JP2015177099A - トランジスタおよび表示装置 - Google Patents
トランジスタおよび表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015177099A JP2015177099A JP2014053492A JP2014053492A JP2015177099A JP 2015177099 A JP2015177099 A JP 2015177099A JP 2014053492 A JP2014053492 A JP 2014053492A JP 2014053492 A JP2014053492 A JP 2014053492A JP 2015177099 A JP2015177099 A JP 2015177099A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- film
- organic semiconductor
- transistor
- semiconductor film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
【課題】製造工程での特性の低下を抑えたトランジスタおよびそのトランジスタを備えた表示装置を提供する。【解決手段】ゲート電極と、前記ゲート電極に対向する有機半導体膜と、前記有機半導体膜の一部を覆う保護膜と、前記有機半導体膜に電気的に接続され、間隙を間にして対をなすソース・ドレイン電極とを備え、前記ソース・ドレイン電極は前記保護膜を覆い、前記ソース・ドレイン電極の間隙から前記保護膜が露出されているトランジスタ。【選択図】図1
Description
本技術は、有機半導体膜を有するトランジスタ、およびそのトランジスタを備えた表示装置に関する。
近年、チャネルとして有機半導体膜を用いた薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)、所謂有機TFTが注目されている(例えば、特許文献1)。有機TFTの有機半導体膜は塗布法を用いて形成することができ、これにより製造コストを抑えることが可能となる。また、このような塗布法等を用いた有機半導体膜の成膜は、蒸着法等の他の方法に比べて低温で行うことが可能である。したがって、耐熱性の低いプラスチックフィルム上に有機TFTを実装させることもでき、フレキシブルなデバイスが実現可能となる。有機TFTは、例えば表示装置等のスイッチング素子として用いることが検討されている。
このような有機TFTには、無機半導体材料を用いたTFTと同様に、ゲート電極およびソース・ドレイン電極等が設けられている。有機TFTでは、有機半導体膜とソース・ドレイン電極とが電気的に接続されている。有機半導体膜の裏面(下面)にソース・ドレイン電極が接するように配置された有機TFTがボトムコンタクト型、有機半導体膜の表面(上面)にソース・ドレイン電極が接するように配置された有機TFTが、トップコンタクト型とそれぞれ呼ばれている。トップコンタクト型の有機TFTでは、有機半導体膜とソース・ドレイン電極との接触抵抗が低くなり、また、機械的安定性も向上する。このため、トップコンタクト型の有機TFTへの期待が高まっている。トップコンタクト型の有機TFTでは、有機半導体膜を形成した後にソース・ドレイン電極が形成される。
しかしながら、有機半導体膜を構成する有機半導体材料は、有機溶剤への耐性が低く、有機半導体膜形成後の工程で使用する有機溶剤等により劣化する虞がある。この有機半導体膜の劣化により、TFT特性が低下する。
本技術はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、製造工程での特性の低下を抑えたトランジスタおよびそのトランジスタを備えた表示装置を提供することにある。
本技術によるトランジスタは、ゲート電極と、ゲート電極に対向する有機半導体膜と、有機半導体膜の一部を覆う保護膜と、有機半導体膜に電気的に接続され、間隙を間にして対をなすソース・ドレイン電極とを備え、ソース・ドレイン電極は保護膜を覆い、ソース・ドレイン電極の間隙から保護膜が露出されているものである。
本技術による表示装置は、表示素子およびこの表示素子を駆動する上記本技術のトランジスタを備えたものである。
本技術のトランジスタまたは表示装置では、ソース・ドレイン電極が保護膜を覆い、その間隙から保護膜が露出されている。即ち、このトランジスタおよび表示装置は、保護膜上でソース・ドレイン電極がパターニングされて形成されたものである。このような保護膜を設けることにより、ソース・ドレイン電極形成時に有機半導体膜が保護され、有機半導体膜への有機溶剤等の付着が抑えられる。
本技術のトランジスタおよび表示装置によれば、有機半導体膜の一部を覆う保護膜を設けるようにしたので、製造工程での有機半導体膜の劣化を防ぐことができる。よって、製造工程での特性の低下を抑えることが可能となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。
以下、本技術の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明
は以下の順序で行う。
1.実施の形態(トランジスタ:ボトムゲート型の例)
2.変形例1(保護膜が積層構造を有する例)
3.変形例2(保護膜が複数の構成材料を含んでいる例)
4.変形例3(トップゲート型の例)
5.実施例
は以下の順序で行う。
1.実施の形態(トランジスタ:ボトムゲート型の例)
2.変形例1(保護膜が積層構造を有する例)
3.変形例2(保護膜が複数の構成材料を含んでいる例)
4.変形例3(トップゲート型の例)
5.実施例
<実施の形態>
図1は、本技術の一実施の形態に係る有機TFT(トランジスタ1)の構成を表したものであり、図1(A)が断面構成、図1(B)が平面構成をそれぞれ表している。トランジスタ1は、電界効果型のトランジスタであり、例えば液晶,有機EL(Electroluminescence)および電気泳動型の表示体を用いたディスプレイの駆動素子として用いられる。このトランジスタ1は、トップコンタクト・ボトムゲート型構造のTFTであり、基板11上にゲート電極12、ゲート絶縁膜13、有機半導体膜14およびソース・ドレイン電極15A,15Bをこの順に有している。
図1は、本技術の一実施の形態に係る有機TFT(トランジスタ1)の構成を表したものであり、図1(A)が断面構成、図1(B)が平面構成をそれぞれ表している。トランジスタ1は、電界効果型のトランジスタであり、例えば液晶,有機EL(Electroluminescence)および電気泳動型の表示体を用いたディスプレイの駆動素子として用いられる。このトランジスタ1は、トップコンタクト・ボトムゲート型構造のTFTであり、基板11上にゲート電極12、ゲート絶縁膜13、有機半導体膜14およびソース・ドレイン電極15A,15Bをこの順に有している。
基板11は、ガラス基板、石英基板またはプラスチックフィルムなどにより構成されている。プラスチック材料としては、例えばPET(ポリエチレンテレフタレート)、PEEK(ポリエチルエーテルケトン)、PEN(ポリエチレンナフタレート)、PI(ポリイミド)、PAR(ポリアリレート)、PES(ポリエーテルサルフォン)、PC(ポリカーボネート)あるいはPPS(ポリフェニレンスルフィド)などを用いることができる。アルミニウム、ニッケルおよびステンレス等の金属材料により基板11を構成するようにしてもよい。基板11の厚み(Z方向の距離)は、例えば20nm〜1mm程度である。
ゲート電極12は、トランジスタ1にゲート電圧を印加し、このゲート電圧により有機半導体膜14中のキャリア密度を制御する役割を有するものである。ゲート電極12は基板11上の選択的な領域に設けられ、例えば金属材料、無機導電材料、有機導電材料または炭素材料等により構成されている。金属材料としては、例えばアルミニウム(Al)、銅(Cu)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、パラジウム(Pd)、金(Au)、銀(Ag)および白金(Pt)等の金属単体または合金が挙げられる。無機導電材料としては、例えば、酸化インジウム(In2O3)、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)および酸化亜鉛(ZnO)などが挙げられる。有機導電性材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)およびポリスチレンスルホン酸(PSS)などが挙げられる。炭素材料としては、例えば、グラファイトがあげられる。これらの構成材料を2種以上用いてゲート電極12を構成するようにしてもよく、ゲート電極12は積層構造を有していてもよい。ゲート電極12の厚みは、例えば50nm〜200nmである。
ゲート絶縁膜13は、ゲート電極12とソース・ドレイン電極15A,15Bに電気的に接続された有機半導体膜14とを絶縁するため、ゲート電極12と有機半導体膜14との間に設けられている。ゲート絶縁膜13は、例えば無機絶縁材料または有機絶縁材料により構成されている。無機絶縁材料としては、例えば、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNx)、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化チタン(TiO2)、酸化ハフニウム(HfOx)およびチタン酸バリウム(BaTiO3)などが挙げられる。有機絶縁材料としては、例えば、ポリビニルフェノール(PVP)、ポリイミド、ポリメタクリル酸アクリレート、感光性ポリイミド、感光性ノボラック樹脂およびポリパラキシリレン等が挙げられる。これらの構成材料を2種以上用いてゲート絶縁膜13を構成するようにしてもよく、ゲート絶縁膜13は積層構造を有していてもよい。ゲート絶縁膜13の厚みは、例えば50nm〜1000nmである。
有機半導体膜14は、ゲート絶縁膜13上にゲート電極12に対向して設けられ、かつソース・ドレイン電極15A,15Bに接している。有機半導体膜14は、島状にパターニングされている。有機半導体膜14の構成材料には、例えば、低分子材料、溶解性低分子材料または高分子材料などを用いることができる。ここで低分子材料は一般的に溶媒に溶解しにくい材料を指し、溶解性低分子材料は低分子材料を化学修飾などして溶解性を改善した材料を指す。低分子材料としては、例えば、ペンタセン、アントラジチオフェン、ジナフト[2,3−b:2’,3’−f]チエノ[3,2−b]チエノフェン、2,9−ジフェニル−ペリ−キサンテノキサンテン、2,9−ジナフチル−ペリ−キサンテノキサンテンおよび銅フタロシアニンなどが挙げられる。溶解性低分子材料としては、例えば、6,13−ビス(トリイソプロピルシリルエチニル)ペンタセン、2,7−ジドデシル[1]ベンゾチエノ[3,2−b][1]ベンゾチオフェンおよび2,9−ビス(p−エチルフェニル)−ペリ−キサンテノキサンテンなどが挙げられる。高分子材料としては、例えば、α−クウォーターチオフェン、ポリ−(β−ヘキシルチオフェン)およびポリ(2,5−ビス(3−ドデシル−5−(3−ドデシルチオフェン−2−イル)チオフェン−2−イル)チアゾロ[5,4−d]チアソールなどが挙げられる。これらの構成材料を2種以上用いて有機半導体膜14を構成するようにしてもよい。
有機半導体膜14は、例えばアセン類化合物により構成されていてもよい。アセン類化合物としては、例えば、テトラセン、アントラセン、2,9−ジメチルペンタセン、ルブレンおよびパーフルオロペンタセン等が挙げられる。有機半導体膜14は、アントラジチオフェン類化合物、ペリ−キサンテノキサンテン類化合物、ナフト[1,8−bc:5,4−b’c’]ジチオフェン類化合物、ベンゾジチオフェン類化合物、[1]ベンゾチエノ[3,2−b][1]ベンゾチオフェン類化合物、オリゴチオフェン類化合物、オリゴセレノフェン類化合物、β置換チオフェンポリマーおよびオリゴマー類化合物、α,ω置換チオフェンオリゴマー類化合物、縮環チオフェンオリゴマー類化合物、チオフェン−フェニレンオリゴマー類化合物、チオフェン−フルオレンオリゴマー類化合物、チオフェン−アセンオリゴマー類化合物、フタロシアニン類化合物、ポルフィリン類化合物あるいはフラーレン類化合物等により構成されていてもよい。
アントラジチオフェン類化合物としては、例えばα,ω−ジアルキルアントラジチオフェン等が挙げられる。ペリ−キサンテノキサンテン類化合物としては、例えば2,9−ビス(p−プロピルフェニル)−ペリ−キサンテノキサンテン等が挙げられる。ナフト[1,8−bc:5,4−b’c’]ジチオフェン類化合物としては、例えば2,6−ジ(2−ナフチル)ナフト[1,8−bc:5,4−b’c’]ジチオフェン等が挙げられる。ベンゾジチオフェン類化合物としては例えば、2,6−ジフェニルベンゾ[1,2−b:4,5−b’]ジチオフェン等が挙げられる。[1]ベンゾチエノ[3,2−b][1]ベンゾチオフェン類化合物としては例えば2,7−ジフェニル[1]ベンゾチエノ[3,2−b][1]ベンゾチオフェン等が挙げられる。オリゴセレノフェン類化合物としてはα−クウォーターセレノフェン等が挙げられる。β置換チオフェンポリマーおよびオリゴマー類化合物としてはポリ−(3,3’”−ジドデシルクオーターチオフェン)等が挙げられる。α,ω置換チオフェンオリゴマー類化合物としてはα,ω−ジヘキシルクウォーターチオフェン等が挙げられる。縮環チオフェンオリゴマー類化合物としてはビス(ベンゾジチオフェン)等が挙げられる。チオフェン−フェニレンオリゴマー類化合物としては2,5−ビス(4−n−ヘキシルフェニル)チオフェン等が挙げられる。チオフェン−フルオレンオリゴマー類化合物としては5,5’−ビス−(7−ヘキシル−9H−フルオレン−2−イル)−[2,2’]ビチオフェン等が挙げられる。チオフェン−アセンオリゴマー類化合物としては6,6’−ジヘキシル−[2,2’]ビアントラセニル等が挙げられる。フタロシアニン類化合物としてはフタロシアニンおよび亜鉛フタロシアニン等が挙げられる。ポルフィリン類化合物としてはテトラベンゾポルフィリン等が挙げられる。フラーレン類化合物としてはC60等が挙げられる。有機半導体膜14の厚みは、例えば1nm〜1000nmである。
本実施の形態では、この有機半導体膜14の一部を覆う保護膜16が設けられている。詳細は後述するが、これによりトランジスタ1の製造工程での有機半導体膜14の劣化を抑えることができる。
保護膜16は、有機半導体膜14の表面(基板11との対向面と反対の面)に接しており、例えば有機半導体膜14の中央部を覆っている。この保護膜16から露出された有機半導体膜14の端部にソース・ドレイン電極15A,15Bが接している。保護膜16は、無機絶縁材料により構成されており、その厚みは例えば50nm〜250nmである。製造工程での有機半導体膜13の溶解を防ぐため、保護膜16をパターニングする際に使用する溶媒には有機半導体膜13の構成材料が溶解しにくいことが好ましい。即ち、保護膜16の構成材料は、有機半導体膜13の構成材料が不溶の所定の溶媒に、溶解することが好ましい。保護膜16を構成する無機絶縁材料としては、例えば酸化物または窒化物を用いることができる。具体的には、保護膜16の構成材料として窒化ケイ素(SiNX)、酸化ケイ素(SiOX)、酸化アルミニウム(AlOX)、酸化チタン(TiO2)、酸化ハフニウム(HfOX)、およびチタン酸バリウム(BaTiO3)等が挙げられるが、窒化ケイ素を用いて保護膜16を構成することが好ましい。窒化ケイ素により構成された保護膜16では、N(窒素)−H(水素)の結合密度が1.0×1022atm/cm3以下であることが好ましく、8.0×1021atm/cm3以下であることがより好ましい。N−Hの結合密度を小さくすることにより、トランジスタ1の特性、具体的には飽和移動度の低下を抑えることができる。保護膜16を2種類以上の無機絶縁材料を用いて構成するようにしてもよい。
この保護膜16を覆うように、ソース・ドレイン電極15A,15Bが設けられている。ソース・ドレイン電極15A,15Bは、有機半導体膜14の表面に接しており、有機半導体膜14に電気的に接続されている。ソース・ドレイン電極15Aとソース・ドレイン電極15Bとは、間隙15Cを間にして対をなしている。有機半導体膜14のうち、間隙15Cと平面視で重なる領域が、ソース・ドレイン電極15Aとソース・ドレイン電極15Bとの間の実質的な電流の経路となる。このソース・ドレイン電極15A,15Bの間隙15Cからは、保護膜16が露出されている。即ち、間隙15Cでは有機半導体膜14が保護膜16により覆われている。換言すれば、平面視で保護膜16と重なる領域に、ソース・ドレイン電極15A,15Bの間隙15Cが設けられている。間隙15Cを間にしたソース・ドレイン電極15A,15Bの互いの対向面(面15AF,15BF)は、保護膜16上に設けられており、ソース・ドレイン電極15A,15Bは、保護膜16の表面から端面を覆っている。即ち、ソース・ドレイン電極15A,15Bの間隙15Cの幅(X方向の距離)は、保護膜16の幅よりも小さくなっている。ソース・ドレイン電極15A,15Bには、上記ゲート電極12の構成材料と同様の導電材料を用いることができ、その厚みは例えば2nm〜10μmである。
このトランジスタ1は、例えば次のようにして製造することができる(図2A〜図3C)。
まず、基板11上にゲート電極12、ゲート絶縁膜13および有機半導体膜14をこの順に形成する(図2A)。ゲート電極12は、まず、基板11の全面に例えば、蒸着法およびスパッタリング法等の真空成膜法を用いて銅等の導電膜を厚み100nmで成膜した後、これをフォトリソグラフィ法を用いてパターニングすることにより形成する。フォトリソグラフィ法では、まず、導電膜上にフォトレジストを塗布した後、これに露光および現像を行って、導電膜上にレジストパターンを形成する。次いで、このレジストパターンをマスクにして導電膜をエッチングする。エッチングとしては、ドライエッチングまたはウェットエッチングを用いることができる。ドライエッチングとしては、例えば、イオンミリング法および反応性イオンエッチング(RIE)等が挙げられる。導電膜をエッチングした後、レジストパターンを除去する。レジストパターンは、例えば、これに紫外光を照射した後、現像液(例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド3%水溶液)に浸すことにより除去される。レジストパターンに代えて、金属材料からなるマスクを用いてゲート電極12を形成するようにしてもよい。
ゲート絶縁膜13は、ゲート電極12が設けられた基板11の全面に、例えばPVPと硬化剤(例えばメラミン樹脂)とを含むインクを塗布することにより形成する。インクの塗布には、例えばスピンコート法を用いることができる。インクを塗布した後、これを焼成することによりゲート絶縁膜13が形成される。
有機半導体膜14は、例えばペンタセンまたは(トリイソプロピルシリルエチニル)ペンタセン等を含むインクを塗布した後、これをパターニングすることにより形成する。インクの塗布には、例えば、スピンコート法、キャップコート法およびディップコート法等の塗布法、あるいは、インクジェット法等の印刷法を用いることができる。パターニングには、上記ゲート電極12と同様の方法を用いることができる。真空蒸着法等の真空成膜法を用いて有機半導体膜14を形成するようにしてもよい。
有機半導体膜14を形成した後、図2B〜図3Aに示したようにして有機半導体膜14上に保護膜16を形成する。保護膜16は、例えば以下のようにして形成する。まず、有機半導体膜14上を含む基板11の全面に、例えばスパッタリング法またはPECVD(plasma-enhanced chemical vapor deposition)法等を用いて絶縁材料膜16Mを成膜する(図2B)。絶縁材料膜16Mには、例えば厚み100nmの窒化ケイ素を用いることができる。次いで、絶縁材料膜16M上の、有機半導体膜14と対向する領域にレジストパターン17を形成する(図2C)。レジストパターン17は、上記ゲート電極12の形成で用いたレジストパターンと同様の方法で形成することができる。続いて、このレジストパターン17をマスクにして、絶縁材料膜16Mのエッチングを行う。これにより保護膜16が形成される。このエッチングには、例えばフッ化水素(HF)の水溶液を用いることができる。絶縁材料膜16Mをエッチングした後、レジストパターン17を除去する(図3A)。
保護膜16を設けた後、図3B,図3Cに示したようにしてソース・ドレイン電極15A,15Bを形成する。詳細は後述するが、ここでは、保護膜16が設けられているので、このソース・ドレイン電極15A,15Bの形成工程での有機半導体膜14の劣化が抑えられる。ソース・ドレイン電極15A,15Bは、例えば以下のようにして形成する。まず、保護層16上および有機半導体膜14上を含む基板11の全面に、例えば抵抗加熱蒸着法等の真空成膜法を用いて導電材料膜15Mを成膜する(図3B)。導電材料膜15Mには、例えば厚み100nmの金、クロムあるいはアルミニウム等を用いることができる。導電材料膜15Mは、スパッタリング法等の他の真空成膜法を用いて成膜するようにしてもよい。次いで、導電材料膜15M上にレジストパターン18A,18Bを形成する(図3C)。レジストパターン18Aとレジストパターン18Bとの間には、間隙18Cが設けられている。この間隙18Cが保護膜16上に配置されるようにして、レジストパターン18A,18Bを形成する。レジストパターン18A,18Bは、上記ゲート電極12の形成で用いたレジストパターンと同様の方法で形成することができる。続いて、このレジストパターン18A,18Bをマスクにして、導電材料膜15Mのエッチングを行う。導電材料膜15Mのエッチングには、例えばウェットエッチングを用いることができる。エッチャントは、導電材料膜15Mの種類に応じて選択すればよい。例えば、金を用いて導電材料膜15Mを形成した場合には、ヨウ化カリウム水溶液等を用いることができる。クロムを用いて導電材料膜15Mを形成した場合には、塩酸(HCl)、フッ化水素または塩化鉄(FeCl2)と塩酸(HCl)との混合液等を用いることができる。アルミニウム(Al)を用いて導電材料膜15Mを形成した場合には、リン酸(H3PO4)、酢酸(CH3COOH)または硝酸(HNO3)等を用いることができる。この導電材料膜15Mのエッチングにより間隙15C(図1)が設けられ、ソース・ドレイン電極15A,15Bが形成される。最後に、レジストパターン18A,18Bを除去することにより、図1に示したトランジスタ1が完成する。
トランジスタ1では、ゲート電極12に所定の電位が供給されると、有機半導体膜14のチャネルに電界が生じて、ソース・ドレイン電極15A,15B間に電流が流れ、いわゆる電界効果トランジスタとして機能する。ここでは、有機半導膜14を覆う保護膜16が設けられているので、製造工程での有機半導体膜14の劣化がおさえられる。以下、これについて説明する。
図4は比較例に係るトランジスタ(トランジスタ100)の断面構成を表したものである。このトランジスタ100は、トランジスタ1と同様にトップコンタクト・ボトムゲート型のTFTであるが、トランジスタ100には有機半導体膜14を覆う保護膜が設けられていない。ソース・ドレイン電極15A,15Bの間隙15Cからは、有機半導体膜14が露出されている。このようなトランジスタ100では、ソース・ドレイン電極15A,15Bを形成する際にウェット処理で使用するフォトレジスト材料、現像液およびエッチャント等、あるいはドライ処理で使用するガス種等が有機半導体膜14に付着し、有機半導体膜14を劣化させる虞がある。
これに対し、トランジスタ1では、有機半導体膜14を覆う保護膜16を設けた後に、ソース・ドレイン電極15A,15Bを形成している。このソース・ドレイン電極15A,15Bの形成工程では、保護膜16上にレジストパターン18A,18Bの間隙18Cを配置するようにして、導電材料膜15Mをパターニングしている(図3A〜図3C)。即ち、ソース・ドレイン電極15A,15Bの間隙15Cでは、有機半導体膜14が保護膜16で覆われるので、ウェット処理では有機半導体膜14へのフォトレジスト材料、現像液およびエッチャント等の付着が抑えられる。ドライ処理では、例えば酸素等のプラズマダメージが抑えられる。よって、ソース・ドレイン電極15A,15Bの形成工程で有機半導体膜14が保護され、有機半導体膜14の劣化を防ぐことができる。
以上のように、本実施の形態では、有機半導体膜14を覆う保護膜16を設けるようにしたので、有機半導体膜14の劣化に起因したTFT特性の低下を抑えることが可能となる。
更に、保護膜16を窒化ケイ素により構成し、保護膜16におけるN−Hの結合密度を1.0×1022atm/cm3以下、より好ましくは8.0×1021atm/cm3以下にすることで、トランジスタ1の飽和移動度の低下を防ぐことができる。
以下、上記実施の形態の変形例について説明するが、上記実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
<変形例1>
図5は、変形例1に係るトランジスタ(トランジスタ1A)の断面構成を表したものである。このトランジスタ1Aの保護膜(保護膜26)は、複数の層(第1保護層26Aおよび第2保護層26B)を含む積層構造を有している。この点を除き、トランジスタ1Aはトランジスタ1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
図5は、変形例1に係るトランジスタ(トランジスタ1A)の断面構成を表したものである。このトランジスタ1Aの保護膜(保護膜26)は、複数の層(第1保護層26Aおよび第2保護層26B)を含む積層構造を有している。この点を除き、トランジスタ1Aはトランジスタ1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
保護膜26では、有機半導体膜14に近い位置から、第1保護層26Aおよび第2保護層26Bがこの順に設けられている。例えば、第1保護層26Aおよび第2保護層26Bの構成元素の種類は同じであるが、第1保護層26Aと第2保護層26Bとでは各元素の組成が異なっている。第1保護層26Aおよび第2保護層26Bはともに、例えば窒化ケイ素(SiNX)により構成されており、第1保護層26AのN−H結合密度と、第2保護層26BのN−H結合密度とが異なっている。第1保護層26AのN−H結合密度が、第2保護層26BのN−H結合密度よりも高くてもよく、第1保護層26AのN−H結合密度が、第2保護層26BのN−H結合密度よりも低くてもよい。第1保護層26AのN−H結合密度および第2保護層26BのN−H結合密度の平均が、1.0×1022atm/cm3以下であることが好ましく、8.0×1021atm/cm3以下であることがより好ましい。
この保護膜26は、例えば、PECVD法を用いて成膜する。まず、有機半導体膜14上に所定の条件で例えば窒化ケイ素を成膜する。続けて、下層の窒化ケイ素膜とN−H結合密度が異なるように成膜条件を変更した後、更に窒化ケイ素を成膜する。この互いに異なる条件で成膜された2種類の窒化ケイ素膜をパターニングすることにより第1保護層26Aおよび第2保護層26Bを含む保護膜26が形成される。
このように、互いに異なる組成を有するように成膜条件を変更して第1保護層26Aおよび第2保護層26Bを積層することにより、保護膜26の形成が容易となる。以下、これについて説明する。
有機半導体膜14上に例えばPECVD法を用いて、無機絶縁材料を成膜すると、熱伸縮ひずみに起因して無機絶縁材料膜の膜剥がれが生じやすい。このため、無機絶縁材料膜の加工(パターニング)を行うことが困難となる。有機半導体膜14に表面処理を施した後、無機絶縁材料を成膜することも考え得る。この場合には、有機半導体膜14と無機絶縁材料膜との密着性が向上し、保護膜の形成工程を容易にすることが可能となる。しかしながら、有機半導体膜14に表面処理を施すと、膜減りおよびTFT特性(移動度または閾値変動等)の劣化等が生じる虞がある。
これに対し、トランジスタ1Aでは成膜条件を変更して、無機絶縁材料を成膜していくので、有機半導体膜14との密着性が高い第1保護層26A、有機半導体膜14の保護機能が高い第2保護層26Bをそれぞれ形成することができる。よって、無機絶縁材料膜の膜剥がれを防ぎ、保護膜26を容易に形成することが可能となる。特に、第1保護層26Aおよび第2保護層26Bを窒化ケイ素を用いて形成し、第1保護層26AのN−H結合密度と、第2保護層26BのN−H結合密度とを変えることで、無機絶縁材料膜の加工が容易となる。また、有機半導体膜14の表面処理が不要となるので、膜の厚みおよびTFT特性等が維持される。
更に、第1保護層26AのN−H結合密度および第2保護層26BのN−H結合密度の平均を、1.0×1022atm/cm3以下、より好ましくは8.0×1021atm/cm3以下とすることにより、トランジスタ1Aの飽和移動度の低下を防ぐことができる。
<変形例2>
図6は、変形例2に係るトランジスタ(トランジスタ1B)の断面構成を表したものである。このトランジスタ1Bの保護膜(保護膜36)は、互いに異なる材料からなる複数の層(第1保護層36Aおよび第2保護層36B)を含む積層構造を有している。この点を除き、トランジスタ1Bはトランジスタ1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
図6は、変形例2に係るトランジスタ(トランジスタ1B)の断面構成を表したものである。このトランジスタ1Bの保護膜(保護膜36)は、互いに異なる材料からなる複数の層(第1保護層36Aおよび第2保護層36B)を含む積層構造を有している。この点を除き、トランジスタ1Bはトランジスタ1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
保護膜36では、有機半導体膜14に近い位置から、第1保護層36Aおよび第2保護層36Bがこの順に設けられている。第1保護層36Aおよび第2保護層36Bをともに無機絶縁材料により構成するようにしてもよい。例えば、第1保護層36Aが窒化ケイ素で構成され、第2保護層36Bが酸化ケイ素または酸化アルミニウム等で構成されている。第1保護層36を無機絶縁材料、第2保護層36Bを有機絶縁材料によりそれぞれ構成するようにしてもよい。第1保護層36を有機絶縁材料、第2保護層36Bを無機絶縁材料により構成することも可能である。保護膜36を構成する有機絶縁材料としては、例えばポリビニルフェノール(PVP)、ポリイミド、ポリメタクリル酸アクリレート、感光性ポリイミド、感光性ノボラック樹脂およびポリパラキシリレン等が挙げられる。
<変形例3>
図7は、変形例3に係るトランジスタ(トランジスタ1C)の断面構成を表したものである。このトランジスタ1Cでは、基板11上に半導体膜14、保護膜16、ソース・ドレイン電極15A,15B、ゲート絶縁膜13およびゲート電極12がこの順に設けられている。即ち、トランジスタ1Cはトップゲート・トップコンタクト型のTFTである。この点を除き、トランジスタ1Cはトランジスタ1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
図7は、変形例3に係るトランジスタ(トランジスタ1C)の断面構成を表したものである。このトランジスタ1Cでは、基板11上に半導体膜14、保護膜16、ソース・ドレイン電極15A,15B、ゲート絶縁膜13およびゲート電極12がこの順に設けられている。即ち、トランジスタ1Cはトップゲート・トップコンタクト型のTFTである。この点を除き、トランジスタ1Cはトランジスタ1と同様の構成を有し、その作用および効果も同様である。
<適用例>
図8は、上記トランジスタ1,1A,1B,1Cのいずれかを駆動素子として備えた表示装置(表示装置90)の回路構成を表すものである。表示装置90は、例えば液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイまたは電気泳動方式に代表される電子ペーパーなどであり、駆動パネル91上の表示領域110に、マトリクス状に配設された複数の画素10と、画素10を駆動するための各種駆動回路とが形成されたものである。駆動パネル91上には、駆動回路として、例えば映像表示用のドライバである信号線駆動回路120および走査線駆動回路130と、画素駆動回路150とが配設されている。この駆動パネル91には、図示しない封止パネルが貼り合わせられ、この封止パネルにより画素10および上記駆動回路が封止されている。
図8は、上記トランジスタ1,1A,1B,1Cのいずれかを駆動素子として備えた表示装置(表示装置90)の回路構成を表すものである。表示装置90は、例えば液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイまたは電気泳動方式に代表される電子ペーパーなどであり、駆動パネル91上の表示領域110に、マトリクス状に配設された複数の画素10と、画素10を駆動するための各種駆動回路とが形成されたものである。駆動パネル91上には、駆動回路として、例えば映像表示用のドライバである信号線駆動回路120および走査線駆動回路130と、画素駆動回路150とが配設されている。この駆動パネル91には、図示しない封止パネルが貼り合わせられ、この封止パネルにより画素10および上記駆動回路が封止されている。
図9は、画素駆動回路150の等価回路図である。画素駆動回路150は、上記トランジスタ1,1A,1B,1Cのいずれかとして、トランジスタTr1,Tr2が配設されたアクティブ型の駆動回路である。トランジスタTr1,Tr2の間にはキャパシタCsが設けられ、第1の電源ライン(Vcc)および第2の電源ライン(GND)の間において、画素10がトランジスタTr1に直列に接続されている。このような画素駆動回路150では、列方向に信号線120Aが複数配置され、行方向に走査線130Aが複数配置されている。各信号線120Aは、信号線駆動回路120に接続され、この信号線駆動回路120から信号線120Aを介してトランジスタTr2のソース電極に画像信号が供給されるようになっている。各走査線130Aは走査線駆動回路130に接続され、この走査線駆動回路130から走査線130Aを介してトランジスタTr2のゲート電極に走査信号が順次供給されるようになっている。この表示装置では、トランジスタTr1,Tr2が、上記実施の形態の有機TFTの1,2により構成されているので、このトランジスタTr1,Tr2の良好なTFT特性により、高品質な表示が可能となる。このような表示装置90は、例えば次の適用例1〜7に示した電子機器に搭載することができる。
[適用例1]
図10Aおよび図10Bはそれぞれ、上記表示装置90が適用される電子ブックの外観を表したものである。この電子ブックは、例えば、表示部210および非表示部220を有しており、この表示部210が上記表示装置90により構成されている。
図10Aおよび図10Bはそれぞれ、上記表示装置90が適用される電子ブックの外観を表したものである。この電子ブックは、例えば、表示部210および非表示部220を有しており、この表示部210が上記表示装置90により構成されている。
[適用例2]
図11は、上記表示装置90が適用されるスマートフォンの外観を表したものである。このスマートフォンは、例えば、表示部230および非表示部240を有しており、この表示部230が上記表示装置90により構成されている。
図11は、上記表示装置90が適用されるスマートフォンの外観を表したものである。このスマートフォンは、例えば、表示部230および非表示部240を有しており、この表示部230が上記表示装置90により構成されている。
[適用例3]
図12は、上記表示装置90が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル310およびフィルターガラス320を含む映像表示画面部300を有しており、この映像表示画面部300は、上記表示装置90により構成されている。
図12は、上記表示装置90が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル310およびフィルターガラス320を含む映像表示画面部300を有しており、この映像表示画面部300は、上記表示装置90により構成されている。
[適用例4]
図13A,図13Bは、上記表示装置90が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部410、表示部420、メニュースイッチ430およびシャッターボタン440を有しており、この表示部420が上記表示装置90により構成されている。
図13A,図13Bは、上記表示装置90が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部410、表示部420、メニュースイッチ430およびシャッターボタン440を有しており、この表示部420が上記表示装置90により構成されている。
[適用例5]
図14は、上記表示装置90が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体510,文字等の入力操作のためのキーボード520および画像を表示する表示部530を有しており、この表示部530が上記表示装置90により構成されている。
図14は、上記表示装置90が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体510,文字等の入力操作のためのキーボード520および画像を表示する表示部530を有しており、この表示部530が上記表示装置90により構成されている。
[適用例6]
図15は、上記表示装置90が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部610,この本体部610の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ620,撮影時のスタート/ストップスイッチ630および表示部640を有している。そして、この表示部640が上記表示装置90により構成されている。
図15は、上記表示装置90が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部610,この本体部610の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ620,撮影時のスタート/ストップスイッチ630および表示部640を有している。そして、この表示部640が上記表示装置90により構成されている。
[適用例7]
図16A,図16Bは、上記表示装置90が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば、上側筐体710と下側筐体720とを連結部(ヒンジ部)730で連結したものであり、ディスプレイ740,サブディスプレイ750,ピクチャーライト760およびカメラ770を有している。そして、これらのうちのディスプレイ740またはサブディスプレイ750が、上記表示装置90により構成されている。
図16A,図16Bは、上記表示装置90が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば、上側筐体710と下側筐体720とを連結部(ヒンジ部)730で連結したものであり、ディスプレイ740,サブディスプレイ750,ピクチャーライト760およびカメラ770を有している。そして、これらのうちのディスプレイ740またはサブディスプレイ750が、上記表示装置90により構成されている。
更に、本技術の具体的な実施例について説明する。
(実験例1)
上記実施の形態で説明したのと同様にしてトランジスタを作製した。有機半導体膜上の保護膜は、PECVD法を用いて窒化ケイ素を成膜することにより形成した。ベア基板に同様の方法で窒化ケイ素を成膜しておき、この窒化ケイ素膜のFTIR(フーリエ変換型赤外分光)測定および膜厚測定を行うことにより保護膜におけるN−H結合密度を求めた。保護膜のN−H結合密度は、7.7×1021atm/cm3であった。
上記実施の形態で説明したのと同様にしてトランジスタを作製した。有機半導体膜上の保護膜は、PECVD法を用いて窒化ケイ素を成膜することにより形成した。ベア基板に同様の方法で窒化ケイ素を成膜しておき、この窒化ケイ素膜のFTIR(フーリエ変換型赤外分光)測定および膜厚測定を行うことにより保護膜におけるN−H結合密度を求めた。保護膜のN−H結合密度は、7.7×1021atm/cm3であった。
(実験例2)
保護膜のN−H結合密度を8.0×1021atm/cm3としたこと以外は、実験例1と同様にしてトランジスタを作製した。
保護膜のN−H結合密度を8.0×1021atm/cm3としたこと以外は、実験例1と同様にしてトランジスタを作製した。
(実験例3)
保護膜のN−H結合密度を1.2×1022atm/cm3としたこと以外は、実験例1と同様にしてトランジスタを作製した。
保護膜のN−H結合密度を1.2×1022atm/cm3としたこと以外は、実験例1と同様にしてトランジスタを作製した。
上記のように作製した実験例1〜3の移動度を調べた。この結果を表1に表す。表1中、線形移動度は線形領域における移動度、飽和移動度は飽和領域における移動度をそれぞれ表している。
線形移動度は、実験例1が0.70cm2/Vs、実験例2が0.62cm2/Vs、実験例3が0.58cm2/Vsであり、飽和移動度は、実験例1が0.60cm2/Vs、実験例2が0.49cm2/Vs、実験例3が0.30cm2/Vsであった。実験例1〜3のいずれのトランジスタも、線形移動度に比べて飽和移動度の方が低い値を示している。線形移動度の約7割以上の飽和移動度を有するトランジスタであればデバイスとして正常に動作できることがわかっている。実験例1〜3の比較から、保護膜のN−H結合密度が低くなるにつれて線形移動度および飽和移動度が向上することが確認された。特に、飽和移動度がN−H結合密度の値により大きく変化する。保護膜のN−H結合密度を8.0×1021atm/cm3以下にすることにより、飽和移動度の値が線形移動度の約7割以上となり、トランジスタが安定して動作する。
以上、実施の形態および変形例を挙げて本技術を説明したが、本技術は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば上記実施の形態等において説明した各層の材料および厚み、または成膜方法および成膜条件などは限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であってこれに限定されるものではなく、また他の効果があってもよい。
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
(1)ゲート電極と、前記ゲート電極に対向する有機半導体膜と、前記有機半導体膜の一部を覆う保護膜と、前記有機半導体膜に電気的に接続され、間隙を間にして対をなすソース・ドレイン電極とを備え、前記ソース・ドレイン電極は前記保護膜を覆い、前記ソース・ドレイン電極の間隙から前記保護膜が露出されているトランジスタ。
(2)前記ソース・ドレイン電極は、前記保護膜の表面から端面を覆っている前記(1)に記載のトランジスタ。
(3)前記間隙を間にした前記ソース・ドレイン電極の互いの対向面は、前記保護膜上に設けられている前記(1)または(2)に記載のトランジスタ。
(4)前記保護膜は、第1層および第2層を含む積層構造を有している前記(1)乃至(3)のうちいずれか1つに記載のトランジスタ。
(5)前記保護膜は、無機絶縁材料を含んでいる前記(1)乃至(4)のうちいずれか1つに記載のトランジスタ。
(6)前記保護膜は、窒化ケイ素を含んでいる前記(1)乃至(5)のうちいずれか1つに記載のトランジスタ。
(7)前記保護膜のN―H結合密度は、1.0×1022atm/cm3以下である前記( 6)に記載のトランジスタ。
(8)前記保護膜のN―H結合密度は、8.0×1021atm/cm3以下である前記(6)に記載のトランジスタ。
(9)前記第1層および前記第2層が窒化ケイ素を含み、前記第1層と前記第2層では、互いにN―H結合密度が異なる前記(4)に記載のトランジスタ。
(10)前記第1層の構成材料と前記第2層の構成材料とが互いに異なる前記(4)に記載のトランジスタ。
(11)前記保護膜の構成材料は所定の溶媒に溶解し、前記溶媒に、前記有機半導体膜は不溶である前記(1)乃至(10)のうちいずれか1つに記載のトランジスタ。
(12)表示素子および前記表示素子を駆動するトランジスタを備え、前記トランジスタは、ゲート電極と、前記ゲート電極に対向する有機半導体膜と、前記有機半導体膜の一部を覆う保護膜と、前記有機半導体膜に電気的に接続され、間隙を間にして対をなすソース・ドレイン電極とを備え、前記ソース・ドレイン電極は前記保護膜を覆い、前記ソース・ドレイン電極の間隙から前記保護膜が露出されている表示装置。
(1)ゲート電極と、前記ゲート電極に対向する有機半導体膜と、前記有機半導体膜の一部を覆う保護膜と、前記有機半導体膜に電気的に接続され、間隙を間にして対をなすソース・ドレイン電極とを備え、前記ソース・ドレイン電極は前記保護膜を覆い、前記ソース・ドレイン電極の間隙から前記保護膜が露出されているトランジスタ。
(2)前記ソース・ドレイン電極は、前記保護膜の表面から端面を覆っている前記(1)に記載のトランジスタ。
(3)前記間隙を間にした前記ソース・ドレイン電極の互いの対向面は、前記保護膜上に設けられている前記(1)または(2)に記載のトランジスタ。
(4)前記保護膜は、第1層および第2層を含む積層構造を有している前記(1)乃至(3)のうちいずれか1つに記載のトランジスタ。
(5)前記保護膜は、無機絶縁材料を含んでいる前記(1)乃至(4)のうちいずれか1つに記載のトランジスタ。
(6)前記保護膜は、窒化ケイ素を含んでいる前記(1)乃至(5)のうちいずれか1つに記載のトランジスタ。
(7)前記保護膜のN―H結合密度は、1.0×1022atm/cm3以下である前記( 6)に記載のトランジスタ。
(8)前記保護膜のN―H結合密度は、8.0×1021atm/cm3以下である前記(6)に記載のトランジスタ。
(9)前記第1層および前記第2層が窒化ケイ素を含み、前記第1層と前記第2層では、互いにN―H結合密度が異なる前記(4)に記載のトランジスタ。
(10)前記第1層の構成材料と前記第2層の構成材料とが互いに異なる前記(4)に記載のトランジスタ。
(11)前記保護膜の構成材料は所定の溶媒に溶解し、前記溶媒に、前記有機半導体膜は不溶である前記(1)乃至(10)のうちいずれか1つに記載のトランジスタ。
(12)表示素子および前記表示素子を駆動するトランジスタを備え、前記トランジスタは、ゲート電極と、前記ゲート電極に対向する有機半導体膜と、前記有機半導体膜の一部を覆う保護膜と、前記有機半導体膜に電気的に接続され、間隙を間にして対をなすソース・ドレイン電極とを備え、前記ソース・ドレイン電極は前記保護膜を覆い、前記ソース・ドレイン電極の間隙から前記保護膜が露出されている表示装置。
1,1A,1B,1C…トランジスタ、11…基板、12…ゲート電極、13…ゲート絶縁膜、14…有機半導体膜、15A,15B…ソース・ドレイン電極、16,26,36…保護膜、26A,36A…第1層、26B,36B…第2層、90・・・表示装置、91・・・駆動パネル、10・・・画素、110・・・表示領域、120・・・信号線駆動回路、130・・・走査線駆動回路、150・・・画素駆動回路、Tr1,Tr2・・・トランジスタ。
Claims (12)
- ゲート電極と、
前記ゲート電極に対向する有機半導体膜と、
前記有機半導体膜の一部を覆う保護膜と、
前記有機半導体膜に電気的に接続され、間隙を間にして対をなすソース・ドレイン電極とを備え、
前記ソース・ドレイン電極は前記保護膜を覆い、前記ソース・ドレイン電極の間隙から前記保護膜が露出されている
トランジスタ。 - 前記ソース・ドレイン電極は、前記保護膜の表面から端面を覆っている
請求項1に記載のトランジスタ。 - 前記間隙を間にした前記ソース・ドレイン電極の互いの対向面は、前記保護膜上に設けられている
請求項1に記載のトランジスタ。 - 前記保護膜は、第1層および第2層を含む積層構造を有している
請求項1に記載のトランジスタ。 - 前記保護膜は、無機絶縁材料を含んでいる
請求項1に記載のトランジスタ。 - 前記保護膜は、窒化ケイ素を含んでいる
請求項1に記載のトランジスタ。 - 前記保護膜のN―H結合密度は、1.0×1022atm/cm3以下である
請求項6に記載のトランジスタ。 - 前記保護膜のN―H結合密度は、8.0×1021atm/cm3以下である
請求項6に記載のトランジスタ。 - 前記第1層および前記第2層が窒化ケイ素を含み、
前記第1層と前記第2層では、互いにN―H結合密度が異なる
請求項4に記載のトランジスタ。 - 前記第1層の構成材料と前記第2層の構成材料とが互いに異なる
請求項4に記載のトランジスタ。 - 前記保護膜の構成材料は所定の溶媒に溶解し、
前記溶媒に、前記有機半導体膜は不溶である
請求項1に記載のトランジスタ。 - 表示素子および前記表示素子を駆動するトランジスタを備え、
前記トランジスタは、
ゲート電極と、
前記ゲート電極に対向する有機半導体膜と、
前記有機半導体膜の一部を覆う保護膜と、
前記有機半導体膜に電気的に接続され、間隙を間にして対をなすソース・ドレイン電極とを備え、
前記ソース・ドレイン電極は前記保護膜を覆い、前記ソース・ドレイン電極の間隙から前記保護膜が露出されている
表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014053492A JP2015177099A (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | トランジスタおよび表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014053492A JP2015177099A (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | トランジスタおよび表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015177099A true JP2015177099A (ja) | 2015-10-05 |
Family
ID=54255976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014053492A Pending JP2015177099A (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | トランジスタおよび表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015177099A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020049956A1 (ja) | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 有機薄膜トランジスタ、および、有機薄膜トランジスタの製造方法 |
-
2014
- 2014-03-17 JP JP2014053492A patent/JP2015177099A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020049956A1 (ja) | 2018-09-03 | 2020-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 有機薄膜トランジスタ、および、有機薄膜トランジスタの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7781760B2 (en) | Thin film transistor, electro-optical device, and electronic apparatus | |
CN102280582B (zh) | 显示装置的制造方法 | |
US7180108B2 (en) | Transistor, circuit board, display and electronic equipment | |
US8030642B2 (en) | Organic thin film transistor, method of manufacturing the same, and flat panel display having the same | |
JP4455517B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP5630036B2 (ja) | 有機トランジスター、有機トランジスターの製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
US8405073B2 (en) | Organic thin film transistor with a protective layer between source and drain electrodes and electronic device | |
US20110297938A1 (en) | Thin film transistor, method of manufacturing the same, and electronic device | |
JP2014032983A (ja) | 半導体装置、表示装置および電子機器 | |
JP2013084845A (ja) | 有機薄膜トランジスタ、有機薄膜トランジスタの製造方法および表示装置 | |
JP2009146956A (ja) | 薄膜トランジスタ、電気光学装置および電子機器 | |
US8076733B2 (en) | Flat panel display device having an organic thin film transistor and method of manufacturing the same | |
US9634271B2 (en) | Semiconductor device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus | |
US7897216B2 (en) | Method for manufacturing organic device and electronic apparatus | |
JP2015177099A (ja) | トランジスタおよび表示装置 | |
KR102277814B1 (ko) | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 상기 박막 트랜지스터를 포함하는 전자 소자 | |
US9484542B2 (en) | Thin film transistor panel and method of manufacturing the same, and electronic device including the thin film transistor panel | |
US8735998B2 (en) | Transistor and method of producing same, and display | |
JP2005248315A (ja) | 成膜方法、膜、電子部品および電子機器 | |
KR101482551B1 (ko) | 유기 박막트랜지스터 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법 | |
KR101435474B1 (ko) | 유기 박막트랜지스터 액정표시장치용 어레이 기판 및 그제조방법 | |
JP2011165947A (ja) | 薄膜トランジスタおよび電子機器 | |
KR20080044436A (ko) | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 | |
JP2013004867A (ja) | 薄膜トランジスタ | |
JP2013033886A (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法、電子機器 |