paste filling step is executed in a state where an additional squeegee having an attack angle different from the attack angle is attached.
本発明によれば、ペーストの充填圧が異なる複数の開口領域それぞれに対して適切な充填圧でペーストを充填することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a paste can be filled with a suitable filling pressure with respect to each of several opening area | regions from which the filling pressure of a paste differs.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置1を示している。このスクリーン印刷装置1は、上流工程側(作業者OPから見た左側)から基板2を搬入し、基板2上の各電極2d(図2)にペーストPstを印刷して下流工程側(作業者OPから見た右側)の図示しない部品実装装置に搬出する。本実施の形態では、作業者OPから見た左右方向をX軸方向とし、作業者OPから見た前後方向をY軸方向とし、上下方向をZ軸方向とする。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a
図1において、スクリーン印刷装置1は、基台10の左側から順に搬入コンベア11、中間コンベア12及び搬出コンベア13を有し、これら搬入コンベア11、中間コンベア12及び搬出コンベア13は基板2の搬送路を形成している。搬入コンベア11は基板2を外部から搬入して中間コンベア12に受け渡し、搬出コンベア13は中間コンベア12から受け取った基板2を外部に搬出する。中間コンベア12は搬入コンベア11によって搬入された基板2を保持して移動させる基板保持移動部14の一部を構成している。
In FIG. 1, the
図1において、基板保持移動部14の上方にはマスクプレート15が水平姿勢に設置されている。マスクプレート15は金属性の板状部材から成り、矩形の枠部材15wによって四辺が支持されている(図2も参照)。図2において、マスクプレート15には多数の開口16が設けられている(図3も参照)。開口16の配置は基板2の電極2dの配置に対応している。
In FIG. 1, a
図2において、基板2上には電極2dが通常の密集度で配置された非ファインピッチ領域R1のほか、非ファインピッチ領域R1よりも相対的に高い密集度で電極2dが配置されたファインピッチ領域R2が混在し、これら非ファインピッチ領域R1及びファインピッチ領域R2がX軸方向に並んでいる。このためマスクプレート15にも、基板2の非ファインピッチ領域R1に対応して配置された開口16の領域(第1の開口領域S1)と、基板2のファインピッチ領域R2に対応して配置された開口16の領域(第2の開口領域S2)とが混在し、これら第1の開口領域S1と第2の開口領域S2がX軸方向に並んでいる。このように本実施の形態において、マスクプレート15は、第1の開口領域S1と第2の開口領域S2がX軸方向に並んで設けられたものとなっている。
In FIG. 2, in addition to the non-fine pitch region R1 in which the
図1及び図2において、マスクプレート15の上方には往復移動体17がX軸方向に延びて設けられている。往復移動体17はボールねじ機構から成る往復移動体移動機構18の作動によってY軸方向に往復移動する。往復移動体17の下方には2つのスクリーン印刷用のスキージ20がY軸方向に対向して設けられている。
1 and 2, a reciprocating
図2及び図3において、往復移動体17の上面には2つの昇降シリンダ21がY軸方向に並んで設けられている。各昇降シリンダ21はそのピストンロッド21aを往復移動体17の下方に突出させている。各昇降シリンダ21のピストンロッド21aにはスキージ20が連結されている(図3も参照)。このため昇降シリンダ21がピストンロッド21aを下方に突没させると、そのピストンロッド21aに連結されたスキージ20は往復移動体17に対して昇降する。2つの昇降シリンダ21を個別に作動させることで2つのスキージ20を互いに独立して昇降させることができる。
2 and 3, two
図2及び図3において、各スキージ20は、X軸方向に延びた形状を有しており、ブレード保持部31と、ブレード保持部31によって保持された「へら」状のブレード32を備えている。ブレード保持部31は昇降シリンダ21のピストンロッド21aに連結された主部41と、主部41に接触して設けられたバックアップ部42と、主部41に螺入された螺子43によって主部41に取り付けられた押さえ部44を有して成る。ブレード32はその上半部がバックアップ部42と押さえ部44によって挟持されている。主部41の上面にはX軸方向に延びた第1係止溝41mが形成されており、押さえ部44には同じくX軸方向に延びた第2係止溝44mが形成されている。
2 and 3, each
図3において、ブレード32の上半部がブレード保持部31によって挟持された状態で、ブレード32の下半部はブレード保持部31の下方に斜めに突出する。ブレード32がブレード保持部31の下方に突出する方向は、前方側のスキージ20(図3の紙面右側のスキージ20)のブレード32であれば前下方であり、後方側のスキージ20(図3の紙面左側のスキージ20)のブレード32であれば後下方である。前方側のスキージ20のブレード32の後方側の面と、後方側のスキージ20のブレード32の前方側の面はそれぞれ、そのスキージ20によってマスクプレート15上のペーストPstを掻き寄せるときのペースト掻寄せ面32aとなる。
In FIG. 3, the lower half portion of the
各スキージ20は、昇降シリンダ21によって、ブレード32の下端がマスクプレート15の上面から離間した待機位置(図3中に示す紙面右側のスキージ20参照)と、ブレード32の下端がマスクプレート15の上面に当接する当接位置(図3中に示す紙面左側のスキージ20参照)との間で昇降される。スキージ20は通常は待機位置に位置され、マスクプレート15上のペーストPstを掻き寄せるときに、そのペーストPstの掻き寄せに使用する側のスキージ20のみが当接位置に位置される。そして、当接位置に位置させたスキージ20が前方側のスキージ20である場合には往復移動体17を後方に移動させ、当接位置に位置させたスキージ20が後方側のスキージ20である場合には(図3)、往復移動体17を前方に移動させる(図3中に示す矢印A)。これによりマスクプレート15上のペーストPstは当接位置に位置したスキージ20が備えるブレード32のペースト掻寄せ面32aによって掻き寄せられる。そして、ブレード32の下端がマスクプレート15の開口16を通過するときに、その開口16にペーストPstが充填される。図3において、ペーストPstが充填された開口16を符号16Aで示し、まだペーストPstで充填されていない開口16を符号16Bで示す。
Each
ブレード32の下端がマスクプレート15に当接した状態で、ブレード32のペースト掻寄せ面32aとマスクプレート15の上面とがなすアタック角(第1のアタック角θ1と称する。図3)は開口16へのペーストPstの充填圧に関係するパラメータであり、第1のアタック角θ1の値が小さいほど開口16へのペーストPstの充填圧は大きくなる。本実施の形態では、第1のアタック角θ1は、基板2の非ファインピッチ領域R1に対応するマスクプレート15の開口領域である第1の開口領域S1内の開口16に最適の充填圧を発揮し得る値に設定されている。
In the state where the lower end of the
図4(a),(b)において、スキージ20のペーストPstの掻き寄せ時における進行方向(これをスキージ20から見た前方と称する)の前面側となる位置には、アタッチメントスキージ50(付加スキージ)が取り付けられている。このアタッチメントスキージ50は、スキージ20のペースト掻寄せ面32aの一部と対向する位置において、スキージ20のアタック角(第1のアタック角θ1)とは異なるアタック角(第2のアタック角θ2)でペーストPstを充填するものである。アタッチメントスキージ50は、基板2のファインピッチ領域R2に対応する開口領域である第2の開口領域S2内の開口16へのペーストPstの充填を担当する。
4 (a) and 4 (b), an attachment squeegee 50 (additional squeegee 50) is positioned at the front side of the traveling direction (referred to as the front viewed from the squeegee 20) when the paste Pst of the
図4(a),(b)及び図5(a),(b)において、アタッチメントスキージ50は、スキージ20に取り付けられるベース部材51と、ベース部材51に保持された付加ブレード部材52と、2つの付勢部材(第1付勢ばね53と第2付勢ばね54)及び固定螺子55から成る。
4A, 4B, 5A, and 5B, an
図4(a),(b)及び図5(a),(b)において、ベース部材51は、ブレード保持部31の押さえ部44の前面側を上下方向に延びた垂直部61、垂直部61の上端からブレード保持部31の主部41の上面を後方に延びた水平部62、垂直部61の下端から後斜め下方に延びた第1斜め延設部63、第1斜め延設部63の下端から後斜め上方に延びた第2斜め延設部64、垂直部61の両側部から後方に延びた一対の側壁部65を備える。水平部62の後端には下方に突出した第1係止部62aが設けられており、垂直部61の上下方向中間部には後斜め上方に延びた第2係止部61aが設けられている。垂直部61の上下方向中間部の第2係止部61aの上方の位置には螺子孔61bが設けられており、この螺子孔61bには前述の固定螺子55が螺入している。
4A, 4B, 5A, and 5B, the
図5(a),(b)において、付加ブレード部材52は、ベース部材51の第1斜め延設部63と第2斜め延設部64及び一対の側壁部65によって覆われる基部71と、基部71から下方に延出した延出部72を有している。第1付勢ばね53はベース部材51の第1斜め延設部63に設けられた第1付勢ばね支持孔63hと付加ブレード部材52の基部71に前方に開口して設けられた第1付勢ばね収納穴71aと間で縮設されており、付加ブレード部材52をブレード32のペースト掻寄せ面32aに密着させる。
5 (a) and 5 (b), the
第2付勢ばね54はベース部材51の第2係止部61aに設けられた第2付勢ばね支持孔61hと付加ブレード部材52の基部71の上方に開口して設けられた第2付勢ばね収納穴71bとの間で縮設されており、付加ブレード部材52の基部71の下面をベース部材51の第2斜め延設部64に押し付けるように下方に付勢する。付加ブレード部材52の基部71の下面がベース部材51の第2斜め延設部64に上方から当接した状態では、付加ブレード部材52の下端はブレード32の下端とほぼ同じ高さに位置する。このように本実施の形態において、第2付勢ばね54は、ベース部材51と付加ブレード部材52との間に設けられて付加ブレード部材52をベース部材51の下方に付勢する下方付勢部材となっている。
The
アタッチメントスキージ50は、ベース部材51の第1係止部62aが第1係止溝41m内に位置し、第2係止部61aが第2係止溝44m内に位置することによって、ブレード保持部31に対する姿勢が保持される。一方、アタッチメントスキージ50はブレード保持部31に対してX軸方向にスライド自在であり、スキージ20に対して着脱自在であるとともに、スキージ20に対する位置を変更することができる。アタッチメントスキージ50をスキージ20に対して位置決めした状態で固定螺子55を螺子孔61bに捻じ込み、固定螺子55の先端部を押さえ部44の前面に押し当てることにより、アタッチメントスキージ50をブレード保持部31に対して固定することができる。
The
アタッチメントスキージ50が取り付けられた状態のスキージ20を前述の待機位置から下降させると、先ず付加ブレード部材52の延出部72の下端がマスクプレート15に当接する。そして、スキージ20は第2付勢ばね54を押し縮めながら下降を続け、ブレード32の下端がマスクプレート15に当接したところでスキージ20は当接位置に位置する(図6)。この状態では、付加ブレード部材52の延出部72の前面(延出部前面72aと称する)は、ブレード32の前面側において、ブレード32に代わってペーストPstを掻き寄せる面となる。また、この延出部前面72aのうち、マスクプレート15の上面に当接する延出部72の下端を含んでマスクプレート15の上面と対向する面は、マスクプレート15の開口16へペーストPstを押し込む面であり、この面を付加ブレード側ペースト充填面72bと称する。
When the
付加ブレード部材52の下端がマスクプレート15に当接した状態で、付加ブレード側ペースト充填面72bとマスクプレート15の上面とがなすアタック角(第2のアタック角θ2)は、開口16へのペーストPstの充填圧に関係するパラメータであり、第2のアタック角θ2の値が小さいほど開口16へのペーストPstの充填圧は大きくなる。
The attack angle (second attack angle θ2) formed by the additional blade side
前述のように、アタッチメントスキージ50は、ファインピッチ領域R2に対応する開口領域である第2の開口領域S2を構成する開口16へのペーストPstの充填を担当するものであるから、スキージ20のペースト掻寄せ面32aのうち、スキージ20よりも高い充填圧でペーストPstが充填される開口(第2の開口領域S2内の開口)の上方を通過する部分に取り付けられる。そしてアタッチメントスキージ50の有する第2のアタック角θ2は、第2の開口領域S2内の開口16に最適の充填圧を発揮し得るように、スキージ20の有する第1のアタック角θ1よりも小さい値に設定されている。
As described above, since the
このように本実施の形態におけるアタッチメントスキージ50は、スキージ20に取り付けられるベース部材51と、ベース部材51に保持された付加ブレード部材52とを有し、スキージ20がマスクプレート15に対して摺動したときに、付加ブレード部材52がスキージ20のアタック角(第1のアタック角θ1)とは異なるアタック角(第2のアタック角θ2)でペーストPstを充填するものとなっている。
As described above, the
次に、上記スクリーン印刷装置1により基板2にペーストPstを印刷するスクリーン印刷方法の手順について説明する。これには先ず、スクリーン印刷装置1が備える2つのスキージ20それぞれにアタッチメントスキージ50を取り付ける。具体的には、アタッチメントスキージ50を、スキージ20が備えるペースト掻寄せ面32aのうち、スキージ20よりも高い充填圧でペーストPstが充填される開口16(ファインピッチ領域R2に対応する開口領域である第2の開口領域S2内の開口16)の上方を通過する部分に取り付ける。
Next, the procedure of the screen printing method for printing the paste Pst on the
本実施の形態では、マスクプレート15はX軸方向(スキージ20の延びる方向)に第2の開口領域S2が2箇所あるので、これら2箇所の第2の開口領域S2に対応して両スキージ20にアタッチメントスキージ50を取り付ける(図7)。このときアタッチメントスキージ50は、マスクプレート15が備える第2の開口領域S2のそれぞれのX軸方向の幅寸法D(図7)をカバーできるように取り付ける。2つ以上のアタッチメントスキージ50をスキージ20の長手方向(X軸方向)に隣接させて1つの第2の開口領域S2の幅寸法Dをカバーするようにしてもよい。図7では一方のスキージ20に取り付けるアタッチメントスキージ50についてのみ示しているが、もう一方のスキージ20にも同様の要領でアタッチメントスキージ50を取り付ける。
In the present embodiment, since the
スクリーン印刷装置1が備える2つのスキージ20のそれぞれにアタッチメントスキージ50を取り付けたら、スクリーン印刷装置1を作動させる。スクリーン印刷装置1は、搬入コンベア11によって基板2を搬入し、中間コンベア12に受け渡した後、基板保持移動部14が基板2を保持する。そして、基板2を水平面内方向及び上下方向に移動させ、基板2の電極2dがマスクプレート15の開口16と合致するように基板2をマスクプレート15の下面に接触させる(基板接触工程)。
When the
スクリーン印刷装置1は、基板2をマスクプレート15に接触させたら、昇降シリンダ21により一方のスキージ20を下降させて、その下端をマスクプレート15の上面に当接させる。これにより、下降させたスキージ20に取り付けられたアタッチメントスキージ50の付加ブレード部材52の下端もマスクプレート15の上面に当接する。
When the
スクリーン印刷装置1は、往復移動体移動機構18を作動させて往復移動体17をY軸方向に移動させる。これによりスキージ20及びスキージ20に取り付けられたアタッチメントスキージ50は基板2と接触したマスクプレート15上を摺動し、予めマスクプレート15上に供給されていたペーストPstをマスクプレート15上で掻き寄せる。これによりマスクプレート15の第1の開口領域S1内の開口16にはスキージ20のブレード32によって第1のアタック角θ1でペーストPstが充填され、マスクプレート15の第2の開口領域S2内の開口16にはアタッチメントスキージ50の付加ブレード部材52によって第2のアタック角θ2でペーストPstが充填される(ペースト充填工程。図3及び図6)。
The
本実施の形態では、上記ペースト充填工程において、アタッチメントスキージ50の付加ブレード部材52は、第2付勢ばね54によって下方に付勢されており、付加ブレード部材52はマスクプレート15の上面に密着した状態を維持するので、アタッチメントスキージ50は所期の充填圧を発揮する。
In the present embodiment, in the paste filling step, the
上記のようにしてマスクプレート15の第1の開口領域S1内の開口16と第2の開口領域S2内の開口16にペーストPstが充填されたら、スクリーン印刷装置1は、基板保持移動部14を作動させて、基板2をマスクプレート15から離間(版離れ)させる。そして、中間コンベア12から搬出コンベア13に基板2を受け渡し、搬出コンベア13から基板2を下流工程側の装置に搬出する。
When the paste Pst is filled in the
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷装置1及びスクリーン印刷方法では、スキージ20のペースト掻寄せ面32aの一部と対向する位置に、スキージ20のアタック角(第1のアタック角θ1)とは異なるアタック角(第2のアタック角θ2)を有するアタッチメントスキージ50を取り付けた状態でペースト充填工程を実行する。このため、スキージ20の長手方向に並んだ、ペーストPstの充填圧が異なる複数の開口領域(第1の開口領域S1及び第2の開口領域S2)それぞれに対して適切な充填圧でペーストPstを充填することができる。
As described above, in the
例えば、上述の実施形態に示したように、マスクプレート15に設けられた開口16がスキージ20の摺動方向(Y軸方向)と直交するスキージ20の長手方向(X軸方向)に並んで非ファインピッチ領域R1に対応する第1の開口領域S1とファインピッチ領域R2に対応する開口領域に対応する第2の開口領域S2がある場合には、第1の開口領域S1に対しては第1のアタック角θ1を有するスキージ20によって適切な充填圧でペーストPstを充填し、第2の開口領域S2に対しては第2のアタック角θ2を有するアタッチメントスキージ50によって適切な充填圧でペーストPstを充填することができる。
For example, as shown in the above-described embodiment, the
また、上述の実施の形態におけるスクリーン印刷装置1では、アタッチメントスキージ50はスキージ20に着脱自在に取り付けられるので、アタッチメントスキージ50が必要な時にのみスキージ20に取り付ければよく、既存のスキージ20を利用することができる。また、アタッチメントスキージ50は第2のアタック角θ2の値が異なる他のアタッチメントスキージ50と交換可能であるので、第2の開口領域S2に対応するファインピッチ領域R2の電極2dの密集度に応じた第2のアタック角θ2を有するアタッチメントスキージ50を用意しておけば、基板2の電極2dの密集度によらず、適切なペーストPstの印刷を行うことができる。更に、アタッチメントスキージ50はスキージ20の長手方向にスライドさせてスキージ20に対する位置を変更できるので、アタッチメントスキージ50のスキージ20に対する位置決めが容易であり、作業性に優れている。
Further, in the
ペーストの充填圧が異なる複数の開口領域それぞれに対して適切な充填圧でペーストを充填することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供する。 Provided are a screen printing apparatus and a screen printing method capable of filling a paste with an appropriate filling pressure in each of a plurality of opening regions having different paste filling pressures.
1 スクリーン印刷装置
2 基板
15 マスクプレート
20 スキージ
32a ペースト掻寄せ面
50 アタッチメントスキージ(付加スキージ)
S1 第1の開口領域(開口領域)
S2 第2の開口領域(開口領域)
Pst ペースト
DESCRIPTION OF
S1 First opening region (opening region)
S2 Second opening region (opening region)
Pst paste
Claims (7)
前記ペースト掻寄せ面の一部と対向する位置に、前記スキージのアタック角とは異なるアタック角を有する付加スキージが取り付けられたことを特徴とするスクリーン印刷装置。 By sliding on the mask plate in contact with the substrate and on the mask plate in contact with the substrate, and scraping the paste on the mask plate on the paste scraping surface, an opening region provided in the mask plate is formed. A screen printing apparatus comprising a squeegee for filling a paste,
A screen printing apparatus, wherein an additional squeegee having an attack angle different from the attack angle of the squeegee is attached at a position facing a part of the paste scraping surface.
前記ペースト掻寄せ面の一部と対向する位置に、前記スキージのアタック角とは異なるアタック角を有する付加スキージを取り付けた状態で前記ペースト充填工程を実行することを特徴とするスクリーン印刷方法。 A substrate contacting step for contacting the substrate with the mask plate; and sliding the squeegee on the mask plate in contact with the substrate, and scraping the paste on the mask plate on the paste scraping surface of the squeegee. A screen printing method including a paste filling step of filling a paste in an opening area provided in a plate,
A screen printing method, wherein the paste filling step is performed in a state where an additional squeegee having an attack angle different from the attack angle of the squeegee is attached at a position facing a part of the paste scraping surface.
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