JP2016047900A - Film forming material for electrowetting, and evaluation method of contact angle of film forming material for electrowetting, and optical element using the film forming material for electrowetting - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、エレクトロウエッティング用膜形成材料及びこのエレクトロウエッティング用膜形成材料の接触角評価方法及びこのエレクトロウエッティング用膜形成材料を用いた光学素子に関する。 The present invention relates to a film forming material for electrowetting, a method for evaluating a contact angle of the film forming material for electrowetting, and an optical element using the film forming material for electrowetting.
従来から、液体レンズ等の光学素子の導電性液体(有極性液体)の駆動の際に用いられるエレクトロウエッティング用膜形成材料が知られている(例えば、特許文献1参照。)。 Conventionally, a film forming material for electrowetting used for driving a conductive liquid (polar liquid) of an optical element such as a liquid lens is known (for example, see Patent Document 1).
このものでは、フッ化ビニリデン系重合体に高誘電性無機粒子として、例えば、金属酸化物としてチタン酸バリウムを含有させて、印加電圧を変化させることにより、エレクトロウエッティング用膜形成材料を用いて形成された絶縁膜としての疎水性誘電体フィルムに対する導電性液体の接触角を変化させている。 In this material, as a highly dielectric inorganic particle in a vinylidene fluoride polymer, for example, barium titanate is contained as a metal oxide, and an applied voltage is changed to use a film forming material for electrowetting. The contact angle of the conductive liquid with respect to the formed hydrophobic dielectric film as the insulating film is changed.
その接触角は、駆動電圧を一定とすると、疎水性誘電体フィルムの膜厚を薄くすればするほど大きくすることができる。また、誘電率を大きくすればするほど大きくすることができる。 The contact angle can be increased as the film thickness of the hydrophobic dielectric film is reduced with a constant driving voltage. Further, the larger the dielectric constant, the larger the dielectric constant.
ところで、そのエレクトロウエッティング用膜形成材料を用いて液体レンズに形成された絶縁膜は透明であることが、光学性能の観点から望ましい。
チタン酸バリウム等の高誘電性無機粒子を用いた場合、誘電率を高くすることはできるが、絶縁膜を形成した場合に白濁が生じ易い。
その白濁化した絶縁膜を用いたとしても液体レンズの光学性能に支障が生じない程度にするには、その絶縁膜の膜厚を薄くすることが考えられる。しかしながら、膜厚を薄くすると、絶縁膜を形成する際にピンホールが生じ、絶縁破壊が生じ易くなる。また、光学素子の駆動速度は、早ければ早いほど望ましい。
By the way, it is desirable from the viewpoint of optical performance that the insulating film formed on the liquid lens using the electrowetting film forming material is transparent.
When high dielectric inorganic particles such as barium titanate are used, the dielectric constant can be increased, but white turbidity tends to occur when an insulating film is formed.
Even if the white turbid insulating film is used, it is conceivable to reduce the film thickness of the insulating film so that the optical performance of the liquid lens is not hindered. However, if the film thickness is reduced, pinholes are generated when the insulating film is formed, and dielectric breakdown is likely to occur. Further, the faster the driving speed of the optical element, the better.
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、絶縁膜の透明性を確保することが可能でかつ光学素子の駆動速度を高めることのできるエレクトロウエッティング用膜形成材料及びこのエレクトロウエッティング用膜形成材料の接触角評価方法及びこのエレクトロウエッティング用膜形成材料を用いた光学素子を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and a film forming material for electrowetting capable of ensuring the transparency of an insulating film and increasing the driving speed of an optical element, and the electrowetting. It is an object of the present invention to provide a method for evaluating a contact angle of a film forming material for coating and an optical element using the film forming material for electrowetting.
本発明に係るエレクトロウエッティング用膜形成材料は、熱可塑性フッ素重合体としてのポリフッ化ビニリデンにイオン性液体(イオン液体ともいう)を混合して形成されていることを特徴とする。 The film forming material for electrowetting according to the present invention is formed by mixing polyvinylidene fluoride as a thermoplastic fluoropolymer with an ionic liquid (also referred to as an ionic liquid).
本発明によれば、このエレクトロウエッティング用膜形成材料を用いて形成された絶縁膜の透明化を極力図ることができると共に、光学素子の駆動速度を高めることができる。 According to the present invention, the insulating film formed using this electrowetting film forming material can be made as transparent as possible, and the driving speed of the optical element can be increased.
図1は、本発明の実施例に係る光学素子としての液体レンズの断面構造を示す説明図である。その図1において、1、2はガラス基板である。このガラス基板1、2の上面には、透明電極(ITO)3、4がパターンニングにより形成されている。 FIG. 1 is an explanatory diagram showing a cross-sectional structure of a liquid lens as an optical element according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numerals 1 and 2 denote glass substrates. Transparent electrodes (ITO) 3 and 4 are formed on the upper surfaces of the glass substrates 1 and 2 by patterning.
その透明電極3、4の表面には、絶縁膜5、6が形成されている。この絶縁膜5、6の表面には撥水撥油膜7、8が形成されている。そのガラス基板1、2はガラスリング部材9を介して互いに対向して配設されている。
このガラスリング部材9の外周面には耐久性接着剤9aが設けられている。なお、撥水撥油膜7、8にはAFコートを用いる。その撥水撥油膜7、8の材料には、ポリパラキシリレン、ポリテトラフルオロエタン、フッ素系のポリマー、シリコーン樹脂等が用いられる。
Insulating films 5 and 6 are formed on the surfaces of the transparent electrodes 3 and 4. Water and oil repellent films 7 and 8 are formed on the surfaces of the insulating films 5 and 6. The glass substrates 1 and 2 are disposed to face each other with the glass ring member 9 interposed therebetween.
A durable adhesive 9 a is provided on the outer peripheral surface of the glass ring member 9. Note that an AF coat is used for the water and oil repellent films 7 and 8. Polyparaxylylene, polytetrafluoroethane, a fluorine-based polymer, a silicone resin, or the like is used as a material for the water / oil repellent films 7 and 8.
そのガラス基板1、2とガラスリング部材9とにより形成された包囲空間には、導電性液体(有極性液体)10と、無極性液体11とが封入され、その包囲空間の注入口は封止剤12としてのUV硬化樹脂(紫外線硬化型接着剤)によって封止されている。 The enclosure space formed by the glass substrates 1 and 2 and the glass ring member 9 is filled with a conductive liquid (polar liquid) 10 and a nonpolar liquid 11, and the inlet of the enclosure space is sealed. It is sealed with a UV curable resin (ultraviolet curable adhesive) as the agent 12.
その有極性液体10は、例えば、水を主成分として、不凍液が添加されている。無極性液体11は、例えば、ヘキサン、オクタン、デカン、ドデカン、ヘキサデカン、ウンデカン、ベンゼル、トルエン、キシレン、メシチレン、ブチルベンゼン、1、1―ジフェニルエチレン等の炭化水素系の材料や、透明なシリコーンオイル(有機剤)が用いられる。 The polar liquid 10 includes, for example, water as a main component and an antifreeze liquid. Nonpolar liquid 11 is, for example, a hydrocarbon material such as hexane, octane, decane, dodecane, hexadecane, undecane, benzel, toluene, xylene, mesitylene, butylbenzene, 1,1-diphenylethylene, or transparent silicone oil. (Organic agent) is used.
絶縁膜5、6の形成に用いるエレクトロウエッティング用膜形成材料には、熱可塑性フッ素重合体としてのポリフッ化ビニリデン(PVDF)とイオン性液体との混合物を用いる。
そのエレクトロウエッティング用膜形成材料は、ポリフッ化ビニリデン(固形物)100重量部にイオン性液体5重量部ないし20重量部を添加して、これらを溶融化させて、撹拌混合することにより作成される。
ここでは、イオン性液体の分子をポリフッ化ビニリデンにナノ分散処理を行うことにより、エレクトロウエッティング用膜形成材料の透明性を高めている。
As the film forming material for electrowetting used for forming the insulating films 5 and 6, a mixture of polyvinylidene fluoride (PVDF) as a thermoplastic fluoropolymer and an ionic liquid is used.
The film forming material for electrowetting is prepared by adding 5 to 20 parts by weight of an ionic liquid to 100 parts by weight of polyvinylidene fluoride (solid), melting them, and stirring and mixing them. The
Here, the transparency of the film forming material for electrowetting is enhanced by performing nano-dispersion treatment of molecules of the ionic liquid in polyvinylidene fluoride.
そのイオン性液体には、イミダゾール系イオン液体とピロリジニウム系イオン液体とピぺリジニウム系イオン液体とピリジニウム系イオン液体とアンモニウム系イオン液体とホスホニウム系液体とのうちのいずれか一つ又はこれらの混合物を用いることができる。
すなわち、イオン性液体は、陽イオンとしてのピリジン系と、脂肪族アミン系と、脂環族アミン系とのうちの少なくとも一種類からなる構成であれば良い。
特に、室温で液体で、誘電率やイオン伝導度が高いイオン性液体が望ましい。
The ionic liquid includes any one of imidazole ionic liquid, pyrrolidinium ionic liquid, piperidinium ionic liquid, pyridinium ionic liquid, ammonium ionic liquid, and phosphonium liquid, or a mixture thereof. Can be used.
That is, the ionic liquid may be configured to be composed of at least one of a pyridine system as a cation, an aliphatic amine system, and an alicyclic amine system.
In particular, an ionic liquid that is liquid at room temperature and has a high dielectric constant and ionic conductivity is desirable.
絶縁膜5、6は、この実施例では、そのエレクトロウエッティング用膜形成材料を透明電極(ITO)3、4の表面に塗布し、スピンコーティング法を用いて、回転数3000rpmで、20秒間行うことにより形成した。 In this embodiment, the insulating films 5 and 6 are coated with the electrowetting film-forming material on the surfaces of the transparent electrodes (ITO) 3 and 4 and are subjected to spin coating for 20 seconds at a rotational speed of 3000 rpm. Was formed.
その絶縁膜5、6の膜厚はここでは3μm〜4μmであったが、1μmないし20μmの範囲内であれば、液体レンズとしての使用に支障を生じない範囲での透明性を維持できる。
ところで、光学素子の駆動速度は、駆動電圧に対して接触角の変化量が大きいほど高速化させることができる。
The film thickness of the insulating films 5 and 6 is 3 μm to 4 μm here, but if it is in the range of 1 μm to 20 μm, the transparency can be maintained within the range that does not hinder the use as a liquid lens.
By the way, the driving speed of the optical element can be increased as the change amount of the contact angle with respect to the driving voltage increases.
その絶縁膜5、6の接触角の評価には、駆動電圧(印加電圧又は電位差)Vを変えて有極性液体10に対する絶縁膜5、6の接触角θの変化を測定するのが一般的である。
図2は、その接触角θの変化の測定の一例を示す模式図である。その図2において、図1に示す符号と同一符号は同一構成要素を示している。
ここでは、有極性液体10を撥水撥油膜7としてのAFコートの表面に滴化し、この有極性液体10の液滴10’に電極10aを差し込み、ITO膜としての透明電極3、4との間に駆動電圧(電位差)Vを与えて接触角θの変化を測定した。
The contact angle of the insulating films 5 and 6 is generally evaluated by measuring the change in the contact angle θ of the insulating films 5 and 6 with respect to the polar liquid 10 by changing the driving voltage (applied voltage or potential difference) V. is there.
FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of measurement of the change in the contact angle θ. In FIG. 2, the same reference numerals as those shown in FIG. 1 denote the same components.
Here, the polar liquid 10 is dropped on the surface of the AF coat as the water / oil repellent film 7, the electrode 10 a is inserted into the droplet 10 ′ of the polar liquid 10, and the transparent electrodes 3, 4 as the ITO films are connected. A change in the contact angle θ was measured by applying a driving voltage (potential difference) V therebetween.
比較のため、絶縁膜5、6を、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)100重量部に対してイオン性液体5重量部を添加した混合物により形成した絶縁膜5、6(サンプル名1030という)と、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)100重量部に対してイオン性液体10重量部を添加した混合物により形成した絶縁膜5、6(サンプル名1031という)について、図2に示す接触角θを測定した。 For comparison, the insulating films 5 and 6 are formed of a mixture of polyvinylidene fluoride (PVDF) and 100 parts by weight of polyvinylidene fluoride (PVDF) with 5 parts by weight of an ionic liquid added thereto (sample) 2 for the insulating films 5 and 6 (referred to as sample name 1031) formed by a mixture obtained by adding 10 parts by weight of ionic liquid to 100 parts by weight of polyvinylidene fluoride (PVDF). θ was measured.
表1は、その接触角θの測定に用いた絶縁膜5、6を示し、表2はその各サンプルについて駆動電圧(電位差)Vを変化させて測定した接触角θを示し、その表2を用いて接触角θと電位差Vとの関係をグラフとして図3に示した。
その図3を用いて、電位差の変化に対する絶縁膜5、6の接触角θの変化についての評価を行おうとしても、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)そのものの接触角θの変化を示す線分に対してイオン性液体の混合物の接触角θの変化を示す線分が交差するため、煩雑さが増し、一見して接触角θの変化量Vθが大きいか否かが判断し難い。 Even if it is attempted to evaluate the change of the contact angle θ of the insulating films 5 and 6 with respect to the change of the potential difference with reference to FIG. Since the line segments indicating the change in the contact angle θ of the mixture of ionic liquids intersect, the complexity increases, and it is difficult to determine whether the change amount Vθ in the contact angle θ is large at first glance.
そこで、各サンプルについて、駆動電圧(電位差)V=Vrボルトの接触角θに対する駆動電圧(電位差)V=0ボルトの時の接触角θ0の差分をとって、表3を作成し、この表3を用いて接触角θと駆動電圧(電位差)Vとの関係を図4として示した。
この図4によれば、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)そのものの接触角θの変化を示す線分に対してイオン性液体の混合物の接触角θの変化を示す線分が交差しないため、煩雑さが減少し、一見して接触角θの変化量Vθが大きいか否かが判断できる。 According to FIG. 4, since the line segment indicating the change in the contact angle θ of the ionic liquid does not intersect the line segment indicating the change in the contact angle θ of the polyvinylidene fluoride (PVDF) itself, the complexity is reduced. It can be judged whether or not the change amount Vθ of the contact angle θ is large.
この実施例では、サンプル名1030の絶縁膜5、6を有する試作品を2個作成してそれぞれ測定を行うと共に、サンプル名1031の絶縁膜5、6を有する試作品についても2個作成してそれぞれ測定を行って、接触角θの変化量Vθを測定している。表2、表3、図3、図4には、この2個の測定をサンプル名1030−1、1030−2、1031−1、1031−2として便宜的に示してある。 In this embodiment, two prototypes having the insulating films 5 and 6 with the sample name 1030 are created and measured, and two prototypes having the insulating films 5 and 6 with the sample name 1031 are also created. Each measurement is performed to measure the change amount Vθ of the contact angle θ. In Table 2, Table 3, FIG. 3, and FIG. 4, these two measurements are shown as sample names 1030-1, 1030-2, 1031-1, and 1031-2 for convenience.
この実施例では、高々5個の測定値の評価であるため、差分を求めなくとも、煩雑に見えないかも知れないが、サンプルの個数が増加すると、煩雑さが飛躍的に増加する。 In this embodiment, since at most five measurement values are evaluated, it may not look complicated without obtaining the difference, but the complexity increases dramatically as the number of samples increases.
従って、駆動電圧(電位差)Vが所定電位差(0ボルト以外)のときの接触角を、電位差V=0ボルトのときの接触角θ0に対する変化量Vθとして判断するのが望ましい。
なお、その表1において、誘電率εrは、公知の誘電率測定装置により測定し、膜厚dは公知の膜厚測定装置により測定した。
Therefore, it is desirable to determine the contact angle when the drive voltage (potential difference) V is a predetermined potential difference (other than 0 volts) as the amount of change Vθ with respect to the contact angle θ0 when the potential difference V = 0 volts.
In Table 1, the dielectric constant εr was measured with a known dielectric constant measuring device, and the film thickness d was measured with a known film thickness measuring device.
この液体レンズによれば、透明電極3、4に所定の駆動電圧(電位差)Vを与えると、図1に示す有極性液体10の無極性液体11に対する接触角θが変化するため、無極性液体11が破線で示すように変形し、有極性液体10と無極性液体11の界面10cの曲率と厚みとが変化する。 According to this liquid lens, when a predetermined drive voltage (potential difference) V is applied to the transparent electrodes 3 and 4, the contact angle θ of the polar liquid 10 with respect to the nonpolar liquid 11 shown in FIG. 11 is deformed as indicated by a broken line, and the curvature and thickness of the interface 10c between the polar liquid 10 and the nonpolar liquid 11 change.
その結果、ガラス製レンズの曲率、厚さが変化したと同等の結果となり、液体レンズに入射する光束の屈折角が変化し、液体レンズの光学特性を変化させることができる。 As a result, the result is equivalent to the change in the curvature and thickness of the glass lens, the refraction angle of the light beam incident on the liquid lens is changed, and the optical characteristics of the liquid lens can be changed.
また、この実施例によれば、誘電率ではなくて、高速応答性に直接関係する接触角θの変化によりエレクトロウエッティング用膜形成材料の評価を行っているので、作成したエレクトロウエッティング用膜形成材料の評価を的確に行うことができる。 Further, according to this embodiment, the electrowetting film forming material is evaluated not by the dielectric constant but by the change in the contact angle θ directly related to the high-speed response. The forming material can be accurately evaluated.
なお、無極性液体11に、例えば、黒色の顔料、染料等の着色剤を添加すると、有極性液体10と無極性液体11の界面10cの最大厚さを変化させることにより、透過する光量の割合を変化させることができる。従って無極性液体11に着色剤を加えることにより、光学素子としてのNDフィルタの機能を持たせることができる。 For example, when a colorant such as a black pigment or dye is added to the nonpolar liquid 11, the ratio of the amount of transmitted light is changed by changing the maximum thickness of the interface 10 c between the polar liquid 10 and the nonpolar liquid 11. Can be changed. Therefore, by adding a colorant to the nonpolar liquid 11, the function of an ND filter as an optical element can be provided.
このように、透明基板としてのガラス基板1、2に透明電極3、4と絶縁膜5,6と撥水撥油膜7、8とがこの順に形成された一対の組立体の撥水撥油膜7、8が互いに向き合うようにして組立体を対向させかつ組立体の対向間にスペーサ部材としてのガラスリング9を介在させて包囲空間を形成し、この包囲空間に有極性液体10と無極性液体11とを封入し、絶縁膜5、6にイオン液体を添加したポリフッ化ビニリデンからなるエレクトロウエッティング用膜形成材料を用いれば、有極性液体10に駆動電圧Vを印加することにより無極性液体11に対する有極性液体10の接触角θを変化させて、無極性液体11を高速に駆動可能な光学素子を提供できる。 In this way, the water / oil repellent film 7 of a pair of assemblies in which the transparent electrodes 3, 4, the insulating films 5, 6 and the water / oil repellent films 7, 8 are formed in this order on the glass substrates 1, 2 as transparent substrates. , 8 are opposed to each other, and an enclosed space is formed by interposing a glass ring 9 as a spacer member between the opposed surfaces of the assembly, and a polar liquid 10 and a nonpolar liquid 11 are formed in the enclosed space. And an electrowetting film forming material made of polyvinylidene fluoride in which an ionic liquid is added to the insulating films 5 and 6, the drive voltage V is applied to the polar liquid 10 to An optical element that can drive the nonpolar liquid 11 at high speed by changing the contact angle θ of the polar liquid 10 can be provided.
本発明の実施例に係るエレクトロウエッティング用膜形成材料は、液体レンズ、NDフィルタの光学素子の他、シャッター部材、エンコーダ等の光学素子に適用可能である。 The film forming material for electrowetting according to the embodiment of the present invention can be applied to optical elements such as shutter members and encoders in addition to optical elements of liquid lenses and ND filters.
3、4…透明電極
5、6…絶縁膜
θ…接触角
3, 4 ... Transparent electrodes 5, 6 ... Insulating film θ ... Contact angle
Claims (6)
前記絶縁膜が請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のエレクトロウエッティング用膜形成材料を用いて形成されていることを特徴とする光学素子。 An assembly in which a transparent electrode, an insulating film, and a water / oil repellent film are formed in this order on a transparent substrate are opposed to each other so that the water / oil repellent film faces each other, and a spacer member is interposed between the opposed surfaces of the assembly. The polar liquid and the nonpolar liquid are sealed in the enclosed space, and the contact angle of the polar liquid with respect to the nonpolar liquid is changed by applying a driving voltage to the polar liquid to change the nonpolar liquid. In the optical element that drives
An optical element, wherein the insulating film is formed using the film forming material for electrowetting according to any one of claims 1 to 3.
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Cited By (5)
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---|---|---|---|---|
JP2018021981A (en) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 株式会社トプコン | Liquid optical material and optical element |
JP2018045076A (en) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 株式会社トプコン | Optical device |
CN110133831A (en) * | 2019-05-15 | 2019-08-16 | 湖南蓝铁科技有限公司 | A kind of variable focus lens package, camera lens and imaging device |
CN110272559A (en) * | 2019-07-23 | 2019-09-24 | 华南师范大学 | A kind of preparation method of the hydrophobic dielectric film of flexibility for Electrowetting device |
CN111161634A (en) * | 2018-11-08 | 2020-05-15 | 住友化学株式会社 | Optical film |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018021981A (en) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 株式会社トプコン | Liquid optical material and optical element |
JP2018045076A (en) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | 株式会社トプコン | Optical device |
CN111161634A (en) * | 2018-11-08 | 2020-05-15 | 住友化学株式会社 | Optical film |
CN110133831A (en) * | 2019-05-15 | 2019-08-16 | 湖南蓝铁科技有限公司 | A kind of variable focus lens package, camera lens and imaging device |
CN110272559A (en) * | 2019-07-23 | 2019-09-24 | 华南师范大学 | A kind of preparation method of the hydrophobic dielectric film of flexibility for Electrowetting device |
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