JP2015230229A - 非接触レーザスキャニング分光画像取得装置及び分光画像取得方法 - Google Patents

非接触レーザスキャニング分光画像取得装置及び分光画像取得方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015230229A
JP2015230229A JP2014116138A JP2014116138A JP2015230229A JP 2015230229 A JP2015230229 A JP 2015230229A JP 2014116138 A JP2014116138 A JP 2014116138A JP 2014116138 A JP2014116138 A JP 2014116138A JP 2015230229 A JP2015230229 A JP 2015230229A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spectrum
image acquisition
spectral
light
scanning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2014116138A
Other languages
English (en)
Inventor
佐々木 崇
Takashi Sasaki
崇 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2014116138A priority Critical patent/JP2015230229A/ja
Publication of JP2015230229A publication Critical patent/JP2015230229A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】自然光下、もしくはスペクトル等の情報が不明な光源下において非接触で分光画像を取得し、正確なスペクトル解析を行うことができる非接触レーザスキャニング分光画像取得装置及びその方法を提供する。【解決手段】制御装置101Aは、設定された動作モードに従って、光源104、及び2軸ガルバノミラードライバ102を制御することで、スキャニングを実行する。制御装置101Aは、先ず、光源104からのレーザ光を遮断することで、分光器108から背景光の分光スペクトルを取得する。制御装置101Aは、次に、光源104からのレーザ光をスキャニング対象位置に照射し、分光器108から反射光の分光スペクトルを取得する。制御装置101Aは、背景光及び反射光の分光スペクトルを取得すると、反射光の分光スペクトルから背景光の分光スペクトルを差し引くことで、正味の反射光の分光スペクトルを取得する。【選択図】図3

Description

本発明は、測定対象物体の分光画像を取得する分光画像取得装置及び分光画像取得方法に関する。
分光画像解析は、物質の特性情報を取得する上で効果的な手段である。
ここで、分光画像とは画像の各画素が分光分布で示される画像のことであり、また、分光分布とは各波長域における光の強度分布を示したものである。
従来から、分光画像を撮影(取得)する装置が提案されており、その一例として、回転式フィルタと、所定の光源、さらに分光情報を補正するための測色計を備えた分光画像撮影装置が知られている(特許文献1)。
特許文献1に記載された分光画像撮影装置では、測色計により取得した測色値と、複数の分光画像取得条件の各々において求められた測定対象物の色の推定値との比較結果に基づいて、分光画像取得時に適した分光画像取得条件を選択することで、分光画像の精度を向上させている。
しかしながら、特許文献1に記載された分光画像撮影装置では、画像を撮影(取得)する上で、デジタルカメラを使用している。そのため、測定対象物体の分解能はデジタルカメラに依存することとなり、広角撮影時、又は遠方撮影時においては測定対象物体の分解能が低くなり、また自然光下では、正確なスペクトル解析を行うことができない。さらに、照明を用いた解析では、照明光が届く範囲に撮影距離が制限されるという問題もある。
本発明は、測定対象物体が遠方に位置する場合であっても、自然光下、もしくはスペクトル等の情報が不明な光源下において、非接触で分光画像を取得し、正確なスペクトル解析を行うことを目的とする。
本発明は、レーザ光を射出する光源と、前記光源より射出されるレーザ光を照射位置に調整する照射位置調整手段と、前記照射位置調整手段により調整された照射位置からの測定対象物体の反射光の分光スペクトル、及び背景光の分光スペクトルを検出する分光器と、前記分光器により検出された反射光の分光スペクトルから、背景光の分光スペクトルを除去するスペクトル除去手段と、を有する非接触レーザスキャニング分光画像取得装置に関する。
本発明によれば、測定対象物体が遠方に位置する場合であっても、自然光下、もしくはスペクトル等の情報が不明な光源下において、非接触で分光画像を取得し、正確なスペクトル解析を行うことができる。
本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の斜視図である。 本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置によるスキャニング処理を示す図である。 本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の内部構成を示す図である。 本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の内部構成(外部接続の場合)を示す図である。 本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の処理手順を示すフロー図である。 分光スペクトルデータのイメージ図である。 分光スペクトルデータより特定のスペクトルの強度を可視化したイメージ図である。 分光スペクトルデータより最も大きなスペクトルを可視化したイメージ図である。 本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の斜視図である。 本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置によるスキャニング処理を示す図である。 本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の内部構成を示す図である。 本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の処理手順を示すフロー図である。 本発明の実施形態3に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の内部構成を示す図である。 本発明の実施形態3に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の処理手順を示すフロー図である。 カメラの画角とガルバノミラーの照射位置の関係を示す図である。 照射予定位置と実際の照射位置の関係を示す図である。 本発明の実施形態4に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の内部構成を示す図である。 本発明の実施形態4に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置の処理手順を示すフロー図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの斜視図である。
図1に示すように、非接触レーザスキャンニング分光画像取得装置1Aは、測定対象物体3Aにレーザ光を照射するために、その側面に窓109を有する。
図2は、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aによるスキャニング処理を示す図である。
図2に示すように、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aは、測定対象物体3Aに対して測定対象範囲を所定の範囲に分割してレーザ光を照射し、その分割した各スキャニング範囲(分割領域)における背景光及び測定対象物体3Aの反射光の分光スペクトルを取得する。
次に、図3から図5を用いて、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの動作原理及び処理手順について説明する。
図3は、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの内部構成を示す図である。
図3に示すように、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aは、制御装置101A、2軸ガルバノミラードライバ102、2軸ガルバノミラー103、光源104、コリメートレンズ105、ビームスプリッタ106、フォーカッシングレンズ107、分光器108、窓109、記憶装置110を備える。
また、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aには、外部接続機器2が接続される。外部接続機器2は、例えば、PC(Personal Computer)等であり、表示機能及び入力機能を有する。
制御装置101Aは、主に光源104、及び2軸ガルバノミラードライバ102等を制御する。具体的には、制御装置101Aは、記憶装置110に記憶されたプログラムの所定のパラメータに従って、光源104からの出力を調整し、さらに2軸ガルバノミラードライバ102(レーザスキャンの位置及び範囲)を制御することで、レーザスキャンを実行する。なお、光源104からの出力、また、レーザスキャンの位置及び範囲は、外部接続機器2から設定することもできる。
また、制御装置101Aは、背景光(例えば、太陽光、自然光、未知の光源等)を計測するために、光源104からの出力を遮断するように制御することもできる。
2軸ガルバノミラードライバ102は、2軸ガルバノミラー103を制御(調整)し、2次元レーザスキャニングを実行する。
2軸ガルバノミラー103は、単数、又は複数のいずれで構成されていてもよく、また2次元レーザスキャニング機能を有するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラー等を用いてもよい。
光源104は、レーザ光源であり、任意の波長の光源、例えば、チューナブルレーザ、白色レーザ等を出力する。
コリメートレンズ105は、光源104より出力されたレーザ光を平行にする機能、またアイソレータとしての機能を有する。
ビームスプリッタ106は、コリメートレンズ105を透過したレーザ光(平行光)と、フォーカッシングレンズ107の集光方向を一致させ、反射光をフォーカッシングレンズ107に入射させる。
フォーカッシングレンズ107は、コリメートレンズ105を透過したレーザ光の照射範囲に限定した集光を可能にする。本実施形態において、フォーカッシングレンズ107として、テレセントリックレンズを用いるが、単焦点レンズ、又はズーム機能を有するレンズを用いてもよい。
分光器108は、分光機能を有する計測器である。分光器108により出力される情報は分光情報であり、情報(データ)の次元数はいくつでもよい。
窓109は、レーザ光の波長帯域を透過させる特性を有する材料で覆って構成される。なお、窓109は必ずしも覆わなくともよい。
記憶装置110は、スキャニング処理を実行する上で必要な制御プログラム、また後述の分光スペクトルデータを記憶するための装置であり、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aに内蔵、又は外付けすることができる。
次に、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの動作原理について説明する。非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aを動作させるに当たり、ユーザは外部接続機器2により動作モードを選択する。
動作モードには、例えば、光源104の出力や周波数スペクトル、(全域、又は任意の範囲の選択が可能な)スキャニング範囲、背景光取得の有無、反射光取得の有無、データの出力形式等が、選択的、又は任意に設定される。なお、本実施形態における動作モードでは、光源104を白色レーザ光源、スキャニング範囲を全域、また背景光及び反射光の取得を有りに設定する。
ユーザにより動作モードが設定されると、制御装置101Aは、設定された動作モードに従って、光源104、及び2軸ガルバノミラードライバ102を制御することで、スキャニングを実行する。
制御装置101Aは、スキャニングを実行させるに当たり、先ず、スキャニング範囲の左上のスキャニング位置に光源104のレーザ光が照射されるように、(2軸ガルバノミラードライバ102を制御することで)2軸ガルバノミラー103を調整する。ここで、2軸ガルバノミラードライバ102、及び2軸ガルバノミラー103は、光源104からレーザ光を照射位置に調整する照射位置調整手段として機能する。
また、本実施形態におけるスキャニングでは、図2において、スキャニング範囲の最上段の左端より右方向に走査し、右端まで走査すると一段下の範囲を同様に走査し、最下段まで走査すると、再び最上段に戻るように設定しているが、走査方向及び走査手順は必ずしもこれに限定されない。
なお、スキャニングでは、背景光及び反射光の両方の分光スペクトルの取得を実行する。本実施形態においては、背景光の分光スペクトルから取得を開始するが、背景光及び反射光の分光スペクトルの取得に関して、いずれを先に取得してもよい。また、動作モードにおいて背景光の分光スペクトルを取得しない設定にしている場合には、反射光の分光スペクトルのみ取得する。
背景光の分光スペクトルを取得する際には、光源104からの出力を無効にするように制御する必要があるが、制御装置101Aにより光源104からのレーザ光の射出を停止するよう制御してもよい(この場合、制御装置101Aは、本発明の光源出力制御手段として機能する)。また強度変調器などを用いて機械的に遮断してもよい。
制御装置101Aは、光源104からのレーザ光を遮断すると、分光器108から背景光の分光スペクトルを取得する。この分光スペクトルは、フォーカッシングレンズ107によって空間上のある一方向(スキャニング方向)の背景光に限定されたスペクトルである。そのため、背景光スペクトルが空間的に異なる状況下(例えば、照明位置により背景光に斑、影がある場合など)においても、スキャニング位置の背景スペクトルを正確に取得することができる。
制御装置101Aは、背景光の分光スペクトルを取得すると、次に、反射光の分光スペクトルを取得する。制御装置101Aは、光源104からのレーザ光を、スキャニング対象位置に照射する。その後に、制御装置101Aは、分光器108から反射光の分光スペクトルを取得する。
制御装置101Aは、背景光及び反射光の分光スペクトルを取得すると、反射光の分光スペクトルから背景光の分光スペクトルを差し引くことで、正味の、つまり背景光の分光スペクトルを除いた反射光の分光スペクトルを取得する。
制御装置101Aは、正味の反射光の分光スペクトルを取得すると、次に、スキャニング位置を右方向にシフトさせ(2軸ガルバノミラー103を調整し)、同様の手順でスキャニングを実行する。
そして、スキャニング範囲の右下(即ち、最下段の右端)のスキャニングが完了すると(即ち、1フレーム分の分光画像を計測すると)、制御装置101Aは、外部接続機器2に分光画像(分光スペクトルデータ)を送信する。なお、画像情報のファイル形式、画像取得のタイミング等は事前に動作モードに設定することができる。また、分光画像の計測は、外部接続機器2からの指示に基づき実行されるものであるが、事前に動作モードに計測時間等を設定することもできる。
なお、上記の非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの動作原理に関する説明は、図3に基づく内容であるが、図4に示すように、光源104及び分光器108を非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの外部に配置して、光ファイバ等で接続してもよく、それらの制御を外部接続機器2から直接、行うこともできる。
また、以上の説明では、スキャニングの際に、各スキャニング位置において背景光及び反射光の分光スペクトルを取得する手順を採っているが、始めにスキャニング範囲全域の背景光の分光スペクトルを取得し、その後にスキャニング範囲全域の反射光の分光スペクトルを取得してもよい。
図5は、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの処理手順を示すフロー図である。
非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aは、外部接続機器2より動作モードの選択及びスキャニング開始の指示を受けると(S101)、計測(スキャニング)を開始する(S102)。
ここで、動作モードの選択とは、前述のように、スキャニングの範囲、背景光の取得の有無、反射光の取得の有無、データの出力形式等を選択的、又は任意に設定することである。また、データの出力形式に関しては、ユーザが任意に設定することができるが、ここでは、スキャニング位置の分光情報のピーク周波数の値のみを用いて作成した2次元データ(画像)、又はスキャニング位置の分光情報(1次元配列データ)を2次元的に保持した3次元データとする。
計測を開始するにあたり(S102)、制御装置101Aは、外部接続機器2から指示された動作モードに従って、スキャニングを開始する位置に2軸ガルバノミラー103を調整する(S103)。
制御装置101Aは、2軸ガルバノミラー103を調整すると(S103)、分光器108から背景光の分光スペクトルを取得する(S104)。
制御装置101Aは、次に、光源104及び2軸ガルバノミラー103を用いて、動作モードに設定されたレーザ光をスキャニング位置に照射し(S105)、分光器108から反射光の分光スペクトルを取得する(S106)。なお、制御装置101Aは、分光スペクトル取得後、次のスキャニング時までに光源104の照射を終了する。
制御装置101Aは、背景光及び反射光の分光スペクトルを取得すると(S104、S106)、反射光の分光スペクトルから背景光の分光スペクトルを差し引き、正味の反射光の分光スペクトルを減算する(S107)。
制御装置101Aは、ステップS107において算出した正味の反射光の分光スペクトルを、スキャニング位置と組み合わせて、記憶装置110に記憶する(S108)。
したがって、制御装置101Aは、ここではスペクトル除去手段として機能する。
制御装置101Aは、ステップS103からステップS108までの処理を完了すると、スキャニング位置及びその他の動作モードを確認し(S109)、スキャニングを継続するか否かを判定する。具体的には、ステップS103からステップS108までの処理を実行したスキャニング位置がスキャニング範囲の最終位置(即ち、最下段の右端)である場合、又は他の動作モードの条件に該当する場合(S109 No)にステップS110に移行し、それ以外の場合(S109 Yes)には、ステップS103に戻り、スキャニングを継続する。
ここで、動作モードの設定等でスキャニングを途中で終了させない限り、記憶装置110には、(スキャニング範囲全域の)各スキャニング位置における分光スペクトルが分光スペクトルデータとして記憶される。そして、この(スキャニング範囲全域の)分光スペクトルデータが1フレーム分の分光スペクトルデータを構成する。
制御装置101Aは、1フレーム分の分光スペクトルデータが生成されると、動作モードにおいて設定された出力形式に従って、分光スペクトルデータ、ピークスペクトルの画像情報、及び/又はRAWデータ(何の処理も加えずに記録するデータ;スキャニング位置における全分光スペクトルを保持した3次元データ)等を外部接続機器2に送信する(S110)。
制御装置101Aは、外部接続機器2からスキャニングの停止指示があるか否かを確認し(S111)、停止指示がある場合(S111 Yes)には処理を終了し、停止指示がない場合(S111 No)には次のフレームデータを取得するためにステップS103の処理を実行する。制御装置101Aは、外部接続機器2から停止指示があるまで、ステップS103からステップS110までの処理を繰り返し実行する。
なお、ステップS104からステップS107までの処理は、外部接続機器2から指示される動作モードに従って実行される処理であることから、動作モードによっては実行されない場合がある。
次に、図6から図8を用いて、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aより出力される分光スペクトルデータについて説明する。
なお、分光スペクトルデータのファイル形式に関しては、外部接続機器2から動作モードにおいて設定可能である。
図6は、分光スペクトルデータのイメージ図である。
図6Aの分光スペクトルデータでは、スキャニング範囲を2次元としているが、各スキャニング位置における分光スペクトルデータ(波長と強度の2次元データ)を割り当てて、全体としては、ここでは、便宜上図6Bに示す3次元データとして表している。
また、図6Bでは、中央の4箇所のスキャニング位置にのみ分光スペクトルデータのイメージ波形を図示している。中央の4箇所のスキャニング位置のうち、上2箇所(図中、×印)と、下2箇所(図中、○印)は各々類似した分光スペクトルデータが割り当てられており、これは、実際のスキャニング対象物(測定対象物体3A)の分光特性が類似していることを示している。
図7は、図6の分光スペクトルデータより、特定のスペクトルの強度を可視化したイメージ図である。
図7Aのイメージ図は、図6Aのような分光スペクトルデータが取得された後、特定の周波数スペクトルの値、及び特定の周波数帯域のスペクトルの値を積算した値を、2次元の輝度画像として生成したものである。
図7Bはスペクトルの強度を可視化したイメージ図であって、図7Bに示すように、中央の4箇所(分割領域)のスキャニング位置において特定のスペクトルの強度が高くなっており、また中央の4箇所(分割領域)に隣接する分割領域においても、特定のスペクトルが所定の強度で分布している。
図8は、図6の分光スペクトルデータより、最も大きなスペクトルを可視化したイメージ図である。
図8Aのイメージ図は、図6に示す分光スペクトルデータが取得された後、各スキャニング位置において、そのピーク周波数を算出し、算出したピーク周波数を、テーブルを用いてRGB値に変換することで、2次元のカラー画像として生成したものである。
また、図8Bはスペクトルの強度を可視化したイメージ図である。
なお、2次元のカラー画像を生成する上で、分光器108の測定帯域を、カラーチャート(ピーク周波数をRGB値に変換するテーブル)に対応付けておく必要がある。
図8Bでは、+45度の斜線が青色、−45度の斜線が赤色を示しており、また斜線の間隔により色の濃淡を示している。図8Bに示すように、中央の下部2箇所の分割領域において青色のスペクトルの強度が高くなっており、また中央の上部2箇所の分割領域において赤色のスペクトルの強度が高くなっている。
(実施形態2)
図9は、本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bの斜視図である。
図9に示すように、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bは、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aに撮像装置(以下、カメラ111)を取り付けたものである。
カメラ111の取り付けに関して、カメラ111が非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bに固定されていればよく、また取り付け方法は、内蔵、又は外付けのいずれでも構わない。
図10は、本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bによるスキャニング処理を示す図である。
図10に示すように、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bは、カメラ111により撮像した画像に基づき、測定対象物体3Bの形状等の特徴量、また位置を確認した上で、測定対象物体3Bに対してレーザ光を照射し、各スキャニング位置における背景光及び反射光の分光スペクトルを取得する。
なお、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bの処理手順については、図12を用いて後述する。
図11は、本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bの内部構成を示す図である。
前述のように、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bは、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aに、カメラ111(及び、レンズ112)を取り付けたものである。
本実施形態において、レンズ112は、カメラ111に固定されており、2次元の画像の撮影を可能にする。また、制御装置101Bは、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの制御装置101Aに、新規に、カメラ111からの画像データを取得する機能を組み込んだものである。
なお、図11において、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aと同じ機能(動作)を有する構成要素には、図3と同じ符号を付している。
本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bでは、カメラ111を有することにより、測定対象物体3Bの形状等の特徴量、また画像認識技術により測定対象物体3Bの位置を特定した上で、スキャニングを実行することができる。なお、画像認識は、制御装置101B、又は外部接続機器2で実行する(即ち、制御装置101B又は外部接続機器2は、画像認識手段として機能する)。
図12は、本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bの処理手順を示すフロー図である。
非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bは、外部接続機器2より動作モードの選択及びスキャニング開始の指示を受けると(S201)、計測(スキャニング)を開始する(S202)。
ここで、動作モードの選択とは、画像認識の有無、測定対象物体3Bの画像認識に必要な情報、スキャニングの範囲、背景光の取得の有無、反射光の取得の有無、データの出力形式等を選択的、又は任意に設定することである。また、データの出力形式に関しては、ユーザが任意に設定することができるが、ここでは、スキャニング位置の分光情報のピーク周波数の値のみを用いて作成した2次元データ(画像)、又はスキャニング位置の分光情報(1次元配列データ)を2次元的に保持した3次元データとする。
制御装置101Bは、計測を開始するに当たり(S202)、動作モードにおいて設定された、測定対象物体3Bの画像認識に関する情報を用いて画像認識を実行し、測定対象物体3Bを検出し、さらに、測定対象物体3Bの分光スペクトルを取得するために、測定対象物体3Bの位置及びスキャニング範囲を特定する(S203)。
なお、画像認識に関する処理は、外部接続機器2においても実行することができ、その場合、外部接続機器2が、認識結果に基づいて制御装置101Bに指示する。
制御装置101Bは、スキャニング範囲及び位置を特定すると(S203)、外部接続機器2から指示された動作モードに従って、スキャニングを開始する位置に2軸ガルバノミラー103を調整する(S204)。
制御装置101Bは、2軸ガルバノミラー103を調整すると(S204)、分光器108から背景光の分光スペクトルを取得する(S205)。
制御装置101Bは、次に、光源104及び2軸ガルバノミラー103を用いて、動作モードに設定されたレーザ光をスキャニング位置に照射し(S206)、分光器108から反射光の分光スペクトルを取得する(S207)。なお、制御装置101Bは、分光スペクトル取得後、次のスキャニング時までに光源104の照射を終了する。
制御装置101Bは、背景光及び反射光の分光スペクトルを取得すると(S205、S207)、反射光の分光スペクトルから背景光の分光スペクトルを差し引き、正味の反射光の分光スペクトルを減算する(S208)。
制御装置101Bは、ステップS208において、算出した正味の反射光の分光スペクトルを、スキャニング位置と組み合わせて、記憶装置110に記憶する(S209)。
制御装置101Bは、ステップS204からステップS209までの処理を完了すると、スキャニング位置及びその他の動作モードを確認し(S210)、スキャニングを継続するか否かを判定する。具体的には、ステップS204からステップS209までの処理を実行したスキャニング位置がスキャニング範囲の最終位置(即ち、図10の最下段の右端)である場合、又は他の動作モードの条件に該当する場合(S210 No)にステップS211に移行し、それ以外の場合(S210 Yes)には、ステップS204に戻り、スキャニングを継続する。
ここで、動作モードの設定等でスキャニングを途中で終了させない限り、記憶装置110には、スキャニング範囲全域の各スキャニング位置における分光スペクトルが分光スペクトルデータとして記憶される。
制御装置101Bは、1フレーム分の分光スペクトルデータが生成されると、動作モードにおいて設定された出力形式に従って、分光スペクトルデータ、ピークスペクトルの画像情報、及び/又はRAWデータ(スキャニング位置における全分光スペクトルを保持した3次元データ)等を外部接続機器2に送信する(S211)。
また、制御装置101Bは、外部接続機器2に分光スペクトルデータ等を送信するとき、カメラ画像と併せて、又は別々に、若しくはカメラ画像に重ね合わせて、1枚の画像として送信することができる。なお、これらは、動作モードにより設定することができる。
制御装置101Bは、外部接続機器2からスキャニングの停止指示があるか否かを確認し(S212)、停止指示がある場合(S212 Yes)には処理を終了し、停止指示がない場合(S212 No)には次のフレームデータを取得するためにステップS203の処理を実行する。制御装置101Bは、外部接続機器2から停止指示があるまで、ステップS203からステップS211までの処理を繰り返し実行する。
なお、ステップS205からステップS208までの処理は、外部接続機器2から指示される動作モードに従って実行される処理であることから、動作モードによっては実行されない場合がある。
このように、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bでは、測定対象物体3Bの位置を特定し、その測定対象物体3Bの存在する範囲に限定したスキャニングを実行することで、不要な分光スペクトルデータの取得を制限することができる。そのため、スキャニング処理を高速化することができ、また、測定対象が特定された分光スペクトルデータを取得することができる。
(実施形態3)
図13は、本発明の実施形態3に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Cの内部構成を示す図である。
制御装置101Cは、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aの制御装置101Aに、新規に、光源104から光を射出する射出時刻と、スキャニング位置からの反射光を分光器108で検出する検出時刻を計測する機能(本発明の時刻計測手段に対応する)を組み込んだものである。
なお、反射光の検出に関して、特徴的なスペクトルの光を用いて検出してもよく、また閾値を用いて背景光と区別することで検出してもよい。
制御装置101Cは、さらに、射出時刻と検出時刻に基づいて、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Cからスキャニング位置までの距離を算出する機能(本発明の距離算出手段に対応する)を有する。また、距離を計測するに当たり、より正確な距離(即ち、窓109からスキャニング位置までの距離)を計測するために、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1C内の光路長を差し引いてもよい。
なお、図13において、本発明の実施形態1に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Aと同じ機能(動作)を有する構成要素には、図3と同じ符号を付している。
図14は、本発明の実施形態3に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Cの処理手順を示すフロー図である。
非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Cは、外部接続機器2より動作モードの選択及びスキャニング開始の指示を受けると(S301)、計測(スキャニング)を開始する(S302)。
ここで、動作モードの選択とは、距離計測機能の有無、スキャニングの範囲、背景光の取得の有無、反射光の取得の有無、データの出力形式等を選択的、又は任意に設定することである。また、データの出力形式に関しては、ユーザが任意に設定することができるが、ここでは、スキャニング位置の分光情報のピーク周波数の値のみを用いて作成した2次元データ(画像)、又はスキャニング位置の分光情報(1次元配列データ)を2次元的に保持した3次元データとする。
計測を開始するにあたり(S302)、制御装置101Cは、外部接続機器2から指示された動作モードに従って、スキャニングを開始する位置に2軸ガルバノミラー103を調整する(S303)。
制御装置101Cは、2軸ガルバノミラー103を調整すると(S303)、分光器108から背景光の分光スペクトルを取得する(S304)。
制御装置101Cは、次に、光源104及び2軸ガルバノミラー103を用いて、動作モードに設定されたレーザ光をスキャニング位置に照射する(S305)。また、レーザ光をスキャニング位置に照射させる際、制御装置101Cは、光源104からレーザ光が射出(発射)される時刻(射出時刻)を記憶装置110に記憶する。なお、制御装置101Cは、分光スペクトル取得後、次のスキャニング時までに光源104の照射を終了する。
そして、スキャニング位置に照射したレーザ光が反射し、その反射光が分光器108で検出されると、制御装置101Cは、反射光が検出された時刻(検出時刻)を記憶装置110に記憶し、また分光器108から反射光の分光スペクトルを取得する(S306)。
制御装置101Cは、ステップS304において背景光の分光スペクトルを取得し、またステップS306において反射光の分光スペクトルを取得すると、反射光の分光スペクトルから背景光の分光スペクトルを差し引き、正味の反射光の分光スペクトルを算出する(S307)。
また、制御装置101Cは、記憶装置110に記憶された射出時刻と検出時刻より、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Cからスキャニング位置までの距離を算出する(S307)。
制御装置101Cは、ステップS307において、算出した正味の反射光の分光スペクトル、及び非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Cからスキャニング位置までの距離を、スキャニング位置と組み合わせて、記憶装置110に記憶する(S308)。
制御装置101Cは、ステップS303からステップS308までの処理を完了すると、スキャニング位置及びその他の動作モードを確認し(S309)、スキャニングを継続するか否かを判定する。具体的には、ステップS303からステップS308までの処理を実行したスキャニング位置がスキャニング範囲の最終位置(即ち、図10の最下段の右端)である場合、又は他の動作モードの条件に該当する場合(S309 No)にステップS310に移行し、それ以外の場合(S309 Yes)には、ステップS303に戻り、スキャニングを継続する。
ここで、動作モードの設定等でスキャニングを途中で終了させない限り、記憶装置110には、(スキャニング範囲全域の)各スキャニング位置における分光スペクトルが分光スペクトルデータとして記憶される。
制御装置101Cは、1フレーム分の分光スペクトルデータが生成されると、動作モードにおいて設定された出力形式に従って、分光スペクトルデータ、ピークスペクトルの画像情報、及び/又はRAWデータ(スキャニング位置における全分光スペクトルを保持した3次元データ)等を外部接続機器2に送信する(S310)。
制御装置101Cは、外部接続機器2からスキャニングの停止指示があるか否かを確認し(S311)、停止指示がある場合(S311 Yes)には処理を終了し、停止指示がない場合(S311 No)には次のフレームデータを取得するためにステップS303の処理を実行する。制御装置101Cは、外部接続機器2から停止指示があるまで、ステップS303からステップS310までの処理を繰り返し実行する。
なお、ステップS304からステップS307までの処理は、外部接続機器2から指示される動作モードに従って実行される処理であることから、動作モードによっては実行されない場合がある。
このように、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Cでは、スキャニング位置までの距離を計測することで、測定対象物体3Cの分析対象範囲を3次元的に限定することができる。そのため、分析時において、不要なデータを予め除外することができ、測定データの信頼性も高めることができる。
また、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Cからスキャニング位置までの距離を計測することができれば、その後のスキャニング処理を、測定距離を限定して実行することもできる。
(実施形態4)
本発明の実施形態4に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Dは、本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bの測定精度を向上させたものである。
非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bでは、カメラ111の画角と2軸ガルバノミラー103の照射位置が一致していることを前提としているが、実際には、図15に示すように、カメラ111の画角と2軸ガルバノミラー103の照射位置は、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bからの距離によって異なる。そのため、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bでは、事前に調整された距離、又は、照射位置とカメラ画像上の位置誤差が比較的小さい距離内に使用が制限される。
非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Dでは、図16に示すようにカメラ111の画角(照射予定位置)と2軸ガルバノミラー103の照射位置(実際の照射位置)が一致していない場合においても、実際の照射位置を照射予定位置に補正することができる。
図17は、本発明の実施形態4に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Dの内部構成を示す図である。
制御装置101Dは、本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bの制御装置101Bに、新規に、実際の照射位置を照射予定位置に補正する機能を組み込んだものである。
なお、図17において、本発明の実施形態2に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Bと同じ機能(動作)を有する構成要素には、図11と同じ符号を付している。
以下、照射位置の補正方法に関して、簡単に説明する。
先ず、制御装置101Dは、カメラ111により測定対象物体3Dを撮像し、撮像画像より測定対象物体3Dの位置を特定する。
次に、制御装置101Dは、2軸ガルバノミラー103により照射予定位置にレーザ光を照射し、レーザ光が実際に照射されている位置を、カメラ111により撮像した画像で確認する。
その後に、制御装置101Dは、撮像画像を認識することにより照射予定位置と実際の照射位置とのずれを算出し、実際の照射位置を照射予定位置に補正(調整)する。具体的には、撮像画像において、実際の照射位置の座標と照射予定位置の座標との差分を計算し、その計算結果に基づき、制御装置101Dが、2軸ガルバノミラー103を制御することで、実際の照射位置を照射予定位置に補正する。
なお、制御装置101Dは、照射位置を補正した後に、再度レーザ光を照射予定位置に照射し、実際の照射位置と照射予定位置とが一致することを、カメラ111の撮像画像より確認してもよい。この場合、制御装置101Dは、照射位置確認手段として機能する。
図18は、本発明の実施形態4に係る非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Dの処理手順を示すフロー図である。
非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Dは、外部接続機器2より動作モードの選択及びスキャニング開始の指示を受けると(S401)、計測(スキャニング)を開始する(S402)。
ここで、動作モードの選択とは、画像認識の有無、測定対象物体3Dの画像認識に必要な情報、スキャニングの範囲、スキャニング位置の補正の有無、背景光の取得の有無、反射光の取得の有無、データの出力形式等を選択的、又は任意に設定することである。また、データの出力形式に関しては、ユーザが任意に設定することができるが、ここでは、スキャニング位置の分光情報のピーク周波数の値のみを用いて作成した2次元データ(画像)、又はスキャニング位置の分光情報(1次元配列データ)を2次元的に保持した3次元データとする。
制御装置101Dは、計測を開始するにあたり(S402)、動作モードにおいて設定された、測定対象物体3Dの画像認識に関する情報を用いて画像認識を実行し、測定対象物体3Dを検出し、さらに測定対象物体3Dの分光スペクトルを取得するために、スキャニング範囲及び位置を特定する(S403)。
なお、画像認識に関する処理は、外部接続機器2においても実行することができ、その場合、外部接続機器2が、認識結果に基づいて制御装置101Dに指示する。
制御装置101Dは、スキャニング位置を特定すると(S403)、実際の照射位置を照射予定位置に補正する(S404)。
即ち、制御装置101Dは、2軸ガルバノミラー103によりスキャニング予定位置にレーザ光を照射し、レーザ光が実際に照射されている位置をカメラ111の撮像画像から確認すると、実際の照射位置を照射予定位置に調整する。
なお、ステップS404における補正処理は、スキャニング範囲全域の分光スペクトルデータを取得するごとに実行してもよい。
制御装置101Dは、照射位置を補正すると(S404)、分光器108から背景光の分光スペクトルを取得する(S405)。
制御装置101Dは、次に、光源104及び2軸ガルバノミラー103を用いて、動作モードに設定されたレーザ光をスキャニング位置に照射し(S406)、分光器108から反射光の分光スペクトルを取得する(S407)。なお、制御装置101Dは、分光スペクトル取得後、次のスキャニング時までに光源104の照射を終了する。
制御装置101Dは、背景光及び反射光の分光スペクトルを取得すると(S405、S407)、反射光の分光スペクトルから背景光の分光スペクトルを差し引き、正味の反射光の分光スペクトルを減算する(S408)。
制御装置101Dは、ステップS408において、算出した正味の反射光の分光スペクトルを、スキャニング位置と組み合わせて、記憶装置110に記憶する(S409)。
制御装置101Dは、ステップS404からステップS409までの処理を完了すると、スキャニング位置及びその他の動作モードを確認し(S410)、スキャニングを継続するか否かを判定する。具体的には、ステップS404からステップS409までの処理を実行したスキャニング位置がスキャニング範囲の最終位置(即ち、最下段の右端)である場合、又は他の動作モードの条件に該当する場合(S410 No)にステップS411に移行し、それ以外の場合(S410 Yes)には、ステップS404に戻り、スキャニングを継続する。
ここで、動作モードの設定等でスキャニングを途中で終了させない限り、記憶装置110には、(スキャニング範囲全域の)各スキャニング位置における分光スペクトルが分光スペクトルデータとして記憶される。
制御装置101Dは、1フレーム分の分光スペクトルデータが生成されると、動作モードにおいて設定された出力形式に従って、分光スペクトルデータ、ピークスペクトルの画像情報、及び/又はRAWデータ(スキャニング位置における全分光スペクトルを保持した3次元データ)等を外部接続機器2に送信する(S411)。
また、制御装置101Dは、外部接続機器2に分光スペクトルデータ等を送信するとき、カメラ画像と併せて、又は別々に、若しくはカメラ画像に重ね合わせて、1枚の画像として送信することができる。なお、これらは、動作モードにより設定することができる。
制御装置101Dは、外部接続機器2からスキャニングの停止指示があるか否かを確認し(S412)、停止指示がある場合(S412 Yes)には処理を終了し、停止指示がない場合(S412 No)には次のフレームデータを取得するためにステップS403の処理を実行する。制御装置101Dは、外部接続機器2から停止指示があるまで、ステップS403からステップS411までの処理を繰り返し実行する。
なお、ステップS405からステップS408までの処理は、外部接続機器2から指示される動作モードに従って実行される処理であることから、動作モードによっては実行されない場合がある。
このように、非接触レーザスキャニング分光画像取得装置1Dでは、画像認識技術により、実際の照射位置を照射予定位置に補正する機能を有することから、カメラ111と測定対象物体3Dとの距離に関係なく、信頼性を向上させた分光スペクトルデータを取得することができる。
以上、説明したように、本発明の実施形態にかかる非接触レーザスキャニング分光画像取得装置によれば、レーザ光により非接触でスキャニングし、また、スキャニング対象範囲を、測定対象物体の位置に応じた所定の範囲に分割することで、測定対象物体が遠方に位置する場合であっても、高い分解能を維持することができる。
また、レーザ光を遮断した状態で取得される分光スペクトルを背景光による分光スペクトルと見做し、反射光の分光スペクトルから背景光による分光スペクトルを差し引くことで、より精度の高いスペクトル解析を行うことができる。
1A…非接触レーザスキャニング分光画像取得装置、2…外部接続機器、101A…制御装置、102…2軸ガルバノミラードライバ、103…2軸ガルバノミラー、104…光源、105…コリメートレンズ、106…ビームスプリッタ、107…フォーカッシングレンズ、108…分光器、109…窓、110…記憶装置。
特開2004−336657

Claims (6)

  1. レーザ光を射出する光源と、
    前記光源より射出されるレーザ光を照射位置に調整する照射位置調整手段と、
    前記照射位置調整手段により調整された照射位置からの測定対象物体の反射光の分光スペクトル、及び背景光の分光スペクトルを検出する分光器と、
    前記分光器により検出された反射光の分光スペクトルから、背景光の分光スペクトルを除去するスペクトル除去手段と、
    を有する非接触レーザスキャニング分光画像取得装置。
  2. 請求項1に記載された非接触レーザスキャニング分光画像取得装置において、
    測定対象物体を撮像する撮像手段と、
    前記撮像手段により撮像された前記測定対象物体の画像より、前記測定対象物体の位置を認識する画像認識手段と、
    を有し、
    前記照射位置調整手段が、前記画像認識手段により認識された前記測定対象物体の位置に基づいて、照射位置を調整する非接触レーザスキャニング分光画像取得装置。
  3. 請求項2に記載された非接触レーザスキャニング分光画像取得装置において、
    前記撮像手段により撮像された前記測定対象物体の画像より、前記照射位置調整手段により調整された前記測定対象物体の照射位置を認識し、前記照射位置調整手段が前記認識された照射位置に基づいて、照射位置を調整する非接触レーザスキャニング分光画像取得装置。
  4. 請求項1に記載された非接触レーザスキャニング分光画像取得装置において、
    前記光源よりレーザ光が射出される射出時刻と、前記照射位置からの反射光の分光スペクトルが前記分光器において検出される検出時刻を計測する時刻計測手段と、
    前記時刻計測手段により計測された時刻より、前記照射位置までの距離を算出する距離算出手段と、
    を有する非接触レーザスキャニング分光画像取得装置。
  5. 請求項1に記載された非接触レーザスキャニング分光画像取得装置において、
    前記光源からの出力を制御する出力制御手段又は前記光源からの出力を遮断する手段を有する非接触レーザスキャニング分光画像取得装置。
  6. レーザ光を射出する光源と、前記光源より射出されるレーザ光を照射位置に調整する照射位置調整手段と、を有する非接触レーザスキャニング分光画像取得装置における分光画像取得方法であって、
    測定対象物体の背景光の分光スペクトルを検出する背景光分光スペクトル検出工程と、
    前記照射位置調整手段によりレーザ光を照射位置に調整し、測定対象物体の照射位置からの反射光の分光スペクトルを検出する反射光分光スペクトル検出工程と、
    前記反射光の分光スペクトルから、前記背景光の分光スペクトルを除去するスペクトル除去工程と、
    を有する分光画像取得方法。
JP2014116138A 2014-06-04 2014-06-04 非接触レーザスキャニング分光画像取得装置及び分光画像取得方法 Pending JP2015230229A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014116138A JP2015230229A (ja) 2014-06-04 2014-06-04 非接触レーザスキャニング分光画像取得装置及び分光画像取得方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014116138A JP2015230229A (ja) 2014-06-04 2014-06-04 非接触レーザスキャニング分光画像取得装置及び分光画像取得方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015230229A true JP2015230229A (ja) 2015-12-21

Family

ID=54887071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014116138A Pending JP2015230229A (ja) 2014-06-04 2014-06-04 非接触レーザスキャニング分光画像取得装置及び分光画像取得方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2015230229A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016218418A1 (de) 2015-11-26 2017-06-01 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitervorrichtung
DE102017222805A1 (de) 2016-12-27 2018-06-28 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitervorrichtung, Leistungswandlungsvorrichtung und Verfahren einer Fertigung einer Halbleitervorrichtung
CN111721728A (zh) * 2020-07-16 2020-09-29 陈皓 一种水果在线检测装置及其使用方法
JPWO2021038730A1 (ja) * 2019-08-27 2021-03-04
WO2022220145A1 (ja) * 2021-04-13 2022-10-20 国立大学法人香川大学 分光測定装置及び分光測定方法
US11536568B2 (en) 2018-09-06 2022-12-27 Topcon Corporation Target instrument and surveying system

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07198481A (ja) * 1993-12-29 1995-08-01 Souma Kogaku:Kk 光測定器
US20090219525A1 (en) * 2008-02-29 2009-09-03 Honeywell International Inc. System and method for portable raman spectroscopy
JP2012093104A (ja) * 2010-10-25 2012-05-17 Yaskawa Electric Corp 形状計測装置、ロボットシステムおよび形状計測方法
WO2013115650A1 (en) * 2012-01-24 2013-08-08 Tomra Sorting As Apparatus, system and method for detecting matter
WO2013172887A1 (en) * 2012-05-15 2013-11-21 The Boeing Company Contamination identification system

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07198481A (ja) * 1993-12-29 1995-08-01 Souma Kogaku:Kk 光測定器
US20090219525A1 (en) * 2008-02-29 2009-09-03 Honeywell International Inc. System and method for portable raman spectroscopy
JP2012093104A (ja) * 2010-10-25 2012-05-17 Yaskawa Electric Corp 形状計測装置、ロボットシステムおよび形状計測方法
WO2013115650A1 (en) * 2012-01-24 2013-08-08 Tomra Sorting As Apparatus, system and method for detecting matter
WO2013172887A1 (en) * 2012-05-15 2013-11-21 The Boeing Company Contamination identification system

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016218418A1 (de) 2015-11-26 2017-06-01 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitervorrichtung
DE102017222805A1 (de) 2016-12-27 2018-06-28 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitervorrichtung, Leistungswandlungsvorrichtung und Verfahren einer Fertigung einer Halbleitervorrichtung
US11536568B2 (en) 2018-09-06 2022-12-27 Topcon Corporation Target instrument and surveying system
JPWO2021038730A1 (ja) * 2019-08-27 2021-03-04
WO2021038730A1 (ja) * 2019-08-27 2021-03-04 日本電信電話株式会社 光計測装置
JP7327487B2 (ja) 2019-08-27 2023-08-16 日本電信電話株式会社 光計測装置
US12078589B2 (en) 2019-08-27 2024-09-03 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Optical measuring device
CN111721728A (zh) * 2020-07-16 2020-09-29 陈皓 一种水果在线检测装置及其使用方法
CN111721728B (zh) * 2020-07-16 2023-02-21 陈皓 一种水果在线检测装置及其使用方法
WO2022220145A1 (ja) * 2021-04-13 2022-10-20 国立大学法人香川大学 分光測定装置及び分光測定方法
US12102430B2 (en) 2021-04-13 2024-10-01 National University Corporation Kagawa University Spectral measurement device and spectral measurement method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10605661B2 (en) Image capturing with filters of overlapping passbands
JP2015230229A (ja) 非接触レーザスキャニング分光画像取得装置及び分光画像取得方法
US10041787B2 (en) Object detection device
US7436590B2 (en) Scanning laser microscope apparatus and light-amount detection unit
US9952047B2 (en) Method and measuring instrument for target detection and/or identification
JP5201825B2 (ja) 距離画像取得装置及び方法
US11137345B2 (en) Apparatus for implementing confocal image using chromatic aberration lens
JP2010532018A (ja) 多色自動焦点装置および方法
US10488647B2 (en) Method for measuring scanning pattern of optical scanning apparatus, apparatus for measuring scanning pattern, and method for calibrating image
US11369269B2 (en) Short-wave infrared and 3D topographic imager
US11423528B2 (en) Image inspection apparatus
US11024049B2 (en) Image measurement apparatus
US20240167961A1 (en) Laser induced breakdown spectroscopy for geological analysis
JP2010112865A (ja) 白色干渉計測装置及び方法
JP5865562B1 (ja) 走査型内視鏡用画像処理装置
KR102027106B1 (ko) 콘트라스트가 향상된 영상취득장치 및 방법, 이를 위한 컴퓨터 프로그램 및 기록매체
JP2021076479A (ja) 光学式変位計
WO2018128146A1 (ja) 分光測定方法および分光測定装置
KR101333161B1 (ko) 공초점을 이용한 영상 처리 장치 및 이를 이용한 영상 처리 방법
US20180084231A1 (en) Machine vision spectral imaging
CN102313524A (zh) 一种取像装置与方法
US11473975B2 (en) Low-cost, compact chromatic confocal module
WO2017104190A1 (ja) 内視鏡システム
US20230410548A1 (en) Imaging apparatus and imaging method
JP6806481B2 (ja) 撮影装置、撮影装置の制御方法、及びプログラム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170519

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171020

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20171031

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20180424