JP2015189658A

JP2015189658A - Method and apparatus for manufacturing glass sheet

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Publication number: JP2015189658A
Application number: JP2014070652A
Authority: JP
Inventors: 清水　邦彦; Kunihiko Shimizu; 邦彦清水
Original assignee: Avanstrate Inc; Avanstrate Asia Pte Ltd
Current assignee: Avanstrate Inc; Avanstrate Asia Pte Ltd
Priority date: 2014-03-29
Filing date: 2014-03-29
Publication date: 2015-11-02

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method, etc., for manufacturing a glass sheet, capable of preventing glass wastes generated when a scribe line is formed on the sheet glass molded by a down draw method from being stuck to the sheet glass.SOLUTION: The method for manufacturing a glass plate by a down draw method comprises: a molding step of molding molten glass into a sheet glass using a molding; a slow cooling step of slowly cooling the sheet glass while conveying it downward; a scribing step of forming a scribe line in a direction orthogonal to the conveying direction of the sheet glass on the surface of the sheet glass; an air flow generation step of generating an air flow in the conveying direction of the sheet glass to send glass wastes generated in the scribing step downward by the air flow; and a removal step of removing the glass wastes sent downward.

Description

本発明は、ガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置に関する。 The present invention relates to a glass plate manufacturing method and a glass plate manufacturing apparatus.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）に用いるガラス基板には、厚さが例えば０．５〜０．７ｍｍと薄いガラス板が用いられている。この薄いガラス板を製造する方法として、ダウンドロー法が知られている。ダウンドロー法では、成形体に溶融ガラスを流し込んだ後、当該溶融ガラスを成形体からオーバーフローさせる。溶融ガラスは、その後、成形体に沿って流下する。溶融ガラスは、成形体の下端部で合流し、その後、成形体を離れてシート状のガラス（シートガラス）となる。シートガラスは、流下する過程において炉内でローラによって挟み込まれ、下方に引き下げられながら冷却される。その後、シートガラスは、所望の大きさに切断（折割）され、さらに加工されてガラス基板となる（例えば、特許文献１参照）。 As a glass substrate used for a flat panel display (hereinafter referred to as “FPD”) such as a liquid crystal display or a plasma display, a thin glass plate having a thickness of, for example, 0.5 to 0.7 mm is used. The down draw method is known as a method for producing this thin glass plate. In the downdraw method, molten glass is poured into a molded body, and then the molten glass is allowed to overflow from the molded body. The molten glass then flows down along the shaped body. Molten glass merges at the lower end of the molded body, and then leaves the molded body to become sheet-like glass (sheet glass). In the process of flowing down, the sheet glass is sandwiched by rollers in the furnace and cooled while being lowered. Thereafter, the sheet glass is cut (broken) into a desired size and further processed into a glass substrate (see, for example, Patent Document 1).

シートガラスの厚さをさらに薄くしようとする場合、シートガラスを下方に引き下げる速度を上げる必要がある。シートガラスの引き下げ速度を上げるためには、シートガラスにスクライブ線を形成（刻設）する速度を上げて、シートガラスを所望の大きさに切断する速度を上げる必要がある。 In order to further reduce the thickness of the sheet glass, it is necessary to increase the speed at which the sheet glass is pulled downward. In order to increase the pulling speed of the sheet glass, it is necessary to increase the speed at which the scribe line is formed (engraved) on the sheet glass and the sheet glass is cut into a desired size.

特開２０１３−４３８２８号公報JP 2013-43828 A

しかしながら、シートガラスにスクライブ線を形成する速度を上げると、スクライブ時に発生するガラス屑が増加し、このガラス屑がシートガラスに付着するおそれがある。ガラス屑がシートガラスに付着すると、シートガラスの品質が低下し、シートガラスから加工するガラス基板の品質低下にもつながる。 However, if the speed at which the scribe lines are formed on the sheet glass is increased, the glass dust generated at the time of scribing increases, and this glass dust may adhere to the sheet glass. When glass waste adheres to the sheet glass, the quality of the sheet glass deteriorates, leading to a deterioration in the quality of the glass substrate processed from the sheet glass.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ダウンドロー法において、シートガラスを引き下げる速度を上げて薄いシートガラスを成形する際に、シートガラスにスクライブ線を形成する速度を上げても、シートガラスにガラス屑が付着しないガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and in the downdraw method, when forming a thin sheet glass by increasing the speed of lowering the sheet glass, the speed of forming the scribe line on the sheet glass can be increased. An object of the present invention is to provide a glass plate manufacturing method and a glass plate manufacturing apparatus in which glass waste does not adhere to sheet glass.

本発明の一態様は、ダウンドロー法によるガラス板の製造方法であって、
成形体を用いて熔融ガラスをシートガラスに成形する成形工程と、
前記シートガラスを下方向に搬送しながら徐冷を行う徐冷工程と、
前記シートガラスの表面に、前記シートガラスの搬送方向と直交する方向にスクライブ線を形成するスクライブ工程と、
前記シートガラスの搬送方向に沿って下降する気流を発生させ、前記スクライブ工程で発生したガラス屑を前記気流により下方向に送る気流発生工程と、
前記下方向に送られたガラス屑を除去する除去工程と、を備える、
ことを特徴とする。 One aspect of the present invention is a method for producing a glass plate by a downdraw method,
A molding step of molding a molten glass into a sheet glass using a molded body;
A slow cooling step of performing slow cooling while conveying the sheet glass downward;
On the surface of the sheet glass, a scribe process for forming a scribe line in a direction orthogonal to the conveying direction of the sheet glass;
An air flow generating step of generating an air flow descending along the conveying direction of the sheet glass, and sending glass waste generated in the scribing step downward by the air flow;
A removal step of removing glass scraps sent in the downward direction,
It is characterized by that.

前記気流発生工程において、前記シートガラスの搬送先である床面まで前記ガラス屑を送り、
前記除去工程において、前記床面に形成された吸引口から前記ガラス屑を吸引する、ことが好ましい。 In the air flow generation step, the glass waste is sent to the floor surface to which the sheet glass is conveyed,
In the removing step, it is preferable to suck the glass waste from a suction port formed on the floor surface.

前記スクライブ工程では、６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒でスクライブ線が形成される、ことが好ましい。 In the scribe process, it is preferable that a scribe line is formed at 600 mm / second to 1200 mm / second.

前記シートガラスの厚さは、０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍであり、
前記気流発生工程において、前記シートガラスのスクライブ線の形成面と、その反対の反対面とに、速度が一定の気流を発生させて、前記シートガラスの揺れを抑制する、ことが好ましい。 The sheet glass has a thickness of 0.05 mm to 0.4 mm,
In the air flow generation step, it is preferable that an air flow having a constant speed is generated on the surface on which the scribe line of the sheet glass is formed and the opposite surface to suppress the shaking of the sheet glass.

本発明の他の一態様は、ダウンドロー法によるガラス板の製造装置であって、
成形体を用いて熔融ガラスをシートガラスに成形する成形装置と、
前記シートガラスを下方向に搬送しながら徐冷を行う徐冷装置と、
前記シートガラスの表面に、前記シートガラスの搬送方向と直交する方向にスクライブ線を形成するスクライブ装置と、
前記シートガラスの搬送方向に沿って下降する気流を発生させ、前記スクライブ線の形成時に発生したガラス屑を前記気流により下方向に送る気流発生装置と、
前記下方向に送られたガラス屑を除去する除去装置と、を備える、
ことを特徴とする。 Another aspect of the present invention is an apparatus for producing a glass plate by a downdraw method,
A molding apparatus for molding molten glass into sheet glass using a molded body;
A slow cooling device that performs slow cooling while conveying the sheet glass downward;
On the surface of the sheet glass, a scribe device that forms a scribe line in a direction orthogonal to the conveying direction of the sheet glass,
An air flow generating device that generates an air flow descending along a conveying direction of the sheet glass, and sends glass waste generated when forming the scribe line downward by the air flow;
A removal device for removing glass scraps sent in the downward direction,
It is characterized by that.

本発明によれば、ダウンドロー法において、シートガラスを引き下げる速度を上げて薄いシートガラスを成形する際に、シートガラスにスクライブ線を形成する速度を上げても、シートガラスにガラス屑が付着するのを抑制できる。 According to the present invention, in the downdraw method, when forming a thin sheet glass by increasing the speed at which the sheet glass is pulled down, glass dust adheres to the sheet glass even if the speed at which scribe lines are formed on the sheet glass is increased. Can be suppressed.

本実施形態であるガラス板の製造方法のフローを示す図である。It is a figure which shows the flow of the manufacturing method of the glass plate which is this embodiment. 本実施形態の熔解工程〜切断工程を行う装置を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the apparatus which performs the melting process-cutting process of this embodiment. 本実施形態におけるガラス板の成形装置、徐冷装置、および、スクライブ装置を示す図である。It is a figure which shows the shaping | molding apparatus, slow cooling apparatus, and scribing apparatus of the glass plate in this embodiment. 図３のスクライブ装置を背面側から見て示す図である。It is a figure which shows the scribing apparatus of FIG. 3 as seen from the back side. シートガラス及び気流発生装置を平面視した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which planarly viewed the sheet glass and the airflow generation device. シートガラスＧに付着したガラス屑を除去する方法を説明する図である。It is a figure explaining the method of removing the glass waste adhering to the sheet glass.

以下、本発明に係るガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置について説明する。図１は、本実施形態であるガラス板の製造方法のフローを示す図である。 Hereinafter, the manufacturing method of the glass plate which concerns on this invention, and the manufacturing apparatus of a glass plate are demonstrated. FIG. 1 is a diagram showing a flow of a glass plate manufacturing method according to the present embodiment.

（ガラス板の製造方法の全体概要）
ガラス板の製造方法は、熔解工程（ＳＴ１）と、清澄工程（ＳＴ２）と、均質化工程（ＳＴ３）と、供給工程（ＳＴ４）と、成形工程（ＳＴ５）と、徐冷工程（ＳＴ６）と、切断工程（ＳＴ７）と、を主に有する。この他に、研削工程、研磨工程、洗浄工程、検査工程、梱包工程等を有し、梱包工程で積層された複数のガラス板は、納入先の業者に搬送される。 (Overall overview of glass plate manufacturing method)
The glass plate manufacturing method includes a melting step (ST1), a refining step (ST2), a homogenizing step (ST3), a supplying step (ST4), a forming step (ST5), and a slow cooling step (ST6). And a cutting step (ST7). In addition, a plurality of glass plates that have a grinding process, a polishing process, a cleaning process, an inspection process, a packing process, and the like and are stacked in the packing process are conveyed to a supplier.

図２は、熔解工程（ＳＴ１）〜切断工程（ＳＴ７）を行う装置を模式的に示す図である。当該装置は、図２に示すように、主に熔解装置２００と、成形装置３００と、切断装置４００と、を有する。熔解装置２００は、熔解槽２０１と、清澄槽２０２と、攪拌槽２０３と、ガラス供給管２０４，２０５，２０６と、を主に有する。なお、ガラス供給管２０４，２０５は、熔融ガラスＭＧを流す金属管であるとともに清澄機能を有するので、実質的に清澄槽でもある。熔解槽２０１以降、成形装置３００までの各槽間を接続するガラス供給管２０４，２０５，２０６および清澄槽２０２と攪拌槽２０３の本体部分とは、白金あるいは白金合金管により構成されている。ガラス供給管２０４、２０５は円筒形状もしくは、樋形状を成している。 FIG. 2 is a diagram schematically showing an apparatus for performing the melting step (ST1) to the cutting step (ST7). As shown in FIG. 2, the apparatus mainly includes a melting apparatus 200, a forming apparatus 300, and a cutting apparatus 400. The melting apparatus 200 mainly has a melting tank 201, a clarification tank 202, a stirring tank 203, and glass supply pipes 204, 205, and 206. In addition, since the glass supply pipes 204 and 205 are metal pipes through which the molten glass MG flows, and have a clarification function, they are also substantially clarification tanks. The glass supply pipes 204, 205, 206 and the clarification tank 202 and the main part of the stirring tank 203 connecting the tanks from the melting tank 201 to the molding apparatus 300 are made of platinum or a platinum alloy pipe. The glass supply tubes 204 and 205 have a cylindrical shape or a bowl shape.

熔解工程（ＳＴ１）では、ＳｎＯ_２が清澄剤として添加されて熔解槽２０１内に供給されたガラス原料、すなわちＳｎＯ_２を清澄剤として含むガラス原料を、少なくとも電極を用いた通電加熱により熔解することで、熔融ガラスＭＧを得る。さらに、電極を用いた通電加熱の他に、図示されない火焔を用いてガラス原料を熔解して熔融ガラスＭＧを得てもよい。通電加熱と火炎を用いたガラス原料の熔解を行う場合、具体的には、図示されない原料投入装置を用いてガラス原料は熔融ガラスＭＧの液面に分散させて供給される。ガラス原料は、火炎で高温となった気相により加熱されて徐々に熔解し、熔融ガラスＭＧ中に溶ける。熔融ガラスＭＧは、通電加熱により昇温される。 In the melting step (ST1), SnO ₂ is added as a fining agent, and the glass raw material supplied into the melting tank 201, that is, a glass raw material containing SnO ₂ as a fining agent is melted by at least electric heating using an electrode. Thus, molten glass MG is obtained. Further, in addition to the electric heating using the electrodes, a glass raw material may be melted using a flame (not shown) to obtain a molten glass MG. When performing melting of the glass raw material using electric heating and flame, specifically, the glass raw material is supplied while being dispersed on the liquid surface of the molten glass MG using a raw material charging device (not shown). The glass raw material is heated and melted gradually by a gas phase heated to a high temperature by a flame and melted in the molten glass MG. Molten glass MG is heated by energization heating.

清澄工程（ＳＴ２）は、清澄槽２０２、ガラス供給管２０４，２０５において行われる。清澄工程では、ガラス供給管２０４内の熔融ガラスＭＧが昇温されることにより、熔融ガラスＭＧ中に含まれるＯ_２、ＣＯ_２あるいはＳＯ_２等のガス成分を含んだ泡が、清澄剤であるＳｎＯ_２の還元反応により生じたＯ_２を吸収して成長し、熔融ガラスＭＧの液面に浮上して放出される。また、清澄工程では、熔融ガラスＭＧの温度の低下による泡中のガス成分の内圧が低下することと、ＳｎＯ_２の還元反応により得られたＳｎＯが熔融ガラスＭＧの温度の低下によって酸化反応をすることにより、熔融ガラスＭＧに残存する泡中のＯ_２等のガス成分が熔融ガラスＭＧ中に再吸収されて、泡が消滅する。 The clarification step (ST2) is performed in the clarification tank 202 and the glass supply tubes 204 and 205. In the clarification process, the molten glass MG in the glass supply pipe 204 is heated, so that bubbles containing gas components such as O ₂ , CO ₂ or SO ₂ contained in the molten glass MG are clarifiers. It grows by absorbing O ₂ generated by the reduction reaction of SnO ₂ and floats on the liquid surface of the molten glass MG and is released. Further, in the clarification step, the internal pressure of the gas component in the foam due to the temperature drop of the molten glass MG decreases, and SnO obtained by the reduction reaction of SnO ₂ undergoes an oxidation reaction due to the temperature decrease of the molten glass MG. Thus, gas components such as O ₂ in the foam remaining in the molten glass MG are reabsorbed in the molten glass MG, and the foam disappears.

均質化工程（ＳＴ３）では、ガラス供給管２０５を通って供給された攪拌槽２０３内の熔融ガラスＭＧを、スターラ２０３ａを用いて攪拌することにより、ガラス成分の均質化を行う。なお、攪拌槽２０３は２つ以上設けられてもよい。 In the homogenization step (ST3), the glass component is homogenized by stirring the molten glass MG in the stirring tank 203 supplied through the glass supply pipe 205 using the stirrer 203a. Two or more stirring tanks 203 may be provided.

供給工程（ＳＴ４）では、ガラス供給管２０６を通して熔融ガラスＭＧが成形装置３００に供給される。 In the supply step (ST4), molten glass MG is supplied to the forming apparatus 300 through the glass supply pipe 206.

成形工程（ＳＴ５）では、成形装置３００において、熔融ガラスＭＧをシートガラス（板状ガラス）Ｇに成形し、シートガラスＧの流れを作る。本実施形態では、成形体３１０を用いたオーバーフローダウンドロー法を用いる。なお、成形工程（ＳＴ５）では、スロットダウンドロー法を用いて成形を行ってもよい。 In the forming step (ST5), in the forming apparatus 300, the molten glass MG is formed into a sheet glass (plate glass) G, and a flow of the sheet glass G is created. In the present embodiment, an overflow down draw method using the molded body 310 is used. In the molding step (ST5), molding may be performed using a slot down draw method.

徐冷工程（ＳＴ６）では、徐冷装置において、成形装置３００から供給されるシートガラスＧが所望の厚さになり、平面歪が生じないように、さらに、熱収縮率が大きくならないように、冷却される。シートガラスＧは、例えば、５０〜８０ｍｍ／秒の移動速度で、鉛直下方に向かって搬送される。 In the slow cooling step (ST6), in the slow cooling device, the sheet glass G supplied from the forming device 300 has a desired thickness, and plane distortion does not occur. To be cooled. For example, the sheet glass G is conveyed vertically downward at a moving speed of 50 to 80 mm / second.

切断工程（ＳＴ７）では、スクライブ装置において、成形装置３００から供給され上方から流れるシートガラスＧにスクライブ加工を施すことで、シートガラスＧの表面にスクライブ線を形成し、スクライブ線が形成されたシートガラスＧを所定の長さに切断することで、ガラス板を得る。切断されたガラス板はさらに、所定のサイズに切断され、目標サイズのガラス板が作製される。この後、ガラスの端面の研削、研磨およびガラス板の洗浄が行われ、さらに、泡や脈理等の欠点の有無が検査された後、検査合格品のガラス板が最終製品として梱包される。 In the cutting step (ST7), a scribe line is formed on the surface of the sheet glass G by applying a scribe process to the sheet glass G supplied from the forming apparatus 300 and flowing from above in the scribe apparatus, and the sheet on which the scribe line is formed. A glass plate is obtained by cutting the glass G into a predetermined length. The cut glass plate is further cut into a predetermined size to produce a target size glass plate. Thereafter, the end face of the glass is ground, polished, and the glass plate is cleaned. Further, after checking for defects such as bubbles and striae, the glass plate that has passed the inspection is packed as a final product.

図３は、ガラス板の成形装置３００、徐冷装置３７０及びスクライブ装置５００の構成を示す図であり、成形装置３００、徐冷装置３７０、スクライブ装置５００、気流発生装置６００及び吸引装置７００の概略の側面図を示す。
成形装置３００で成形されるガラス板は、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板、カバーガラスに好適に用いられる。成形装置３００で成形されるガラス板は、その他、携帯端末機器などのディスプレイや筐体用のカバーガラス、タッチパネル板、太陽電池のガラス基板やカバーガラスとしても用いることができる。特に、ポリシリコンＴＦＴを用いた液晶ディスプレイ用ガラス基板に好適である。 FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the glass plate forming apparatus 300, the slow cooling apparatus 370, and the scribing apparatus 500. The outline of the forming apparatus 300, the slow cooling apparatus 370, the scribing apparatus 500, the airflow generating apparatus 600, and the suction apparatus 700 is shown. The side view of is shown.
The glass plate molded by the molding apparatus 300 is preferably used for, for example, a glass substrate for liquid crystal display, a glass substrate for organic EL display, and a cover glass. In addition, the glass plate formed by the forming apparatus 300 can also be used as a display for a portable terminal device, a cover glass for a casing, a touch panel plate, a glass substrate of a solar cell, or a cover glass. Particularly, it is suitable for a glass substrate for a liquid crystal display using a polysilicon TFT.

成形工程（ＳＴ５）を行う成形炉４０および徐冷工程（ＳＴ６）を行う徐冷炉５０は、耐火レンガ、耐火断熱レンガ、あるいはファイバー系断熱材等の耐火物で構成された炉壁に囲まれて構成されている。成形炉４０は、徐冷炉５０に対して鉛直上方に設けられている。なお、成形炉４０および徐冷炉５０をあわせて炉３０という。炉３０の図示されない炉壁で囲まれた成形炉４０の炉内部空間には、成形体３１０と、冷却ローラ３３０とが設けられ、徐冷炉５０の炉内部空間には、搬送ローラ３５０が設けられている。成形炉４０の炉内部空間と徐冷炉５０の炉内部空間との間には仕切り板４５が設けられ、仕切り板４５に設けられた細長いスリット孔を通してシートガラスＧが徐冷炉４０の炉内部空間に導入される。徐冷炉５０の炉内部空間とスクライブ装置５００（切断装置４００）の空間との間には仕切り板５５が設けられ、仕切り板５５に設けられた細長いスリット孔を通してシートガラスＧがスクライブ装置５００の空間に導入される。スクライブ装置５００は、切断装置４００の設備の１ユニットとして装備され、切断装置４００の空間内に配されている。このほかに、冷却ローラ３３０と成形体３１０との間に空間を間仕切り熱の移動を遮断する仕切り板が設けられてもよく、さらに冷却ローラ３３０の下方にシートガラスを冷却する冷却ユニットが設けられてもよい。 The forming furnace 40 for performing the forming step (ST5) and the slow cooling furnace 50 for performing the slow cooling step (ST6) are surrounded by a furnace wall composed of a refractory material such as a refractory brick, a refractory heat insulating brick, or a fiber-based heat insulating material. Has been. The molding furnace 40 is provided vertically above the slow cooling furnace 50. The forming furnace 40 and the slow cooling furnace 50 are collectively referred to as a furnace 30. A forming body 310 and a cooling roller 330 are provided in the furnace internal space of the forming furnace 40 surrounded by a furnace wall (not shown) of the furnace 30, and a conveying roller 350 is provided in the furnace internal space of the slow cooling furnace 50. Yes. A partition plate 45 is provided between the furnace internal space of the forming furnace 40 and the furnace internal space of the slow cooling furnace 50, and the sheet glass G is introduced into the furnace internal space of the slow cooling furnace 40 through an elongated slit hole provided in the partition plate 45. The A partition plate 55 is provided between the inner space of the slow cooling furnace 50 and the space of the scribing device 500 (cutting device 400), and the sheet glass G enters the space of the scribing device 500 through an elongated slit hole provided in the partition plate 55. be introduced. The scribing device 500 is installed as one unit of the equipment of the cutting device 400 and is arranged in the space of the cutting device 400. In addition, a partition plate may be provided between the cooling roller 330 and the molded body 310 to partition the space and block the movement of heat, and a cooling unit for cooling the sheet glass is provided below the cooling roller 330. May be.

成形体３１０は、図２に示すように、ガラス供給管２０４，２０５，２０６を通して熔解装置２００から流れてくる熔融ガラスＭＧを、シートガラスＧに成形する。これにより、成形装置３００内で、鉛直下方（長手方向）のシートガラスＧの流れが作られる。成形体３１０は、耐火レンガ等によって構成された細長い構造体であり、図３に示すように断面が楔形状を成している。成形体３１０の頂部には、熔融ガラスＭＧを導く流路となる溝３１２が設けられている。溝３１２は、成形装置３００に設けられた図示されない供給口において楔形２０６と接続され、ガラス供給管２０６を通して流れてくる熔融ガラスＭＧは、溝３１２を伝って流れる。溝３１２の深さは、熔融ガラスＭＧの流れの下流ほど浅くなっており、溝３１２から熔融ガラスが鉛直下方に向かって溢れ出るようになっている。
溝３１２から溢れ出た熔融ガラスＭＧは、成形体３１０の両側の側壁を伝わって鉛直下方に流下する。側壁を流れた熔融ガラスＭＧは、図３に示す成形体３１０の下方端部で合流し、１つのシートガラスＧが成形される。これによって、シートガラスＧは、徐冷炉５０に向かって流下する。 As shown in FIG. 2, the formed body 310 forms molten glass MG flowing from the melting device 200 through the glass supply tubes 204, 205, and 206 into a sheet glass G. Thereby, the flow of the sheet glass G vertically downward (longitudinal direction) is created in the forming apparatus 300. The molded body 310 is a long and narrow structure formed of refractory bricks or the like, and has a wedge-shaped cross section as shown in FIG. A groove 312 serving as a flow path for guiding the molten glass MG is provided at the top of the molded body 310. The groove 312 is connected to the wedge shape 206 at a supply port (not shown) provided in the molding apparatus 300, and the molten glass MG flowing through the glass supply pipe 206 flows along the groove 312. The depth of the groove 312 is shallower toward the downstream side of the flow of the molten glass MG, so that the molten glass overflows vertically downward from the groove 312.
The molten glass MG overflowing from the groove 312 flows down the vertical direction along the side walls on both sides of the molded body 310. The molten glass MG that has flowed through the side walls merges at the lower end of the molded body 310 shown in FIG. 3, and one sheet glass G is formed. Thereby, the sheet glass G flows down toward the slow cooling furnace 50.

徐冷炉５０の炉内部空間には、複数の搬送ローラ３５０が所定の間隔で設けられ、シートガラスＧを下方向に牽引する。搬送ローラ３５０のそれぞれは、ローラ対を有し、シートガラスＧの厚さ方向の両側を挟むようにシートガラスＧの幅方向の両側端部に設けられている。シートガラスＧが下方向に移動する速度は、例えば、５０〜８０ｍｍ／秒である。 In the furnace internal space of the slow cooling furnace 50, a plurality of conveying rollers 350 are provided at predetermined intervals, and the sheet glass G is pulled downward. Each of the conveyance rollers 350 has a pair of rollers, and is provided at both end portions in the width direction of the sheet glass G so as to sandwich both sides in the thickness direction of the sheet glass G. The speed at which the sheet glass G moves downward is, for example, 50 to 80 mm / second.

図４は、図３のスクライブ装置５００を背面側から見て示す図である。スクライブ装置５００のうち、シートガラスＧと向い合う側がスクライブ装置５００の正面であり、その反対側がスクライブ装置５００の背面である。スクライブ装置５００は、モータ５１０、モータ５１０が駆動することにより協働して回転するローラ５２０、モータ５１０が駆動し、ローラ５２０が回転ことにより連動して動く、モータ５１０とローラ５２０とに掛け渡された環状のベルト５３０、ベルト５３０に接続されるスライドテーブル５４０、スライドテーブル５４０に積載されるカッター部５５０、を有する。モータ５１０、ローラ５２０、ベルト５３０が搬送装置として機能し、この搬送装置が、スクライブ加工を行う際に、カッター部５５０を積載したスライドテーブル５４０を、シートガラスＧの幅方向の一方の端から他方の端に搬送して、シートガラスＧに直線状のスクライブ線Ｓを形成する。搬送装置により、スクライブ装置５００は、図４に示すように、Ｘ軸方向（左右方向、短手方向）、Ｙ軸方向（上下方向、長手方向）、Ｚ軸方向（前後方向）の各方向に自在に移動できる。スクライブ装置５００は、制御部（図示せず）からの命令に基づいて、シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成（刻設）する位置に移動し、Ｙ軸方向に移動するシートガラスＧに対して、Ｘ軸方向にカッター部５５０を相対的に走行させ、カッター部５５０の刃先（ホイールカッター）をシートガラスＧの表面（Ｚ軸方向）に押し付けて、シートガラスＧの表面にスクライブ線Ｓを形成する。スクライブ線Ｓが形成されたシートガラスＧは、その後、切断装置４００により、スクライブ線Ｓに沿って折り割され、所定サイズのガラス板が得られる。なお、以降において、シートガラスＧにおいて、スクライブ線Ｓが形成される側を表面（形成面）、スクライブ線Ｓが形成されない側を裏面（反対面）とする。 FIG. 4 is a diagram showing the scribing device 500 of FIG. 3 as viewed from the back side. In the scribe device 500, the side facing the sheet glass G is the front surface of the scribe device 500, and the opposite side is the back surface of the scribe device 500. The scribing device 500 spans between the motor 510 and the roller 520 that rotates in cooperation with the motor 510, the roller 520 that rotates in cooperation with the motor 510, and the motor 510 that drives and moves in conjunction with the rotation. The annular belt 530, the slide table 540 connected to the belt 530, and the cutter unit 550 loaded on the slide table 540. The motor 510, the roller 520, and the belt 530 function as a conveying device. When the conveying device performs the scribing process, the slide table 540 loaded with the cutter unit 550 is moved from one end in the width direction of the sheet glass G to the other. The linear scribe line S is formed on the sheet glass G. As shown in FIG. 4, the scribing device 500 is moved in each direction of the X-axis direction (left-right direction, short-side direction), Y-axis direction (vertical direction, longitudinal direction), and Z-axis direction (front-back direction). It can move freely. The scribing device 500 moves to a position where the scribe line S is formed (engraved) on the sheet glass G based on a command from a control unit (not shown), and the sheet glass G moves in the Y-axis direction. The cutter unit 550 is moved relatively in the X-axis direction, and the cutting edge (wheel cutter) of the cutter unit 550 is pressed against the surface of the sheet glass G (Z-axis direction) to form the scribe line S on the surface of the sheet glass G. To do. Thereafter, the sheet glass G on which the scribe line S is formed is folded along the scribe line S by the cutting device 400 to obtain a glass plate having a predetermined size. Hereinafter, in the sheet glass G, a side on which the scribe line S is formed is referred to as a front surface (formation surface), and a side on which the scribe line S is not formed is referred to as a back surface (opposite surface).

カッター部５５０は、例えば、超硬合金、焼結ダイヤモンドなどの材質で製作されたホイールカッター、加圧機構を備える空圧シリンダから構成される。カッター部５５０には、図示されない制御ケーブルが接続されている。制御ケーブルは、スライドテーブル５４０からカッター部５５０に案内され、外部の電源および制御装置に接続されたカッター部５５０の回転駆動を制御するためのものである。カッター部５５０は、ホイールカッターを回転駆動させ、例えば、６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒の移動速度でホイールカッターを移動させてスクライブ線Ｓを形成する。ホイールカッターの回転速度は、スライドテーブル５４０（カッター部５５０）の移動速度、シートガラスＳの厚さによって任意に設定変更でき、例えば、ホイールカッターの移動速度に比例させて、回転速度を変更することもできる。シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成する際、カッター部５５０（ホイールカッター）がシートガラスＧを削ることによりスクライブ線Ｓが形成されるために、削られた粉塵状のガラスがガラス屑として発生する。ダウンドロー法を用いて、厚さ０．０５〜０．４ｍｍのシートガラスＧを成形するには、シートガラスＧを、例えば５０〜８０ｍｍ／秒の速度で鉛直下方に向かって搬送する必要があり、この鉛直下方への搬送速度に応じて、例えば６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒の移動速度でスライドテーブル５４０（ホイールカッター）を移動させてスクライブ線Ｓを形成する。ホイールカッターの移動速度が６００ｍｍ／秒以上となると、ホイールカッターの回転する刃先からシートガラスＧにかかる荷重が増えるため、摩擦力が増大する。このため、スクライブ線Ｓを形成する際に発生するガラス屑の量が増え、このガラス屑がシートガラスＧに付着すると、シートガラスＧの品質が低下し、シートガラスＧから加工するガラス基板の品質低下にもつながる。このため、ガラス屑が、シートガラスＧに付着するのを防ぐ必要がある。 The cutter unit 550 includes, for example, a wheel cutter manufactured from a material such as cemented carbide or sintered diamond, and a pneumatic cylinder including a pressurizing mechanism. A control cable (not shown) is connected to the cutter unit 550. The control cable is guided from the slide table 540 to the cutter unit 550 and controls rotation of the cutter unit 550 connected to an external power source and a control device. The cutter unit 550 rotates the wheel cutter and moves the wheel cutter at a moving speed of, for example, 600 mm / second to 1200 mm / second to form the scribe line S. The rotation speed of the wheel cutter can be arbitrarily set and changed depending on the moving speed of the slide table 540 (cutter unit 550) and the thickness of the sheet glass S. For example, the rotating speed is changed in proportion to the moving speed of the wheel cutter. You can also. When the scribe line S is formed on the sheet glass G, since the scribe line S is formed by the cutter unit 550 (wheel cutter) cutting the sheet glass G, the scraped dusty glass is generated as glass waste. . In order to form a sheet glass G having a thickness of 0.05 to 0.4 mm using the downdraw method, the sheet glass G needs to be conveyed vertically downward at a speed of, for example, 50 to 80 mm / second. The scribe line S is formed by moving the slide table 540 (wheel cutter) at a moving speed of, for example, 600 mm / second to 1200 mm / second in accordance with the vertically downward conveying speed. When the moving speed of the wheel cutter is 600 mm / second or more, the load applied to the sheet glass G from the blade tip rotated by the wheel cutter increases, so that the frictional force increases. For this reason, when the quantity of the glass waste generated when forming the scribe line S increases and this glass waste adheres to the sheet glass G, the quality of the sheet glass G will fall and the quality of the glass substrate processed from the sheet glass G It also leads to a decline. For this reason, it is necessary to prevent glass waste from adhering to the sheet glass G.

気流発生装置６００は、ファン、モータ、電源装置（図示せず）等を備え、スクライブ装置５００の上方（上流側）に設置され、シートガラスＧの搬送方向に沿って、直線的に下方に進む気流Ｃを発生させる。スクライブにより発生したガラス屑は、数μｍ程度の大きさであり、軽く、空気の影響を受けやすい。このため、シートガラスＧの搬送方向に沿って下方に進む気流Ｃがあると、ガラス屑はこの気流Ｃに乗って、下方に移動していく。気流Ｃに乗ったガラス屑は、シートガラスＧの表面に近づくことなく下方に送られ、シートガラスＧの表面を流れる気流Ｃがいわゆるエアーカーテンの役割を果たし、シートガラスＧにガラス屑が付着するのが抑制される。気流発生装置６００は、シートガラスＧの表面側と裏面側との両方に設置され、シートガラスＧの表面側と裏面側とにおいて、気流Ｃを発生させる。シートガラスＧの表面側と裏面側とに発生させた気流Ｃは、シートガラスＧの両側を覆い、シートガラスＧが気流Ｃ以外の気流、乱流の影響を受けることを抑制する。シートガラスＧの厚さ０．０５〜０．４ｍｍである場合、シートガラスＧの周囲の気流の影響を受けやすい。このため、気流発生装置６００は、シートガラスＧの表面側と裏面側に気流Ｃを発生させ、この気流ＣがシートガラスＧの表面側と裏面側とに同一の力（影響）を及ぼすように、気流Ｃを制御する。図５は、シートガラスＧ及び気流発生装置６００を平面視した状態を示す図である。同図に示すように、気流発生装置６００は、シートガラスＧの幅方向の一端から他端までの幅方向全体でシートガラスＧを覆うように設けられる。これにより、シートガラスＧは、気流Ｃ以外の気流、乱流から受ける影響が抑制され、気流Ｃから表面側と裏面側とにおいて同一の力を受けることにより揺れが抑制される。気流Ｃの速度は、例えば、１ｍ／ｓ〜１０ｍ／ｓであり、シートガラスＧの周囲の乱流等を抑制できれば任意である。 The airflow generation device 600 includes a fan, a motor, a power supply device (not shown), and the like, is installed above (upstream) the scribing device 500, and proceeds linearly downward along the conveying direction of the sheet glass G. An airflow C is generated. Glass scrap generated by scribing is about several μm in size, is light, and is easily affected by air. For this reason, if there is an airflow C that travels downward along the conveying direction of the sheet glass G, the glass waste rides on the airflow C and moves downward. The glass scraps riding on the airflow C are sent downward without approaching the surface of the sheet glass G, and the airflow C flowing on the surface of the sheet glass G serves as a so-called air curtain, and the glass scraps adhere to the sheet glass G. Is suppressed. The airflow generation device 600 is installed on both the front surface side and the back surface side of the sheet glass G, and generates an airflow C on the front surface side and the back surface side of the sheet glass G. The airflow C generated on the front surface side and the back surface side of the sheet glass G covers both sides of the sheet glass G and suppresses the sheet glass G from being affected by airflow other than the airflow C and turbulence. When the thickness of the sheet glass G is 0.05 to 0.4 mm, the sheet glass G is easily affected by the airflow around the sheet glass G. For this reason, the airflow generation device 600 generates the airflow C on the front surface side and the back surface side of the sheet glass G so that the airflow C exerts the same force (influence) on the front surface side and the back surface side of the sheet glass G. Control the airflow C. FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the sheet glass G and the airflow generation device 600 are viewed in plan. As shown in the figure, the airflow generation device 600 is provided so as to cover the sheet glass G in the entire width direction from one end to the other end of the sheet glass G in the width direction. As a result, the sheet glass G is suppressed from being influenced by airflow and turbulent flow other than the airflow C, and shaking is suppressed by receiving the same force from the airflow C on the front surface side and the back surface side. The speed of the airflow C is, for example, 1 m / s to 10 m / s, and is arbitrary as long as turbulent flow around the sheet glass G can be suppressed.

吸引装置７００は、空気、粉塵等を吸引する吸引機能を備え、気流Ｃに乗って流れてきたガラス屑を吸引して除去する除去装置として機能する。吸引装置７００は、床Ｆの下方で、気流発生装置６００のほぼ直下の位置に設置され、床Ｆに堆積したガラス屑等の粉塵、シートガラスＧに沿って下方に流れてきた気流Ｃ（空気）を吸引する。ここで、床Ｆとは、複数の装置が設置され、成形されたシートガラスＧを一時的に保管しておくための場所である。床Ｆには、気流Ｃを床Ｆの下方に流すための複数の孔が設けられ、床Ｆにガラス屑等の粉塵が堆積しないようになっている。吸引装置７００が吸引を開始すると、図３に示すように、気流発生装置６００で発生した気流Ｃは、シートガラスＧに沿って、ほぼ真下（シートガラスＧの搬送方向）に進む。気流発生装置６００から下方に出た気流Ｃ（空気）は、下方に進むにつれて、速度が徐々に遅くなるのが一般的であるが、気流発生装置６００のほぼ直下にある吸引装置７００が吸引を行っているため、気流Ｃの速度は、下方に進んだ時点であっても、気流発生装置６００を出た直後と変わらなくなっている。そして、気流Ｃは、速度を落とすことなく、吸引装置７００に吸引される。このため、シートガラスＧの表裏面は気流Ｃに保護されガラス屑が付着しない、また、付着しても気流Ｃによってガラス屑が除去される。 The suction device 700 has a suction function for sucking air, dust, and the like, and functions as a removal device that sucks and removes glass dust flowing on the airflow C. The suction device 700 is installed below the floor F at a position almost directly below the airflow generation device 600, and dust such as glass dust accumulated on the floor F, the airflow C (air) flowing downward along the sheet glass G A). Here, the floor F is a place where a plurality of apparatuses are installed and the formed sheet glass G is temporarily stored. The floor F is provided with a plurality of holes for allowing the air flow C to flow below the floor F so that dust such as glass dust does not accumulate on the floor F. When the suction device 700 starts suction, the airflow C generated by the airflow generation device 600 proceeds almost along the sheet glass G (in the conveying direction of the sheet glass G) as shown in FIG. The airflow C (air) that has flowed downward from the airflow generation device 600 generally decreases in speed as it travels downward, but the suction device 700 that is almost directly below the airflow generation device 600 performs suction. As a result, the speed of the airflow C is the same as that immediately after exiting the airflow generation device 600 even at the point of time when the airflow C proceeds downward. The airflow C is sucked into the suction device 700 without decreasing the speed. For this reason, the front and back surfaces of the sheet glass G are protected by the airflow C so that glass waste does not adhere to them.

次に、図６を参照しながら、シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成した際に発生するガラス屑Ｂを気流Ｃにより除去する方法について説明する。図６は、シートガラスＧに付着したガラス屑Ｂを除去する方法を説明する図である。スクライブ工程が開始される前、カッター部５５０（ホイールカッター）は、シートガラスＧから離間した位置にある。シートガラスＧが下方の搬送方向に移動し、スクライブ線Ｓを形成する位置まで搬送されると、搬送装置は、カッター部５５０をシートガラスＧの一端に移動させ、カッター部５５０が有するホイールカッターがシートガラスＧ側を押圧（当接）するように移動させる。カッター部５５０（ホイールカッター）がシートガラスＧに当接する前に、制御部により動作が制御されるホイールカッターが回転を始め、カッター部５５０がシートガラスＧの一端から他端に移動することにより、カッター部５５０に設けられたホイールカッターがシートガラスＧの表面に沿って回転しながらシートガラスＧの一端から他端へ向かって移動する。空気圧等によってカッター部５５０にかかる荷重を設定し、シートガラスＧの表面の微妙な凹凸を乗り越える際の急激な荷重変化を吸収しながら、カッター部５５０の荷重を適正範囲に自動調整することにより、カッター部５５０の位置が適正に調整され、スクライブ線ＳがシートガラスＧに形成される。カッター部５５０がシートガラスＧの一端から他端まで移動することによりスクライブ線Ｓが形成されると、ホイールカッターは回転を停止し、スクライブ工程が終了する。シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成する際、カッター部５５０がシートガラスＧを削ることによりスクライブ線Ｓが形成されるために、削られた粉塵状のガラスがガラス屑Ｂとして発生する。ダウンドロー法を用いて、厚さ０．０５〜０．４ｍｍのシートガラスＧを成形するには、シートガラスＧを、例えば５０〜８０ｍｍ／秒の速度で鉛直下方に向かって搬送する必要があり、この鉛直下方への搬送速度に応じて、例えば６００ｍｍ／秒〜１２００ｍｍ／秒の移動速度でカッター部５５０を移動させてスクライブ線Ｓを形成する。カッター部５５０の移動速度が６００ｍｍ／秒以上となると、ホイールカッターの回転する刃先からシートガラスＧにかかる荷重が増えるため、摩擦力が増大する。このため、スクライブ線Ｓを形成する際に発生するガラス屑Ｂの量が増え、このガラス屑ＢがシートガラスＧに付着すると、シートガラスＧの品質が低下し、シートガラスＧから加工するガラス基板の品質低下にもつながる。シートガラスＧはカッター部５５０との接触摩擦により帯電しているため、粉塵状のガラス屑Ｂの一部は、静電気によりシートガラスＧに引き付けられて付着する。 Next, a method for removing the glass waste B generated when the scribe line S is formed on the sheet glass G by the airflow C will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a diagram for explaining a method for removing glass waste B adhering to the sheet glass G. FIG. Before the scribing process is started, the cutter unit 550 (wheel cutter) is in a position separated from the sheet glass G. When the sheet glass G moves in the lower conveyance direction and is conveyed to a position where the scribe line S is formed, the conveyance device moves the cutter unit 550 to one end of the sheet glass G, and the wheel cutter included in the cutter unit 550 The sheet glass G side is moved so as to be pressed (contacted). Before the cutter unit 550 (wheel cutter) contacts the sheet glass G, the wheel cutter whose operation is controlled by the control unit starts rotating, and the cutter unit 550 moves from one end of the sheet glass G to the other end. The wheel cutter provided in the cutter unit 550 moves from one end of the sheet glass G toward the other end while rotating along the surface of the sheet glass G. By automatically adjusting the load of the cutter unit 550 to an appropriate range while setting the load applied to the cutter unit 550 by air pressure or the like and absorbing the sudden load change when getting over the delicate unevenness of the surface of the sheet glass G, The position of the cutter unit 550 is appropriately adjusted, and the scribe line S is formed on the sheet glass G. When the scribe line S is formed by moving the cutter unit 550 from one end of the sheet glass G to the other end, the wheel cutter stops rotating, and the scribe process ends. When the scribe line S is formed on the sheet glass G, the scribe line S is formed when the cutter unit 550 cuts the sheet glass G, so that the dusted glass is generated as glass waste B. In order to form a sheet glass G having a thickness of 0.05 to 0.4 mm using the downdraw method, the sheet glass G needs to be conveyed vertically downward at a speed of, for example, 50 to 80 mm / second. The scribe line S is formed by moving the cutter unit 550 at a moving speed of, for example, 600 mm / second to 1200 mm / second in accordance with the vertically downward conveying speed. When the moving speed of the cutter unit 550 is 600 mm / second or more, the load applied to the sheet glass G from the blade tip rotated by the wheel cutter increases, so that the frictional force increases. For this reason, when the quantity of the glass waste B generated when forming the scribe line S increases and this glass waste B adheres to the sheet glass G, the quality of the sheet glass G will fall and the glass substrate processed from the sheet glass G Leads to quality degradation. Since the sheet glass G is charged by contact friction with the cutter unit 550, a part of the dusty glass waste B is attracted to and adhered to the sheet glass G by static electricity.

気流Ｃは、スクライブ線Ｓの形成時にも上方から下方（シートガラスＧの搬送方向）に流れている。スクライブにより発生したガラス屑Ｂの一部は空中に飛散し、また、ガラス屑Ｂの一部はシートガラスＧに付着する。ガラス屑Ｂは数μｍ程度と細かい屑であるため、空中に飛散したガラス屑Ｂは、気流Ｃに乗って下方に移動する。気流Ｃの速度は、上述したように、気流Ｃの発生時から収束時（吸収時）まで、ほぼ同一となっているため、気流Ｃに乗った（押された）ガラス屑Ｂは、途中留まることなく吸引装置７００まで運ばれ、吸引される。これにより、空中に飛散したガラス屑は、シートガラスＧに付着することなく除去できる。また、気流Ｃのない場所に飛散しているガラス屑Ｂは、気流Ｃがいわゆるエアーカーテンの役割を果たすため、シートガラスＧに付着することなく、飛散後、床Ｆに堆積する。床Ｆには、空気の下方に流すための複数の孔が設けられ、床Ｆの下方には吸引装置７００が設置されているため、床Ｆに堆積したガラス屑Ｂは、吸引装置７００に吸引され、シートガラスＧに付着することはない。これに対し、静電気によりシートガラスＧに引き付けられて付着したガラス屑Ｂは、空気を吹き付けることによっては除去しづらい。しかし、ガラス屑Ｂは数μｍ程度と細かいため、ガラス屑Ｂに帯電される電荷量は小さい。このため、一定の速度（例えば、１ｍ／ｓ）以上のある気流ＣをシートガラスＧに吹き付けることにより、シートガラスＧからガラス屑Ｂを除去できる。シートガラスＧから離れたガラス屑Ｂは、気流Ｃに乗って吸引装置７００まで運ばれ吸引される。これにより、シートガラスＧに付着したガラス屑Ｂを除去することができる。 Even when the scribe line S is formed, the airflow C flows from above to below (the conveyance direction of the sheet glass G). Part of the glass waste B generated by the scribing is scattered in the air, and part of the glass waste B adheres to the sheet glass G. Since the glass waste B is a fine waste of about several μm, the glass waste B scattered in the air moves on the airflow C and moves downward. As described above, the speed of the airflow C is substantially the same from the time of generation of the airflow C to the time of convergence (at the time of absorption), and thus the glass dust B riding on (pressed on) the airflow C stays on the way. It is carried to the suction device 700 without being sucked. Thereby, the glass waste scattered in the air can be removed without adhering to the sheet glass G. Moreover, since the airflow C plays a role of a so-called air curtain, the glass waste B scattered in a place without the airflow C is deposited on the floor F after being scattered without adhering to the sheet glass G. The floor F is provided with a plurality of holes for flowing below the air, and the suction device 700 is installed below the floor F. Therefore, the glass waste B deposited on the floor F is sucked into the suction device 700. And does not adhere to the sheet glass G. On the other hand, the glass waste B attracted to and adhered to the sheet glass G by static electricity is difficult to remove by blowing air. However, since the glass waste B is as fine as about several μm, the amount of charge charged in the glass waste B is small. For this reason, the glass waste B can be removed from the sheet glass G by spraying the airflow C with a certain speed (for example, 1 m / s) or more on the sheet glass G. The glass waste B separated from the sheet glass G is carried on the airflow C to the suction device 700 and sucked. Thereby, the glass waste B adhering to the sheet glass G can be removed.

気流Ｃは、シートガラスＧの表裏面の両側に存在するため、シートガラスＧの表裏面には、ガラス屑Ｂが付着することなく、ガラス屑Ｂを除去できる。シートガラスＧの表裏面の両側に気流Ｃが流れ、シートガラスＧの両面は気流Ｃから同一の風圧（抗力）を受けて、シートガラスＧの幅方向に対して垂直方向に、シートガラスＧが揺れることが抑制されている。シートガラスＧが気流Ｃから受ける抗力は、ベルヌーイの式から流体の速度の２乗に比例し、気流Ｃは気流発生装置６００から吸引装置７００までの間、ほぼ一定の速度であるため、シートガラスＧの両面において同一である。このため、シートガラスＧの揺れを抑制できる。 Since the airflow C exists on both sides of the front and back surfaces of the sheet glass G, the glass dust B can be removed without adhering the glass dust B to the front and back surfaces of the sheet glass G. The airflow C flows on both sides of the front and back surfaces of the sheet glass G, both surfaces of the sheet glass G receive the same wind pressure (drag) from the airflow C, and the sheet glass G is perpendicular to the width direction of the sheet glass G. Shaking is suppressed. The drag force that the sheet glass G receives from the airflow C is proportional to the square of the fluid velocity from the Bernoulli equation, and the airflow C is a substantially constant speed from the airflow generation device 600 to the suction device 700. It is the same on both sides of G. For this reason, shaking of the sheet glass G can be suppressed.

本実施形態では、シートガラスＧの表裏面側に下降気流を発生させることにより、スクライブにより発生したガラス屑Ｂを下方に運び除去している。これにより、シートガラスＧにスクライブ線Ｓを形成する速度を上げてガラス屑Ｃが発生した場合であっても、シートガラスＧにガラス屑Ｃを付着させずに除去することができる。また、シートガラスＧの両面において、気流Ｃから受ける抗力を同一にすることにより、シートガラスＧの揺れを抑制できる。 In this embodiment, the glass dust B generated by the scribing is carried down and removed by generating a downward airflow on the front and back sides of the sheet glass G. Thereby, even if it is a case where the speed | rate which forms the scribe line S in the sheet glass G is raised and the glass waste C generate | occur | produces, it can remove without making the glass waste C adhere to the sheet glass G. Further, by making the drag received from the airflow C the same on both surfaces of the sheet glass G, the sheet glass G can be prevented from shaking.

（ガラス板）
本実施形態のシートガラス（ガラス板）に用いるガラスは、例えば、ボロシリケートガラス、アルミノシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラス、ソーダライムガラス、アルカリシリケートガラス、アルカリアルミノシリケートガラス、アルカリアルミノゲルマネイトガラスなどを適用することができる。なお、本発明に適用できるガラスは上記に限定されるものではない。 (Glass plate)
The glass used for the sheet glass (glass plate) of the present embodiment is, for example, borosilicate glass, aluminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, soda lime glass, alkali silicate glass, alkali aluminosilicate glass, alkali aluminogelmanate glass, or the like. Can be applied. The glass applicable to the present invention is not limited to the above.

本実施形態で用いるガラス板のガラス組成は例えば以下のものを挙げることができる。しかし、下記ガラス組成には限定されない。以下示す組成の含有率表示は、質量％である。
ＳｉＯ_２：５０〜７０％、
Ｂ_２Ｏ_３：５〜１８％、
Ａｌ_２Ｏ_３：０〜２５％、
ＭｇＯ：０〜１０％、
ＣａＯ：０〜２０％、
ＳｒＯ：０〜２０％、
ＢａＯ：０〜１０％、
ＲＯ：５〜２０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス板が含有するものである)、
を含有する無アルカリガラスであることが好ましい。 Examples of the glass composition of the glass plate used in the present embodiment include the following. However, it is not limited to the following glass composition. The content rate display of the composition shown below is mass%.
SiO _2: 50~70%,
B ₂ O _3: 5~18%,
Al ₂ O _3: 0~25%,
MgO: 0 to 10%,
CaO: 0 to 20%,
SrO: 0 to 20%,
BaO: 0 to 10%,
RO: 5 to 20% (However, R is at least one selected from Mg, Ca, Sr and Ba, and the glass plate contains),
It is preferable that it is an alkali free glass containing.

なお、本実施形態では無アルカリガラスとしたが、ガラス板はアルカリ金属を微量含んでいてもよい。アルカリ金属を含有させる場合、Ｒ’_２Ｏの合計が０．２０％を超え２．０％以下(ただし、Ｒ’はＬｉ、Ｎａ及びＫから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス板が含有するものである)含むことが好ましい。また、ガラスの熔解を容易にするために、比抵抗を低下させるという観点から、ガラス中の酸化鉄の含有量が０．０１〜０．２％であることがさらに好ましい。 In addition, although it was set as the alkali free glass in this embodiment, the glass plate may contain a trace amount of alkali metals. When the alkali metal is contained, the total of R ′ ₂ O exceeds 0.20% and is 2.0% or less (provided that R ′ is at least one selected from Li, Na, and K, and is contained in the glass plate). It is preferable to contain. Moreover, in order to make glass melting easy, it is more preferable that content of the iron oxide in glass is 0.01 to 0.2% from a viewpoint of reducing a specific resistance.

ここで、Ｌｉ_２Ｏ，Ｎａ_２Ｏ，Ｋ₂Ｏは、ガラスから溶出してＴＦＴの特性を劣化させ、また、ガラスの熱膨張係数を大きくして熱処理時に基板を破損するおそれがある成分であることから、液晶ディスプレイ用ガラス基板や有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板として適用する場合には、実質的に含まないことが好ましい。しかし、ガラス中に上記成分を敢えて特定量含有させることによって、ＴＦＴの特性の劣化やガラスの熱膨張を一定範囲内に抑制しつつ、ガラスの塩基性度を高め、価数変動する金属の酸化を容易にして、清澄性を発揮させることが可能である。そこで、Ｌｉ_２Ｏ，Ｎａ_２Ｏ，Ｋ_２Ｏの合量は０〜２．０％であり、０．１〜１．０％がより好ましく、０．２〜０．５％がさらに好ましい。なお、Ｌｉ_２Ｏ，Ｎａ_２Ｏは含有させずに、上記成分中でも、最もガラスから溶出してＴＦＴの特性を劣化させ難いＫ_２Ｏを含有させることが好ましい。Ｋ_２Ｏの含有量は、０〜２．０％であり、０．１〜１．０％がより好ましく、０．２〜０．５％がさらに好ましい。 Here, Li ₂ O, Na ₂ O, and K ₂ O are components that may be eluted from the glass to deteriorate the TFT characteristics, and may increase the thermal expansion coefficient of the glass to break the substrate during heat treatment. Therefore, when it is applied as a glass substrate for a liquid crystal display or a glass substrate for an organic EL display, it is preferably not substantially contained. However, by deliberately containing the above-mentioned components in the glass, the basicity of the glass is increased while the deterioration of the TFT characteristics and the thermal expansion of the glass are suppressed within a certain range, and the oxidation of the metal whose valence fluctuates. It is possible to make clear and exhibit clarity. Therefore, the total amount of Li ₂ O, Na ₂ O, and K ₂ O is 0 to 2.0%, more preferably 0.1 to 1.0%, and still more preferably 0.2 to 0.5%. Incidentally, Li 2 _O, without Na 2 _O is allowed to contain, in the component, most glass eluted from be contained hardly K _{2 O} which deteriorates the characteristics of the TFT are preferred. The content of K ₂ O is 0 to 2.0%, more preferably 0.1 to 1.0%, and further preferably 0.2 to 0.5%.

ガラス板のガラスにおいて、ガラス中の気泡を脱泡させる成分として清澄剤を添加することができる。清澄剤としては、環境負荷が小さく、ガラスの清澄性に優れたものであれば特に制限されないが、例えば、酸化スズ、酸化鉄、酸化セリウム、酸化テルビウム、酸化モリブデン及び酸化タングステンといった金属酸化物から選ばれる少なくとも１種を挙げることができる。 In the glass of the glass plate, a clarifying agent can be added as a component for defoaming bubbles in the glass. The fining agent is not particularly limited as long as it has a small environmental burden and excellent glass fining properties. For example, from a metal oxide such as tin oxide, iron oxide, cerium oxide, terbium oxide, molybdenum oxide and tungsten oxide. There may be mentioned at least one selected.

なお、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３及びＰｂＯは、熔融ガラス中で価数変動を伴う反応を生じ、ガラスを清澄する効果を有する物質であるが、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３及びＰｂＯは環境負荷が大きい物質であることから、実質的に含まないことが好ましい。なお、本明細書において、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３及びＰｂＯを実質的に含まないとは、０．０１％質量未満であって不純物を除き意図的に含有させないことを意味する。 Note that As ₂ O ₃ , Sb ₂ O ₃ and PbO are substances having an effect of clarifying the glass by causing a reaction accompanied by valence fluctuation in the molten glass, but As ₂ O ₃ , Sb ₂ O ₃ and Since PbO is a substance having a large environmental load, it is preferable that PbO is not substantially contained. In the present specification, “substantially not containing As ₂ O ₃ , Sb ₂ O ₃ and PbO” means less than 0.01% by mass and intentionally not containing impurities.

本実施形態に用いるシートガラス（ガラス板）の厚さは、例えば０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍであることが好ましい。このような薄いシートガラスを製造するためには、成形体から供給されるシートガラスを、搬送ローラの回転速度を速くして、下方向に速く引っ張る必要がある。下方向に速く搬送されるシートガラスに対してスクライブ線を形成するためには、スライドテーブルもシートガラスの幅方向に速く搬送する必要がある。スライドテーブルの搬送速度を上げると、シートガラスとホイールカッターとの摩擦抵抗が大きくなるためスクライブ時に発生するガラス屑が増加し、このガラス屑がシートガラスに付着する。本実施形態では、シートガラスの表面側、裏面側において、シートガラスの搬送方向に気流を発生させ、この気流をいわゆるエアーカーテンとして、ガラス屑がシートガラスに付着するのを抑制している。これにより、薄いシートガラスを製造するためにスライドテーブルが速く搬送されても、シートガラスにガラス屑を付着させずに、スクライブ線を形成することができる。 The thickness of the sheet glass (glass plate) used in the present embodiment is preferably 0.05 mm to 0.4 mm, for example. In order to manufacture such a thin sheet glass, it is necessary to pull the sheet glass supplied from the molded body quickly downward by increasing the rotation speed of the conveying roller. In order to form a scribe line with respect to the sheet glass conveyed quickly in the downward direction, the slide table also needs to be conveyed quickly in the width direction of the sheet glass. When the conveyance speed of the slide table is increased, the frictional resistance between the sheet glass and the wheel cutter increases, so that glass waste generated during scribing increases, and this glass waste adheres to the sheet glass. In the present embodiment, an air flow is generated in the sheet glass conveyance direction on the front side and the back side of the sheet glass, and this air flow is used as a so-called air curtain to suppress glass dust from adhering to the sheet glass. Thereby, even if a slide table is conveyed rapidly in order to manufacture thin sheet glass, a scribe line can be formed, without making glass waste adhere to sheet glass.

本実施形態のガラス板の幅方向の長さは、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。一方、ガラス板の縦方向の長さも、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。 The length in the width direction of the glass plate of the present embodiment is, for example, 500 mm to 3500 mm, preferably 1000 mm to 3500 mm, and more preferably 2000 mm to 3500 mm. On the other hand, the length of the glass plate in the vertical direction is, for example, 500 mm to 3500 mm, preferably 1000 mm to 3500 mm, and more preferably 2000 mm to 3500 mm.

以上、本発明のガラス板の製造方法、及び、ガラス板の製造装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。 As mentioned above, although the manufacturing method of the glass plate of this invention and the manufacturing apparatus of the glass plate were demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, In the range which does not deviate from the main point of this invention, various improvement and Of course, changes may be made.

５００スクライブ装置
５１０モータ（搬送装置）
５２０ローラ（搬送装置）
５３０ベルト（搬送装置）
５４０スライドテーブル
５５０カッター部
６００気流発生装置
７００吸引装置
Ｇシートガラス
Ｓスクライブ線
Ｃ気流
Ｆ床
Ｂガラス屑 500 Scribing device 510 Motor (conveying device)
520 roller (conveying device)
530 belt (conveyor)
540 Slide table 550 Cutter unit 600 Airflow generator 700 Suction device G Sheet glass S Scribe wire C Airflow F Floor B Glass scrap

Claims

A method for producing a glass plate by a downdraw method,
A molding step of molding a molten glass into a sheet glass using a molded body;
A slow cooling step of performing slow cooling while conveying the sheet glass downward;
On the surface of the sheet glass, a scribe process for forming a scribe line in a direction orthogonal to the conveying direction of the sheet glass;
An air flow generating step of generating an air flow descending along the conveying direction of the sheet glass, and sending glass waste generated in the scribing step downward by the air flow;
A removal step of removing glass scraps sent in the downward direction,
The manufacturing method of the glass plate characterized by the above-mentioned.

In the air flow generation step, the glass waste is sent to the floor surface to which the sheet glass is conveyed,
In the removing step, the glass waste is sucked from a suction port formed on the floor surface.
The manufacturing method of the glass plate of Claim 1 characterized by the above-mentioned.

In the scribe process, a scribe line is formed at 600 mm / second to 1200 mm / second,
The manufacturing method of the glass plate of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned.

The sheet glass has a thickness of 0.05 mm to 0.4 mm,
In the airflow generation step, the airflow having a constant speed is generated on the surface on which the scribe line of the sheet glass is formed and the opposite surface thereof to suppress the shaking of the sheetglass.
The manufacturing method of the glass plate of any one of Claim 1 to 3 characterized by the above-mentioned.

An apparatus for producing a glass plate by a downdraw method,
A molding apparatus for molding molten glass into sheet glass using a molded body;
A slow cooling device that performs slow cooling while conveying the sheet glass downward;
On the surface of the sheet glass, a scribe device that forms a scribe line in a direction orthogonal to the conveying direction of the sheet glass,
An air flow generating device that generates an air flow descending along a conveying direction of the sheet glass, and sends glass waste generated when forming the scribe line downward by the air flow;
A removal device for removing glass scraps sent in the downward direction,
An apparatus for producing a glass plate.