JP2015197217A - Open/close display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ステムの上下動によって弁の開閉を行なうアクチュエータの、開閉状態を示す開閉表示装置に関する発明である。なお、本願発明は、開閉駆動用流体の圧力をステムの駆動動力に変換するアクチュエータを有した、いわゆる空圧作動式の自動弁や、手動操作によって開閉を行なう手動弁、並びに、電磁石の磁力を開閉駆動動力として利用するいわゆる電磁弁であっても適用可能である。 The present invention relates to an open / close display device that indicates an open / close state of an actuator that opens and closes a valve by vertically moving a stem. In the present invention, the so-called pneumatically operated automatic valve having an actuator for converting the pressure of the fluid for opening and closing driving into the driving power of the stem, the manual valve for opening and closing by manual operation, and the magnetic force of the electromagnet Even a so-called electromagnetic valve used as opening / closing driving power can be applied.
製造プラント（例えば半導体製造プラント）において、ファシリティの各要所には、流体制御のための、大量のバルブが施工されることが一般的である。これらのバルブは、遠隔一括管理を可能にするために、一部を除き、遠隔開閉操作が可能な自動弁が用いられる場合が一般的である。 In a manufacturing plant (for example, a semiconductor manufacturing plant), a large number of valves for fluid control are generally installed at each point of the facility. In order to enable remote collective management, these valves generally use automatic valves that can be remotely opened and closed except for a part.
製造プラント内で使用される流体が高圧かつ大流量である場合、電磁弁を用いて流体制御を行なおうとすると、強力な駆動力を必要とするため、それを得るために巨大な動力、即ち巨大な電磁石をアクチュエータに内包することが必要となり、結果としてバルブが巨大となる。製造プラントにおいて、ファシリティの占有スペースが増加することは好ましくない。 When the fluid used in the manufacturing plant is high pressure and large flow rate, if the fluid control is performed using the solenoid valve, a strong driving force is required. It is necessary to enclose a huge electromagnet in the actuator, resulting in a huge valve. It is not preferable that the space occupied by the facility increases in the manufacturing plant.
上記を解決するために、製造プラント内の流体制御バルブには、バルブが小型であっても高圧かつ大流量の流体制御が可能な空圧作動式の自動弁が採用されることが一般的である。この場合、駆動空圧の供給ラインを別途設けて、駆動空圧供給のＯＮ−ＯＦＦをもって遠隔一括管理が行われる。 In order to solve the above-described problem, it is common to adopt a pneumatically operated automatic valve capable of controlling a high pressure and a large flow rate even if the valve is small, in order to solve the above-mentioned problem. is there. In this case, a separate supply line for driving air pressure is provided, and remote collective management is performed with ON / OFF of driving air pressure supply.
ところで、空圧作動式の自動弁は大まかに、流路を有したボディと、導入動力である空圧をバルブの開閉駆動動力に変換するアクチュエータから構成される。アクチュエータは、アクチュエータ内部の空室に気体を圧入・排出し、空圧により内部部品（例えばピストン）を弁開方向、弁閉方向に摺動させ弁開閉をする為、アクチュエータは気密性を保ち密閉状態になる構造でなければならない。 By the way, a pneumatically operated automatic valve is roughly composed of a body having a flow path and an actuator for converting the pneumatic pressure, which is the introduction power, into the opening / closing driving power of the valve. The actuator presses and discharges gas into and out of the vacant space inside the actuator, and the internal parts (for example, pistons) are slid in the valve opening direction and valve closing direction by the air pressure to open and close the valve. The structure must be in a state.
そのため、アクチュエータ外観から開閉状態を確認する事は難しい。例えば、ステムをアクチュエータ上部から露出させればバルブの開閉状態を外観から確認することができる。しかし、通常自動弁はＯＮ−ＯＦＦ弁であるため、最大流量を流通させるために必要な最低限のリフト量に構成する。リフト量を大きくすると、より大きな駆動力が必要となるためアクチュエータ内部の空室を巨大化させる必要があり、結果としてバルブの巨大化を招く。 Therefore, it is difficult to confirm the open / closed state from the appearance of the actuator. For example, if the stem is exposed from the upper part of the actuator, the open / closed state of the valve can be confirmed from the appearance. However, since an automatic valve is usually an ON-OFF valve, it is configured to have a minimum lift amount necessary for circulating a maximum flow rate. When the lift amount is increased, a larger driving force is required, so that the vacant space inside the actuator needs to be enlarged, resulting in an increase in the size of the valve.
即ち、通常リフト量（アクチュエータから露出したステムの稼動量）は最小とされているため、特に薄暗く視界の悪いプラント内では、外観の変化がわかり難いという問題があった。 That is, since the normal lift amount (the operation amount of the stem exposed from the actuator) is minimized, there is a problem that it is difficult to understand the change in the appearance particularly in a dimly lit plant with poor visibility.
上述の自動弁開閉状態の視認性に関する問題について、空圧式の場合は、駆動空圧供給の有無をもって自動弁の開閉状態を擬似的に把握することができる。しかし、駆動空圧供給ラインのどこかにリーク等の問題が発生している場合、又は自動弁本体に問題があり弁開閉の機能を成していない場合が想定される。 Regarding the above-mentioned problem concerning the visibility of the automatic valve open / close state, in the case of the pneumatic type, the open / close state of the automatic valve can be grasped in a pseudo manner by the presence or absence of the supply of driving air pressure. However, it is assumed that there is a problem such as a leak somewhere in the drive air pressure supply line, or there is a problem in the automatic valve body and the valve opening / closing function is not achieved.
従って、製造プラントにおいては、安全性を高めるため自動弁の開閉状態をより確実な方法（例えば、各自動弁毎の直接の開閉確認）により確認する必要がある。 Therefore, in the manufacturing plant, it is necessary to confirm the open / close state of the automatic valve by a more reliable method (for example, direct open / close confirmation for each automatic valve) in order to improve safety.
以上のように、製造プラントにおいては、自動弁の開閉状態を明確かつ確実に確認する必要がある。従来採用されている解決手段として、例えば、電気的なセンサーが使用される場合がある。当該センサーは、アクチュエータ内部に組込み、ピストンの駆動状態を物理的な接触、又は光学的な方法により感知し、バルブの開閉状態を出力されるものである。 As described above, in the manufacturing plant, it is necessary to clearly and surely check the open / closed state of the automatic valve. For example, an electrical sensor may be used as a conventional solution. The sensor is incorporated in the actuator, detects the driving state of the piston by physical contact or an optical method, and outputs the open / closed state of the valve.
しかし、当該センサーは高額であり、バルブ本体の価格と同程度、若しくはそれ以上の価格となる場合がある。前述の通り製造プラントには大量の自動弁が使用されるため、当該センサーを標準的に採用することは現実的ではない。 However, the sensor is expensive and may cost as much as or more than the price of the valve body. As described above, since a large number of automatic valves are used in the manufacturing plant, it is not practical to adopt the sensor as a standard.
本願発明に係る先行技術として、特許文献１が存在する。特許文献１に係る発明は、ステムの開閉駆動を利用して、バルブ外観から開閉状態を認識することができる発明である。即ち、ステムに揺動体が固定され、当該揺動体がアクチュエータ外部に設けられた開閉表示部材に連結しており、ステムの駆動により、連結している開閉表示部材を揺動させて切り替えることで物理的なバルブ開閉状態を外部から視認できるよう構成している。 As a prior art according to the present invention, Patent Document 1 exists. The invention according to Patent Document 1 is an invention that can recognize the open / closed state from the valve appearance by utilizing the opening / closing drive of the stem. In other words, a rocking body is fixed to the stem, and the rocking body is connected to an open / close display member provided outside the actuator. By driving the stem, the connected open / close display member is rocked and switched. A typical valve open / close state can be visually recognized from the outside.
特許文献１の発明の場合、アクチュエータ内部の揺動体とアクチュエータ外部の開閉表示部材を連結する必要があり、どうしてもその構造が複雑になってしまうという問題があった In the case of the invention of Patent Document 1, it is necessary to connect the swinging body inside the actuator and the open / close display member outside the actuator, which inevitably has a complicated structure.
本発明が解決しようとする課題は上述の通り、バルブの外観からバルブの開閉状態を明確かつ確実に確認できる装置であって、特に構造が単純で安価な開閉表示装置を提供することにある。 As described above, the problem to be solved by the present invention is to provide an open / close display device that is capable of clearly and surely confirming the open / closed state of the valve from the appearance of the valve, and that is particularly simple in structure and inexpensive.
請求項１に係る発明は、流体通路を有するボディと、ボディに接続され、アクチュエータの外装をなすアクチュエータボディと、アクチュエータボディ内部に構成されたステムと、ステムと一体に構成された駆動部と、ステムを駆動部を介して一方向に付勢する付勢部材とを備えたバルブであって、駆動部と共動するように構成された磁石が設けられ、アクチュエータボディ外部にはバルブ開閉状態を示す開閉表示部材が配置され、当該開閉表示部材に固定された磁性体は、駆動部に構成された磁石の磁力により、磁石と連動して開閉表示部材を駆動させることを特徴とするバルブに関する。 The invention according to claim 1 includes a body having a fluid passage, an actuator body connected to the body and forming an exterior of the actuator, a stem configured inside the actuator body, a drive unit configured integrally with the stem, A valve having a biasing member that biases the stem in one direction via the drive unit, and a magnet configured to cooperate with the drive unit is provided, and the valve body is opened and closed in the outside of the actuator body. An opening / closing display member is disposed, and a magnetic body fixed to the opening / closing display member is related to a valve characterized in that the opening / closing display member is driven in conjunction with a magnet by the magnetic force of a magnet configured in a drive unit.
請求項２に係る発明は、開閉表示部材の一部を隠すように開閉表示部材の外部に構成され、開閉表示部材の駆動に追随しないブラインド部材が設けられたことを特徴とする請求項１のバルブに関する。 The invention according to claim 2 is characterized in that a blind member is provided outside the open / close display member so as to hide a part of the open / close display member, and does not follow the drive of the open / close display member. Regarding valves.
請求項３に係る発明は、開閉表示部材がアクチュエータボディ外部全周を覆うよう構成され、アクチュエータボディ外周全方向から開閉状態を認識できることを特徴とする請求項１乃至請求項２のバルブに関する。 The invention according to claim 3 relates to the valve according to claim 1 or 2, wherein the open / close display member is configured to cover the entire outer periphery of the actuator body, and the open / closed state can be recognized from all directions of the outer periphery of the actuator body.
請求項４に係る発明は、アクチュエータボディ外部全周を覆った開閉表示部材の一部が間欠していることを特徴とする請求項３のバルブに関する。 The invention according to claim 4 relates to the valve according to claim 3, wherein a part of the open / close display member covering the entire outer periphery of the actuator body is intermittent.
請求項５に係る発明は、アクチュエータボディ外部の構成部材を保持し、磁石の位置に合わせて磁性体を位置決めする固定部材が構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のバルブに関する。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the valve according to any one of the first to fourth aspects, wherein the fixing member is configured to hold a component member outside the actuator body and position the magnetic body in accordance with the position of the magnet. About.
請求項６に係る発明は、帯状の固定部材がアクチュエータボディを密着被覆し、固定部材の一部がアクチュエータから遠ざかる方向に曲折し、別の曲折により再度アクチュエータボディに密着し、当該曲折により生じた固定部材とアクチュエータボディの隙間にアクチュエータボディ外部の他部材が保持されていることを特徴とする請求項５のバルブに関する。 In the invention according to claim 6, the belt-shaped fixing member tightly coats the actuator body, a part of the fixing member is bent in a direction away from the actuator, and is further closely attached to the actuator body by another bending. 6. The valve according to claim 5, wherein another member outside the actuator body is held in a gap between the fixed member and the actuator body.
本発明の実施形態を、図１乃至図４を用いて説明する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
図１を用いて、本願発明に係るアクチュエータ（１）の構造を示す（バルブボディについては図示省略）。アクチュエータ（１）は、大きくアクチュエータボディ（２）により構成されている。アクチュエータボディ（２）は、複数の部品（個別図示省略）を溶接部（１４）で溶接することによりその形状を成している。 FIG. 1 shows the structure of the actuator (1) according to the present invention (the valve body is not shown). The actuator (1) is largely composed of an actuator body (2). The actuator body (2) is formed by welding a plurality of parts (not shown individually) at the welded portion (14).
アクチュエータボディ（２）には、空室（１８）に、バルブ駆動圧を流入させる駆動圧導入部（１３）が設けられている。導入された流体は、Ｏリング（１２）により密閉された空室（１８）に保持されつつ、駆動部（４）を、付勢部材（５）を圧縮する方向に駆動させる。 The actuator body (2) is provided with a driving pressure introducing portion (13) for allowing the valve driving pressure to flow into the empty chamber (18). The introduced fluid drives the drive unit (4) in a direction to compress the biasing member (5) while being held in the empty chamber (18) sealed by the O-ring (12).
アクチュエータボディ（２）には、ステム上部先端（１９）を露出させる露出部（１０）が設けられている。前述の駆動部（４）とステム（３）は、固定部材（１５）により固定されているため、駆動部（４）とステム（３）は連動駆動する。即ち、駆動部（４）が駆動圧導入部（１３）から導入された流体により駆動すると、ステム（３）のステム上部先端（１９）が露出部（１０）から露出する。視認性は後に説明する開閉表示機（３０）に及びないが、ステム上部先端（１９）の露出状態を確認することで、アクチュエータ（１）内部の状態を確認することができる。 The actuator body (2) is provided with an exposed portion (10) that exposes the stem upper end (19). Since the drive unit (4) and the stem (3) are fixed by the fixing member (15), the drive unit (4) and the stem (3) are driven in an interlocking manner. That is, when the driving unit (4) is driven by the fluid introduced from the driving pressure introducing unit (13), the stem upper end (19) of the stem (3) is exposed from the exposed unit (10). Although the visibility does not reach the opening / closing display (30) described later, the state inside the actuator (1) can be confirmed by confirming the exposed state of the stem upper end (19).
他に、アクチュエータボディ（２）には、ボディ螺合部（１６）と、空気抜け開孔（１１）が設けられている。ボディ螺合部（１６）はネジが切られており、バルブボディのソケット（図示省略）と螺合することによりアクチュエータ（１）とバルブボディを固定する。空気抜け開孔（１１）は、駆動部（４）が付勢部材（５）を圧縮する方向に駆動した際、アクチュエータボディ（２）内部の空気を外部に排出する機能を有する。 In addition, the actuator body (2) is provided with a body screwing portion (16) and an air vent hole (11). The body screwing portion (16) is threaded, and the actuator (1) and the valve body are fixed by screwing with a socket (not shown) of the valve body. The air vent hole (11) has a function of discharging the air inside the actuator body (2) to the outside when the drive unit (4) is driven in a direction to compress the biasing member (5).
アクチュエータ（１）内部には、前述のステム（３）が構成されている。ステム（３）は、ステムガイド（１７）にガイドされつつ、固定部（１５）により、アクチュエータボディ（２）からの脱落を防止されている。ステム（３）には、弁体部（２０）が設けられている。ステム（３）に固定された駆動部（４）が付勢手段（５）により付勢され、ステム（３）は下降し、バルブボディの流路（図示省略）を弁体部（２０）が遮断することにより弁閉が行われる。また、上記で記載した通り、空室（１８）に駆動圧が供給されると駆動部が（４）付勢部材（５）を圧縮する方向へ駆動する。この際、弁体部（２０）はバルブボディの流路（図示省略）から離間するため、バルブは弁開となる。 The aforementioned stem (3) is configured inside the actuator (1). The stem (3) is prevented from falling off from the actuator body (2) by the fixing portion (15) while being guided by the stem guide (17). The stem (3) is provided with a valve body (20). The drive portion (4) fixed to the stem (3) is urged by the urging means (5), the stem (3) is lowered, and the valve body portion (20) moves through the flow path (not shown) of the valve body. The valve is closed by shutting off. Further, as described above, when driving pressure is supplied to the vacant chamber (18), the driving section drives (4) the biasing member (5) in a compressing direction. At this time, since the valve body portion (20) is separated from the flow path (not shown) of the valve body, the valve is opened.
アクチュエータ（１）内部には、磁石（６）が構成されている。当該磁石（６）は、駆動部（４）に固定されている。固定方法は、ボルト固定（図示省略）、接着剤による固定、嵌入による固定（図示省略）のいずれであっても良いことはもちろんである。磁石（６）の機能については後述する。 A magnet (6) is configured in the actuator (1). The magnet (6) is fixed to the drive unit (4). Of course, the fixing method may be any of bolt fixing (not shown), fixing with an adhesive, and fixing by fitting (not shown). The function of the magnet (6) will be described later.
図２を用いて、開閉表示機（３０）のアクチュエータボディ（２）への固定方法を示す。開閉表示機（３０）の詳細については後述する。 A method of fixing the open / close display (30) to the actuator body (2) will be described with reference to FIG. Details of the open / close display (30) will be described later.
開閉表示機（３０）は、固定バンド（４０）に設けられた開閉表示機保持部（４２）に保持される形で固定される。固定バンド（４０）は、伸縮変形可能な素材であれば良く、例えばシリコン樹脂が選択される。 The open / close display (30) is fixed in a form that is held by an open / close display holding unit (42) provided in the fixed band (40). The fixing band (40) may be any material that can be expanded and contracted. For example, silicon resin is selected.
固定バンド（４０）は図２で示すごとく、一端に設けられた係合凸部（４１）に、もう一端に設けられた係合凹部（４３）が係合することによりアクチュエータボディ（２）を締付けつつ固定される。当該係合部は本実施例の場合は２組であるが、１組、若しくは３組以上として良いことはもちろんである。 As shown in FIG. 2, the fixed band (40) engages the engagement convex portion (41) provided at one end with the engagement concave portion (43) provided at the other end. It is fixed while tightening. In the present embodiment, there are two sets of the engaging portions, but it is needless to say that one set or three or more sets may be used.
図３を用いて、開閉表示機（３０）の構成について示す。開閉表示機（３０）は、アクチュエータボディ（２）への装着時、外径側から、ブラインド部材（３２）、開閉表示機フレーム（３６）、開閉表示部材（３７）、磁性体（３８）（図４で示す）、及びガイド部材（３４）で構成される。 The configuration of the open / close display (30) will be described with reference to FIG. When the opening / closing indicator (30) is attached to the actuator body (2), the blind member (32), the opening / closing indicator frame (36), the opening / closing indicator member (37), the magnetic body (38) ( 4) and a guide member (34).
開閉表示機フレーム（３６）は、開閉表示機（３０）の筐体の一部となる。即ち、開閉表示フレームに、ブラインド部材（３２）、並びにガイド部材（３４）を嵌入、若しくは溶着することにより開閉表示機（３０）の筐体が製作される。 The open / close display frame (36) is a part of the casing of the open / close display (30). That is, the casing of the opening / closing display (30) is manufactured by fitting or welding the blind member (32) and the guide member (34) to the opening / closing display frame.
ブラインド部材（３２）は、ブラインド部（３３）が、開閉表示部材（３７）の開閉表示部（３１）の一部、即ちＯＰＥＮ、若しくはＣＬＯＳＥの表記のいずれかを遮蔽する機能を有する。開閉表示部材（３７）については後述する。 The blind member (32) has a function in which the blind part (33) shields a part of the opening / closing display part (31) of the opening / closing display member (37), that is, either OPEN or CLOSE. The opening / closing display member (37) will be described later.
ガイド部材（３４）に設けられたガイド部（３５）が、開閉表示部材（３７）の被ガイド部（３５ａ）に係合することにより、開閉表示部材（３７）の駆動はより円滑になる。なお、ガイド部材（３４）は、磁石（６）と磁性体（３８）の間に位置するため、磁石（６）と磁性体（３８）の距離を最短にし、必要な吸着力を確保するため、必要に応じて薄板とする必要がある。また、磁石（６）の周辺をヨーク（図示省略）で覆い、必要に応じて磁力を調整することが望ましい。 The guide part (35) provided on the guide member (34) engages with the guided part (35a) of the open / close display member (37), so that the drive of the open / close display member (37) becomes smoother. Since the guide member (34) is located between the magnet (6) and the magnetic body (38), the distance between the magnet (6) and the magnetic body (38) is minimized to ensure a necessary attracting force. It is necessary to make it a thin plate if necessary. Further, it is desirable to cover the periphery of the magnet (6) with a yoke (not shown) and adjust the magnetic force as necessary.
開閉表示部材（３７）、ガイド部材（３４）、並びに磁性体（３８）の関係について、図４を用いて示す。開閉表示部材（３７）の背面（３９）には、被ガイド部（３５ａ）と磁性体嵌入部（３８ａ）が設けられている。被ガイド部（３５ａ）に、ガイド部材（３４）のガイド部（３５）が係合する。また、磁性体嵌入部（３８ａ）に、磁性体（３８）が嵌入される。 The relationship between the open / close display member (37), the guide member (34), and the magnetic body (38) will be described with reference to FIG. On the back surface (39) of the open / close display member (37), a guided portion (35a) and a magnetic material insertion portion (38a) are provided. The guide portion (35) of the guide member (34) engages with the guided portion (35a). The magnetic body (38) is inserted into the magnetic body insertion portion (38a).
本実施例において、開閉表示機（３０）１組で、アクチュエータボディ（２）外周の９０°を覆うことになる。視認性を向上させるため、アクチュエータボディ（２）全周を覆うよう、開閉表示機（３０）は４組、即ち３６０°を覆うように構成することが望ましい。 In this embodiment, one set of the open / close display (30) covers 90 ° of the outer periphery of the actuator body (2). In order to improve visibility, the open / close display (30) is preferably configured to cover four sets, that is, 360 ° so as to cover the entire circumference of the actuator body (2).
以上の通り、本願発明を用いれば、バルブの開閉状態を物理的に確実かつ明確な方法でバルブ外観から視認できるようになる。また、従来用いられていた方法に比べ、構造が単純であり、安価での製作が可能である。 As described above, when the present invention is used, the open / closed state of the valve can be visually recognized from the valve appearance in a physically reliable and clear manner. In addition, the structure is simple compared to the conventionally used method, and it can be manufactured at low cost.
（１）：アクチュエータ、（２）：アクチュエータボディ、（３）：ステム、（４）：駆動部、（５）：付勢部材、（６）：磁石、
（１０）：露出部、（１１）：空気抜き開孔、（１２）：Ｏリング、（１３）：駆動圧導入部、（１４）：溶接部、（１５）：固定部材、（１６）：ボディ螺合部、（１７）：ステムガイド、（１８）：空室、（１９）：ステム上部先端、（２０）：弁体部、
（３０）：開閉表示機、（３１）：開閉表示部、（３２）：ブラインド部材、（３３）：ブラインド部、（３４）：ガイド部材、（３５）：ガイド部、（３５ａ）：被ガイド部、（３６）：開閉表示機フレーム、（３７）：開閉表示部材、（３８）：磁性体、（３８ａ）：磁性体嵌入部、（３９）：背面、
（４０）：固定バンド、（４１）：係合凸部、（４２）：開閉表示機保持部、（４３）：係合凹部、(1): Actuator, (2): Actuator body, (3): Stem, (4): Drive part, (5): Biasing member, (6): Magnet,
(10): Exposed portion, (11): Air vent hole, (12): O-ring, (13): Driving pressure introducing portion, (14): Welded portion, (15): Fixing member, (16): Body Threaded portion, (17): stem guide, (18): vacant space, (19): stem upper end, (20): valve body portion,
(30): Open / close indicator, (31): Open / close display section, (32): Blind member, (33): Blind section, (34): Guide member, (35): Guide section, (35a): Guided (36): Opening / closing display frame, (37): Opening / closing display member, (38): Magnetic body, (38a): Magnetic body insertion part, (39): Back surface,
(40): Fixed band, (41): Engaging convex part, (42): Opening / closing display holding part, (43): Engaging concave part,
Claims (6)
請求項１のバルブ。2. The valve according to claim 1, wherein a blind member is provided outside the open / close display member so as to hide a part of the open / close display member and does not follow the drive of the open / close display member.
請求項１乃至請求項２のバルブ。3. The valve according to claim 1, wherein the open / close display member is configured to cover the entire outer periphery of the actuator body, and the open / closed state can be recognized from all directions of the outer periphery of the actuator body.
請求項３のバルブ。4. The valve according to claim 3, wherein a part of the open / close display member covering the entire outer periphery of the actuator body is intermittent.
請求項１乃至請求項４のバルブ。The valve according to any one of claims 1 to 4, wherein a fixing member for holding a constituent member outside the actuator body and positioning the magnetic body in accordance with the position of the magnet is configured.
請求項５のバルブ。The band-shaped fixing member covers the actuator body tightly, and a part of the fixing member bends away from the actuator, and then comes into close contact with the actuator body again by another bend, and the gap between the fixing member and the actuator body generated by the bending 6. The valve according to claim 5, wherein another member outside the actuator body is held.
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