JP2016052531A - Ultrasonic probe - Google Patents
Ultrasonic probe Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016052531A JP2016052531A JP2015214191A JP2015214191A JP2016052531A JP 2016052531 A JP2016052531 A JP 2016052531A JP 2015214191 A JP2015214191 A JP 2015214191A JP 2015214191 A JP2015214191 A JP 2015214191A JP 2016052531 A JP2016052531 A JP 2016052531A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- piezoelectric elements
- organic layer
- organic
- inorganic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
この発明は、超音波探触子に係り、特に、複数の無機圧電素子と複数の有機圧電素子とが互いに積層形成された超音波探触子に関する。 The present invention relates to an ultrasonic probe, and more particularly to an ultrasonic probe in which a plurality of inorganic piezoelectric elements and a plurality of organic piezoelectric elements are stacked on each other.
従来から、医療分野において、超音波画像を利用した超音波診断装置が実用化されている。一般に、この種の超音波診断装置は、超音波探触子から被検体内に向けて超音波ビームを送信し、被検体からの超音波エコーを超音波探触子で受信して、その受信信号を電気的に処理することにより超音波画像が生成される。 Conventionally, in the medical field, an ultrasonic diagnostic apparatus using an ultrasonic image has been put into practical use. In general, this type of ultrasonic diagnostic apparatus transmits an ultrasonic beam from an ultrasonic probe into a subject, receives an ultrasonic echo from the subject with the ultrasonic probe, and receives the received ultrasonic echo. An ultrasonic image is generated by electrically processing the signal.
近年、より正確な診断を行うために、被検体の非線形性により超音波波形が歪むことで発生する高調波成分を受信して映像化するハーモニックイメージングが主流となっている。また、近年、超音波を用いた新たな診断方法として、レーザーを生体に照射し、断熱膨張で発生する微弱で広帯域な弾性波を受信して映像化する、光音響イメージングが脚光を浴びつつある。
このハーモニックイメージングや光音響イメージングに適した超音波探触子として、例えば、特許文献1に開示されているように、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)等の無機圧電体を用いた複数の無機圧電素子とポリフッ化ビニリデン(PVDF)等の有機圧電体を用いた複数の有機圧電素子とを積層形成したものが提案されている。
無機圧電素子により高出力の超音波ビームを送信し、有機圧電素子により高調波の信号を高感度に受信することができる。また、無機圧電体素子により通常の超音波の受信信号を取得すると共に、有機圧電素子により光音響イメージングの広帯域な信号を高感度に受信することが出来る。
In recent years, in order to perform more accurate diagnosis, harmonic imaging that receives and visualizes harmonic components generated by distortion of an ultrasonic waveform due to nonlinearity of a subject has become mainstream. In recent years, photoacoustic imaging, which is a new diagnostic method using ultrasonic waves, is focused on photo-irradiation by irradiating a living body with laser and receiving weak and broadband elastic waves generated by adiabatic expansion. .
As an ultrasonic probe suitable for this harmonic imaging or photoacoustic imaging, for example, as disclosed in
A high-power ultrasonic beam can be transmitted by the inorganic piezoelectric element, and a harmonic signal can be received with high sensitivity by the organic piezoelectric element. In addition, a normal ultrasonic reception signal can be acquired by the inorganic piezoelectric element, and a wide-band signal of photoacoustic imaging can be received with high sensitivity by the organic piezoelectric element.
ここで、複数の無機圧電素子から出力された超音波ビームは、有機圧電体を透過した後、超音波探触子から被検体内に送信されるため、有機圧電体の厚さは、超音波ビームの音響透過率が高まるように設計される。具体的には、有機圧電体は、複数の無機圧電素子から送信される基本波の波長λに対してλ/4共振条件を満たす厚さの近傍に設計される。このため、有機圧電体は、厚みを自在に設計することができず、上記の共振条件を満たすためにある程度の厚みを備えて設計する必要があった。一方で、有機圧電体は比誘電率が小さいため、有機圧電素子を厚く形成すると電気容量が小さくなり、有機圧電素子で受信された超音波によって発生する受信信号を、回路上で効率良く取得することが困難であった。また、電気容量が小さいと熱ノイズが大きくなるため、取得された信号とのS/Nも不利になる傾向があった。
また、無機圧電素子に有機圧電体を積層する場合、互いの電極位置がビーム送信方向に対して一致していないと、フォーカスずれや受信効率の低下を招く。従って、無機圧電素子と積層された有機圧電素子の電極位置は、ビーム送信方向に対して出来る限り一致していることが望ましいが、従来の構成や製造方法では正確に一致させることは困難であった。
さらに、有機圧電体は温度上昇によって徐々に結晶化度が低下する為、キュリー点よりかなり低い温度に使用上限温度がある。例えば代表的なポリフッ化ビニリデン(PVDF)では使用上限温度は80℃であり、ポリフッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体(P(VDF-TrFE))では100℃である。従ってプロセス中に、この温度以上をかけると強誘電性が劣化し、脱分極される。強誘電性の劣化回復手段として再分極が有効な手段であるが、有機圧電体の抗電界(Ec)は極めて大きく、400kV/cm〜450kV/cm程度である。従って、一度脱分極された有機圧電体をデバイス上で再分極するのは極めて高い電圧を印加する必要があり、プロセス上困難である。以上のことから、無機圧電体に有機圧電体を積層する場合、なるべく低い温度プロセス、少ない熱履歴回数で作製する必要があるが、従来の構成や製造方法では殆ど熱履歴をかけないプロセスは困難であった。
Here, since the ultrasonic beams output from the plurality of inorganic piezoelectric elements are transmitted through the organic piezoelectric body and then transmitted from the ultrasonic probe into the subject, the thickness of the organic piezoelectric body is determined by the ultrasonic wave. Designed to increase the acoustic transmission of the beam. Specifically, the organic piezoelectric body is designed in the vicinity of a thickness that satisfies the λ / 4 resonance condition with respect to the wavelength λ of the fundamental wave transmitted from the plurality of inorganic piezoelectric elements. For this reason, the organic piezoelectric material cannot be designed freely, and has to be designed with a certain thickness in order to satisfy the above resonance condition. On the other hand, since the organic piezoelectric material has a small relative dielectric constant, when the organic piezoelectric element is formed thick, the electric capacity is reduced, and a reception signal generated by the ultrasonic wave received by the organic piezoelectric element is efficiently acquired on the circuit. It was difficult. Further, since the thermal noise increases when the electric capacity is small, the S / N with the acquired signal tends to be disadvantageous.
In addition, when an organic piezoelectric body is stacked on an inorganic piezoelectric element, if the positions of the electrodes do not coincide with the beam transmission direction, focus deviation and reception efficiency decrease. Therefore, it is desirable that the electrode positions of the organic piezoelectric element laminated with the inorganic piezoelectric element match as much as possible with respect to the beam transmission direction, but it is difficult to accurately match with the conventional configuration and manufacturing method. It was.
Furthermore, since the degree of crystallinity of an organic piezoelectric body gradually decreases as the temperature rises, there is a use upper limit temperature at a temperature considerably lower than the Curie point. For example, in a typical polyvinylidene fluoride (PVDF), the use upper limit temperature is 80 ° C., and in a polyvinylidene fluoride trifluoride ethylene copolymer (P (VDF-TrFE)), it is 100 ° C. Therefore, if this temperature is exceeded during the process, the ferroelectricity deteriorates and depolarization occurs. Although repolarization is an effective means for recovering the deterioration of ferroelectricity, the coercive electric field (Ec) of the organic piezoelectric material is extremely large, about 400 kV / cm to 450 kV / cm. Accordingly, it is necessary to apply an extremely high voltage to repolarize the organic piezoelectric material once depolarized on the device, which is difficult in terms of process. From the above, when an organic piezoelectric material is laminated on an inorganic piezoelectric material, it is necessary to fabricate it with as low a temperature process as possible and with a small number of thermal histories. However, a process that hardly applies thermal history is difficult with conventional configurations and manufacturing methods. Met.
この発明は、このような従来の問題点を解消するためになされたもので、複数の無機圧電素子から送信される超音波ビームに対して優れた音響透過率を有しながらも複数の有機圧電素子における受信信号の変換効率とS/Nを向上し、かつ、超音波を送受信する無機圧電素子の電極位置と超音波受信専用の有機圧電素子のビーム送信方向の位置を正確に合致させ、さらに、デバイス完成後にも有機圧電素子の特性を高く維持させることができる超音波探触子を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a conventional problem, and has a plurality of organic piezoelectric elements while having excellent acoustic transmittance with respect to ultrasonic beams transmitted from a plurality of inorganic piezoelectric elements. Improve the conversion efficiency and S / N of the received signal in the element, accurately match the electrode position of the inorganic piezoelectric element that transmits and receives ultrasonic waves and the position of the organic piezoelectric element dedicated to ultrasonic reception in the beam transmission direction, and An object of the present invention is to provide an ultrasonic probe capable of maintaining high characteristics of an organic piezoelectric element even after the device is completed.
この発明に係る超音波探触子は、バッキング材と、バッキング材の表面上に配列された複数の無機圧電素子と、複数の無機圧電素子の上に配置された第1の音響整合層と、第1の音響整合層の上に配置された第2の音響整合層とを備え、第2の音響整合層は、複数の有機圧電素子を構成する上側有機層と、上側有機層と併せて複数の無機圧電素子に対する音響整合を行うための下側有機層とからなり、複数の有機圧電素子は、シート状の上側有機層と、上側有機層の表面上にわたって延在する接地電極層と、下側有機層に対向する上側有機層の裏面上に配列された複数の信号電極層とを有し、複数の信号電極層から複数の無機圧電素子までの各層を複数の断片に分離するように、積層方向に向かってそれぞれ同じピッチで平行に延びる複数の分離部をさらに備えることにより、複数の有機圧電素子と複数の無機圧電素子が互いに同じピッチで配列されるものである。 The ultrasonic probe according to the present invention includes a backing material, a plurality of inorganic piezoelectric elements arranged on the surface of the backing material, a first acoustic matching layer disposed on the plurality of inorganic piezoelectric elements, A second acoustic matching layer disposed on the first acoustic matching layer, wherein the second acoustic matching layer includes a plurality of upper organic layers constituting the plurality of organic piezoelectric elements and a plurality of upper organic layers. A plurality of organic piezoelectric elements including a sheet-like upper organic layer, a ground electrode layer extending over the surface of the upper organic layer, and a lower organic layer. A plurality of signal electrode layers arranged on the back surface of the upper organic layer facing the side organic layer, and separating each layer from the plurality of signal electrode layers to the plurality of inorganic piezoelectric elements into a plurality of pieces, Plural components extending in parallel at the same pitch in the stacking direction By further comprising a section, a plurality of organic piezoelectric elements and a plurality of inorganic piezoelectric elements are arranged at the same pitches.
ここで、上側有機層は、下側有機層より薄く形成されるのが好ましい。
また、複数の無機圧電素子を構成する各断片、または、複数の無機圧電素子と第1の音響整合層をそれぞれ構成する各断片、または、複数の無機圧電素子と第1の音響整合層と第2の音響整合層の下側有機層をそれぞれ構成する各断片をさらに複数のサブダイスに分離するように、積層方向に向かって延びるサブダイス形成溝を備えることができる。
また、複数の有機圧電素子は、複数の無機圧電素子から送信された超音波を受信する受信デバイスとして利用され、上側有機層は、受信した超音波エコーを受信信号として回路上で効率良く取得し、かつ、S/Nを向上するために、所定の電気容量を有する厚さで形成され、上側有機層の厚さと下側有機層の厚さの和は、複数の無機圧電素子から送信される超音波に対して所望の音響整合が行われるような値に形成されるのが好ましい。
Here, the upper organic layer is preferably formed thinner than the lower organic layer.
Also, each piece constituting a plurality of inorganic piezoelectric elements, or each piece constituting each of a plurality of inorganic piezoelectric elements and a first acoustic matching layer, or a plurality of inorganic piezoelectric elements and a first acoustic matching layer A sub die forming groove extending in the stacking direction may be provided so that each of the pieces constituting the lower organic layer of the two acoustic matching layers is further separated into a plurality of sub dice.
The plurality of organic piezoelectric elements is used as a receiving device that receives ultrasonic waves transmitted from the plurality of inorganic piezoelectric elements, and the upper organic layer efficiently acquires the received ultrasonic echoes as received signals on the circuit. In addition, in order to improve S / N, it is formed with a thickness having a predetermined electric capacity, and the sum of the thickness of the upper organic layer and the thickness of the lower organic layer is transmitted from a plurality of inorganic piezoelectric elements. It is preferable to form the value so that desired acoustic matching is performed with respect to the ultrasonic wave.
また、上側有機層と下側有機層は、互いに±10%の範囲内の音響インピーダンスを有するのが好ましい。また、下側有機層は、上側有機層より大きな音響インピーダンスを有し、且つ、第1の音響整合層より小さな音響インピーダンスを有するのが好ましい。
また、複数の無機圧電素子は、互いに分離された複数の無機圧電体と、複数の無機圧電体の両面にそれぞれ配置された複数の信号電極層および複数の接地電極層とを有するのが好ましい。
The upper organic layer and the lower organic layer preferably have an acoustic impedance within a range of ± 10%. The lower organic layer preferably has an acoustic impedance larger than that of the upper organic layer and smaller acoustic impedance than that of the first acoustic matching layer.
Preferably, the plurality of inorganic piezoelectric elements include a plurality of inorganic piezoelectric bodies separated from each other, and a plurality of signal electrode layers and a plurality of ground electrode layers respectively disposed on both surfaces of the plurality of inorganic piezoelectric bodies.
また、複数の無機圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)またはマグネシウムニオブ酸・チタン酸鉛固溶体(PMN-PT)などPb系ペロブスカイト酸化物から構成することができる。また、上側有機層は、有機材料のみから構成され、下側有機層は、有機材料、または、有機材料と無機材料の複合材料から構成することができる。さらに、上側有機層および下側有機層は、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)またはポリフッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体(P(VDF-TrFE))などフッ化ビニリデン系化合物から構成することができる。
また、複数の有機圧電素子の上に配置された音響レンズをさらに備えることができる。また、複数の有機圧電素子と音響レンズの間に、複数の有機圧電素子を保護する保護層をさらに備えることもできる。
Further, the plurality of inorganic piezoelectric materials can be composed of a Pb-based perovskite oxide such as lead zirconate titanate (Pb (Zr, Ti) O 3 ) or magnesium niobate / lead titanate solid solution (PMN-PT). . The upper organic layer can be composed of only an organic material, and the lower organic layer can be composed of an organic material or a composite material of an organic material and an inorganic material. Furthermore, the upper organic layer and the lower organic layer can be composed of a vinylidene fluoride compound such as polyvinylidene fluoride (PVDF) or polyvinylidene fluoride trifluoride ethylene copolymer (P (VDF-TrFE)).
Moreover, the acoustic lens arrange | positioned on the some organic piezoelectric element can be further provided. In addition, a protective layer for protecting the plurality of organic piezoelectric elements can be further provided between the plurality of organic piezoelectric elements and the acoustic lens.
また、複数の有機圧電素子にそれぞれ直結された有機圧電素子用アンプをさらに備えることができる。
また、被検体に向けて照射光を照射する光照射部をさらに有し、光照射部から照射光が照射されることで被検体から誘発された超音波を複数の有機圧電素子または複数の無機圧電素子で受信することができる。
Further, an organic piezoelectric element amplifier directly connected to each of the plurality of organic piezoelectric elements can be further provided.
In addition, the light irradiation unit further irradiates the subject with irradiation light, and the ultrasonic wave induced from the subject by irradiation of the irradiation light from the light irradiation unit is applied to a plurality of organic piezoelectric elements or a plurality of inorganic substances. It can be received by a piezoelectric element.
この発明によれば、第2の音響整合層が、複数の有機圧電素子を構成する上側有機層と、上側有機層と併せて複数の無機圧電素子に対する音響整合を行うための下側有機層とから構成されるので、複数の無機圧電素子から送信される超音波ビームに対して優れた音響透過率を有しながらも複数の有機圧電素子で発生する受信信号の取得効率を向上させ、かつ、S/Nを向上することが可能となる。
また、超音波を送受信する無機圧電素子の電極位置と超音波受信専用の有機圧電素子のビーム送信方向の位置を正確に合致させ、さらに、デバイス完成後にも有機圧電素子の特性を高く維持させることも可能となる。
According to this invention, the second acoustic matching layer includes an upper organic layer constituting a plurality of organic piezoelectric elements, and a lower organic layer for performing acoustic matching with respect to the plurality of inorganic piezoelectric elements in combination with the upper organic layer. So that the acquisition efficiency of the received signals generated in the plurality of organic piezoelectric elements is improved while having excellent acoustic transmittance for the ultrasonic beams transmitted from the plurality of inorganic piezoelectric elements, and S / N can be improved.
In addition, the position of the electrode of the inorganic piezoelectric element that transmits and receives ultrasonic waves and the position of the organic piezoelectric element dedicated to ultrasonic reception in the beam transmission direction must be accurately matched, and the characteristics of the organic piezoelectric element can be maintained high even after the device is completed. Is also possible.
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
図1および図2に、この発明の実施の形態に係る超音波探触子の構成を示す。
バッキング材1の表面上に複数の無機圧電素子2がピッチPで配列形成されている。複数の無機圧電素子2は、互いに分離された複数の無機圧電体21を有し、それぞれの無機圧電体21の一方の面に信号電極層22が接合され、他方の面に接地電極層23が接合されている。すなわち、それぞれの無機圧電素子2は、専用の無機圧電体21と信号電極層22と接地電極層23から形成されている。
このような複数の無機圧電素子2の上に第1の音響整合層3が接合されている。第1の音響整合層3は、複数の断片に分断され、複数の無機圧電素子2と同じピッチPで配列されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
1 and 2 show the configuration of an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention.
A plurality of inorganic
The first
なお、複数の無機圧電素子2を構成する各断片は、複数のサブダイスに分離して形成すのが好ましい。例えば、複数の無機圧電体21、信号電極層22および接地電極層23(複数の無機圧電素子2)の各層を構成する各断片、または、複数の無機圧電体21、信号電極層22、接地電極層23および第1の音響整合層3を構成する各断片をさらに複数の断片に分離するように、積層方向に向かって延びるサブダイス形成溝を形成することができる。また、複数の無機圧電体21、信号電極層22、接地電極層23、第1の音響整合層3および下側有機層42を構成する各断片をさらに複数の断片に分離するように、積層方向に向かって延びるサブダイス形成溝を形成することもできる。
この時、各無機圧電素子2に対し1本または2本のサブダイス形成溝を形成して、2つまたは3つのサブダイスを形成することが好ましい。このように、複数のサブダイスを形成することにより、複数の無機圧電素子2の圧電乗数を向上させ、超音波探触子の送受信感度を向上させることができる。
In addition, it is preferable to form each piece constituting the plurality of inorganic
At this time, it is preferable to form one or two sub die forming grooves for each inorganic
この第1の音響整合層3の上に第2の音響整合層4が接合されている。第2の音響整合層4は、上側有機層41と下側有機層42の2層を有する。
下側有機層42は、複数の断片に分断され、複数の無機圧電素子2と同じピッチPで第1の音響整合層3の上に配列されている。一方、上側有機層41は、シート状の形状を有し、複数の断片に分断されることなく、下側有機層42の全体にわたって延在している。上側有機層41の厚さと下側有機層42の厚さの和は、複数の無機圧電素子から送信される超音波に対して所望の音響整合が行われるような値に形成される。例えば、上側有機層41の厚さと下側有機層42の厚さの和が複数の無機圧電素子2から送信される超音波の基本波(無機圧電体21の最大感度の−6dB帯域の中心周波数)の波長λに対してλ/4共振条件を満たす厚さの近傍となるように形成することにより、上側有機層41と下側有機層42を併せた第2の音響整合層4が複数の無機圧電素子から送信される超音波に対して優れた音響透過率を有することができる。
A second
The lower
さらに、上側有機層41は、複数の有機圧電素子5を構成する。すなわち、上側有機層41には、表面上にわたって延在する接地電極層43が接合されると共に、下側有機層42に対向する裏面上に複数の無機圧電素子2と同じピッチPで互いに分離された複数の信号電極層44が接合され、これにより上側有機層4が複数の有機圧電素子5の有機圧電体として機能する。このように配列形成されたそれぞれの有機圧電素子5は、専用の信号電極層44と、複数の有機圧電素子5に共通の上側有機層41および接地電極層43から構成される。このため、複数の有機圧電素子5の配列ピッチは、上側有機層41の裏面上に接合された複数の信号電極層44の配列ピッチのみにより決定され、複数の有機圧電素子5は複数の無機圧電素子2と同じピッチPで配列されることとなる。
Furthermore, the upper
また、複数の無機圧電素子2、第1の音響整合層3、第2の音響整合層4の下側有機層42および信号電極層44の各層において同じピッチPで分離された複数の断片は、それぞれの層の間で位置を合わせて積層方向に整列し、それぞれの列の間には充填剤が充填されることにより、複数の無機圧電素子2から信号電極層44までの各層を構成する複数の断片を互いに分離する分離部6が形成されている。すなわち、分離部6は、それぞれ信号電極層44の表面上からバッキング材1の表面上まで各層を貫通するように、積層方向に向かってそれぞれ同じピッチPで平行に延びている。
さらに、複数の有機圧電素子5の上に保護層7を介して音響レンズ8が接合されている。
In addition, a plurality of pieces separated at the same pitch P in each of the plurality of inorganic
Furthermore, an
無機圧電素子2の無機圧電体21は、Pb系のペロブスカイト構造酸化物などの圧電体用の無機材料から形成されている。例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)に代表されるPb系の圧電セラミック、または、マグネシウムニオブ酸・チタン酸鉛固溶体(PMN−PT)および亜鉛ニオブ酸・チタン酸鉛固溶体(PZN−PT)に代表されるリラクサ系の圧電単結晶から形成することができる。一方、有機圧電素子5の上側有機層41は、フッ化ビニリデン(VDF)系材料などの圧電体用の有機材料から形成されている。例えば、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)またはポリフッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体(P(VDF-TrFE))等の高分子圧電素子から形成することができる。
The inorganic
バッキング材1は、複数の無機圧電素子2を支持すると共に後方へ放出された超音波を吸収するもので、フェライトゴム等のゴム材から形成することができる。
第1の音響整合層3は、複数の無機圧電素子2からの超音波ビームを効率よく被検体内に入射させるためのもので、無機圧電素子2の音響インピーダンスと生体の音響インピーダンスの中間的な値の音響インピーダンスを有する材料から形成される。
第2の音響整合層4は、複数の無機圧電素子2からの超音波ビームを効率よく被検体内に入射させるためのもので、下側有機層42は、有機材料、または、有機材料と無機材料の複合材料から構成されている。例えば、下側有機層42は、上側有機層41において用いられた、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)またはポリフッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体(P(VDF-TrFE))等のフッ化ビニリデン(VDF)系材料を含む有機材料から形成することができる。また、下側有機層42は、例えばエポキシ樹脂にジルコニア粒子を分散させた、有機材料と無機材料の複合材料から形成することもできる。
なお、上側有機層41と下側有機層42は、互いに同じまたは近い音響インピーダンスを有する材料で形成されるのが好ましく、例えば互いの音響インピーダンスが±10%の範囲内のものであれば超音波の音響整合に影響を与えずに第2の音響整合層4を構成することができる。さらに、下側有機層42は、上側有機層41より大きな音響インピーダンスを有し、且つ、第1の音響整合層3より小さな音響インピーダンスを有する材料で形成することもできる。
The
The first
The second
The upper
分離部6を形成する充填剤は、隣り合う断片の位置および姿勢を固定するためのもので、例えばエポキシ樹脂などから形成される。
保護層7は、有機圧電素子5の接地電極層43を保護するもので、例えばポリフッ化ビニリデン(PVDF)により形成される。なお、接地電極層43の保護に支障がなければ、保護層7を除いて形成し、複数の有機圧電素子5の上に音響レンズ8を直接接合することもできる。
音響レンズ8は、屈折を利用して超音波ビームを絞り、エレベーション方向の分解能を向上させるもので、シリコンゴム等から形成されている。
The filler forming the
The
The
次に、この実施の形態の動作について説明する。
動作時には、例えば、複数の無機圧電素子2が超音波の送信専用の振動子として、複数の有機圧電素子5が超音波の受信専用の振動子として使用される。
複数の無機圧電素子2の信号電極層22と接地電極層23の間にそれぞれパルス状または連続波の電圧を印加すると、それぞれの無機圧電素子2の無機圧電体21が伸縮してパルス状または連続波の超音波が発生する。これらの超音波は、第1の音響整合層3、第2の音響整合層4、保護層7および音響レンズ8を介して被検体内に入射し、互いに合成され、超音波ビームを形成して被検体内を伝搬する。
Next, the operation of this embodiment will be described.
In operation, for example, the plurality of inorganic
When a pulsed or continuous wave voltage is applied between the
続いて、被検体内を伝搬して反射された超音波エコーが、音響レンズ8および保護層7を介してそれぞれの有機圧電素子5に入射されると、上側有機層41が超音波の高調波成分に高感度に応答して伸縮し、信号電極層44と接地電極層43の間に電気信号が発生して、受信信号として出力される。
このようにして、複数の有機圧電素子5から出力された受信信号に基づいて、高調波画像を生成することができる。ここで、複数の無機圧電素子2と複数の有機圧電素子5は、積層方向に互いに位置合わせして同じピッチPで配列形成されているため、超音波ビームの送信位置と同じ配列位置で被検体からの超音波エコーを受信することができ、高精度に高調波画像を生成することができる。
Subsequently, when the ultrasonic echoes propagated and reflected in the subject are incident on the respective organic
In this way, a harmonic image can be generated based on the reception signals output from the plurality of organic
また、複数の無機圧電素子2を超音波の送受信兼用の振動子として使用することもできる。この場合、音響レンズ8および保護層7を介して有機圧電素子5で受信された超音波エコーが、さらに第2の音響整合層4および第1の音響整合層3を介してそれぞれの無機圧電素子2に入射し、無機圧電体21が主に超音波の基本波成分に応答して伸縮し、信号電極層22と接地電極層23の間に電気信号を発生する。
このようにして複数の無機圧電素子2から得られた基本波成分に対応する受信信号と、有機圧電素子5から得られた高調波成分に対応する受信信号とに基づいて、基本波成分と高調波成分を複合したコンパウンド画像を生成することができる。
A plurality of inorganic
Based on the reception signal corresponding to the fundamental wave component obtained from the plurality of inorganic
このときも、複数の無機圧電素子2と複数の有機圧電素子5が、積層方向に互いに位置合わせして同じピッチPで配列形成されているため、超音波エコーの基本波成分と高調波成分を同じ配列位置で受信することができ、基本波成分と高調波成分を高精度に複合したコンパウンド画像を生成することができる。
Also at this time, since the plurality of inorganic
このような超音波探触子は、次のようにして製造することができる。
まず、図3(A)に示されるように、バッキング材1の表面全域にわたって延びる無機圧電素子層91aを接着剤等によりバッキング材1の表面上に接合する。この無機圧電素子層91aは、バッキング材1の全面にわたって延びる無機圧電体層91の両面に、全面にわたってそれぞれ導電層92および93が形成されたものである。
次に、図3(B)に示されるように、無機圧電素子層91aの全域にわたって延びる音響整合層94を、例えば80℃〜100℃の温度で導電層93の上に接合する。この時、複数の無機圧電体21にサブダイスを形成する場合には、無機圧電素子層91a、または、無機圧電素子層91aから音響整合層94の各層を積層方向にダイシングすることにより、サブダイス形成溝を形成することができる。
そして、図3(C)に示されるように、音響整合層94の上に有機層95が接合される。この有機層95は、音響整合層94の全面にわたって延びるだけの大きさを有し、音響整合層94に対向する面とは反対側の表面には全面にわたって導電層96が予め形成されている。
Such an ultrasonic probe can be manufactured as follows.
First, as shown in FIG. 3A, an inorganic
Next, as shown in FIG. 3B, an
Then, as shown in FIG. 3C, the
続いて、図3(D)に示されるように、導電層96、有機層95、音響整合層94および無機圧電素子層91aの各層をピッチPでダイシングすることにより、各層を複数の断片に分離する。この時、ダイシングは、導電層96から無機圧電素子層91aまでの各層を完全に分断するように行われるため、分断された各層のそれぞれの断片は積層方向に位置を合わせて整列される。これにより、バッキング材1の表面上には配列ピッチPで配列された複数の無機圧電素子2が形成され、それぞれの無機圧電素子2の上には第1の音響整合層3、下側有機層42および信号電極層44の各断片が位置を合わせて順次重なるように形成される。また、各層の複数の断片がピッチPで積層方向に整列されたそれぞれの列の間には、ダイシングにより各層を積層方向に貫通した平板状の複数の溝97が形成される。
このように、導電層96から無機圧電素子層91aまでの各層をピッチPでダイシングすることにより、各層が簡便に複数の断片に分離されると共に分離された各層のそれぞれの断片を積層方向に位置合わせすることができる。そして、複数の有機圧電素子5の信号電極層44と、複数の無機圧電素子2の信号電極層22および接地電極層23とを互いに正確に位置合わせすることができる。
Subsequently, as shown in FIG. 3D, each layer of the
In this way, by dicing each layer from the
次に、ダイシングにより形成された複数の溝97の内部に充填剤を充填して、図3(E)に示されるように、各層の複数の断片の位置および姿勢を固定する分離部6を形成した後、複数の信号電極層44の上に上側有機層41を、例えば80℃程度の温度で圧着させる。上側有機層41は、複数の信号電極層44の全体にわたって延びるだけの大きさを有し、複数の信号電極層44に対向する面とは反対側の表面には全面にわたって接地電極層43が予め形成されている。
Next, the inside of the plurality of grooves 97 formed by dicing is filled with a filler, and as shown in FIG. 3 (E), the
ここで、上側有機層41は、複数の無機圧電素子2から送信される超音波を音響整合するための第2の音響整合層4の一部を構成しているが、上側有機層41と下側有機層42を併せた厚さが、複数の無機圧電素子2から送信される超音波に対して所望の音響整合が行われるような値に形成されていればよく、上側有機層41のみに着目すると、音響整合に制限されることなく上側有機層41を薄く形成して有機圧電素子5の電気容量を高めることができる。すなわち、有機圧電素子5で受信される超音波エコーが受信信号に効率よく変換されるような電気容量を有する所望の厚さで上側有機層41を形成し、この上側有機層41の厚さに下側有機層42の厚さを加算することにより、上側有機層41と下側有機層42を併せた厚みが複数の無機圧電素子2から送信される超音波に対して音響整合が行われる範囲に収まるように形成する。このように、上側有機層41が下側有機層42より薄く形成されることにより、第2の音響整合層4が複数の無機圧電素子2から送信される超音波に対して音響整合が行われる範囲内で形成されながらも複数の有機圧電素子5を薄く形成することができる。なお、上側有機層41の厚さと下側有機層42の厚さの和は、複数の無機圧電素子2から送信される基本波の波長λに対してλ/4共振条件を満たす値の近傍に形成されるのが好ましい。
Here, the upper
また、上側有機層41は、温度上昇によって徐々に結晶化度が低下する為、キュリー点よりかなり低い温度に使用上限温度がある。例えば音響整合層94などの各層を積層する際に使用される80℃〜100℃の高い温度を与えると容易に脱分極されてしまうが、上側有機層41は保護層7および音響レンズ8を除くその他の層が積層された後に積層される。このため、上側有機層41は、その他の層を積層する際または充填剤が溝97に充填される際の高い温度に曝されることがなく、脱分極するのを抑制することができる。
さらに、上側有機層41の下側に積層された各層、すなわち信号電極層22、無機圧電体21、接地電極層23、第1の音響整合層3、下側有機層42および信号電極層44を順次接着するまでの間は、上側有機層41が存在しないため、これらの層を互いに高温で接着して高い接着力で積層させることができる。
このようにして複数の信号電極層44の上に上側有機層41が積層された後、複数の有機圧電素子5の接地電極層43の上に保護層7を介して音響レンズ8を接合することにより、図1および図2に示した超音波探触子が製造される。
Further, the upper
Furthermore, each layer laminated below the upper
After the upper
例えば、複数の無機圧電素子2から送信される超音波の周波数が7MHz程度、第1の音響整合層3の音響インピーダンスが約8.9Mrayl(kg/m2s)、および第2の音響整合層4の音響インピーダンスが約4.0Mraylのリニアプローブを作成する場合には、無機圧電体21としてチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)を使用して、この厚みを190μm程度に形成し、第1の音響整合層3の厚みを80μm程度に形成することができる。そして、下側有機層42および上側有機層41としてそれぞれPVDFを使用し、下側有機層42の厚みを60μm程度、上側有機層41の厚みを20μm程度に形成し、第2の音響整合層4全体としての厚みを80μm程度とすることにより、第2の音響整合層4が複数の無機圧電素子2に対する共振条件を満たしながらも複数の有機圧電素子5を所望の厚さで形成することができる。
For example, the frequency of ultrasonic waves transmitted from the plurality of inorganic
また、第2の音響整合層4の下側有機層42を有機材料と無機材料の複合材料から構成する場合には、例えば、上側有機層41をポリフッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体(P(VDF-TrFE))で構成すると共にその厚みを10μm程度に形成し、下側有機層42は音響インピーダンスが約5〜6Mraylになるようにジルコニア粒子をエポキシ樹脂に分散させたものを用いて70μm程度の厚みに形成する。そして、第1の音響整合層3は、音響インピーダンスが約8Mraylになるように、ジルコニア粒子をエポキシ樹脂に分散させたものを用いて100μm程度の厚みに形成する。このように第1の音響整合層3および第2の音響整合層4を構成することにより、第2の音響整合層4が複数の無機圧電素子2に対する共振条件を満たしながらも複数の有機圧電素子5を所望の厚さで形成することができる。
When the lower
このように、第2の音響整合層4を上側有機層41と下側有機層42の2層構造とし、複数の有機圧電素子5を構成する上側有機層41を所望の厚さで形成すると共に上側有機層41と下側有機層42を併せた厚みが共振条件を満たすように第2の音響整合層4を形成することにより、複数の無機圧電素子から送信される超音波ビームに対して優れた音響透過率を保ちながらも複数の有機圧電素子5における受信信号の取得効率を向上させることができる。
また、複数の無機圧電素子2と複数の有機圧電素子5が互いに位置を合わせて配列されているため、高精度な高調波画像およびコンパウンド画像を生成することができる。
さらに、超音波探触子を製造する際に有機圧電素子5の有機圧電体として機能する上側有機層41を高温に曝すことが少ないため、上側有機層41が脱分極するのを抑制することができる。
Thus, the second
In addition, since the plurality of inorganic
Furthermore, when the ultrasonic probe is manufactured, the upper
なお、図4に示されるように、それぞれの無機圧電素子2の信号線電極層22に無機圧電素子用A/Dコンバータ9を接続し、それぞれの有機圧電素子5の信号線電極層44に有機圧電素子用アンプ10および有機圧電素子用A/Dコンバータ11を順次接続することができる。
ここで、複数の有機圧電素子5の電気容量は、上記のように有機圧電体の厚さを小さく設定することで高めることはできるが、それだけでは、まだ十分な強度を有する受信信号を得ることが難しく、有機圧電素子用アンプ10により増幅する必要がある。このとき、有機圧電素子5から有機圧電素子用アンプ10に伝送される間に受信信号が減衰するのを防ぐために、有機圧電素子用アンプ10を有機圧電素子5の信号線電極層44の近傍に接続または直結させるのが好ましい。
また、超音波プローブ内にマルチプレクサを配置することで超音波プローブから引き出される信号線の本数を減少させることができる。例えば、無機圧電素子用A/Dコンバータ9および有機圧電素子用A/Dコンバータ11の後段にマルチプレクサを配置し、無機圧電素子用A/Dコンバータ9と有機圧電素子用A/Dコンバータ11から引き出された2本の信号線を1本にまとめることができる。
As shown in FIG. 4, the inorganic piezoelectric element A /
Here, the electric capacity of the plurality of organic
Further, the number of signal lines drawn from the ultrasonic probe can be reduced by arranging the multiplexer in the ultrasonic probe. For example, a multiplexer is disposed after the A /
また、表面上に導電層96が予め形成された下側有機層95を第1の音響整合層94の上に積層したが、これに限るものではなく、第1の音響整合層94の上に下側有機層95を積層し、その後、下側有機層95の表面上に導電層96を形成してもよい。
同様に、表面上に接地電極層43が予め形成された上側有機層41を複数の信号電極層44の上に接合したが、複数の信号電極層42の上に上側有機層41を接合した後、上側有機層41の表面上に接地電極層43を形成してもよい。
In addition, the lower
Similarly, the upper
また、上記の実施の形態では、複数の無機圧電素子2で発生させた超音波を被検体に向けて送信すると共に被検体内で反射された超音波エコーが複数の無機圧電素子2または複数の有機圧電素子5で受信されたが、図5に示すように、被検体に向けて照射光Lを照射する光照射部31を新たに設けることにより、光照射部31から被検体に向けて照射光Lを照射すると共に照射光Lの照射により被検体から誘発された光音響波U(超音波)を例えば複数の有機圧電素子5で受信することができる。これにより、光音響効果を利用して被検体内を画像化する、いわゆる光音響イメージング(PAI:Photoacoustic Imaging)を行うことができる。
光照射部31は、互いに異なる波長を有する複数の照射光Lを被検体に向けて順次照射するもので、半導体レーザ(LD)、発光ダイオード(LED)、固体レーザ、ガスレーザ等から構成することができる。光照射部31は、例えば、パルスレーザ光を照射光Lとして用い、パルス毎に順次波長を切り換えながら被検体に向けてパルスレーザ光を照射する。
In the above-described embodiment, ultrasonic waves generated by the plurality of inorganic
The
光音響イメージングを行う際には、光照射部31から被検体に向けて照射光Lが照射され、その照射された照射光Lが被検体内の所定の生体組織Vに照射されると、生体組織Vは照射光Lの光エネルギーを吸収することにより弾性波である光音響波U(超音波)を放出する。
例えば、光照射部31から約750nmの波長を有する照射光Lと、約800nmの波長を有する照射光Lを順次被検体に照射する。ここで、ヒトの動脈に多く含まれる酸素化ヘモグロビン(酸素と結合したヘモグロビン:oxy-Hb)は、波長800nmの照射光Lよりも波長750nmの照射光Lに対して、高い分子吸収係数を有する。一方、静脈に多く含まれる脱酸素化ヘモグロビン(酸素と結合していないヘモグロビンdeoxy-Hb)は、波長800nmの照射光Lよりも波長750nmの照射光Lに対して、低い分子吸収係数を有する。このため、動脈および静脈に波長800nmの照射光Lおよび波長750nmの照射光Lをそれぞれ照射すると、動脈および静脈の分子吸収係数に応じた強度の光音響波Uがそれぞれ放出されることになる。
動脈または静脈から放出された光音響波Uは、上記の実施の形態と同様にして、超音波探触子の複数の有機雑電素子5で受信される。
When performing photoacoustic imaging, irradiation light L is irradiated from the
For example, the object is sequentially irradiated with irradiation light L having a wavelength of about 750 nm and irradiation light L having a wavelength of about 800 nm from the
The photoacoustic wave U emitted from the artery or vein is received by the plurality of organic
このように、超音波探触子は、超音波画像用として使用されるだけでなく、光音響画像用として使用することもでき、1つの超音波探触子を用いて多様な超音波診断を行うことができる。
なお、照射光Lの照射により被検体から誘発される光音響波Uは、複数の無機圧電素子2で受信することもできる。
As described above, the ultrasonic probe can be used not only for an ultrasonic image but also for a photoacoustic image, and various ultrasonic diagnosis can be performed by using one ultrasonic probe. It can be carried out.
The photoacoustic wave U induced from the subject by the irradiation of the irradiation light L can be received by the plurality of inorganic
1 バッキング材、2 無機圧電素子、3 第1の音響整合層、4 第2の音響整合層、5 有機圧電素子、6 分離部、7 保護層、8 音響レンズ、9 無機圧電素子用A/Dコンバータ、10 有機圧電素子用アンプ、11 有機圧電素子用A/Dコンバータ、21 無機圧電体、22,44 信号電極層、23,43 接地電極層、41 上側有機層、42 下側有機層、91 無機圧電体層、91a 無機圧電素子層、92,93,96 導電層、94 音響整合層、95 有機層、97 溝、31 光照射部、P 配列ピッチ、L 照射光、U 光音響波。
DESCRIPTION OF
Claims (14)
前記バッキング材の表面上に配列された複数の無機圧電素子と、
前記複数の無機圧電素子の上に配置された第1の音響整合層と、
前記第1の音響整合層の上に配置された第2の音響整合層と
を備え、
前記第2の音響整合層は、複数の有機圧電素子を構成する上側有機層と、前記上側有機層と併せて前記複数の無機圧電素子に対する音響整合を行うための下側有機層とからなり、
前記複数の有機圧電素子は、
シート状の前記上側有機層と、
前記上側有機層の表面上にわたって延在する接地電極層と、
前記下側有機層に対向する前記上側有機層の裏面上に配列された複数の信号電極層と
を有し、
前記複数の信号電極層から前記複数の無機圧電素子までの各層を複数の断片に分離するように、積層方向に向かってそれぞれ同じピッチで平行に延びる複数の分離部をさらに備えることにより、前記複数の有機圧電素子と前記複数の無機圧電素子が互いに同じピッチで配列されることを特徴とする超音波探触子。 Backing material,
A plurality of inorganic piezoelectric elements arranged on the surface of the backing material;
A first acoustic matching layer disposed on the plurality of inorganic piezoelectric elements;
A second acoustic matching layer disposed on the first acoustic matching layer,
The second acoustic matching layer includes an upper organic layer constituting a plurality of organic piezoelectric elements, and a lower organic layer for performing acoustic matching with the plurality of inorganic piezoelectric elements in combination with the upper organic layer,
The plurality of organic piezoelectric elements are:
The upper organic layer in sheet form;
A ground electrode layer extending over the surface of the upper organic layer;
A plurality of signal electrode layers arranged on the back surface of the upper organic layer facing the lower organic layer, and
By further comprising a plurality of separation portions extending in parallel at the same pitch in the stacking direction so as to separate each layer from the plurality of signal electrode layers to the plurality of inorganic piezoelectric elements into a plurality of pieces, An ultrasonic probe in which the organic piezoelectric element and the plurality of inorganic piezoelectric elements are arranged at the same pitch.
前記上側有機層は、受信した超音波エコーを受信信号に変換するために、所定の電気容量を有する厚さで形成され、
前記上側有機層の厚さと前記下側有機層の厚さの和は、前記複数の無機圧電素子から送信される超音波に対して所望の音響整合が行われるような値に形成される請求項1〜3のいずれか一項に記載の超音波探触子。 The plurality of organic piezoelectric elements is used as a receiving device that receives ultrasonic waves transmitted from the plurality of inorganic piezoelectric elements,
The upper organic layer is formed with a thickness having a predetermined capacitance in order to convert a received ultrasonic echo into a received signal,
The sum of the thickness of the upper organic layer and the thickness of the lower organic layer is formed to a value such that desired acoustic matching is performed with respect to ultrasonic waves transmitted from the plurality of inorganic piezoelectric elements. The ultrasonic probe as described in any one of 1-3.
互いに分離された複数の無機圧電体と、
前記複数の無機圧電体の両面にそれぞれ配置された複数の信号電極層および複数の接地電極層と
を有する請求項1〜6のいずれか一項に記載の超音波探触子。 The plurality of inorganic piezoelectric elements are:
A plurality of inorganic piezoelectric bodies separated from each other;
The ultrasonic probe according to claim 1, further comprising: a plurality of signal electrode layers and a plurality of ground electrode layers respectively disposed on both surfaces of the plurality of inorganic piezoelectric bodies.
前記下側有機層は、有機材料、または、有機材料と無機材料の複合材料から構成される請求項1〜8のいずれか一項に記載の超音波探触子。 The upper organic layer is composed only of an organic material,
The ultrasound probe according to claim 1, wherein the lower organic layer is made of an organic material or a composite material of an organic material and an inorganic material.
前記光照射部から照射光が照射されることで被検体から誘発された超音波を前記複数の有機圧電素子または前記複数の無機圧電素子で受信する請求項1〜13のいずれか一項に記載の超音波探触子。 It further has a light irradiation unit that irradiates irradiation light toward the subject,
The ultrasonic wave induced from the subject by irradiating irradiation light from the light irradiation unit is received by the plurality of organic piezoelectric elements or the plurality of inorganic piezoelectric elements. Ultrasonic probe.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012023924 | 2012-02-07 | ||
JP2012023924 | 2012-02-07 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012244343A Division JP5881582B2 (en) | 2012-02-07 | 2012-11-06 | Manufacturing method of ultrasonic probe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016052531A true JP2016052531A (en) | 2016-04-14 |
JP6029731B2 JP6029731B2 (en) | 2016-11-24 |
Family
ID=55744518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015214191A Expired - Fee Related JP6029731B2 (en) | 2012-02-07 | 2015-10-30 | Ultrasonic probe |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6029731B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4219026A1 (en) | 2015-09-03 | 2023-08-02 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Ultrasound transducer assembly |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60113598A (en) * | 1983-11-24 | 1985-06-20 | Nec Corp | Ultrasonic wave probe |
JPH05277102A (en) * | 1992-03-31 | 1993-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic probe |
JPH06253394A (en) * | 1993-02-27 | 1994-09-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Arrayed type ultrasonic probe |
WO2007145073A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-21 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Array ultrasonic probe and its manufacturing method and array ultrasonic probe drive method |
WO2008010509A1 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-24 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Ultrasound probe of multichannel array type and method for fabricating ultrasound probe of multichannel array type |
JP2009268807A (en) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Ultrasonic diagnostic device |
JP2010087965A (en) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Method of manufacturing array type ultrasonic vibrator |
WO2010044312A1 (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-22 | コニカミノルタエムジー株式会社 | Array-type ultrasonic vibrator |
JP2010125068A (en) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Aloka Co Ltd | Ultrasonic transducer |
JP2011045514A (en) * | 2009-08-27 | 2011-03-10 | Sadahisa Yamaoka | Photoacoustic tomography apparatus |
JP2011067485A (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | Ultrasonic transducer and probe |
JP2011071842A (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | Ultrasonic-wave probe and method for manufacturing ultrasonic-wave transducer array |
JP2011083362A (en) * | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Ultrasonic probe and ultrasonograph |
JP2012011024A (en) * | 2010-07-01 | 2012-01-19 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus |
-
2015
- 2015-10-30 JP JP2015214191A patent/JP6029731B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60113598A (en) * | 1983-11-24 | 1985-06-20 | Nec Corp | Ultrasonic wave probe |
JPH05277102A (en) * | 1992-03-31 | 1993-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic probe |
JPH06253394A (en) * | 1993-02-27 | 1994-09-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Arrayed type ultrasonic probe |
WO2007145073A1 (en) * | 2006-06-13 | 2007-12-21 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Array ultrasonic probe and its manufacturing method and array ultrasonic probe drive method |
WO2008010509A1 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-24 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Ultrasound probe of multichannel array type and method for fabricating ultrasound probe of multichannel array type |
JP2009268807A (en) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Ultrasonic diagnostic device |
JP2010087965A (en) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Method of manufacturing array type ultrasonic vibrator |
WO2010044312A1 (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-22 | コニカミノルタエムジー株式会社 | Array-type ultrasonic vibrator |
JP2010233224A (en) * | 2008-10-17 | 2010-10-14 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Array-type ultrasonic vibrator |
JP2010125068A (en) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Aloka Co Ltd | Ultrasonic transducer |
JP2011045514A (en) * | 2009-08-27 | 2011-03-10 | Sadahisa Yamaoka | Photoacoustic tomography apparatus |
JP2011067485A (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | Ultrasonic transducer and probe |
JP2011071842A (en) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | Ultrasonic-wave probe and method for manufacturing ultrasonic-wave transducer array |
JP2011083362A (en) * | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Ultrasonic probe and ultrasonograph |
JP2012011024A (en) * | 2010-07-01 | 2012-01-19 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6029731B2 (en) | 2016-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5881582B2 (en) | Manufacturing method of ultrasonic probe | |
JP5685214B2 (en) | Photoacoustic image generation apparatus and method | |
US20200061671A1 (en) | Ultrasound transducer and method for making the same | |
JP5584154B2 (en) | Photoacoustic imaging apparatus, photoacoustic imaging method, and probe for photoacoustic imaging apparatus | |
US9219220B2 (en) | Ultrasonic transducer, ultrasonic probe, and ultrasound image diagnosis apparatus | |
KR101354605B1 (en) | Ultrasound Probe and Manufacturing Method thereof | |
US9799818B2 (en) | Ultrasound probe with heat collecting portion | |
JP2013158435A (en) | Photoacoustic device, probe for photoacoustic device, and method for obtaining acoustic wave detection signal | |
US9839411B2 (en) | Ultrasound diagnostic apparatus probe having laminated piezoelectric layers oriented at different angles | |
JP6029731B2 (en) | Ultrasonic probe | |
WO2014112498A1 (en) | Acoustic wave probe and production method therefor | |
JP6047074B2 (en) | Ultrasonic probe and manufacturing method thereof | |
US10238366B2 (en) | Ultrasound diagnostic apparatus | |
WO2014077061A1 (en) | Ultrasonic vibrator and manufacturing method therefor | |
JP5829897B2 (en) | Probe unit for photoacoustic diagnosis and photoacoustic diagnostic apparatus using the same | |
JP2011067485A (en) | Ultrasonic transducer and probe | |
JP5530994B2 (en) | Ultrasonic probe and manufacturing method thereof | |
JP2011062224A (en) | Ultrasonic transducer and ultrasonic probe | |
JP2012142880A (en) | Ultrasonic vibrator, ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160930 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161018 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6029731 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |