JP2016010794A

JP2016010794A - Filter cleaning device and filter cleaning method of air cleaning device

Info

Publication number: JP2016010794A
Application number: JP2015031926A
Authority: JP
Inventors: 佳男中村; Yoshio Nakamura; 和彦小野田; Kazuhiko Onoda
Original assignee: ASAHIKOGYOSHA CO Ltd; Nitta Corp
Current assignee: ASAHIKOGYOSHA CO Ltd; Nitta Corp
Priority date: 2014-06-04
Filing date: 2015-02-20
Publication date: 2016-01-21
Anticipated expiration: 2035-02-20
Also published as: JP6484458B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To safely conduct replacement of HEPA filters in an air cleaning device.SOLUTION: An air cleaning device cleans air flowing thereinto from a clean room with a HEPA filter 20 and discharges the air. An intake port 12, into which the air from the clean room flows, is formed in a casing 10. A cleaning nozzle 95 for cleaning an upstream surface of the HEPA filter 20 is attached to a pipeline 93. The pipeline 93 is fixed to a cleaning panel 91 so as to penetrate through the cleaning panel 91. The cleaning panel 91 is attached to the intake port 12.

Description

本発明は、例えば製薬工場において医薬品を製造するためのクリーンルームに設けられ、クリーンルーム内の空気を清浄化して外部へ排出する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus that is provided in a clean room for manufacturing pharmaceuticals in a pharmaceutical factory, for example, and cleans and discharges the air in the clean room to the outside.

近年製薬業界では、高活性医薬製造技術、すなわち抗がん剤や免疫抑制剤等のように少量で高い薬効を示す医薬品製造技術が発展してきている。このような医薬品は薬理活性が非常に強いので、クリーンルーム内で医薬品の製造等に携わる作業者への影響、およびクリーンルーム内の空気に混入した薬品や菌がクリーンルームから外部に排出して拡散することを防止する対策が必要である。つまり高活性医薬の製造施設では、通常の医薬品研究製造施設よりも厳重な管理が必要であり、特許文献１に開示された空気清浄化装置が提案されている。 In recent years, in the pharmaceutical industry, highly active pharmaceutical manufacturing technology, that is, pharmaceutical manufacturing technology that exhibits high efficacy in a small amount, such as anticancer agents and immunosuppressive agents, has been developed. Such drugs have very strong pharmacological activity, so the impact on workers involved in the manufacture of pharmaceuticals in the clean room and the diffusion of chemicals and bacteria mixed in the air in the clean room to the outside Measures to prevent this are necessary. In other words, a highly active pharmaceutical manufacturing facility requires stricter control than a normal pharmaceutical research and manufacturing facility, and an air cleaning device disclosed in Patent Document 1 has been proposed.

特開２００９−０５０８３１号公報JP 2009-050831 A

従来の空気清浄化装置は、空気を清浄化するためにＨＥＰＡフィルタを備えている。ＨＥＰＡフィルタは、例えば１年に１回交換することが定められているが、ＨＥＰＡフィルタのフィルタ面には濾過した埃、菌、薬剤等が付着しており、ＨＥＰＡフィルタの交換作業において作業者がこのような付着物に触れると、上述したように薬理活性のために健康被害を蒙るおそれがある。 Conventional air cleaning devices are equipped with a HEPA filter to clean the air. For example, it is stipulated that the HEPA filter should be replaced once a year. However, filtered dust, bacteria, chemicals, etc. are attached to the filter surface of the HEPA filter. Touching such deposits may cause health damage due to pharmacological activity as described above.

本発明は、空気清浄化装置においてＨＥＰＡフィルタの交換作業を安全に実施できるようにすることを目的としている。 An object of this invention is to enable it to perform the replacement | exchange operation | work of a HEPA filter safely in an air purifying apparatus.

本発明は、クリーンルームから流入する空気をＨＥＰＡフィルタにより清浄化して排出する空気清浄化装置であって、フィルタ洗浄装置が、クリーンルームからの空気が流入する吸気口が形成されたケーシングと、ＨＥＰＡフィルタの上流面を洗浄するための洗浄ノズルが取付けられた配管と、配管が貫通して固定された洗浄用パネルと、ケーシングの前面と同一平面を形成する表面を有するスリット枠とを備え、洗浄用パネルとスリット枠の一方が選択的には吸気口に取付けられることを特徴としている。 The present invention is an air cleaning device that cleans and discharges air flowing in from a clean room using a HEPA filter, wherein the filter cleaning device includes a casing in which an air inlet into which air from the clean room flows is formed, and a HEPA filter. A cleaning panel comprising a pipe having a cleaning nozzle attached for cleaning the upstream surface, a cleaning panel through which the pipe is fixed, and a slit frame having a surface that forms the same plane as the front surface of the casing And one of the slit frames is selectively attached to the intake port.

好ましくは洗浄用パネルが、透明の板状部材から成る覗き窓を有する。
スリット枠は例えば、吸気口の内周縁に固定される一対の支持部材に、相互に平行に延びる複数の板状部材を架け渡して構成される。 Preferably, the cleaning panel has a viewing window made of a transparent plate member.
For example, the slit frame is configured by bridging a plurality of plate-like members extending in parallel to each other on a pair of support members fixed to the inner peripheral edge of the intake port.

また本発明に係るフィルタ洗浄方法は、吸気口に洗浄用パネルを取付けた状態で、ＨＥＰＡフィルタの上流面に洗浄水を噴射することを特徴としている。 The filter cleaning method according to the present invention is characterized in that cleaning water is jetted onto the upstream surface of the HEPA filter in a state where a cleaning panel is attached to the intake port.

本発明によれば、空気清浄化装置においてＨＥＰＡフィルタの交換作業を安全に実施することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the replacement | exchange operation | work of a HEPA filter can be implemented safely in an air cleaning apparatus.

本発明の一実施形態である空気清浄化装置の正面図である。It is a front view of the air purification apparatus which is one Embodiment of this invention. 空気清浄化装置の内部の概略的な構成を示す側面図である。It is a side view which shows the schematic structure inside the air purifying apparatus. 空気清浄化装置を側方から見た断面図である。It is sectional drawing which looked at the air purification apparatus from the side. スリット枠を示す正面図である。It is a front view which shows a slit frame. 洗浄装置を吸気口に取付けた状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which attached the washing | cleaning apparatus to the inlet port. ポートパネルを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a port panel. 収容袋を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a storage bag. 収容袋がポートパネルの口金に取付けられた状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the accommodation bag was attached to the nozzle | cap | die of a port panel. 収容袋の中にＨＥＰＡフィルタが収容された状態を示す図である。It is a figure which shows the state in which the HEPA filter was accommodated in the accommodation bag. ポートパネルの口金に残された収容袋を新しい収容袋により覆った状態を示す図である。It is a figure which shows the state which covered the accommodation bag left in the nozzle | cap | die of a port panel with the new accommodation bag. 図１０の状態における口金の部分を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the part of a nozzle | cap | die in the state of FIG.

以下、本発明の一実施形態を適用した空気清浄化装置を、図面を参照して説明する。
図１、２は空気清浄化装置のケーシング１０を示す。このケーシング１０は、全溶接の気密機構（レーザー溶接により歪み等が少ない）を有し、例えば製薬工場のクリーンルーム（図示せず）に設けられ、前面１１がクリーンルーム内に臨むようにしてクリーンルームの建屋の壁に固定される。すなわちケーシング１０の背面はクリーンルームの外側に位置する。ケーシング１０の内部の高さ位置の中央付近にはＨＥＰＡフィルタ２０が設けられる。ケーシング１０の前面１１の下部には吸気口１２が形成され、ケーシング１０の上面には排気口１３が設けられる。すなわち吸気口１２から流入した空気は、上方へ流動してＨＥＰＡフィルタ２０により清浄化され、排気口１３から外部に排出される。また、ケーシング１０内においてＨＥＰＡフィルタ２０よりも上側すなわち空気流の下流側には、ＨＥＰＡフィルタ２０の濾過性能を検査するための検査装置３０が設けられる。 Hereinafter, an air cleaning apparatus to which an embodiment of the present invention is applied will be described with reference to the drawings.
1 and 2 show a casing 10 of an air cleaning device. The casing 10 has an airtight mechanism for all welding (less distortion or the like due to laser welding). For example, the casing 10 is provided in a clean room (not shown) of a pharmaceutical factory, and the front wall 11 faces the clean room. Fixed to. That is, the back surface of the casing 10 is located outside the clean room. A HEPA filter 20 is provided near the center of the height position inside the casing 10. An intake port 12 is formed in the lower part of the front surface 11 of the casing 10, and an exhaust port 13 is provided in the upper surface of the casing 10. That is, the air flowing in from the intake port 12 flows upward, is cleaned by the HEPA filter 20, and is discharged to the outside from the exhaust port 13. In the casing 10, an inspection device 30 for inspecting the filtration performance of the HEPA filter 20 is provided above the HEPA filter 20, that is, downstream of the air flow.

ケーシング１０の前面１１において、ＨＥＰＡフィルタ２０が収納される部位に対応した位置には、ＨＥＰＡフィルタ２０を収納あるいは交換するときに開放される交換口１４が形成される。交換口１４は通常、交換口パネル１５によって閉塞されている。また、ケーシング１０の前面１１において交換口１４の上側には、検査装置３０を用いるとき、すなわち後述する検査グローブを使用するときに開放される検査口１６が形成される。検査口１６も交換口１４と同様、通常は検査口パネル１７によって閉塞されている。ケーシング１０の吸気口１２にはスリット枠４０が設けられる。スリット枠４０は後述するように、クリーンルーム内の空気がケーシング１０内に取り込まれるときにそのまま通過するもので、フィルタ機能を有しない。 In the front surface 11 of the casing 10, an exchange port 14 that is opened when the HEPA filter 20 is accommodated or exchanged is formed at a position corresponding to a portion where the HEPA filter 20 is accommodated. The exchange port 14 is normally closed by an exchange port panel 15. Further, an inspection port 16 that is opened when the inspection device 30 is used, that is, when an inspection glove described later is used, is formed on the front surface 11 of the casing 10 above the replacement port 14. Similarly to the exchange port 14, the inspection port 16 is normally closed by an inspection port panel 17. A slit frame 40 is provided at the air inlet 12 of the casing 10. As will be described later, the slit frame 40 passes as it is when the air in the clean room is taken into the casing 10, and has no filter function.

交換口パネル１５と検査口パネル１７とスリット枠４０の各表面は、ケーシング１０の前面１１と実質的に同一平面を形成する。すなわち図２に示されるように、ケーシング１０の前面１１に対して、交換口パネル１５と検査口パネル１７とスリット枠４０の各表面は突出しておらず、また凹陥していない。 Each surface of the exchange port panel 15, the inspection port panel 17, and the slit frame 40 forms substantially the same plane as the front surface 11 of the casing 10. That is, as shown in FIG. 2, the surfaces of the exchange port panel 15, the inspection port panel 17, and the slit frame 40 do not protrude from the front surface 11 of the casing 10 and are not recessed.

図３および図４を参照してケーシング１０の下部の構造を説明する。ケーシング１０の底部４１は前面１１側が低くなるように傾斜しており、底部４１の前端には、ＨＥＰＡフィルタ２０の洗浄時に洗浄液を排出するためのドレン４２が設けられる。底部４１の下面は架台４３に固定され、架台４３には、ケーシング１０の姿勢を微調整するためのアジャスタスクリュー４４が取付けられる。 The structure of the lower part of the casing 10 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. The bottom portion 41 of the casing 10 is inclined so that the front surface 11 side is lowered, and a drain 42 for discharging the cleaning liquid when the HEPA filter 20 is cleaned is provided at the front end of the bottom portion 41. The bottom surface of the bottom portion 41 is fixed to a gantry 43, and an adjuster screw 44 for finely adjusting the posture of the casing 10 is attached to the gantry 43.

スリット枠４０は水平方向に延びる一対の支持部材４５と、これらの支持部材４５の間において上下方向に架け渡され、相互に平行に延びる複数の板状部材４６とを有する。支持部材４５は、吸気口１２の内周縁の上側と下側の壁面に固定される。板状部材４６は細長い矩形の平板であり、その幅方向がケーシング１０の前後方向を向いている。板状部材４６の前端部はケーシング１０の前面１１と略同じ平面上にあり、実際には、ケーシング１０の板厚分だけ前面１１から凹んでいる。板状部材４６は上下端において支持部材４５の面にレーザにより全溶接されて固着される。したがって支持部材４５と板状部材４６の間の角部Ｃには、ティグ溶接等により生じるようなビードと歪などは形成されない。 The slit frame 40 includes a pair of support members 45 extending in the horizontal direction, and a plurality of plate-like members 46 that are stretched between the support members 45 in the vertical direction and extend in parallel to each other. The support member 45 is fixed to the upper and lower wall surfaces of the inner peripheral edge of the air inlet 12. The plate-like member 46 is an elongated rectangular flat plate, and the width direction thereof faces the front-rear direction of the casing 10. The front end portion of the plate-like member 46 is on the same plane as the front surface 11 of the casing 10, and is actually recessed from the front surface 11 by the thickness of the casing 10. The plate-like member 46 is completely welded and fixed to the surface of the support member 45 at the upper and lower ends by a laser. Therefore, a bead, distortion, and the like that are generated by TIG welding or the like are not formed in the corner C between the support member 45 and the plate-like member 46.

吸気口１２を囲む枠部材４７には、図３ではスリット枠４０が取付けられているが、後述する洗浄装置の洗浄用パネル９１（図５参照）も取付け可能である。すなわちスリット枠４０と洗浄用パネル９１は吸気口１２に対して着脱可能であり、これらの一方が選択的に吸気口１２に取付けられる。 Although the slit frame 40 is attached to the frame member 47 surrounding the air inlet 12 in FIG. 3, a cleaning panel 91 (see FIG. 5) of a cleaning device described later can also be attached. That is, the slit frame 40 and the cleaning panel 91 can be attached to and detached from the intake port 12, and one of these is selectively attached to the intake port 12.

ケーシング１０の中央部の構造を説明する。ケーシング１０の内壁面には、矩形の開口２１を有するフィルタ当り面２２が水平状態に取付けられる。フィルタ当り面２２は、後述する検査装置３０のグローブ支持機構３３の上流側すなわち下側に設けられ、グローブ支持機構３３に臨むように配置される。フィルタ当り面２２の下面には４本の支持シャフト２３が取付けられ、これらの支持シャフト２３は相互に平行であり鉛直下方すなわちグローブ支持機構３３とは反対方向に延びる。支持シャフト２３には、井桁状に組まれた載置部材２４が取付けられる。載置部材２４は、４枚の細長い板状部材を有し、支持シャフト２３は、互いに平行に延びる一対の板状部材に固定されたパイプ２６に挿通される。これにより、載置部材２４は支持シャフト２３に昇降自在に支持され、支持シャフト２３の板状部材からの突出部分にはナット２５が螺合される。 The structure of the central part of the casing 10 will be described. A filter contact surface 22 having a rectangular opening 21 is attached to the inner wall surface of the casing 10 in a horizontal state. The filter contact surface 22 is provided on the upstream side, that is, the lower side of the globe support mechanism 33 of the inspection apparatus 30 described later, and is disposed so as to face the globe support mechanism 33. Four support shafts 23 are attached to the lower surface of the filter contact surface 22, and these support shafts 23 are parallel to each other and extend vertically downward, that is, in a direction opposite to the globe support mechanism 33. A mounting member 24 assembled in a cross beam shape is attached to the support shaft 23. The mounting member 24 has four elongated plate-like members, and the support shaft 23 is inserted into a pipe 26 fixed to a pair of plate-like members extending in parallel to each other. As a result, the mounting member 24 is supported by the support shaft 23 so as to be movable up and down, and a nut 25 is screwed into a protruding portion of the support shaft 23 from the plate-like member.

ＨＥＰＡフィルタ２０は載置部材２４の上に載置され、ＨＥＰＡフィルタ２０とフィルタ当り面２２の間には開口２１の周囲を取り囲む形状を有するガスケット（図示せず）が設けられる。ナット２５を回転させることにより載置部材２４は支持シャフト２３に沿って昇降する。ＨＥＰＡフィルタ２０の取付け動作では、ナット２５を回転させることによりＨＥＰＡフィルタ２０が上昇し、ＨＥＰＡフィルタ２０の上面がフィルタ当り面２２の下面に当接した状態において固定される。 The HEPA filter 20 is mounted on the mounting member 24, and a gasket (not shown) having a shape surrounding the periphery of the opening 21 is provided between the HEPA filter 20 and the filter contact surface 22. The mounting member 24 moves up and down along the support shaft 23 by rotating the nut 25. In the mounting operation of the HEPA filter 20, the HEPA filter 20 is raised by rotating the nut 25, and is fixed in a state where the upper surface of the HEPA filter 20 is in contact with the lower surface of the filter contact surface 22.

交換口パネル１５は、交換口１４を覆う矩形の平板部５１と、平板部５１の外周縁に形成された枠状縁部５２とを有する。枠状縁部５２は、交換口パネル１５をケーシング１０に取付けた状態において、平板部５１よりもケーシング１０の内側に後退しており、ケーシング１０に形成された第１溝部５３内に嵌め込まれる。第１溝部５３は、交換口パネル１５の外周縁に沿って、交換口パネル１５の表面よりも凹陥している。第１溝部５３内には、バックアップ材５５と防カビ用のシリコン樹脂のシール材５６とが埋め込まれる。シール材５６はケーシング１０の前面に露出し、シール材５６の表面はケーシング１０の前面１１と略同じ平面を形成する。このため交換口パネル１５と平板部５１の間に隙間は形成されず、菌、薬剤等が隙間に入り込む虞がなくなる。 The exchange port panel 15 includes a rectangular flat plate portion 51 that covers the exchange port 14 and a frame-like edge portion 52 formed on the outer peripheral edge of the flat plate portion 51. The frame-like edge portion 52 is retracted to the inside of the casing 10 from the flat plate portion 51 in a state where the replacement port panel 15 is attached to the casing 10, and is fitted into the first groove portion 53 formed in the casing 10. The first groove portion 53 is recessed from the surface of the exchange port panel 15 along the outer peripheral edge of the exchange port panel 15. A backup material 55 and a mold-proof silicone resin sealing material 56 are embedded in the first groove 53. The sealing material 56 is exposed on the front surface of the casing 10, and the surface of the sealing material 56 forms substantially the same plane as the front surface 11 of the casing 10. For this reason, a gap is not formed between the exchange port panel 15 and the flat plate portion 51, and there is no possibility that bacteria, drugs, and the like enter the gap.

なお図３においてポート（図６参照）を囲繞する口金８０が二点鎖線により示されているが、空気清浄化装置の通常の運転時には存在しない。すなわち、後述するように、口金８０はＨＥＰＡフィルタ２０を交換するときに使用されるものであり、ポートパネル８１（図６参照）に設けられ、交換口パネル１５には設けられない。 In FIG. 3, the base 80 surrounding the port (see FIG. 6) is indicated by a two-dot chain line, but does not exist during normal operation of the air cleaning device. That is, as will be described later, the base 80 is used when the HEPA filter 20 is replaced, and is provided on the port panel 81 (see FIG. 6) and is not provided on the replacement port panel 15.

ケーシング１０の上部の構造を説明する。ケーシング１０内においてＨＥＰＡフィルタ２０の上側すなわち下流側には、検査装置３０が設けられる。検査装置３０は、ＨＥＰＡフィルタ２０の下流面（上面）を検査するためのプローブ３１と、プローブ３１を操作する検査員（オペレータ）が手を入れるための検査グローブ３２とを有する。検査グローブ３２は、ケーシング１０内において検査口１６の裏側に設けられたグローブ支持機構３３に取付けられる。グローブ支持機構３３は、検査口１６の外周縁を囲繞するようにしてケーシング１０の内壁面に固定された支持枠３４と、支持枠３４に固定される支持板３５とを有する。支持枠３４と支持板３５は、後述する検査口パネル１７が取り外された状態であってもケーシング１０の内外を気密的に遮断するように、シール材を介してケーシング１０に固定されている。支持板３５は透明の板であり、その中央部分には検査グローブ３２の基部が取付けられる開口３６が形成される。 The structure of the upper part of the casing 10 will be described. An inspection device 30 is provided in the casing 10 on the upper side, that is, on the downstream side of the HEPA filter 20. The inspection apparatus 30 includes a probe 31 for inspecting the downstream surface (upper surface) of the HEPA filter 20 and an inspection glove 32 for an inspector (operator) who operates the probe 31 to put a hand. The inspection glove 32 is attached to a glove support mechanism 33 provided on the back side of the inspection port 16 in the casing 10. The globe support mechanism 33 includes a support frame 34 fixed to the inner wall surface of the casing 10 so as to surround the outer peripheral edge of the inspection port 16, and a support plate 35 fixed to the support frame 34. The support frame 34 and the support plate 35 are fixed to the casing 10 via a sealing material so that the inside and outside of the casing 10 are hermetically shut off even when the inspection port panel 17 described later is removed. The support plate 35 is a transparent plate, and an opening 36 to which the base portion of the inspection glove 32 is attached is formed in the central portion thereof.

検査口１６は交換口１４と同様な構成により閉塞される。すなわち検査口パネル１７は、検査口１６を覆う矩形の平板部６１と、平板部６１の外周縁に形成された枠状縁部６２とを有する。枠状縁部６２は、検査口パネル１７をケーシング１０に取付けた状態において、平板部６１よりもケーシング１０の内側に後退しており、ケーシング１０に形成された第２溝部６３内に嵌め込まれる。第２溝部６３は、検査口パネル１７の外周縁に沿って、検査口パネル１７の表面よりも凹陥している。第２溝部６３内には、バックアップ材６５と防カビ用のシリコン樹脂のシール材６６とが埋め込まれる。シール材６６はケーシング１０の前面に露出し、シール材６６の表面はケーシング１０の前面１１と略同じ平面を形成する。 The inspection port 16 is closed by the same configuration as the replacement port 14. That is, the inspection port panel 17 includes a rectangular flat plate portion 61 that covers the inspection port 16 and a frame-like edge portion 62 formed on the outer peripheral edge of the flat plate portion 61. The frame-like edge portion 62 is retracted to the inside of the casing 10 with respect to the flat plate portion 61 in a state where the inspection port panel 17 is attached to the casing 10, and is fitted into the second groove portion 63 formed in the casing 10. The second groove 63 is recessed from the surface of the inspection port panel 17 along the outer peripheral edge of the inspection port panel 17. A backup material 65 and a mold-proof silicone resin sealing material 66 are embedded in the second groove 63. The sealing material 66 is exposed on the front surface of the casing 10, and the surface of the sealing material 66 forms substantially the same plane as the front surface 11 of the casing 10.

プローブ３１は、ＨＥＰＡフィルタ２０の下流面（上面）に近接させてＨＥＰＡフィルタ２０を通過する粉塵の数を計数し、ＨＥＰＡフィルタ２０に穴が生じているか否かを検査するものである。プローブ３１は可撓性チューブ７１の先端に接続され、可撓性チューブ７１の基端は、ケーシング１０に取付けられたコネクタ７４に連結される。コネクタ７４には、ケーシング１０の外部に設けられた図示しない計測器が接続される。ＨＥＰＡフィルタ２０の検査では、検査口パネル１７が外され、オペレータが手を検査グローブ３２に入れてプローブ３１を把持し、ＨＥＰＡフィルタ２０の上面に接近させてスキャンし、ＨＥＰＡフィルタ２０を通過する粉塵の個数が計測器によって測定される。 The probe 31 counts the number of dust passing through the HEPA filter 20 in the vicinity of the downstream surface (upper surface) of the HEPA filter 20 and inspects whether or not there is a hole in the HEPA filter 20. The probe 31 is connected to the distal end of the flexible tube 71, and the proximal end of the flexible tube 71 is coupled to a connector 74 attached to the casing 10. A measuring instrument (not shown) provided outside the casing 10 is connected to the connector 74. In the inspection of the HEPA filter 20, the inspection port panel 17 is removed, the operator puts his hand in the inspection glove 32, grasps the probe 31, approaches the upper surface of the HEPA filter 20, scans, and passes through the HEPA filter 20. Is measured by a measuring instrument.

ケーシング１０内であってコネクタ７４の近傍には差圧計７５が設けられる。これは空気清浄化装置を駆動している間におけるＨＥＰＡフィルタ２０の上流側と下流側の差圧を計測するためである。この差圧の大きさに応じてＨＥＰＡフィルタ２０に目詰まりが生じているか否かが判定される。 A differential pressure gauge 75 is provided in the casing 10 and in the vicinity of the connector 74. This is for measuring the differential pressure between the upstream side and the downstream side of the HEPA filter 20 while the air purifier is being driven. It is determined whether or not the HEPA filter 20 is clogged according to the magnitude of the differential pressure.

ケーシング１０の天井１８には開口７６が形成され、開口７６には、天井１８の上側に設けられた排気口１３が接続される。排気口１３の中にはダンパ７７が設けられる。ダンパ７７の支持軸はフレキシブルワイヤ７８を介して、ケーシング１０に取付けられたダンパ駆動軸７９に連結される。ダンパ駆動軸７９は工具を用いて回動され、これによりフレキシブルワイヤ７８を介してダンパ７７の角度位置が変化し、ＨＥＰＡフィルタ２０を通過する空気の流量が調整可能である。 An opening 76 is formed in the ceiling 18 of the casing 10, and the exhaust port 13 provided on the upper side of the ceiling 18 is connected to the opening 76. A damper 77 is provided in the exhaust port 13. A support shaft of the damper 77 is connected to a damper drive shaft 79 attached to the casing 10 via a flexible wire 78. The damper drive shaft 79 is rotated using a tool, whereby the angular position of the damper 77 changes via the flexible wire 78, and the flow rate of air passing through the HEPA filter 20 can be adjusted.

空気清浄化装置の通常の動作、すなわちクリーンルーム内の空気を清浄化して排出する作用を説明する。空気清浄化装置の通常の動作時、検査口１６は検査口パネル１７により閉塞され、また交換口１４は交換口パネル１５により閉塞されており、吸気口１２にはスリット枠４０が嵌め込まれている。排気口１３内のダンパ７７は全開状態に定められている。この状態で図示しない送風機が起動されて排気口１３に負圧が生じると、クリーンルーム内の空気は吸気口１２からケーシング１０内に流入し、ＨＥＰＡフィルタ２０を通過することによって清浄化され、排気口１３から外部に排出される。 The normal operation of the air cleaning device, that is, the action of cleaning and discharging the air in the clean room will be described. During normal operation of the air purifier, the inspection port 16 is closed by the inspection port panel 17, the replacement port 14 is closed by the replacement port panel 15, and the slit frame 40 is fitted in the intake port 12. . The damper 77 in the exhaust port 13 is set to a fully open state. When a blower (not shown) is activated in this state and a negative pressure is generated at the exhaust port 13, the air in the clean room flows into the casing 10 from the intake port 12 and is purified by passing through the HEPA filter 20. 13 is discharged to the outside.

ケーシング１０の表面、特にクリーンルーム内に臨む前面１１には、実質的に凹凸が形成されておらず、検査口パネル１７、交換口パネル１５、およびスリット枠４０の表面は前面１１と同一平面を形成する。また交換口パネル１５の外周縁の第１溝部５３と検査口パネル１７の外周縁の第２溝部６３には、シール材５６、６６等が充填され、シール材５６、６６の表面も前面１１と同一平面を形成するように処理される。また吸気口１２にプレフィルタは設けられておらず、スリット枠４０が嵌め込まれている。スリット枠４０は、一対の支持部材４５の間に複数の板状部材４６をレーザによる全溶接で構成され、支持部材４５と板状部材４６の間には、ティグ溶接等により生じるような大きなビードは形成されていない。 The surface of the casing 10, particularly the front surface 11 facing the clean room, is not substantially uneven, and the surfaces of the inspection port panel 17, the replacement port panel 15, and the slit frame 40 are flush with the front surface 11. To do. Further, the first groove portion 53 on the outer peripheral edge of the replacement port panel 15 and the second groove portion 63 on the outer peripheral edge of the inspection port panel 17 are filled with the sealing materials 56 and 66 and the surfaces of the sealing materials 56 and 66 are also connected to the front surface 11. Processed to form the same plane. Moreover, the pre-filter is not provided in the inlet port 12, but the slit frame 40 is engage | inserted. The slit frame 40 includes a plurality of plate-like members 46 formed by laser welding between a pair of support members 45, and a large bead between the support member 45 and the plate-like member 46 that is generated by TIG welding or the like. Is not formed.

このようにケーシング１０の表面は実質的に平面であり、クリーンルーム内で発生する埃、菌、薬剤等が堆積しやすい部位（凹凸）は形成されていない。また、板状部材４６と支持部材４５はレーザにより全溶接されているので、板状部材４６と支持部材４５が当接する面の間は完全に密着しており隙間は存在せず、これらの間に菌などが付着することはない。したがって従来の空気清浄化装置と比較すると、埃等がケーシング１０の表面から分離してクリーンルーム内に再び浮遊する可能性は相当低い。このため、クリーンルーム内の作業者が菌や薬剤を含む空気に曝露することがなく、菌等の影響を受けることが防止される。またケーシング１０の表面の凹凸が実質的にないので、ケーシング１０を清浄な状態に拭き上げる作業が容易になる。 As described above, the surface of the casing 10 is substantially flat, and no portion (unevenness) on which dust, bacteria, chemicals and the like generated in the clean room easily accumulate is not formed. Further, since the plate-like member 46 and the support member 45 are all welded by laser, the surface where the plate-like member 46 and the support member 45 abut is completely in close contact, and there is no gap between them. No bacteria will adhere to the surface. Therefore, as compared with the conventional air cleaning device, the possibility that dust or the like separates from the surface of the casing 10 and floats again in the clean room is considerably low. For this reason, the worker in the clean room is not exposed to air containing bacteria and medicines, and is prevented from being affected by bacteria and the like. Further, since the surface of the casing 10 is not substantially uneven, the operation of wiping the casing 10 into a clean state is facilitated.

ＨＥＰＡフィルタ２０の検査は検査口パネル１７が取り外された状態で行われるが、この状態において、ケーシング１０内は支持枠３４と支持板３５により気密的に遮断されている。したがってオペレータはＨＥＰＡフィルタ２０の下流側（上面側）の空気に接触することなく安全に検査グローブ３２に手を入れることができ、プローブ３１をＨＥＰＡフィルタ２０に接近させてＨＥＰＡフィルタ２０をスキャンすることができる。 The inspection of the HEPA filter 20 is performed in a state where the inspection port panel 17 is removed. In this state, the inside of the casing 10 is hermetically blocked by the support frame 34 and the support plate 35. Therefore, the operator can safely put the hand in the inspection glove 32 without contacting the air on the downstream side (upper surface side) of the HEPA filter 20, and scan the HEPA filter 20 by bringing the probe 31 close to the HEPA filter 20. Can do.

さらに、ＨＥＰＡフィルタ２０はフィルタ当り面２２から鉛直下方に延びる支持シャフト２３に支持された載置部材２４の上に載置され、ガスケットはＨＥＰＡフィルタ２０の上面とフィルタ当り面２２の間に設けられている。したがってプローブ３１によるスキャンは、ＨＥＰＡフィルタ２０の上面とガスケットの周縁部だけでよく、ＨＥＰＡフィルタ２０の下面側をスキャンする必要はない。このようにＨＥＰＡフィルタ２０をフィルタ当り面２２の上に乗せるのではなく、フィルタ当り面２２の下側に取付けたことにより、プローブ３１をＨＥＰＡフィルタ２０の下面側まで延ばす必要がなくなる。 Further, the HEPA filter 20 is mounted on a mounting member 24 supported by a support shaft 23 extending vertically downward from the filter contact surface 22, and a gasket is provided between the upper surface of the HEPA filter 20 and the filter contact surface 22. ing. Therefore, the scanning by the probe 31 may be performed only on the upper surface of the HEPA filter 20 and the peripheral edge portion of the gasket, and it is not necessary to scan the lower surface side of the HEPA filter 20. As described above, the HEPA filter 20 is not placed on the filter contact surface 22 but attached to the lower side of the filter contact surface 22, so that it is not necessary to extend the probe 31 to the lower surface side of the HEPA filter 20.

ＨＥＰＡフィルタ２０のスキャンは、ＨＥＰＡフィルタ２０を交換する必要がないときであっても、ＨＥＰＡフィルタ２０に穴があいてリークが生じ、濾過性能が低下していないかをチェックするために、例えば１年に１，２回程度行われる。本実施形態は、ＨＥＰＡフィルタ２０の濾過性能の検査を簡単に行えるようにするため、上述のようにＨＥＰＡフィルタ２０をフィルタ当り面２２の下側に取付けて、ＨＥＰＡフィルタ２０の上面付近だけをスキャンするだけで済むようにしたものである。 Even when the HEPA filter 20 does not need to be replaced, the scan of the HEPA filter 20 is performed, for example, to check whether there is a leak in the HEPA filter 20 and the filtration performance is deteriorated. Held once or twice a year. In this embodiment, the HEPA filter 20 is attached to the lower side of the filter contact surface 22 as described above so that the filtration performance of the HEPA filter 20 can be easily checked, and only the vicinity of the upper surface of the HEPA filter 20 is scanned. All you have to do is to do it.

次にＨＥＰＡフィルタ２０を交換するための構成と作用を説明する。ＨＥＰＡフィルタ２０の交換作業では、まず吸気口１２からスリット枠４０を取外し、吸気口１２に洗浄装置９０（図５参照）を取付け、ＨＥＰＡフィルタ２０の上流面（下面）を水により洗浄する。その後、交換口１４から交換口パネル１５を取外してポートパネル８１（図６参照）を取付け、ＨＥＰＡフィルタ２０を取り外して新しいＨＥＰＡフィルタに交換する。 Next, the configuration and operation for replacing the HEPA filter 20 will be described. In the replacement work of the HEPA filter 20, first, the slit frame 40 is removed from the intake port 12, a cleaning device 90 (see FIG. 5) is attached to the intake port 12, and the upstream surface (lower surface) of the HEPA filter 20 is cleaned with water. Thereafter, the exchange port panel 15 is removed from the exchange port 14, the port panel 81 (see FIG. 6) is attached, and the HEPA filter 20 is removed and replaced with a new HEPA filter.

図５は洗浄装置９０を吸気口１２に取付けた状態を示している。洗浄装置９０は吸気口１２に取付けられる洗浄用パネル９１を有し、洗浄用パネル９１は、吸気口１２の枠部材４７に固定される。洗浄用パネル９１の中央部には、透明の板状部材から成る覗き窓９２が設けられる。また洗浄用パネル９１の覗き窓９２の下側には、配管９３が貫通して固定される。配管９３には、ＨＥＰＡフィルタ２０の上流面（下面）を洗浄するためのノズル配管９４が取付けられる。 FIG. 5 shows a state in which the cleaning device 90 is attached to the air inlet 12. The cleaning device 90 has a cleaning panel 91 attached to the air inlet 12, and the cleaning panel 91 is fixed to the frame member 47 of the air inlet 12. A viewing window 92 made of a transparent plate member is provided at the center of the cleaning panel 91. Further, a pipe 93 penetrates and is fixed below the viewing window 92 of the cleaning panel 91. A nozzle pipe 94 for cleaning the upstream surface (lower surface) of the HEPA filter 20 is attached to the pipe 93.

ノズル配管９４は、洗浄の対象であるＨＥＰＡフィルタ２０の上流面に均一に洗浄水が噴射され、またＨＥＰＡフィルタ２０の４側面及びケージング１０のＨＥＰＡフィルタ２０の上流側の内部、フィルタ当り面２２にも洗浄水が噴射され内部の洗浄を可能とするように配置された複数の洗浄ノズル９５を有する。ノズル配管９４は配管９３に対して着脱自在であり、ＨＥＰＡフィルタ２０の大きさ等に応じて、所定数の洗浄ノズルを有するノズル配管を装着することができる。配管９３の基部は図示しない洗浄水供給源に接続される。また配管９３の途中には、ケーシング１０内に供給される洗浄水の流量を調整するためのバルブ９８と、洗浄水の圧力を測定するための圧力計９９が設けられる。 In the nozzle pipe 94, cleaning water is uniformly sprayed to the upstream surface of the HEPA filter 20 to be cleaned, and the four side surfaces of the HEPA filter 20 and the upstream side of the HEPA filter 20 of the caging 10 are applied to the filter contact surface 22. Also has a plurality of cleaning nozzles 95 arranged so that the cleaning water is jetted to enable the internal cleaning. The nozzle pipe 94 is detachable from the pipe 93, and a nozzle pipe having a predetermined number of cleaning nozzles can be attached according to the size of the HEPA filter 20 or the like. The base of the pipe 93 is connected to a cleaning water supply source (not shown). Further, in the middle of the pipe 93, a valve 98 for adjusting the flow rate of the cleaning water supplied into the casing 10 and a pressure gauge 99 for measuring the pressure of the cleaning water are provided.

ＨＥＰＡフィルタ２０を洗浄した水は底部４１の斜面を流下し、ドレン４２から排出される。ＨＥＰＡフィルタ２０の洗浄が終了すると、洗浄装置９０が吸気口１２から取外されてスリット枠４０に交換される。また、交換口１４から交換口パネル１５が取外され、図６に示されるようにポートパネル８１が取付けられる。ポートパネル８１にはＨＥＰＡフィルタ２０を通過させるために十分な大きさを有するポート８２が形成される。ポートパネル８１には、ポート８２の周縁部に沿って口金８０が突出して形成される。 The water that has washed the HEPA filter 20 flows down the slope of the bottom 41 and is discharged from the drain 42. When the cleaning of the HEPA filter 20 is completed, the cleaning device 90 is removed from the air inlet 12 and replaced with the slit frame 40. Further, the exchange port panel 15 is removed from the exchange port 14, and the port panel 81 is attached as shown in FIG. The port panel 81 is formed with a port 82 having a size sufficient to pass the HEPA filter 20. The port panel 81 is formed with a base 80 protruding along the peripheral edge of the port 82.

口金８０には、図７に示すような、ＨＥＰＡフィルタ２０を収容するための第１の収容袋１００が取付けられる。収容袋１００は、透明または半透明のビニールによって形成され、有底筒状の本体１０１と、本体１０１の側部に取付けられた一対のグローブ１０２とを有する。グローブ１０２は、作業者の腕の肘の部分まで挿入することができる大きさを有する。収容袋１００の開口部１０３に沿って第１の縁部Ｏリング１０４が設けられており、図８に示すように、開口部１０３は縁部Ｏリング１０４を口金８０の外周面に嵌着することによって口金８０に装着される。縁部Ｏリング１０４よりも口金８０の先端部（図８において左側）の外周面には外部Ｏリング１０６が取付けられ、これにより収容袋１００の内部は外部から気密的に遮断される。 A first accommodation bag 100 for housing the HEPA filter 20 as shown in FIG. 7 is attached to the base 80. The storage bag 100 is made of transparent or translucent vinyl, and has a bottomed cylindrical main body 101 and a pair of gloves 102 attached to the side of the main body 101. The glove 102 has a size that can be inserted up to the elbow portion of the operator's arm. A first edge O-ring 104 is provided along the opening 103 of the containing bag 100, and the opening 103 fits the edge O-ring 104 to the outer peripheral surface of the base 80 as shown in FIG. 8. Is attached to the base 80. An outer O-ring 106 is attached to the outer peripheral surface of the tip portion (left side in FIG. 8) of the base 80 rather than the edge O-ring 104, whereby the inside of the housing bag 100 is hermetically blocked from the outside.

この状態で、作業者はグローブ１０２を反転させて本体１０１の中に入れるとともに、そのグローブ１０２に腕を差し込んでケーシング１０内に伸ばし、ナット２５を緩める。これにより、載置部材２４とともにＨＥＰＡフィルタ２０が下降してフィルタ当り面２２から離間し、ＨＥＰＡフィルタ２０は載置部材２４から取外し可能な状態になる。次いで作業者はＨＥＰＡフィルタ２０を把持してケーシング１０内から交換口１４側へ引出し、収容袋１００の中に取り込む。ＨＥＰＡフィルタ２０が完全に収容袋１００の中に入ったら、図９に示すように、収容袋１００の口金８０側の部分を２つの結束バンド１０５で縛る。そして２つの結束バンド１０５の間をカッタ等で切断して、ＨＥＰＡフィルタ２０が収容された収容袋１００をケーシング１０から分離し、所定の保管場所へ移送する。 In this state, the operator reverses the glove 102 and puts it in the main body 101, inserts his arm into the glove 102, extends it into the casing 10, and loosens the nut 25. As a result, the HEPA filter 20 moves down together with the mounting member 24 and is separated from the filter contact surface 22, so that the HEPA filter 20 can be removed from the mounting member 24. Next, the operator holds the HEPA filter 20 and pulls it out of the casing 10 toward the replacement port 14 and takes it into the storage bag 100. When the HEPA filter 20 has completely entered the storage bag 100, the cap 80 side portion of the storage bag 100 is bound with two binding bands 105 as shown in FIG. Then, the two binding bands 105 are cut with a cutter or the like, and the storage bag 100 in which the HEPA filter 20 is stored is separated from the casing 10 and transferred to a predetermined storage location.

このようにＨＥＰＡフィルタ２０を収容袋１００に入れてケーシング１０から取り出すのは、ＨＥＰＡフィルタ２０を洗浄水により洗浄しても菌が残留していることも考えられるからである。またＨＥＰＡフィルタ２０を取り出した後、ケーシング１０に装着されている収容袋１００の開口部側切れ端１２０（図１０）の結束バンド１０５により縛られた切り口１２１から消毒薬液や汚染物が滴り落ちることが考えられる。そこで、この切り口１２１から消毒薬液や汚染物がクリーンルーム内へ拡散することを防止するため、図１０に示すように第２の収容袋（回収袋）１１０を用いて開口部側切れ端１２０を除去する。すなわち作業者は、図１１に示すように、口金８０に取付けられた開口部側切れ端１２０と外部Ｏリング１０６を覆うようにして、第２の収容袋１１０を口金８０に取付ける。具体的には、第２の収容袋１１０の開口部に設けられた縁部Ｏリング１１４が口金８０の基部に位置するようにして第２の収容袋１１０が口金８０に装着される。そしてＨＥＰＡフィルタ２０の取外し動作と同様に、グローブ１１２が反転して本体１１１の中に入れられ、開口部側切れ端１２０と外部Ｏリング１０６が口金８０から取り除され、収容袋１１０とともにクリーンルームの外に排出される。 The reason why the HEPA filter 20 is put in the housing bag 100 and taken out from the casing 10 in this way is that bacteria may remain even if the HEPA filter 20 is washed with washing water. Further, after the HEPA filter 20 is taken out, disinfectant solution or contaminants may drip from the cut end 121 bound by the binding band 105 of the opening side cut end 120 (FIG. 10) of the containing bag 100 attached to the casing 10. Conceivable. Therefore, in order to prevent the disinfectant chemical and contaminants from diffusing into the clean room from the cut end 121, the opening side cut piece 120 is removed using the second storage bag (collection bag) 110 as shown in FIG. . That is, as shown in FIG. 11, the worker attaches the second storage bag 110 to the base 80 so as to cover the opening side cut end 120 attached to the base 80 and the external O-ring 106. Specifically, the second storage bag 110 is attached to the base 80 such that the edge O-ring 114 provided at the opening of the second storage bag 110 is positioned at the base of the base 80. Then, similarly to the removal operation of the HEPA filter 20, the globe 112 is inverted and placed in the main body 111, the opening side cut end 120 and the external O-ring 106 are removed from the base 80, and the outside of the clean room together with the containing bag 110 is removed. To be discharged.

その後、新しいＨＥＰＡフィルタがポート８２を通ってケーシング１０内に入れられ、載置部材２４の上に載置される。次いで、ナット２５が締め付けられ、ＨＥＰＡフィルタ２０がフィルタ当り面２２に当接する高さ位置へ上昇すると、ポートパネル８１が交換口１４から取外されて交換口パネル１５に付け替えられる。 Thereafter, a new HEPA filter is put into the casing 10 through the port 82 and placed on the placing member 24. Next, when the nut 25 is tightened and the HEPA filter 20 is raised to a height position where it abuts against the filter contact surface 22, the port panel 81 is removed from the replacement port 14 and replaced with the replacement port panel 15.

以上のように本実施形態では、ＨＥＰＡフィルタ２０の交換作業において、まず洗浄装置９０を吸気口１２に取付けてＨＥＰＡフィルタ２０の上流面（下面）を洗浄水により洗浄し、ポートパネル８１に取付けた収容袋１００にＨＥＰＡフィルタ２０を収容している。このように、菌等が付着している可能性のあるＨＥＰＡフィルタ２０の上流面を洗浄した後、ＨＥＰＡフィルタ２０を収容袋１００に収容して運び出すので、クリーンルーム内の作業者が有害物質を含む空気に曝露することはなく、ＨＥＰＡフィルタの交換作業を安全に実行することができる。 As described above, in this embodiment, in the replacement work of the HEPA filter 20, the cleaning device 90 is first attached to the intake port 12, the upstream surface (lower surface) of the HEPA filter 20 is cleaned with cleaning water, and is attached to the port panel 81. The HEPA filter 20 is accommodated in the accommodation bag 100. As described above, after cleaning the upstream surface of the HEPA filter 20 to which bacteria or the like may adhere, the HEPA filter 20 is accommodated in the accommodation bag 100 and carried out, so that workers in the clean room contain harmful substances. There is no exposure to air and the HEPA filter replacement operation can be performed safely.

１０ケーシング
１２吸気口
２０ＨＥＰＡフィルタ
４０スリット枠
４５支持部材
４６板状部材
９１洗浄用パネル
９２覗き窓
９３配管
９５洗浄ノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Casing 12 Inlet 20 HEPA filter 40 Slit frame 45 Support member 46 Plate member 91 Cleaning panel 92 Viewing window 93 Piping 95 Cleaning nozzle

Claims

An air cleaning device that cleans and discharges air flowing from a clean room with a HEPA filter,
A casing formed with an air inlet through which air from the clean room flows, and
A pipe provided with a cleaning nozzle for cleaning the upstream surface of the HEPA filter;
A cleaning panel having the piping penetrated and fixed;
A slit frame having a surface that forms the same plane as the front surface of the casing;
One of the said washing | cleaning panel and the said slit frame is selectively attached to the said inlet port, The filter washing | cleaning apparatus of the air purifying apparatus characterized by the above-mentioned.

The filter cleaning device for an air cleaning device according to claim 1, wherein the cleaning panel has a viewing window made of a transparent plate member.

2. The air according to claim 1, wherein the slit frame is configured by bridging a plurality of plate-like members extending in parallel to each other on a pair of support members fixed to an inner peripheral edge of the intake port. Filter cleaning device for cleaning device.

A method for cleaning a HEPA filter using the filter cleaning apparatus according to claim 1, comprising:
A filter cleaning method for an air cleaning device, wherein cleaning water is sprayed to an upstream surface of the HEPA filter in a state where the cleaning panel is attached to the intake port.