JP2016051494A - Magnetic recording device - Google Patents

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紘一 篠原
Koichi Shinohara
紘一 篠原
竜雄 柴田
Tatsuo Shibata
竜雄 柴田
尚子 上浦
Naoko Kamiura
尚子 上浦
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording device whose reliability is enhanced by assisting magnetic flux reversal which is determined by a product of an electric field and magnetic field and decreasing the critical value of the product of the electric field and magnetic field.SOLUTION: The magnetic recording device includes a substrate; a first recording medium layer which is formed on the substrate and mainly contains an antiferromagnetic material and a ferrimagnetic material all having electromagnetic effect, or a combination thereof; a second recording medium layer which is formed on the first recording medium layer, to which magnetic information recorded on the first recording layer is transferred and generates magnetization intensity sufficient for reading, and which mainly contains a ferromagnetic material; an electric field application device for applying an electric field to the recording medium; and a magnetic field application device for applying a magnetic field to the recording medium. In the magnetic recording device, a radio wave of a microwave region is applied to the recording medium in addition to the application of the electric field and the magnetic field.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、磁気記録デバイスに関する。   The present invention relates to a magnetic recording device.

ハードディスク装置は、情報爆発の時代になっても、記録技術の中核の技術に位置付けられている。その中心は記録ビットの微細化による大容量化である。磁気記録媒体と磁気ヘッドとの最適条件の組み合わせにより、延長線上の技術によって高密度記録が実用化されてきたものの、工学的な限界も近く、記録磁界を実質的に有効にする熱アシスト(特許文献1)やマイクロ波アシスト(特許文献2)の記録技術の実用化が検討されている。   Hard disk devices are positioned as the core technology of recording technology even in the age of information explosion. The center is the increase in capacity by miniaturization of recording bits. Although high-density recording has been put to practical use by the technique on the extension line due to a combination of optimum conditions of the magnetic recording medium and magnetic head, it is close to the engineering limit and heat assist that makes the recording magnetic field substantially effective (patented) Literature 1) and microwave assist (Patent Document 2) are being studied for practical use.

一方、従来の信号記録や信号の保持とは異なる原理に基づく磁気記録技術に着目し、非特許文献1に開示された、電気と磁気の交差相関である電気磁気効果(以下、「ME効果」という。)のハードディスク装置への応用が期待されている。   On the other hand, paying attention to magnetic recording technology based on a principle different from conventional signal recording and signal holding, the electromagnetic effect (hereinafter referred to as “ME effect”) disclosed in Non-Patent Document 1 is a cross-correlation between electricity and magnetism. Is expected to be applied to hard disk drives.

特開2014−56631号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-56631 特開2013−229084号公報JP 2013-229084 A

X.He.et.al.,Nature Materials,9,579(2010)X. He. et. al. , Nature Materials, 9, 579 (2010).

ハードディスクドライブのような磁気記録デバイスでは、記録媒体上の所望の領域の磁化の方向を選択的に操作することによって情報の記録を行うため、磁化の方向の操作に加えて、任意の微小領域の磁化を操作する技術が必要とされる。上述したME効果を磁気記録に活かすには、ME効果もまた所望の領域で選択的に引き起こす必要がある。   In a magnetic recording device such as a hard disk drive, information is recorded by selectively manipulating the magnetization direction of a desired area on a recording medium. A technique for manipulating magnetization is required. In order to utilize the above-described ME effect in magnetic recording, it is necessary to selectively cause the ME effect in a desired region.

すなわち、ME効果を磁気記録デバイスに応用するうえで基幹となる技術の一つが、電界と磁界の微小領域での重畳である。そこで、本発明者らが鋭意研究した結果、以下のことが明らかとなった。すなわち、電気磁気効果を有する、反強磁性体、フェリ磁性体、又はこれらの組み合わせを主として含む第一の記録媒体層と、それに隣接するように配置され、第一の記録媒体層に記録された磁気情報が転写され、読み取りに必要な強さの磁化を発生する、強磁性体を主として含む第二の記録媒体層と、を含む積層膜を記録媒体として用い、第一の記録媒体層に、磁気記録に必要な第二の記録媒体層の磁化反転に関わるME効果を発現させるためには、電界(E)と磁界(H)との強度の積である電界磁界積(E×H)の値に関し、第一の記録媒体の構成材料に対応した臨界値が存在する。一方、当該臨界値を超えるよう、単に電界磁界積(E×H)を設定しようとしても、電界(E)の大きさによっては、記録媒体の構成材料に絶縁破壊が生じてしまう。   That is, one of the key technologies for applying the ME effect to magnetic recording devices is the superposition of electric and magnetic fields in a minute region. Therefore, as a result of intensive studies by the present inventors, the following has been clarified. That is, a first recording medium layer mainly including an antiferromagnetic material, a ferrimagnetic material, or a combination thereof having an electromagnetic effect, and the first recording medium layer arranged adjacent to the first recording medium layer and recorded on the first recording medium layer Using a laminated film including a second recording medium layer mainly containing a ferromagnetic material, on which magnetic information is transferred and generates magnetization having a strength necessary for reading, as a recording medium, In order to develop the ME effect related to the magnetization reversal of the second recording medium layer necessary for magnetic recording, the electric field magnetic field product (E × H), which is the product of the strength of the electric field (E) and the magnetic field (H), is obtained. Regarding the value, there is a critical value corresponding to the constituent material of the first recording medium. On the other hand, even if an electric field product (E × H) is simply set so as to exceed the critical value, dielectric breakdown occurs in the constituent material of the recording medium depending on the magnitude of the electric field (E).

そこで本発明は、電界磁界積で決まる磁化反転作用をアシストし、磁気記録に必要な電界磁界積の臨界値を低くすることによって、信頼性が向上した磁気記録デバイスを提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention aims to provide a magnetic recording device with improved reliability by assisting the magnetization reversal action determined by the electric field product and lowering the critical value of the electric field product required for magnetic recording. .

本発明は、基板、基板上に設けられ、かつ、電気磁気効果を有する、反強磁性体、フェリ磁性体、又はこれらの組み合わせを主として含む第一の記録媒体層、及び、第一の記録媒体層上に設けられ、かつ、第一の記録媒体層に記録された磁気情報が転写され、読み取りに必要な強さの磁化を発生する、強磁性体を主として含む第二の記録媒体層を含む記録媒体と、記録媒体に対して電界を印加する電界印加装置と、記録媒体に対して磁界を印加する磁界印加装置と、を備え、記録媒体に対して、電界及び磁界の印加と共にマイクロ波領域の電磁波が印加される、磁気記録デバイスを提供する。   The present invention provides a substrate, a first recording medium layer which is provided on the substrate and has an electromagnetic effect, and which mainly includes an antiferromagnetic material, a ferrimagnetic material, or a combination thereof, and a first recording medium Including a second recording medium layer mainly including a ferromagnetic material provided on the layer and transferring magnetic information recorded on the first recording medium layer to generate magnetization having a strength necessary for reading. A recording medium, an electric field applying device that applies an electric field to the recording medium, and a magnetic field applying device that applies a magnetic field to the recording medium, and a microwave region together with the application of the electric field and the magnetic field to the recording medium Provided is a magnetic recording device to which an electromagnetic wave is applied.

本発明によれば、第一の記録媒体層に主として含まれる反強磁性体又はフェリ磁性体の反平行スピンの配列状態が、印加されるマイクロ波領域の電磁波(以下、単に「マイクロ波」という場合がある。)から電磁界の摂動を受ける。これにより、電界と磁界とが重畳された領域において、ME効果により第一の記録媒体層の磁化が反転するようにスピンの配列状態が変化し、これに伴って、第二の記録媒体層の磁化が同じ方向を向くように反転する。すなわち、マイクロ波領域の電磁波を印加することによって、その際のエネルギーを小さくできる。上述のようにして、本発明によれば、第二の記録媒体層における磁化反転に関わる、第一の記録媒体層におけるME効果の発現に必要な電界磁界積(E×H)の臨界値を実効的に小さくできる。その結果、特に、第一の記録媒体層(特に、酸化物薄膜)の絶縁破壊を防止できることになり、安定して電界と磁界との重畳を磁気記録媒体に生じせしめることができる。また、記録密度をより高めたうえで、記録再生の繰り返し耐久性を有する磁気記録デバイスを提供できる。   According to the present invention, the arrangement of antiparallel spins of the antiferromagnetic material or ferrimagnetic material mainly contained in the first recording medium layer is an electromagnetic wave in an applied microwave region (hereinafter simply referred to as “microwave”). May be perturbed by the electromagnetic field. Thereby, in the region where the electric field and the magnetic field are superimposed, the spin arrangement state is changed so that the magnetization of the first recording medium layer is reversed by the ME effect, and accordingly, the second recording medium layer It reverses so that the magnetization is in the same direction. That is, by applying electromagnetic waves in the microwave region, the energy at that time can be reduced. As described above, according to the present invention, the critical value of the electric field product (E × H) required for the ME effect in the first recording medium layer related to the magnetization reversal in the second recording medium layer is set. Can be effectively reduced. As a result, the dielectric breakdown of the first recording medium layer (especially the oxide thin film) can be prevented, and the superposition of the electric field and the magnetic field can be stably generated in the magnetic recording medium. In addition, it is possible to provide a magnetic recording device having higher recording density and durability against repeated recording and reproduction.

本発明者らは、本発明と、数十GHz以上の周波数を有するマイクロ波を追加的に印加するマイクロ波アシスト記録(以下、「高周波磁界を追加的に印加するマイクロ波アシスト記録」という)との相違点を、以下のように推察する。本発明は、高周波磁界を追加的に印加するマイクロ波アシスト記録のように、記録媒体の構成要素、マイクロ波の共鳴条件といった、複数、かつ、複雑な条件を考慮したうえで実施される必要がなく、かつ、ME効果の発現に必要な電界磁界積(E×H)の臨界値を下げることができる。この理由は、スピンの歳差運動とマイクロ波の共鳴によって高保磁力の記録媒体の磁化反転をアシストする、高周波磁界を追加的に印加するマイクロ波アシスト記録のような作用とは異なり、電界と磁界の合成であるマイクロ波が、電界、磁界のいずれか、あるいは両方によって反強磁性体又はフェリ磁性体の反平行スピンに摂動を与える作用が、ME効果の発現に必要な電界磁界積(E×H)の臨界値を下げるためと推察される。この効果は、高周波磁界を追加的に印加するマイクロ波アシスト記録のように共鳴条件を最適化する必要はなく、非共鳴であっても、ME効果を発現する反強磁性体又はフェリ磁性体の反平行スピンに対する摂動作用が磁気記録に対して有効であるということを示したといえる。その結果、供給パワーを、マイクロ波アシスト記録に要するマイクロ波周波数の数十分の1程度に最適化することが可能で、実用性も高いと言える。また、記録媒体の構成材料は、ピンホールではなくても薄膜に不均一で薄い部分があると、絶縁性が保てなくなる事象、すなわち絶縁破壊に遭遇する。絶縁破壊には臨界点があるがその臨界点を超えない限りは、デジタル情報としてビットエラーがあっても、訂正可能なレベルに抑制可能である。すなわち本発明によれば、記録媒体の構成材料の絶縁破壊が抑制されることによって、信頼性が向上した実用性のある新しい記録技術の提供が可能である。   The inventors of the present invention, microwave assist recording that additionally applies a microwave having a frequency of several tens of GHz or more (hereinafter referred to as “microwave assist recording that additionally applies a high-frequency magnetic field”), The difference is inferred as follows. The present invention needs to be implemented in consideration of a plurality of and complicated conditions such as recording medium components and microwave resonance conditions, as in microwave-assisted recording in which a high-frequency magnetic field is additionally applied. In addition, the critical value of the electric field product (E × H) required for the ME effect can be lowered. The reason for this is that, unlike the action of microwave assisted recording, in which a high frequency magnetic field is additionally applied, which assists the magnetization reversal of a high coercive force recording medium by spin precession and microwave resonance, The effect of perturbing the antiparallel spin of the antiferromagnet or the ferrimagnet by the electric field or the magnetic field, or both, is the electric field magnetic field product (E × It is inferred to lower the critical value of H). This effect is not required to optimize the resonance conditions as in microwave-assisted recording in which a high-frequency magnetic field is additionally applied, and even if non-resonant, an antiferromagnetic material or a ferrimagnetic material that exhibits the ME effect. It can be said that the perturbation for anti-parallel spin is effective for magnetic recording. As a result, it can be said that the supply power can be optimized to about one-tenth of the microwave frequency required for microwave-assisted recording, and the practicality is high. Further, even if the constituent material of the recording medium is not a pinhole, if the thin film has a non-uniform and thin portion, an event where insulation cannot be maintained, that is, dielectric breakdown is encountered. Although there is a critical point for dielectric breakdown, as long as the critical point is not exceeded, even if there is a bit error as digital information, it can be suppressed to a correctable level. That is, according to the present invention, it is possible to provide a practical new recording technique with improved reliability by suppressing the dielectric breakdown of the constituent material of the recording medium.

ここで、マイクロ波領域の電磁波は、1〜6GHzの周波数を有するとよい。電界磁界積で決まる磁化反転作用をアシストするマイクロ波のエネルギーが上記範囲であることにより、記録媒体の構成材料の絶縁破壊を十分に抑制することができる。   Here, the electromagnetic wave in the microwave region may have a frequency of 1 to 6 GHz. When the microwave energy that assists the magnetization reversal action determined by the electric field product is within the above range, the dielectric breakdown of the constituent material of the recording medium can be sufficiently suppressed.

本発明によれば、電界磁界積で決まる磁化反転作用をアシストし、磁気記録に必要な電界磁界積の臨界値を低くすることによって、信頼性が向上した磁気記録デバイスを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a magnetic recording device with improved reliability by assisting the magnetization reversal action determined by the electric field product and lowering the critical value of the electric field product necessary for magnetic recording.

本実施形態に係る磁気記録デバイスにおける磁気記録の基本原理を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the basic principle of the magnetic recording in the magnetic recording device which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る磁気記録デバイスにおける記録媒体の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the recording medium in the magnetic recording device which concerns on this embodiment. 本発明の実施例1に係る電界磁界積の臨界値(E×H臨界値)の引き下げ効果と記録された信号の相対S/Nを示す図である。It is a figure which shows the reduction effect of the critical value (ExH critical value) of the electric field magnetic field product based on Example 1 of this invention, and relative S / N of the recorded signal. 本発明の実施例2に係る電界磁界積の臨界値(E×H臨界値)の引き下げ効果と記録された信号の相対S/Nを示す図である。It is a figure which shows the reduction effect of the critical value (ExH critical value) of the electric field magnetic field product based on Example 2 of this invention, and the relative S / N of the recorded signal. 本発明の実施例3〜5に係る記録媒体の保磁力と電界磁界積の臨界値(E×H臨界値)の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the coercive force of the recording medium which concerns on Examples 3-5 of this invention, and the critical value (ExH critical value) of an electric field magnetic field product. 本発明の実施例6〜8に係る記録媒体の保磁力と電界磁界積の臨界値(E×H臨界値)の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the coercive force of the recording medium based on Examples 6-8 of this invention, and the critical value (ExH critical value) of an electric field magnetic field product. 本発明の実施例9に係る記録トラック位置におけるビットエラーを示す図であるIt is a figure which shows the bit error in the recording track position which concerns on Example 9 of this invention. 本発明の実施例10に係る記録トラック位置におけるビットエラーを示す図であるIt is a figure which shows the bit error in the recording track position which concerns on Example 10 of this invention.

以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。以下の説明は本発明の実施形態の一部を例示するものであり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、形態が本発明の技術的思想を有するものである限り、本発明の範囲に含まれる。各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせなどは一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。
なお、以下の説明では、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The following description exemplifies a part of the embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to these embodiments. As long as the form has the technical idea of the present invention, the present invention is not limited thereto. It is included in the scope of the invention. Each configuration in each embodiment, a combination thereof, and the like are examples, and the addition, omission, replacement, and other changes of the configuration can be made without departing from the spirit of the present invention.
In the following description, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

<磁気記録デバイス>
本実施形態に係る磁気記録デバイスにおける磁気記録の基本原理について図1を参照して説明する。磁気記録デバイス200を構成する基本要素は、ME効果を利用して磁気情報が記録される記録媒体1、記録媒体1に対して磁界を印加する磁界印加装置2、及び、記録媒体1に対して電界を印加する電界印加装置3を備える。本実施形態に係る磁気記録デバイス200における磁気情報の記録は、記録媒体1に対して磁界と電界とを同時に印加することによって行う。ここで、「電界と磁界とを同時に印加する」とは、記録媒体1に、より正確には記録媒体1に含まれる第一の記録媒体層101に対して、電界と磁界とが重なった部分(以下、「重畳領域」という場合がある。)を一時的に形成することを意味する。本実施形態において、「ME記録」を、「記録媒体に対して電界と磁界との重ね合わせを生じさせ、電界又は磁界のいずれか一方を反転させることによって記録媒体の磁化方向を操作する記録方法」と定義する。
<Magnetic recording device>
The basic principle of magnetic recording in the magnetic recording device according to this embodiment will be described with reference to FIG. The basic elements constituting the magnetic recording device 200 are the recording medium 1 on which magnetic information is recorded using the ME effect, the magnetic field applying device 2 that applies a magnetic field to the recording medium 1, and the recording medium 1. An electric field applying device 3 for applying an electric field is provided. Recording of magnetic information in the magnetic recording device 200 according to the present embodiment is performed by simultaneously applying a magnetic field and an electric field to the recording medium 1. Here, “applying an electric field and a magnetic field simultaneously” means a portion where the electric field and the magnetic field overlap with the recording medium 1, more precisely, the first recording medium layer 101 included in the recording medium 1. (Hereinafter sometimes referred to as “superimposed region”) means temporarily forming. In this embodiment, “ME recording” is performed by “a recording method in which an electric field and a magnetic field are superimposed on a recording medium, and the magnetization direction of the recording medium is manipulated by reversing either the electric field or the magnetic field. Is defined.

ME効果を利用して記録媒体1に磁気情報を記録するには、印加する磁界と電界とを空間的に狭い領域でのみ重畳し、さらに、この重畳領域を記録媒体1上の任意の場所に移動する機構が必要とされる。これには、ハードディスクに利用されているヘッド・アセンブリ技術を基本に用いることができる。   In order to record magnetic information on the recording medium 1 using the ME effect, the applied magnetic field and electric field are superimposed only in a spatially narrow area, and this superimposed area is further placed at an arbitrary location on the recording medium 1. A moving mechanism is required. For this, the head assembly technology used for hard disks can be basically used.

具体的には、図1に示すように、記録媒体1に、磁界印加装置2から放射される空間的に限定された磁界25と、電界印加装置3から第一の電極31と第二の電極32との間に加えられた電界とが重なる領域、すなわち、重畳領域45が形成されている。そして、記録媒体1が、重畳領域45を移動することができるように配置され、例えば記録媒体1を移動させながら、重畳領域の磁界と電界を適宜切り替えることで、磁化情報を連続して記録媒体1の第一の記録媒体層101に記録させることが可能である。   Specifically, as shown in FIG. 1, a spatially limited magnetic field 25 radiated from the magnetic field application device 2 and a first electrode 31 and a second electrode from the electric field application device 3 are recorded on the recording medium 1. 32, an overlapping region 45 is formed, in which an electric field applied between the two regions overlaps with the electric field. The recording medium 1 is arranged so as to be able to move the superposition region 45. For example, while moving the recording medium 1, the magnetization information is continuously recorded by appropriately switching the magnetic field and electric field of the superposition region. It is possible to record on one first recording medium layer 101.

本実施形態に係る磁気記録デバイス200が従来の垂直磁気記録方式と大きく相違する点は、記録媒体1が、記録ヘッド7に備えられた磁界印加装置2からの磁界(H)25の印加に加えて、電界印加装置3から電界(E)の印加を受けることである。さらに本発明の特徴は、従来の垂直磁気記録方式でも印加する磁界(H)に加え、マイクロ波領域の電磁波26を印加する点であり、これにより、第一の記録媒体層101にME効果を発現するために必要となる、磁界(H)と電界(E)との掛け合わせである電界磁界積(H×E)の臨界値を下げることができる。その効果として、特に、電界Eによる記録媒体1(特に第一の記録媒体層101)の絶縁破壊を抑制することができる。   The magnetic recording device 200 according to this embodiment is greatly different from the conventional perpendicular magnetic recording system in that the recording medium 1 is applied in addition to the application of the magnetic field (H) 25 from the magnetic field applying device 2 provided in the recording head 7. In other words, the application of the electric field (E) from the electric field applying device 3 is performed. Further, the present invention is characterized in that the electromagnetic wave 26 in the microwave region is applied in addition to the magnetic field (H) to be applied even in the conventional perpendicular magnetic recording method, and thereby the ME effect is exerted on the first recording medium layer 101. The critical value of the electric field magnetic field product (H × E), which is a product of the magnetic field (H) and the electric field (E), required for the expression can be lowered. As an effect, in particular, dielectric breakdown of the recording medium 1 (particularly the first recording medium layer 101) due to the electric field E can be suppressed.

(記録媒体)
記録媒体1は、基板40と、第一の電極31と、第一の記録媒体層101と、第二の記録媒体層102とをこの順に備えて構成される。基板40は、第一の電極31、第一の記録媒体層101、及び、第二の記録媒体層102を保持する。第一の電極31は、高い電気伝導性を有する金属又は合金を好適に用いることができ、例えば、Cu、Al、Pt等の金属又は合金が挙げられる。
(recoding media)
The recording medium 1 includes a substrate 40, a first electrode 31, a first recording medium layer 101, and a second recording medium layer 102 in this order. The substrate 40 holds the first electrode 31, the first recording medium layer 101, and the second recording medium layer 102. For the first electrode 31, a metal or alloy having high electrical conductivity can be suitably used, and examples thereof include metals or alloys such as Cu, Al, and Pt.

第一の記録媒体層101は、電気磁気効果(以下、「ME効果」という)を有し、反強磁性体、フェリ磁性体、又はこれらの組み合わせを主として含み、外部から印加される電界と磁界の重ね合わせに応答して磁気情報を保存する機能を有する。ここで、「主として含む」とは、反強磁性体、フェリ磁性体、又はこれらの組み合わせが、第一の記録媒体層101が層としてME効果を発現する程度の量含まれることを意味する。   The first recording medium layer 101 has an electromagnetic effect (hereinafter referred to as “ME effect”), mainly includes an antiferromagnetic material, a ferrimagnetic material, or a combination thereof, and an electric field and a magnetic field applied from the outside. Has a function of storing magnetic information in response to the superposition of the two. Here, “mainly includes” means that an antiferromagnetic material, a ferrimagnetic material, or a combination thereof is included in such an amount that the first recording medium layer 101 exhibits the ME effect as a layer.

第二の記録媒体層102は、強磁性体を主として含み、第一の記録媒体層101に記録された磁気情報が転写され、読み取りに必要な強さの磁化を発生する。第二の記録媒体層102が、第一の記録媒体層101と交換結合を介して磁気的に接続されることにより、第一の記録媒体層101に記録された磁気情報が第二の記録媒体層102に転写され、第二の記録媒体層102には第一の記録媒体層101に書込まれた磁気情報を外部に読み出すために必要な強さの磁化が発生する。これにより、記録媒体1に情報が記録されることとなる。ここで、「主として含む」とは、強磁性体が、第二の記録媒体層102が層として第一の記録媒体層101との交換結合を発現し、第一の記録媒体層101に書込まれた磁気情報を外部に読み出すために必要な強さの磁化が発生する程度の量含まれることを意味する。   The second recording medium layer 102 mainly contains a ferromagnetic material, and magnetic information recorded on the first recording medium layer 101 is transferred to generate magnetization having a strength necessary for reading. When the second recording medium layer 102 is magnetically connected to the first recording medium layer 101 via exchange coupling, the magnetic information recorded on the first recording medium layer 101 is transferred to the second recording medium. The second recording medium layer 102 is magnetized with the strength necessary for reading out the magnetic information written to the first recording medium layer 101 to the outside. As a result, information is recorded on the recording medium 1. Here, “mainly includes” means that the ferromagnetic material expresses exchange coupling with the first recording medium layer 101 using the second recording medium layer 102 as a layer, and writes to the first recording medium layer 101. It means that the amount of magnetization that is necessary to read out the stored magnetic information to the outside is included.

ME効果を有する第一の記録媒体層101に外部から電界と磁界とが同時に印加された場合、印加された電界と磁界の関係が概平行であるか、又は、概反平行であるかによって、一方の反強磁性状態が他方の反強磁性状態よりもエネルギー的により安定になる。すなわち、第一の記録媒体層101の磁化の向きを能動的に制御することができ、結果として上述の交換結合を介して、隣接する第二の記録媒体層102の磁化状態を操作することができるようになる。   When an electric field and a magnetic field are simultaneously applied to the first recording medium layer 101 having the ME effect from the outside, depending on whether the relationship between the applied electric field and the magnetic field is approximately parallel or approximately antiparallel, One antiferromagnetic state is energetically more stable than the other antiferromagnetic state. That is, the magnetization direction of the first recording medium layer 101 can be actively controlled, and as a result, the magnetization state of the adjacent second recording medium layer 102 can be manipulated through the exchange coupling described above. become able to.

(記録装置)
a.磁界印加装置
磁界印加装置2は、通常、記録ヘッド7の一部として設けられ、ビット長にかかわる要件から設計される記録用磁界発生部22を含み、ME効果をアシストするマイクロ波領域の電磁波26(以下、単に「マイクロ波」という場合がある。)を重畳するマイクロ波発生部21を含んでもよい。格別の目的がない限りME効果を発現させるべき領域に、マイクロ波によって生じるアシスト磁界を重畳すればよい。
(Recording device)
a. Magnetic Field Application Device The magnetic field application device 2 is usually provided as a part of the recording head 7 and includes a recording magnetic field generation unit 22 designed from the requirements regarding the bit length, and an electromagnetic wave 26 in the microwave region that assists the ME effect. (Hereinafter, it may be simply referred to as “microwave”.) The microwave generator 21 for superimposing may be included. As long as there is no special purpose, the assist magnetic field produced by the microwave may be superimposed on the region where the ME effect should be manifested.

記録用磁界発生部22から発生する磁界の周波数は、例えば、従来の垂直磁気記録方式で用いられる記録磁界の周波数と同程度とすることができ、例えば、数MHz〜2GHzである。   The frequency of the magnetic field generated from the recording magnetic field generator 22 can be, for example, approximately the same as the frequency of the recording magnetic field used in the conventional perpendicular magnetic recording method, and is, for example, several MHz to 2 GHz.

マイクロ波発生部21から供給されるマイクロ波は、周波数を、100MHz〜10GHzとすることができ、500MHz〜8GHzとすることが好ましく、1〜6GHzとすることがより好ましい。電界磁界積(E×H)で決まる磁化反転作用をアシストするマイクロ波のエネルギーが上記範囲であることにより、記録媒体1の構成材料、すなわち、第一の記録媒体層101、第二の記録媒体層102等の絶縁破壊を十分に抑制することができる。   The frequency of the microwave supplied from the microwave generation unit 21 can be set to 100 MHz to 10 GHz, preferably 500 MHz to 8 GHz, and more preferably 1 to 6 GHz. The microwave energy that assists the magnetization reversal action determined by the electric field product (E × H) is in the above range, so that the constituent material of the recording medium 1, that is, the first recording medium layer 101 and the second recording medium. The dielectric breakdown of the layer 102 or the like can be sufficiently suppressed.

本実施形態において、マイクロ波発生部21は磁界印加装置2に含まれているが、必ずしも磁界印加装置2に含まれている必要はない。磁界印加装置2とは別に、マイクロアシスト波発生装置として設けられていてもよい。   In the present embodiment, the microwave generation unit 21 is included in the magnetic field application device 2, but is not necessarily included in the magnetic field application device 2. Aside from the magnetic field application device 2, it may be provided as a micro assist wave generator.

b.電界印加装置
電界印加装置3は第二の電極32と電極保持部34とを備える。電界印加装置3から、記録媒体1に電界を印加するためには、電界印加装置3の対極となる電極が必要であるため、第一の電極31と第二の電極32との間に、第一の記録媒体層101と第二の記録媒体層102が配置されるように記録媒体1は配置される。
b. Electric field application device The electric field application device 3 includes a second electrode 32 and an electrode holding portion 34. In order to apply an electric field from the electric field applying device 3 to the recording medium 1, an electrode serving as a counter electrode of the electric field applying device 3 is necessary. Therefore, the first electrode 31 and the second electrode 32 are provided between the first electrode 31 and the second electrode 32. The recording medium 1 is arranged such that one recording medium layer 101 and the second recording medium layer 102 are arranged.

第一の電極31と第二の電極32は電源33に接続される。このとき第一の電極31は電源33に接続されるだけでもよいが、同時に接地電位に接続されていることが望ましい。   The first electrode 31 and the second electrode 32 are connected to a power source 33. At this time, the first electrode 31 may be merely connected to the power source 33, but it is desirable that the first electrode 31 is simultaneously connected to the ground potential.

磁界印加装置2及び電界印加装置3の少なくとも一方は、記録媒体1の表面(第二の記録媒体層102側の表面)における任意の場所に移動可能な機能が付加されている。また、磁界印加装置2及び電界印加装置3の少なくとも一方には、磁界又は電界の印加方向を制御する機能が付加されている。ME効果を利用できる限りにおいて、磁界と電界は、お互いに対して多少の傾きを有して印加されていてもよい。磁界印加装置2、電界印加装置3は、使用又は未使用時に関わらず、記録媒体1の表面と物理的に接触しないように保持される。   At least one of the magnetic field application device 2 and the electric field application device 3 is provided with a function of moving to an arbitrary place on the surface of the recording medium 1 (the surface on the second recording medium layer 102 side). Further, at least one of the magnetic field application device 2 and the electric field application device 3 has a function of controlling the application direction of the magnetic field or electric field. As long as the ME effect can be used, the magnetic field and the electric field may be applied with a slight inclination with respect to each other. The magnetic field application device 2 and the electric field application device 3 are held so as not to be in physical contact with the surface of the recording medium 1 regardless of whether they are used or not used.

(再生装置)
記録情報を利用するための再生装置については、記録情報を再生する機能を有していれば、通常用いられる磁気ヘッド7に搭載されたものでもよく、これまで知られている技術を利用して磁気ヘッド7とは区別して、再生用の装置として設けられてもよい。
(Playback device)
A reproducing apparatus for using recorded information may be mounted on a normally used magnetic head 7 as long as it has a function of reproducing recorded information, and a technique known so far is used. Different from the magnetic head 7, it may be provided as a reproducing device.

<磁気記録動作>
図1に示すように、電界印加装置3によって第一の電極31と第二の電極32との間に加えられた電界は、電気伝導性を有する第二の記録媒体層102の存在によって、第二の電極32と第二の記録媒体層102に挟まれたギャップ部分にかかる電界35と、第一の電極31と第二の記録媒体層102に挟まれた第一の記録媒体層101にかかる電界36とに分割される。
<Magnetic recording operation>
As shown in FIG. 1, the electric field applied between the first electrode 31 and the second electrode 32 by the electric field applying device 3 is caused by the presence of the second recording medium layer 102 having electrical conductivity. An electric field 35 applied to a gap portion sandwiched between the second electrode 32 and the second recording medium layer 102, and a first recording medium layer 101 sandwiched between the first electrode 31 and the second recording medium layer 102. The electric field 36 is divided.

このとき電界36は第一の記録媒体層101の広い範囲に拡散して印加されるが、空間的に限定された印加磁界25と組み合わせることで、電界と磁界とが重なって印加される領域(以下、「重畳領域」という)45を狭く限定することが可能である。重畳領域45に存在する第一の記録媒体層101は、所定の電界と磁界が付与されることでME効果により反強磁性体又はフェリ磁性体のスピン配列の方向が決定される。   At this time, the electric field 36 is diffused and applied to a wide range of the first recording medium layer 101, but by combining with the spatially limited applied magnetic field 25, the electric field and the magnetic field are overlapped and applied ( (Hereinafter referred to as “overlapping region”) 45 can be narrowly limited. The first recording medium layer 101 present in the overlapping region 45 is given a predetermined electric field and magnetic field, and the spin alignment direction of the antiferromagnetic material or ferrimagnetic material is determined by the ME effect.

図1では、A〜Gまであるセルの中で左から3番目だけ(セルC)のスピンの配列方向だけが電界と磁界の印加によって反転した状態を示している。しかし、この第一の記録媒体層101は、反強磁性体、フェリ磁性体、又はこれらの組み合わせを主として含み、全体として二つのスピンの方向が打ち消しあうために外部からその磁化状態を読み出すことは困難である。   FIG. 1 shows a state in which only the third spin arrangement direction (cell C) from the left among cells A to G is reversed by application of an electric field and a magnetic field. However, the first recording medium layer 101 mainly includes an antiferromagnetic material, a ferrimagnetic material, or a combination thereof, and the magnetization state is not read out from the outside because the two spin directions cancel each other as a whole. Have difficulty.

そこで、第一の記録媒体層101と交換結合可能な、強磁性体を主として含む第二の記録媒体層102を、第一の記録媒体層101と隣接させて配置し、第一の記録媒体層101における第二の記録媒体層102近傍のスピンの配列状態を第二の記録媒体層102に転写させることにより、外部から第二の記録媒体層102の磁化状態を読み出すことが可能となる。   Therefore, a second recording medium layer 102 mainly containing a ferromagnetic material that can be exchange-coupled with the first recording medium layer 101 is disposed adjacent to the first recording medium layer 101, and the first recording medium layer By transferring the spin alignment state in the vicinity of the second recording medium layer 102 in 101 to the second recording medium layer 102, the magnetization state of the second recording medium layer 102 can be read from the outside.

具体的には、図1のように、セルCを除きセルA〜Gの範囲内にある第二の記録媒体層102は、すべて上向きの磁化方向を示すが、セルCだけは、第一の記録媒体層101における第二の記録媒体層102近傍のスピン配列方向に対応して下向きとなっている。   Specifically, as shown in FIG. 1, all the second recording medium layers 102 in the range of the cells A to G except for the cell C show the upward magnetization direction, but only the cell C has the first The recording medium layer 101 faces downward in accordance with the spin arrangement direction in the vicinity of the second recording medium layer 102.

これにより、磁気情報を再生するに当たっては、第二の記録媒体層102の磁化方向を判別することによって、第一の記録媒体層101に記録された磁化情報を読み出すことが可能となる。   Thus, when reproducing magnetic information, it is possible to read the magnetization information recorded on the first recording medium layer 101 by determining the magnetization direction of the second recording medium layer 102.

なお、第一の記録媒体層101と第二の記録媒体層102の間の交換結合が維持される限りにおいて、その間に別の層を設けることは可能である。   As long as exchange coupling between the first recording medium layer 101 and the second recording medium layer 102 is maintained, it is possible to provide another layer therebetween.

本実施形態に係る磁気記録デバイス200によれば、印加する電界と磁界の関係が、概平行か、概反平行か、を操作することによって、記録される磁化の方向を制御できる。このとき、重畳領域のみ磁化の反転が生ずる。   According to the magnetic recording device 200 according to the present embodiment, the direction of recorded magnetization can be controlled by manipulating whether the relationship between the applied electric field and magnetic field is approximately parallel or approximately antiparallel. At this time, magnetization reversal occurs only in the overlapping region.

この現象は、第二の記録媒体層102に主として含まれる強磁性体の結晶粒子の大きさや粒界の存在とは無関係に発生するため、結晶粒子の一部分と他の部分とにおいて異なる磁化の方向を実現させることも可能である。重畳領域の大きさや幅は、第一の記録媒体層101が磁化変化を記録できる限りにおいて自由に設定可能であるが、記録密度を高める観点からは、できるだけ微細にすることが望ましい。   Since this phenomenon occurs regardless of the size of the ferromagnetic crystal grains mainly contained in the second recording medium layer 102 and the existence of grain boundaries, the direction of magnetization differs between one part of the crystal grains and the other part. Can also be realized. The size and width of the overlapping region can be freely set as long as the first recording medium layer 101 can record the magnetization change, but it is desirable to make it as fine as possible from the viewpoint of increasing the recording density.

記録媒体1において、重畳領域45の一方の幅(図1の紙面奥行き方向への幅)は、記録媒体1のトラック幅TWの方向であり、また重畳領域45のもう一方の幅は、ビット長BLの方向である。トラック幅TWと、ビット長BLのサイズは特に限定されないが、高密度記録の観点から、第一の記録媒体層101として後述する材料を用いた場合には、トラック幅TW及びビット長BLは、それぞれ1nm〜200nmであることが好ましい。なお、重畳領域45の大きさは幅ではなく面積で特定することも可能であり、本実施形態としては、1(nm)〜40000(nm)の範囲で実施可能である。 In the recording medium 1, one width of the overlapping region 45 (width in the depth direction in FIG. 1) is the direction of the track width TW of the recording medium 1, and the other width of the overlapping region 45 is the bit length. The direction of BL. The size of the track width TW and the bit length BL is not particularly limited, but from the viewpoint of high-density recording, when the material described later is used as the first recording medium layer 101, the track width TW and the bit length BL are Each of them is preferably 1 nm to 200 nm. Note that the size of the overlapping region 45 can be specified not by the width but by the area, and in the present embodiment, it can be implemented in the range of 1 (nm) 2 to 40000 (nm) 2 .

効率よくME記録を行なう観点から、記録媒体1と対向して設けられた磁界印加装置2は、磁気ヘッド7の先端から記録媒体1における記録動作側の最表面との間のスペーシングとして、1nm〜30nmとなるように配置されることが望ましい。   From the viewpoint of efficiently performing ME recording, the magnetic field application device 2 provided facing the recording medium 1 has a spacing of 1 nm as a spacing between the tip of the magnetic head 7 and the outermost surface on the recording operation side in the recording medium 1. It is desirable to arrange it to be ˜30 nm.

図2は、本実施形態に係る磁気記録デバイスにおける記録媒体を断面方向から示した模式図である。記録媒体1は、上述した基板40、第一の電極31、第一の記録媒体層101、及び第二の記録媒体層102に加えて、書込みのための磁束の回路を形成するために、第一の記録媒体層101及び第二の記録媒体層102よりも基板側に軟磁性材料からなる第三の記録媒体層103を含んでいても良い。電極31と第三の記録媒体層103は、基板40側から第三の記録媒体層103、電極31の順に積層されてもよいし、電極31、第三の記録媒体層103の順に積層されてもよい。   FIG. 2 is a schematic view showing the recording medium in the magnetic recording device according to the present embodiment from the cross-sectional direction. In addition to the substrate 40, the first electrode 31, the first recording medium layer 101, and the second recording medium layer 102, the recording medium 1 includes a first magnetic flux circuit for writing. A third recording medium layer 103 made of a soft magnetic material may be included on the substrate side of the one recording medium layer 101 and the second recording medium layer 102. The electrode 31 and the third recording medium layer 103 may be laminated in the order of the third recording medium layer 103 and the electrode 31 from the substrate 40 side, or the electrode 31 and the third recording medium layer 103 are laminated in this order. Also good.

(第一の記録媒体層)
第一の記録媒体層101は、外部から印加される電界と磁界の重ね合わせに応答して磁気情報の書込みと記録を担う機能を有する。第一の記録媒体層101に好適な特性としては、電気と磁気の結合係数が大きいこと、及び、広い温度範囲で十分な強度の交換結合を発現できることが挙げられる。
(First recording medium layer)
The first recording medium layer 101 has a function of writing and recording magnetic information in response to superposition of an electric field and a magnetic field applied from the outside. Suitable characteristics for the first recording medium layer 101 include a large electrical and magnetic coupling coefficient and the ability to exhibit exchange coupling with sufficient strength over a wide temperature range.

上記特性は、優れたME効果を有する材料を単独で用いることにより得ることができるが、ME効果を有する反強磁性体と、より高いネール温度を持つ別の反強磁性体と、を組み合わせた複合材料を用いることにより得ることもできる。この場合、第一の記録媒体層101と第二の記録媒体層102との間に発現する交換結合の熱的・時間的安定性が向上する傾向にある。これらの複合材料は、所定の温度領域での交換結合を最大にできるように、材料の構造や層の厚み、磁気特性(反強磁性体の異方性エネルギーやネール温度など)などを調整できる。なお、スピンの並び方から区別した場合、その2つの性質が近似することから、ME効果をもつ反強磁性体の代わりに、ME効果をもつフェリ磁性体を用いることも可能である。   The above characteristics can be obtained by using a material having an excellent ME effect alone, but a combination of an antiferromagnetic material having an ME effect and another antiferromagnetic material having a higher Neel temperature. It can also be obtained by using a composite material. In this case, the thermal and temporal stability of exchange coupling developed between the first recording medium layer 101 and the second recording medium layer 102 tends to be improved. These composite materials can adjust material structure, layer thickness, magnetic properties (anti-ferromagnetic anisotropic energy, Neel temperature, etc.), etc. to maximize exchange coupling in a given temperature range. . Note that, when distinguished from the arrangement of spins, the two properties approximate each other, so that a ferrimagnetic material having the ME effect can be used instead of the antiferromagnetic material having the ME effect.

第一の記録媒体層101は、例えば(a)Cr、BiFeO等ME効果を有する酸化物反強磁性体、又は、Ga1−xAlFeO(0≦x≦1)等ME効果を有する酸化物フェリ磁性体の少なくとも一つを含む薄膜材料とすることが可能である。また、(b)Cr、BiFeO等ME効果を有する酸化物反強磁性体、又は、Ga1−xAlFeO(0≦x≦1)等ME効果を有する酸化物フェリ磁性体の少なくとも1種を母体とする混晶体も可能である。また、(c)上記(a)又は(b)のME効果を有する酸化物反強磁性体又は酸化物フェリ磁性体のうちの少なくとも1種と、これらME効果を有する酸化物反強磁性体又は酸化物フェリ磁性体より高いネール温度を有する反強磁性材料との積層体、或いは、混合体としてもよい。 The first recording medium layer 101 includes, for example, (a) an oxide antiferromagnetic material having a ME effect such as Cr 2 O 3 and BiFeO 3 , or Ga 1-x Al x FeO 3 (0 ≦ x ≦ 1). A thin film material including at least one of oxide ferrimagnetic materials having the ME effect can be obtained. Further, (b) oxide antiferromagnetic material having ME effect such as Cr 2 O 3 and BiFeO 3 , or oxide ferrimagnetic material having ME effect such as Ga 1-x Al x FeO 3 (0 ≦ x ≦ 1). A mixed crystal based on at least one kind of body is also possible. (C) At least one of the oxide antiferromagnetic material or oxide ferrimagnetic material having the ME effect of (a) or (b), and the oxide antiferromagnetic material having the ME effect or A laminate or a mixture with an antiferromagnetic material having a higher Neel temperature than that of an oxide ferrimagnetic material may be used.

上記反強磁性材料としては、公知のネール温度の高い反強磁性材料を適宜選択して用いることができる。代表的にはFe、(1−x)Fe−xRh、(1−x)Fe−xRuO、(1−x)Fe−xIrO(ただしxは0<x<1)のような酸化物反強磁性体、又は、IrMn、FeMnなどのような金属反強磁性体を用いることができる。 As the antiferromagnetic material, a known antiferromagnetic material having a high Neel temperature can be appropriately selected and used. Typically, Fe 2 O 3 , (1-x) Fe 2 O 3 —xRh 2 O 3 , (1-x) Fe 2 O 3 —xRuO 2 , (1-x) Fe 2 O 3 —xIrO 2 ( However, x may be an oxide antiferromagnetic material such as 0 <x <1) or a metal antiferromagnetic material such as IrMn or FeMn.

上記第一の記録媒体層101は1nm〜1μm程度の厚みであってよい。上述した材料の組み合わせにおいて、ME効果を出現、制御するためには、上記第一の記録媒体層101は絶縁体でなければならないのは言うまでもない。   The first recording medium layer 101 may have a thickness of about 1 nm to 1 μm. It goes without saying that the first recording medium layer 101 must be an insulator in order to appear and control the ME effect in the above-described combination of materials.

(第二の記録媒体層)
第二の記録媒体層102は、第一の記録媒体層101に書込まれた磁気情報を読み出すための磁界を発生する機能を有する。第二の記録媒体層102に主として含まれる強磁性体としては、このような機能を有する金属の合金、積層体、又は、規則合金から成る硬質磁性材料を適宜選択して使用できる。例えば、CoPt、FePt及び、その合金も好適に用いられる。特に、CoCrPt系、CoCrPtB系を用いることができる。CoCrPt系では、Co−Cr−Pt(Cr含有量14〜24at%、Pt含有量8〜22at%、残部Co)、CoCrPtB系では、Co−Cr−Pt−B(Cr含有量10〜24at%、Pt含有量8〜22at%、B含有量0〜16at%、残部Co)が好ましい。
(Second recording medium layer)
The second recording medium layer 102 has a function of generating a magnetic field for reading magnetic information written in the first recording medium layer 101. As the ferromagnetic material mainly included in the second recording medium layer 102, a hard magnetic material made of a metal alloy, a laminate, or an ordered alloy having such a function can be appropriately selected and used. For example, CoPt, FePt, and alloys thereof are also preferably used. In particular, a CoCrPt system or a CoCrPtB system can be used. In the CoCrPt system, Co—Cr—Pt (Cr content: 14 to 24 at%, Pt content: 8 to 22 at%, balance Co); in the CoCrPtB system, Co—Cr—Pt—B (Cr content: 10 to 24 at%, Pt content 8-22 at%, B content 0-16 at%, balance Co) are preferred.

第二の記録媒体層102は、任意の軟磁性材料を含んでもよい。軟磁性材料は非晶質であっても微結晶であってもよい。第二の記録媒体層102に用いる軟磁性材料としては飽和磁束密度Bsの値が大きいほうが好ましい。軟磁性材料は、公知の保磁力の小さな軟磁気特性を示す材料を適宜選択して用いることができる。例えば、CoTaZr等のコバルト系合金、CoFe、CoFeB、CoCrFeB、FeCoN、FeCoTaZr、CoFeZrNb等のCo−Fe系合金、NiFe、[Ni−Fe/Sn]n多層構造やFeNiMo、FeNiCr、FeNiSi等のNi−Fe系合金、FeCo、FeCoV等のCo−Fe系合金、FeCr、FeCrTi、FeCrCu等のCr−Fe系合金、FeTa、FeTaC、FeTaN等のTa−Fe系合金、FeAlSi、FeAl、FeAlSiCr、FeAlSiTiRu、FeAlO等のFeAl系合金、FeMgO等のFeMg系合金、FeZrN等のFeZr系合金、FeC系合金、FeN系合金、FeSi系合金、FeP系合金、FeNb系合金、FeHf系合金、FeB系合金、Fe、MnZn等を、単独であるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。また、Coを80at%以上含有し、Zr、Nb、Ta、Cr、Mo等のうち少なくとも1種を含有し、アモルファス構造を有するCo合金を用いることができる。   The second recording medium layer 102 may include any soft magnetic material. The soft magnetic material may be amorphous or microcrystalline. The soft magnetic material used for the second recording medium layer 102 preferably has a larger saturation magnetic flux density Bs. As the soft magnetic material, a known material exhibiting soft magnetic characteristics with a small coercive force can be appropriately selected and used. For example, cobalt alloys such as CoTaZr, Co—Fe alloys such as CoFe, CoFeB, CoCrFeB, FeCoN, FeCoTaZr, and CoFeZrNb, NiFe, [Ni—Fe / Sn] n multilayer structures, and Ni— such as FeNiMo, FeNiCr, and FeNiSi. Fe-based alloy, Fe-Co alloy such as FeCo, FeCoV, Cr-Fe-based alloy such as FeCr, FeCrTi, FeCrCu, Ta-Fe-based alloy such as FeTa, FeTaC, FeTaN, FeAlSi, FeAl, FeAlSiCr, FeAlSiTiRu, FeAlO FeAl alloy such as FeMgO, FeMg alloy such as FeMgO, FeZr alloy such as FeZrN, FeC alloy, FeN alloy, FeSi alloy, FeP alloy, FeNb alloy, FeHf alloy, FeBf alloy, Fe The MnZn like, it may be used singly or in combination of two or more. Further, a Co alloy containing 80 at% or more of Co, containing at least one of Zr, Nb, Ta, Cr, Mo and the like and having an amorphous structure can be used.

また、第二の記録媒体層102は、上記硬質磁性材料と軟磁性材料の積層膜、あるいは傾斜組成膜であってもよい。さらに、第二の記録媒体層102は、いわゆるECC(Exchange Coupled Composite)方式の垂直磁気記録媒体に用いられる記録層であってもよい。   The second recording medium layer 102 may be a laminated film of the hard magnetic material and the soft magnetic material, or a gradient composition film. Further, the second recording medium layer 102 may be a recording layer used for a so-called ECC (Exchange Coupled Composite) type perpendicular magnetic recording medium.

第二の記録媒体層102の全体は1〜10nm程度の厚みであってよい。   The entire second recording medium layer 102 may have a thickness of about 1 to 10 nm.

記録媒体1を構成する層構造、具体的には、第一の記録媒体層101、第二の記録媒体層102、第三の記録媒体層103及び電極31は、例えばスパッタリング法、パルス・レーザ堆積法(PLD)、イオンビーム堆積法(IBD)、又は化学気相堆積法(CVD)等任意の物理的又は化学的堆積プロセスから適宜選択した方法で形成することができる。   The layer structure constituting the recording medium 1, specifically, the first recording medium layer 101, the second recording medium layer 102, the third recording medium layer 103, and the electrode 31 are formed by sputtering, pulse laser deposition, for example. It can be formed by a method appropriately selected from any physical or chemical deposition process such as a method (PLD), an ion beam deposition method (IBD), or a chemical vapor deposition method (CVD).

(基板)
基板40としては、アルミニウム、アルミニウム合金等の金属材料からなる金属基板を用いてもよく、ガラス、セラミック、シリコン、シリコンカーバイド、カーボン等非金属材料からなる非金属基板を用いてもよい。ガラス基板としては、アモルファスガラス、結晶化ガラスがあり、アモルファスガラスとしては汎用のソーダライムガラス、アルミノシリケートガラスなどを使用できる。また、結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスなどを用いることができる。セラミック基板としては、汎用の酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体や、これらの繊維強化物などが使用可能である。また、基板の表面にメッキ法やスパッタ法を用いてNiP層またはNiP合金層が形成されたものを用いてもよい。
(substrate)
As the substrate 40, a metal substrate made of a metal material such as aluminum or an aluminum alloy may be used, or a non-metal substrate made of a non-metal material such as glass, ceramic, silicon, silicon carbide, or carbon may be used. As the glass substrate, there are amorphous glass and crystallized glass. As the amorphous glass, general-purpose soda lime glass, aluminosilicate glass, or the like can be used. As the crystallized glass, lithium-based crystallized glass or the like can be used. As the ceramic substrate, a sintered body mainly composed of general-purpose aluminum oxide, aluminum nitride, silicon nitride, or the like, or a fiber reinforced material thereof can be used. Moreover, you may use what formed the NiP layer or the NiP alloy layer on the surface of the board | substrate using the plating method or the sputtering method.

ここで、基板40は平均表面粗さRaが2nm以下、好ましくは1nm以下であることが望ましい。基板の表面は、微小うねり(Wa)が0.3nm以下であるとよく、0.25nm以下であることが好ましい。これらの数値範囲は、記録ヘッドを低浮上させる観点から好ましい。なお、表面の微少うねり(Wa)は、測定範囲100μmで触針式表面平均粗さ計により測定した値である。   Here, the substrate 40 has an average surface roughness Ra of 2 nm or less, preferably 1 nm or less. The surface of the substrate may have a fine waviness (Wa) of 0.3 nm or less, and preferably 0.25 nm or less. These numerical ranges are preferable from the viewpoint of making the recording head fly low. The surface waviness (Wa) is a value measured with a stylus type surface average roughness meter in a measurement range of 100 μm.

記録媒体1には、さらに従来の記録媒体に使用されていた表面保護層や、表面潤滑層を用いることができる。表面保護層は第二の記録媒体層102の腐食を防ぐとともに、記録ヘッド7が記録媒体1に接触したときに記録媒体1表面の損傷を防ぐためのもので、従来公知の材料を使用でき、例えばC(ダイヤモンドライクカーボン:DLC)、アモルファスSi、SiO、ZrOを含むものを適宜使用可能である。表面保護層の厚さは、1〜10nmとするのが記録ヘッド7と記録媒体1との距離を小さくできるため高記録密度の点から望ましい。表面潤滑層は、パーフルオロポリエーテル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などの潤滑剤を2〜5nm塗布して形成することができる。 The recording medium 1 can further use a surface protective layer and a surface lubricating layer that have been used in conventional recording media. The surface protective layer prevents corrosion of the second recording medium layer 102 and prevents damage to the surface of the recording medium 1 when the recording head 7 comes into contact with the recording medium 1, and a conventionally known material can be used. For example, those containing C (diamond-like carbon: DLC), amorphous Si, SiO 2 , or ZrO 2 can be used as appropriate. The thickness of the surface protective layer is preferably 1 to 10 nm from the viewpoint of high recording density because the distance between the recording head 7 and the recording medium 1 can be reduced. The surface lubricating layer can be formed by applying a lubricant such as perfluoropolyether, fluorinated alcohol, and fluorinated carboxylic acid in a thickness of 2 to 5 nm.

以上のように、本発明に係る磁気記録デバイスは、ハードディスクドライブとして知られている形態で好適に使用できるが、本発明は他のタイプのデータ記録デバイス、例えばプローブ記録デバイスなどのデバイスにも使用できると理解されるべきである。本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明と同一および均等の範囲内において、上記実施形態に対して種々の変更を加えることが可能である。   As described above, the magnetic recording device according to the present invention can be suitably used in a form known as a hard disk drive, but the present invention is also used for other types of data recording devices, such as probe recording devices. It should be understood that it can. The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made to the above-described embodiment within the same and equivalent scope as the present invention.

(実施例)
以下、本発明を具体的な実施例をもとに説明する。
(Example)
Hereinafter, the present invention will be described based on specific examples.

図1、2に示す記録媒体1を模したサンプルを作製した。以下に、その詳細を説明する。
基板40は直径1インチのサファイア基板であり、電極31はPtであり、第三の記録媒体層103はFeCr系合金(Fe含有量65%)からなる軟磁性体層であり、第一の記録媒体層101はCrからなるME効果を有する酸化物反強磁性体層であり、第二の記録媒体層102はCoPt系合金からなる金属強磁性体層である。
A sample simulating the recording medium 1 shown in FIGS. The details will be described below.
The substrate 40 is a 1-inch diameter sapphire substrate, the electrode 31 is Pt, the third recording medium layer 103 is a soft magnetic material layer made of a FeCr-based alloy (Fe content 65%), and the first recording medium The medium layer 101 is an oxide antiferromagnetic layer having a ME effect made of Cr 2 O 3 , and the second recording medium layer 102 is a metal ferromagnetic layer made of a CoPt-based alloy.

まず、ステップ出しを行なったC面サファイア基板(平均表面粗さ1nm)の表面に、RFスパッタリング法により、厚さ65nmのPt(電極31)、及び、厚さ180nmのFeCr(第三の記録媒体層103)を形成した。   First, a 65-nm-thick Pt (electrode 31) and a 180-nm-thick FeCr (third recording medium) are formed on the surface of the stepped C-plane sapphire substrate (average surface roughness 1 nm) by RF sputtering. Layer 103) was formed.

次に、第三の記録媒体層103の表面に、600℃、0.3Pa、アルゴン・酸素雰囲気中(Ar:O流量比=9.0:0.9)、13.56MHzの高周波プラズマを、パワー120Wの条件で、Cr金属ターゲットを用いた反応性RFスパッタリング法により、厚さ350nmのCr(001)層を形成した。このCr層を第一の記録媒体層101とした。 Next, high-frequency plasma of 13.56 MHz is applied to the surface of the third recording medium layer 103 at 600 ° C., 0.3 Pa, in an argon / oxygen atmosphere (Ar: O 2 flow ratio = 9.0: 0.9). A Cr 2 O 3 (001) layer having a thickness of 350 nm was formed by a reactive RF sputtering method using a Cr metal target under the condition of power 120W. This Cr 2 O 3 layer was used as the first recording medium layer 101.

次に、室温、アルゴン雰囲気中でイオンビーム堆積(IBD)法により、厚さ5nmのCoPt系合金(Co含有率75%)層を形成した。このCoPt系合金層を第二の記録媒体層102とした。さらに、第二の記録媒体層102の上に、Ru金属2nm及びPt金属5nmを保護層として形成し、これを測定サンプルとした。保護層上にエアーギャップを挟んで、電界印加装置3、及び、マイクロ波発生部21及び記録用磁界発生部22を含む磁界印加装置2(磁気ヘッド7)を設置した。   Next, a CoPt alloy (Co content: 75%) layer having a thickness of 5 nm was formed by ion beam deposition (IBD) in an argon atmosphere at room temperature. This CoPt alloy layer was used as the second recording medium layer 102. Further, Ru metal 2 nm and Pt metal 5 nm were formed as a protective layer on the second recording medium layer 102, and this was used as a measurement sample. The electric field application device 3 and the magnetic field application device 2 (magnetic head 7) including the microwave generation unit 21 and the recording magnetic field generation unit 22 were installed on the protective layer with an air gap interposed therebetween.

(サンプル1〜3)
基板加熱温度、及び、スパッタリングレートの条件の組み合わせを変化させることによって、第二の記録媒体層102の保磁力を、5000Oe(サンプル1)、5500Oe(サンプル2)、6500Oe(サンプル3)に調整した。
(Samples 1-3)
The coercive force of the second recording medium layer 102 was adjusted to 5000 Oe (sample 1), 5500 Oe (sample 2), and 6500 Oe (sample 3) by changing the combination of the substrate heating temperature and the sputtering rate conditions. .

(サンプル4〜6)
第一の記録媒体層101において、Cr(001)層の代わりにGa0.5Al0.5FeO(001)を用いた以外は、サンプル1〜3と同様にして、サンプル4〜6を作製した。第一の記録媒体層101の製膜方法は、以下の通りである。
(Samples 4-6)
Sample 4 is the same as Samples 1 to 3 except that Ga 0.5 Al 0.5 FeO 3 (001) is used in place of the Cr 2 O 3 (001) layer in the first recording medium layer 101. ~ 6 were made. The method for forming the first recording medium layer 101 is as follows.

パルスレーザ堆積法(PLD法)により、真空度5〜7×10−7Paで、基板40を600℃に加熱し、エキシマレーザをGa0.5Al0.5FeOターゲットに集束照射してGa0.5Al0.5FeO(110)層を350nm形成した。 The substrate 40 is heated to 600 ° C. by a pulsed laser deposition method (PLD method) at a degree of vacuum of 5 to 7 × 10 −7 Pa, and an excimer laser is focused on the Ga 0.5 Al 0.5 FeO 3 target. A Ga 0.5 Al 0.5 FeO 3 (110) layer was formed to 350 nm.

以下、実施例1〜10においては、上記サンプル1〜6を用い、ハードディスクスピンスタンドを改造して、1インチディスクにおける記録再生を行った。トラック幅100nm、ビット長10nmにて記録する際のマイクロ波アシストの効果を確認した。実施例1〜8においては、1トラックにおいて測定を行い、実施例9、10においては、3トラックにおいて測定を行った。
(実施例1、2)
<電界磁界積の臨界値(E×H臨界値)の引き下げ効果と記録された信号の相対S/Nの変化>
サンプル2及びサンプル5を用い、マイクロ波アシストの効果を確認した。図3は、第一の記録媒体層101がCrであるサンプル2を用いた実施例1の結果を示し、図4は、第一の記録媒体層101がGa0.5Al0.5FeOであるサンプル5を用いた実施例2の結果を示す。
Hereinafter, in Examples 1 to 10, the above samples 1 to 6 were used, and the hard disk spin stand was modified to perform recording and reproduction on a 1 inch disk. The effect of microwave assist when recording with a track width of 100 nm and a bit length of 10 nm was confirmed. In Examples 1 to 8, measurement was performed on one track, and in Examples 9 and 10, measurement was performed on three tracks.
(Examples 1 and 2)
<Effect of lowering critical value (E × H critical value) of electric field product and change in relative S / N of recorded signal>
Sample 2 and sample 5 were used to confirm the effect of microwave assist. FIG. 3 shows the result of Example 1 using Sample 2 in which the first recording medium layer 101 is Cr 2 O 3 , and FIG. 4 shows that the first recording medium layer 101 is Ga 0.5 Al 0. the results of example 2 using 5 sample 5 is FeO 3.

アシスト用マイクロ波(マイクロアシスト波)は、強度を3(dBm)として周波数のみを変化させ、ME効果の発現するE×H臨界値の変化、及び、記録された信号の相対S/Nの変化を確認した。マイクロアシスト波の周波数は0.5、1、2、5、7、8(GHz)に変化させた。それぞれの周波数において、20回確認した時のE×H臨界値の平均値とばらつきの範囲を示す。なお、図示するE×H臨界値は、マイクロ波によるアシストがない時のE×H臨界値に対する相対値である。   The microwave for assisting (micro assist wave) changes the frequency only by changing the intensity to 3 (dBm), changes in the E × H critical value where the ME effect appears, and changes in the relative S / N of the recorded signal It was confirmed. The frequency of the micro assist wave was changed to 0.5, 1, 2, 5, 7, and 8 (GHz). For each frequency, the average value of E × H critical values and the range of variation when checked 20 times are shown. The illustrated E × H critical value is a relative value to the E × H critical value when there is no microwave assistance.

E×H臨界値は、マイクロ波によるアシストがない時に比べて低下した。E×H臨界値及び、記録された信号の相対S/Nは、マイクロアシスト波の周波数に応じて変化し、5GHzの時に、E×H臨界値は最小となり、相対S/Nは最大となった。   The E × H critical value was lower than when there was no microwave assistance. The E × H critical value and the relative S / N of the recorded signal change according to the frequency of the micro assist wave, and at 5 GHz, the E × H critical value is minimum and the relative S / N is maximum. It was.

(実施例3〜8)
<記録媒体の保磁力と電界磁界積の臨界値(E×H臨界値)との関係>
図5及び図6に、記録媒体の保磁力の大きさとE×H臨界値との関係を示す。サンプル1〜6は、実施例3〜8にそれぞれ対応する。マイクロアシスト波は、強度を3(dBm)、周波数5GHzとして、ME効果の発現するE×H臨界値を測定した。図5は、第一の記録媒体層101がCrであるサンプル1〜3を用いた実施例3〜5の結果を示し、図6は、第一の記録媒体層101がGa0.5Al0.5FeOであるサンプル4〜6を用いた実施例6〜8の結果を示す。図5及び図6において、一実施例につき、20回確認した時のE×H臨界値の平均値とばらつきの範囲を示す。
(Examples 3 to 8)
<Relationship between coercivity of recording medium and critical value of electric field product (E × H critical value)>
5 and 6 show the relationship between the magnitude of the coercive force of the recording medium and the E × H critical value. Samples 1 to 6 correspond to Examples 3 to 8, respectively. The micro assist wave has an intensity of 3 (dBm) and a frequency of 5 GHz, and an E × H critical value at which the ME effect appears is measured. FIG. 5 shows the results of Examples 3 to 5 using Samples 1 to 3 in which the first recording medium layer 101 is Cr 2 O 3 , and FIG. 6 shows that the first recording medium layer 101 has Ga 0. the results of examples 6-8 with 5 Al samples 4-6 is 0.5 FeO 3. 5 and 6, the average value of the E × H critical value and the range of variation when checked 20 times are shown for one example.

第二の記録媒体層102の保磁力が、5000Oe(実施例3、6)、5500Oe(実施例4、7)、6500Oe(実施例5、8)のいずれの場合においても、E×H臨界値はほぼ一定の値であり、マイクロ波によるアシストがない場合に比べて低下していることがわかる。   When the coercive force of the second recording medium layer 102 is 5000 Oe (Examples 3 and 6), 5500 Oe (Examples 4 and 7), or 6500 Oe (Examples 5 and 8), the E × H critical value It can be seen that is a substantially constant value, which is lower than when there is no microwave assistance.

(実施例9、10)
<記録トラック位置におけるビットエラー>
サンプル2及びサンプル5を用い、マイクロ波アシストの効果を確認した。図7及び図8に、記録再生を各トラック毎に50回繰り返し行ったときの、信号エラーの発生倍率を示す。それぞれのトラック位置はディスク中心から半径方向の距離により定め、Aは上記距離が5mm、Bは8mm、Cは10.5mmであり、A’は5.1mm、B’は8.1mm、C’は10.6mmである。A、B、Cにおいては、強度を3(dBm)、周波数5GHzのマイクロアシスト波を照射し、A’、B’、C’においてはマイクロアシスト波を照射しなかった。図7は、第一の記録媒体層101がCrであるサンプル2を用いた実施例9の結果を示し、図8は、第一の記録媒体層101がGa0.5Al0.5FeOであるサンプル4を用いた実施例10の結果を示す。マイクロ波のアシストにより、ME記録技術の信頼性が向上することが明らかである。
(Examples 9 and 10)
<Bit error at recording track position>
Sample 2 and sample 5 were used to confirm the effect of microwave assist. FIG. 7 and FIG. 8 show the signal error generation magnification when recording / reproduction is repeated 50 times for each track. Each track position is determined by a radial distance from the center of the disk. A is 5 mm, B is 8 mm, and C is 10.5 mm. A ′ is 5.1 mm, B ′ is 8.1 mm, and C ′. Is 10.6 mm. A, B, and C were irradiated with a micro assist wave having an intensity of 3 (dBm) and a frequency of 5 GHz, and A ′, B ′, and C ′ were not irradiated with a micro assist wave. FIG. 7 shows the results of Example 9 using Sample 2 in which the first recording medium layer 101 is Cr 2 O 3 , and FIG. 8 shows that the first recording medium layer 101 has Ga 0.5 Al 0. the results of example 10 using 5 sample 4 is FeO 3. It is clear that the microwave assist improves the reliability of the ME recording technology.

記録媒体は、記録密度が高まるにつれてよりクリーンな環境で製造されるが、ピンホールはなくても、特に、第一の記録媒体層101(例えば、Cr、BiFeO)に不均一で薄い部分があると、絶縁性が保てなくなる事象に遭遇する。絶縁破壊には臨界点があるがその点を超えない限りは、デジタル情報としてビットエラーがあっても、訂正可能なレベルに抑制可能であり、実用性ある新しい記録技術の提供が可能であることが理解される。 Although the recording medium is manufactured in a cleaner environment as the recording density increases, it is not uniform in the first recording medium layer 101 (for example, Cr 2 O 3 , BiFeO 3 ) even without pinholes. When there is a thin part, an event is encountered where insulation cannot be maintained. Dielectric breakdown has a critical point, but as long as the critical point is not exceeded, even if there is a bit error as digital information, it can be suppressed to a correctable level, and it is possible to provide a practical new recording technology Is understood.

以上、実施例に基づいて本発明を説明したが、特許請求の範囲に記載した発明の範囲から逸脱することなく、これまで説明した例に対して種々の変更を行なうことが可能である。   While the present invention has been described based on the embodiments, various modifications can be made to the examples described so far without departing from the scope of the invention described in the claims.

1…記録媒体、2…磁界印加装置、3…電界印加装置、7…記録ヘッド、21…マイクロ波発生部、22…記録用磁界発生部、25…磁界、26…マイクロ波領域の電磁波、31…第一の電極、32…第二の電極、33…電源、34…電極保持部、35,36…電界、45…重畳領域、40…基板、101…第一の記録媒体層、102…第二の記録媒体層、103…第三の記録媒体層、200…磁気記録デバイス。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Recording medium, 2 ... Magnetic field application apparatus, 3 ... Electric field application apparatus, 7 ... Recording head, 21 ... Microwave generation part, 22 ... Recording magnetic field generation part, 25 ... Magnetic field, 26 ... Electromagnetic wave of microwave range, 31 ... 1st electrode, 32 ... 2nd electrode, 33 ... Power supply, 34 ... Electrode holding part, 35, 36 ... Electric field, 45 ... Overlapping area, 40 ... Substrate, 101 ... 1st recording medium layer, 102 ... 1st Second recording medium layer, 103... Third recording medium layer, 200... Magnetic recording device.

Claims (2)

基板、前記基板上に設けられ、かつ、電気磁気効果を有する、反強磁性体、フェリ磁性体、又はこれらの組み合わせを主として含む第一の記録媒体層、及び、前記第一の記録媒体層上に設けられ、かつ、前記第一の記録媒体層に記録された磁気情報が転写され、読み取りに必要な強さの磁化を発生する、強磁性体を主として含む第二の記録媒体層を含む記録媒体と、
前記記録媒体に対して電界を印加する電界印加装置と、
前記記録媒体に対して磁界を印加する磁界印加装置と、を備え、
前記記録媒体に対して、前記電界及び前記磁界の印加と共にマイクロ波領域の電磁波が印加される、磁気記録デバイス。
A substrate, a first recording medium layer provided on the substrate and having an electromagnetic effect, mainly including an antiferromagnetic material, a ferrimagnetic material, or a combination thereof; and the first recording medium layer A recording medium comprising a second recording medium layer mainly comprising a ferromagnetic material, wherein the magnetic information recorded on the first recording medium layer is transferred to generate a magnetization having a strength necessary for reading. Medium,
An electric field applying device for applying an electric field to the recording medium;
A magnetic field application device that applies a magnetic field to the recording medium,
A magnetic recording device in which an electromagnetic wave in a microwave region is applied to the recording medium together with the application of the electric field and the magnetic field.
前記マイクロ波領域の電磁波は、1〜6GHzの周波数を有する、請求項1に記載の磁気記録デバイス。   The magnetic recording device according to claim 1, wherein the electromagnetic wave in the microwave region has a frequency of 1 to 6 GHz.
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