JP2016062974A - Semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体装置に関する。 The present invention relates to a semiconductor device.
半導体パッケージ(半導体装置)の一種に、QFP(Quad Flat Package)がある。Q
FPは、リードフレーム及び半導体チップ(半導体素子)を樹脂で封止した薄板状の半導体パッケージである。半導体パッケージの四辺のそれぞれから、リードフレームのリード(接続端子)が導出している。半導体パッケージから導出したリードはアウターリードと呼ばれ、半導体パッケージの内部のリードはインナーリードと呼ばれる。
One type of semiconductor package (semiconductor device) is QFP (Quad Flat Package). Q
The FP is a thin plate semiconductor package in which a lead frame and a semiconductor chip (semiconductor element) are sealed with a resin. Leads (connecting terminals) of the lead frame are led out from each of the four sides of the semiconductor package. Leads derived from the semiconductor package are called outer leads, and leads inside the semiconductor package are called inner leads.
リードフレームの大きさに応じて、樹脂で覆われた部分のサイズが画定する。同タイプの半導体パッケージの場合、樹脂厚が一定のため、樹脂で覆われた部分のサイズは、樹脂の縦寸法と樹脂の横寸法との積によって決定される。以下では、樹脂の縦寸法と樹脂の横寸法との積を、ボディサイズと表記する。尚、ボディサイズには、通常、樹脂厚も含まれるが、基本的に厚さは一定のため、ここでは省略している。ボディサイズが大きくなると、半導体チップを覆う樹脂の量が多くなり、半導体パッケージ内の応力が大きくなる。半導体パッケージ内の応力が大きくなると、半導体パッケージを実装する際のリフロー処理において、半導体チップと樹脂とが剥離する場合がある。そのため、樹脂の量が多いと、半導体パッケージの実装ランク(例えば、半導体パッケージを開梱してから実装までの許容日数、リフロー条件及びリフロー回数)が厳しくなる傾向がある。また、半導体チップを覆う樹脂の量が多くなると、半導体パッケージの重量が増加する。 The size of the portion covered with the resin is defined according to the size of the lead frame. In the case of the same type of semiconductor package, since the resin thickness is constant, the size of the portion covered with the resin is determined by the product of the vertical dimension of the resin and the horizontal dimension of the resin. Hereinafter, the product of the vertical dimension of the resin and the horizontal dimension of the resin is referred to as a body size. The body size usually includes the resin thickness, but is omitted here because the thickness is basically constant. As the body size increases, the amount of resin covering the semiconductor chip increases and the stress in the semiconductor package increases. When the stress in the semiconductor package is increased, the semiconductor chip and the resin may be peeled off in the reflow process when the semiconductor package is mounted. Therefore, if the amount of resin is large, the mounting rank of the semiconductor package (for example, the allowable days from unpacking the semiconductor package to the mounting, the reflow conditions, and the number of reflows) tends to be severe. Further, as the amount of resin covering the semiconductor chip increases, the weight of the semiconductor package increases.
本件は、半導体チップを覆う樹脂の量を減少する技術を提供する。 The present case provides a technique for reducing the amount of resin covering a semiconductor chip.
本件の一観点による半導体装置は、半導体チップと、前記半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップに電気的に接続された複数の第1リードと、前記半導体チップから前記複数の第1リードよりも離れた位置に配置され、前記複数の第1リードに繋がる複数の第2リードと、前記半導体チップを覆い、かつ、前記各第1リードを部分的に覆う第1樹脂と、を備え、前記複数の第1リードが、平面視で、前記半導体チップに対して放射状に延伸し、前記第1樹脂の側面から突き出ており、前記複数の第2リードの一部同士が、平面視で、互いに並行に延伸する。 A semiconductor device according to an aspect of the present invention includes a semiconductor chip, a plurality of first leads disposed around the semiconductor chip and electrically connected to the semiconductor chip, and a plurality of first leads from the semiconductor chip. A plurality of second leads connected to the plurality of first leads, and a first resin that covers the semiconductor chip and partially covers each of the first leads, The plurality of first leads extend radially with respect to the semiconductor chip in a plan view and protrude from the side surface of the first resin, and a part of the plurality of second leads is mutually in a plan view. Stretch in parallel.
本件によれば、半導体チップを覆う樹脂の量を減少することができる。 According to this case, the amount of resin covering the semiconductor chip can be reduced.
図1A〜図1Cは、半導体パッケージ101の一例を示す図である。図1A及び図1Bは、半導体パッケージ101の平面図であり、図1Cは、半導体パッケージ101の断面図である。半導体パッケージ101は、半導体チップ102、リードフレーム103、複数のワイヤ(金属細線)104及び樹脂105を備える。リードフレーム103は、ステージ111、複数のサポートバー112、複数の第1リード113及び複数の第2リード114を有する。半導体チップ102の電極面を上向き(フェイスアップ)にして、半導体チップ102がステージ111上に搭載されている。半導体チップ102と複数の第1リード113とは、複数のワイヤ104を介して電気的に接続されている。例えば、半導体チップ102の複数の電極パッド(図示せず)と複数の第1リード113とが、複数のワイヤ104を介して電気的に接続されている。
1A to 1C are diagrams illustrating an example of a
樹脂105が、半導体チップ102、各ワイヤ104、ステージ111及び各サポートバー112を覆っている。また、樹脂105が、各第1リード113を部分的に覆っている。半導体チップ102及びステージ111は、樹脂105及び各サポートバー112によって、半導体パッケージ101の中心部に保持されている。図1Aでは、各ワイヤ104及び樹脂105の図示を省略し、樹脂105の側面の位置を太線で示している。図1Cでは、各サポートバー112と各第1リード113とが重なっているため、各サポートバー112の図示を省略している。複数の第1リード113及び複数の第2リード114は
、半導体チップ102の周囲に配置されている。複数の第2リード114は、半導体チップ102に対して、平面視で複数の第1リード113の位置よりも離れた位置に配置されている。各第1リード113と各第2リード114とが繋がっている。すなわち、各第1リード113と各第2リード114とが一体的に形成されている。
Resin 105 covers
図1A〜図1Cに示すように、半導体パッケージ101では、樹脂105の側面部分が、各第1リード113と各第2リード114との境界部分に位置している。そのため、半導体チップ102を覆う樹脂105の量が多くなっている。
As shown in FIGS. 1A to 1C, in the
以下、図面を参照して実施形態に係る半導体装置について説明する。以下に示す半導体装置の構成は例示であり、実施形態に係る半導体装置の構成は、以下に示す構成に限定されない。 The semiconductor device according to the embodiment will be described below with reference to the drawings. The configuration of the semiconductor device shown below is an example, and the configuration of the semiconductor device according to the embodiment is not limited to the configuration shown below.
〈第1実施形態〉
図2A〜図2Cは、第1実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図2A及び図2Bは、半導体パッケージ1の平面図であり、図2Cは、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ(半導体素子)2、リードフレーム3、複数のワイヤ(金属細線)4及び樹脂11を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2の電極面を上向き(フェイスアップ)にして、半導体チップ2がステージ5上に搭載されている。半導体チップ2と複数の第1リード7とは、複数のワイヤ4を介して電気的に接続されている。例えば、半導体チップ2の複数の電極パッド(図示せず)と複数の第1リード7とが、複数のワイヤ4を介して電気的に接続されている。半導体パッケージ1は、半導体装置の一例である。樹脂11は、第1樹脂の一例である。
<First Embodiment>
2A to 2C are diagrams illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the first embodiment. 2A and 2B are plan views of the semiconductor package 1, and FIG. 2C is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a semiconductor chip (semiconductor element) 2, a lead frame 3, a plurality of wires (metal thin wires) 4, and a
樹脂11が、半導体チップ2、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を覆っている。また、樹脂11が、各第1リード7を部分的に覆っている。樹脂11が、半導体チップ2及び各ワイヤ4を覆うとともに、樹脂11が、各第1リード7を部分的に覆うことにより、半導体チップ2及び各ワイヤ4が樹脂11によって保護され、各ワイヤ4と各第1リード7との接続部分が樹脂11によって保護される。半導体チップ2及びステージ5は、各サポートバー6及び樹脂11によって、半導体パッケージ1の中心に保持されている。図2Aでは、各ワイヤ4及び樹脂11の図示を省略し、樹脂11の側面の位置を太線で示している。図2Cでは、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。
複数の第1リード7及び複数の第2リード8は、半導体チップ2の周囲に配置されている。複数の第2リード8は、半導体チップ2に対して、平面視で複数の第1リード7の位置よりも離れた位置に配置されている。各第1リード7と各第2リード8とが繋がっている。すなわち、各第1リード7と各第2リード8とが一体的に形成されている。
The plurality of
複数の第1リード7は、半導体チップ2に対して、平面視で放射状に延伸している。各第1リード7の第1端部が半導体チップ2に向けられており、半導体チップ2と各第1リード7の第1端部とが、各ワイヤ4によって接続されている。各第1リード7の第2端部と各第2リード8の第1端部とが繋がっている。各第2リード8の第2端部は、所謂ガルウィング状に屈曲しており、各第2リード8の第2端部の先端は、半導体パッケージ1が実装される基板(例えば、プリント基板)の電極に接続される。
The plurality of
複数の第2リード8の一部同士が、平面視で互いに並行に延伸している。図2A及び図2Bに示すように、例えば、複数の第2リード8の一部同士(第2リード8A〜8I)が、平面視で互いに並行に延伸している。各第1リード7の幅は、各第1リード7の第1端
部から各第1リード7の第2端部に向かって広くなっている。すなわち、各第1リード7の幅は、半導体チップ2から離れる方向に向かって広くなっている。各第1リード7は、平面視で屈曲していてもよい。また、各第1リード7は、平面視で湾曲していてもよい。各第2リード8の幅は、各第2リード8の第1端部から各第2リード8の第2端部まで同じである。各第2リード8の幅及びピッチは、基本的に各第1リード7の第1端部の幅及びピッチよりも大きい。
Some of the plurality of
図2A及び図2Bに示すように、樹脂11の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に位置している。したがって、複数の第1リード7が、樹脂11の側面から突き出ている。すなわち、各第1リード7の一部が樹脂11内に存在し、樹脂11の側面から各第1リード7の一部が突き出ている。図2A〜図2Cにおいて、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、半導体パッケージ1は、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少し、ボディサイズが縮小されている。半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少するため、半導体パッケージ1内の応力が減少する。したがって、半導体パッケージ1を実装する際のリフロー処理において、半導体チップ2と樹脂11との剥離が抑止される。その結果、半導体パッケージ1の実装ランク(例えば、半導体パッケージ1を開梱してから実装までの許容日数、リフロー条件及びリフロー回数)が向上する。また、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少するため、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、半導体パッケージ1の重量が減少する。
As shown in FIGS. 2A and 2B, the side surface of the
樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、樹脂11の厚み方向において樹脂11を貫通している。樹脂11の各貫通孔は、例えば、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂11の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂11が複数の貫通孔を有することにより、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が更に減少するため、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、半導体パッケージ1の重量が更に減少する。また、樹脂11が複数の貫通孔を有する場合、半導体パッケージ1の側面から見て、樹脂11が存在する部分と、樹脂11が存在しない部分とが互い違いになっていてもよい。更に、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂11の上部分の膜厚は、例えば、第1リード7の上に形成された樹脂11の膜厚である。樹脂11の下部分の膜厚は、例えば、第1リード7の下に形成された樹脂11の膜厚である。
The
〈第2実施形態〉
図3A〜図3Cは、第2実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図3A及び図3Bは、半導体パッケージ1の平面図であり、図3Cは、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ2、リードフレーム3、複数のワイヤ4及び樹脂11、12を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5、各サポートバー6、各第1リード7及び各第2リード8は、第1実施形態と同様である。図3Aでは、各ワイヤ4、樹脂11、12の図示を省略し、樹脂11、12のそれぞれの側面の位置を太線で示している。図3Cでは、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図3A〜図3Cにおいて、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
Second Embodiment
3A to 3C are diagrams illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the second embodiment. 3A and 3B are plan views of the semiconductor package 1, and FIG. 3C is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a
各第1リード7の幅は、半導体チップ2に近づくほど狭くなる。樹脂11の側面の位置が半導体チップ2に近くなり過ぎると、各第1リード7が樹脂11の重量を支えきれずに
、各第1リード7が撓む。各第1リード7が撓む場合、樹脂11が沈み込んでしまう。そのため、半導体パッケージ1を基板に実装する場合、樹脂11が基板に接触したり、各第2リード8が基板から浮いたりして、接触不良を起こす可能性がある。そこで、第2実施形態では、樹脂11の周囲に樹脂12を配置して、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士を樹脂12によって固定する。すなわち、樹脂11の外形より外側の第1リード7同士を樹脂12によって固定する。これにより、各第1リード7の撓みが抑止され、樹脂11の沈み込みを抑止することができる。樹脂12は、第2樹脂の一例である。
The width of each
樹脂12は、平面視で、樹脂11の周囲に配置され、かつ、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に配置されている。また、樹脂12は、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分と重なるように配置されていてもよい。すなわち、樹脂12は、各第1リード7と各第2リード8との境界部分を覆っていてもよい。樹脂11と樹脂12とは離間した状態で配置され、樹脂11と樹脂12とは繋がっていない。
The
樹脂12が、平面視で、樹脂11の周囲を囲むようにして、各第1リード7を覆っている。したがって、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12によって連結されることにより、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12によって固定される。図3A〜図3Cでは、各サポートバー6が、樹脂12が配置されている部分まで伸びている例を示している。第2実施形態は、図3A〜図3Cに示す例に限定されない。各サポートバー6が、樹脂12が配置されている部分まで伸びていなくてもよい。また、複数の樹脂12が、平面視で、樹脂11の周囲に配置されてもよい。例えば、樹脂11の周囲を囲むようにして、複数の樹脂12が離間した状態で配置され、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が複数の樹脂12によって連結されてもよい。この場合、複数の樹脂12は、離間しており、複数の樹脂12同士は繋がっていない。
The
樹脂11と樹脂12とが格子状に繋がっていてもよい。例えば、半導体チップ2に近づく方向に向かって、樹脂12が複数の突起部を有し、樹脂12の各突起部によって樹脂11と樹脂12とが繋がってもよい。例えば、半導体チップ2と離れる方向に向かって、樹脂11が複数の突起部を有し、樹脂11の各突起部によって樹脂11と樹脂12とが繋がってもよい。この場合、平面視で、樹脂11と樹脂12との間に、複数の孔が開口されることになる。各孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。
The
樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂12は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂12の各貫通孔は、樹脂12の厚み方向において樹脂12を貫通している。樹脂12の各貫通孔は、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂12の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂12が複数の貫通孔を有することにより、樹脂12の量が減少する。また、樹脂12が複数の貫通孔を有する場合、半導体パッケージ1の側面から見て、樹脂12が存在する部分と、樹脂12が存在しない部分とが互い違いになっていてもよい。更に、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂12の上部分の膜厚と樹脂12の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂12の上部分の膜厚は、例えば、第1リード7の上に形成された樹脂12の膜厚である。樹脂12の下部分の膜厚は、例えば、第1リード7の下に形成された樹脂12の膜厚である。
The
図4A〜図4Cに示すように、樹脂12の外側に樹脂13を配置してもよい。図4A、図4B及び図4Cは、第2実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図
4A〜図4Cは、樹脂11の周囲に2段の樹脂12、13を配置した例を示す図である。図4A及び図4Bは、半導体パッケージ1の平面図であり、図4Cは、半導体パッケージ1の断面図である。図4Aでは、各ワイヤ4、樹脂11〜13の図示を省略し、樹脂11〜13のそれぞれの側面の位置を太線で示している。図4Cでは、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図4Cにおいて、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
As shown in FIGS. 4A to 4C, the
樹脂12、13が、樹脂11の周囲を囲むようにして、各第1リード7を覆っている。したがって、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12、13によって連結されることにより、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12、13によって固定される。樹脂13は、樹脂12の周囲を囲むようにして、各第1リード7を覆っている。したがって、樹脂12は、樹脂11と樹脂13との間に配置されている。樹脂12と樹脂13との間隔は、樹脂11と樹脂12との間隔と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
樹脂13は、平面視で、樹脂12の周囲に配置され、かつ、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に配置されている。また、樹脂13は、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分と重なるように配置されていてもよい。すなわち、樹脂13は、各第1リード7と各第2リード8との境界部分を覆っていてもよい。
The
樹脂12、13のそれぞれが、平面視で、樹脂11の周囲を囲むようにして、各第1リード7を覆っている。したがって、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12、13によって連結されることにより、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12、13によって固定される。樹脂11と樹脂12とが離間した状態で配置され、樹脂11と樹脂12とが繋がっていなくてもよい。また、第1実施形態と同様に、樹脂11と樹脂12とが格子状に繋がっていてもよい。樹脂12と樹脂13とが離間した状態で配置され、樹脂12と樹脂13とが繋がっていなくてもよい。また、樹脂12と樹脂13とが格子状に繋がっていてもよい。図4A〜図4Cには、各サポートバー6が、樹脂12、13が配置されている部分まで伸びている例が示されている。第2実施形態は、図4A〜図4Cに示す例に限定されない。各サポートバー6は、樹脂12、13が配置されている部分まで伸びていなくてもよい。また、樹脂11の周囲に3段以上の樹脂を配置するようにしてもよい。
Each of the
樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂12は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂13は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂13の各貫通孔は、樹脂13の厚み方向において樹脂13を貫通している。樹脂13の各貫通孔は、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂13の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂13が複数の貫通孔を有することにより、樹脂13の量が減少する。また、樹脂13が複数の貫通孔を有する場合、半導体パッケージ1の側面から見て、樹脂13が存在する部分と、樹脂13が存在しない部分とが互い違いになっていてもよい。更に、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂12の上部分の膜厚と樹脂12の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂13の上部分の膜厚と樹脂13の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂13の上部分の膜厚は、例えば、第1リード7の上に形成された樹脂13の膜厚である。樹脂13の下部分の膜厚は、例えば、第1リード7の下に形成された樹脂13の膜厚である。
The
図3A〜図3Cでは、樹脂11の厚さと、樹脂12の厚さとが同程度である例を示している。第2実施形態は、図3A〜図3Cに示す例に限定されない。樹脂11の厚さと、樹脂12の厚さとが異なってもよい。例えば、図5に示すように、樹脂12の厚さが、樹脂11の厚さよりも薄くてもよい。図5は、第2実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図5は、半導体パッケージ1の断面図である。図5では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図5において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
3A to 3C show an example in which the thickness of the
図4A〜図4Cでは、樹脂11の厚さと、樹脂12、13のそれぞれの厚さとが同程度である例を示している。第2実施形態は、図4A〜図4Cに示す例に限定されない。樹脂11の厚さと、樹脂12、13のそれぞれの厚さとが異なってもよい。例えば、図6に示すように、樹脂12、13のそれぞれの厚さが、樹脂11の厚さよりも薄くてもよい。樹脂12の厚さと樹脂13の厚さとが異なっていてもよい。図6は、第2実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図6は、半導体パッケージ1の断面図である。図6では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図6において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
4A to 4C show examples in which the thickness of the
〈第3実施形態〉
図7は、第3実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図7は、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ2、リードフレーム3、複数のワイヤ4及び樹脂11、12、14を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5、各サポートバー6、各第1リード7及び各第2リード8は、第1実施形態と同様である。図7では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図7において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
<Third Embodiment>
FIG. 7 is a diagram illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the third embodiment. FIG. 7 is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a
樹脂11と樹脂12との間に樹脂14が配置されている。したがって、樹脂14は、平面視で、樹脂11の周囲に配置され、かつ、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に配置されている。樹脂14は、各第1リードを部分的に覆っている。樹脂11と樹脂12とが樹脂14によって繋がっている。よって、樹脂11、12、14が、一体的に形成されている。樹脂14の厚さと、樹脂11、12のそれぞれの厚さとが異なっている。例えば、図7に示すように、樹脂14の厚さは、樹脂11、12のそれぞれの厚さよりも薄くもてよい。樹脂11の厚さと、樹脂12の厚さとが同じであってもよいし、異なっていてもよい。例えば、樹脂12の厚さが、樹脂11の厚さよりも薄くてもよい。樹脂14は、第3樹脂の一例である。
A
一体的に形成された樹脂11、12、14を、第3実施形態では、樹脂21と表記する。したがって、樹脂21が、半導体チップ2、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を覆っている。また、樹脂21が、各第1リードを部分的に覆っている。樹脂21の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に位置している。したがって、複数の第1リード7が、樹脂21の側面から突き出ている。すなわち、各第1リード7の一部が樹脂21内に存在し、樹脂21の側面から各第1リード7の一部が突き出ている。また、樹脂21の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分と重なっていてもよい。すなわち、樹脂21は、各第1リード7と各第2リード8との境界部分を覆っていてもよい。
The integrally formed
樹脂21は、半導体チップ2の周囲に凹部31を有している。樹脂21は、半導体チップ2の周囲を囲むようにして凹部31を有してもよい。樹脂21の上面に凹部31が形成されてもよい。樹脂21の下面に凹部31が形成されてもよい。樹脂21の上面及び下面に凹部31が形成されてもよい。図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図7に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂21の量が減少する。
The
樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂12は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂12の貫通孔は、第2実施形態における樹脂12の各貫通孔と同様である。樹脂14は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂14の各貫通孔は、樹脂14を貫通している。樹脂14の各貫通孔は、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂14の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂14が複数の貫通孔を有することにより、樹脂14の量が減少する。したがって、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図7に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂21の量が更に減少する。
The
図8は、第3実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図8は、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ2、リードフレーム3、複数のワイヤ4及び樹脂11〜15を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5、各サポートバー6、各第1リード7及び各第2リード8は、第1実施形態と同様である。図8では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図8において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the third embodiment. FIG. 8 is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a
樹脂11と樹脂12との間に樹脂14が配置され、樹脂12と樹脂13との間に樹脂15が配置されている。したがって、樹脂14、15は、平面視で、樹脂11の周囲に配置され、かつ、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に配置されている。樹脂14、15は、各第1リード7を部分的に覆っている。樹脂11と樹脂12とが樹脂14によって繋がり、樹脂12と樹脂13とが樹脂15によって繋がっている。よって、樹脂11〜15が、一体的に形成されている。樹脂14の厚さと、樹脂11、12のそれぞれの厚さとが異なっている。例えば、図8に示すように、樹脂14の厚さは、樹脂11、12のそれぞれの厚さよりも薄くてもよい。樹脂15の厚さと、樹脂12、13のそれぞれの厚さとが異なっている。例えば、図8に示すように、樹脂15の厚さは、樹脂12、13のそれぞれの厚さよりも薄くてもよい。樹脂11〜13の厚さはそれぞれ異なっていてもよい。例えば、樹脂12、13のそれぞれの厚さが、樹脂11の厚さよりも薄くてもよい。
A
一体的に形成された樹脂11〜15を、以下では、樹脂22と表記する。したがって、樹脂22が、半導体チップ2、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を覆っている。また、樹脂22が、各第1リード7を部分的に覆っている。樹脂22の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に位置している。したがって、複数の第1リード7が、樹脂22の側面から突き出ている。すなわち、各第1リード7の一部が樹脂22内に存在し、樹脂22の側面から各第1リード7の一部が突き出ている。また、樹脂22の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分と重なっていてもよい。すなわち、樹脂22は、各第1リード7と各第2リード8との境界部分を覆っていてもよい。
Hereinafter, the integrally formed
樹脂22は、半導体チップ2の周囲に凹部32、33を有している。樹脂22は、半導体チップ2の周囲を囲むようにして凹部32、33を有してもよい。樹脂22の上面に凹部32、33が形成されてもよい。樹脂22の上面に複数の凹部32、複数の凹部33が形成されてもよい。樹脂22の下面に凹部32、33が形成されてもよい。樹脂22の下面に複数の凹部32、複数の凹部33が形成されてもよい。樹脂22の上面及び下面に凹部32、33が形成されてもよい。樹脂22の上面及び下面に複数の凹部32、複数の凹部33が形成されてもよい。図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図8に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂22の量が減少する。その結果、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図8に示す半導体パッケージ1の重量が減少する。半導体パッケージ1の側面から見て、樹脂11が存在する部分と、樹脂11が存在しない部分とが互い違いになっていてもよい。更に、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂12の上部分の膜厚と樹脂12の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂13の上部分の膜厚と樹脂13の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
The
樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂12は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂12の貫通孔は、第2実施形態における樹脂12の各貫通孔と同様である。樹脂13は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂13の貫通孔は、第2実施形態における樹脂12の各貫通孔と同様である。樹脂14は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂15は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂15の各貫通孔は、樹脂15を貫通している。樹脂15の各貫通孔は、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂15の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂15が複数の貫通孔を有することにより、樹脂15の量が減少する。したがって、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図8に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂22の量が更に減少する。その結果、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図8に示す半導体パッケージ1の重量が更に減少する。
The
〈第4実施形態〉
図9は、第4実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図9は、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ2、リードフレーム3、複数のワイヤ4及び樹脂11、16を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5、各サポートバー6、各第1リード7及び各第2リード8は、第1実施形態と同様である。図9では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図9において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
<Fourth embodiment>
FIG. 9 is a diagram illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the fourth embodiment. FIG. 9 is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a
樹脂11が、半導体チップ2、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を覆っている。また、樹脂11が、各第1リード7を部分的に覆っている。樹脂11の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に位置している。樹脂16が、各第1リード7を部分的に覆っている。したがって、複数の第1リード7が、樹脂11の側面から突き出ており、樹脂11の側面から突き出た複数の第1リード7の部分を樹脂16が覆っている。すなわち、各第1リード7の一部が樹脂11内に存在し、各第1リード7の一部が樹脂16内に存在している。樹脂16は、樹脂11の周囲に配置され、樹脂11と繋がっている。よって、樹脂11、16が一体的に形成されている。樹脂11の厚さと、樹脂16の厚さとが異なっている。図9では、
樹脂16の厚さが、樹脂11の厚さよりも薄い。したがって、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図9に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂11、16の合計の樹脂量が減少する。その結果、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図9に示す半導体パッケージ1の重量が減少する。樹脂16は、第4樹脂の一例である。
The thickness of the
例えば、樹脂11が、各ワイヤ4と各第1リード7との接続部分を覆い、樹脂16が、各ワイヤ4と各第1リード7との接続部分よりも外側における各第1リード7を部分的に覆ってもよい。樹脂16の側面が、平面視で、樹脂11の側面の位置よりも半導体チップ2に対して離れた位置にある。樹脂16の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置にあってもよい。
For example, the
樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂16は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂16の各貫通孔は、例えば、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂16の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂16が複数の貫通孔を有することにより、樹脂16の量が減少する。その結果、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図9に示す半導体パッケージ1の重量が更に減少する。また、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂16の上部分の膜厚と樹脂16の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂16の上部分の膜厚は、例えば、第1リード7の上に形成された樹脂16の膜厚である。樹脂16の下部分の膜厚は、例えば、第1リード7の下に形成された樹脂16の膜厚である。
The
第2〜第4実施形態によれば、第1実施形態と同様に、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少するため、半導体パッケージ1内の応力が減少する。したがって、半導体パッケージ1を実装する際のリフロー処理において、半導体チップ2と樹脂11との剥離が抑止される。その結果、半導体パッケージ1の実装ランクが向上する。また、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少するため、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、半導体パッケージ1の重量が減少する。第1〜第4実施形態によれば、リードフレーム3の変更は無いため、半導体パッケージ1を実装する基板を変更せずに、半導体パッケージ1を基板に実装することができる。
According to the second to fourth embodiments, as in the first embodiment, the amount of the
〈樹脂の形成法〉
樹脂11〜16、21、22の形成方法について説明する。トランスファーモールド法又はコンプレッションモールド法により樹脂封止を行うことにより、樹脂11〜16、21、22が形成される。トランスファーモールド法では、半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を金型内に載置し、金型に形成された穴から封止用樹脂を金型内に注入して、加熱処理を行うことにより、樹脂封止を行う。上金型と下金型とを合わせることにより、一つの金型となる。封止用樹脂は、例えば、熱硬化性のエポキシ系樹脂である。トランスファーモールド法は、圧力を掛けて、金型内に封止用樹脂を注入するため、各第1リード7の上下面を同時に樹脂封止することができ、様々な種類の金型に対応することができる。
<Resin formation method>
A method for forming the
トランスファーモールド法により、第2実施形態における樹脂11、12を形成する場合、樹脂11と樹脂12とが繋がった状態になる。樹脂11と樹脂12とが繋がった部分の樹脂を切断又は研磨することにより、樹脂11と樹脂12とを分離することができる。例えば、樹脂11と樹脂12とが繋がった部分の樹脂が、各サポートバー6上に形成される場合、樹脂11と樹脂12とが繋がった部分の樹脂を、各サポートバー6とともに切断することができる。金型の上部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂11を形成し、金
型の下部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂12を形成することにより、樹脂11と樹脂12とを分離して形成してもよい。
When the
第2実施形態における樹脂11〜13を形成する場合についても、樹脂11と樹脂12とが繋がった部分の樹脂、及び、樹脂12と樹脂13とが繋がった部分の樹脂を切断又は研磨することにより、樹脂11〜13をそれぞれ分離することができる。特に図4では、通常の金型の横部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂11〜13を形成する場合で、それぞれの樹脂が分離している場合には、内側にある樹脂11〜12の形成は困難である。この場合、金型の上部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂11を形成し、金型の下部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂12を形成することにより、樹脂11と樹脂12とを分離して形成してもよい。樹脂14〜16の形成の説明は省略するが、樹脂14〜16についても、トランスファーモールド法により形成することができる。
Also in the case of forming the
コンプレッションモールド法では、半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を金型内に載置し、金型を封止用樹脂に浸すことにより、樹脂封止を行う。封止用樹脂は、例えば、熱硬化性のエポキシ系樹脂である。コンプレッションモールド法は、封止用樹脂の注入経路がないため、封止用樹脂の無駄が抑止される。また、コンプレッションモールド法は、金型内への封止用樹脂の注入が行われないため、封止用樹脂の注入による各ワイヤ4の変形が抑止される。そのため、コンプレッションモールド法は、各ワイヤ4の細線化に有利である。
In the compression molding method, the
ここでは、コンプレッションモールド法による樹脂封止の2つの例を説明する。コンプレッションモールド法による樹脂封止の第1の例を説明する。まず、半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を上金型内に載置し、上金型を封止用樹脂に浸して、上金型内までの部分を封止用樹脂で満たす。次いで、加熱処理を行うことにより、樹脂11の上部分を形成する。次に、半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を下金型内に載置し、下金型を封止用樹脂に浸して、下金型内までの部分を封止用樹脂で満たす。次いで、加熱処理を行うことにより、樹脂11の下部分を形成する。
Here, two examples of resin sealing by the compression molding method will be described. A first example of resin sealing by the compression molding method will be described. First, the
コンプレッションモールド法による樹脂封止の第2の例を説明する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を金型内に載置し、金型を封止用樹脂に浸して、金型内を封止用樹脂で満たした後、加熱処理を行うことにより、樹脂封止を行う。上金型と下金型とを合わせることにより、一つの金型となる。下金型には、封止用樹脂が流入する穴が設けられており、上金型には、空気が流出する穴が設けられている。金型を封止用樹脂に浸すことにより、下金型に設けられた穴から封止用樹脂が流入し、上金型に設けられた穴から空気が流出し、金型内に封止用樹脂が満たされる。封止用樹脂が充填された樹脂槽に、金型を沈めることにより、金型を封止用樹脂に浸してもよい。また、封止用樹脂が充填された樹脂槽を持ち上げることにより、金型を封止用樹脂に浸してもよい。更に、金型と、封止用樹脂が充填された樹脂槽とを近づけることにより、金型を封止用樹脂に浸してもよい。
A second example of resin sealing by the compression mold method will be described. The
コンプレッションモールド法により、第2実施形態における樹脂11、12を形成する場合、樹脂11と樹脂12とは分離して形成される。また、コンプレッションモールド法により、第2実施形態における樹脂11〜13を形成する場合、樹脂11〜13をそれぞれ分離して形成することができる。樹脂14〜16の形成の説明は省略するが、樹脂14〜16についても、コンプレッションモールド法により形成することができる。
When forming the
以上の第1〜第4実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
(付記1)
半導体チップと、
前記半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップに電気的に接続された複数の第1リードと、
前記半導体チップから前記複数の第1リードよりも離れた位置に配置され、前記複数の第1リードに繋がる複数の第2リードと、
前記半導体チップを覆い、かつ、前記各第1リードを部分的に覆う第1樹脂と、
を備え、
前記複数の第1リードが、平面視で、前記半導体チップに対して放射状に延伸し、前記第1樹脂の側面から突き出ており、
前記複数の第2リードの一部同士が、平面視で、互いに並行に延伸する
ことを特徴とする半導体装置。
(付記2)
前記第1樹脂の周囲に配置され、前記各第1リードを部分的に覆う第2樹脂を備え、
前記第1樹脂の側面から突き出ている前記第1リード同士が前記第2樹脂によって連結されている
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記3)
前記第2樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする付記2に記載の半導体装置。
(付記4)
前記第1樹脂と前記第2樹脂との間に配置され、前記各第1リードを部分的に覆う第3樹脂を備え、
前記第3樹脂は、前記第1樹脂及び前記第2樹脂に繋がっており、
前記第3樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする付記2又は3に記載の半導体装置。
(付記5)
前記第1樹脂の周囲に配置され、前記各第1リードを部分的に覆う第4樹脂を備え、
前記第4樹脂は、前記第1樹脂に繋がり、
前記第4樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記6)
前記第1樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第1樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする付記1から5の何れか一つに記載の半導体装置。
(付記7)
前記第2樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第2樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする付記2から4の何れか一つに記載の半導体装置。
(付記8)
前記第3樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第3樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする付記4に記載の半導体装置。
(付記9)
前記第4樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第4樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする付記5に記載の半導体装置。
Regarding the above first to fourth embodiments, the following additional notes are further disclosed.
(Appendix 1)
A semiconductor chip;
A plurality of first leads disposed around the semiconductor chip and electrically connected to the semiconductor chip;
A plurality of second leads arranged at positions away from the plurality of first leads from the semiconductor chip and connected to the plurality of first leads;
A first resin that covers the semiconductor chip and partially covers the first leads;
With
The plurality of first leads extend radially with respect to the semiconductor chip in a plan view and protrude from a side surface of the first resin,
Part of the plurality of second leads extends in parallel with each other in a plan view.
(Appendix 2)
A second resin disposed around the first resin and partially covering each of the first leads;
The semiconductor device according to appendix 1, wherein the first leads protruding from a side surface of the first resin are connected by the second resin.
(Appendix 3)
The semiconductor device according to
(Appendix 4)
A third resin disposed between the first resin and the second resin and partially covering each of the first leads;
The third resin is connected to the first resin and the second resin,
The semiconductor device according to
(Appendix 5)
A fourth resin disposed around the first resin and partially covering each of the first leads;
The fourth resin is connected to the first resin,
The semiconductor device according to appendix 1, wherein a thickness of the fourth resin is thinner than a thickness of the first resin.
(Appendix 6)
The semiconductor device according to any one of appendices 1 to 5, wherein the first resin has a hole penetrating the first resin between the adjacent first leads.
(Appendix 7)
The semiconductor device according to any one of
(Appendix 8)
The semiconductor device according to
(Appendix 9)
The semiconductor device according to
1 半導体パッケージ
2 半導体チップ
3 リードフレーム
4 ワイヤ
5 ステージ
6 サポートバー
7 第1リード
8 第2リード
11〜16、21、22 樹脂
31〜33 凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (5)
前記半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップに電気的に接続された複数の第1リードと、
前記半導体チップから前記複数の第1リードよりも離れた位置に配置され、前記複数の第1リードに繋がる複数の第2リードと、
前記半導体チップを覆い、かつ、前記各第1リードを部分的に覆う第1樹脂と、
を備え、
前記複数の第1リードが、平面視で、前記半導体チップに対して放射状に延伸し、前記第1樹脂の側面から突き出ており、
前記複数の第2リードの一部同士が、平面視で、互いに並行に延伸する
ことを特徴とする半導体装置。 A semiconductor chip;
A plurality of first leads disposed around the semiconductor chip and electrically connected to the semiconductor chip;
A plurality of second leads arranged at positions away from the plurality of first leads from the semiconductor chip and connected to the plurality of first leads;
A first resin that covers the semiconductor chip and partially covers the first leads;
With
The plurality of first leads extend radially with respect to the semiconductor chip in a plan view and protrude from a side surface of the first resin,
Part of the plurality of second leads extends in parallel with each other in a plan view.
前記第1樹脂の側面から突き出ている前記第1リード同士が前記第2樹脂によって連結されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 A second resin disposed around the first resin and partially covering each of the first leads;
The semiconductor device according to claim 1, wherein the first leads protruding from a side surface of the first resin are connected to each other by the second resin.
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 The semiconductor device according to claim 2, wherein a thickness of the second resin is thinner than a thickness of the first resin.
前記第3樹脂は、前記第1樹脂及び前記第2樹脂に繋がっており、
前記第3樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体装置。 A third resin disposed between the first resin and the second resin and partially covering each of the first leads;
The third resin is connected to the first resin and the second resin,
The semiconductor device according to claim 2, wherein a thickness of the third resin is thinner than a thickness of the first resin.
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 The semiconductor device according to claim 4, wherein the third resin has a hole penetrating the third resin between the adjacent first leads.
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