JP2015175600A - Correcting apparatus - Google Patents

Correcting apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2015175600A
JP2015175600A JP2014049469A JP2014049469A JP2015175600A JP 2015175600 A JP2015175600 A JP 2015175600A JP 2014049469 A JP2014049469 A JP 2014049469A JP 2014049469 A JP2014049469 A JP 2014049469A JP 2015175600 A JP2015175600 A JP 2015175600A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
rod
value
inclined surface
cylindrical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014049469A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5925824B2 (en
Inventor
田中 誠
Makoto Tanaka
田中  誠
秀雄 石丸
Hideo Ishimaru
秀雄 石丸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chugoku Electric Power Co Inc
Original Assignee
Chugoku Electric Power Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chugoku Electric Power Co Inc filed Critical Chugoku Electric Power Co Inc
Priority to JP2014049469A priority Critical patent/JP5925824B2/en
Publication of JP2015175600A publication Critical patent/JP2015175600A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5925824B2 publication Critical patent/JP5925824B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a correcting apparatus that performs open/short correction on the parasitic component, such as a cable portion other than the electrode portion, among distortion measuring apparatuses that can measure distortion by measuring the electrostatic capacitance between the cylindrical electrode and the rod-like electrode.SOLUTION: A correcting apparatus comprises a first electrode body 7 having a cylindrical electrode 72 and a second electrode body 3 having a rod-like electrode 32 inserted into the cylindrical electrode, for correcting measurement error of a measuring apparatus that performs measurement based on the electrostatic capacitance defined according to a state in which the rod-like electrode is inserted into the cylindrical electrode. The correcting apparatus comprises a first frame on which the first electrode body is disposed and a second frame on which the second electrode body is disposed. At least one among the first frame and the second frame moves to make the cylindrical electrode and the rod-like electrode contact when a first value is obtained for the short correction on the measurement error, and moves to make the rod-like electrode come outside and separate from the cylindrical electrode when a second value is obtained for the open correction on the measurement error.

Description

本発明は、補正装置に関する。   The present invention relates to a correction apparatus.

例えば、被測定物の歪を測定する歪測定装置が知られている(例えば特許文献1)。   For example, a strain measuring device that measures strain of an object to be measured is known (for example, Patent Document 1).

特開2011-89936号公報JP 2011-89936 A

例えば、特許文献1の歪測定装置においては、筒状電極と、当該筒状電極の内部に挿入される棒状電極とが被測定物に対して固定されている。このような歪測定装置におけるひずみ量を正確に測定するためには,筒状電極と棒状電極との間の静電容量を正確に測定することが必要で,そのためには電極部以外のケーブル部分等の寄生成分をオープン/ショート補正により補正すること有効である。しかしこうしたオープン/ショート補正を行うには,電極部を互いに接触/離間させる必要があり,例えば、従来は常温でしか補正を行うことができず,より精度の高い補正を行うための高温でのオープン/ショート補正は困難であった。従って、この歪測定装置においては、実際の使用環境下である高温でのオープン/ショート補正を行うことができないため,被測定物における歪の測定精度が低下する虞がある。   For example, in the strain measuring device of Patent Document 1, a cylindrical electrode and a rod-shaped electrode inserted into the cylindrical electrode are fixed to the object to be measured. In order to accurately measure the amount of strain in such a strain measuring device, it is necessary to accurately measure the capacitance between the cylindrical electrode and the rod-shaped electrode. It is effective to correct such parasitic components by open / short correction. However, in order to perform such open / short correction, it is necessary to contact / separate the electrodes from each other. For example, conventionally, correction can be performed only at room temperature, and at a high temperature for more accurate correction. Open / short correction was difficult. Therefore, in this strain measuring apparatus, since open / short correction cannot be performed at a high temperature under an actual use environment, there is a possibility that the strain measurement accuracy in the object to be measured is lowered.

前述した課題を解決する主たる本発明は、筒状電極を有する第1電極体と、前記筒状電極に挿入される棒状電極を有する第2電極体と、を有しており、前記筒状電極への前記棒状電極の挿入され具合に応じて定まる静電容量に基づく測定を行う測定装置の測定誤差を補正するための補正装置であって、前記第1電極体が載置される第1架台と、前記第2電極体が載置される第2架台と、を備え、前記第1及び第2架台のうちの少なくとも一方の架台は、前記測定誤差をショート補正するための第1値を取得する場合、前記筒状電極と前記棒状電極とが接触するように移動し、前記測定誤差をオープン補正するための第2値を取得する場合、前記棒状電極が前記筒状電極の外部に出て離間するように移動することを特徴とする補正装置である。   The main present invention that solves the above-described problems includes a first electrode body having a cylindrical electrode and a second electrode body having a rod-shaped electrode inserted into the cylindrical electrode, and the cylindrical electrode A correction device for correcting a measurement error of a measurement device that performs measurement based on capacitance determined according to the degree of insertion of the rod-shaped electrode into the first frame, on which the first electrode body is placed And a second gantry on which the second electrode body is placed, and at least one of the first and second gantry obtains a first value for short-circuit correcting the measurement error When the second electrode is moved so that the cylindrical electrode and the rod electrode are in contact with each other and the measurement error is subjected to open correction, the rod electrode comes out of the cylindrical electrode. The correction apparatus is characterized by moving so as to be separated.

本発明の他の特徴については、添付図面及び本明細書の記載により明らかとなる。   Other features of the present invention will become apparent from the accompanying drawings and the description of this specification.

本発明によれば、測定誤差をショート補正するための第1値及び測定誤差をオープン補正するための第2値を取得することができる。   According to the present invention, it is possible to acquire the first value for correcting the measurement error by a short circuit and the second value for correcting the measurement error by open correction.

本発明の第1実施形態における歪測定装置を示す図である。It is a figure which shows the distortion measuring apparatus in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態における歪測定装置の一部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a part of distortion measuring apparatus in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態における歪測定装置の一部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of distortion measuring apparatus in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態における第1装置を示す正面図である。It is a front view which shows the 1st apparatus in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態における棒状電極及び筒状電極を離間させた状態の補正装置を示す図である。It is a figure which shows the correction | amendment apparatus of the state which separated the rod-shaped electrode and cylindrical electrode in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態における補正装置を示す斜視図である。It is a perspective view showing the amendment device in a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1実施形態における棒状電極及び筒状電極を接触させた状態の補正装置を示す図である。It is a figure which shows the correction | amendment apparatus of the state which made the rod-shaped electrode and cylindrical electrode in 1st Embodiment of this invention contact. 本発明の第1実施形態における歪計を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the strain meter in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態における歪測定装置を示す図である。It is a figure which shows the distortion measuring apparatus in 2nd Embodiment of this invention.

本明細書および添付図面の記載により、少なくとも以下の事項が明らかとなる。   At least the following matters will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

[第1実施形態]
===歪測定装置===
以下、図1及び図2を参照して、本実施形態における歪測定装置について説明する。図1は、本実施形態における歪測定装置を示す図である。尚、第1電極体7及び第2電極体3は、第1電極体7及び第2電極体3の略中央を通り且つXZ平面(図2)に平行な断面における断面図として示されている。容量計5に対応する構成については、一点鎖線で囲まれている。各同軸ケーブル等の導体に囲まれている信号線については、破線で示されている。図2は、本実施形態における歪測定装置の一部を示す斜視図である。尚、図2においては、説明の便宜上、第1同軸ケーブル93、第2同軸ケーブル91(「各同軸ケーブル」とも称する)、調整螺子86(図4)等については省略されている。
[First embodiment]
=== Strain measuring device ===
Hereinafter, the strain measuring apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a diagram illustrating a strain measuring apparatus according to the present embodiment. In addition, the 1st electrode body 7 and the 2nd electrode body 3 are shown as sectional drawing in the cross section which passes through the approximate center of the 1st electrode body 7 and the 2nd electrode body 3, and is parallel to XZ plane (FIG. 2). . The configuration corresponding to the capacitance meter 5 is surrounded by a one-dot chain line. Signal lines surrounded by conductors such as coaxial cables are indicated by broken lines. FIG. 2 is a perspective view showing a part of the strain measuring apparatus in the present embodiment. In FIG. 2, for convenience of explanation, the first coaxial cable 93, the second coaxial cable 91 (also referred to as “each coaxial cable”), the adjusting screw 86 (FIG. 4), and the like are omitted.

歪測定装置300は、例えば火力発電所に設けられた、ボイラ、タービン、配管等における溶接されている部分の歪量を測定するための装置である。尚、歪量とは、例えば、測定対象物の変形に応じた、当該測定対象物の変位量を示すものとする。歪測定装置300は、例えば600℃程度の比較的高温となっている金属製の配管400(被測定物)における溶接部等の測定対象部分401の歪量を測定するための静電容量方式の変位計である。   The strain measuring device 300 is a device for measuring the strain amount of a welded portion in a boiler, a turbine, a pipe or the like provided in, for example, a thermal power plant. Note that the strain amount indicates, for example, the amount of displacement of the measurement object according to the deformation of the measurement object. The strain measuring apparatus 300 is, for example, an electrostatic capacity method for measuring the amount of strain of a measurement target portion 401 such as a welded portion in a metal pipe 400 (measurement object) having a relatively high temperature of about 600 ° C. Displacement meter.

歪測定装置300は、第1装置800(図2)、第2装置200、容量計5(測定装置)、歪計4を有する。尚、本実施形態において、Z軸は、第1装置800及び第2装置200が立設する高さ方向(垂直方向)に沿う軸であり、+Zは、配管400から第1装置800に向かう上方向を示し、−Zは、第1装置800から配管400に向かう下方向を示すものとする。又、X軸は、第1装置800及び第2装置200が隣接する方向に沿う軸であり、+Xは、第2装置200から第1装置800に向かう方向を示し、−Xは、第1装置800から第2装置200に向かう方向を示すものとする。又、Y軸は、X軸及びZ軸に対して直交する軸であり、+Yは、第1装置800におけるスリット8Bが設けられている一方の側面からスリット8Bが設けられていない他方の側面に向かう方向を示し、−Yは、第1装置800における他方の側面から一方の側面に向かう方向を示すものとする。   The strain measuring device 300 includes a first device 800 (FIG. 2), a second device 200, a capacity meter 5 (measuring device), and a strain meter 4. In the present embodiment, the Z axis is an axis along the height direction (vertical direction) where the first device 800 and the second device 200 are erected, and + Z is an upward direction from the pipe 400 toward the first device 800. A direction is indicated, and −Z indicates a downward direction from the first device 800 toward the pipe 400. The X axis is an axis along the direction in which the first device 800 and the second device 200 are adjacent to each other, + X indicates the direction from the second device 200 toward the first device 800, and -X is the first device. It is assumed that the direction from 800 toward the second device 200 is shown. The Y axis is an axis orthogonal to the X axis and the Z axis, and + Y is from one side surface of the first device 800 where the slit 8B is provided to the other side surface where the slit 8B is not provided. The direction to go is shown, -Y shall show the direction which goes to the one side surface from the other side surface in the 1st apparatus 800. FIG.

第1装置800及び第2装置200は、金属製の配管400における測定対象部分401の歪量を測定する際に、配管400が延在する方向(X軸)において、測定対象部分401の両側に設けられる。第1装置800及び第2装置200は、測定対象部分401における当該配管400が延在する方向(配管400の長手方向)の歪量を測定するためのセンサとして機能する。   When the first device 800 and the second device 200 measure the strain amount of the measurement target portion 401 in the metal pipe 400, the first device 800 and the second device 200 are arranged on both sides of the measurement target portion 401 in the direction (X axis) in which the pipe 400 extends. Provided. The first device 800 and the second device 200 function as sensors for measuring the strain amount in the direction in which the pipe 400 extends in the measurement target portion 401 (longitudinal direction of the pipe 400).

容量計5は、棒状電極32と筒状電極72とによって形成されるコンデンサ(「電極により形成されるコンデンサ」とも称する)の容量を測定するための、例えばLCRメータである。   The capacitance meter 5 is, for example, an LCR meter for measuring the capacitance of a capacitor formed by the rod-shaped electrode 32 and the cylindrical electrode 72 (also referred to as “a capacitor formed by electrodes”).

歪計4は、容量計5の測定結果に基づいて、測定対象部分401の歪量を測定する。   The strain meter 4 measures the strain amount of the measurement target portion 401 based on the measurement result of the capacitance meter 5.

===第1装置、第2装置===
以下、図1乃至図4を参照して、本実施形態における第1装置及び第2装置について説明する。図3は、本実施形態における歪測定装置の一部を示す断面図である。尚、図3は、図2における第1装置800の略中央を通るXZ平面から+Y方向へ向かって見た状態の、第1装置800及び第2装置200を示している。又、図3では、説明の便宜上、調整螺子86(図4)は省略されている。図4は、本実施形態における第1装置を示す正面図である。
=== first device, second device ===
Hereinafter, the first device and the second device in the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a part of the strain measuring apparatus according to the present embodiment. FIG. 3 shows the first device 800 and the second device 200 in the state viewed from the XZ plane passing through the approximate center of the first device 800 in FIG. 2 toward the + Y direction. In FIG. 3, the adjusting screw 86 (FIG. 4) is omitted for convenience of explanation. FIG. 4 is a front view showing the first device in the present embodiment.

=第1装置=
第1装置800は、配管400における測定対象部分401よりも+X側に例えば溶接されて固定される。第1装置800は、第1取付装置8、第1電極体7を有する。
= First device =
The first device 800 is fixed by welding, for example, on the + X side of the measurement target portion 401 in the pipe 400. The first device 800 includes a first attachment device 8 and a first electrode body 7.

<第1取付装置>
第1取付装置8は、第1電極体7を配管400に対して着脱自在に取り付けるための装置であり、配管400に固定される。第1取付装置8は、第1金属部材81、第1絶縁部材82、83、金属製の脚85、調整螺子86(図4)を有する。
<First mounting device>
The first attachment device 8 is a device for detachably attaching the first electrode body 7 to the pipe 400 and is fixed to the pipe 400. The first attachment device 8 includes a first metal member 81, first insulating members 82 and 83, a metal leg 85, and an adjusting screw 86 (FIG. 4).

第1金属部材81は、配管400に対して第1電極体7を取り付けるべく、棒状電極32が筒状電極72に挿入されるように、第1絶縁部材82、83と配管400との間において第1絶縁部材82、83の周囲を取り囲んでいる。   The first metal member 81 is disposed between the first insulating members 82 and 83 and the pipe 400 so that the rod-shaped electrode 32 is inserted into the cylindrical electrode 72 in order to attach the first electrode body 7 to the pipe 400. The first insulating members 82 and 83 are surrounded.

第1金属部材81は、スリット8B、螺子孔81A、81Bを有する。スリット8Bは、金属部材81を変形させるための隙間である。螺子孔81A、81Bは、第1金属部材81におけるスリット8Bが設けられている側(−Y)において、Z軸に沿って設けられている。   The first metal member 81 has a slit 8B and screw holes 81A and 81B. The slit 8 </ b> B is a gap for deforming the metal member 81. The screw holes 81A and 81B are provided along the Z axis on the side (-Y) where the slit 8B is provided in the first metal member 81.

第1金属部材81における底面(−Z)の四隅に脚85が、例えば溶接されている。当該脚85は、配管400に対して例えば溶接される。つまり、第1金属部材81は、配管400に対して脚85によって強固に固定されることとなる。   Legs 85 are welded, for example, to the four corners of the bottom surface (−Z) of the first metal member 81. The leg 85 is welded to the pipe 400, for example. That is, the first metal member 81 is firmly fixed to the pipe 400 by the legs 85.

第1絶縁部材82、83は、配管400に対して第1電極体7を電気的に絶縁した状態で保持するための例えばセラミックス等の一対の絶縁部材である。第1絶縁部材82、83は、第1金属部材81の内部に固定されている。第1絶縁部材82、83は夫々、Z軸における上側及び下側に固定されている。   The first insulating members 82 and 83 are a pair of insulating members such as ceramics for holding the first electrode body 7 in an electrically insulated state with respect to the pipe 400. The first insulating members 82 and 83 are fixed inside the first metal member 81. The first insulating members 82 and 83 are fixed to the upper and lower sides in the Z axis, respectively.

調整螺子86は、第1電極体7を保持するために第1金属部材81を変形させるのに用いられる。調整螺子86は、螺子孔81A、81Bに連続的に螺着される。Z軸方向におけるスリット8Bの幅が、調整螺子86によって狭められた場合、第1金属部材81の内部に設けられている第1電極体7は、第1絶縁部材82、83によって挟持される。そして、第1電極体7は、第1取付装置8によって配管400に取り付けられることになる。   The adjusting screw 86 is used to deform the first metal member 81 in order to hold the first electrode body 7. The adjusting screw 86 is continuously screwed into the screw holes 81A and 81B. When the width of the slit 8 </ b> B in the Z-axis direction is narrowed by the adjusting screw 86, the first electrode body 7 provided inside the first metal member 81 is sandwiched between the first insulating members 82 and 83. The first electrode body 7 is attached to the pipe 400 by the first attachment device 8.

<第1電極体>
第1電極体7は、第1ケース71、筒状電極72、第1支持部材73を有する。
<First electrode body>
The first electrode body 7 includes a first case 71, a cylindrical electrode 72, and a first support member 73.

第1ケース71は、筒状電極72を収容する例えば金属製の筐体である。第1ケース71の外形は、例えば、円柱形状を呈する。第1ケース71は、内部に筒状電極72を収容できるように、中空構造を呈する。尚、X軸方向における第1ケース71の長さは、筒状電極72全体を収容できるように、X軸方向における筒状電極72の長さよりも長くされている。第1ケース71の内径は、筒状電極72の外径よりも大きくされている。   The first case 71 is, for example, a metal housing that houses the cylindrical electrode 72. The external shape of the first case 71 has, for example, a cylindrical shape. The first case 71 has a hollow structure so that the cylindrical electrode 72 can be accommodated therein. Note that the length of the first case 71 in the X-axis direction is longer than the length of the cylindrical electrode 72 in the X-axis direction so that the entire cylindrical electrode 72 can be accommodated. The inner diameter of the first case 71 is larger than the outer diameter of the cylindrical electrode 72.

第1ケース71は、第1開口74、第2開口75を有する。   The first case 71 has a first opening 74 and a second opening 75.

第1開口74には、第1同軸ケーブル93の一端が挿入される。第1開口74は、第2電極体3側(−X)とは反対側(+X)に設けられる。第2開口75は、筒状電極72の内部と通じている。第2開口75は、第2電極体3側に設けられる。   One end of the first coaxial cable 93 is inserted into the first opening 74. The first opening 74 is provided on the opposite side (+ X) to the second electrode body 3 side (−X). The second opening 75 communicates with the inside of the cylindrical electrode 72. The second opening 75 is provided on the second electrode body 3 side.

第1支持部材73は、第1ケース71に対して筒状電極72が接触しないように、第1ケース71の内部において筒状電極72を支持する。第1支持部材73は、例えばセラミックス等の絶縁性の部材である。第1支持部材73は、第1ケース71の内部全体に設けられていることとしてもよい。   The first support member 73 supports the cylindrical electrode 72 inside the first case 71 so that the cylindrical electrode 72 does not contact the first case 71. The first support member 73 is an insulating member such as ceramics. The first support member 73 may be provided in the entire interior of the first case 71.

筒状電極72は、棒状電極32と共にコンデンサを形成するための金属製の部材である。筒状電極72は、配管400の長手方向(X軸)に沿って延在している。筒状電極72は、棒状電極32がX軸に沿って進退自在に挿入される。筒状電極72は、第1ケース71と接触しないように、第1支持部材73によって第1ケース71の内部に固定される。   The cylindrical electrode 72 is a metal member for forming a capacitor together with the rod-shaped electrode 32. The cylindrical electrode 72 extends along the longitudinal direction (X axis) of the pipe 400. The cylindrical electrode 72 is inserted so that the rod-shaped electrode 32 can advance and retreat along the X axis. The cylindrical electrode 72 is fixed inside the first case 71 by the first support member 73 so as not to contact the first case 71.

=第2装置=
第2装置200は、配管400における測定対象部分401よりも−X側に例えば溶接されて固定される。第2装置200は、第2取付装置2、第2電極体3を有する。
= Second device =
The second device 200 is fixed by welding, for example, closer to the −X side than the measurement target portion 401 in the pipe 400. The second device 200 includes a second attachment device 2 and a second electrode body 3.

<第2取付装置>
第2取付装置2は、第2電極体3を配管400に対して着脱自在に取り付けるための装置であり、配管400に固定される。
<Second mounting device>
The second attachment device 2 is a device for detachably attaching the second electrode body 3 to the pipe 400 and is fixed to the pipe 400.

尚、第2取付装置2の構成は、第1取付装置8の構成と同様である。つまり、第2取付装置2における第2金属部材21、第2絶縁部材22、23、調整螺子(不図示)、脚25夫々の構成は、第1金属部材81、第1絶縁部材82、83、調整螺子86、脚85の構成と同様である。   The configuration of the second mounting device 2 is the same as the configuration of the first mounting device 8. That is, the second metal member 21, the second insulating members 22 and 23, the adjusting screw (not shown), and the legs 25 in the second attachment device 2 are configured with the first metal member 81, the first insulating members 82 and 83, The configuration is the same as that of the adjusting screw 86 and the leg 85.

<第2電極体>
第2電極体3は、第2ケース31、棒状電極32、第2支持部材33を有する。
<Second electrode body>
The second electrode body 3 includes a second case 31, a rod-shaped electrode 32, and a second support member 33.

第2ケース31は、棒状電極32の一部を収容する例えば金属製の筐体である。第2ケース31の外形は、例えば、円柱形状を呈する。第2ケース31は、内部に棒状電極32の一部を収容できるように、中空構造を呈する。第2ケース31の内径は、棒状電極32の外径よりも大きくされている。   The second case 31 is, for example, a metal housing that houses a part of the rod-shaped electrode 32. The external shape of the second case 31 has, for example, a cylindrical shape. The second case 31 has a hollow structure so that a part of the rod-shaped electrode 32 can be accommodated therein. The inner diameter of the second case 31 is made larger than the outer diameter of the rod electrode 32.

第2ケース31は、第1開口34、第2開口35を有する。   The second case 31 has a first opening 34 and a second opening 35.

第1開口34には、第2同軸ケーブル91の一端が挿入される。第1開口34は、第1電極体7側(+X)とは反対側(−X)に設けられる。第2開口35からは、棒状電極32が突出している。第2開口35は、第1電極体7側に設けられる。   One end of the second coaxial cable 91 is inserted into the first opening 34. The first opening 34 is provided on the side (−X) opposite to the first electrode body 7 side (+ X). A rod-shaped electrode 32 protrudes from the second opening 35. The second opening 35 is provided on the first electrode body 7 side.

第2支持部材33は、第2ケース31に対して棒状電極32が接触しないように、第2ケース31の内部において棒状電極32を支持する。第2支持部材33は、例えばセラミックス等の絶縁性の部材である。第2支持部材33は、第2ケース31の内部全体に設けられていることとしてもよい。   The second support member 33 supports the rod-shaped electrode 32 inside the second case 31 so that the rod-shaped electrode 32 does not contact the second case 31. The second support member 33 is an insulating member such as ceramics. The second support member 33 may be provided in the entire interior of the second case 31.

棒状電極32は、筒状電極72と共にコンデンサを形成するための金属製の部材である。棒状電極32は、配管400の長手方向(X軸)に沿って延在している。棒状電極32は、X軸に沿って筒状電極72に対して進退自在に挿入される。棒状電極32は、第2ケース31と接触しないように、第2支持部材33によって第2ケース31の内部に固定される。棒状電極32は、例えば、円柱形状を呈している。   The rod-shaped electrode 32 is a metal member for forming a capacitor together with the cylindrical electrode 72. The rod-shaped electrode 32 extends along the longitudinal direction (X axis) of the pipe 400. The rod-shaped electrode 32 is inserted into the cylindrical electrode 72 so as to be movable back and forth along the X axis. The rod-shaped electrode 32 is fixed inside the second case 31 by the second support member 33 so as not to contact the second case 31. The rod-shaped electrode 32 has a cylindrical shape, for example.

<コンデンサの静電容量>
棒状電極32及び筒状電極72によって形成されるコンデンサの静電容量の値は、配管400が延在する方向(X軸)における第1装置800と第2装置200との間の距離に応じて定められることになる。つまり、コンデンサの静電容量の値は、棒状電極32の筒状電極72に挿入される部分の長さに応じて定まることになる。従って、コンデンサの静電容量の値の変動に基づいて、測定対象部分401における棒状電極32が筒状電極72に挿入される方向(X軸)の歪量を求めることが可能となる。
<Capacitance of capacitor>
The capacitance value of the capacitor formed by the rod-shaped electrode 32 and the cylindrical electrode 72 depends on the distance between the first device 800 and the second device 200 in the direction (X axis) in which the pipe 400 extends. Will be determined. That is, the capacitance value of the capacitor is determined according to the length of the portion of the rod-like electrode 32 inserted into the cylindrical electrode 72. Therefore, the strain amount in the direction (X axis) in which the rod-shaped electrode 32 in the measurement target portion 401 is inserted into the cylindrical electrode 72 can be obtained based on the fluctuation of the capacitance value of the capacitor.

===容量計===
以下、図1を参照して、本実施形態における容量計について説明する。
=== Capacitance meter ===
Hereinafter, the capacity meter in the present embodiment will be described with reference to FIG.

容量計5は、電極により形成されるコンデンサの容量を、例えば自動平衡ブリッジ法に基づいて測定する装置である。   The capacitance meter 5 is a device that measures the capacitance of the capacitor formed by the electrodes based on, for example, an automatic balance bridge method.

容量計5は、電圧源513、電圧計523、アンプ533、電流計543を有する。容量計5と、筒状電極72及び棒状電極32とは、各同軸ケーブルを介して接続される。   The capacitance meter 5 includes a voltage source 513, a voltmeter 523, an amplifier 533, and an ammeter 543. The capacitance meter 5 is connected to the cylindrical electrode 72 and the rod-shaped electrode 32 via respective coaxial cables.

<接続>
第1同軸ケーブル93の信号線931の他端は筒状電極72に例えばスポット溶接により接続されており、信号線931の一端はアンプ533における一方の入力及び電流計543の一端に二股コネクタ63を介して接続されている。第1同軸ケーブル93の外皮としての導体932の他端は第1ケース71に接続されており、導体932の一端はアンプ533における他方の入力及び電流計543の他端に二股コネクタ63を介して接続されている。
<Connection>
The other end of the signal line 931 of the first coaxial cable 93 is connected to the cylindrical electrode 72 by, for example, spot welding. One end of the signal line 931 is connected to one input of the amplifier 533 and one end of the ammeter 543 to the bifurcated connector 63. Connected through. The other end of the conductor 932 as the outer skin of the first coaxial cable 93 is connected to the first case 71, and one end of the conductor 932 is connected to the other input of the amplifier 533 and the other end of the ammeter 543 via the bifurcated connector 63. It is connected.

第2同軸ケーブル91の信号線911の他端は棒状電極32に例えばスポット溶接により接続されており、信号線911の一端は電圧源513の一端及び電圧計523の一端に二股コネクタ61を介して接続されている。第2同軸ケーブル91の外皮としての導体912の他端は第2ケース31に接続されており、導体912の一端は電圧源513の他端及び電圧計523の他端に二股コネクタ61を介して接続されている。   The other end of the signal line 911 of the second coaxial cable 91 is connected to the rod-shaped electrode 32 by spot welding, for example, and one end of the signal line 911 is connected to one end of the voltage source 513 and one end of the voltmeter 523 via the bifurcated connector 61. It is connected. The other end of the conductor 912 as the outer cover of the second coaxial cable 91 is connected to the second case 31, and one end of the conductor 912 is connected to the other end of the voltage source 513 and the other end of the voltmeter 523 via the bifurcated connector 61. It is connected.

<容量測定>
容量計5は、電圧源513の出力電圧、電圧計523及び電流計543の測定結果等に基づいて、電極により形成されるコンデンサの容量を測定し、測定結果を示す測定情報を出力する。尚、ガード電流を流して容量の測定精度を向上させるために、第1ケース71と第2ケース31とは、導電ケーブル900を介して電気的に接続されている。
<Capacity measurement>
The capacitance meter 5 measures the capacitance of the capacitor formed by the electrodes based on the output voltage of the voltage source 513, the measurement results of the voltmeter 523 and the ammeter 543, and outputs measurement information indicating the measurement results. Note that the first case 71 and the second case 31 are electrically connected via the conductive cable 900 in order to pass the guard current and improve the capacitance measurement accuracy.

容量計5は、容量計5の測定値に対してショート補正及びオープン補正を行って、測定誤差を補正した上で、前述の測定情報を出力する。   The capacitance meter 5 performs short correction and open correction on the measurement value of the capacitance meter 5 to correct the measurement error, and then outputs the above-described measurement information.

<ショート補正及びオープン補正>
容量計5は、ショート補正を行うための第1値を用いてショート補正を行い、オープン補正を行うための第2値を用いてオープン補正を行う。ショート補正及びオープン補正を行うために、容量計5は、第1値及び第2値を取得する。
<Short correction and open correction>
The capacitance meter 5 performs short correction using the first value for performing short correction, and performs open correction using the second value for performing open correction. In order to perform the short correction and the open correction, the capacitance meter 5 acquires the first value and the second value.

第1値を取得する場合、棒状電極32及び筒状電極72を互いに接続させた状態とする必要がある。又、第2値を取得する場合、棒状電極32及び筒状電極72を互いに離間させた状態とする必要がある。   When acquiring the first value, the rod-shaped electrode 32 and the cylindrical electrode 72 need to be connected to each other. Moreover, when acquiring a 2nd value, it is necessary to make the rod-shaped electrode 32 and the cylindrical electrode 72 into the state mutually spaced apart.

===補正装置===
以下、図5乃至図7を参照して、本実施形態における補正装置について説明する。
=== Correction device ===
Hereinafter, the correction apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.

図5は、本実施形態における棒状電極及び筒状電極を離間させた状態の補正装置を示す図である。図6は、本実施形態における補正装置を示す斜視図である。図7は、本実施形態における棒状電極及び筒状電極を接触させた状態の補正装置を示す図である。図5及び図7は、図3に対応する断面図である。又、図5及び図7においては、説明の便宜上、ガイド511、512は省略されている。   FIG. 5 is a diagram illustrating the correction device in a state where the rod-like electrode and the cylindrical electrode are separated from each other in the present embodiment. FIG. 6 is a perspective view showing a correction apparatus according to this embodiment. FIG. 7 is a diagram illustrating the correction device in a state in which the rod-shaped electrode and the cylindrical electrode are in contact with each other in the present embodiment. 5 and 7 are cross-sectional views corresponding to FIG. 5 and 7, the guides 511 and 512 are omitted for convenience of explanation.

=補正の環境=
補正装置100は、第1値及び第2値を取得する際に、電気炉101の内部において第1電極体7及び第2電極体3を移動させる装置である。電気炉101の内部は、歪測定装置300が配管400の歪量を測定する測定環境を模擬するべく、例えば600℃程度の比較的高温とされている。つまり、第1値及び第2値を取得する環境は、歪測定装置300が配管400の歪量を測定する測定環境を模擬したものとなっている。
= Correction environment =
The correction device 100 is a device that moves the first electrode body 7 and the second electrode body 3 inside the electric furnace 101 when acquiring the first value and the second value. The electric furnace 101 has a relatively high temperature of, for example, about 600 ° C. in order to simulate a measurement environment in which the strain measuring device 300 measures the strain amount of the pipe 400. That is, the environment in which the first value and the second value are acquired is a simulation of the measurement environment in which the strain measuring device 300 measures the strain amount of the pipe 400.

=構成=
補正装置100は、第1架台50、第2架台10、伝達棒103を有する。
= Configuration =
The correction device 100 includes a first frame 50, a second frame 10, and a transmission rod 103.

<第1架台>
第1架台50は、例えばセラミックス等の絶縁性の材料によって形成されている。第1架台50は、電気炉101の内部における所定位置に固定されている。第1架台50は、傾斜面51、取付面52、ガイド511、512(図6)を有する。
<First stand>
The first mount 50 is made of an insulating material such as ceramics. The first gantry 50 is fixed at a predetermined position inside the electric furnace 101. The 1st mount 50 has the inclined surface 51, the attachment surface 52, and the guides 511 and 512 (FIG. 6).

取付面52は、第1架台50の天面(+Z)に形成されている。取付面52には、第1取付装置8Cが固定されている。尚、第1取付装置8Cは、第1架台50に対して第1電極体7を着脱自在に取り付けるための装置であり、第1取付装置8と同様な構成である。   The attachment surface 52 is formed on the top surface (+ Z) of the first mount 50. The first attachment device 8 </ b> C is fixed to the attachment surface 52. The first attachment device 8 </ b> C is a device for detachably attaching the first electrode body 7 to the first mount 50 and has the same configuration as the first attachment device 8.

傾斜面51は、第1架台50の上部(+Z)に設けられている。傾斜面51は、−X側から+X側に向かうにつれてZ軸方向における底面511からの距離が長くなるように傾斜している。   The inclined surface 51 is provided on the upper part (+ Z) of the first mount 50. The inclined surface 51 is inclined so that the distance from the bottom surface 511 in the Z-axis direction increases from the −X side to the + X side.

ガイド511、512は、Y軸におけるガイド511、512の間に第2架台10が設けられて、第2架台10が傾斜面51上を滑って移動するのを案内するための部材である。   The guides 511 and 512 are members for guiding the second gantry 10 to slide on the inclined surface 51 by providing the second gantry 10 between the guides 511 and 512 in the Y axis.

<第2架台>
第2架台10は、例えばセラミックス等の絶縁性の材料によって形成されている。第2架台10は、電気炉101の内部において傾斜面51上を滑って移動できるように、傾斜面51上に載置されている。第2架台10は、傾斜面11、取付面12を有する。
<Second stand>
The second gantry 10 is formed of an insulating material such as ceramics. The second gantry 10 is placed on the inclined surface 51 so that it can slide on the inclined surface 51 inside the electric furnace 101. The second mount 10 has an inclined surface 11 and an attachment surface 12.

取付面12は、第2架台10の天面(+Z)に形成されている。取付面12には、第2取付装置2Bが固定されている。尚、第2取付装置2Bは、第2架台10に対して第2電極体3を着脱自在に取り付けるための装置であり、第2取付装置2と同様な構成である。   The mounting surface 12 is formed on the top surface (+ Z) of the second mount 10. The second attachment device 2B is fixed to the attachment surface 12. The second attachment device 2B is a device for detachably attaching the second electrode body 3 to the second gantry 10 and has the same configuration as the second attachment device 2.

傾斜面11は、第2架台10の下部(−Z)に設けられている。傾斜面11は、−X側から+X側に向かうにつれてZ軸方向における取付面12からの距離が短くなるように傾斜している。傾斜面11は、第2架台10が傾斜面51上を滑って移動するように、傾斜面51と対向している。そして、傾斜面11及び第1架台50の傾斜面51は、第1値を取得する際に、移動力F2に基づいて第2架台10が傾斜面51上を滑って移動したときに、棒状電極32の外周の一部が筒状電極72の内周の一部に接触するように、傾斜していることになる。   The inclined surface 11 is provided in the lower part (−Z) of the second mount 10. The inclined surface 11 is inclined so that the distance from the mounting surface 12 in the Z-axis direction becomes shorter from the −X side toward the + X side. The inclined surface 11 faces the inclined surface 51 so that the second mount 10 slides on the inclined surface 51 and moves. Then, the inclined surface 51 and the inclined surface 51 of the first pedestal 50 are arranged so that the rod-shaped electrode is obtained when the second pedestal 10 slides on the inclined surface 51 based on the moving force F2 when acquiring the first value. The outer periphery of 32 is inclined so as to be in contact with a part of the inner periphery of the cylindrical electrode 72.

<伝達棒>
伝達棒103は、第2架台10に対して第2架台10を移動させるための移動力F1(図5)、移動力F2(図7)を伝達するための例えば絶縁性の棒部材であり、第2架台10における−X側の側面13に取り付けられている。伝達棒103は、電気炉101の外部から移動力F1、F2を伝達できるように、電気炉101の挿通孔102に挿通されている。そして、伝達棒103の一端は、挿通孔102を介して電気炉101の内部から外部へ突出している。
<Transmission rod>
The transmission rod 103 is, for example, an insulating rod member for transmitting the moving force F1 (FIG. 5) and the moving force F2 (FIG. 7) for moving the second frame 10 relative to the second frame 10. The second frame 10 is attached to the side surface 13 on the −X side. The transmission rod 103 is inserted into the insertion hole 102 of the electric furnace 101 so that the moving forces F1 and F2 can be transmitted from the outside of the electric furnace 101. One end of the transmission rod 103 protrudes from the inside of the electric furnace 101 to the outside through the insertion hole 102.

===補正値の取得===
以下、図5及び図7を参照して、本実施形態における補正値の取得について説明する。
=== Acquisition of correction value ===
Hereinafter, with reference to FIGS. 5 and 7, correction value acquisition in the present embodiment will be described.

<オープン補正を行うための第2値の取得(図5)>
第2値を取得する場合、電気炉101の外部において+Xから−Xへ向かって第2架台10を移動させるための移動力F1が伝達棒103の一端に伝達される。この移動力F1に基づいて、第2架台10が+Xから−Xへ向かって移動する。このとき、棒状電極32が筒状電極72の外部に出て筒状電極72から離間することになる。更にこのとき、容量計5は、第2値を取得する。
<Acquisition of second value for open correction (FIG. 5)>
When acquiring the second value, a moving force F <b> 1 for moving the second gantry 10 from + X toward −X outside the electric furnace 101 is transmitted to one end of the transmission rod 103. Based on this moving force F1, the second frame 10 moves from + X toward -X. At this time, the rod-shaped electrode 32 goes out of the cylindrical electrode 72 and is separated from the cylindrical electrode 72. Further, at this time, the capacity meter 5 acquires the second value.

<ショート補正を行うための第1値の取得(図7)>
第1値を取得する場合、電気炉101の外部において−Xから+Xへ向かって第2架台10を移動させるための移動力F2が伝達棒103の一端に伝達される。この移動力F2に基づいて、第2架台10が−Xから+Xへ向かって移動する。このとき、棒状電極32の外周の一部が筒状電極72の内周の一部に接触することになる。更にこのとき、容量計5は、第1値を取得する。
<Acquisition of first value for short correction (FIG. 7)>
When acquiring the first value, the moving force F <b> 2 for moving the second gantry 10 from −X to + X outside the electric furnace 101 is transmitted to one end of the transmission rod 103. Based on this moving force F2, the 2nd mount 10 moves toward -X from -X. At this time, a part of the outer periphery of the rod-shaped electrode 32 comes into contact with a part of the inner periphery of the cylindrical electrode 72. Further, at this time, the capacity meter 5 acquires the first value.

尚、例えば棒状電極32及び筒状電極72の離間及び接触を確実に行わせるために、第2架台10の移動範囲を規制する規制部材が電気炉101の内部における所定位置に設けられていることとしてもよい。   For example, in order to ensure separation and contact between the rod-shaped electrode 32 and the cylindrical electrode 72, a regulating member that regulates the moving range of the second gantry 10 is provided at a predetermined position inside the electric furnace 101. It is good.

歪測定装置300を用いて配管400の歪量を測定する際、容量計5は、上述の取得された第1値及び第2値を用いて、ショート補正及びオープン補正を行うことにより、例えば各同軸ケーブルの浮遊容量等に基づく測定誤差の補正を行う。   When measuring the strain amount of the pipe 400 using the strain measuring device 300, the capacitance meter 5 performs, for example, each short correction and open correction by using the first value and the second value acquired as described above. The measurement error is corrected based on the stray capacitance of the coaxial cable.

===歪計===
以下、図8を参照して、本実施形態における歪計について説明する。図8は、本実施形態における歪計を示すブロック図である。
=== Strain meter ===
Hereinafter, the strain gauge in the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a block diagram showing a strain gauge in the present embodiment.

歪計4は、歪測定部46、制御部47を有する。   The strain gauge 4 includes a strain measurement unit 46 and a control unit 47.

歪測定部46は、容量計5から受信した測定情報に基づいて、電極により形成されるコンデンサの容量値から配管400の歪量を算出し、算出結果を出力又は表示する。尚、容量計5から受信した測定情報においては、第1値及び第2値を用いて行われたショート補正及びオープン補正が反映されている。尚、例えば、電極により形成されるコンデンサの容量値と配管400の歪量との関係を示す歪情報が各種情報に含まれており、歪測定部46は、歪情報等に基づいて配管400の歪量を算出することとしてもよい。制御部47は、容量計5の制御を行う。   Based on the measurement information received from the capacitance meter 5, the strain measurement unit 46 calculates the strain amount of the pipe 400 from the capacitance value of the capacitor formed by the electrodes, and outputs or displays the calculation result. In the measurement information received from the capacity meter 5, the short correction and the open correction performed using the first value and the second value are reflected. In addition, for example, strain information indicating the relationship between the capacitance value of the capacitor formed by the electrode and the strain amount of the pipe 400 is included in various types of information. The amount of distortion may be calculated. The control unit 47 controls the capacity meter 5.

===歪量の測定===
以下、図3、図5及び図7を参照して、本実施形態における歪量の測定について説明する。
=== Measurement of strain amount ===
Hereinafter, with reference to FIG. 3, FIG. 5 and FIG. 7, the measurement of the distortion amount in the present embodiment will be described.

第1値及び第2値を取得するために、第1電極体7及び第2電極体3が夫々第1取付装置8C及び第2取付装置2Bに取り付けられる。このとき、第1電極体7及び第2電極体3は夫々、第1架台50及び第2架台10に載置されることになる。   In order to obtain the first value and the second value, the first electrode body 7 and the second electrode body 3 are attached to the first attachment device 8C and the second attachment device 2B, respectively. At this time, the first electrode body 7 and the second electrode body 3 are placed on the first frame 50 and the second frame 10, respectively.

移動力F1(図5)が伝達棒103の一端に伝達されて、棒状電極32が筒状電極72の外部に出て筒状電極72から離間することになる。このとき、容量計5は、第2値を取得する。移動力F2(図7)が伝達棒103の一端に伝達されて、棒状電極32の外周の一部が筒状電極72の内周の一部に接触することになる。このとき、容量計5は、第1値を取得する。   The moving force F <b> 1 (FIG. 5) is transmitted to one end of the transmission rod 103, and the rod-shaped electrode 32 comes out of the cylindrical electrode 72 and is separated from the cylindrical electrode 72. At this time, the capacity meter 5 acquires the second value. The moving force F <b> 2 (FIG. 7) is transmitted to one end of the transmission rod 103, and a part of the outer periphery of the rod-shaped electrode 32 comes into contact with a part of the inner periphery of the cylindrical electrode 72. At this time, the capacity meter 5 acquires the first value.

これらの後、配管400の歪量を測定するために、第1電極体7及び第2電極体3は夫々、第1取付装置8及び第2取付装置2に取り付けられる。このとき、配管400に対して第1電極体7及び第2電極体3が取り付けられたことになる。そして、歪計4は、電極により形成されるコンデンサの容量値に基づいて、配管400の歪量を計測する。   Thereafter, in order to measure the strain amount of the pipe 400, the first electrode body 7 and the second electrode body 3 are attached to the first attachment device 8 and the second attachment device 2, respectively. At this time, the first electrode body 7 and the second electrode body 3 are attached to the pipe 400. The strain gauge 4 measures the strain amount of the pipe 400 based on the capacitance value of the capacitor formed by the electrodes.

前述したように、補正装置100は、筒状電極72を有する第1電極体7と、筒状電極72に挿入される棒状電極32を有する第2電極体3と、を有しており、筒状電極72への棒状電極32の挿入され具合に応じて定まる静電容量に基づく測定を行う容量計5の測定誤差を補正するための装置である。補正装置100は、第1架台50、第2架台10を有する。第1架台50には、第1電極体7が載置される。第2架台10には、第2電極体3が載置される。例えば第2架台10は、容量計5の測定誤差をショート補正するための第1値を取得する場合、筒状電極72と棒状電極32とが接触するように移動し、容量計5の測定誤差をオープン補正するための第2値を取得する場合、棒状電極32が筒状電極72の外部に出て離間するように移動する。よって、容量計5の測定誤差をショート補正するための第1値及び測定誤差をオープン補正するための第2値を取得することができる。   As described above, the correction device 100 includes the first electrode body 7 having the cylindrical electrode 72 and the second electrode body 3 having the rod-shaped electrode 32 inserted into the cylindrical electrode 72. This is a device for correcting a measurement error of the capacitance meter 5 that performs measurement based on the capacitance determined according to how the rod-shaped electrode 32 is inserted into the electrode 72. The correction device 100 includes a first mount 50 and a second mount 10. The first electrode body 7 is placed on the first mount 50. The second electrode body 3 is placed on the second gantry 10. For example, when acquiring the first value for correcting the measurement error of the capacitance meter 5 by short-circuiting, the second gantry 10 moves so that the cylindrical electrode 72 and the rod-shaped electrode 32 are in contact with each other, and the measurement error of the capacitance meter 5 is detected. When the second value for correcting the open angle is acquired, the rod-shaped electrode 32 moves so as to be separated from the cylindrical electrode 72. Therefore, it is possible to acquire the first value for correcting the measurement error of the capacitance meter 5 and the second value for performing open correction of the measurement error.

又、第1架台50は、傾斜面51(第1傾斜面)を有する。第2架台10は、傾斜面51上を第2架台10が滑って移動するように、傾斜面51と対向する傾斜面11(第2傾斜面)を有している。第2架台10は、第1値を取得する場合、棒状電極32が筒状電極72に接触するように傾斜面上51を滑って移動し、第2値を取得する場合、棒状電極32が筒状電極72の外部に出て離間するように傾斜面51上を滑って移動する。よって、棒状電極32と筒状電極72との接触及び離間が確実に行われて、第1値及び第2値を確実に取得することが可能となる。   Moreover, the 1st mount frame 50 has the inclined surface 51 (1st inclined surface). The 2nd mount 10 has the inclined surface 11 (2nd inclined surface) facing the inclined surface 51 so that the 2nd mount 10 may slide on the inclined surface 51 and move. When the second frame 10 acquires the first value, the rod-shaped electrode 32 slides on the inclined surface 51 so that the rod-shaped electrode 32 contacts the cylindrical electrode 72, and when the second value is acquired, the rod-shaped electrode 32 is cylindrical. It slides and moves on the inclined surface 51 so that it goes out of the electrode 72 and is separated. Therefore, the rod-shaped electrode 32 and the cylindrical electrode 72 are reliably brought into contact with and separated from each other, and the first value and the second value can be reliably acquired.

又、傾斜面11及び傾斜面51は、第1値を取得する際に第2架台10が傾斜面51上を滑って移動したときに、棒状電極32の外周の一部が筒状電極72の内周の一部に接触するように、傾斜している。よって、第1値を取得する際に、棒状電極32と筒状電極72とを互いに確実に接触させることができる。従って、第1値及び第2値を確実に取得することが可能となる。   In addition, the inclined surface 11 and the inclined surface 51 are configured such that when the second frame 10 slides on the inclined surface 51 when the first value is acquired, a part of the outer periphery of the rod-shaped electrode 32 is the cylindrical electrode 72. It inclines so that it may contact a part of inner periphery. Therefore, when acquiring the first value, the rod-shaped electrode 32 and the cylindrical electrode 72 can be reliably brought into contact with each other. Therefore, it is possible to reliably acquire the first value and the second value.

又、第1架台50は、第2架台10が傾斜面51上を滑って移動するのを案内するガイド511、512を有する。よって、第2架台10が第1架台50から外れるのを防止して、棒状電極32と筒状電極72とが接触したり離間したりするように例えば第2架台10を確実に移動させることができる。従って、第1値及び第2値を確実に取得することが可能となる。   The first mount 50 includes guides 511 and 512 that guide the second mount 10 to slide and move on the inclined surface 51. Therefore, for example, the second mount 10 can be reliably moved so that the second mount 10 is prevented from coming off from the first mount 50 and the rod-shaped electrode 32 and the cylindrical electrode 72 are in contact with or separated from each other. it can. Therefore, it is possible to reliably acquire the first value and the second value.

又、補正装置100は、第2架台10を移動させるための移動力F1、F2を第2架台10に伝達するべく、第2架台10に取り付けられる伝達棒103を有する。よって、第2架台10を移動させるための移動力を付与するための例えば駆動装置等が不要となる。従って、構成が比較的シンプルであり、使い勝手のよい補正装置100を提供することができる。   Further, the correction device 100 includes a transmission rod 103 attached to the second frame 10 in order to transmit the moving forces F1 and F2 for moving the second frame 10 to the second frame 10. Therefore, for example, a driving device or the like for applying a moving force for moving the second gantry 10 becomes unnecessary. Therefore, it is possible to provide the correction device 100 that has a relatively simple configuration and is easy to use.

又、第1架台50及び第2架台10は、挿通孔102を有する電気炉101の内部に設けられている。伝達棒103の一端は、第2架台10に対して電気炉101の外部から移動力F1、F2が付与されるように、挿通孔102を介して電気炉101の外部に突出している。よって、歪測定装置300による配管400の歪量の測定環境を模擬した環境において、第1値及び第2値を取得することが可能となる。従って、容量計5の測定精度を向上させることができる。   The first mount 50 and the second mount 10 are provided inside an electric furnace 101 having an insertion hole 102. One end of the transmission rod 103 protrudes to the outside of the electric furnace 101 through the insertion hole 102 so that the moving forces F1 and F2 are applied to the second gantry 10 from the outside of the electric furnace 101. Therefore, it is possible to acquire the first value and the second value in an environment that simulates the measurement environment of the strain amount of the pipe 400 by the strain measuring device 300. Therefore, the measurement accuracy of the capacity meter 5 can be improved.

又、第1架台50は、電気炉101の内部における所定位置に固定されている。よって、第1架台50及び第2架台10のうちの一方の架台としての第2架台10のみを移動させることにより、第1値及び第2値を取得することが可能となる。従って、使い勝手の良い補正装置100を提供することができる。   The first gantry 50 is fixed at a predetermined position inside the electric furnace 101. Therefore, it is possible to acquire the first value and the second value by moving only the second frame 10 as one of the first frame 50 and the second frame 10. Therefore, it is possible to provide the correction device 100 that is easy to use.

[第2実施形態]
===歪測定装置===
補正装置100は、第2実施形態における歪測定装置300B(図9)に対しても適用される。歪測定装置300Bは、第1実施形態の歪測定装置300において、第1電極体7、第2電極体3を夫々、第1電極体7B、第2電極体3Bに変更したものである。
[Second Embodiment]
=== Strain measuring device ===
The correction device 100 is also applied to the strain measurement device 300B (FIG. 9) in the second embodiment. The strain measuring apparatus 300B is obtained by changing the first electrode body 7 and the second electrode body 3 to the first electrode body 7B and the second electrode body 3B, respectively, in the strain measuring apparatus 300 of the first embodiment.

以下、図9を参照して、本実施形態における歪測定装置について説明する。図9は、本実施形態における歪測定装置を示す図である。尚、図1に示されている構成と同様な構成には同様な符号を付し、その説明については省略する。   Hereinafter, with reference to FIG. 9, the distortion measuring apparatus according to the present embodiment will be described. FIG. 9 is a diagram illustrating a strain measuring apparatus according to the present embodiment. The same reference numerals are given to the same components as those shown in FIG. 1, and the description thereof will be omitted.

歪測定装置300Bは、第1電極体7B、第2電極体3Bを有する。   The strain measuring apparatus 300B includes a first electrode body 7B and a second electrode body 3B.

第1電極体7Bは、第1ケース71Bを有する。第1ケース71Bは、第1開口74A、74Bを有する。   The first electrode body 7B has a first case 71B. The first case 71B has first openings 74A and 74B.

第1開口74Bには、第1同軸ケーブル94の一端が挿入される。第1開口74Aには、第2同軸ケーブル93Bの一端が挿入される。第1開口74A、74Bは、第2電極体3B側(−X)とは反対側(+X)に設けられる。   One end of the first coaxial cable 94 is inserted into the first opening 74B. One end of the second coaxial cable 93B is inserted into the first opening 74A. The first openings 74A and 74B are provided on the side (+ X) opposite to the second electrode body 3B side (−X).

第2電極体3Bは、第2ケース31Bを有する。第2ケース31Bは、第1開口34A、34Bを有する。   The second electrode body 3B has a second case 31B. The second case 31B has first openings 34A and 34B.

第1開口34Bには、第3同軸ケーブル92の一端が挿入される。第1開口34Aには、第4同軸ケーブル91Bの一端が挿入される。第1開口34A、34Bは、第1電極体7B側(+X)とは反対側(−X)に設けられる。   One end of the third coaxial cable 92 is inserted into the first opening 34B. One end of the fourth coaxial cable 91B is inserted into the first opening 34A. The first openings 34A and 34B are provided on the side (−X) opposite to the first electrode body 7B side (+ X).

容量計5と、筒状電極72及び棒状電極32とは、各同軸ケーブルを介して接続される。   The capacitance meter 5 is connected to the cylindrical electrode 72 and the rod-shaped electrode 32 via respective coaxial cables.

<接続>
第1同軸ケーブル94の信号線941の他端は筒状電極72に例えばスポット溶接により接続されており、信号線941の一端は電流計543の一端に接続されている。第1同軸ケーブル94の外皮としての導体942の他端は第1ケース71Bに接続されており、導体942の一端は電流計543の他端に接続されている。
<Connection>
The other end of the signal line 941 of the first coaxial cable 94 is connected to the cylindrical electrode 72 by spot welding, for example, and one end of the signal line 941 is connected to one end of the ammeter 543. The other end of the conductor 942 as the outer cover of the first coaxial cable 94 is connected to the first case 71B, and one end of the conductor 942 is connected to the other end of the ammeter 543.

第2同軸ケーブル93Bの信号線931Bの他端は筒状電極72に例えばスポット溶接により接続されており、信号線931Bの一端はアンプ533における一方の入力に接続されている。第2同軸ケーブル93Bの外皮としての導体932Bの他端は第1ケース71Bに接続されており、導体932Bの一端はアンプ533における他方の入力に接続されている。   The other end of the signal line 931B of the second coaxial cable 93B is connected to the cylindrical electrode 72 by spot welding, for example, and one end of the signal line 931B is connected to one input of the amplifier 533. The other end of the conductor 932B as the outer cover of the second coaxial cable 93B is connected to the first case 71B, and one end of the conductor 932B is connected to the other input of the amplifier 533.

信号線941、931Bの他端は夫々、第1ケース71Bの内部において筒状電極72で結合されている。信号線941、931Bの他端は夫々、筒状電極72における+X側の端で結合されている。尚、例えば信号線941、931Bの他端は夫々、筒状電極72における+X側の端以外の所定位置で結合されていることとしてもよいし、第1ケース71Bと筒状電極72との間における所定位置で結合されていることとしてもよい。   The other ends of the signal lines 941 and 931B are coupled to each other by a cylindrical electrode 72 inside the first case 71B. The other ends of the signal lines 941 and 931B are coupled to the + X side end of the cylindrical electrode 72, respectively. For example, the other ends of the signal lines 941 and 931B may be coupled at predetermined positions other than the + X side end of the cylindrical electrode 72, or between the first case 71B and the cylindrical electrode 72. It is good also as having couple | bonded in the predetermined position.

第3同軸ケーブル92の信号線921の他端は棒状電極32に例えばスポット溶接により接続されており、信号線921の一端は電圧計523の一端に接続されている。第3同軸ケーブル92の外皮としての導体922の他端は第2ケース31Bに接続されており、導体922の一端は電圧計523の他端に接続されている。   The other end of the signal line 921 of the third coaxial cable 92 is connected to the rod-shaped electrode 32 by, for example, spot welding, and one end of the signal line 921 is connected to one end of the voltmeter 523. The other end of the conductor 922 as an outer skin of the third coaxial cable 92 is connected to the second case 31 </ b> B, and one end of the conductor 922 is connected to the other end of the voltmeter 523.

第4同軸ケーブル91Bの信号線911Bの他端は棒状電極32に例えばスポット溶接により接続されており、信号線911Bの一端は電圧源513の一端に接続されている。第4同軸ケーブル91Bの外皮としての導体912Bの他端は第2ケース31Bに接続されており、導体912Bの一端は電圧源513の他端に接続されている。   The other end of the signal line 911B of the fourth coaxial cable 91B is connected to the rod-shaped electrode 32 by spot welding, for example, and one end of the signal line 911B is connected to one end of the voltage source 513. The other end of the conductor 912B as the outer cover of the fourth coaxial cable 91B is connected to the second case 31B, and one end of the conductor 912B is connected to the other end of the voltage source 513.

信号線921、911Bの他端は夫々、第2ケース31Bの内部において棒状電極32で結合されている。信号線921、911Bの他端は夫々、棒状電極32における−X側の端で結合されている。尚、例えば信号線921、911Bの他端は夫々、棒状電極32における−X側の端以外の所定位置で結合されていることとしてもよいし、第2ケース31Bと棒状電極32との間における所定位置で結合されていることとしてもよい。   The other ends of the signal lines 921 and 911B are coupled to each other by a rod-shaped electrode 32 inside the second case 31B. The other ends of the signal lines 921 and 911B are coupled to the −X side end of the rod-shaped electrode 32, respectively. For example, the other ends of the signal lines 921 and 911B may be coupled at predetermined positions other than the −X side end of the rod-shaped electrode 32, or between the second case 31B and the rod-shaped electrode 32. It is good also as having couple | bonded in the predetermined position.

尚、上記第1及び第2実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれる。   The first and second embodiments are intended to facilitate understanding of the present invention and are not intended to limit the present invention. The present invention can be changed and improved without departing from the gist thereof, and the present invention includes equivalents thereof.

第1実施形態では、第1架台50に第1電極体7が載置され、第2架台10に第2電極体3が載置されていることについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば第1架台50に第2電極体3が載置され、第2架台10に第1電極体7が載置されていることとしてもよい。又、第1架台50に第1電極体7B(第2実施形態)が載置され、第2架台10に第2電極体3Bが載置されることとしてもよいし、第1架台50に第2電極体3Bが載置され、第2架台10に第1電極体7Bが載置されることとしてもよい。   Although 1st Embodiment demonstrated that the 1st electrode body 7 was mounted in the 1st mount 50, and the 2nd electrode body 3 was mounted in the 2nd mount 10, it is not limited to this. Absent. For example, the second electrode body 3 may be placed on the first base 50 and the first electrode body 7 may be placed on the second base 10. Alternatively, the first electrode body 7B (second embodiment) may be placed on the first base 50, and the second electrode body 3B may be placed on the second base 10, or the first base 50 may be The two-electrode body 3B may be placed, and the first electrode body 7B may be placed on the second frame 10.

又、第1及び第2実施形態では、第2架台10が移動可能であり、第1架台50が固定されていることについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば第2架台10が固定され、第1架台50が移動可能とされていることとしてもよい。又、例えば第2架台10及び第1架台50の双方が移動可能とされていることとしてもよい。   In the first and second embodiments, the second pedestal 10 is movable and the first pedestal 50 is fixed. However, the present invention is not limited to this. For example, the second mount 10 may be fixed, and the first mount 50 may be movable. Further, for example, both the second frame 10 and the first frame 50 may be movable.

又、第1及び第2実施形態では、伝達棒103を介して伝達される移動力F1、F2に基づいて、第2架台10が移動することについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、電気炉101内にレールが敷設されており、第2架台10をレールに沿って移動させるための駆動装置が設けられていることとしてもよい。この場合、例えば第1値を取得する場合、制御装置から駆動装置に送信される第1制御信号に基づいて、筒状電極72と棒状電極32とが接触するように第2架台10が駆動装置によって移動されることとする。又、例えば第2値を取得する場合、制御装置から駆動装置に送信される第2制御信号に基づいて、筒状電極72と棒状電極32とが離間するように第2架台10が駆動装置によって移動されることとする。   Moreover, although 1st and 2nd embodiment demonstrated moving the 2nd mount frame 10 based on the moving forces F1 and F2 transmitted via the transmission rod 103, it is not limited to this. . For example, a rail may be laid in the electric furnace 101, and a driving device for moving the second gantry 10 along the rail may be provided. In this case, for example, when acquiring the first value, the second gantry 10 is driven by the driving device so that the cylindrical electrode 72 and the rod-shaped electrode 32 come into contact with each other based on the first control signal transmitted from the control device to the driving device. It will be moved by. For example, when acquiring the second value, the second gantry 10 is driven by the driving device so that the cylindrical electrode 72 and the rod-shaped electrode 32 are separated from each other based on the second control signal transmitted from the control device to the driving device. It will be moved.

又、第1実施形態では、第1値を取得する際に第2架台10が傾斜面51上を滑って移動したときに、棒状電極32の外周の一部が筒状電極72の内周の一部に接触することについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば傾斜面51、11の双方が略水平となっており、第1値を取得する際に第2架台10が傾斜面51上を滑って移動したときに、棒状電極32の先端が筒状電極72における−X側の端部に接触することとしてもよい。   In the first embodiment, when the second frame 10 slides on the inclined surface 51 when acquiring the first value, a part of the outer periphery of the rod-shaped electrode 32 is the inner periphery of the cylindrical electrode 72. Although contact with a part has been described, the present invention is not limited to this. For example, both the inclined surfaces 51 and 11 are substantially horizontal, and when the second frame 10 slides on the inclined surface 51 when acquiring the first value, the tip of the rod electrode 32 is a cylindrical electrode. 72 may be in contact with the end portion on the −X side.

又、第1架台50及び第2架台10が夫々、傾斜面51及び傾斜面11に対応する第1傾斜面及び第2傾斜面を有していることとしてもよい。この場合、例えば第1架台50における第1傾斜面が、−X側から+X側に向かうにつれてZ軸方向における底面511からの距離が短くなるように傾斜しており、第2架台10における第2傾斜面が、−X側から+X側に向かうにつれてZ軸方向における取付面12からの距離が長くなるように傾斜していることとしてもよい。つまり、第1架台50及び第2架台10が夫々、傾斜面51及び傾斜面11とは逆方向に傾斜している第1傾斜面及び第2傾斜面を有していることとしてもよい。   The first mount 50 and the second mount 10 may have a first inclined surface and a second inclined surface corresponding to the inclined surface 51 and the inclined surface 11, respectively. In this case, for example, the first inclined surface of the first gantry 50 is inclined so that the distance from the bottom surface 511 in the Z-axis direction becomes shorter from the −X side toward the + X side. The inclined surface may be inclined so that the distance from the mounting surface 12 in the Z-axis direction becomes longer as it goes from the −X side to the + X side. That is, the 1st mount frame 50 and the 2nd mount frame 10 are good also as having the 1st inclined surface and the 2nd inclined surface which are inclined in the opposite direction to the inclined surface 51 and the inclined surface 11, respectively.

又、第2架台12が、ガイド511、512と同様な構成のガイドを有していることとしてもよい。   Further, the second frame 12 may include a guide having the same configuration as the guides 511 and 512.

又、第2実施形態では、信号線931、941の他端が筒状電極72に接続され、信号線911、921の他端が棒状電極32に接続されることについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば信号線931、941の他端が棒状電極32に接続され、信号線911、921の他端が筒状電極72に接続されることとしてもよい。   In the second embodiment, the other end of the signal lines 931 and 941 is connected to the cylindrical electrode 72, and the other end of the signal lines 911 and 921 is connected to the rod-shaped electrode 32. However, the present invention is not limited to this. Is not to be done. For example, the other ends of the signal lines 931 and 941 may be connected to the rod-shaped electrode 32, and the other ends of the signal lines 911 and 921 may be connected to the cylindrical electrode 72.

又、第1及び第2実施形態では、容量計5が自動平衡ブリッジ法に基づいて、電極により形成されるコンデンサの容量を測定することについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば容量計5が2端子法、3端子法、4端子法、5端子法等の測定法に基づいて、電極により形成されるコンデンサの容量を測定することとしてもよい。又、例えば容量計5がブリッジ法、共振法等の自動平衡ブリッジ法以外の測定法に基づいて、電極により形成されるコンデンサの容量を測定することとしてもよい。   In the first and second embodiments, the capacitance meter 5 measures the capacitance of the capacitor formed by the electrodes based on the automatic balance bridge method. However, the present invention is not limited to this. For example, the capacitance meter 5 may measure the capacitance of the capacitor formed by the electrodes based on a measurement method such as a two-terminal method, a three-terminal method, a four-terminal method, or a five-terminal method. For example, the capacitance meter 5 may measure the capacitance of the capacitor formed by the electrodes based on a measurement method other than the automatic balanced bridge method such as a bridge method or a resonance method.

3、3B 第2電極体
4 歪計
5 容量計
7、7B 第1電極体
31、31B 第2ケース
32 棒状電極
71、71B 第1ケース
72 筒状電極
300、300B 歪測定装置
400 配管
911、911B、921、931、931B、941 信号線
3, 3B Second electrode body 4 Strain meter 5 Capacitance meter 7, 7B First electrode body 31, 31B Second case 32 Rod electrode 71, 71B First case 72 Tubular electrode 300, 300B Strain measuring device 400 Piping 911, 911B , 921, 931, 931B, 941 signal line

Claims (7)

筒状電極を有する第1電極体と、前記筒状電極に挿入される棒状電極を有する第2電極体と、を有しており、前記筒状電極への前記棒状電極の挿入され具合に応じて定まる静電容量に基づく測定を行う測定装置の測定誤差を補正するための補正装置であって、
前記第1電極体が載置される第1架台と、
前記第2電極体が載置される第2架台と、を備え、
前記第1及び第2架台のうちの少なくとも一方の架台は、前記測定誤差をショート補正するための第1値を取得する場合、前記筒状電極と前記棒状電極とが接触するように移動し、前記測定誤差をオープン補正するための第2値を取得する場合、前記棒状電極が前記筒状電極の外部に出て離間するように移動する
ことを特徴とする補正装置。
A first electrode body having a cylindrical electrode, and a second electrode body having a rod-shaped electrode inserted into the cylindrical electrode, and depending on how the rod-shaped electrode is inserted into the cylindrical electrode A correction device for correcting a measurement error of a measurement device that performs measurement based on a capacitance determined by
A first mount on which the first electrode body is placed;
A second frame on which the second electrode body is placed;
At least one of the first and second mounts moves so that the cylindrical electrode and the rod-shaped electrode are in contact with each other when acquiring the first value for correcting the measurement error by short-circuiting, When acquiring the 2nd value for carrying out an open correction of the measurement error, the rod-shaped electrode moves out of the cylindrical electrode and moves away.
前記第1及び第2架台のうちの他方の架台は、第1傾斜面を有しており、
前記一方の架台は、前記第1傾斜面上を滑って移動するように前記第1傾斜面と対向する第2傾斜面、を有しており、
前記一方の架台は、前記第1値を取得する場合、前記棒状電極が前記筒状電極に接触するように前記第1傾斜面上を滑って移動し、前記第2値を取得する場合、前記棒状電極が前記筒状電極の外部に出て離間するように前記第1傾斜面上を滑って移動する
ことを特徴とする請求項1に記載の補正装置。
The other of the first and second mounts has a first inclined surface,
The one pedestal has a second inclined surface facing the first inclined surface so as to slide and move on the first inclined surface;
When the one pedestal acquires the first value, the rod-shaped electrode slides on the first inclined surface so as to contact the cylindrical electrode, and when the second value is acquired, The correction apparatus according to claim 1, wherein the rod-shaped electrode slides and moves on the first inclined surface such that the rod-shaped electrode comes out of the cylindrical electrode and is separated.
前記第1及び第2傾斜面は、前記第1値を取得する際に前記一方の架台が前記第1傾斜面上を滑って移動したときに、前記棒状電極の外周の一部が前記筒状電極の内周の一部に接触するように、傾斜している
ことを特徴とする請求項2に記載の補正装置。
In the first and second inclined surfaces, when the first base slides on the first inclined surface when the first value is acquired, a part of the outer periphery of the rod-shaped electrode is the cylindrical shape. The correction device according to claim 2, wherein the correction device is inclined so as to contact a part of the inner periphery of the electrode.
前記他方の架台は、前記一方の架台が前記第1傾斜面上を滑って移動するのを案内するガイド、を更に有している
ことを特徴とする請求項2に記載の補正装置。
The correction device according to claim 2, wherein the other gantry further includes a guide that guides the one gantry to slide and move on the first inclined surface.
前記一方の架台を移動させるための移動力を前記一方の架台に伝達するべく、前記一方の架台に取り付けられる伝達棒、を更に備える
ことを特徴とする請求項1に記載の補正装置。
The correction device according to claim 1, further comprising: a transmission rod attached to the one frame so as to transmit a moving force for moving the one frame to the one frame.
前記一方及び他方の架台は、挿通孔を有する炉の内部に設けられており、
前記伝達棒の一端は、前記一方の架台に対して前記炉の外部から前記移動力が付与されるように、前記挿通孔を介して前記炉の外部に突出している
ことを特徴とする請求項2に記載の補正装置。
The one and other pedestals are provided inside a furnace having an insertion hole,
The one end of the transmission rod protrudes to the outside of the furnace through the insertion hole so that the moving force is applied from the outside of the furnace to the one frame. 2. The correction device according to 2.
前記他方の架台は、前記炉の内部における所定位置に固定されている
ことを特徴とする請求項6に記載の補正装置。
The correction device according to claim 6, wherein the other gantry is fixed at a predetermined position inside the furnace.
JP2014049469A 2014-03-12 2014-03-12 Correction device Active JP5925824B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014049469A JP5925824B2 (en) 2014-03-12 2014-03-12 Correction device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014049469A JP5925824B2 (en) 2014-03-12 2014-03-12 Correction device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015175600A true JP2015175600A (en) 2015-10-05
JP5925824B2 JP5925824B2 (en) 2016-05-25

Family

ID=54254942

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014049469A Active JP5925824B2 (en) 2014-03-12 2014-03-12 Correction device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5925824B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115951288A (en) * 2023-01-05 2023-04-11 珠海市奥德维科技有限公司 Capacitance calibration system, method, device and storage medium

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009162679A (en) * 2008-01-09 2009-07-23 Chugoku Electric Power Co Inc:The System, device and method for calibrating strain gauge
JP2011089936A (en) * 2009-10-23 2011-05-06 Chugoku Electric Power Co Inc:The Mounting structure of strain gauge, and mounting method of strain gauge
JP2012202953A (en) * 2011-03-28 2012-10-22 Chugoku Electric Power Co Inc:The Strain measurement device
JP2015175599A (en) * 2014-03-12 2015-10-05 中国電力株式会社 Strain measurement instrument

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009162679A (en) * 2008-01-09 2009-07-23 Chugoku Electric Power Co Inc:The System, device and method for calibrating strain gauge
JP2011089936A (en) * 2009-10-23 2011-05-06 Chugoku Electric Power Co Inc:The Mounting structure of strain gauge, and mounting method of strain gauge
JP2012202953A (en) * 2011-03-28 2012-10-22 Chugoku Electric Power Co Inc:The Strain measurement device
JP2015175599A (en) * 2014-03-12 2015-10-05 中国電力株式会社 Strain measurement instrument

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115951288A (en) * 2023-01-05 2023-04-11 珠海市奥德维科技有限公司 Capacitance calibration system, method, device and storage medium

Also Published As

Publication number Publication date
JP5925824B2 (en) 2016-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015090335A (en) Inspection jig
JP6459188B2 (en) Non-contact voltage measuring device
JP2019138768A (en) probe
JP5925824B2 (en) Correction device
JP6115499B2 (en) Strain measuring device
JP5358755B1 (en) Strain measuring device, capacitance measuring device, strain measuring method, capacitance measuring method
CN113375575A (en) Wire diameter measuring device
CN104407179A (en) Insulating rod experimental apparatus
CN203849114U (en) Optical lever Young modulus measurement instrument
JP5426054B1 (en) Strain measuring device, mounting device
CN104820116A (en) Connecting device suitable for low-temperature electrical test and using method thereof
KR200479321Y1 (en) Measuring device for large length member
JP5944930B2 (en) Strain measuring device
JP6441122B2 (en) Terminal unit and resistance device
CN108801487B (en) Metal test piece temperature measuring device and system
KR101892259B1 (en) A Cantilever Type of a Strain Gauge for Compensating a Temperature difference
US9081036B2 (en) Adjustable measurement device
JP5468626B2 (en) Strain measuring device
WO2015107673A1 (en) Material testing machine
CN105136013B (en) The non-full circle short cylindrical diameter instrument for quick measuring of symmetrical expression
JP5962566B2 (en) Contact probe inspection method and inspection device
KR20030010229A (en) A Extensometer for Large Diamter
JP7281640B2 (en) electrical standard
FI12067U1 (en) Compression force measuring device
CN208109869U (en) A kind of hot-wire anemometer

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160204

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160216

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160330

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160419

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160420

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5925824

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250