JP2015508371A - Downdraw apparatus and method for providing a clean glass manufacturing environment - Google Patents

Downdraw apparatus and method for providing a clean glass manufacturing environment Download PDF

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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06Forming glass sheets
    • C03B17/064Forming glass sheets by the overflow downdraw fusion process; Isopipes therefor

Abstract

清浄なガラス製造環境を提供するためのダウンドローガラス製造装置(10)は、エンクロージャ(12)、エンクロージャの内部に配置された成形本体(30)、溶融ガラスを成形本体に送出するように配置された注入管(36)、および、エンクロージャに流体を送出してエンクロージャを加圧し得るように配置された出口を有している、導管(40)を備えている。導管は、それ自体オンクルージョンの形成を生じさせる粒子を生成しない材料から作製されており、また成形本体と同じ高度に位置している。エンクロージャはマッフル室でもよく、このマッフル室は、マッフル室の下部に、成形本体で成形されたガラスが出て行く際に通過するマッフルドア(20)を含み、このとき導管の出口は、マッフル室の内部でマッフルドアの外部に、位置している。さらに、導管に接続された気体供給源(44)をさらに含んでもよく、気体供給源は、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体を送出するように構成されている。A downdraw glass manufacturing apparatus (10) for providing a clean glass manufacturing environment is arranged to deliver an enclosure (12), a molded body (30) disposed within the enclosure, and molten glass to the molded body. And a conduit (40) having an outlet arranged to deliver fluid to the enclosure and pressurize the enclosure. The conduit is made of a material that does not produce particles that itself cause onclusion formation and is located at the same elevation as the molded body. The enclosure may be a muffle chamber, which includes a muffle door (20) at the bottom of the muffle chamber, through which the glass formed by the molded body passes as the outlet of the muffle chamber. Located inside and outside the muffle door. In addition, a gas source (44) connected to the conduit may further be included, the gas source being configured to deliver a gas whose airborne particulate cleanliness class is 100 or cleaner.

Description

関連出願の説明Explanation of related applications

本出願は、その内容が引用されその全体が参照することにより本書に組みこまれる、2011年11月28日に出願された米国仮特許出願第61/563,927号の優先権の利益を主張するものである。   This application claims the benefit of priority of US Provisional Patent Application No. 61 / 563,927, filed Nov. 28, 2011, the contents of which are incorporated herein by reference in their entirety. To do.

本発明は、ガラスを製造する装置および方法に関し、特にダウンドロープロセスでガラスの長さを作る装置および方法に関する。   The present invention relates to an apparatus and method for producing glass, and more particularly to an apparatus and method for producing glass length in a downdraw process.

板ガラスを製造するフュージョンプロセスは、その特別に優れたガラスの表面品質を生み出す能力のため、ガラス成形において好ましい方法になっている。フュージョンプロセスでは、2つの分離した溶融流が融合して1つのガラスリボンになるようにガラスが成形本体から溢れ出し、こうすることで両方の外側表面の表面品質が保たれる。ガラスの表面品質は、例えば、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ(LCD)、OLEDディスプレイ、プラズマディスプレイ、および電界放出ディスプレイなどの、ディスプレイの製造にガラスを使用する顧客にとって最も重要なことである。小さい表面欠陥でさえ、画面中の欠陥、ダークスポット、または光点としてエンドユーザ(例えば、テレビ視聴者)に見え得る、リタデーション差または他の問題を生じさせる可能性がある。典型的な液晶セルの間隙は5μm未満であり、そのため1μmの表面の乱れであっても包囲しているエリアからの光の経路長に20%の変化をもたらす。極端な場合には、表面欠陥がセルの間隙を完全に埋めるのに十分な大きさとなって、短絡をもたらすこともあり得る。高品質LCDパネルは、ガラス部品の特別に優れた表面品質を必要とする。表面欠陥の影響は、大型世代のサイズのパネル(例えば、第8世代および第10世代)で極端に著しく、この場合1つの欠陥でさえシート全体を使用不可能なものにしてしまうこともあり得る。このようなガラスの欠陥の一種を、「オンクルージョン」として説明する。   The fusion process for producing flat glass has become a preferred method in glass forming due to its exceptional ability to produce a superior glass surface quality. In the fusion process, the glass overflows the molded body so that the two separate melt streams merge into a glass ribbon, which maintains the surface quality of both outer surfaces. The surface quality of glass is most important for customers who use glass to manufacture displays, such as flat panel displays, liquid crystal displays (LCDs), OLED displays, plasma displays, and field emission displays. Even small surface defects can cause retardation differences or other problems that can be seen by end users (eg, television viewers) as defects, dark spots, or light spots in the screen. A typical liquid crystal cell gap is less than 5 μm, so even a 1 μm surface disturbance results in a 20% change in the light path length from the surrounding area. In extreme cases, surface defects can be large enough to completely fill the cell gap, resulting in a short circuit. High quality LCD panels require exceptionally good surface quality of glass parts. The effects of surface defects are extremely significant in large generation size panels (eg, 8th and 10th generations), where even a single defect can render the entire sheet unusable. . One type of glass defect is described as “onclusion”.

オンクルージョンは、リボン成形中に溶融ガラスの表面に付着し、さらに部分的にガラス内に埋め込まれることもある、微粒子タイプの欠陥である。オンクルージョンは、欠陥の性質に対する一般用語であり、多くの根本原因が考えられる。ガラス製造のためのフュージョンドロー装置(FDM)は下部が開口しており、空気が引き込んだものを自由に上方に循環させる。この空気は微粒子物質(これが欠陥を生じさせる)を上方に、さらには溶融ガラス上へと運び得る。さらに、一般的なFDMの耐火性部品自体が、蒸気や温度によって脱落したりあるいは揺れ動くようになったりすることで、FDM内部の空気の流れに取り込まれるまたはガラス表面に欠陥を形成する、微粒子物質を生じさせることもあり得る。これらは全てオンクルージョンのカテゴリーに当てはまり、ガラスの損失をもたらす。そのシート表面での位置のため、オンクルージョンは著しい欠陥クラスとなる。   Onclusion is a particulate type defect that adheres to the surface of the molten glass during ribbon molding and may be partially embedded within the glass. Onclusion is a general term for the nature of defects and can have many root causes. A fusion draw device (FDM) for glass production is open at the bottom, allowing the air drawn in to freely circulate upward. This air can carry particulate matter (which causes defects) upward and even onto the molten glass. Furthermore, the general FDM refractory parts themselves fall off or sway depending on the steam and temperature, so that the particulate matter is taken into the air flow inside the FDM or forms defects on the glass surface. Can also occur. All of these fall into the onclusion category and result in glass loss. Due to its position on the sheet surface, onclusion is a significant defect class.

いわゆる煙突効果によるFDMの下部から上方に昇って行く空気の量を減少させ、それによりオンクルージョンの量を低減しようとする試みが既に行われている。一般にこういった試みは、FDM内の圧力を管理するものを含む。   Attempts have already been made to reduce the amount of air rising upward from the bottom of the FDM by the so-called chimney effect, thereby reducing the amount of onclusion. In general, these attempts include managing the pressure in the FDM.

本発明者らは、FDM内の圧力を単に管理するだけでは、ガラス表面上のオンクルージョンのレベルを低く維持するのに十分ではないことを見出した。さらに、加圧の、厚さの制御を維持しながら、すなわちガラス幅に亘る厚さの変動を低く維持しながら、オンクルージョンを低減する能力は、FDM内の圧力を管理する手法に影響を受ける。具体的には、本発明者らは、オンクルージョンが生じる恐れがあるFDM内の位置に清浄な空気環境を確立しながら加圧することが、オンクルージョンの低減を実現するための健全で持続可能な手法であることを見出した。FDM内部の清浄な空気環境は、その夫々がオンクルージョンを低減する能力に影響を与える、FDMを加圧するために送出される気体が通過する設備、その含有している微粒子物質の観点からの気体自体の品質、さらにFDMへの気体送出の位置、を適切に選択することによって確立することができる。本開示は、FDM内部の圧力を適切に(すなわち、清浄な空気環境を確立しながら)増加させ、それにより厚さの制御を維持しながらオンクルージョンを低減する、装置および方法に関する。   The inventors have found that simply managing the pressure in the FDM is not sufficient to keep the level of on-clusion on the glass surface low. In addition, the ability to reduce onclusion while maintaining pressurization, thickness control, i.e., keeping thickness variation across the glass width low, affects the way pressure is managed in the FDM. receive. Specifically, the inventors found that pressurization while establishing a clean air environment at a location in the FDM where onclusion may occur is healthy and sustained to achieve onclusion reduction. We found that this is a possible technique. The clean air environment inside the FDM affects the ability of each to reduce onclusion, from the perspective of the equipment through which the gas delivered to pressurize the FDM passes, and the particulate matter it contains. It can be established by appropriate selection of the quality of the gas itself, as well as the location of the gas delivery to the FDM. The present disclosure relates to apparatus and methods that increase the pressure inside the FDM appropriately (ie, while establishing a clean air environment), thereby reducing onclusion while maintaining thickness control.

さらなる特徴および利点は、以下の詳細な説明の中に明記され、ある程度は、その説明から当業者には容易に明らかであろうし、あるいは記載される説明や添付の図面で例示される種々の態様を実施することにより認識されるであろう。前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、単に種々の態様の例示であり、請求される本発明の本質および特徴を理解するための概要または構成を提供することを意図したものであることを理解されたい。   Additional features and advantages will be set forth in the detailed description which follows, and in part will be readily apparent to those skilled in the art from the description, or may be illustrated by the various embodiments illustrated in the description and accompanying drawings. Will be recognized by implementing. The foregoing general description and the following detailed description are merely exemplary of the various aspects and are intended to provide an overview or arrangement for understanding the nature and characteristics of the claimed invention. Please understand that.

添付の図面は、本発明の原理のさらなる理解を提供するために含まれ、本明細書に組み込まれかつその一部を構成する。図面は1以上の実施形態を示し、そしてその説明とともに、本発明の原理および動作を、例を用いて説明するのに役立つ。本書および図面において開示される種々の特徴は、任意の組合せで、また全て組み合わせて、使用し得ることを理解されたい。非限定的な例として、種々の特徴を以下の態様に明記するように互いに組み合わせてもよい。   The accompanying drawings are included to provide a further understanding of the principles of the invention, and are incorporated in and constitute a part of this specification. The drawings illustrate one or more embodiments, and together with the description, serve to explain, by way of example, the principles and operation of the invention. It should be understood that the various features disclosed in this document and the drawings can be used in any combination and all in combination. By way of non-limiting example, various features may be combined with each other as specified in the following embodiments.

第1の態様によれば、ダウンドローガラス製造装置が提供され、この装置は、
エンクロージャ、
エンクロージャの内部に配置された、成形本体、
溶融ガラスを成形本体に送出するように配置された、注入管、および、
エンクロージャに流体を送出してエンクロージャを加圧し得るように配置された出口を有している、導管であって、FDM内の上方の成形本体付近の温度で反応または腐食しない材料から作製されている、導管、
を備えている。
According to a first aspect, a downdraw glass manufacturing apparatus is provided, the apparatus comprising:
Enclosure,
A molded body, placed inside the enclosure,
An injection tube arranged to deliver molten glass to the molded body; and
A conduit having an outlet arranged to deliver fluid to the enclosure and pressurize the enclosure, made from a material that does not react or corrode at temperatures near the upper molded body in the FDM ,conduit,
It has.

第2の態様によれば、態様1による装置が提供され、導管が、セラミック、ガラスセラミック、ガラス、白金、イリジウム、パラジウム、ロジウム、またはニッケルから作製されていることを特徴とする。   According to a second aspect, an apparatus according to aspect 1 is provided, characterized in that the conduit is made from ceramic, glass ceramic, glass, platinum, iridium, palladium, rhodium or nickel.

第3の態様によれば、態様1または態様2による装置が提供され、導管に接続された気体供給源をさらに含み、気体供給源が、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体を、送出するように構成されていることを特徴とする。   According to a third aspect, there is provided an apparatus according to aspect 1 or aspect 2, further comprising a gas source connected to the conduit, the gas source having a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner. It is configured to deliver a certain gas.

第4の態様によれば、態様1から3いずれか1つによる装置が提供され、導管が成形本体と同じ高度に位置していることを特徴とする。   According to a fourth aspect, an apparatus according to any one of aspects 1 to 3 is provided, characterized in that the conduit is located at the same elevation as the forming body.

第5の態様によれば、態様1から4いずれか1つによる装置が提供され、エンクロージャがマッフル室であり、このマッフル室が、マッフル室の下部に、成形本体で成形されたガラスが出て行く際に通過するマッフルドアを含み、このとき導管の出口が、マッフル室の内部でマッフルドアの外部に、位置していることを特徴とする。   According to a fifth aspect, there is provided an apparatus according to any one of aspects 1 to 4, wherein the enclosure is a muffle chamber, and the muffle chamber is formed at a lower portion of the muffle chamber with glass formed by a molded body. It includes a muffle door that passes on the way, wherein the outlet of the conduit is located inside the muffle chamber and outside the muffle door.

第6の態様によれば、態様5による装置が提供され、マッフルドアが、底部に面している、高い熱伝導性を有する材料から作製された前面プレートを含み、かつマッフルドアが、前面プレートの、底部が配置されている側とは反対の側に配置された、マッフルドア室をさらに備えていることを特徴とする。   According to a sixth aspect, there is provided an apparatus according to aspect 5, wherein the muffle door includes a front plate made of a material having high thermal conductivity facing the bottom, and the muffle door is of the front plate. A muffle door chamber is further provided on the side opposite to the side on which the bottom is arranged.

第7の態様によれば、ある長さのガラスを製造する方法が提供され、この方法は、
溶融ガラスを、エンクロージャの内部に配置された成形本体からこの溶融ガラスがリボンの形で下方に流れるように、成形本体に流すステップ、
エンクロージャを加圧するために、流体を、FDM内の上方の成形本体付近の温度で反応または腐食しない材料から作製された導管に通して、エンクロージャに送出するステップ、
リボンを、エンクロージャから外へと流すステップ、および、
リボンを切断して、ある長さのガラスを形成するステップ、
を含む。
According to a seventh aspect, there is provided a method of manufacturing a length of glass, the method comprising:
Flowing molten glass through a molded body such that the molten glass flows downwardly in the form of a ribbon from the molded body disposed within the enclosure;
Delivering fluid to the enclosure through a conduit made from a material that does not react or corrode at temperatures near the upper molded body in the FDM to pressurize the enclosure;
Flowing the ribbon out of the enclosure; and
Cutting the ribbon to form a length of glass;
including.

第8の態様によれば、態様7の方法が提供され、導管が、セラミック、ガラスセラミック、ガラス、白金、イリジウム、パラジウム、ロジウム、またはニッケルから作製されていることを特徴とする。   According to an eighth aspect, the method of aspect 7 is provided, characterized in that the conduit is made from ceramic, glass ceramic, glass, platinum, iridium, palladium, rhodium, or nickel.

第9の態様によれば、態様7または態様8の方法が提供され、流体が、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体であることを特徴とする。   According to a ninth aspect, there is provided the method of aspect 7 or aspect 8, characterized in that the fluid is a gas having a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner.

第10の態様によれば、態様7から9いずれか1つの方法が提供され、流体を成形本体の高度で送出するステップをさらに含む。   According to a tenth aspect, the method of any one of aspects 7 to 9 is provided and further comprises the step of delivering a fluid at the height of the molded body.

第11の態様によれば、態様7から10いずれか1つの方法が提供され、エンクロージャがマッフル室であり、マッフル室が、リボンがマッフル室を出て行くときに通過するマッフルドアを含み、さらに流体を、マッフル室の内部でマッフルドアの外部の位置に、送出するステップをさらに含むことを特徴とする。   According to an eleventh aspect, there is provided the method of any one of aspects 7 to 10, wherein the enclosure is a muffle chamber, the muffle chamber includes a muffle door through which the ribbon passes as it exits the muffle chamber, and the fluid Is further included in the muffle chamber at a position outside the muffle door.

第12の態様によれば、態様11の方法が提供され、マッフルドアが、底部に面している、高い熱伝導性を有する材料から作製された前面プレートを含み、かつマッフルドアが、前面プレートの、底部が配置されている側とは反対の側に配置された、マッフルドア室をさらに備えていることを特徴とする。   According to a twelfth aspect, the method of aspect 11 is provided, wherein the muffle door includes a front plate made of a material having high thermal conductivity facing the bottom, and the muffle door is of the front plate. A muffle door chamber is further provided on the side opposite to the side on which the bottom is arranged.

第13の態様によれば、ダウンドローガラス製造装置が提供され、この装置は、
エンクロージャ、
エンクロージャの内部に配置された、成形本体、
溶融ガラスを成形本体に送出するように配置された、注入管、および、
エンクロージャに流体を送出してエンクロージャを加圧し得るように配置された出口を有している、導管、および、
導管に接続され、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体を、送出するように構成された、気体供給源、
を備えている。
According to a thirteenth aspect, a downdraw glass manufacturing apparatus is provided, the apparatus comprising:
Enclosure,
A molded body, placed inside the enclosure,
An injection tube arranged to deliver molten glass to the molded body; and
A conduit having an outlet arranged to deliver fluid to the enclosure to pressurize the enclosure; and
A gas source connected to the conduit and configured to deliver a gas having a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner;
It has.

第14の態様によれば、態様13による装置が提供され、導管が成形本体と同じ高度に位置していることを特徴とする。   According to a fourteenth aspect, there is provided an apparatus according to aspect 13, characterized in that the conduit is located at the same elevation as the forming body.

第15の態様によれば、態様13または態様14による装置が提供され、エンクロージャがマッフル室であり、このマッフル室が、マッフル室の下部に、成形本体で成形されたガラスが出て行く際に通過するマッフルドアを含み、このとき導管の出口が、マッフル室の内部でマッフルドアの外部に、位置していることを特徴とする。   According to a fifteenth aspect, there is provided an apparatus according to the aspect 13 or aspect 14, wherein the enclosure is a muffle chamber, and the muffle chamber is formed in the lower part of the muffle chamber when the glass molded with the molded body exits. Including a passing muffle door, wherein the outlet of the conduit is located inside the muffle chamber and outside the muffle door.

第16の態様によれば、ある長さのガラスを製造する方法が提供され、この方法は、
溶融ガラスを、エンクロージャの内部に配置された成形本体からこの溶融ガラスがリボンの形で下方に流れるように、成形本体に流すステップ、
エンクロージャを加圧するために、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体である流体を、導管に通して、エンクロージャに送出するステップ、
リボンを、エンクロージャから外へと流すステップ、および、
リボンを切断して、ある長さのガラスを形成するステップ、
を含む。
According to a sixteenth aspect, there is provided a method of manufacturing a length of glass, the method comprising:
Flowing molten glass through a molded body such that the molten glass flows downwardly in the form of a ribbon from the molded body disposed within the enclosure;
Delivering a fluid, which is a gas having a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner, through a conduit to pressurize the enclosure;
Flowing the ribbon out of the enclosure; and
Cutting the ribbon to form a length of glass;
including.

第17の態様によれば、態様16の方法が提供され、流体を成形本体の高度で送出するステップをさらに含む。   According to a seventeenth aspect, the method of aspect 16 is provided and further comprises the step of delivering fluid at the elevation of the molded body.

第18の態様によれば、態様16または態様17の方法が提供され、エンクロージャがマッフル室であり、マッフル室が、リボンがマッフル室を出て行くときに通過するマッフルドアを含み、さらに流体を、マッフル室の内部でマッフルドアの外部の位置に、送出するステップをさらに含むことを特徴とする。   According to an eighteenth aspect, there is provided the method of aspect 16 or aspect 17, wherein the enclosure is a muffle chamber, the muffle chamber includes a muffle door through which the ribbon passes as it exits the muffle chamber, The method further includes the step of delivering to a position inside the muffle chamber and outside the muffle door.

フュージョンドロー装置の概略図Schematic diagram of the fusion draw device オンクルージョンの数とマッフルエンクロージャ内の圧力量との間の関係を示す概略図Schematic showing the relationship between the number of onclusions and the amount of pressure in the muffle enclosure 厚さ変動量とマッフルドア内の圧力との間の関係を示す概略図Schematic showing the relationship between thickness variation and pressure in the muffle door ガラス製造装置の概略図Schematic diagram of glass manufacturing equipment

以下の詳細な説明においては、説明のためであって限定するものではないが、具体的詳細を開示する実施形態例を明記して本発明の種々の原理の完全な理解を提供する。しかしながら、本開示の利益を得たことがある通常の当業者には、本発明をここで開示される具体的詳細とは異なる他の実施形態で実施し得ることは明らかであろう。さらに、周知の装置、方法、および材料に関する説明は、本発明の種々の原理の説明を不明瞭にしないよう省略されることがある。最後に、適用できる限り、同じ参照番号は類似の要素を示す。   In the following detailed description, for purposes of explanation and not limitation, example embodiments disclosing specific details are set forth in order to provide a thorough understanding of various principles of the invention. However, it will be apparent to one of ordinary skill in the art who has benefited from the present disclosure that the present invention may be practiced in other embodiments that depart from the specific details disclosed herein. Moreover, descriptions of well-known devices, methods, and materials may be omitted so as not to obscure the description of various principles of the invention. Finally, wherever applicable, the same reference numbers indicate similar elements.

本書で使用される、例えば、上、下、右、左、前、後、上部、下部などの方向を示す用語は、単に描かれた図に関連したものであって、絶対的な向きを意味することを意図したものではない。   As used in this document, for example, top, bottom, right, left, front, back, top, bottom, etc., terms that refer to the direction of the drawing and are absolute It is not intended to be.

他に明確に述べられていなければ、本書に明記されるいずれの方法も、そのステップを特定の順序で実行する必要があると解釈されることを全く意図していない。したがって、方法の請求項においてこれらのステップが行われる順序が実際に述べられていない場合、あるいは請求項または説明の中でこれらのステップが特定の順序に限定されるべきであると具体的に述べられていない場合には、順序が推測されることはどの点においても全く意図されていない。これは、ステップまたは動作フローの配置に関する論理の問題、文法構成または句読点から導かれる明白な意味、本明細書内で説明される実施形態の数または種類を含めた、全ての可能性のある明示されていない解釈の原則として適用される。   Unless explicitly stated otherwise, any method specified herein is not intended to be construed as requiring that the steps be performed in any particular order. Therefore, if the order in which these steps are performed is not actually stated in a method claim, or specifically stated in the claim or description, these steps should be limited to a particular order. If not, it is not intended in any way that order is inferred. This includes all possible manifestations, including logic issues regarding the placement of steps or operational flows, obvious meanings derived from grammar construction or punctuation, and the number or type of embodiments described herein. It is applied as a principle of interpretation that is not done.

本書では、文脈が明らかに他に指示していなければ、単数形は複数の指示対象を含む。すなわち、例えば、ある「構成要素」に言及したときには、文脈が明らかに他に指示していなければ、2以上のこの構成要素を有する態様を含む。   In this document, the singular includes the plural object unless the context clearly dictates otherwise. Thus, for example, reference to a “component” includes aspects having two or more of this component unless the context clearly indicates otherwise.

本開示は、フュージョンドロー装置(FDM)内部のオンクルージョンが形成される恐れのある位置で清浄な空気環境を確立しながら加圧するための、そしてオンクルージョンの低減を実現する健全で持続可能な手法を提供する、装置および方法に関する。   The present disclosure is sound and sustainable for pressurizing while establishing a clean air environment at a location where onclusion within a fusion draw device (FDM) may be formed and for reducing onclusion The present invention relates to an apparatus and a method for providing a simple technique.

FDM内に清浄な空気環境を確立する1つの手法は、オンクルージョンを形成する粒子をそれ自体が生成しないような設備に通して気体を送出するものである。これは、FDMのエリアを加圧するためにFDMに送出される気体が通る導管の材料を、適切に選択することによって成すことができる。導管の流体送出用の内腔がこのような材料から作られていさえすれば、導管全体をこのような材料から作製する必要はない。本発明者らは、オンクルージョンに繋がる粒子をそれ自体が生成することなく気体を送出する導管として、窒素または酸素を豊富に含む流体源と接触したときにFDM内の上方の成形本体付近で典型的に見られる例えば900〜1300℃の温度で、反応、劣化、または腐食−これらは粒子の生成に繋がることになる−しない、高溶融点材料から作製された導管が非常に適していることを見出した。例えば導管は、セラミック、ガラスセラミック、またはガラスから作製してもよい。また導管は、例えば、白金、イリジウム、ロジウム、パラジウム、またはニッケルのような金属から作製してもよい。   One approach to establishing a clean air environment within the FDM is to deliver gas through a facility that does not itself generate onclusion particles. This can be done by appropriate selection of the material of the conduit through which the gas delivered to the FDM passes to pressurize the FDM area. As long as the fluid delivery lumen of the conduit is made from such material, the entire conduit need not be made from such material. As a conduit for delivering a gas without itself producing particles that lead to onclusion, we are near the upper molding body in the FDM when in contact with a nitrogen or oxygen rich fluid source. Very suitable conduits made from high melting point materials that do not react, deteriorate, or corrode—these will lead to particle formation—at temperatures typically seen at, for example, 900-1300 ° C. I found. For example, the conduit may be made from ceramic, glass ceramic, or glass. The conduit may also be made from a metal such as, for example, platinum, iridium, rhodium, palladium, or nickel.

FDM内に清浄な空気環境を確立する第2の手法は、オンクルージョンに繋がる粒子をそれ自体が多量に含んでいない気体を使用するものである。本発明者らは、「空気中浮遊微粒子の清浄度クラス(Airborne Particulate Cleanliness Classes)」(米国、郵便番号60056、イリノイ州、マウントプロスペクト、イースト・ノースウエスト・ハイウェイ940所在のInstitute of Environmental Sciences and Technologyより入手可能)と題される米国連邦規格209Eで測定してクラス100(M3.5)またはより清浄である気体が、FDM内部の圧力を増加させると同時にそれ自体オンクルージョンに繋がる粒子の発生源とならないために適していることを見出した。   A second approach to establishing a clean air environment within the FDM is to use a gas that does not itself contain a large amount of particles that lead to onclusion. The present inventors are “Airborne Particulate Cleanliness Classes” (Institute of Environmental Sciences and Technology, USA, Zip Code 60056, Mount Prospect, Illinois, East Northwest Highway 940). A source of particles whose class 100 (M3.5) or cleaner gas, as measured under US Federal Standard 209E, available) increases the pressure inside the FDM and at the same time leads to onclusion I found it suitable for not.

FDM内に清浄な空気環境を確立する第3の手法は、気体がFDMに送出される位置に関するものである。より具体的には、本発明者らは、気体を成形本体の高度で、マッフル室内ではあるがマッフルドアの外部でFDMに送出すると、低レベルのオンクルージョンに繋がることを見出した。   A third approach to establishing a clean air environment within the FDM relates to the location where gas is delivered to the FDM. More specifically, the present inventors have found that when gas is sent to the FDM at the altitude of the molding body and inside the muffle chamber but outside the muffle door, it leads to a low level of onclusion.

清浄な空気環境を含むフュージョンドロー装置(FDM)の一実施の形態を、図1を参照して説明する。FDM10は、ガラスリボン4が成形される上方エンクロージャすなわちマッフル室12と、FDM10を下方開口16から出て行くまでガラスリボン4がその中を通って牽引されかつ熱的に調整される、下方エンクロージャ14とを含んでいる。その後ガラスシート8が、当技術で周知の技術を用いてリボン4の下方端部から分離される。図ではリボン4からシート8が分離されたように示されているが、代わりに例えばガラスを巻回する場合など、任意の長さのリボン4を形成してから、これを残りの部分から分離してもよい。すなわち「ガラスシート」という用語は、本明細書を通じて引用の便宜上のみのために使用されるものであり、この用語は、巻回される長さのガラスも含み得ることを理解されたい。   An embodiment of a fusion draw apparatus (FDM) including a clean air environment will be described with reference to FIG. The FDM 10 includes an upper enclosure or muffle chamber 12 in which the glass ribbon 4 is formed, and a lower enclosure 14 in which the glass ribbon 4 is pulled and thermally regulated until it exits the lower opening 16. Including. The glass sheet 8 is then separated from the lower end of the ribbon 4 using techniques well known in the art. Although the sheet 8 is shown as being separated from the ribbon 4 in the figure, instead of forming a ribbon 4 of any length, for example when winding glass, it is separated from the rest. May be. That is, it is to be understood that the term “glass sheet” is used throughout this specification for convenience of reference, and that the term may also include a length of glass that is wound.

マッフル室12は、ガラスリボン4を成形する成形本体30を包囲している。成形本体30は、注入管36から溶融ガラスを受け入れる。ガラスが成形本体30の対向する合流側面32上を2つの分離流の状態で流れ、この分離流が成形本体30の底部34で再結合して、厚さ6を有するガラスリボン4を形成する。   The muffle chamber 12 surrounds a forming body 30 for forming the glass ribbon 4. The molded body 30 receives molten glass from the injection tube 36. The glass flows in the form of two separate streams on opposing merged side surfaces 32 of the molded body 30, and these separated streams recombine at the bottom 34 of the molded body 30 to form a glass ribbon 4 having a thickness 6.

1対のマッフルドア筐体20が、マッフル室12の下部に位置しており、ガラスリボン4を横切る方向すなわち図1の平面に出入りする方向における、厚さ6の変動を制御するのに用いられる。リボン4の各側に1つのマッフルドア筐体20が配置され、それによりこれらのマッフルドア筐体20で、下方エンクロージャ14へと延在するガラスリボン4が通る開口を形成する。マッフルドア筐体20は同じ構造を有しているため、1つのみを詳細に説明する。同様に種々の原理は、同じ原理が他方のマッフルドア筐体20に同じく適用できるという理解の下、図示のマッフルドア筐体20の一方に関連付けて説明され得る。マッフルドア筐体20は、成形本体30と、その軟化点を超える粘度を有しているときのガラスリボン4とに面するように配置される。マッフルドア筐体20は、前面プレート22、マッフルドア室24、および複数の管26を含む。各管26は、マッフルドア室24内部に出口を含んでいる。   A pair of muffle door housings 20 are located in the lower part of the muffle chamber 12 and are used to control the variation of the thickness 6 in the direction across the glass ribbon 4, that is, in the direction entering and exiting the plane of FIG. One muffle door housing 20 is disposed on each side of the ribbon 4, thereby forming an opening through which the glass ribbon 4 extending to the lower enclosure 14 passes. Since the muffle door housing 20 has the same structure, only one will be described in detail. Similarly, various principles may be described in connection with one of the illustrated muffle door housings 20 with the understanding that the same principles are equally applicable to the other muffle door housing 20. The muffle door housing 20 is disposed so as to face the molded body 30 and the glass ribbon 4 when having a viscosity exceeding its softening point. The muffle door housing 20 includes a front plate 22, a muffle door chamber 24, and a plurality of pipes 26. Each tube 26 includes an outlet within the muffle door chamber 24.

前面プレート22は、時間および温度によらず一定の、高伝導性、低熱膨張、および高放射率を有する材料から形成されている。前面プレート22は炭化ケイ素の平板から形成されることが好ましく、かつその背面は、境界となる縁を除き、熱が不連続となる部分をこの平板の面に亘って生じさせ得るいかなる支持構造とも接触しないことが好ましい。   The front plate 22 is formed of a material having a constant high conductivity, low thermal expansion, and high emissivity regardless of time and temperature. The front plate 22 is preferably formed from a flat plate of silicon carbide, and its backside is any support structure that can generate heat discontinuity across the plane of the flat plate, except at the border edges. It is preferable not to contact.

流体源28は、流体を管26に送出するように連結されている。成形本体30の各側に1つのみの管26が図示されているが、典型的にはガラスリボン4の幅方向に沿って配置された複数の管26が存在し、すなわち成形本体30の各側に任意の適切な数の管26が採用され得、このときその数は一般にガラスリボン4の幅に依存する。流体は、例えば、空気、圧縮空気、任意の他の適切な気体でもよい。本明細書を通じて、便宜上「空気」または「空気流」という用語を用いるが、全ての適切な種類の気体または他の流体を含むよう意図されている。流体は流体源28から送出され、管26を通過し、そして前面プレート22に当たってその温度を局所的に制御するようマッフルドア室24内に入る。前面プレート22のある点の局所的温度が、次いでガラスリボン4の隣接する部分の温度、すなわち粘度に、さらに結果的に厚さに影響を与える。各管26を通る流体の流れは、リボン4を横切る厚さの勾配を制御するために、当技術で周知の手法で個々に調節することができる。   The fluid source 28 is coupled to deliver fluid to the tube 26. Although only one tube 26 is shown on each side of the molded body 30, there are typically a plurality of tubes 26 arranged along the width direction of the glass ribbon 4, i.e. each of the molded bodies 30. Any suitable number of tubes 26 can be employed on the side, with the number generally depending on the width of the glass ribbon 4. The fluid may be, for example, air, compressed air, or any other suitable gas. Throughout this specification, the term “air” or “air flow” will be used for convenience, but is intended to include all suitable types of gases or other fluids. Fluid is delivered from a fluid source 28, passes through the tube 26, and strikes the front plate 22 and enters the muffle door chamber 24 to locally control its temperature. The local temperature at a certain point of the front plate 22 then affects the temperature, i.e. the viscosity, of the adjacent part of the glass ribbon 4 and consequently the thickness. The fluid flow through each tube 26 can be individually adjusted in a manner well known in the art to control the thickness gradient across the ribbon 4.

下方エンクロージャ14内には、ガラスリボン4を下方に動かすおよび/または誘導するために使用される種々の構造が存在しているが、これらの構造は図を簡略化するために図示していない。また、リボン4がエンクロージャ14内を通過するときに、リボン4を熱的に調整するために、あるいはリボン4の熱損失を制御するために、種々の他の構造がエンクロージャ14内に存在し得る。   There are various structures in the lower enclosure 14 that are used to move and / or guide the glass ribbon 4 downward, but these structures are not shown to simplify the drawing. Various other structures may also be present in the enclosure 14 to thermally condition the ribbon 4 as it passes through the enclosure 14 or to control the heat loss of the ribbon 4. .

マッフル室12および下方エンクロージャ14内には、FDM10から空気を漏出させる種々の開口が存在している。これらの開口は、意図された開口−例えば、電気接続、流体接続、FDM10内の設備への立入および/または接近、水冷却ポート、抵抗加熱器、熱電対用のコイル巻線、および/または管26のための−および/または意図されたものでない亀裂または孔を含み得る。意図された開口に通して挿入される機器のためにシールが提供されているときでさえ、FDM10からの流出を可能にする漏れが依然シールに存在し得る。FDM10からの空気漏れの他、FDM10自体の内部の熱勾配のため、矢印13の方向へと上方に流れる流れが存在する。この流れは下部開口16から空気を引き込んで、FDM10の外部エリアから、あるいは下方エンクロージャ14内の粒子生成源から、この空気と一緒に粒子を運ぶことがある。粒子がFDM10内を通ってマッフルドア筐体20のエリアまで上方に移動した場合、粒子がガラスリボン4に付着するか、あるいはガラスリボン4内に埋め込まれて、上で説明したようなオンクルージョンを形成する可能性がある。すなわち、FDM10内の上方への流れを、特にマッフルドア筐体20のエリアで最小限に抑えることが望ましい。   There are various openings in the muffle chamber 12 and the lower enclosure 14 that allow air to leak out of the FDM 10. These openings are intended openings--for example, electrical connections, fluid connections, access to and / or access to equipment in FDM 10, water cooling ports, resistance heaters, coil windings for thermocouples, and / or tubes. -And / or unintended cracks or holes for 26. Even when a seal is provided for equipment that is inserted through the intended opening, there may still be a leak in the seal that allows outflow from the FDM 10. In addition to air leakage from the FDM 10, there is a flow that flows upward in the direction of the arrow 13 due to a thermal gradient inside the FDM 10 itself. This flow may draw air from the lower opening 16 and carry the particles along with this air from the external area of the FDM 10 or from particle sources in the lower enclosure 14. When the particles move upward through the FDM 10 to the area of the muffle door housing 20, the particles adhere to the glass ribbon 4 or are embedded in the glass ribbon 4 to perform onclusion as described above. There is a possibility of forming. That is, it is desirable to minimize the upward flow in the FDM 10, particularly in the area of the muffle door housing 20.

FDM10の流れを、特にマッフルドア筐体20の領域内で最小限に抑える1つの手法は、マッフル室12を加圧するものである。しかしながらオンクルージョンを低減するためには、単なるマッフル室12の加圧では十分ではない。加えて、清浄な空気環境が確立されるべきである。夫々オンクルージョンを低減する能力に影響を与える、マッフル室12を加圧するために送出される気体が通る設備、気体自体の品質、および気体送出の位置、を適切に選択することによって、加圧された清浄な空気環境がマッフル室12内で確立され得る。   One technique for minimizing the flow of the FDM 10, particularly within the area of the muffle door housing 20, is to pressurize the muffle chamber 12. However, simple pressurization of the muffle chamber 12 is not sufficient to reduce onclusion. In addition, a clean air environment should be established. Pressurization by appropriately selecting the equipment through which the pumped gas passes to pressurize the muffle chamber 12, the quality of the gas itself, and the location of the gas delivery, each affecting the ability to reduce onclusion A clean and clean air environment can be established in the muffle chamber 12.

FDM内に清浄な空気環境を確立する1つの手法は、オンクルージョンを形成する粒子をそれ自体が生成しないような設備に通して気体を送出するものである。これは、FDMのエリアを加圧するためにFDMに送出される気体が通る導管の材料を、適切に選択することによって成すことができる。導管の流体送出用の内腔がこのような材料から作られていさえすれば、導管全体をこのような材料から作製する必要はない。本発明者らは、オンクルージョンに繋がる粒子をそれ自体が生成することなく気体を送出する導管として、窒素または酸素を豊富に含む流体源と接触したときにFDM内の上方の成形本体付近で典型的に見られる例えば900〜1300℃の温度で、反応、劣化、または腐食−これらは粒子の生成に繋がることになる−しない、高溶融点材料から作製された導管が非常に適していることを見出した。例えば導管は、セラミック、ガラスセラミック、またはガラスから作製してもよい。また導管は金属、すなわち例えば、白金、イリジウム、ロジウム、パラジウム、またはニッケルから作製してもよい。実際の形として、この材料の溶融点は、FDM内の予想される最高温度よりも高くなるように選択されるべきであるが、この要件は最低限である。さらに上記のように、選択される材料は、窒素または酸素を豊富に含む流体源と接触したときに反応、劣化、または腐食しないような材料とするべきであり、というのもこのような反応、劣化、または腐食は、オンクルージョンの形成に繋がる粒子を生成するためである。オンクルージョンを形成する粒子をそれ自体生成しないような導管を用いることによって、送出される流体を(オンクルージョンの形成に繋がる粒子を流体が確実に含まないようにするために)調整および/または濾過するための設備を、FDMの高温環境の外部に配置することができる。これは設備の長寿命化に繋がるだけではなく、設備の保守サービスの実行をより容易にする。   One approach to establishing a clean air environment within the FDM is to deliver gas through a facility that does not itself generate onclusion particles. This can be done by appropriate selection of the material of the conduit through which the gas delivered to the FDM passes to pressurize the FDM area. As long as the fluid delivery lumen of the conduit is made from such material, the entire conduit need not be made from such material. As a conduit for delivering a gas without itself producing particles that lead to onclusion, we are near the upper molding body in the FDM when in contact with a nitrogen or oxygen rich fluid source. Very suitable conduits made from high melting point materials that do not react, deteriorate, or corrode—these will lead to particle formation—at temperatures typically seen at, for example, 900-1300 ° C. I found. For example, the conduit may be made from ceramic, glass ceramic, or glass. The conduit may also be made from a metal, for example, platinum, iridium, rhodium, palladium, or nickel. In practice, the melting point of this material should be selected to be higher than the highest temperature expected in the FDM, but this requirement is minimal. Further, as noted above, the selected material should be such that it does not react, degrade, or corrode when contacted with a nitrogen or oxygen rich fluid source, since such reactions, Degradation, or corrosion, is due to the formation of particles that lead to onclusion formation. Adjusting the delivered fluid (to ensure that the fluid does not contain particles that lead to onclusion formation) by using a conduit that does not itself generate onclusion particles and / or Or equipment for filtering can be located outside the high temperature environment of the FDM. This not only leads to longer equipment life, but also makes it easier to perform equipment maintenance services.

図1を参照すると、一実施の形態によれば、出口42を有する導管40がマッフル室12内に延びている。導管40の他方の端部は、FDM内部の高温環境の外部に配置されている。出口42は、流体源44からの気体を送出するようにマッフル室12内に配置されている。導管40は、例えば、セラミック、ガラスセラミック、ガラス、白金、イリジウム、ロジウム、パラジウム、またはニッケルから作製してもよい。成形本体30の各側に1つのみの導管40が図示されているが、任意の適切な数のこの導管を使用して、マッフル室12の所望の加圧を実現することができる。導管40は(図1の平面に垂直に延びる)マッフル室12の幅方向に沿った様々な位置に配置してもよい。さらに、導管40をマッフル室の両端に、すなわちマッフル室12の幅に平行な方向に延在するように、配置してもよい。マッフル室12内に送出された気体によってマッフル室12が加圧され、それにより矢印13の方向への上昇する流れの影響が低減され、従って、その上昇気流内の粒子がガラスリボン4にオンクルージョンを形成する機会が低減される。さらに、加圧用空気を送出するために使用される設備のため、すなわち、オンクルージョンを形成することになる粒子をそれ自体が生成することのないような材料から作製されている導管40のため、マッフル室12内に清浄な空気環境が形成される。   Referring to FIG. 1, according to one embodiment, a conduit 40 having an outlet 42 extends into the muffle chamber 12. The other end of the conduit 40 is disposed outside the high temperature environment inside the FDM. The outlet 42 is disposed in the muffle chamber 12 so as to deliver gas from the fluid source 44. The conduit 40 may be made of, for example, ceramic, glass ceramic, glass, platinum, iridium, rhodium, palladium, or nickel. Although only one conduit 40 is shown on each side of the molded body 30, any suitable number of these conduits can be used to achieve the desired pressurization of the muffle chamber 12. The conduit 40 may be arranged at various positions along the width direction of the muffle chamber 12 (extending perpendicular to the plane of FIG. 1). Further, the conduits 40 may be arranged so as to extend at both ends of the muffle chamber, that is, in a direction parallel to the width of the muffle chamber 12. The gas sent into the muffle chamber 12 pressurizes the muffle chamber 12, thereby reducing the influence of the rising flow in the direction of the arrow 13, so that the particles in the rising air flow are included in the glass ribbon 4. The opportunity to form John is reduced. Furthermore, for the equipment used to deliver the pressurized air, i.e. for the conduit 40 made of a material that itself does not produce particles that will form onclusions. A clean air environment is formed in the muffle chamber 12.

FDM内に清浄な空気環境を確立する第2の手法は、オンクルージョンに繋がる粒子をそれ自体が多量に含んでいない気体でFDMを加圧するものである。本発明者らは、米国連邦規格209Eで測定して空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100(M3.5)またはより清浄である気体が、FDM内部の圧力を増加させると同時にそれ自体がオンクルージョンに繋がる粒子の発生源とならないために適していることを見出した。流体源44は、述べた清浄度の(すなわち、その空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100(M3.5)またはこれより清浄である)気体を、導管40に送出するように構成される。流体源44は、述べた清浄度の空気を送出するようにその出力で十分な程度の高性能微粒子誘引(high efficiency particle attraction;HEPA)濾過を有している、例えば空気圧縮機、ポンプ、ファン、ブロワ―、または他のエアハンドラでもよい。あるいは、適切な清浄度の気体が容易に入手できる場合、流体源44はその出力に濾過を含む必要はない。流体源44は、1つのみの導管40に接続されているように図示されているが、1つのこの流体源44を、マッフル室12に所望量の加圧された気体を送出するのに実用的な数の導管40に接続してもよい。例えば1つの流体源44を、成形本体30の両側の導管40に接続してもよい。さらに、流体源44は流体源28と分離されているように図示されているが、必ずしもこうである必要はない。すなわち、流体源44を導管40および管26の両方に接続してもよい。   A second technique for establishing a clean air environment in the FDM is to pressurize the FDM with a gas that does not itself contain a large amount of particles that lead to onclusion. We have observed that a gas with a cleanliness class of airborne particulates of 100 (M3.5) or cleaner as measured by US Federal Standard 209E increases the pressure inside the FDM and at the same time turns on itself. It was found that it is suitable because it does not become a source of particles that lead to clusions. The fluid source 44 is configured to deliver to the conduit 40 a gas of the stated cleanliness (ie, the cleanliness class of its airborne particulate is 100 (M3.5) or cleaner). The fluid source 44 has high efficiency particle attraction (HEPA) filtration at its output sufficient to deliver the stated cleanliness of air, eg, air compressor, pump, fan. , Blower, or other air handler. Alternatively, if a suitable cleanliness gas is readily available, the fluid source 44 need not include filtration at its output. Although the fluid source 44 is illustrated as being connected to only one conduit 40, one fluid source 44 is practical for delivering a desired amount of pressurized gas to the muffle chamber 12. Any number of conduits 40 may be connected. For example, one fluid source 44 may be connected to the conduits 40 on both sides of the molded body 30. Further, although the fluid source 44 is illustrated as being separate from the fluid source 28, this need not be the case. That is, the fluid source 44 may be connected to both the conduit 40 and the tube 26.

FDM内に清浄な空気環境を確立する第3の手法は、加圧用気体がFDMに送出される位置に関するものである。より具体的には、本発明者らは、気体を成形本体と同じ高度付近で、マッフル室内ではあるがマッフルドア室の外部でFDMに送出すると、低レベルのオンクルージョンに繋がることを見出した。   A third technique for establishing a clean air environment in the FDM relates to the location where the pressurized gas is delivered to the FDM. More specifically, the present inventors have found that when gas is sent to the FDM near the same altitude as the molded body and outside the muffle door chamber, it leads to low-level onclusion.

清浄な空気環境を確立する第3の手法の一態様によれば、図1を参照し、導管40を、出口42がFDM10内で成形本体30と実質的に同じ高度に置かれるように配置する。すなわち成形本体30は、FDM10内の下方開口16上のある高度に配置されている。成形本体30の高度で空気を供給すると、底部34および側面32付近の圧力が増加し、それにより、粒子がガラス表面上にオンクルージョンを形成する可能性のある位置でガラスに到達する粒子の量が最小限に抑えられる。   According to one aspect of a third approach for establishing a clean air environment, referring to FIG. 1, the conduit 40 is positioned such that the outlet 42 is positioned at substantially the same elevation in the FDM 10 as the molded body 30. . That is, the molded body 30 is disposed at a certain height above the lower opening 16 in the FDM 10. Supplying air at the altitude of the forming body 30 increases the pressure near the bottom 34 and the side surface 32, thereby causing the particles to reach the glass at locations where they may form onclusions on the glass surface. The amount is kept to a minimum.

清浄な空気環境を確立する第3の手法の別の態様によれば、再び図1を参照し、出口42は、マッフル室12の内側ではあるがマッフルドア室24の外部に配置される。   According to another aspect of the third approach for establishing a clean air environment, referring again to FIG. 1, the outlet 42 is located inside the muffle chamber 12 but outside the muffle door chamber 24.

マッフル室12を加圧しようとしてマッフルドア室24内に空気を供給することは望ましくない。特に、マッフルドア筐体20内で空気の全容積が増加すると、マッフル室12内の圧力が増加し、これは図2に概略的に示したようにオンクルージョンのレベルを低減する助けになる。しかしながら、マッフルドア筐体20内に供給された追加の空気は、マッフルドア室24内の圧力増加をもたらし、これにより空気が無制御な形でガラスリボン4に向かって漏出し、図3に概略的に示したような局所的な厚さの変動に繋がる。すなわち、マッフルドア筐体20の内側の、すなわちマッフルドア室24の内部の圧力を用いてマッフル室12内部の全圧を増加させると、厚さの変動が負の影響を受ける。一方、空気がリボン4に向かって漏れないようにマッフルドア室24から気体を能動的に吸い出した場合、オンクルージョンのレベルの増加が見られた。すなわち、マッフルドア筐体20の内側の圧力を増加させる(これは望ましくない厚さの変動に繋がる)ことなく、(オンクルージョンを減少させるために)マッフル室12内部の圧力を増加させるために、空気をマッフル室12の内側ではあるがマッフルドア室24の外部に供給してもよい。さらにこの位置−マッフル室の内側であるがマッフルドア筐体の外部−は、マッフル内部の他の気流の小室への影響を最小限に抑える。   It is not desirable to supply air into the muffle door chamber 24 in an attempt to pressurize the muffle chamber 12. In particular, increasing the total volume of air within the muffle door housing 20 increases the pressure within the muffle chamber 12, which helps reduce the level of onclusion as shown schematically in FIG. However, the additional air supplied into the muffle door housing 20 results in an increase in pressure in the muffle door chamber 24, which causes the air to leak out in an uncontrolled manner toward the glass ribbon 4, schematically shown in FIG. This leads to local thickness variations as shown. That is, if the total pressure inside the muffle chamber 12 is increased using the pressure inside the muffle door housing 20, that is, inside the muffle door chamber 24, the thickness variation is negatively affected. On the other hand, when the gas was actively sucked out from the muffle door chamber 24 so that the air did not leak toward the ribbon 4, the level of onclusion was increased. That is, to increase the pressure inside the muffle chamber 12 (to reduce onclusion) without increasing the pressure inside the muffle door housing 20 (which leads to undesirable thickness variations) Air may be supplied to the outside of the muffle door chamber 24 inside the muffle chamber 12. In addition, this location—inside the muffle chamber but outside the muffle door housing—minimizes the impact of other airflow inside the muffle on the chamber.

既存のFDMを改良して本書で説明した概念を実施するためには、厚さの制御に不必要な既存の管26を使用し、上述した概念によってオンクルージョンの低減を助けることができる。特に管26を、その出口がマッフルドア室24の外部であるが依然マッフル室12内となるように、元の位置から引っ込めてもよい。その後、流体源28からの流体を、マッフル室12内の圧力を増加させるようマッフル室12に送出してもよい。さらに、流体源28からの流体を使用する代わりに、流体源44(すなわち、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である空気を送出するもの)を、その出口がマッフルドア室24の外部であるが依然マッフル室12内にある、既存の管26に接続してもよい。この配置では、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である空気を、マッフル室12に送出することができる。従って、既存の管26を使用して、FDM10内部に清浄な環境を作り出すのを助けることができる。   To improve the existing FDM to implement the concepts described herein, existing tubes 26 that are unnecessary for thickness control can be used, and the above-described concepts can help reduce onclusion. In particular, the tube 26 may be retracted from its original position so that its outlet is outside the muffle door chamber 24 but is still in the muffle chamber 12. Thereafter, fluid from the fluid source 28 may be delivered to the muffle chamber 12 to increase the pressure in the muffle chamber 12. Further, instead of using fluid from the fluid source 28, the fluid source 44 (i.e., one that delivers air with a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner), the outlet of the muffle door chamber 24. It may be connected to an existing tube 26 that is external but still within the muffle chamber 12. In this arrangement, air with a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner can be delivered to the muffle chamber 12. Thus, the existing tube 26 can be used to help create a clean environment within the FDM 10.

ここで、本書で説明した概念を利用してガラスシート8を製造する方法を説明する。   Here, a method of manufacturing the glass sheet 8 using the concept described in this document will be described.

図4はフュージョンプロセスを用いた例示的なガラス製造システム100を示したものであり、このシステムにおいて、上述した概念を用いてガラスシート8を製造することができる。このガラス製造システムは、溶解槽110、清澄槽115(清澄管など)、混合槽120(撹拌チャンバなど)、送出槽125(ボウルなど)、およびFDM10を含んでいる。ガラス材料が矢印112で示されているように溶解槽110内に導入されて溶解され、溶融ガラス126が形成される。清澄槽115は、溶解槽110から溶融ガラス126(この位置では図示されていない)を受け入れる高温の処理エリア含み、ここで溶融ガラス126から気泡が除去される。清澄槽115は接続管122で混合槽120に接続される。混合槽120は接続管127で送出槽125に接続される。送出槽125は溶融ガラス126を下降管130に通し、注入口36と、成形本体30と、さらに牽引ローラアセンブリ140とを含むFDM10内へと送出する。溶融ガラスは下降管130から、成形本体30に繋がる注入口36内へと流れる。成形本体30は溶融ガラス126を受け入れるトラフを含み、溶融ガラス126はその後溢れ出て、成形本体30の2つの側面32を流れ落ちた後に底部34で融合する。底部34は2つの側面32が結合する位置であり、かつこの底部34で、2つの溢れ出た溶融ガラス126が、すなわち溶融ガラス126の壁が再結合(例えば、再融合)し、牽引ローラアセンブリ140で下方に延伸されるガラスリボン4を形成する。FDM10の詳細は、図1に関連して上で同様に説明されている。例示的なガラス製造システムの特定の詳細を説明しているが、成形本体およびガラス製造システムは当技術で周知であり、また通常の当業者は適切な成形本体および/またはガラス製造システムを容易に選択できるであろうことに留意されたい。   FIG. 4 shows an exemplary glass manufacturing system 100 using a fusion process, in which a glass sheet 8 can be manufactured using the concepts described above. The glass manufacturing system includes a melting tank 110, a clarification tank 115 (such as a clarification tube), a mixing tank 120 (such as a stirring chamber), a delivery tank 125 (such as a bowl), and the FDM 10. A glass material is introduced into the melting tank 110 and melted as indicated by an arrow 112 to form a molten glass 126. The fining tank 115 includes a hot processing area that receives molten glass 126 (not shown in this position) from the melting tank 110, where bubbles are removed from the molten glass 126. The clarification tank 115 is connected to the mixing tank 120 by a connecting pipe 122. The mixing tank 120 is connected to the delivery tank 125 by a connecting pipe 127. The delivery tank 125 passes the molten glass 126 through the downcomer 130 and delivers it into the FDM 10 that includes the inlet 36, the molded body 30, and the traction roller assembly 140. Molten glass flows from the downcomer 130 into the inlet 36 that leads to the molded body 30. The molded body 30 includes a trough that receives the molten glass 126, which then overflows and fuses at the bottom 34 after flowing down the two sides 32 of the molded body 30. The bottom 34 is the location where the two side surfaces 32 are joined, and at this bottom 34 the two overflowing molten glass 126, ie, the walls of the molten glass 126, recombine (eg, refuse) and the pulling roller assembly At 140, a glass ribbon 4 is formed that is drawn downward. Details of the FDM 10 are similarly described above in connection with FIG. While specific details of an exemplary glass manufacturing system are described, molded bodies and glass manufacturing systems are well known in the art, and those of ordinary skill in the art will readily identify suitable molded bodies and / or glass manufacturing systems. Note that you may choose.

図1に戻って参照すると、溶融ガラスが成形本体30に送出されるとき、粒子がオンクルージョンを形成し得る位置で粒子がガラスに到達する機会を低減するために、FDM10内部のエリアを適切に加圧することによってFDM10内部に清浄な空気環境を確立する。特に、FDM内部にこのような清浄な空気環境を作り出すために、次のような概念、すなわち、FDM10を加圧するために、例えばセラミック、ガラスセラミック、ガラス、白金、イリジウム、ロジウム、パラジウム、またはニッケルなどの、粒子放出量が少ない材料(すなわち、窒素または酸素を豊富に含む流体源と接触したときに、FDM内の成形本体付近で典型的に見られる900〜1300℃の温度で反応、劣化、または腐食しないもの)から作製された導管40を介して、気体をFDM10に送出してもよい;FDM10を加圧するために、気体を成形本体30と同じ高度でFDM10に送出してもよい;FDM10を加圧するために、マッフルドアエンクロージャ24の外部でマッフル室12に気体を送出してもよい;および、FDM10に送出される気体を、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄なものとしてもよい;といった概念のうちの任意の1以上を、単独で、または任意の組合せで、また全て組み合わせて使用してもよい。   Referring back to FIG. 1, when molten glass is delivered to the forming body 30, the area inside the FDM 10 is adequate to reduce the chance that the particles will reach the glass where they can form onclusions. To establish a clean air environment inside the FDM 10. In particular, in order to create such a clean air environment inside the FDM, the following concept, for example, ceramic, glass ceramic, glass, platinum, iridium, rhodium, palladium, or nickel, to pressurize the FDM 10 Such as low-particle release materials (i.e., reaction, degradation at temperatures of 900-1300C typically seen near the molded body in FDM when contacted with a source of nitrogen or oxygen rich fluids, Or the gas may be delivered to the FDM 10 via a conduit 40 made from non-corroding; the gas may be delivered to the FDM 10 at the same altitude as the molded body 30 to pressurize the FDM 10; Gas may be delivered to the muffle chamber 12 outside the muffle door enclosure 24; and The gas delivered to the FDM 10 may have an airborne particulate cleanliness class of 100 or cleaner; any one or more of the concepts such as alone or in any combination and all combinations May be used.

上述した本発明の実施形態、特に任意の「好ましい」実施形態は、単に実施可能な例であって、本発明の種々の原理を明確に理解するための単なる説明であることを強調したい。本発明の精神および種々の原理から実質的に逸脱することなく、上述の本発明の実施形態に対し多くの変形および改変を作製することができる。全てのこのような改変および変形は、本書において本開示および本発明の範囲内に含まれ、かつ以下の請求項によって保護されると意図されている。   It should be emphasized that the above-described embodiments of the present invention, particularly any "preferred" embodiments, are merely possible examples and are merely illustrative for a clear understanding of the various principles of the invention. Many variations and modifications may be made to the above-described embodiments of the invention without departing substantially from the spirit and various principles of the invention. All such modifications and variations are intended to be included herein within the scope of this disclosure and the present invention and protected by the following claims.

例えば、上記説明はフュージョンドローに関連して作られているが、スロットドローの成形本体を、成形本体30として使用することも可能であろう。   For example, although the above description is made in the context of a fusion draw, a slot draw molded body could be used as the molded body 30.

4 リボン
8 シート
10 FDM
12 マッフル室
20 マッフルドア筐体
22 前面プレート
24 マッフルドア室
26 管
28、44 流体源
30 成形本体
34 底部
36 注入管
40 導管
42 出口
126 溶融ガラス
4 Ribbon 8 Sheet 10 FDM
DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 Muffle chamber 20 Muffle door housing 22 Front plate 24 Muffle door chamber 26 Pipe 28, 44 Fluid source 30 Molding body 34 Bottom part 36 Injection pipe 40 Conduit 42 Outlet 126 Molten glass

Claims (12)

ダウンドローガラス製造装置において、
エンクロージャ、
前記エンクロージャの内部に配置された、成形本体、
溶融ガラスを前記成形本体に送出するように配置された、注入管、および、
前記エンクロージャに流体を送出して該エンクロージャを加圧し得るように配置された出口を有している、導管であって、窒素または酸素を豊富に含む流体源と接触したときに、900〜1300℃の範囲内の温度で反応、劣化、または腐食しない材料から作製されている、導管、
を備えていることを特徴とする装置。
In downdraw glass manufacturing equipment,
Enclosure,
A molded body disposed within the enclosure;
An injection tube arranged to deliver molten glass to the molded body; and
900-1300 ° C. when in contact with a source of fluid rich in nitrogen or oxygen having an outlet arranged to deliver fluid to the enclosure and pressurize the enclosure Conduits made from materials that do not react, deteriorate, or corrode at temperatures in the range of
A device characterized by comprising:
ダウンドローガラス製造装置において、
エンクロージャ、
前記エンクロージャの内部に配置された、成形本体、
溶融ガラスを前記成形本体に送出するように配置された、注入管、および、
前記エンクロージャに流体を送出して該エンクロージャを加圧し得るように配置された出口を有している、導管、および、
前記導管に接続され、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体を、送出するように構成された、気体供給源、
を備えていることを特徴とする装置。
In downdraw glass manufacturing equipment,
Enclosure,
A molded body disposed within the enclosure;
An injection tube arranged to deliver molten glass to the molded body; and
A conduit having an outlet arranged to deliver fluid to the enclosure to pressurize the enclosure; and
A gas source connected to the conduit and configured to deliver a gas having a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner;
A device characterized by comprising:
前記導管が、セラミック、ガラスセラミック、ガラス、白金、イリジウム、ロジウム、パラジウム、またはニッケルから作製されていることを特徴とする請求項1または2記載の装置。   3. An apparatus according to claim 1, wherein the conduit is made from ceramic, glass ceramic, glass, platinum, iridium, rhodium, palladium, or nickel. 前記導管に接続された気体供給源をさらに含み、該気体供給源が、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体を、送出するように構成されていることを特徴とする請求項1または3記載の装置。   And further comprising a gas source connected to the conduit, the gas source configured to deliver a gas whose airborne particulate cleanliness class is 100 or cleaner. The apparatus according to claim 1 or 3. 前記導管が、前記成形本体と同じ高度に位置していることを特徴とする請求項1から4いずれか1項記載の装置。   5. A device according to claim 1, wherein the conduit is located at the same elevation as the forming body. 前記エンクロージャがマッフル室であり、該マッフル室が、マッフル室の下部に、前記成形本体で成形されたガラスが出て行く際に通過するマッフルドアを含み、このとき前記導管の前記出口が、前記マッフル室の内部で前記マッフルドアの外部に、位置していることを特徴とする請求項1から5いずれか1項記載の装置。   The enclosure is a muffle chamber, and the muffle chamber includes a muffle door at a lower portion of the muffle chamber through which glass formed by the molded body passes, and the outlet of the conduit is connected to the muffle chamber. 6. The device according to claim 1, wherein the device is located inside the chamber and outside the muffle door. ある長さのガラスを製造する方法であって、
溶融ガラスを、エンクロージャの内部に配置された成形本体から該溶融ガラスがリボンの形で下方に流れるように、前記成形本体に流すステップ、
前記エンクロージャを加圧するために、流体を、窒素または酸素を豊富に含む流体源と接触したときに900〜1300℃の範囲内の温度で反応、劣化、または腐食しない材料から作製された導管に通して、前記エンクロージャに送出するステップ、
前記リボンを、前記エンクロージャから外へと流すステップ、および、
前記リボンを切断して、ある長さのガラスを形成するステップ、
を含むことを特徴とする方法。
A method for producing a length of glass,
Flowing molten glass through the molded body such that the molten glass flows downwardly in the form of a ribbon from the molded body disposed within the enclosure;
To pressurize the enclosure, the fluid is passed through a conduit made from a material that does not react, deteriorate, or corrode at temperatures in the range of 900-1300 ° C. when contacted with a nitrogen or oxygen rich fluid source. Delivering to the enclosure;
Flowing the ribbon out of the enclosure; and
Cutting the ribbon to form a length of glass;
A method comprising the steps of:
ある長さのガラスを製造する方法であって、
溶融ガラスを、エンクロージャの内部に配置された成形本体から該溶融ガラスがリボンの形で下方に流れるように、前記成形本体に流すステップ、
前記エンクロージャを加圧するために、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体である流体を、導管に通して、前記エンクロージャに送出するステップ、
前記リボンを、前記エンクロージャから外へと流すステップ、および、
前記リボンを切断して、ある長さのガラスを形成するステップ、
を含むことを特徴とする方法。
A method for producing a length of glass,
Flowing molten glass through the molded body such that the molten glass flows downwardly in the form of a ribbon from the molded body disposed within the enclosure;
Delivering a fluid that is a gas having a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner to pressurize the enclosure through a conduit to the enclosure;
Flowing the ribbon out of the enclosure; and
Cutting the ribbon to form a length of glass;
A method comprising the steps of:
前記導管が、セラミック、ガラスセラミック、ガラス、白金、イリジウム、パラジウム、ロジウム、またはニッケルから作製されていることを特徴とする請求項7または8記載の方法。   9. A method according to claim 7 or 8, characterized in that the conduit is made from ceramic, glass ceramic, glass, platinum, iridium, palladium, rhodium or nickel. 前記流体が、空気中浮遊微粒子の清浄度クラスが100またはより清浄である気体であることを特徴とする請求項7または9記載の方法。   10. A method according to claim 7 or 9, wherein the fluid is a gas having a cleanliness class of airborne particulates of 100 or cleaner. 前記流体を前記成形本体の高度で送出するステップをさらに含むことを特徴とする請求項7から10いずれか1項記載の方法。   11. A method according to any one of claims 7 to 10, further comprising the step of delivering the fluid at an elevation of the forming body. 前記エンクロージャがマッフル室であり、該マッフル室が、前記リボンが該マッフル室を出て行くときに通過するマッフルドアを含み、さらに前記流体を、前記マッフル室の内部で前記マッフルドアの外部の位置に、送出するステップをさらに含むことを特徴とする請求項7から11いずれか1項記載の方法。   The enclosure is a muffle chamber, the muffle chamber includes a muffle door through which the ribbon exits the muffle chamber, and further the fluid is positioned within the muffle chamber and outside the muffle door; 12. A method according to any one of claims 7 to 11 further comprising the step of delivering.
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