JP2016062974A - Semiconductor device - Google Patents

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雅之 中田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a quantity of resin which covers a semiconductor chip.SOLUTION: A semiconductor device comprises: a semiconductor chip; a plurality of first leads which are arranged around the semiconductor chip and electrically connected to the semiconductor chip; a plurality of second leads which are arranged at positions farther from the first leads and link to the first leads; and a first resin which covers the semiconductor chip and partially covers the first leads. The plurality of first leads extend radially with respect to the semiconductor chip in plan view and project from lateral faces of the first resin in plan view, and each some of the plurality of second leads extend in parallel with each other in plan view.SELECTED DRAWING: Figure 2A

Description

本発明は、半導体装置に関する。   The present invention relates to a semiconductor device.

半導体パッケージ(半導体装置)の一種に、QFP(Quad Flat Package)がある。Q
FPは、リードフレーム及び半導体チップ(半導体素子)を樹脂で封止した薄板状の半導体パッケージである。半導体パッケージの四辺のそれぞれから、リードフレームのリード(接続端子)が導出している。半導体パッケージから導出したリードはアウターリードと呼ばれ、半導体パッケージの内部のリードはインナーリードと呼ばれる。
One type of semiconductor package (semiconductor device) is QFP (Quad Flat Package). Q
The FP is a thin plate semiconductor package in which a lead frame and a semiconductor chip (semiconductor element) are sealed with a resin. Leads (connecting terminals) of the lead frame are led out from each of the four sides of the semiconductor package. Leads derived from the semiconductor package are called outer leads, and leads inside the semiconductor package are called inner leads.

特開平5−251502号公報JP-A-5-251502

リードフレームの大きさに応じて、樹脂で覆われた部分のサイズが画定する。同タイプの半導体パッケージの場合、樹脂厚が一定のため、樹脂で覆われた部分のサイズは、樹脂の縦寸法と樹脂の横寸法との積によって決定される。以下では、樹脂の縦寸法と樹脂の横寸法との積を、ボディサイズと表記する。尚、ボディサイズには、通常、樹脂厚も含まれるが、基本的に厚さは一定のため、ここでは省略している。ボディサイズが大きくなると、半導体チップを覆う樹脂の量が多くなり、半導体パッケージ内の応力が大きくなる。半導体パッケージ内の応力が大きくなると、半導体パッケージを実装する際のリフロー処理において、半導体チップと樹脂とが剥離する場合がある。そのため、樹脂の量が多いと、半導体パッケージの実装ランク(例えば、半導体パッケージを開梱してから実装までの許容日数、リフロー条件及びリフロー回数)が厳しくなる傾向がある。また、半導体チップを覆う樹脂の量が多くなると、半導体パッケージの重量が増加する。   The size of the portion covered with the resin is defined according to the size of the lead frame. In the case of the same type of semiconductor package, since the resin thickness is constant, the size of the portion covered with the resin is determined by the product of the vertical dimension of the resin and the horizontal dimension of the resin. Hereinafter, the product of the vertical dimension of the resin and the horizontal dimension of the resin is referred to as a body size. The body size usually includes the resin thickness, but is omitted here because the thickness is basically constant. As the body size increases, the amount of resin covering the semiconductor chip increases and the stress in the semiconductor package increases. When the stress in the semiconductor package is increased, the semiconductor chip and the resin may be peeled off in the reflow process when the semiconductor package is mounted. Therefore, if the amount of resin is large, the mounting rank of the semiconductor package (for example, the allowable days from unpacking the semiconductor package to the mounting, the reflow conditions, and the number of reflows) tends to be severe. Further, as the amount of resin covering the semiconductor chip increases, the weight of the semiconductor package increases.

本件は、半導体チップを覆う樹脂の量を減少する技術を提供する。   The present case provides a technique for reducing the amount of resin covering a semiconductor chip.

本件の一観点による半導体装置は、半導体チップと、前記半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップに電気的に接続された複数の第1リードと、前記半導体チップから前記複数の第1リードよりも離れた位置に配置され、前記複数の第1リードに繋がる複数の第2リードと、前記半導体チップを覆い、かつ、前記各第1リードを部分的に覆う第1樹脂と、を備え、前記複数の第1リードが、平面視で、前記半導体チップに対して放射状に延伸し、前記第1樹脂の側面から突き出ており、前記複数の第2リードの一部同士が、平面視で、互いに並行に延伸する。   A semiconductor device according to an aspect of the present invention includes a semiconductor chip, a plurality of first leads disposed around the semiconductor chip and electrically connected to the semiconductor chip, and a plurality of first leads from the semiconductor chip. A plurality of second leads connected to the plurality of first leads, and a first resin that covers the semiconductor chip and partially covers each of the first leads, The plurality of first leads extend radially with respect to the semiconductor chip in a plan view and protrude from the side surface of the first resin, and a part of the plurality of second leads is mutually in a plan view. Stretch in parallel.

本件によれば、半導体チップを覆う樹脂の量を減少することができる。   According to this case, the amount of resin covering the semiconductor chip can be reduced.

図1Aは、半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの平面図である。FIG. 1A is a diagram illustrating an example of a semiconductor package, and is a plan view of the semiconductor package. 図1Bは、半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの平面図である。FIG. 1B is a diagram illustrating an example of a semiconductor package, and is a plan view of the semiconductor package. 図1Cは、半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 1C is a diagram illustrating an example of a semiconductor package, and is a cross-sectional view of the semiconductor package. 図2Aは、第1実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの平面図である。FIG. 2A is a diagram illustrating an example of the semiconductor package according to the first embodiment, and is a plan view of the semiconductor package. 図2Bは、第1実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの平面図である。FIG. 2B is a diagram illustrating an example of the semiconductor package according to the first embodiment, and is a plan view of the semiconductor package. 図2Cは、第1実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 2C is a diagram illustrating an example of the semiconductor package according to the first embodiment, and is a cross-sectional view of the semiconductor package. 図3Aは、第2実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの平面図である。FIG. 3A is a diagram illustrating an example of a semiconductor package according to the second embodiment, and is a plan view of the semiconductor package. 図3Bは、第2実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの平面図である。FIG. 3B is a diagram illustrating an example of the semiconductor package according to the second embodiment, and is a plan view of the semiconductor package. 図3Cは、第2実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 3C is a diagram illustrating an example of the semiconductor package according to the second embodiment, and is a cross-sectional view of the semiconductor package. 図4Aは、第2実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの平面図である。FIG. 4A is a diagram illustrating an example of a semiconductor package according to the second embodiment, and is a plan view of the semiconductor package. 図4Bは、第2実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの平面図である。FIG. 4B is a diagram illustrating an example of the semiconductor package according to the second embodiment, and is a plan view of the semiconductor package. 図4Cは、第2実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 4C is a diagram illustrating an example of the semiconductor package according to the second embodiment, and is a cross-sectional view of the semiconductor package. 図5は、第2実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a semiconductor package according to the second embodiment, and is a cross-sectional view of the semiconductor package. 図6は、第2実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a semiconductor package according to the second embodiment, and is a cross-sectional view of the semiconductor package. 図7は、第3実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 7 is a view showing an example of a semiconductor package according to the third embodiment, and is a cross-sectional view of the semiconductor package. 図8は、第3実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a semiconductor package according to the third embodiment, and is a cross-sectional view of the semiconductor package. 図9は、第4実施形態に係る半導体パッケージの一例を示す図であり、半導体パッケージの断面図である。FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a semiconductor package according to the fourth embodiment, and is a cross-sectional view of the semiconductor package.

図1A〜図1Cは、半導体パッケージ101の一例を示す図である。図1A及び図1Bは、半導体パッケージ101の平面図であり、図1Cは、半導体パッケージ101の断面図である。半導体パッケージ101は、半導体チップ102、リードフレーム103、複数のワイヤ(金属細線)104及び樹脂105を備える。リードフレーム103は、ステージ111、複数のサポートバー112、複数の第1リード113及び複数の第2リード114を有する。半導体チップ102の電極面を上向き(フェイスアップ)にして、半導体チップ102がステージ111上に搭載されている。半導体チップ102と複数の第1リード113とは、複数のワイヤ104を介して電気的に接続されている。例えば、半導体チップ102の複数の電極パッド(図示せず)と複数の第1リード113とが、複数のワイヤ104を介して電気的に接続されている。   1A to 1C are diagrams illustrating an example of a semiconductor package 101. FIG. 1A and 1B are plan views of the semiconductor package 101, and FIG. 1C is a cross-sectional view of the semiconductor package 101. The semiconductor package 101 includes a semiconductor chip 102, a lead frame 103, a plurality of wires (fine metal wires) 104 and a resin 105. The lead frame 103 includes a stage 111, a plurality of support bars 112, a plurality of first leads 113, and a plurality of second leads 114. The semiconductor chip 102 is mounted on the stage 111 with the electrode surface of the semiconductor chip 102 facing upward (face up). The semiconductor chip 102 and the plurality of first leads 113 are electrically connected via a plurality of wires 104. For example, a plurality of electrode pads (not shown) of the semiconductor chip 102 and a plurality of first leads 113 are electrically connected via a plurality of wires 104.

樹脂105が、半導体チップ102、各ワイヤ104、ステージ111及び各サポートバー112を覆っている。また、樹脂105が、各第1リード113を部分的に覆っている。半導体チップ102及びステージ111は、樹脂105及び各サポートバー112によって、半導体パッケージ101の中心部に保持されている。図1Aでは、各ワイヤ104及び樹脂105の図示を省略し、樹脂105の側面の位置を太線で示している。図1Cでは、各サポートバー112と各第1リード113とが重なっているため、各サポートバー112の図示を省略している。複数の第1リード113及び複数の第2リード114は
、半導体チップ102の周囲に配置されている。複数の第2リード114は、半導体チップ102に対して、平面視で複数の第1リード113の位置よりも離れた位置に配置されている。各第1リード113と各第2リード114とが繋がっている。すなわち、各第1リード113と各第2リード114とが一体的に形成されている。
Resin 105 covers semiconductor chip 102, each wire 104, stage 111, and each support bar 112. Resin 105 partially covers each first lead 113. The semiconductor chip 102 and the stage 111 are held at the center of the semiconductor package 101 by the resin 105 and the support bars 112. In FIG. 1A, illustration of each wire 104 and resin 105 is abbreviate | omitted, and the position of the side surface of resin 105 is shown by the thick line. In FIG. 1C, since each support bar 112 and each first lead 113 overlap each other, illustration of each support bar 112 is omitted. The plurality of first leads 113 and the plurality of second leads 114 are arranged around the semiconductor chip 102. The plurality of second leads 114 are arranged at positions farther from the semiconductor chip 102 than the positions of the plurality of first leads 113 in plan view. Each first lead 113 and each second lead 114 are connected. That is, each first lead 113 and each second lead 114 are integrally formed.

図1A〜図1Cに示すように、半導体パッケージ101では、樹脂105の側面部分が、各第1リード113と各第2リード114との境界部分に位置している。そのため、半導体チップ102を覆う樹脂105の量が多くなっている。   As shown in FIGS. 1A to 1C, in the semiconductor package 101, the side surface portion of the resin 105 is located at the boundary portion between each first lead 113 and each second lead 114. Therefore, the amount of the resin 105 that covers the semiconductor chip 102 is increased.

以下、図面を参照して実施形態に係る半導体装置について説明する。以下に示す半導体装置の構成は例示であり、実施形態に係る半導体装置の構成は、以下に示す構成に限定されない。   The semiconductor device according to the embodiment will be described below with reference to the drawings. The configuration of the semiconductor device shown below is an example, and the configuration of the semiconductor device according to the embodiment is not limited to the configuration shown below.

〈第1実施形態〉
図2A〜図2Cは、第1実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図2A及び図2Bは、半導体パッケージ1の平面図であり、図2Cは、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ(半導体素子)2、リードフレーム3、複数のワイヤ(金属細線)4及び樹脂11を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2の電極面を上向き(フェイスアップ)にして、半導体チップ2がステージ5上に搭載されている。半導体チップ2と複数の第1リード7とは、複数のワイヤ4を介して電気的に接続されている。例えば、半導体チップ2の複数の電極パッド(図示せず)と複数の第1リード7とが、複数のワイヤ4を介して電気的に接続されている。半導体パッケージ1は、半導体装置の一例である。樹脂11は、第1樹脂の一例である。
<First Embodiment>
2A to 2C are diagrams illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the first embodiment. 2A and 2B are plan views of the semiconductor package 1, and FIG. 2C is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a semiconductor chip (semiconductor element) 2, a lead frame 3, a plurality of wires (metal thin wires) 4, and a resin 11. The lead frame 3 includes a stage 5, a plurality of support bars 6, a plurality of first leads 7, and a plurality of second leads 8. The semiconductor chip 2 is mounted on the stage 5 with the electrode surface of the semiconductor chip 2 facing upward (face up). The semiconductor chip 2 and the plurality of first leads 7 are electrically connected via a plurality of wires 4. For example, a plurality of electrode pads (not shown) of the semiconductor chip 2 and a plurality of first leads 7 are electrically connected via a plurality of wires 4. The semiconductor package 1 is an example of a semiconductor device. The resin 11 is an example of a first resin.

樹脂11が、半導体チップ2、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を覆っている。また、樹脂11が、各第1リード7を部分的に覆っている。樹脂11が、半導体チップ2及び各ワイヤ4を覆うとともに、樹脂11が、各第1リード7を部分的に覆うことにより、半導体チップ2及び各ワイヤ4が樹脂11によって保護され、各ワイヤ4と各第1リード7との接続部分が樹脂11によって保護される。半導体チップ2及びステージ5は、各サポートバー6及び樹脂11によって、半導体パッケージ1の中心に保持されている。図2Aでは、各ワイヤ4及び樹脂11の図示を省略し、樹脂11の側面の位置を太線で示している。図2Cでは、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。   Resin 11 covers semiconductor chip 2, each wire 4, stage 5, and each support bar 6. Resin 11 partially covers each first lead 7. The resin 11 covers the semiconductor chip 2 and each wire 4, and the resin 11 partially covers each first lead 7, whereby the semiconductor chip 2 and each wire 4 are protected by the resin 11. A connection portion with each first lead 7 is protected by the resin 11. The semiconductor chip 2 and the stage 5 are held at the center of the semiconductor package 1 by the support bars 6 and the resin 11. In FIG. 2A, illustration of each wire 4 and resin 11 is abbreviate | omitted, and the position of the side surface of resin 11 is shown by the thick line. In FIG. 2C, each support bar 6 and each first lead 7 overlap each other, and therefore the illustration of each support bar 6 is omitted.

複数の第1リード7及び複数の第2リード8は、半導体チップ2の周囲に配置されている。複数の第2リード8は、半導体チップ2に対して、平面視で複数の第1リード7の位置よりも離れた位置に配置されている。各第1リード7と各第2リード8とが繋がっている。すなわち、各第1リード7と各第2リード8とが一体的に形成されている。   The plurality of first leads 7 and the plurality of second leads 8 are arranged around the semiconductor chip 2. The plurality of second leads 8 are arranged at positions farther from the semiconductor chip 2 than the positions of the plurality of first leads 7 in plan view. Each first lead 7 and each second lead 8 are connected. That is, each first lead 7 and each second lead 8 are integrally formed.

複数の第1リード7は、半導体チップ2に対して、平面視で放射状に延伸している。各第1リード7の第1端部が半導体チップ2に向けられており、半導体チップ2と各第1リード7の第1端部とが、各ワイヤ4によって接続されている。各第1リード7の第2端部と各第2リード8の第1端部とが繋がっている。各第2リード8の第2端部は、所謂ガルウィング状に屈曲しており、各第2リード8の第2端部の先端は、半導体パッケージ1が実装される基板(例えば、プリント基板)の電極に接続される。   The plurality of first leads 7 extend radially with respect to the semiconductor chip 2 in plan view. The first end of each first lead 7 is directed to the semiconductor chip 2, and the semiconductor chip 2 and the first end of each first lead 7 are connected by each wire 4. The second end of each first lead 7 is connected to the first end of each second lead 8. The second end of each second lead 8 is bent in a so-called gull wing shape, and the tip of the second end of each second lead 8 is a substrate (for example, a printed circuit board) on which the semiconductor package 1 is mounted. Connected to the electrode.

複数の第2リード8の一部同士が、平面視で互いに並行に延伸している。図2A及び図2Bに示すように、例えば、複数の第2リード8の一部同士(第2リード8A〜8I)が、平面視で互いに並行に延伸している。各第1リード7の幅は、各第1リード7の第1端
部から各第1リード7の第2端部に向かって広くなっている。すなわち、各第1リード7の幅は、半導体チップ2から離れる方向に向かって広くなっている。各第1リード7は、平面視で屈曲していてもよい。また、各第1リード7は、平面視で湾曲していてもよい。各第2リード8の幅は、各第2リード8の第1端部から各第2リード8の第2端部まで同じである。各第2リード8の幅及びピッチは、基本的に各第1リード7の第1端部の幅及びピッチよりも大きい。
Some of the plurality of second leads 8 extend in parallel with each other in plan view. As shown in FIGS. 2A and 2B, for example, some of the plurality of second leads 8 (second leads 8A to 8I) extend in parallel with each other in plan view. The width of each first lead 7 increases from the first end of each first lead 7 toward the second end of each first lead 7. That is, the width of each first lead 7 becomes wider in the direction away from the semiconductor chip 2. Each first lead 7 may be bent in plan view. Each first lead 7 may be curved in a plan view. The width of each second lead 8 is the same from the first end of each second lead 8 to the second end of each second lead 8. The width and pitch of each second lead 8 are basically larger than the width and pitch of the first end of each first lead 7.

図2A及び図2Bに示すように、樹脂11の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に位置している。したがって、複数の第1リード7が、樹脂11の側面から突き出ている。すなわち、各第1リード7の一部が樹脂11内に存在し、樹脂11の側面から各第1リード7の一部が突き出ている。図2A〜図2Cにおいて、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、半導体パッケージ1は、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少し、ボディサイズが縮小されている。半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少するため、半導体パッケージ1内の応力が減少する。したがって、半導体パッケージ1を実装する際のリフロー処理において、半導体チップ2と樹脂11との剥離が抑止される。その結果、半導体パッケージ1の実装ランク(例えば、半導体パッケージ1を開梱してから実装までの許容日数、リフロー条件及びリフロー回数)が向上する。また、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少するため、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、半導体パッケージ1の重量が減少する。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the side surface of the resin 11 is located at a position approaching the semiconductor chip 2 from the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in plan view. Therefore, the plurality of first leads 7 protrude from the side surface of the resin 11. That is, a part of each first lead 7 exists in the resin 11, and a part of each first lead 7 protrudes from the side surface of the resin 11. 2A to 2C, dotted lines indicate the outer shape of the resin 105 included in the semiconductor package 101 illustrated in FIGS. 1A to 1C. Compared to the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C, the semiconductor package 1 has a reduced amount of resin 11 covering the semiconductor chip 2 and a reduced body size. Since the amount of the resin 11 covering the semiconductor chip 2 is reduced, the stress in the semiconductor package 1 is reduced. Therefore, in the reflow process when the semiconductor package 1 is mounted, the separation between the semiconductor chip 2 and the resin 11 is suppressed. As a result, the mounting rank of the semiconductor package 1 (for example, the allowable days from unpacking the semiconductor package 1 to the mounting, the reflow conditions, and the number of reflows) is improved. Further, since the amount of the resin 11 covering the semiconductor chip 2 is reduced, the weight of the semiconductor package 1 is reduced as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C.

樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、樹脂11の厚み方向において樹脂11を貫通している。樹脂11の各貫通孔は、例えば、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂11の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂11が複数の貫通孔を有することにより、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が更に減少するため、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、半導体パッケージ1の重量が更に減少する。また、樹脂11が複数の貫通孔を有する場合、半導体パッケージ1の側面から見て、樹脂11が存在する部分と、樹脂11が存在しない部分とが互い違いになっていてもよい。更に、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂11の上部分の膜厚は、例えば、第1リード7の上に形成された樹脂11の膜厚である。樹脂11の下部分の膜厚は、例えば、第1リード7の下に形成された樹脂11の膜厚である。   The resin 11 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 11 passes through the resin 11 in the thickness direction of the resin 11. Each through hole of the resin 11 is disposed between the adjacent first leads 7 in a plan view, for example. Each through hole of the resin 11 may have a rectangular shape or a circular shape in plan view, or may have another shape. Since the resin 11 has a plurality of through holes, the amount of the resin 11 covering the semiconductor chip 2 is further reduced, so that the weight of the semiconductor package 1 is further reduced as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C. To do. Further, when the resin 11 has a plurality of through holes, a portion where the resin 11 is present and a portion where the resin 11 is not present may be alternated when viewed from the side surface of the semiconductor package 1. Furthermore, the film thickness of the upper part of the resin 11 and the film thickness of the lower part of the resin 11 may be the same or different. The film thickness of the upper portion of the resin 11 is, for example, the film thickness of the resin 11 formed on the first lead 7. The film thickness of the lower part of the resin 11 is, for example, the film thickness of the resin 11 formed under the first lead 7.

〈第2実施形態〉
図3A〜図3Cは、第2実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図3A及び図3Bは、半導体パッケージ1の平面図であり、図3Cは、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ2、リードフレーム3、複数のワイヤ4及び樹脂11、12を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5、各サポートバー6、各第1リード7及び各第2リード8は、第1実施形態と同様である。図3Aでは、各ワイヤ4、樹脂11、12の図示を省略し、樹脂11、12のそれぞれの側面の位置を太線で示している。図3Cでは、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図3A〜図3Cにおいて、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
Second Embodiment
3A to 3C are diagrams illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the second embodiment. 3A and 3B are plan views of the semiconductor package 1, and FIG. 3C is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a semiconductor chip 2, a lead frame 3, a plurality of wires 4, and resins 11 and 12. The lead frame 3 includes a stage 5, a plurality of support bars 6, a plurality of first leads 7, and a plurality of second leads 8. The semiconductor chip 2, the lead frame 3, each wire 4, the stage 5, each support bar 6, each first lead 7, and each second lead 8 are the same as in the first embodiment. In FIG. 3A, illustration of each wire 4 and resin 11 and 12 is abbreviate | omitted, and the position of each side surface of resin 11 and 12 is shown by the thick line. In FIG. 3C, each support bar 6 and each first lead 7 overlap each other, and therefore the illustration of each support bar 6 is omitted. 3A to 3C, dotted lines indicate the outer shape of the resin 105 included in the semiconductor package 101 illustrated in FIGS. 1A to 1C.

各第1リード7の幅は、半導体チップ2に近づくほど狭くなる。樹脂11の側面の位置が半導体チップ2に近くなり過ぎると、各第1リード7が樹脂11の重量を支えきれずに
、各第1リード7が撓む。各第1リード7が撓む場合、樹脂11が沈み込んでしまう。そのため、半導体パッケージ1を基板に実装する場合、樹脂11が基板に接触したり、各第2リード8が基板から浮いたりして、接触不良を起こす可能性がある。そこで、第2実施形態では、樹脂11の周囲に樹脂12を配置して、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士を樹脂12によって固定する。すなわち、樹脂11の外形より外側の第1リード7同士を樹脂12によって固定する。これにより、各第1リード7の撓みが抑止され、樹脂11の沈み込みを抑止することができる。樹脂12は、第2樹脂の一例である。
The width of each first lead 7 becomes narrower as it approaches the semiconductor chip 2. If the position of the side surface of the resin 11 is too close to the semiconductor chip 2, each first lead 7 is bent without being able to support the weight of the resin 11. When each first lead 7 bends, the resin 11 sinks. Therefore, when the semiconductor package 1 is mounted on the substrate, the resin 11 may come into contact with the substrate, or each second lead 8 may float from the substrate, causing a contact failure. Therefore, in the second embodiment, the resin 12 is arranged around the resin 11, and the first leads 7 protruding from the side surfaces of the resin 11 are fixed by the resin 12. That is, the first leads 7 outside the outer shape of the resin 11 are fixed by the resin 12. Thereby, the bending of each first lead 7 is suppressed, and the sinking of the resin 11 can be suppressed. The resin 12 is an example of a second resin.

樹脂12は、平面視で、樹脂11の周囲に配置され、かつ、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に配置されている。また、樹脂12は、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分と重なるように配置されていてもよい。すなわち、樹脂12は、各第1リード7と各第2リード8との境界部分を覆っていてもよい。樹脂11と樹脂12とは離間した状態で配置され、樹脂11と樹脂12とは繋がっていない。   The resin 12 is disposed around the resin 11 in a plan view, and is disposed at a position approaching the semiconductor chip 2 from a boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8. Further, the resin 12 may be disposed so as to overlap with a boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in a plan view. That is, the resin 12 may cover the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8. The resin 11 and the resin 12 are arranged in a separated state, and the resin 11 and the resin 12 are not connected.

樹脂12が、平面視で、樹脂11の周囲を囲むようにして、各第1リード7を覆っている。したがって、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12によって連結されることにより、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12によって固定される。図3A〜図3Cでは、各サポートバー6が、樹脂12が配置されている部分まで伸びている例を示している。第2実施形態は、図3A〜図3Cに示す例に限定されない。各サポートバー6が、樹脂12が配置されている部分まで伸びていなくてもよい。また、複数の樹脂12が、平面視で、樹脂11の周囲に配置されてもよい。例えば、樹脂11の周囲を囲むようにして、複数の樹脂12が離間した状態で配置され、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が複数の樹脂12によって連結されてもよい。この場合、複数の樹脂12は、離間しており、複数の樹脂12同士は繋がっていない。   The resin 12 covers each first lead 7 so as to surround the periphery of the resin 11 in plan view. Therefore, the first leads 7 protruding from the side surfaces of the resin 11 are connected by the resin 12, whereby the first leads 7 protruding from the side surfaces of the resin 11 are fixed by the resin 12. 3A to 3C show an example in which each support bar 6 extends to a portion where the resin 12 is disposed. The second embodiment is not limited to the example shown in FIGS. 3A to 3C. Each support bar 6 may not extend to a portion where the resin 12 is disposed. A plurality of resins 12 may be disposed around the resin 11 in a plan view. For example, a plurality of resins 12 may be arranged so as to surround the resin 11 and the first leads 7 protruding from the side surface of the resin 11 may be connected by the plurality of resins 12. In this case, the plurality of resins 12 are separated from each other, and the plurality of resins 12 are not connected to each other.

樹脂11と樹脂12とが格子状に繋がっていてもよい。例えば、半導体チップ2に近づく方向に向かって、樹脂12が複数の突起部を有し、樹脂12の各突起部によって樹脂11と樹脂12とが繋がってもよい。例えば、半導体チップ2と離れる方向に向かって、樹脂11が複数の突起部を有し、樹脂11の各突起部によって樹脂11と樹脂12とが繋がってもよい。この場合、平面視で、樹脂11と樹脂12との間に、複数の孔が開口されることになる。各孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。   The resin 11 and the resin 12 may be connected in a lattice shape. For example, the resin 12 may have a plurality of protrusions toward the semiconductor chip 2, and the resin 11 and the resin 12 may be connected by the protrusions of the resin 12. For example, the resin 11 may have a plurality of protrusions in the direction away from the semiconductor chip 2, and the resin 11 and the resin 12 may be connected by the protrusions of the resin 11. In this case, a plurality of holes are opened between the resin 11 and the resin 12 in plan view. Each hole may have a rectangular shape or a circular shape in plan view, or may have another shape.

樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂12は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂12の各貫通孔は、樹脂12の厚み方向において樹脂12を貫通している。樹脂12の各貫通孔は、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂12の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂12が複数の貫通孔を有することにより、樹脂12の量が減少する。また、樹脂12が複数の貫通孔を有する場合、半導体パッケージ1の側面から見て、樹脂12が存在する部分と、樹脂12が存在しない部分とが互い違いになっていてもよい。更に、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂12の上部分の膜厚と樹脂12の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂12の上部分の膜厚は、例えば、第1リード7の上に形成された樹脂12の膜厚である。樹脂12の下部分の膜厚は、例えば、第1リード7の下に形成された樹脂12の膜厚である。   The resin 11 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 11 is the same as each through hole of the resin 11 in the first embodiment. The resin 12 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 12 passes through the resin 12 in the thickness direction of the resin 12. Each through hole of the resin 12 is disposed between the adjacent first leads 7 in plan view. Each through hole of the resin 12 may have a rectangular shape or a circular shape in plan view, or may have another shape. Since the resin 12 has a plurality of through holes, the amount of the resin 12 is reduced. Further, when the resin 12 has a plurality of through holes, the portion where the resin 12 exists and the portion where the resin 12 does not exist may be alternated when viewed from the side surface of the semiconductor package 1. Furthermore, the film thickness of the upper part of the resin 11 and the film thickness of the lower part of the resin 11 may be the same or different. The film thickness of the upper part of the resin 12 and the film thickness of the lower part of the resin 12 may be the same or different. The film thickness of the upper part of the resin 12 is, for example, the film thickness of the resin 12 formed on the first lead 7. The film thickness of the lower part of the resin 12 is, for example, the film thickness of the resin 12 formed under the first lead 7.

図4A〜図4Cに示すように、樹脂12の外側に樹脂13を配置してもよい。図4A、図4B及び図4Cは、第2実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図
4A〜図4Cは、樹脂11の周囲に2段の樹脂12、13を配置した例を示す図である。図4A及び図4Bは、半導体パッケージ1の平面図であり、図4Cは、半導体パッケージ1の断面図である。図4Aでは、各ワイヤ4、樹脂11〜13の図示を省略し、樹脂11〜13のそれぞれの側面の位置を太線で示している。図4Cでは、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図4Cにおいて、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
As shown in FIGS. 4A to 4C, the resin 13 may be disposed outside the resin 12. 4A, 4B, and 4C are diagrams illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the second embodiment. 4A to 4C are diagrams illustrating an example in which two stages of resins 12 and 13 are arranged around the resin 11. 4A and 4B are plan views of the semiconductor package 1, and FIG. 4C is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. In FIG. 4A, illustration of each wire 4 and resin 11-13 is abbreviate | omitted, and the position of each side surface of resin 11-13 is shown by the thick line. In FIG. 4C, since each support bar 6 and each first lead 7 overlap, illustration of each support bar 6 is omitted. In FIG. 4C, a dotted line shows the outer shape of the resin 105 provided in the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C.

樹脂12、13が、樹脂11の周囲を囲むようにして、各第1リード7を覆っている。したがって、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12、13によって連結されることにより、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12、13によって固定される。樹脂13は、樹脂12の周囲を囲むようにして、各第1リード7を覆っている。したがって、樹脂12は、樹脂11と樹脂13との間に配置されている。樹脂12と樹脂13との間隔は、樹脂11と樹脂12との間隔と同じであってもよいし、異なっていてもよい。   Resins 12 and 13 cover the first leads 7 so as to surround the periphery of the resin 11. Accordingly, the first leads 7 protruding from the side surfaces of the resin 11 are connected by the resins 12 and 13, whereby the first leads 7 protruding from the side surfaces of the resin 11 are fixed by the resins 12 and 13. The resin 13 covers each first lead 7 so as to surround the periphery of the resin 12. Therefore, the resin 12 is disposed between the resin 11 and the resin 13. The interval between the resin 12 and the resin 13 may be the same as or different from the interval between the resin 11 and the resin 12.

樹脂13は、平面視で、樹脂12の周囲に配置され、かつ、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に配置されている。また、樹脂13は、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分と重なるように配置されていてもよい。すなわち、樹脂13は、各第1リード7と各第2リード8との境界部分を覆っていてもよい。   The resin 13 is disposed around the resin 12 in a plan view, and is disposed at a position approaching the semiconductor chip 2 from a boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8. Further, the resin 13 may be arranged so as to overlap with a boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in a plan view. That is, the resin 13 may cover the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8.

樹脂12、13のそれぞれが、平面視で、樹脂11の周囲を囲むようにして、各第1リード7を覆っている。したがって、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12、13によって連結されることにより、樹脂11の側面から突き出ている第1リード7同士が樹脂12、13によって固定される。樹脂11と樹脂12とが離間した状態で配置され、樹脂11と樹脂12とが繋がっていなくてもよい。また、第1実施形態と同様に、樹脂11と樹脂12とが格子状に繋がっていてもよい。樹脂12と樹脂13とが離間した状態で配置され、樹脂12と樹脂13とが繋がっていなくてもよい。また、樹脂12と樹脂13とが格子状に繋がっていてもよい。図4A〜図4Cには、各サポートバー6が、樹脂12、13が配置されている部分まで伸びている例が示されている。第2実施形態は、図4A〜図4Cに示す例に限定されない。各サポートバー6は、樹脂12、13が配置されている部分まで伸びていなくてもよい。また、樹脂11の周囲に3段以上の樹脂を配置するようにしてもよい。   Each of the resins 12 and 13 covers each first lead 7 so as to surround the periphery of the resin 11 in a plan view. Accordingly, the first leads 7 protruding from the side surfaces of the resin 11 are connected by the resins 12 and 13, whereby the first leads 7 protruding from the side surfaces of the resin 11 are fixed by the resins 12 and 13. The resin 11 and the resin 12 are arranged in a separated state, and the resin 11 and the resin 12 may not be connected. Further, similarly to the first embodiment, the resin 11 and the resin 12 may be connected in a lattice shape. The resin 12 and the resin 13 are arranged in a separated state, and the resin 12 and the resin 13 may not be connected. Further, the resin 12 and the resin 13 may be connected in a lattice shape. 4A to 4C show an example in which each support bar 6 extends to a portion where the resins 12 and 13 are arranged. The second embodiment is not limited to the examples shown in FIGS. 4A to 4C. Each support bar 6 may not extend to a portion where the resins 12 and 13 are disposed. Further, three or more stages of resins may be arranged around the resin 11.

樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂12は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂13は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂13の各貫通孔は、樹脂13の厚み方向において樹脂13を貫通している。樹脂13の各貫通孔は、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂13の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂13が複数の貫通孔を有することにより、樹脂13の量が減少する。また、樹脂13が複数の貫通孔を有する場合、半導体パッケージ1の側面から見て、樹脂13が存在する部分と、樹脂13が存在しない部分とが互い違いになっていてもよい。更に、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂12の上部分の膜厚と樹脂12の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂13の上部分の膜厚と樹脂13の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂13の上部分の膜厚は、例えば、第1リード7の上に形成された樹脂13の膜厚である。樹脂13の下部分の膜厚は、例えば、第1リード7の下に形成された樹脂13の膜厚である。   The resin 11 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 11 is the same as each through hole of the resin 11 in the first embodiment. The resin 12 may have a plurality of through holes. The resin 13 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 13 passes through the resin 13 in the thickness direction of the resin 13. Each through hole of the resin 13 is disposed between the adjacent first leads 7 in plan view. Each through hole of the resin 13 may have a rectangular shape or a circular shape in plan view, or may have another shape. Since the resin 13 has a plurality of through holes, the amount of the resin 13 is reduced. Further, when the resin 13 has a plurality of through holes, the portion where the resin 13 exists and the portion where the resin 13 does not exist may be alternated when viewed from the side surface of the semiconductor package 1. Furthermore, the film thickness of the upper part of the resin 11 and the film thickness of the lower part of the resin 11 may be the same or different. The film thickness of the upper part of the resin 12 and the film thickness of the lower part of the resin 12 may be the same or different. The film thickness of the upper part of the resin 13 and the film thickness of the lower part of the resin 13 may be the same or different. The film thickness of the upper portion of the resin 13 is, for example, the film thickness of the resin 13 formed on the first lead 7. The film thickness of the lower part of the resin 13 is, for example, the film thickness of the resin 13 formed under the first lead 7.

図3A〜図3Cでは、樹脂11の厚さと、樹脂12の厚さとが同程度である例を示している。第2実施形態は、図3A〜図3Cに示す例に限定されない。樹脂11の厚さと、樹脂12の厚さとが異なってもよい。例えば、図5に示すように、樹脂12の厚さが、樹脂11の厚さよりも薄くてもよい。図5は、第2実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図5は、半導体パッケージ1の断面図である。図5では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図5において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。   3A to 3C show an example in which the thickness of the resin 11 and the thickness of the resin 12 are approximately the same. The second embodiment is not limited to the example shown in FIGS. 3A to 3C. The thickness of the resin 11 and the thickness of the resin 12 may be different. For example, as shown in FIG. 5, the resin 12 may be thinner than the resin 11. FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the second embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. In FIG. 5, since each support bar 6 and each first lead 7 overlap each other, illustration of each support bar 6 is omitted. In FIG. 5, the dotted line indicates the outer shape of the resin 105 included in the semiconductor package 101 illustrated in FIGS. 1A to 1C.

図4A〜図4Cでは、樹脂11の厚さと、樹脂12、13のそれぞれの厚さとが同程度である例を示している。第2実施形態は、図4A〜図4Cに示す例に限定されない。樹脂11の厚さと、樹脂12、13のそれぞれの厚さとが異なってもよい。例えば、図6に示すように、樹脂12、13のそれぞれの厚さが、樹脂11の厚さよりも薄くてもよい。樹脂12の厚さと樹脂13の厚さとが異なっていてもよい。図6は、第2実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図6は、半導体パッケージ1の断面図である。図6では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図6において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。   4A to 4C show examples in which the thickness of the resin 11 and the thicknesses of the resins 12 and 13 are approximately the same. The second embodiment is not limited to the examples shown in FIGS. 4A to 4C. The thickness of the resin 11 and the thicknesses of the resins 12 and 13 may be different. For example, as shown in FIG. 6, each of the resins 12 and 13 may be thinner than the resin 11. The thickness of the resin 12 and the thickness of the resin 13 may be different. FIG. 6 is a diagram illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the second embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. In FIG. 6, each support bar 6 and each first lead 7 overlap each other, and therefore each support bar 6 is not shown. In FIG. 6, the dotted line indicates the outer shape of the resin 105 included in the semiconductor package 101 illustrated in FIGS. 1A to 1C.

〈第3実施形態〉
図7は、第3実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図7は、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ2、リードフレーム3、複数のワイヤ4及び樹脂11、12、14を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5、各サポートバー6、各第1リード7及び各第2リード8は、第1実施形態と同様である。図7では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図7において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
<Third Embodiment>
FIG. 7 is a diagram illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the third embodiment. FIG. 7 is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a semiconductor chip 2, a lead frame 3, a plurality of wires 4, and resins 11, 12, and 14. The lead frame 3 includes a stage 5, a plurality of support bars 6, a plurality of first leads 7, and a plurality of second leads 8. The semiconductor chip 2, the lead frame 3, each wire 4, the stage 5, each support bar 6, each first lead 7, and each second lead 8 are the same as in the first embodiment. In FIG. 7, each support bar 6 and each first lead 7 overlap each other, and therefore the illustration of each support bar 6 is omitted. In FIG. 7, the dotted line indicates the outer shape of the resin 105 included in the semiconductor package 101 illustrated in FIGS. 1A to 1C.

樹脂11と樹脂12との間に樹脂14が配置されている。したがって、樹脂14は、平面視で、樹脂11の周囲に配置され、かつ、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に配置されている。樹脂14は、各第1リードを部分的に覆っている。樹脂11と樹脂12とが樹脂14によって繋がっている。よって、樹脂11、12、14が、一体的に形成されている。樹脂14の厚さと、樹脂11、12のそれぞれの厚さとが異なっている。例えば、図7に示すように、樹脂14の厚さは、樹脂11、12のそれぞれの厚さよりも薄くもてよい。樹脂11の厚さと、樹脂12の厚さとが同じであってもよいし、異なっていてもよい。例えば、樹脂12の厚さが、樹脂11の厚さよりも薄くてもよい。樹脂14は、第3樹脂の一例である。   A resin 14 is disposed between the resin 11 and the resin 12. Accordingly, the resin 14 is disposed around the resin 11 in a plan view and is disposed at a position approaching the semiconductor chip 2 from the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8. The resin 14 partially covers each first lead. Resin 11 and resin 12 are connected by resin 14. Therefore, the resins 11, 12, and 14 are integrally formed. The thickness of the resin 14 is different from the thickness of each of the resins 11 and 12. For example, as shown in FIG. 7, the thickness of the resin 14 may be smaller than the thickness of each of the resins 11 and 12. The thickness of the resin 11 and the thickness of the resin 12 may be the same or different. For example, the resin 12 may be thinner than the resin 11. The resin 14 is an example of a third resin.

一体的に形成された樹脂11、12、14を、第3実施形態では、樹脂21と表記する。したがって、樹脂21が、半導体チップ2、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を覆っている。また、樹脂21が、各第1リードを部分的に覆っている。樹脂21の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に位置している。したがって、複数の第1リード7が、樹脂21の側面から突き出ている。すなわち、各第1リード7の一部が樹脂21内に存在し、樹脂21の側面から各第1リード7の一部が突き出ている。また、樹脂21の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分と重なっていてもよい。すなわち、樹脂21は、各第1リード7と各第2リード8との境界部分を覆っていてもよい。   The integrally formed resins 11, 12, and 14 are referred to as a resin 21 in the third embodiment. Therefore, the resin 21 covers the semiconductor chip 2, the wires 4, the stage 5, and the support bars 6. Resin 21 partially covers each first lead. The side surface of the resin 21 is located at a position approaching the semiconductor chip 2 from a boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in plan view. Therefore, the plurality of first leads 7 protrude from the side surface of the resin 21. That is, a part of each first lead 7 exists in the resin 21, and a part of each first lead 7 protrudes from the side surface of the resin 21. Further, the side surface of the resin 21 may overlap with a boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in a plan view. That is, the resin 21 may cover the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8.

樹脂21は、半導体チップ2の周囲に凹部31を有している。樹脂21は、半導体チップ2の周囲を囲むようにして凹部31を有してもよい。樹脂21の上面に凹部31が形成されてもよい。樹脂21の下面に凹部31が形成されてもよい。樹脂21の上面及び下面に凹部31が形成されてもよい。図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図7に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂21の量が減少する。   The resin 21 has a recess 31 around the semiconductor chip 2. The resin 21 may have a recess 31 so as to surround the semiconductor chip 2. A recess 31 may be formed on the upper surface of the resin 21. A recess 31 may be formed on the lower surface of the resin 21. Concave portions 31 may be formed on the upper and lower surfaces of the resin 21. Compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C, the amount of the resin 21 covering the semiconductor chip 2 is reduced in the semiconductor package 1 shown in FIG. 7.

樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂12は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂12の貫通孔は、第2実施形態における樹脂12の各貫通孔と同様である。樹脂14は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂14の各貫通孔は、樹脂14を貫通している。樹脂14の各貫通孔は、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂14の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂14が複数の貫通孔を有することにより、樹脂14の量が減少する。したがって、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図7に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂21の量が更に減少する。   The resin 11 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 11 is the same as each through hole of the resin 11 in the first embodiment. The resin 12 may have a plurality of through holes. The through holes of the resin 12 are the same as the through holes of the resin 12 in the second embodiment. The resin 14 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 14 passes through the resin 14. Each through hole of the resin 14 is disposed between the adjacent first leads 7 in plan view. Each through hole of the resin 14 may have a rectangular shape or a circular shape in plan view, or may have another shape. Since the resin 14 has a plurality of through holes, the amount of the resin 14 is reduced. Therefore, as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C, the amount of the resin 21 covering the semiconductor chip 2 is further reduced in the semiconductor package 1 shown in FIG.

図8は、第3実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図8は、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ2、リードフレーム3、複数のワイヤ4及び樹脂11〜15を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5、各サポートバー6、各第1リード7及び各第2リード8は、第1実施形態と同様である。図8では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図8において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。   FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the third embodiment. FIG. 8 is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a semiconductor chip 2, a lead frame 3, a plurality of wires 4, and resins 11 to 15. The lead frame 3 includes a stage 5, a plurality of support bars 6, a plurality of first leads 7, and a plurality of second leads 8. The semiconductor chip 2, the lead frame 3, each wire 4, the stage 5, each support bar 6, each first lead 7, and each second lead 8 are the same as in the first embodiment. In FIG. 8, each support bar 6 and each first lead 7 overlap each other, and therefore each support bar 6 is not shown. In FIG. 8, the dotted line indicates the outer shape of the resin 105 included in the semiconductor package 101 illustrated in FIGS. 1A to 1C.

樹脂11と樹脂12との間に樹脂14が配置され、樹脂12と樹脂13との間に樹脂15が配置されている。したがって、樹脂14、15は、平面視で、樹脂11の周囲に配置され、かつ、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に配置されている。樹脂14、15は、各第1リード7を部分的に覆っている。樹脂11と樹脂12とが樹脂14によって繋がり、樹脂12と樹脂13とが樹脂15によって繋がっている。よって、樹脂11〜15が、一体的に形成されている。樹脂14の厚さと、樹脂11、12のそれぞれの厚さとが異なっている。例えば、図8に示すように、樹脂14の厚さは、樹脂11、12のそれぞれの厚さよりも薄くてもよい。樹脂15の厚さと、樹脂12、13のそれぞれの厚さとが異なっている。例えば、図8に示すように、樹脂15の厚さは、樹脂12、13のそれぞれの厚さよりも薄くてもよい。樹脂11〜13の厚さはそれぞれ異なっていてもよい。例えば、樹脂12、13のそれぞれの厚さが、樹脂11の厚さよりも薄くてもよい。   A resin 14 is disposed between the resin 11 and the resin 12, and a resin 15 is disposed between the resin 12 and the resin 13. Accordingly, the resins 14 and 15 are arranged around the resin 11 in a plan view and are arranged at positions approaching the semiconductor chip 2 from the boundary portions between the first leads 7 and the second leads 8. Yes. Resins 14 and 15 partially cover each first lead 7. Resin 11 and resin 12 are connected by resin 14, and resin 12 and resin 13 are connected by resin 15. Therefore, the resins 11 to 15 are integrally formed. The thickness of the resin 14 is different from the thickness of each of the resins 11 and 12. For example, as shown in FIG. 8, the thickness of the resin 14 may be smaller than the thickness of each of the resins 11 and 12. The thickness of the resin 15 is different from the thickness of each of the resins 12 and 13. For example, as shown in FIG. 8, the thickness of the resin 15 may be smaller than the thickness of each of the resins 12 and 13. The thicknesses of the resins 11 to 13 may be different from each other. For example, the thickness of each of the resins 12 and 13 may be smaller than the thickness of the resin 11.

一体的に形成された樹脂11〜15を、以下では、樹脂22と表記する。したがって、樹脂22が、半導体チップ2、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を覆っている。また、樹脂22が、各第1リード7を部分的に覆っている。樹脂22の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に位置している。したがって、複数の第1リード7が、樹脂22の側面から突き出ている。すなわち、各第1リード7の一部が樹脂22内に存在し、樹脂22の側面から各第1リード7の一部が突き出ている。また、樹脂22の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分と重なっていてもよい。すなわち、樹脂22は、各第1リード7と各第2リード8との境界部分を覆っていてもよい。   Hereinafter, the integrally formed resins 11 to 15 are referred to as a resin 22. Therefore, the resin 22 covers the semiconductor chip 2, the wires 4, the stage 5, and the support bars 6. Resin 22 partially covers each first lead 7. The side surface of the resin 22 is located at a position approaching the semiconductor chip 2 from the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in plan view. Therefore, the plurality of first leads 7 protrude from the side surface of the resin 22. That is, a part of each first lead 7 exists in the resin 22, and a part of each first lead 7 protrudes from the side surface of the resin 22. Further, the side surface of the resin 22 may overlap with a boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in a plan view. That is, the resin 22 may cover the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8.

樹脂22は、半導体チップ2の周囲に凹部32、33を有している。樹脂22は、半導体チップ2の周囲を囲むようにして凹部32、33を有してもよい。樹脂22の上面に凹部32、33が形成されてもよい。樹脂22の上面に複数の凹部32、複数の凹部33が形成されてもよい。樹脂22の下面に凹部32、33が形成されてもよい。樹脂22の下面に複数の凹部32、複数の凹部33が形成されてもよい。樹脂22の上面及び下面に凹部32、33が形成されてもよい。樹脂22の上面及び下面に複数の凹部32、複数の凹部33が形成されてもよい。図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図8に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂22の量が減少する。その結果、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図8に示す半導体パッケージ1の重量が減少する。半導体パッケージ1の側面から見て、樹脂11が存在する部分と、樹脂11が存在しない部分とが互い違いになっていてもよい。更に、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂12の上部分の膜厚と樹脂12の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂13の上部分の膜厚と樹脂13の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。   The resin 22 has recesses 32 and 33 around the semiconductor chip 2. The resin 22 may have recesses 32 and 33 so as to surround the semiconductor chip 2. Concave portions 32 and 33 may be formed on the upper surface of the resin 22. A plurality of recesses 32 and a plurality of recesses 33 may be formed on the upper surface of the resin 22. Concave portions 32 and 33 may be formed on the lower surface of the resin 22. A plurality of recesses 32 and a plurality of recesses 33 may be formed on the lower surface of the resin 22. Concave portions 32 and 33 may be formed on the upper and lower surfaces of the resin 22. A plurality of recesses 32 and a plurality of recesses 33 may be formed on the upper and lower surfaces of the resin 22. Compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C, the amount of the resin 22 covering the semiconductor chip 2 is reduced in the semiconductor package 1 shown in FIG. 8. As a result, the weight of the semiconductor package 1 shown in FIG. 8 is reduced as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C. When viewed from the side surface of the semiconductor package 1, the portion where the resin 11 exists and the portion where the resin 11 does not exist may be alternated. Furthermore, the film thickness of the upper part of the resin 11 and the film thickness of the lower part of the resin 11 may be the same or different. The film thickness of the upper part of the resin 12 and the film thickness of the lower part of the resin 12 may be the same or different. The film thickness of the upper part of the resin 13 and the film thickness of the lower part of the resin 13 may be the same or different.

樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂12は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂12の貫通孔は、第2実施形態における樹脂12の各貫通孔と同様である。樹脂13は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂13の貫通孔は、第2実施形態における樹脂12の各貫通孔と同様である。樹脂14は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂15は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂15の各貫通孔は、樹脂15を貫通している。樹脂15の各貫通孔は、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂15の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂15が複数の貫通孔を有することにより、樹脂15の量が減少する。したがって、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図8に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂22の量が更に減少する。その結果、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図8に示す半導体パッケージ1の重量が更に減少する。   The resin 11 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 11 is the same as each through hole of the resin 11 in the first embodiment. The resin 12 may have a plurality of through holes. The through holes of the resin 12 are the same as the through holes of the resin 12 in the second embodiment. The resin 13 may have a plurality of through holes. The through holes of the resin 13 are the same as the through holes of the resin 12 in the second embodiment. The resin 14 may have a plurality of through holes. The resin 15 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 15 passes through the resin 15. Each through hole of the resin 15 is disposed between the adjacent first leads 7 in plan view. Each through hole of the resin 15 may have a rectangular shape or a circular shape in plan view, or may have another shape. Since the resin 15 has a plurality of through holes, the amount of the resin 15 is reduced. Therefore, as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C, the amount of the resin 22 covering the semiconductor chip 2 is further reduced in the semiconductor package 1 shown in FIG. As a result, the weight of the semiconductor package 1 shown in FIG. 8 is further reduced as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C.

〈第4実施形態〉
図9は、第4実施形態に係る半導体パッケージ1の一例を示す図である。図9は、半導体パッケージ1の断面図である。半導体パッケージ1は、半導体チップ2、リードフレーム3、複数のワイヤ4及び樹脂11、16を備える。リードフレーム3は、ステージ5、複数のサポートバー6、複数の第1リード7及び複数の第2リード8を有する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5、各サポートバー6、各第1リード7及び各第2リード8は、第1実施形態と同様である。図9では、各サポートバー6と各第1リード7とが重なっているため、各サポートバー6の図示を省略している。図9において、点線は、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101が備える樹脂105の外形を示している。
<Fourth embodiment>
FIG. 9 is a diagram illustrating an example of the semiconductor package 1 according to the fourth embodiment. FIG. 9 is a cross-sectional view of the semiconductor package 1. The semiconductor package 1 includes a semiconductor chip 2, a lead frame 3, a plurality of wires 4, and resins 11 and 16. The lead frame 3 includes a stage 5, a plurality of support bars 6, a plurality of first leads 7, and a plurality of second leads 8. The semiconductor chip 2, the lead frame 3, each wire 4, the stage 5, each support bar 6, each first lead 7, and each second lead 8 are the same as in the first embodiment. In FIG. 9, each support bar 6 and each first lead 7 overlap each other, and therefore each support bar 6 is not shown. In FIG. 9, the dotted line indicates the outer shape of the resin 105 included in the semiconductor package 101 illustrated in FIGS. 1A to 1C.

樹脂11が、半導体チップ2、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を覆っている。また、樹脂11が、各第1リード7を部分的に覆っている。樹脂11の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置に位置している。樹脂16が、各第1リード7を部分的に覆っている。したがって、複数の第1リード7が、樹脂11の側面から突き出ており、樹脂11の側面から突き出た複数の第1リード7の部分を樹脂16が覆っている。すなわち、各第1リード7の一部が樹脂11内に存在し、各第1リード7の一部が樹脂16内に存在している。樹脂16は、樹脂11の周囲に配置され、樹脂11と繋がっている。よって、樹脂11、16が一体的に形成されている。樹脂11の厚さと、樹脂16の厚さとが異なっている。図9では、
樹脂16の厚さが、樹脂11の厚さよりも薄い。したがって、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図9に示す半導体パッケージ1において、半導体チップ2を覆う樹脂11、16の合計の樹脂量が減少する。その結果、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図9に示す半導体パッケージ1の重量が減少する。樹脂16は、第4樹脂の一例である。
Resin 11 covers semiconductor chip 2, each wire 4, stage 5, and each support bar 6. Resin 11 partially covers each first lead 7. The side surface of the resin 11 is located at a position approaching the semiconductor chip 2 from the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in plan view. Resin 16 partially covers each first lead 7. Therefore, the plurality of first leads 7 protrude from the side surface of the resin 11, and the resin 16 covers the portions of the plurality of first leads 7 protruding from the side surface of the resin 11. That is, a part of each first lead 7 exists in the resin 11 and a part of each first lead 7 exists in the resin 16. The resin 16 is arranged around the resin 11 and connected to the resin 11. Therefore, the resins 11 and 16 are integrally formed. The thickness of the resin 11 is different from the thickness of the resin 16. In FIG.
The thickness of the resin 16 is thinner than the thickness of the resin 11. Therefore, compared to the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C, the total resin amount of the resins 11 and 16 covering the semiconductor chip 2 is reduced in the semiconductor package 1 shown in FIG. As a result, the weight of the semiconductor package 1 shown in FIG. 9 is reduced as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C. The resin 16 is an example of a fourth resin.

例えば、樹脂11が、各ワイヤ4と各第1リード7との接続部分を覆い、樹脂16が、各ワイヤ4と各第1リード7との接続部分よりも外側における各第1リード7を部分的に覆ってもよい。樹脂16の側面が、平面視で、樹脂11の側面の位置よりも半導体チップ2に対して離れた位置にある。樹脂16の側面が、平面視で、各第1リード7と各第2リード8との境界部分から半導体チップ2に対して近づく位置にあってもよい。   For example, the resin 11 covers the connection portion between each wire 4 and each first lead 7, and the resin 16 partially covers each first lead 7 outside the connection portion between each wire 4 and each first lead 7. May be covered. The side surface of the resin 16 is located farther from the semiconductor chip 2 than the position of the side surface of the resin 11 in plan view. The side surface of the resin 16 may be at a position approaching the semiconductor chip 2 from the boundary portion between each first lead 7 and each second lead 8 in plan view.

樹脂11は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂11の各貫通孔は、第1実施形態における樹脂11の各貫通孔と同様である。樹脂16は、複数の貫通孔を有してもよい。樹脂16の各貫通孔は、例えば、平面視で、隣接する第1リード7の間に配置されている。樹脂16の各貫通孔は、平面視で、矩形形状又は円形形状であってもよいし、他の形状であってもよい。樹脂16が複数の貫通孔を有することにより、樹脂16の量が減少する。その結果、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、図9に示す半導体パッケージ1の重量が更に減少する。また、樹脂11の上部分の膜厚と樹脂11の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂16の上部分の膜厚と樹脂16の下部分の膜厚とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。樹脂16の上部分の膜厚は、例えば、第1リード7の上に形成された樹脂16の膜厚である。樹脂16の下部分の膜厚は、例えば、第1リード7の下に形成された樹脂16の膜厚である。   The resin 11 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 11 is the same as each through hole of the resin 11 in the first embodiment. The resin 16 may have a plurality of through holes. Each through hole of the resin 16 is disposed between the adjacent first leads 7 in a plan view, for example. Each through hole of the resin 16 may have a rectangular shape or a circular shape in plan view, or may have another shape. Since the resin 16 has a plurality of through holes, the amount of the resin 16 is reduced. As a result, the weight of the semiconductor package 1 shown in FIG. 9 is further reduced as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C. Moreover, the film thickness of the upper part of the resin 11 and the film thickness of the lower part of the resin 11 may be the same or different. The film thickness of the upper part of the resin 16 and the film thickness of the lower part of the resin 16 may be the same or different. The film thickness of the upper portion of the resin 16 is, for example, the film thickness of the resin 16 formed on the first lead 7. The film thickness of the lower part of the resin 16 is, for example, the film thickness of the resin 16 formed under the first lead 7.

第2〜第4実施形態によれば、第1実施形態と同様に、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少するため、半導体パッケージ1内の応力が減少する。したがって、半導体パッケージ1を実装する際のリフロー処理において、半導体チップ2と樹脂11との剥離が抑止される。その結果、半導体パッケージ1の実装ランクが向上する。また、半導体チップ2を覆う樹脂11の量が減少するため、図1A〜図1Cに示す半導体パッケージ101と比較して、半導体パッケージ1の重量が減少する。第1〜第4実施形態によれば、リードフレーム3の変更は無いため、半導体パッケージ1を実装する基板を変更せずに、半導体パッケージ1を基板に実装することができる。   According to the second to fourth embodiments, as in the first embodiment, the amount of the resin 11 covering the semiconductor chip 2 is reduced, so that the stress in the semiconductor package 1 is reduced. Therefore, in the reflow process when the semiconductor package 1 is mounted, the separation between the semiconductor chip 2 and the resin 11 is suppressed. As a result, the mounting rank of the semiconductor package 1 is improved. Further, since the amount of the resin 11 covering the semiconductor chip 2 is reduced, the weight of the semiconductor package 1 is reduced as compared with the semiconductor package 101 shown in FIGS. 1A to 1C. According to the first to fourth embodiments, since the lead frame 3 is not changed, the semiconductor package 1 can be mounted on the substrate without changing the substrate on which the semiconductor package 1 is mounted.

〈樹脂の形成法〉
樹脂11〜16、21、22の形成方法について説明する。トランスファーモールド法又はコンプレッションモールド法により樹脂封止を行うことにより、樹脂11〜16、21、22が形成される。トランスファーモールド法では、半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を金型内に載置し、金型に形成された穴から封止用樹脂を金型内に注入して、加熱処理を行うことにより、樹脂封止を行う。上金型と下金型とを合わせることにより、一つの金型となる。封止用樹脂は、例えば、熱硬化性のエポキシ系樹脂である。トランスファーモールド法は、圧力を掛けて、金型内に封止用樹脂を注入するため、各第1リード7の上下面を同時に樹脂封止することができ、様々な種類の金型に対応することができる。
<Resin formation method>
A method for forming the resins 11 to 16, 21, and 22 will be described. Resins 11 to 16, 21, and 22 are formed by performing resin sealing by a transfer molding method or a compression molding method. In the transfer molding method, the semiconductor chip 2, the lead frame 3, each wire 4, the stage 5, and each support bar 6 are placed in a mold, and a sealing resin is put into the mold from a hole formed in the mold. The resin sealing is performed by injecting and performing heat treatment. By combining the upper mold and the lower mold, one mold is obtained. The sealing resin is, for example, a thermosetting epoxy resin. In the transfer molding method, a sealing resin is injected into the mold by applying pressure, so that the upper and lower surfaces of each first lead 7 can be simultaneously resin-sealed, corresponding to various types of molds. be able to.

トランスファーモールド法により、第2実施形態における樹脂11、12を形成する場合、樹脂11と樹脂12とが繋がった状態になる。樹脂11と樹脂12とが繋がった部分の樹脂を切断又は研磨することにより、樹脂11と樹脂12とを分離することができる。例えば、樹脂11と樹脂12とが繋がった部分の樹脂が、各サポートバー6上に形成される場合、樹脂11と樹脂12とが繋がった部分の樹脂を、各サポートバー6とともに切断することができる。金型の上部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂11を形成し、金
型の下部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂12を形成することにより、樹脂11と樹脂12とを分離して形成してもよい。
When the resins 11 and 12 in the second embodiment are formed by the transfer molding method, the resin 11 and the resin 12 are connected. The resin 11 and the resin 12 can be separated by cutting or polishing the resin where the resin 11 and the resin 12 are connected. For example, when the resin of the part where the resin 11 and the resin 12 are connected is formed on each support bar 6, the resin of the part where the resin 11 and the resin 12 are connected may be cut together with the support bars 6. it can. Resin 11 is formed by injecting a sealing resin into the mold from the upper part of the mold, and forming resin 12 by injecting a sealing resin into the mold from the lower part of the mold. And resin 12 may be formed separately.

第2実施形態における樹脂11〜13を形成する場合についても、樹脂11と樹脂12とが繋がった部分の樹脂、及び、樹脂12と樹脂13とが繋がった部分の樹脂を切断又は研磨することにより、樹脂11〜13をそれぞれ分離することができる。特に図4では、通常の金型の横部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂11〜13を形成する場合で、それぞれの樹脂が分離している場合には、内側にある樹脂11〜12の形成は困難である。この場合、金型の上部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂11を形成し、金型の下部から封止用樹脂を金型内に注入して樹脂12を形成することにより、樹脂11と樹脂12とを分離して形成してもよい。樹脂14〜16の形成の説明は省略するが、樹脂14〜16についても、トランスファーモールド法により形成することができる。   Also in the case of forming the resins 11 to 13 in the second embodiment, by cutting or polishing the resin in the portion where the resin 11 and the resin 12 are connected and the resin in the portion where the resin 12 and the resin 13 are connected. The resins 11 to 13 can be separated from each other. In particular, in FIG. 4, in the case where the resin 11 to 13 is formed by injecting a sealing resin into the mold from the side of a normal mold, when the resins are separated, they are inside. Formation of the resins 11 to 12 is difficult. In this case, the sealing resin is injected into the mold from the upper part of the mold to form the resin 11, and the sealing resin is injected into the mold from the lower part of the mold to form the resin 12. Alternatively, the resin 11 and the resin 12 may be formed separately. Although explanation of the formation of the resins 14 to 16 is omitted, the resins 14 to 16 can also be formed by the transfer molding method.

コンプレッションモールド法では、半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を金型内に載置し、金型を封止用樹脂に浸すことにより、樹脂封止を行う。封止用樹脂は、例えば、熱硬化性のエポキシ系樹脂である。コンプレッションモールド法は、封止用樹脂の注入経路がないため、封止用樹脂の無駄が抑止される。また、コンプレッションモールド法は、金型内への封止用樹脂の注入が行われないため、封止用樹脂の注入による各ワイヤ4の変形が抑止される。そのため、コンプレッションモールド法は、各ワイヤ4の細線化に有利である。   In the compression molding method, the semiconductor chip 2, the lead frame 3, each wire 4, the stage 5, and each support bar 6 are placed in a mold, and the mold is immersed in a sealing resin to perform resin sealing. . The sealing resin is, for example, a thermosetting epoxy resin. In the compression molding method, since there is no injection path for the sealing resin, waste of the sealing resin is suppressed. Further, in the compression molding method, since the sealing resin is not injected into the mold, deformation of each wire 4 due to the injection of the sealing resin is suppressed. Therefore, the compression molding method is advantageous for thinning each wire 4.

ここでは、コンプレッションモールド法による樹脂封止の2つの例を説明する。コンプレッションモールド法による樹脂封止の第1の例を説明する。まず、半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を上金型内に載置し、上金型を封止用樹脂に浸して、上金型内までの部分を封止用樹脂で満たす。次いで、加熱処理を行うことにより、樹脂11の上部分を形成する。次に、半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を下金型内に載置し、下金型を封止用樹脂に浸して、下金型内までの部分を封止用樹脂で満たす。次いで、加熱処理を行うことにより、樹脂11の下部分を形成する。   Here, two examples of resin sealing by the compression molding method will be described. A first example of resin sealing by the compression molding method will be described. First, the semiconductor chip 2, the lead frame 3, the wires 4, the stage 5, and the support bars 6 are placed in the upper mold, and the upper mold is dipped in the sealing resin to reach the inside of the upper mold. Is filled with a sealing resin. Next, the upper portion of the resin 11 is formed by performing heat treatment. Next, the semiconductor chip 2, the lead frame 3, the wires 4, the stage 5, and the support bars 6 are placed in the lower mold, and the lower mold is immersed in a sealing resin to reach the lower mold. Fill the part with sealing resin. Next, the lower portion of the resin 11 is formed by performing heat treatment.

コンプレッションモールド法による樹脂封止の第2の例を説明する。半導体チップ2、リードフレーム3、各ワイヤ4、ステージ5及び各サポートバー6を金型内に載置し、金型を封止用樹脂に浸して、金型内を封止用樹脂で満たした後、加熱処理を行うことにより、樹脂封止を行う。上金型と下金型とを合わせることにより、一つの金型となる。下金型には、封止用樹脂が流入する穴が設けられており、上金型には、空気が流出する穴が設けられている。金型を封止用樹脂に浸すことにより、下金型に設けられた穴から封止用樹脂が流入し、上金型に設けられた穴から空気が流出し、金型内に封止用樹脂が満たされる。封止用樹脂が充填された樹脂槽に、金型を沈めることにより、金型を封止用樹脂に浸してもよい。また、封止用樹脂が充填された樹脂槽を持ち上げることにより、金型を封止用樹脂に浸してもよい。更に、金型と、封止用樹脂が充填された樹脂槽とを近づけることにより、金型を封止用樹脂に浸してもよい。   A second example of resin sealing by the compression mold method will be described. The semiconductor chip 2, the lead frame 3, each wire 4, the stage 5 and each support bar 6 are placed in a mold, the mold is immersed in a sealing resin, and the mold is filled with the sealing resin. Then, resin sealing is performed by performing heat processing. By combining the upper mold and the lower mold, one mold is obtained. The lower mold is provided with a hole through which sealing resin flows, and the upper mold is provided with a hole through which air flows out. By immersing the mold in the sealing resin, the sealing resin flows from the hole provided in the lower mold, and the air flows out from the hole provided in the upper mold, for sealing in the mold. The resin is filled. The mold may be immersed in the sealing resin by immersing the mold in a resin tank filled with the sealing resin. Alternatively, the mold may be immersed in the sealing resin by lifting the resin tank filled with the sealing resin. Furthermore, the mold may be immersed in the sealing resin by bringing the mold close to the resin tank filled with the sealing resin.

コンプレッションモールド法により、第2実施形態における樹脂11、12を形成する場合、樹脂11と樹脂12とは分離して形成される。また、コンプレッションモールド法により、第2実施形態における樹脂11〜13を形成する場合、樹脂11〜13をそれぞれ分離して形成することができる。樹脂14〜16の形成の説明は省略するが、樹脂14〜16についても、コンプレッションモールド法により形成することができる。   When forming the resins 11 and 12 in the second embodiment by the compression molding method, the resin 11 and the resin 12 are formed separately. Moreover, when forming the resins 11 to 13 in the second embodiment by the compression molding method, the resins 11 to 13 can be formed separately. Although explanation of the formation of the resins 14 to 16 is omitted, the resins 14 to 16 can also be formed by the compression molding method.

以上の第1〜第4実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
(付記1)
半導体チップと、
前記半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップに電気的に接続された複数の第1リードと、
前記半導体チップから前記複数の第1リードよりも離れた位置に配置され、前記複数の第1リードに繋がる複数の第2リードと、
前記半導体チップを覆い、かつ、前記各第1リードを部分的に覆う第1樹脂と、
を備え、
前記複数の第1リードが、平面視で、前記半導体チップに対して放射状に延伸し、前記第1樹脂の側面から突き出ており、
前記複数の第2リードの一部同士が、平面視で、互いに並行に延伸する
ことを特徴とする半導体装置。
(付記2)
前記第1樹脂の周囲に配置され、前記各第1リードを部分的に覆う第2樹脂を備え、
前記第1樹脂の側面から突き出ている前記第1リード同士が前記第2樹脂によって連結されている
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記3)
前記第2樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする付記2に記載の半導体装置。
(付記4)
前記第1樹脂と前記第2樹脂との間に配置され、前記各第1リードを部分的に覆う第3樹脂を備え、
前記第3樹脂は、前記第1樹脂及び前記第2樹脂に繋がっており、
前記第3樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする付記2又は3に記載の半導体装置。
(付記5)
前記第1樹脂の周囲に配置され、前記各第1リードを部分的に覆う第4樹脂を備え、
前記第4樹脂は、前記第1樹脂に繋がり、
前記第4樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記6)
前記第1樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第1樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする付記1から5の何れか一つに記載の半導体装置。
(付記7)
前記第2樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第2樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする付記2から4の何れか一つに記載の半導体装置。
(付記8)
前記第3樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第3樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする付記4に記載の半導体装置。
(付記9)
前記第4樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第4樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする付記5に記載の半導体装置。
Regarding the above first to fourth embodiments, the following additional notes are further disclosed.
(Appendix 1)
A semiconductor chip;
A plurality of first leads disposed around the semiconductor chip and electrically connected to the semiconductor chip;
A plurality of second leads arranged at positions away from the plurality of first leads from the semiconductor chip and connected to the plurality of first leads;
A first resin that covers the semiconductor chip and partially covers the first leads;
With
The plurality of first leads extend radially with respect to the semiconductor chip in a plan view and protrude from a side surface of the first resin,
Part of the plurality of second leads extends in parallel with each other in a plan view.
(Appendix 2)
A second resin disposed around the first resin and partially covering each of the first leads;
The semiconductor device according to appendix 1, wherein the first leads protruding from a side surface of the first resin are connected by the second resin.
(Appendix 3)
The semiconductor device according to appendix 2, wherein the thickness of the second resin is thinner than the thickness of the first resin.
(Appendix 4)
A third resin disposed between the first resin and the second resin and partially covering each of the first leads;
The third resin is connected to the first resin and the second resin,
The semiconductor device according to appendix 2 or 3, wherein the thickness of the third resin is thinner than the thickness of the first resin.
(Appendix 5)
A fourth resin disposed around the first resin and partially covering each of the first leads;
The fourth resin is connected to the first resin,
The semiconductor device according to appendix 1, wherein a thickness of the fourth resin is thinner than a thickness of the first resin.
(Appendix 6)
The semiconductor device according to any one of appendices 1 to 5, wherein the first resin has a hole penetrating the first resin between the adjacent first leads.
(Appendix 7)
The semiconductor device according to any one of appendices 2 to 4, wherein the second resin has a hole penetrating the second resin between the adjacent first leads.
(Appendix 8)
The semiconductor device according to appendix 4, wherein the third resin has a hole penetrating the third resin between the adjacent first leads.
(Appendix 9)
The semiconductor device according to appendix 5, wherein the fourth resin has a hole penetrating the fourth resin between the adjacent first leads.

1 半導体パッケージ
2 半導体チップ
3 リードフレーム
4 ワイヤ
5 ステージ
6 サポートバー
7 第1リード
8 第2リード
11〜16、21、22 樹脂
31〜33 凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor package 2 Semiconductor chip 3 Lead frame 4 Wire 5 Stage 6 Support bar 7 1st lead 8 2nd lead 11-16, 21, 22 Resin 31-33 Recessed part

Claims (5)

半導体チップと、
前記半導体チップの周囲に配置され、前記半導体チップに電気的に接続された複数の第1リードと、
前記半導体チップから前記複数の第1リードよりも離れた位置に配置され、前記複数の第1リードに繋がる複数の第2リードと、
前記半導体チップを覆い、かつ、前記各第1リードを部分的に覆う第1樹脂と、
を備え、
前記複数の第1リードが、平面視で、前記半導体チップに対して放射状に延伸し、前記第1樹脂の側面から突き出ており、
前記複数の第2リードの一部同士が、平面視で、互いに並行に延伸する
ことを特徴とする半導体装置。
A semiconductor chip;
A plurality of first leads disposed around the semiconductor chip and electrically connected to the semiconductor chip;
A plurality of second leads arranged at positions away from the plurality of first leads from the semiconductor chip and connected to the plurality of first leads;
A first resin that covers the semiconductor chip and partially covers the first leads;
With
The plurality of first leads extend radially with respect to the semiconductor chip in a plan view and protrude from a side surface of the first resin,
Part of the plurality of second leads extends in parallel with each other in a plan view.
前記第1樹脂の周囲に配置され、前記各第1リードを部分的に覆う第2樹脂を備え、
前記第1樹脂の側面から突き出ている前記第1リード同士が前記第2樹脂によって連結されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
A second resin disposed around the first resin and partially covering each of the first leads;
The semiconductor device according to claim 1, wherein the first leads protruding from a side surface of the first resin are connected to each other by the second resin.
前記第2樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
The semiconductor device according to claim 2, wherein a thickness of the second resin is thinner than a thickness of the first resin.
前記第1樹脂と前記第2樹脂との間に配置され、前記各第1リードを部分的に覆う第3樹脂を備え、
前記第3樹脂は、前記第1樹脂及び前記第2樹脂に繋がっており、
前記第3樹脂の厚さは、前記第1樹脂の厚さよりも薄い
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の半導体装置。
A third resin disposed between the first resin and the second resin and partially covering each of the first leads;
The third resin is connected to the first resin and the second resin,
The semiconductor device according to claim 2, wherein a thickness of the third resin is thinner than a thickness of the first resin.
前記第3樹脂は、隣接する前記第1リードの間に前記第3樹脂を貫通する孔を有する
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
The semiconductor device according to claim 4, wherein the third resin has a hole penetrating the third resin between the adjacent first leads.
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