JP2015161646A

JP2015161646A - Sensor unit, and actuator

Info

Publication number: JP2015161646A
Application number: JP2014038298A
Authority: JP
Inventors: 竜也半田; Tatsuya Handa
Original assignee: IAI Corp
Current assignee: IAI Corp
Priority date: 2014-02-28
Filing date: 2014-02-28
Publication date: 2015-09-07
Anticipated expiration: 2034-02-28
Also published as: JP6325282B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor unit equipped with a position sensor installation structure in which damage of the position sensor or positional deviation thereof is hard to occur, and to provide an actuator.SOLUTION: There is disclosed a sensor unit 100 which is used for detecting a position of a slider 50 of an actuator body 11. This sensor unit includes: a position sensor 110 which detects the position of the slider 50; a rail member 120 in which the position sensor 110 is housed in a rail groove 120a; and a fixing metal fitting 130 which fixes the position sensor 110 to the rail grove 120a.

Description

本発明は、センサユニット及びアクチュエータに関する。 The present invention relates to a sensor unit and an actuator.

アクチュエータは、例えば、モータの回転運動が、ボールねじを介して移動体に伝達されることにより移動体が進退移動する機械装置である。このようなアクチュエータには、移動体の原点位置を検知するための位置センサが取り付けられることがある（例えば、特許文献１参照）。 The actuator is, for example, a mechanical device in which the moving body moves forward and backward when the rotational movement of a motor is transmitted to the moving body via a ball screw. A position sensor for detecting the origin position of the moving body may be attached to such an actuator (see, for example, Patent Document 1).

実用新案登録第２５５１８５７号公報Utility Model Registration No. 2551857

特許文献１に記載のアクチュエータでは、位置センサは、センサ本体であるセンサ部と、センサ部の下方に設けられたスライド部とを有している。スライド部は、アクチュエータ本体の側面に固定されたレールに支持されている。このため、センサ部は、レール部の上方から露出した状態で配置される。これにより、作業者が誤って触れたり、物がぶつかってしまうおそれがあり、位置センサの損傷または位置ずれの発生を引き起こすおそれがある。 In the actuator described in Patent Document 1, the position sensor includes a sensor unit that is a sensor body and a slide unit that is provided below the sensor unit. The slide part is supported by a rail fixed to the side surface of the actuator body. For this reason, a sensor part is arrange | positioned in the state exposed from the upper part of a rail part. As a result, there is a possibility that the operator may accidentally touch it or hit an object, which may cause damage to the position sensor or occurrence of displacement.

本発明は、上述の事情の下になされたもので、位置センサの損傷または位置ずれが生じにくい位置センサ取付構造を備えたセンサユニット、及びアクチュエータを提供することを目的とする。 The present invention has been made under the circumstances described above, and it is an object of the present invention to provide a sensor unit and an actuator having a position sensor mounting structure in which damage or displacement of the position sensor is unlikely to occur.

上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るセンサユニットは、
アクチュエータ本体の移動体の位置の検出のために用いられるセンサユニットであって、
前記移動体の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段をレール溝に収容するレール部材と、
前記位置検出手段を前記レール溝に固定するための固定部材と、
を備える。 In order to achieve the above object, a sensor unit according to the first aspect of the present invention provides:
A sensor unit used for detecting the position of a moving body of an actuator body,
Position detecting means for detecting the position of the moving body;
A rail member for accommodating the position detecting means in a rail groove;
A fixing member for fixing the position detecting means to the rail groove;
Is provided.

前記位置検出手段からケーブルが引き出されており、
前記ケーブルは、前記レール溝に配線されていてもよい。 A cable is drawn from the position detecting means;
The cable may be wired in the rail groove.

前記固定部材には、前記ケーブルが前記レール溝から脱落することを防止するケーブル脱落防止部が形成されていてもよい。 The fixing member may be formed with a cable drop prevention portion that prevents the cable from dropping from the rail groove.

前記移動体には磁性体が取り付けられ、
前記位置検出手段は、前記磁性体の磁束を検出する磁気センサであってもよい。 A magnetic body is attached to the moving body,
The position detection means may be a magnetic sensor that detects a magnetic flux of the magnetic body.

前記固定部材は、止め具によって前記レール部材に固定されていてもよい。 The fixing member may be fixed to the rail member by a stopper.

前記止め具は、ねじ部材と、前記ねじ部材が螺合するナット部材と、を有し、
前記固定部材には、前記ねじ部材の先端が当接するねじ受け部が形成されていてもよい。 The stopper has a screw member and a nut member into which the screw member is screwed,
The fixing member may have a screw receiving portion with which the tip of the screw member abuts.

前記固定部材には、前記位置検出手段を前記レール溝に付勢する位置検出手段押付け部が形成されていてもよい。 The fixing member may be formed with a position detecting means pressing portion that urges the position detecting means to the rail groove.

本発明の第２の観点に係るアクチュエータは、
進退移動する移動体を有するアクチュエータ本体と、
本発明の第１の観点に係るセンサユニットと、
を有することを特徴とする。 The actuator according to the second aspect of the present invention is:
An actuator body having a moving body that moves forward and backward;
A sensor unit according to a first aspect of the present invention;
It is characterized by having.

前記アクチュエータ本体は、前記移動体の少なくとも一部を覆うカバーを有し、
前記レール部材は、前記カバーに取り付けられていてもよい。 The actuator body has a cover that covers at least a part of the moving body,
The rail member may be attached to the cover.

前記アクチュエータ本体は、前記移動体を進退移動可能に支持するベースを有し、
前記レール部材は、前記ベースに取り付けられていてもよい。 The actuator body has a base that supports the movable body so as to be movable forward and backward,
The rail member may be attached to the base.

前記アクチュエータ本体は、前記移動体の少なくとも一部を覆うカバーを有し、
前記レール部材は、前記カバーの一部として構成されていてもよい。 The actuator body has a cover that covers at least a part of the moving body,
The rail member may be configured as a part of the cover.

前記アクチュエータ本体は、前記移動体を進退移動可能に支持するベースを有し、
前記レール部材は、前記ベースの一部として構成されていてもよい。 The actuator body has a base that supports the movable body so as to be movable forward and backward,
The rail member may be configured as a part of the base.

前記アクチュエータ本体は、
回転軸を備えたモータと、
前記回転軸の回転運動とともに回転運動するボールねじ軸と、前記ボールねじ軸の回転運動に伴って直線運動するボールねじナットと、を有するボールねじと、
を有し、
前記移動体は、前記ボールねじナットに固定され、前記ボールねじナットとともに直線運動してもよい。 The actuator body is
A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
Have
The moving body may be fixed to the ball screw nut and linearly move with the ball screw nut.

前記アクチュエータ本体は、前記移動体にスライダテーブルが取り付けられたスライダタイプのアクチュエータであってもよい。 The actuator body may be a slider type actuator in which a slider table is attached to the movable body.

前記アクチュエータ本体は、前記移動体にロッドが取り付けられたロッドタイプのアクチュエータであってもよい。 The actuator body may be a rod-type actuator in which a rod is attached to the moving body.

本発明では、位置検出手段はレール溝内に収容されている。これにより、位置検出手段はレール部材に覆われるため、位置検出手段が損傷しにくくなるとともに、位置検出手段の位置ずれが生じにくくなる。 In the present invention, the position detecting means is accommodated in the rail groove. Thereby, since the position detection means is covered with the rail member, the position detection means is hardly damaged and the position detection means is not easily displaced.

本発明に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning the present invention. アクチュエータの正面図である。It is a front view of an actuator. アクチュエータの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of an actuator. センサユニットの斜視図である。It is a perspective view of a sensor unit. レール部材及び位置センサの形状等を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the shape etc. of a rail member and a position sensor. （Ａ）は、固定金具の斜視図である。（Ｂ）は、固定金具の平面図である。（Ｃ）は、固定金具の正面図である。(A) is a perspective view of a fixture. (B) is a top view of a fixture. (C) is a front view of a fixture. センサユニットのＸＹ断面図である。It is XY sectional drawing of a sensor unit. 図７のＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その１）である。It is a perspective view (the 1) for demonstrating the assembly method of a sensor unit. センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その２）である。It is a perspective view (the 2) for demonstrating the assembly method of a sensor unit. センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その３）である。It is a perspective view (the 3) for demonstrating the assembly method of a sensor unit. センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その４）である。It is a perspective view (the 4) for demonstrating the assembly method of a sensor unit. センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その５）である。It is a perspective view (the 5) for demonstrating the assembly method of a sensor unit. センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その６）である。It is a perspective view (the 6) for demonstrating the assembly method of a sensor unit. センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その７）である。It is a perspective view (the 7) for demonstrating the assembly method of a sensor unit. センサユニットの組立て方法を説明するための斜視図（その８）である。It is a perspective view (the 8) for demonstrating the assembly method of a sensor unit. アクチュエータの動作を説明するための平面図（その１）である。It is a top view (the 1) for demonstrating operation | movement of an actuator. アクチュエータの動作を説明するための平面図（その２）である。It is a top view for explaining operation of an actuator (the 2). アクチュエータの動作を説明するための平面図（その３）である。FIG. 6 is a plan view (part 3) for explaining the operation of the actuator; アクチュエータの動作を説明するための平面図（その４）である。FIG. 10 is a plan view (part 4) for explaining the operation of the actuator; アクチュエータの動作を説明するための平面図（その５）である。FIG. 11 is a plan view (No. 5) for explaining the operation of the actuator. 第１の変形例に係るアクチュエータの正面図である。It is a front view of an actuator concerning the 1st modification. 第２の変形例に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning the 2nd modification. 第３の変形例に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning the 3rd modification. 図２１ＡのＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 21A. 第４の変形例に係るアクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of an actuator concerning the 4th modification.

以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１０について、図１〜図１８を用いて説明する。なお、理解を容易にするために、ＸＹＺ座標を設定し、適宜参照する。 Hereinafter, an actuator 10 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In order to facilitate understanding, XYZ coordinates are set and referred to as appropriate.

アクチュエータ１０は、図１に示すように、スライダテーブルＴが＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に移動するスライダタイプのアクチュエータである。アクチュエータ１０は、図１及び図２に示すように、アクチュエータ本体１１と、アクチュエータ本体１１の側面（＋Ｘ側の側面）に設けられたセンサユニット１００とを有する。 As shown in FIG. 1, the actuator 10 is a slider type actuator in which the slider table T moves in both the + Y direction and the −Y direction. As shown in FIGS. 1 and 2, the actuator 10 includes an actuator body 11 and a sensor unit 100 provided on a side surface (+ X side surface) of the actuator body 11.

アクチュエータ本体１１は、図３に示すように、上述したスライダテーブルＴに加えて、モータユニット２０と、筐体３０と、ボールねじ４０と、スライダ５０（移動体）と、フロントブラケット１２と、リアブラケット１３とを有する。 As shown in FIG. 3, in addition to the slider table T described above, the actuator main body 11 includes a motor unit 20, a housing 30, a ball screw 40, a slider 50 (moving body), a front bracket 12, and a rear. Bracket 13.

フロントブラケット１２は、筐体３０の−Ｙ側の端面に、複数のボルトによって固定されている。フロントブラケット１２の内部には、ベアリングが嵌め込まれている。ベアリングは、ボールねじ４０の先端（−Ｙ側の端部）を回転可能に支持している。 The front bracket 12 is fixed to the −Y side end surface of the housing 30 with a plurality of bolts. A bearing is fitted into the front bracket 12. The bearing rotatably supports the tip end (end portion on the −Y side) of the ball screw 40.

リアブラケット１３は、筐体３０の＋Ｙ側の端面に、複数のボルトによって固定されている。リアブラケット１３の内部には、ベアリングが嵌め込まれている。ベアリングは、ボールねじ４０の後端（＋Ｙ側の端部）を回転可能に支持している。 The rear bracket 13 is fixed to the + Y side end surface of the housing 30 with a plurality of bolts. A bearing is fitted in the rear bracket 13. The bearing rotatably supports the rear end (+ Y side end) of the ball screw 40.

モータユニット２０は、リアブラケット１３の＋Ｙ側に取り付けられている。モータユニット２０は、モータ本体、モータを収納するモータケース２１、アクチュエータケーブル２２等を有する。また、モータ本体は、出力軸、ロータ、ステータ、エンコーダ等を有している。モータ本体には、アクチュエータケーブル２２を介して電源から電力が供給される。モータ本体に電力が供給されることによって、モータ本体のロータが回転する。ロータの回転運動は、出力軸に出力される。出力軸の先端はボールねじ４０に連結されており、出力軸が回転すると、ボールねじ４０は出力軸とともに回転する。 The motor unit 20 is attached to the + Y side of the rear bracket 13. The motor unit 20 includes a motor body, a motor case 21 that houses the motor, an actuator cable 22 and the like. The motor body has an output shaft, a rotor, a stator, an encoder, and the like. Electric power is supplied to the motor body from the power source via the actuator cable 22. When electric power is supplied to the motor body, the rotor of the motor body rotates. The rotational motion of the rotor is output to the output shaft. The tip of the output shaft is connected to the ball screw 40. When the output shaft rotates, the ball screw 40 rotates with the output shaft.

筐体３０は、ボールねじ４０及びスライダ５０等を覆うことで保護するために用いられる。筐体３０は、ベース３１と、サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌと、ステンレスシート３３とを有している。 The housing 30 is used for protection by covering the ball screw 40, the slider 50, and the like. The housing 30 includes a base 31, side covers 32R and 32L, and a stainless sheet 33.

ベース３１は、鋼球を介してスライダ５０を、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に進退移動可能に支持する部材である。ベース３１は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。ベース３１は、ＸＺ断面が略凹形状となるように形成されている。ベース３１の内面には、一対のレールが設けられている。レールの表面は、鋼球の形状に対応した面に形成されている。 The base 31 is a member that supports the slider 50 via a steel ball so as to be movable back and forth in both the + Y direction and the −Y direction. The base 31 is formed, for example, by extruding aluminum. The base 31 is formed so that the XZ section has a substantially concave shape. A pair of rails are provided on the inner surface of the base 31. The surface of the rail is formed on a surface corresponding to the shape of the steel ball.

サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌは、ボールねじ４０の側方等を覆う部材である。サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌは、ＸＺ断面が略Ｌ字形状になるように形成されている。サイドカバー３２Ｒとサイドカバー３２Ｌとの間には開口部３０ａが形成されている。 The side covers 32R and 32L are members that cover the side of the ball screw 40 and the like. The side covers 32R and 32L are formed so that the XZ cross section is substantially L-shaped. An opening 30a is formed between the side cover 32R and the side cover 32L.

ステンレスシート３３は、サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌの間の開口部３０ａを塞ぐ部材である。ステンレスシート３３は、サイドカバー３２Ｒ、３２Ｌとともに、アクチュエータ本体１１の内部の各部材を、埃や塵、水滴等から保護する。 The stainless steel sheet 33 is a member that closes the opening 30a between the side covers 32R and 32L. The stainless steel sheet 33 protects each member inside the actuator body 11 from the dust, dust, water droplets and the like together with the side covers 32R and 32L.

ボールねじ４０は、ボールねじ軸とボールねじナットとを有する。ボールねじ軸は、軸心がＹ軸方向に平行になるように配置されている。ボールねじ軸は、外周面が螺旋状の雄ねじ面として構成されている。ボールねじナットの内周面には、ボールねじ軸の雄ねじに噛み合う雌ねじ部が形成されている。ボールねじナットは、ボールねじ軸に高剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸の回転運動が、ボールねじナットの直線運動に円滑に変換される。 The ball screw 40 has a ball screw shaft and a ball screw nut. The ball screw shaft is disposed such that the axis is parallel to the Y-axis direction. The ball screw shaft is configured as a male screw surface whose outer peripheral surface is spiral. A female screw portion that meshes with the male screw of the ball screw shaft is formed on the inner peripheral surface of the ball screw nut. The ball screw nut is fitted to the ball screw shaft through a highly rigid sphere. Thereby, the rotational motion of the ball screw shaft is smoothly converted into the linear motion of the ball screw nut.

スライダ５０（移動体）は、ベース３１に−Ｙ方向及び＋Ｙ方向の双方向に移動可能に支持されている。スライダ５０には、ボールねじナットを嵌め込むための孔が形成されている。ボールねじナットは、この孔に嵌め込まれて、ボルトでスライダ５０に固定されている。これにより、スライダ５０は、ボールねじ軸の軸方向に沿って、ボールねじナットとともに直線運動する。スライダ５０の＋Ｘ側の側面には、磁性体取付け穴が形成されている。この磁性体取付け穴には、磁性体５１が嵌め込まれている。本実施形態においては、磁性体５１は、円柱形状に形成された磁石である。ただし、これに限らず、磁性体５１は、磁化されたものであれば、磁石以外のものであってもよい。また、スライダ５０の上部には、スライダテーブルＴが複数のねじによって取り付けられている。 The slider 50 (moving body) is supported by the base 31 so as to be movable in both the −Y direction and the + Y direction. The slider 50 is formed with a hole for fitting a ball screw nut. The ball screw nut is fitted into this hole and fixed to the slider 50 with a bolt. Thereby, the slider 50 moves linearly with the ball screw nut along the axial direction of the ball screw shaft. A magnetic body attachment hole is formed on the side surface of the slider 50 on the + X side. A magnetic body 51 is fitted into the magnetic body mounting hole. In the present embodiment, the magnetic body 51 is a magnet formed in a cylindrical shape. However, the present invention is not limited to this, and the magnetic body 51 may be other than a magnet as long as it is magnetized. A slider table T is attached to the upper portion of the slider 50 with a plurality of screws.

センサユニット１００は、スライダ５０の原点位置を検出するために用いられる。センサユニット１００は、位置センサ１１０と、アクチュエータ本体１１に設けられ、レール溝１２０ａが形成されたレール部材１２０と、固定金具１３０と、固定金具１３０をレール溝１２０ａに固定するための止めねじ１４０及びナット１５０と、を有する。なお、スライダ５０の原点位置は任意であり、アクチュエータ１０を用いるユーザが用途に応じて適宜設定することができる。 The sensor unit 100 is used for detecting the origin position of the slider 50. The sensor unit 100 is provided in the position sensor 110, the actuator main body 11, the rail member 120 in which the rail groove 120a is formed, the fixing bracket 130, a set screw 140 for fixing the fixing bracket 130 to the rail groove 120a, and And a nut 150. In addition, the origin position of the slider 50 is arbitrary, and the user who uses the actuator 10 can set suitably according to a use.

位置センサ１１０（位置検出手段）は、磁束を検出する磁気センサである。位置センサ１１０は、スライダ５０に取り付けられた磁性体５１の磁束を検出することで、スライダ５０の移動開始前の初期位置（以下、原点位置とする）を検出する。そして、原点位置等の情報を出力する。位置センサ１１０の形状は、本実施形態においては、Ｙ軸方向を長手方向とする略直方体である。位置センサ１１０には、スライダ５０の原点位置を検出した場合に点灯するＬＥＤ１１１が設けられている。また、位置センサ１１０からは、ケーブル１１２が引き出されている。引き出されたケーブル１１２の端部にはコネクタ１１３が設けられている。コネクタ１１３は、モータケース２１の後端側に形成されたコネクタに着脱可能に接続される（図１参照）。なお、ケーブル１１２の一部は、レール溝１２０ａに配線される。 The position sensor 110 (position detection means) is a magnetic sensor that detects magnetic flux. The position sensor 110 detects an initial position (hereinafter referred to as an origin position) before the movement of the slider 50 by detecting the magnetic flux of the magnetic body 51 attached to the slider 50. Then, information such as the origin position is output. The shape of the position sensor 110 is a substantially rectangular parallelepiped with the Y-axis direction as the longitudinal direction in the present embodiment. The position sensor 110 is provided with an LED 111 that is turned on when the origin position of the slider 50 is detected. Further, a cable 112 is drawn from the position sensor 110. A connector 113 is provided at the end of the cable 112 that has been drawn out. The connector 113 is detachably connected to a connector formed on the rear end side of the motor case 21 (see FIG. 1). A part of the cable 112 is wired in the rail groove 120a.

レール部材１２０は、図４に示すように、レール溝１２０ａに位置センサ１１０を収納して保護する部材である。レール溝１２０ａは、レール溝１２０ａの長手方向（Ｙ軸方向）に沿って形成されている。レール部材１２０は、例えば、アルミニウムを押出し成形することにより形成される。レール部材１２０は、図３に示すように、アクチュエータ本体１１の筐体３０のサイドカバー３２Ｒに、３本のねじ９０によって着脱可能に取り付けられる。レール部材１２０は、図５に示すように、ＹＺ平面に平行な側壁部１２１と、側壁部１２１の上端及び下端から外側方向（＋Ｘ方向）に突出する天板部１２２及び底面部１２３と、を有している。天板部１２２及び底面部１２３の端部からは、内向きに突出する縁部１２４ａ、１２４ｂが形成されている。側壁部１２１、天板部１２２、底面部１２３、縁部１２４ａ、１２４ｂに囲われることにより、レール溝１２０ａは、ＺＸ断面が略Ｔ字形状（Ｔ字スロット）となるように形成される。 As shown in FIG. 4, the rail member 120 is a member that houses and protects the position sensor 110 in the rail groove 120a. The rail groove 120a is formed along the longitudinal direction (Y-axis direction) of the rail groove 120a. The rail member 120 is formed, for example, by extruding aluminum. As shown in FIG. 3, the rail member 120 is detachably attached to the side cover 32 </ b> R of the housing 30 of the actuator body 11 with three screws 90. As shown in FIG. 5, the rail member 120 includes a side wall portion 121 parallel to the YZ plane, a top plate portion 122 and a bottom surface portion 123 that protrude outward from the upper end and lower end of the side wall portion 121 (+ X direction). Have. Edge portions 124 a and 124 b projecting inward are formed from the end portions of the top plate portion 122 and the bottom surface portion 123. By being surrounded by the side wall portion 121, the top plate portion 122, the bottom surface portion 123, and the edge portions 124a and 124b, the rail groove 120a is formed so that the ZX cross section is substantially T-shaped (T-shaped slot).

レール部材１２０の縁部１２４ａと縁部１２４ｂとの間には、スリット１２５が形成されている。スリット１２５は、その幅Ｌ１（Ｚ軸方向の長さ）が位置センサ１１０の幅Ｌ２（Ｚ軸方向の長さ）よりも小さくなるように形成されている。これにより、位置センサ１１０は、スリット１２５から脱落しないようにレール溝１２０ａに配置される。 A slit 125 is formed between the edge portion 124 a and the edge portion 124 b of the rail member 120. The slit 125 is formed such that its width L1 (length in the Z-axis direction) is smaller than the width L2 (length in the Z-axis direction) of the position sensor 110. Thereby, the position sensor 110 is arrange | positioned at the rail groove | channel 120a so that it may not drop | omit from the slit 125. FIG.

固定金具１３０（固定手段）は、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに固定するために用いられる。固定金具１３０は、図６に示すように、ステンレスの板材を、３箇所の屈曲部１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃを基点に直角に折り曲げられることにより形成される。 The fixing bracket 130 (fixing means) is used to fix the position sensor 110 to the rail groove 120a. As shown in FIG. 6, the fixture 130 is formed by bending a stainless steel plate material at right angles with three bent portions 130 a, 130 b, 130 c as base points.

固定金具１３０の一方の端部には、−Ｙ方向に突出したねじ受け部１３１が形成されている。ねじ受け部１３１は、ＹＺ平面に平行な平板形状に形成されている。ねじ受け部１３１には、図７に示すように、固定金具１３０を止めねじ１４０及びナット１５０でレール溝１２０ａに取り付けた場合に、ナット１５０に螺合した止めねじ１４０の先端が当接する。これにより、固定金具１３０は、位置センサ１１０とともにレール溝１２０ａに固定される。 A screw receiving portion 131 protruding in the −Y direction is formed at one end portion of the fixing metal 130. The screw receiving portion 131 is formed in a flat plate shape parallel to the YZ plane. As shown in FIG. 7, when the fixing bracket 130 is attached to the rail groove 120 a with the set screw 140 and the nut 150, the tip of the set screw 140 screwed into the nut 150 contacts the screw receiving portion 131. Thereby, the fixture 130 is fixed to the rail groove 120 a together with the position sensor 110.

図６に戻り、固定金具１３０の他方の端部には、ケーブル脱落防止部１３２が形成されている。ケーブル脱落防止部１３２は、中央に湾曲部１３２ａが形成された略Ｙ字形状に形成されている。ケーブル脱落防止部１３２は、図８を参照するとわかるように、位置センサ１１０がレール溝１２０ａに取り付けられている場合に、配線されたケーブル１１２がレール溝１２０ａから脱落することを防止するために用いられる。 Returning to FIG. 6, a cable drop prevention portion 132 is formed at the other end of the fixture 130. The cable drop prevention part 132 is formed in a substantially Y shape with a curved part 132a formed in the center. As shown in FIG. 8, the cable drop prevention unit 132 is used to prevent the wired cable 112 from dropping from the rail groove 120a when the position sensor 110 is attached to the rail groove 120a. It is done.

ケーブル脱落防止部１３２は、その幅（Ｚ軸方向の長さ）が、レール部材１２０のスリット１２５の幅（Ｚ軸方向の長さ）よりも大きく形成されている。また、ケーブル脱落防止部１３２の根元部分は、レール部材１２０のスリット１２５に嵌り込む形状に形成された括れ部１３２ｂが形成されている（後述の図１２参照）。これにより、ケーブル脱落防止部１３２は、レール部材１２０の縁部１２４ａ、１２４ｂに掛止可能に形成される。 The cable drop prevention portion 132 is formed such that the width (the length in the Z-axis direction) is larger than the width (the length in the Z-axis direction) of the slit 125 of the rail member 120. Further, the base portion of the cable drop prevention portion 132 is formed with a constricted portion 132b formed in a shape that fits into the slit 125 of the rail member 120 (see FIG. 12 described later). Thereby, the cable drop prevention part 132 is formed so as to be able to be hooked on the edges 124 a and 124 b of the rail member 120.

図６に戻り、固定金具１３０の屈曲部１３０ａと屈曲部１３０ｂとの間の部分には、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに付勢する位置センサ押付け部１３３（位置検出手段押付け部）が形成されている。位置センサ押付け部１３３には、窓部１３４と、一対の爪部１３５ａ、１３５ｂと、が形成されている。図７を参照するとわかるように、爪部１３５ａ、１３５ｂが位置センサ１１０の表面を付勢することで、位置センサ１１０はレール溝１２０ａに安定して固定される。 Returning to FIG. 6, a position sensor pressing portion 133 (position detecting means pressing portion) for biasing the position sensor 110 to the rail groove 120a is formed at a portion between the bent portion 130a and the bent portion 130b of the fixing bracket 130. ing. The position sensor pressing portion 133 is formed with a window portion 134 and a pair of claw portions 135a and 135b. As can be seen with reference to FIG. 7, the claw portions 135a and 135b urge the surface of the position sensor 110 so that the position sensor 110 is stably fixed to the rail groove 120a.

ナット１５０は、図３に示すように、四角ナットである。ナット１５０は、レール部材１２０のスリット１２５から抜けない形状及び寸法のものが用いられる。本実施形態では、止めねじ１４０及びナット１５０が、本発明に係る止め具に相当する。 The nut 150 is a square nut as shown in FIG. The nut 150 has a shape and size that does not come out of the slit 125 of the rail member 120. In the present embodiment, the set screw 140 and the nut 150 correspond to a stop according to the present invention.

上述のように構成されたセンサユニット１００の組立て方法を、図９〜１６、図７を用いて説明する。 A method for assembling the sensor unit 100 configured as described above will be described with reference to FIGS.

先ず、センサユニット１００を組み立てるアクチュエータ１０のユーザは、図９に示すように、レール部材１２０のレール溝１２０ａの＋Ｙ側の端部開口から、ナット１５０を挿入する。そして、ナット１５０をレール溝１２０ａ内でスライドさせつつ、任意の位置まで移動させる。 First, as shown in FIG. 9, the user of the actuator 10 that assembles the sensor unit 100 inserts the nut 150 from the + Y side end opening of the rail groove 120 a of the rail member 120. Then, the nut 150 is moved to an arbitrary position while sliding in the rail groove 120a.

続いて、図１０に示すように、レール溝１２０ａの＋Ｙ側の端部開口から、位置センサ１１０を挿入する。そして、図１１に示すように、位置センサ１１０をレール溝１２０ａ内でスライドさせつつ、ナット１５０近傍まで移動させる。 Subsequently, as shown in FIG. 10, the position sensor 110 is inserted from the end opening on the + Y side of the rail groove 120a. Then, as shown in FIG. 11, the position sensor 110 is moved to the vicinity of the nut 150 while sliding in the rail groove 120a.

続いて、図１２に示すように、レール溝１２０ａの端部開口から、固定金具１３０のケーブル脱落防止部１３２を挿入する。次に、図１３に示すように、ケーブル脱落防止部１３２をレール溝１２０ａ内でスライドさせつつ、固定金具１３０を位置センサ１１０近傍まで移動させる。次に、固定金具１３０を、ケーブル脱落防止部１３２近傍を基点に、図１４に示すように、回転方向Ｒ１回りに回動させる。これにより、位置センサ１１０は固定金具１３０に覆われつつ、レール部材１２０に固定される。また、位置センサ１１０のＬＥＤ１１１が窓部１３４から露出する。 Subsequently, as shown in FIG. 12, the cable drop prevention part 132 of the fixing bracket 130 is inserted from the end opening of the rail groove 120a. Next, as shown in FIG. 13, the fixing fitting 130 is moved to the vicinity of the position sensor 110 while sliding the cable drop prevention portion 132 within the rail groove 120 a. Next, as shown in FIG. 14, the fixing bracket 130 is rotated around the rotation direction R <b> 1 with the vicinity of the cable drop prevention portion 132 as a base point. Accordingly, the position sensor 110 is fixed to the rail member 120 while being covered with the fixing bracket 130. Further, the LED 111 of the position sensor 110 is exposed from the window portion 134.

続いて、図１５に示すように、ユーザは、ナット１５０を位置センサ１１０側にスライドさせ、ねじ受け部１３１と重なる位置まで移動させる（図７参照）。次に、図１６に示すように、止めねじ１４０をナット１５０に螺合させる。すると、図７に示すように、止めねじ１４０の先端がねじ受け部１３１に当接する。これにより、位置センサ押付け部１３３の爪部１３５ａ、１３５ｂが、位置センサ１１０の表面を付勢する。結果として、位置センサ１１０が、レール部材１２０のレール溝１２０ａに固定される。 Subsequently, as shown in FIG. 15, the user slides the nut 150 toward the position sensor 110 and moves the nut 150 to a position overlapping with the screw receiving portion 131 (see FIG. 7). Next, as shown in FIG. 16, the set screw 140 is screwed into the nut 150. Then, as shown in FIG. 7, the tip of the set screw 140 comes into contact with the screw receiving portion 131. Thereby, the claw parts 135a and 135b of the position sensor pressing part 133 urge the surface of the position sensor 110. As a result, the position sensor 110 is fixed to the rail groove 120 a of the rail member 120.

以上により、センサユニット１００の組立てが完了する。 Thus, the assembly of the sensor unit 100 is completed.

上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図１７、図１８、及び図３を用いて説明する。本実施形態においては、図１７Ａに示すように、スライダ５０が最も後端側（＋Ｙ側）に移動しているＹ軸方向における位置を、スライダ５０の原点位置Ｐ１とする。また、アクチュエータ１０には、図示しないコントローラが接続される。コントローラは、ティーチングペンダント等からの入力に基づいて、アクチュエータ１０を制御するための装置である。コントローラは、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶部、表示部、入力部、及び上記各部を相互に接続するシステムバスを含んで構成される。 The operation of the actuator 10 configured as described above will be described with reference to FIGS. 17, 18, and 3. In the present embodiment, as shown in FIG. 17A, the position in the Y-axis direction where the slider 50 is moving to the most rear end side (+ Y side) is defined as the origin position P1 of the slider 50. The actuator 10 is connected to a controller (not shown). The controller is a device for controlling the actuator 10 based on an input from a teaching pendant or the like. The controller includes, for example, a CPU (Central Processing Unit), a storage unit, a display unit, an input unit, and a system bus that interconnects the above units.

図１７Ａを参照するとわかるように、先ず、モータユニット２０のモータ本体に電源が供給されることによって、モータ本体の出力軸とともにボールねじ軸も所定方向に回転（正転）する。すると、ボールねじが、ボールねじ軸の回転運動を、ボールねじナットの直線運動に変換し、この結果、図１７Ｂに示すように、スライダ５０が−Ｙ方向に直線運動を開始する。このとき、図３を参照するとわかるように、スライダ５０は、鋼球を介して筐体３０のベース３１に支持されているため、この鋼球が転動する効果によって円滑に移動する。スライダテーブルＴは図１７Ｃに示すように、やがて最も先端の先端位置Ｐ２に移動する。 As can be seen from FIG. 17A, first, power is supplied to the motor main body of the motor unit 20, so that the ball screw shaft rotates in the predetermined direction together with the output shaft of the motor main body (forward rotation). Then, the ball screw converts the rotational motion of the ball screw shaft into the linear motion of the ball screw nut, and as a result, as shown in FIG. 17B, the slider 50 starts linear motion in the −Y direction. At this time, as can be seen with reference to FIG. 3, the slider 50 is supported by the base 31 of the housing 30 via a steel ball, and thus moves smoothly due to the rolling effect of the steel ball. As shown in FIG. 17C, the slider table T eventually moves to the most distal end position P2.

次に、出力軸が、所定方向とは逆に回転（逆転）すると、図１８Ａに示すように、スライダ５０が＋Ｙ方向に直線運動を開始する。そして、図１８Ｂに示すように、やがて、スライダ５０は原点位置Ｐ１に移動する。すると、位置センサ１１０は、スライダ５０に取り付けられた磁性体の磁束を検出することで、原点位置Ｐ１を検出し、原点位置Ｐ１等の情報を出力する。位置センサ１１０から出力された信号は、ケーブル１１２を介して、アクチュエータ１０に接続されたコントローラのＣＰＵに入力される。また、スライダ５０が原点位置Ｐ１に移動すると、位置センサ１１０のＬＥＤ１１１が点灯する。 Next, when the output shaft rotates (reverses) in the direction opposite to the predetermined direction, the slider 50 starts linear motion in the + Y direction as shown in FIG. 18A. Then, as shown in FIG. 18B, the slider 50 eventually moves to the origin position P1. Then, the position sensor 110 detects the origin position P1 by detecting the magnetic flux of the magnetic body attached to the slider 50, and outputs information such as the origin position P1. A signal output from the position sensor 110 is input to the CPU of the controller connected to the actuator 10 via the cable 112. Further, when the slider 50 moves to the origin position P1, the LED 111 of the position sensor 110 is turned on.

以上、説明したように、本実施形態では、位置センサ１１０はレール溝１２０ａ内に収容されている。これにより、位置センサ１１０はレール部材１２０に覆われるため、アクチュエータ１０のユーザがメンテナンス等に誤って触れてしまうことを防止できる。結果として、位置センサ１１０が損傷しにくくなるとともに、位置センサ１１０の位置ずれが生じにくくなる。 As described above, in the present embodiment, the position sensor 110 is accommodated in the rail groove 120a. Thereby, since the position sensor 110 is covered with the rail member 120, it can prevent that the user of the actuator 10 touches accidentally by maintenance etc. As a result, the position sensor 110 is less likely to be damaged and the position sensor 110 is less likely to be displaced.

また、位置センサ１１０はレール部材１２０に覆われるため、アクチュエータ１０の設置場所の自由度や、他のアクチュエータの組合せの自由度を向上させることができる。 Moreover, since the position sensor 110 is covered with the rail member 120, the freedom degree of the installation place of the actuator 10 and the freedom degree of the combination of another actuator can be improved.

位置センサ１１０がレール部材１２０の外部に露出しないため、アクチュエータ１０の小型化（コンパクト化）を実現することができる。 Since the position sensor 110 is not exposed to the outside of the rail member 120, the actuator 10 can be reduced in size (compact).

また、位置センサ１１０は、固定金具１３０等によりレール部材１２０に取り付けられているため、ユーザは位置センサ１１０をＹ軸方向の任意の位置に取り付けることができる。 Further, since the position sensor 110 is attached to the rail member 120 by the fixing bracket 130 or the like, the user can attach the position sensor 110 to an arbitrary position in the Y-axis direction.

また、本実施形態では、位置センサ１１０から引き出されたケーブル１１２の一部は、レール溝１２０ａに配線されている。このため、ケーブル１１２の断線等の損傷を抑制することができる。結果として、位置センサ１１０全体が損傷にくくなる。また、ユーザがアクチュエータ１０を設置する場合、ケーブル１１２の配線が容易になる。 In the present embodiment, a part of the cable 112 drawn from the position sensor 110 is wired in the rail groove 120a. For this reason, damage such as disconnection of the cable 112 can be suppressed. As a result, the entire position sensor 110 is hardly damaged. Further, when the user installs the actuator 10, the cable 112 can be easily wired.

また、本実施形態では、固定金具１３０には、ケーブル１１２がレール溝１２０ａから脱落することを防止するケーブル脱落防止部１３２が形成されている。このため、ケーブル１１２がレール溝１２０ａから脱落しにくくなり、ケーブル１１２の損傷を抑制することができる。結果として、位置センサ１１０が損傷にくくなる。 Further, in the present embodiment, the fixing fitting 130 is formed with a cable drop prevention portion 132 that prevents the cable 112 from dropping from the rail groove 120a. For this reason, it becomes difficult for the cable 112 to drop off from the rail groove 120a, and damage to the cable 112 can be suppressed. As a result, the position sensor 110 is hardly damaged.

また、本実施形態では、固定金具１３０には、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに付勢する位置センサ押付け部１３３が形成されている。この位置センサ押付け部１３３の爪部１３５ａ、１３５ｂにより、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに安定して固定することができる。特に、スライダ５０を高速運動させることにより、アクチュエータ本体１１に大きな振動が生じた場合でも、位置センサ１１０をレール溝１２０ａに安定して固定することができる。 In the present embodiment, the fixing bracket 130 is formed with a position sensor pressing portion 133 that urges the position sensor 110 to the rail groove 120a. The position sensor 110 can be stably fixed to the rail groove 120a by the claw portions 135a and 135b of the position sensor pressing portion 133. In particular, by moving the slider 50 at a high speed, the position sensor 110 can be stably fixed to the rail groove 120a even when a large vibration occurs in the actuator body 11.

また、本実施形態では、センサユニット１００は、サイドカバー３２Ｒに取り付けられている。このため、ベース３１からサイドカバー３２Ｒを取り外すことにより、センサユニット１００のメンテナンス作業や部品の交換作業を行うことができる。これにより、ユーザの作業効率を向上させることができる。 In the present embodiment, the sensor unit 100 is attached to the side cover 32R. For this reason, by removing the side cover 32R from the base 31, maintenance work of the sensor unit 100 and parts replacement work can be performed. Thereby, a user's working efficiency can be improved.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited by the said embodiment etc.

例えば、上記実施形態においては、位置センサ１１０は、磁気センサから構成されている。しかしながら、これに限らず、位置センサ１１０は、磁気センサ以外のセンサから構成されていてもよい。例えば、光学式センサであってもよい。 For example, in the above embodiment, the position sensor 110 is constituted by a magnetic sensor. However, the present invention is not limited to this, and the position sensor 110 may be composed of a sensor other than the magnetic sensor. For example, an optical sensor may be used.

上記実施形態においては、ナット１５０は、四角ナットである。しかしながら、これに限らず、ナット１５０は四角ナット以外のナットから構成されていてもよい。例えば、六角ナットであってもよい。しかしながら、レール溝１２０ａに安定して収納される観点から、四角ナットの方が望ましい。 In the above embodiment, the nut 150 is a square nut. However, the present invention is not limited to this, and the nut 150 may be composed of a nut other than a square nut. For example, a hex nut may be used. However, a square nut is desirable from the viewpoint of being stably stored in the rail groove 120a.

上記実施形態においては、図１及び図３に示すように、レール部材１２０は、筐体３０の正面右側のサイドカバー３２Ｒに取り付けられている。しかしながら、これに限らない。レール部材１２０の取付け位置は任意である。レール部材１２０は、筐体３０のベース３１に取り付けられてもよいし、筐体３０の正面左側のサイドカバー３２Ｌに取り付けられていてもよい。または、図１９に示すアクチュエータ１０Ａのように、筐体３０の正面両側のサイドカバー３２Ｒ、３２Ｌいずれにも取り付けられていてもよい。 In the above embodiment, as shown in FIGS. 1 and 3, the rail member 120 is attached to the side cover 32 </ b> R on the front right side of the housing 30. However, the present invention is not limited to this. The mounting position of the rail member 120 is arbitrary. The rail member 120 may be attached to the base 31 of the housing 30 or may be attached to the side cover 32L on the front left side of the housing 30. Alternatively, like the actuator 10A shown in FIG. 19, it may be attached to any of the side covers 32R and 32L on both front sides of the housing 30.

また、本実施形態では、図１及び図３に示すように、レール部材１２０は、サイドカバー３２Ｒに取り付けられている。すなわち、レール部材１２０は、サイドカバー３２Ｒとは別体として構成されている。しかしながら、これに限らない。レール部材１２０は、図２０に示すアクチュエータ１０Ｂのように、筐体３０のサイドカバー３２Ｒの一部として構成されていてもよい。具体的には、サイドカバー３２Ｒに溝を形成し、その溝に位置センサ１１０を取り付けるようにしてもよい。この場合、部品点数を削減することができ、アクチュエータ１０Ｂの製造コストを低廉化させることができる。しかしながら、センサユニット１００を有さない従来のアクチュエータを流用できる点からは、本実施形態に係るアクチュエータ１０の方が望ましい。 Moreover, in this embodiment, as shown in FIG.1 and FIG.3, the rail member 120 is attached to the side cover 32R. That is, the rail member 120 is configured separately from the side cover 32R. However, the present invention is not limited to this. The rail member 120 may be configured as a part of the side cover 32R of the housing 30 as in the actuator 10B illustrated in FIG. Specifically, a groove may be formed in the side cover 32R, and the position sensor 110 may be attached to the groove. In this case, the number of parts can be reduced, and the manufacturing cost of the actuator 10B can be reduced. However, the actuator 10 according to the present embodiment is more desirable from the viewpoint that a conventional actuator without the sensor unit 100 can be used.

または、レール部材１２０は、図２１Ａ及び図２１Ｂに示すアクチュエータ１０Ｃのように、筐体３０のベース３１の一部として構成されていてもよい。具体的には、ベース３１に溝３１ａを形成し、その溝３１ａに位置センサ１１０を取り付けるようにしてもよい。この場合でも、部品点数を削減することができ、アクチュエータ１０Ｃの製造コストを低廉化させることができる。しかしながら、センサユニット１００を有さない従来のアクチュエータを流用できる点からは、本実施形態に係るアクチュエータ１０の方が望ましい。 Or the rail member 120 may be comprised as a part of base 31 of the housing | casing 30 like the actuator 10C shown to FIG. 21A and 21B. Specifically, a groove 31a may be formed in the base 31, and the position sensor 110 may be attached to the groove 31a. Even in this case, the number of parts can be reduced, and the manufacturing cost of the actuator 10C can be reduced. However, the actuator 10 according to the present embodiment is more desirable from the viewpoint that a conventional actuator without the sensor unit 100 can be used.

上記実施形態においては、図１に示すように、センサユニット１００は、一つの位置センサ１１０を有している。しかしながら、これに限らず、図２２に示すアクチュエータ１０Ｄのように、二つ以上の位置センサ１１０を有していてもよい。これにより、例えば、スライダテーブルＴ（詳しくは、スライダ５０）の原点位置Ｐ１だけでなく、原点位置Ｐ１以外の任意の位置（例えば、先端位置Ｐ２等）も検知することが可能になる。 In the above embodiment, as shown in FIG. 1, the sensor unit 100 has one position sensor 110. However, the present invention is not limited to this, and two or more position sensors 110 may be provided as in the actuator 10D shown in FIG. Thus, for example, not only the origin position P1 of the slider table T (specifically, the slider 50) but also any position other than the origin position P1 (for example, the tip position P2) can be detected.

上記実施形態においては、アクチュエータ本体１１は、スライダ５０にスライダテーブルＴが取り付けられたスライダタイプのアクチュエータである。しかしながら、これに限らず、アクチュエータ本体１１は、スライダ５０にロッドが取り付けられたロッドタイプのアクチュエータであってもよい。 In the above embodiment, the actuator body 11 is a slider type actuator in which the slider table T is attached to the slider 50. However, the present invention is not limited to this, and the actuator body 11 may be a rod type actuator in which a rod is attached to the slider 50.

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。 Various embodiments and modifications can be made to the present invention without departing from the broad spirit and scope of the present invention. The above-described embodiments are for explaining the present invention, and do not limit the scope of the present invention.

１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄアクチュエータ
１１アクチュエータ本体
１２フロントブラケット
１３リアブラケット
２０モータユニット（モータ）
２１モータケース
２２アクチュエータケーブル
３０筐体
３０ａ開口部
３１ベース
３１ａ溝（レール溝）
３２Ｒ、３２Ｌサイドカバー
３３ステンレスシート
４０ボールねじ
５０スライダ
５１磁性体
９０ねじ
１００センサユニット
１１０位置センサ（位置検出手段）
１１１ＬＥＤ
１１２ケーブル
１１３コネクタ
１２０レール部材
１２０ａレール溝
１２１側壁部
１２２天板部
１２３底面部
１２４ａ、１２４ｂ縁部
１２５スリット
１３０固定金具（固定部材）
１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃ屈曲部
１３１ねじ受け部
１３２ケーブル脱落防止部
１３２ａ湾曲部
１３２ｂ括れ部
１３３位置センサ押付け部（位置検出手段押付け部）
１３４窓部
１３５ａ、１３５ｂ爪部
１４０止めねじ（ねじ部材）
１５０ナット（ナット部材）
Ｔスライダテーブル
Ｐ１原点位置
Ｐ２先端位置 10, 10A, 10B, 10C, 10D Actuator 11 Actuator body 12 Front bracket 13 Rear bracket 20 Motor unit (motor)
21 Motor case 22 Actuator cable 30 Housing 30a Opening 31 Base 31a Groove (rail groove)
32R, 32L Side cover 33 Stainless steel sheet 40 Ball screw 50 Slider 51 Magnetic body 90 Screw 100 Sensor unit 110 Position sensor (position detection means)
111 LED
112 Cable 113 Connector 120 Rail member 120a Rail groove 121 Side wall portion 122 Top plate portion 123 Bottom surface portion 124a, 124b Edge portion 125 Slit 130 Fixing bracket (fixing member)
130a, 130b, 130c Bending part 131 Screw receiving part 132 Cable drop prevention part 132a Bending part 132b Constricted part 133 Position sensor pressing part (position detecting means pressing part)
134 Window part 135a, 135b Claw part 140 Set screw (screw member)
150 Nut (Nut member)
T Slider table P1 Origin position P2 Tip position

Claims

A sensor unit used for detecting the position of a moving body of an actuator body,
Position detecting means for detecting the position of the moving body;
A rail member for accommodating the position detecting means in a rail groove;
A fixing member for fixing the position detecting means to the rail groove;
A sensor unit comprising:

A cable is drawn from the position detecting means;
The sensor unit according to claim 1, wherein the cable is wired in the rail groove.

The sensor unit according to claim 2, wherein the fixing member is formed with a cable drop prevention portion that prevents the cable from dropping from the rail groove.

A magnetic body is attached to the moving body,
4. The sensor unit according to claim 1, wherein the position detection unit is a magnetic sensor that detects a magnetic flux of the magnetic body. 5.

The sensor unit according to claim 1, wherein the fixing member is fixed to the rail member by a stopper.

The stopper has a screw member and a nut member into which the screw member is screwed,
The sensor unit according to claim 5, wherein the fixing member is formed with a screw receiving portion with which a tip of the screw member abuts.

The sensor unit according to claim 1, wherein the fixing member is formed with a position detection unit pressing portion that urges the position detection unit to the rail groove.

An actuator body having a moving body that moves forward and backward;
The sensor unit according to any one of claims 1 to 7,
An actuator comprising:

The actuator body has a cover that covers at least a part of the moving body,
The actuator according to claim 8, wherein the rail member is attached to the cover.

The actuator body has a base that supports the movable body so as to be movable forward and backward,
The actuator according to claim 8, wherein the rail member is attached to the base.

The actuator body has a cover that covers at least a part of the moving body,
The actuator according to claim 8, wherein the rail member is configured as a part of the cover.

The actuator body has a base that supports the movable body so as to be movable forward and backward,
The actuator according to claim 8, wherein the rail member is configured as a part of the base.

The actuator body is
A motor with a rotating shaft;
A ball screw having a ball screw shaft that rotates together with the rotational motion of the rotational shaft, and a ball screw nut that moves linearly with the rotational motion of the ball screw shaft;
Have
The actuator according to any one of claims 8 to 12, wherein the moving body is fixed to the ball screw nut and linearly moves together with the ball screw nut.

The actuator according to any one of claims 8 to 13, wherein the actuator body is a slider type actuator in which a slider table is attached to the movable body.

The actuator according to any one of claims 8 to 13, wherein the actuator body is a rod-type actuator in which a rod is attached to the movable body.