JP2016051591A - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 FIB鏡筒(イオンビーム鏡筒)
3 試料室
4 二次電子検出器
5 試料
6 透過電子検出器
7 移動式検出器
8 試料ステージ
9 傾斜機構
10 駆動機構
20 入力装置
21 表示装置
22 電子ビーム制御部
23 FIB制御部
24 像形成部
25 試料ステージ制御部
26 透過像形成部
27 コンピュータ
100 荷電粒子ビーム装置
Claims (3)
- 試料を保持する試料ステージと、
前記試料ステージに保持された試料に電子ビームを照射する電子ビーム鏡筒と、
前記試料ステージに保持された試料にイオンビームを照射し、エッチング加工するイオンビーム鏡筒と、
前記電子ビームの照射軸上で移動可能に配置され、前記電子ビームが照射され試料内で散乱し透過した散乱電子を検出する移動式検出器と、を有する荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置であって、
前記移動式検出器を移動させる駆動機構を更に備え、
当該駆動機構は、前記移動式検出器を移動させて試料に対する当該移動式検出器の距離を変更する、荷電粒子ビーム装置。 - 請求項1または2に記載の荷電粒子ビーム装置であって、
前記移動式検出器の散乱電子の検出面が複数の検出領域に分割されている、荷電粒子ビーム装置。
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JP2014176030A JP2016051591A (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 荷電粒子ビーム装置 |
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Citations (4)
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JP2006127850A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビーム装置及び試料作製方法 |
JP2006190567A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線装置 |
JP2010251041A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-04 | Renesas Electronics Corp | 走査型透過電子顕微鏡 |
JP5464537B1 (ja) * | 2013-09-12 | 2014-04-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
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Patent Citations (4)
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