JP2015230215A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定装置10は、冶具24と、加熱ステージ20と、移動装置30と、コンタクトプローブ装置50と、測定器40を備えている。加熱ステージ20の上側には、コンタクトプローブ装置50が接続した冶具24が配置されている。コンタクトプローブ装置50は、温度検知部材60と、固定部材70と、3つのプローブ80を備えている。プローブ本体82および当接部86は、固定部材70に対して支持部84を介して傾き可変に接続されている。当接部86に温度検知部材60に対して外部から力が掛かった場合に、支持穴841を支点として、てこの原理によりそれぞれのプローブ本体82の先端が内側へと閉じる。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 冶具と、
前記冶具に進退可能に接続し、先端部で温度検知を行い外周が電気的に絶縁された温度検知部材と、
前記冶具に接続され、前記温度検知部材の周囲の少なくとも3箇所を囲う固定部材と、
導電性を有し、前記少なくとも3箇所において前記固定部材にそれぞれ可動に接続され、前記温度検知部材を前記先端部から押して後退させたときに前記温度検知部材と当接することでそれぞれの先端が互いに近づく、少なくとも3つのプローブと、
前記プローブおよび前記温度検知部材と配線を介して接続する測定部と、
を備える測定装置。 - 前記プローブは、
前記温度検知部材の隣に位置するプローブ本体と、
前記プローブ本体と前記固定部材の間に介在して前記プローブ本体を可動に支持する支持部と、
前記温度検知部材を前記後退させたときに前記温度検知部材と当接することで、前記支持部と前記固定部材の接続点を支点に前記プローブ本体を傾ける当接部と、
を備える請求項1に記載の測定装置。 - 前記当接部は、前記温度検知部材の後端部の側へ出張り、前記後端部と当接することにより前記接続点を支点に前記プローブ本体を傾ける請求項2に記載の測定装置。
- 前記当接部は、前記温度検知部材と当接するための当接面を有し、
前記当接面は、前記温度検知部材の側に凸となる曲面である請求項2または3に記載の測定装置。 - 前記温度検知部材の外周面が平坦であり、
前記プローブが、前記温度検知部材の側を向く平坦な内側面を備え、
前記温度検知部材が前記当接部と当接しないとき前記外周面と前記内側面が接する請求項2〜4のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記プローブは前記温度検知部材の前記外周と接しており、
前記プローブの先端面が、前記温度検知部材から離れるほど突き出るように傾斜する傾斜面、または曲面を備える請求項1〜5のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記温度検知部材は、
熱電対と、
前記熱電対と前記冶具との間を可逆的に進退させるバネと、
前記熱電対の先端を露出させつつ前記熱電対の周囲を被覆する絶縁層と、
を備える請求項1〜6のいずれか1項に記載の測定装置。
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