JP2015148534A

JP2015148534A - Excitation device

Info

Publication number: JP2015148534A
Application number: JP2014022133A
Authority: JP
Inventors: 山口　秀樹; Hideki Yamaguchi; 秀樹山口; 尚有坂; Takashi Arisaka
Original assignee: Kayaba System Machinery Co Ltd
Current assignee: Kayaba System Machinery Co Ltd
Priority date: 2014-02-07
Filing date: 2014-02-07
Publication date: 2015-08-20
Anticipated expiration: 2034-02-07
Also published as: JP6286217B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an excitation device capable of maintaining a horizontal state.SOLUTION: An excitation device 100 includes: a placement part 1 for placing an excitation target; a vertical excitation part 30 for exciting the placement part 1 in vertical direction; and a link mechanism 40 supporting the placement part 1 in a vertically movable manner. The link mechanism 40 includes: a pair of first parallel links 50 arranged in parallel to each other; and a pair of second parallel links 60 arranged in parallel to each other and perpendicular to the first parallel links 50.

Description

本発明は、加振装置に関するものである。 The present invention relates to a vibration exciter.

特許文献１には、振動台と、振動台に上下動の振動加振を与える上下加振機と、振動台の水平−上下動を許容する平行リンクと、平行リンクとピンジョイントで接続されるスライドバーと、スライドバーの水平方向の運動を許容する静圧軸受と、を備える加振装置が開示されている。 In Patent Document 1, a vibration table, a vertical vibration exciter that applies vertical vibration to the vibration table, a parallel link that allows horizontal-vertical movement of the vibration table, a parallel link, and a pin joint are connected. An excitation device is disclosed that includes a slide bar and a hydrostatic bearing that allows the slide bar to move in the horizontal direction.

特開平０１−５９１３７号公報Japanese Patent Laid-Open No. 01-59137

被加振体を鉛直方向に加振する加振装置において、偏荷重が作用する場合や水平軸を中心に回転してロッキング振動が生じた場合などには、被加振体を載置する載置部に傾きや共振が発生し、被加振体に所望の振動を与えることが困難となる。したがって、被加振体に所望の振動を与えるためには、二つの水平軸それぞれに対する傾きや回転を防止し、載置部の水平を確保することが求められる。 In a vibrating device that vibrates a vibrating body in a vertical direction, when an eccentric load is applied or when rocking vibration is generated by rotating about a horizontal axis, the mounting body for placing the vibrating body is placed. Inclination and resonance occur in the mounting portion, making it difficult to give desired vibration to the excited body. Therefore, in order to give a desired vibration to the vibrating body, it is required to prevent tilting and rotation with respect to each of the two horizontal axes and to ensure the level of the mounting portion.

特許文献１に開示の加振装置では、載置部（振動台）の傾きや回転を防止するために、対向するリンク部材が平行に保たれる平行リンク機構を設けることによって載置部を支持する。 In the vibration device disclosed in Patent Document 1, the mounting unit is supported by providing a parallel link mechanism in which the opposing link members are maintained in parallel in order to prevent the mounting unit (vibration table) from being tilted or rotated. To do.

しかしながら、平行リンク機構は一方向に対する傾きを防止するものであるため、特許文献１に開示のような加振装置では、二つの水平軸両方に対する傾きや回転を防ぐことができず、水平を保つことができないおそれがある。 However, since the parallel link mechanism prevents tilting in one direction, the vibration device disclosed in Patent Document 1 cannot prevent tilting and rotation with respect to both of the two horizontal axes, and keeps the level. There is a risk that it will not be possible.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、水平を保つことが可能な加振装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a vibration exciter that can maintain a level.

本発明は、加振装置であって、被加振体を載置する載置部と、前記載置部を鉛直方向に加振する鉛直加振部と、前記載置部を鉛直方向に移動可能に支持するリンク機構と、を備え、前記リンク機構は、互いに平行に設けられる一対の第一平行リンクと、互いに平行に設けられ前記第一平行リンクに対して垂直方向に設けられる一対の第二平行リンクと、を有することを特徴とする。 The present invention relates to a vibration device, a placement portion for placing a body to be excited, a vertical vibration portion for vibrating the placement portion in a vertical direction, and a movement of the placement portion in a vertical direction. A link mechanism that supports the link mechanism, and the link mechanism includes a pair of first parallel links provided in parallel to each other and a pair of first parallel links provided in parallel to each other and perpendicular to the first parallel links. And two parallel links.

本発明では、第一平行リンクが、直交する二つの水平軸うち一方を中心とする傾きや回転に対して載置部の水平を保つように支持する。また、第二平行リンクは、第一平行リンクと垂直となるように設けられるため、直交する二つの水平軸のうち他方を中心とする傾きや回転に対して載置部の水平を保つように支持する。したがって、本発明によれば、第一平行リンク及び第二平行リンクによって、直交する二つの水平軸両方に対する傾きや回転を防ぐことができ、加振装置の水平を確保することができる。 In the present invention, the first parallel link supports the mounting portion so as to keep the mounting portion horizontal with respect to inclination or rotation about one of two orthogonal horizontal axes. In addition, since the second parallel link is provided so as to be perpendicular to the first parallel link, the mounting portion is kept horizontal with respect to inclination and rotation around the other of the two orthogonal horizontal axes. To support. Therefore, according to the present invention, the first parallel link and the second parallel link can prevent inclination and rotation with respect to both of two orthogonal horizontal axes, and can ensure the level of the vibration device.

本発明の実施形態に係る加振装置の正面図である。It is a front view of the vibration apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る加振装置の平面図である。It is a top view of the vibration apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る加振装置の右側面図である。It is a right view of the vibration apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る平行リンク機構を示す図である。It is a figure which shows the parallel link mechanism which concerns on embodiment of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

まず、図１から図３を参照して、本発明の実施形態に係る加振装置１００の構成について説明する。図１は、加振装置１００の正面図であり、図２は平面図、図３は右側面図である。また、本明細書においては、加振装置１００の設置面に対して垂直方向、つまり鉛直方向をＺ軸とし、Ｚ軸に対して垂直な水平面を形成する直交二軸をＸ軸及びＹ軸として説明する。 First, with reference to FIG. 1 to FIG. 3, the configuration of the vibration device 100 according to the embodiment of the present invention will be described. 1 is a front view of the vibration exciter 100, FIG. 2 is a plan view, and FIG. 3 is a right side view. Further, in this specification, the perpendicular direction to the installation surface of the vibration device 100, that is, the vertical direction is the Z axis, and the two orthogonal axes forming a horizontal plane perpendicular to the Z axis are the X axis and the Y axis. explain.

加振装置１００は、被加振体を加振して耐久性を評価する性能耐久試験等に用いられるものである。 The vibration device 100 is used for a performance durability test for evaluating durability by exciting a vibrating body.

図１から図３に示すように、加振装置１００は、被加振体（図示省略）を載置する載置部１と、水平方向における一方向（Ｘ軸方向）に被加振体を加振する第一水平加振部１０と、第一水平加振部１０の加振方向に対して垂直方向（Ｙ軸方向）に被加振体を加振する第二水平加振部２０と、鉛直方向（Ｚ軸方向）に被加振体を加振する鉛直加振部３０と、載置部１を鉛直方向に移動可能に支持するリンク機構４０と、リンク機構４０が連結されるベース部材７０と、を備える。 As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the vibration device 100 includes a placement unit 1 on which a vibration body (not shown) is placed, and a vibration body in one direction in the horizontal direction (X-axis direction). A first horizontal vibration unit 10 that vibrates, a second horizontal vibration unit 20 that vibrates a body to be excited in a direction perpendicular to the vibration direction of the first horizontal vibration unit 10 (Y-axis direction), and A vertical vibration unit 30 that vibrates the vibrating body in the vertical direction (Z-axis direction), a link mechanism 40 that supports the mounting unit 1 so as to be movable in the vertical direction, and a base to which the link mechanism 40 is coupled. Member 70.

載置部１は、被加振体が載置される加振テーブル２と、リンク機構４０が回動自在に連結される支持プレート３と、加振テーブル２と支持プレート３との間に設けられ加振テーブル２と支持プレート３との水平方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）の相対移動を案内する水平ガイド部４と、を備える。 The mounting portion 1 is provided between the vibration table 2 on which the vibrating body is mounted, the support plate 3 to which the link mechanism 40 is rotatably connected, and between the vibration table 2 and the support plate 3. And a horizontal guide portion 4 for guiding relative movement of the vibration table 2 and the support plate 3 in the horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction).

水平ガイド部４は、直交する水平二方向の一方向（Ｘ軸方向）に沿って支持プレート３に設けられるリニアレール４Ａと、直交する水平二方向の他方向（Ｙ軸方向）に沿って加振テーブル２に設けられるリニアレール４Ｂと、リニアレール４Ａとリニアレール４Ｂとのそれぞれに対して相対移動するように連結されるスライダ４Ｃと、を有する。 The horizontal guide 4 is added along the linear rail 4A provided on the support plate 3 along one direction (X-axis direction) in two horizontal directions orthogonal to each other and along the other direction (Y-axis direction) in the two horizontal directions orthogonal to each other. A linear rail 4B provided on the swing table 2 and a slider 4C coupled so as to move relative to each of the linear rail 4A and the linear rail 4B are provided.

加振テーブル２にＸ軸方向の荷重が作用すると、リニアレール４Ａがスライダ４Ｃに案内されるため、加振テーブル２が支持プレート３に対してＸ軸方向に移動する。また、加振テーブル２にＹ方向の荷重が作用すると、リニアレール４Ｂがスライダ４Ｃに案内されるため、加振テーブル２が支持プレート３に対してＹ軸方向に移動する。このように、水平ガイド部４によって、加振テーブル２と支持プレート３との水平方向の相対移動が案内される。水平ガイド部４は、このような構成に限られるものではなく、加振テーブル２と支持プレート３との相対移動を案内するものであれば、任意の構成とすることができる。 When a load in the X-axis direction acts on the vibration table 2, the linear rail 4 A is guided by the slider 4 C, so that the vibration table 2 moves in the X-axis direction with respect to the support plate 3. Further, when a load in the Y direction acts on the vibration table 2, the linear rail 4 B is guided by the slider 4 C, so that the vibration table 2 moves in the Y axis direction with respect to the support plate 3. As described above, the horizontal guide portion 4 guides the relative movement of the vibration table 2 and the support plate 3 in the horizontal direction. The horizontal guide portion 4 is not limited to such a configuration, and any configuration can be used as long as it guides the relative movement between the vibration table 2 and the support plate 3.

第一水平加振部１０は、伸縮作動する第一アクチュエータ１１と、第一アクチュエータ１１と加振テーブル２との間に設けられ第一アクチュエータ１１と加振テーブル２との相対移動を案内する第一ガイド部１２と、を備える。 The first horizontal vibration unit 10 is provided between the first actuator 11 that extends and contracts, and between the first actuator 11 and the vibration table 2, and guides relative movement between the first actuator 11 and the vibration table 2. And a guide portion 12.

第一アクチュエータ１１は、油圧式シリンダであり、シリンダ１１Ａが図示しない支持部材によって支持され、ピストンロッド１１Ｂが第一ガイド部１２を介して載置部１の加振テーブル２に連結される。第一アクチュエータ１１を伸縮作動することにより、加振テーブル２に載置される被加振体に対して、水平方向における一方向（Ｘ軸方向）の振動を与えることができる。第一アクチュエータ１１は、油圧式シリンダに限らず、例えば電動式など他のアクチュエータであってもよい。 The first actuator 11 is a hydraulic cylinder, the cylinder 11 A is supported by a support member (not shown), and the piston rod 11 B is coupled to the vibration table 2 of the mounting unit 1 via the first guide unit 12. By extending and contracting the first actuator 11, it is possible to apply vibration in one direction (X-axis direction) in the horizontal direction to the vibrating body placed on the vibration table 2. The first actuator 11 is not limited to a hydraulic cylinder, and may be another actuator such as an electric type.

第一ガイド部１２は、第一アクチュエータ１１の伸縮方向に対して垂直方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられるリニアレール１２Ａと、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って設けられるリニアレール１２Ｂと、リニアレール１２Ａとリニアレール１２Ｂとのそれぞれに対して相対移動するように連結されるスライダ１２Ｃと、を有する。リニアレール１２Ａが第一アクチュエータ１１のピストンロッド１１Ｂの先端側に設けられ、リニアレール１２Ｂが加振テーブル２に設けられる。 The first guide portion 12 includes a linear rail 12A provided along the vertical direction (Y-axis direction) with respect to the expansion / contraction direction of the first actuator 11, and a linear rail 12B provided along the vertical direction (Z-axis direction). The slider 12C is coupled so as to move relative to each of the linear rail 12A and the linear rail 12B. The linear rail 12 A is provided on the distal end side of the piston rod 11 B of the first actuator 11, and the linear rail 12 B is provided on the vibration table 2.

加振テーブル２にＹ軸方向の荷重が作用すると、リニアレール１２Ａがスライダ１２Ｃに案内されるため、加振テーブル２が第一アクチュエータ１１に対してＹ軸方向に移動する。また、加振テーブル２にＺ方向の荷重が作用すると、リニアレール１２Ｂがスライダ１２Ｃに案内されるため、加振テーブル２が第一アクチュエータ１１に対してＺ軸方向に移動する。このように、第一ガイド部１２によって、第一アクチュエータ１１と加振テーブル２との水平方向の他方向（Ｙ軸方向）及び鉛直方向（Ｚ軸方向）の相対移動が案内される。第一ガイド部１２は、このような構成に限られるものではなく、第一アクチュエータ１１と加振テーブル２との相対移動を案内するものであれば、任意の構成とすることができる。 When a load in the Y-axis direction acts on the vibration table 2, the linear rail 12 A is guided by the slider 12 C, so that the vibration table 2 moves in the Y-axis direction with respect to the first actuator 11. Further, when a load in the Z direction acts on the vibration table 2, the linear rail 12 B is guided by the slider 12 C, so that the vibration table 2 moves in the Z axis direction with respect to the first actuator 11. As described above, the first guide portion 12 guides the relative movement of the first actuator 11 and the vibration table 2 in the other horizontal direction (Y-axis direction) and the vertical direction (Z-axis direction). The 1st guide part 12 is not restricted to such a structure, As long as it guides the relative movement of the 1st actuator 11 and the vibration table 2, it can be set as arbitrary structures.

第二水平加振部２０は、伸縮作動する第二アクチュエータ２１と、第二アクチュエータ２２と加振テーブル２との間に設けられ第二アクチュエータ２１と加振テーブル２との相対移動を案内する第二ガイド部２２と、を備える。 The second horizontal vibration unit 20 is provided between the second actuator 21 that expands and contracts and the second actuator 22 and the vibration table 2, and guides relative movement between the second actuator 21 and the vibration table 2. Two guide portions 22.

第二アクチュエータ２１も、第一アクチュエータ１１と同様に、油圧式シリンダであり、シリンダ２１Ａが図示しない支持部材によって支持され、ピストンロッド２１Ｂが第二ガイド部２２を介して載置部１の加振テーブル２に連結される。第二アクチュエータ２１を伸縮作動することにより、加振テーブル２に載置される被加振体に対して、水平方向における他方向（Ｙ軸方向）の振動を与えることができる。第二アクチュエータ２１も、油圧式シリンダに限らず、他のアクチュエータであってもよい。 Similarly to the first actuator 11, the second actuator 21 is a hydraulic cylinder, the cylinder 21 A is supported by a support member (not shown), and the piston rod 21 B vibrates the mounting unit 1 via the second guide unit 22. Connected to table 2. By extending and contracting the second actuator 21, vibration in the other direction (Y-axis direction) in the horizontal direction can be applied to the vibrating body placed on the vibration table 2. The second actuator 21 is not limited to a hydraulic cylinder, and may be another actuator.

第二ガイド部２２は、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って設けられるリニアレール２２Ａと、第二アクチュエータ２１の伸縮方向に対して垂直方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられるリニアレール２２Ｂと、リニアレール２２Ａとリニアレール２２Ｂとのそれぞれに対して相対移動するように連結されるスライダ２２Ｃと、を有する。リニアレール２２Ａが加振テーブル２に設けられ、リニアレール２２Ｂが第二アクチュエータ２１のピストンロッド２１Ｂの先端側に設けられる。 The second guide portion 22 includes a linear rail 22A provided along the vertical direction (Z-axis direction), and a linear rail 22B provided along the vertical direction (X-axis direction) with respect to the expansion / contraction direction of the second actuator 21. The slider 22C is coupled so as to move relative to each of the linear rail 22A and the linear rail 22B. A linear rail 22 A is provided on the vibration table 2, and a linear rail 22 B is provided on the distal end side of the piston rod 21 B of the second actuator 21.

加振テーブル２にＺ軸方向の荷重が作用すると、リニアレール２２Ａがスライダ２２Ｃに案内されるため、加振テーブル２が第二アクチュエータ２１に対してＺ軸方向に移動する。また、加振テーブル２にＸ方向の荷重が作用すると、リニアレール２２Ｂがスライダ２２Ｃに案内されるため、加振テーブル２が第二アクチュエータ２１に対してＸ軸方向に移動する。このように、第二ガイド部２２によって、第二アクチュエータ２１と加振テーブル２との水平方向の一方向（Ｘ軸方向）及び鉛直方向（Ｚ軸方向）の相対移動が案内される。第二ガイド部２２も、このような構成に限られるものではなく、第二アクチュエータ２１と加振テーブル２との相対移動を案内するものであれば、任意の構成とすることができる。 When a load in the Z-axis direction acts on the vibration table 2, the linear rail 22 A is guided by the slider 22 C, so that the vibration table 2 moves in the Z-axis direction with respect to the second actuator 21. When a load in the X direction acts on the vibration table 2, the linear rail 22 B is guided by the slider 22 C, so that the vibration table 2 moves in the X axis direction with respect to the second actuator 21. In this way, the second guide portion 22 guides the relative movement of the second actuator 21 and the vibration table 2 in one horizontal direction (X-axis direction) and vertical direction (Z-axis direction). The 2nd guide part 22 is not restricted to such a structure, As long as it guides the relative movement of the 2nd actuator 21 and the vibration table 2, it can be set as arbitrary structures.

このように、第一水平加振部１０と第二水平加振部２０とをそれぞれ直交するように設けることによって、第一、第二水平加振部１０，２０は、水平方向に被加振体を加振すると共に、加振テーブル２を鉛直軸（Ｚ軸）周りに回転させる力を受圧することができる。つまり、第一、第二水平加振部１０，２０によって、鉛直軸（Ｚ軸）周りの加振テーブル２の回転を防止することができる。 Thus, by providing the first horizontal vibration unit 10 and the second horizontal vibration unit 20 so as to be orthogonal to each other, the first and second horizontal vibration units 10 and 20 are vibrated in the horizontal direction. While vibrating the body, a force for rotating the vibration table 2 around the vertical axis (Z axis) can be received. That is, the first and second horizontal vibration units 10 and 20 can prevent the vibration table 2 from rotating around the vertical axis (Z axis).

鉛直加振部３０は、筒状のシリンダ３０Ａと、シリンダ３０Ａ内に摺動自在に挿入されるピストンロッド３０Ｂと、を有して伸縮作動する油圧式シリンダである。鉛直加振部３０のピストンロッド３０Ｂの先端側は、載置部１の支持プレート３に連結される。鉛直加振部３０が伸縮作動することによって、載置部１を鉛直方向に加振し、被加振体に鉛直方向の振動を与えることができる。 The vertical vibration unit 30 is a hydraulic cylinder that has a cylindrical cylinder 30A and a piston rod 30B that is slidably inserted into the cylinder 30A and that is extended and contracted. The front end side of the piston rod 30 B of the vertical vibration unit 30 is connected to the support plate 3 of the mounting unit 1. When the vertical vibration unit 30 expands and contracts, the mounting unit 1 can be vibrated in the vertical direction, and the vibration in the vertical direction can be applied to the vibrating body.

鉛直加振部３０は、電動式アクチュエータ等であってもよいが、載置部１全体の自重を受けるものであり大きな出力が要求されるため、油圧式シリンダであることが好ましい。 The vertical vibration unit 30 may be an electric actuator or the like, but is preferably a hydraulic cylinder because it receives the weight of the entire mounting unit 1 and requires a large output.

載置部１の支持プレート３は、ベース部材７０に連結されるリンク機構４０によって支持される。リンク機構４０は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に設けられる一対の第一平行リンク５０と、互いに平行に設けられ第一平行リンク５０に対して垂直方向であるＹ軸方向に沿って設けられる第二平行リンク６０と、を有する。図１においては、一対の第一平行リンク５０の一方を破線で表し、図３においては、一対の第二平行リンク６０の一方を破線で表す。 The support plate 3 of the placement unit 1 is supported by a link mechanism 40 connected to the base member 70. The link mechanism 40 is provided along a pair of first parallel links 50 provided parallel to each other along the X-axis direction and along a Y-axis direction provided parallel to each other and perpendicular to the first parallel links 50. A second parallel link 60. In FIG. 1, one of the pair of first parallel links 50 is represented by a broken line, and in FIG. 3, one of the pair of second parallel links 60 is represented by a broken line.

一対の第一平行リンク５０は、互いに平行な鉛直面上（Ｘ軸とＺ軸によって形成されるＸＺ平面上）にそれぞれ設けられる。第一平行リンク５０は、鉛直面上において回動し、載置部１全体を鉛直方向に移動可能に支持する。 The pair of first parallel links 50 are respectively provided on vertical planes parallel to each other (on the XZ plane formed by the X axis and the Z axis). The first parallel link 50 rotates on the vertical plane and supports the entire placement unit 1 so as to be movable in the vertical direction.

一対の第二平行リンク６０は、第一平行リンク５０と同様の構成を有し、互いに平行な鉛直面であって第一平行リンク５０が設けられる鉛直面に対して垂直な鉛直面上（Ｙ軸とＺ軸によって形成されるＹＺ平面上）にそれぞれ設けられる。第二平行リンク６０は、第一平行リンク５０と同様に、鉛直面上において回動し、載置部１全体を鉛直方向に移動可能に支持する。 The pair of second parallel links 60 has the same configuration as that of the first parallel link 50 and is a vertical plane parallel to each other and perpendicular to the vertical plane on which the first parallel link 50 is provided (Y On the YZ plane formed by the axis and the Z axis. Similar to the first parallel link 50, the second parallel link 60 rotates on the vertical plane and supports the entire placement unit 1 so as to be movable in the vertical direction.

加振装置１００は、ベース部材７０と載置部１との間で介装されてベース部材７０と載置部１との鉛直方向における相対移動を案内する一対の鉛直ガイド部８０をさらに備える。 The vibration device 100 further includes a pair of vertical guide portions 80 that are interposed between the base member 70 and the placement portion 1 and guide relative movement of the base member 70 and the placement portion 1 in the vertical direction.

鉛直ガイド部８０は、ベース部材７０に設けられ筒状に形成されるガイドチューブ８１と、載置部１の支持プレート３に設けられガイドチューブ８１の内周に沿って摺動するガイドロッド８２と、を備える。ガイドチューブ８１は、軸方向の全長にわたって、ガイドロッド８２が摺動可能に形成されてもよいし、軸方向の一部においてガイドロッド８２が摺動するように形成されてもよい。また、ベース部材７０にガイドロッド８２が設けられ、支持プレート３にガイドチューブ８１が設けられてもよい。 The vertical guide part 80 is provided on the base member 70 and formed in a cylindrical shape, and a guide rod 82 provided on the support plate 3 of the placement part 1 and sliding along the inner periphery of the guide tube 81. . The guide tube 81 may be formed so that the guide rod 82 can slide over the entire length in the axial direction, or may be formed so that the guide rod 82 slides in a part of the axial direction. Further, the guide rod 82 may be provided on the base member 70, and the guide tube 81 may be provided on the support plate 3.

このような鉛直ガイド部８０を備えることによって、載置部１の鉛直軸（Ｚ軸）周りの回転をさらに防止することができる。 By providing such a vertical guide part 80, the rotation of the mounting part 1 around the vertical axis (Z axis) can be further prevented.

次に、図４を参照して、加振装置１００の第一、第二平行リンク５０，６０の構造について詳しく説明する。第一平行リンク５０と第二平行リンク６０とは、同一の構成を有しており、ベース部材７０及び載置部１の支持プレート３に取り付けられる位置が異なるのみであるため、図４では第一平行リンク５０のみを図示して第二平行リンク６０の図示を省略する。また、図４では、ベース部材７０及び支持プレート３以外の構成についても図示を省略する。また、図４における括弧内の符号は、第二平行リンクの構成を示すものである。 Next, the structure of the first and second parallel links 50 and 60 of the vibration exciter 100 will be described in detail with reference to FIG. The first parallel link 50 and the second parallel link 60 have the same configuration, and are different only in the positions where they are attached to the base member 70 and the support plate 3 of the mounting portion 1. Only one parallel link 50 is shown, and the second parallel link 60 is not shown. Also, in FIG. 4, illustrations of components other than the base member 70 and the support plate 3 are also omitted. Moreover, the code | symbol in parenthesis in FIG. 4 shows the structure of a 2nd parallel link.

第一、第二平行リンク５０，６０は、水平方向に延在し水平方向に移動可能な水平リンク部材５１，６１と、水平リンク部材５１，６１の一端と載置部１の支持プレート３とに回動自在に連結される第一リンク部材５２，６２と、水平リンク部材５１，６１の一端とベース部材７０とに回動自在に連結される第二リンク部材５３，６３と、水平リンク部材５１，６１の他端と支持プレート３とに回動自在に連結される第三リンク部材５４，６４と、水平リンク部材５１，６１の他端とベース部材７０とに回動自在に連結される第四リンク部材５５，６５と、を有する。 The first and second parallel links 50, 60 extend in the horizontal direction and are movable in the horizontal direction, the horizontal link members 51, 61, one end of the horizontal link members 51, 61, and the support plate 3 of the placement unit 1. First link members 52 and 62 that are rotatably connected to each other, second link members 53 and 63 that are rotatably connected to one end of the horizontal link members 51 and 61, and the base member 70, and a horizontal link member. Third link members 54 and 64 rotatably connected to the other end of 51 and 61 and the support plate 3, and rotatably connected to the other end of the horizontal link members 51 and 61 and the base member 70. And fourth link members 55 and 65.

第一リンク部材５２，６２と第三リンク部材５４，６４とは、同一の形状に形成され、互いに平行となるように水平リンク部材５１，６１と支持プレート３に連結される。 The first link members 52 and 62 and the third link members 54 and 64 are formed in the same shape, and are connected to the horizontal link members 51 and 61 and the support plate 3 so as to be parallel to each other.

第二リンク部材５３，６３と第四リンク部材５５，６５とは、同一の形状に形成され、互いに平行となるように水平リンク部材５１，６１とベース部材７０に連結される。 The second link members 53 and 63 and the fourth link members 55 and 65 are formed in the same shape, and are connected to the horizontal link members 51 and 61 and the base member 70 so as to be parallel to each other.

また、第一、第二平行リンク５０，６０における第一リンク部材５２，６２及び第三リンク部材５４，６４と第二リンク部材５３，６３及び第四リンク部材５５，６５とも、同一の形状に形成される。 Further, the first link members 52 and 62 and the third link members 54 and 64 and the second link members 53 and 63 and the fourth link members 55 and 65 in the first and second parallel links 50 and 60 have the same shape. It is formed.

つまり、図４に二点鎖線で示すように、第一、第二平行リンク５０，６０では、支持プレート３、水平リンク部材５１，６１、第一リンク部材５２，６２、及び第三リンク部材５４，６４によって、平行四辺形Ａが形成される。また、ベース部材７０、水平リンク部材５１，６１、第二リンク部材５３，６３、及び第四リンク部材５５，６５によって、平行四辺形Ｂが形成される。 That is, as shown by a two-dot chain line in FIG. 4, in the first and second parallel links 50 and 60, the support plate 3, the horizontal link members 51 and 61, the first link members 52 and 62, and the third link member 54. , 64 form a parallelogram A. A parallelogram B is formed by the base member 70, the horizontal link members 51 and 61, the second link members 53 and 63, and the fourth link members 55 and 65.

第一平行リンク５０と第二平行リンク６０とは、水平方向に対して互いに垂直となるように設けられる（図２参照）。このため、載置部１は、第一平行リンク５０によって、Ｙ軸周りの傾きや回転が防止され、第二平行リンク６０によって、Ｘ軸周りの傾きや回転が防止される。このように、加振装置１００の載置部１は、第一、第二平行リンク５０，６０によって、直交する水平二軸両方に対する傾きや回転が防止され、水平を確保するように支持される。 The first parallel link 50 and the second parallel link 60 are provided so as to be perpendicular to each other in the horizontal direction (see FIG. 2). For this reason, the mounting part 1 is prevented from tilting and rotating around the Y axis by the first parallel link 50, and tilting and rotating around the X axis by the second parallel link 60. As described above, the placement unit 1 of the vibration exciter 100 is supported by the first and second parallel links 50 and 60 so as to prevent inclination and rotation with respect to both of the two horizontal axes orthogonal to each other and to ensure horizontality. .

第一、第二平行リンク５０，６０により、水平方向に対する載置部１の傾きが防止されるため、加振装置１００における水平方向の軸を中心とした傾きに対する剛性が向上する。したがって、載置部１の共振周波数を上昇させることができ、偏荷重などによって生じる載置部１のロッキング振動と鉛直加振部３０が与える振動との共振の発生を抑制することができる。 Since the first and second parallel links 50 and 60 prevent the mounting portion 1 from tilting with respect to the horizontal direction, the vibration device 100 has improved rigidity with respect to the tilt around the horizontal axis. Therefore, the resonant frequency of the mounting part 1 can be raised, and generation | occurrence | production of the resonance with the rocking vibration of the mounting part 1 and the vibration which the vertical vibration part 30 which arises by an offset load etc. can be suppressed.

また、図４に示すように、第一、第二平行リンク５０，６０において、第一リンク部材５２，６２と第二リンク部材５３，６３とは、それぞれ異なる回動軸５６，５７，６６，６７によって、水平リンク部材５１，６１に連結される。また、第三リンク部材５４，６４と第四リンク部材５５，６５とは、それぞれ異なる回動軸５８，５９，６８，６９によって水平リンク部材５１，６１に連結される。このため、それぞれ同じ回動軸によって連結される場合に比べて、第一リンク部材５２，６２、第二リンク部材５３，６３、第三リンク部材５４，６４、第四リンク部材５５，６５の組み立てが容易であり、各リンク部材の幅が増大することを防ぐことができる。 As shown in FIG. 4, in the first and second parallel links 50 and 60, the first link members 52 and 62 and the second link members 53 and 63 have different rotation shafts 56, 57, 66, respectively. 67 is connected to the horizontal link members 51, 61. The third link members 54 and 64 and the fourth link members 55 and 65 are connected to the horizontal link members 51 and 61 by different rotation shafts 58, 59, 68 and 69, respectively. Therefore, the first link members 52 and 62, the second link members 53 and 63, the third link members 54 and 64, and the fourth link members 55 and 65 are assembled as compared with the case where they are connected by the same rotation shaft. It is easy to prevent the width of each link member from increasing.

後述するように鉛直加振部３０によって載置部１が鉛直方向に移動する場合において、一対の第一平行リンク５０は、図１に示すように、互いの水平リンク部材５１の移動方向が逆向きになるように設けられる。また、図３に示すように、一対の第二平行リンク６０は、載置部１が鉛直方向に移動した場合において、互いの水平リンク部材６１の移動方向が逆向きとなるように設けられる。そして、第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０は、第一平行リンク５０におけるそれぞれの水平リンク部材５１が、第二平行リンク６０におけるそれぞれの水平リンク部材６１の移動方向後方側に向かって移動するように設けられる。 As will be described later, when the placement unit 1 is moved in the vertical direction by the vertical vibration unit 30, the pair of first parallel links 50 have opposite movement directions of the horizontal link members 51 as shown in FIG. 1. It is provided to face. As shown in FIG. 3, the pair of second parallel links 60 are provided such that the moving directions of the horizontal link members 61 are opposite to each other when the placement unit 1 moves in the vertical direction. In the first parallel link 50 and the second parallel link 60, each horizontal link member 51 in the first parallel link 50 moves toward the rear side in the movement direction of each horizontal link member 61 in the second parallel link 60. To be provided.

第一、第二平行リンク６０がこのように設けられることにより、載置部１が鉛直方向に移動した際に、水平方向に移動する第一平行リンク５０の水平リンク部材５１と第二平行リンク６０における水平リンク部材６１との干渉を防止できる。 By providing the first and second parallel links 60 in this way, the horizontal link member 51 and the second parallel link of the first parallel link 50 that moves in the horizontal direction when the placement unit 1 moves in the vertical direction. Interference with the horizontal link member 61 at 60 can be prevented.

次に、加振装置１００の動作について説明する。 Next, the operation of the vibration exciter 100 will be described.

載置部１の加振テーブル２に載置される被加振体に対して、鉛直方向の振動を与える場合には、鉛直加振部３０を伸縮作動する。 When vertical vibration is applied to the vibrating body mounted on the vibration table 2 of the mounting unit 1, the vertical vibration unit 30 is expanded and contracted.

鉛直加振部３０の伸縮作動によって載置部１に鉛直方向の荷重が作用すると、図４中矢印で示すように、支持プレート３と水平リンク部材５１，６１の間で第一リンク部材５２，６２及び第三リンク部材５４，６４がそれぞれ回動すると共にベース部材７０と水平リンク部材５１，６１の間で第二リンク部材５３，６３及び第四リンク部材５５，６５がそれぞれ回動するのに伴って、水平リンク部材５１，６１が水平方向及び鉛直方向へ移動する。このため、支持プレート３が、水平を保ったまま鉛直方向に移動する。 When a vertical load is applied to the mounting part 1 by the expansion and contraction operation of the vertical vibration part 30, the first link member 52, between the support plate 3 and the horizontal link members 51 and 61, as shown by arrows in FIG. 62 and the third link members 54 and 64 rotate, and the second link members 53 and 63 and the fourth link members 55 and 65 rotate between the base member 70 and the horizontal link members 51 and 61, respectively. Accordingly, the horizontal link members 51 and 61 move in the horizontal direction and the vertical direction. For this reason, the support plate 3 moves in the vertical direction while maintaining the level.

水平方向の第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１は、第一ガイド部１２及び第二ガイド部２２により、鉛直方向に沿って加振テーブル２との相対移動が案内される。このため、第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１が、鉛直方向への支持プレート３の移動を阻害することはない。 The first actuator 11 and the second actuator 21 in the horizontal direction are guided relative to the vibration table 2 along the vertical direction by the first guide portion 12 and the second guide portion 22. For this reason, the first actuator 11 and the second actuator 21 do not hinder the movement of the support plate 3 in the vertical direction.

このように、鉛直加振部３０によって、載置部１の支持プレート３は、水平を保ったまま鉛直方向に移動し、被加振体には鉛直方向の振動が与えられる。 As described above, the vertical vibration unit 30 moves the support plate 3 of the mounting unit 1 in the vertical direction while keeping the level, and the vibration body is subjected to vertical vibration.

被加振体に対して、水平方向の振動を与える場合には、与える振動に応じて第一水平加振部１０の第一アクチュエータ１１と第二水平加振部２０第二アクチュエータ２１とを伸縮作動する。 When a horizontal vibration is applied to the vibrating body, the first actuator 11 of the first horizontal vibration unit 10 and the second horizontal vibration unit 20 and the second actuator 21 are expanded and contracted according to the vibration applied. Operate.

水平方向の第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１を伸縮作動すると、載置部１の加振テーブル２が、水平ガイド部４によって案内されて支持プレート３に対して水平方向に移動する。 When the first actuator 11 and the second actuator 21 in the horizontal direction are expanded and contracted, the vibration table 2 of the placement unit 1 is guided by the horizontal guide unit 4 and moved in the horizontal direction with respect to the support plate 3.

また、第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１は、第一ガイド部１２及び第二ガイド部２２により、それぞれ伸縮方向に垂直な水平方向に沿って加振テーブル２との相対移動が案内される（図１〜図３参照）。このため、第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１の両方が伸縮作動して加振テーブル２に振動を与える場合であっても、一方のアクチュエータが他方のアクチュエータの伸縮作動を阻害することがない。 The first actuator 11 and the second actuator 21 are guided by the first guide portion 12 and the second guide portion 22 to move relative to the vibration table 2 along the horizontal direction perpendicular to the expansion / contraction direction, respectively ( 1 to 3). For this reason, even when both the first actuator 11 and the second actuator 21 are expanded and contracted to apply vibration to the vibration table 2, one actuator does not hinder the expansion and contraction operation of the other actuator.

したがって、第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１を伸縮作動させることによって、被加振体には水平方向の振動が与えられる。 Therefore, by causing the first actuator 11 and the second actuator 21 to extend and contract, horizontal vibration is applied to the excited body.

以上のように、水平ガイド部４、第一ガイド部１２、及び第二ガイド部２２によって、互いに阻害することなく鉛直加振部３０及び第一、第二アクチュエータ１１，２１が伸縮作動して、被加振体に振動を与えることができる。 As described above, the horizontal excitation unit 30, the first guide unit 12, and the second guide unit 22 extend and contract the vertical vibration unit 30 and the first and second actuators 11 and 21 without interfering with each other. Vibration can be applied to the body to be excited.

ここで、水平方向に対する加振テーブルの移動を案内する第一ガイド部及び第二ガイド部が滑らかに案内できなくなった場合において、第一、第二アクチュエータが伸縮作動すると、加振装置全体に水平方向の力が作用して、加振装置が倒れるおそれがある。このような場合においても、加振装置１００によれば、ベース部材７０と載置部１との鉛直方向の移動を案内する鉛直ガイド部８０を備えているため、水平方向の力を鉛直ガイド部８０が受圧し、加振装置１００の倒れを防止することができる。 Here, when the first guide portion and the second guide portion that guide the movement of the vibration table in the horizontal direction cannot be smoothly guided, when the first and second actuators extend and contract, There is a possibility that the exciting device may fall due to the force of the direction. Even in such a case, according to the vibration device 100, since the vertical guide unit 80 that guides the vertical movement of the base member 70 and the mounting unit 1 is provided, the horizontal force is applied to the vertical guide unit. 80 receives pressure and can prevent the vibration device 100 from falling.

以上の実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。 According to the above embodiment, there exist the effects shown below.

加振装置１００では、第一平行リンク５０が、直交する二つの水平軸うちＹ軸を中心とする傾きや回転に対して載置部１の水平を保つように支持する。また、第二平行リンク６０は、第一平行リンク５０と垂直となるように設けられるため、直交する二つの水平軸のうちＸ軸を中心とする傾きや回転に対して載置部１の水平を保つように支持する。したがって、加振装置１００によれば、第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０によって、直交する二つの水平軸両方に対する傾きや回転を防ぐことができ、加振装置１００の水平を確保することができる。 In the vibration exciter 100, the first parallel link 50 supports the mounting unit 1 so as to keep the level of the mounting unit 1 with respect to tilt and rotation about the Y axis among two orthogonal horizontal axes. Further, since the second parallel link 60 is provided so as to be perpendicular to the first parallel link 50, the horizontal position of the mounting portion 1 with respect to the tilt or rotation around the X axis of two orthogonal horizontal axes. Support to keep. Therefore, according to the vibration exciter 100, the first parallel link 50 and the second parallel link 60 can prevent inclination and rotation with respect to both two orthogonal horizontal axes, and ensure the exciter 100 is level. Can do.

また、載置部１は、一対の第一平行リンク５０及び一対の第二平行リンク６０に支持されることにより、水平方向の傾きが防止されるため、水平方向の傾きに対する剛性が向上する。このため、載置部１の共振周波数を上昇させることができ、偏荷重などによるロッキング振動と鉛直加振部３０が与える振動との共振の発生を抑制することができる。 Moreover, since the mounting part 1 is supported by a pair of 1st parallel links 50 and a pair of 2nd parallel links 60, since the inclination of a horizontal direction is prevented, the rigidity with respect to the inclination of a horizontal direction improves. For this reason, the resonant frequency of the mounting part 1 can be raised, and generation | occurrence | production of the resonance with the rocking vibration by the eccentric load etc. and the vibration which the vertical vibration part 30 gives can be suppressed.

ここで、加振装置における載置部１の水平を確保するための手法として、複数のアクチュエータによって、鉛直加振部３０を構成することも考えられる。しかしながら、油圧式のアクチュエータの場合には複数のアクチュエータ同士の同期制御が困難である。また、電動式のアクチュエータの場合には、油圧式と比較して同期制御は容易であるが、出力が油圧式より低いため多くのアクチュエータを必要とし、装置全体が高コスト化する。 Here, as a method for ensuring the level of the placement unit 1 in the vibration apparatus, it is conceivable that the vertical vibration unit 30 is configured by a plurality of actuators. However, in the case of a hydraulic actuator, it is difficult to perform synchronous control among a plurality of actuators. Further, in the case of an electric actuator, synchronous control is easier than in the hydraulic type, but since the output is lower than that of the hydraulic type, many actuators are required, and the cost of the entire apparatus is increased.

これに対し、加振装置１００によれば、載置部１が第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０によって支持されることにより、水平を確保することができるため、加振装置１００の鉛直加振部３０を単一の油圧式シリンダによって構成することができる。つまり、出力が大きい一つの油圧式アクチュエータによって、鉛直加振部３０を構成することができるため、同期制御を行う必要もなく、複数のアクチュエータを備えることによって高コスト化することもない。したがって、低コストによって、加振装置１００の水平を確保することができる。 On the other hand, according to the vibration device 100, since the placement unit 1 is supported by the first parallel link 50 and the second parallel link 60, it is possible to ensure horizontality. The vibration unit 30 can be configured by a single hydraulic cylinder. That is, since the vertical vibration unit 30 can be configured by one hydraulic actuator having a large output, there is no need to perform synchronous control, and the cost is not increased by providing a plurality of actuators. Therefore, the horizontal direction of the vibration exciter 100 can be ensured at low cost.

また、加振装置１００は、一対の鉛直ガイド部８０を備えているため、載置部１の鉛直軸（Ｚ軸）周りの回転も防止することができる。さらに、第一ガイド部１２及び第二ガイド部２２が滑らかに移動を案内できなくなった場合においても、鉛直ガイド部８０が水平方向に作用する力を受圧することができる。したがって、加振装置１００は水平方向の力に対してより高い剛性を発揮するため、第一ガイド部１２及び第二ガイド部２２の不具合時における加振装置１００の倒れを防止することができる。 In addition, since the vibration exciter 100 includes the pair of vertical guide portions 80, rotation of the mounting portion 1 around the vertical axis (Z axis) can also be prevented. Further, even when the first guide portion 12 and the second guide portion 22 cannot smoothly guide the movement, the vertical guide portion 80 can receive the force acting in the horizontal direction. Therefore, since the vibration device 100 exhibits higher rigidity with respect to the force in the horizontal direction, the vibration device 100 can be prevented from falling when the first guide portion 12 and the second guide portion 22 are defective.

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。 The embodiment of the present invention has been described above. However, the above embodiment only shows a part of application examples of the present invention, and the technical scope of the present invention is limited to the specific configuration of the above embodiment. Absent.

上記実施形態では、加振装置１００は、被加振体を鉛直方向に加振する鉛直加振部３０と、水平方向に加振する第一、第二アクチュエータ（第一、第二水平加振部）１０，２０と、を備える。これに代えて、水平方向における直交する二方向の振動を与える必要がない場合には、第一、第二水平加振部１０，２０のどちらか一方又は両方を備えていなくてもよい。 In the above-described embodiment, the vibration device 100 includes the vertical vibration unit 30 that vibrates the vibrating body in the vertical direction and the first and second actuators (first and second horizontal vibrations) that vibrate in the horizontal direction. Part) 10,20. Instead of this, when it is not necessary to apply vibrations in two directions perpendicular to each other in the horizontal direction, either one or both of the first and second horizontal excitation units 10 and 20 may not be provided.

また、上記実施形態では、一対の第一平行リンク５０と、一対の第二平行リンク６０と、を備える。これに代えて、互いに平行に設けられる第一、第二平行リンク６０が二対以上設けられていてもよい。 Moreover, in the said embodiment, a pair of 1st parallel link 50 and a pair of 2nd parallel link 60 are provided. Instead of this, two or more pairs of first and second parallel links 60 provided in parallel to each other may be provided.

また、上記実施形態では、第一、第二平行リンク５０，６０の第一リンク部材５２，６２と第二リンク部材５３，６３とは異なる回動軸５６，５７，６６，６７によって水平リンク部材５１，６１に連結され、第三リンク部材５４，６４と第四リンク部材５５，６５とは異なる回動軸５８，５９，６８，６９によって水平リンク部材５１，６１に連結される。第一、第二平行リンク５０，６０の製造のしやすさを考慮すると、異なる回動軸によって連結されることが好ましいが、同一の回動軸によって連結されてもよい。 In the above embodiment, the first link members 52 and 62 of the first and second parallel links 50 and 60 and the rotating shafts 56, 57, 66 and 67 different from the second link members 53 and 63 are used for the horizontal link member. The third link members 54 and 64 and the fourth link members 55 and 65 are connected to the horizontal link members 51 and 61 by rotating shafts 58, 59, 68 and 69. Considering the ease of manufacturing the first and second parallel links 50 and 60, it is preferable that they are connected by different rotating shafts, but they may be connected by the same rotating shaft.

また、上記実施形態では、載置部１が鉛直方向に移動した場合において、一対の第一平行リンク５０の水平リンク部材５１は互いに逆向きに移動し、一対の第二平行リンク６０の水平リンク部材６１は互いに逆向きに移動するものであった。また、第一平行リンク５０の水平リンク部材５１は、第二平行リンク６０の水平リンク部材６１の移動方向後方側に向かって移動するものであった。 Moreover, in the said embodiment, when the mounting part 1 moves to a perpendicular direction, the horizontal link member 51 of a pair of 1st parallel link 50 moves mutually reversely, and the horizontal link of a pair of 2nd parallel link 60 The members 61 moved in opposite directions. Further, the horizontal link member 51 of the first parallel link 50 moves toward the rear side in the moving direction of the horizontal link member 61 of the second parallel link 60.

第一平行リンク５０と第二平行リンク６０との干渉を防止するためには、上記のように構成することが好ましいが、一対の第一平行リンク５０の水平リンク部材５１は互いに同じ方向に移動するものであってもよく、一対の第二平行リンク６０の水平リンク部材６１は互いに同じ方向に移動するものであってもよい。つまり、第一平行リンク５０の水平リンク部材５１が第二平行リンク６０の水平リンク部材６１の移動方向前方に向かって移動するものであってもよい。 In order to prevent interference between the first parallel link 50 and the second parallel link 60, it is preferable to configure as described above, but the horizontal link members 51 of the pair of first parallel links 50 move in the same direction. The horizontal link members 61 of the pair of second parallel links 60 may move in the same direction. That is, the horizontal link member 51 of the first parallel link 50 may move forward in the movement direction of the horizontal link member 61 of the second parallel link 60.

また、上記実施形態では、一対の第一平行リンク５０及び一対の第二平行リンク６０が全て同一の構成を有するものであった。第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０の製造のしやすさを考慮すると、同一の構成であることが好ましいが、第一平行リンク５０が設けられる方向と第二平行リンク６０が設けられる方向とが垂直となる限りは、異なる構成であってもよい。例えば、一対の第一平行リンク５０の水平リンク部材５１の長さが、一対の第二平行リンク６０の水平リンク部材６１の長さと異なってもよい。 In the above embodiment, the pair of first parallel links 50 and the pair of second parallel links 60 all have the same configuration. In consideration of ease of manufacturing the first parallel link 50 and the second parallel link 60, the same configuration is preferable, but the direction in which the first parallel link 50 is provided and the direction in which the second parallel link 60 is provided. As long as they are vertical, they may have different configurations. For example, the length of the horizontal link member 51 of the pair of first parallel links 50 may be different from the length of the horizontal link member 61 of the pair of second parallel links 60.

また、上記実施形態では、第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０は、水平リンク部材５１，６１と、水平リンク部材５１，６１に連結される第一リンク部材５２，６２と、第二リンク部材５３，６３と、第三リンク部材５４，６４と、第四リンク部材５５，６５と、を有していた。第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０は、このような構成に限られるものではなく、それぞれが平行リンクとして機能するものであれば、任意の構成とすることができる。 Moreover, in the said embodiment, the 1st parallel link 50 and the 2nd parallel link 60 are the horizontal link members 51 and 61, the 1st link members 52 and 62 connected with the horizontal link members 51 and 61, and the 2nd link. The members 53 and 63, the third link members 54 and 64, and the fourth link members 55 and 65 were included. The 1st parallel link 50 and the 2nd parallel link 60 are not restricted to such a structure, As long as each functions as a parallel link, it can be set as arbitrary structures.

また、上記実施形態では、加振装置１００は、載置部１の鉛直方向の移動を案内する鉛直ガイド部８０を備えていた。これに加えて、筒状のガイドチューブとガイドチューブの内周に沿って摺動するガイドロッドとを有し、第一、第二アクチュエータの伸縮作動をガイドするアクチュエータガイド部をさらに備えていてもよい。この場合には、第一、第二アクチュエータ及びアクチュエータガイドによって、Ｚ軸周りの傾きや回転に対する剛性がさらに向上させることができる。 In the above-described embodiment, the vibration device 100 includes the vertical guide unit 80 that guides the movement of the placement unit 1 in the vertical direction. In addition to this, a cylindrical guide tube and a guide rod that slides along the inner periphery of the guide tube may further include an actuator guide portion that guides the expansion and contraction operation of the first and second actuators. Good. In this case, the first and second actuators and the actuator guide can further improve the rigidity with respect to the inclination and rotation around the Z axis.

１００加振装置
１載置部
２加振テーブル
３支持プレート
４水平ガイド部
１０第一水平加振部
２０第二水平加振部
３０鉛直加振部
４０平行リンク機構
５０第一平行リンク
６０第二平行リンク
５１、６１水平リンク部材
５２、６２第一リンク部材
５３、６３第二リンク部材
５４、６４第三リンク部材
５５、６５第四リンク部材
７０ベース部材
８０鉛直ガイド部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Excitation apparatus 1 Mounting part 2 Excitation table 3 Support plate 4 Horizontal guide part 10 1st horizontal vibration part 20 Second horizontal vibration part 30 Vertical vibration part 40 Parallel link mechanism 50 First parallel link 60 Second Parallel link 51, 61 Horizontal link member 52, 62 First link member 53, 63 Second link member 54, 64 Third link member 55, 65 Fourth link member 70 Base member 80 Vertical guide portion

Claims

A vibration exciter,
A placement section for placing a body to be excited;
A vertical excitation unit for exciting the placement unit in the vertical direction;
A link mechanism that supports the placement unit movably in the vertical direction,
The link mechanism is
A pair of first parallel links provided parallel to each other;
And a pair of second parallel links provided in parallel with each other and provided in a direction perpendicular to the first parallel links.

A base member;
A vertical guide for guiding the relative movement in the vertical direction between the base member and the placement unit, and
The vertical guide portion is
A cylindrical guide tube provided on one of the mounting portion and the base member;
The vibration device according to claim 1, further comprising a guide rod provided on the other of the placement portion and the base member and sliding along an inner periphery of the guide tube.

The first parallel link and the second parallel link are:
A horizontal link member extending in the horizontal direction and movable in the horizontal direction;
A first link member rotatably connected to one end of the horizontal link member and the mounting portion;
A second link member rotatably connected to one end of the horizontal link member and the base member;
A third link member rotatably connected to the other end of the horizontal link member and the mounting portion;
The vibration device according to claim 1, further comprising: a fourth link member rotatably connected to the other end of the horizontal link member and the base member.

The first link member and the third link member are connected to the horizontal link member by different rotation axes,
4. The vibration device according to claim 3, wherein the second link member and the fourth link member are connected to the horizontal link member by different rotation shafts. 5.

When the mounting portion moves in the vertical direction, the horizontal link members of the pair of first parallel links move in the opposite directions in the horizontal direction, and the horizontal link members of the pair of second parallel links Each of the horizontal link members of the first parallel link moves backward in the horizontal direction, and the horizontal link member of the first parallel link moves backward in the horizontal movement direction of the horizontal link member of the second parallel link. The vibration device according to claim 3 or 4.