JP2016038224A - 応力評価装置、ミラー部品 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学衛星や大型光学望遠鏡に搭載する集光光学系において、多数の支持体を、精密加工を施した集光用ミラーガラスに接合した場合、ミラーガラスのミラー表面に歪みが発生する。集光用ミラーガラス内部に発生する内部応力を、簡易に測定可能な応力評価装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る応力評価装置は単波長光源と、偏光子と、1/4λ板と、−1/4λ板と、検光子と、検出器と、1/4λ板と−1/4λ板の間にあって評価対象のサンプルを移動可能なスキャンステージから構成され、接着剤で接着した部品であってもその内部応力を評価可能とした。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係る応力評価装置は単波長光源と、偏光子と、1/4λ板と、−1/4λ板と、検光子と、検出器と、1/4λ板と−1/4λ板の間にあって評価対象のサンプルを移動可能なスキャンステージから構成され、接着剤で接着した部品であってもその内部応力を評価可能とした。
【選択図】図1
Description
本発明は、ガラスと金属の接着に使用される接着剤の応力評価に関するものである。
接着剤は硬化収縮を伴うために、被接着物の内部に応力を発生させる。人工衛星に搭載される集光光学系、もしくは地上に設置される大型光学望遠鏡などの集光光学系は接着剤で支持機構と接合される。これらの反射光学系では厳しい波面制御が必要である。
従来、測定対象試料の応力分布を測定する装置として、光源をLED三波長光源とし、撮像素子に一枚のRGB干渉フィルタを取り付けることで、高次の縞まで測定可能な応力分布測定装置に関する技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
従来、測定対象試料の応力分布を測定する装置として、光源をLED三波長光源とし、撮像素子に一枚のRGB干渉フィルタを取り付けることで、高次の縞まで測定可能な応力分布測定装置に関する技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
光学センサを搭載し画像を撮影する光学衛星や大型光学望遠鏡に搭載する集光光学系においては、1次鏡が年々大型化しており、高い分解能を有するためには精密な形状加工と形状維持を行うことが課題であった。このため、製造過程や製造後に加わる熱や応力による変形が少ないことが集光光学系には必須となっている。集光光学系はミラーと支持機構が接着剤で接合されるが、接着剤は接着過程において硬化収縮が生じるため、ミラーや支持機構に大きな内部応力を形成する。ミラーの内部応力はミラーの変形を生じると同時に、母材であるガラスを破断させやすくする課題があり、できるだけ硬化収縮の小さな接着剤を選定する必要がある。
接着剤の選定は、通常、メーカーのカタログ値に表示された体積収縮率を参考にする。しかし、体積収縮率は実際に接着する際の接着剤の厚さ、接着時の温度履歴で大きく異なる。このため、カタログ値は参考値としてしか機能しない。
また、集光光学系においてはミラーガラスに接着する支持機構の接着部位の形状も大きく影響する。特に、支持機構接着部位の端面の形状はミラーガラスの内部応力に大きな影響を及ぼす。よって、実態に近い内部応力の測定が必要である。
透明体の内部応力を測定する手法として光弾性による測定がある。この技術を流用し、ガラスミラーを模したガラスと支持体を模した金属とを接着した評価用サンプルの光弾性状態、すなわち複屈折率状態を測定することで、ガラス内部の内部応力を評価することができる。
通常の複屈折の測定系では、金属と接着されたガラスの両端に偏光子と検光子を設置して偏光状態から複屈折を測定する。複屈折が最大になる光軸は不明のため、偏光子および検光子を任意の方向に回転させて複屈折の最大値を探す必要があり、測定に手間を要するという課題があった。
本発明は係る課題を解決するためになされたものであり、接着により集光用ミラーガラス内部に発生する内部応力を、測定に手間を要することなく、簡便にかつ短時間で測定可能な応力評価装置を提供することを目的とする。
本発明に係る応力評価装置は、単波長の評価光を放射する単波長光源と、前記評価光を所定の方向に偏光する偏光子と、前記偏光子で偏光された評価光を円偏光に変換する1/4λ板と、評価サンプルが有する複屈折により、前記円偏光に変換された評価光が変調された変調後の評価光を復調する−1/4λ板と、前記−1/4λ板を透過後の評価光において、前記偏光子と直交する成分を抽出する検光子と、前記検光子を透過した評価光の透過光量を検出する検出器と、前記1/4λ板と前記−1/4λ板5の間にあって、前記評価光を透過する評価サンプルを移動させるスキャンステージから構成され、前記透過光量に基づき、光弾性で生じる前記評価サンプルの複屈折を検出する。
この発明に係る応力評価装置によれば、偏光子および検光子を任意の方向に回転させて複屈折の最大値を探す必要がなく、複屈折が最大となる条件で複屈折が測定でき、内部応力の最大値を簡便にかつ短時間で検出することができる。
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態1に係る応力評価装置100と、評価に使用した評価サンプル4について、図を参照して説明する。
図1は実施の形態1に係る評価光学系100を示す図である。図1において評価光学系100は、評価光9を放射する単波長光源1、偏光子2、1/4λ板3、−1/4λ板5、検光子6、検出器7、1/4λ板3と−1/4λ板5の間にあって評価サンプル4を移動させるスキャンステージ8から構成される。偏光子2と検光子6は互いに偏光方向が直交するように設置される。
以下、この発明の実施の形態1に係る応力評価装置100と、評価に使用した評価サンプル4について、図を参照して説明する。
図1は実施の形態1に係る評価光学系100を示す図である。図1において評価光学系100は、評価光9を放射する単波長光源1、偏光子2、1/4λ板3、−1/4λ板5、検光子6、検出器7、1/4λ板3と−1/4λ板5の間にあって評価サンプル4を移動させるスキャンステージ8から構成される。偏光子2と検光子6は互いに偏光方向が直交するように設置される。
評価サンプル4は、図2に示す通り、評価用ガラス11、支持体13、評価用ガラス11と支持体13の接合部にある接着層12から形成される。
内部応力を正しく測定するため、評価サンプル4の評価用ガラス11には応力の小さい低応力ガラスを用いる。低応力ガラスは例えば市販のものでよい。
同じく内部応力を正しく測定するため、評価光9が入射する評価用ガラス11の入射面と出射する側の出射面に該当する部分は、予め光学研摩を行い、光学散乱による光量の低下を防ぐようにしておく。
単波長光源1には、例えばLED光源やレーザー光源を用いる。
内部応力を正しく測定するため、評価サンプル4の評価用ガラス11には応力の小さい低応力ガラスを用いる。低応力ガラスは例えば市販のものでよい。
同じく内部応力を正しく測定するため、評価光9が入射する評価用ガラス11の入射面と出射する側の出射面に該当する部分は、予め光学研摩を行い、光学散乱による光量の低下を防ぐようにしておく。
単波長光源1には、例えばLED光源やレーザー光源を用いる。
次に、内部応力の測定について説明する。
図1において、単波長光源1から放射された評価光9は、偏光子2で偏光された後、1/4λ板3にて円偏光に変換される。
評価サンプル4の持つ複屈折率にて変調された光は、−1/4λ板5で復調された後、検光子6にて偏光子5と直交した成分が抽出され、検出器7にて光量が測定される。
図1において、単波長光源1から放射された評価光9は、偏光子2で偏光された後、1/4λ板3にて円偏光に変換される。
評価サンプル4の持つ複屈折率にて変調された光は、−1/4λ板5で復調された後、検光子6にて偏光子5と直交した成分が抽出され、検出器7にて光量が測定される。
検出器7で得られる入射光量で規格化した光量Iは以下の式で求まる。
ここでdは評価用ガラス10の評価光9が通過する光路長、λ0は評価光9の波長、Δnは評価用ガラスで生じた複屈折差である。
よって複屈折差Δnは、式1から次の式2の通り求まる。
式2で得られたΔnを、光弾性定数で除することで内部応力を求めることができる。光弾性定数はガラス素材によってそれぞれ異なる値をもつ。例えば、3.11×10-5nm/cm/Pa程度の値である。
式2によって内部応力は算出できるようになったが、内部応力は評価サンプル4のどの位置で最大になっているかは不明である。
そこで、スキャンステージ8にて評価サンプル4を評価光9の垂直方向に移動させることで、評価光9の入射面をスキャンし、入射面に対する応力マップを測定する。
そこで、スキャンステージ8にて評価サンプル4を評価光9の垂直方向に移動させることで、評価光9の入射面をスキャンし、入射面に対する応力マップを測定する。
図3、図4は、実際にスキャンステージ8にて評価光9の入射面をスキャンし、評価サンプル4の内部応力をマップ化した測定結果の一例である。
図3は、評価サンプル4において、評価用ガラス11と支持体11を接着する前の状態で、評価用ガラス11の内部応力を測定した測定結果である。
評価用ガラス11は、先述のように低応力ガラスである。評価用ガラス11と支持体13とを接着する前の状態で、図2に示す構成とは異なって接着層12はなく、評価用ガラス11のみで存在している。
図3からは、評価用ガラス11の内部応力がほぼ0であることがわかる。
評価用ガラス11は、先述のように低応力ガラスである。評価用ガラス11と支持体13とを接着する前の状態で、図2に示す構成とは異なって接着層12はなく、評価用ガラス11のみで存在している。
図3からは、評価用ガラス11の内部応力がほぼ0であることがわかる。
図4は、評価用ガラス11と支持体13を接着剤による接着層12を介して接着した後の評価サンプル4の、評価用ガラス11の内部応力を測定した測定結果である。
ここで評価用ガラス11は図3で説明した低応力ガラスと同じ低応力ガラスである。
評価用ガラス11は、図2に示す構成のように支持体13と、接着剤による接着層12を介して接着される。接着層12の層厚は、ガラスビーズを混入することで膜厚を確保することができる。膜厚は例えば200μmである。評価用ガラス11の入射面、出射面は光学研磨を行っている。評価用ガラス11は光学研磨面が支持体13に対して直交するように配置した。接着した評価サンプルは所定の温度で所定の時間で硬化される。
図4の内部応力測定結果からは、評価用ガラス11及び支持体13の端面付近に内部応力が集中していることがわかる。このときの評価用ガラス11の最大内部応力は0.09MPaと算出された。また、測定時間は28分であった。
ここで評価用ガラス11は図3で説明した低応力ガラスと同じ低応力ガラスである。
評価用ガラス11は、図2に示す構成のように支持体13と、接着剤による接着層12を介して接着される。接着層12の層厚は、ガラスビーズを混入することで膜厚を確保することができる。膜厚は例えば200μmである。評価用ガラス11の入射面、出射面は光学研磨を行っている。評価用ガラス11は光学研磨面が支持体13に対して直交するように配置した。接着した評価サンプルは所定の温度で所定の時間で硬化される。
図4の内部応力測定結果からは、評価用ガラス11及び支持体13の端面付近に内部応力が集中していることがわかる。このときの評価用ガラス11の最大内部応力は0.09MPaと算出された。また、測定時間は28分であった。
ここで、実施の形態1に係る応力評価装置100の比較として、従来の応力評価装置101の構成と動作を説明する。
図5は、従来の応力評価装置101の構成を示す図である。従来の応力評価装置101は、評価光8を放射する単波長光源1、偏光子2、検光子6、検出器7、偏光子2と検光子6の間にあって評価サンプル4を移動させるスキャンステージ8から構成される。
評価サンプル4については、図1で説明した評価サンプルと同じものである。図1で説明した実施の形態1に係る応力評価装置100の構成と比較して、1/4λ板3と−1/4λ板5が構成要素としてない。偏光子2と検光子6は互いに偏光方向が直交するように設定する。
評価サンプル4については、図1で説明した評価サンプルと同じものである。図1で説明した実施の形態1に係る応力評価装置100の構成と比較して、1/4λ板3と−1/4λ板5が構成要素としてない。偏光子2と検光子6は互いに偏光方向が直交するように設定する。
次に、従来の応力評価装置101の動作を説明する。単波長光源1から放射された評価光8は、偏光子2で偏光された後、評価サンプル4の持つ複屈折率にて変調され、検光子6にて偏光子5と直交した成分が抽出され、検出器7にて光量が測定される。
図5の光学系において検出器7で得られる入射光量で規格化した光量Iは以下の式で求まる。
従来の応力評価装置による評価サンプル4の測定においてはd、Δn、λ0は常数として扱われるため、光軸のずれ量φが±45deg.および±135deg.の時に(式3)で求まる光量Iは最大値を示す。このときの光量Iは、(式1)による光量Iと同じ値となる。
評価サンプル4では、光軸は応力のかかる方向で任意に変わることから、(式3)にあるφはサンプルの測定位置依存性があり、従来の応力評価装置では最大値を得るには偏光子および検光子を透過光量が最大となるように、各測定ポイントごとに回転させる必要があった。このため従来の応力評価装置101では、応力を測定するため、多大な測定時間を要していた。
測定結果について一例を述べると、従来の応力評価装置101を用いて、実施の形態1の応力評価装置100で評価した評価サンプル4と同じ評価サンプル4を評価したところ、最大内部応力は0.09MPaの結果であった。これは、実施の形態1に係る応力評価装置100による評価結果と同じであったが、一方で測定時間は340分を要した。これは、実施の形態1に係る応力評価装置100による測定時間の約12倍に相当する。
以上のように、本発明の実施の形態1に係る応力評価装置100は、単波長光源1、偏光子2、1/4λ板3、−1/4λ板5、検光子6、検出器7、1/4λ板3と−1/4λ板5の間にあって評価サンプル4を移動させるスキャンステージ8から構成され、偏光子2と検光子6の間に、1/4λ板3と−1/4λ板5を備えるようにした。評価サンプル4は、評価用ガラス11、支持体13、評価用ガラス11と支持体13の接合部にある接着層12から形成され、評価用ガラス11には低応力ガラスを用いるようにした。
単波長光源1は、例えばLED光源やレーザー光源とした。
これにより、従来のように偏光子2および検光子6を回転させることなく複屈折が最大となる条件で複屈折が測定できるので、内部応力の最大値を、従来に比べ1/10以下の短時間で検出できる。
単波長光源1は、例えばLED光源やレーザー光源とした。
これにより、従来のように偏光子2および検光子6を回転させることなく複屈折が最大となる条件で複屈折が測定できるので、内部応力の最大値を、従来に比べ1/10以下の短時間で検出できる。
1 単波長光源、2 偏光子、3 1/4λ板、4 評価サンプル、5 −1/4λ板、6 検光子、7 検出器、8 スキャンステージ、9 評価光、10 評価用ガラス、11 評価用ガラス、12 接着層、13 支持体、14 評価サンプル、100 応力評価装置、101 従来の応力評価装置。
Claims (5)
- 単波長の評価光を放射する単波長光源と、
前記評価光を所定の方向に偏光する偏光子と、
前記偏光子で偏光された前記評価光を円偏光に変換する1/4λ板と、
評価サンプルが有する複屈折により、円偏光に変換後の前記評価光が変調された変調後の評価光を復調する−1/4λ板と、
前記−1/4λ板を透過後の前記評価光において、前記偏光子と直交する成分を抽出する検光子と、
前記検光子を透過する前記評価光の透過光量を検出する検出器と、
前記1/4λ板と前記−1/4λ板5の間にあって、前記評価光が透過する評価サンプルを移動させるスキャンステージから構成され、
前記透過光量に基づき前記評価サンプルの複屈折を検出することにより前記評価サンプルの応力評価を行うことを特徴とする応力評価装置。 - 前記評価サンプルは、前記評価光が透過する評価ガラスと前記評価ガラスを支持する支持体からなり、前記評価ガラスと前記支持体は接着剤により接着されていることを特徴とする請求項1、2いずれか記載の応力評価装置。
- 前記評価ガラスは低応力ガラスであり、前記評価ガラスと前記支持体はガラスビーズを混入して接着されることを特徴とする請求項3記載の応力評価装置。
- 請求項3、4いずれか記載の応力評価装置で応力評価が行われた前記評価サンプルで使用された接着剤を用いて、ミラーとその支持体とが接着されることを特徴とするミラー部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014159955A JP2016038224A (ja) | 2014-08-06 | 2014-08-06 | 応力評価装置、ミラー部品 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2014159955A JP2016038224A (ja) | 2014-08-06 | 2014-08-06 | 応力評価装置、ミラー部品 |
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ID=55529420
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108593172A (zh) * | 2018-05-03 | 2018-09-28 | 深圳精创视觉科技有限公司 | 玻璃内应力缺陷自动化检测装置 |
CN115342953A (zh) * | 2022-06-30 | 2022-11-15 | 中国科学院自动化研究所 | 柔性可控器械拉线的拉力传感器 |
-
2014
- 2014-08-06 JP JP2014159955A patent/JP2016038224A/ja active Pending
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