JP2015148509A - Quality control system and internal inspection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase a speed at which internal inspection is performed in a surface-mounting line.SOLUTION: Provided is a quality control system having a visual inspection device for inspecting the bonded state of an electrode on a printed circuit board and a component mounted by soldering on the printed circuit board by means of a visible-light image and an internal inspection device for inspecting the bonded state of the electrode on the printed circuit board and the component mounted by soldering on the printed circuit board by means of other than the visible-light image, the quality control system being characterized in that the visual inspection device generates terminal information that is the information relating to the positions of terminals that the electronic component has on the printed circuit board, and the internal inspection device determines, on the basis of the terminal information, an area in which inspection is performed.

Description

本発明は、プリント基板に実装された部品の状態を検査するシステムに関する。   The present invention relates to a system for inspecting the state of a component mounted on a printed circuit board.

プリント基板上に部品を実装する方法のひとつに、表面実装がある。表面実装とは、プリント基板上にはんだペーストを塗布し、実装する部品を載せてから熱を加えてはんだを溶かすことで部品を固定する実装方式である。集積度が高い基板の製造を行えるため、プリント基板上への部品の実装を自動で行う装置では、表面実装が多く用いられている。   One method for mounting components on a printed circuit board is surface mounting. Surface mounting is a mounting method in which a solder paste is applied on a printed circuit board, a component to be mounted is placed, and then the component is fixed by applying heat to melt the solder. Since a highly integrated substrate can be manufactured, surface mounting is often used in an apparatus that automatically mounts components on a printed circuit board.

基板への部品の実装を自動化する場合、はんだを冷却した後、正常に基板上に部品が実装されているかを検査する必要がある（以下、リフロー後検査）。特に、部品が有する端子と基板上の電極（ランド）との接続部がはんだによって正常に接合されているか否かを正確に判定することは、製品の品質を担保するうえで重要である。   When automating the mounting of components on a substrate, it is necessary to inspect whether the components are normally mounted on the substrate after cooling the solder (hereinafter referred to as post-reflow inspection). In particular, it is important to accurately determine whether or not a connection portion between a terminal of a component and an electrode (land) on a substrate is normally joined by solder, in order to ensure product quality.

リフロー後検査を行うためには、基板上のどの位置にどの部品が載せられているかを正確に検出する必要がある。これに関連する技術として、特許文献１には、部品を基板に積載するマウンタから、部品の接合状態を検査する検査装置に対して、部品の寸法に関する情報を送信し、検査装置が当該情報に基づいて検査すべき箇所を認識する部品実装システムが開示されている。当該システムによると、部品の大きさが個体差によってばらついている場合であっても、検査装置が部品の大きさを正しく認識することができる。
また、特許文献２には、検査対象の部品を認識し、最も適合する検査ライブラリを選択して検査を実施する方法が記載されている。 In order to perform inspection after reflow, it is necessary to accurately detect which part is placed on which position on the substrate. As a technology related to this, in Patent Document 1, information regarding the dimensions of a component is transmitted from a mounter that mounts the component on a substrate to an inspection device that inspects the joining state of the component. A component mounting system for recognizing a location to be inspected based on this is disclosed. According to this system, the inspection apparatus can correctly recognize the size of a component even when the size of the component varies due to individual differences.
Patent Document 2 describes a method for recognizing a part to be inspected, selecting the most suitable inspection library, and inspecting it.

リフロー後検査を行う方法には、ＡＯＩとＡＸＩの二種類がある。ＡＯＩ（Automated Optical Inspection）とは、検査対象をカメラによって撮像し、画像を解析することで部品と基板との接合状態を判定する方法である。また、ＡＸＩ（Automated X-ray inspection）とは、検査対象にＸ線を照射し、取得したＸ線像に基づいて部品と基板との接合状態を判定する方法である。ＡＯＩでは、外観に基づいて不良を発見することができ、ＡＸＩでは、外観からでは発見できない不良を発見することができる。   There are two types of methods for performing post-reflow inspection: AOI and AXI. AOI (Automated Optical Inspection) is a method of determining the bonding state between a component and a substrate by capturing an inspection object with a camera and analyzing the image. AXI (Automated X-ray inspection) is a method of irradiating an inspection target with X-rays and determining a bonding state between a component and a substrate based on an acquired X-ray image. In AOI, a defect can be found based on the appearance, and in AXI, a defect that cannot be found from the appearance can be found.

特開２０１１−９１１８１号公報JP 2011-91181 A 特開２００４−１５１０５７号公報JP 2004-151057 A

リフロー後検査では、端子とはんだとの接合状態を検査するため、端子が存在する領域（以下、端子領域）と、はんだが存在する領域（以下、はんだ領域）とを識別する必要がある。両者を区別できないと、はんだの接触角や、はんだのぬれ上がり高さを正確に判定できないためである。
例えば、ＡＯＩによる検査装置では、カメラを用いて部品を撮像し、得られた画像に基づいて端子領域を識別することができる。一方、ＡＸＩによる検査装置では、導電体と非導電体のＸ線の透過率の差を利用して、金属が存在する領域を検出することができる。また、同じ金属であっても、材質によってＸ線の透過率が異なるため、はんだと端子とを区別することができる。 In the post-reflow inspection, in order to inspect the bonding state between the terminal and the solder, it is necessary to identify a region where the terminal exists (hereinafter referred to as a terminal region) and a region where the solder exists (hereinafter referred to as a solder region). This is because if the two cannot be distinguished from each other, the contact angle of the solder and the solder wetting height cannot be accurately determined.
For example, in an inspection apparatus using AOI, a part can be imaged using a camera, and a terminal area can be identified based on the obtained image. On the other hand, in the inspection apparatus using AXI, it is possible to detect a region where a metal exists by using the difference in the X-ray transmittance between a conductor and a non-conductor. Moreover, even if it is the same metal, since the transmittance | permeability of X-rays changes with materials, it can distinguish solder and a terminal.

しかし、ＡＸＩによる検査では、Ｘ線による透過画像を取得し、三次元データを生成したうえで解析を行うため、可視光像を用いた画像解析よりも時間がかかってしまう。一方で、検査時間を短縮しようとすると、解像度を下げる必要があるため、端子とはんだを識別する際の精度が下がってしまう。   However, in the inspection by AXI, since a transmission image by X-ray is acquired and analysis is performed after generating three-dimensional data, it takes more time than image analysis using a visible light image. On the other hand, if the inspection time is to be shortened, it is necessary to lower the resolution, so that the accuracy in identifying terminals and solder is lowered.

一方、特許文献１および２に記載された技術を応用して、端子が存在する領域をあらかじめマウント時に検出しておき、リフロー後検査で使用するという方法も考えられる。しかし、リフロー工程ではんだが溶解すると、マウントされた部品が沈み込むため、部品の高さ方向の位置が変動してしまう。すなわち、リフロー工程よりも前に端子領域を検出しても、リフロー後検査において当該情報を使用することができない。   On the other hand, by applying the techniques described in Patent Documents 1 and 2, it is conceivable to detect a region where a terminal exists in advance at the time of mounting and use it in an inspection after reflow. However, when the solder melts in the reflow process, the mounted component sinks, and the position in the height direction of the component changes. That is, even if the terminal area is detected before the reflow process, the information cannot be used in the post-reflow inspection.

本発明は上記の課題を考慮してなされたものであり、表面実装ラインにおいて、内部検査を行う速度を向上させる技術を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above problems, and an object of the present invention is to provide a technique for improving the speed of internal inspection in a surface mounting line.

上記課題を解決するために、本発明に係る品質管理システムは、リフロー工程が終了した後、ＡＯＩによる検査を行う際に、電子部品が有する端子の位置を検出し、当該端子の位置に関する情報を、ＡＸＩによる検査を行う際に利用するという構成をとった。   In order to solve the above-described problem, the quality control system according to the present invention detects the position of a terminal included in an electronic component when performing an inspection by AOI after the reflow process is completed, and provides information on the position of the terminal. , The configuration used when performing inspection by AXI.

具体的には、本発明に係る品質管理システムは、プリント基板上の電極と、はんだによって前記プリント基板上に実装された部品との接合状態を可視光像によって検査する外観検査装置と、プリント基板上の電極と、はんだによって前記プリント基板上に実装された部品との接合状態を可視光像以外によって検査する内部検査装置と、を有する品質管理システムであって、前記外観検査装置が、前記プリント基板上における、前記電子部品が有する端子の位置に関する情報である端子情報を生成し、前記内部検査装置が、前記端子情報に基づいて検査を行う領域を決定することを特徴とする。   Specifically, the quality control system according to the present invention includes an appearance inspection device that inspects a bonding state between an electrode on a printed board and a component mounted on the printed board with solder by a visible light image, and a printed board. A quality control system comprising: an internal inspection device that inspects a joining state of an upper electrode and a component mounted on the printed board with solder by means other than a visible light image, wherein the appearance inspection device includes the print Terminal information, which is information on the position of the terminal of the electronic component on the substrate, is generated, and the internal inspection device determines a region to be inspected based on the terminal information.

Ｘ線などの可視光線以外を用いて、端子領域とはんだ領域を識別しようとした場合、処理に時間がかかるという問題がある。そこで、本発明に係る品質管理システムでは、可視光像を用いてリフロー後検査を行う際に、端子の位置に関する情報である端子情報を生成し、内部検査装置が検査を行う際に、当該端子情報を用いて検査対象領域を決定するという構成をとった。端子情報は、可視光像から得られる情報であるため、例えばＸ線撮影によって得られる三次元データ等と比較すると情報量は少ないが、内部検査装置が検査を行う領域から明らかに無益な領域を除外させることができる。   When it is attempted to distinguish between the terminal area and the solder area by using other than visible light such as X-rays, there is a problem that the processing takes time. Therefore, in the quality control system according to the present invention, when performing a post-reflow inspection using a visible light image, terminal information that is information regarding the position of the terminal is generated, and when the internal inspection apparatus performs the inspection, the terminal The configuration is such that the inspection target area is determined using the information. Since the terminal information is information obtained from a visible light image, the amount of information is small compared to, for example, three-dimensional data obtained by X-ray imaging, but an area that is clearly useless from the area in which the internal inspection apparatus performs the inspection. Can be excluded.

例えば、基板に実装される部品の高さや長さは、実装状態や部品の個体差によってそれぞれ異なるため、端子情報が無い場合、内部検査装置は、想定される最も広い領域に対してスキャンを行わなければならない。一方、外観検査装置は、可視光像に基づいて、端子の存在状態が明らかである領域を検出し、端子情報を生成する。すなわち、内部検査装置は、端子の存在状態が明らかである領域を認識することができるため、検査対象領域を絞り込むことができる。これにより、無益なスキャンを抑制することができ、内部検査に要する時間を短縮することができる。   For example, the height and length of components mounted on the board vary depending on the mounting state and individual differences between components, so if there is no terminal information, the internal inspection device scans the largest possible area. There must be. On the other hand, the appearance inspection apparatus detects a region where the presence state of the terminal is clear based on the visible light image, and generates terminal information. That is, since the internal inspection apparatus can recognize an area where the presence state of the terminal is clear, the inspection target area can be narrowed down. Thereby, useless scanning can be suppressed and the time required for the internal inspection can be shortened.

また、前記端子情報は、プリント基板上の電極に対する端子の高さを表す情報を含むことを特徴としてもよく、前記内部検査装置は、前記端子情報に基づいて、検査を行う上限の高さを設定し、当該高さよりも低い領域を検査対象とすることを特徴としてもよい。   The terminal information may include information indicating a height of the terminal with respect to the electrode on the printed circuit board, and the internal inspection device determines an upper limit height for performing the inspection based on the terminal information. It is good also as a characteristic to set and to make a field lower than the height concerned into inspection.

内部検査が必要な領域は、部品が有する端子の高さを上限とし、基板上の電極の高さを下限とする領域である。すなわち、外観検査装置から内部検査装置に対して、検査対象の端子の高さを通知することで、検査対象領域を絞り込むことができる。   The region requiring the internal inspection is a region having the upper limit of the terminal height of the component and the lower limit of the height of the electrode on the substrate. That is, the inspection target area can be narrowed down by notifying the internal inspection apparatus of the height of the terminal to be inspected from the appearance inspection apparatus.

また、前記端子情報は、前記電極上に設定された基準位置に対する端子の相対位置、端子の幅、電極に対するオフセット量を表す情報を含むことを特徴としてもよい。   The terminal information may include information indicating a relative position of the terminal with respect to a reference position set on the electrode, a terminal width, and an offset amount with respect to the electrode.

端子情報は、端子の高さ（Ｚ方向）を表わす情報のほか、平面（ＸＹ平面）上での位置や大きさを表わす情報を含んでいてもよい。かかる構成によると、端子の位置が特定された状態で内部検査を開始することができるため、内部検査を行う際のＸＹ平面の検査対象領域の抽出を省略することができ、検査を高速化することができる。なお、内部検査装置は、プリント基板上の電極を基準として検査を行うため、端子領域は電極を基準とした位置で表すことが好ましい。   The terminal information may include information representing the position and size on the plane (XY plane) in addition to the information representing the height (Z direction) of the terminal. According to such a configuration, since the internal inspection can be started with the position of the terminal specified, the extraction of the inspection target area on the XY plane when performing the internal inspection can be omitted, and the inspection speed is increased. be able to. In addition, since the internal inspection apparatus inspects with reference to the electrode on the printed circuit board, the terminal region is preferably represented by a position with respect to the electrode.

また、前記内部検査装置は、Ｘ線断層画像を用いて接合状態の検査を行うことを特徴としてもよい。   Further, the internal inspection apparatus may perform a bonding state inspection using an X-ray tomographic image.

本発明は、Ｘ線を用いて内部検査を行うシステムに対して特に好適である。なお、断層画像は、断層撮影によって直接取得してもよいし、角度を変えて複数の透過画像を取得し、取得した透過画像を合成することで立体的な形状を復元し、復元された形状から断層を抜き出すことで取得してもよい。   The present invention is particularly suitable for a system that performs internal inspection using X-rays. The tomographic image may be acquired directly by tomography, or a plurality of transmission images are acquired at different angles, and the three-dimensional shape is restored by synthesizing the acquired transmission images. You may acquire by extracting a fault from.

また、前記内部検査装置は、前記電子部品が有する端子の厚さに関する情報を取得し、当該情報にさらに基づいて検査を行う領域を決定することを特徴としてもよい。   In addition, the internal inspection device may acquire information regarding the thickness of a terminal included in the electronic component and determine a region to be inspected based on the information.

例えば、端子と電極との接合面積を求める場合、複数の断層画像を取得し、端子の下端を検出したうえで面積を算出する必要があるが、端子の厚さを取得することができれば、断層画像を取得すべき高さを特定できるため、取得する断層画像の数が減り、検査を高速化することができる。このように、端子の厚さに関する情報を外部から取得することで、端子の下端位置を特定できるようになるため、内部検査を行う際の処理量をさらに減らすことができる。   For example, when obtaining the junction area between the terminal and the electrode, it is necessary to obtain a plurality of tomographic images, calculate the area after detecting the lower end of the terminal, but if the thickness of the terminal can be obtained, Since the height at which an image is to be acquired can be specified, the number of tomographic images to be acquired can be reduced, and the inspection can be speeded up. As described above, by acquiring information on the thickness of the terminal from the outside, the lower end position of the terminal can be specified, so that the processing amount when performing the internal inspection can be further reduced.

なお、本発明は、上記手段の少なくとも一部を含む品質管理システムとして特定することができる。また、前記品質管理システムの制御方法や、前記品質管理システムを動作させるためのプログラム、当該プログラムが記録された記録媒体として特定することもできる。また、当該品質管理システムを構成する内部検査装置として特定することもできる。
上記処理や手段は、技術的な矛盾が生じない限りにおいて、自由に組み合わせて実施することができる。 The present invention can be specified as a quality control system including at least a part of the above means. The control method of the quality management system, a program for operating the quality management system, and a recording medium on which the program is recorded can be specified. It can also be specified as an internal inspection device that constitutes the quality management system.
The above processes and means can be freely combined and implemented as long as no technical contradiction occurs.

本発明によれば、表面実装ラインにおいて、内部検査を行う速度を向上させることができる。   According to the present invention, the speed of performing the internal inspection can be improved in the surface mounting line.

リフロー方式による基板の生産および検査の流れを説明する図である。It is a figure explaining the flow of production and inspection of a substrate by a reflow method. 実施形態における、検査の概要を説明する図である。It is a figure explaining the outline | summary of a test | inspection in embodiment. はんだの接合状態判定を説明する図である。It is a figure explaining the joining state determination of solder. Ｘ線検査を行う対象領域を説明する図である。It is a figure explaining the object field which performs X-ray inspection. 各検査装置に配信される検査対象情報のデータ構造である。It is a data structure of the inspection object information distributed to each inspection apparatus. 部品が存在する領域を特定する方法を説明する図である。It is a figure explaining the method of specifying the area | region where components exist. 端子が存在する領域を特定する方法を説明する図である。It is a figure explaining the method of specifying the area | region where a terminal exists. 第一の実施形態における端子情報の例である。It is an example of the terminal information in 1st embodiment. 外観検査装置の動作フローチャートである。It is an operation | movement flowchart of an external appearance inspection apparatus. Ｘ線検査装置の動作フローチャートである。It is an operation | movement flowchart of an X-ray inspection apparatus. 第二の実施形態に係る端子情報の例である。It is an example of the terminal information which concerns on 2nd embodiment. 第二の実施形態において、端子領域を特定する方法を説明する図である。In 2nd embodiment, it is a figure explaining the method of specifying a terminal area | region. 第三の実施形態における、端子厚を説明する図である。It is a figure explaining terminal thickness in a third embodiment. 第三の実施形態における端子厚情報の例である。It is an example of the terminal thickness information in 3rd embodiment.

（システム構成）
図１は、プリント基板の表面実装ラインにおける生産設備及び品質管理システムの構成例を模式的に示した図である。表面実装（Surface Mount Technology：ＳＭＴ）とは、プリント基板の表面に電子部品をはんだ付けする技術であり、表面実装ラインは、主として、はんだ印刷〜部品のマウント〜リフロー（はんだの溶着）の三つの工程から構成される。 (System configuration)
FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a configuration example of a production facility and a quality control system in a surface mounting line of a printed circuit board. Surface mount technology (SMT) is a technology for soldering electronic components to the surface of a printed circuit board. Surface mount lines consist mainly of three types: solder printing, component mounting, and reflow (solder welding). It consists of steps.

図１に示すように、表面実装ラインでは、生産設備として、上流側から順に、はんだ印刷装置１１０、マウンタ１２０、リフロー炉１３０が設けられる。はんだ印刷装置１１０は、スクリーン印刷によってプリント基板上の電極部（ランドと呼ばれる）にペースト状のはんだを印刷する装置である。マウンタ１２０は、基板に実装すべき電子部品をピックアップし、該当箇所のはんだペーストの上に部品を載置するための装置であり、チップマウンタとも呼ばれる。リフロー炉１３０は、はんだペーストを加熱溶融した後、冷却を行い、電子部品を基板上にはんだ接合するための加熱装置である。これらの生産設備１１０〜１３０は、ネットワーク（ＬＡＮ）を介して生産設備管理装置１４０に接続されている。生産設備管理装置１４０は、生産設備１１０〜１３０の管理や統括制御を担うシステムであり、各生産設備の動作を定義する実装プログラム（動作手順、製造条件、設定パラメータなどを含む）、各生産設備のログデータなどを記憶、管理、出力する機能などを有している。また、生産設備管理装置１４０は、作業者又は他の装置から実装プログラムの変更指示を受け付けると、該当する生産設備に設定されている実装プログラムの更新処理を行う機能も有する。   As shown in FIG. 1, in the surface mounting line, a solder printing apparatus 110, a mounter 120, and a reflow furnace 130 are provided in order from the upstream side as production equipment. The solder printing apparatus 110 is an apparatus that prints paste-like solder on electrode portions (called lands) on a printed circuit board by screen printing. The mounter 120 is an apparatus for picking up an electronic component to be mounted on a substrate and placing the component on a solder paste at a corresponding location, and is also called a chip mounter. The reflow furnace 130 is a heating device for heating and melting the solder paste, cooling it, and soldering the electronic component onto the substrate. These production facilities 110 to 130 are connected to the production facility management apparatus 140 via a network (LAN). The production facility management apparatus 140 is a system responsible for management and overall control of the production facilities 110 to 130, and includes an implementation program (including operation procedures, manufacturing conditions, setting parameters, etc.) that defines the operation of each production facility, and each production facility. Functions for storing, managing, and outputting the log data. The production facility management device 140 also has a function of performing an update process of the mounting program set in the corresponding production facility when receiving an instruction to change the mounting program from an operator or another device.

また、表面実装ラインには、はんだ印刷〜部品のマウント〜リフローの各工程の出口で基板の状態を検査し、不良あるいは不良のおそれを自動で検出する、品質管理システムが設置されている。品質管理システムは、良品と不良品の自動仕分けの他、検査結果やその分析結果に基づき各生産設備の動作にフィードバックする機能（例えば、実装プログラムの変更など）も有している。
図１に示すように、実施形態に係る品質管理システムは、はんだ印刷検査装置２１０、部品検査装置２２０、外観検査装置２３０、Ｘ線検査装置２４０の４種類の検査装置と、検査管理装置２５０、分析装置２６０、作業端末２７０などから構成される。 The surface mounting line is provided with a quality control system that inspects the state of the substrate at the exit of each step of solder printing, component mounting, and reflow, and automatically detects a defect or a risk of failure. The quality management system also has a function of feeding back to the operation of each production facility based on the inspection result and the analysis result thereof (for example, changing the mounting program) in addition to automatic sorting of non-defective products and defective products.
As shown in FIG. 1, the quality management system according to the embodiment includes four types of inspection apparatuses, a solder printing inspection apparatus 210, a component inspection apparatus 220, an appearance inspection apparatus 230, and an X-ray inspection apparatus 240, an inspection management apparatus 250, It comprises an analysis device 260, a work terminal 270, and the like.

はんだ印刷検査装置２１０は、はんだ印刷装置１１０から搬出された基板に対し、はんだペーストの印刷状態を検査するための装置である。はんだ印刷検査装置２１０では、基板上に印刷されたはんだペーストを二次元ないし三次元的に計測し、その計測結果から各種の検査項目について正常値（許容範囲）か否かの判定を行う。検査項目としては、例えば、はんだの体積・面積・高さ・位置ずれ・形状などがある。はんだペーストの二次元計測には、イメージセンサ（カメラ）などを用いることができ、三次元計測には、レーザ変位計や、位相シフト法、空間コード化法、光切断法などを利用することができる。   The solder printing inspection apparatus 210 is an apparatus for inspecting the printed state of the solder paste on the board carried out from the solder printing apparatus 110. In the solder printing inspection apparatus 210, the solder paste printed on the board is measured two-dimensionally or three-dimensionally, and it is determined from the measurement results whether or not various inspection items are normal values (allowable ranges). The inspection items include, for example, solder volume, area, height, misalignment, and shape. An image sensor (camera) or the like can be used for two-dimensional measurement of the solder paste, and a laser displacement meter, a phase shift method, a spatial encoding method, an optical cutting method, or the like can be used for three-dimensional measurement. it can.

部品検査装置２２０は、マウンタ１２０から搬出された基板に対し、電子部品の配置状態を検査するための装置である。部品検査装置２２０では、はんだペーストの上に載置された部品（部品本体、電極（リード）など部品の一部でもよい）を二次元ないし三次元的に計測し、その計測結果から各種の検査項目について正常値（許容範囲）か否かの判定を
行う。検査項目としては、例えば、部品の位置ずれ、角度（回転）ずれ、欠品（部品が配置されていないこと）、部品違い（異なる部品が配置されていること）、極性違い（部品側と基板側の電極の極性が異なること）、表裏反転（部品が裏向きに配置されていること）、部品高さなどがある。はんだ印刷検査と同様、電子部品の二次元計測には、イメージセンサ（カメラ）などを用いることができ、三次元計測には、レーザ変位計や、位相シフト法、空間コード化法、光切断法などを利用することができる。 The component inspection apparatus 220 is an apparatus for inspecting the arrangement state of the electronic components with respect to the board carried out from the mounter 120. The component inspection apparatus 220 measures two-dimensionally or three-dimensionally a component placed on the solder paste (may be a part of the component, such as a component main body or an electrode (lead)), and performs various inspections based on the measurement results. It is determined whether the item is a normal value (allowable range). Inspection items include, for example, component misalignment, angle (rotation) misalignment, missing item (no component is disposed), component difference (different component is disposed), polarity difference (component side and board) The polarity of the electrodes on the side is different), the front and back are reversed (the parts are placed face down), the height of the parts, and the like. Similar to solder printing inspection, an image sensor (camera) can be used for two-dimensional measurement of electronic components. For three-dimensional measurement, a laser displacement meter, phase shift method, spatial coding method, optical cutting method, etc. Etc. can be used.

外観検査装置２３０は、リフロー炉１３０から搬出された基板に対し、はんだ付けの状態を検査するための装置である。外観検査装置２３０では、リフロー後のはんだ部分を二次元ないし三次元的に計測し、その計測結果から各種の検査項目について正常値（許容範囲）か否かの判定を行う。検査項目としては、部品検査と同じ項目に加え、はんだフィレット形状の良否なども含まれる。はんだの形状計測には、上述したレーザ変位計や、位相シフト法、空間コード化法、光切断法などの他、いわゆるカラーハイライト方式（Ｒ、Ｇ、Ｂの照明を異なる入射角ではんだ面に当て、各色の反射光を天頂カメラで撮影することで、はんだの三次元形状を二次元の色相情報として検出する方法）を用いることができる。   The appearance inspection apparatus 230 is an apparatus for inspecting a soldering state with respect to the board carried out from the reflow furnace 130. The appearance inspection device 230 measures the solder portion after reflow two-dimensionally or three-dimensionally, and determines whether or not various inspection items are normal values (allowable ranges) from the measurement results. As inspection items, in addition to the same items as component inspection, the quality of the solder fillet shape is also included. In addition to the laser displacement meter described above, phase shift method, spatial coding method, light cutting method, etc., the so-called color highlight method (R, G, B illumination with different incident angles is used for solder shape measurement. The method of detecting the three-dimensional shape of the solder as two-dimensional hue information by photographing the reflected light of each color with a zenith camera can be used.

Ｘ線検査装置２４０は、Ｘ線像を用いて基板のはんだ付けの状態を検査するための装置（内部検査装置）である。例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）、ＣＳＰ（Chip Size Package）などのパッケージ部品や多層基板の場合には、はんだ接合部が部品や基板の下に隠れているため、外観検査装置２３０では（つまり外観画像では）はんだの状態を検査することができない。Ｘ線検査装置２４０は、このような外観検査の弱点を補完するための装置である。また、Ｘ線検査装置では、端子の下部やバックフィレットなどの、外観では検査できない箇所のはんだの接合検査も可能であり、リフロー後の品質をより詳細に検査することも可能である。Ｘ線検査装置２４０の検査項目としては、例えば、部品の位置ずれ、はんだ高さ、はんだ体積、はんだボール径、バックフィレットの長さ、はんだ接合の良否などがある。なお、Ｘ線像としては、Ｘ線透過画像を用いてもよいし、ＣＴ（Computed
Tomography）画像を用いることも好ましい。 The X-ray inspection apparatus 240 is an apparatus (internal inspection apparatus) for inspecting a soldering state of a substrate using an X-ray image. For example, in the case of package parts such as BGA (Ball Grid Array) and CSP (Chip Size Package) and multilayer boards, the solder joints are hidden under the parts and boards. In the image) it is not possible to inspect the state of the solder. The X-ray inspection apparatus 240 is an apparatus for complementing such a weak point of appearance inspection. In addition, in the X-ray inspection apparatus, it is possible to inspect solder joints at portions that cannot be visually inspected, such as the lower part of the terminal and the back fillet, and to inspect the quality after reflow in more detail. The inspection items of the X-ray inspection apparatus 240 include, for example, component misalignment, solder height, solder volume, solder ball diameter, back fillet length, and solder joint quality. As an X-ray image, an X-ray transmission image may be used, or CT (Computed
Tomography) images are also preferred.

これらの検査装置２１０〜２４０は、ネットワーク（ＬＡＮ）を介して検査管理装置２５０に接続されている。検査管理装置２５０は、検査装置２１０〜２４０の管理や統括制御を担うシステムであり、各検査装置２１０〜２４０の動作を定義する検査プログラム（検査手順、検査条件、設定パラメータなど）や、各検査装置２１０〜２４０で得られた検査結果やログデータなどを記憶、管理、出力する機能などを有している。
分析装置２６０は、検査管理装置２５０に集約された各検査装置２１０〜２４０の検査結果（各工程の検査結果）を分析することで、不良の予測、不良の要因推定などを行う機能や、必要に応じて各生産設備１１０〜１３０へのフィードバック（実装プログラムの変更など）を行う機能などを有するシステムである。
作業端末２７０は、生産設備１１０〜１３０の状態、各検査装置２１０〜２４０の検査結果、分析装置２６０の分析結果などの情報を表示する機能、生産設備管理装置１４０や検査管理装置２５０に対し実装プログラムや検査プログラムの変更（編集）を行う機能、表面実装ライン全体の動作状況を確認する機能などを有するシステムである。 These inspection apparatuses 210 to 240 are connected to the inspection management apparatus 250 via a network (LAN). The inspection management device 250 is a system responsible for management and overall control of the inspection devices 210 to 240, and an inspection program (inspection procedure, inspection conditions, setting parameters, etc.) that defines the operation of each inspection device 210 to 240, and each inspection It has a function of storing, managing, and outputting inspection results and log data obtained by the devices 210 to 240.
The analysis apparatus 260 analyzes the inspection results (inspection results of each process) of the inspection apparatuses 210 to 240 collected in the inspection management apparatus 250, thereby performing a function of predicting defects, estimating the cause of defects, and the like. This is a system having a function of performing feedback (change of mounting program, etc.) to each of the production facilities 110 to 130 according to the above.
The work terminal 270 has a function for displaying information such as the state of the production facilities 110 to 130, the inspection results of the inspection devices 210 to 240, and the analysis result of the analysis device 260, and is implemented in the production facility management device 140 and the inspection management device 250. This is a system having a function of changing (editing) a program and an inspection program and a function of confirming an operation state of the entire surface mounting line.

生産設備管理装置１４０、検査管理装置２５０、分析装置２６０はいずれも、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、主記憶装置（メモリ）、補助記憶装置（ハードディスクなど）、入力装置（キーボード、マウス、コントローラ、タッチパネルなど）、表示装置などを具備する汎用的なコンピュータシステムにより構成可能である。これらの装置１４０、２５０、２６０は別々の装置であってもよいが、一つのコンピュータシステムにこれらの装置１４０、２５０、２６０の全ての機能を実装することも可能であるし、生産設備１１０〜１３０や検査装置２１０〜２４０のいずれかの装置が具備するコンピュータに、これらの装
置１４０、２５０、２６０の機能の全部又は一部を実装することも可能である。また、図１では、生産設備と品質管理システムのネットワークを分けているが、相互にデータ通信が可能であればどのような構成のネットワークを用いてもよい。 The production facility management device 140, the inspection management device 250, and the analysis device 260 all have a CPU (central processing unit), a main storage device (memory), an auxiliary storage device (hard disk, etc.), an input device (keyboard, mouse, controller, A general-purpose computer system equipped with a display device and the like. Although these apparatuses 140, 250, and 260 may be separate apparatuses, all the functions of these apparatuses 140, 250, and 260 may be implemented in one computer system, and the production facilities 110 to 110 may be implemented. It is also possible to implement all or part of the functions of these devices 140, 250, and 260 in a computer included in any one of the devices 130 and the inspection devices 210 to 240. In FIG. 1, the production facility and quality control system networks are separated, but any configuration of networks may be used as long as mutual data communication is possible.

（第一の実施形態）
次に、前述した表面実装ラインにおける、品質管理システムの実施形態について説明する。第一の実施形態に係る品質管理システムは、外観検査装置２３０、Ｘ線検査装置２４０、および検査管理装置２５０を含んで構成される。図２は、各装置が送受信するデータの流れを示した図である。 (First embodiment)
Next, an embodiment of the quality control system in the surface mounting line described above will be described. The quality management system according to the first embodiment includes an appearance inspection device 230, an X-ray inspection device 240, and an inspection management device 250. FIG. 2 is a diagram illustrating a flow of data transmitted and received by each device.

前述したように、外観検査装置２３０およびＸ線検査装置２４０は、基板上に配置された電子部品の端子が、基板上のランドに正常にはんだ付けされているか否かを可視光線またはＸ線によって検査する装置である。すなわち、製品が完成した状態で検査を行う手段である。ここで不良と判定された基板は、不良品として仕分けられ、必要に応じて目視検査などの追加検査に回される。実施形態の説明では、外観検査装置２３０およびＸ線検査装置２４０が行う検査をリフロー後検査と称する。
各検査装置は、検査ライン上に設けられており、搬送される基板に対して検査が実行可能な構成となっている。また、検査管理装置２５０は、各検査装置に対して検査プログラムを配信し、各検査装置は、当該検査プログラムを用いて基板に対する検査を実行する。検査が完了すると、検査結果が生成され、検査管理装置２５０に送信される（端子情報については後述）。 As described above, the appearance inspection device 230 and the X-ray inspection device 240 determine whether the terminals of the electronic components arranged on the board are normally soldered to the lands on the board by visible light or X-rays. It is a device to inspect. That is, it is a means for inspecting the product in a completed state. The substrates determined to be defective here are classified as defective products, and are sent to an additional inspection such as a visual inspection as necessary. In the description of the embodiment, the inspection performed by the appearance inspection device 230 and the X-ray inspection device 240 is referred to as post-reflow inspection.
Each inspection apparatus is provided on an inspection line, and is configured to be able to inspect a substrate to be conveyed. Further, the inspection management device 250 distributes an inspection program to each inspection device, and each inspection device executes an inspection on the substrate using the inspection program. When the inspection is completed, an inspection result is generated and transmitted to the inspection management device 250 (terminal information will be described later).

外観検査装置およびＸ線検査装置が行う検査の内容について、ランドと端子がはんだによって接合された部分の断面図である図３を参照しながら説明する。なお、図３中、黒塗りで示した領域が端子であり、ハッチングで示した領域がランドである。
図３に示すように、良品のはんだフィレットは、端子からランドにかけて山の裾野のような広い傾斜面が形成される。これに対し、はんだ不足が起こると、傾斜面の面積が小さくなり、逆にはんだ過多の場合にはフィレットがランド上に盛り上がった形状となる。外観検査装置２３０およびＸ線検査装置２４０は、このような、はんだの形状に基づいて接合状態の判定を行う。 The contents of the inspection performed by the appearance inspection apparatus and the X-ray inspection apparatus will be described with reference to FIG. 3 which is a cross-sectional view of a portion where the land and the terminal are joined by solder. In FIG. 3, black areas are terminals, and hatched areas are lands.
As shown in FIG. 3, a good solder fillet has a wide inclined surface like a mountain skirt from the terminal to the land. On the other hand, when the solder shortage occurs, the area of the inclined surface is reduced, and conversely, when the solder is excessive, the fillet rises on the land. The appearance inspection apparatus 230 and the X-ray inspection apparatus 240 determine the joining state based on the solder shape.

接合状態の判定は、例えば、ランド端から端子端までの長さ、フロントフィレットの長さ、ランドや端子に対するはんだの接触角、はんだのぬれ上がり高さなどに基づいて行うことができる。   The determination of the joining state can be performed based on, for example, the length from the land end to the terminal end, the length of the front fillet, the contact angle of the solder to the land or the terminal, the solder wetting height, and the like.

ここで問題となるのが、Ｘ線検査装置２４０が行う検査に時間がかかるという点である。
Ｘ線検査装置は、主に複数回の撮影を行い、得られたＸ線像に基づいて三次元データを生成して、端子領域とはんだ領域を識別したうえで接合状態の検査を行う。
Ｘ線による検査には、外側から見えない部分を検査することができるという利点がある一方、前述したように、検査時間が外観検査と比較して長くかかるという欠点がある。Ｘ線検査に要する時間が、外観検査に要する時間より長くなると、ライン数より多くの検査装置を用意しなければならず、コストが上昇してしまう。したがって、Ｘ線による検査時間をできるだけ短縮することが求められている。 The problem here is that the inspection performed by the X-ray inspection apparatus 240 takes time.
The X-ray inspection apparatus mainly performs imaging a plurality of times, generates three-dimensional data based on the obtained X-ray image, identifies the terminal area and the solder area, and inspects the bonding state.
The X-ray inspection has an advantage that it is possible to inspect a portion that cannot be seen from the outside, but as described above, there is a drawback that the inspection time is longer than the appearance inspection. If the time required for the X-ray inspection becomes longer than the time required for the appearance inspection, it is necessary to prepare more inspection apparatuses than the number of lines, resulting in an increase in cost. Therefore, it is required to reduce the inspection time by X-ray as much as possible.

ここで、Ｘ線検査装置が行う検査の範囲について説明する。図４は、ランドと端子がはんだによって接合された部分の断面について、二つのパターンを比較した図である。図４（ａ）の例では、Ｘ線検査装置２４０は、点線で囲った領域４０１に対して検査を行えばよい。一方、図４（ｂ）の例では、Ｘ線検査装置２４０は、点線で囲った領域４０２に対して検査を行う必要がある。このように、Ｘ線検査装置２４０が検査を行う領域の大きさ
は、部品のマウント状態や、更には部品の個体差によって変化する。
また、Ｘ線検査装置２４０は、角度の異なる複数の透過画像を取得して合成することで断層画像を取得し、検査を行う。従って、はんだの接合状態を正確に判定するためには、想定される最大の範囲において、透過画像の合成処理を行わなければならない。また、断層画像を取得した後の、端子とはんだとの接合部分を特定するための処理についても同様である。例えば、図４（ａ）のように端子の高さがｈである場合、高さｈまでの範囲を処理対象とすればよいが、図４（ｂ）のように、想定される最大の高さがｈ’である場合、常に高さｈ’までの範囲を処理対象としなければならず、検査時間の増大を招いてしまう。 Here, the range of the inspection performed by the X-ray inspection apparatus will be described. FIG. 4 is a diagram in which two patterns are compared with respect to a cross section of a portion where a land and a terminal are joined by solder. In the example of FIG. 4A, the X-ray inspection apparatus 240 may inspect a region 401 surrounded by a dotted line. On the other hand, in the example of FIG. 4B, the X-ray inspection apparatus 240 needs to inspect a region 402 surrounded by a dotted line. As described above, the size of the region in which the X-ray inspection apparatus 240 performs the inspection varies depending on the mounting state of the component and further the individual difference of the component.
Further, the X-ray inspection apparatus 240 acquires a tomographic image by acquiring and synthesizing a plurality of transmission images having different angles, and performs an inspection. Therefore, in order to accurately determine the soldered state, it is necessary to perform transmission image composition processing within the maximum possible range. The same applies to the processing for specifying the joint portion between the terminal and the solder after obtaining the tomographic image. For example, when the height of the terminal is h as shown in FIG. 4 (a), the range up to the height h may be set as the processing target, but the assumed maximum height as shown in FIG. 4 (b). When the length is h ′, the range up to the height h ′ must always be processed, which increases the inspection time.

そこで、第一の実施形態に係る品質管理システムは、外観検査を行う際に、基板上の端子の位置を確認し、当該端子の位置に関する情報をＸ線検査において利用する。
具体的には、外観検査装置２３０が、外観検査を行った際に、部品が有する複数の端子の高さをそれぞれ取得し、当該端子の高さを表す情報（以下、端子情報）を生成して、検査結果とともに検査管理装置２５０に送信する。また、Ｘ線検査装置２４０が検査を行う際に、検査管理装置２５０から端子情報を取得し、端子が存在する最大の高さよりも低い領域を対象としてＸ線検査を行う。以下、それぞれの処理について詳しく説明する。 Therefore, the quality control system according to the first embodiment confirms the position of the terminal on the substrate when performing the appearance inspection, and uses information regarding the position of the terminal in the X-ray inspection.
Specifically, when the appearance inspection apparatus 230 performs the appearance inspection, the heights of the plurality of terminals included in the component are acquired, and information indicating the heights of the terminals (hereinafter, terminal information) is generated. To the inspection management device 250 together with the inspection result. Further, when the X-ray inspection apparatus 240 performs an inspection, terminal information is acquired from the inspection management apparatus 250, and an X-ray inspection is performed on an area lower than the maximum height where the terminal exists. Hereinafter, each process will be described in detail.

最初に、各検査装置が行う検査の概要について説明する。本実施形態に係る品質管理システムでは、検査管理装置２５０が、前述したように、検査プログラムを各検査装置に配信し、各検査装置が当該検査プログラムを用いて検査を行う。検査プログラムには、検査手順のほか、検査を行う対象についての情報（以下、検査対象情報）が含まれている。   First, an outline of the inspection performed by each inspection apparatus will be described. In the quality management system according to the present embodiment, the inspection management device 250 distributes the inspection program to each inspection device as described above, and each inspection device performs an inspection using the inspection program. In addition to the inspection procedure, the inspection program includes information about an object to be inspected (hereinafter referred to as inspection object information).

図５は、検査対象情報のデータ構造を表した例である。検査対象情報には、基板に実装される部品についての情報（部品情報）と、検査領域についての情報（検査領域情報）が含まれている。検査領域とは、検査を行う単位を表したものあり、部品本体であってもよいし、部品が有する端子であってもよい。また、当該端子が接続されるランドであってもよい。リフロー後検査では、ランドを対象に検査を行う。検査領域情報には、検査対象の位置や大きさ、角度についての情報と、検査項目や検査基準などが記録されており、各検査装置は、当該情報を参照しながら検査を行う。   FIG. 5 shows an example of the data structure of the inspection target information. The information to be inspected includes information (component information) about components mounted on the board and information (inspection region information) about inspection regions. The inspection area represents a unit to be inspected, and may be a component body or a terminal included in the component. Further, it may be a land to which the terminal is connected. In the post-reflow inspection, the land is inspected. In the inspection area information, information on the position, size, and angle of the inspection object, inspection items, inspection standards, and the like are recorded, and each inspection apparatus performs inspection while referring to the information.

図５の例では、部品ごとに、基板を基準とする座標および角度が定義されている。また、検査領域ごとに、部品を基準とする座標、高さ、および角度が定義されている。なお、検査領域が部品自体である場合、部品を基準とする座標、高さ、および角度はいずれも０となる。   In the example of FIG. 5, coordinates and angles with respect to the board are defined for each component. In addition, coordinates, heights, and angles with respect to parts are defined for each inspection region. When the inspection area is the part itself, the coordinates, height, and angle with respect to the part are all zero.

まず、外観検査装置が行う処理について説明する。
外観検査装置２３０にプリント基板が搬入されると、外観検査装置２３０は、搬入されたプリント基板の基板ＩＤを取得する。基板ＩＤは、生産設備管理装置１４０などから取得してもよいし、プリント基板を撮像することで読み取りが可能な場合は、基板から直接読み取ってもよい。そして、搬入されたプリント基板に対応する検査対象情報を検査管理装置２５０から取得し、外観検査を実行する。 First, processing performed by the appearance inspection apparatus will be described.
When the printed circuit board is loaded into the appearance inspection apparatus 230, the appearance inspection apparatus 230 acquires the board ID of the loaded printed circuit board. The board ID may be acquired from the production facility management apparatus 140 or the like, or may be read directly from the board if it can be read by imaging the printed board. Then, inspection object information corresponding to the loaded printed circuit board is acquired from the inspection management apparatus 250, and an appearance inspection is executed.

外観検査では、検査領域として定義されたランドに対して検査を行う。ここで、図５に示した検査対象情報と、検査装置が実際に検査を行う領域との対応関係を、図６および図７を参照しながら説明する。
まず、図６を参照しながら、部品を特定する方法について説明する。図６中、符号６０１は搬入されたプリント基板を表し、符号６０２は、当該プリント基板上の、部品が存在する領域を表す。また、図中に示したＸ軸およびＹ軸は、部品の位置を表すための軸である。部品の位置は、基板の中心を原点（０，０）としたＸ−Ｙ座標系で表される。例えば
、符号６０２で表された部品の位置は、部品の中心点の座標（Ｘp，Ｙp）と、基板に対する角度（例えばＸ軸正方向を０度として反時計回りに定義する。本例では０度）で表すことができる。各パラメータは、図５に示した部品情報のうち、それぞれ「Ｘ座標（対基板）」「Ｙ座標（対基板）」「角度（対基板）」に対応する。これらの部品情報によって、プリント基板上に配置された部品の位置および姿勢が定義される。 In the appearance inspection, the land defined as the inspection area is inspected. Here, the correspondence relationship between the inspection object information shown in FIG. 5 and the area where the inspection apparatus actually performs the inspection will be described with reference to FIGS. 6 and 7.
First, a method for identifying a component will be described with reference to FIG. In FIG. 6, reference numeral 601 represents a loaded printed circuit board, and reference numeral 602 represents an area on the printed circuit board where components are present. In addition, the X axis and the Y axis shown in the figure are axes for representing the position of the component. The position of the component is represented by an XY coordinate system in which the center of the board is the origin (0, 0). For example, the position of the component represented by reference numeral 602 is defined counterclockwise with the coordinates (Xp, Yp) of the center point of the component and an angle with respect to the substrate (for example, the positive direction of the X axis is 0 degree. In this example, 0) Degree). Each parameter corresponds to “X coordinate (to board)”, “Y coordinate (to board)”, and “angle (to board)” in the component information shown in FIG. By these pieces of component information, the position and orientation of the components arranged on the printed circuit board are defined.

次に、図７を参照しながら、検査領域であるランドを特定する方法について説明する。検査領域の位置は、部品を基準とした位置で表される。図７中、符号７０１は部品本体を表し、符号７０２は当該部品が有する端子が接続されるランドを表す。また、図中に示したＸ軸およびＹ軸は、ランドの位置を表すための軸である。ランドの位置は、部品の中心を原点（０，０）としたＸ−Ｙ座標系で表される。例えば、符号７０２で表されたランドは、ランドの左下に対応する点７０３の座標（Ｘl，Ｙl）と、端子の横方向の長さＷlと
、縦方向の長さＨl、および部品に対する角度（０度）で表すことができる。各パラメー
タは、図５に示した検査領域情報のうち、それぞれ「Ｘ座標（対部品）」「Ｙ座標（対部品）」「横長さ」「縦長さ」「角度（対部品）」に対応する。また、「高さ」は、当該ランドに接続される端子の、想定される最大高さである。 Next, a method for specifying a land which is an inspection area will be described with reference to FIG. The position of the inspection area is represented by a position with respect to the part. In FIG. 7, reference numeral 701 represents a component body, and reference numeral 702 represents a land to which a terminal of the component is connected. In addition, the X axis and the Y axis shown in the figure are axes for representing the position of the land. The position of the land is represented by an XY coordinate system in which the center of the part is the origin (0, 0). For example, the land represented by reference numeral 702 has the coordinates (X1, Y1) of the point 703 corresponding to the lower left of the land, the horizontal length Wl of the terminal, the vertical length Hl, and the angle ( 0 degree). Each parameter corresponds to “X coordinate (parts)”, “Y coordinate (parts)”, “horizontal length”, “vertical length”, and “angle (parts)” in the inspection area information shown in FIG. . The “height” is an assumed maximum height of a terminal connected to the land.

以上に説明したように、部品情報および検査領域情報によって、検査を行う対象の領域がプリント基板上のどこにあるかが表わされる。
なお、基板に設定された原点は、検査装置間で共有される。すなわち、原点を基準として位置を表わすことで、プリント基板上の領域を一意に特定することができる。
外観検査装置は、このようにして定義された領域（ランド）に対して外観検査（すなわち、はんだフィレットが正しく形成されているか等の検査）を実行し、検査結果を生成して、検査管理装置２５０に送信する。 As described above, the part information and the inspection area information indicate where the inspection target area is on the printed circuit board.
Note that the origin set on the substrate is shared between the inspection apparatuses. That is, the region on the printed circuit board can be uniquely specified by representing the position with the origin as a reference.
The appearance inspection apparatus performs an appearance inspection (that is, inspection of whether a solder fillet is correctly formed, etc.) on the region (land) defined in this manner, generates an inspection result, and generates an inspection management apparatus. 250.

前述したように、部品の実装位置には揺らぎがあるため、同じ部品が実装されていても、基板ごとに端子の高さが異なる。また、これに起因して、Ｘ線検査に要する時間が長くなってしまう。このため、外観検査装置２２０は、外観検査の完了後に、ランドに接続されている端子の高さを表す情報である端子情報を生成する。   As described above, since the mounting position of the component is fluctuated, the height of the terminal is different for each board even if the same component is mounted. Further, due to this, the time required for the X-ray inspection becomes long. Therefore, the appearance inspection device 220 generates terminal information that is information indicating the height of the terminal connected to the land after the appearance inspection is completed.

図８は、外観検査装置２３０が生成する端子情報の例である。端子情報には、端子を一意に識別するためのキー（基板ＩＤ，部品ＩＤ，端子番号）と、当該端子の高さについての情報が含まれる。図８に示した「端子高さ」は、スペックに基づいた値ではなく、実測値である。端子の高さは、外観検査で撮像した画像に基づいて、端子ごとに算出される。画像に基づいて端子の高さを算出する方法には、公知の解析方法を用いることができる。   FIG. 8 is an example of terminal information generated by the appearance inspection apparatus 230. The terminal information includes a key (substrate ID, component ID, terminal number) for uniquely identifying the terminal and information about the height of the terminal. The “terminal height” shown in FIG. 8 is not a value based on specifications but an actual measurement value. The height of the terminal is calculated for each terminal based on the image captured by the appearance inspection. As a method for calculating the height of the terminal based on the image, a known analysis method can be used.

検査管理装置２５０に送信された端子情報は一時的に記憶され、リフロー後検査にて用いられる検査プログラムとともに、Ｘ線検査装置２４０へ配信される。
そして、Ｘ線検査装置２４０が、端子とランドとの接合状態を検査する際に、取得した端子情報を参照して、基板上で最も高い位置にある端子を特定し、当該端子の高さよりも低い領域に対してＸ線検査を行う。具体的には、図４のように、基板の高さから、当該端子の高さまでの領域を所定の高さピッチでＸＹ方向にスライスした複数の断層画像を取得し、三次元データを生成して、はんだ接合状態を検査する。
なお、基板上にある端子のうち、いずれかの端子について端子情報が存在しない場合、見落としを防止するため、想定される最大の高さまでスキャンを行う。 The terminal information transmitted to the inspection management apparatus 250 is temporarily stored and distributed to the X-ray inspection apparatus 240 together with the inspection program used in the post-reflow inspection.
Then, when the X-ray inspection apparatus 240 inspects the bonding state between the terminal and the land, the acquired terminal information is referenced to identify the terminal at the highest position on the substrate, and the height of the terminal is higher than that. X-ray inspection is performed on a low area. Specifically, as shown in FIG. 4, a plurality of tomographic images obtained by slicing an area from the height of the substrate to the height of the terminal in the XY directions at a predetermined height pitch are generated, and three-dimensional data is generated. And inspect the solder joint state.
Note that if no terminal information exists for any of the terminals on the substrate, scanning is performed up to the assumed maximum height to prevent oversight.

（処理フローチャート）
図９は、外観検査装置２３０が行う検査処理のフローチャートである。図９に示した処理は、検査対象のプリント基板が搬入されたタイミングで実行される。なお、検査プログラムは予め検査管理装置２５０から配信されているものとする。 (Processing flowchart)
FIG. 9 is a flowchart of an inspection process performed by the appearance inspection apparatus 230. The process shown in FIG. 9 is executed at the timing when the printed circuit board to be inspected is carried in. Note that the inspection program is distributed from the inspection management apparatus 250 in advance.

まず、ステップＳ１１で、カメラを用いて検査対象の基板を撮像する。ここで撮像される画像は、外観検査を行うための画像であるが、端子の高さを計測するための画像が更に必要な場合、別途撮像を行ってもよい。また、複数回撮像を行う場合、それぞれ異なるカメラを用いてもよい。外観検査が行え、かつ、端子の高さを計測することができれば、画像はどのように取得されてもよい。
次に、ステップＳ１２で、検査プログラムに含まれる検査対象情報を参照し、検査対象であるランドを抽出する。
ステップＳ１３では、ステップＳ１１で取得した画像を用いて、各検査対象に対する外観検査を実施し、検査結果を生成する。
ステップＳ１４では、ステップＳ１１で取得した画像を用いて、対象の基板に含まれる端子の高さを計測する。そして、端子情報を生成し、ステップＳ１３で生成した検査結果とともに、検査管理装置２５０に送信する（ステップＳ１５）。 First, in step S11, a substrate to be inspected is imaged using a camera. The image captured here is an image for performing an appearance inspection. However, if an image for measuring the height of the terminal is further required, the image may be separately captured. In addition, when performing imaging a plurality of times, different cameras may be used. The image may be acquired in any way as long as the appearance inspection can be performed and the height of the terminal can be measured.
Next, in step S12, the inspection target information included in the inspection program is referred to, and the land to be inspected is extracted.
In step S13, an appearance inspection is performed on each inspection object using the image acquired in step S11, and an inspection result is generated.
In step S14, the height of the terminal included in the target substrate is measured using the image acquired in step S11. And terminal information is produced | generated and transmitted to the test | inspection management apparatus 250 with the test result produced | generated by step S13 (step S15).

図１０は、Ｘ線検査装置２４０が行う検査処理のフローチャートである。図１０に示した処理は、プリント基板が搬入され、Ｘ線検査が開始されるタイミングで実行される。なお、検査プログラムは予め検査管理装置２５０から配信されているものとする。   FIG. 10 is a flowchart of inspection processing performed by the X-ray inspection apparatus 240. The process shown in FIG. 10 is executed at the timing when the printed circuit board is carried in and the X-ray inspection is started. Note that the inspection program is distributed from the inspection management apparatus 250 in advance.

まず、ステップＳ２１で、検査プログラムに含まれる検査対象情報を参照し、検査対象であるランドを抽出する。
次に、ステップＳ２２で、検査対象のランドに対応する端子情報を、検査管理装置２５０から取得する。検査対象の端子は、基板ＩＤ，部品ＩＤおよび端子番号によって識別する。本ステップにより、検査対象の複数のランドに対応した端子の高さがそれぞれ取得できるため、このうち、最も高さが高い端子を特定し、当該高さを一時的に記憶する。なお、検査対象のランドに対応する端子情報を取得できなかった場合、検査対象情報に含まれる情報を用いて、最も高さが高い端子を特定する。
ステップＳ２３では、検査対象のランドに対するＸ線検査を実施する。ここでは、前述したように、基板の高さを下限、ステップＳ２２で記憶した高さを上限とした範囲で、透過画像を合成して断層画像を生成する処理を行い、所定の高さピッチで検査を実施する。検査が完了すると、検査結果を生成し、検査管理装置２５０に送信する。 First, in step S21, the inspection object information included in the inspection program is referred to, and the land to be inspected is extracted.
Next, in step S22, terminal information corresponding to the land to be inspected is acquired from the inspection management device 250. The terminal to be inspected is identified by the board ID, component ID, and terminal number. By this step, since the heights of the terminals corresponding to the plurality of lands to be inspected can be obtained, the terminal having the highest height is identified and the height is temporarily stored. In addition, when the terminal information corresponding to the land to be inspected cannot be acquired, the terminal having the highest height is specified using the information included in the inspection target information.
In step S23, an X-ray inspection is performed on the land to be inspected. Here, as described above, the processing for generating a tomographic image by synthesizing the transmission images is performed within a range in which the height of the substrate is the lower limit and the height stored in step S22 is the upper limit, and at a predetermined height pitch. Conduct an inspection. When the inspection is completed, an inspection result is generated and transmitted to the inspection management device 250.

以上に説明したように、第一の実施形態に係る品質管理システムでは、リフロー工程が終了した後の外観検査において、端子の高さ（すなわちＺ軸方向の高さ）を検出して保存しておき、Ｘ線検査において、当該情報を用いて検査を実行する。Ｘ線検査では、複数の断層画像に基づいて検査を行うため、Ｚ軸方向の情報が無い場合、想定される最大の高さに応じた数の断層画像を取得しなければならない。これに対し、第一の実施形態では、無益な断層画像の取得を抑え、取得する断層画像の数を最小限にすることができるため、検査を高速化することができる。すなわち、検査コストを削減し、生産性を向上させることができる。   As described above, in the quality control system according to the first embodiment, in the appearance inspection after the reflow process is completed, the height of the terminal (that is, the height in the Z-axis direction) is detected and stored. In the X-ray inspection, the inspection is executed using the information. In the X-ray inspection, since inspection is performed based on a plurality of tomographic images, if there is no information in the Z-axis direction, a number of tomographic images corresponding to the assumed maximum height must be acquired. On the other hand, in the first embodiment, acquisition of useless tomographic images can be suppressed and the number of tomographic images to be acquired can be minimized, so that the inspection can be speeded up. That is, inspection costs can be reduced and productivity can be improved.

（第二の実施形態）
第一の実施形態では、端子情報として、「端子の高さ（すなわちＺ軸方向の情報）」を定義した。これに対し第二の実施形態は、端子情報に、「ＸＹ平面上で端子が存在する領域」についての情報を追加した実施形態である。第二の実施形態に係る品質管理システムの構成は、第一の実施形態と同様であるため、システム構成についての説明は省略し、第一の実施形態と異なる部分についてのみ説明を行う。 (Second embodiment)
In the first embodiment, “terminal height (that is, information in the Z-axis direction)” is defined as terminal information. On the other hand, the second embodiment is an embodiment in which information about “region where terminals exist on the XY plane” is added to the terminal information. Since the configuration of the quality management system according to the second embodiment is the same as that of the first embodiment, description of the system configuration is omitted, and only the parts different from the first embodiment are described.

図１１は、第二の実施形態に係る端子情報の例である。第二の実施形態では、第一の実施形態に対して、端子情報に「端子位置」「端子幅」「オフセット」の三つの項目が追加されている。図１２を参照しながら、各項目について説明する。
端子位置とは、ランドに対する端子の相対位置を表わす値である。本例では、端子に対応するランドの上辺から端子の中心線までの距離を「端子位置」とする。
また、端子幅とは、端子の幅を表わす値であり、オフセットとは、ランドの先端位置（部品と反対側の端辺）から端子の先端位置までの距離を表わす値である。
第二の実施形態では、以上の情報を端子情報に追加することにより、ＸＹ平面上で端子が存在する領域の位置を表わすことができる。なお、端子の高さについては、第一の実施形態と同様である。 FIG. 11 is an example of terminal information according to the second embodiment. In the second embodiment, three items of “terminal position”, “terminal width”, and “offset” are added to the terminal information as compared with the first embodiment. Each item will be described with reference to FIG.
The terminal position is a value representing the relative position of the terminal with respect to the land. In this example, the distance from the upper side of the land corresponding to the terminal to the center line of the terminal is defined as “terminal position”.
Further, the terminal width is a value representing the width of the terminal, and the offset is a value representing the distance from the tip position of the land (the end side opposite to the part) to the tip position of the terminal.
In the second embodiment, by adding the above information to the terminal information, the position of the region where the terminal exists on the XY plane can be expressed. Note that the height of the terminal is the same as in the first embodiment.

次に、第一の実施形態における検査処理（図９および図１０）との相違点について説明する。
第二の実施形態では、外観検査装置２３０が、ステップＳ１４で端子の高さを計測した後に、ＸＹ平面上にて端子領域を特定する。画像に基づいて端子領域の位置を特定する方法には、公知の解析方法を用いることができる。
また、ステップＳ１５では、図１１に示した端子情報が端子ごとに生成される。 Next, differences from the inspection process (FIGS. 9 and 10) in the first embodiment will be described.
In the second embodiment, the appearance inspection device 230 specifies the terminal region on the XY plane after measuring the height of the terminal in step S14. A known analysis method can be used as a method of specifying the position of the terminal region based on the image.
In step S15, the terminal information shown in FIG. 11 is generated for each terminal.

また、ステップＳ２３でＸ線検査を行う際に、Ｘ線検査装置２４０が、図１１に示した端子情報に基づいて検査対象領域を特定する。端子の位置を表わすための基準となるランドの位置は、検査対象情報によって共有されているため、Ｘ線検査装置２４０は、端子が存在する領域を三次元的に特定することができる。   Further, when performing the X-ray inspection in Step S23, the X-ray inspection apparatus 240 identifies the inspection target region based on the terminal information shown in FIG. Since the position of the land that serves as a reference for representing the position of the terminal is shared by the inspection object information, the X-ray inspection apparatus 240 can three-dimensionally specify the region where the terminal exists.

第二の実施形態によると、端子の高さに加えて、ＸＹ平面上における端子領域の位置をＸ線検査装置に伝達することができるため、ＸＹ平面における検査対象領域の抽出を省略することができ、Ｘ線検査を行う際の検査速度をより向上させることができる。   According to the second embodiment, in addition to the height of the terminal, the position of the terminal region on the XY plane can be transmitted to the X-ray inspection apparatus, so that the extraction of the inspection target region on the XY plane can be omitted. In addition, the inspection speed when performing X-ray inspection can be further improved.

（第三の実施形態）
第三の実施形態は、検査管理装置２５０からＸ線検査装置２４０に対して、端子の厚さについての情報を送信する実施形態である。第三の実施形態に係る品質管理システムの構成は、第一の実施形態と同様であるため、システム構成についての説明は省略し、第一の実施形態と異なる部分についてのみ説明を行う。 (Third embodiment)
The third embodiment is an embodiment in which information about the thickness of the terminal is transmitted from the inspection management apparatus 250 to the X-ray inspection apparatus 240. Since the configuration of the quality management system according to the third embodiment is the same as that of the first embodiment, description of the system configuration is omitted, and only the parts different from the first embodiment are described.

第三の実施形態では、検査管理装置２５０が、端子の厚さ（端子厚）を表わす情報（以下、端子厚情報）を保持し、検査開始前に、Ｘ線検査装置２４０に対して送信する。図１３は端子厚を説明する図であり、図１４は端子厚情報の例である。端子厚情報には、端子を一意に識別するためのキー（基板ＩＤ，部品ＩＤ，端子番号）と、当該端子に対応する端子厚が含まれる。端子厚情報は、部品のスペックに基づいた情報であり、事前に作成され、検査管理装置２５０によって保持される。
なお、チップ部品など、部品の厚さと端子の厚さがほぼ等しい部品については、端子厚を部品の厚さで代用してもよい。 In the third embodiment, the inspection management apparatus 250 holds information (hereinafter referred to as terminal thickness information) indicating the thickness of the terminal (terminal thickness) and transmits it to the X-ray inspection apparatus 240 before starting the inspection. . FIG. 13 is a diagram illustrating terminal thickness, and FIG. 14 is an example of terminal thickness information. The terminal thickness information includes a key (substrate ID, component ID, terminal number) for uniquely identifying the terminal and a terminal thickness corresponding to the terminal. The terminal thickness information is information based on component specifications, is created in advance, and is held by the inspection management device 250.
Note that, for a component such as a chip component in which the thickness of the component is substantially equal to the thickness of the terminal, the thickness of the terminal may be used instead.

また、Ｘ線検査装置２４０は、ステップＳ２３でＸ線検査を行う際に、当該端子厚を用いて検査を行う。例えば、端子下面のはんだ面積を計測する際は、端子高さから端子厚を引いた高さと、ランド高さの中間に位置する断層画像を取得し、はんだ面積を計測する。端子厚を用いない場合、複数の断層画像を取得したうえで、端子の下部がどこにあるかを探索しなければならないが、このようにすることで、断層画像を一回取得するのみで、はんだ面積を取得することができる。
端子厚は、他の項目を計測する際にも用いることができる。例えば、接合部のはんだ体積を取得したい場合、端子厚に基づいて端子の体積を推定し、当該体積を、接合部全体の体積から引けばよい。当該方法を用いると、端子領域とはんだ領域とを識別する処理を省略できるため、検査速度を向上させることができる。 Further, the X-ray inspection apparatus 240 performs an inspection using the terminal thickness when performing the X-ray inspection in step S23. For example, when measuring the solder area of the lower surface of the terminal, a tomographic image located between the height obtained by subtracting the terminal thickness from the terminal height and the land height is acquired, and the solder area is measured. If terminal thickness is not used, multiple tomographic images must be acquired and the location of the lower part of the terminal must be searched. By doing so, the tomographic image can be acquired only once and soldered. The area can be acquired.
The terminal thickness can also be used when measuring other items. For example, when it is desired to obtain the solder volume of the joint, the terminal volume is estimated based on the terminal thickness, and the volume is subtracted from the entire joint volume. When this method is used, the process of identifying the terminal area and the solder area can be omitted, so that the inspection speed can be improved.

このように、第三の実施形態では、端子の厚さに関する情報をＸ線検査装置に送信し、Ｘ線検査装置が当該情報を用いて検査を行うことで、Ｘ線検査に要する時間をさらに短縮させることができる。   As described above, in the third embodiment, information related to the thickness of the terminal is transmitted to the X-ray inspection apparatus, and the X-ray inspection apparatus performs inspection using the information, thereby further reducing the time required for the X-ray inspection. It can be shortened.

なお、第三の実施形態では、端子厚情報を予め生成しておき、検査領域情報に含めてＸ線検査装置２４０に送信したが、当該情報は、他の方法で生成および配信してもよい。例えば、部品を基板上に配置するマウンタ１２０や、部品の配置状態を検査する部品検査装置２２０が、端子の厚さを計測し、端子厚情報を生成したうえで、検査管理装置２５０を経由してＸ線検査装置２４０に送信するようにしてもよい。また、検査管理装置２５０を介さずに直接送信するようにしてもよい。   In the third embodiment, terminal thickness information is generated in advance and transmitted to the X-ray inspection apparatus 240 in the inspection area information. However, the information may be generated and distributed by other methods. . For example, the mounter 120 that arranges components on the board and the component inspection device 220 that inspects the arrangement state of components measure the thickness of the terminals and generate terminal thickness information, and then pass through the inspection management device 250. May be transmitted to the X-ray inspection apparatus 240. Further, it may be transmitted directly without going through the inspection management device 250.

（変形例）
なお、実施形態の説明は本発明を説明する上での例示であり、本発明は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更または組み合わせて実施することができる。 (Modification)
It should be noted that the description of the embodiment is an example for explaining the present invention, and the present invention can be implemented with appropriate modifications or combinations without departing from the spirit of the invention.

例えば、実施形態の説明では、ランドの端辺からの距離を用いて端子の相対位置を表わしたが、端子領域の位置は、Ｘ線検査装置が特定することができれば、どのような方法によって表されてもよい。例えば、ランドの中心に基準点を設定し、基準点からの相対座標によって表してもよい。
また、実施形態の説明では、検査管理装置２５０が全ての端子情報を一旦集約して、外観検査装置２３０およびＸ線検査装置２４０に配信したが、端子情報は、検査装置間で直接送受信するようにしてもよい。 For example, in the description of the embodiment, the relative position of the terminal is expressed using the distance from the edge of the land, but the position of the terminal area can be expressed by any method as long as the X-ray inspection apparatus can identify it. May be. For example, a reference point may be set at the center of the land and expressed by relative coordinates from the reference point.
In the description of the embodiment, the inspection management apparatus 250 once aggregates all terminal information and distributes the terminal information to the appearance inspection apparatus 230 and the X-ray inspection apparatus 240. However, the terminal information is directly transmitted and received between the inspection apparatuses. It may be.

１１０・・・はんだ印刷装置
１２０・・・マウンタ
１３０・・・リフロー炉
１４０・・・生産設備管理装置
２１０・・・はんだ印刷検査装置
２２０・・・部品検査装置
２３０・・・外観検査装置
２４０・・・Ｘ線検査装置
２５０・・・検査管理装置
２６０・・・分析装置
２７０・・・作業端末 DESCRIPTION OF SYMBOLS 110 ... Solder printing apparatus 120 ... Mounter 130 ... Reflow furnace 140 ... Production equipment management apparatus 210 ... Solder printing inspection apparatus 220 ... Component inspection apparatus 230 ... Appearance inspection apparatus 240- ..X-ray inspection device 250 ... Inspection management device 260 ... Analyzer 270 ... Work terminal

Claims (7)

プリント基板上の電極と、はんだによって前記プリント基板上に実装された部品との接合状態を可視光像によって検査する外観検査装置と、プリント基板上の電極と、はんだによって前記プリント基板上に実装された部品との接合状態を可視光像以外によって検査する内部検査装置と、を有する品質管理システムであって、
前記外観検査装置が、前記プリント基板上における、前記電子部品が有する端子の位置に関する情報である端子情報を生成し、
前記内部検査装置が、前記端子情報に基づいて検査を行う領域を決定する
ことを特徴とする、品質管理システム。 Appearance inspection device that inspects the bonding state of the electrode on the printed circuit board and the component mounted on the printed circuit board with solder by a visible light image, the electrode on the printed circuit board, and mounted on the printed circuit board with solder A quality control system having an internal inspection device for inspecting the joining state with the parts other than the visible light image,
The appearance inspection device generates terminal information that is information on the position of the terminal of the electronic component on the printed circuit board,
The internal inspection apparatus determines an area to be inspected based on the terminal information. 前記端子情報は、プリント基板上の電極に対する端子の高さを表す情報を含む
ことを特徴とする、請求項１に記載の品質管理システム。 The quality control system according to claim 1, wherein the terminal information includes information indicating a height of a terminal with respect to an electrode on a printed circuit board. 前記内部検査装置は、前記端子情報に基づいて、検査を行う上限の高さを設定し、当該高さよりも低い領域を検査対象とする
ことを特徴とする、請求項２に記載の品質管理システム。 The quality control system according to claim 2, wherein the internal inspection device sets an upper limit height to be inspected based on the terminal information, and sets an area lower than the height as an inspection target. . 前記端子情報は、前記電極上に設定された基準位置に対する端子の相対位置、端子の幅、電極に対するオフセット量を表す情報を含む
ことを特徴とする、請求項２または３に記載の品質管理システム。 The quality control system according to claim 2, wherein the terminal information includes information indicating a relative position of the terminal with respect to a reference position set on the electrode, a width of the terminal, and an offset amount with respect to the electrode. . 前記内部検査装置は、Ｘ線断層画像を用いて接合状態の検査を行う
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の品質管理システム。 The quality control system according to any one of claims 1 to 4, wherein the internal inspection device performs an inspection of a bonding state using an X-ray tomographic image. 前記内部検査装置は、前記電子部品が有する端子の厚さに関する情報を取得し、当該情報にさらに基づいて検査を行う領域を決定する
ことを特徴とする、請求項１から５のいずれかに記載の品質管理システム。 The internal inspection device acquires information on the thickness of a terminal included in the electronic component, and further determines a region to be inspected based on the information. Quality control system. プリント基板上の電極と、はんだによって前記プリント基板上に実装された部品との接合状態を可視光像によって検査する外観検査装置と通信可能に構成され、プリント基板上の電極と、はんだによって前記プリント基板上に実装された部品との接合状態を可視光像以外によって検査する内部検査装置であって、
前記外観検査装置から、前記プリント基板上における、前記電子部品が有する端子の位置に関する情報である端子情報を取得し、前記端子情報に基づいて、検査を行う領域を決定する
ことを特徴とする、内部検査装置。 It is configured to be communicable with an appearance inspection apparatus that inspects a bonding state between an electrode on a printed circuit board and a component mounted on the printed circuit board with solder by a visible light image. The printed circuit board is printed with the electrode on the printed circuit board and solder. An internal inspection device for inspecting the joining state with a component mounted on a substrate by means other than a visible light image,
Obtaining terminal information that is information related to the position of the terminal of the electronic component on the printed circuit board from the appearance inspection apparatus, and determining a region to be inspected based on the terminal information. Internal inspection device.
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