JP2015533771A - 結晶シート浮遊成長用装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 融液から結晶シートを形成する装置であって、
前記融液を収容するるつぼと、
前記融液の表面近傍に冷却領域を提供するよう構成されたコールドブロックであって、前記冷却領域は前記結晶シートの結晶フロントを生成するよう作動するコールドブロックと、
前記融液の前記表面に沿う、引張り方向に前記結晶シートを引き出すよう構成された結晶引張り器と、を備え、
前記引張り方向に対する垂線が、前記結晶フロントに対して90°未満で、0°より大きい角度を成すようにした、結晶シート形成装置。 - 前記コールドブロックのアセンブリは、前記結晶フロントの第2の幅に等しい前記冷却領域で第1の幅の結晶シートを生成するよう構成された細長形状を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記コールドブロックは、第1と第2の位置との間を移動するよう作動し、前記第1の位置の方が前記融液の表面に近く、前記コールドブロックが前記第1の位置に配置された場合の前記結晶シートの第1の成長速度の方が、前記コールドブロックが前記第2の位置に配置された場合の第2の成長速度より速い、請求項1に記載の装置。
- 前記結晶フロントは第1の結晶フロントであり、
前記コールドブロックは、
前記融液の前記表面に平行な平面に、第1の部分と該第1の部分に接続された第2の部分とを含むV字形状の構造を備え、
前記第1の部分は、前記垂線に対して第1の角度で前記第1の結晶フロントを生成するよう構成され、
前記第2の部分は、前記垂線に対して前記第1の角度と等しい大きさの第2の角度で、第2の結晶フロントを生成するよう構成されている、請求項1に記載の装置。 - 前記第1の結晶フロントに平行な、前記第1の部分の第3の幅は、前記第2の結晶フロントに平行な、前記第2の部分の第4の幅に等しい、請求項5に記載の装置。
- 前記装置から引っ張られる結晶シートは、前記垂線に沿って、前記結晶シートから形成される基板の意図した基板幅の2倍以上の第5の幅を有する、請求項5に記載の装置。
- 前記融液近傍の前記第1の部分の第1の下面は、前記融液近傍の前記第2の部分の第2の下面と同一平面にある、請求項5に記載の装置。
- 前記コールドブロックは、該コールドブロックの温度を、前記融液の溶融温度以下に維持するための内部流体を含む、請求項1に記載の装置。
- 融液から結晶シートを形成する方法であって、
前記融液を形成するために、るつぼ内の材料を加熱するステップと、
前記融液の表面から第1の距離のところにコールドブロックの冷却領域を提供するステップであって、前記冷却領域は前記結晶シートの結晶フロントを生成するよう作動するステップと、
前記融液の前記表面に沿って引張り方向に前記結晶シートを引っ張るステップと、
を含み、
前記引張り方向に対する垂線が、前記結晶フロントに対して0°より大きく90°未満の角度を成すようにした、結晶シート形成方法。 - 前記コールドブロックの冷却領域は、前記結晶フロントの第2の幅に等しい第1の幅を有する細長形状として提供される、請求項9に記載の方法。
- 前記結晶フロントは、第1の結晶フロントであって、
前記方法はさらに、
前記コールドブロックを前記融液の前記表面に平行な平面内にV字形状の構成で、第1の部分及び該第1の部分に接続される第2の部分として配置するステップと、
前記垂線に対して第1の角度で前記第1の部分を用いて前記第1の結晶フロントを生成するステップと、
前記垂線に対して第2の角度で前記第2の部分を用いて前記第2の結晶フロントを生成するステップと、
を含み、
前記第2の角度は前記垂線に対して前記第1の角度の大きさと同一の大きさを有する、請求項9に記載の方法。 - 前記第1の結晶フロントに平行な前記第1の部分の第3の幅を、前記第2の結晶フロントに平行な第2の部分の第4の幅に等しく設定するステップをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記結晶シートから産出する基板の基板幅を決定するステップと、
前記V字形状の構成が前記垂線に沿って、前記基板幅の2倍より大きい値に等しい第5の幅を有するよう配置するステップと、をさらに含む、請求項12に記載の方法。 - 前記融液近傍の前記第1の部分の第1の下面が、前記融液近傍の前記第2の部分の第2の下面と同一平面となるよう配置するステップをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記コールドブロックを、前記融液表面から前記第1の距離よりも大きい第2の距離に移動させるステップをさらに含み、前記結晶フロントは、前記コールドブロックが前記第2の距離に移動した際に終端する、請求項9に記載の方法。
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