JP2015218767A - リンク機構、パラレルリンク装置、産業用ロボット、および、ダイサー装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高精度かつ信頼性の高いリンク機構を提供する。
【解決手段】リンク機構は、第１のベアリング手段と、第１のベアリング手段により第１の軸を中心として回転可能な第１のシャフトと、第２のベアリング手段と、第２のベアリング手段により第２の軸を中心として回転可能な第２のシャフトと、第３のベアリング手段と、第１のシャフトおよび第２のシャフトに接続され、第３のベアリング手段により第３の軸を中心として回転可能な第３のシャフトとを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、パラレルリンク構造を有する産業用ロボットおよびダイサー装置に関する。

従来から、例えばワークを移載する移載装置として、３軸パラレルリンク構造を有する産業用ロボットが知られている。

特許文献１には、ジョイントソケットとジョイントボールにより構成された３軸ボールソケットジョイントを有するロボット装置が開示されている。特許文献１のロボット装置は、ジョイントボールを用いたボールリンク構造を有し、ジョイントソケットのハウジングの表面に、ベアリング手段を把持して固定する摩擦力増大手段を設けている。

特表２００２−５３１７７８号公報

しかしながら、特許文献１に開示されているように、ジョイントボールを用いたパラレルリンク構造（ボールリンク構造）では、短期間の運転で摩耗等によるガタツキが発生し、位置の精度を保つことが困難である。また、このようなボールリンク構造では、保守サイクルが短い等の問題がある。

そこで本発明は、高精度かつ信頼性の高いリンク機構、パラレルリンク装置、産業用ロボット、および、ダイサー装置を提供する。

本発明の一側面としてのリンク機構は、第１のベアリング手段と、前記第１のベアリング手段により第１の軸を中心として回転可能な第１のシャフトと、第２のベアリング手段と、前記第２のベアリング手段により第２の軸を中心として回転可能な第２のシャフトと、第３のベアリング手段と、前記第１のシャフトおよび前記第２のシャフトに接続され、前記第３のベアリング手段により第３の軸を中心として回転可能な第３のシャフトとを有する。

本発明の他の側面としてのパラレルリンク装置は、前記リンク機構と、サーボモータと、前記サーボモータにより駆動されるアームと、前記第１のシャフトに連結された第１のリンクアームと、前記第２のシャフトに連結された第２のリンクアームとを有し、前記第１のリンクアームおよび前記第２のリンクアームは、前記第１のシャフト、前記第２のシャフト、および、前記第３のシャフトを介して、前記アームからの動力が伝達されるように構成されている。

本発明の他の側面としての産業用ロボットは、前記パラレルリンク装置と、ワークを搬送する搬送手段とを有し、前記パラレルリンク装置は、第１のパラレルリンク装置、第２のパラレルリンク装置、および、第３のパラレルリンク装置を含み、前記搬送手段は、前記第１のパラレルリンク装置、第２のパラレルリンク装置、およびパラレルリンク装置のそれぞれに設けられた複数の前記第２のリンク機構に接続されている。

本発明の他の側面としてのダイサー装置は、前記産業用ロボットを有する。

本発明のその他の目的及び効果は以下の実施形態において説明される。

本発明によれば、高精度かつ信頼性の高いリンク機構、パラレルリンク装置、産業用ロボット、および、ダイサー装置を提供することができる。

本実施形態における産業用ロボットの全体構成図である。 本実施形態におけるリンク機構の構成図である。 本実施形態におけるダイサー装置の概略構成図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。

まず、図１を参照して、本実施形態における産業用ロボットの構成について説明する。図１は、産業用ロボット１００の全体構成図である。産業用ロボット１００は、３軸パラレルリンクロボットであり、後述のように、例えばワークを搬送するために適して用いられる。

図１において、１４はベースである。ベース１４は産業用ロボット１００を使用する装置（例えばダイサー装置）に設けられ、装置の天井等の所定の部位に固定される。２１、２２、２３はそれぞれ、リンクアームである。本実施形態の産業用ロボット１００は、３本のリンクアーム２１、２２、２３を備えている。産業用ロボット１００は、リンクアーム２１、２２、２３を駆動することにより、所定の範囲内でＸ方向、Ｙ方向、および、Ｚ方向の３軸方向に移動可能な３軸パラレルリンク動作を実現する。

リンクアーム２１は、第１のリンクアーム２１ａおよび第２のリンクアーム２１ｂを備えて構成されている。同様に、リンクアーム２２は第１のリンクアーム２２ａおよび第２のリンクアーム２２ｂを備えて構成され、リンクアーム２３は第１のリンクアーム２３ａおよび第２のリンクアーム２３ｂを備えて構成されている。

リンクアーム２１の一方の端（ベース１４側の端）には、第１のリンク機構３１が設けられている。また、リンクアーム２１の他方の端（搬送ヘッド１５側の端）には、第２のリンク機構４１がそれぞれ設けられている。同様に、リンクアーム２２の両端には第１のリンク機構３２および第２のリンク機構４２がそれぞれ設けられ、リンクアーム２３の両端には第１のリンク機構３３および第２のリンク機構４３がそれぞれ設けられている。なお本実施形態において、第１のリンク機構３１、３２、３３および第２のリンク機構４１、４２、４３は、互いに同一の構成を有する。

５１、５２、５３はそれぞれ、サーボモータ（駆動手段）である。サーボモータ５１、５２、５３は、それぞれ、ギアヘッド６１、６２、６３に取り付けられている。ギアヘッド６１、６２、６３にはギアがそれぞれ収容されており、ギアはサーボモータ５１、５２、５３のそれぞれの回転軸に取り付けられている。また、ギアヘッド６１、６２、６３の出力部は、アーム７１、７２、７３にそれぞれ接続されている。このような構成により、サーボモータ５１、５２、５３の駆動力は、ギアヘッド６１、６２、６３を介してアーム７１、７２、７３にそれぞれ伝達される。これにより、アーム７１、７２、７３は、サーボモータ５１、５２、５３により駆動可能である。

リンクアーム２１の第１のリンクアーム２１ａおよび第２のリンクアーム２１ｂは、第１のリンク機構３１に連結されている。またアーム７１も、第１のリンク機構３１に連結されている。すなわち、第１のリンクアーム２１ａおよび第２のリンクアーム２１ｂとアーム７１とは、第１のリンク機構３１を介して互いに連結されている。このような構成により、第１のリンクアーム２１ａおよび第２のリンクアーム２１ｂには、第１のリンク機構３１を介して、アーム７１からの動力が伝達される。同様に、リンクアーム２２、２３には、第１のリンク機構３２、３３を介して、アーム７２、７３からの動力がそれぞれ伝達される。

１５は搬送ヘッド（搬送手段）である。搬送ヘッド１５は、第２のリンク機構４１、４２、４３と連結されている。すなわちリンクアーム２１（第１のリンクアーム２１ａおよび第２のリンクアーム２１ｂ）は、第２のリンク機構４１を介して、搬送ヘッド１５に連結されている。同様にリンクアーム２２、２３は、第２のリンク機構４２、４３のそれぞれを介して、搬送ヘッド１５に連結されている。このような構成により、第１のリンクアーム２１ａ、２２ａ、２３ａ、および、第２のリンクアーム２１ｂ、２２ｂ、２３ｂの動作が搬送ヘッド１５に伝達可能である。搬送ヘッド１５には、不図示の例えばワークを真空吸着するための吸着手段が設けられている。吸着手段によりワークを搬送ヘッド１５に吸着させた状態で、リンクアーム２１、２２、２３を変位させることにより、ワークを所望の位置へ搬送することができる。

産業用ロボット１００は、サーボモータ５１、５２、５３によりアーム７１、７２、７３、および、リンクアーム２１、２２、２３を駆動することにより、搬送ヘッド１５を移動させることができる。このため、例えば第１の位置に載置されたワークを取得して搬送ヘッド１５にワークを吸着させ、この吸着状態でワークを移動し、収納位置（第２の位置）においてワークを離すように構成することにより、ワークの移載装置としての使用が可能である。

次に、図２を参照して、本実施形態におけるリンク機構（第１のリンク機構３１、３２、３３及び第２のリンク機構４１、４２、４３の構成について説明する。なお、第１のリンク機構３１、３２、３３及び第２のリンク機構４１、４２、４３の構成はそれぞれ同一であるため、ここでは第１のリンク機構３１の構成についてのみ説明し、他の構成の説明は省略する。

図２は、第１のリンク機構３１の構成図（産業用ロボット１００の要部構成図）である。図２（ａ）は、比較例としてのリンク機構３１０の構成図、図２（ｂ）は、本実施形態における第１のリンク機構３１の構成図である。図２（ｃ）は図２（ｂ）中のＣ−Ｃ線に沿った断面図であり、図２（ｄ）は図２（ｂ）中のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。

図２（ａ）に示される比較例において、リンク機構３１０は、固定部材３５１およびシャフト３５２を備えている。シャフト３５２は、軸ＡＸ３に沿って、固定部材３５１の突起部３５１ａ、３５１ｂ、３５１ｃに固定されている。シャフト３５２には、２つの連結部３６１、３６２が設けられている。連結部３６１は、ボール３６１ａおよび曲面側部３６１ｂを有する。ボール３６１ａは、曲面側部３６１ｂに接触（面接触）した状態で、曲面側部３６１ｂ（すなわち固定部材３５１およびシャフト３５２）に対して回転可能である。このような構成により、連結部３６１に取り付けられた第１のリンクアーム（不図示）は、軸ＡＸ１および軸ＡＸ３の交点を中心として、３軸方向に自由に移動することができる。

同様に、連結部３６２はボール３６２ａおよび曲面側部３６２ｂを有し、ボール３６２ａは曲面側部３６２ｂに接触（面接触）した状態で曲面側部３６２ｂに対して回転可能である。このような構成により、連結部３６２に取り付けられた第２のリンクアーム（不図示）は、軸ＡＸ２および軸ＡＸ３の交点を中心として、３軸方向に自由に移動することができる。

ただし図２（ａ）に示されるリンク機構３１０では、第１のリンクアームおよび第２のリンクアームのそれぞれを所望の位置に移動させるため、連結部３６１、３６２のボール３６１ａ、３６２ａが曲面側部３６１ｂ、３６２ｂのそれぞれに面接触した状態で回転する（ボールリンク構造）。このため、産業用ロボットの短期間の運転で摩耗等が発生し、ガタツキ等により精度を保つことが困難である。また、このような構造では、産業用ロボットの保守サイクルが短いという点も問題となる。

そこで本実施形態では、図２（ｂ）〜（ｄ）に示されるように、アンギュラベアリング構造を有するリンク機構（第１のリンク機構３１）が用いられる。ここでアンギュラベアリング構造とは、ボール（玉）と内輪／外輪とが接触角を有するベアリング構造のことをいう。図２（ｂ）において、第１のリンク機構３１は、固定部材３１１、第１のシャフト３１２、第２のシャフト３１３、および、第３のシャフト３１４を備えている。

第１のシャフト３１２の側面（図２（ｂ）の断面図において、第１のシャフト３１２の上側および下側）には、第１のベアリング手段を構成する複数のボール３２１が、第１のシャフト３１２の側面（内輪）を取り囲むように配置されている。また、複数のボール３２１の外側には、固定された側面部（外輪）が設けられている。この側面部は、第３のシャフト３１４と一体的に変位する。このような構成により、第１のシャフト３１２が軸ＡＸ１（第１の軸）を中心として回転すると、その回転に応じて複数のボール３２１が回転する。このため、第１のシャフト３１２は、固定された側面部に対して（すなわち第３のシャフト３１４に対して）、ガタツキなく高精度に軸ＡＸ１の周りを回転することができる。例えば図２（ｄ）に示されるように、第１のシャフト３１２が軸ＡＸ１の周りを回転することにより、第１のシャフト３１２に取り付けられた第１のリンクアーム２１ａは、第１のリンクアーム２１ａ’の位置に移動する。

同様に、第２のシャフト３１３の側面には、第２のベアリング手段を構成する複数のボール３２２が第２のシャフト３１３の側面（内輪）を取り囲むように配置されている。また、複数のボール３２２の外側には、固定された側面部（外輪）が設けられている。この側面部も、第３のシャフト３１４と一体的に変位する。このような構成により、第２のシャフト３１３が軸ＡＸ２（第２の軸）を中心として回転すると、その回転に応じて複数のボール３２２が回転する。このため、第２のシャフト３１３は、固定された側面部に対して（すなわち第３のシャフト３１４に対して）、ガタツキなく高精度に軸ＡＸ２の周りを回転することができる。例えば図２（ｄ）に示されるように、第２のシャフト３１３が軸ＡＸ２の周りを回転することにより、第２のシャフト３１３に取り付けられた第２のリンクアーム２１ｂは、第２のリンクアーム２１ｂ’の位置に移動する。

第３のシャフト３１４は、軸ＡＸ３（第３の軸）に沿って、固定部材３１１の突起部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃに、第３のベアリング手段を介して取り付けられている。第３のシャフト３１４の側面（図２（ｂ）に示される断面図において、第３のシャフト３１４の左側および右側）には、第３のベアリング手段を構成する複数のボール３２３、３２４、３２５が、第３のシャフト３１４の側面（内輪）を取り囲むように配置されている。複数のボール３２３の外側には、固定された突起部３１１ａの側面部（外輪）が設けられている。同様に、複数のボール３２４の外側には、固定された突起部３１１ｂの側面部が設けられている。また、複数のボール３２５の外側には、固定された突起部３１１ｃの側面部が設けられている。

このような構成により、第３のシャフト３１４が軸ＡＸ３（第３の軸）を中心として回転すると、その回転に応じて複数のボール３２３、３２４、３２５が回転する。このため、第３のシャフト３１４は、固定された突起部３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃの側面部に対して（すなわち固定部材３１１に対して）、摩擦や摩耗することなく高精度に軸ＡＸ３の周りに回転可能となる。

このように本実施形態のリンク機構３１は、第１のベアリング手段（複数のボール３２１）、第２のベアリング手段（複数のボール３２２）、および、第３のベアリング手段（複数のボール３２３、３２４、３２５）を有する。第１のベアリング手段は、軸ＡＸ１（第１の軸）を中心として第１のシャフト３１２を回転可能に構成される。同様に、第２のベアリング手段は、軸ＡＸ２（第２の軸）を中心として第２のシャフト３１３を回転可能に構成される。また、第３のベアリング手段は、軸ＡＸ３（第３の軸）を中心として第３のシャフト３１４を回転可能に構成される。

本実施形態において、好ましくは、第１のベアリング手段、第２のベアリング手段、および、第３のベアリング手段は、アンギュラベアリング機構を有する。また好ましくは、第１の軸（軸ＡＸ１）および第２の軸（軸ＡＸ２）は互いに平行であり、第３の軸（軸ＡＸ３）は、第１の軸および第２の軸と直交している。また好ましくは、第３のシャフト３１４は、第３のベアリング手段により、固定部材３１１に対して第３の軸を中心として回転可能である。第１のシャフト３１２は、第１のベアリング手段により、第３のシャフト３１４に対して第１の軸を中心として回転可能である。第２のシャフト３１３は、第２のベアリング手段により、第３のシャフト３１４に対して第２の軸を中心として回転可能である。

好ましくは、リンク機構３１、サーボモータ５１、サーボモータ５１により駆動されるアーム７１、第１のシャフト３１２に連結された第１のリンクアーム２１ａ、および、第２のシャフト３１３に連結された第２のリンクアーム２１ｂにより、パラレルリンク装置（第１のパラレルリンク装置）が構成される。本実施形態のパラレルリンク装置において、第１のリンクアーム２１ａおよび第２のリンクアーム２１ｂは、第１のシャフト３１２、第２のシャフト３１３、および、第３のシャフト３１４を介して、アーム７１からの動力が伝達されるように構成されている。同様に、リンク機構３２、３３、サーボモータ５２、５３、アーム７２、７３、リンクアーム２２、２３により、第２のパラレルリンク装置および第３のパラレルリンク装置がそれぞれ構成される。

より好ましくは、リンク機構３１は、第１のリンク機構（リンク機構３１）および第２のリンク機構（リンク機構４１）を含む。第１のリンク機構は、第１のリンクアーム２１ａおよび第２のリンクアーム２１ｂの第１の端部（ベース１４側の端部）に設けられている。第２のリンク機構は、第２のリンクアーム２１ａおよび第２のリンクアーム２１ｂの第２の端部（搬送ヘッド１５側）に設けられている。

好ましくは、産業用ロボット１００は、パラレルリンク装置、および、ワークを搬送する搬送手段（搬送ヘッド１５）を有する。パラレルリンク装置は、第１のパラレルリンク装置）、第２のパラレルリンク装置、および、第３のパラレルリンク装置を含む。搬送手段は、第１のパラレルリンク装置、第２のパラレルリンク装置、および第３のパラレルリンク装置のそれぞれに設けられた複数の第２のリンク機構４１、４２、４３に接続されている。

なお、本実施形態の産業用ロボット１００は、３軸パラレルリンクロボットである。このため産業用ロボット１００では、従来のような６軸パラレルリンクロボットで必要とされていたＸ、Ｙ、Ｚ軸それぞれのリニアガイドが不要となる。すなわち産業用ロボット１００では、例えば、従来の３段構成のリニアガイドに代えて、１段構成のリニアガイドを用いればよい。このため産業用ロボット１００は、小さいサーボモータを使用することができ、軽量化を図ることが可能である。また産業用ロボット１００は、剛性を容易に向上させることができ、高速動作が可能となる。

次に、図３を参照して、本実施形態における産業用ロボット１００を備えたダイサー装置（切削装置）について説明する。図３は、ダイサー装置２００の概略構成図である。

ダイサー装置２００は、ワーク２０１を切削するように構成されている。ワーク２０１は、例えば、基板に搭載された半導体チップや半導体パッケージ等の半導体装置、または積層セラミックコンデンサであるが、これらに限定されるものではない。ダイサー装置２００は、供給ユニット２１０、切削ユニット２２０、および、収納ユニット２３０を備えている。

供給ユニット２１０は、切削対象となるワーク２０１を、切削ユニット２２０へ供給するための領域である。切削ユニット２２０は、ワーク２０１を切削（または切断）するための領域である。切削ユニット２２０には、ワーク２０１を載置するためのテーブル２２１が設けられている。テーブル２２１は、図３中の矢印Ａの方向（±Ｙ方向）に移動可能に構成されている。

また切削ユニット２２０には、ワーク２０１を切削する（ダイシングする）ためのスピンドル２２２ａ、２２２ｂ、および、ダイシングブレード２２４ａ、２２４ｂ（切削刃：以下、単に「ブレード」という）が設けられている。スピンドル２２２ａ、２２２ｂは、ダイサー装置２００の枠体に対してＸ方向に進退可能に取り付けられている。スピンドル２２２ａ、２２２ｂは互いに向かい合うように設けられており、Ｘ方向に互いに独立して移動可能に構成されている。ブレード２２４ａ、２２４ｂは、スピンドル２２２ａ、２２２ｂの先端部にそれぞれ取り付けられている。このように、本実施形態のダイサー装置２００は、２つのスピンドル２２２ａ、２２２ｂのブレード２２４ａ、２２４ｂ同士を対向して設け、ワーク２０１を同時に切削可能なツインスピンドル構成を有する。ただし本実施形態は、これに限定されるものではなく、１つのスピンドルのみを備えたシングルスピンドル構成を有するダイサー装置にも適用可能である。

テーブル２２１は、ワーク２０１をθ方向に回転可能に構成されたθテーブル（回転テーブル）である。ブレード２２４ａ、２２４ｂは、スピンドル２２２ａ、２２２ｂのそれぞれの内部に設けられたモータ（不図示）によりスピンドル２２２ａ、２２２ｂの回転とともに回転し、テーブル２２１上に載置されたワーク２０１を切削することが可能である。スピンドル２２２ａ、２２２ｂは、位置決めモータ（不図示）によりＸ方向に移動可能に構成されており、ワーク２０１の切削位置をＸ方向に移動させることができる。位置決めモータとしては、回転数が可変可能であって任意の値に設定できる例えばサーボモータやリニアモータが用いられる。このため、位置決めモータは、スピンドル２２２ａ、２２２ｂをＸ方向に任意の一定速度で移動させることができる。

テーブル２２１は、テーブルモータ（不図示）により駆動され、Ｙ軸方向に送り移動可能に構成されている。またテーブル２２１は、テーブル回転モータ（不図示）により駆動され、ＸＹ平面内でθ方向に回転可能に構成されている。このため、テーブル２２１に載置されたワーク２０１の切削方向を任意に設定することが可能となる。その他、切削ユニット２２０において、撮像装置（カメラ）やレーザ変位計を設けてもよい。撮像装置やレーザ変位計を用いることにより、より高精度な切削が可能となる。

ブレード２２４ａ、２２４ｂにより切削（切断）されたワーク２０２（個片化ワーク）は、クリーニング部２２５に載置され、クリーニング処理（洗浄処理）が行われる。これにより、切削の際に生じた切削屑等を効果的に除去することができる。

収納ユニット２３０は、切削後のワーク２０２を収容するための領域である。本実施形態の産業用ロボット１００は、切削ユニット２２０と収納ユニット２３０とを跨ぐように、産業用ロボット１００のベース１４がダイサー装置２００の天井に取り付けられている（図３において、この状態の産業用ロボット１００を二点鎖線の円で示している）。産業用ロボット１００の搬送ヘッド１５は、図３中の矢印Ｂ、Ｃの各方向（Ｘ方向、Ｙ方向のそれぞれ）及び上下方向（Ｚ方向）に所定の範囲内で自由に移動可能である。このため産業用ロボット１００は、クリーニング部２２５に載置されたクリーニング後のワーク２０２を、吸着手段を備えた搬送ヘッド１５に吸着させながら、収納ユニット２３０の収容部２３１へ移動させることができる。クリーニング部２２５に載置された全てのワーク２０２の収容部２３１への移動が完了した後、収容部２３１は矢印Ｄの方向（＋Ｙ方向）に移動し、収容部２３１に載置されたワーク２０２が取り出される。このようにダイサー装置２００は、産業用ロボット１００を有する。これにより、高精度で信頼性の高いダイサー装置が実現可能となる。

本実施形態によれば、高精度かつ信頼性の高いリンク機構、パラレルリンク装置、産業用ロボット、および、ダイサー装置を提供することができる。

以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。ただし、本発明は、上記実施形態にて説明した事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更可能である。

１４ ベース
２１、２２、２３ リンクアーム
２１ａ、２２ａ、２３ａ 第１のリンクアーム
２１ｂ、２２ｂ、２１ｂ 第２のリンクアーム
３１、３２、３３ 第１のリンク機構
４１、４２、４３ 第２のリンク機構
５１、５２、５３ サーボモータ
６１、６２、６３ ギアヘッド
７１、７２、７３ アーム
１００ 産業用ロボット
２００ ダイサー装置
３１１ 固定部材
３１２ 第１のシャフト
３１３ 第２のシャフト
３１４ 第３のシャフト
３２１ ボール（第１のベアリング手段）
３２２ ボール（第２のベアリング手段）
３２３、３２４、３２５ ボール（第３のベアリング手段）

Claims (8)

1. 第１のベアリング手段と、
   前記第１のベアリング手段により第１の軸を中心として回転可能な第１のシャフトと、
   第２のベアリング手段と、
   前記第２のベアリング手段により第２の軸を中心として回転可能な第２のシャフトと、
   第３のベアリング手段と、
   前記第１のシャフトおよび前記第２のシャフトに接続され、前記第３のベアリング手段により第３の軸を中心として回転可能な第３のシャフトと、を有することを特徴とするリンク機構。
2. 前記第１のベアリング手段、前記第２のベアリング手段、および、前記第３のベアリング手段は、アンギュラベアリング機構を有することを特徴とする請求項１に記載のリンク機構。
3. 前記第１の軸および前記第２の軸は互いに平行であり、
   前記第３の軸は、前記第１の軸および前記第２の軸と直交していることを特徴とする請求項１または２に記載のリンク機構。
4. 固定部材を更に有し、
   前記第３のシャフトは、前記第３のベアリング手段により、前記固定部材に対して前記第３の軸を中心として回転可能であり、
   前記第１のシャフトは、前記第１のベアリング手段により、前記第３のシャフトに対して前記第１の軸を中心として回転可能であり、
   前記第２のシャフトは、前記第２のベアリング手段により、前記第３のシャフトに対して前記第２の軸を中心として回転可能であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリンク機構。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載のリンク機構と、
   サーボモータと、
   前記サーボモータにより駆動されるアームと、
   前記第１のシャフトに連結された第１のリンクアームと、
   前記第２のシャフトに連結された第２のリンクアームと、を有し、
   前記第１のリンクアームおよび前記第２のリンクアームは、前記第１のシャフト、前記第２のシャフト、および、前記第３のシャフトを介して、前記アームからの動力が伝達されるように構成されていることを特徴とするパラレルリンク装置。
6. 前記リンク機構は、第１のリンク機構および第２のリンク機構を含み、
   前記第１のリンク機構は、前記第１のリンクアームおよび前記第２のリンクアームの第１の端部に設けられており、
   前記第２のリンク機構は、前記第２のリンクアームおよび前記第２のリンクアームの第２の端部に設けられていることを特徴とする請求項５に記載のパラレルリンク装置。
7. 請求項６に記載のパラレルリンク装置と、
   ワークを搬送する搬送手段と、を有し、
   前記パラレルリンク装置は、第１のパラレルリンク装置、第２のパラレルリンク装置、および、第３のパラレルリンク装置を含み、
   前記搬送手段は、前記第１のパラレルリンク装置、第２のパラレルリンク装置、および第３のパラレルリンク装置のそれぞれに設けられた複数の前記第２のリンク機構に接続されていることを特徴とする産業用ロボット。
8. 請求項７に記載の産業用ロボットを有することを特徴とするダイサー装置。